BRPI0710214A2

BRPI0710214A2 - sistema de canhão de ìons, aparelho de deposição por vapor, e, método para produzir lente

Info

Publication number: BRPI0710214A2
Application number: BRPI0710214-3A
Authority: BR
Inventors: Yukihiro Takahashi; Terufumi Hamamoto; Kenichi Shinde
Original assignee: Hoya Corp
Priority date: 2006-03-31
Filing date: 2007-03-28
Publication date: 2011-08-02
Also published as: RU2008143236A; JPWO2007114188A1; WO2007114188A1; RU2455387C2; JP5235659B2; EP2003225A2; CN101410545A; KR20080106429A; US9074283B2; KR101139615B1; EP2003225A9; US20090169766A1; CN101410545B; EP2003225A4; EP2003225B1

Abstract

<B>SISTEMA DE CANHAO DE ìONS, APARELHO DE DEPOSIçãO POR VAPOR, E, MéTODO PARA PRODUZIR UMA LENTE <D>Um sistema de canhão de lons (60) inclui um canhão de lons (14) para irradiar um feixe de lons; uma unidade de suprimento de energia elétrica (61) para suprir energia elétrica ao canhão de lons; dois reguladores de fluxo de massa (64, 65) para introduzir cada um dos dois tipos de gás no canhão de lons; uma unidade de controle (12) conectada à unidade de suprimento de energia elétrica para trabalhar como meio de controle de canhão de lons para controlar a energia elétrica suprida ao canhão de lons a partir da unidade de suprimento de energia elétrica; e uma unidade de controle (12) conectada aos reguladores de fluxo de massa para trabalhar como meio de controle de fluxo de massa para controlar a vazão do gás introduzido a partir dos reguladores de fluxo de massa no canhão de lons. A unidade de controle (12), como meio de controle de fluxo de massa, é provida com uma função de mudar o valor estabelecido para a vazão de cada um dos dois tiposde gás para um outro valor estabelecido mudando-o gradativamente dentro de uma faixa onde o canhão de lons fica trabalhando de modo estável. Conseqtientemente, o encurtamento do tempo de formação de película pode ser atingido.

Description

"SISTEMA DE CANHÃO DE ÍONS, APARELHO DE DEPOSIÇÃO PORVAPOR, E, MÉTODO PARA PRODUZIR UMA LENTE"

Campo técnico

A presente invenção refere-se a um sistema de canhão de íons,um aparelho de deposição por vapor, incluindo um sistema de canhão de íons,e um método para produzir uma lente formando uma película anti-reflexiva decamadas múltiplas sobre uma lente com o uso de um método assistido poríons.

Fundamentos

A aplicação de película anti-reflexiva de camadas múltiplassobre uma lente de plástico com o uso de um método assistido por íons éconhecida. Como um exemplo disso, nos Exemplos 7 a 10 do Documento dePatente 1, é descrito que um método assistido por íons é usado para formartodas as camadas das películas (camadas de alto índice de retração e camadasde baixo índice de refração) que constituem uma película anti-reflexiva decamadas múltiplas. Fazendo isso, as condições de formação de película (ouseja, os valores estabelecidos para voltagem de aceleração, corrente deaceleração e vazão do gás a ser usado), de acordo com o método assistido poríons, são diferentes para uma camada de alto índice de refração e para umacamada de baixo índice de refração, ambas as quais constituem a películaanti-reflexiva de camadas múltiplas.

[Documento de Patente 1] Pedido de patente japonesa emaberto 2004-206024

Revelação da invenção

Problema a ser resolvido pela invenção

O Documento de Patente 1 não descreve como mudar ascondições de formação de película no caso de mudança a partir da condiçãode formação de película (ou seja, valores estabelecidos para voltagem deaceleração, corrente de aceleração e vazão do gás a ser usado) para a camadade baixo índice de refração de acordo com o método assistido por íons para acondição de formação de película para a camada de alto índice de refração deacordo com o método assistido por íons, ou no caso da mudança a partir dacondição de formação de película para a camada de alto índice de refração deacordo com o método assistido por íons para a condição de formação depelícula para a camada de baixo índice de refração de acordo com o métodoassistido por íons.

Para um canhão de íons que é usado mo método assistido poríons, se os valores estabelecidos para a voltagem de aceleração, a corrente deaceleração e a vazão do gás a ser usado, ou o equivalente, forem mudadossem serem controlados de todo, esses valores para a voltagem de aceleração, acorrente de aceleração e a vazão do gás a ser usado podem mudarrepentinamente, o que pode conduzir à interrupção anormal do canhão deíons.

Conseqüentemente, no caso da mudança a partir de umacondição de formação de película para outra condição de formação depelícula entre a condição de formação de película (os valores estabelecidospara a voltagem de aceleração, a corrente de aceleração e a vazão do gás a serusado) para a camada de baixo índice de refração de acordo com o métodoassistido por íons e as condições de formação de película para a camada dealto índice de refração de acordo com o método assistido por íons, éempregado um método no qual os valores estabelecidos de corrente sãotemporariamente reajustados para 0 e, subseqüentemente, os valoresestabelecidos são mudados para outros valores estabelecidos pretendidos (verFigura 5). Conseqüentemente, usualmente leva muito tempo para formar umapelícula anti-reflexiva de camadas múltiplas de acordo com o métodoassistido por íons para a qual as condições de formação de película sãodiferentes para a camada de baixo índice de refração e para a camada de altoíndice de refração.Um objetivo da presente invenção, que foi feito emconsideração às situações citadas acima, é prover um sistema de canhão deíons que possa reduzir o tempo de formação de película sem deteriorar odesempenho de uma película formada sobre um corpo formado de película eum aparelho de deposição por vapor incluindo o sistema de canhão de íons.Um outro objetivo da presente invenção é prover um método para produziruma lente que possa reduzir o tempo de formação de película de uma películaanti-reflexiva de camadas múltiplas sem deteriorar o desempenho da películaanti-reflexiva de camadas múltiplas a ser formada sobre um substrato de lente.

Meios para resolver os problemasO sistema de canhão de íons da invenção de acordo com areivindicação 1 é um sistema de canhão de íons incluindo: um canhão de íonspara irradiar um feixe de íons; uma unidade de suprimento de energia elétricapara suprir energia elétrica ao canhão de íons; uma pluralidade de reguladoresde fluxo de massa para introduzir cada um de uma pluralidade de tipos de gásno mencionado canhão de íons; meio de controle de canhão de íons,conectados à mencionada unidade de suprimento de energia elétrica, paracontrolar a energia elétrica suprida ao mencionado canhão de íons a partir daunidade de suprimento de energia elétrica; e meios de controle de fluxo demassa, conectados aos mencionados reguladores de fluxo de massa, paracontrolar a vazão do gás introduzido no mencionado canhão de íons a partirdos reguladores de fluxo de massa, onde os mencionados meios de controlede fluxo de massa são providos com uma função de mudar um valorestabelecido para a vazão de cada um de uma pluralidade de tipos de gás paraum outro valor estabelecido mudando-o gradativamente dentro de umavariação onde o mencionado canhão de íons fica trabalhando de modo estável.

O sistema de canhão de íons da invenção de acordo com areivindicação 2 refere-se a um sistema de canhão de íons de acordo com areivindicação 1, onde os mencionados meios de controle de fluxo de massasão providos com uma função de mudar um valor estabelecido para a vazãode cada um de uma pluralidade de tipos de gás para um outro valorestabelecido mudando-o gradativamente enquanto sincronizando os valoresestabelecidos dentro de uma variação onde o mencionado canhão de íons ficatrabalhando de modo estável.

O sistema de canhão de íons da invenção de acordo com areivindicação 3 refere-se a um sistema de canhão de íons de acordo com areivindicação 1 ou 2, onde os mencionados meios de controle de fluxo demassa são providos com uma função de mudar um valor estabelecido para avazão de cada um de uma pluralidade de tipos de gás para um outro valorestabelecido mudando-o gradativamente dentro de uma variação onde omencionado canhão de íons fica trabalhando de modo estável, enquantomantendo uma vazão total constante.

O sistema de canhão de íons da invenção de acordo com areivindicação 4 refere-se a um sistema de canhão de íons de acordo comqualquer uma das reivindicações 1 a 3, onde os mencionados meios decontrole de canhão de íons são providos com uma função de mudar o valorestabelecido para cada um dentre um valor de corrente de aceleração e umvalor de voltagem de aceleração supridos ao mencionado canhão de íons paraum outro valor estabelecido mudando-o gradativamente dentro de umavariação onde o mencionado canhão de íons fica trabalhando de modo estável.

O sistema de canhão de íons da invenção de acordo com areivindicação 5 refere-se a um sistema de canhão de íons de acordo comqualquer uma das reivindicações 1 a 4, onde os mencionados meios decontrole de canhão de íons são providos com uma função de ajustartemporariamente o valor estabelecido para cada um dentre um valor decorrente de aceleração e um valor de voltagem de aceleração supridos aomencionado canhão de íons para valores que satisfazem 30 mA = valor decorrente de aceleração = 70 mA e 100 V = valor de voltagem de aceleração =160 V mudando-o gradativamente dentro de uma variação onde o mencionadocanhão de íons fica trabalhando de modo estável.

