JP2010225223A - ガラススタンパの製造方法、ガラススタンパ、および磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板上にダイヤモンド膜を成膜し、ダイヤモンド膜上にレジストを塗布し、電子線描画および現像を行ってパターンを形成し、前記レジストのパターンをマスクとして、酸素またはArガスで前記ダイヤモンド膜をエッチングしてパターンを転写し、前記レジストおよび基板を除去してダイヤモンドモールドを作製し、前記ダイヤモンドモールドを用いてガラス成形を行ってガラススタンパを製造することを特徴とするガラススタンパの製造方法。
【選択図】図3
Description
図1に、ディスクリートトラック媒体(DTR媒体)1の周方向に沿う平面図を示す。図1に示すように、媒体1の周方向に沿って、サーボ領域10と、データ領域20が交互に形成されている。サーボ領域10には、プリアンブル部11、アドレス部12、バースト部13が含まれる。データ領域20には互いに分断されたディスクリートトラック21が含まれる。
UV硬化レジスト(2P剤)は紫外線硬化性を持つ材料であり、モノマー、オリゴマー、重合開始剤を含み、溶媒を含まない組成物からなる。
ビスフェノールA・エチレンオキサイド変性ジアクリレート(BPEDA)
ジペンタエリスリトールヘキサ(ペンタ)アクリレート(DPEHA)
ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート(DPEHPA)
ジプロピレングリコールジアクリレート(DPGDA)
エトキシレイテッドトリメチロールプロパントリアクリレート(ETMPTA)
グリセリンプロポキシトリアクリレート(GPTA)
4−ヒドロキシブチルアクリレート(HBA)
1,6−ヘキサンジオールジアクリレート(HDDA)
2−ヒドロキシエチルアクリレート(HEA)
2−ヒドロキシプロピルアクリレート(HPA)
イソボルニルアクリレート(IBOA)
ポリエチレングリコールジアクリレート(PEDA)
ペンタエリスリトールトリアクリレート(PETA)
テトラヒドロフルフリルアクリレート(THFA)
トリメチロールプロパントリアクリレート(TMPTA)
トリプロピレングリコールジアクリレート(TPGDA)
・メタクリレート類
テトラエチレングリコールジメタクリルレート(4EDMA)
アルキルメタクリレート(AKMA)
アリルメタクリレート(AMA)
1,3−ブチレングリコールジメタクリレート(BDMA)
n−ブチルメタクリレート(BMA)
ベンジルメタクリレート(BZMA)
シクロヘキシルメタクリレート(CHMA)
ジエチレングリコールジメタクリレート(DEGDMA)
2−エチルヘキシルメタクリレート(EHMA)
グリシジルメタクリレート(GMA)
1,6−ヘキサンジオールジメタクリレート(HDDMA)
2−ヒドロキシエチルメタクリレート(2−HEMA)
イソボルニルメタクリレート(IBMA)
ラウリルメタクリレート(LMA)
フェノキシエチルメタクリレート(PEMA)
t−ブチルメタクリレート(TBMA)
テトラヒドロフルフリルメタクリレート(THFMA)
トリメチロールプロパントリメタクリレート(TMPMA)
特に、イソボルニルアクリレート(IBOA)、トリプロピレングリコールジアクリレート(TPGDA)、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート(HDDA)、ジプロピレングリコールジアクリレート(DPGDA)、ネオペンチルグリコールジアクリレート(NPDA)、エトキシ化イソシアヌル酸トリアクリレート(TITA)などは粘度を10cP以下にすることができるため良好である。
