JPH0686676B2 - メツキ用電極部 - Google Patents
メツキ用電極部Info
- Publication number
- JPH0686676B2 JPH0686676B2 JP23097185A JP23097185A JPH0686676B2 JP H0686676 B2 JPH0686676 B2 JP H0686676B2 JP 23097185 A JP23097185 A JP 23097185A JP 23097185 A JP23097185 A JP 23097185A JP H0686676 B2 JPH0686676 B2 JP H0686676B2
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- JP
- Japan
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- substrate
- contact
- electrode
- plating
- contact member
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- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 半発明は、メッキ用電極部に関し、詳しくは大版の基板
の表面に電解メッキを施すために電解槽に浸漬使用され
る基板の保持具の複数個所に配設され、基板の導体部と
電気的に接続されると共に基板の把持具を兼ねたメッキ
用電極部に関する。
の表面に電解メッキを施すために電解槽に浸漬使用され
る基板の保持具の複数個所に配設され、基板の導体部と
電気的に接続されると共に基板の把持具を兼ねたメッキ
用電極部に関する。
従来、例えばアルミニウム基板などの平板による導電板
上にレジストパターンなどを形成した上で電解メッキが
行われるような場合には、第７図に示すような支持枠部
材が使用されている。ここで、１はその支持枠部材であ
り、この支持枠部材１には適切な間隔を置いて把持具兼
用の接点電極２が設けられ、これらの位置で基板３がね
じ締めなどにより保持されると共に、接点電極２以外の
部分を第８図に示すように絶縁材４により覆い、この電
極２を基板３の両面から圧接させるように構成されてい
る。基板３を電極２によってこのような状態に保持させ
た上、例えば電極２により基板３を電解液槽中に懸垂
し、かつこの電極２およびこの電極２に接続された基板
３をカソードとする。
上にレジストパターンなどを形成した上で電解メッキが
行われるような場合には、第７図に示すような支持枠部
材が使用されている。ここで、１はその支持枠部材であ
り、この支持枠部材１には適切な間隔を置いて把持具兼
用の接点電極２が設けられ、これらの位置で基板３がね
じ締めなどにより保持されると共に、接点電極２以外の
部分を第８図に示すように絶縁材４により覆い、この電
極２を基板３の両面から圧接させるように構成されてい
る。基板３を電極２によってこのような状態に保持させ
た上、例えば電極２により基板３を電解液槽中に懸垂
し、かつこの電極２およびこの電極２に接続された基板
３をカソードとする。
しかしながら、このようなメッキ用電極部にあっては、
基板３上に均一な膜厚のメッキ層が得られるようにする
ために、例えば次式に示すような基板３の面積Ｓdm2当
りに少なくとも１個の接点電極２を設けるのが好適であ
ることが、本発明者によって確かめられた。
基板３上に均一な膜厚のメッキ層が得られるようにする
ために、例えば次式に示すような基板３の面積Ｓdm2当
りに少なくとも１個の接点電極２を設けるのが好適であ
ることが、本発明者によって確かめられた。
ここで、 t:基板の導電体の厚さ（cm） σ：基板の導電体の比抵抗（Ωcm） 第７図の例では電極２が４個となっているが、上式を考
慮すると、基板３が大版になるにつれて、電極２の個数
はさらに多くなる場合もあり、その着脱に手間と時間が
かかる。
慮すると、基板３が大版になるにつれて、電極２の個数
はさらに多くなる場合もあり、その着脱に手間と時間が
かかる。
更にまた、基板３が薄いアルミニウム板などの場合に
は、この基板３を余り強固に締付ける訳に行かず、さり
とて把持力が弱いと、懸垂状態に保たれている支持枠部