O sistema de canhão de íons da invenção de acordo com areivindicação 6 refere-se a um sistema de canhão de íons de acordo comqualquer uma das reivindicações 1 a 5, onde a mudança por meio dosmencionados meios de controle de canhão de íons dos valores estabelecidospara o valor de corrente de aceleração e o valor de voltagem de aceleraçãosupridos ao canhão de íons e a mudança por meio dos meios de controle defluxo de massa do valor estabelecido para a vazão do gás introduzido nocanhão de íons são implementadas em paralelo.

O sistema de canhão de íons da invenção de acordo com areivindicação 7 refere-se a um sistema de canhão de íons de acordo comqualquer uma das reivindicações 1 a 6, onde pelo menos uma dentre amudança por meio dos mencionados meios de controle de canhão de íons dosvalores estabelecidos para o valor de corrente de aceleração e o valor devoltagem de aceleração supridos ao canhão de íons e a mudança por meio dosmencionados meios de controle de fluxo do valor estabelecido para a vazãodo gás introduzido no canhão de íons é para mudar o mencionado valorestabelecido separadamente por um tempo unitário dividido determinadodividindo-se um tempo de mudança total por cada um dos valores, de modo amudar o mencionado valor estabelecido gradativamente dentro domencionado tempo de mudança total, e o mencionado tempo unitário divididoé estabelecido para ser um período de tempo igual a, ou, menor do que 1segundo.

Um aparelho de deposição por vapor da invenção de acordocom a reivindicação 8 é um aparelho de deposição por vapor incluindo umacâmara de deposição por vapor que mantém um corpo em forma de películana mesma; uma fonte de calor, instalada na câmara de deposição por vapor,para aquecer um material de deposição por vapor para evaporá-lo e depositá-lo sobre o mencionado corpo em forma de película; e um sistema de canhãode íons, instalado na câmara de deposição por vapor, para assistir amencionada deposição por vapor por cima do mencionado corpo em forma depelícula com um feixe de íons que ele irradia, onde o mencionado sistema decanhão de íons é um sistema de canhão de íons de acordo com qualquer umadas reivindicações 1 a 7.

Um método para produzir uma lente da invenção de acordocom a reivindicação 9 é um método para produzir uma lente incluindo:enquanto formando uma película anti-reflexiva de camadas múltiplasconsistindo de uma camada de alto índice de refração e de uma camada debaixo índice de refração sobre o substrato de lente de acordo com um métodoassistido por íon com o uso de um canhão de íons, criar um valor estabelecidopara cada um dentre um valor de corrente de aceleração e um valor devoltagem de aceleração supridos ao mencionado canhão de íons e um valorestabelecido para uma vazão para cada um de uma pluralidade de tipos degases introduzidos no mencionado canhão de íons diferentes entre elesquando formando a mencionada camada de alto índice de refração e quandoformando a mencionada camada de baixo índice de refração, onde o métodomuda o valor estabelecido para a vazão de cada um de uma pluralidade detipos de gás para um outro valor estabelecido mudando-o gradativamentedentro de uma variação onde o mencionado canhão de íons fica trabalhandode modo estável, durante um período entre quando formando a camada de altoíndice de refração e quando formando a camada de baixo índice de refração.

O método para produzir uma lente da invenção de acordo coma reivindicação 10 refere-se ao método de acordo com a reivindicação 9, ondeo método muda o valor estabelecido para a vazão de cada um de umapluralidade de tipos de gás para um outro valor estabelecido mudando-ogradativamente enquanto sincronizando os valores estabelecidos dentro deuma faixa onde o mencionado canhão de íons fica trabalhando de modoestável, durante um período entre quando formando a camada de alto índicede refração e quando formando a camada de baixo índice de refração.

O método para produzir uma lente da invenção de acordo coma reivindicação 11 refere-se ao método de acordo com a reivindicação 9 ou10, onde o método muda o valor estabelecido para a vazão de cada um de umapluralidade de tipos de gás para um outro valor estabelecido mudando-ogradativamente dentro de uma faixa onde o mencionado canhão de íons ficatrabalhando de modo estável, enquanto mantendo uma vazão total constante,durante um período entre quando formando a camada de alto índice derefração e quando formando a camada de baixo índice de refração.

O método para produzir uma lente da invenção de acordo coma reivindicação 12 refere-se ao método de acordo com qualquer uma dasreivindicações 9 a 11, onde o método muda o valor estabelecido para cada umdentre um valor de corrente de aceleração e um valor de voltagem deaceleração supridos ao mencionado canhão de íons para um outro valorestabelecido mudando-o gradativamente dentro de dentro de uma faixa onde omencionado canhão de íons fica trabalhando de modo estável durante umperíodo entre quando formando a camada de alto índice de refração e quandoformando a camada de baixo índice de refração.

O método para produzir uma lente da invenção de acordo coma reivindicação 13 refere-se ao método de acordo com qualquer uma dasreivindicações 9 a 12, onde o método ajusta temporariamente o valorestabelecido para cada um dentre o valor de corrente de aceleração e o valorde voltagem de aceleração supridos ao mencionado canhão de íons paravalores que satisfazem 30 mA = o valor de corrente de aceleração = 70 mA e100 V = o valor de voltagem de aceleração = 160 V mudando-ogradativamente dentro de uma faixa onde o mencionado canhão de íons ficatrabalhando de modo estável e, subseqüentemente, mudando-ogradativamente para um outro valor estabelecido, durante um período entrequando formando a camada de alto índice de refração e quando formando acamada de baixo índice de refração.

O método para produzir uma lente da invenção de acordo coma reivindicação 14 refere-se ao método de acordo com qualquer uma dasreivindicações 9 a 13, onde a mudança por meio dos mencionados meios decontrole de canhão de íons dos valores estabelecidos para o valor de correntede aceleração e o valor de voltagem de aceleração supridos ao canhão de íonse a mudança por meio dos mencionados meios de controle de fluxo de massado valor estabelecido para a vazão do gás introduzido no canhão de íons sãoimplementadas em paralelo, durante um período entre quando formando acamada de alto índice de refração e quando formando a camada de baixoíndice de refração.

O método para produzir uma lente da invenção de acordo coma reivindicação 15 refere-se ao método de acordo com qualquer uma dasreivindicações 9 a 14, onde pelo menos uma dentre a mudança por meio dosmencionados meios de controle de canhão de íons dos valores estabelecidospara o valor de corrente de aceleração e o valor de voltagem de aceleraçãosupridos ao canhão de íons e a mudança por meio dos mencionados meios decontrole de fluxo de massa do valor estabelecido para a vazão do gásintroduzido no canhão de íons deve mudar o mencionado valor estabelecidoseparadamente por um tempo unitário dividido determinado dividindo-se umtempo de mudança total por cada um dos valores, de modo a mudar omencionado valor estabelecido gradativamente dentro do mencionado tempode mudança total, durante um período entre quando formando a camada dealto índice de refração e quando formando a camada de baixo índice derefração, e o mencionado tempo unitário dividido é estabelecido para ser umperíodo de tempo igual a, ou, menor do que 1 segundo.

Efeito da invençãoDe acordo com a invenção das reivindicações 1, 2, 3, 7 ou 8, omeio de controle de fluxo é provido com uma função de mudar o valorestabelecido para a vazão de cada um de uma pluralidade de tipos de gás paraum outro valor estabelecido mudando-o gradativamente dentro de uma faixaonde o canhão de íons fica trabalhando de modo estável. D,. o meio decontrole de fluxo de massa muda o valor estabelecido para a vazão do gáspara um outro valor estabelecido mudando-o gradativamente, sem mudar ovalor estabelecido para um outro valor estabelecido depois de ajustá-lotemporariamente para 0. Conseqüentemente, um tempo de formação depelícula para formar um corpo formado por película com o uso do canhão deíons pode ser reduzido sem deteriorar o desempenho da película. Em adição,visto que o trabalho estável do canhão de íons está assegurado quandomudando o valor estabelecido para a vazão do gás a ser introduzido, umasituação onde o canhão de íons para de modo anormal quando mudando ovalor estabelecido pode ser evitada de modo confiável.

De acordo com a invenção das reivindicações 4, 7 ou 8, o meiode controle de canhão de íons muda o valor estabelecido para cada um dentreum valor de corrente de aceleração e um valor de voltagem de aceleraçãosupridos ao canhão de íons para um outro valor estabelecido mudando-ogradativamente dentro de uma faixa onde o canhão de íons fica trabalhandode modo estável do canhão de íons. Desse modo, o meio de controle decanhão de íons muda o valor estabelecido para cada um dentre o valor decorrente de aceleração e o valor de voltagem de aceleração para um outrovalor estabelecido mudando-o gradativamente, sem mudar o valorestabelecido para um outro valor estabelecido depois de ajusta-lotemporariamente para 0. Conseqüentemente, um tempo de formação depelícula para formar um corpo formado por película com o uso do canhão deíons pode ser reduzido sem deteriorar o desempenho da película. Em adição,visto que o trabalho estável do canhão de íons está assegurado quandomudando o valor estabelecido de cada um dentre o valor de corrente deaceleração e o valor de voltagem de aceleração, uma situação onde o canhãode íons pare de modo anormal quando mudando o valor estabelecido pode serevitado de modo confiável.

De acordo com a invenção de acordo com a reivindicação 5, omeio de controle de canhão de íons executa um assim chamado desligamentono qual ele ajusta o valor estabelecido para cada um dentre o valor de correntede aceleração e o valor de voltagem de aceleração supridos ao canhão de íonspara valores que satisfazem 30 mA = o valor de corrente de aceleração = 70mA e 100 V = o valor de voltagem de aceleração = 160 V, antes de mudá-lospara um outro valor estabelecido. Conseqüentemente, mesmo se um erroocorrer em outro equipamento enquanto o desligamento estiver sendoexecutado, a influência do feixe de íons irradiado a partir do canhão de íonssobre uma película que já tenha sido formada sobre o corpo formado porpelícula pode ser evitada tanto quanto possível.

