JP2009242892A - レンズ製造方法、眼鏡用レンズ製造方法及び蒸着装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】イオンビームを発生するイオン源部と、蒸着原料を気化させる加熱部とを制御する制御部を備えた蒸着装置で、蒸着によりレンズの表面に膜を形成するレンズ製造方法であって、制御部が加熱部を起動させて蒸着原料を加熱し、不要なガスを気化させて排出するガス出し処理と、イオン化ガス供給部にイオン化ガスを発生させてレンズへ供給させるイオン化ガス前処理と、を含み、前記制御部は、ガス出し処理とイオン化ガス前処理を並列的に実行し、かつ、イオン化ガス前処理の完了する時点を、ガス出し処理の完了時点またはガス出し処理の完了時点以降に設定する。
【選択図】図6
Description
また、上記従来例のイオン銃前処理でも、蒸着装置内の気圧を監視しながら処理を実行しており、イオン銃へのイオン化ガスの供給は気圧が所定値よりも低下してから開始し、イオン化ガスの流量が所定値になった後、イオン銃シャッタを開いてイオン銃を起動(通電開始)している。イオン銃の起動後は、気圧が所定値よりも上昇すると、イオン銃などが損傷する恐れがあるため気圧を監視して、イオン銃の通電制御を行っていた。
このステップS14の工程(イオンビーム銃起動・確認工程)は、イオン銃をパワーオンするイオン銃起動工程と、所定の電流及び電圧にするとともに電流及び電圧が所定値になったことを確認するイオン銃加速工程とからなる。イオン銃加速工程で電流及び電圧が所定値になったことを確認すると起動が完了したものとしてステップ15に進む。
次に、ステップS15では、イオン銃14の起動が完了した時点から所定時間Q3の期間でイオン銃14からイオンビームをレンズ20に照射してレンズの前処理を実施する前処理工程を行なう。このイオン銃14による前処理の期間Q3では、イオン銃14の動作状態を監視し、動作状態(電圧や電流値)に異常があれば、表示装置にエラーを表示してイオン銃前処理622を再起動する。ステップS15中に再起動が生じた場合は、再起動前の照射時間と再起動完了後の照射時間の合計の時間を所定時間Q3とする。なお、イオン銃起動工程から前処理工程終了までの工程をイオンビーム照射工程という。
次に、ガス出し処理621の前半の気圧確認工程とガス出し工程1を合わせた処理時間X、後半の気圧上昇確認工程とガス出し工程2を合わせた処理時間Y、
イオン銃前処理622の前半の気圧確認工程とガス供給・確認工程を合わせた処理時間P、後半の気圧上昇確認工程とイオン銃起動・確認工程と前処理工程を合わせた処理時間Qは、レンズ20に形成する膜の種類などに応じて変化する。つまり、ガス出し処理621の処理時間X、Y、イオン銃前処理622の処理時間P、Qの時間の長さによって、ガス出し処理621とイオン銃前処理622を並列で処理する際に、各工程のタイミングを調整しなければ前記課題で述べたように製造上の問題が生じる。そこで、本発明では、ガス出し処理621の前半工程及び後半工程、並びに、イオン銃前処理622の前半工程と後半工程の実行タイミングを最適化する。
時刻T4からガス出し後半処理とイオン銃後半処理を同時に開始する。すなわち、時刻T4から気圧上昇確認工程を開始し、気圧上昇確認工程完了時点(時刻T5)に、ガス出し工程2とイオン銃起動開始工程を同時に開始する。イオン銃起動前処理時間Q≧本ガス出し処理時間Yであるので、本ガス出し処理が完了した時点まで、または、本ガス出し処理が完了した後も、イオン銃後半処理(前処理工程)によるイオンビームの照射が行われるので、気化した蒸着原料41、42の不純物によってレンズ20が汚れるのをイオンビームによって防止して、レンズ20に形成される膜を安定させることができる。すなわち、イオンビームを照射する前処理工程を、少なくとも本ガス出し工程が完了する時点まで行うことで、レンズ20が不要ガスによって汚れるのを防ぎ、レンズ20に形成される膜を安定させて、眼鏡用のレンズ20の反射防止膜などの薄膜の耐久性を向上させることができる。
8 真空装置
12 制御装置
14 イオン銃
15 ガス供給装置
20 レンズ
30、31 電子銃
41、42 蒸着原料
Claims (15)
- 蒸着室内に保持されたレンズの表面に蒸着原料を気化させて蒸着させることにより膜を生成するレンズ成膜方法であって、
前記蒸着室には、蒸着原料を加熱する加熱部と、
イオンビームを発生させてレンズに照射するイオン源部が設けられており、
前記蒸着を開始する前に、
前記蒸着原料を前記加熱部によって加熱して不要な成分を気化させて排出するガス出し工程と、
前記イオン源部にイオン化ガスを供給し、この供給されたイオン化ガスからイオンビームを発生させて前記レンズ表面に照射するイオンビーム前処理工程と、を行ない、
前記ガス出し工程と前記イオンビーム前処理工程を並列的に実行し、かつ、
前記イオンビーム前処理工程の完了する時点を、前記ガス出し工程の完了する時点以降に設定することを特徴とするレンズ成膜方法。 - 前記ガス出し工程は、
前記蒸着原料を加熱して溶融させる予備加熱工程と、
この予備加熱工程により溶融した蒸着原料を予備加熱と異なる加熱条件で加熱して気化させる本加熱工程とからなり、
前記イオンビーム前処理工程は、
前記イオン源部へイオン化ガスの供給を開始し、所定の流量で供給を継続するガス導入工程と、
