JPS61110759A - 蒸着装置 - Google Patents
蒸着装置Info
- Publication number
- JPS61110759A JPS61110759A JP23065184A JP23065184A JPS61110759A JP S61110759 A JPS61110759 A JP S61110759A JP 23065184 A JP23065184 A JP 23065184A JP 23065184 A JP23065184 A JP 23065184A JP S61110759 A JPS61110759 A JP S61110759A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- evaporation
- evaporation source
- shutter
- sub
- main
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
この発明は、たとえば２つの一回転体に対してセレンと
セレンとテルルの合金とを蒸着することにより、感光体
ドラムを製造する蒸着装置に関する。
セレンとテルルの合金とを蒸着することにより、感光体
ドラムを製造する蒸着装置に関する。
［発明の技術的背景］
従来、２つのに回転体としてのドラム素管（被蒸着体）
に対してセレン、およびセレンとテルルの合金を蒸着す
ることにより、感光体ドラムを製造する蒸着装置にあっ
ては、セレンの蒸発が行われている際、セレンとテルル
の合金からの蒸発をＩＩＩ ’ＩＪするとともに、セレ
ンとテルルの合金の蒸発が行われている際、セレン
の蒸発を制御するシャッタが設けられて
いる。
に対してセレン、およびセレンとテルルの合金を蒸着す
ることにより、感光体ドラムを製造する蒸着装置にあっ
ては、セレンの蒸発が行われている際、セレンとテルル
の合金からの蒸発をＩＩＩ ’ＩＪするとともに、セレ
ンとテルルの合金の蒸発が行われている際、セレン
の蒸発を制御するシャッタが設けられて
いる。
このような装置としては、第４図に示すように、セレン
を蒸発させる主蒸発源１とセレンとテルルの合金を蒸発
させる副蒸発源２が設けられている。
を蒸発させる主蒸発源１とセレンとテルルの合金を蒸発
させる副蒸発源２が設けられている。
これらの上部にはシャッタ３が設けられている。
このシャッタ３はそれが左右に動くことにより、主蒸発
源１あるいは副蒸発源２を覆い、各蒸発源からの蒸気を
制御するものである。これにより、主蒸発源１からの蒸
気、副蒸発源２からの蒸気により２つのドラム素管４．
４の表面に順次セレン、セレンとテルルの合金が蒸着さ
れることにより、感光体ドラムが製造されるようになっ
ている。
源１あるいは副蒸発源２を覆い、各蒸発源からの蒸気を
制御するものである。これにより、主蒸発源１からの蒸
気、副蒸発源２からの蒸気により２つのドラム素管４．
４の表面に順次セレン、セレンとテルルの合金が蒸着さ
れることにより、感光体ドラムが製造されるようになっ
ている。
［背景技術の問題点］
しかしながら、上記のような装置では、シャッタ自身に
蒸着物が付着してしまうため、シャッタの移動時に、振
動でその付着されている蒸発物が剥離、飛散してしまう
。このため、その飛散により、その蒸発物がドラム素管
の表面に付着し、その蒸着面に凹凸を形成してしまい、
良好な蒸着ができないという欠点を・有していた。
蒸着物が付着してしまうため、シャッタの移動時に、振
動でその付着されている蒸発物が剥離、飛散してしまう
。このため、その飛散により、その蒸発物がドラム素管
の表面に付着し、その蒸着面に凹凸を形成してしまい、
良好な蒸着ができないという欠点を・有していた。
［発明の目的１
この発明は上記事情に鑑みてなされたもので、その目的
とするところは、シャッタの表面に蒸発物が付着するこ
とを防止でき、被蒸着体の表面に凹凸ができるのを防止
することができる蒸着装置を提供することにある。
とするところは、シャッタの表面に蒸発物が付着するこ
とを防止でき、被蒸着体の表面に凹凸ができるのを防止
することができる蒸着装置を提供することにある。
［発明の概要］
この発明は上記目的を達成するために、主蒸発源による
蒸発が行われている際に、副蒸発源からの蒸発を抑制し
、上記副蒸発源による蒸発が行われている際に、上記主
蒸発源からの蒸発を抑制するシャッタの表面を、上記主
あるいは副蒸発源により蒸発が行われている際に加熱す
るようにしたものである。
蒸発が行われている際に、副蒸発源からの蒸発を抑制し
、上記副蒸発源による蒸発が行われている際に、上記主
