CN101004551B - 压模、凹凸图案形成方法和信息记录介质制造方法 - Google Patents

压模、凹凸图案形成方法和信息记录介质制造方法 Download PDF

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Abstract

提供一种可避免凹凸图案的变形或转印缺陷的发生等的压模。上述压模形成为使形成了凹凸图案(5)的凹凸图案形成面(6)与其背面(7)之间的厚度在外边缘区域(Ao)中随着靠近外边缘部(Po)一侧逐渐地变薄。此外，形成为使凹凸图案形成面(6)与其背面(7)之间的厚度在开口边缘区域(Ae)中随着靠近开口边缘部(Pe)一侧逐渐地变薄。由此，可避免在压印处理时对树脂层的表面施加的压力集中于压模(1)的外边缘区域(Ao)和开口边缘区域(Ae)这两个区域(端部区域)的问题。

Description

压模、凹凸图案形成方法和信息记录介质制造方法
技术领域
本发明涉及用于利用压印法形成凹凸图案的压模、使用该压模在基体材料上形成凹凸图案的凹凸图案形成方法和使用按照该凹凸图案形成方法形成的凹凸图案来制造信息记录介质的信息记录介质制造方法。
背景技术
作为使用这种压模的凹凸图案形成方法，在美国专利5772905号说明书中公开了通过在基体材料上的树脂层上按压形成了纳米尺寸的凹凸图案的压模(铸模)、将压模的凹凸图案转印到树脂层上而在基体材料上形成纳米尺寸的凹凸图案的纳米压印平版印刷法(形成纳米尺寸的凹凸图案的凹凸图案形成方法：压印法)。在该凹凸图案形成方法中，首先，在硅制的基体材料(基板)的表面上旋转涂敷聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA：树脂材料)以形成树脂层(薄膜层)。其次，在加热了基体材料和树脂层的层叠体以及压模这两者后，如该说明书的图1B中所示，用规定的按压力对基体材料上的树脂层按压压模的全部区域。接着，在将按压了压模的状态的层叠体放置到成为室温后(进行了冷却处理后)，从树脂层剥离压模。由此，如该说明书的图1C中所示，将压模的凹凸图案转印到树脂层上，在压入了各凸部的部位上形成各凹部(区域)，并且由压模的各凹部部位形成各凸部，在基体材料上(树脂层)形成纳米尺寸的凹凸图案。
另一方面，在特开2003-157520号公报中公开了为了避免压模(原盘)对被转印基板的倾斜等所引起的凹凸图案的转印缺陷的发生、在压模与压力机之间和被转印基板与压力机之间的至少一方夹入了弹性体(缓冲层)的状态下进行压印处理的凹凸图案形成方法。具体地说，在该凹凸图案形成方法中，使树脂层(抗蚀剂膜)的形成面朝上，将被转印基板设置在压力机上，并且使形成了应转印的凹凸图案的凹凸图案形成面朝下，将压模设置在压力机上。此时，例如在压模与压力机(压力面)之间夹入用PET片等柔软的材料形成的弹性体。其次，通过使压模朝向被转印基板下降，将压模的凹凸图案压到被转印基板的树脂层上。此时，通过使夹入压模与压力机(压力面)之间的弹性体变形，校正压模对被转印基板的倾斜或在压模上产生的局部的变形等缺陷，在压模的全部区域对被转印基板上的树脂层大致平行的状态下进行按压。由此，将压模的凹凸图案转印到树脂层上，在被转印基板上形成凹凸图案。
【专利文献1】美国专利5772905号说明书(第3-8栏、图1)
【专利文献2】特开2003-157520号公报(第4-10页、图1-2)
但是，在现有的凹凸图案形成方法中，存在以下的问题。即，在专利文献1中公开的凹凸图案形成方法中，在凹凸图案的转印时，对压模的全部区域施加大致均匀的按压力，将凹凸图案压到树脂层上。在该情况下，在压模中的外边缘区域(外边缘部一侧的端部区域)中，由于在该区域的外侧不存在压模，由压模所施加的按压力，对树脂层的表面施加的压力较为集中。因而，在外边缘区域中，与比外边缘区域更靠近内侧的内侧区域相比，对树脂层的表面施加的压力更高。其结果，起因于在外边缘区域中对树脂层施加的过度高的压力，存在在转印到树脂层上的凹凸图案中产生变形的危险。此外，在为了避免凹凸图案的变形而在外边缘区域中使对压模施加的按压力下降以便成为必要的充分的压力时，在与外边缘区域相比对树脂层的表面施加的压力低的内侧区域中，会产生因凹凸图案对树脂层的压入量不足而导致凹凸图案转印缺陷的问题。这样，在专利文献1中公开的凹凸图案形成方法中，由于在压模中的外边缘区域与内侧区域之间在对树脂层的表面施加的压力中产生差别，存在有可能导致凹凸图案的变形或转印缺陷等这样的问题。此外，在压模和基体材料的某一个中存在中心孔的情况下，在按照专利文献1中公开的凹凸图案形成方法在树脂层上形成了凹凸图案时，不仅在上述的外边缘区域中，而且在中心孔的开口边缘区域(开口边缘部一侧的端部区域)中也产生对树脂层的表面施加的压力变高的问题。
另一方面，在专利文献2中公开的凹凸图案形成方法中，在压模与压力机之间和被转印基板(基体材料)与压力机之间的至少一方夹入了弹性体的状态下进行了压印处理。在该情况下，例如通过在压模与压力机之间夹入弹性体，如上所述，在压模对树脂层按压时使弹性体变形，可校正压模对基体材料的倾斜等。但是，在该凹凸图案形成方法中，例如在压模与压力机之间夹入弹性体的状态下进行了压印处理时，在弹性体的端部区域(外边缘区域)与压模重叠的区域中，与该区域的内侧的区域比较，对树脂层的表面施加的压力变低。其结果，在弹性体的端部区域与压模重叠的区域中发生凹凸图案对树脂层的压入量不足(产生凹凸图案的转印缺陷)的问题。
在该情况下，申请人发现了在夹入其直径大于等于压模或基体材料的直径的弹性体的状态下进行压印处理时在压模中的外边缘区域(压模的外边缘区域与弹性体重叠的区域)与比压模的外边缘区域更靠近内侧的内侧区域之间在对树脂层的表面施加的压力中产生差别的现象。具体地说，例如在压模与压力机之间夹入其直径大于等于压模或基体材料的直径的弹性体的状态下进行压印处理的情况下，在压模中的外边缘区域中与内侧区域比较，对树脂层的表面施加的压力变低。其结果，在压模的外边缘区域中凹凸图案对树脂层的压入量不足，发生产生凹凸图案的转印缺陷的问题。另一方面，在为了避免凹凸图案的转印缺陷的发生而在弹性体的端部区域与压模重叠的区域(弹性体的直径比压模的直径小的情况)或在压模的外边缘区域与弹性体重叠的区域(弹性体的直径大于等于压模的直径的情况)中提高了对压模施加的按压力以便成为必要的充分的压力时，在比这些区域更靠近内侧的区域(比弹性体的端部区域更靠近内侧的区域等)中对树脂层施加的压力过度地变高，存在转印到树脂层上的凹凸图案中产生变形的危险。此外，在压模和基体材料的某一个中存在中心孔的情况下，在按照专利文献2中公开的凹凸图案形成方法在树脂层上形成了凹凸图案时，在中心孔的开口边缘区域中与比该开口边缘区域更靠近外侧的区域比较，产生对树脂层的表面施加的压力变低的问题。这样，在专利文献2中公开的凹凸图案形成方法中，由于在压模的各部位间在对树脂层的表面施加的压力中产生差别，存在有可能导致凹凸图案的变形或转印缺陷等这样的问题。
发明内容
本发明是鉴于上述问题而提出的，其主要目的在于提供可避免凹凸图案的变形或转印缺陷等发生的压模、凹凸图案形成方法和信息记录介质制造方法。
为了达到上述目的，在与本发明有关的压模中，形成为使形成了凹凸图案的图案形成面与其背面之间的厚度在外边缘区域中随着靠近外边缘部一侧逐渐地变薄。
此外，在与本发明有关的压模中，形成为在中心部中形成有中心孔，并且使形成了凹凸图案的图案形成面与其背面之间的厚度在上述中心孔的开口边缘区域中随着靠近开口边缘部一侧逐渐地变薄。
此外，在与本发明有关的压模中，形成为在外边缘部与中心部之间的规定区域中的该外边缘部一侧的第1区域和该规定区域中的该中心部一侧的第2区域中的至少一个区域中，使形成了凹凸图案的图案形成面与其背面之间的厚度随着远离该规定区域中的径向的中央部逐渐地变薄。
此外，在与本发明有关的压模中，形成为使形成了凹凸图案的图案形成面与其背面之间的厚度在外边缘区域中随着靠近中心部一侧逐渐地变薄。
此外，在与本发明有关的压模中，形成为在中心部中形成有中心孔，并且使形成了凹凸图案的图案形成面与其背面之间的厚度在上述中心孔的开口边缘区域中随着靠近外边缘部一侧逐渐地变薄。
