WO2021176506A1 - 表示装置およびその製造方法 - Google Patents

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WO2021176506A1
WO2021176506A1 PCT/JP2020/008652 JP2020008652W WO2021176506A1 WO 2021176506 A1 WO2021176506 A1 WO 2021176506A1 JP 2020008652 W JP2020008652 W JP 2020008652W WO 2021176506 A1 WO2021176506 A1 WO 2021176506A1
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conductive layer
layer
reflective conductive
transparent conductive
electrode
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PCT/JP2020/008652
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達 岡部
遼佑 郡司
信介 齋田
市川 伸治
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シャープ株式会社
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Definitions

  • the technology of the present disclosure relates to a display device and a manufacturing method thereof.
  • FIG. 28 is a cross-sectional view showing a main part of the substrate on which the film was formed in the second film forming step in the method for manufacturing the organic EL display device according to the second embodiment.
  • FIG. 29 is a cross-sectional view showing a main part of a substrate on which a resist layer is formed in a second patterning step in the method for manufacturing an organic EL display device according to a second embodiment.
  • FIG. 30 is a cross-sectional view showing a main part of the substrate that has been patterned in the second patterning step in the method for manufacturing the organic EL display device according to the second embodiment.
  • FIG. 31 is a cross-sectional view showing a main part of the organic EL display device according to the first modification of the second embodiment in the second display region.
  • FIG. 32 is a plan view showing the configuration of each light emitting region and its surroundings in the first display region and the second display region of the organic EL display device according to the second embodiment.
  • FIG. 33 is a cross-sectional view showing a main part of the organic EL display device according to the third embodiment in the second display area.
  • FIG. 34 is a cross-sectional view showing a laminated structure of each of the first electrodes in the first display region and the second display region of the organic EL display device according to the third embodiment.
  • FIG. 35 is a plan view showing the configuration of each light emitting region and its surroundings in the first display region and the second display region of the organic EL display device according to the third embodiment.
  • a component such as a certain film, layer, or element is connected to another component such as a film, layer, or element is electrically connected unless otherwise specified. It means that it is.
  • the description means not only a direct connection but also an indirect connection via a component such as a film, a layer, or an element other than those, as long as the purpose of the technique of the present disclosure is not deviated. Including cases.
  • the description also includes the case where another component is integrated with one component, that is, a part of a certain component constitutes another component.
  • a component such as a certain film, layer, or element is the same layer as another component such as a film, layer, or element means that a certain component is a component of another component. It means that they are formed by the same process.
  • a component, such as a film, layer, or element is a layer underneath another component, such as a film, layer, or element, states that one component is formed by a process that precedes the other component.
  • a component such as a film, layer, or element is an upper layer of another component, such as a film, layer, or element, is that one component is formed by a later process than the other component.
  • a component such as a certain film, layer, or element is the same as or equivalent to another component such as a film, layer, or element is described as a certain component. It does not mean that the other components are exactly the same or exactly the same, but that one component and another component fluctuate within the range of manufacturing variation and tolerance. It also includes states that are substantially the same, such as being present, or states that are substantially equivalent.
  • the terminal portion T is arranged on the back side of the organic EL display device 1 by bending the frame region F at the bent portion B, for example, at 180 ° (U-shape).
  • the terminal portion T is connected to a wiring board Cb such as an FPC (Flexible Printed Circuit).
  • the frame area F is provided with a plurality of lead-out wirings Ll drawn out from the display area D to the terminal portion T.
  • the plurality of lead-out wirings Ll are connected to a display control circuit (not shown) at the terminal portion T via the wiring board Cb.
  • a drive circuit Dc including a gate driver Gd and an emission driver Ed is monolithically provided in a portion constituting a side adjacent to the side provided with the terminal portion T (each side on the left and right in FIG. 1). ..
  • the gate driver Gd is arranged on the display area D side of the trench G.
  • the emission driver Ed is arranged on the outer peripheral side of the frame region F with respect to the trench G. The arrangement of the gate driver Gd and the emission driver Ed with respect to the trench G may be reversed.
  • the frame area F is provided with a first frame wiring La (with diagonal hatching on the upper left in FIG. 1) and a second frame wiring Lb (with diagonal hatching on the upper right in FIG. 1).
  • the first frame wiring La is provided in a frame shape on the display area D side of the trench G and the drive circuit Dc.
  • the first frame wiring La extends to the terminal portion T through the open portion of the trench G in the frame region F.
  • a high level power supply voltage (EL VDD) is input to the first frame wiring La via the wiring board Cb at the terminal portion T.
  • the second frame wiring Lb is provided in a substantially C shape on the outer peripheral side of the frame region F with respect to the trench G and the drive circuit Dc. Both ends of the second frame wiring Lb extend to the terminal portion T along the first frame wiring La.
  • a low level power supply voltage (ELVSS) is input to the second frame wiring Lb via the wiring board Cb at the terminal portion T.
  • the organic EL display device 1 employs an active matrix drive system in which light emission in each sub-pixel Sp is controlled by the TFT 30 and an image is displayed by the operation of the TFT 30.
  • the organic EL display device 1 includes a resin substrate layer 10, a TFT layer 20 provided on the resin substrate layer 10, and a light emitting element layer 50 provided on the TFT layer 20. It is provided with a sealing film 80 provided so as to cover the light emitting element layer 50.
  • the second conductive layer 26 is provided on the first interlayer insulating film 25.
  • the second conductive layer 26 includes a plurality of initialization power supply wirings 26il, a plurality of first power supply wirings 26pl, and a plurality of second capacitance electrodes 26ce.
  • the initialization power supply wiring 26il, the first power supply wiring 26pl, and the second capacitance electrode 26ce are, for example, aluminum (Al), tungsten (W), molybdenum (Mo), tantalum (Ta), chromium (Cr), titanium (Ti). It is composed of a single-layer film or a laminated film of a metal layer made of copper (Cu) or the like, and is formed of the same material in the same layer.
  • the source wiring 28sl, source electrode 28se, drain electrode 28de, second power supply wiring 28pl, second lead-out wiring, first frame wiring La and second frame wiring Lb are, for example, aluminum (Al), tungsten (W), molybdenum ( It is composed of a single-layer film or a laminated film of a metal layer made of Mo), tantalum (Ta), chromium (Cr), titanium (Ti), copper (Cu), etc., and is formed of the same material in the same layer.
  • a plurality of gate wirings 24 gl are provided in the display area D and extend parallel to each other in the first direction X.
  • the gate wiring 24 gl is a display wiring for transmitting a gate signal, and is provided for each row of sub-pixel Sp.
  • Each gate wiring 24 gl is connected to the gate driver Gd and is selected at a predetermined timing to be in the active state.
  • a plurality of emission control wirings 24el are provided in the display area D and extend parallel to each other in the first direction X.
  • the emission control wiring 24el is a display wiring for transmitting an emission control signal, and is provided for each row of sub-pixel Sp.
  • Each emission control wiring 24el is connected to the emission driver Ed and is sequentially selected at a predetermined timing to be in an inactive state.
  • the plurality of first lead-out wirings are provided in the frame region F and extend parallel to each other in the second direction Y, which is the vertical direction in FIG. 1 orthogonal to the first direction X.
  • Each first lead-out wiring is a connection wiring for connecting the display wiring such as the source wiring 28sl and the terminal portion T, and constitutes a part of the lead-out wiring Ll.
  • a plurality of initialization power supply wirings 26il are provided in the display area D and extend parallel to each other in the first direction X.
  • the initialization power supply wiring 26il is a display wiring for applying an initialization potential, and is provided for each row of sub-pixel Sp.
  • a plurality of first power supply wirings 26pl are provided in the display area D and extend parallel to each other in the first direction X.
  • the first power supply wiring 26pl is a display wiring that applies a predetermined high level potential, and is provided for each row of the sub-pixel Sp.
  • Each first power supply wiring 26pl is connected to the first frame wiring La via a contact hole formed in the second interlayer insulating film 27.
  • a plurality of second power supply wirings 28pl are provided in the display area D and extend parallel to each other in the second direction Y.
  • the second power supply wiring 28pl is a display wiring that applies a predetermined high level potential, and is provided for each row of sub-pixel Sp.
  • Each second power supply wiring 28pl is connected to the first frame wiring La and intersects each first power supply wiring 26pl.
  • Each second power supply wiring 28pl is connected to the first power supply wiring 26pl at an intersection via a contact hole (not shown) formed in the second interlayer insulating film 27.
  • the plurality of second power supply wirings 28pl together with the plurality of first power supply wirings 26pl constitute a high-level power supply wiring Pl.
  • a plurality of second lead-out wirings are provided in the frame area F and extend parallel to each other in the second direction Y.
  • Each second lead-out wiring is connected to the first lead-out wiring through a contact hole formed in the first interlayer insulating film 25 and the second interlayer insulating film 27.
  • Each second lead-out wiring is a connection wiring for connecting the display wiring such as the source wiring 28 sl and the terminal portion T, and constitutes the lead-out wiring Ll together with the first lead-out wiring.
  • a plurality of gate electrodes 24ge, source electrodes 28se, and drain electrodes 28de are provided for each sub-pixel Sp, and together with the gate insulating film 23, the first interlayer insulating film 25, and the second interlayer insulating film 27, form a TFT 30.
  • At least one first capacitance electrode 24ce and one second capacitance electrode 26ce are provided for each sub-pixel Sp, and the capacitor 32 is formed together with the first interlayer insulating film 25.
  • a plurality of TFTs 30 are provided for each sub-pixel Sp. That is, the TFT layer 20 includes a plurality of TFTs 30. Each of the plurality of TFTs 30 is a top gate type TFT. Each TFT 30 is composed of a semiconductor layer 22, a gate insulating film 23, a gate electrode 24ge, a first interlayer insulating film 25 and a second interlayer insulating film 27, a source electrode 28se and a drain electrode 28de.
  • the semiconductor layer 22 is provided in an island shape.