表面保護膜は、垂直磁気記録層の腐食を防ぐとともに、磁気ヘッドが媒体に接触したときに媒体表面の損傷を防ぐ目的で設けられる。表面保護膜の材料としては、例えばカーボン(C)、SiO2、ZrO2を含むものがあげられる。カーボンはsp2結合炭素(グラファイト)とsp3結合炭素(ダイヤモンド)に分類できる。耐久性、耐食性はsp3結合炭素のほうが優れているが、結晶質であることから表面平滑性はグラファイトに劣る。通常、カーボンの成膜はグラファイトターゲットを用いたスパッタリング法で形成される。この方法では、sp2結合炭素とsp3結合炭素が混在したアモルファスカーボンが形成される。sp3結合炭素の割合が大きいものはダイヤモンドライクカーボン(DLC)と呼ばれ、耐久性、耐食性に優れ、アモルファスであることから表面平滑性にも優れている。CVD(Chemical vapor Deposition)によるDLCの成膜では、原料ガスをプラズマ中で励起して分解し、化学反応によってDLCを生成させるため、条件を適切に設定することによって、よりsp3結合炭素に富んだDLCを形成することができる。
RIE(反応性イオンエッチング)により、レジストの凹部の底に残存している残渣を除去する。プラズマソースは、低圧で高密度プラズマを生成可能なICP(Inductively Coupled Plasma)が好適であるが、ECR(Electron Cyclotron Resonance)プラズマや、一般的な並行平板型RIE装置を用いてもよい。UV硬化レジスト(2P剤)の残渣除去には酸素ガスを用いるのが好ましい。
記録再生ヘッドの浮上性を考慮すると凹凸の深さを10nm以下にすることが好ましいが、信号出力を確保するために磁気記録層の膜厚が15nm程度必要となる。そこで、磁気記録層の膜厚15nmのうち、10nmを物理的に除去し、残りの5nmを磁気的に失活させるようにすれば、記録ヘッドの浮上性を確保しつつサイドイレースおよびサイドリードを抑制できるので、DTR媒体およびBPMを製造できる。厚さ5nmの磁気記録層を磁気的に失活させる方法として、HeやN2イオンを曝露する方法が用いられる。Heイオンを曝露した場合、曝露時間に従ってヒステリシスループの角形を維持したままHc(保磁力)が減少し、やがてヒステリシスがなくなる(磁性失活)。この場合、Heガスの曝露時間が不十分であると、角形のよい(Hn(反転核形成磁界)がある)ヒステリシスが保持される。しかし、このことは、凹部底部の磁性層に記録能力があることを意味し、DTR媒体またはBPMの利点が失われる。一方、N2イオンを曝露した場合、曝露時間に従ってヒステリシスループの角形が劣化して、やがてヒステリシスがなくなる。この場合、Hnは急激に劣化するが、Hcが減少しにくい。しかし、N2ガス曝露時間が不十分であると、凹部底部にHcの大きい磁性層が残ることになり、DTR媒体またはBPMの利点が失われる。そこで、Heガスによる磁性失活とN2ガスによる磁性失活の挙動が異なることに着目し、He+N2混合ガスを用いることにより、磁気記録層をエッチングしながら効率的に凹部底部の磁気記録層の磁性を失活することができる。
磁気記録層の磁性を失活させた後、カーボン保護膜を剥離する。カーボン保護膜は、酸素プラズマ処理を行うことで容易に剥離できる。
最後にカーボンからなる表面保護膜を形成する。表面保護膜は、凹凸へのカバレッジをよくするためにCVDで成膜することが望ましいが、スパッタ法または真空蒸着法でもよい。CVD法によれば、sp3結合炭素を多く含むDLCが形成される。表面保護膜の膜厚が2nm未満だとカバレッジが悪くなり、10nmを超えるとヘッドと媒体との磁気スペーシングが大きくなってSNRが低下するので好ましくない。表面保護膜上に潤滑剤を塗布する。潤滑剤としては、たとえばパーフルオロポリエーテル、フッ化アルコール、フッ素化カルボン酸などを用いることができる。
図3に示した方法でガラススタンパを製造した。6インチのSi基板上にCVDにより厚さ500μmのダイヤモンド膜を成膜した。ダイヤモンド膜の表面をAFM(原子間力顕微鏡)で観察し、表面粗さRaを測定したところ0.65nmであった。ダイヤモンド膜32上に厚さ40nmのEBレジストをスピンコートした。EB描画装置を用いて図1に示したようなDTR媒体のパターンを描画し、現像してEBレジストに凹凸パターンを形成した。EBレジストのパターンをエッチングマスクとし、酸素RIEによりダイヤモンド膜の一部をエッチングして、ダイヤモンド膜にパターンを転写した。フッ酸を用いてSi基板および残留しているEBレジストを除去してダイヤモンドモールドを作製した。得られたダイヤモンドモールドのパターンは、凸幅50nm、凹幅25nm、トラックピッチ75nm、LER0.70nm、表面粗さRa0.65nmであった。
