JP2004274041A - 電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置および検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】複数の電子部品実装部が幅方向に多条に配置された電子部品実装用フィルムキャリアテープをそのまま用いて、一度に検査することができ、検査効率が極めて向上するとともに、検査後に、個々の各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープに分離して個々のリールに巻きずれもなく、巻き取ることが可能な電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】 巻き出し装置１２から巻き出された多条の電子部品実装用フィルムキャリアテープＴを、スリット装置２６によって、個々の各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２に裁断し、並走させながら検査部Ｐにおいて同時に検査した後、それぞれ巻き取り装置７６の同一の巻き取り軸７８に並列に装着された複数の巻き取りリールＲ２、Ｒ３にそれぞれ同時に巻き取る。
【選択図】図２

Description

本発明は、電子部品実装用フィルムキャリアテープ（ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）テープ、Ｔ-ＢＧＡ(Tape Ball Grid Array)テープ、ＣＳＰ（Chip Size Package）テープ、 ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）テープ、ＣＯＦ（Chip on Film）テープ、２メタル（両面配線）テープ、多層配線用テープなど）（以下、単に「電子部品実装用フィルムキャリアテープ」と言う。）について、出荷前に最終的にフィルムキャリアテープの外観の不良を検査した後、不良品に、例えば、パンチングなどによって、製品不良表示をする電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置および検査方法に関する。

エレクトロニクス産業の発達に伴い、ＩＣ（集積回路）、ＬＳＩ（大規模集積回路）などの電子部品を実装するプリント配線板の需要が急激に増加しているが、電子機器の小型化、軽量化、高機能化が要望され、これら電子部品の実装方法として、最近ではＴＡＢテープ、Ｔ-ＢＧＡテープおよびＡＳＩＣテープなどの電子部品実装用フィルムキャリアテ
ープを用いた実装方式が採用されている。特に、パーソナルコンピュータなどのように高精細化、薄型化、液晶画面の額縁面積の狭小化が要望されている液晶表示素子（ＬＣＤ）を使用する電子産業においてその重要性が高まっている。

このような電子部品実装用フィルムキャリアテープでは、電子部品実装用フィルムキャリアテープの品質を検査することが実施されているが、従来より人による外観検査である目視検査（透過光検査、反射光検査）を行い、断線、短絡、欠け、突起などのパターン欠陥、メッキ異常、テープ形状の変形、ソルダーレジストの欠陥などの各種の品質検査の結果、不良品についてパンチング、インキング、マジックなどによるなどにより不良表示を施す検査方法が実施されている。

このため、従来から、幅方向に対して１つまたは複数の電子部品実装部が配置された１条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを、巻き出し装置から巻き出して、検査部で所定の検査を行って、巻き取り装置で巻き取る検査装置が提案されている（例えば、特許文献１〜特許文献５参照）。

すなわち、図１３に示したように、従来の検査装置１００では、幅方向に対して１つまたは複数の電子部品実装部が配置された１条の電子部品実装用フィルムキャリアテープ１０２を巻き出しリール１０４に巻装している。そして、この巻き出しリール１０４を巻き出し装置１０６の巻き出し軸１０８に装着して、巻き出し装置１０６から、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１０２を巻き出している。

この巻き出し装置１０６から巻き出された電子部品実装用フィルムキャリアテープ１０２は、検査部１１０で、例えば、外観検査を行った後に、不良部分が存在している場合には、例えば、パンチングなどの不良表示装置１１２で不良表示を施している。

このように、外観検査、不良表示工程が終了した後、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１０２は、巻き取り装置１１４の巻き取り軸１１６に装着された巻取りリール１１８に巻き取られるようになっている。
特開２００１−３５８９１号公報 特開２０００−２２７４０１号公報 特開２０００−１８２０６１号公報 特開平１０−２５６２７８号公報 特開平９−９２６９２号公報

しかしながら、このように１条の電子部品実装用フィルムキャリアテープ１０２を巻き出し装置１０６から巻き出して、検査部１１０で所定の検査を行って、巻き取り装置１１４で巻き取る方法では、１条毎に検査部１１０で検査を行っているために、一度に検査できる電子部品実装用フィルムキャリアテープ１０２が、１つのリールに巻かれた電子部品実装用フィルムキャリアテープであるため、検査効率としては、大量生産が要求されている現状ではまだまだ不十分であった。

また、電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方法においては、最近では、生産性の向上のために、複数の電子部品実装部が幅方向に多条に配置された電子部品実装用フィルムキャリアテープ（いわゆる「多数個取り」と呼ばれる）を製造することが行われている。

このような多条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを検査する際には、予め、多条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを、スリット装置を用いて、個々の各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープに裁断するスリット工程を行い、スリットされたフィルムキャリアテープについて１条毎に検査を実施している。

すなわち、多条のままでは、電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅方向に反りが生じるため正確な検査ができず、また、外観検査後に多条の電子部品実装用フィルムキャリアテープをスリットすると、インナーリード曲がり、傷、異物などを再検査する必要があり、さらには、ユーザーの設備の制約から、スリット工程を検査前に行っている。そして、検査の際には、スリットされたフィルムキャリアテープに対して１条毎に検査を実施している。

本発明は、このような現状に鑑み、複数の電子部品実装部が幅方向に多条に配置され、各条にスリットされた電子部品実装用フィルムキャリアテープを、一度に検査することができ、検査効率が極めて向上するとともに、検査後に、個々の各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを個々のリールに巻きずれもなく、巻き取ることが可能な電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置および検査方法を提供することを目的とする。

本発明は、前述したような従来技術における課題及び目的を達成するために発明されたものであって、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置は、複数の電子部品実装部が幅方向に多条に配置された電子部品実装用フィルムキャリアテープを検査するための検査装置であって、
予め個々の各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープに裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープがそれぞれ、巻き出しリールに巻装された多条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを巻き出す巻き出し装置と、
前記各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープを並走させながら同時に検査する検査部と、
前記検査部で検査された各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープをそれぞれ、同一の巻き取り軸に並列に装着された複数の巻き取りリールにそれぞれ同時に巻き取る巻き取り装置と、
を備えることを特徴とする。

また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法は、複数の電子部品実装部が幅方向に多条に配置された電子部品実装用フィルムキャリアテープを検査するための検査方法であって、
予め個々の各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープに裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープがそれぞれ、巻き出しリールに巻装された多条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを巻き出し装置から巻き出し、
前記各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープを並走させながら検査部において同時に検査した後、
前記検査部で検査された各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープをそれぞれ、巻き取り装置の同一の巻き取り軸に並列に装着された複数の巻き取りリールにそれぞれ同時に巻き取ることを特徴とする。

このように構成することによって、予め個々の各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープに裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープを用いて、巻き出し装置の巻き出しリールからそれぞれ巻き出して、個々の各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープに裁断された状態で、検査部を、相互に位置ずれを起こすことなく、並走して通過する。

従って、検査部において、並走してくる電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、一度に同時に、かつ正確に、複数条の電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、外観検査である目視検査（透過光検査、反射光検査）を行って、断線、短絡、欠け、突起などの各種の品質検査の結果、不良品についてパンチング、インキング、マジックなどによるなどにより不良表示を施すことが可能である。

従って、複数の電子部品実装部が幅方向に多条に配置された電子部品実装用フィルムキャリアテープをそのまま用いて、一度に検査することができ、検査効率および検査精度も極めて向上することになる。

しかも、検査後には、個々の各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを、そのまま相互に位置ずれを起こすことなく、相互に分離して個々のリールに巻きずれもなく、巻き取ることが可能である。

すなわち、本発明によれば、連続的かつ大量にしかも正確に検査処理することが可能となり、処理効率が極めて向上するとともに、作業員も一人で行うことができ、コストを低減することが可能である。

