JP4612514B2 - 磁気記録媒体用スタンパ、それを用いた磁気記録媒体の製造方法、および磁気記録媒体用スタンパの製造方法 - Google Patents
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- アドレス部、プリアンブル部、およびバースト部を含むサーボ領域と、記録トラック部を含むデータ領域からなるディスクリートトラックレコーディング型磁気記録媒体を作製するための、400nm以下のピッチで形成されている凹凸パターンを具備する磁気記録媒体用スタンパであって、前記アドレス部、プリアンブル部、バースト部および記録トラック部に対応する凹部の高さの大小関係が、前記アドレス部、プリアンブル部、バースト部および記録トラック部の凸部に対する凹部の面積比率の大小関係と逆転しており、前記アドレス部、プリアンブル部、バースト部および記録トラック部の凸部の突端部が面一になるように形成されていることを特徴とする磁気記録媒体用スタンパ。
- 前記サーボ領域はアドレス部、プリアンブル部、およびABCDバースト部を含み、前記アドレス部および前記プリアンブル部に対応する凹部の高さは前記記録トラック部に対応する凹部よりも5〜15nm大きく、前記記録トラック部に対応する凹部の高さは前記ABCDバースト部に対応する凹部よりも5〜15nm大きいことを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体用スタンパ。
- 前記サーボ領域はアドレス部、プリアンブル部、および位相差バースト部を含み、前記アドレス部、前記プリアンブル部および位相差バースト部に対応する凹部の高さは前記記録トラック部に対応する凹部よりも5〜15nm大きいことを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体用スタンパ。
- 基板上に磁性記録膜を成膜し、
前記磁性記録膜上にレジスト層を形成し、
請求項1に記載のスタンパを用い、インプリント法により、前記レジスト上にサーボ領域とデータ領域に対応する凹凸パターンを形成し、
前記形成したパターンに従ってエッチングすることで前記磁性記録膜を加工し、前記磁性記録膜に凹凸パターンを形成する
ことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 - 基板上にレジストを形成し、
アドレス部、プリアンブル部、バースト部および記録トラック部にそれぞれ対応する凹凸パターンであって、各々の凹部が対応する前記アドレス部、前記プリアンブル部、前記バースト部および前記記録トラック部の断面積を有し、かつ全ての凹部の高さが等しい凹凸パターンを具備する親スタンパを用いて、前記親スタンパの凹部全体がレジストで充填される飽和圧力の25%より高く、75%より低い圧力でインプリントして前記レジストに凹凸パターンを形成し、
前記パターンを形成したレジスト上に導電膜を形成し、
前記導電膜を電極として電解めっき処理を行い電鋳膜を前記導電膜上に形成し、
前記電鋳膜から前記凹凸が形成されたレジストを剥離する
ことを含む請求項1に記載の磁気記録媒体用スタンパの製造方法。
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