De acordo com a invenção de acordo com a reivindicação 6, amudança por meio do meio de controle de canhão de íons dos valoresestabelecidos para o valor de corrente de aceleração e o valor de voltagem deaceleração supridos ao canhão de íons e a mudança por meio do meio decontrole de fluxo de massa do valor estabelecido para a vazão do gásintroduzido no canhão de íons são implementadas em paralelo.Conseqüentemente, a mudança dos valores estabelecidos para o canhão deíons pode ser implementada durante um curto período de tempo e, dessemodo, um tempo de formação de película pode ser reduzido.

De acordo com a invenção das reivindicações 9, 10, 11 ou 15,o método muda o valor estabelecido para a vazão de cada um de umapluralidade de tipos de gás para um outro valor estabelecido mudando-ogradativamente dentro de uma faixa onde o canhão de íons fica trabalhandode modo estável, durante um período entre quando formando a camada de altoíndice de refração e quando formando a camada de baixo índice de refraçãoda película anti-reflexiva de camadas múltiplas. Desse modo, o método mudao valor estabelecido para a vazão do gás para um outro valor estabelecidomudando-o gradativamente, sem mudar o valor estabelecido para um outrovalor estabelecido depois de ajustá-lo temporariamente para 0.Conseqüentemente, um tempo de formação de película para formar umapelícula anti-reflexiva de camadas múltiplas sobre o substrato de lente com ouso do canhão de íons pode ser reduzido sem deteriorar o desempenho dapelícula. Em adição, visto que o trabalho estável do canhão de íons éassegurado quando mudando o valor estabelecido para a vazão do gás a serintroduzido, uma situação onde o canhão de íons pare de modo anormalquando mudando o valor estabelecido pode ser evitada de modo confiável.

De acordo com a invenção de acordo com a reivindicação 12ou 15, o método muda o valor estabelecido para cada um dentre um valor decorrente de aceleração e um valor de voltagem de aceleração supridos aocanhão de íons para um outro valor estabelecido mudando-o gradativamentedentro de uma faixa onde o canhão de íons fica trabalhando de modo estável,durante um período entre quando formando a camada de alto índice derefração e quando formando a camada de baixo índice de refração. Dessemodo, o método muda o valor estabelecido para cada um dentre o valor decorrente de aceleração e o valor de voltagem de aceleração para um outrovalor estabelecido mudando-o gradativamente, sem mudar o valorestabelecido para um outro valor estabelecido depois de ajustá-lotemporariamente para 0. Conseqüentemente, um tempo de formação depelícula para formar uma película anti-reflexiva de camadas múltiplas sobre osubstrato de lente com o uso do canhão de íons pode ser reduzido semdeteriorar o desempenho da película. Em adição, visto que o trabalho estáveldo canhão de íons é assegurado quando mudando o valor estabelecido paracada um dentre o valor de corrente de aceleração e o valor de voltagem deaceleração, uma situação onde o canhão de íons pare de modo anormalquando mudando o valor estabelecido pode ser evitado de modo confiável.

De acordo com a invenção de acordo com a reivindicação 13,o método executa um assim chamado desligamento no qual ele ajusta o valorestabelecido para cada um dentre o valor de corrente de aceleração e o valorde voltagem de aceleração supridos ao canhão de íons para valores quesatisfazem 30 mA = o valor de corrente de aceleração = 70 mA e 100 V =valor de voltagem de aceleração = 160 V, antes de mudá-lo para um valorestabelecido, durante um período entra quando formando a camada de altoíndice de refração e quando formando a camada de baixo índice de refração.Conseqüentemente, mesmo se um erro ocorrer em outro equipamentoenquanto o desligamento estiver sendo executado, a influência do feixe deíons irradiado a partir do canhão de íons sobre uma película que já tenha sidoformada sobre o corpo formado por película pode ser evitada tanto quantopossível.

De acordo com a invenção de acordo com a reivindicação 14,a mudança por meio do meio de controle de canhão de íons dos valoresestabelecidos para o valor de corrente de aceleração e o valor de voltagem deaceleração supridos ao canhão de íons e a mudança por meio do meio decontrole de fluxo de massa do valor estabelecido para a vazão do gásintroduzido no canhão de íons são implementadas em paralelo, durante umperíodo entre quando formando a camada de alto índice de refração e quandoformando a camada de baixo índice de refração da película anti-reflexiva decamadas múltiplas. Conseqüentemente, a mudança dos valores estabelecidossupridos ao canhão de íons pode ser implementada durante um curto períodode tempo e um tempo de formação de película pode ser reduzido.

Melhor modo de realizar a invenção

Aqui, o melhor modo de realizar a presente invenção seráexplicado com referência aos desenhos.

A Figura 1 mostra um exemplo no qual a presente invenção foiaplicada a um sistema de deposição por vapor contínuo 1 que formacontinuamente uma película fina como uma película anti-reflexiva, umrevestimento à prova d'água, ou o equivalente sobre uma lente plástica paraóculos. O sistema de deposição por vapor contínuo 1 forma continuamenteuma película anti-reflexiva e um revestimento à prova d'água ou oequivalente através da deposição por vapor de um material de deposição porvapor sobre uma lente para óculos (aqui, meramente referida como "lente")como um corpo formado por película moldado em uma câmara de deposiçãopor vapor de vácuo.

A Figura 1 é um diagrama esquemático mostrando um esboçodo sistema de deposição por vapor contínuo 1. O sistema de deposição porvapor contínuo inclui uma unidade de pré-aquecimento 100 para aquecer umalente 20, um primeiro aparelho de deposição por vapor 200 para formar umapelícula anti-reflexiva sobre a lente 20 e um segundo aparelho de deposiçãopor vapor 300 para formar um revestimento à prova d'água ou o equivalentesobre a lente 20 sobre a qual a película anti-reflexiva foi formada. Em adição,uma unidade de vácuo (por exemplo, assinalada pelo número 8 na Figura 2) éarranjada em cada um dentre a unidade de pré-aquecimento 100, o primeiroaparelho de deposição por vapor 200 e o segundo aparelho de deposição porvapor 300, de modo a satisfazer um grau predeterminado de vácuo.

Um esboço de um processo de formação de película da lenteno sistema de deposição por vapor contínuo 1 será descrito.

Primeiro, uma pluralidade de lentes 20 é arranjada sobre umdomo de revestimento em forma de disco 2, de modo que as lentes 20constituam um grupo. A seguir, o domo de revestimento 2 é colocado sobreuma mesa de suporte 101 da unidade de pré-aquecimento 100. O domo derevestimento 2 é forçado a se elevar em tandem com a mesa de suporte 101,de modo que ele se mova a partir da porção de fundo da unidade de pré-aquecimento 100 para o lado de dentro da unidade de pré-aquecimento 100.Quando a elevação do domo de revestimento 2 e da mesa de suporte 101 estácompleta, a porção de fundo da unidade de pré-aquecimento 100 é vedada pormeio de uma mesa de abertura e fechamento 103 que suporta a porção inferiorda mesa de suporte 101. Enquanto isso, o domo de revestimento 2, suportadopelos meios de transferência (não mostrados na Figura 1) providos no sistemade deposição por vapor contínuo 1, é transferível a partir da unidade de pré-aquecimento 100 via o primeiro aparelho de deposição por vapor 200 para osegundo aparelho de deposição por vapor 300. Em adição, os meios detransferência, suportados pelo domo de revestimento 2, são giráveis por meiode um atuador que não é mostrado.

A unidade de pré-aquecimento 100 pré-aquece a lente 20 dodomo de revestimento 2 com o uso de um aquecedor (como um aquecedor dehalogênio) 102 acionado por uma unidade de controle 12. Quando o pré-aquecimento está completo, a unidade de controle 12 aciona os meios detransferência para transferir o domo de revestimento 2 para o primeiroaparelho de deposição por vapor 200.

No primeiro aparelho de deposição por vapor 200, os canhõesde elétrons 30, 31 trabalham como fonte de calor para aquecer umapluralidade de materiais de deposição por vapor 41, 42 para evaporá-los, para,desse modo, formar principalmente uma película anti-reflexiva sobre a lente20. Notar que o acionamento dos canhões de elétrons 30, 31 e a seleção dosmateriais de deposição por vapor 41, 42 são controlados pela unidade decontrole 12. Em adição, um medidor de espessura de película ótica 10 éprovido para monitorar o status da formação de película fina no aparelho dedeposição por vapor 200. O resultado de monitoramento é enviado à unidadede controle 12, onde ele é usado para controlar os canhões de eletros 30, 31ou para outros fins.

Quando a formação da película anti-reflexiva está completa, aunidade de controle 12 aciona os meios de transferência para transferir odomo de revestimento 2 para o segundo aparelho de deposição por vapor 300.No segundo aparelho de deposição por vapor 300, uma mesa de suporte 301para suportar o domo de revestimento 2 é arranjada de modo móvel sobreuma mesa de abertura e fechamento 303 que pode ser levantada e abaixada. Odomo de revestimento 2 que foi transferido a partir do primeiro aparelho dedeposição por vapor 200 é adicionalmente transferido para o segundoaparelho de deposição por vapor 300 pelos meios de transferência.

