HU187919B - Method for making photoelectrically sensitive and conductive layer - Google Patents
Method for making photoelectrically sensitive and conductive layer Download PDFInfo
- Publication number
- HU187919B HU187919B HU206483A HU206483A HU187919B HU 187919 B HU187919 B HU 187919B HU 206483 A HU206483 A HU 206483A HU 206483 A HU206483 A HU 206483A HU 187919 B HU187919 B HU 187919B
- Authority
- HU
- Hungary
- Prior art keywords
- boat
- layer
- selenium
- evaporated
- priority
- Prior art date
Links
Landscapes
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
A találmány fényelektromosan érzékeny vezetőképességű réteg vákuumgőzöléssel történő előállítására vonatkozik, ahol a fotóvezető anyag szelén, és/vagy szelénötvözet és/vagy szelénvegyület, amely arzén, tellur és halogén anyagok legalább egyikét tartalmazza. A találmány lényege, hogy a vákuumpárologtatást irányítottan, csupán egy térszögtartományra korlátozottan végezzük a párologtató csónak geometriai kialakítása segítségével. A találmány szerinti megoldás előnye, hogy a felépülő rétegben a szennyezéskoncentrációk jobban kézbentarthatóak, a réteg szerkezete kedvezőbben alakítható ki, jobbak lesznek a réteg fényelektromos tulajdonságai és jobb az anyagkihasználás. (1. ábra.) -1-SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to the production of a light-sensitive electrically conductive layer by vacuum evaporation, wherein the photo-conductive material comprises selenium and / or selenium alloy and / or selenium containing at least one of arsenic, tellurium and halogen. The essence of the invention is that the vacuum evaporation is directed in a limited way only to a spatial range by the geometric design of the evaporator boat. The advantage of the present invention is that the concentration of contamination in the build-up layer is more manageable, the structure of the layer can be formed more favorably, the photovoltaic properties of the layer are better and the material utilization is better. (Figure 1) -1-
Description
A találmány fényelektromosan érzékeny vezetőképességű réteg vákuumgőzöléssel történő előállítására vonatkozik, ahol a fotóvezető anyag szelén, és/vagy szelénötvözet és/vagy szelénvegyület, amely arzén, tellur és halogén anyagok legalább egyikét tartalmazza. 5The present invention relates to the production of a photovoltaic-sensitive conductive layer by vacuum evaporation, wherein the photoconductive material is selenium and / or a selenium alloy and / or a selenium compound containing at least one of arsenic, tellurium and halogen. 5
A fotóvezető anyagok egyik legfontosabb felhasználási területe az ún. xerográfiai másolási és sokszorosítási technika. Ez az eljárás az anyagnak azt a tulajdonságát használja fel, hogy annak elektromos vezetőképessége valamely elektromágneses sugárzás hatására jelentősen 10 megnövekszik.One of the most important applications of photo-guiding materials is the so-called. xerographic copying and copying techniques. This process utilizes the property of a material that its electrical conductivity is significantly increased by an electromagnetic radiation.
A fotóvezető felületét elektromosan feltöltik, majd a másolandó ábrát optikailag leképezik rá, s így a megvilágítással arányos, a vezető hordozőrétegbe történő töltéskisülés hatására az eredeti ábrának megfelelő elekt- 15 romos feltöltési kép keletkezik. Ezt a láthatatlan képet egy ellenkező polaritással feltöltött festékporral láthatóvá teszik. A porképet azután átviszik egy papír felületére, s a porkép fixálásával kész a másolat. A fotóvezető felületén visszamaradó kevés festékport eltávolítják, így 20 a réteg újabb másolásra kész.The surface of the photoconductor is electrically charged and then the image to be copied is optically mapped onto it to produce an electrically charged image corresponding to the illumination and discharged into the conductive carrier layer. This invisible image is rendered visible by a powder of charge of opposite polarity. The dust image is then transferred to a paper surface and the copy is fixed by fixing the dust image. A small amount of toner remaining on the surface of the photoconductor is removed so 20 layers are ready to be copied.
