JPS63171866A - 電子写真用感光体製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、直接通電による加熱体を兼ねた蒸着材料容器
と、その容器を収容し、シャッタにより開口面積を調整
できる外部容器とを備えた蒸発源を用いて感光層を形成
する、ＰＰＣ複写機、レーザプリンタ、発光ダイオード
プリンタなどの電子写真方式の画像形成装置のための電
子写真用感光体の製造装置に関する。

〔従来の技術〕

電子写真用感光体製造のための製造装置とじては、蒸着
材料を入れた容器を近くに配置した抵抗加熱体により加
熱する蒸発源が用いられていた。

しかし、レーザプリンタ用感光体のような機能分離型の
多層薄膜構造を有するものでは、合金の組成、膜厚の精
度の要求が厳しく、蒸着材料の温度制御が困難であり、
蒸着速度を蒸発源の開口面積の調整で制御することが難
しく、その要求を満足することができなかった。この対
策として、容器を直接加熱可能なカーボンボートにし、
温度制御を容易にすると共に、ボートの幅を４鶴にし蒸
気流を絞うてボートの加熱温度を低くしなくても蒸着速
度を小さくすることができるようにし、蒸着速度のｗｉ
御を容易にした。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記のような直接加熱方式で幅の狭い蒸着材料容器を用
いた場合、膜厚の薄い領域の制御性は良好で再現性が向
上したが、膜厚を厚くすると良い再現性が得られなかっ
た。これは、ボートの幅が狭いため溶融した蒸着材料液
が深くなり、液の下部と液面との温度差が大きくなり、
その上成膜中に材料液面の高さが変化して蒸着速度が大
きく変化するためである。しかし、液面変動を防ぐため
１６鶴の幅のカーボンボートを用いたところ、蒸着速度
の制御性が低下すると共に、突沸が生じやすくなり、感
光層の表面欠陥が多くなった。

本発明の目的は、上述の問題を解決し、液面の高さ変化
の少ない幅の広い直接加熱方式の容器を用いながら、Ｎ
＠速度のｍｗ性良好で、再現性のよい感光層形成が可能
な電子写真用感光体製造装置を提供することを目的とす
る。

Ｃ問題点を解決するための手段〕 上記の目的を達成するために、本発明は、蒸発源の・直
接通電による加熱可能の蒸着材料容器にその容器の内幅
より小さい幅の開口部を有する蓋を設けるものとする。

〔作用〕

蒸発源の蒸着材料に蓋を設けることにより、容器の幅を
広くして成膜中の液面の高さの変動を小さくしても蒸気
流を絞ることができ、蒸着速度の制御性が良好になる。

さらに、蒸着材料の突沸が起きても蓋でさえぎられて感
光体基体まで達しないので、表面欠陥の発生が防止でき
る。

〔実施例〕

第２図は本発明の一実施例を示し、蒸着槽１の内部には
複数（図では６本）の支持軸２が配置され、該支持軸２
にアルミニウム基体３が取り付けられている。支持軸２
は矢印２１のように自転しながら矢印２２のように公転
運動する。基体の下方には蒸発源４が支持台５の上に載
置されている。蒸発源４と基体３との間には、水晶振動
子型膜厚センサ６がカバー開口部が蒸発源に向くように
支持枠７に取り付けられている。第１図は蒸発源４の拡
大図で、外部容器４１の中の絶縁台４２上に肉厚２簡の
カーボンボート８が置かれている。カーボンボート８の
内幅Ｗは１６ｍであり、上部に幡Ｗのスリット状開口部
８２を有する蓋８１が取り付けられている。Ｗは４ＩＩ
Ｉで、外部容器の開口部４３０輻りの１８ｍより小さく
される。カーボンボート８および蓋８１は灰分２０ｐｐ
？ｌ以下の等方性黒鉛を用いて作成した。またボートを
保持する絶縁台には、４００℃で１０”Ω・儂の抵抗率
を有し、熱伝導率が０．００４ｃａｌ　−ｃｓ　／　５
ｅｃ−ｏｌ・’Ｃと低（、加工性があり、８００℃まで
使用可能の結晶化ガラスを用いた。外部容器４１は肉厚
３鶴のＪＩＳステンレス鋼Ｓ　Ｕ　Ｓ　３０Ｂよりなり
、上部開口部の上にＬ型ステンレス鋼鋳物のシャッタ４
４を備えて開口幅を調節可能にしている。外部容器開口
部４３とボート開口部８２との距離は２．８　ｃｍであ
る。

