CH632105A5 - Verfahren zur ionenstrahlbehandlung von halbleiterplatten. - Google Patents
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Description
Ziel der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zur
Ionenstrahlbehandlung durch kleine Öffnungen einer Isolierschicht, bei dem die Isolierschicht nicht durch elektrischen Durchschlag gefährdet ist.
Das Ziel der Erfindung wird dadurch erreicht, dass neben den Öffnungen, durch welche hindurch der Ionenstrahl den Halbleiter verändern soll, auch Öffnungen vorgesehen sind, in welchen der Ionenstrahl ohne Nachteil Sekundärelektronen auslösen kann. Diese Öffnungen sind insgesamt grösser als die Öffnungen, durch die hindurch der Halbleiter bearbeitet wird und liegen zudem innerhalb der Kerbflächen, die in einem späteren Verfahrensschritt beim Zerschneiden der Platte in Chips entfernt wird. Es hat sich gezeigt, dass das vorliegende Verfahren besonders wirksam ist bei Ionenstrahlen einer Stromstärke oberhalb etwa 0,5 mA.
Anhand der Zeichnungen wird nun ein Ausführungsbeispiel der Erfindung im einzelnen erläutert. Die Zeichnungen zeigen: Fig. 1 den vereinfachten Grundriss eines Teiles einer Halbleiterplatte mit der Anordnung der Chips und der Kerbflächen, Fig. 2 ein vergrösserter Ausschnitt aus Fig. 1,
Fig. 2A-C einen weiter vergrösserten Querschnitt entlang der Linie 2A bei verschiedenen Verfahrensschritten.
Die Draufsicht der Fig. 1 zeigt einen Ausschnitt aus einer herkömmlichen Halbleiterplatte. Die Chips 10 innerhalb der Platte sind voneinander getrennt durch eine Kerbfläche oder Schneidefläche 11, die beim Zerschneiden der Platte in die einzelnen Chips entfernt wird. Die streifenförmige Fläche 11 entspricht z. B. der Dicke der Säge, die zum Zerschneiden der Platte verwendet wird. Ein kleiner Ausschnitt aus Fig. 1 wird vergrössert in Fig. 2 dargestellt.
Fig. 2 zeigt Teile der Chips 10, die durch die Kerbfläche 11 voneinander getrennt sind. Die Chips weisen die N-leitende Zone 12 auf, die durch üblichen epitaktischen Niederschlag auf einem nichtdargestellten Halbleitersubstrat erzeugt sein kann. Die P-Zonen 13 bilden die Basis bipolarer Transistoren innerhalb einer integrierten Schaltung und sind ebenfalls durch bekannte Verfahren hergestellt. Die Platte ist bedeckt von einer ebenfalls bekannten Schicht isolierenden Materials, die aus einer unteren Schicht 14 aus Siliciumdioxyd sowie aus einer oberen Schicht 15 aus Siliciumnitrid besteht. In Fig. 2A ist die Kerbfläche 11 der Platte, die später entfernt wird, durch gestrichelte Linien angedeutet. Der Einfachheit halber sind die integrierten Schaltungen nur unvollständig dargestellt. Ihre Herstellung bis hierher ist jedoch bekannt, und solche Schaltungen sind beispielsweise im USA-Patent 3 539 876 beschrieben.
In den isolierenden Schichten 14 und 15 werden die Öffnungen 16 hergestellt, durch die durch loneneinschuss eine N-leitende Dotierung eingebracht werden soll. Die Herstellung der doppelten Isolierschicht 14/15 aus Siliciumdioxyd und Siliciumnitrid ist bekannt und beispielsweise im USA-Patent 3 956 527 beschrieben. Wie schon erwähnt, müssen die Öffnungen 16 in integrierten Schaltungen oft sehr klein sein und haben z. B. eine kleinste Abmessung von weniger als 3 |xm. Im vorliegenden Beispiel sei angenommen, dass die Öffnungen 16, die in Fig. 2 waagrecht schraffiert sind, eine Grösse von 25x8 jim aufweisen.
