CN100359658C - 检查安装电子器件的薄膜载带的设备和方法 - Google Patents

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Abstract

本发明的目的是提供一种检查安装电子器件的薄膜载带的设备和方法，精确地使用在横向的多条中具备多个电子器件安装部位的安装电子器件的薄膜载带，并且可以一次性地检查多个安装部位，从而大大地提高检查效率。而且，在检查后，安装电子器件的薄膜载带可分成单个的条，和它们可以各自绕卷在绕卷卷轴上而没有绕卷偏离。从退卷装置中退卷的在多条中安装电子器件的薄膜载带，通过切割装置分成各自的安装电子器件的薄膜载带，使得它们在相互平行中运动和在检查区同时检查，然后，它们分别地在附加在绕卷装置中同一绕卷轴的多个绕卷卷轴上绕卷。

Description

检查安装电子器件的薄膜载带的设备和方法
技术领域
本申请发明涉及一种检查安装电子器件的薄膜载带的设备和方法，在安装电子器件的薄膜载带(包括TAB(带式自动焊接)带、T-BGA(带式球栅阵列)带、CSP(芯片尺寸封装)带、ASIC(专用集成电路)带、COF(薄膜芯片)带、2金属(双面布线)带和多层布线带等)(它们将在下文被称作“安装电子器件的薄膜载带”)发货前最后检查外观引线的缺陷，然后，通过例如穿孔等方法标识缺陷产品的缺陷。
背景技术
随着电子工业的发展，对于安装电子器件如IC(集成电路)或LSI(大规模集成电路)的印刷电路板的需求迅速增长，而且需要在尺寸和重量上有所降低，在电子设备的功能上有所提高。作为满足这些要求的安装电子器件的方法，近来采用了一种用薄膜型载带如TAB带、T-BGA带和ASIC带的安装方法。特别是，在使用需要提高精密度、减小厚度和降低液晶屏的结构面积的液晶显示器(LCD)的电子工业，如在个人电脑中，其重要性增大。
在这样的安装电子器件的薄膜载带中，对其质量进行检验。一般地，执行一种利用人的目视检查的检查方法(透射光检查或反射光检查)并通过穿孔、涂墨、干燥墨等显示缺陷产品的缺陷，作为断路、短路、凹痕(即布线引线宽度的减小部分)、突起及其进一步的图案缺陷、电镀缺陷、带形状的变形，阻焊缺陷等缺陷的各种质量检查的结果。
由于这个原因，传统地提出一种检查设备，其中，在一条中安装电子器件的薄膜载带在横向上具有一个或多个电子器件的安装部位，该薄膜载带绕出退卷装置。而且，在传统的检查设备中，在检查区使用了预先确定的检查，且该带通过卷绕装置卷绕(例如，见专利文件1-5)。
更具体地，如图13所示，在传统的检查设备100中，在一条内安装电子器件的薄膜载带102，在横向具有一个或多个电子器件的安装部位，该薄膜载带102绕在退卷卷轴104上。退卷卷轴104附加在退卷装置106的退卷轴108上，以便安装电子器件的薄膜载带102从退卷装置106上绕开。
从在退卷装置106上绕开的安装电子器件的薄膜载带102，在检查区110作目视检查。然后，如果存在缺陷部位，通过缺陷标识设备112标识缺陷，例如穿孔。
目视检查和缺陷标识步骤完成之后，安装电子器件的薄膜载带102绕在绕卷卷轴118上，绕卷卷轴118附加在绕卷装置114的绕卷轴116上。
[专利文件1]  日本专利公开号2001-35891
[专利文件2]  日本专利公开号2000-227401
[专利文件3]  日本专利公开号2000-182061
[专利文件4]  日本专利公开号10-256278
[专利文件5]  日本专利公开号9-92692
在此方法中，在一条里安装电子器件的薄膜载带102从退卷装置106上绕开，在检查区110中的执行预定的检查，薄膜载带102通过绕卷装置114绕卷，但是，在检查区110中对每一条进行检查。
结果，每一次可被检测安装电子器件的薄膜载带102是绕在一个绕卷卷轴上的薄膜载带。因此，在现有的批量生产的情况下，检查效率仍然是非常不够的。
而且，在制造安装电子器件的薄膜载带的方法中，为了增加生产率，最近已经生产了在横向多条中具有多个电子器件的安装部位的安装电子器件的薄膜载带(所谓的“多重绕卷(multiple take-up)”)。
当这种在多条中安装电子器件的薄膜载带被检查时，通过切割装置执行切割步骤，将该薄膜载带预先分成在条中安装电子器件的单独的薄膜载带，并对如此切割的薄膜载带的每一条进行检查。
更具体地，扭曲产生在多条中安装电子器件的薄膜载带的横向上。由于这个原因，不能执行精确的检查。而且，当在目视检查后对多条中安装电子器件的薄膜载带进行切割时，有必要对内部导线弯曲、裂纹、异物等再进行一次检查。而由于用户设备的限制，在检查前执行切割步骤时，对分割的薄膜载带的每一条进行检查。
发明内容
考虑到存在的情况，本发明目的提供了一种检查安装电子器件的薄膜载带的设备和方法，其中，该薄膜载带在横向多条中具有多个电子器件的安装部位，且被切割成各条并可以被一次性地检查，因此可以大大地提高检查效率。而且，在检查后，在各条中安装电子器件的薄膜载带可以卷在各自的绕卷卷轴上而没有绕卷偏离。
为了解决传统技术，并获得上面所描述的目的，本发明提供了一种检查安装电子器件的薄膜载带的设备，其中，在横向的多条中具备了多个的电子器件安装的部位，包括：
一个退卷装置，用于对多条中的安装电子器件的薄膜载带退卷，其中，预先被切割和分离到各自的条中的各自的安装电子器件的薄膜载带分别地卷在退卷卷轴上；
一个检查区，用于同时地检查分成条的安装电子器件的薄膜载带，同时使它们相互平行地运动；和
一个绕卷装置，用于同时地绕卷在检查区被检查的分成条的安装电子器件的薄膜载带在分别平行地附加在同一绕卷轴的多个绕卷卷轴之上。
而且，本发明提供了一种检查安装电子器件的薄膜载带的方法，其中，在横向具备多个电子器件的安装部位，该方法的步骤包括：
从退卷装置上退卷多条中安装电子器件的薄膜载带，其中预先被切割和分离到各自的条中的各自的安装电子器件的薄膜载带分别地卷在退卷卷轴上；
在检查区同时检查分成条的安装电子器件的薄膜载带，同时使它们在相互平行中运动；和
同时地绕卷在检查区被检查的分成条的安装电子器件的薄膜载带在分别平行地附加在同一绕卷轴的多个绕卷卷轴之上。
通过这个结构，预先分成各自条的安装电子器件的薄膜载带分别地从退卷装置的退卷卷轴上退卷，薄膜载带相互平行的运动，并在各自的条的切割状态下，没有相互引起位置偏离地通过检查区。
因此，平行地运动的多条的安装电子器件的薄膜载带，在检查区每次可以同时地、准确地接受为光学检查(一个发射光检查和一个反射光检查)的目视检查。作为断开，短路，凹痕(即布线引线宽度的减小部分)，突出部分等缺陷的各种质量检查的结果，缺陷标识可通过穿孔、上墨、干墨等在缺陷产品上执行。
因此，安装电子器件的薄膜载带，在横向的多条中具备了多个的电子器件安装的部位，每次可以准确地使用和检查。因此，检查效率和检查精度大大地提高了。
此外，相互地分开在条中的各自的安装电子器件的薄膜载带，在检查后，不会相互引起位置的偏离，和在卷轴上各自的安装电子器件的薄膜载带绕卷时没有绕卷偏离。
特别地，根据本发明，检查过程可以连续地、精确地大量进行操作，其过程效率可以大大地提高。而且，该过程可以由一个操作员完成，以便降低成本。
而且，本发明提供了一种安装电子器件的薄膜载带的检查设备，其中，在横向的多条中具备多个的电子器件安装的部位，设备包括：
一个退卷装置，用于对在绕卷在退卷卷轴上的多条中安装电子器件的薄膜载带退卷；
一个分割装置，用于分割从退卷卷轴上退卷的多条中安装电子器件的薄膜载带，成为各自的在条中安装电子器件的薄膜载带；
一个检查区，用于使通过分割装置分成条的安装电子器件的薄膜载带相互平行地运动和同时地检查它们；和
一个绕卷装置，用于同时地绕卷在检查区被检查的分成条的安装电子器件的薄膜载带到分别平行地附加在同一绕卷轴的多个绕卷卷轴之上。
而且，本发明提供了一种检查安装电子器件的薄膜载带的方法，其中，在横向具备多个电子器件的安装部位，步骤包括：