A sokszorosító iparban elterjedt berendezésekben a leggyakrabban alkalmazott fotóvezető anyagok a szelén, szelénötvözetek, szelénvegyületek, cinkoxid, kadmiumszulfid, szerves anyagok. Ezek között is kiemelkedő gya- 25 koriságú a szelén alapú anyag. Valamely sokszorosító gépben történő alkalmazásnál a fotóvezető anyag többféle tulajdonságát figyelembe kell venni, ha megfelelő másolati minőséget és jó élettartamot akarnak elérni,Selenium, selenium alloys, selenium compounds, zinc oxide, cadmium sulfide, organic materials are the most commonly used photoconductors in equipment used in the photocopying industry. Among these, selenium-based material is also very common. When used in a duplicator machine, several features of photo conductive material need to be taken into account to achieve proper copy quality and longevity,
Dyen tulajdonságok a sötéteUenállás, a sugárérzékenység 30 és annak spektrális eloszlása, a maradékpotenciál, a vezetési típusjeíleg, a sugárzási fáradékonyság, sötétkisülés, a fényelektromos tulajdonságok hőfüggése és hőállósága, a felületi keménység és ennek hőfüggése, felületi vezetés, valamint az időbeli állandóság a különböző tulajdonsd- 35 gokra vonatkozóan. Közismert az, hogy a felsorolt tulajdonságok jelentősen befolyásolhatóak különféle adalékanyagok alkalmazásával. így pl. a szelénhez adalékolt arzén, teilur, foszfor, kén, halogén, taüium stb. erősen változtatja a fényelektromos mechanikus és hőmérsék- 40 leti tulajdonságokat.These properties are darkness, radiation sensitivity 30 and its spectral distribution, residual potential, conductivity type, radiation fatigue, dark discharge, thermal dependence and heat resistance of the photovoltaic properties, surface hardness and its thermal dependence, surface conductivity and - 35 g. It is well known that the listed properties can be significantly influenced by the use of various additives. so e.g. Arsenic, Thelurur, Phosphorus, Sulfur, Halogen, Thallium, etc., added to Selenium. strongly changes the mechanical and temperature properties of the photoelectric 40.
A 2803542 lsz-ύ USA szabadalmi leírásból ismert, hogy az arzén adalékkal növelhető a szelén fényérzékenysége, amely növekedés a látírató fény vörös tartományában a legjelentősebb, az eredeti értékhez viszo- 45 nyitva.It is known from U.S. Pat. No. 2,835,342 to add an arsenic additive to increase the light sensitivity of selenium, which is the most significant increase in the red range of ophthalmic light relative to the original value.
Az 1522711 lsz-ú NSZK szabadalom szerint az arzén egy adott koncentrációban csökkenteni is tudja a fényérzékenységet, viszont ha halogénnel együtt használják, akkor az érzékenységnövekedése akár kétszerese is lehet 50 a csak arzénnel elérhető értéknek.According to US Patent No. 1522711, arsenic can reduce photosensitivity at a given concentration, but when used in combination with halogen, its sensitivity increase can be up to 50 times that of arsenic alone.
A 2062579 lsz-ú NSZK szabadalom szerint vékony szerves filmet alkalmaznak az arzénnel szennyezett szelén felületén, ezáltal növelik a réteg sötétellenállását, illetve elektromos fcltölthetőscgét. 55According to German Patent No. 2062579, a thin organic film is applied to the surface of selenium contaminated with arsenic, thereby increasing the dark resistance of the layer and the electrical charge capacity. 55
A 2027323 lsz-ú NSZK szabadalom szerint halogén adalékolásával előnyösen kis maradékpotenciálí érnek el, ugyanakkor a halogénnek a feltolthetőségct rontó hatását megakadályozzák egy második halogénmentes szelénréteg felvitelével. θθAccording to German Patent No. 2027323, halogen addition preferably achieves a low residual potential, while preventing the reversibility of halogen by applying a second halogen-free selenium layer. θθ
Közismert az is, hogy a tellur adalék javítja a fényérzékenységet, ugyanakkor azonban rontja a feltölthetőséget és elősegíti a szelén kristályosodását, amely csökkenti a fotóvezető élettartamát. Ezen a problémán segít tz 572041 lsz-ú USA szabadalom a fotóvezetőnek egy háromréteges felépítésével, ahol a középső réteg tartalmaz tellurt, de a felső réteg már nem, amely viszont arzént és halogént tartalmaz. így elérik, hogy a kristályosodás magasabb hőfokon is nehezen következik be, ugyanakkor jó az érzékenység, kicsi a maradékpotenciál, kopásállóbb a felület.It is also known that the tellur additive improves the photosensitivity, but at the same time it decreases the charge and promotes the crystallization of selenium, which reduces the life of the photoconductor. This problem is solved by the US patent tz 572041, which has a three-layer structure for the photo conductor where the middle layer contains tellurium but the upper layer is no longer containing arsenic and halogen. This makes it difficult to crystallize at higher temperatures, but also has good sensitivity, low residual potential and more abrasion resistant surface.