所定の流量で供給されるイオン化ガスからイオンビームを発生させてレンズ表面に照射するイオンビーム照射工程とからなり、
前記本加熱工程と前記イオンビーム照射工程は同時に行なわれる期間を有し、かつ、
前記イオンビーム照射工程の完了する時点を、前記本加熱工程の完了する時点以降に設定することを特徴とする請求項1に記載のレンズ成膜方法。 - 前記本加熱工程は、
前記予備加熱と異なる加熱条件での加熱を開始するとともに蒸着室内の気圧上昇を確認する気圧上昇確認工程を有し、
この気圧上昇確認工程により気圧上昇を確認した時点を基に、本加熱処理の完了時点が定められることを特徴とする請求項2に記載のレンズ成膜方法。 - 前記ガス導入工程は、
イオン化ガスの供給開始後に所定の流量で安定したことを確認する流量確認工程を有し、
この流量確認工程完了後に前記気圧上昇確認工程を開始し、
前記気圧上昇確認工程完了後に前記イオンビーム照射工程を開始することを特徴とする
請求項3に記載のレンズ成膜方法。 - 前記ガス導入工程は、
前記気圧上昇確認工程完了後に開始することを特徴とする請求項3に記載のレンズ成膜方法。 - 前記イオンビーム照射工程の処理時間が前記本ガス出し工程の処理時間以上の場合には、
前記流量確認工程完了後に、前記イオンビーム照射工程と前記本ガス出し工程を同時に開始することを特徴とする請求項4に記載のレンズ成膜方法。 - 前記本ガス出し工程の処理時間が前記イオンビーム照射工程の処理時間よりも大で、かつ、前記ガス導入工程開始から前記流量確認工程完了までの処理時間と前記イオンビーム照射工程の処理時間の和が前記本ガス出し処理の処理時間以上の場合には、前記本ガス出し工程を開始した後に前記イオンビーム照射工程を開始することとを特徴とする請求項4に記載のレンズ成膜方法。
- 前記ガス導入工程開始から前記流量確認工程完了までの処理時間が前記予備加熱工程の処理時間よりも大の場合には、前記ガス導入工程を開始した後に前記予備加熱工程を開始することを特徴とする請求項4に記載のレンズ成膜方法。
- 前記ガス導入工程開始から前記流量確認工程完了までの処理時間と前記イオンビーム照射工程の処理時間の和が前記本ガス出し処理の処理時間未満の場合には、
前記気圧上昇確認工程完了後に前記ガス導入工程を開始することを特徴とする請求項5に記載のレンズ成膜方法。 - 蒸着室内に保持されたレンズの表面に蒸着原料を気化させて蒸着させることにより膜を生成する蒸着装置であって、
前記蒸着原料を加熱する加熱部と、
イオンビームを発生させてレンズに照射するイオン源部と、
前記イオン源部にイオン化ガスを供給するイオン化ガス供給部と
前記蒸着室内の気圧を測定する真空計部と、
前記真空計部から測定された気圧に関する情報を取得するとともに
前記加熱部、イオン源部、及び、イオン化ガス供給部の動作を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記蒸着前に、前記加熱部を制御して前記蒸着原料を加熱して不要な成分を気化させて排出させるガス出し処理と、
前記イオン化ガス供給部を制御して前記イオン源部にイオン化ガスを供給するとともに、前記イオン源部を制御してイオン化ガスからイオンビームを発生させて前記レンズ表面に照射するイオンビーム前処理と、を行ない、
前記制御部は、前記ガス出し処理と前記イオンビーム前処理を並列的に実行し、かつ、
前記イオンビーム前処理の完了する時点を、前記ガス出し工程の完了する時点以降に設定することを特徴とする蒸着装置。 - 前記ガス出し処理は、
前記蒸着原料を加熱して溶融させる予備加熱処理と、
この予備加熱処理により溶融した蒸着原料を予備加熱と異なる加熱条件で加熱して気化させる本加熱処理とからなり、
前記イオンビーム前処理は、
前記イオン化ガス供給部を制御して前記イオン源部へのイオン化ガスの供給を開始し、所定の流量で供給を継続するガス導入処理と、
前記イオン源部を制御して所定の流量で供給されるイオン化ガスからイオンビームを発生させてレンズ表面に照射するイオンビーム処理とからなり、
前記本加熱処理と前記イオンビーム照射処理は同時に行なわれる期間を有し、かつ、
前記イオンビーム照射処理の完了する時点を、前記本加熱処理の完了する時点以降に設定することを特徴とする請求項10に記載の蒸着装置。 - 前記本加熱処理は、
前記加熱部を制御して前記予備加熱と異なる加熱条件での加熱を開始するとともに、真空計からの測定データを取得し、蒸着室内の気圧上昇を確認する気圧上昇確認処理を有し、
この気圧上昇確認処理により気圧上昇を確認した時点を基に、本加熱処理の完了時点を定めることを特徴とする請求項11に記載の蒸着装置。 - 前記ガス導入処理は、
イオン化ガスの供給開始後に所定の流量で安定したことを確認する流量確認処理を有し、
この流量確認処理完了後に前記気圧上昇確認処理を開始し、
前記気圧上昇確認処理完了後に前記イオンビーム照射処理を開始することを特徴とする請求項12に記載の蒸着装置。 - 前記ガス導入処理は、
前記気圧上昇確認処理完了後に開始することを特徴とする請求項12に記載の蒸着装置。 - 請求項1から9のいずれかに記載のレンズ成膜方法を用いてレンズの表面に膜を形成する工程を有することを特徴とするレンズの製造方法。
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