基体３として直径１２０ｍ、長さ２６０■あアルミニウ
ム管を洗浄などの前処理したのち第２図の装置の支持軸
２に装着し、支持軸によって基体の温さに真空蒸着した
０次に、左端のセレン用の蒸発源４のカーボンボート８
に４ナインの純セレンを入れ、右端のテルル用の蒸発源
４のカーボンボート８に純テルルを粉砕して入れ、蒸着
槽１を真空排気したのち、ＰＩＤｌｌｌｌによりセレン
のボートが２２０℃、テルルのボートが４００℃になる
ように通電した。この状態でセレン蒸発源のシャッタ４
４を開き、センサ６によりセレンの蒸着速度が１．５人
／ｓｅｔの一定値になるように開口幅をＰ！制御した。

一方、テルル蒸発源のシャッタ４４も同時に開き、目標
のテルル濃度になるようにＰＩｉｌＪ＠した。このよう
にしてＴｅ濃度勾配を有する電荷発生層を電荷輸送層上
に１．２−の厚さに成膜した。なお、センサ６への藩発
物質の付着量と基体３上の付着量の比との関係を実験に
より求めて補正を行った。この電荷発生層上に保護層を
、中央の蒸発？ｌ！４のボート８にＴｅ５．５重量％の
Ｓ＠−丁ｅ合金を入れ、加熱して３３０℃の一定温度に
到達したところで外部容器４の開口幅を広（し、膜厚３
１ｎｍになるように蒸着した。成膜中の真空度は６　Ｘ
　１Ｇ−’Ｔｏｒｒ以上で、温度制御、シャッタｔｍ、
温度検知、Ｎ着速度検知はすべてコンビエータを介して
行つた。

比較のために、　１６■の輻Ｗのボート８に蓋８１をし
ないで同様に成膜した感光体を作成した。

Ｗａ例の装置によるレーザプリンタ用感光体と比較例の
感光体を用いてレーザプリンタにより画像出しを行った
。第１表は試料数各１０本による結果を示す。

第１表 この結果より画像品質が向上していることが判明した。

上述の実施例の装置を用いて製造された感光体を切り出
して、イオンマイクロアナライザーにより分析した結果
、１６■ボート上に４鶴幅の開口部を有する蓋をして作
成した電荷発生層の丁ｅピーク濃度は、試料数５本で３
７±１．２重量％、膜厚は１２００±７０ａｍであり、
菫を用いない比較例の５本では３７±３重量％、１２０
０±２００ａｍであった。また、カーボンボートの蓋を
した場合としない場合に、同一ボート温度において外部
容器のシャッタによる開口幅の変化によるセレン蒸着速
度の変化量を測定した。この結果、本発明による場合は
０．３人／ｓｅｃ／ｍと単位開口幅の変化に対する蒸着
速度の変化量が小さく、比較例では１．６４人／　ｓｅ
ｃ　／　ｍと蒸着速度変化量が大きかった０以上の結果
は、本発明による装置の蒸着速度の制御性の良好である
ことを示す。

〔発明の効果〕

本発明によれば、真空蒸着による感光層形成のための蒸
発源に温度制御性の良好な直接加熱容器を用いた場合に
、その容器に開口部を有する蓋を用いて蒸気流を絞るこ
とにより、蒸着速度の制御性が良好となり、液面変動に
よる蒸着材料の温度変動も防止され、また蒸着材料の突
沸による飛散固体も蓋によって遮蔽されるので、表面欠
陥がなく特性均一な電子写真感光体を製造することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例において用いられる蒸発源の
断面図、第２図は本発明の一実施例の蒸着槽の断面図で
ある。 １：蒸着槽、２：支持軸、３：基体、４：蒸発源、４１
：Ｍ発源容器、４４：シャッタ、８：カーボンボート、
８１：１１゜ 第１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）通電による加熱体を兼ねた蒸着材料容器と、該容器
   を収容し、シャッタにより開口面積を調整できる外部容
   器とを備えた蒸発源を有するものにおいて、蒸着材料容
   器に該容器の内幅より小さい幅の開口部を有する蓋が設
   けられたことを特徴とする電子写真用感光体製造装置。