また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置は、複数の電子部品実装部が幅方向に多条に配置された電子部品実装用フィルムキャリアテープを検査するための検査装置であって、
巻き出しリールに巻装された多条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを巻き出す巻き出し装置と、
前記巻き出し装置から巻き出された多条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを、個々の各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープに裁断するスリット装置と、
前記スリット装置によって各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープを並走させながら同時に検査する検査部と、
前記検査部で検査された各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープをそれぞれ、同一の巻き取り軸に並列に装着された複数の巻き取りリールにそれぞれ同時に巻き取る巻き取り装置と、
を備えることを特徴とする。

また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法は、複数の電子部品実装部が幅方向に多条に配置された電子部品実装用フィルムキャリアテープを検査するための検査方法であって、
巻き出しリールに巻装された多条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを巻き出し装置から巻き出し、
前記巻き出し装置から巻き出された多条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを、スリット装置によって、個々の各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープに裁断し、
前記スリット装置によって各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープを並走させながら検査部において同時に検査した後、
前記検査部で検査された各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープをそれぞれ、巻き取り装置の同一の巻き取り軸に並列に装着された複数の巻き取りリールにそれぞれ同時に巻き取ることを特徴とする。

このように構成することによって、複数の電子部品実装部が幅方向に多条に配置された電子部品実装用フィルムキャリアテープをそのまま用いて、巻き出し装置から巻き出して、そのままこの多条の電子部品実装用フィルムキャリアテープがスリット装置によって、個々の各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープに裁断される。

そして、このように個々の各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープに裁断された状態で、検査部を、相互に位置ずれを起こすことなく、並走して通過する。

従って、検査部において、並走してくる電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、一度に同時に、かつ正確に、複数条の電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、外観検査である目視検査（透過光検査、反射光検査）を行って、断線、短絡、欠け、突起などの各種の品質検査の結果、不良品についてパンチング、インキング、マジックなどによるなどにより不良表示を施すことが可能である。

従って、複数の電子部品実装部が幅方向に多条に配置された電子部品実装用フィルムキャリアテープをそのまま用いて、一度に検査することができ、検査効率および検査精度も極めて向上することになる。

しかも、検査後には、個々の各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを、そのまま相互に位置ずれを起こすことなく、相互に分離して個々のリールに巻きずれもなく、巻き取ることが可能である。

すなわち、本発明によれば、連続的かつ大量にしかも正確に検査処理することが可能となり、処理効率が極めて向上するとともに、作業員も一人で行うことができ、コストを低減することが可能である。

また、本発明では、これらの場合、前記検査部で検査された各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープをそれぞれ、巻き取り装置の別々の巻き取り軸に並列に装着された複数の巻き取りリールにそれぞれ同時に巻き取ることもできる。

これにより、別々の巻き取り軸のリールに、別々に巻き取ることができるので、別々に次工程などに送ることができ便利である。

また、本発明は、前記検査部には、各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープを並走させるガイド部材を備え、
前記ガイド部材が、
最外側の電子部品実装用フィルムキャリアテープの両端側部を案内する両端のサイド案
内部と、
前記両端の案内部の間で、各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープの隣接する側部を案内するように突設配置された隣接部分案内部と、
を備えることを特徴とする。

このように構成することによって、各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープの隣接する側部、および両端部の側部が全て、ガイド部材のこれらのサイド案内部と隣接部分案内部とによって支持され案内されることになる。

従って、検査部において、並走される電子部品実装用フィルムキャリアテープがそれぞれ、幅方向に湾曲することなく、すなわち、撓むことがないので、検査位置が平坦でかつ一定となり、その結果、インナーリードの曲がり、欠落などの極めて精度が要求される品質検査において、拡大鏡などの焦点がずれることがなく、正確で精度の良好な品質検査を行うことができる。

また、本発明は、前記巻き出し装置から巻き出され、前記スリット装置によって各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープを、並走させながら搬送させるドライブギアを備え、
前記ドライブギアが、最外側の電子部品実装用フィルムキャリアテープの両端側部のスプロケットホールと噛合する両端ギアと、
前記両端ギアの間で、各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープの隣接する側部に設けられたスプロケットホールと噛合する中間ギアと、
を備えることを特徴とする。

このように構成することによって、各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープの隣接する側部、および両端部の側部に設けられたスプロケットホールが全て、ドライブギアのこれらの両端ギアと中間ギアと噛合し、同時に同速度で搬送されることになる。

従って、検査部において、並走される電子部品実装用フィルムキャリアテープがそれぞれ、相互に位置がずれることがないので、一度に同時に複数の電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、正確で精度の良好な品質検査を行うことができる。

また、本発明は、案内ローラを備え、この案内ローラが、最外側の電子部品実装用フィルムキャリアテープの両端側部を案内する両端のサイド案内突設部と、
前記両端のサイド案内突設部の間で、各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープの隣接する側部同士を分離して案内するように突設配置された隣接部分案内突設部と、
を備えることを特徴とする。

このように構成することによって、案内ローラにおいて、各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープの隣接する側部同士が、隣接部分案内突設部によって、相互に分離した状態で案内されることになる。

従って、搬送の際に、電子部品実装用フィルムキャリアテープの隣接する側部同士が接触して、磨耗損傷することがないので、品質の向上につながるとともに、巻き取りの際に、巻きずれなどを起こすことがない。

また、本発明は、前記巻き取り装置の同一の巻き取り軸に並列に装着された複数の巻き取りリール同士が、リールの中心近傍に設けられた貫通穴に、着脱自在な係止棒部材で固
定されていることを特徴とする。

このように構成することによって、リールの中心近傍に設けられた貫通穴に挿入された係止棒部材によって、巻き取り装置の同一の巻き取り軸に並列に装着された複数の巻き取りリール同士が固定されることになる。

従って、巻き取りリールが、巻き取りの際に、相互にずれることがないので、同じ速度で、かつ同じ巻き取り方で巻き取られるので、巻きずれが発生することなく、同時に同じ巻き姿の電子部品実装用フィルムキャリアテープを得ることができる。

また、本発明は、前記巻き取り装置の同一の巻き取り軸が、エアーを供給することによって、膨張してその径が拡径可能なエアーシャフトから構成されており、
これにより、前記巻き取り軸に並列に装着された複数の巻き取りリール同士が、固定されていることを特徴とする。

このように構成することによって、巻き取り軸を構成するエアーシャフトにエアーを供給することによって、シャフトが膨張、拡径して、巻き取り装置の同一の巻き取り軸に並列に装着された複数の巻き取りリール同士が固定されることになる。

従って、巻き取りリールが、巻き取りの際に、相互にずれることがないので、同じ速度で、かつ同じ巻き取り方で巻き取られるので、巻きずれが発生することなく、同時に同じ巻き姿の電子部品実装用フィルムキャリアテープを得ることができる。

しかも、この場合、エアーの供給、解除、エアー圧力を調整することによって、巻き取りリールの着脱、および、固定、ならびに固定力、巻きむらを制御することができるので、極めて便利であり、煩雑な作業も不要である。

また、本発明は、前記検査部が、検査のために電子部品実装用フィルムキャリアテープを拡大する拡大レンズ装置を備え、
前記拡大レンズ装置が、各条に裁断され並走する電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、全幅方向の電子部品実装用フィルムキャリアテープを拡大する拡大レンズを備えることを特徴とする。

このように構成することによって、拡大レンズを介して、全幅方向の電子部品実装用フィルムキャリアテープを拡大することができるので、一度に同時に複数の電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、正確で精度の良好な品質検査を行うことができる。

また、本発明は、前記拡大レンズ装置の倍率が、長さの拡大率で１．４倍以上の倍率を有することを特徴とする。

すなわち、拡大レンズ装置の倍率が、この範囲にあれば、電子部品実装用フィルムキャリアテープの不良品の検出を十分行うことができる。

また、本発明は、前記巻き出し装置と検査部との間に、各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープに対してそれぞれ別個のダンサーローラが配設されていることを特徴とする。

また、本発明は、前記巻き取り装置と検査部との間に、各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープに対してそれぞれ別個のダンサーローラが配設されていることを特徴とする。

このように巻き出し装置と検査部との間、巻き取り装置と検査部との間に、各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープに対してそれぞれ別個のダンサーローラが配設されているので、これらのダンサーローラによって、別個に電子部品実装用フィルムキャリアテープの弛み量を調整することができ、巻き出し、巻き取りを円滑に行うことができる。

