KR100673394B1

KR100673394B1 - 자동 광학 검사 시스템

Info

Publication number: KR100673394B1
Application number: KR1020050019134A
Authority: KR
Inventors: 최현호; 유태명
Original assignee: 아주하이텍(주)
Priority date: 2005-03-08
Filing date: 2005-03-08
Publication date: 2007-01-24
Also published as: CN1831467A; CN100567885C; KR20060098818A

Abstract

본 발명은 플렉시블 인쇄회로기판 유닛들이 연속적으로 형성된 필름 또는 테이프 형태의 검사대상물 외관을 광학적인 방식을 이용하여 자동 검사하는 자동 광학 검사 시스템에 관한 것이다. 본 발명의 자동 광학 검사 시스템은 검사대상물이 제공되는 권출부(loader); 상기 권출부로부터 제공되는 상기 검사대상물의 표면을 검사하는 비젼 검사부; 검사를 마친 상기 검사대상물이 언로딩되는 귄취부(unloader)를 포함하되; 상기 비젼 검사부는 상기 검사대상물을 라운드지게 이송하는 라운드 이송부; 및 라운드지게 이송되는 상기 검사대상물 표면을 촬상하는 촬상부재들을 포함한다. 이러한 구성을 갖는 본 발명에 의하면 한정된 공간에 많은 수의 카메라를 장착 할 수 있어 설비의 공간 활용도를 높일 수 있다.

인쇄회로기판, TAB, COF

Description

자동 광학 검사 시스템{SYSTEM FOR AUTOMATED OPTICAL INSPECTION}

도 1은 본 발명을 설명하기 위한 블록 구성도;

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 자동 광학 검사 시스템의 주요 구성을 보여주는 도면;

도 3은 1차 비젼 검사부의 주요 구성을 보여주는 도면;

도 4는 1차 비젼 검사부의 지지부를 보여주는 도면;

도 5는 서로 다른 시야(검사영역)를 가지고 검사대상물을 촬상하는 촬상부재들을 보여주는 도면;

도 6은 본 발명의 자동 광학 검사 시스템에 의한 검사 방법에 대한 흐름도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *

102 : 권출부

110 : 1차 비젼 검사부

150 : 2차 비젼 검사부

160 : 마킹부

106 : 귄취부

본 발명은 자동 광학 검사 시스템에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 플렉시블 인쇄회로기판 유닛들이 연속적으로 형성된 필름 또는 테이프 형태의 검사대상물 외관을 광학적인 방식을 이용하여 자동 검사하는 자동 광학 검사 시스템에 관한 것이다.

액정표시장치의 드라이버 집적회로, 메모리 등의 각종 반도체 디바이스들의 제조에 사용되는 주요 재료의 하나인 인쇄회로기판은 반도체 디바이스의 소형화, 경량화 추세에 따라 필름(film), 테이프(tape) 타입 등의 플렉시블 인쇄회로 기판(Flexible Printed Circuit Board)을 많이 사용하고 있다. 플렉시블 형태의 인쇄회로기판 중에서는 예를 들어, TAB(Tape Automatic Bonding), COF(Chip On Film) 기판 등이 있으며, 노광, 현상, 에칭 공정 등을 통하여 기판에 미세 회로 패턴이 형성된다. 따라서 플렉시블 인쇄회로기판의 생산업체에서는 제품 출하전 검사에 있어서, 제품의 도금영역, 솔더 레지스터(solder resist)영역, 반도체 웨이퍼 등이 실장되는 영역(inner lead부)등의 외관 검사가 핵심 검사 항목으로 구분되어 지고 있다.

즉, 반도체 IC 제조용 플렉시블 인쇄회로기판의 생산업체에서는 상기 검사 항목들의 효과적인 검사가 생산성 및 품질 관리에 관건이 되고 있다.

이러한 기존 자동 광학 검사 시스템은 실제적으로 불량이지만 양품으로 판정되는 미검출이나, 양품성 이물 및 먼지 등에 의한 과검출(예컨대, 규격상 양품을 불량으로 판정하는 등) 현상을 최소화하기 위해서 여러대의 카메라가 사용된다. 일반적으로, 카메라는 단순히 카메라 몸체가 장착되는 것이 아니고, 카메라를 고정하는 브라켓과, 카메라 위치를 좌우 또는 상하로 조정하기 위한 조정부재들이 한 세트로 설치되기 때문에 많은 장착 공간이 요구된다.