蒸発源からの蒸発を抑制するシャッタの表面を、上記主
あるいは副蒸発源により蒸発が行われている際に加熱す
るようにしたものである。
し発明の実施例］
以下、この発明の一実施例について図面を参照しつつ説
明する。
明する。
第１図において、１１は基板であり、この基板１１上に
はセレンを蒸発させるための主蒸発源１２とセレンとテ
ルルの合金を蒸発させる副蒸発源１３．１３が設けられ
ている。これらの上部にはシャッタ１４．１４が矢印ａ
、ｂ方向へ移動可能に設けられている。このシャッタ１
４．１４はそれが左右に動くことにより、主蒸発源１２
あるいは副蒸発源１３．１３を覆い、各蒸発源１２．１
３．１３からの蒸気を制御するものである。上記シャッ
タ１４．１４の表面１４ａ、１４ａには、それぞれ電熱
線等のヒータ１５．１５が設けられている。これにより
、シャッタ１４の表面１４ａがたとえば２２０度から３
００度の間の温度（蒸着物の蒸発が起こる温度）で加熱
されることにより、その表面１４ａにセレンあるいはセ
レンとテルルの合金の蒸発物が付着しないようになって
いる。上記シャッタ１４．１４の上部には回転可能に２
つのドラム素Ｉ！（被蒸着体）１６．１６が設けられて
いる。これにより、主蒸発源１２からの蒸気、廟蒸発源
１３からの蒸気により２つのドラム素管１６．１６の表
面に順次セレン、セレンとテルルの合金が蒸着されるこ
とにより、感光体ドラムが製造されるようになっている
。また、上記主蒸発源１２と副蒸発源１３．１３の下部
には、それぞれ温度検知用の温度検知器１７．１８．１
日が設けられている。なお、上記各部は金属で形成され
るケース１９内に設けられ、図示しない真空引き装置に
よってケース１９内が真空状態となるようになっている
。
はセレンを蒸発させるための主蒸発源１２とセレンとテ
ルルの合金を蒸発させる副蒸発源１３．１３が設けられ
ている。これらの上部にはシャッタ１４．１４が矢印ａ
、ｂ方向へ移動可能に設けられている。このシャッタ１
４．１４はそれが左右に動くことにより、主蒸発源１２
あるいは副蒸発源１３．１３を覆い、各蒸発源１２．１
３．１３からの蒸気を制御するものである。上記シャッ
タ１４．１４の表面１４ａ、１４ａには、それぞれ電熱
線等のヒータ１５．１５が設けられている。これにより
、シャッタ１４の表面１４ａがたとえば２２０度から３
００度の間の温度（蒸着物の蒸発が起こる温度）で加熱
されることにより、その表面１４ａにセレンあるいはセ
レンとテルルの合金の蒸発物が付着しないようになって
いる。上記シャッタ１４．１４の上部には回転可能に２
つのドラム素Ｉ！（被蒸着体）１６．１６が設けられて
いる。これにより、主蒸発源１２からの蒸気、廟蒸発源
１３からの蒸気により２つのドラム素管１６．１６の表
面に順次セレン、セレンとテルルの合金が蒸着されるこ
とにより、感光体ドラムが製造されるようになっている
。また、上記主蒸発源１２と副蒸発源１３．１３の下部
には、それぞれ温度検知用の温度検知器１７．１８．１
日が設けられている。なお、上記各部は金属で形成され
るケース１９内に設けられ、図示しない真空引き装置に
よってケース１９内が真空状態となるようになっている
。
次に、第２図を用いて電気回路の要部について説明する
。すなわち、２１は全体を制御する制御部であり、２２
は主蒸発［１２に対して電源電圧を印加するときに投入
するスイッチであり、２３は副蒸発源１３．１３に対し
て電源電圧を印加するときに投入するスイッチである。
。すなわち、２１は全体を制御する制御部であり、２２
は主蒸発［１２に対して電源電圧を印加するときに投入
するスイッチであり、２３は副蒸発源１３．１３に対し
て電源電圧を印加するときに投入するスイッチである。
上記制御部２１はスイッチ２２が投入された時、前記ヒ
ータ１５．１５を加熱し、その後前記温度検知器１７．
１８．１８からの検知信号に応じて、前記主蒸発源１２
および副蒸発源１３．１３が一定温度以下（蒸気を発生
しない温度）を判断した場合、ヒータ１５．１５の加熱
を終了するものである。なお、主蒸発源１２、副蒸発源
１３による蒸発による蒸着の厚みは、図示しない水晶撮
動子躾厚計等によって検知されるようになっている。
ータ１５．１５を加熱し、その後前記温度検知器１７．
１８．１８からの検知信号に応じて、前記主蒸発源１２
および副蒸発源１３．１３が一定温度以下（蒸気を発生
しない温度）を判断した場合、ヒータ１５．１５の加熱
を終了するものである。なお、主蒸発源１２、副蒸発源
１３による蒸発による蒸着の厚みは、図示しない水晶撮
動子躾厚計等によって検知されるようになっている。
次に、このような構成において動作を説明する。
たとえば今、２うのドラム素管１６．１６を設定し、主