また、本発明は、前記巻き出し装置と検査部との間に、各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して同一のダンサーローラが配設されていることを特徴とする。

また、本発明は、前記巻き取り装置と検査部との間に、各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープに対してそれぞれ同一のダンサーローラが配設されていることを特徴とする。

このように構成することによって、巻き出し装置と検査部との間、巻き取り装置と検査部との間で、同一のダンサーローラを制御するだけで、電子部品実装用フィルムキャリアテープの弛み量を調整することができ、巻き出し、巻き取りを円滑に行うことができる。

また、本発明は、前記ダンサーローラの位置を検知して、電子部品実装用フィルムキャリアテープの弛み量を制御する弛み制御装置を備えることを特徴とする。

これによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープの弛み量を調整することができ、巻き出し、巻き取りを円滑に行うことができる。

また、本発明は、前記弛み制御装置が、ダンサーローラに案内される各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープの案内経路をそれぞれ別個に変更するガイド部材を備えることを特徴とする。

これにより、例えば、同一のダンサーローラで、各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープを巻き出し、巻き取りを行っている際に、各条について巻き出し、巻き取り速度の微妙な相違によって、ダンサーローラが傾いて、円滑な弛み量制御ができず、電子部品実装用フィルムキャリアテープ同士が接触して磨耗損傷するのを、ガイド部材によって、各条の案内経路を別個に変更することによって、同一の弛み量とすることができるので、有効に防止することができる。

本発明によれば、予め個々の各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープに裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープを用いて、巻き出し装置の巻き出しリールからそれぞれ巻き出して、個々の各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープに裁断された状態で、検査部を、相互に位置ずれを起こすことなく、並走して通過する。

また、本発明によれば、複数の電子部品実装部が幅方向に多条に配置された電子部品実装用フィルムキャリアテープをそのまま用いて、巻き出し装置から巻き出して、そのままこの多条の電子部品実装用フィルムキャリアテープがスリット装置によって、個々の各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープに裁断される。

そして、このように個々の各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープに裁断された状態で、検査部を、相互に位置ずれを起こすことなく、並走して通過する。

従って、検査部において、並走してくる電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、一度に同時に、かつ正確に、複数条の電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、外観検査である目視検査（透過光検査、反射光検査）を行って、断線、短絡、欠け、突起などの各種の品質検査の結果、不良品についてパンチング、インキング、マジックなどによるなどにより不良表示を施すことが可能である。

従って、複数の電子部品実装部が幅方向に多条に配置された電子部品実装用フィルムキャリアテープをそのまま用いて、一度に検査することができ、検査効率および検査精度も極めて向上することになる。

しかも、検査後には、個々の各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを、そのまま相互に位置ずれを起こすことなく、相互に分離して個々のリールに巻きずれもなく、巻き取ることが可能である。

すなわち、本発明によれば、連続的かつ大量にしかも正確に検査処理することが可能となり、処理効率が極めて向上するとともに、作業員も一人で行うことができ、コストを低減することが可能である。

また、本発明によれば、各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープの隣接する側部、および両端部の側部が全て、ガイド部材のこれらのサイド案内部と隣接部分案内部とによって支持され案内されることになる。

従って、検査部において、並走される電子部品実装用フィルムキャリアテープがそれぞれ、幅方向に湾曲することなく、すなわち、撓むことがないので、検査位置が一定となり、その結果、インナーリードの曲がり、欠落などの極めて精度が要求される品質検査において、拡大鏡などの焦点がずれることがなく、正確で精度の良好な品質検査を行うことができる。

また、本発明によれば、各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープの隣接する側部、および両端部の側部に設けられたスプロケットホールが全て、ドライブギアのこれらの両端ギアと中間ギアと噛合し、同時に同速度で搬送されることになる。

従って、検査部において、並走される電子部品実装用フィルムキャリアテープがそれぞれ、相互に位置がずれることがないので、一度に同時に複数の電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、正確で精度の良好な品質検査を行うことができる。

また、本発明によれば、案内ローラにおいて、各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープの隣接する側部同士が、隣接部分案内突設部によって、相互に分離した状態で案内されることになる。

従って、搬送の際に、電子部品実装用フィルムキャリアテープの隣接する側部同士が接触して、磨耗損傷することがないので、品質の向上につながるとともに、巻き取りの際に、巻きずれなどを起こすことがない。

また、本発明によれば、リールの中心近傍に設けられた貫通穴に挿入された係止棒部材によって、巻き取り装置の同一の巻き取り軸に並列に装着された複数の巻き取りリール同士が固定されることになる。

従って、巻き取りリールが、巻き取りの際に、相互にずれることがないので、同じ速度で、かつ同じ巻き取り方で巻き取られるので、巻きずれが発生することなく、同時に同じ
巻き姿の電子部品実装用フィルムキャリアテープを得ることができる。

また、本発明によれば、巻き取り軸を構成するエアーシャフトにエアーを供給することによって、シャフトが膨張、拡径して、巻き取り装置の同一の巻き取り軸に並列に装着された複数の巻き取りリール同士が固定されることになる。

従って、巻き取りリールが、巻き取りの際に、相互にずれることがないので、同じ速度で、かつ同じ巻き取り方で巻き取られるので、巻きずれが発生することなく、同時に同じ巻き姿の電子部品実装用フィルムキャリアテープを得ることができる。

しかも、この場合、エアーの供給、解除、エアー圧力を調整することによって、巻き取りリールの着脱、および、固定、ならびに固定力、巻きむらを制御することができるので、極めて便利であり、煩雑な作業も不要である。

また、本発明によれば、拡大レンズを介して、全幅方向の電子部品実装用フィルムキャリアテープを拡大することができるので、一度に同時に複数の電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、正確で精度の良好な品質検査を行うことができる。

さらに、本発明によれば、例えば、同一のダンサーローラで、各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープを巻き出し、巻き取りを行っている際に、各条について巻き出し、巻き取り速度の微妙な相違によって、ダンサーローラが傾いて、円滑な弛み量制御ができず、電子部品実装用フィルムキャリアテープ同士が接触して磨耗損傷するのを、ガイド部材によって、各条の案内経路を別個に変更することによって、同一の弛み量とすることができるので、有効に防止することができるなどの幾多の作用効果を奏する極めて優れた発明である。

以下、本発明の実施の形態（実施例）を図面に基づいてより詳細に説明する。

図１は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置の実施例の正面図、図２は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法を説明する概略図、図３は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置に用いる電子部品実装用フィルムキャリアテープの上面図、図４は、検査部におけるガイド部材の斜視図、図５は、図４のＡ−Ａ線での断面図、図６は、ドライブギアの断面図、図７は、バックテンションローラの断面図、図８は、巻き取り装置のリール部分の正面図、図９は、図８のＢ−Ｂ線での断面図、図１０は、エアーシャフトの断面図である。

図１に示したように、１０は、全体で本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置（以下、単に「検査装置」と言う）を示している。

検査装置１０は、図１に示したように、例えば、ＴＡＢ、ＣＳＰ、ＢＧＡのようなタイプの電子部品実装用フィルムキャリアテープであって、その製造工程が全て終了した電子部品実装用フィルムキャリアテープＴ（以下、単に「フィルムキャリアテープ」と言う。）が、スペーサＳを介して巻装されたリールＲ１が、巻き出し装置１２の巻き出し駆動軸１４に装着されている。

そして、駆動モータの駆動により、巻き出し駆動軸１４が回転して、フィルムキャリアテープＴが、リールＲ１からスペーサＳとともに繰り出されて、案内ローラ１６、１８を介して、検査部２０へと供給されるようになっている。

このフィルムキャリアテープＴは、図３に示したように、いわゆる多数個取りと呼ばれる複数の電子部品実装部Ｇが幅方向に多条に配置された電子部品実装用フィルムキャリアテープである。