따라서, 기존 자동 광학 검사 시스템은 제한된 공간 안에 여러 대의 카메라들을 설치하는데 어려움이 있기 때문에 카메라의 장착수는 한정적일 수 밖에 없으며, 추가적으로 카메라를 설치해야할 경우에는 그 설치 공간만큼 시스템 사이즈가 커져야 하는 문제를 갖고 있다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 한정된 공간에 많은 수의 카메라를 장착 할 수 있는 공간 활용도를 높일 수 있는 새로운 형태의 자동 광학 검사 시스템을 제공하는데 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 특징에 의하면, 플렉시블 인쇄회로기판 유닛들이 연속적으로 형성된 검사대상물의 자동 광학 검사 시스템은 상기 검사대상물이 제공되는 권출부(loader); 상기 권출부로부터 제공되는 상기 검사대상물의 표면을 검사하는 비젼 검사부; 검사를 마친 상기 검사대상물이 언로딩되는 귄취부(unloader)를 포함하되; 상기 비젼 검사부는 상기 검사대상물을 라운드지게 이송하는 라운드 이송부; 및 라운드지게 이송되는 상기 검사대상물 표면을 촬상하는 촬상부재들을 포함한다.

이 특징의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 라운드 이송부는 상기 검사대상물의 휨이나 늘어짐이 발생되지 않도록 상기 검사대상물을 지지하는 지지부들을 포함하되; 상기 지지부들은 상기 라운드의 반경을 따라 배치되어 상기 검사대상물을 라운드지게 이송한다.

이 특징의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 촬상부재들 각각은 카메라와, 상기 검사대상물에 광을 조사하는 조명부재를 포함하고, 상기 지지부는 서로 이격되어 설치되는 한쌍의 지지롤러를 포함하며, 상기 조명부재는 상기 한쌍의 지지롤러 사이의 틈새를 통해 상기 검사대상물에 광을 조사한다.

예컨대, 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.

본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 6에 의거하여 상세히 설명한다. 또, 상기 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 병기한다.

도 1은 본 발명을 설명하기 위한 블록 구성도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 자동 광학 검사 시스템의 주요 구성을 보여주는 도면이다. 도 3은 1차 비젼 검사부의 주요 구성을 보여주는 도면이다. 도 4는 1차 비젼 검사부의 지지부를 보여주는 도면이다. 도 5는 서로 다른 시야(검사영역)를 가지고 검사대상물을 촬상 하는 촬상부재들을 보여주는 도면이다. 도 6은 본 발명의 자동 광학 검사 시스템에 의한 검사 방법에 대한 흐름도이다.

도 1 및 도2를 참조하면, 본 발명의 자동 광학 검사 시스템(100)은 플렉시블 인쇄회로기판 유닛(12;도 5에 도시됨)들이 연속적으로 형성된 필름(film), 테이프(tape) 타입 등의 검사대상물(10)을 다수의 라인스캔 카메라들과, 에어리어스캔 카메라 그리고 칼라 카메라 등을 이용하여 자동 검사하는 시스템이다. 첨부도면 도 1에서 표시된 '⇒' 부호는 상기 검사 대상물의 이동 경로를 나타낸 것이고, '→' 부호는 신호 전송을 나타낸 것이다.

상기 자동 광학 검사 시스템(100)은 권출부(feed roller, loader;102), 1차 비젼 검사부(110), 2차 비젼 검사부(150), 마킹부(160) 그리고 권취부(winding roller, unloader;106)로 크게 이루어진다.

상기 권출부(102)에는 상기 검사대상물이 릴(104)에 감겨져 있으며, 상기 권출부(102)로부터 송출된 상기 검사 대상물(10)은 안내롤러(105)들을 거쳐 1차 비젼 검사부(110)의 라운드 이송부로 공급된다. 상기 검사 대상물은 상기 1차 비젼 검사부(110)와 2차 비젼 검사부(150) 그리고 마킹부(160)를 거쳐 권취부(106)의 릴(108)에 감겨진다.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 상기 1차 비젼 검사부(110)는 라운드 이송부(112)와, 서로 다른 시야(검사영역 또는 촬상영역)를 가지고 상기 검사대상물을 촬상하는 4개의 촬상부재들(120a-120d)을 포함한다. 여기서, 상기 촬상부재들(120a-120d) 각각은 상기 검사대상물의 검사항목들에 대응되는 시야를 가지도록 배치된 다.