从退卷装置上退卷被绕卷在退卷卷轴上的多条中安装电子器件的薄膜载带；
通过分割装置，分割从退卷卷轴上退卷的多条中安装电子器件的薄膜载带，成为各自的在条中安装电子器件的薄膜载带；
使被分割装置分成条的安装电子器件的薄膜载带相互平行地运动和同时地检查它们；和
同时地绕卷在检查区被检查的分成条的安装电子器件的薄膜载带在分别平行地附加在同一绕卷轴的多个绕卷卷轴之上。
通过这种结构，安装电子器件的薄膜载带，在横向的多条中具备多个的电子器件安装的部位，安装电子器件的薄膜载带没有切割和分离地被使用和从退卷装置中退卷，并通过分割装置的方式将它们分成各自的在条中安装电子器件的薄膜载带。
因此通过切割获得的各自的在条中安装电子器件的薄膜载带相互平行地运动，并没有相互引起位置的偏离地通过检查区。
因此，平行地运动的多条的安装电子器件的薄膜载带，在检查区每次可以同时地、准确地提供为光学检查(一个发射光检查和一个反射光检查)的目视检查。作为断开，短路，凹痕(即布线引线宽度的减小部分)，突出部分和类似的缺陷的各种质量检查的结果，缺陷标识可通过穿孔、上墨、干墨等在缺陷产品上执行。
因此，在横向的多条中具备多个的电子器件安装部位的安装电子器件的薄膜载带，每次可以在正是这种多条的状态下使用和检查。因此，检查效率和检查精度大大地提高了。
此外，相互地分开各自的在条中安装电子器件的薄膜载带而不相互引起位置的偏离，和在检查后绕卷各自的薄膜载带在各自的绕卷卷轴上而没有绕卷偏离是可能的。
特别地，根据本发明，检查过程可以连续地、精确地大量进行操作，其处理效率可以大大地提高。而且，该过程可以由一个操作员完成，以便降低成本。
根据本发明，在这些情况下，被切割为条和在检查区被检查的安装电子器件的薄膜载带也可以同时绕卷在分别平行地附加在卷绕装置的各自的绕卷轴的多个绕卷卷轴之上。
因此，带可以分别地绕在各自的绕卷轴的卷轴上。结果，带可以分别地传递到下一步骤，非常方便。
此外，本发明的特征在于检查区包括一个导向机构，可使分成条的安装电子器件的薄膜载带，相互平行地运动。
导向机构包括：
在两端的一个导向部分，用于引导在最外侧薄膜载带的两端边部分；和
一个邻近部件导向部分，在两端的边导向部分之间凸出，用于引导分成条的薄膜载带的邻近边部分。
通过这种结构，分成条的安装电子器件的薄膜载带两端的所有邻近边部分及边部分，通过在导向机构中的边导向部分及邻近部件导向部分支撑和引导。
在检查区，因此，平行运动的安装电子器件的薄膜载带在横向没有弯曲，也就是，不会分别伸缩。因此，检查位置是平的和稳定的。结果，对于需要在对内部导向弯曲、裂纹等具有高精度的质量检查中，可以高精度准确地执行质量检查，而没有放大镜片的焦点偏离等。
而且，本发明的特征在于传送从退卷装置中绕开和通过分割装置分成条的安装电子器件的薄膜载带的驱动齿轮，同时使它们相互平行地运动，
驱动齿轮包括：
一个两端齿轮，与在最外侧的薄膜载带两端的边部分上的齿孔相配合；和
一个中间齿轮，在两端齿轮之间与在分成条的薄膜载带的邻近边部分上的齿孔相配合。
通过这种结构，所有在分成条的安装电子器件的薄膜载带两端的邻近边部分和两端边部分上的齿孔与在驱动齿轮中的两端齿轮及中间齿轮相配合，且以相同的速度同时地传送。
在检查区，因此，平行运动的安装电子器件的薄膜载带的位置没有相互偏离。因此，每次可同时地对多个安装电子器件的薄膜载带进行高精度的准确的质量检查。
此外，本发明的特征在于一个导向辊，
导向辊包括：
在两端的一个边导向凸出部分，用于引导最外侧薄膜载带的两端边部分；和
一个邻近部件导向凸出部分，在两端的边导向凸出部分之间以分离和引导分成条的薄膜载带邻近边部分。
通过这种结构，分成条的安装电子器件的薄膜载带的邻近边部分，通过导向辊中的邻近部件导向凸出部分在相互分离的状态下引导。
在输送中，因此，可以阻止安装电子器件的薄膜载带的邻边部分的相互接触、磨损和破坏。因此，可以提高质量，可以阻止由绕卷所引起的绕卷偏离等。
而且，本发明的特征在于多个绕卷卷轴，绕卷卷轴平行地附加在绕卷装置的同一绕卷轴上，通过可拆卸的接合杆装置的方式安装在卷轴中心的附近的通孔中。
通过这种结构，平行地附加在同一绕卷轴的绕卷卷轴，通过接合杆装置插入卷轴的中心附近的孔中。
因此，绕卷卷轴在绕卷时没有相互偏离，从而以同样的绕卷方式，以相同的速度绕卷。因此，在不产生绕卷偏离的情况下同时得到在同样的绕卷形式下的安装电子器件的薄膜载带是可能的。
而且，本发明的特征在于通过空气轴构成绕卷装置的同一绕卷轴，该空气轴具有接收空气供给扩张以增加直径的能力，和
多个绕卷卷轴平行地附加在绕卷轴上，因而相互安装。
通过这一结构，空气供给给构成绕卷轴的空气轴。因此，该轴可扩张和在直径上增加，以便相互平行地附加在绕卷装置的同一绕卷轴的多个绕卷卷轴相互安装。
因此，绕卷卷轴在绕卷时没有偏离，以便以同样的绕卷方式，以相同的速度绕卷。因此，同时得到在同样的绕卷形式下不产生绕卷偏离的安装电子器件的薄膜载带是可能的。
此外，在这种情况下，通过调节空气的补给和释放及空气压力，可以控制绕卷卷轴的附加、去除和固定、固定力和绕卷的不均匀性。因此，非常方便，而不需要复杂的工作。
而且，本发明的特征在于检查区包括一个用于放大安装电子器件的薄膜载带的放大镜片装置，为了执行检查。
放大镜片装置包括一个用于在整个的宽度方向放大分成条的和相互平行运动的安装电子器件的薄膜载带的放大镜片。
通过这样的结构，安装电子器件的薄膜载带可通过放大镜片在整个的宽度方向放大。因此，每次可对多个安装电子器件的薄膜载带进行高精度的准确的质量检查。
此外，本发明的特征在于放大镜片装置具有长度放大比1.4或以上的放大率。
更具体地，如果放大镜片装置的放大倍数在这个范围内，安装电子器件的薄膜载带缺陷可以充分地被检测出来。
而且，本发明的特征在于在退卷装置和检查区之间各自的松紧调节辊分别提供给切割成条的安装电子器件的薄膜载带。
更进一步地，本发明的特征在于在绕卷装置和检查区之间的分别提供给切割成条的安装电子器件的薄膜载带的分开的松紧调节辊。
分别在退卷装置和检查区之间及绕卷装置和检查区之间，分开的松紧调节辊提供给切割成条的安装电子器件的薄膜载带。因此，通过这些松紧调节辊，可以分别调节安装电子器件的薄膜载带的松开量，因而顺利地执行退卷和绕卷。
而且，本发明的特征在于在退卷装置和检查区之间同一个的松紧调节辊提供给切割成条的安装电子器件的薄膜载带。
更进一步地，本发明的特征在于在绕卷装置和检查区之间同一个的松紧调节辊提供给切割成条的安装电子器件的薄膜载带。
通过这样的结构，可以调节安装电子器件的薄膜载带的放松量，从而简单地通过控制在位于退卷装置和检查区之间及绕卷装置和检查区之间的同一个松紧调节辊顺利地执行退卷和绕卷。
而且，本发明的特征在于松开控制装置，该松开控制装置用于检测松紧调节辊的位置，以控制安装电子器件的薄膜载带的松开量。
因此，可以调节安装电子器件的薄膜载带的松开量，因而顺利地执行退卷和绕卷。
而且，本发明的特征在于松开控制装置包括一个导向机构，使用松紧调节辊引导，各自地改变在每条中安装电子器件的薄膜载带的导向路径。
因此，当分成条的安装电子器件的薄膜载带，通过同一个松紧调节辊退卷和绕卷时，例如，它们对于条退卷和绕卷，且由于退卷和绕卷的速度微小的差异，松紧调节辊倾斜，因此，松开量不能顺利地控制，从而安装电子器件的薄膜载带相互接触并因此磨损和损坏。但是，通过使用导向部件各自地改变每条中的导向路径，可以使松开量相等。因此，这种情形可以有效地被阻止。
附图说明
图1是按照本发明的实施例的安装电子器件的薄膜载带检查设备的前视图；
图2是说明按照本发明的检查安装电子器件的薄膜载带的方法的示意图；
图3是用于按照本发明的检查安装电子器件的薄膜载带的设备中的安装电子器件的薄膜载带的顶视图；
图4是在检查区的导向构件的透视图；
图5是图4中沿A-A的剖视图；