此外，在与本发明有关的压模中，形成为在外边缘部与中心部之间的规定区域中的该外边缘部一侧的第1区域和该规定区域中的该中心部一侧的第2区域中的至少一个区域中，使形成了凹凸图案的图案形成面与其背面之间的厚度随着靠近该规定区域中的径向的中央部逐渐地变薄。
此外，在与本发明有关的凹凸图案形成方法中，通过在基体材料上所形成的树脂层上按压上述的某一个压模，将上述凹凸图案转印到该树脂层上，在该基体材料上形成凹凸图案。
此外，在与本发明有关的信息记录介质制造方法中，使用按照上述的凹凸图案形成方法在上述基体材料上形成的凹凸图案来制造信息记录介质。
按照与本发明有关的压模和使用了该压模的凹凸图案的形成方法，通过形成为使图案形成面与其背面之间的厚度在外边缘区域(外边缘部一侧的端部区域)中在外边缘部一侧逐渐地变薄，可避免在凹凸图案形成时(压印处理时)对树脂层的表面施加的压力集中于压模的外边缘区域的问题，可至少避免外边缘区域中的凹凸图案的变形。此外，由于没有必要使对压模施加的按压力下降，故可避免内侧区域(比外边缘区域更靠近内侧的区域)中的凹凸图案的转印缺陷的发生。由此，在全部区域中能以高精度形成凹凸图案。因而，根据使用按照该凹凸图案形成方法形成的凹凸图案制造信息记录介质的信息记录介质制造方法，可提供在与压模中的外边缘区域和内侧区域这两个区域对应的部位中以高精度形成了凹凸图案的信息记录介质。
按照与本发明有关的压模和使用了该压模的凹凸图案的形成方法，通过形成为使图案形成面与其背面之间的厚度在中心孔的开口边缘区域(中心孔一侧的端部区域)中在开口边缘部一侧逐渐地变薄，可避免在凹凸图案形成时对树脂层的表面施加的压力集中于压模的开口边缘区域的问题，可避免至少在开口边缘区域中的凹凸图案的变形。此外，由于没有必要使对压模施加的按压力下降，故可避免外侧区域(比开口边缘区域更靠近外侧的区域)中的凹凸图案的转印缺陷的发生。由此，在全部区域中能以高精度形成凹凸图案。因而，根据使用按照该凹凸图案形成方法形成的凹凸图案制造信息记录介质的信息记录介质制造方法，可提供在与压模中的开口边缘区域和外侧区域这两个区域对应的部位中以高精度形成了凹凸图案的信息记录介质。
按照与本发明有关的压模和使用了该压模的凹凸图案的形成方法，形成为使图案形成面与其背面之间的厚度在规定区域中的外边缘部一侧的第1区域和规定区域中的中心部一侧的第2区域的至少一个区域中随着远离规定区域中的径向的中央部而逐渐地变薄，例如可避免在其直径比压模的直径小的基体材料上形成凹凸图案时对树脂层的表面施加的压力集中于基体材料的外边缘区域与压模重叠的区域(规定区域中的外边缘部一侧)的问题或在形成了中心孔的基体材料上使用不存在中心孔的压模(或形成了其直径比基体材料的中心孔的直径小的中心孔的压模)形成凹凸图案时对树脂层的表面施加的压力集中于基体材料的开口边缘区域与压模重叠的区域(规定区域中的中心部一侧)的问题，可避免至少在该区域中的凹凸图案的变形。此外，由于没有必要使对压模施加的按压力下降，故可避免规定区域的中央部等中的凹凸图案的转印缺陷的发生。由此，在包含规定区域的全部区域中能以高精度形成凹凸图案。因而，根据使用按照该凹凸图案形成方法形成的凹凸图案制造信息记录介质的信息记录介质制造方法，可提供在与压模的规定区域等对应的部位中以高精度形成了凹凸图案的信息记录介质。
按照与本发明有关的压模和使用了该压模的凹凸图案的形成方法，通过形成为使图案形成面与其背面之间的厚度在外边缘区域(外边缘部一侧的端部区域)中在中心部一侧逐渐地变薄，例如在凹凸图案形成时使用其直径大于等于压模的直径的弹性体的情况下，可避免对树脂层的表面施加的压力集中于压模的内侧区域(比外边缘区域更靠近内侧的区域)的问题，可避免至少在内侧区域中的凹凸图案的变形。此外，由于没有必要为了避免凹凸图案的变形而使对压模施加的按压力下降，故可避免外边缘区域中的凹凸图案的转印缺陷。再者，由于将压模构成为在外边缘区域中在外边缘部一侧厚度逐渐地变厚，故例如在凹凸图案形成时使用其直径大于等于压模的直径的弹性体的情况下，压模的厚度厚的部位(外边缘区域)中的压模的背面与压力机之间的距离缩短，结果，可充分地减小弹性体的变形量。因而，可避免对树脂层的表面施加的压力在压模的外边缘区域中下降的问题，结果，可避免在外边缘区域中的凹凸图案的转印缺陷的发生。由此，在全部区域中能以高精度形成凹凸图案。因而，根据使用按照该凹凸图案形成方法形成的凹凸图案制造信息记录介质的信息记录介质制造方法，可提供在与压模中的内侧区域和外边缘区域这两个区域对应的部位中以高精度形成了凹凸图案的信息记录介质。
按照与本发明有关的压模和使用了该压模的凹凸图案的形成方法，通过形成为使图案形成面与其背面之间的厚度在中心孔的开口边缘区域(中心孔一侧的端部区域)中在外边缘部一侧逐渐地变薄，在凹凸图案形成时例如使用弹性体的情况下，可避免对树脂层的表面施加的压力集中于压模的外侧区域(比开口边缘区域更靠近外侧的区域)的问题，可避免至少在外侧区域中的凹凸图案的变形。此外，由于没有必要使对压模施加的按压力下降，故可避免开口边缘区域中的凹凸图案的转印缺陷的发生。再者，由于将压模构成为在开口边缘区域中在开口边缘部一侧厚度逐渐地变厚，故在凹凸图案形成时使用弹性体的情况下，压模的厚度厚的部位(开口边缘区域)中的压模的背面与压力机之间的距离缩短，结果，可充分地减小弹性体的变形量。因而，可避免对树脂层的表面施加的压力在压模的开口边缘区域中下降的问题，结果，可避免在开口边缘区域中的凹凸图案的转印缺陷的发生。由此，在全部区域中能以高精度形成凹凸图案。因而，根据使用按照该凹凸图案形成方法形成的凹凸图案制造信息记录介质的信息记录介质制造方法，可提供在与压模中的开口边缘区域和外侧区域这两个区域对应的部位中以高精度形成了凹凸图案的信息记录介质。
按照与本发明有关的压模和使用了该压模的凹凸图案的形成方法，通过形成为使图案形成面与其背面之间的厚度在规定区域中的外边缘部一侧的第1区域和规定区域中的中心部一侧的第2区域的至少一个区域中随着接近于规定区域中的径向的中央部而逐渐地变薄，例如可避免在其直径比压模的直径小的基体材料上使用弹性体形成凹凸图案时对树脂层的表面施加的压力集中于比基体材料的外边缘区域与压模重叠的区域(第1区域)更靠近中心部一侧(规定区域中的中央部的周围)的问题或在形成了中心孔的基体材料上使用不存在中心孔的压模或形成了其直径比基体材料的中心孔的直径小的中心孔的压模和弹性体形成凹凸图案时对树脂层的表面施加的压力集中于比基体材料的开口边缘区域与压模重叠的区域(第2区域)更靠近外边缘部一侧(规定区域中的中央部的周围)的问题，可避免至少规定区域的中央部的周围中的凹凸图案的变形。此外，由于没有必要使对压模施加的按压力下降，故可避免基体材料的外边缘区域与压模重叠的区域(第1区域)或基体材料的开口边缘区域与压模重叠的区域(第2区域)等中的凹凸图案的转印缺陷的发生。再者，由于将压模构成为在第1区域或第2区域的至少一个区域中随着远离中央部而厚度逐渐地变厚，故在凹凸图案形成时使用弹性体的情况下，压模的厚度厚的部位(第1区域和第2区域)中的压模的背面与压力机之间的距离缩短，结果，可充分地减小弹性体的变形量。因而，可避免对树脂层的表面施加的压力在压模的第1区域和第2区域中下降的问题，结果，可避免在基体材料的外边缘区域与压模重叠的区域(第1区域)或基体材料的开口边缘区域与压模重叠的区域(第2区域)等中的凹凸图案的转印缺陷的发生。由此，在包含规定区域的全部区域中能以高精度形成凹凸图案。因而，根据使用按照该凹凸图案形成方法形成的凹凸图案制造信息记录介质的信息记录介质制造方法，可提供在与压模的规定区域等对应的部位中以高精度形成了凹凸图案的信息记录介质。
附图说明
图1是压模1的剖面图。
图2是磁盘11的剖面图。
图3是压模1中的外边缘区域Ao和开口边缘区域Ae的剖面图。
图4是形成了抗蚀剂层21并被设置在压力机31的基体材料安装部32上的状态下的中间体10和在压模安装部33上设置的状态的压模1的剖面图。
图5是将凹凸图案5压到抗蚀剂层21上的状态的压模1和中间体10的剖面图。
图6是从抗蚀剂层21剥离的状态的压模1和中间体10的剖面图。
图7是用于说明压模1A的各部分的厚度的压模1A和中间体10的示意性的剖面图。
图8是用于说明压模1B的各部分的厚度的压模1B和中间体10B的示意性的剖面图。