상기 라운드 이송부(112)는 상기 검사대상물(10)이 라운드지게 이송되도록 일정 반경을 따라 배치되어 상기 검사대상물을 지지하는 지지부(114)들을 갖는다. 상기 지지부(114)는 서로 이격되어 설치되는 한 쌍의 지지롤러(116)를 포함한다.

상기 1차 비젼 검사부(110)는 상기 검사대상물(10)이 라운드지게 이송됨으로써, 검사 대상물이 직선으로 이송되는 직선길이에 비해 상대적으로 넓은 길이를 갖기 때문에 많은 수의 카메라들을 상호 간섭 없이 설치할 수 있다. 일반적으로, 카메라는 고정브라켓과(a), 카메라 위치를 조정하기 위한 조정부재(b)들이 한 세트로 설치되기 때문에, 카메라 사이즈 보다 훨씬 넓은 장착 공간이 요구된다.

상기 촬상부재들(120a-120d)은 상기 라운드 이송부(112) 주변에 배치되며, 촬상부재들(120a-120d)은 하나의 카메라(122a-122d)와 상기 검사대상물에 광을 조사하는 2개의 조명부재(124)를 포함한다. 상기 조명부재(124)는 상기 검사대상물에 투과광을 조사하는 투과조명(124a)과, 상기 검사대상물에 반사광을 조사하는 반사조명(124b)으로 이루어지며, 검사하고자 하는 항목의 특성에 따라 반사조명과 투과조명 중 어느 하나를 선택적으로 사용할 수 있다. 상기 투과조명(124a)은 상기 지지부(114)에 설치되며, 상기 한쌍의 지지롤러(116) 사이의 틈새를 통해 상기 검사대상물(10)에 투과광을 조사하는 된다. 상기 반사조명(124b)은 카메라와 상기 검사대상물 사이에 배치되며 상기 검사대상물에 반사광을 조사하게 된다. 예컨대, 상기 카메라에는 라인스캔 카메라가 사용될 수 있다.

예컨대, 플렉시블 인쇄회로기판 유닛의 안쪽 리드(inner lead)의 휨, 솔더 레지스터영역의 위치 틀어짐, 핀홀, 반송기준홀의 찢어짐 등의 불량유형은 반사조명보다 투과조명을 조사하는 것이 검사 품질을 높일 수 있다. 이와는 반대로, 플렉시블 인쇄회로기판 유닛의 안쪽 리드/패턴 도금영역의 표면 검사(변색, 스크래치, 이물등), 솔더레지스터 표면 검사, 반송기준홀 표면검사 등의 불량유형은 투과조명보다 반사조명을 조사하는 것이 검사품질을 높일 수 있다.

아래에는 투과조명과 반사조명으로 가장 명확하게 판별할 수 있는 불량유형들을 살펴보면 다음과 같다.

-투과광 : 제1카메라(TAB제품 안쪽리드(inner Lead) 휨검사), 제2카메라(솔더 레지스터 영역의 위치 틀어짐, 핀홀 ), 제3카메라(반송기준 홀의 찢어짐, 솔더 레지스터영역의 위치 틀어짐, 핀홀)

-반사광 : 제1카메라(COF 안쪽리드(inner Lead), 패턴 도금영역 표면 검사-변색,SCRATCH,이물 등), 제2카메라(패턴 도금영역의 표면 검사- 변색,SCRATCH,이물 / 솔더 레지스터 표면상의 이물, 핀홀 등), 제3카메라 (솔더 레지스터 표면상의 이물,핀홀 등/ 패턴 도금영역의 표면 검사 - 변색,SCRATCH,이물/반송홀 표면 검사)

이와 같이, 상기 1차 비젼 검사부(110)는 반사조명과 투과조명을 선택적으로 사용함으로써, 다양한 불량 유형들을 정확하게 판별할 수 있다.