图6是驱动齿轮的剖视图；
图7是反张力辊子的剖视图；
图8是绕卷装置的卷轴部分的前视图；
图9是图8中沿B-B的剖视图；
图10是空气轴的剖视图；
图11是与图1的实施例方式相同的本发明的另一个实施例的检查安装电子器件的薄膜载带的设备的前视图；
图12是解释与图2的实施例方式相同的按照本发明的检查安装电子器件的薄膜载带的方法的示意图；及
图13是说明根据传统的技术的检查安装电子器件的薄膜载带的前视图。
具体实施方式
下面将参照附图对本发明的优选实施例进行说明。
图1是按照本发明的实施例的安装电子器件的薄膜载带检查设备的前视图；图2是说明按照本发明的检查安装电子器件的薄膜载带的方法的示意图；图3是用于按照本发明的检查安装电子器件的薄膜载带的设备中的安装电子器件的薄膜载带的顶视图；图4是在检查区的导向构件的透视图；图5是图4中沿A-A的剖视图；图6是驱动齿轮的剖视图；图7是反张力辊子的剖视图；图8是绕卷装置的卷轴部分的前视图；图9是图8中沿B-B的剖视图；图10是空气轴的剖视图；
如图1所示，10整个地表示根据本发明的检查安装电子器件的薄膜载带的设备(下文称作“检查设备”)。
如图1所示，在检查设备10中，安装电子器件的薄膜载带上，例如TAB，CSP或BGA，即已经完全经过其生产过程的安装电子器件的薄膜载带T(下文称作“薄膜载带”)通过一个隔离片S绕卷在卷轴R1上起来，卷轴R1连在退卷装置12的退卷驱动轴14上。
通过驱动电动机的驱动操作，退卷驱动轴14旋转，以便薄膜载带T从卷轴R1连同隔离片S放出，并通过导向辊16和18提供给检查区20。
薄膜载带T是一种安装电子器件的薄膜载带，其中在横向多条中具有多个电子器件的安装部位G(被称作所谓的“多绕卷”)，如图3所示。
在本实施例中，为了描述方便，所示一个安装电子器件的薄膜载带，其中两个电子器件安装部位G1和G2提供在薄膜载带T的横向两条中。例如，可以在两条中(48毫米×2)使用具有宽度48毫米的薄膜载带，在两条中(35毫米×2)使用具有宽度35毫米的薄膜载带等。
为了检查薄膜载带要检查的部分，该部分通过在检查区中的显微镜和放大镜片50进行放大，在同样的视野内，如下所述，在多条中薄膜载带的总宽度必须是160毫米或以下，优选130毫米或以下，更优选110毫米或以下。
如图1所示，退卷装置12在垂直方向具备三个位置传感器22。当被切割和分成每条的薄膜载带T(T1，T2)松开部分的低端T′，被低位置传感器探测到时，退卷装置12的驱动电动机的驱动操作停止，以阻止安装电子器件的薄膜载带过分地松开而破坏与其接触的底面。
而当薄膜载带T(T1，T2)的松开部分的低端T′被高位置传感器22检测，退卷装置12的驱动电动机的驱动操作启动，为安装电子器件的薄膜载带维持恒定的松开度。
在图1中，24代表松紧调节辊，用于通过其静重维持薄膜载带T(T1，T2)的恒定的张力。
因此，薄膜载带T，从退卷装置12松开和传递，通过切割装置26切割成各自在成条的薄膜载带。切割装置26包括一个切割刀片，薄膜载带T被切割成条和分成各自的薄膜载带T1和T2，如图2所示。
通过切割装置26切割和分开薄膜载带T成条获得的薄膜载带T1和T2，分别通过导向辊16和18。
通过导向辊16和18的薄膜载带T1和T2，提供给检查区20。
提供给检查区20的薄膜载带T，通过后张力棍30和驱动齿轮32传递。
在经过张力棍30和驱动齿轮32之间的一个部件时，驱动齿轮32的驱动操作临时停止。结果，薄膜载带T的供应停止，检查的部分在检查区20的预定位置上停止，即，检查位置P。
在这种情况下，薄膜载带T(T1，T2)通过后张力棍30的倒转准确地位于预定位置，以与例如薄膜载带T(T1，T2)的齿孔相配合并在薄膜载带T(T1，T2)的齿孔的基础上定位。
更具体地，驱动齿轮32的驱动操作通过图1所示的控制装置15，临时地被停止，以便停止薄膜载带T(T1，T2)的供应。
在这种情况下，驱动齿轮32的旋转通过控制由脉冲电动机的转动得到的内在的脉冲进行，该脉冲电动机是用于驱动驱动齿轮32的驱动机械。
或者不控制通过用于驱动驱动齿轮32的驱动机械的脉冲电动机得到的内在的脉冲来控制薄膜载带的运送的停止，驱动齿轮32的旋转控制也可以通过放射光例如激光束的光的放射装置和图象接收传感器的方式，通过薄膜载带T(T1，T2)的齿孔检测薄膜载带T(T1，T2)的纵向位置执行。
停止位置以这样一种方式设置，被检测的薄膜载带T(T1，T2)的一个电子器件安装部位G位于检查区20中的导向机构34的预定位置，也就是检查位置P。
如图4和图5所示，导向机构34使切割成条的薄膜载带T1和T2相互平行地运动。
导向机构34包括在两端的导向部分38和40，具有几乎是U型的剖面，它们从底板36的两端向上凸出，它们用于引导在最外侧薄膜载带T的双端边部分T3和T4。
边导向部分38和40分别提供了阶梯部分38a和40a，最外侧薄膜载带T的双端边部分T3和T4沿着阶梯部分38a和40a被引导。
而且，邻近部件导向部分42，它从底板36的两端向上凸出，和具有一个平坦的上表面，提供在双端的边导向部分38和40之间，以便引导分成条的薄膜载带T的邻近边部分T5和T6。
此外，分离凸出部分42a提供在邻近部件导向部分42的上面的部分，以便防止薄膜载带T的邻近边部分T5和T6在相互接触时被磨损和破坏。没有特别地限制分离凸出部分42a的宽度，但考虑到分开效果，合适地设为约3毫米。
因此，空腔44和46在边导向部分38和40及邻近部件导向部分42之间形成，以这种方式，可以阻止薄膜载带T(T1，T2)在运送中磨擦等。
通过这种结构，分成条的薄膜载带T1和T2的邻近边部分T5和T6及两端的边部分，通过边导向部分38和40及邻近部件导向部分42支撑和引导。
在检查区20，平行运动的薄膜载带T1和T2在横向没有卷曲，也就是，各自地卷曲。因此，检查位置P，即放大镜片的焦点位置等保持恒定，如下所描述的。结果，质量检查需要在弯曲、裂纹和内部导向等图案缺陷方面具有非常高的精度，质量检查可以以高精度准确地执行，而没有放大镜片的焦点偏离等。
在本实施例中，由于在两条中使用薄膜载带T1和T2，提供了一个中间邻近部件导向部分42。邻近部件导向部分42的数量和之间间隔，根据薄膜载带的条数进行正确地调整。
而且，薄膜载带T1和T2的所有邻近边部分T5和T6应该通过导向机构34同微小细缝的方法引导和传递，以便在相互接触时不被磨损和破坏。
如图1所示，检查区20装备了一个放大镜片装置，以通过人眼进行目视检查断开，短路，凹痕(即布线引线宽度的减小部分)，发射和电镀缺陷，及带的变形，阻焊剂缺陷等，例如，通过使用例如一个反射光或发射光，在具有35μm或以上，优选40μm或以上的布线图线距的薄膜载带的配线部分中。
放大镜片装置应该由具有多个镜片结合的显微镜48和具有一个镜片的放大镜片50组成。
在这种情况下，检查区20应该装备放大镜片50，用于执行在显微镜4这一侧的目视检查。
在这种情况下，放大镜片装置应该具有在长度放大比率为1.4或以上、1.4至6.0，优选1.5-3.5，更优选1.8-3.0的放大倍率。
更具体地，当放大镜片装置放大倍率小于1.4乘方时，缺陷产品不能充分地检测出来，如果放大镜片装置放大倍率大于6乘方时，图案超过视野。
具体地，放大倍率应该为1.5至2.5乘方。在立体显微镜具有多个镜片的情况下，放大倍率应该为2至6乘方。如下所描述的，在一些情况下，似乎有缺陷的产品的图案在详细地检查时，放大倍率要提高到大约20乘方，从而执行检查。
更具体地，通过使用放大镜片装置，用于检查薄膜载带的方法，
①放大倍率设定为2至6乘方，例如，在这种方式下，多个图象可同时看现；
②原则上，不用改变放大倍率可执行检查。当图案似乎有缺陷时可被发现和详细地检查出来；
③在使用放大镜片50的情况下，以放大倍率为大约20乘方，其位置被移动来执行检查；和