なお、この実施例では、説明の便宜上、フィルムキャリアテープＴの幅方向に２個の電子部品実装部Ｇ１、Ｇ２が２条に配置された電子部品実装用フィルムキャリアテープを示している。例えば、４８ｍｍ幅のフィルムキャリアテープ部分が２条になったもの（４８ｍｍ×２）、３５ｍｍ幅のフィルムキャリアテープ部分が２条になったもの（３５ｍｍ×２）などが使用可能である。

なお、後述するように、検査部２０の顕微鏡４８、拡大鏡５０によって拡大された複数のフィルムキャリアテープの検査部分を同一視野内で検査するためには、複数条のフィルムキャリアテープの幅の合計が、１６０ｍｍ以内、好ましくは、１３０ｍｍ、さらに好ましくは、１１０ｍｍ以内であるのが望ましい。

なお、巻き出し装置１２には、図１に示したように、上下方向に３個の位置センサー２２が設けられており、下方の位置センサーによって、各条に切断されたフィルムキャリアテープＴ（Ｔ１、Ｔ２）の弛み部分の下端Ｔ'が検知された際には、巻き出し装置１２の
駆動モータの駆動を停止して、電子部品実装用フィルムキャリアテープが弛みすぎて床に接触して損傷するのを防止するようになっている。

また、上方の位置センサー２２によって、フィルムキャリアテープＴ（Ｔ１、Ｔ２）の弛み部分の下端Ｔ'が検知された際には、巻き出し装置１２の駆動モータの駆動を開始し
て一定の電子部品実装用フィルムキャリアテープの弛みを維持するようになっている。

なお、図１中、２４は、ダンサーローラであり、その自重によって、フィルムキャリアテープＴ（Ｔ１、Ｔ２）のテンションを一定に保つためのものである。

このように巻き出し装置１２から巻き出され、搬送されるフィルムキャリアテープＴは、切断刃を備えたスリット装置２６によって、個々の各条のフィルムキャリアテープに裁断され、図２に示したように、各条に裁断され、個々のフィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２に分離される。

このようにスリット装置２６によって、各条に裁断され、個々のフィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２に分離されたフィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２はそれぞれ、案内ローラ１６、１８を通過するようになっている。

そして、この案内ローラ１６、１８を通過したフィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２は、検査部２０に供給される。

この検査部２０に供給されたフィルムキャリアテープＴは、バックテンションローラ３０とドライブギア３２によって搬送されるようになっている。

そして、バックテンションローラ３０とドライブギア３２の間を通過する際に、ドライブギア３２の駆動が一時停止されて、フィルムキャリアテープＴの送給が停止されて、検査部２０の所定の位置、すなわち、検査位置Ｐで停止されるようになっている。

この際、フィルムキャリアテープＴ（Ｔ１、Ｔ２）のスプロケット孔に係合するバックテンションローラ３０の逆転によって、フィルムキャリアテープＴが正確に所定の位置に、例えば、フィルムキャリアテープＴ（Ｔ１、Ｔ２）のスプロケット孔を基準にして、位
置決めされるようになっている。

すなわち、図１に示したように制御装置１５を介して、ドライブギア３２の駆動が一時停止されて、フィルムキャリアテープＴ（Ｔ１、Ｔ２）の送給が停止されるようになっている。

この場合の制御は、ドライブギア３２の回転を、ドライブギア３２を駆動する駆動機構であるパルスモータの回転による内部パルスを制御することにより行うようになっている。

なお、ドライブギア３２の回転を、ドライブギア３２を駆動する駆動機構であるパルスモータの回転による内部パルスを制御して、フィルムキャリアテープの搬送の停止を制御する代わりに、フィルムキャリアテープＴのスプロケット孔によって、その長手方向の位置をレーザ光などの光を照射する光照射装置と、受光センサーを介して、フィルムキャリアテープＴ（Ｔ１、Ｔ２）の長手方向の位置を検出するようにすることも可能である。

この停止位置は、フィルムキャリアテープＴ（Ｔ１、Ｔ２）の検査すべき電子部品実装部Ｇが、検査部２０に配置されたガイド部材３４の所定の位置、すなわち、検査位置Ｐに位置するように位置決めされる・
このガイド部材３４は、図４および図５に示したように、各条に裁断されたフィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２を並走させるものである。

このガイド部材３４は、断面略コ字形状であり、底板部３６の両端部から上方に突設され、最外側のフィルムキャリアテープＴの両端側部Ｔ３、Ｔ４を案内する両端のサイド案内部３８、４０を備えている。

このサイド案内部３８、４０にはそれぞれ、段部３８ａ、４０ａが形成されており、この段部３８ａ、４０ａに沿って、最外側のフィルムキャリアテープＴの両端側部Ｔ３、Ｔ４が案内されるようになっている。

また、これらの両端のサイド案内部３８、４０の間には、各条に裁断されたフィルムキャリアテープの隣接する側部Ｔ５、Ｔ６を案内するように、底板部３６から上方に突設された上面が平坦な隣接部分案内部４２を備えている。

また、この隣接部分案内部４２には、その上部にフィルムキャリアテープの隣接する側部Ｔ５、Ｔ６同士が接触して磨耗損傷しないように、分離突設部４２ａが突設されている。なお、この分離突設部４２ａの幅は、特に限定されるものではないが、この分離効果を考慮すれば、３ｍｍ程度とするのが好適である。

これにより、これらのサイド案内部３８、４０と、隣接部分案内部４２との間には、空隙４４、４６が形成されることになり、フィルムキャリアテープＴ（Ｔ１、Ｔ２）を搬送する際に、摩擦などによって、フィルムキャリアテープＴ（Ｔ１、Ｔ２）が損傷しないように構成されている。

このように構成することによって、各条に裁断されたフィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２の隣接する側部Ｔ５、Ｔ６、ならびに両端部の側部が全て、ガイド部材３４のこれらのサイド案内部３８、４０と隣接部分案内部４２とによって支持され案内されることになる。

従って、検査部２０において、並走されるフィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２がそれぞ
れ、幅方向に湾曲することなく、すなわち、撓むことがない。これにより、検査位置Ｐ、すなわち、後述するように、拡大レンズなどの焦点位置が一定となり、その結果、インナーリードの曲がり、欠落などのパターン欠陥の極めて精度が要求される品質検査において、拡大鏡などの焦点がずれることがなく、正確で精度の良好な品質検査を行うことができる。

なお、この実施例では、２条のフィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２を用いているので、中間の隣接部分案内部４２は、１個であるが、このフィルムキャリアテープＴの多条の数に応じて、隣接部分案内部４２の個数、間隔を適宜調整すればよい。

また、フィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２の隣接する側部Ｔ５、Ｔ６の間は、相互に側部が接触して、磨耗損傷しないように、僅かに間隙をもってガイド部材３４によって案内され搬送されるのが望ましい。

検査部２０には、図１に示したように、例えば、配線パターンのピッチが３５μｍ以上、好ましくは、４０μｍ以上であるフィルムキャリアテープの配線部の、例えば、断線、短絡、欠け、突起などの外観検査や、メッキ異常、テープ形状の変形、ソルダーレジストの欠陥などの外観検査を、反射光または透過光を利用して、人の目視にて実施するための拡大レンズ装置が配置されている。

この拡大レンズ装置としては、複数のレンズが組み合わされた顕微鏡４８、レンズが一枚の拡大鏡５０から構成されるのが望ましい。

この場合、検査部２０には、この顕微鏡４８の手前側に、上記の外観検査を行うための拡大鏡５０が併設されるのが好ましい。

この場合、拡大レンズ装置の拡大率としては、長さの拡大率で１．４倍以上の倍率、１．４〜６．０倍、好ましくは、１．５〜３．５倍、さらに好ましくは、１．８倍〜３．０倍の倍率を有するのが望ましい。

すなわち、拡大レンズ装置の拡大率が、１．４倍未満では、不良品検出を十分に行うことができず、逆に、６倍を超えるとパターンが視野からはみ出してしまうからである。

具体的には、１枚のレンズからなる拡大鏡の場合には、好適には、１．５〜２．５倍とするのが望ましい。また、複数のレンズからなる実体顕微鏡の場合には、好適には、２〜６倍とするのが望ましい。但し、後述するように、不良品と思われるパターンを詳細に検査する場合には、倍率を２０倍程度に上げて検査することもある。