  • the semiconductor layer 22 is formed of, for example, an oxide semiconductor such as low temperature polysilicon (LTPS: Low Temperature polysilicon) or indium gallium zinc oxide (In—Ga—Zn—O system).
  • LTPS Low Temperature polysilicon
  • Indium gallium zinc oxide In—Ga—Zn—O system
  • the gate insulating film 23 is provided so as to cover the semiconductor layer 22.
  • the gate insulating film 23 is composed of, for example, a single-layer film or a laminated film of an inorganic insulating layer made of silicon oxide, silicon nitride, silicon oxynitride, or the like.
  • the gate electrode 24ge is provided at a position where it overlaps a part (channel region) of the semiconductor layer 22 via the gate insulating film 23.
  • the first interlayer insulating film 25 is provided so as to cover the gate wiring 24 gl, the gate electrode 24 g, the emission control wiring 24 el, and the first capacitance electrode 24 ce.
  • the second interlayer insulating film 27 is provided on the first interlayer insulating film 25 so as to cover the initialization power supply wiring 26il, the first power supply wiring 26pl, and the second capacitance electrode 26ce.
  • the first interlayer insulating film 25 and the second interlayer insulating film 27 are each composed of, for example, a single-layer film or a laminated film of an inorganic insulating layer made of silicon oxide, silicon nitride, silicon oxynitride, or the like.
  • the source electrode 28se and the drain electrode 28de are separated from each other.
  • the source electrode 28se and the drain electrode 28de are located in a region overlapping the gate electrode 24ge in the semiconductor layer 22 via a contact hole 31 formed in the gate insulating film 23, the first interlayer insulating film 25, and the second interlayer insulating film 27. It is connected to different parts (source area, drain area) at positions sandwiching.
  • At least one capacitor 32 is provided for each sub-pixel Sp. That is, the TFT layer 20 includes a plurality of capacitors 32. Each of the plurality of capacitors 32 is composed of a first capacitance electrode 24ce, a first interlayer insulating film 25, and a second capacitance electrode 26ce.
  • the first capacitance electrode 24ce is connected to three TFTs 30 (first TFT30a, second TFT30b, and fourth TFT30d) among a plurality of TFTs 30 provided for each sub-pixel Sp.
  • the second capacitance electrode 26ce is provided at a position where it overlaps with the first capacitance electrode 24ce via the first interlayer insulating film 25.
  • the second capacitance electrode 26ce is connected to the high level power supply wiring Pl.
  • FIG. 5 is an equivalent circuit diagram showing the pixel circuit 40.
  • a plurality of TFTs 30 and capacitors 32 provided for each sub-pixel Sp constitute a pixel circuit 40 as shown in FIG.
  • the pixel circuit 40 includes a gate signal supplied from the gate wiring 24 gl, an emission signal supplied from the emission control wiring 24 el, a source signal supplied from the source wiring 28 sl, and initialization supplied from the initialization power supply wiring 26 il. Based on the potential and the high-level potential supplied from the high-level power supply wiring Pl, the light emission in the light-emitting region E of the corresponding sub-pixel Sp is controlled.
  • the pixel circuit 40 shown in FIG. 5 is a pixel circuit 40 of the sub-pixel Sp in the mth row and the nth column (m and n are positive integers).
  • the source wiring 28sl in which (m) is added to the reference code is the source wiring 28sl corresponding to the sub-pixel Sp in the m-th row.
  • the gate wiring 24gl and the emission control wiring 24el in which (n) is added to the reference code are the gate wiring 24gl and the emission control wiring 24el corresponding to the sub-pixel Sp in the nth row.
  • the gate wiring 24 gl in which (n-1) is added to the reference code is the gate wiring 24 gl scanned immediately before the gate wiring 24 gl in the nth row.
  • the plurality of TFTs 30 constituting the pixel circuit 40 include the first TFT30a, the second TFT30b, the third TFT30c, the fourth TFT30d, the fifth TFT30e, the sixth TFT30f, and the seventh TFT30g. All of the first to seventh TFTs 30a, 30b, 30c, 30d, 30e, 30f, and 30g are, for example, P-channel type TFTs.
  • the gate electrode 24ge corresponds to the control terminal
  • one of the source electrode 28se and the drain electrode 28de corresponds to the first conduction terminal Na.
  • the other electrode corresponds to the second conduction terminal Nb.
  • the first TFT 30a is a first TFT for initialization provided between the gate wiring 24 gl (n-1), the initialization power supply wiring 26 il, and the capacitor 32.
  • the control terminal of the first TFT 30a is connected to the gate wiring 24 gl (n-1).
  • the first conduction terminal Na of the first TFT 30a is connected to the initialization power supply wiring 26il.
  • the second conduction terminal Nb of the first TFT 30a is connected to the first capacitance electrode 24ce of the capacitor 32.
  • the first TFT 30a initializes the voltage applied to the control terminal of the fourth TFT 30d by applying the voltage of the initialization power supply wiring 26il to the capacitor 32 according to the selection of the gate wiring 24gl (n-1).
  • the second TFT 30b is a TFT for threshold voltage compensation provided between the gate wiring 24 gl (n) and the fourth TFT 30d.
  • the control terminal of the second TFT 30b is connected to the gate wiring 24 gl.
  • the first conductive terminal Na of the second TFT 30b is connected to the second conductive terminal Nb of the fourth TFT 30d.
  • the second conduction terminal Nb of the second TFT 30b is connected to the control terminal of the fourth TFT 30d.
  • the second TFT 30b makes the fourth TFT 30d diode-connected and compensates for the threshold voltage of the fourth TFT 30d according to the selection of the gate wiring 24 gl (n).
  • the third TFT 30c is a write control TFT provided between the gate wiring 24 gl (n), the source wiring 28 sl (m), and the fourth TFT 30d.
  • the control terminal of the third TFT 30c is connected to the gate wiring 24 gl (n).
  • the first conduction terminal Na of the third TFT 30c is connected to the source wiring 28 sl (m).
  • the second conductive terminal Nb of the third TFT 30c is connected to the first conductive terminal Na of the fourth TFT 30d.
  • the third TFT 30c applies the voltage of the source wiring 28 sl (m) to the first conduction terminal Na of the fourth TFT 30d according to the selection of the gate wiring 24 gl.
  • the fourth TFT 30d is a driving TFT provided between the first TFT 30a, the second TFT 30b, the capacitor 32, the third TFT 30c, the fifth TFT 30e, and the sixth TFT 30f.
  • the control terminal of the fourth TFT 30d is connected to the second conductive terminal Nb of the second TFT 30b and the second conductive terminal Nb of the first TFT 30a.
  • the first conductive terminal Na of the fourth TFT 30d is connected to the second conductive terminal Nb of the third TFT 30c and the second conductive terminal Nb of the fifth TFT 30e.
  • the second conductive terminal Nb of the fourth TFT 30d is connected to the first conductive terminal Na of the second TFT 30b and the first conductive terminal Na of the sixth TFT 30f.
  • the fourth TFT 30d applies a drive current corresponding to the voltage applied between the control terminal of the own element and the first conduction terminal Na to the first conduction terminal Na of the sixth TFT 30f.
  • the fifth TFT 30e is a TFT for power supply provided between the emission control wiring 24el (n), the high-level power supply wiring Pl, and the fourth TFT 30d.
  • the control terminal of the fifth TFT 30e is connected to the emission control wiring 24el (n).
  • the first conduction terminal Na of the fifth TFT 30e is connected to the high-level power supply wiring Pl.
  • the second conductive terminal Nb of the fifth TFT 30e is connected to the first conductive terminal Na of the fourth TFT 30d.
  • the fifth TFT 30e applies the potential of the high-level power supply wiring Pl to the first conduction terminal Na of the fourth TFT 30d according to the selection of the emission control wiring 24el.
  • the 7th TFT 30g is a TFT for the second initialization provided between the gate wiring 24gl (n), the initialization power supply wiring 26il, and the organic EL element 60.
  • the control terminal of the 7th TFT 30g is connected to the gate wiring 24gl (n).
  • the second conduction terminal Nb of the 7th TFT 30g is connected to the initialization power supply wiring 26il.
  • the first conduction terminal Na of the 7th TFT 30g is connected to the first electrode 51 of the organic EL element 60.
  • the 7th TFT 30g resets the electric charge accumulated in the first electrode 51 of the organic EL element 60 according to the selection of the gate wiring 24gl.
  • the capacitor 32 is a data holding element provided between the high-level power supply wiring Pl and the first TFT 30a and the fourth TFT 30d.
  • the first capacitance electrode 24ce of the capacitor 32 is connected to the control terminal of the fourth TFT 30d, the second conduction terminal Nb of the first TFT 30a, and the second conduction terminal Nb of the second TFT 30b.
  • the second capacitance electrode 26ce of the capacitor 32 is connected to the high level power supply wiring Pl.
  • the capacitor 32 is charged with the voltage of the source wiring 28 sl when the gate wiring 24 gl is in the selected state. By holding the voltage written by the storage, the capacitor 32 maintains the voltage applied to the control terminal of the fourth TFT 30d when the gate wiring 24 gl is in the non-selected state.
  • the flattening film 29 covers the third conductive layer 28 (source wiring 28 sl, second power supply wiring 28 pl, source electrode 28se, drain electrode 28 de) other than a part of the drain electrode 28 de of the sixth TFT 30f in the display region D.
  • the surface of the TFT layer 20 is flattened so as to reduce steps due to the surface shapes of the first TFT30a, the second TFT30b, the third TFT30c, the fourth TFT30d, the fifth TFT30e, the sixth TFT30f, and the seventh TFT30g.
  • the flattening film 29 is formed of an organic material such as a polyimide resin. In the flattening film 29, a contact hole 33 for connecting the first electrode 51 to the drain electrode 28de of the sixth TFT 30f is formed for each organic EL element 60.
  • the first electrode 51 is provided for each organic EL element 60 (for each sub-pixel Sp).