④在使用立体显微镜48，其放大倍率为2至6乘方的情况下，例如，放大倍率变大，检查在放大倍率为大约20乘方下执行。
关于切割成条并相互平行地运动的薄膜载带T1和T2，它们通过导向机构34引导，而且，放大镜片装置用于执行薄膜载带T1和T2的所有宽度方向同时两条线的检查。
而且，放大镜片50由一个放大镜片构成，用于放大薄膜载带。虽然，这个镜片没有被特殊地限制，可以使用一个放大倍率为大约1.5至2.5乘方的镜片或Fresnel镜片，例如。
在检查区20，当通过放大镜片装置执行检查时，可看现多个图象。如果在多条中的薄膜载带的相对位置出现在同一视野，它们不必相互准确地重合，但是可以相互地偏离。
如图2所示，而且，检查区20包括一个照明装置52，它用于照射光在被检查的薄膜载带上。如图2所示，照明装置52包括照明灯54和54，它们在检查区20后面的上面部分，以固定的距离相互远离。
照明灯54和54具有一个结构，光从后方和上方同时地集中在检查位置P用于薄膜载带T(T1，T2)。
因此，平行运动的安装电子器件的薄膜载带的总宽度被大大地照亮。因此，以高精度的准确的质量检查每次可同时地执行，超过多个安装电子器件的薄膜载带。
当通过显微镜检查薄膜载带时，视野的外围，在镜片的周围是黑暗的。为了补偿黑暗，光可以从薄膜载带T(T1，T2)的边表面一起或各自地照射。
此外，照明装置52给出明亮的照明。因此，减轻从检查室天花板发射和通过薄膜载带T反射的光。因此，可以执行高精度的准确的质量检查，没有由于反射光而阻碍薄膜载带的检查。
图1中，56代表一个发射光照明装置，用于通过发射光执行目视检查。为了提供这个情况，使用发射光照明装置56的发射光，用于发射光发射的开放部分36a，在检查位置P导向机构34的底板部分36上执行。
额外地提供一个输入开关，通过显微镜48和放大镜片50执行检查，用于决定是好产品还是有缺陷的产品，和用于在检查区20执行检查时输入位置，在图中没有标识。因此，电子器件安装部位G预定顺序的位置，缺陷部分带子的纵向位置，横向位置输入到控制装置15。
关于开关，例如，左手边开关是一个驱动发动机开/关的开关，在图中没有标识。关于右手边开关，而且，两个开关提供在左侧和后侧。各自的开关相应于薄膜载带T1和T2压按。当内侧的开关按下时，缺陷标记在内侧的产品上。当这侧的开关按下时，缺陷标记在这侧的产品上。因此，可以标记缺陷产品的标记。
基于控制装置15的输入结果，通过提供在检查区20的下流侧的缺陷标识装置58的方式，缺陷标识在预定的位置给出。缺陷标识装置58没有被特别地限制，但是可以使用具有执行缺陷标识的任何装置，通过用于缺陷产品的穿孔，墨迹，干墨等(标记)。
如图6所示，驱动齿轮32包括轴部分60，两端齿轮62和64提供在轴部分60的两端，辊体66由合成树脂形成，例如PTFE(聚四氟乙烯)(MC尼龙)或氟化树脂，辊体66提供在轴部分60的周围，在两端齿轮62和64及中间齿轮68和70之间。
在这种情况下，两端齿轮62和64的构成与在最外侧的薄膜载带T两端的边部分T3和T4上的齿孔H3和H4分别地相配合。
而且，中间齿轮68和70的构成与齿孔H5和H6相配合，齿孔H5和H6提供在分成条的薄膜载带的邻近边部分T5和T6上。
通过这种结构，所有的齿孔H3至H6，它们提供在分成条的薄膜载带T1和T2的两端边部分T3和T4和邻近边部分T5和T6上，与在驱动齿轮32中的两端齿轮62和64及中间齿轮68和70相配合，以相同的速度同时地传送。
在检查区20，因此，平行运动的薄膜载带T1和T2的位置不会偏离。因此，可以同时地对多个薄膜载带，每次执行高精度的准确的检查。
而且，薄膜载带T(T1，T2)通过辊体66支撑。在驱动操作中，因此，驱动力不在传动装置中心，以便阻止齿孔被破坏。
在本实施例中，使用分成两条的薄膜载带T1和T2。由于这个原因，提供了两个中间齿轮68和70，中间齿轮68和70的数量和间隔取决于薄膜载带T的多条的数量。
此外，后张力辊30包括一个辊体30a，在两端的边导向凸出部分30b和30c从辊体30a的两端凸出，邻近部件导向凸出部分30d从两端的边导向凸出部分30b和30c的中间部分凸出。
最外侧薄膜载带T的双端边部分T3和T4，通过两端的边导向凸出部分30b和30c引导。此外，分成条的薄膜载带T1和T2的邻近边部分T5和T6，通过邻近部件导向凸出部分30d分离和引导。
通过这种结构，可以阻止薄膜载带T1和T2的邻近边部分T5和T6在运送中相互接触的磨损和破坏等。因此，提高了质量，更进一步地阻止了绕卷引起的绕卷偏离等。
同时导向辊16，18，72，74，82和84是普通的辊子，它们与后张力辊30具有同样的结构。
因此，薄膜载带T1和T2置于检查区20的预定质量检查中，通过缺陷标识装置58，经过导向辊72和74和绕卷装置76绕卷，在预定的位置给出缺陷标识。
更具体地，薄膜载带T1和T2同时地绕卷在卷带卷轴R2和R3上，卷带卷轴R2和R3平行地附加在绕卷装置76的同一个绕卷驱动轴78上。
在这种情况下，薄膜载带T1和T2通过驱动电机的驱动操作，通过绕卷驱动轴78的旋转以相同的速度分别地绕卷，没有在图中显示。
在这种情况下，如图1所示，隔离片S1和S2，通过退卷装置12的卷带卷轴R1绕卷，通过分割装置80与薄膜载带T1和T2的同样方式切割和分离成两条，通过导向辊82和84提供给卷带卷轴R2和R3。在这种情况下，薄膜载带T1和T2与各自的隔离片S 1、  S2分别地绕在卷带卷轴R2和R3上。结果，薄膜载带T1和T2通过各自的隔离片S1、S2分别地夹入中间。因此，可以阻止由于薄膜载带的相互接触而引起的墨粘贴，保护薄膜载带不被破坏。
在本实施例中，同时隔离片S通过分割装置80切割成两条，它可以被分别地绕卷和再次使用，不用通过分割装置80进行分割。在这种情况下，隔离片S1和S2已经分割成具有预定尺寸，可以从另外两个隔离片退卷卷轴R2和R3上绕卷，没有在图中显示。此外，薄膜载带T1和T2与各自的隔离片S1、S2分别地绕在卷带卷轴R2和R3上。结果，薄膜载带T1和T2通过各自的隔离片S1、S2分别地夹入中间。
如图1所示，与退卷装置12相同的方式，绕卷装置76装备了垂直方向的三个传感器88。当薄膜载带T(T1，T2)的松开部分的低端T′通过低位置传感器检测，绕卷装置76的驱动电动机发动以阻止薄膜载带T(T1，T2)过分地松开而破坏与其接触的底面。
当薄膜载带T(T1，T2)的松开部分的低端T′通过上位置传感器88检测时，绕卷装置76的驱动电动机的驱动操作停止，以阻止过分地松开而破坏与其接触的底面。
位置传感器88，相应于薄膜载带T1和T2的数量相应地分别提供。
如图1所示，90代表松紧调节辊，通过静重，用于维持薄膜载带T(T1，T2)的恒定的张力。
在薄和轻的薄膜载带的情况下，例如COF，松紧调节辊24和90优选地用于本实施例中。在具有静重的薄薄膜载带的情况下，例如普通的TAB带，不必使用松紧调节辊24和90。
绕卷装置76，此外，可拆卸的接合杆装置94，通过孔92插入和安装在卷轴中心的附近，以便绕卷卷轴R2和R3平行地附加在绕卷装置76的相同的绕卷轴78上，相互安装如图8和图9所示。
在图8和图9中，96代表提供在轴上的一个键槽，98代表提供在绕卷轴78上的键，用于接合键槽96。通过它们的接合，绕卷轴78的转动传给卷轴。
在这种情况下，接合杆装置94优选可拆卸的，其结构没有被特殊地限制，但是公知的结构，如螺钉-螺母型或接线板型。
通过这种结构，在相互绕卷中，绕卷卷轴R2和R3不会偏离。因此，绕卷以相同的速度，同样的方法执行。因此，可以同时得到不产生绕卷偏离并以相同的绕卷方法绕卷的薄膜载带。
此外，绕卷卷轴R2和R3附加在各自的绕卷轴上，如果其中心重合，可分离的接合杆装置94可以通过孔92插入，如上所述。
而且，绕卷轴78本身可以由具有通过空气供给增加其直径扩张能力的空气轴构成。
图10是空气轴的剖视图。
