JP4058425B2 - スタンパー、インプリント方法および情報記録媒体製造方法 - Google Patents
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Description
2 プレス機
10 中間体
11 ディスク状基材
12 磁性層
13 金属層
14 樹脂層
20 スタンパー
35〜38 凹凸パターン
35a,35a1〜35a3,36a1〜36a3 凸部
35b,36b1〜36b3 凹部
40 情報記録媒体
L,L1〜L3 距離
T,T1〜T3 厚み
W,W1〜W3 横幅
X 基準面
Claims (4)
- 横幅が相違する複数種類の凸部が表面から突出して凹凸パターンが形成されて、
前記凹凸パターンは、前記横幅が狭い前記凸部よりも当該横幅が広い前記凸部の方が前記表面から裏面までの間に規定した基準面と当該凸部の先端との間の距離が長くなるように当該各凸部が形成されているインプリント用のスタンパー。 - 前記凹凸パターンは、前記横幅が150nm以下の前記凸部を少なくとも1つ有し、かつ当該横幅の最大値と最小値との比が4倍以上となるように形成されている請求項1記載のスタンパー。
- 基材の表面に樹脂材料を塗布して形成した樹脂層に請求項1または2記載のスタンパーにおける前記凹凸パターンを押し付けるスタンパー押付け処理と、前記樹脂層から前記スタンパーを剥離するスタンパー剥離処理とをこの順で実行して、前記凹凸パターンの凹凸形状を前記樹脂層に転写するインプリント方法。
- 請求項3記載のインプリント方法によって前記樹脂層に転写した凹凸パターンを用いて情報記録媒体を製造する情報記録媒体製造方法。
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