Az anyagok és adalékok kombinálásával jelentősen javíthatlak a fotóvezető tulajdonságai, de mivel ezek a k atások egyes tulajdonságokat javítanak, másokat rontanak, ezért minden tulajdonság együttes optimalizálása igen nehéz feladat.By combining materials and additives, I can greatly improve my photoconductor properties, but since these improvements improve some properties, others degrade, so optimizing all properties together is a difficult task.
Az egyik legnagyobb probléma az, hogy az adalékanyagok általában nem párolognak azonos arányban a szelénnel, ezért a párologtatás során folyamatosan és adalékok szerint más és más arányban változó koncentrációban jelennek meg a felépülő rétegben, ezáltal annak tulajdonságai is folyamatosan változnak. így egy üzemszerű gyártási technológia reprodukálható megvalósítása (az optimális rétegtulajdonságok megtartása mellett) rendkívül nehéz feladat.One of the major problems is that additives generally do not evaporate in the same proportion as selenium, and therefore, during evaporation, the additives appear in varying concentrations in the build-up layer, and thus their properties are constantly changing. Thus, reproducible realization of an operational production technology (while maintaining optimum layer properties) is extremely difficult.
A reprodukálhatóság javítására különféle módszerek alkalmazása vált ismertté. így a 2425286 lsz-ú NSZK szabadalmi leírás olyan eljárást ismertet, amely két párologtató forrást használ. Az egyikből arzénmentes, a más kból arzéntartalmú szelénvegyületet párologtatnak és ezek megfelelően összehangolt fűtésével javítják az arzénkoncentráció kézbentartását.Various methods for improving reproducibility have become known. Thus, US Patent No. 2425286 discloses a process using two evaporator sources. From one of them arsenic-free, from the other arsenic-containing selenium is evaporated and, by properly heating them, improves the control of arsenic concentration.
A 2553825 lsz-ú NSZK szabadalmi leírás szerint a párologtató tégelybe több szelént mérnek be, mint amennyit egy művelethez elhasználnak, majd a felrakódó réteg meghatározott vastagsága esetén a párologtatást megszakítják.According to US Patent No. 2553825, the evaporator crucible is filled with more selenium than is used for a single operation, and then the evaporation is interrupted for a given thickness of the deposited layer.
Ismeretes olyan módszer is, hogy az elkészült rétegek fülső részéből mechanikus kezeléssel eltávolítanak néhány százaléknyi anyagot, így csökkentve a minőségi szórásokat.It is also known to mechanically remove a few percent of the material from the ears of the finished layers, thereby reducing the quality standard deviations.
Alkalmaznak olyan eljárást is, amelynél az elkészült réteget utólagos hőkezelésnek vetik alá, ezáltal csökkentve a fényelektromos tulajdonságok jelentős ingadozását.They also employ a process in which the finished layer is subjected to post-heat treatment, thereby reducing the significant variation in photovoltaic properties.
A felsorolt módszerek, eljárások csökkentik a gyártási szórást, azonban még mindig hagynak nemkívánatos bizonytalanságot a minőségi színvonalban.The methods and procedures listed below reduce the manufacturing standard deviation but still leave undesirable uncertainty in the quality level.
A jelen találmány célja az, hogy a fényérzékeny réteg párologtatása során a korábbiaknál jobban kézbentartható rétegnövekedési körülményeket biztosítson, amely a szennyező anyagok alkalmas megválasztása esetén kiemelkedő minőségi színvonalat és reprodukálhatóságot eredményez.It is an object of the present invention to provide more manageable layer growth conditions during vaporization of the photosensitive layer, which, when the pollutants are suitably selected, results in outstanding quality standards and reproducibility.
Találmányunk azon a felismerésen alapul, hogy a párologtatási térszög behatolásával kedvező hatást gyakorolhatunk a rétcgfelépülés módjára.The present invention is based on the recognition that penetration of the evaporation space angle may have a beneficial effect on the formation of stratum corneum.
Ismeretes, hogy a tiszta szelénnel készült rétegek fényelcktromos tulajdonságainak optimuma adott vákuum, hordozóanyag és hordozóhőfok esetén meghatározott rétegnövekedési sebességhez tartozik. A szakirodalom szerint ez az érték az 1 μ/perc növekedési se besség környékén van.It is known that the optimum photochemical properties of the layers made with pure selenium belong to a given layer growth rate at a given vacuum, substrate and substrate temperature. According to the literature, this value is around a growth rate of 1 μ / min.