空气轴11包括桶形的气球装置13，它提供在空气轴体11a，多个卡轴装置17提供在气球装置13的外围。它们以恒定的角度分离，并可以自由地凸出。
空气从空气源(没有标识)通过空气管线19供给给充气部件13，以便卡轴装置17频繁地出现，如图10的箭头所示，以便直径自由地增加。
通过这种结构，绕卷卷轴在绕卷时没有相互的偏离。因此，绕卷以相同的速度相同的方法执行。因此，可以同时得到不产生绕卷偏离并以相同的绕卷方法绕卷的薄膜载带。
此外，在这种情况下，通过调节空气的补给和释放及空气压力，可以控制绕卷卷轴的附加、去除和固定、固定力和绕卷的不均匀性。因此，非常方便，而不需要复杂的工作。
在使用空气轴的情况下，当它通过位置传感器88检测时，薄膜载带T1和T2的松开度彼此是不同的，空气轴的空气供给可自动地释放，卷轴R2和R3的固定可通过控制装置15的控制放松以调整绕卷的不均匀性。
在退卷装置12的松紧调节辊24中，分成条的薄膜载带T(T1，T2)的退卷速度相互间有微小的差异。在同一松紧调节辊24中，因此，分成条的薄膜载带T(T1，T2)的松紧量相互间有微小的差异。因此，同一松紧调节辊24会倾斜。
当松紧调节辊24倾斜时，松紧量不能顺利地控制，薄膜载带T(T1，T2)相互接触前进，因而它们会磨损和破坏。
由于这个原因，如图1所示，导向机构21和导向辊包括辊子等，用于分别地改变各自的导向路径，它们应该与水平的传感器(没有标识)一起提供，通过松紧调节辊24，用于引导分成条的薄膜载带。
更具体地，如图1所示，当通过松紧调节辊24被引导的分成条的薄膜载带在坚固的位置松开时，导向机构21在如虚线所示的箭头方向水平地移动。结果，薄膜载带T(T1，T2)和同一松紧调节辊24可以通过导向辊23引导和可以移动到如虚线所示的位置。即，同一松紧调节辊24可在水平位置安置。相反地，当排除松开时，优选导向机构21应该从如虚线所示的位置移动到如实线所示的位置。
当同一松紧调节辊24倾斜时，松紧量不能顺利地控制，薄膜载带T(T1，T2)相互接触前进，因而它们会磨损和破坏。但是，通过导向机构21分别地改变每条的导向路径，在本发明中，可以设置相等的松紧量。因此，可有效地阻止这种情形。
关于绕卷装置76的松紧调节辊90，类似地，导向机构71和导向辊73以相同的方式提供，如图1所示。因此，各自条的路径分别地通过导向机构71改变，以便可以设置相等的松紧量。因此，可以有效地阻止这样的情形，即松紧量不能顺利地控制，薄膜载带T(T1，T2)相互接触前进，因而它们会磨损和破坏。
图11是检查安装电子器件的薄膜载带的设备的前视图，是本发明的另一个实施例，与图1的实施例相同。图12是解释检查安装电子器件的薄膜载带的设备的剖视图，根据本发明，与图2的实施例相同。
在本实施例中，根据图1所采用的实施例，基本地与薄膜载带的检查设备10相同。因此，省略了具有相同的参考数字的相同的元件和其详细的描述。
根据本实施例，在薄膜载带的检查设备10中，薄膜载带T1和T2预先在条中分成各自的薄膜载带T1和T2，各自地绕卷在退卷装置12的退卷卷轴R1和R1′上。
相应地，预先分割的隔离片S1和S2用于隔离。
在本实施例中，因此，没有提供分割装置26和80，而且，提供了两组导向辊16，18，72和74，为了各自地引导薄膜载带T1和T2。
即使使用在条中预先分割成各自的安装电子器件的薄膜载带，可获得与图1所示的实施例相同的功能和效果。
根据本实施例，在薄膜载带的检查设备中，接合杆装置94和空气轴11应该用在退卷装置12的退卷卷轴R1和R1′上，以获得相同的退卷速度，阻止电子器件的安装部位在检查区20里偏离，阻碍不平坦的绕卷和在绕卷中产生的偏离。
此外，在说明书中术语“平行”的意思是“来回地，左右地，上下地，或以一个角度”。
同时本发明的优选实施例已经在上文中描述，本发明不仅限于此。虽然，根据实施例，目视在检查区20中执行，例如，还可以通过CCD照相机等使用图象识别，自动地进行质量检查。因此，对本发明进行各种变化，不会背离本发明的范围。
此外，在说明书中术语“平行”的意思是“来回地，并排地，上下地，或以一个角度”。
另外，本发明的检查薄膜载带的设备和方法也可以应用于已安装了电子器件的薄膜载带的表面检查。
根据本发明，各自的安装电子器件的薄膜载带，预先地分割成条，从退卷装置的退卷卷轴绕出，相互平行地运动，在分割状态下经过检查区，没有引起相互的位置偏离。
根据本发明，而且，安装电子器件的薄膜载带，在横向多条中提供多个安装电子器件，正确地使用和从退卷装置上绕开，通过切割装置的方式正确地在多条中切割安装电子器件的薄膜载带。
在条中各自的安装电子器件的薄膜载带，在相互平行的运动中切割，和通过检查区，没有引起位置偏离。
因此，平行地运动的多条的安装电子器件的薄膜载带，在检查区每次可以同时地、准确地提供目视检查而成为目视检查(一个发射光检查和一个反射光检查)。作为各种质量检查结果，断开，短路，裂纹，突出部分和类似的缺陷，缺陷标识可通过穿孔，上墨，干墨等在缺陷产品上执行。
因此，在横向多条里的多个电子器件的安装电子器件的薄膜载带，每次可以正确地使用和检查多个电子器件的安装部位装备，以便可以大大地提高检查效率。
此外，相互地分开在条中的各自的安装电子器件的薄膜载带，在检查后，不会相互引起位置的偏离，和绕卷在绕卷卷轴上的各自的安装电子器件的薄膜载带没有绕卷偏离。
特别地，根据本发明，检查过程可以连续地、精确地大量进行操作，其过程效率可以大大地提高。而且，该过程可以由一个操作员完成，以便降低成本。
根据本发明，此外，所有分成条的安装电子器件的薄膜载带两端的邻近边部分及两端的边部分，通过边导向部分及邻近部件导向部分支撑和引导。
在检查区，因此，平行运动的安装电子器件的薄膜载带在横向没有卷曲，也就是，各自地卷曲。因此，检查位置是恒定的。结果，对于需要在对内部导向弯曲、裂纹等具有高精度的质量检查，可以高精度准确地执行质量检查，而没有放大镜片的焦点偏离等。
根据本发明，而且，所有的齿孔，它们提供在分成条的安装电子器件的薄膜载带两端的邻近边部分和两端边部分上，与在驱动齿轮中的两端齿轮及中间齿轮相配合，以相同的速度同时地传送。
在检查区，因此，平行运动的安装电子器件的薄膜载带的位置没有相互偏离。因此，每次可同时地对多个安装电子器件的薄膜载带进行准确的质量检查。
根据本发明，而且，分成条的安装电子器件的薄膜载带的邻近边部分，通过导向辊中的邻近部件导向凸出部分在相互分离的状态下引导。
在运送中，因此，安装电子器件的薄膜载带的邻边部分阻止与其他的接触，磨损和破坏。因此，可以提高质量，可以阻止由绕卷所引起的绕卷卷轴的偏离等。
根据本发明，而且，平行地附加在同一绕卷轴的绕卷卷轴，通过配合杆状构件插入卷轴的中心附近的孔中。
因此，绕卷卷轴在绕卷时没有偏离，以便以同样的绕卷方式，以相同的速度绕卷。因此，同时得到安装电子器件的薄膜载带在同样的绕卷形式下，不产生绕卷偏离。
根据本发明，而且，空气供给给构成绕卷轴的空气轴。因此，该轴可扩张和在直径上增加，以便平行地附加在同一绕卷轴的绕卷卷轴相互安装。
因此，绕卷卷轴在绕卷时没有偏离，以便以同样的绕卷方式，以相同的速度绕卷。因此，同时得到安装电子器件的薄膜载带在同样的绕卷形式下，不产生绕卷偏离。
此外，在这种情况下，通过调节空气的补给和释放及空气压力，可以控制绕卷卷轴的附加、去除和固定、固定力和绕卷的不均匀性。因此，非常方便，而不需要复杂的工作。
根据本发明，此外，安装电子器件的薄膜载带可通过放大镜片在整个的宽度方向放大。因此，每次可对多个安装电子器件的薄膜载带进行准确的质量检查。
根据本发明，此外，当分成条的安装电子器件的薄膜载带通过同一松紧调节辊退卷和绕卷时，例如，它们从条中退卷，由于退卷和绕卷的速度微小的差异，松紧调节辊倾斜。因此，安装电子器件的薄膜载带的邻边部分阻止与其他的接触，磨损和破坏。因此，松开量不能顺利地控制。但是，使用松紧调节辊引导，通过各自地改变在每条中安装电子器件的薄膜载带的导向路径，可以使松开量相等。因此，这种情形可以有效地被阻止。因此，本发明非常的优异，以致使产生各种的功能和效果。

