JP4764899B2 - 基板めっき用治具、基板めっき装置 - Google Patents
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Description
(1)被めっき基板の両面にめっきしようとすると2倍の運転時間を必要とする。
(2)被めっき基板のめっき膜厚の面内均一性に影響がでる。
(3)被めっき基板のスルーホールや穴パターンに金属めっき膜を形成できない。
11 第1保持部材
12 第2保持部材
13 ヒンジ機構
14 ハンガー
15 クランプ
16 クランプ
17 ピン
18 ピン
19 シールリング
20 シールリング
21 基板ガイドピン
22 導電プレート
23 導電ピン
25 配線溝
26 絶縁被覆線
27 端子板
28 端子板
29 Oリング
30 配線押え
50 めっき装置
51 めっき槽
52 アノード電極
53 めっき電源
54 めっき液循環ポンプ
55 恒温ユニット
56 フィルタ
57 外槽
58 電極保持部材
59 電流調節器
60 調節板
61 スルーホール
62 配線溝パターンや穴パターン
63 バリアー層
64 シード層
65 金属めっき層
70 基板めっき用治具
71 第1保持部材
72 第2保持部材
73 蝶ねじ
74 ねじ孔
75 電極接点
76 電極接点
77 ハンガー
78 端子板
79 端子板
80 電線
81 通電用接点
82 通電用バネ接点
83 電線
84 電線
85 ヒンジ機構
90 基板めっき用治具
91 枠体
Claims (5)
- 被めっき基板を、めっき装置のめっき槽のめっき液中に浸漬保持するための基板めっき用治具であって、
前記被めっき基板をその周縁部の全領域をシールして前記めっき液に対して密閉すると共に、前記被めっき基板の両面の前記シールで囲まれた所定領域を前記めっき液に対して露出させて保持する基板保持機構と、前記密閉領域に配置され前記被めっき基板表面の導電膜に接触する電極接点を設けたことを特徴とする基板めっき用治具。 - 請求項1に記載の基板めっき用治具において、
前記基板保持機構は第1及び第2の保持部材を具備し、
前記第1及び第2の保持部材にはそれぞれ前記被めっき基板の前記所定領域を前記めっき液に対して露出させるための開口を設けると共に、前記開口の周囲に配設され前記第1及び第2の両保持部材で前記被めっき基板を挟持した際、該被めっき基板の表面に密接し前記基板周縁部の全領域をシールして密閉空間とするシール部材を設け、前記密閉空間内に前記被めっき基板面の導電膜に接触する電極接点を設けたことを特徴とする基板めっき用治具。 - 請求項2に記載の基板めっき用治具において、
前記第1と第2の保持部材で前記被めっき基板を挟んだ状態で該両保持部材の両側部を保持するクランプ部材を具備するクランプ機構を具備することを特徴とする基板めっき用治具。 - 請求項2又は3に記載の基板めっき用治具において、
前記第1保持部材の上部には一体的にハンガーが取付けられ、前記電極接点に導通する電極端子を該ハンガー部に設けたことを特徴とする基板めっき用治具。 - めっき液を収容しためっき槽を具備し、該めっき槽のめっき液中に請求項1乃至4のいずれか1項に記載の基板めっき用治具で保持した被めっき基板を浸漬し、該被めっき基板の両露出面に対向してアノード電極を配置したことを特徴とする基板めっき装置。
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