Szennyezett szelén esetén is van ilyen optimális növekedést sebesség, amelynek értéke általában 1 μ/perc és 5 μ/perc határok közé esik és függ a szennyezők fajtájától, ezek kombinációjától és a koncentráció-arányoktól.Even with contaminated selenium, there is such an optimal rate of growth, which is usually in the range of 1 μm / min to 5 μm / min and depends on the type of contaminant, their combination and concentration ratios.
Ugyanakkor az azonos rétegnövekedés megvalósít-21However, the same layer growth achieves-21
187 919 ható különböző anyagpárolgási sebesség mellett, tehát ugyanaz a rétegnövekedés elérhető kis felület nagyobb sebességű vagy nagyobb felület lassabb párolgása mellett.187,919 operates at different material evaporation rates, so that the same layer growth can be achieved with a small surface at a higher speed or a larger surface at a slower evaporation.
A szokásos téglatest, félhenger stb. alakú csónakokból 180 -ot is elérő, és a fogyással folyamatosan változó térszögben párolog az anyag, emiatt az optimális rétegnövesztés igen nehéz feladat. A találmány tehát eljárás fényelektromosan érzékeny vezetőképességű, 20—150 pm vastagságú réteg előállítására, ahol a réteganyag szelén és/vagy szelénötvözet és/vagy szelénvegyület, ahol a szelénötvözet és/vagy szelénvegyület arzénnak, tellurnak, valamint halogén anyagoknak legalább egyikét tartalmazza és a réteget úgy állítjuk elő, hogy a réteganyagot tartalmazó csónakot és hordozót vákuumpárologtató gépbe helyezzük, majd 0,1 Pa-nál alacsonyabb nyomást állítunk elő a vákuumpárologtató gép terében, miközben célszerűen felmelegítjük a hordozót maximálisan 170 °C-ig, majd valamely, 200 és 450 °C közötti hőmérsékletre felfütve a csónakot elpárologtatjuk a réteganyagot a hordozó felületére, majd megvárva a csónak lehűlését, de legalábbis 250 °C alatti csónakhőmérsékletig várva, lelevegőzzük a vákuumpárologtató gép terét, továbbá a csónak geometriai alakját úgy választjuk meg, hogy a réteganyag elpárolgáskor a csónakot, a csónak hosszirányára merőleges síkokban mérve 90°-nál kisebb nyílásszögű síktartományon belül esve hagyja el, álról a nyílásszög szögszárait a csónakban elhelyezett párolgó réteganyag felszínének a két szélső, a csónakból való kipárolgásra még egyetlen egyenes irányában lehetőséget nyújtó pontjait a csónak betöltőnyílásának peremével összekötő egyenesek képezik.The usual rectangle, half cylinder etc. up to 180 of the shape-shaped boats, and the material evaporates in a constantly changing space angle, making optimal layer growth a difficult task. The invention thus relates to a process for producing a photoelectrically sensitive conductive layer having a thickness of 20-150 µm, wherein the layer material is selenium and / or selenium alloy and / or selenium compound, wherein the selenium alloy and / or selenium compound comprises at least one of arsenic, tellurium and halogen preparing the vessel and substrate containing the layer material in a vacuum evaporator and then applying a pressure of less than 0.1 Pa in the vacuum evaporator space while conveniently heating the substrate to a maximum of 170 ° C and then to 200 and 450 ° C. After heating the boat to a temperature of between about 50 ° C and evaporating the layer material onto the surface of the substrate, waiting for the boat to cool, but at least below 250 ° C, air the vacuum evaporator space and select the geometry of the boat. so as to leave the boat in the evaporation layer, within the plane range with an opening angle of less than 90 ° measured in planes perpendicular to the boat's length, the angles of the opening angle the lines connecting the flange of the boat's inlet.
A párologtatási térsz.ög fenti korlátozása több előnynycl szolgál. Azonkívül, hogy a felépülő rétegben a szennyezéskoncentrációk jobban kézbentarthatók, további előny még a réteg szerkezetének kedvezőbb kialakíthatósága, ugyanis azonos koncentrációk esetén is a rétegnövesztés módjától függően változtathatók a réteg fényelektromos tulajdonságai. E módszer előnye még a jobb anyagkihasználás, mivel itt az anyag döntő többsége beépül a rétegbe.The above limitation of the evaporative space serves several advantages. In addition to better control of the concentration of contamination in the recovering layer, another advantage is that the structure of the layer is more favorable, since at the same concentrations the photovoltaic properties of the layer can be varied depending on the method of loss of the layer. The advantage of this method is even better material utilization, since the vast majority of the material is incorporated into the layer.