Claims (52)

1、一种用于检查安装电子器件的薄膜载带的设备，该安装电子器件的薄膜载带在横向多条中具有多个电子器件的安装部位，该设备包括：
一个退卷装置，用于对在多条中安装电子器件的薄膜载带退卷，其中预先切割和分离成各自条的安装电子器件的薄膜载带，分别绕在退卷卷轴上；
一个检查区，用于同时检查被分成条的安装电子器件的薄膜载带，同时使安装电子器件的薄膜载带相互平行地运动；和
一个绕卷装置，用于同时地绕卷在检查区检查的被切割为条的安装电子器件的薄膜载带到分别平行地附加在同一绕卷轴的多个绕卷卷轴之上。
2、一种用于检查安装电子器件的薄膜载带的设备，该安装电子器件的薄膜载带在横向多条中具有多个安装部位，该设备包括：
一个退卷装置，用于对在多条中安装电子器件的薄膜载带退卷，其中预先切割成各自条的安装电子器件的薄膜载带绕在退卷卷轴上；
一个检查区，用于同时检查被分成条的安装电子器件的薄膜载带，同时使安装电子器件的薄膜载带相互平行地运动；和
一个绕卷装置，用于同时地绕卷在检查区检查的被切割为条的安装电子器件的薄膜载带到分别在平行地附加在分离的绕卷轴的多个绕卷卷轴之上。
3、一种用于检查安装电子器件的薄膜载带的设备，该安装电子器件的薄膜载带在横向多条中具有多个安装部位，该设备包括：
一个退卷装置，用于对绕在退卷卷轴上的多条安装电子器件的薄膜载带退卷；
一个分割装置，用于分割从退卷卷轴上退卷的多条中安装电子器件的薄膜载带成为在条中安装电子器件的各自的薄膜载带；
一个检查区，用于使被分割装置分成条的安装电子器件的薄膜载带相互平行地运动和同时地检查它们；和
一个绕卷装置，用于同时地绕卷在检查区检查的被切割为条的安装电子器件的薄膜载带在分别平行地附加在同一绕卷轴的多个绕卷卷轴之上。
4、一种用于检查安装电子器件的薄膜载带的设备，该安装电子器件的薄膜载带在横向多条中具有多个安装部位，该设备包括：
一个退卷装置，用于对绕在退卷卷轴上的多条安装电子器件的薄膜载带退卷；
一个分割装置，用于分割从退卷卷轴上退卷的多条中安装电子器件的薄膜载带，成为在条中安装电子器件的各自的薄膜载带；
一个检查区，使被分割装置分成条的安装电子器件的薄膜载带相互平行地运动和同时地检查它们；和
一个绕卷装置，用于同时地绕卷在检查区检查的被切割为条的安装电子器件的薄膜载带在分别平行地附加在各自绕卷轴的多个绕卷卷轴之上。
5、根据权利要求1至4中任何一项的用于检查安装电子器件的薄膜载带的设备，其中检查区包括一个导向机构，用于使分成条的安装电子器件的薄膜载带相互平行地运动，
导向机构包括：
在两端的一个导向部分，用于引导在最外侧薄膜载带的两端边部分；和
一个邻近部件导向部分，它在两端的导向部分之间凸出，用于引导分成条的安装电子器件的薄膜载带的邻近边部分。
6、根据权利要求5的用于检查安装电子器件的薄膜载带的设备，进一步包括一个驱动齿轮，用于传送从退卷卷轴上退卷的、被分成条的安装电子器件的薄膜载带，同时使它们相互平行地运动，
驱动齿轮包括：
一个两端齿轮，与在最外侧的薄膜载带两端的边部分上的齿孔相配合；和
一个中间齿轮，在两端齿轮之间与在分成条的薄膜载带的邻近边部分上的齿孔相配合。
7、根据权利要求1至4中任何一项的用于检查安装电子器件的薄膜载带的设备，进一步包括一个驱动齿轮，用于传送从退卷卷轴上退卷的、被分成条的安装电子器件的薄膜载带，同时使它们相互平行地运动，
驱动齿轮包括：
一个两端齿轮，与在最外侧的薄膜载带两端的边部分上的齿孔相配合；和
一个中间齿轮，在两端齿轮之间与在分成条的薄膜载带的邻近边部分上的齿孔相配合。
8、根据权利要求6的用于检查安装电子器件的薄膜载带的设备，进一步包括一个导向辊，
导向辊包括：
在两端的一个边导向凸出部分，用于引导最外侧的安装电子器件的薄膜载带的两端边部分；和
一个邻近部件导向凸出部分，在两端边导向凸出部分之间凸出以分离和引导分成条的安装电子器件的薄膜载带的邻近边部分。
9、根据权利要求1或3的用于检查安装电子器件的薄膜载带的设备，其中，多个绕卷卷轴通过安装在卷轴中心附近的孔中的可拆卸的接合杆装置的方式平行地附加在绕卷装置的同一绕卷轴上。
10、根据权利要求2或4的用于检查安装电子器件的薄膜载带的设备，其中，多个绕卷卷轴通过安装在卷轴中心附近的孔中的可拆卸的接合杆装置的方式平行地附加在绕卷装置的各自的绕卷轴上。
11、根据权利要求1或3的用于检查安装电子器件的薄膜载带的设备，其中，通过空气轴构成绕卷装置的同一绕卷轴，该空气轴具有接收空气供给扩张以增加直径的能力，和
多个绕卷卷轴平行地附加在绕卷轴上，因而相互地安装。
12、根据权利要求2或4的用于检查安装电子器件的薄膜载带的设备，其中，绕卷装置的各自绕卷轴通过空气轴构成，该空气轴具有接收空气供给扩张以增加直径的能力，和
多个绕卷卷轴平行地附加在绕卷轴上，因而分别地安装。
13、根据权利要求1-4中任何一项的用于检查安装电子器件的薄膜载带的设备，其中，检查区包括一个放大镜片装置，用于放大安装电子器件的薄膜载带，为了执行检查，
放大镜片装置包括一个用于在整个的宽度方向放大分成条的和相互并排运动的安装电子器件的薄膜载带的放大镜片。
14、根据权利要求12的用于检查安装电子器件的薄膜载带的设备，其中，放大镜片装置具有长度放大率为1.4或以上的放大倍数。
15、根据权利要求1-4中任何一项的用于检查安装电子器件的薄膜载带的设备，其中，在退卷装置和检查区之间各自的松紧调节辊分别提供给切割成条的安装电子器件的薄膜载带。
16、根据权利要求1-4中任何一项的用于检查安装电子器件的薄膜载带的设备，其中，在绕卷装置和检查区之间各自的松紧调节辊分别提供给切割成条的安装电子器件的薄膜载带。
17、根据权利要求1-4中任何一项的用于检查安装电子器件的薄膜载带的设备，其中，在退卷装置和检查区之间同一的松紧调节辊提供给切割成条的安装电子器件的薄膜载带。
18、根据权利要求1-4中任何一项的用于检查安装电子器件的薄膜载带的设备，其中，在绕卷装置和检查区之间同一松紧调节辊提供给切割成条的安装电子器件的薄膜载带。
19、根据权利要求15的用于检查安装电子器件的薄膜载带的设备，更进一步地包括一个松开控制装置，用于检测松紧调节辊的位置，以控制安装电子器件的薄膜载带的松开量。
20、根据权利要求16的用于检查安装电子器件的薄膜载带的设备，更进一步地包括一个松开控制装置，用于检测松紧调节辊的位置，以控制安装电子器件的薄膜载带的松开量。
21、根据权利要求17的用于检查安装电子器件的薄膜载带的设备，更进一步地包括一个松开控制装置，用于检测松紧调节辊的位置，以控制安装电子器件的薄膜载带的松开量。
22、根据权利要求18的用于检查安装电子器件的薄膜载带的设备，更进一步地包括一个松开控制装置，用于检测松紧调节辊的位置，以控制安装电子器件的薄膜载带的松开量。
23、根据权利要求19的用于检查安装电子器件的薄膜载带的设备，其中，松开控制装置包括一个导向机构，通过松紧调节辊引导，该导向机构用于各自地改变在每条中安装电子器件的薄膜载带的导向路径。
24、根据权利要求20的用于检查安装电子器件的薄膜载带的设备，其中，松开控制装置包括一个导向机构，通过松紧调节辊引导，该导向机构用于各自地改变在每条中安装电子器件的薄膜载带的导向路径。
25、根据权利要求21的用于检查安装电子器件的薄膜载带的设备，其中，松开控制装置包括一个导向机构，通过松紧调节辊引导，该导向机构用于各自地改变在每条中安装电子器件的薄膜载带的导向路径。
26、根据权利要求22的用于检查安装电子器件的薄膜载带的设备，其中，松开控制装置包括一个导向机构，通过松紧调节辊引导，该导向机构用于各自地改变在每条中安装电子器件的薄膜载带的导向路径。