  • the first electrode 51 is connected to the drain electrode 28de of the sixth TFT 30f in the corresponding sub-pixel Sp via a contact hole 33 formed in the flattening film 29.
  • the first electrode 51 functions as an anode for injecting holes into the organic EL layer 53.
  • the first electrode 51 is preferably formed of a material having a large work function in order to improve the hole injection efficiency into the organic EL layer 53.
  • the first lower transparent conductive layer 61 is a layer for suppressing corrosion of the first reflective conductive layer 62 and improving the adhesion of the first electrode 51 to the flattening film 29.
  • the first lower transparent conductive layer 61 has a light transmittance for transmitting light.
  • the first lower transparent conductive layer 61 is formed of, for example, at least one transparent conductive oxide selected from indium tin oxide (ITO) and indium zinc oxide (IZO).
  • the thickness t11 of the first lower transparent conductive layer 61 is, for example, about 10 nm to 20 nm.
  • the first reflective conductive layer 62 is provided on the first lower transparent conductive layer 61.
  • the first reflective conductive layer 62 has a first lower reflective conductive layer 63 and a first upper reflective conductive layer 64 provided on the first lower reflective conductive layer 63. Both the first lower reflective conductive layer 63 and the first upper reflective conductive layer 64 have light reflectivity for reflecting light.
  • the first lower reflective conductive layer 63 and the first upper reflective conductive layer 64 are each formed of at least one metal material selected from silver (Ag), a silver alloy, aluminum (Al), and an aluminum alloy.
  • the first upper reflective conductive layer 64 is thinner than the first lower reflective conductive layer 63 (t14 ⁇ t13).
  • the second lower transparent conductive layer 71, the second reflective conductive layer 72, and the second upper transparent conductive layer 75 have the same shape and the same area.
  • the peripheral end faces of the second lower transparent conductive layer 71, the second reflective conductive layer 72, and the second upper transparent conductive layer 75 are the second lower transparent conductive layer 71, the second reflective conductive layer 72, and the second upper transparent conductive layer 75.
  • the conductive layers 75 are aligned in the stacking direction (thickness direction of the first electrode 51).
  • the second reflective conductive layer 72 is provided thinner than the first reflective conductive layer 62 over the entire inside of the opening 68 of the edge cover 52.
  • the second lower transparent conductive layer 71, the second reflective conductive layer 72, and the second upper transparent conductive layer 75 are the first lower transparent conductive layer 61, the first upper reflective conductive layer 64, and the first upper transparent conductive layer 65. It is formed using wet etching in the same patterning process.
  • the thickness t21 of the second lower transparent conductive layer 71 and the thickness t25 of the second upper transparent conductive layer 75 may be equivalent to each other from the viewpoint of stabilizing the shape controllability of the first electrode 51 by wet etching. preferable.
  • the edge cover 52 is common to the first display area D1 and the second display area D2. As shown in FIG. 4, the edge cover 52 partitions the first electrodes 51 of the adjacent sub-pixels Sp. The edge cover 52 is formed in a grid pattern as a whole and covers the peripheral edge of each first electrode 51. Examples of the material of the edge cover 52 include organic materials such as polyimide resin, acrylic resin, polysiloxane resin, and novolak resin. A part of the surface of the edge cover 52 projects upward to form the photo spacer 69.
  • the hole injection layer 53a is also called an anode buffer layer.
  • the hole injection layer 53a brings the energy levels of the first electrode 51 and the organic EL layer 53 closer to each other to improve the efficiency of injecting holes from the first electrode 51 into the organic EL layer 53.
  • Examples of the material of the hole injection layer 53a include triazole derivative, oxadiazole derivative, imidazole derivative, polyarylalkane derivative, pyrazoline derivative, phenylenediamine derivative, oxazole derivative, styrylanthracene derivative, fluorenone derivative, hydrazone derivative, and stylben derivative. And so on.
  • the hole transport layer 53b has a function of efficiently moving holes to the light emitting layer 53c.
  • Examples of the material of the hole transport layer 53b include porphyrin derivatives, aromatic tertiary amine compounds, styrylamine derivatives, polyvinylcarbazoles, poly-p-phenylene vinylene, polysilanes, triazole derivatives, oxadiazole derivatives, and imidazole derivatives.
  • the electron injection layer 53e is also called a cathode buffer layer.
  • the electron injection layer 53e has a function of bringing the energy levels of the second electrode 54 and the organic EL layer 53 closer to each other to improve the efficiency of electron injection from the second electrode 54 into the organic EL layer 53.
  • Examples of the material of the electron injection layer 53e include inorganic alkalis such as lithium fluoride (LiF), magnesium fluoride (MgF2), calcium fluoride (CaF2), strontium fluoride (SrF2), and barium fluoride (BaF2). Examples include compounds, aluminum oxide (Al2O3), strontium oxide (SrO) and the like.
  • the second electrode 54 has the same configuration in the first display region D1 and the second display region D2.
  • the second electrode 54 is commonly provided in the plurality of sub-pixels Sp.
  • the second electrode 54 covers the organic EL layer 53 and the edge cover 52, and overlaps the first electrode 51 via the organic EL layer 53.
  • the second electrode 54 functions as a cathode for injecting electrons into the organic EL layer 53.
  • the second electrode 54 has a light transmittance that transmits light.
  • Examples of the material of the second electrode 54 include silver (Ag), aluminum (Al), vanadium (V), calcium (Ca), titanium (Ti), yttrium (Y), sodium (Na), and manganese (Mn). , Indium (In), Magnesium (Mg), Lithium (Li), Yttrium (Yb), Lithium Fluoride (LiF) and the like.
  • the second electrode 54 may be formed of, for example, a conductive oxide such as tin oxide (SnO), zinc oxide (ZnO), indium tin oxide (ITO), and indium zinc oxide (IZO).
  • the second electrode 54 is preferably formed of a material having a small work function in order to improve the efficiency of electron injection into the organic EL layer 53.
  • the second electrode 54 may be formed by laminating a plurality of layers made of the above materials.
  • the sealing film 80 is provided so as to cover the plurality of organic EL elements 60.
  • the sealing film 80 protects the organic EL layer 53 of each organic EL element 60 from moisture, oxygen, and the like.
  • the sealing film 80 includes a first inorganic sealing layer 81 provided so as to cover the second electrode 54, an organic sealing layer 82 provided on the first inorganic sealing layer 81, and an organic sealing layer 82. It is provided with a second inorganic sealing layer 83 provided above.
  • the organic EL display device 1 having the above configuration, when the corresponding emission control wiring 24el is first selected and inactive in each sub-pixel Sp, the organic EL element 60 is in a non-light emitting state. Then, when the gate wiring 24 gl to be scanned immediately before the gate wiring 24 gl corresponding to the organic EL element 60 in the non-light emitting state is selected, a gate signal is input to the first TFT 30a via the gate wiring 24 gl. The first TFT 30a and the fourth TFT 30d are turned on, and the voltage of the initialization power supply wiring 26il is applied to the capacitor 32. As a result, the electric charge of the capacitor 32 is discharged, and the voltage applied to the gate electrode 24ge of the fourth TFT 30d is initialized.
  • the second TFT 30b and the third TFT 30c are turned on and correspond to the source signal transmitted via the source wiring 28 sl.
  • a predetermined voltage is written to the capacitor 32 via the fourth TFT 30d in the diode-connected state.
  • the 7th TFT 30g is turned on, the voltage of the initialization power supply wiring 26il is applied to the first electrode 51 of the organic EL element 60, and the electric charge accumulated in the first electrode 51 is reset.
  • the emission control wiring 24el corresponding to the organic EL element 60 in the non-light emitting state is deselected and becomes active, the 5th TFT 30e and the 6th TFT 30f are turned on, and the voltage applied to the gate electrode 24ge of the 4th TFT 30d is adjusted.
  • the drive current is supplied to the organic EL element 60 from the high-level power supply wiring Pl. In this way, each organic EL element 60 emits light with a brightness corresponding to the drive current. As a result, the organic EL display device 1 displays an image in the display area D.
  • FIG. 11 is a flow chart schematically showing a manufacturing method of the organic EL display device 1.
  • FIG. 12 is a flow chart schematically showing the light emitting element layer forming step ST2.
  • the manufacturing method of the organic EL display device 1 includes a TFT layer forming step ST1, a light emitting element layer forming step ST2, a sealing film forming step ST3, a flexible step ST4, and a mounting step ST5. including.
  • the resin substrate layer 10 is formed by applying a resin material or the like on the glass substrate 100. Then, on the substrate on which the resin substrate layer 10 is formed, the base coat film 21 and the semiconductor layer 22 are used by using well-known film forming techniques such as plasma CVD (Chemical Vapor Deposition) method and sputtering method and patterning techniques such as photolithography.
  • plasma CVD Chemical Vapor Deposition
  • sputtering method patterning techniques such as photolithography.
  • Gate insulating film 23 first conductive layer 24 (gate wiring 24 gl, gate electrode 24 g, emission control wiring 24 el, first capacitance electrode 24 ce and first lead-out wiring), first interlayer insulating film 25, second conductive layer 26 ( Initialization power supply wiring 26il, first power supply wiring 26pl and second capacitance electrode 26ce), second interlayer insulating film 27, third conductive layer 28 (source wiring 28sl, source electrode 28se, drain electrode 28de, second power supply wiring 28pl, The second lead-out wiring, the first frame wiring La and the second frame wiring Lb) and the flattening film 29 are formed in this order.
  • the TFT layer 20 including the plurality of TFTs 30 is formed on the resin substrate layer 10.
  • the light emitting element layer forming step ST2 is performed after the TFT layer forming step ST1. As shown in FIG. 12, the light emitting element layer forming step ST2 includes a first electrode forming step ST2a, an edge cover forming step ST2b, an organic EL layer forming step ST2c, and a second electrode forming step ST2d.
  • the first electrode forming step ST2a includes a first film forming step ST2a-1, a first patterning step ST2a-2, a second film forming step ST2a-3, and a second patterning step ST2a-4.