본 발명의 자동 광학 검사 시스템(100)은 검사하고자 하는 항목의 특성에 따라 투과조명 또는 반사조명을 선택적으로 사용할 수 있기 때문에, 검사품질을 높일 수 있는 각별한 효과를 갖는다.

상기 촬상부재(120a-120d)들은 아래에서 좀 더 구체적으로 설명하기로 한다.

도 3 및 도 5에 도시된 바와 같이, 제1촬상부재(120a)의 제1카메라(122a)는 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛(12)의 안쪽 리드들의 휨, 변색, 스크래치, 이물 등을 검사하기 위하여 상기 안쪽 리드 영역을 촬상하게 된다. 제2촬상부재(120b)의 제2카메라(122b)는 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛(12)의 패턴 도금영역의 표면검사(변색, 스크래치, 이물)와, 솔더 레지스터 영역의 핀홀, 스크래치 위치 틀어짐등을 검사하기 위하여 상기 패턴 도금영역과 상기 솔더 레지스터 영역을 촬상하게 된다. 제3촬상부재(120c)의 제3카메라(122c)는 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛(12)의 솔더 레지스터 영역의 핀홀, 스크래치 위치, 틀어짐 등과 반송기준 홀의 찢어짐 등을 검사하기 위하여 상기 검사대상물(10)의 폭을 촬상하게 된다.

아래에는 각 카메라별 검사 항목 및 그 사용예를 설명하였다.

1). 제1카메라(시야 25mm) :

* TAB 제품 검사항목 투과광을 이용한 안쪽리드(INNER LEAD)들의 휨등을 검사.

* COF의 경우 반사광을 이용한 안쪽리드(INNER LEAD)상의 표면검사(변색,스크래치(SCRATCH),이물 등).

2). 제2카메라(시야-35mm) :

* 반사광을 이용한 패턴 도금영역의 표면검사(변색,SCRATCH,이물 등)와 솔더 레지스터(Solder Resister) 영역(핀홀,scratch,위치 틀어짐 등).

* 제품 및 고객의 검사 기준에 따라 투과광을 이용 할 수도 있음.

3). 제3카메라(시야-50mm) :

* 반사광을 이용한 Solder Resister영역(핀홀,위치 틀어짐 등)과 반송기준 홀(구멍 찢어짐 등)

* 검사대상물(제품) 및 사용자의 검사 기준에 따라 반사조명 또는 투과조명을 이용할 수도 있음.

* 제2카메라의 이미지(영상 데이터)를 함께 참조하여 이물에 의한 과 검출을 방지할 수 있는 새로운 검사 방법을 제시할 수 있음.

제4촬상부재(120d)의 제4카메라(122d)는 제1카메라(122a)와 동일한 시야(검사영역)를 갖는다. 다만, 상기 제4촬상부재(120d)는 상기 제1촬상부재(120a)와는 상이한 조명을 사용하여 촬상하게 된다. 예컨대, 상기 제1촬상부재(120)에서 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛의 안쪽 리드를 반사조명으로 촬상하였다면, 상기 제4촬상부재(120d)에서는 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛의 안쪽 리드를 투과조명으로 촬상하는 것을 그 특징으로 한다.

상기 제4촬상부재(120d)는 사용자의 요구에 따라 선택적으로 설치될 수 있으며, 상기 제4촬상부재(120d)는 앞선 카메라들에 의해 촬상된 시야(검사영역)들 중에서 중요하다고 생각되는 검사영역을 다시 한번 촬상하기 위한 구성이다.

한편, 상기 검사 대상물의 이송 속도는 상기 제1-3카메라들 중에서 가장 좁은 시야를 갖는 제1카메라의 영상취득속도(영상스피드)에 대응되도록 조절되는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 제2,3카메라의 영상취득속도는 상기 제1카메라의 영상취득속도에 맞도록 조절된 상기 검사 대상물의 이송속도에 따라 조정(느리게)하는 것이 바람직하다.