27、一种用于检查安装电子器件的薄膜载带的方法，该安装电子器件的薄膜载带在横向多条中具有多个电子器件的安装部位，该方法包括以下步骤：
从退卷装置上退卷多条中安装电子器件的薄膜载带，其中预先被切割的各自的安装电子器件的薄膜载带分别地卷在退卷卷轴上；
在检查区同时地检查分成条的安装电子器件的薄膜载带，同时使它们相互平行地运动；和
同时地绕卷在检查区被检查的分成条的安装电子器件的薄膜载带在分别平行地附加在同一绕卷轴的多个绕卷卷轴之上。
28、一种用于检查安装电子器件的薄膜载带的方法，其中该安装电子器件的薄膜载带在横向多条中具有多个电子器件的安装部位，该方法包括以下步骤：
从退卷装置上退卷多条中安装电子器件的薄膜载带，其中预先被切割成条的各自的安装电子器件的薄膜载带分别地卷在退卷卷轴上；
在检查区同时地检查分成条的安装电子器件的薄膜载带，同时使它们相互平行地运动；和
同时地绕卷在检查区被检查的分成条的安装电子器件的薄膜载带在分别平行地附加在各自绕卷轴的多个绕卷卷轴之上。
29、一种用于检查安装电子器件的薄膜载带的方法，其中该安装电子器件的薄膜载带在横向多条中具有多个电子器件的安装部位，该方法包括以下步骤：
从退卷装置上退卷被卷在退卷卷轴上多条中安装电子器件的薄膜载带；
通过分割装置，分割从退卷卷轴上退卷的多条中的安装电子器件的薄膜载带，成为各自的在条中安装电子器件的薄膜载带；
使通过分割装置分割成条的安装电子器件的薄膜载带相互平行地运动和在检查区同时检查安装电子器件的薄膜载带；和
同时地绕卷在检查区被检查的分成条的安装电子器件的薄膜载带在分别平行地附加在同一绕卷轴的多个绕卷卷轴之上。
30、一种用于检查安装电子器件的薄膜载带的方法，其中该安装电子器件的薄膜载带在横向多条中具有多个电子器件的安装部位，该方法包括以下步骤：
从退卷装置上退卷被卷在退卷卷轴上的在多条中安装电子器件的薄膜载带；
通过分割装置，分割从退卷卷轴上退卷的多条中安装电子器件的薄膜载带，成为各自的在条中安装电子器件的薄膜载带；
使通过分割装置分割成条的安装电子器件的薄膜载带相互平行地运动和在检查区同时检查它们；和
同时地绕卷在检查区被检查的分成条的安装电子器件的薄膜载带在分别平行地附加在各自绕卷轴的多个绕卷卷轴之上。
31、根据权利要求27-30中任何一项的用于检查安装电子器件的薄膜载带的方法，其中检查区包括一个导向机构，用于使分成条的安装电子器件的薄膜载带相互平行地运动，
导向机构包括：
在两端的一个导向部分，用于引导在最外侧薄膜载带的两端边部分；和
一个邻近部件导向部分，它在两端的导向部分之间凸出，用于引导分成条的薄膜载带的邻近边部分。
32、根据权利要求27-30中的任何一项的用于检查安装电子器件的薄膜载带的方法，进一步包括一个驱动齿轮，用于传送从退卷卷轴上退卷的、被分成条的安装电子器件的薄膜载带，同时使它们相互平行地运动，
驱动齿轮包括：
一个两端齿轮，与在最外侧的薄膜载带两端的边部分上的齿孔相配合；和
一个中间齿轮，在两端齿轮之间与在分成条的薄膜载带的邻近边部分上的齿孔相配合。
33、根据权利要求32的用于检查安装电子器件的薄膜载带的方法，进一步包括一个导向辊，
导向辊包括：
在两端的一个边导向凸出部分，用于引导最外侧的安装电子器件的薄膜载带的两端边部分；和
一个邻近部件导向凸出部分，在两端的边导向凸出部分之间凸出以分离和引导分成条的安装电子器件的薄膜载带的邻近边部分。
34、根据权利要求27或29的用于检查安装电子器件的薄膜载带的方法，其中，多个绕卷卷轴通过安装在卷轴中心附近的通孔中的可拆卸的接合杆装置的方式平行地附加在绕卷装置的同一绕卷轴上。
35、根据权利要求28或30的用于检查安装电子器件的薄膜载带的方法，其中，多个绕卷卷轴通过安装在卷轴中心附近的通孔中的可拆卸的接合杆装置的方式平行地附加在绕卷装置的各自的绕卷轴上。
36、根据权利要求27或29的用于检查安装电子器件的薄膜载带的方法，其中，绕卷装置的同一绕卷轴通过空气轴构成，该空气轴具有接收空气供给扩张以增加直径的能力，和
多个绕卷卷轴相互平行地附加在绕卷轴上，因而相互安装。
37、根据权利要求28或30的用于检查安装电子器件的薄膜载带的方法，其中，绕卷装置的各自的绕卷轴通过空气轴构成，该空气轴具有接收空气供给扩张以增加直径的能力，和
多个绕卷卷轴相互平行地附加在绕卷轴上，因而分别地安装。
38、根据权利要求27-30中任何一项的用于检查安装电子器件的薄膜载带的方法，其中，检查区包括一个照明装置，用于照射光在安装电子器件的薄膜载带上，以执行检查，
照明装置具有两个照明灯，相互分离地设置，用于从后方和上方照射光在检查位置上以相对于该分成条和相互平行地运动的安装电子器件的薄膜载带同时聚焦。
39、根据权利要求27-30中任何一项的用于检查安装电子器件的薄膜载带的方法，其中，检查区包括一个放大镜片装置，用于放大安装电子器件的薄膜载带，以执行检查，
放大镜片装置包括一个用于在整个的宽度方向放大分成条并相互并排地运动的安装电子器件的薄膜载带的放大镜片。
40、根据权利要求39的用于检查安装电子器件的薄膜载带的方法，其中，放大镜片装置具有长度放大率为1.4或以上的放大倍数。
41、根据权利要求27-30中任何一项的用于检查安装电子器件的薄膜载带的方法，其中，在退卷装置和检查区之间各自的松紧调节辊提供给切割成条的安装电子器件的薄膜载带。
42、根据权利要求27-30中任何一项的用于检查安装电子器件的薄膜载带的方法，其中，在绕卷装置和检查区之间各自的松紧调节辊提供给切割成条的安装电子器件的薄膜载带。
43、根据权利要求27-30中任何一项的用于检查安装电子器件的薄膜载带的方法，其中，在退卷装置和检查区之间同一松紧调节辊提供给切割成条的安装电子器件的薄膜载带。
44、根据权利要求27-30中任何一项的用于检查安装电子器件的薄膜载带的方法，其中，在绕卷装置和检查区之间同一松紧调节辊提供给切割成条的安装电子器件的薄膜载带。
45、根据权利要求41的用于检查安装电子器件的薄膜载带的方法，更进一步地包括一个松开控制装置，用于检测松紧调节辊的位置，以控制安装电子器件的薄膜载带的松开量。
46、根据权利要求42的用于检查安装电子器件的薄膜载带的方法，更进一步地包括一个松开控制装置，用于检测松紧调节辊的位置，以控制安装电子器件的薄膜载带的松开量。
47、根据权利要求43的用于检查安装电子器件的薄膜载带的方法，更进一步地包括一个松开控制装置，用于检测松紧调节辊的位置，以控制安装电子器件的薄膜载带的松开量。
48、根据权利要求44的用于检查安装电子器件的薄膜载带的方法，更进一步地包括一个松开控制装置，用于检测松紧调节辊的位置，以控制安装电子器件的薄膜载带的松开量。
49、根据权利要求45的用于检查安装电子器件的薄膜载带的方法，其中，松开控制装置包括一个导向机构，使用松紧调节辊引导，用于各自地改变各条中安装电子器件的薄膜载带的导向路径。
50、根据权利要求46的用于检查安装电子器件的薄膜载带的方法，其中，松开控制装置包括一个导向机构，使用松紧调节辊引导，用于各自地改变各条中安装电子器件的薄膜载带的导向路径。
51、根据权利要求47的用于检查安装电子器件的薄膜载带的方法，其中，松开控制装置包括一个导向机构，使用松紧调节辊引导，用于各自地改变各条中安装电子器件的薄膜载带的导向路径。
52、根据权利要求48的用于检查安装电子器件的薄膜载带的方法，其中，松开控制装置包括一个导向机构，使用松紧调节辊引导，用于各自地改变各条中安装电子器件的薄膜载带的导向路径。
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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005231671A (ja) * 2004-02-19 2005-09-02 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd 電子部品実装用フィルムキャリアテープおよび半導体装置の検査装置および検査方法