A párologtatási térszög korlátozása megoldható volna még olyan módon is, hogy a forrás és a hordozó közé maszkoló lemezeket helyeznének. Ez a megoldás azonban két szempontból is hátrányos, mivel az ilyen lemez rövid idő alatt a rárakódó, majd leváló anyag miatt porforrássá válik, ami a rétegen felületi hibákat okoz, továbbá az anyagkihasználás is kedvezőtlenebb lesz. A térszögnek a csónak geometriájával való korlátozása jelentős előnyöket ad a rétegkészítésnél, azonban probléma itt is adódik, mivel a párologtatás során az anyag fogyásával a megoldások többségénél változik a párolgó felület hatásos mérete, ami változtatja a rétegfelépülés sebességét. Ez a probléma azonban megoldható a párologtató csónak fűtőteljesítményének meghatározott program szerinti szabályozásával. Ez a program megállapítható pl. valamely rezgő kvarc elven működő rétegvastagságmérő segítségével, amely a felépülő réteg vastagságát folyamatosan érzékeli. Azonos hőfokon tartva a csónakot így megállapítható a rétegnövekedés időfüggése, melynek alapján megtervezhető egy fűtésszabályozási program, amely állandó rétegnövekedést eredményez, vagy kívánság szerint gyorsuló, ill. lassuló rétegnövekedést biztosít.Limitation of the evaporation space could also be achieved by placing masking disks between the source and the carrier. This solution, however, is disadvantageous in two respects, because such a sheet quickly becomes a powder source due to the deposition and subsequent release of the material, which causes surface defects in the layer, and the material utilization is less favorable. Limiting the spatial angle to the boat geometry offers significant advantages in layering, but there is a problem here, as evaporation reduces the effective size of the evaporative surface for most solutions, which changes the rate of layering. However, this problem can be solved by controlling the heating power of the evaporator boat according to a specific program. This program can be set eg. by means of a layer thickness gauge based on a vibrating quartz principle, which continuously detects the thickness of the layer being formed. Keeping the boat at the same temperature, the time dependence of the layer growth can be determined, based on which a heating control program can be designed, which results in a constant layer growth or, if desired, accelerated or increased. slows down the growth of layers.
Előnyös lehet az olyan megoldás, ahol a párologtatott réteg felületére egy szervesréteget viszünk fel 0,5-15 pm vastagságban, amely polivinilkarbazolt vagy poliamidot vagy poliésztert vagy poliuretánt vagy polisztirolt vagy polikarbonátot tartalmaz. Tartalmazhat a szervesréteg trinitrofluorenont is, az említettek mellett.It may be advantageous to apply an organic layer on the surface of the evaporated layer in a thickness of 0.5 to 15 µm containing polyvinylcarbazole or polyamide or polyester or polyurethane or polystyrene or polycarbonate. The organic layer may also contain trinitrofluorenone in addition to the above.
A találmány szerinti eljárás megvalósításához alkalmas párologtató csónak kialakítására az alábbi példákat hozzuk fel ábráink segítségével illusztráltan.The following examples illustrate the construction of a vaporizing boat suitable for carrying out the process of the present invention, illustrated by the drawings.
1. ábra. Szűknyakú, dőlt falrészű párologtató csónakFigure 1. Steamed boat with sloping walls with a narrow neck
2. ábra. Szűknyakú, hengeres párologtató csónakFigure 2. Narrow-necked cylindrical evaporator boat
3. ábra. Szűknyakú, függőleges falrészes párologtató csónakFigure 3. Narrow-necked, vertical wall-mounted evaporator boat
4. ábra. Szűknyakú, benyúló nyakrészes, dőlt falrészű párologtató csónakFigure 4. Steam-necked, sloping-wall evaporator boat
5. ábra. Szűknyakú, benyúló nyakrészes, hengeres párologtató csónak.Figure 5. Narrow-neck, protruding neck, cylindrical evaporator boat.