图9是用于说明压模1C的各部分的厚度的压模1C和中间体10B的示意性的剖面图。
图10是对使用了其厚度在全部区域中相等的现有的压模压印时的压力分布状态进行了摄像的图面代用照片。
图11是对使用了压模1B(或压模1C)压印时的压力分布状态进行了摄像的图面代用照片。
图12是用于说明压模1D的各部分的厚度的压模1D和中间体10D的示意性的剖面图。
图13是用于说明压模1E的各部分的厚度的压模1E和中间体10E的示意性的剖面图。
图14是用于说明压模1F的各部分的厚度的压模1F和中间体10E的示意性的剖面图。
图15是压模1G的剖面图。
图16是压模1G中的外边缘区域Ao和开口边缘区域Ae的剖面图。
图17是形成了抗蚀剂层21并被设置在压力机31的基体材料安装部32上的状态下的中间体10和被设置在压模安装部33上的状态下的压模1G以及弹性体35的剖面图。
图18是将凹凸图案5压到抗蚀剂层21上的状态的压模1G、弹性体35和中间体10的剖面图。
图19是从抗蚀剂层21剥离的状态的压模1G、弹性体35和中间体10的剖面图。
图20是用于说明压模1H的各部分的厚度的压模1H、弹性体35和中间体10的示意性的剖面图。
图21是用于说明压模1I的各部分的厚度的压模1I、弹性体35和中间体10B的示意性的剖面图。
图22是用于说明压模1J的各部分的厚度的压模1J、弹性体35和中间体10B的示意性的剖面图。
图23是对使用了其厚度在全部区域中相等的现有的压模和弹性体压印时的压力分布状态进行了摄像的图面代用照片。
图24是用于说明压模1K的各部分的厚度的压模1K、弹性体35和中间体10D的示意性的剖面图。
图25是用于说明压模1L的各部分的厚度的压模1L、弹性体35和中间体10E的示意性的剖面图。
图26是用于说明压模1M的各部分的厚度的压模1M、弹性体35和中间体10E的示意性的剖面图。
具体实施方式
以下参照附图说明与本发明有关的压模、凹凸图案形成方法和信息记录介质制造方法的最佳形态。
首先，参照附图说明作为与本发明有关的压模的一例的压模1的结构。
图1中表示的压模1是用于按照与本发明有关的信息记录介质制造方法制造图2中表示的磁盘11(本发明中的信息记录介质的一例)的原盘，作为整体形成为圆板状。在该情况下，磁盘11例如是能以垂直记录方式对记录数据进行记录的离散磁道型的磁记录介质(图案化介质)，如图2所示，在基体材料12上形成记录层(磁记录层)13，并且在其中心部中形成了用于插通电动机的旋转轴(未图示)的中心孔14。再有，实际上在基体材料12与记录层13之间形成了软磁性层或中间层等的各种功能层，但为了使关于本发明的理解变得容易，省略关于这些层的说明和图示。此外，对于磁盘11的记录层13来说，形成用磁性材料形成了至少突出端部一侧的多个凸部15a(磁性记录区域)和多个凹部15b(非磁性区域)，构成起到数据磁道图案或伺服图案等的功能的凹凸图案15。
另一方面，对于压模1来说，如图3中所示，利用将镍层2用作电极的电铸处理在镍层2上形成镍层3，作为整体构成为薄板状，并且如图1中所示，在其中心部Pc(中心区域Ac)形成了中心孔4。在该情况下，作为一例，压模1形成为其直径(外径)与上述的磁盘11的直径相等并且中心孔4的内径与磁盘11中的中心孔14的内径相等。此外，在压模1中的凹凸图案形成面6(该图中的下面)上形成了具有与磁盘11中的各凹部15b对应地形成的多个凸部5a和与各凸部15a对应地形成的多个凹部5b的凹凸图案5。再有，在本说明书中，如图3中所示，将与凹凸图案5中的各凹部5b的底面一致的面(在该图中用一点划线X表示的面)定为凹凸图案形成面6。在该情况下，根据该制造方法，有时各凹部5b的底面不成为同一平面，在该情况下，将包含各凹部5b中的某一个凹部5b的底面的平面定为凹凸图案形成面6。此外，如图1中所示，将压模1形成为使形成了凹凸图案5的凹凸图案形成面6与其背面7(该图中的上面)之间的厚度在外边缘区域Ao中随着靠近外边缘部Po一侧逐渐地变薄并且在开口边缘区域Ae(包含中心孔4的开口边缘部Pe的区域)中随着靠近开口边缘部Pe一侧(中心部Pc一侧)逐渐地变薄。
具体地说，如图3中所示，在压模1的外边缘区域Ao中，形成为从中心部Pc一侧朝向外边缘部Po一侧逐渐地变薄，使得其外边缘部Po一侧的厚度Too比其中心部Pc(开口边缘部Pe)一侧的厚度Toc薄。此外，在压模1的开口边缘区域Ae中，形成为从外边缘部Po一侧朝向开口边缘部Pe一侧逐渐地变薄，使得其开口边缘部PE(中心部Pc)一侧的厚度Tee比其外边缘部Po一侧的厚度Teo薄。在该情况下，在该压模1中，如图1中所示，形成为从外边缘部Po与中心部Pc之间的中央部Pm(作为一例，外边缘部Po与开口边缘部Pe之间的中央部)朝向外边缘部Po凹凸图案形成面6与背面7之间的厚度逐渐地变薄，而且，从中央部Pm朝向开口边缘部Pe厚度逐渐地变薄，形成为其厚度在中央部Pm(中央区域Am)中最厚。再有，在本说明书中参照的各图中，夸大表示了压模中的各部位的厚度差异。在该情况下，例如在上述的压模1中，作为一例，最厚的部位的厚度(在该例中，中央部Pm中的厚度)与最薄的部位的厚度(在该例中，外边缘部Po和开口边缘部Pe中的厚度)的差异约为100μm。再有，在采用如该压模1那样在外边缘区域Ao中随着靠近外边缘部Po一侧使厚度逐渐地变薄、并且在开口边缘区域Ae中随着靠近开口边缘部Pe一侧使厚度逐渐地变薄的结构的情况下，也可构成为在外边缘部Po和开口边缘部Pe中厚度互不相同。此外，也可构成为外边缘区域Ao中的厚度的变化率与开口边缘区域Ae中的厚度的变化率(即，背面7的倾斜度)互不相同。
在制造该压模1时，首先，通过例如在硅制的基体材料上进行蒸镀镍的处理以形成镍层，并且通过在已形成的镍层上旋转涂敷正型的抗蚀剂以形成抗蚀剂层。其次，对抗蚀剂层照射电子线，描绘所希望的曝光图案(在该例中，与压模1中的各凸部5a对应的图案)。接着，通过对抗蚀剂层进行显影处理，使照射电子线的部位(潜像部位)消失，由此在镍层上形成由抗蚀剂构成的凹凸图案。其次，通过将凹凸图案(抗蚀剂层)用作掩模进行刻蚀镍层的处理，在基体材料上形成由镍层构成的掩模图案。接着，通过使用基体材料上的镍层(掩模图案)进行对基体材料的刻蚀处理，在基体材料的表面上形成多个凹部(凹凸图案)。由此，完成压模制造用的原盘。其次，沿在原盘上形成的凹凸图案的凹凸形状形成镍层2(电极膜)后，通过将该镍层2用作电极进行电铸处理，形成镍层3。接着，从原盘剥离镍层2、3的层叠体(之后成为压模1的部位)。由此，将原盘的凹凸图案转印到镍层2、3上，形成凹凸图案5。
其次，利用冲切处理除去镍层2、3的层叠体中的外边缘部和中心部(中心孔4的形成部位)后，对形成了凹凸图案5的凹凸图案形成面6的背面一侧进行研磨处理，使背面7平坦化。此时，通过对各个部位适当地调整对于层叠体背面的研磨的程度，使压模1的各部位中的凹凸图案形成面6与背面7之间的厚度成为所希望的厚度。具体地说，对于与其它的部位相比应形成得较薄的部位，加长研磨处理时间、增强按压研磨材料的力、加快研磨材料对于层叠体的移动速度或层叠体对于研磨材料的移动速度和使用粒径大的研磨材料等以提高研磨的程度(与其它的部位相比，更多地研磨)。接着，通过对凹凸图案5的表面进行氟系材料的涂敷处理以形成密接力减轻膜，如图1中所示，完成压模1。
其次，参照附图说明使用压模1制造磁盘11的方法。
首先，如图4中所示，将在其表面上形成了抗蚀剂层21(本发明中的树脂层的一例)的中间体10(本发明中的基体材料的一例)设置在压力机31中的基体材料安装部32上。在该情况下，中间体10是用来制造磁盘11的，在基体材料12上形成了记录层13。其次，使凹凸图案形成面6朝下，将压模1设置在压力机31的压模安装部33上。在该情况下，作为一例，在压模安装部33上设置了用于保持压模1的电磁铁或真空夹持机构。再有，在该图和之后参照的图5、6中，夸大地图示了压模1的背面7与压模安装部33之间产生的间隙。