US8247057B2 (en) * 2005-09-16 2012-08-21 3M Innovative Properties Company Cover tape and method for manufacture
MY155905A (en) * 2006-08-09 2015-12-15 3M Innovative Properties Co Carrier tapes having tear-initiated cover tapes and methods of making thereof
US9099511B2 (en) * 2009-10-13 2015-08-04 M-Solv Limited Apparatus and method for processing long, continuous flexible substrates
CN104597050A (zh) * 2014-12-06 2015-05-06 广东聚科照明股份有限公司 一种贴片外观工作台
CN108327239B (zh) * 2018-02-23 2019-12-31 郑州众益德网络科技有限公司 全自动电子产品双面贴膜生产线
CN108705571B (zh) * 2018-05-14 2021-01-26 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 切割设备及切割设备的齿轮调整方法
TWI734107B (zh) * 2019-04-30 2021-07-21 住華科技股份有限公司 一種光學檢測裝置及其光學檢測方法
CN113443482B (zh) * 2021-08-02 2023-01-10 佛山市盈嘉纺织有限公司 一种纺织用布料智能收卷装置

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0529395A (ja) * 1991-07-22 1993-02-05 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd Ｔａｂテープの製造方法
JPH08321527A (ja) * 1995-05-26 1996-12-03 Casio Comput Co Ltd フィルムデバイスの製造方法
JP2000031213A (ja) * 1998-07-09 2000-01-28 Seiko Epson Corp Ｔａｂテープの製造方法
JP2001358180A (ja) * 2000-06-15 2001-12-26 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd テープ状物の処理装置およびテープ状物の処理方法
JP2002124543A (ja) * 2000-10-12 2002-04-26 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd フィルムキャリア形成用テープおよび電子部品実装用フィルムキャリアテープ
CN1379455A (zh) * 2001-03-30 2002-11-13 三井金属矿业株式会社 多条电子零件组装用载膜带及其制造方法

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4650314A (en) * 1983-10-07 1987-03-17 Grunwald Robert F Film inspection machine
DE3733129C2 (de) * 1987-10-01 1999-02-18 Focke & Co Vorrichtung zum Trennen einer Materialbahn in zwei Teilbahnen
US5667073A (en) * 1994-06-23 1997-09-16 Okui; Tokujiro Carrier tape for storage use of electronic components
JPH0992692A (ja) 1995-07-13 1997-04-04 Toray Ind Inc Ｔａｂテープの検査装置および検査方法ならびに実装ｔａｂテープの製造方法および製造装置
JPH10256278A (ja) 1997-03-07 1998-09-25 Hitachi Ltd テープ搬送機構を有する装置
GB2340437A (en) * 1998-08-13 2000-02-23 Vestika Oy Saw for cylindrical paper reels
JP2000182061A (ja) 1998-10-09 2000-06-30 Kokusai Gijutsu Kaihatsu Kk 欠陥検査装置
JP2000227401A (ja) 1999-02-08 2000-08-15 Nippon Steel Corp テープキャリア欠陥検査装置及びテープキャリア欠陥検査装置におけるテープキャリアの搬送方法
AU5925300A (en) * 1999-07-10 2001-01-30 Tay Bok Her Post-seal inspection system and method
JP3889527B2 (ja) 1999-07-19 2007-03-07 三井金属鉱業株式会社 位置決め機構を備えたテープガイド装置
JP3663449B2 (ja) * 2000-06-01 2005-06-22 三井金属鉱業株式会社 テープ状物の処理装置およびテープ状物の処理方法
JP3626742B2 (ja) 2002-05-13 2005-03-09 旗勝科技股▲分▼有限公司 テープ型フレクシブルプリント回路の量産方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0529395A (ja) * 1991-07-22 1993-02-05 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd Ｔａｂテープの製造方法
JPH08321527A (ja) * 1995-05-26 1996-12-03 Casio Comput Co Ltd フィルムデバイスの製造方法
JP2000031213A (ja) * 1998-07-09 2000-01-28 Seiko Epson Corp Ｔａｂテープの製造方法
JP2001358180A (ja) * 2000-06-15 2001-12-26 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd テープ状物の処理装置およびテープ状物の処理方法
JP2002124543A (ja) * 2000-10-12 2002-04-26 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd フィルムキャリア形成用テープおよび電子部品実装用フィルムキャリアテープ
CN1379455A (zh) * 2001-03-30 2002-11-13 三井金属矿业株式会社 多条电子零件组装用载膜带及其制造方法

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Publication number Publication date
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