A csónakok keresztmetszeti formáját mutatják az ábrák. A csónakok hossza a réteghordozó méretétől függ. Pl. egy 240 mm hosszú alumínium henger esetén a csónak hossza kb. 270 mm-re választható 50—100 mm körüli csónak-hordozó távolság esetén. Az optimális változat kiválasztásánál a főbb szempontok a következők: a hordozó felületnagysága, a párologtató gépben rendelkezésre álló hely, az egy párologtatási ciklusban egy hordozóhoz párhuzamosan használt párologtató csónakok száma, a rétegnövesztés tervezett időfüggése stb így pl. hengerformájú hordozó esetén kisebb hengerátmérő (pl. 120 mm) és 100 mm csónakhordozó távolságnál jól használható az 1. ábrán látható szűknyakú, dőlt falrészű párologtató csónak.The figures show the cross-sectional shape of the boats. The length of the boats depends on the size of the layer carrier. For example, in the case of a 240 mm long aluminum cylinder, the length of the boat is approx. Optional 270 mm for boat-carrier distances of 50-100 mm. The main criteria for choosing the optimal version are: surface area of the substrate, space available in the evaporator, number of evaporator boats used in parallel in a evaporation cycle, planned time dependence of the layer growth, etc. In the case of a cylindrical substrate, a smaller cylindrical diameter (e.g., 120 mm) and a spacing of 100 mm can be used with the narrow-necked inclined evaporator boat shown in Figure 1.
Ennél a megoldásnál abban az esetben, ha a bemért szelénötvözet szintje a megolvadás után nem magasabb, mint a dőlt falrész felső szintje, akkor a párolgás szöge közelítőleg 40 , az egész párologtatás alatt. Ha a párologtató gép függőleges méretei szűkösebbek, akkor a 4. ábra szerinti benyúló nyakrészes változat is használható, itt azonban a párologtatás kezdeténél nagyobb a párolgási szög, mint 40°, továbbá célszerű a párologtató csónak két végénél kisméretű szellőző nyílást alkalmazni, hogy az olvasztáskor fejlődő gázok ne okozzanak felfröcskölést.In this solution, if the level of selenium alloy measured after melting is not higher than the upper level of the oblique wall, the evaporation angle is approximately 40 throughout the evaporation. If the vertical dimensions of the evaporator are narrower, the protruding neck version of Fig. 4 may be used, but here the evaporation angle is greater than 40 °, and it is advisable to use a small vent at both ends of the evaporator boat. gases should not cause splashes.
Nagyobb átmérőjű hordozóhenger esetén (pl. 200 mm) rövidebb nyakrésszel rendelkező párologtató csónakot kell alkalmazni, amely 60° alá korlátozza a párolgási szöget, ha az olvadék szintje a belső függőleges falrész alsó szintjénél nem magasabb.For larger diameter carrier rolls (eg 200 mm), an evaporator boat with a shorter neck section, which limits the evaporation angle below 60 °, provided the melt level is not higher than the lower level of the inner vertical wall part.
Ha a réteg készítésénél egy hordozóhoz két vagy három párhuzamosan működtethető párologtató csónak tartozik, akkor célszerű keskenyebb csónakokat alkalmazni, s így a csónakok szorosabb elhelyezésével javítható az anyagfelhasználás hatásfoka.If two or three parallel vaporizers are provided for a substrate for a layer, it is advisable to use narrower boats to improve material efficiency by tightening the boats.
A találmány szerinti eljárás bemutatására ismertetünk néhány kiviteli példát.Some embodiments are described to illustrate the process of the present invention.
Első példánkban hengeralakú alumínium hordozóra párologtatunk fényérzékeny réteget. A henger külső átmérője 120 mm, hossza 220 mm. A párologtatáshoz két csónakot használunk. Az első csónak az 5. ábra szerinti, a második csónak az 1. ábra szerinti formájú, mindkettő hossza 260 mm. A csónakok felső része azonos magasságban van, s ezen szint távolsága a felettük vízszintes tengely körül forgatott hordozó felületétől 80 mm. A két csónak középvonalának egymástól való távolsága 25 mm. Az első csónakba betöltünk 300 g tiszta szelént (99,999 %), a második csónakba 220 g szelénötvözetet, amely 3 % As-t és 40 ppm CJ-t tartalmaz. A gőzölőgépet 3In our first example, a photosensitive layer is evaporated onto a cylindrical aluminum substrate. The cylinder has an outside diameter of 120 mm and a length of 220 mm. We use two boats for evaporation. The first boat has the shape of Figure 5 and the second boat has the shape of Figure 1, each having a length of 260 mm. The upper part of the boats shall be at the same height and shall have a distance of 80 mm from the surface of the carrier rotated above their horizontal axis. The centerline of the two boats is 25 mm apart. The first boat was charged with 300 g of pure selenium (99.999%) and the second boat with 220 g of selenium alloy containing 3% As and 40 ppm CJ. The steamer 3
-3187 919 leszívatva a kívánt vákuum elérése után (1,3 ·10”2—1,3· 10 4 Pa) az első csónakot 270°C-ra melegítjük kb. 28 perc alatt, majd ennek fűtését kikapcsoljuk.After aspirating the desired vacuum (1.3 · 10 ” 2 to 1.3 · 10 4 Pa), the first boat is heated to 270 ° C. 28 minutes, then turn off the heating.