  • FIG. 13 is a cross-sectional view showing a main part of the substrate formed by the first film forming step ST2a-1 in the method for manufacturing the organic EL display device 1 according to the first embodiment.
  • the first transparent conductive film 101 and the first reflective conductive film 102 are respectively single-layered on the substrate on which the TFT layer 20 is formed, for example, by a sputtering method.
  • the film is formed in order so that multiple layers are laminated.
  • the thickness of the first transparent conductive film 101 to be formed here is, for example, about 10 nm to 20 nm.
  • the thickness of the first reflective conductive film 102 is, for example, about 70 nm to 90 nm.
  • FIG. 14 is a cross-sectional view showing a main part of the substrate on which the resist layer 103 is formed in the first patterning step ST2a-2 in the manufacturing method of the organic EL display device 1 according to the first embodiment.
  • FIG. 15 is a cross-sectional view showing a main part of the substrate patterned in the first patterning step ST2a-2 in the manufacturing method of the organic EL display device 1 according to the first embodiment.
  • the first patterning step ST2a-2 is performed after the first film forming step ST2a-1.
  • the first reflective conductive film 102 is patterned by photolithography, and a plurality of first lower reflections from the first reflective conductive film 102 are formed in the first display region D1 of the display region D.
  • the conductive layer 63 is formed in a predetermined pattern.
  • the photosensitive resin material is applied onto the substrate on which the first transparent conductive film 101 and the first reflective conductive film 102 are formed by a known coating method such as a spin coating method. Subsequently, the coating film of the photosensitive resin material is prebaked, exposed, developed, and post-baked to pattern the coating film. As shown in FIG. 14, the first display region D1 is the first. An island-shaped resist layer 103 is formed in each region where the electrode 51 is formed.
  • the first reflective conductive film 102 is wet-etched by exposing the first reflective conductive film 102 to an etching solution using the resist layer 103 as a mask.
  • a kind of etching solution having a relatively high selection ratio of the material of the first reflective conductive film 102 to the material of the first transparent conductive film 101 is used.
  • the first reflective conductive film 102 is selectively corroded and dissolved by wet etching using such an etching solution to pattern the first reflective conductive film 102.
  • the resist layer 103 is removed by ashing. In this way, as shown in FIG. 15, each first lower reflective conductive layer 63 is formed from the first reflective conductive film 102 in the first display region D1.
  • the second film forming step ST2a-3 is performed after the first patterning step ST2a-2.
  • the second reflective conductive film 104 and the second transparent conductive film 105 are respectively formed as a single layer on the substrate on which the first lower reflective conductive layer 63 is formed, for example, by a sputtering method.
  • a plurality of films are formed in order so as to be laminated.
  • the thickness of the second reflective conductive film 104 formed here is, for example, about 10 nm to 50 nm.
  • the thickness of the second transparent conductive film 105 is equivalent to the thickness of the first transparent conductive film 101 (for example, about 10 nm to 20 nm).
  • FIG. 17 is a cross-sectional view showing a main part of the substrate on which the resist layer 106 is formed in the second patterning step ST2a-4 in the manufacturing method of the organic EL display device 1 according to the first embodiment.
  • FIG. 18 is a cross-sectional view showing a main part of the substrate patterned in the second patterning step ST2a-4 in the manufacturing method of the organic EL display device 1 according to the first embodiment.
  • the second patterning step ST2a-4 is performed after the second film forming step ST2a-3.
  • the first transparent conductive film 101, the second reflective conductive film 104, and the second transparent conductive film 105 are patterned by photolithography, and each of the first display area D1 and the second display area D2 is formed.
  • a plurality of first electrodes 51 are formed in a predetermined pattern.
  • the first transparent conductive film 101 and the second reflective conductive film 104 are exposed.
  • Wet etching is applied to 104 and the second transparent conductive film 105.
  • a kind of etching solution having a relatively low selection ratio between the materials of the first transparent conductive film 101 and the second transparent conductive film 105 and the material of the second reflective conductive film 104 is used.
  • the thickness of the first transparent conductive film 101 and the thickness of the second transparent conductive film 105 are different, there is a difference between the etching rate of the first transparent conductive film 101 and the etching rate of the second transparent conductive film 105. Therefore, the amount of inward shift of the outer peripheral portions of the first lower transparent conductive layer 61 and the second lower transparent conductive layer 71 and the outer peripheral portions of the first upper transparent conductive layer 65 and the second upper transparent conductive layer 75 are generated. The amount of inward shift is different. As a result, the shapes of the first lower transparent conductive layer 61 and the first upper transparent conductive layer 65, and the shapes of the second lower transparent conductive layer 71 and the second upper transparent conductive layer 75 may not match.
  • the etching rate of the first transparent conductive film 101 and the thickness of the second transparent conductive film 105 Etching rate is the same. Therefore, it is easy to match the shapes of the first lower transparent conductive layer 61 and the first upper transparent conductive layer 65, and the shapes of the second lower transparent conductive layer 71 and the second upper transparent conductive layer 75, respectively.
  • the first lower transparent conductive layer 61, the first lower reflective conductive layer 63, the first upper reflective conductive layer 64, and the first upper transparent conductive layer 65 are laminated on the first display region D1.
  • a plurality of first electrodes 51 are formed. Further, a plurality of first electrodes 51 formed by laminating a second lower transparent conductive layer 71, a second reflective conductive layer 72, and a second upper transparent conductive layer 75 are formed in the second display region D2.
  • the edge cover forming step ST2b is performed after the first electrode forming step ST2a.
  • the photosensitive resin material is applied onto the substrate on which the first electrode 51 is formed by a known coating method such as a spin coating method. Subsequently, the coating film of the photosensitive resin material is prebaked, exposed, developed and post-baked, and the coating film is patterned to form the edge cover 52 and the second wall layer.
  • the organic EL layer forming step ST2c is performed after the edge cover forming step ST2b.
  • holes are formed on the substrate on which the edge cover 52 is formed by using a film forming mask called FMM (Fine Metal Mask) that can be patterned in sub-pixel units, for example, by a vacuum deposition method.
  • FMM Film forming mask
  • the injection layer 53a, the hole transport layer 53b, the light emitting layer 53c, the electron transport layer 53d, and the electron injection layer 53e are formed in this order to form the organic EL layer 53 on each first electrode 51.
  • Some of the hole injection layer 53a, the hole transport layer 53b, the electron transport layer 53d, and the electron injection layer 53e are formed of a CMM (Common Metal Mask) or an open mask that can be patterned in units of display panels.
  • a film may be formed using a film mask.
  • the flexible step ST4 is performed after the sealing film forming step ST3.
  • the glass substrate 100 is peeled off from the lower surface of the resin substrate layer 10 by irradiating the lower surface of the resin substrate layer 10 with laser light from the glass substrate 100 side.
  • the back surface protective film 11 is attached to the lower surface of the resin substrate layer 10 from which the glass substrate 100 has been peeled off.
  • a surface protective film is attached to the surface of the substrate on which the sealing film 80 is formed.
  • the second reflective conductive layer 72 formed of the same material as the layer 64) and the second upper transparent conductive layer 72 formed of the same material as the first upper transparent conductive layer 65 on the second reflective conductive layer 72.
  • the second reflective conductive layer 72 includes the conductive layer 75, and the second reflective conductive layer 72 is thinner than the first reflective conductive layer 62 inside the opening 68 of the edge cover 52.
  • the second reflective conductive layer 72 is thinner than the first reflective conductive layer 62 over the entire inside of the opening 68 of the edge cover 52. , The amount of light transmitted through the first electrode 51 inside the opening 68 of the edge cover 52 can be suitably increased.
  • the feature (3) of the organic EL display device 1 according to the first embodiment is that the first reflective conductive layer 62 has the first lower reflective conductive layer 63 and the first reflective conductive layer 63 over the entire inside of the opening 68 of the edge cover 52. 1 It is composed of a first upper reflective conductive layer 64 provided on the lower reflective conductive layer 63, and the second reflective conductive layer 72 is formed of the same material as the first upper reflective conductive layer 64. That is.
  • the first upper side where the second reflective conductive layer 72 is one of the two conductive layers constituting the first reflective conductive layer 62 Since the same layer as the reflective conductive layer 64 is formed of the same material, the second reflective conductive layer 72 can be easily made thinner than the first reflective conductive layer 62 in the manufacture of the organic EL display device 1. Thereby, the second organic EL element 60B having the second reflective conductive layer 72 can be realized by a relatively simple manufacturing flow.
  • the feature (4) of the organic EL display device 1 according to the first embodiment is that the first reflective conductive layer 62 and the second reflective conductive layer 72 are made of silver (Ag), silver alloy, aluminum (Al) and aluminum alloy, respectively. It is made of at least one metallic material of choice.
  • the first reflective conductive layer 62 and the second reflective conductive layer 72 are each formed of a metal material having a relatively high reflectance of visible light. Therefore, it is advantageous to increase the light extraction efficiency of the first organic EL element 60A and the second organic EL element 60B, which are top emission types, respectively.
  • the feature (5) of the organic EL display device 1 according to the first embodiment is that the first lower transparent conductive layer 61 and the second lower transparent conductive layer 71, the first upper transparent conductive layer 65, and the second upper transparent conductive layer 65.
  • the layer 75 is formed of at least one transparent conductive oxide selected from indium tin oxide (ITO) and indium zinc oxide (IZO), respectively.
  • the first lower transparent conductive layer 61 and the second lower transparent conductive layer 71, the first upper transparent conductive layer 65 and the second upper side are formed of a transparent conductive oxide having a relatively high visible light transmittance. Since each of the transparent conductive layer 75 is formed of a transparent conductive oxide having a relatively high visible light transmittance, the amount of light transmitted through the first electrode 51 of the second organic EL element 60B is suitably increased. be able to. This is advantageous for increasing the light transmittance in the second display area D2.
  • the feature (7) of the organic EL display device 1 according to the first embodiment is the area of the opening 68 for exposing the first electrode 51 of the first organic EL element 60A in the edge cover 52 and the area of the second organic EL in the edge cover 52.