接着，通过使压模安装部33朝向基体材料安装部32下降，如图5中所示，将压模1的凹凸图案5压到在基体材料安装部32上放置的中间体10上的抗蚀剂层21上。此时，如上所述，在压模安装部33上安装的压模1形成为使凹凸图案形成面6与其背面7之间的厚度在外边缘区域Ao中随着靠近外边缘部Po一侧逐渐地变薄并且在开口边缘区域Ae中随着靠近开口边缘部Pe一侧逐渐地变薄。因而，在对压模1的全部区域施加了大致均等的载重时(在全部区域中施加了大致均匀的按压力时)，在压模1的厚度薄的部位中，起因于背面7与压模安装部33之间产生的间隙而难以对抗蚀剂层21的表面施加压力，结果，可避免压力集中于外边缘区域Ao或开口边缘区域Ae等的端部区域的问题。其结果，不使对压模1施加的按压力下降而避免压力集中的问题，结果，也可避免对抗蚀剂层21的表面施加的压力在外边缘区域Ao或开口边缘区域Ae以外的区域(中央部Pm等)中下降的问题。由此，在压模1的全部区域中对抗蚀剂层21的表面施加相同程度的压力，对抗蚀剂层21以相同程度压入在凹凸图案形成面6上形成的全部的凸部5a。
接着，在将压模1压到抗蚀剂层21上的状态维持了例如5分钟后，如图6中所示，通过对于基体材料安装部32使压模安装部33朝上移动，从抗蚀剂层21剥离压模1。由此，如该图中所示，将压模1中的凹凸图案5的凹凸形状转印到抗蚀剂层21上，在中间体10上形成凹凸图案25。在该情况下，在中间体10上形成的凹凸图案25中，与压模1的凹凸图案5中的各凸部5a对应地形成了各凹部25b，与凹凸图案5中的各凹部5b对应地形成了各凸部25a。根据以上所述，按照与本发明有关的凹凸图案形成方法的凹凸图案25的形成处理(压印处理)结束。
其次，例如利用氧等离子体处理除去在中间体10上的抗蚀剂层21中的凹凸图案25各凹部25b底面上残存的抗蚀剂(残渣：未图示)。接着，通过将凹凸图案25(各凸部25a)用作掩模进行对中间体10(记录层13)的刻蚀处理，在基体材料12上形成凹凸图案15。此时，与凹凸图案25中的各凸部25a对应地形成了各凸部15a，与凹凸图案25中的各凹部25b对应地形成了各凹部15b。其后，利用刻蚀处理除去在记录层13上(各凸部15a上)残留的抗蚀剂层21。由此，如图2中所示，完成磁盘11，与本发明有关的信息记录介质制造方法结束。
再有，在制造上述的磁盘11时，使用形成为从中央部Pm朝向外边缘部Po凹凸图案形成面6与背面7之间的厚度逐渐地变薄而且从中央部Pm朝向开口边缘部Pe厚度逐渐地变薄的压模1，在中间体10上形成了作为掩模图案的凹凸图案25，但压印处理时可避免对抗蚀剂层21表面施加的压力集中于外边缘区域Ao或开口边缘区域Ae等端部区域的问题的压模结构不限定于此。例如，也可构成为如图7中表示的压模1A那样在外边缘区域Ao与开口边缘区域Ae之间的区域(中央部Pm的周围)中凹凸图案形成面6与背面7之间的厚度大致均匀、在外边缘区域Ao中随着靠近外边缘部Po一侧逐渐地变薄、在开口边缘区域Ae中随着靠近开口边缘部Pe一侧逐渐地变薄。即使在采用该结构的压模1A中，也与上述的压模1同样，在压印处理时不使对压模1A施加的按压力下降，可避免对抗蚀剂层21的表面施加的压力集中于其端部区域(外边缘区域Ao以及开口边缘区域Ae)的问题，在全部区域中可均等地将凹凸图案5压入抗蚀剂层21中。再有，在该压模1A和其后说明的各压模中，对于具有与压模1相同的功能的构成要素附以同一符号，省略重复的说明。此外，由于这些压模1A～1M的制造方法与上述的压模1的制造方法是同样的，故省略其说明。
此外，使用直径与中间体10的直径相等的压模1、1A说明了形成凹凸图案25的例子，但也可使用该压模1、1A在直径比压模1、1A的直径大的基体材料(中间体)上形成凹凸图案25。在该情况下，可避免对抗蚀剂层21的表面施加的压力集中于压模1、1A中的端部区域(外边缘区域Ao以及开口边缘区域Ae)的问题，在压模1、1A的全部区域中可均等地将凹凸图案5压入抗蚀剂层21中。再者，说明了将形成了中心孔4的压模1、1A的凹凸图案5压到形成了中心孔14的中间体10上的抗蚀剂层21上的例子，但在压模中形成了中心孔4的情况下，即使在基体材料上未形成中心孔14的情况(参照图8、9中的中间体10B等)或中间体的中心孔的直径比压模的中心孔4的直径小的情况(未图示)下，与上述的压模1同样，最好构成为在该压模中的开口边缘区域Ae中随着靠近开口边缘部Pe一侧逐渐地减薄。通过采用该结构，在压印处理时不使对压模1A施加的按压力下降，可避免对抗蚀剂层21的表面施加的压力集中于压模中的开口边缘区域Ae的问题。
此外，在使用未形成中心孔4的压模在未形成中心孔14的中间体10B上形成凹凸图案25时，也可采用如图8、9中表示的压模1B、1C那样在中心区域Ac或与上述的压模1中的开口边缘区域Ae对应的区域中从中心部Pc朝向外边缘部Po厚度逐渐地变薄或厚度大致为恒定、在外边缘区域Ao中随着靠近外边缘部Po一侧厚度逐渐地变薄的结构。在该结构中，由于在压模1B、1C和中间体10B中都未形成中心孔4、14，故对抗蚀剂层21的表面施加的压力不集中于与上述的压模1中的开口边缘区域Ae对应的区域，结果，即使不采用在中心部Pc的周围使凹凸图案形成面6与背面7之间的厚度随着靠近中心部Pc一侧逐渐地变薄的结构，也可在压模1B、1C的全部区域中均等地将凹凸图案5压入抗蚀剂层21中。
在该情况下，在进行使用了形成为其凹凸图案形成面与背面之间的厚度在全部区域中大致相等的现有的压模的压印处理时，如图10中所示，对树脂层(未图示)的表面施加的压力集中于其外边缘部一侧的端部区域，越靠近外边缘部一侧越高。再有，该图和之后参照的图11、23是为了研究压印处理时各个区域的压力差异(对树脂层的表面施加的压力的分布)在压模与基体材料之间夹入了感压纸的状态下进行压印处理、其后对感压纸进行了摄像的压力分布照片，在各图中越黑的部位表示施加了越高的压力。另一方面，在进行使用了形成为至少在外边缘区域Ao中随着靠近外边缘部Po一侧厚度逐渐地变薄的上述压模1B、1C的压印处理时，如图11中所示，对树脂层(未图示)的表面施加的压力不集中于其端部区域，在全部区域中施加了大致均等的压力。这样，通过在压模的端部(外边缘部Po和开口边缘部Pe)与中间体(基体材料)重叠的端部区域中使压模的厚度朝向端部逐渐地变薄，不使对压模施加的按压力下降，在压印处理时可避免对树脂层施加的压力集中于端部区域的问题，不导致凹凸图案的变形或转印缺陷，在全部区域中能以高精度将应转印的凹凸图案5转印到抗蚀剂层21上。
另一方面，如图12中所示，在压模1D的直径(外径)比中间体10D的直径(外径)大时，在对中间体10D上的抗蚀剂层21(未图示)的压印处理时，对抗蚀剂层21的表面施加的压力集中于中间体10D的外边缘区域与压模1D重叠的区域。此外，在未形成中心孔4的该压模1D中，在对形成了中心孔14的中间体10上的抗蚀剂层21进行压印处理时，对抗蚀剂层21的表面施加的压力集中于中间体10D的开口边缘区域与压模1D重叠的区域。因而，在该图中表示的压模1D中，形成为在外边缘部Po与中心部Pc之间的中央区域Am1(本发明中的规定区域的一例)中的外边缘部Po一侧的区域Am1o(本发明中的第1区域的一例)中，随着远离中央区域Am1中的径向的中央部Pm1(在该例中，与上述的压模1中的中央部Pm相比靠近中心部Pc的规定部位)而使凹凸图案形成面6与背面7之间的厚度逐渐地变薄并且在中央区域Am1中的中心部Pc一侧的区域Am1c(本发明中的第2区域的一例)中，随着远离中央部Pm1而使凹凸图案形成面6与背面7之间的厚度逐渐地变薄。
具体地说，形成为在区域Am1o中，随着靠近在压印处理时中间体10D的外边缘部与压模1D重叠的位置Pm2，厚度逐渐地变薄，在区域Am1c中，随着靠近与中间体10D中的中心孔14的开口边缘部重叠的位置Pm3，厚度逐渐地变薄。因而，在进行使用了该压模1D的压印处理时，可避免对抗蚀剂层21的表面施加的压力集中于中间体10D的外边缘区域或中心孔14的开口边缘区域与压模1D重叠的区域的问题。其结果，对中间体10D的全部区域用大致均等的压力按压凹凸图案5，能以高精度将凹凸图案5转印到抗蚀剂层21上。再有，即使在上述的压模1D的中心部Pc中形成其内径比中间体10D的中心孔14的内径小的中心孔(未图示)的情况下，通过形成为在其中央区域Am1中的区域Am1c中随着靠近与中间体10D中的中心孔14的开口边缘部重叠的位置Pm3厚度逐渐地变薄，可避免对抗蚀剂层21的表面施加的压力集中于中间体10D的开口边缘区域的问题，在中间体10D的全部区域中能以高精度将凹凸图案5转印到抗蚀剂层21上。