이렇게 본 발명은 2개의 카메라(122a,122d)에서 동일한 검사영역을 투과조명과 반사조명으로 각각 촬상하여 이들 각각의 이미지 특징을 비교함으로써 보다 높은 검사품질을 얻을 수 있는 각별한 효과를 갖는다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 1차 비젼 검사부(110)의 각 카메라들로부터 촬상된 이미지(영상 데이터)는 영상처리부(140)로 제공된다. 상기 영상 처리부(140)는 전형적인 컴퓨터 시스템으로 구비되어, 자동 광학 검사에 따른 제반 동작을 제어, 처리하게 된다. 상기 영상 처리부(140)는 상기 카메들로부터 이미지를 받아서 여러 검사항목들을 검사하게 된다.

상기 영상처리부(140)는 각각의 카메라들로부터 시야(검사영역)별로 제공된 이미지를 가지고 여러 검사항목들을 검사 및 결과를 통합하여 플렉시블 인쇄회로기판 유닛 전체의 양,불을 판정하게 된다.

상기 영상처리부(140)는 제1-4처리부를 포함한다. 상기 제1처리부(142a)는 상기 제1,4카메라(122a,122d)에 의해 촬상된 이미지로 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛(12)의 안쪽 리드들의 휨, 변색, 스크래치, 이물등을 판별하게 된다. 상기 제2처리부(142b)는 상기 제2카메라(122b)에 의해 촬상된 이미지로 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛의 패턴 도금영역의 표면검사(변색, 스크래치, 이물)와, 솔더 레지스터 영역의 핀홀, 스크래치 위치 틀어짐 등을 판별하게 된다. 제3처리부(142c)는 상기 제3카메라(122c)에 의해 촬상된 이미지로 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛의 솔더 레지스터 영역의 표면검사(핀홀, 스크래치 위치, 틀어짐 등)와, 반송기준 홀의 찢어짐 등을 판별하게 된다. 상기 제4처리부(142d)와 최종처리부(144)는 2차 비 젼 검사부(150)와 함께 설명하기로 한다.

상기 2차 비젼 검사부(150)는 상기 1차 비젼 검사부(110)에서 검사를 마친 상기 검사대상물을 최종 촬상하여 그 불량 유무를 판별하기 위한 것으로, 상기 2차 비젼 검사부(150)는 에어리어(area) 스캔 카메라(152)와 칼라 카메라(154)를 갖는다. 상기 2차 비젼 검사부(150)는 옵션 사항으로, 사용자의 요구에 따라 추가하거나 생략할 수 있는 구성이다.

상기 에어리어 스캔 카메라(152)는 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛(12)의 솔더 레지스터 영역을 에어리어 스캔 방식과 반사조명을 사용하여 촬상하게 된다. 이렇게 촬상된 이미지는 제4처리부(142d)로 제공되고, 상기 제4처리부에서 솔더 레지스터 영역을 검사하게 된다. 상기 에어리어 스캔 카메라(152)는 COF 형태보다는 TAB형태 플렉시블 인쇄회로기판 유닛을 촬상하는데 주로 사용된다. 일반적으로, 상기 TAB형태의 플렉시블 인쇄회로기판 유닛은 COF형태의 플렉시블 인쇄회로기판 유닛에 비해 상대적으로 두꺼워서(특히 솔더 레지스터 영역이 두껍다) 투과가 어렵다. 이러한 이유 때문에, 솔더 레지스터 영역의 표면상 이물 검사의 신뢰성을 매우 낮다. 본 발명에서는 이러한 문제를 해소하기 위하여, 에어리어 스캔 카메라(152)에 반사조명(153)을 사용하여 검사 대상물(특히, TAB형태의 플렉시블 인쇄회로기판 유닛)의 솔더 레지스터 영역의 표면상 이물 검사를 실시하여 검사 신뢰성을 높일 수 있다.

상기 칼라 카메라(154)는 이전단계(상기 1차 비젼 검사부 및 상기 에어리어 카메라)에서 촬상된 이미지로 검사하여 불량으로 판명된 부분을 칼라 이미지로 촬 상하기 위한 것이다. 이렇게 촬상된 칼라 이미지는 영상처리부(140)의 최종처리부(144)로 제공되고, 상기 최종처리부(144)에서는 상기 칼라 이미지와 이전 단계(상기 1차 비젼 검사부 및 상기 에어리어 카메라)에서 불량으로 판명된 부분의 이미지를 모니터(146)에 디스플레이한다. 작업자는 상기 모니터(146)에 디스플레이된 2개의 영상을 비교하여 최종 양,불 여부를 입력장치(148)를 통해 입력하게 된다.