Um aquecedor (como um aquecedor de halogênio) 302 que écontrolado pela unidade de controle 12 e um material de deposição por vapor340 que é aquecido pelo aquecedor 302 são arranjados sobre uma mesa deabertura e fechamento 303 do segundo aparelho de deposição por vapor 300,e um revestimento à prova d'água é formado sobre a lente 20 arranjada nodomo de revestimento 2. Quando a formação do revestimento à prova d'águasobre a lente 20 está completo, a mesa de abertura e fechamento 303 éabaixada e o processamento de todos os processos está completo. Depoisdisso, o domo de revestimento 2 é transferido a partir da mesa de suporte 301e a lente 20 sobre o domo de revestimento 2 é portada para o processoseguinte.

A Figura 2 mostra o primeiro aparelho de deposição por vapor200 e a unidade de controle 12.

Na câmara de deposição por vapor 201 do primeiro aparelhode deposição por vapor 200, o domo de revestimento 2 incluindo a lente 20que foi transferido da unidade de pré-aquecimento 100 é posicionado e presona porção superior na câmara de deposição por vapor 201.

Na porção inferior da câmara de deposição por vapor 200, éprovida uma porção de forno 400 tendo um recipiente 40 incluindo umcadinho e um forno que acomodam os materiais de deposição por vapor(materiais de formação de película) 41, 42, os canhões de elétrons 30, 31trabalhando como a fonte de calor para irradiar um feixe de elétrons para osmateriais de deposição por vapor 41, 42 no recipiente para evaporarem, umobturador 5 para o canhão de elétrons que corta seletivamente o vapor dosmateriais de deposição por vapor 41, 42, um canhão de íons 14 para assistir adeposição por vapor irradiando um feixe de íons a fim de aperfeiçoar aresistência e a qualidade de película (como a densidade) de uma película finaa ser depositada por vapor, uma unidade de geração de gás (unidade de gás)15 que enche de gás a câmara de deposição por vapor 201 a fim deaperfeiçoar a resistência e a qualidade de película de uma película finadepositada por vapor e o equivalente.

Notar que um atuador (não mostrado) é provido no obturador 5para o canhão de elétrons e é controlado pela unidade de controle 12 a serdescrita adiante. Por enquanto, os materiais de deposição por vapor 41, 42 sãosubstâncias de tipos diferentes. Por exemplo, o material de deposição porvapor 41 é uma camada de baixo índice de refração e o material de deposiçãopor vapor 42 é uma camada de alto índice de refração.

Na vizinhança do domo de revestimento 2 na porção superiorda câmara de deposição por vapor 200, um termômetro de substrato 6 éprovido para medir uma temperatura da lente 20 como o corpo formado porpelícula que é mantido pelo domo de revestimento 2. Além disso, um medidorde vácuo 7 para medir o grau de vácuo na câmara de deposição por vapor 201e uma unidade de escapamento (unidade de vácuo) 8 para esvaziar a câmarade deposição por vapor 201. Em adição, na vizinhança do domo derevestimento 2 na porção superior da câmara de deposição por vapor 200, umaquecedor 9 é provido para aquecer a lente 20 que é mantida pelo domo derevestimento 2. O aquecedor 9 inclui um aquecedor de halogênio ou oequivalente.

Na porção superior da câmara de deposição por vapor 201 éinstalada uma lente de monitor 51 em uma posição predeterminada que é umcomponente do medidor de espessura de película ótica 10 que detecta umstatus da formação de película fina. A lente de monitor 51, que é arranjada emuma posição predeterminada na câmara de deposição de vapor 201, podereceber vapor dos materiais de deposição por vapor 41, 42.

Além disso, do lado de fora, acima da câmara de deposição porvapor 201, o medidor de espessura de película ótica 10 é provido para medir arefletância da lente de monitor 51 que é instalada em uma posiçãopredeterminada com relação ao domo de revestimento 2. O medidor deespessura 10 é conectado à unidade de controle 12 via um monitor deespessura de película 11. O medidor de espessura de película 10 produz arazão da quantidade de luz da luz refletida com relação à quantidade de luz daluz irradiada como os dados de quantidade de luz (valor de quantidade de luz)para a unidade de controle 12.

A unidade de controle 12, que é principalmente uma unidadede seqüenciador, inclui adicionalmente uma CPU que dá um comando para aunidade de seqüenciador, uma memória, uma unidade de disco ou oequivalente (ou seja, um assim chamado computador). Como será descritoadiante, a inteira unidade de controle 12 controla cada unidade de pré-aquecimento 100, o primeiro aparelho de deposição por vapor 200, e osegundo aparelho de deposição por vapor 300. Por exemplo, a unidade decontrole 12 controla a energia elétrica suprida aos canhões de elétrons 30, 31e ao aquecedor 302 para formar uma película fina sobre a lente 20.

Conseqüentemente, a unidade de controle 12 é conectada nãosomente à seção de entrada 12a incluindo um teclado, um mouse ou oequivalente, mas também aos dispositivos a serem controlados como oscanhões de elétrons 30, 31, o obturador 5, a unidade de vácuo 8, o aquecedor9, o canhão de íons 14, a unidade de geração de gás 15 e o equivalente comodescrito acima, e sensores como o termômetro de substrato 6, o medidor devácuo 7, o medidor de espessura de película ótica 10 (o monitor de espessurade película 11) e o equivalente. A unidade de controle 12 controla osdispositivos descritos acima para serem controlados com base na entrada deinformação a partir de cada sensor ou equivalente. Além disso, a unidade decontrole 12 é conectada ao aquecedor 102 da unidade de pré-aquecimento100, ao aquecedor 302 do segundo aparelho de deposição por vapor 300, aosmeios de transferência 500 que transferem o domo de revestimento 2 a partirda unidade de pré-aquecimento 100 via o primeiro aparelho de deposição porvapor 200 para o segundo aparelho de deposição por vapor 300, e às unidadesde elevação e abaixamento (não mostradas) para as mesas de abertura efechamento 103, 303 da unidade de pré-aquecimento 100 e para o segundoaparelho de deposição por vapor 300, respectivamente.

A unidade de controle 12 controla a unidade de vácuo 8 combase na informação a partir do medidor de vácuo 7, para ajustar o grau devácuo na câmara de deposição por vapor 201 para um grau predeterminado devácuo. A unidade de controle 12 também controla o aquecedor 9 com base nainformação a partir do termômetro de substrato 6 para ajustar a temperaturada lente 20, que é um corpo em forma de película, para uma temperaturapredeterminada. Em adição, a unidade de controle 12 às vezes controla aenergia elétrica (corrente e/ou voltagem) aplicada aos canhões de elétrons 30,31 de modo que o valor de quantidade de luz em cada momento que dependeda espessura de película ótica em cada momento de uma película fina em cadamomento formada sobre a lente de monitor 51 do medidor de espessura depelícula ótica 10 descrito acima se iguale a um valor armazenado nos meiosde armazenamento de dados de valor de quantidade de luz de referência. Emadição, a unidade de controle 12 realiza a irradiação de feixe de íons com ouso do canhão de íons 14 e enche de gás com o uso da unidade de geração degás 15 de acordo com um tipo de película fina a ser formada e tipos demateriais de deposição por vapor 41, 42 a serem evaporados.

Aqui, o domo de revestimento 2 trabalha como meio deprender que prende a lente 20 de modo que a película anti-reflexiva, ouequivalente, seja depositada por vapor sobre a lente 20. Além disso, o domode revestimento 2 é formado como disco com uma sp curvada, que tem umacurvatura predeterminada, de modo que uma pluralidade de lentes 20 possaser simultaneamente depositada por vapor. Em adição, o domo derevestimento 2 é girável por meio de um atuador que não é mostrado. Ele giraprincipalmente para reduzir a variação na distribuição das substânciasvaporizadas e dispersas na câmara de deposição por vapor 201.

Os canhões de elétrons 30, 31 evaporam os materiais dedeposição por vapor (substâncias) 41, 42 alojadas no recipiente aquecendo-osa temperaturas de fusão dos materiais de deposição por vapor 41, 42, para,desse modo, depositar por vapor/depositar os materiais de deposição porvapor (substâncias) sobre a lente 20 e a lente de monitor 51, de modo a formaruma película fina. Enquanto isso, o recipiente 40 é um cadinho de tipoaquecido a água ou revestimento de forno que é usado para manter osmateriais de deposição por vapor 41, 42.

O obturador 5 para o canhão de elétrons é controlado de modoa ser aberto quando a deposição por vapor é iniciada e ser fechado quando elaé terminada. O obturador 5 facilita o controle de uma película fina. Oaquecedor 9 é o meio de aquecimento para aquecer a lente 20 a umatemperatura apropriada para aperfeiçoar uma propriedade como a capacidadede adesão da película fina para ser depositada por vapor sobre a lente 20.

O medidor de espessura de película ótica 10 irradia luz a umcomprimento de onda predeterminado para a lente de monitor 51 mantida emuma porção substancialmente central do domo de revestimento 2 e mede a luzrefletida da mesma. Visto que a película fina formada sobre a lente de monitor51 é pensada para ser dependente de uma película fina formada sobre cadauma das lentes 20, a informação que capacita predizer (reproduzir) umapelícula fina formada sobre cada uma das lentes 20 pode ser obtida. Aespessura da película formada sobre a lente de monitor 51 é medida com baseno número de picos da quantidade de luz detectada pelo sensor derecebimento de luz, desse modo, o progresso da formação de película pode serdetectado.