実施例1と同様の方法でガラススタンパを製造した。その後、ガラススタンパをフッ酸に30分浸漬してスリミングを行った。得られたガラススタンパのパターンは、凸幅15nm、凹幅60nm、トラックピッチ75nm、LER0.70nm、表面粗さRa0.65nmであった。本実施例のガラススタンパは、スリミングによって実施例1のガラススタンパよりも凸幅を10nm細くでき、しかも実施例1のガラススタンパと同じLERおよび表面粗さRaを維持できる。
実施例1と同様の方法でガラススタンパを製造した。LERおよびRaが種々の値であるダイヤモンドモールドを用いてガラス成形によりパターンサイズ(凸幅)が15nmであるDTRパターンを有するガラススタンパを製造した。20回のガラス成形を行い、ガラススタンパの歩留まりを調べた。その結果を表1に示す。
実施例2と同様の方法でガラススタンパを製造した。得られたガラススタンパのパターンは、凸幅15nm、凹幅60nm、トラックピッチ75nm、LER0.70nm、表面粗さRa0.65nmであった。このガラススタンパを用いて図9に示した方法でDTR媒体を作製した。金属層54としてCuを用いた。得られたDTR媒体のパターンは、ランド幅57nm、グルーブ幅18nm、トラックピッチ75nm、凹部の深さ10nmであった。作製したDTR媒体にカーボンからなる表面保護膜を成膜し、潤滑剤を塗付し、ハードディスクドライブに組み込んでグライド試験を行った。その結果、8nm浮上ヘッドによるグライド試験に合格した。
EB描画装置を用いて図2に示したようなビットパターンドメディア(BPM)に対応するパターンを描画した以外は実施例1と同様にしてガラススタンパを製造した。このガラススタンパを用いて実施例4と同様の方法でBPMを作製した。作製したBPMのビットサイズは57nm×20nmであった。
Claims (6)
- 基板上にダイヤモンド膜を成膜し、
ダイヤモンド膜上にレジストを塗布し、電子線描画および現像を行ってパターンを形成し、
前記レジストのパターンをマスクとして、酸素またはArガスで前記ダイヤモンド膜をエッチングしてパターンを転写し、
前記レジストおよび基板を除去してダイヤモンドモールドを作製し、
前記ダイヤモンドモールドを用いてガラス成形を行ってガラススタンパを製造する
ことを特徴とするガラススタンパの製造方法。 - 製造された前記ガラススタンパをさらにスリミングすることを特徴とする請求項1に記載のガラススタンパの製造方法。
- 請求項1記載の方法で製造されたガラススタンパ。
- 表面粗さが1nm以下、ラインエッジラフネスが1nm以下であるパターンが形成されていることを特徴とする請求項3に記載のガラススタンパ。
- 磁気記録層の上にカーボン保護膜および金属膜を成膜し、
前記金属膜上にUV硬化レジストを塗布し、
請求項1に記載の方法で製造したガラススタンパを用いてUVインプリントを行って前記UV硬化レジストにパターンを転写し、
前記UV硬化レジストのパターンをマスクとして、前記金属膜および前記カーボン保護膜をエッチングして前記磁気記録層を露出させ、
露出した前記磁気記録層の磁性をHe−N2ガスを用いて失活させながらエッチングして前記磁気記録層に凹部を形成する
ことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 - 前記金属膜が、NiTa、Ta、Pt、Al、Ti、Si、CoPt、Cuおよびこれらの窒化物からなる群より選択される材料を含むことを特徴とする請求項5に記載の磁気記録媒体の製造方法。
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