상기 마킹부(160)는 상기 검사대상물에 형성된 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛들 중 불량으로 판별된 유닛에 불량 표시를 하게 된다. 상기 마킹부(160)는 상기 영상처리부에 의해 제어된다.

한편, 본 발명은 상기의 구성으로 이루어진 자동 광학 검사 시스템에 있어 다양하게 변형될 수 있고 여러 가지 형태를 취할 수 있다. 하지만, 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

다음에는 플렉시블 인쇄회로기판 유닛들이 연속적으로 형성된 검사대상물을 검사하기 위한 본 발명의 작동 관계를 설명한다.

도 1, 도 2 그리고 도 6을 참조하면, 상기 권출부(102)로부터 송출된 상기 검사 대상물(10)은 안내롤러(105)들을 거쳐 1차 비젼 검사부(110)의 라운드 이송부로 공급된다(s210).

상기 1차 비젼 검사부에서는 제1,2,3,처리단계와 이중촬상단계가 순차적으로 진행된다(s220). 상기 1차 처리단계(s222)는 상기 제1카메라에서 상기 플렉시블 인 쇄회로기판 유닛(12)의 안쪽 리드 영역(제1검사영역)을 촬상하는 단계(s222a), 상기 제1처리부(142a)에서 상기 제1카메라(122a)에 의해 촬상된 이미지로 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛(12)의 안쪽 리드들의 휨, 변색, 스크래치, 이물등을 판별하는 단계(s222b)를 포함한다.

상기 2차 처리단계(s224)는 상기 제2카메라(122b)에서 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛(12)의 패턴 도금영역과, 솔더 레지스터 영역을 촬상하는 단계(s224a), 상기 제2처리부(142b)에서 상기 제2카메라(122b)에 의해 촬상된 이미지로 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛의 패턴 도금영역의 표면검사(변색, 스크래치, 이물)와, 솔더 레지스터 영역의 핀홀, 스크래치 위치 틀어짐 등을 판별하는 단계(s224b)를 포함한다.

상기 3차 처리단계(s226)는 제3카메라(122c)에서 상기 검사대상물(10)의 폭을 촬상하는 단계(s226a)와, 상기 제3처리부(142c)에서 상기 제3카메라(122c)에 의해 촬상된 이미지로 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛의 솔더 레지스터 영역의 표면검사(핀홀, 스크래치 위치, 틀어짐 등)와, 반송기준 홀의 찢어짐 등을 판별하는 단계(s226b)를 포함한다.

상기 이중촬상단계(s228)는 상기 제4카메라(122d)에서 상기 제1카메라(122a)와 동일한 시야(검사영역)를 촬상하는 단계(s228a)와, 상기 제1처리부(142a)에서 상기 제1카메라(122a)에 의해 촬상된 이미지로 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛(12)의 안쪽 리드들의 휨, 변색, 스크래치, 이물등을 판별하는 단계(s228b)를 포함한다. 여기서, 상기 제4카메라는 상기 제1카메라와는 상이한 조명을 사용하여 촬상 한다는데 그 특징이 있다.

상기 1차 비젼 검사부에서 1차 비젼 검사를 마친 검사대상물은 2차 비젼 검사부로 이동된다. 상기 2차 비젼 검사부의 검사단계(s230)에서는 스캔처리단계(s232)와 최종처리단계(s234)가 진행된다.

상기 스캔처리단계(s232)는 상기 에어리어 스캔 카메라(152)에서 상기 플렉시블 인쇄회로기판 유닛(12)의 솔더 레지스터 영역을 에어리어 스캔 방식과 반사조명을 사용하여 촬상하는 단계(s232a)와, 상기 제4처리부에서 솔더 레지스터 영역을 검사하는 단계(s232b)를 포함한다.