蒸発源１２にセレンを設定し、側蓋発１１ｉ１３．１３
にセレンとテルルの合金を設定し、ケース１９を密閉す
る。そして、図示しない真空引き装置によって真空引き
する。この後、ケース１９内が所定の真空状態になった
とき、スイッチ２１を投入する。すると、電源電圧が主
蒸発源１２に印加され加熱される。このとき、シャッタ
１５．１５はそれぞれ副蒸発源１３．１３の上部に位置
し、側蓋発′ａ１３．１３からの蒸発を制御している。
蒸発源１２にセレンを設定し、側蓋発１１ｉ１３．１３
にセレンとテルルの合金を設定し、ケース１９を密閉す
る。そして、図示しない真空引き装置によって真空引き
する。この後、ケース１９内が所定の真空状態になった
とき、スイッチ２１を投入する。すると、電源電圧が主
蒸発源１２に印加され加熱される。このとき、シャッタ
１５．１５はそれぞれ副蒸発源１３．１３の上部に位置
し、側蓋発′ａ１３．１３からの蒸発を制御している。
またこのとき、スイッチ２２のオン信号により、制御部
２１はヒータ１５．１５を加熱する。
２１はヒータ１５．１５を加熱する。
上記主蒸発源１２の加熱により、セレンが蒸発され、ド
ラム素管１６．１６に蒸着される。その後、セレンが所
定膜厚弁、上記ドラム素１！１６．１６に蒸着された時
、スイッチ２２をオフし、スイッチ２３をオンするとと
もに、シャッタ１５．１５を移動し、主蒸発源１２の上
部に位置し、主蒸発源１２からの蒸発を制御する。これ
により、電源電圧が副蒸発源１３．１３に印加され加熱
される。
ラム素管１６．１６に蒸着される。その後、セレンが所
定膜厚弁、上記ドラム素１！１６．１６に蒸着された時
、スイッチ２２をオフし、スイッチ２３をオンするとと
もに、シャッタ１５．１５を移動し、主蒸発源１２の上
部に位置し、主蒸発源１２からの蒸発を制御する。これ
により、電源電圧が副蒸発源１３．１３に印加され加熱
される。
上記副蒸発源１３．１３の加熱により、セレンとテルル
の合金が蒸発され、ドラム素管１６．１６に蒸着される
。その後、セレンとテルルの合金が所定膜厚弁、上記ド
ラム素管１６．１６に蒸着された時、スイッチ２３をオ
フする。そして、副蒸発源１３．１３の温度（Ｉ３よび
主蒸発源１２の濃度）が自然冷却により、蒸発可能温度
以下となったことを、検知器１７．１８．１８からの検
知信号により判断し、ヒータ１５．１５の加熱を停止す
る。これにより、セレンとセレンとテルルの合金とが蒸
着された感光体ドラムが形成される。
の合金が蒸発され、ドラム素管１６．１６に蒸着される
。その後、セレンとテルルの合金が所定膜厚弁、上記ド
ラム素管１６．１６に蒸着された時、スイッチ２３をオ
フする。そして、副蒸発源１３．１３の温度（Ｉ３よび
主蒸発源１２の濃度）が自然冷却により、蒸発可能温度
以下となったことを、検知器１７．１８．１８からの検
知信号により判断し、ヒータ１５．１５の加熱を停止す
る。これにより、セレンとセレンとテルルの合金とが蒸
着された感光体ドラムが形成される。
なお、上記主、副蒸発源の温度変化およびヒータの温度
変化は第３図に示すようになっている。
変化は第３図に示すようになっている。
上記したように、主蒸発＋１１１２あるいは副蒸発源１
３．１３が自然冷却し、蒸発物の蒸気が発生しなくなる
まで、シャッタ１４．１４の表面１４ａ、１４ａが加熱
されているため、蒸発物がシャッタ１４．１４の表面１
４ａ１１４ａに付着するのを防止できる。この結果、シ
ャッタの移動時に、蒸発物が剥離、飛散してしまうこと
がなく、その飛散により、蒸発物がドラム素管の表面に
付着し、その蒸着面に凹凸を形成することも防止するこ
とができる。
３．１３が自然冷却し、蒸発物の蒸気が発生しなくなる
まで、シャッタ１４．１４の表面１４ａ、１４ａが加熱
されているため、蒸発物がシャッタ１４．１４の表面１
４ａ１１４ａに付着するのを防止できる。この結果、シ
ャッタの移動時に、蒸発物が剥離、飛散してしまうこと
がなく、その飛散により、蒸発物がドラム素管の表面に
付着し、その蒸着面に凹凸を形成することも防止するこ
とができる。
なお、前記実施例では、ヒータとして電熱線を用いたが
、これに限らず、加熱した流体を用いるようにしても良
い。この場合、ヒータの電源の替わりに、温媒槽、制御
部の替わりに温媒循環ポンプを用いてシャッタの温度を
制御している。
、これに限らず、加熱した流体を用いるようにしても良
い。この場合、ヒータの電源の替わりに、温媒槽、制御
部の替わりに温媒循環ポンプを用いてシャッタの温度を
制御している。
［発明の効果］
以上詳述したようにこの発明によれば、シャッタの表面
に蒸発物が付着することを防止でき、被蒸着体の表面に