材１が槽内の流体の動きによって揺動したりして、基板
３の保持位置がずれてしまい、メッキが不均一になった
り、基板３が脱落する虞があった。
は、この基板３を余り強固に締付ける訳に行かず、さり
とて把持力が弱いと、懸垂状態に保たれている支持枠部
材１が槽内の流体の動きによって揺動したりして、基板
３の保持位置がずれてしまい、メッキが不均一になった
り、基板３が脱落する虞があった。
本発明の目的は、上述した欠点を除去し、支持枠部材に
基板の着脱が容易で、しかも確実かつ安定した把持力が
得られ、均一な膜厚のメッキを保証できる支持枠部材の
メッキ電極部を提供することにある。
基板の着脱が容易で、しかも確実かつ安定した把持力が
得られ、均一な膜厚のメッキを保証できる支持枠部材の
メッキ電極部を提供することにある。
かかる目的を達成するために、本発明は、基板を枠型支
持部材の複数個所の固定部で支持し、複数個所の固定部
に基板に対する電解メッキ用の電極を形成したメッキ用
電極部において、固定部は、基板を挟んで対向する位置
に設けた第１接点部材および第２接点部材を有し、その
第１接点部材および第２接点部材は、その対向面の一方
に凹部、他方に凸部が形成され、第２接点部材には、こ
の第２接点部材と連動して第２接点部材と第１接点部材
との間に基板を挟持させる締結部材を設けたことを特徴
とする。
持部材の複数個所の固定部で支持し、複数個所の固定部
に基板に対する電解メッキ用の電極を形成したメッキ用
電極部において、固定部は、基板を挟んで対向する位置
に設けた第１接点部材および第２接点部材を有し、その
第１接点部材および第２接点部材は、その対向面の一方
に凹部、他方に凸部が形成され、第２接点部材には、こ
の第２接点部材と連動して第２接点部材と第１接点部材
との間に基板を挟持させる締結部材を設けたことを特徴
とする。
このように構成したメッキ電極部によれば、複数の把持
位置において、回動自在なカム型などの締結部材の回動
動作により、対向させた第１および第２接点部材の一方
を連動させてこれら第１および第２接点部材間に基板を
挟持させ、第１および第２接点部材のそれぞれ対向面に
形成した凹部および凸部によって基板の支持部が幾分食
い込まれる程度に保持されるようにしたので、確実な電
気的接続および把持力が得られ、しかも着脱を簡単な操
作で実行することができるのみならず、均一な厚さ分布
のメッキ層を基板上に形成することができる。
位置において、回動自在なカム型などの締結部材の回動
動作により、対向させた第１および第２接点部材の一方
を連動させてこれら第１および第２接点部材間に基板を
挟持させ、第１および第２接点部材のそれぞれ対向面に
形成した凹部および凸部によって基板の支持部が幾分食
い込まれる程度に保持されるようにしたので、確実な電
気的接続および把持力が得られ、しかも着脱を簡単な操
作で実行することができるのみならず、均一な厚さ分布
のメッキ層を基板上に形成することができる。
以下に、図面に基づいて本発明の実施例を詳細かつ具体
的に説明する。
的に説明する。
第１図および第２図は本発明の一実施例を示し、ここ
で、10は、図示しない絶縁材料によって被覆された支持
枠部材であり、11は支持枠部材の周囲部に沿って基板３
上に均等なメッキ抵抗が得られるように配置された電極
兼固定部（以下では電極部という）である。電極部11で
は、二又に分岐され互いに平行な腕部11Aおよび11Bのう
ち一方の腕部11Aに固定接点12が、また他方の腕部11Bに
可動接点13が対向位置に配置される。
で、10は、図示しない絶縁材料によって被覆された支持
枠部材であり、11は支持枠部材の周囲部に沿って基板３
上に均等なメッキ抵抗が得られるように配置された電極
兼固定部（以下では電極部という）である。電極部11で
は、二又に分岐され互いに平行な腕部11Aおよび11Bのう
ち一方の腕部11Aに固定接点12が、また他方の腕部11Bに
可動接点13が対向位置に配置される。
なお、これらの接点12および13には、第３図に示すよう
に、例えば凹部12Aおよび凸部13Aが設けてあり（または
これとは逆にして、接点12に凸部、接点13に凹部を形成
してもよい）、第１図および第２図に示したような基板
３の把持状態のときに、基板３が凸部13Aと凹部12Aとの
間に挟持されることによって、強固に止されるように
する。