No meio tempo, o sistema de canhão de íons 60 incluindo ocanhão de íons 14 instalado na câmara de deposição por vapor 201 doprimeiro aparelho de deposição por vapor 200 descrito acima assiste, comodescrito acima, na deposição por vapor sobre a lente 20 por meio de um feixede íons irradiado a partir do canhão de íons 14, e aperfeiçoa a qualidade depelícula como resistência e densidade de uma película fina depositada porvapor. O sistema de canhão de íons 60, como mostrado rias Figuras 2 e 3,inclui o canhão de íons 14, a unidade de suprimento de energia elétrica 61,cilindros de gás 62 e 63, reguladores de fluxo de massa 64 e 65, e a unidadede controle 12.

A unidade de suprimento de energia elétrica 61 descrita acimasupre energia elétrica ao canhão de íons 14. Em adição, cada um dos cilindrosde gás 62 e 63 armazena um único tipo de gás ou uma mistura de gases (porexemplo, gás O2, gás Ar). Alternativamente, os cilindros de gás podem ser umtipo de cilindro de gás ou três ou mais tipos de cilindros de gás, cada um dosquais armazena um único tipo de gás ou uma mistura de gases. Em adição, oregulador de fluxo de massa 64 e o regulador de fluxo de massa 65 ajustam asvazões do gás proveniente do cilindro de gás 62 para o canhão de íons 14, edo gás proveniente do cilindro de gás 63 para o canhão de íons 14,respectivamente. Alternativamente, um regulador de fluxo de massa ou trêsou mais reguladores de fluxo de massa podem ser instalados correspondendoao número dos cilindros de gás.

A unidade de controle 12 é conectada à unidade de suprimentode energia elétrica 61 e aos reguladores de fluxo de massa 64 e 65. Comofunções relacionadas ao sistema de canhão de íons 60, a unidade de controle12 tem uma função como o meio de controle de canhão de íons e uma funçãocomo meio de ajuste de fluxo de massa. A função como o meio de controle decanhão de íons é para controlar a energia elétrica suprida ao canhão de íons 14a partir da unidade de suprimento de energia elétrica 61. O controle incluicontrolar o ligar e desligar do suprimento de energia elétrica para o canhão deíons 14. A função como meio de controle de fluxo de massa é para controlar avazão do gás introduzido no canhão de íons 14 a partir dos reguladores defluxo de massa 64, 65, respectivamente.

Enquanto isso, no primeiro aparelho de deposição por vapor200, a película anti-reflexiva de camadas múltiplas formada sobre a lente 20 de acordo com o método assistido por íons com o uso do sistema de canhãode íons 60 inclui camadas de alto índice de retração e camadas de baixoíndice de refração laminadas. Para essas películas anti-reflexivas de camadasmúltiplas, há casos em que as condições de formação de película para formara camada de baixo índice de refração e as condições de formação de película para formar a camada de alto índice de refração são diferentes.Conseqüentemente, é necessário mudar as condições de formação de películadescritas acima durante um período entre quando formando essas películas.As condições de formação de película descritas acima são valoresestabelecidos para cada uma dentre a corrente de aceleração, a voltagem deaceleração e uma corrente de polarização supridas a partir da unidade desuprimento de energia elétrica 61 para o canhão de íons 14, e um valorestabelecido para cada um de um ou de uma pluralidade de tipos (dois tiposno presente modo de realização) de vazões do gás introduzido no canhão deíons 14 via os reguladores de fluxo de massa 64, 65.

Então, a unidade de controle 12 que funciona como o meio decontrole de canhão de íons muda o valor estabelecido para a vazão de cadaum de uma pluralidade de tipos de gás (por exemplo, gás O2, gás Ar) para umoutro valor estabelecido pretendido mudando-o gradativamente dentro de umafaixa onde o canhão de íons 14 fica trabalhando de modo estável do canhão deíons 14. Por exemplo, a unidade de controle 12 que funciona como o meio decontrole de canhão de íons muda a vazão dos dois tipos de gás descritos acimagradativamente dentro de uma faixa onde o canhão de íons 14 ficatrabalhando de modo estável, enquanto sincronizando os valores estabelecidosem vez de independentemente. Exemplos de sincronização nesse casoincluem aumentar a vazão de um dos gases e, subseqüentemente, diminuir avazão do outro gás, e mudar a vazão de cada gás no estado em que a vazãototal de ambos os gases é mantida a uma vazão constante.

Em adição, a unidade de controle 12 que funciona como omeio de controle de fluxo de massa muda o valor estabelecido para cada umadentre a corrente de aceleração, a voltagem de aceleração e a corrente de biassupridas ao canhão de íons 14 para um outro valor estabelecido pretendidomudando-o gradativamente dentro de uma faixa onde o canhão de íons 14 ficatrabalhando de modo estável. Nesse caso, a unidade de controle 12 quefunciona como o meio de controle de fluxo de massa pode temporariamenteajustar o valor estabelecido para cada uma dentre a corrente de aceleração, avoltagem de aceleração e a corrente de polarização para um valor dentro deuma faixa de valor estabelecido de desligamento (30 mA = a corrente deaceleração = 70 mA, 100 V = a voltagem de aceleração = 160 V, 50 mA = acorrente de polarização = 120 mA) mudando-o gradativamente dentro de umafaixa onde o canhão de íons 14 fica trabalhando de modo estável (isto é,diminui a energia) e, subseqüentemente, muda-o gradativamente para umoutro valor estabelecido pretendido. O desligamento pode ser executado comode modo apropriado ou pode ser omitido.

Por causa do desligamento descrito acima, mesmo se ocorrerum erro em outro equipamento no primeiro aparelho de deposição por vapor200 durante o desligamento, a saída a partir do canhão de íons 14 já foireduzida. Conseqüentemente, uma influência negativa do feixe de íonsirradiado a partir do canhão de íons 14 sobre a camada de película finadepositada por vapor pode ser evitada. Em adição, uma influência negativasobre a camada de película fina depositada por vapor pode ser evitada demodo confiável fechando-se um obturador 66 para o canhão de íons (Figura2), por exemplo, durante o desligamento descrito acima, a fim de bloquear ofeixe de íons a partir do canhão de íons 14.

Em adição, a mudança dos valores estabelecidos para acorrente de aceleração, a voltagem de aceleração e a corrente de bias descritasacima e a mudança do valor estabelecido para a vazão do gás a serintroduzido são implementadas em paralelo simultaneamente. Comoresultado, um tempo total para mudar os valores estabelecidos descritos acimapara o canhão de íons 14 é reduzido.

Em adição, a mudança dos valores estabelecidos para acorrente de aceleração, a voltagem de aceleração e a corrente de polarização émudar cada um dos valores estabelecidos descritos acima por um tempounitário dividido determinado dividindo-se um tempo de mudança total, demodo a mudar cada um dos valores estabelecidos descritos acimagradativamente dentro do tempo de mudança total. De uma maneirasemelhante, a mudança do valor estabelecido para a vazão do gás é mudarcada um dos valores estabelecidos descritos acima separadamente por umtempo unitário dividido determinado dividindo-se um tempo de mudançatotal, de modo a mudar cada um dos valores estabelecidos descritos acimagradativamente dentro do tempo de mudança total.

O tempo de mudança total descrito acima é ajustado para ficardentro de uma faixa de um tempo de tratamento intercamadas exigido paraum período entre quando formando diferentes camadas de deposição porvapor (a camada de baixo índice de refração e a camada de alto índice derefração) sem assistência de implementação com o uso do canhão de íons 14.O tempo de tratamento de intercamada inclui um tempo para aquecer ocanhão de elétrons, um tempo para abrir e fechar o obturador para o canhãode elétrons, e um tempo para mudar o ajuste para o medidor de espessura depelícula, e o equivalente, que são exigidos para um período entre quandoformando diferentes camadas de vapor. Especificamente, o tempo detratamento de intercamada descrito acima está aproximadamente dentro de 12a 30 segundos. Portanto, o tempo de mudança total é estabelecido para, pelomenos, dentro de 30 segundos, e, de preferência, aproximadamente 10 a 20segundos, m adição, o tempo unitário dividido descrito acima é ajustado paradentro de 1 segundo e, de preferência, para aproximadamente 200 a 300 mili-segundos para manter um estado de trabalho estável do sistema de canhão de íons 60. Isso é porque, se o tempo exceder 1 segundo, o canhão de íons 14 sertornará instável, o que pode conduzir a uma interrupção anormal.

O tempo de mudança total descrito acima, o tempo unitáriodividido e um número de divisão são estabelecidos com base em uma faixa demudança temporária permissível e em uma faixa de mudança de divisão permissível. Aqui, a faixa de mudança temporária permissível é uma faixa demudança permitida por segundo para o trabalho estável do sistema de canhãode íons 60. A faixa de mudança de divisão permissível é uma faixa demudança permitida por uma divisão para o trabalho estável do sistema decanhão de íons 60.