在该情况下，在采用如该压模1D那样在中央区域Am1的区域Am1o、Am1c中随着远离中央部Pm1而使厚度逐渐地变薄的结构的情况下，可构成为两区域Am1o、Am1c中的厚度的变化率(即，背面7的倾斜度)互不相同。此外，也可构成为在区域Am1o中最薄的部位的厚度与在区域Am1c中最薄的部位的厚度互不相同。再者，不仅可采用如压模1D那样使中央区域Am1中的中央部Pm1周围的厚度为恒定的结构，而且也可采用在中央部Pm1的周围也随着远离中央部Pm1而使厚度逐渐地变薄的结构。
此外，在应转印凹凸图案5的中间体(基体材料)的外边缘部一侧存在即使产生凹凸图案的转印缺陷也不成为问题的区域时，可构成为不使压模中的外边缘区域Ao随着靠近外边缘部Po逐渐地变薄。具体地说，在如图13、14中表示的中间体10E那样在其外边缘部一侧存在不需要凹凸图案5的转印的非转印区域Ax的情况下，可构成为如该图中表示的压模1E、1F那样在其外边缘区域Ao中不必随着靠近外边缘部Po一侧逐渐地变薄、至少在开口边缘区域Ae中随着靠近开口边缘部Pe一侧逐渐地变薄。在这样构成的压模1E、1F中，在对中间体10E上的抗蚀剂层21的压印处理时，虽然对抗蚀剂层21的表面施加的压力集中于外边缘区域Ao，但由于在中间体10E的外边缘部中存在不需要凹凸图案5的转印的非转印区域Ax，故外边缘区域Ao中的凹凸图案的变形或转印缺陷的发生不成为问题，可避免对抗蚀剂层21的表面施加的压力集中于开口边缘区域Ae中的问题。由此，在应转印凹凸图案5的区域(比非转印区域Ax更靠近内侧的区域)中，能以高精度将凹凸图案5转印到抗蚀剂层21上。
这样，按照上述的压模1、1A～1C和使用了压模1、1A～1C的凹凸图案形成方法，通过形成为使凹凸图案形成面6与其背面7之间的厚度在外边缘区域Ao(端部区域)中随着靠近外边缘部Po一侧逐渐地变薄，可避免在压印处理时对抗蚀剂层21的表面施加的压力集中于压模的外边缘区域Ao的问题，可避免至少在外边缘区域Ao中的凹凸图案25的变形。此外，由于没有必要使对压模1、1A～1C施加的按压力下降，故可避免内侧区域(比外边缘区域Ao更靠近内侧的区域)中的凹凸图案5的转印缺陷的发生。由此，可在全部区域中以高精度形成凹凸图案25。因而，根据将按照该凹凸图案形成方法形成的凹凸图案25用作掩模图案或将凹凸位置关系与该凹凸图案25一致的凹凸图案用作掩模图案制造信息记录介质(磁盘11)的信息记录介质制造方法，可提供在与压模1、1A～1C中的外边缘区域Ao和内侧区域这两区域对应的部位中以高精度形成了凹凸图案15的磁盘11。
此外，按照上述的压模1、1A、1E、1F和使用了压模1、1A、1E、1F的凹凸图案形成方法，通过形成为使凹凸图案形成面6与其背面7之间的厚度在开口边缘区域Ae(端部区域)中随着靠近开口边缘部Pe一侧逐渐地变薄，可避免在形成凹凸图案时对抗蚀剂层21的表面施加的压力集中于压模1、1A、1E、1F的开口边缘区域Ae的问题，可避免至少在开口边缘区域Ae中的凹凸图案25的变形。此外，由于没有必要使对压模1、1A、1E、1F施加的按压力下降，故可避免外侧区域(比开口边缘区域Ae更靠近外侧的区域)中的凹凸图案5的转印缺陷的发生。由此，可在全部区域中以高精度形成凹凸图案25。因而，根据将按照该凹凸图案形成方法形成的凹凸图案25用作掩模图案或将凹凸位置关系与该凹凸图案25一致的凹凸图案用作掩模图案制造信息记录介质(磁盘11)的信息记录介质制造方法，可提供在与压模1、1A、1E、1F中的开口边缘区域Ae和外侧区域这两区域对应的部位中以高精度形成了凹凸图案15的磁盘11。
此外，按照形成为凹凸图案形成面6与其背面7之间的厚度在外边缘区域Ao中随着靠近外边缘部Po一侧逐渐地变薄并且在开口边缘区域Ae中随着靠近开口边缘部Pe一侧逐渐地变薄的压模1、1A和使用了压模1、1A的凹凸图案形成方法，在压印处理时不使对压模1、1A施加的按压力下降，就可避免对抗蚀剂层21的表面施加的压力集中于压模的外边缘区域Ao和开口边缘区域Ae这两个区域(端部区域)的问题。因而，可在其全部区域中用均匀的压力将凹凸图案5压到抗蚀剂层21上，可在全部区域中以高精度形成凹凸图案25。因而，根据将按照该凹凸图案形成方法形成的凹凸图案25用作掩模图案或将凹凸位置关系与该凹凸图案25一致的凹凸图案用作掩模图案制造信息记录介质(磁盘11)的信息记录介质制造方法，可提供在其全部区域中以高精度形成了凹凸图案15的磁盘11。
再者，按照上述的压模1D和使用了压模1D的凹凸图案形成方法，通过形成为凹凸图案形成面6与其背面7之间的厚度在本发明中的规定区域(在该例中，中央区域Am1)中的外边缘部Po一侧的区域Am1o和中心部Pc一侧的区域Am1c的至少一个区域(在该例中，双方)中随着远离中央部Pm1而逐渐地变薄，例如可避免在其直径比压模1D的直径小的中间体10D上形成凹凸图案25时对抗蚀剂层21的表面施加的压力集中于中间体10D的外边缘区域与压模1D重叠的区域(规定区域中的外边缘部一侧：在该例中，中央区域Am1中的外边缘部Po一侧)的问题或在形成了中心孔14的中间体10D上使用不存在中心孔4的压模1D形成凹凸图案25时对抗蚀剂层21的表面施加的压力集中于中间体10D的开口边缘区域与压模1D重叠的区域(规定区域中的中心部一侧：在该例中，中央区域Am1中的中心部Pc一侧)的问题，可避免至少在该区域(中央区域Am1中的外边缘部Po一侧和中心部Pc一侧)中的凹凸图案25的变形。此外，由于没有必要使对压模1D施加的按压力下降，故可避免中央区域Am1的中央部Pm1等中的凹凸图案5的转印缺陷的发生。由此，在包含中央区域Am1的全部区域中能以高精度形成凹凸图案25。因而，根据将按照该凹凸图案形成方法形成的凹凸图案25用作掩模图案或将凹凸位置关系与该凹凸图案25一致的凹凸图案用作掩模图案制造信息记录介质(磁盘11)的信息记录介质制造方法，可提供在与压模1D中的中央区域Am1等对应的部位中以高精度形成了凹凸图案15的磁盘11。
其次，参照附图说明压模1G和使用了压模1G的磁盘11的制造方法。
图15中表示的压模1G是用于按照与本发明有关的信息记录介质制造方法制造磁盘11(参照图2)的原盘，相当于本发明中的压模的另一例。在该情况下，作为一例，将压模1G形成为其直径(外径)与磁盘11的直径相等，并且形成为中心孔4的内径与磁盘11中的中心孔14的内径相等。此外，对该压模1G来说，形成为使凹凸图案形成面6与其背面7(该图中的上面)之间的厚度在外边缘区域Ao中随着靠近中心部Pc(开口边缘部Pe)一侧逐渐地变薄，并且在开口边缘区域Ae(包含中心孔4的开口边缘部Pe的区域)中随着靠近外边缘部Po一侧逐渐地变薄。
具体地说，如图16中所示，在压模1G的外边缘区域Ao中，形成为从外边缘部Po一侧朝向中心部Pc一侧逐渐地变薄，以使其中心部Pc(开口边缘部Pe)一侧的厚度Toc比其外边缘部Po一侧的厚度Too薄。此外，在压模1G的开口边缘区域Ae中，形成为从开口边缘部Pe一侧朝向外边缘部Po一侧逐渐地变薄，以使其外边缘部Po一侧的厚度Teo比其开口边缘部Pe(中心部Pc)一侧的厚度Tee薄。在该情况下，在该压模1G中，如图15中所示，形成为使凹凸图案形成面6与背面7之间的厚度从其外边缘部Po朝向外边缘部Po与中心部Pc之间的中央部Pm(作为一例，外边缘部Po与开口边缘部Pe之间的中央部)逐渐地变薄，而且从开口边缘部Pe朝向中央部Pm厚度逐渐地变薄，形成为其厚度在中央部Pm(中央区域Am)中最薄。在该情况下，在压模1G中，作为一例，最厚的部位的厚度(在该例中，外边缘部Po和开口边缘部Pe中的厚度)与最薄的部位的厚度(在该例中，中央部Pm中的厚度)的差异约为100μm。再有，在采用如该压模1G那样在外边缘区域Ao中随着靠近中心部Pc一侧使厚度逐渐地变薄、并且在开口边缘区域Ae中随着靠近外边缘部Po一侧使厚度逐渐地变薄的结构的情况下，也可构成为在外边缘部Po和开口边缘部Pe中厚度互不相同。此外，也可构成为外边缘区域Ao中的厚度的变化率与开口边缘区域Ae中的厚度的变化率(即，背面7的倾斜度)互不相同。
其次，参照附图说明使用压模1G制造磁盘11的制造方法。