に、例えば凹部12Aおよび凸部13Aが設けてあり（または
これとは逆にして、接点12に凸部、接点13に凹部を形成
してもよい）、第１図および第２図に示したような基板
３の把持状態のときに、基板３が凸部13Aと凹部12Aとの
間に挟持されることによって、強固に止されるように
する。
可動接点13の保持部材23を腕部11Bに設けた筒型の案内
部14に沿って摺動自在となし、可動接点保持部材23から
かぎの手型に突設させた係合部23Bを、絶縁材料で形成
したカム型締結部材15の案内溝15Aに摺接自在に係合さ
せる。24Aおよび24Bは固定接点12側および可動接点保持
部材23側に設けたパッキングであり、図に示すような挟
持状態のときに接点電極の周りを電解液から隔絶し、保
護することができる。25は接点12および13に通電する導
線であり、絶縁材の腕部11A内に埋設されている。
部14に沿って摺動自在となし、可動接点保持部材23から
かぎの手型に突設させた係合部23Bを、絶縁材料で形成
したカム型締結部材15の案内溝15Aに摺接自在に係合さ
せる。24Aおよび24Bは固定接点12側および可動接点保持
部材23側に設けたパッキングであり、図に示すような挟
持状態のときに接点電極の周りを電解液から隔絶し、保
護することができる。25は接点12および13に通電する導
線であり、絶縁材の腕部11A内に埋設されている。
16は腕部材11Bに設けた支持ブラケット、17は締結部材1
5を支持ブラケット16に回動自在に枢支しているピンで
あり、第１図において締結部材15をその取手部15Bによ
り矢印方向に回動させることにより、締結状態から基板
３の取外し状態あるいは装着前の状態とすることができ
る。
5を支持ブラケット16に回動自在に枢支しているピンで
あり、第１図において締結部材15をその取手部15Bによ
り矢印方向に回動させることにより、締結状態から基板
３の取外し状態あるいは装着前の状態とすることができ
る。
すなわち、本発明メッキ用電極部にあっては、例えば第
４図に示すように、矢印の方向から基板３を差込み、所
定の位置に保たれるように位置決めした後、個々の電極
部11において締結部材15をその取手部15Bにより回動さ
せるだけで確実かつ強固に基板３を支持部材10に固定さ
せることができる。取外しにあたっても締結部材15を逆
方向に回動させるという極めて簡単な動作のみでよい。
４図に示すように、矢印の方向から基板３を差込み、所
定の位置に保たれるように位置決めした後、個々の電極
部11において締結部材15をその取手部15Bにより回動さ
せるだけで確実かつ強固に基板３を支持部材10に固定さ
せることができる。取外しにあたっても締結部材15を逆
方向に回動させるという極めて簡単な動作のみでよい。
第６図および第７図は本発明の他の実施例を示す。本例
は、支持枠部材１と支持枠部材１から突設した腕部11C
との間に基板３を挟持するように構成したもので、この
腕部11Cの側に導線25が埋設される。かくして可動接点1
3は導線25の端子部25Aで摺接して電気的接続が保たれ
る。また、可動接点13を保持する保持部材23は締結部材
15と案内溝15Aに嵌め合わされた図示しないピンを介し
て連結されており、締結部材15のピン17の周りの回動動
作により保持部材33を可動接点13と共に矢印方向に上下
動させることができる。その他の構成については第１図
および第２図に示した例と変わらず、その動作について
は説明を省略する。
は、支持枠部材１と支持枠部材１から突設した腕部11C
との間に基板３を挟持するように構成したもので、この
腕部11Cの側に導線25が埋設される。かくして可動接点1
3は導線25の端子部25Aで摺接して電気的接続が保たれ
る。また、可動接点13を保持する保持部材23は締結部材
15と案内溝15Aに嵌め合わされた図示しないピンを介し
て連結されており、締結部材15のピン17の周りの回動動
作により保持部材33を可動接点13と共に矢印方向に上下
動させることができる。その他の構成については第１図
および第２図に示した例と変わらず、その動作について
は説明を省略する。
なお、以上の例では、締結部材15を卵型や円形のカム形
状としたが、その形態はこれに限られるものではなく、
部材15をピン17の周りに回動させたときに、その回動動
作によって接点部材13を一方向に直線運転させるような