Wenn ein Ionenstrahl auf eine Öffnung derart geringer Grösse gerichtet wird, besteht die Gefahr, dass sich auf der Isolierschicht 14/15 eine elektrische Ladung aufbaut, die im Umkreis um die Öffnung die Schicht durchschlagen kann. Gemäss vorliegender Erfindung wird dieser Gefahr dadurch begegnet, dass innerhalb der Kerbfläche, d. h. der Fläche, die später entfernt wird zur Unterteilung der Halbleiterplatte in einzelne Chips, Kerböffnungen 17 angebracht werden. Innerhalb der Öffnung 17, die in Fig. 2 gekreuzt schraffiert ist, liegt nun ebenfalls epitaktisches Silicium zutage. Aus Fig. 2 ist klar ersichtlich, dass die Fläche der Öffnung 17 grösser ist als die Gesamtfläche aller Öffnungen 16 auf der Platte. Am besten ist es, wenn die Fläche der Öffnung 17 wenigstens fünfmal so gross
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ist als die Gesamtfläche der Öffnungen 16. Ausserdem ist es vor- Zimmertemperatur mit einer Energie von 40 KeV, einem teilhaft, wenn keine der Öffnungen 16 weiter als 10 mm von der Strahlstrom zwischen 0,5 und 3 m A und einer Dosierung von
Kerbfläche 17 entfernt ist. etwa 10® Ionen/cm2 ausgeführt. Die durch Ionen bestrahlte
Praktisch wurde festgestellt, dass der Aufbau schädlicher Zone wird dann bei geeigneter Temperatur getempert, worauf Ladungen dann besonders gefährlich ist, wenn die Öffnungen in 5 alle üblichen Verfahrensschritte durchgeführt werden, wie die der Isolierschicht weniger aus 3 %, und ganz besonders, wenn Bildung metallischer Emitterkontakte 19, einer aufmetallisier-
sie weniger als 1 % der Gesamtfläche ausmachen, über welche ten Schicht 20 und einer Isolationsschicht 21 usw., wie in Fig.
die Ionenbestrahlung erfolgt. Wird, wie vorgehend beschrie- 2C gezeigt. Sind alle diese Herstellungsschritte für integrierte ben, eine Kerbfläche freigelegt, dann soll die total freigelegte Schaltungen vollendet, so wird die Scheibe in Würfel zerschnit-
Fläche, d. h. Kerbfläche, plus Dotierungsöffnungen wenigstens to ten, wobei die Kerbzone 11 entfernt wird, wie Fig. 2C zeigt.
3 % der Gesamtoberfläche der Halbleiterplatte betragen. im beschriebenen Beispiel erstreckt sich die Kerböffnung
Wenn die Chipsöffnungen 16 und die Kerbflächenöffnung 17 kontinuierlich über die gesamte Kerbfläche. Oft ist es
17, wie in den Abbildungen gezeigt, angebracht sind, wird die wünschbar, in der Kerbfläche Testtransistoren, Widerstände
Oberfläche der Halbleiterscheibe der Ionenstrahlbehandlung oder andere Elemente zu erzeugen, die auch beim Zerschnei-
unterzogen. Dazu wird ein Ionenstrahl senkrecht auf die Ober- 15 den der Scheibe zerstört werden. In solchen Fällen kann die fläche gerichtet, wie in Fig. 2A durch die Pfeile angedeutet ist. Kerböffnung 17 natürlich beliebig oft unterbrochen sein. Auch
Um Arsenionen, 75As+, einzuführen zur Bildung von N + wenn Aussparungen in der Kerböffnung vorgesehen werden,
Emitterzonen 18 in Fig. 2B, wobei gleichzeitig in der Kerb- ist es jedoch wünschbar, diese so anzuordnen, dass keine Öff-
fläche die Zone 18' entsteht, kann eine normale lonenstrahlein- nung innerhalb einer Chipfläche weiter als etwa 10 mm von der richtung verwendet werden, wie sie beispielsweise im USA- 20 nächsten Kerböffnung entfernt ist.