  • the area of the opening 68 that exposes the first electrode 51 of the element 60B is equal to each other.
  • the feature (8) of the organic EL display device 1 according to the first embodiment is the area of the organic EL layer 53 of the first organic EL element 60A and the area of the organic EL layer 53 of the second organic EL element 60B in a plan view. Is equivalent to each other.
  • the first organic EL element 60A and the second organic EL element 60B have the area of the first electrode 51 and the edge cover. Since the area of the opening 68 that exposes the first electrode 51 in 52 and the area of the organic EL layer 53 are equal to each other, in the first display area D1 and the second display area D2, of each sub-pixel Sp. The area of the light emitting area E can be made uniform, and the screen resolution can be unified.
  • the organic EL layers 53 and the second display area D2 of the first display area D1 having the same area in plan view.
  • Each organic EL layer 53 can be formed together by a vapor deposition method without changing the film-forming mask. This contributes to the efficient and inexpensive production of the organic EL display device 1.
  • the film-forming mask used in the thin-film deposition method is generally relatively thin, and is used in a state of being pulled and fixed by an appropriate tension. Therefore, when the film-forming mask is used, the shape of the opening through which the film-forming material of the mask passes is distorted. If the strain of the opening shape varies, the position of the opening shifts.
  • the shape and size of the opening of the film-forming mask can be unified, so that the opening shape when the film-forming mask is used. It is possible to suppress the variation of the strain of the opening and reduce the misalignment of the opening.
  • the feature of the manufacturing method of the organic EL display device 1 according to the first embodiment is that the first electrode forming step ST2a performs the first transparent conductive film 101 and the first reflective conductive film 102 on the substrate on which the TFT layer 20 is formed.
  • the first film forming step ST2a-1 and the first reflective conductive film 102 are patterned, and the first lower reflective conductive layer 63 from the first reflective conductive film 102 is formed in the first display region D1.
  • the first lower transparent conductive layer 61 is formed from the first transparent conductive film 101
  • the first upper reflective conductive layer 64 is formed from the second reflective conductive film 104
  • the first upper transparent conductive layer 104 is formed from the second transparent conductive film 105.
  • the layer 65 is formed, and the first transparent conductive film 101 to the second lower transparent conductive layer 71 are formed in the second display region D2 so as to overlap each other, and the second reflective conductive film 104 to the second reflective conductive layer.
  • 72 is included, and the second patterning step ST2a-4 for forming the second upper transparent conductive layer 75 from the second transparent conductive film 105 is included.
  • the first lower reflective conductive layer 63 is formed in the first patterning step ST2a-2, and the first in the second patterning step ST2a-4.
  • the lower transparent conductive layer 61, the first upper reflective conductive layer 64 and the first upper transparent conductive layer 65 are formed, and the second lower transparent conductive layer 71, the second reflective conductive layer 72 and the second upper transparent conductive layer 75 are formed. Since it is formed, the first electrode 51 of the first organic EL element 60A and the first electrode 51 of the second organic EL element 60B having different layer configurations can be formed together. This contributes to the efficient and inexpensive production of the organic EL display device 1.
  • the first film is formed. 2 Since the second reflective conductive film 104 and the second transparent conductive film 105 are patterned in the patterning step ST2a-4, the surface of the first reflective conductive layer 62 that reflects light from the organic EL layer 53 and the second reflective conductive film The surface of the layer 72 that reflects the light from the organic EL layer 53 is covered with the second transparent conductive film 105 from the film formation of the second reflective conductive film 104 to the patterning without being exposed to the atmosphere. I'm done.
  • the surface of the first reflective conductive layer 62 and the surface of the second reflective conductive layer 72 are exposed to the atmosphere without being covered with a transparent conductive film or the like, they may be oxidized or roughened by reacting with oxygen in the atmosphere. Occurs an event. Such an event reduces the reflectance of light from the organic EL layer 53 by the first reflective conductive layer 62 and the second reflective conductive layer 72. As a result, the light extraction efficiency of the first organic EL element 60A and the second organic EL element 60B is lowered.
  • the surface of the first upper reflective conductive layer 64 and the surface of the second reflective conductive layer 72 are second transparent conductive from the film formation of the second reflective conductive film 104 to the patterning. Since it is covered with the film 105 and is not exposed to the atmosphere, the surfaces of the first upper reflective conductive layer 64 and the second reflective conductive layer 72 are oxidized or roughened by reacting with oxygen in the atmosphere. Can be suppressed. Thereby, the light extraction efficiency of the first organic EL element 60A and the second organic EL element 60B can be improved.
  • FIG. 19 is a cross-sectional view showing a main part of the organic EL display device 1 according to the first embodiment in the second display area D2.
  • the first electrode 51 of the first organic EL element 60A and the first electrode 51 of the second organic EL element 60B have the same shape as each other, and the area of the first electrode 51 of the second organic EL element 60B. Is smaller than the area of the first electrode 51 of the first organic EL element 60A.
  • the organic EL layer 53 of the first organic EL element 60A and the organic EL layer 53 of the second organic EL element 60B have the same shape as each other, and the area of the organic EL layer 53 of the first organic EL element 60A.
  • the area of the organic EL layer 53 of the second organic EL element 60B are equivalent to each other.
  • the "area of the organic EL layer 53" as used herein means the area of the organic EL layer 53 in which the individual light emitting layers 72 are provided in a plan view.
  • the feature (1) of the organic EL display device 1 according to the second modification is that the area of the first electrode 51 of the second organic EL element 60B is the area of the first electrode 51 of the first organic EL element 60A in a plan view. Is smaller than.
  • the area of the first electrode 51 of the second organic EL element 60B is smaller than the area of the first electrode 51 of the first organic EL element 60A. Therefore, in the second display region D2, the region where the light from the front side is blocked by the first electrode 51 can be reduced, and more light can be transmitted through the sub-pixel Sp from the front side to the back side. This contributes to increasing the light that can be used for shooting the camera 3 and improving the shooting performance of the in-camera 3 combined with the organic EL display device 1.
  • the feature (2) of the organic EL display device 1 according to the second modification is the same as the feature (8) of the organic EL display device 1 according to the first embodiment, and the feature (8) of the organic EL display device 1 according to the first embodiment is the same.
  • the same effect as that of the feature (8) can be obtained.
  • the feature (3) of the organic EL display device 1 according to the second modification is that the area of the opening 68 that exposes the first electrode 51 of the first organic EL element 60A in the edge cover 52 is the area of the second organic EL element 60B. It is larger than the area of the opening 68 that exposes the first electrode 51.
  • the area of the light emitting area E of the sub pixel Sp in the first display area D1 is the light emitting area E of the sub pixel Sp in the second display area D2. Therefore, the brightness of the sub-pixel Sp in the first display area D1 can be made higher than that of the sub-pixel Sp in the second display area D2. As a result, the brightness of the image display in the first display area D1 can be ensured.
  • the configuration of the first electrode 51 of the first organic EL element 60A and the configuration of the first electrode 51 of the second organic EL element 60B are different from those of the first embodiment.
  • the organic EL display device 1 is the same as the first embodiment except that the configurations of the first electrodes 51 of the first organic EL element 60A and the second organic EL element 60B are different from those of the first embodiment. Since it is configured in the above, the same configuration portion will be left to the description of the first embodiment, and the detailed description thereof will be omitted.
  • FIG. 21 is a cross-sectional view showing a main part of the organic EL display device 1 according to the second embodiment in the first display area D1.
  • FIG. 22 is a cross-sectional view showing a main part of the organic EL display device 1 according to the second embodiment in the second display area D2.
  • FIG. 23 is a cross-sectional view showing a laminated structure of each of the first electrodes 51 in the first display region D1 and the second display region D2 of the organic EL display device 1 according to the second embodiment.
  • FIG. 24 is a plan view showing the configuration of each light emitting region E and its surroundings in the first display region D1 and the second display region D2 of the organic EL display device 1 according to the second embodiment.
  • the first electrode 51 of the first organic EL element 60A is provided in order on the flattening film 29, the first lower portion.
  • a side transparent conductive layer 61, a first reflective conductive layer 62, and a first upper transparent conductive layer 65 are provided.
  • Each configuration of the first lower transparent conductive layer 61 and the first upper transparent conductive layer 65 is the same as that of the first embodiment.
  • the configuration of the first reflective conductive layer 62 is different from that of the first embodiment.
  • the first reflective conductive layer 62 is provided on the first lower transparent conductive layer 61.
  • the first reflective conductive layer 62 is formed of, for example, at least one metal material selected from silver (Ag), silver alloy, aluminum (Al) and aluminum alloy.
  • the thickness t12 of the first reflective conductive layer 62 is, for example, about 80 nm to 100 nm.
  • the first reflective conductive layer 62 totally reflects or almost all reflects the light incident from the front side of the display area D (conceptually indicated by the broken line arrow in FIG. 21).
  • the first reflective conductive layer 62 is sealed between the first lower transparent conductive layer 61 and the first upper transparent conductive layer 65.
  • the area of the first reflective conductive layer 62 (with the diagonal hatching on the upper right in the figure) is the area of the first lower transparent conductive layer 61 and the area of the first upper transparent conductive layer. It is smaller than the area of 65.
  • the peripheral end surface of the first reflective conductive layer 62 is covered with the first upper transparent conductive layer 65.
  • the first lower transparent conductive layer 61 and the first upper transparent conductive layer 65 are in contact with each other on the outer periphery of the first reflective conductive layer 62.
  • the first electrode 51 of the second organic EL element 60B is provided in order on the flattening film 29, the second lower portion.
  • a side transparent conductive layer 71, a second reflective conductive layer 72, and a second upper transparent conductive layer 75 are provided.
  • Each configuration of the second lower transparent conductive layer 71 and the second upper transparent conductive layer 75 is the same as that of the first embodiment.
  • the configuration of the second reflective conductive layer 72 is different from that of the first embodiment.