A faixa de mudança temporária permissível descrita acima écomo segue: a vazão do gás a ser introduzido é usualmente igual a, ou, menordo que 4,0 Ncm /segundo e, de preferência, igual a, ou, menor do que 2,0 a3,0 Ncm3/segundo, a corrente de aceleração é igual a, ou, menor do que 70mA/segundo, de preferência, igual a, ou, menor do que 40 mA/segundo, avoltagem de aceleração é igual a, ou, menor do que 140 V/segundo, depreferência, igual a, ou menor do que 80 V/segundo, e a corrente depolarização é de 120 mA/segundo, de preferência, igual a, ou, menor do que70 mA/segundo. O "Nem3" descrito acima, que é a abreviação de "cm3/minpadrão", refere-se a um volume de gás que flui por um minuto sob o ambientede 1 atm (pressão atmosférica, 1013 Pa), e 20°C.

A faixa de divisão permissível é como segue: a vazão do gás aser introduzido é usualmente igual a, ou, menor do que 0,2 Ncm3/divisão, depreferência, igual a, ou, menor do que 0,05 a 0,1 Ncm /divisão, a corrente deaceleração é igual a, ou, menor do que 3,0 mA/divisão, de preferência, iguala, ou, menor do que 1,0 mA/divisão, a voltagem de aceleração é igual a, ou,menor do que 6,0 V/divisão, de preferência, igual a, ou, menor do que 2,0V/divisão, e a corrente de polarização é de 5,1 mA/divisão, de preferência,igual a, ou, menor do que 1,7 mA/divisão.

Por exemplo, no caso de mudança do valor estabelecido para avoltagem de aceleração de 200 V para 600 V, exige-se aproximadamente 3segundos para o tempo de mudança total e, desse modo, o tempo de mudançatotal é estabelecido como 4 segundos para ficar sobre um lado mais seguro,com base no fato de que a faixa de mudança temporária permissível é igual a,ou, menor do que 140 V/segundo. Desse modo, quando se assume que o valorestabelecido para a voltagem de aceleração é mudado de 200 V para 600 Vpor 4 segundos, deve haver uma mudança de 100 V por segundo. Nessemomento, o número de divisão pelo qual a mudança de 100 V por segundo épermitida é determinado por 100 V + 6,0 V, e para ficar sobre um lado maisseguro, por 100 V 5,0 V = 20 divisões, com base no fato de que a faixa demudança de divisão permissível é igual a, ou, menor do que 6,0 V/divisão.Portanto, o tempo unitário dividido deveria ser de 0,05 segundo. Comoresultado disso, no caso de mudança do valor estabelecido para a voltagem deaceleração a partir de 200 V para 600 V em 4 segundos, o número de divisãodeveria ser de 20 divisões χ 4 = 80 divisões.

A seguir, o processo (Figura 4) de formar uma película anti-reflexiva de camadas múltiplas sobre a lente 20 com o uso de um sistema decanhão de íons 60 será explicado através da comparação com o processoconvencional (Figura 5). Como mostrado nas Figuras 3 e 4, primeiro, aunidade de controle 12 ajusta o valor estabelecido para a vazão do gás a serintroduzido para o valor estabelecido Al para os reguladores de fluxo demassa 64 e 65 (SI). A seguir, a unidade de controle 12 dá um comando paraos reguladores de fluxo de massa 64 e 65 para iniciar a introdução do gás defluxo de massa (S2). De fato, os valores estabelecidos para as vazões do gássão, na verdade, diferentes para os reguladores de fluxo de massa 64 e 65, e osdiferentes valores estabelecidos para a vazão do gás são referidoscoletivamente como o valor estabelecido Al. O mesmo é aplicado para ovalor estabelecido A2 a ser descrito aqui.

No instante em que os reguladores de fluxo de massa 64 e 65tiverem ajustado o valor estabelecido Al para a vazão do gás a serintroduzido no canhão de íons 14, a unidade de controle 12 ajusta os valoresestabelecidos para a corrente de aceleração, a voltagem de aceleração e acorrente de polarização para um valor estabelecido Bl na unidade desuprimento de energia elétrica 61 (S3). A seguir, a unidade de controle 12 dáum comando à unidade de suprimento de energia elétrica 61 para ativar ocanhão de íons 14 (S4). De fato, os valores estabelecidos descritos acima paraa corrente de aceleração, a voltagem de aceleração e a corrente de biastambém são diferentes, e os diferentes valores estabelecidos para elas sãocoletivamente referidos como o valor estabelecido BI. O mesmo é aplicadopara um valor estabelecido B2 a ser descrito aqui.

No instante em que a unidade de suprimento de energiaelétrica 61 tiver ajustado a corrente de aceleração, a voltagem de aceleração eq corrente de polarização supridas ao canhão de íons 14 para o valorestabelecido BI, o material de deposição por vapor sobre a superfície da lente20 para formar a camada de baixo índice de refração (S5) devido à ação doscanhões de elétrons 30, 31 e do canhão de íons 14.

Depois da completação da formação da camada de baixoíndice de refração, a unidade de controle 12 muda o valor estabelecido para avazão do gás a ser introduzido para o valor estabelecido A2 nos reguladoresde fluxo de massa 64 e 65 (S6). Os reguladores de fluxo de massa 64 e 65ajustam a vazão do gás introduzido no canhão de íons 14 para o valorestabelecido A2.

Em paralelo com a mudança do valor estabelecido para avazão do gás a ser introduzido e o ajuste do valor estabelecido A2 para avazão do gás a ser introduzido, a unidade de controle 12 muda os valoresestabelecidos para a corrente de aceleração, a voltagem de aceleração e ascorrentes de polarização para os valores estabelecidos de desligamento na unidade de suprimento de energia elétrica 61 (S7). A unidade de suprimentode energia elétrica 61 ajusta a corrente de aceleração, a voltagem deaceleração e a corrente de polarização supridas ao canhão de íons 14 para osvalores estabelecidos de desligamento. Subseqüentemente, a unidade decontrole 12 ajusta os valores estabelecidos para a corrente de aceleração, avoltagem de aceleração e a corrente de polarização para o valor estabelecidoB2 na unidade de suprimento de energia elétrica 61 (S8). A unidade desuprimento de energia elétrica 61 ajusta a corrente de aceleração, a voltagemde aceleração e a corrente de polarização supridas ao canhão de íons 14 para ovalor estabelecido B2.

Sob esse estado, o material de deposição por vapor 42 édepositado por vapor sobre a superfície dados de áudio lente 20 para formar acamada de alto índice de refração (S9) devido à ação dos canhões de elétrons30, 31 e do canhão de íons 14. Depois da completação da formação dacamada de alto índice de refração, a unidade de controle 12 muda o valorestabelecido para a vazão do gás a ser introduzido para o valor estabelecidoAl nos reguladores de fluxo de massa 64 e 65 (S10). Os reguladores de fluxode massa 64 e 65 ajustam a vazão introduzida no canhão de íons 14 para ovalor estabelecido Al.

Em paralelo com a mudança do valor estabelecido para avazão do gás a ser introduzido e o ajuste para o valor estabelecido Al para avazão do gás a ser introduzido, a unidade de controle 12 muda os valoresestabelecidos para a corrente de aceleração, a voltagem de aceleração e ascorrente de polarização para o valor estabelecido de desligamento na unidadede suprimento de energia elétrica 61 (Sll). A unidade de suprimento deenergia elétrica 61 ajusta a corrente de aceleração, a voltagem de aceleração ea corrente de polarização supridas ao canhão de íons 14 para o valorestabelecido de desligamento descrito acima. Subseqüentemente, a unidade decontrole 12 ajusta os valores estabelecidos para a corrente de aceleração, avoltagem de aceleração e a corrente de polarização para o valor estabelecidoBl na unidade de suprimento de energia elétrica 61 (SI2). A unidade desuprimento de energia elétrica 61 ajusta a corrente de aceleração, a voltagemde aceleração e a corrente de polarização supridas ao canhão de íons 14 para ovalor estabelecido B1.

Sob esse estado, o material de deposição por vapor 41 édepositado por vapor sobre a superfície da lente 20 para formar a camada debaixo índice de retração (SI3) devido à ação dos canhões de elétrons 30, 31 edo canhão de íons 14. Subseqüentemente, a unidade de controle 12 julga seprover adicionalmente ou não uma camada sobre a lente 20 (S14). No caso denão prover uma, a unidade de controle 12 termina o processo de formação depelícula. No caso de prover adicionalmente uma camada de alto índice deretração, a unidade de controle 12 procede para as etapas S6 e S7.

Notar que o desligamento nas etapas S7 e Sll pode seromitido. Nesse caso, nas etapas S8 e S12, os valores estabelecidos paracorrente de aceleração, a voltagem de aceleração e a corrente de bias sãomudados gradativamente para os valores estabelecidos exigidos para adeposição por vapor da camada seguinte (a camada de baixo índice derefração e a camada de alto índice de retração) sem serem reduzidos para ovalor estabelecido de desligamento.Ao contrário, no processo de formação de películaconvencional (Figura 5), as etapas S21 a S24, que são as mesmas que asetapas Sl a S4 (Figura 4) do presente modo de realização, formam a camadade baixo índice de refração sobre a lente 20 (S25). Depois da completação da formação da camada de baixo índice de refração, a unidade de controle 12 dáum comando à unidade de suprimento de energia elétrica 61 para parar ocanhão de íons 14 (S26) e pára a introdução do gás por meio dos reguladoresde fluxo de massa 64 e 65 (S27).