首先，如图17中所示，将在其表面上形成了抗蚀剂层21的中间体10设置在压力机31中的基体材料安装部32上，并且使凹凸图案形成面6朝下，将压模1G设置在压力机31的压模安装部33上。此时，以下述方式在压模安装部33上安装压模1G，在压模安装部33的压模安装面与压模1G的背面7之间夹入硅酮橡胶、腈橡胶和乙烯橡胶(ethylene gum)等的各种橡胶材料或用聚对苯二甲酸乙二酯、聚萘二甲酸乙二酯和聚酰亚胺等的聚合物膜形成的弹性体35。在该情况下，作为一例，在压模安装部33上设置了用于保持压模1G的电磁铁等。此外，在压模安装部33与压模1G之间夹入的弹性体35，作为一例，在全部区域中均匀地形成了其厚度。再有，在该图中，图示了在压模安装部33与压模1G之间夹入的弹性体35适应于压模1G中的背面7的表面形状而变形的状态(使与压模1G的厚度厚的部位重叠的部位变薄，与压模1G的厚度薄的部位重叠的部位变厚，弹性体35的厚度在各部分中不同的状态)。此外，可采用在压模安装部33与压模1G之间夹入与压模1G的凹凸图案形成面6与背面7之间的厚度薄的部位重叠的部位厚、与凹凸图案形成面6与背面7之间的厚度厚的部位重叠的部位薄的弹性体(未图示)来代替其厚度在全部区域中均匀的弹性体35的结构。
接着，通过使压模安装部33朝向基体材料安装部32下降，如图18中所示，将压模1G的凹凸图案5压到在基体材料安装部32上放置的中间体10上的抗蚀剂层21上。此时，由于在压模安装部33与压模1G之间夹入弹性体35，故即使压模1G对于基体材料安装部32上的中间体10稍微倾斜，利用弹性体35的变形也可校正该倾斜。此外，在该压模1G中，如上所述，形成为使凹凸图案形成面6与其背面7之间的厚度在外边缘区域Ao中随着靠近中心部Pc(开口边缘部Pe)一侧逐渐地变薄、并且在开口边缘区域Ae中随着靠近外边缘部Po一侧逐渐地变薄。因而，在对压模1G的全部区域施加了大致均等的载重时(在全部区域中施加了大致均匀的按压力时)，在压模1G的厚度薄的部位(外边缘区域Ao与开口边缘区域Ae之间的区域)中，因背面7与压模安装部33之间的距离长，可使弹性体35充分地变形。其结果，在压模1G的厚度薄的部位中，由于难以对抗蚀剂层21的表面施加压力，故不使对压模1施加的按压力下降，就可避免对抗蚀剂层21的表面施加的压力集中于外边缘区域Ao与开口边缘区域Ae之间的区域(中央区域Am的周围等)的问题。
此外，在该压模1G中，形成为在外边缘区域Ao中随着靠近外边缘部Po一侧厚度逐渐地变厚、并且在开口边缘区域Ae中随着靠近开口边缘部Pe一侧厚度逐渐地变厚。因而，在对压模1G的全部区域施加了大致均等的载重时(在全部区域中施加了大致均匀的按压力时)，在压模1G的厚度厚的部位(外边缘区域Ao和开口边缘区域Ae)中，因背面7与压模安装部33之间的距离缩短，结果，弹性体35的变形量充分地减小。其结果，可避免对抗蚀剂层21的表面施加的压力在压模1G的外边缘区域Ao和开口边缘区域Ae中下降的问题。因而，由于在压模1G的全部区域中对抗蚀剂层21的表面施加相同程度的压力，故对抗蚀剂层21以相同的程度压入在凹凸图案形成面6上形成的全部的凸部5a。
接着，在将压模1G压到抗蚀剂层21上的状态维持例如5分钟后，如图19中所示，通过对于基体材料安装部32使压模安装部33朝上移动，从抗蚀剂层21剥离压模1G。由此，如该图中所示，将压模1G中的凹凸图案5的凹凸形状转印到抗蚀剂层21上，在中间体10上形成凹凸图案25。在该情况下，在中间体10上形成的凹凸图案25中，与压模1G的凹凸图案5中的各凸部5a对应地形成了各凹部25b，与凹凸图案5中的各凹部5b对应地形成了各凸部25a。根据以上所述，按照与本发明有关的凹凸图案形成方法的凹凸图案25的形成处理(压印处理)结束。
其次，例如利用氧等离子体处理除去在中间体10上的抗蚀剂层21中的凹凸图案25各凹部25b底面上残存的抗蚀剂(残渣)。接着，通过将凹凸图案25(各凸部25a)用作掩模进行对中间体10(记录层13)的刻蚀处理，在基体材料12上形成凹凸图案15。此时，与凹凸图案25中的各凸部25a对应地形成了各凸部15a，与凹凸图案25中的各凹部25b对应地形成了各凹部15b。其后，利用刻蚀处理除去在记录层13上(各凸部15a上)残留的抗蚀剂层21。由此，如图2中所示，完成磁盘11，与本发明有关的信息记录介质制造方法结束。
再有，在制造上述的磁盘11时，在压模1G与压模安装部33之间夹入了弹性体35的状态下进行了压印处理，但本发明中的凹凸图案形成方法不限定于此，也可不在压模1G与压模安装部33之间夹入弹性体35，通过在中间体10与基体材料安装部32之间夹入了弹性体35的状态下进行压印处理，在抗蚀剂层21上形成凹凸图案25。即使是按照该形成方法形成凹凸图案25的情况，通过使用上述的压模1G，可避免对抗蚀剂层21的表面施加的压力在外边缘区域Ao或开口边缘区域Ae中下降的问题或集中于外边缘区域Ao与开口边缘区域Ae之间的区域(中央区域Am的周围)的问题。同样，即使是在压模1G与压模安装部33之间和在中间体10与基体材料安装部32之间这两者夹入了弹性体35的状态下进行压印处理的情况，通过使用上述的压模1G，可避免对抗蚀剂层21的表面施加的压力在外边缘区域Ao或开口边缘区域Ae中下降的问题或集中于外边缘区域Ao与开口边缘区域Ae之间的区域(中央区域Am等)的问题。
此外，使用形成为从外边缘部Po朝向中央部Pm使凹凸图案形成面6与背面7之间的厚度逐渐地变薄、而且从开口边缘部Pe朝向中央部Pm使厚度逐渐地变薄的压模1G在中间体10上形成了作为掩模图案的凹凸图案25，但可避免在基体材料安装部32和本发明中的基体材料之间和压模安装部33和与本发明有关的压模之间的至少一方夹入了弹性体35的状态下进行压印处理时对抗蚀剂层21表面施加的压力在外边缘区域Ao和开口边缘区域Ae中下降的问题或集中于外边缘区域Ao与开口边缘区域Ae之间的区域的问题的压模的结构不限定于此。例如，也可构成为如图20中表示的压模1H那样，在外边缘区域Ao与开口边缘区域Ae之间的区域(中央部Pm的周围)中凹凸图案形成面6与背面7之间的厚度大致均匀、在外边缘区域Ao中随着靠近中心部Pc(开口边缘部Pe)一侧逐渐地变薄、在开口边缘区域Ae中随着靠近外边缘部Po一侧逐渐地变薄。即使在采用该结构的压模1H中，也与上述的压模1G同样，在压印处理时不使对压模1G施加的按压力下降，可避免对抗蚀剂层21的表面施加的压力集中于其外边缘区域Ao与开口边缘区域Ae之间的区域(除端部区域外的区域)的问题，在全部区域中可均等地将凹凸图案5压入抗蚀剂层21中。
此外，说明了使用直径与中间体10的直径相等的压模1G、1H形成凹凸图案25的例子，但也可使用该压模1G、1H在直径比压模1G、1H的直径大的基体材料(中间体)上形成凹凸图案25。在该情况下，可避免对抗蚀剂层21的表面施加的压力集中于压模1G、1H中的外边缘区域Ao与开口边缘区域Ae之间的区域(除端部区域外的区域)的问题，在全部区域中可均等地将凹凸图案5压入抗蚀剂层21中。再者，说明了将形成了中心孔4的压模1G、1H的凹凸图案5压到形成了中心孔14的中间体10上的抗蚀剂层21上的例子，但是在压模中形成了中心孔4且在压印处理时在压模与压模安装部33之间和基体材料与基体材料安装部32之间的某一个中夹入了弹性体35的情况下，即使在基体材料上未形成中心孔14的情况(参照图21、22中的中间体10B等)或基体材料的中心孔的直径比压模的中心孔4的直径小的情况(未图示)下，与上述的压模1G同样，最好构成为在该压模中的开口边缘区域Ae中随着靠近外边缘部Po一侧逐渐地减薄。通过采用该结构，在压印处理时不使对压模施加的按压力下降，可避免对抗蚀剂层21的表面施加的压力集中于比该开口边缘区域Ae中的开口边缘部Pe更靠近外侧的外侧区域的问题。
此外，在使用未形成中心孔4的压模在未形成中心孔14的中间体10B上形成凹凸图案25时，也可采用如图21、22中表示的压模1I、1J那样在外边缘区域Ao中随着靠近中心部Pc一侧厚度逐渐地变薄、在中心区域Ac或与上述的压模1G中的开口边缘区域Ae对应的区域中朝向中心部Pc厚度逐渐地变薄或厚度大致为恒定的结构。在该结构中，由于在压模1I、1J和中间体10B中都未形成中心孔4、14，故对抗蚀剂层21的表面施加的压力不集中于比与上述的压模1G中的开口边缘区域Ae对应的区域更靠近外侧的外侧区域，结果，即使不采用在与开口边缘区域Ae对应的区域中使凹凸图案形成面6与背面7之间的厚度随着靠近外边缘部Po一侧逐渐地变薄的结构，也可在压模1I、1J的全部区域中均等地将凹凸图案5压入抗蚀剂层21中。