  • the second reflective conductive layer 72 is provided on the second lower transparent conductive layer 71.
  • a plurality of second reflective conductive layers 72 are provided in an island shape inside the opening 68 of the edge cover 52.
  • the second reflective conductive layer 72 is not provided at a position where it overlaps with the edge cover 52.
  • the second reflective conductive layer 72 is formed on the same layer as the first reflective conductive layer 62 by the same material, for example, at least one metal material selected from silver (Ag), silver alloy, aluminum (Al) and aluminum alloy. There is.
  • the thickness t22 of the second reflective conductive layer 72 is equivalent to the thickness t12 of the first reflective conductive layer 62 inside the opening 68 of the edge cover 52, and is, for example, about 80 nm to 100 nm.
  • a plurality of second reflective conductive layers 72 are arranged in a matrix inside the opening 68 of the edge cover 52.
  • the plurality of second reflective conductive layers 72 may be arranged in a row or may be provided in another arrangement.
  • a predetermined gap is provided between the adjacent second reflective conductive layers 72.
  • the peripheral end surface of the second reflective conductive layer 72 is covered with the second upper transparent conductive layer 75.
  • the second lower transparent conductive layer 71 and the second upper transparent conductive layer 75 are in contact with each other in a gap between adjacent second reflective conductive layers 72 inside the opening 68 of the edge cover 52.
  • the second reflective conductive layer 72 is sealed between the second lower transparent conductive layer 71 and the second upper transparent conductive layer 75.
  • the second lower transparent conductive layer 71 and the second upper transparent conductive layer 75 form a portion of the first electrode 51 of the second organic EL element 60B that overlaps with the edge cover 5 in a plan view, and the opening of the edge cover 52. They are in contact with each other at a location overlapping the peripheral edge of 68.
  • the peripheral end faces of the second lower transparent conductive layer 71 and the second upper transparent conductive layer 75 are in the stacking direction of the second lower transparent conductive layer 71 and the second upper transparent conductive layer 75 (thickness of the first electrode 51). Aligned in direction).
  • the second reflective conductive layer 72 is partially provided inside the opening 68 of the edge cover 52.
  • the first electrode 51 of the second organic EL element 60B has a portion inside the opening 68 of the edge cover 52 where the second reflective conductive layer 72 is not provided.
  • the first electrode 51 of the second organic EL element 60B has a thin layer portion 51a and a plurality of thick layer portions 51b (tb> ta) thicker than the thin layer portion 51a inside the opening 68 of the edge cover 52. ) And.
  • the thin layer portion 51a of the first electrode 51 of the second organic EL element 60B is a portion where the second reflective conductive layer 72 is not provided, and is formed by the second lower transparent conductive layer 71 and the second upper transparent conductive layer 75. It is configured.
  • the thin layer portion 51a extends in a grid pattern between adjacent second reflective conductive layers 72 inside the opening 68 of the edge cover 52. Further, the thin layer portion 51a constitutes a portion of the first electrode 51 that overlaps with the edge cover 52, and is also provided in a region including the inside of the contact hole 33.
  • the first electrode 51 of the second organic EL element 60B almost transmits light incident from the front side of the display region D (conceptually indicated by a broken line arrow in FIG. 22) in the thin layer portion 51a.
  • the thick layer portion 51b of the first electrode 51 of the second organic EL element 60B is a portion provided with the second reflective conductive layer 72 and is arranged in a matrix.
  • the thickness tb of the thick layer portion 51b is equivalent to the thickness t1 of the portion of the first electrode 51 of the first organic EL element 60A located inside the opening 68 of the edge cover 52.
  • the first electrode 51 of the second organic EL element 60B totally reflects or almost reflects the light (conceptually indicated by the broken line arrow in FIG. 22) incident from the front side of the display region D in the thick layer portion 51b. All are reflected.
  • the method for manufacturing the organic EL display device 1 according to the second embodiment includes a TFT layer forming step ST1, a light emitting element layer forming step ST2, a sealing film forming step ST3, a flexible step ST4, and a mounting step ST5. include.
  • the TFT layer forming step ST1, the sealing film forming step ST3, the flexible step ST4, and the mounting step ST5 are the same as those in the first embodiment.
  • the light emitting element layer forming step ST2 includes a first electrode forming step ST2a, an edge cover forming step ST2b, an organic EL layer forming step ST2c, and a second electrode forming step ST2d.
  • the edge cover forming step ST2b, the organic EL layer forming step ST2c, and the second electrode forming step ST2d are the same as those in the first embodiment.
  • FIG. 25 is a cross-sectional view showing a main part of the substrate formed by the first film forming step ST2a-1 in the method for manufacturing the organic EL display device 1 according to the second embodiment.
  • FIG. 26 is a cross-sectional view showing a main part of the substrate on which the resist layer 103 is formed in the first patterning step ST2a-2 in the manufacturing method of the organic EL display device 1 according to the second embodiment.
  • FIG. 27 is a cross-sectional view showing a main part of the substrate patterned in the first patterning step ST2a-2 in the manufacturing method of the organic EL display device 1 according to the second embodiment.
  • the second film forming step ST2a-3 is performed after the first patterning step ST2a-2.
  • the second transparent conductive film 105 is formed on the substrate on which the first reflective conductive layer 62 and the second reflective conductive layer 72 are formed, for example, by a sputtering method.
  • the film is formed in a single layer or in multiple layers.
  • the thickness of the second transparent conductive film 105 formed here is the same as the thickness of the first transparent conductive film 101 (for example, about 10 nm to 20 nm).
  • the second patterning step ST2a-4 is performed after the second film forming step ST2a-3.
  • the first transparent conductive film 101 and the second transparent conductive film 105 are patterned by photolithography, and a plurality of first electrodes 51 are provided in each of the first display region D1 and the second display region D2. It is formed in a predetermined pattern.
  • the first transparent conductive film 101 and the second transparent conductive film 105 are exposed to an etching solution using the resist layer 106 as a mask to perform wet etching on the first transparent conductive film 101 and the second transparent conductive film 105.
  • an etching solution As the etching solution at this time, a kind of etching solution having a relatively low selection ratio between the material of the first transparent conductive film 101 and the material of the second transparent conductive film 105 is used.
  • wet etching using such an etching solution the first transparent conductive film 101 and the second transparent conductive film 105 are collectively corroded and dissolved for patterning. Then, the resist layer 106 is removed by ashing.
  • the first transparent conductive film 101 and the second transparent conductive film 105 By patterning the first transparent conductive film 101 and the second transparent conductive film 105, as shown in FIG. 30, the first transparent conductive film overlaps with the first reflective conductive layer 62 in the first display region D1.
  • the first lower transparent conductive layer 61 is formed from the film 101
  • the first upper transparent conductive layer 65 is formed from the second transparent conductive film 105.
  • the first transparent conductive film 101 to the second lower transparent conductive layer 71 overlap with the second reflective conductive layer 72 in the second display region D2, respectively.
  • a plurality of first electrodes 51 formed by laminating the first lower transparent conductive layer 61, the first reflective conductive layer 62, and the first upper transparent conductive layer 65 are formed in the first display region D1. Further, a plurality of first electrodes 51 formed by laminating a second lower transparent conductive layer 71, a second reflective conductive layer 72, and a second upper transparent conductive layer 75 are formed in the second display region D2.
  • the feature (1) of the organic EL display device 1 according to the second embodiment is that the first electrode 51 of the first organic EL element 60A is on the first lower transparent conductive layer 61 and the first lower transparent conductive layer 61.
  • the first electrode 51 of the second organic EL element 60B is provided with the first reflective conductive layer 62 provided on the first reflective conductive layer 62 and the first upper transparent conductive layer 65 provided on the first reflective conductive layer 62.
  • the second lower transparent conductive layer 71 formed of the same material as the side transparent conductive layer 61 and the same material formed on the second lower transparent conductive layer 71 as the first reflective conductive layer 62.
  • a second reflective conductive layer 72 and a second upper transparent conductive layer 75 formed of the same material as the first upper transparent conductive layer 65 on the second reflective conductive layer 72 are provided.
  • 72 is provided partially inside the opening 68 of the edge cover 52.
  • the thickness of the thick layer portion 51b located inside the opening 68 of the edge cover 52 in the first electrode 51 of the second organic EL element 60B Since tb is equivalent to the thickness t1 of the portion of the first electrode 51 of the first organic EL element 60A located inside the opening 68 of the edge cover 52, the first electrode 51 of the second organic EL element 60B Of these, the thin layer portion 51a reflects the light from the organic EL layer 53 in the thick layer portion 51b in the same manner as the first electrode 51 of the second organic EL element 60B, while increasing the light transmission rate in the second display region D2. Therefore, the decrease in brightness in the second display area D2 can be suppressed.
  • the sensitivity of the camera 3 at the time of shooting can be increased.
  • the exposed region of the outer peripheral end surface of the second reflective conductive layer 72 can be eliminated, so that the first electrode forming step. It is possible to prevent corrosion such as oxidation and sulfide from occurring in the second reflective conductive layer 72 due to the retention of the etching solution in ST2a and the subsequent upper layer process.
  • the feature (4) of the organic EL display device 1 according to the second embodiment is that the peripheral end surface of the first reflective conductive layer 62 is covered with the first upper transparent conductive layer 65, and the first lower transparent conductive layer 61 and the first 1 The upper transparent conductive layer 65 is in contact with each other on the outer periphery of the first reflective conductive layer 62.
  • FIG. 31 is a cross-sectional view showing a main part of the organic EL display device 1 according to the first modification of the second embodiment in the second display area D2.
  • the thick layer portion 51b of the first electrode 51 of the second organic EL element 60B is formed so as to cover the inside of the contact hole 33 of the flattening film 29 and the periphery of the opening of the contact hole 33.
  • the thick layer portion 51b constitutes a portion of the first electrode 51 of the second organic EL element 60B that is connected to the drain electrode 28de of the sixth TFT 30f.