形状若しくは形態のものであればよいことはいうまでも
ない。また、接点部材12および13に設けた凹部12Aおよ
び凸部13Aもこのような形態に限られるものではなく、
接触によって僅かながら基板３の表面に噛み込んだ形態
で把持力が強化される形態のものであればよい。
状としたが、その形態はこれに限られるものではなく、
部材15をピン17の周りに回動させたときに、その回動動
作によって接点部材13を一方向に直線運転させるような
形状若しくは形態のものであればよいことはいうまでも
ない。また、接点部材12および13に設けた凹部12Aおよ
び凸部13Aもこのような形態に限られるものではなく、
接触によって僅かながら基板３の表面に噛み込んだ形態
で把持力が強化される形態のものであればよい。
なお、以上では、対向する２つの接点部材のうちの一方
が固定接点部材、他方が可動接点部材の場合を例示して
きたが、本発明はその例に限られるものではなく、双方
共に可動接点部材であってもよく、要は少なくとも一方
の接点部材が可動接点部材であればよい。
が固定接点部材、他方が可動接点部材の場合を例示して
きたが、本発明はその例に限られるものではなく、双方
共に可動接点部材であってもよく、要は少なくとも一方
の接点部材が可動接点部材であればよい。
以上説明してきたように、本発明によれば、枠型支持部
材の複数個所に配置された基板固定部材兼用の電極部に
おいて、その基板を挟んで対向する位置に第１接点部材
と第２接点部材とを設け、可動接点を保持させた第１お
よび／または第２接点部材を締結部材の動作に連動させ
るごとくなして、その動作により第１接点部材と第２接
点部材とを互いに近接させ、双方の接点部材間に基板が
確実に挟持されるようにすると共に、接点部材以外の構
成部材を絶縁部材で形成し、あるいはシールするように
したので、複数の電極部においてなされる基板固定作業
が極めて容易になり、大版の基板に対するメッキ処理に
好適であるのみならず、確実な把持力を保たせることが
できて、均一なメッキ層形成に貢献することができる。
材の複数個所に配置された基板固定部材兼用の電極部に
おいて、その基板を挟んで対向する位置に第１接点部材
と第２接点部材とを設け、可動接点を保持させた第１お
よび／または第２接点部材を締結部材の動作に連動させ
るごとくなして、その動作により第１接点部材と第２接
点部材とを互いに近接させ、双方の接点部材間に基板が
確実に挟持されるようにすると共に、接点部材以外の構
成部材を絶縁部材で形成し、あるいはシールするように
したので、複数の電極部においてなされる基板固定作業
が極めて容易になり、大版の基板に対するメッキ処理に
好適であるのみならず、確実な把持力を保たせることが
できて、均一なメッキ層形成に貢献することができる。
更にまた、本発明では、接点の基板との当接面に、凸部
および凹部を設けたので、これら接点で基板を挟持した
ときに、その喰い込みにより把持力をなお一層強固なも
のとすることができる。
および凹部を設けたので、これら接点で基板を挟持した
ときに、その喰い込みにより把持力をなお一層強固なも
のとすることができる。
第１図は本発明メッキ電極部の構成の一例を示す断面
図、 第２図は第１図の更にＡ−Ａ線断面図、 第３図はその対向位置に設ける接点部材の斜視図、 第４図は本発明メッキ電極部を配置した支持枠部材の一
例を示す斜視図、 第５図は本発明の他の実施例の構成を示す断面図、 第６図はその締結部材の側面図、 第７図は従来の支持枠部材の電極部に基板が取付けられ
た状態の一例を示す側面図、 第８図はその電極部の構成の概要を示す断面図である。 1,10……支持枠部材、 ２……接点電極、 ３……基板、 ４……絶縁シール、 11……電極部、 11A,11B,11C……腕部、 12……固定接点部材、 13……可動接点部材、 12A……凹部、 13A……凸部、 14……案内部、 15……締結部材、 15A……取付部、 15B……取手部、 16……ブラケット、 17……ピン、 23,33……可動接点保持部材、 24A,24B……パッキング、 25……ケーブル。
図、 第２図は第１図の更にＡ−Ａ線断面図、 第３図はその対向位置に設ける接点部材の斜視図、 第４図は本発明メッキ電極部を配置した支持枠部材の一
例を示す斜視図、 第５図は本発明の他の実施例の構成を示す断面図、 第６図はその締結部材の側面図、 第７図は従来の支持枠部材の電極部に基板が取付けられ