A második csónakot a 28. percig előmelegítjük kb, 180°C-ra, majd tovább melegítjük 3O5°C-ig, kb. 15 perc alatt, s ekkor a második csónak fűtését is kikapcsoljuk.The second boat is preheated to about 180 ° C for 28 minutes and then heated to 305 ° C for about 28 minutes. In 15 minutes, the heating of the second boat will be turned off.
A hordozó hőfoka a párologtatás alatt 65-68 °C között van.The temperature of the substrate during evaporation is between 65-68 ° C.
Megvárjuk míg mindkét csónak lehűl 210 °C alá, ezután beengedjük a levegőt a gépbe. Az így kapott réteg 1 kb. 70 μ vastagságú.Wait for both boats to cool below 210 ° C and then allow air into the machine. The resulting layer is 1 kb. 70 µ thick.
Második példánk szerint a hordozó, a csónakok és elhelyezésük azonos az első példában leírttal, azonban mindkét csónaknál zárószerkezetet alkalmazunk. A bemért szelének mennyisége és minősége, valamint a hor- 1 dozó hőfoka is azonos az első példával. Az első csónakot 285 °C-ra melegítjük, nyitjuk a csónakfedőt, 22 percig párologtatunk, zárjuk a csónak fedőt, lekapcsoljuk a fűtését, majd az előzőleg 315 °C-ra melegített második csónakot 5 perc időtartamra nyitjuk. 2In the second example, the carrier, the boats, and their placement are the same as those described in the first example, but both boats have a locking mechanism. The quantity and quality of the measured winds and the temperature of the carrier are the same as in the first example. The first boat is heated to 285 ° C, open the boat cover, evaporate for 22 minutes, close the boat cover, turn off the heating, and then open the second boat, previously heated to 315 ° C, for 5 minutes. 2
A 27. perc után zárjuk és kikapcsoljuk a második csónakot is. Ha a csónakok 250 °C alá hűltek, levegőzzük a gépet.After the 27th minute, we close and turn off the second boat. If the boats have cooled below 250 ° C, ventilate the machine.
A kapott réteg kb. 65 μ vastagságú.The resultant layer is about. 65 µ thick.
Harmadik példánkban három csónakot alkalmazunk, 2 az első kettő azonos az előző példánkban leírtakkal, a harmadik a 2. ábra szerinti. A második és harmadik csónakok középvonalainak távolsága 25 mm. Mindhárom csónak zárható, felső szintjük egy vonalban van. A hordozó azonos az első példával, távolsága a második cső- 2 nak felett 80 mm. Az első csónakban 300 g 1 % As-t tartalmazó szelént, a másodikba 220 g 2,5% As-t, 15% Te-t, és 30 ppm Cl-í tartalmazó szelént, a harmadikban 120 g 5 % As-t és 50 ppm Ci-t tartalmazó szelént mérünk be. Mindhárom csónakot 180 °C-ig lezárt állapotban elő- 2 melegítjük, a hordozó hőfoka a gőzölés kezdetén 65 °C.In our third example, three boats are used, the first two being the same as those described in the previous example, and the third as shown in Figure 2. The distance between the center lines of the second and third boats is 25 mm. All three boats can be locked, their upper deck is in line. The carrier is the same as in the first example, with a distance of 80 mm above the second tube. In the first boat 300 g of selenium containing 1% As, in the second 220 g of selenium containing 2.5% As, 15% Te and 30 ppm Cl, in the third 120 g of 5% As and Selenium containing 50 ppm Ci was weighed. All three boats are preheated to 180 ° C in sealed condition and the temperature of the carrier at the start of steaming is 65 ° C.