A seguir, nas etapas S28 a S31, de maneira semelhante às etapas S21 a S24 descritas acima, a unidade de controle 12 muda o valorestabelecido para a vazão do gás para o valor estabelecido A2 (S29) e ajusta avazão do gás para o valor estabelecido A2. Além disso, a unidade de controle12 muda os valor estabelecido para a corrente de aceleração, a voltagem deaceleração e a corrente de polarização para o valor estabelecido B2 (S31) eajusta a corrente de aceleração, a voltagem de aceleração e a corrente depolarização para o valor estabelecido B2.

Sob esse estado, a camada de alto índice de refração é formadasobre a lente 20 (S32). Depois da completação da formação da camada de altoíndice de refração, a unidade de controle 12 dá comando à unidade desuprimento de energia elétrica 61 para parar o canhão de íons 14 (S33), einterrompe a introdução do gás por meio dos reguladores de fluxo de massa64 e 65 (S34). A seguir, nas etapas S35 a S38, a unidade de controle 12executa os processos semelhantes às etapas S21 a S24, para formar, dessemodo, camada de baixo índice de refração sobre a superfície da lente 20(S39).

Depois da completação da formação da camada de baixoíndice de refração, a unidade de controle 12 dá um comando à unidade desuprimento de energia elétrica 61 para parar o canhão de íons 14 (S40), einterrompe a introdução do gás por meio dos reguladores de fluxo de massa64 e 65 (S41). A unidade de controle 12 julga se prover adicionalmente ounão uma camada sobre a lente 20 (S42). No caso de não prover, a unidade decontrole 12 termina o processo de formação de película. Além disso, no casode prover uma camada de alto índice de retração, a unidade de controle 12procede para a etapa S28.

Construído como descrito acima, o modo de realizaçãodescrito acima dá os efeitos operacionais a seguir.

(1) A unidade de controle 12 que funciona como o meio decontrole de fluxo de massa é provida com uma função de mudar o valorestabelecido para a vazão do gás a ser introduzido para os reguladores defluxo de massa 64 e 65 para um outro valor estabelecido pretendido mudando-o gradativamente dentro de uma faixa onde o canhão de íons 14 ficatrabalhando de modo estável. Desse modo, nos reguladores de fluxo de massa64 e 65, a unidade de controle 12 muda gradativamente o valor estabelecidopara a vazão do gás para um outro valor estabelecido, sem mudar o valorestabelecido para um outro valor estabelecido depois de interrompertemporariamente a introdução do gás por meio dos reguladores de fluxo demassa 64 e 65. Portanto, o tempo de formação de película para formar umapelícula anti-reflexiva de camadas múltiplas sobre a lente 20 com o uso dosistema de canhão de íons 60 pode ser reduzido sem deteriorar o desempenhoda película. Em adição, o trabalho estável do canhão de íons 14 é asseguradoquando mudando o valor estabelecido para a vazão do gás a ser introduzido.

Portanto, uma situação em que o canhão de íons 14 pare de modo anormalquando o valor estabelecido é mudado pode ser evitada de modo confiável.

(2) A unidade de controle 12 que funciona como meio decontrole de canhão de íons muda o valor estabelecido para cada uma dentre acorrente de aceleração, a voltagem de aceleração e a corrente de polarizaçãona unidade de suprimento de energia elétrica 61 para um outro valorestabelecido pretendido mudando-o gradativamente dentro de uma faixa ondeo canhão de íons 14 fica trabalhando de modo estável. Desse modo, a unidadede controle 12 muda gradativamente o valor estabelecido para cada umadentre a corrente de aceleração, a voltagem de aceleração e a corrente depolarização para a unidade de suprimento de energia elétrica 61, para umoutro valor estabelecido, sem ajustar o valor estabelecido para um outro valorestabelecido depois de dar um comando para a unidade de suprimento deenergia elétrica 61 para parar temporariamente o canhão de íons 14. Portanto,o tempo de formação de película para formar uma película anti-reflexiva decamadas múltiplas sobre a lente 20 com o uso do sistema de canhão de íons60 pode ser reduzido sem deteriorar o desempenho da película. Em adição, otrabalho estável do canhão de íons 14 é assegurado quando mudando o valorestabelecido para cada uma dentre a corrente de aceleração, a voltagem deaceleração e a corrente de polarização. Portanto, uma situação onde o canhãode íons 14 pare de modo anormal quando mudando esses valoresestabelecidos pode ser evitada de modo confiável.

(3) A unidade de controle 12 que funciona como o meio decontrole de canhão de íons executa um assim chamado desligamento no qualela ajusta temporariamente o valor estabelecido para cada uma dentre acorrente de aceleração, a voltagem de aceleração e a corrente de polarizaçãosupridas ao canhão de íons 14 para o valor estabelecido de desligamento,antes de ajustá-lo para um outro valor estabelecido para a deposição por vaporda camada (a camada de baixo índice de retração e a camada de alto índice derefração). Conseqüentemente, mesmo se ocorrer um erro em outroequipamento enquanto o desligamento estiver sendo executado, umainfluência negativa do feixe de íons irradiado a partir do canhão de íons 14sobre a camada de baixo índice de refração e a camada de alto índice derefração quer já se formaram sobre a lente 20 pode ser evitada tanto quantopossível.

(4) A mudança dos valores estabelecidos para a corrente deaceleração, a voltagem de aceleração e a corrente de polarização supridas aocanhão de íons 14 pela unidade de controle 112 que funciona como o meio decontrole de canhão de íons, e a mudança do valor estabelecido para a vazãodo gás introduzido no canhão de íons 14 pela unidade de controle 12 quefunciona como o meio de controle de fluxo de massa são implementadas emparalelo simultaneamente. Como resultado, um tempo total para mudar osvalores estabelecidos pode ser reduzido e o tempo de formação de películapode ser reduzido.

Exemplos

Aqui, a presente invenção será explicada adicionalmente comreferência aos Exemplos.

Com o uso de um feixe de íons a partir de um canhão de íons,uma camada de baixo índice de refração e uma camada de alto índice deretração foram laminadas através de deposição por vapor sobre umasuperfície de uma lente plástica para formar uma película anti-reflexiva decamadas múltiplas. Como mostrado na Tabela 1, a primeira camada, a terceiracamada, a quinta camada e a sétima camada são camadas de baixo índice derefração, e a segunda camada, a quarta camada e a sexta camada são camadasde alto índice de refração. A oitava camada é um revestimento à provad'água.

Epolite como um material de deposição por vapor para acamada de baixo índice de refração é propileno glicol-di-glicidil-éter, compeso molecular 188, fabricado pela Kyoeisha Chemical Co., Ltd. Na Tabela 1,Ml se refere a uma substância inorgânica, e CM2 se refere a um compostoorgânico não contendo silício.

Como mostrado na Tabela 1, as condições de formação depelícula para o canhão de íons (valor estabelecido para cada uma dentre avazão do gás introduzido no canhão de íons, a corrente de aceleração, avoltagem de aceleração e a corrente de polarização) são grandementediferentes entre quando a camada de baixo índice de retração é depositada porvapor e quando a camada de alto índice de retração é depositada por vapor, eelas são mudadas a cada vez que uma camada é depositada por vapor. Emboranão mostrado na Tabela 1, os valores estabelecidos de desligamento nosExemplos 1 e 2 são como segue: 60 mA de corrente de aceleração, 120 V devoltagem de aceleração e 100 mA de corrente de polarização.

Nos presentes Exemplos 1 e 2, o tempo de mudança total foide 5 segundos, o tempo unitário dividido foi de 25 mili-segundos e o númerode divisão foi de 200 vezes, quando mudando os valores estabelecidos para acorrente de aceleração, a voltagem de aceleração e a corrente de polarizaçãoquando a camada de baixo índice de retração ou a camada de alto índice deretração é depositada por vapor para o valor estabelecido de desligamentodescrito acima. Além disso, o tempo de mudança total foi de 5 segundos, otempo unitário dividido foi de 25 mili-segundos e o número de divisão foi de200 vezes, quando mudando os valores estabelecidos para a vazão do gás aser introduzido entre quando a camada de baixo índice de retração édepositada por vapor e a camada de alto índice de retração é depositada porvapor. Desse modo, a mudança nos vários valores estabelecidos, como

descrito acima, foi implementada suavemente.

[Tabela 1]

<table>table see original document page 34</column></row><table><table>table see original document page 35</column></row><table>

Aqui, a presente invenção foi explicada com base no modo derealização e exemplos. Entretanto, a presente invenção não está limitada aestes.

Descrição resumida dos desenhos

A Figura 1 é um diagrama esquemático mostrando um sistemade deposição por vapor contínuo no qual um modo de realização do métodopara produzir uma lente de acordo com a presente invenção foi aplicado.

A Figura 2 é um diagrama de configuração mostrando umprimeiro aparelho de deposição por vapor na Figura 1.

A Figura 3 é um diagrama de configuração mostrando umsistema de canhão de íons na Figura 2.

A Figura 4 é um fluxograma mostrando um processo deformação de uma película anti-reflexiva de camadas múltiplas sobre umalente com o uso do sistema de canhão de íons na Figura 3.

A Figura 5 é um fluxograma mostrando um processo deformação de uma película anti-reflexiva de camadas múltiplas sobre umalente com o uso de um sistema de canhão de íons convencional.