すなわち、拡大レンズ装置を用いてフィルムキャリアテープを検査する方法としては、（１）複数のパターンが同時に視野に入るように倍率を、例えば、２〜６倍に設定する。（２）原則、検査中にはこの倍率を変更しないで検査する。但し、不良と思われるパターンがみつかった場合に、そのパターンを詳細に検査する場合には、
（３）拡大鏡５０を使用している場合には、拡大鏡５０の位置をずらして、倍率の高い実体顕微鏡４８を用いて、例えば、２０倍程度の倍率で検査する。
（４）実体顕微鏡４８を、例えば、２〜６倍の低倍率で使用している場合には、高倍率に変更して、例えば、２０倍程度の倍率で検査する。

また、拡大レンズ装置は、ガイド部材３４によって案内される各条に裁断され並走するフィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２に対して、これらのフィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２の全幅方向において、同時に二列一度に上記の検査を実施するようにするためのもので
ある。

また、拡大鏡５０は、フィルムキャリアテープを拡大する拡大レンズから構成されている。このようなレンズとしては、特に限定されるものではないが、例えば、倍率が１．５〜２．５倍程度のガラスレンズ、またはフレネルレンズを使用することができる。

なお、この検査部２０においては、拡大レンズ装置で検査する際に、複数のパターンが同じ視野に入っていればよいので、複数条のフィルムキャリアテープの相対位置が同じ視野に入る範囲であれば、正確に一致していなくてもずれていてもよい。

さらに、この検査部２０には、図２に示したように、検査のためにフィルムキャリアテープに対して光を照射する照明装置５２を備えている。この照明装置５２は、図２に示したように、検査部２０の後方上方に一定間隔離間して配置された照明灯５４、５４を備えている。

そして、この照明灯５４、５４は、フィルムキャリアテープＴ（Ｔ１、Ｔ２）に対して、後方上方から検査位置Ｐに光が同時に合焦するように構成されている。

これにより、並走する電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅全体にわたって、明るく照明されることになるので、一度に同時に複数の電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、正確で精度の良好な品質検査を行うことができる。

なお、顕微鏡でフィルムキャリアテープを覗いた際に、レンズの周辺の視野は暗くなるので（すなわち、視野の周辺が暗くなるので）、これを補うために、フィルムキャリアテープＴ（Ｔ１、Ｔ２）の側面からもあわせて、あるいは単独で光を照射してもよい。

しかも、検査室の天井に配置された従来の照明から照射される光が、この照明装置５２による照明が明るいので、フィルムキャリアテープＴからの反射光が緩和されることになるので、反射光によるフィルムキャリアテープの検査阻害を受けることがなく、正確で精度の良好な品質検査を行うことができる。

なお、図１中、５６は、透過光照射装置であり、透過光にて外観検査を行う際に使用するものである。この透過光照射装置５６を使用する場合に備えて、ガイド部材３４の底板部３６には、検査位置Ｐに、透過光透過用の開口部３６ａが予め形成されている。

この検査部２０における検査では、図示しないが、これらの顕微鏡４８による検査、拡大鏡５０によって、良品、不良品を判断して、その位置を入力する入力スイッチが付設されている。これにより、電子部品実装部Ｇの所定番目の位置、不良部分のテープの長手方向の位置、幅方向の位置が、制御装置１５に入力されるようになっている。

このスイッチは、図示しないが、例えば、左手のスイッチが、駆動モータのＯＮ／ＯＦＦスイッチとなっている。また、右手のスイッチが手前側と奥側の２つのスイッチが配設されており、フィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２に対応して、それぞれのスイッチを押すことによって、奥側のスイッチを押すと奥側の製品に不良マークが付され、手前側のスイッチを押すと手前側の製品に不良マークが付されるようにして、不良品マークをつけることができるようになっている。

この制御装置１５の入力結果に基いて、検査部２０の下流側に配設された不良表示装置５８で、不良表示が所定の位置に施されるようになっている。この不良表示装置５８としては、特に限定されるものではなく、不良品についてパンチング、インキング、マジック
などによるなどにより不良表示を施すものであればいずれも使用可能である。

なお、ドライブギア３２は、図６に示したように、軸部６０と、この軸部の両端に配設された両端ギア６２、６４と、この両端ギア６２、６４の間に軸部６０の周囲に配設された、例えば、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）（ＭＣナイロン）やフッ素樹脂などの合成樹脂からなるローラ本体６６と、中間ギア６８、７０とを備えている。

この場合、両端ギア６２、６４がそれぞれ、最外側のフィルムキャリアテープＴの両端側部Ｔ３、Ｔ４のスプロケットホールＨ３、Ｈ４と噛合するように構成されている。

また、中間ギア６８、７０がそれぞれ、各条に裁断されたフィルムキャリアテープの隣接する側部Ｔ５、Ｔ６に設けられたスプロケットホールＨ５、Ｈ６と噛合するように構成されている。

このように構成することによって、各条に裁断されたフィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２の隣接する側部Ｔ５、Ｔ６、および両端部の側部Ｔ３、Ｔ４に設けられたスプロケットホールＨ３〜Ｈ６が全て、ドライブギア３２のこれらの両端ギア６２、６４と中間ギア６８、７０と噛合し、同時に同速度で搬送されることになる。

従って、検査部２０において、並走されるフィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２がそれぞれ、相互に位置がずれることがないので、一度に同時に複数のフィルムキャリアテープに対して、正確で精度の良好な品質検査を行うことができる。

また、ローラ本体６６によって、フィルムキャリアテープＴ（Ｔ１、Ｔ２）が全体が支持されることになるので、駆動の際に、ギアに駆動力が集中することなく、スプロケットホールの損傷を防止することができるようになっている。

なお、この実施例では、２条のフィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２を用いているので、中間ギア６８、７０は、２個であるが、このフィルムキャリアテープＴの多条の数に応じて、中間ギア６８、７０の個数、間隔を適宜調整すればよい。

また、バックテンションローラ３０は、図７に示したように、ローラ本体３０ａと、このローラ本体３０ａの両端に突設された両端のサイド案内突設部３０ｂ、３０ｃと、これらの両端案内突設部の中間に突設された隣接部分案内突設部３０ｄを備えている。

この両端のサイド案内突設部３０ｂ、３０ｃによって、最外側のフィルムキャリアテープＴの両端側部Ｔ３、Ｔ４が案内される。また、隣接部分案内突設部３０ｄによって、両端のサイド案内突設部３０ｂ、３０ｃの間で、各条に裁断されたフィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２の隣接する側部Ｔ５、Ｔ６同士を分離して案内するように構成されている。

このように構成することによって、搬送の際に、フィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２の隣接する側部Ｔ５、Ｔ６同士が接触して、磨耗損傷することがないので、品質の向上につながるとともに、巻き取りの際に、巻きずれなどを起こすことがないようになっている。

なお、案内ローラ１６、１８、７２、７４、８２、８４は、普通のローラであるが、このバックテンションローラ３０の構成と同様な構成としてもよい。

このように検査部２０で所定の品質検査が実施され、不良表示装置５８で、不良表示が所定の位置に施されたフィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２は、案内ローラ７２、７４を通過して、巻き取り装置７６によって巻き取られる。

すなわち、フィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２はそれぞれ、巻き取り装置７６の同一の巻き取り駆動軸７８に、並列に装着された複数の巻き取りリールＲ２、Ｒ３に、図示しない、駆動モータの駆動により巻き取り駆動軸７８が回転することにより、フィルムキャリアテープＴ、Ｔ２がそれぞれ同時に同じ速度で巻き取られるように構成されている。

この際、図１に示したように、巻き出し装置１２のリールＲ１から繰り出され、スリット装置８０によって、フィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２と同様に、２条に裁断分離されたスペーサＳ１、Ｓ２がそれぞれ、案内ローラ８２、８４を介して、リールＲ２、Ｒ３に供給されて、フィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２の間に介装され、フィルムキャリアテープ同士が接触してインクが別の部分に付着したり、フィルムキャリアテープが損傷しないように保護するようになっている。