在该情况下，在使用了形成为使其凹凸图案形成面与背面之间的厚度在全部区域中大致相等的现有的压模、并且例如在压力机与压模之间夹入了弹性体的状态下进行的压印处理时，如图23中所示，对树脂层的表面施加的压力集中于其内侧区域(比外边缘区域更靠近内侧的区域)而变高。另一方面，在使用了形成为至少在外边缘区域Ao中随着靠近中心部Pc一侧厚度逐渐地变薄的上述的压模1I、1J的压印处理时，如图11中所示，对树脂层的表面施加的压力不集中于某一个区域，在全部区域中施加了大致均等的压力。这样，通过构成为在压模的端部(外边缘部Po和开口边缘部Pe)与中间体(基体材料)重叠的端部区域中使压模的厚度朝向离开端部的方向逐渐地变薄，在夹入了弹性体35的状态下的压印处理时，不使对压模施加的按压力下降，就可避免对树脂层的表面施加的压力集中于端部区域以外的区域(中央区域Am等)的问题，在全部区域中能以高精度将应转印的凹凸图案5转印到抗蚀剂层21上。
另一方面，如图24中所示，在压模1K的直径(外径)比中间体10D的直径(外径)大时，在对中间体10D上的抗蚀剂层21(未图示)的压印处理时，对抗蚀剂层21的表面施加的压力集中于比中间体10D的外边缘区域更靠近内侧的区域与压模1K重叠的区域。此外，在未形成中心孔4的该压模1K中，在对形成了中心孔14的中间体10上的抗蚀剂层21的压印处理时，对抗蚀剂层21的表面施加的压力集中于比中间体10D的开口边缘区域更靠近外侧的区域与压模1K重叠的区域。因而，在该图中表示的压模1K中，形成为在外边缘部Po与中心部Pc之间的中央区域Am1中的外边缘部Po一侧的区域Am1o(本发明中的第1区域的一例)中，随着接近于中央区域Am1中的径向的中央部Pm1(在该例中，与上述的压模1G中的中央部Pm相比靠近于中心部Pc的规定部位)而使凹凸图案形成面6与背面7之间的厚度逐渐地变薄，并且在中央区域Am1中的中心部Pc一侧的区域Am1c(本发明中的第2区域的一例)中，随着接近于中央部Pm1而使凹凸图案形成面6与背面7之间的厚度逐渐地变薄。
具体地说，形成为在区域Am1o中，从在压印处理时中间体10D的外边缘部与压模1K重叠的位置Pm2朝向中央区域Am1中的径向的中央部Pm1厚度逐渐地变薄，在区域Am1c中，从中心孔14的开口边缘部与压模1K重叠的位置Pm3朝向中央部Pm1厚度逐渐地变薄。因而，在使用了该压模1K的压印处理时，即使在压模1K与压模安装部33之间夹入了弹性体35的状态下，也不导致对抗蚀剂层21的表面施加的压力集中于中间体10D的外边缘区域与中心孔14的开口边缘区域之间的环状的区域(中央区域Am1的中央部Pm1等)与压模1K重叠的区域的问题，对中间体10D的全部区域用大致均等的压力按压凹凸图案5，能以高精度将凹凸图案5转印到抗蚀剂层21上。再有，即使在上述的压模1K的中心部Pc中形成其内径比中间体10D的中心孔14的内径小的中心孔(未图示)的情况下，通过形成为在其中央区域Am1中的区域Am1c中从中间体10D中的中心孔14的开口边缘部与压模1K重叠的位置Pm3朝向中央部Pm1厚度逐渐地变薄，可避免对抗蚀剂层21的表面施加的压力集中于比中间体10D的开口边缘区域更靠近外侧的区域与压模1K重叠的区域的问题，在中间体10D的全部区域中能以高精度将凹凸图案5转印到抗蚀剂层21上。
在该情况下，在采用如该压模1K那样在中央区域Am1的区域Am1o、Am1c中随着接近于中央部Pm1厚度逐渐地变薄的结构的情况下，可构成为两区域Am1o、Am1c中的厚度的变化率(即，背面7的倾斜度)互不相同。此外，也可构成为在区域Am1o中最厚的部位的厚度与在区域Am1c中最厚的部位的厚度互不相同。再者，不仅可采用如压模1K那样使中央区域Am1中的中央部Pm1周围的厚度为恒定的结构，而且也可采用在中央部Pm1的周围也随着接近于中央部Pm1而使厚度逐渐地变薄的结构。
此外，说明了在压模安装部33与压模1K之间夹入其直径与压模1K的直径相等的弹性体35的例子，但也可采用例如在压模安装部33与压模1K之间夹入其直径与中间体10D的直径相等的弹性体(直径比压模的直径小的弹性体的一例：未图示)的状态下进行压印处理的方法。即使在采用了该方法的情况下，通过使用构成为在中央区域Am1的区域Am1o中随着靠近外边缘部Po一侧厚度逐渐地变厚的压模1K，在对压模1K的全部区域施加了大致均等的载重时，在压模1K的厚度厚的部位(区域Am1o的外边缘部Po一侧：即、弹性体的外边缘部一侧的端部区域)中背面7与压模安装部33之间的距离缩短，结果，弹性体的变形量充分地减小。其结果，可避免对抗蚀剂层21的表面施加的压力在弹性体的端部区域(压模1K中的区域Am1o)中下降的问题。
再者，也可采用在压模安装部33与压模1K之间夹入在其中心部形成了其内径与中间体10D的中心孔14的内径相等的中心孔的弹性体(未图示)的状态下进行压印处理的方法。即使在采用了该方法的情况下，通过使用构成为在中央区域Am1的区域Am1c中随着靠近中心部Pc一侧厚度逐渐地变厚的压模1K，在对压模1K的全部区域施加了大致均等的载重时，在压模1K的厚度厚的部位(区域Am1c的中心部Pc一侧：即、弹性体的开口边缘部一侧的端部区域)中背面7与压模安装部33之间的距离缩短，结果，弹性体的变形量充分地减小。其结果，可避免对抗蚀剂层21的表面施加的压力在弹性体的端部区域(压模1K中的区域Am1c)中下降的问题。
此外，在应转印凹凸图案5的中间体(基体材料)的外边缘部一侧存在即使产生凹凸图案的转印缺陷也不成为问题的区域时，可构成为不使压模中的外边缘区域Ao朝向中心部Pc逐渐地变薄。具体地说，在如图25、26中表示的中间体10E那样在其外边缘部一侧存在不需要凹凸图案5的转印的非转印区域Ax的情况下，可构成为如该图中表示的压模1L、1M那样在其外边缘区域Ao中不随着靠近中心部Pc(开口边缘部Pe)一侧而逐渐地变薄、至少在开口边缘区域Ae中随着靠近外边缘部Po一侧逐渐地变薄。在这样构成的压模1L、1M中，在对中间体10E上的抗蚀剂层21的压印处理时在压模1K与压模安装部33之间夹入了弹性体35的状态下，虽然在外边缘区域Ao中对抗蚀剂层21的表面施加的压力下降，但由于在中间体10E的外边缘部中存在不需要凹凸图案5的转印的非转印区域Ax，故外边缘区域Ao中的凹凸图案的转印缺陷的发生不成为问题，可避免在开口边缘区域Ae中对抗蚀剂层21的表面施加的压力下降的问题。由此，在应转印凹凸图案5的区域(比非转印区域Ax更靠近内侧的区域)中，能以高精度将凹凸图案5转印到抗蚀剂层21上。
这样，按照上述的压模1G～1J和使用了压模1G～1J的凹凸图案形成方法，通过形成为使凹凸图案形成面6与其背面7之间的厚度在外边缘区域Ao(端部区域)中随着靠近中心部Pc一侧逐渐地变薄，在压印处理时例如使用其直径大于等于压模1G～1J的直径的弹性体35的情况下，可避免对抗蚀剂层21的表面施加的压力集中于压模1G～1J的内侧区域(比外边缘区域Ao更靠近内侧的区域)的问题，可避免至少在内侧区域中的凹凸图案25的变形。此外，由于没有必要为了避免凹凸图案25的变形而使对压模1G～1J施加的按压力下降，故可避免外边缘区域Ao中的凹凸图案5的转印缺陷的发生。再者，由于将压模1G～1J构成为在外边缘区域Ao中随着靠近外边缘部Po一侧厚度逐渐地变厚，故在凹凸图案25形成时例如使用其直径大于等于压模1G～1J的直径的弹性体的情况下，在压模1G～1J的厚度厚的部位(外边缘区域Ao)中背面7与压模安装部33之间的距离缩短，结果，可使弹性体35的变形量充分地减小。因而，可避免对抗蚀剂层21的表面施加的压力在压模1G～1J的外边缘区域Ao中下降的问题，结果，可避免外边缘区域Ao中的凹凸图案25的转印缺陷的发生。由此，可在全部区域中以高精度形成凹凸图案25。因而，根据将按照该凹凸图案形成方法形成的凹凸图案25用作掩模图案或将凹凸位置关系与该凹凸图案25一致的凹凸图案用作掩模图案制造信息记录介质(磁盘11)的信息记录介质制造方法，可提供在与压模1G～1J中的内侧区域和外边缘区域Ao这两区域对应的部位中以高精度形成了凹凸图案15的磁盘11。