Patent 3 756 862 beschrieben ist.Die Ionenbestrahlung wird bei
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2 Blatt Zeichnungen
Claims (7)
1. Verfahren zur Ionenstrahlbehandlung von Halbleiterplatten, bei welchen für die spätere Unterteilung in Halbleiterchips die Oberfläche mehrere durch Kerbflächen (11) getrennte Gebiete (10) aufweist, in welchen integrierte Schaltungen zu bilden sind, gekennzeichnet durch Ausbilden einer isolierenden Schicht (14,15) auf der Oberfläche, Herstellen von Öffnungen (16) über den zu bestrahlenden Stellen der Schaltungen, Herstellen von Öffnungen (17) über den Kerbflächen derart, dass die Gesamtfläche dieser Öffnungen (17) grösser ist als die Gesamtfläche der Öffnungen (16) über den zu bestrahlenden Stellen der Schaltungen und Bestrahlen der gesamten Oberfläche mittels eines Ionenstrahls.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass keine Öffnung (16) über einer zu bestrahlenden Fläche weiter als 10 mm von der nächsten Kerbflächenöffnung (17) entfernt ist.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die isolierende Schicht (14,15) aus" einer Schicht Silicium-dioxyd und einer Schicht Siliciumnitrid besteht.
4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die grösste Abmessung der Öffnungen (16) über den zu bestrahlenden Stellen 30 (im beträgt.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Fläche der Öffnungen (17) in den Kerbflächen wenigstens fünfmal die Gesamtfläche aller Öffnungen über den zu bestrahlenden Flächen (16) beträgt.
6. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Gesamtfläche aller Öffnungen (16,17) wenigstens 3% der bestrahlten Fläche der Halbleiterplatte beträgt.
7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Strom des Ionenstrahls mehr als 0,5 mA beträgt.
Bei der Herstellung von Halbleitervorrichtungen, insbesondere von integrierten Schaltungen mit Bipolartransistoren, bekommt die Behandlung mit Ionenstrahlen stets grössere Bedeutung. So werden in der Bipolartechnik 1. stets höhere Dotierungen verlangt, deren Herstellung in kurzer Zeit vor sich gehen soll, und 2. wird der Ionenbeschuss zur Einführung von Dotierung in Öffnungen angewendet, deren eine Abmessung kleiner ist als etwa 30 (im. Da die Dotierung abhängig ist vom Strom im Elektronenstrahl und von der Einwirkungszeit, müssen hohe Ströme angewendet werden, um kurze Bearbeitungszeiten zu erreichen. Hochstrom-Ionenbeschuss erfolgt heute praktisch bei Strömen oberhalb 0,5 mA. Wenn so grosse Ströme zur Einpflanzung von die Leitfähigkeit bestimmenden Dotierungen durch so kleine Öffnungen einer Isolierschicht angewandt werden, besteht die Gefahr, dass die Isolierschicht verletzt oder zerstört wird und dabei Kurzschlüsse entstehen.
Es wird angenommen, dass die Beeinträchtigung der die Halbleiteroberfläche bedeckenden Isolierschicht die Folge des Aufbaus elektrischer Ladungen ist, der von den positiven Ionen des Ionenstrahls herrührt. Der Ladungsaufbau ist besonders ausgeprägt bei Strahlen hohen Stromes, die eine hohe Ionendichte aufweisen. Wenn dazu die Öffnungen, innerhalb welcher die Ionen eingeschossen werden, Abmessungen von nur der Grössenordnung von 30 jxm haben, werden nur wenige Sekundärelektronen ausgelöst, wie sie normalerweise durch positive Ionen beim Auftreffen auf die Halbleiteroberfläche entstehen. Die ungenügende Anzahl Sekundärelektronen kann die an der Oberfläche der Isolierschicht entstehende Ladung nicht neutralisieren.
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