なお、この実施例では、スリット装置８０によって、スペーサＳを２条に切断したが、スリット装置８０でスリットすることなく、別に巻き取って再度使用するようにしてもよい。この場合には、別の図示しない２つのスペーサ巻き出しリールＲ５、Ｒ６から、既に所定の寸法に切断されているスペーサＳ１、Ｓ２を、フィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２の間に介装するようにしてもよい。

なお、巻き取り装置７６には、図１に示したように、巻き出し装置１２と同様に、上下方向に３個の位置センサー８８が設けられており、下方の位置センサーによって、フィルムキャリアテープＴ（Ｔ１、Ｔ２）の弛み部分の下端Ｔ'が検知された際には、巻き取り
装置７６の駆動モータを駆動させ、フィルムキャリアテープＴ（Ｔ１、Ｔ２）が弛みすぎて床に接触して損傷するのを防止するようになっている。

また、上方の位置センサー８８によって、フィルムキャリアテープＴ（Ｔ１、Ｔ２）の弛み部分の下端Ｔ'が検知された際には、巻き取り装置７６の駆動モータの駆動を停止し
て一定のフィルムキャリアテープＴの弛みを維持するようになっている。

なお、この位置センサー８８は、フィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２の数に対応して、それぞれ設けられている。

なお、図１中、９０は、ダンサーローラであり、その自重によって、フィルムキャリアテープＴ（Ｔ１、Ｔ２）のテンションを一定に保つためのものである。

なお、例えば、ＣＯＦのように薄くて軽いフィルムキャリアテープの場合には、この実施例のように、ダンサーローラ２４、９０を用いればよいが、一般のＴＡＢテープのように厚くて自重の重いフィルムキャリアテープの場合には、このようなダンサーローラ２４、９０を使用しなくてもよい。

さらに、巻き取り装置７６は、図８および図９に示したように、リールの中心近傍に設けられた貫通穴９２に、着脱自在な係止棒部材９４を挿着することによって、巻き取り装置７６の同一の巻き取り駆動軸７８に並列に装着された複数の巻き取りリールＲ２、Ｒ３同士が固定されるようになっている。

なお、図８および図９中、９６は、リールに設けられたキー溝、９８は、このキー溝９６に係合する巻き取り駆動軸７８に設けられたキーであり、これらの係合によって、巻き取り駆動軸７８の回転がリールに伝達されるようになっている。

なお、この場合、係止棒部材９４は、着脱自在な構成であればよく、その構造は特に限
定されるものではなく、例えば、ボルト−ナット式、クランパー式など公知の構造のものを採用することが可能である。

このように構成することによって、巻き取りリールＲ２、Ｒ３が、巻き取りの際に、相互にずれることがないので、同じ速度で、かつ同じ巻き取り方で巻き取られるので、巻きずれが発生することなく、同時に同じ巻き姿のフィルムキャリアテープを得ることができる。

なお、リールＲ２，Ｒ３が別々の巻き取り駆動軸に取り付けられている場合でも、それらの駆動軸のセンターが同一であれば、上記のように着脱自在な係止棒部材９４を貫通孔９２に挿着することができる。

また、巻き取り駆動軸７８自体を、エアーを供給することによって、膨張してその径が拡径可能なエアーシャフトから構成してもよい。

図１０は、このようなエアーシャフトの断面図である。

エアーシャフト１１は、エアーシャフト本体１１ａの内部に配設された環状のバルーン部材１３を備えており、このバルーン部材１３の外周に複数個の一定角度離間して、突出動自在に構成されたチャック部材１７を備えている。

そして、このバルーン部材１３の内部に、エアー管路１９から、図示しない、エアー源からエアーを送り込むことによって、図１０の矢印に示したように、チャック部材１７が出没することによって、拡径自在な構成となっている。

このように構成することによって、巻き取りリールが、巻き取りの際に、相互にずれることがないので、同じ速度で、かつ同じ巻き取り方で巻き取られるので、巻きずれが発生することなく、同時に同じ巻き姿の電子部品実装用フィルムキャリアテープを得ることができる。

しかも、この場合、エアーの供給、解除、エアー圧力を調整することによって、巻き取りリールの着脱、および、固定、ならびに固定力、巻きむらを制御することができるので、極めて便利であり、煩雑な作業も不要である。

なお、このようなエアーシャフトを用いた場合には、位置センサー８８によって、フィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２の弛みの割合が相違したと検知された場合には、制御装置１５の制御によって、自動的にエアーシャフトのエアー供給を解除して、リールＲ２、Ｒ３同士の固定を解除して、巻きむらを調整することができるようにするのが望ましい。

なお、巻き出し装置１２のダンサーローラ２４において、各条に裁断されたフィルムキャリアテープＴ（Ｔ１、Ｔ２）の巻き出し速度が微妙に異なるため、このように同一のダンサーローラ２４では、各条に裁断されたフィルムキャリアテープＴ（Ｔ１、Ｔ２）の弛み量が異なり、同一のダンサーローラ２４が傾いてくることになる。

このように同一のダンサーローラ２４が傾くと、円滑な弛み量制御ができず、フィルムキャリアテープＴ（Ｔ１、Ｔ２）同士が接触して磨耗損傷することになる。

このため、図１に示したように、同一のダンサーローラ２４に案内される各条のフィルムキャリアテープについて、それぞれ別個に案内経路を変更するローラなどからなるガイド部材２１、案内ローラ２３を、図示しない水平センサーとともに備えるのが望ましい。

すなわち、図１に示したように、実線の位置のようにダンサーローラ２４に案内される各条のフィルムキャリアテープが弛んできた場合には、点線で示すように、ガイド部材２１を矢印方向に水平に移動させることによって、フィルムキャリアテープＴ（Ｔ１、Ｔ２）および同一のダンサーローラ２４が、案内ローラ２３に案内されて、点線の位置まで移動して弛みをなくす、すなわち、ダンサーローラを水平にすることができる。また、逆に弛みがなくなってきた場合には、点線の位置から実線の位置までガイド部材２１を移動すればよい。

これによって、同一のダンサーローラ２４が傾いて、円滑な弛み量制御ができず、電子部品実装用フィルムキャリアテープ同士が接触して磨耗損傷するのを、ガイド部材２１によって、各条の案内経路を別個に変更することによって、同一の弛み量とすることができるので、有効に防止することができる。

なお、巻き取り装置７６のダンサーローラ９０についても、図１に示したように、同様なガイド部材７１、案内ローラ７３を設けて、円滑な弛み量制御ができず、電子部品実装用フィルムキャリアテープ同士が接触して磨耗損傷するのを、ガイド部材７１によって、各条の案内経路を別個に変更することによって、同一の弛み量とすることができるので、有効に防止するのが望ましい。

図１１は、本発明の別の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置の実施例を示す図１の実施例と同様な正面図、図１２は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法を説明する図２と同様な概略図である。

この実施例は、基本的には、図１の実施例に示したフィルムキャリアテープの検査装置１０と同様な構成であるので、同じ構成部材には、同じ参照番号を付してその詳細な説明を省略する。

この実施例のフィルムキャリアテープの検査装置１０では、予め個々の各条のフィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２に裁断されたフィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２がそれぞれ、巻き出し装置１２の巻き出しリールＲ１、Ｒ１'に個別に巻装されている。

また、これに対応してスペーサも予め、裁断されたスペーサＳ１、Ｓ２を用いている。

従って、この実施例では、スリット装置２６、８０が設けられていない。また、この実施例では、案内ローラ１６、１８、７２、７４はそれぞれ、フィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２を別個に案内するように各２組づつ設けられている。

このように予め個々の各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープに裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープを用いても、図１に示した実施例と同様の作用効果を奏することができる。