A kívánt vákuum elérése után az első csónakot fclfűtjük 280 °C-ra, és nyitjuk a takarókat. A hordozó közelében elhelyezett rétegvastagságniérő érzékelése alapján vezérelve a csónakfűtést 1,2 μ/perc iétegnövekedési sebessé- ‘ get beállítva 50 μ vastag alapréteget gőzölünk, zárjuk az első csónakot és fűtését visszavesszük 210 °C körüli hőntartásnak megfelelően, majd a második csónakot 320 °Cra melegítve nyitjuk és az első réteg tetejére 5 μ vastag második réteget párologtatunk, zárjuk a második csóna- ‘ kot, fűtését visszavéve 210 °C-os hőntartáshoz. A harmadik csónakot 370 °C-ra melegítjük, s nyitjuk és 0,5 μ vastag harmadik réteget párologtatunk, zárjuk, és kikapcsoljuk mindhárom csónakot, s amikor 250 °C alá kerülnek levegőzzük a gépet. A kapott rétegnek kiváló fény- ! elektromos mechanikai és hőállósági tulajdonságai vannak.After reaching the desired vacuum, the first boat is heated to 280 ° C and the covers opened. Based on the sensing of layer thickness near the substrate, controlling the boat heater at a rate of growth of 1.2 μ / min, steam a 50 μ base layer, close the first boat and reheat it at a temperature of 210 ° C, then heat the second boat to 320 ° C. open and evaporate a second layer 5 μm thick on top of the first layer, close the second boiler, returning its heating to 210 ° C. The third boat is heated to 370 ° C, opened, and the third layer of 0.5 μm is evaporated, closed, and all three boats are turned off, and when the air is below 250 ° C. The resulting layer has excellent light ! has electrical mechanical and heat resistance properties.
Negyedik példánkban a harmadik példa szerint készült rétegre 10 μ vastag szerves anyag réteget viszünk pl. polivinilkarbazolból szórásos, vagy hengerléses technológiával. A kapott fényérzékelő réteg feltölthetősége kiemelkedő, sötétkisülése kicsiny.In our fourth example, a layer of organic material 10 µm thick, e.g. polyvinylcarbazole by spray or roll technology. The resulting light sensing layer has an outstanding charge and low dark discharge.
Claims (4)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| HU206483A HU187919B (en) | 1983-06-10 | 1983-06-10 | Method for making photoelectrically sensitive and conductive layer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| HU206483A HU187919B (en) | 1983-06-10 | 1983-06-10 | Method for making photoelectrically sensitive and conductive layer |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| HU187919B true HU187919B (en) | 1986-03-28 |
Family
ID=10957571
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| HU206483A HU187919B (en) | 1983-06-10 | 1983-06-10 | Method for making photoelectrically sensitive and conductive layer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| HU (1) | HU187919B (en) |
-
1983
- 1983-06-10 HU HU206483A patent/HU187919B/en unknown
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4770965A (en) | Selenium alloy imaging member | |
| JPS62187857A (en) | Universal color light receptor | |
| US4609605A (en) | Multi-layered imaging member comprising selenium and tellurium | |
| JPS5913021B2 (en) | Composite photoreceptor material | |
| US4554230A (en) | Electrophotographic imaging member with interface layer | |
| US3524745A (en) | Photoconductive alloy of arsenic,antimony and selenium | |
| HU187919B (en) | Method for making photoelectrically sensitive and conductive layer | |
| JPS636865B2 (en) | ||
| JPH0217021B2 (en) | ||
| US4837099A (en) | Multilayer photoconductor for electrophotography | |
| US4476209A (en) | Selenium-antimony alloy electrophotographic photoreceptors | |
| JPH06161137A (en) | Manufacture of electrophotographic selenium photosensitive body | |
| JPS6377060A (en) | Manufacture of electrophotographic sensitive body | |
| JP2574485B2 (en) | Method for controlling crystallization of chalcogenide alloys | |
| JPH0372152B2 (en) | ||
| US5075191A (en) | Process for controlling alloy fractionation | |
| JPS59223436A (en) | Photosensitive body of selenium-tellurium alloy | |
| JPS58179843A (en) | Electrophotographic receptor | |
| JP3538514B2 (en) | Method for producing selenium photoreceptor for electrophotography | |
| JPS6064357A (en) | Electrophotographic sensitive body made of selenium | |
| JPH0216912B2 (en) | ||
| JPH0216913B2 (en) | ||
| JPS5944056A (en) | Photoreceptor | |
| JPH02171756A (en) | Vacuum evaporation source container of photosensitive body for electrophotography | |
| JPS6314163A (en) | Electrophotographic sensitive body and its production |