  • the thick layer portion 51b is composed of a second lower transparent conductive layer 71, a second reflective conductive layer 72, and a second upper transparent conductive layer 75. That is, the second reflective conductive layer 72 is provided in the region including the inside of the contact hole 33 of the flattening film 29.
  • the thickness tb of the thick layer portion 51b is equivalent to the thickness t1 (see FIG. 23) of the portion of the first electrode 51 of the first organic EL element 60A located inside the opening 68 of the edge cover 52.
  • the second reflective conductive layer 72 may be formed from the first reflective conductive film 102 in the hole 33 and around the opening thereof.
  • the second reflective conductive layer 72 is provided at the portion of the first electrode 51 of the second organic EL element 60B connected to the drain electrode 28de of the sixth TFT 30f. Since the thick layer portion 51b is formed, the contact resistance between the first electrode 51 of the second organic EL element 60B and the drain electrode 28de of the sixth TFT 30f can be reduced.
  • a plurality of second reflective conductive layers 72 in the first electrode 51 of the second organic EL element 60B are provided in an island shape inside the opening 68 of the edge cover 52.
  • the second reflective conductive layer 72 is provided in a grid pattern inside the opening 68 of the edge cover 52. The second reflective conductive layer 72 overlaps the peripheral edge of the opening 68 of the edge cover 52 and the entire circumference of the opening 68.
  • the feature of the organic EL display device 1 according to the second modification is that the second reflective conductive layer 72 overlaps the peripheral edge of the opening 68 of the edge cover 52 and the entire circumference of the opening 68.
  • the light emitted by the organic EL layer 53 at or near the peripheral edge portion of the edge cover 52 is transmitted to the front side of the display area D by the second reflective conductive layer 72. Can be reflected.
  • the emission intensity of the organic EL layer 53 is relatively high in and around the peripheral edge of the edge cover 52. Therefore, it is possible to suppress a decrease in the light extraction efficiency of the second organic EL element 60B due to the fact that the second reflective conductive layer 72 is not provided on a part of the first electrode 51 inside the edge cover 52.
  • the first electrode 51 of the first organic EL element 60A is provided on the flattening film 29 in order, and the first lower transparent conductive conductor is provided. It includes a layer 61, a first reflective conductive layer 62, and a second upper transparent conductive layer 75.
  • Each configuration of the first lower transparent conductive layer 61 and the first upper transparent conductive layer 65 is the same as that of the first embodiment.
  • the configuration of the first reflective conductive layer 62 is the same as that of the first modification of the first embodiment.
  • a plurality of second lower reflective conductive layers 73 are provided in an island shape inside the opening 68 of the edge cover 52.
  • the second lower reflective conductive layer 73 is not provided at a position where it overlaps with the edge cover 52 in a plan view.
  • the second lower reflective conductive layer 73 is made of the same material as the first lower reflective conductive layer 63, for example, at least one metal material selected from silver (Ag), silver alloy, aluminum (Al) and aluminum alloy. Is formed by.
  • the thickness t23 of the second lower reflective conductive layer 73 is equivalent to the thickness t13 of the first lower reflective conductive layer 63 inside the opening 68 of the edge cover 52, and is, for example, about 70 nm to 90 nm.
  • the thin layer portion 51a of the first electrode 51 of the second organic EL element 60B is a portion where the second lower reflective conductive layer 73 is not provided, and the second lower transparent conductive layer 71 and the second upper reflective conductive layer 71. It is composed of a layer 74 and a second upper transparent conductive layer 75. That is, the second reflective conductive layer 72 of the thin layer portion 51a is composed of the second upper reflective conductive layer 74.
  • the thin layer portion 51a extends in a grid pattern between adjacent second lower reflective conductive layers 73 inside the opening 68 of the edge cover 52. Further, the thin layer portion 51a constitutes a portion of the first electrode 51 that overlaps with the edge cover 52, and is also provided in a region including the inside of the contact hole 33.
  • the first electrode 51 of the second organic EL element 60B partially reflects the light incident from the front side of the display region D (conceptually indicated by the broken line arrow in FIG. 33) in the thin layer portion 51a, and partially reflects the light. To Penetrate.
  • the thick layer portion 51b of the first electrode 51 of the second organic EL element 60B is a portion provided with the second lower reflective conductive layer 73 and is arranged in a matrix.
  • the second reflective conductive layer 72 of the thick layer portion 51b is composed of a second lower reflective conductive layer 73 and a second upper reflective conductive layer 74.
  • the thickness tb of the thick layer portion 51b is equivalent to the thickness t1 of the portion of the first electrode 51 of the first organic EL element 60A located inside the opening 68 of the edge cover 52.
  • the first electrode 51 of the second organic EL element 60B is the light incident from the front side of the display region D by the second reflective conductive layer 72 in the thick layer portion 51b (conceptually shown by a broken line arrow in FIG. 33). Is totally reflected, or almost all is reflected.
  • the method for manufacturing the organic EL display device 1 according to the third embodiment includes a TFT layer forming step ST1, a light emitting element layer forming step ST2, a sealing film forming step ST3, a flexible step ST4, and a mounting step ST5. include.
  • the TFT layer forming step ST1, the sealing film forming step ST3, the flexible step ST4, and the mounting step ST5 are the same as those in the first embodiment.
  • the light emitting element layer forming step ST2 includes a first electrode forming step ST2a, an edge cover forming step ST2b, an organic EL layer forming step ST2c, and a second electrode forming step ST2d.
  • the edge cover forming step ST2b, the organic EL layer forming step ST2c, and the second electrode forming step ST2d are the same as those in the first embodiment.
  • the first electrode forming step ST2a includes a first film forming step ST2a-1, a first patterning step ST2a-2, a second film forming step ST2a-3, and a second patterning step ST2a-4.
  • the first film forming step ST2a-1 is the same as that of the first embodiment. That is, as shown in FIG. 13, in the first film forming step ST2a-1, the first transparent conductive film 101 and the first reflective conductive film 102 are respectively placed on the substrate on which the TFT layer 20 is formed, for example, by a sputtering method. The film is formed in order so as to be a single layer or a plurality of layers.
  • the thickness of the first transparent conductive film 101 to be formed here is, for example, about 10 nm to 20 nm.
  • the thickness of the first reflective conductive film 102 is, for example, about 70 nm to 90 nm.
  • the first patterning step ST2a-2 is performed after the first film forming step ST2a-1.
  • the first reflective conductive film 102 is patterned by photolithography, and a plurality of first lower reflections from the first reflective conductive film 102 are formed in the first display region D1 of the display region D.
  • the conductive layer 63 is formed in a predetermined pattern, and a plurality of second lower reflective conductive layers 73 from the first reflective conductive film 102 are formed in the second display region D2 of the display region D in a predetermined pattern.
  • the photosensitive resin material is applied onto the substrate on which the first transparent conductive film 101 and the first reflective conductive film 102 are formed by a known coating method such as a spin coating method. Subsequently, the coating film of the photosensitive resin material is prebaked, exposed, developed, and post-baked to pattern the coating film. As shown in FIG. 36, the first display region D1 is the first. An island-shaped resist layer 103 is formed in each region forming the lower reflective conductive layer 63 and each region forming the second lower reflective conductive layer 73 in the second display region D2.
  • the first reflective conductive film 102 is wet-etched by exposing the first reflective conductive film 102 to an etching solution using the resist layer 103 as a mask.
  • a kind of etching solution having a relatively high selection ratio of the material of the first reflective conductive film 102 to the material of the first transparent conductive film 101 is used.
  • the first reflective conductive film 102 is selectively corroded and dissolved by wet etching using such an etching solution to pattern the first reflective conductive film 102.
  • the resist layer 103 is removed by ashing. In this way, as shown in FIG. 37, the first lower reflective conductive film 63 is formed from the first reflective conductive film 102 in the first display region D1, and the second lower reflective conductive film 102 is formed from the first reflective conductive film 102.
  • the side reflective conductive layer 73 is formed.
  • FIG. 38 is a cross-sectional view showing a main part of the substrate formed by the second film forming step ST2a-3 in the manufacturing method of the organic EL display device 1 according to the third embodiment.
  • the second film forming step ST2a-3 is performed after the first patterning step ST2a-2.
  • the second reflection is performed on the substrate on which the first lower reflective conductive layer 63 and the second lower reflective conductive layer 73 are formed, for example, by a sputtering method.
  • the conductive film 104 and the second transparent conductive film 105 are respectively formed in a single layer or in a plurality of layers in order.
  • the thickness of the second reflective conductive film 104 formed here is, for example, about 10 nm to 50 nm.
  • the thickness of the second transparent conductive film 105 is equivalent to the thickness of the first transparent conductive film 101 (for example, about 10 nm to 20 nm).
  • FIG. 39 is a cross-sectional view showing a main part of the substrate on which the resist layer 106 is formed in the second patterning step ST2a-4 in the manufacturing method of the organic EL display device 1 according to the third embodiment.
  • FIG. 40 is a cross-sectional view showing a main part of the substrate patterned in the second patterning step ST2a-4 in the manufacturing method of the organic EL display device 1 according to the third embodiment.
  • the second patterning step ST2a-4 is performed after the second film forming step ST2a-3.
  • the first transparent conductive film 101, the second reflective conductive film 104, and the second transparent conductive film 105 are patterned by photolithography, and each of the first display area D1 and the second display area D2 is formed.
  • a plurality of first electrodes 51 are formed in a predetermined pattern.
  • the first transparent conductive film 101, the second reflective conductive film 104, and the second transparent conductive film 105 are exposed.
  • Wet etching is applied to 104 and the second transparent conductive film 105.
  • a kind of etching solution having a relatively low selection ratio between the material of the second reflective conductive film and the materials of the first transparent conductive film 101 and the second transparent conductive film 105 is used.
  • the first transparent conductive film 101, the second reflective conductive film 104, and the second transparent conductive film 105 are collectively corroded and dissolved for patterning. Then, the resist layer 106 is removed by ashing.
  • the first lower reflective conductive layer 63 is formed in the first display region D1 as shown in FIG. 40.