なお、この実施例のフィルムキャリアテープの検査装置では、巻き出し装置１２の巻き出しリールＲ１、Ｒ１'において、係止棒部材９４、エアーシャフト１１を用いるのが、
同じ巻き出し速度で、同じ巻き出し割合となり、検査部２０において、電子部品実装部の位置がずれず、巻き取りの際にも、巻きむら、ずれが発生しないようにするためには望ましい。

なお、本明細書で、用語「並列」、「並走」とは、前後、左右、上下、斜めに配置することを意味するものである。

以上、本発明の好ましい実施の態様を説明してきたが、本発明はこれに限定されることはなく、例えば、上記実施例では、検査部２０において、人による目視検査による検査を実施するようにしたが、例えば、ＣＣＤカメラなどによる画像認識で自動で品質検査を行うようにすることも可能である。

さらに、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置および検査方法は、電子部品が実装されたフィルムキャリアテープの外観検査にも適用することができるなど本発明の目的を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

図１は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置の実施例の正面図である。 図２は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法を説明する概略図である。 図３は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置に用いる電子部品実装用フィルムキャリアテープの上面図である。 図４は、検査部におけるガイド部材の斜視図である。 図５は、図４のＡ−Ａ線での断面図である。 図６は、ドライブギアの断面図である。 図７は、バックテンションローラの断面図である。 図８は、巻き取り装置のリール部分の正面図である。 図９は、図８のＢ−Ｂ線での断面図である。 図１０は、エアーシャフトの断面図である。 図１１は、本発明の別の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置の実施例を示す図１の実施例と同様な正面図である。 図１２は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法を説明する図２と同様な概略図である。 図１３は、従来の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置の正面図である。

符号の説明

１０ 検査装置
１１ エアーシャフト
１１ａ エアーシャフト本体
１２ 巻き出し装置
１３ バルーン部材
１４ 巻き出し駆動軸
１５ 制御装置
１６、１８ 案内ローラ
１９ エアー管路
２０ 検査部
２１ ガイド部材
２２ 位置センサー
２６ スリット装置
３０ バックテンションローラ
３０ａ ローラ本体
３０ｂ、３０ｃ サイド案内突設部
３０ｄ 隣接部分案内突設部
３２ ドライブギア
３４ ガイド部材
３６ 底板部
３６ａ 開口部
３８、４０ サイド案内部
３８ａ、４０ａ 段部
４２ 隣接部分案内部
４２ａ 分離突設部
４４ 空隙
４８ 顕微鏡
５０ 拡大鏡
５２ 照明装置
５４ 照明灯
５６ 透過光照射装置
５８ 不良表示装置
６０ 軸部
６２、６４ 両端ギア
６６ ローラ本体
６８、７０ 中間ギア
７１ ガイド部材
７２、７４ 案内ローラ
７６ 巻き取り装置
７８ 巻き取り駆動軸
８０ スリット装置
８２、８４ 案内ローラ
８８ 位置センサー
９０ ダンサーローラ
９２ 貫通穴
９４ 係止棒部材
９６ キー溝
１００ 検査装置
１０２ 電子部品実装用フィルムキャリアテープ
１０４ 巻き出しリール
１０６ 巻き出し装置
１０８ 巻き出し軸
１１０ 検査部
１１２ 不良表示装置
１１４ 巻き取り装置
１１６ 巻き取り軸
１１８ 巻き取りリール
Ｇ 電子部品実装部
Ｇ１、Ｇ２ 電子部品実装部
Ｈ３〜Ｈ６ スプロケットホール
Ｐ 検査位置
Ｒ１ リール
Ｒ２ リール
Ｒ３ リール
Ｓ スペーサ
Ｓ１、Ｓ２ スペーサ
Ｔ フィルムキャリアテープ
Ｔ' 下端
Ｔ１、Ｔ２ フィルムキャリアテープ
Ｔ３〜Ｔ６ 側部
α 角度

Claims (39)