た状態の一例を示す側面図、 第８図はその電極部の構成の概要を示す断面図である。 1,10……支持枠部材、 ２……接点電極、 ３……基板、 ４……絶縁シール、 11……電極部、 11A,11B,11C……腕部、 12……固定接点部材、 13……可動接点部材、 12A……凹部、 13A……凸部、 14……案内部、 15……締結部材、 15A……取付部、 15B……取手部、 16……ブラケット、 17……ピン、 23,33……可動接点保持部材、 24A,24B……パッキング、 25……ケーブル。
Claims (1)
- 【請求項１】基板を枠型支持部材の複数個所の固定部で
支持し、該複数個所の固定部に前記基板に対する電解メ
ッキ用の電極を形成したメッキ用電極部において、 前記固定部は、前記基板を挟んで対向する位置に設けた
第１接点部材および第２接点部材を有し、前記第１接点
部材および前記第２接点部材は、その対向面の一方に凹
部、他方に凸部が形成され、前記第２接点部材には、該
第２接点部材と連動して当該第２接点部材と前記第１接
点部材との間に前記基板を挟持させる締結部材を設けた
ことを特徴とするメッキ用電極部。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23097185A JPH0686676B2 (ja) | 1985-10-18 | 1985-10-18 | メツキ用電極部 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23097185A JPH0686676B2 (ja) | 1985-10-18 | 1985-10-18 | メツキ用電極部 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6293397A JPS6293397A (ja) | 1987-04-28 |
| JPH0686676B2 true JPH0686676B2 (ja) | 1994-11-02 |
Family
ID=16916190
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23097185A Expired - Lifetime JPH0686676B2 (ja) | 1985-10-18 | 1985-10-18 | メツキ用電極部 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0686676B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2509417Y2 (ja) * | 1991-11-25 | 1996-09-04 | 株式会社カーメイト | ドリンクホルダ― |
| JP3328535B2 (ja) * | 1997-01-22 | 2002-09-24 | 秀行 小林 | 電気メッキ装置の製品搬送機構 |
| JPH11204460A (ja) * | 1998-01-12 | 1999-07-30 | Ebara Corp | ウエハのメッキ治具 |
| JP4764899B2 (ja) * | 2008-04-25 | 2011-09-07 | 株式会社荏原製作所 | 基板めっき用治具、基板めっき装置 |
| JP4865102B1 (ja) * | 2011-04-19 | 2012-02-01 | 福井工業株式会社 | 基板支持具 |
| CN103334130B (zh) * | 2013-07-22 | 2018-03-16 | 上海宝绿包装材料科技有限公司 | 一种用于电铸镭射镍版的挂具 |
| JP7107215B2 (ja) * | 2018-12-27 | 2022-07-27 | 住友金属鉱山株式会社 | 電解めっき装置および銅張積層板の製造方法 |
-
1985
- 1985-10-18 JP JP23097185A patent/JPH0686676B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6293397A (ja) | 1987-04-28 |
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