상기 최종처리단계(s234)는 상기 칼라 카메라에서 이전단계(상기 1차 비젼 검사부 및 상기 에어리어 카메라)에서 촬상된 이미지로 검사하여 불량으로 판명된 부분을 칼라 이미지로 촬상하는 단계(s234a)와, 상기 칼라 이미지와 이전 단계(상기 1차 비젼 검사부 및 상기 에어리어 카메라)에서 불량으로 판명된 부분의 이미지를 모니터(146)에 디스플레이하는 단계(s234b) 그리고 작업자가 상기 모니터(146)에 디스플레이된 2개의 영상을 비교하여 최종 양,불 여부를 입력장치(148)를 통해 입력하는 단계(s234c)를 포함한다.

이렇게, 최종적으로 불량으로 판별된 유닛은 상기 마킹부에서 불량 표시된 후(s240), 귄취부에 감겨진다(s250).

이상에서, 본 발명에 따른 자동 광학 검사 시스템의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물 론이다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 자동 광학 검사 시스템은 검사대상물의 검사항목들에 대응되는 시야(검상영역)별로 구분하여 검사대상물을 촬상하며, 그 시야(검사영역)별로 제공되는 이미지를 가지고 각각의 검사항목들을 검사 및 결과를 통합하여 플렉시블 인쇄회로기판 유닛 전체의 양,불을 판정하게 된다. 따라서, 보다 높은 검사품질을 얻을 수 있는 각별한 효과를 갖는다. 또한, 각각의 시야(검사영역)별 특성에 따라 반사조명과 투과조명 중 어느 하나를 선택적으로 사용할 수 있기 때문에 검사 품질을 높일 수 있는 각별한 효과를 갖는다. 또한, 본 발명은 2개의 카메라에서 동일한 시야(검사영역)를 투과조명과 반사조명으로 각각 이중 촬상하여 이들 각각의 이미지 특징을 비교함으로써 보다 높은 검사품질을 얻을 수 있는 각별한 효과를 갖는다. 또한, 본 발명은 검사대상물이 라운드지게 이송됨으로써, 검사 대상물이 직선으로 이송되는 직선길이에 비해 상대적으로 넓은 길이를 갖기 때문에 많은 수의 카메라들을 상호 간섭 없이 설치할 수 있는 각별한 효과를 갖는다.

본 발명은 1차 비젼 검사부에서 검사를 마친 상기 검사대상물을 2차 비젼검사부에서 최종 촬상하여 그 불량 유무를 판별하기 때문에, 미검출이나 과검출 현상을 방지하여 검사 신뢰성과 제품의 생산성 및 채산성 향상 효과를 얻을 수 있다.

Claims

플렉시블 인쇄회로기판 유닛들이 연속적으로 형성된 검사대상물의 자동 광학 검사 시스템에 있어서:

상기 검사대상물이 제공되는 권출부(loader);

상기 권출부로부터 제공되는 상기 검사대상물의 표면을 검사하는 비젼 검사부;

검사를 마친 상기 검사대상물이 언로딩되는 귄취부(unloader)를 포함하되;

상기 비젼 검사부는

상기 검사대상물을 라운드지게 이송하는 라운드 이송부; 및

라운드지게 이송되는 상기 검사대상물 표면을 촬상하는 촬상부재들을 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 광학 검사 시스템.
제 1 항에 있어서,

상기 라운드 이송부는

상기 검사대상물의 휨이나 늘어짐이 발생되지 않도록 상기 검사대상물을 지지하는 지지부들을 포함하되; 상기 지지부들은 상기 라운드의 반경을 따라 배치되어 상기 검사대상물을 라운드지게 이송하는 것을 특징으로 하는 자동 광학 검사 시스템.
제 2 항에 있어서,

상기 촬상부재들 각각은 카메라와, 상기 검사대상물에 광을 조사하는 조명부재를 포함하고,

상기 지지부는 서로 이격되어 설치되는 한쌍의 지지롤러를 포함하며,

상기 조명부재는 상기 한쌍의 지지롤러 사이의 틈새를 통해 상기 검사대상물에 광을 조사하는 것을 특징으로 하는 자동 광학 검사 시스템.
제2항에 있어서,

상기 라운드 이송부는 상부로 볼록한 형상으로 제공되는 것을 특징으로 하는 자동 광학 검사 시스템.