凹凸ができるのを防止することができる蒸着装置を提供
できる。
に蒸発物が付着することを防止でき、被蒸着体の表面に
凹凸ができるのを防止することができる蒸着装置を提供
できる。
図面はこの発明の一実施例を示すもので、第１図は全体
の構成を概略的に示す図、第２図は電気回路の要部を示
す図、第３図は蒸発源の温度変化およびヒータの温度変
化を説明するための図であり、第４図は従来のＭｌｌ装
置を説明するための概略図である。 １１・・・基板、１２・・・主蒸発源、１３．１３・・
・副蒸発源、１４．１４・・・シャッタ、１５．１５・
・・ヒータ、１６．１６・・・ドラム素管、１７．１８
．１８・・・温度検知器、１９・・・ケース。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図
の構成を概略的に示す図、第２図は電気回路の要部を示
す図、第３図は蒸発源の温度変化およびヒータの温度変
化を説明するための図であり、第４図は従来のＭｌｌ装
置を説明するための概略図である。 １１・・・基板、１２・・・主蒸発源、１３．１３・・
・副蒸発源、１４．１４・・・シャッタ、１５．１５・
・・ヒータ、１６．１６・・・ドラム素管、１７．１８
．１８・・・温度検知器、１９・・・ケース。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図
Claims (4)
- （１）主蒸発源と副蒸発源とが順次蒸発されることによ
り被蒸着体に対して蒸着が行われる蒸着装置において、
前記主蒸発源による蒸発が行われている際に、前記副蒸
発源からの蒸発を抑制し、前記副蒸発源による蒸発が行
われている際に、前記主蒸発源からの蒸発を抑制するシ
ャッタと、このシャッタの表面を前記主あるいは副蒸発
源により蒸発が行われている際に加熱する加熱手段とを
具備したことを特徴とする蒸着装置。 - （２）前記被蒸着体が感光体であることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の蒸着装置。 - （３）前記加熱手段が電熱線であることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の蒸着装置。 - （４）前記加熱手段が加熱流体であることを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23065184A JPS61110759A (ja) | 1984-11-01 | 1984-11-01 | 蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23065184A JPS61110759A (ja) | 1984-11-01 | 1984-11-01 | 蒸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61110759A true JPS61110759A (ja) | 1986-05-29 |
Family
ID=16911133
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23065184A Pending JPS61110759A (ja) | 1984-11-01 | 1984-11-01 | 蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61110759A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100685798B1 (ko) | 2005-11-30 | 2007-02-22 | 주식회사 아이피에스 | 박막증착용 기화유니트 |
| CN110438454A (zh) * | 2019-08-05 | 2019-11-12 | 福建华佳彩有限公司 | 一种具有加热装置的蒸镀坩埚 |
-
1984
- 1984-11-01 JP JP23065184A patent/JPS61110759A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100685798B1 (ko) | 2005-11-30 | 2007-02-22 | 주식회사 아이피에스 | 박막증착용 기화유니트 |
| CN110438454A (zh) * | 2019-08-05 | 2019-11-12 | 福建华佳彩有限公司 | 一种具有加热装置的蒸镀坩埚 |
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