WO2022185435A1 - 基板ホルダ、めっき装置、及びめっき装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
U[%]=(Tmax-Tmin)/2/Tavg*100・・・(1)
開口径比R=Φsrh/Φseal×100[%]・・・(2)
上記実施形態では、基板の被めっき面を下方に向けて保持する。この形態によれば、いわゆるフェースダウン式又はカップ式のめっきモジュールを例に挙げて説明したが、めっきモジュールにおいて、基板の被めっき面を鉛直方向に立てた状態で保持する基板ホルダを用いてめっきする、いわゆるディップ式のめっきモジュールに対して、上記実施形態を適用してもよい。
一実施形態によれば、めっき装置において基板を保持する基板ホルダであって、 前記基板の外周部を密閉するシールであって、前記基板の被めっき面を露出する第1開口を有するシールと、 前記シールを押さえるシールリングホルダであって、前記基板の被めっき面を露出する第2開口を有するシールリングホルダと、を備え、 前記第2開口の開口径と前記第1開口の開口径との比である開口径比は、99.32%以上かつ99.80%以下の範囲にある、基板ホルダが提供される。言い換えれば、前記第2開口の開口径の大きさは、前記第1開口の開口径の大きさの99.32%以上かつ99.80%以下の範囲にある。シール及びSRHからなる土手の高さは、2.0mm以上3.0mm以下、好ましくは約2.5mmとすることができる。開口径は、開口の最も狭い部分の直径とする。開口径比は、第2開口の開口径Φsrhと第1開口の開口径Φsealの比をパーセント表記したものであり、式(2)により算出される。
開口径比R=Φsrh/Φseal×100[%]・・・(2)
110 搬送ロボット
120 アライナ
200 プリウェットモジュール
300 プリソークモジュール
400 めっきモジュール
401 めっき槽
402 基板
403 基板ホルダ
404 めっき液貯留槽
405 ポンプ
406 フィルタ
407 めっき液供給管
408 めっき液受槽
409 電源
410 アノード
411 モータ
412 パドル
413 駆動機構
413a モータ
413b 回転直動変換機構
413c シャフト
421 シール
422 シールリングホルダ(SRH)
431 シール開口
432 SRH開口
423 開口端側テーパ
424 シール側テーパ
500 洗浄モジュール
600 スピンリンスドライヤ
700 搬送装置
800 制御モジュール
1000 めっき装置
Claims (10)
- めっき装置において基板を保持する基板ホルダであって、
前記基板の外周部を密閉するシールであって、前記基板の被めっき面を露出する第1開口を有するシールと、
前記シールを押さえるシールリングホルダであって、前記基板の被めっき面を露出する第2開口を有するシールリングホルダと、
を備え、
前記第2開口の開口径と前記第1開口の開口径との比である開口径比は、99.32%以上かつ99.80%以下の範囲にある、
基板ホルダ。 - 請求項1に記載基板ホルダにおいて、
前記開口径比は、99.42%以上かつ99.59%以下の範囲にある、基板ホルダ。 - 請求項1又は2に記載の基板ホルダにおいて、
前記シールリングホルダの前記第2開口は、前記シールから遠い側に第1テーパを有し、前記第1テーパは、前記シールから離れるほど前記第2開口の直径が大きくなるように設けられている、基板ホルダ。 - 請求項1又は2に記載の基板ホルダにおいて、
前記シールリングホルダの前記第2開口は、前記シールに近い側に第2テーパを有し、前記第2テーパは、前記シールに近づくほど前記第2開口の直径が大きくなるように設けられている、基板ホルダ。 - 請求項1又は2に記載の基板ホルダにおいて、
前記シールリングホルダの前記第2開口は、前記シールから遠い側に第1テーパを有すると共に、前記シールに近い側に第2テーパを有し、
前記第1テーパは、前記シールから離れるほど前記第2開口の直径が大きくなるように設けられており、
前記第2テーパは、前記シールに近づくほど前記第2開口の直径が大きくなるように設けられている、基板ホルダ。 - めっき装置において基板を保持する基板ホルダであって、
前記基板の外周部を密閉するシールであって、前記基板の被めっき面を露出する第1開口を有するシールと、
前記シールを押さえるシールリングホルダであって、前記基板の被めっき面を露出する第2開口を有するシールリングホルダと、
を備え、
前記シールリングホルダの前記第2開口は、前記シールから遠い側に設けられる第1テーパ及び/又は前記シールに近い側に設けられる第2テーパを有し、
前記第1テーパは、前記シールから離れるほど前記第2開口の開口径が大きくなるように設けられており、
前記第2テーパは、前記シールに近づくほど前記第2開口の開口径が大きくなるように設けられている、基板ホルダ。 - 請求項1から6の何れかに記載の基板ホルダにおいて、
基板の被めっき面を下方に向けて保持する、基板ホルダ。 - 請求項1から6の何れかに記載の基板ホルダにおいて、
めっきモジュールにおいて基板の被めっき面を立てた状態で保持する、基板ホルダ。 - 請求項1から8の何れかに記載の基板ホルダと、
前記基板ホルダが配置されるめっき槽と、
を備えるめっき装置。 - 基板を保持する基板ホルダを備えるめっき装置を製造する方法であって、
第1開口を有し前記基板の外周部を密閉するシールと、第2開口を有し前記シールを押さえるシールリングホルダとを組み立てる工程を有し、
前記工程において、前記シールリングホルダの前記第2開口の開口径と、前記シールの前記第1開口の開口径との比である開口径比が、99.32%以上かつ99.80%以下の範囲にあるように、前記シールリングホルダ及び前記シールを選択する、方法。
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