此外，按照上述的压模1G、1H、1L、1M和使用了压模1G、1H、1L、1M的凹凸图案形成方法，通过形成为凹凸图案形成面6与其背面7之间的厚度在中心孔4的开口边缘区域Ae(端部区域)中随着靠近外边缘部Po一侧逐渐地变薄，即使是在压印处理时例如使用弹性体35的情况，也可避免对抗蚀剂层21的表面施加的压力集中于压模1G～1J的外侧区域(比开口边缘部Pe更靠近外侧的区域)的问题，可避免至少在外侧区域中的凹凸图案25的变形。此外，由于没有必要使对压模1G、1H、1L、1M施加的按压力下降，故可避免开口边缘区域Ae中的凹凸图案5的转印缺陷的发生。再者，由于将压模1G、1H、1L、1M构成为在开口边缘区域Ae中随着靠近开口边缘部Pe一侧厚度逐渐地变厚，故在凹凸图案25形成时使用弹性体35的情况下，在压模1G、1H、1L、1M的厚度厚的部位(开口边缘区域Ae)中背面7与压模安装部33之间的距离缩短，结果，可使弹性体35的变形量充分地减小。因而，可避免对抗蚀剂层21的表面施加的压力在压模1G、1H、1L、1M的开口边缘区域Ae中下降的问题，结果，可避免开口边缘区域Ae中的凹凸图案5的转印缺陷的发生。由此，可在全部区域中以高精度形成凹凸图案25。因而，根据将按照该凹凸图案形成方法形成的凹凸图案25用作掩模图案或将凹凸位置关系与该凹凸图案25一致的凹凸图案用作掩模图案制造信息记录介质(磁盘11)的信息记录介质制造方法，可提供在与压模1G、1H、1L、1M中的开口边缘区域Ae和外侧区域这两区域对应的部位中以高精度形成了凹凸图案15的磁盘11。
此外，按照形成为凹凸图案形成面6与其背面7之间的厚度在外边缘区域Ao中随着靠近中心部Pc(开口边缘部Pe)一侧逐渐地变薄、并且在开口边缘区域Ae中随着靠近外边缘部Po一侧逐渐地变薄的压模1G、1H和使用了压模1G、1H的凹凸图案形成方法，即使在压印处理时夹入弹性体35的情况下，不使对压模1G、1H施加的按压力下降，就可避免对抗蚀剂层21的表面施加的压力集中于压模1G、1H中的外边缘区域Ao与开口边缘区域Ae之间的环状的区域(中央区域Am等)的问题。因而，可在其全部区域中用均匀的压力将凹凸图案5压到抗蚀剂层21上，可在全部区域中以高精度形成凹凸图案25。此外，根据将按照该凹凸图案形成方法形成的凹凸图案25用作掩模图案或将凹凸位置关系与该凹凸图案25一致的凹凸图案用作掩模图案制造信息记录介质(磁盘11)的信息记录介质制造方法，可提供在该全部区域中以高精度形成了凹凸图案15的磁盘11。
再者，按照上述的压模1K和使用了压模1K的凹凸图案形成方法，通过形成为凹凸图案形成面6与其背面7之间的厚度在本发明中的规定区域(在该例中，中央区域Am1)中的外边缘部Po一侧的第1区域(区域Am1o)和规定区域中的中心部Pc一侧的第2区域(区域Am1c)的至少一个区域(在该例中，双方)中随着接近于规定区域的径向中的中央部而逐渐地变薄，例如可避免在其直径比压模1K的直径小的中间体10D上使用弹性体35形成凹凸图案25时对抗蚀剂层21的表面施加的压力集中于比中间体10D的外边缘区域与压模1K重叠的区域(区域Am1o)更靠近中心部一侧(中央部Pm1的周围)的问题或在形成了中心孔14的中间体10D上使用不存在中心孔4的压模1K(或形成了其直径比中间体10D的中心孔14的直径小的中心孔4的压模1K)和弹性体35形成凹凸图案25时对抗蚀剂层21的表面施加的压力集中于比中间体10D的开口边缘区域与压模1K重叠的区域(区域Am1c)更靠近外边缘部一侧(中央部Pm1的周围)的问题，可避免至少在中央区域Am1中的中央部Pm1的周围使凹凸图案25变形的问题。此外，由于没有必要使对压模1K施加的按压力下降，故可避免中间体10D的外边缘区域与压模1K重叠的区域(区域Am1o)或中间体10D的开口边缘区域与压模1K重叠的区域(区域Am1c)等中的凹凸图案5的转印缺陷的发生。
再者，由于将压模1K构成为在第1区域和第2区域(区域Am1o、区域Am1c)中随着远离中央部Pm1而厚度逐渐地变厚，故在凹凸图案25形成时使用弹性体35的情况下，在压模1K的厚度厚的部位(区域Am1o、区域Am1c)中背面7与压模安装部33之间的距离缩短，结果，可使弹性体35的变形量充分地减小。因而，可避免对抗蚀剂层21的表面施加的压力在压模1K的第1区域和第2区域(区域Am1o、区域Am1c)中下降的问题，结果，可避免中间体10D的外边缘区域与压模1K重叠的区域(区域Am1o)或中间体10D的开口边缘区域与压模1K重叠的区域(区域Am1c)等中的凹凸图案5的转印缺陷的发生。由此，可在包含中央区域Am1的全部区域中以高精度形成凹凸图案25。因而，根据将按照该凹凸图案形成方法形成的凹凸图案25用作掩模图案或将凹凸位置关系与该凹凸图案25一致的凹凸图案用作掩模图案制造信息记录介质(磁盘11)的信息记录介质制造方法，可提供在与压模1K中的中央区域Am1等对应的部位中以高精度形成了凹凸图案15的磁盘11。
再有，本发明不限定于上述的本发明的结构和方法。例如，在使用了压模1、1A～1F的压印处理时，说明了在各压模1、1A～1F与压模安装部33之间和中间体与基体材料安装部32之间不夹入弹性体35按压凹凸图案5的方法，但即使在压模安装部33与压模之间和基体材料安装部32与本发明中的基体材料(上述的中间体)之间的至少一方夹入了弹性体35的状态下的压印处理时，也可使用上述的压模1、1A～1F。此时，通过使用构成为朝向对抗蚀剂层21表面施加的压力集中的部位使其厚度逐渐地变薄的压模(压模1、1A～1F中的某一个)，不使对压模施加的按压力下降，就可避免对抗蚀剂层21的表面施加的压力集中于某一个区域而变高的问题，在该压模的全部区域中不导致变形，能以高精度形成凹凸图案25。
此外，在使用了压模1G～1M的压印处理时，说明了在各压模1G～1M与压模安装部33之间夹入了弹性体35的状态下按压凹凸图案5的方法，但即使在压模安装部33与压模之间和基体材料安装部32与本发明中的基体材料(上述的中间体)之间这双方不夹入弹性体35的状态下的压印处理时，也可使用上述的压模1G～1M。此时，通过使用构成为朝向各凸部5a的压入量不足的部位使其厚度逐渐地变厚的压模(压模1G～1M中的某一个)，不提高对压模施加的按压力，可避免对抗蚀剂层21的表面施加的压力在某一个区域下降的问题，在该压模的全部区域中不导致凹凸图案5的转印缺陷，能以高精度形成凹凸图案25。
此外，说明了使用镍作为压模1～1M的材质的例子，但本发明的压模不限定于此，可用树脂等的其它的材质制造压模。

Claims (6)

1.一种压模，其特征在于：
在中心部中形成有中心孔，并且
形成为，使形成了凹凸图案的图案形成面与其背面之间的厚度在外边缘区域中随着靠近外边缘部一侧逐渐地变薄，而且在上述中心孔的开口边缘区域中随着靠近开口边缘部一侧逐渐地变薄。
2.一种压模，其特征在于：
形成为，在外边缘部与中心部之间的中央区域中的该外边缘部一侧的第1区域和该中央区域中的该中心部一侧的第2区域这两个区域中，使形成了凹凸图案的图案形成面与其背面之间的厚度随着远离该中央区域中的径向的中央部逐渐地变薄。
3.一种压模，其特征在于：
在中心部中形成有中心孔，并且
形成为，使形成了凹凸图案的图案形成面与其背面之间的厚度在外边缘区域中随着靠近中心部一侧逐渐地变薄，而且在上述中心孔的开口边缘区域中随着靠近外边缘部一侧逐渐地变薄。
4.一种压模，其特征在于：
形成为，在外边缘部与中心部之间的中央区域中的该外边缘部一侧的第1区域和该中央区域中的该中心部一侧的第2区域这两个区域中，使形成了凹凸图案的图案形成面与其背面之间的厚度随着靠近该中央区域中的径向的中央部逐渐地变薄。
5.一种凹凸图案形成方法，其特征在于：
通过在基体材料上所形成的树脂层上按压在权利要求1至4的任一项中所述的压模，将上述凹凸图案转印到该树脂层上，在该基体材料上形成凹凸图案。
6.一种信息记录介质制造方法，其特征在于：
使用按照权利要求5所述的凹凸图案形成方法在上述基体材料上形成的凹凸图案来制造信息记录介质。
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