Claims

1.Sistema de canhão de íons, caracterizado pelo fato decompreender:um canhão de íons para irradiar um feixe de íons;uma unidade de suprimento de energia elétrica para suprirenergia elétrica ao canhão de íons;uma pluralidade de reguladores de fluxo de massa paraintroduzir cada um de uma pluralidade de tipos de gás no mencionado canhãode íons;meio de controle de canhão de íons, conectados à mencionadaunidade de suprimento de energia elétrica, para controlar a energia elétricasuprida ao mencionado canhão de íons a partir da unidade de suprimento deenergia elétrica; emeios de controle de fluxo de massa, conectados aosmencionados reguladores de fluxo de massa, para controlar a vazão do gásintroduzido no mencionado canhão de íons a partir dos reguladores de fluxode massa,ondeos mencionados meios de controle de fluxo de massa sãoprovidos com uma função de mudar um valor estabelecido para a vazão decada um de uma pluralidade de tipos de gás para um outro valor estabelecidomudando-o gradativamente dentro de uma variação onde o mencionadocanhão de íons fica trabalhando de modo estável.

2. Sistema de canhão de íons de acordo com a reivindicação 1,caracterizado pelo fato de que:os mencionados meios de controle de fluxo de massa sãoprovidos com uma função de mudar um valor estabelecido para a vazão decada um de uma pluralidade de tipos de gás para um outro valor estabelecidomudando-o gradativamente enquanto sincronizando os valores estabelecidosdentro de uma variação onde o mencionado canhão de íons fica trabalhandode modo estável.

3. Sistema de canhão de íons de acordo com a reivindicação 1ou 2, caracterizado pelo fato de queos mencionados meios de controle de fluxo de massa sãoprovidos com uma função de mudar um valor estabelecido para a vazão decada um de uma pluralidade de tipos de gás para um outro valor estabelecidomudando-o gradativamente dentro de uma variação onde o mencionadocanhão de íons fica trabalhando de modo estável, enquanto mantendo umavazão total constante.

4. Sistema de canhão de íons de acordo com qualquer uma dasreivindicações 1 a 3, caracterizado pelo fato de queos mencionados meios de controle de canhão de íons sãoprovidos com uma função de mudar o valor estabelecido para cada um dentreum valor de corrente de aceleração e um valor de voltagem de aceleraçãosupridos ao mencionado canhão de íons para um outro valor estabelecidomudando-o gradativamente dentro de uma variação onde o mencionadocanhão de íons fica trabalhando de modo estável.

5. Sistema de canhão de íons de acordo com qualquer uma dasreivindicações 1 a 4, caracterizado pelo fato de queos mencionados meios de controle de canhão de íons sãoprovidos com uma função de ajustar temporariamente o valor estabelecidopara cada um dentre um valor de corrente de aceleração e um valor devoltagem de aceleração supridos ao mencionado canhão de íons para valoresque satisfazem 30 mA = valor de corrente de aceleração = 70 mA e 100 V =valor de voltagem de aceleração = 160 V mudando-o gradativamente dentrode uma variação onde o mencionado canhão de íons fica trabalhando de modoestável, e subseqüentemente mudando-o gradativamente para outro valorestabelecido.

6. Sistema de canhão de íons de acordo com qualquer uma dasreivindicações 1 a 5, caracterizado pelo fato de quea mudança por meio dos mencionados meios de controle decanhão de íons dos valores estabelecidos para o valor de corrente deaceleração e o valor de voltagem de aceleração supridos ao canhão de íons e amudança por meio dos meios de controle de fluxo de massa do valorestabelecido para a vazão do gás introduzido no canhão de íons sãoimplementadas em paralelo.

7. Sistema de canhão de íons de acordo com qualquer uma dasreivindicações 1 a 6, caracterizado pelo fato de quepelo menos uma dentre a mudança por meio dos mencionadosmeios de controle de canhão de íons dos valores estabelecidos para o valor decorrente de aceleração e o valor de voltagem de aceleração supridos aocanhão de íons e a mudança por meio dos mencionados meios de controle defluxo do valor estabelecido para a vazão do gás introduzido no canhão de íonsé para mudar o mencionado valor estabelecido separadamente por um tempode unidade dividido determinado dividindo-se um tempo de mudança total porcada um dos valores, de modo a mudar o mencionado valor estabelecidogradativamente dentro do mencionado tempo de mudança total, eo mencionado tempo de unidade dividido é estabelecido paraser um período de tempo igual a, ou, menor do que 1 segundo.

8. Aparelho de deposição por vapor, caracterizado pelo fato decompreender:uma câmara de deposição por vapor que mantém um corpo emforma de película na mesma;uma fonte de calor, instalada na câmara de deposição porvapor, para aquecer um material de deposição por vapor para evaporá-lo edepositá-lo sobre o mencionado corpo em forma de película; eum sistema de canhão de íons, instalado na câmara dedeposição por vapor, para assistir a mencionada deposição por vapor por cimado mencionado corpo em forma de película com um feixe de íons que eleirradia,ondeo mencionado sistema de canhão de íons é um sistema decanhão de íons como definido em qualquer uma das reivindicações 1 a 7.

9. Método para produzir uma lente, caracterizado pelo fato deincluir: enquanto formando uma película anti-reflexiva de camadas múltiplasconsistindo de uma camada de alto índice de refração e de uma camada debaixo índice de refração sobre o substrato de lente de acordo com um métodoassistido por íon com o uso de um canhão de íons, criar um valor estabelecidopara cada um dentre um valor de corrente de aceleração e um valor devoltagem de aceleração supridos ao mencionado canhão de íons e um valorestabelecido para uma vazão para cada um de uma pluralidade de tipos degases introduzidos no mencionado canhão de íons diferentes entre elesquando formando a mencionada camada de alto índice de refração e quandoformando a mencionada camada de baixo índice de refração,ondeo método muda o valor estabelecido para a vazão de cada umde uma pluralidade de tipos de gás para um outro valor estabelecidomudando-o gradativamente dentro de uma variação onde o mencionadocanhão de íons fica trabalhando de modo estável, durante um período entrequando formando a camada de alto índice de refração e quando formando acamada de baixo índice de refração.

10. Método para produzir uma lente de acordo com areivindicação 9, caracterizado pelo fato de queo método muda o valor estabelecido para a vazão de cada umde uma pluralidade de tipos de gás para um outro valor estabelecidomudando-o gradativamente enquanto sincronizando os valores estabelecidosdentro de uma faixa onde o mencionado canhão de íons fica trabalhando demodo estável, durante um período entre quando formando a camada de altoíndice de refração e quando formando a camada de baixo índice de refração.

11. Método para produzir uma lente de acordo com areivindicação 9 ou 10, caracterizado pelo fato de queo método muda o valor estabelecido para a vazão de cada umde uma pluralidade de tipos de gás para um outro valor estabelecidomudando-o gradativamente dentro de uma faixa onde o mencionado canhãode íons fica trabalhando de modo estável, enquanto mantendo uma vazão totalconstante, durante um período entre quando formando a camada de alto índicede refração e quando formando a camada de baixo índice de refração.

12. Método para produzir uma lente de acordo com qualqueruma das reivindicações 9 a 11, caracterizado pelo fato de queo método muda o valor estabelecido para cada um dentre umvalor de corrente de aceleração e um valor de voltagem de aceleraçãosupridos ao mencionado canhão de íons para um outro valor estabelecidomudando-o gradativamente dentro de dentro de uma faixa onde o mencionadocanhão de íons fica trabalhando de modo estável durante um período entrequando formando a camada de alto índice de refração e quando formando acamada de baixo índice de refração.

13. Método para produzir uma lente de acordo com qualqueruma das reivindicações 9 a 12, caracterizado pelo fato de queo método ajusta temporariamente o valor estabelecido paracada um dentre o valor de corrente de aceleração e o valor de voltagem deaceleração supridos ao mencionado canhão de íons para valores quesatisfazem 30 mA = o valor de corrente de aceleração = 70 mA e 100 V = ovalor de voltagem de aceleração = 160 V mudando-o gradativamente dentrode uma faixa onde o mencionado canhão de íons fica trabalhando de modoestável e, subseqüentemente, mudando-o gradativamente para um outro valorestabelecido, durante um período entre quando formando a camada de altoíndice de refração e quando formando a camada de baixo índice de refração.

14. Método para produzir uma lente de acordo com qualqueruma das reivindicações 9 a 13, caracterizado pelo fato de quea mudança por meio dos mencionados meios de controle decanhão de íons dos valores estabelecidos para o valor de corrente deaceleração e o valor de voltagem de aceleração supridos ao canhão de íons e amudança por meio dos mencionados meios de controle de fluxo de massa dovalor estabelecido para a vazão do gás introduzido no canhão de íons sãoimplementadas em paralelo, durante um período entre quando formando acamada de alto índice de refração e quando formando a camada de baixoíndice de refração.

15. Método para produzir uma lente de acordo com qualqueruma das reivindicações 9 a 14, caracterizado pelo fato de quepelo menos uma dentre a mudança por meio dos mencionadosmeios de controle de canhão de íons dos valores estabelecidos para o valor decorrente de aceleração e o valor de voltagem de aceleração supridos aocanhão de íons e a mudança por meio dos mencionados meios de controle defluxo de massa do valor estabelecido para a vazão do gás introduzido nocanhão de íons deve mudar o mencionado valor estabelecido separadamentepor um tempo de unidade dividido determinado dividindo-se um tempo demudança total por cada um dos valores, de modo a mudar o mencionado valorestabelecido gradativamente dentro do mencionado tempo de mudança total,durante um período entre quando formando a camada de alto índice derefração e quando formando a camada de baixo índice de refração, eo mencionado tempo de unidade dividido é estabelecido paraser um período de tempo igual a, ou, menor do que 1 segundo.