1. 複数の電子部品実装部が幅方向に多条に配置された電子部品実装用フィルムキャリアテープを検査するための検査装置であって、
   予め個々の各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープに裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープがそれぞれ、巻き出しリールに巻装された多条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを巻き出す巻き出し装置と、
   前記各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープを並走させながら同時に検査する検査部と、
   前記検査部で検査された各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープをそれぞれ、同一の巻き取り軸に並列に装着された複数の巻き取りリールにそれぞれ同時に巻き取る巻き取り装置と、
   を備えることを特徴とする電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
2. 複数の電子部品実装部が幅方向に多条に配置された電子部品実装用フィルムキャリアテープを検査するための検査装置であって、
   予め個々の各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープに裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープがそれぞれ、巻き出しリールに巻装された多条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを巻き出す巻き出し装置と、
   前記各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープを並走させながら同時に検査する検査部と、
   前記検査部で検査された各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープをそれぞれ、別々の巻き取り軸に並列に装着された複数の巻き取りリールにそれぞれ同時に巻き取る巻き取り装置と、
   を備えることを特徴とする電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
3. 複数の電子部品実装部が幅方向に多条に配置された電子部品実装用フィルムキャリアテープを検査するための検査装置であって、
   巻き出しリールに巻装された多条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを巻き出す巻き出し装置と、
   前記巻き出し装置から巻き出された多条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを、個々の各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープに裁断するスリット装置と、
   前記スリット装置によって各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープを並走させながら同時に検査する検査部と、
   前記検査部で検査された各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープをそれぞれ、同一の巻き取り軸に並列に装着された複数の巻き取りリールにそれぞれ同時に巻き取る巻き取り装置と、
   を備えることを特徴とする電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
4. 複数の電子部品実装部が幅方向に多条に配置された電子部品実装用フィルムキャリアテープを検査するための検査装置であって、
   巻き出しリールに巻装された多条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを巻き出す巻き出し装置と、
   前記巻き出し装置から巻き出された多条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを、個々の各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープに裁断するスリット装置と、
   前記スリット装置によって各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープを並走させながら同時に検査する検査部と、
   前記検査部で検査された各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープをそれぞれ、別々の巻き取り軸に並列に装着された複数の巻き取りリールにそれぞれ同時に巻き取る巻き取り装置と、
   を備えることを特徴とする電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
5. 前記検査部には、各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープを並走させるガイド部材を備え、
   前記ガイド部材が、
   最外側の電子部品実装用フィルムキャリアテープの両端側部を案内する両端のサイド案内部と、
   前記両端の案内部の間で、各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープの隣接する側部を案内するように突設配置された隣接部分案内部と、
   を備えることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
6. 前記巻き出し装置から巻き出され、前記スリット装置によって各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープを、並走させながら搬送させるドライブギアを備え、
   前記ドライブギアが、最外側の電子部品実装用フィルムキャリアテープの両端側部のスプロケットホールと噛合する両端ギアと、
   前記両端ギアの間で、各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープの隣接する側部に設けられたスプロケットホールと噛合する中間ギアと、
   を備えることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
7. 案内ローラを備え、この案内ローラが、最外側の電子部品実装用フィルムキャリアテープの両端側部を案内する両端のサイド案内突設部と、
   前記両端のサイド案内突設部の間で、各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープの隣接する側部同士を分離して案内するように突設配置された隣接部分案内突設部と、
   を備えることを特徴とする請求項６に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
8. 前記巻き取り装置の同一の巻き取り軸に並列に装着された複数の巻き取りリール同士が、リールの中心近傍に設けられた貫通穴に、着脱自在な係止棒部材で固定されていることを特徴とする請求項１、３、５から７のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
9. 前記巻き取り装置の別々の巻き取り軸に並列に装着された複数の巻き取りリールがそれぞれ、リールの中心近傍に設けられた貫通穴に、着脱自在な係止棒部材で固定されていることを特徴とする請求項２、４から７のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
10. 前記巻き取り装置の同一の巻き取り軸が、エアーを供給することによって、膨張してその径が拡径可能なエアーシャフトから構成されており、
    これにより、前記巻き取り軸に並列に装着された複数の巻き取りリール同士が、固定されていることを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
11. 前記巻き取り装置の別々の巻き取り軸が、エアーを供給することによって、膨張してその径が拡径可能なエアーシャフトから構成されており、
    これにより、前記巻き取り軸に並列に装着された複数の巻き取りリールがそれぞれ、固定されていることを特徴とする請求項２、４から７、９のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
12. 前記検査部が、検査のために電子部品実装用フィルムキャリアテープを拡大する拡大レンズ装置を備え、
    前記拡大レンズ装置が、各条に裁断され並走する電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、全幅方向の電子部品実装用フィルムキャリアテープを拡大する拡大レンズを備えることを特徴とする請求項１から１１のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
13. 前記拡大レンズ装置の倍率が、長さの拡大率で１．４倍以上の倍率を有することを特徴とする請求項１から１２のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
14. 前記巻き出し装置と検査部との間に、各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープに対してそれぞれ別個のダンサーローラが配設されていることを特徴とする請求項１から１３のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
15. 前記巻き取り装置と検査部との間に、各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープに対してそれぞれ別個のダンサーローラが配設されていることを特徴とする請求項１から１４のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
16. 前記巻き出し装置と検査部との間に、各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して同一のダンサーローラが配設されていることを特徴とする請求項１から１３、および１５のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
17. 前記巻き取り装置と検査部との間に、各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープに対してそれぞれ同一のダンサーローラが配設されていることを特徴とする請求項１から１４、および１６のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
18. 前記ダンサーローラの位置を検知して、電子部品実装用フィルムキャリアテープの弛み量を制御する弛み制御装置を備えることを特徴とする請求項１４から１７のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
19. 前記弛み制御装置が、ダンサーローラに案内される各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープの案内経路をそれぞれ別個に変更するガイド部材を備えることを特徴とする請求項１８に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
20. 複数の電子部品実装部が幅方向に多条に配置された電子部品実装用フィルムキャリアテープを検査するための検査方法であって、
    予め個々の各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープに裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープがそれぞれ、巻き出しリールに巻装された多条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを巻き出し装置から巻き出し、
    前記各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープを並走させながら検査部において同時に検査した後、
    前記検査部で検査された各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープをそれぞれ、巻き取り装置の同一の巻き取り軸に並列に装着された複数の巻き取りリールにそれぞれ同時に巻き取ることを特徴とする電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
21. 複数の電子部品実装部が幅方向に多条に配置された電子部品実装用フィルムキャリアテープを検査するための検査方法であって、
    予め個々の各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープに裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープがそれぞれ、巻き出しリールに巻装された多条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを巻き出し装置から巻き出し、
    前記各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープを並走させながら検査部において同時に検査した後、
    前記検査部で検査された各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープをそれぞれ、巻き取り装置の別々の巻き取り軸に並列に装着された複数の巻き取りリールにそれぞれ同時に巻き取ることを特徴とする電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
22. 複数の電子部品実装部が幅方向に多条に配置された電子部品実装用フィルムキャリアテープを検査するための検査方法であって、
    巻き出しリールに巻装された多条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを巻き出し装置から巻き出し、
    前記巻き出し装置から巻き出された多条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを、スリット装置によって、個々の各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープに裁断し、
    前記スリット装置によって各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープを並走させながら検査部において同時に検査した後、
    前記検査部で検査された各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープをそれぞれ、巻き取り装置の同一の巻き取り軸に並列に装着された複数の巻き取りリールにそれぞれ同時に巻き取ることを特徴とする電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
23. 複数の電子部品実装部が幅方向に多条に配置された電子部品実装用フィルムキャリアテープを検査するための検査方法であって、
    巻き出しリールに巻装された多条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを巻き出し装置から巻き出し、
    前記巻き出し装置から巻き出された多条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを、スリット装置によって、個々の各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープに裁断し、
    前記スリット装置によって各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープを並走させながら検査部において同時に検査した後、
    前記検査部で検査された各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープをそれぞれ、巻き取り装置の別々の巻き取り軸に並列に装着された複数の巻き取りリールにそれぞれ同時に巻き取ることを特徴とする電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
24. 前記検査部には、各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープを並走させるガイド部材を備え、
    前記ガイド部材が、
    最外側の電子部品実装用フィルムキャリアテープの両端側部を案内する両端のサイド案内部と、
    前記両端の案内部の間で、各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープの隣接する側部を案内するように突設配置された隣接部分案内部と、
    を備えることを特徴とする請求項２０から２３のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
25. 前記巻き出し装置から巻き出され、前記スリット装置によって各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープを、並走させながら搬送させるドライブギアを備え、
    前記ドライブギアが、最外側の電子部品実装用フィルムキャリアテープの両端側部のスプロケットホールと噛合する両端ギアと、
    前記両端ギアの間で、各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープの隣接する側部に設けられたスプロケットホールと噛合する中間ギアと、
    を備えることを特徴とする請求項２０から２４のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
26. 案内ローラを備え、この案内ローラが、最外側の電子部品実装用フィルムキャリアテープの両端側部を案内する両端のサイド案内突設部と、
    前記両端のサイド案内突設部の間で、各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープの隣接する側部同士を分離して案内するように突設配置された隣接部分案内突設部と、
    を備えることを特徴とする請求項２５に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
27. 前記巻き取り装置の同一の巻き取り軸に並列に装着された複数の巻き取りリール同士が、リールの中心近傍に設けられた貫通穴に、着脱自在な係止棒部材で固定されていることを特徴とする請求項２０、２２、２４から２６のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
28. 前記巻き取り装置の別々の巻き取り軸に並列に装着された複数の巻き取りリールがそれぞれ、リールの中心近傍に設けられた貫通穴に、着脱自在な係止棒部材で固定されていることを特徴とする請求項２１、２３から２６のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
29. 前記巻き取り装置の同一の巻き取り軸が、エアーを供給することによって、膨張してその径が拡径可能なエアーシャフトから構成されており、
    これにより、前記巻き取り軸に並列に装着された複数の巻き取りリール同士が、固定されていることを特徴とする請求項２０、２２、２４から２７のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
30. 前記巻き取り装置の別々の巻き取り軸が、エアーを供給することによって、膨張してその径が拡径可能なエアーシャフトから構成されており、
    これにより、前記巻き取り軸に並列に装着された複数の巻き取りリールがそれぞれ、固定されていることを特徴とする請求項２１、２３から２６、２８のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
31. 前記検査部が、検査のために電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して光を照射する照明装置を備え、
    前記照明装置が、各条に裁断され並走する電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、後方上方から検査位置に光が同時に合焦するように照射する２個の離間した照明灯を備えることを特徴とする請求項２０から３０のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
32. 前記検査部が、検査のために電子部品実装用フィルムキャリアテープを拡大する拡大レンズ装置を備え、
    前記拡大レンズ装置が、各条に裁断され並走する電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、全幅方向の電子部品実装用フィルムキャリアテープを拡大する拡大レンズを備えることを特徴とする請求項２０から３１のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
33. 前記拡大レンズ装置の倍率が、長さの拡大率で１．４倍以上の倍率を有することを特徴とする請求項２０から３２のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
34. 前記巻き出し装置と検査部との間に、各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープに対してそれぞれ別個のダンサーローラが配設されていることを特徴とする請求項２０から３３のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
35. 前記巻き取り装置と検査部との間に、各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープに対してそれぞれ別個のダンサーローラが配設されていることを特徴とする請求項２０から３４のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
36. 前記巻き出し装置と検査部との間に、各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して同一のダンサーローラが配設されていることを特徴とする請求項２０から３３、３５のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
37. 前記巻き取り装置と検査部との間に、各条に裁断された電子部品実装用フィルムキャリアテープに対してそれぞれ同一のダンサーローラが配設されていることを特徴とする請求項２０から３４、および３６のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
38. 前記ダンサーローラの位置を検知して、電子部品実装用フィルムキャリアテープの弛み量を制御する弛み制御装置を備えることを特徴とする請求項３４から３７のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
39. 前記弛み制御装置が、ダンサーローラに案内される各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープの案内経路をそれぞれ別個に変更するガイド部材を備えることを特徴とする請求項３８に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。

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