  • the first lower transparent conductive layer 61 is formed from the first transparent conductive film 101
  • the first upper reflective conductive layer 64 is formed from the second reflective conductive film 104
  • the second transparent conductive film 105 to the second is formed so as to overlap with the first transparent conductive film 101. 1
  • the upper transparent conductive layer 65 is formed. Further, along with the formation of the first lower transparent conductive layer 61 and the like, the first transparent conductive film 101 to the second lower transparent conductive layer so as to overlap the second lower reflective conductive layer 73 in the second display region D2, respectively.
  • the layer 71 is formed
  • the second upper reflective conductive layer 74 is formed from the second reflective conductive film 104
  • the second upper transparent conductive layer 75 is formed from the second transparent conductive film 105.
  • the first lower transparent conductive layer 61, the first lower reflective conductive layer 63, the first upper reflective conductive layer 64, and the first upper transparent conductive layer 65 are laminated on the first display region D1.
  • a plurality of first electrodes 51 are formed. Further, the first electrode formed by laminating the second lower transparent conductive layer 71, the second lower reflective conductive layer 73, the second upper reflective conductive layer 74, and the second upper transparent conductive layer 75 on the second display region D2. A plurality of 51 are formed.
  • a second reflective conductive layer 72 and a second upper transparent conductive layer 75 formed of the same material as the first upper transparent conductive layer 65 on the second reflective conductive layer 72 are provided.
  • 72 is partially thinner than the first reflective conductive layer 62 inside the opening 68 of the edge cover 52.
  • the feature (2) of the organic EL display device 1 according to the third embodiment is that the first electrode 51 of the second organic EL element 60B has a second reflective conductive layer 72 inside the opening 68 of the edge cover 52.
  • a thin layer portion 51a provided thinner than the reflective conductive layer 62 and a thick layer portion 51b thicker than the thin layer portion 51a provided with the second reflective conductive layer 72 having the same thickness as the first reflective conductive layer 62.
  • the thickness tb of the thick layer portion 51b is equivalent to the thickness t1 of the portion of the first electrode 51 of the first organic EL element 60A located inside the opening 68 of the edge cover 52. be.
  • the feature (3) of the organic EL display device 1 according to the third embodiment is that the first reflective conductive layer 62 has the first lower reflective conductive layer 63 and the first reflective conductive layer 63 over the entire inside of the opening 68 of the edge cover 52.
  • the second reflective conductive layer 72 of the thick layer portion 51b of the first electrode 51 of the second organic EL element 60B is composed of the first upper reflective conductive layer 64 provided on the lower reflective conductive layer 63.
  • the second lower reflective conductive layer 73 formed of the same material as the first lower reflective conductive layer 63 and the same layer as the first upper reflective conductive layer 64 on the second lower reflective conductive layer 73.
  • the feature (4) of the organic EL display device 1 according to the third embodiment is that a plurality of second lower reflective conductive layers 73 are provided in an island shape inside the opening 68 of the edge cover 52.
  • a plurality of second lower reflective conductive layers 73 are provided in an island shape inside the opening 68 of the edge cover 52, so that the second lower reflective conductive layer 73 is provided.
  • the light from the front side is blocked by the second lower reflective conductive layer 73 in the second display area D2.
  • the area to be covered can be reduced. This contributes to improving the shooting performance of the in-camera 3 combined with the organic EL display device 1.
  • the first patterning step ST2a-2 for forming the second lower reflective conductive layer 73 from the first reflective conductive film 102 so as to expose the film 101, the first lower reflective conductive layer 63, and the second lower reflective conductive layer 63.
  • the second film forming step ST2a-3 for forming the second reflective conductive film 104 and the second transparent conductive film 105 on the substrate on which the layer 73 is formed, and the first transparent conductive film 101 and the second reflective conductive film 104.
  • the second transparent conductive film 105 are patterned to form the first lower transparent conductive layer 61 from the first transparent conductive film 101 in the first display region D1 so as to overlap with the first lower reflective conductive layer 63, respectively.
  • the second reflective conductive film 104 and the second transparent conductive film 105 are filmed in order in the second film forming step ST2a-3. Since the second reflective conductive film 104 and the second transparent conductive film 105 are patterned in the second patterning step ST2a-4, the surface of the first reflective conductive layer 62 that reflects light from the organic EL layer 53 and the second The surface of the reflective conductive layer 72 that reflects light from the organic EL layer 53 is covered with the second transparent conductive film 105 from the film formation of the second reflective conductive film 104 to patterning, and is exposed to the atmosphere. You don't have to.
  • FIG. 41 is a plan view showing the configuration of each light emitting region E and its surroundings in the first display region D1 and the second display region D2 of the organic EL display device 1 according to the modified example of the third embodiment.
  • a plurality of second lower reflective conductive layers 73 in the first electrode 51 of the second organic EL element 60B are provided in an island shape inside the opening 68 of the edge cover 52.
  • the second lower reflective conductive layer 73 is provided in a grid pattern inside the opening 68 of the edge cover 52. ..
  • a plurality of rectangular openings 78 are formed in a portion of the second lower reflective conductive layer 73 located inside the opening 68 of the edge cover 52.
  • the plurality of openings 78 are arranged in a matrix, for example.
  • the plurality of openings 78 may be arranged in a row or may be provided in another arrangement such as a staggered pattern.
  • the opening 78 may have a shape other than a rectangular shape, such as a circular shape, an elliptical shape, or a slit shape.
  • the second lower reflective conductive layer 73 overlaps the peripheral edge of the edge cover 52 and the entire circumference of the opening 68 thereof.
  • a feature of the organic EL display device 1 according to this modification is that the second lower reflective conductive layer 73 overlaps the peripheral edge of the opening 68 of the edge cover 52 and the entire circumference of the opening 68.

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Abstract

表示領域(D)は、第1表示領域(D1)の内側でカメラ(3)に利用される光を透過する第2表示領域(D2)を有する。第1表示領域の第1電極(51)は、第1下側透明導電層(61)と第1反射導電層(62)と第1上側透明導電層(65)とが順に積層された構造を有する。第2表示領域の第1電極は、第2下側透明導電層(71)と第2反射導電層(72)と第2上側透明導電層(75)とが順に積層された構造を有する。第2反射導電層は、エッジカバー(52)の開口(68)の内側において、第1反射導電層よりも薄い。

Description

表示装置およびその製造方法
 本開示の技術は、表示装置およびその製造方法に関する。
 近年、液晶表示装置に代わる表示装置として、有機エレクトロルミネッセンス(Electro Luminescence、以下「EL」と称する)素子を用いた自発光型の有機EL表示装置が注目されている。
 有機EL素子は、第1電極と、第1電極上に設けられた有機EL層と、有機EL層上に設けられた第2電極とを備える。有機EL素子としては、光の取り出し効率に優れたトップエミッション型の有機EL素子が好適に採用される。トップエミッション型の有機EL素子において、第1電極は、有機EL層で発した光を第2電極側に反射する反射導電材料によって形成された反射導電層を含む。
 有機EL表示装置は、スマートフォンやタブレット端末といった情報端末のディスプレイとして利用される場合、またはテレビ電話やテレビ会議といった双方向通信のコミュニケーションを行うためのディスプレイとして利用される場合に、画面の正面側を撮影するカメラ(いわゆるインカメラ)と組み合わせられる。そうしたインカメラ付きの有機EL表示装置においては、表示領域と重なる背面側の位置にカメラを配置させることが提案されている(例えば、特許文献1参照)。
特開2018-124457号公報
 トップエミッション型の有機EL素子を備える有機EL表示装置では、第1電極を構成する反射導電層により外光が反射されるため、表示領域における光の透過率が著しく低い。そのことから、表示領域を透過した光を利用するカメラなどの電子部品を有機EL表示装置の背面側において表示領域と重なる位置に配置させる場合には、表示領域のうち電子部品に利用される光を透過する領域での光の透過率を高めることが要望される。
 本開示の技術は、斯かる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、表示装置の表示領域のうち電子部品に利用される光を透過する領域での光の透過率を高めることにある。
 本開示の技術は、基板と、基板上に設けられ、複数の薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor、以下「TFT」と称する)を含むTFT層と、TFT層上に設けられ、複数の発光素子を含む発光素子層とを備え、TFTの動作で制御される発光素子の発光により画像を表示する表示領域が設けられ、基板に対して表示領域の背面側に、発光素子層、TFT層および基板を透過した光を利用する電子部品が配置される表示装置を対象とする。
 発光素子層は、発光素子ごとに設けられた第1電極と、第1電極の周縁部を覆い、第1電極を露出させる開口が形成されたエッジカバーと、エッジカバーの開口内で第1電極上に設けられた発光機能層と、発光機能層上に設けられた第2電極とを有する。表示領域は、第1表示領域と、第1表示領域の内側に位置し、電子部品に利用される光を透過する第2表示領域とを有する。複数の発光素子は、各々第1電極、発光機能層および第2電極を備えた、第1表示領域に位置する第1発光素子と、第2表示領域に位置する第2発光素子とを含む。第1発光素子の第1電極は、光透過性を有する第1下側透明導電層と、第1下側透明導電層上に設けられた、光反射性を有する第1反射導電層と、第1反射導電層上に設けられた、光透過性を有する第1上側透明導電層とを備える。
 第2発光素子の第1電極は、第1下側透明導電層と同一層に同一材料によって形成された、光透過性を有する第2下側透明導電層と、第2下側透明導電層上に第1反射導電層と同一層に同一材料によって形成された、光反射性を有する第2反射導電層と、第2反射導電層上に第1上側透明導電層と同一層に同一材料によって形成された、光透過性を有する第2上側透明導電層とを備える。第2反射導電層は、エッジカバーの開口の内側において、部分的に設けられている、または少なくとも一部で第1反射導電層よりも薄い。
 本発明の技術に係る表示装置によれば、第2反射導電層が、エッジカバーの開口の内側において、部分的に設けられている、または少なくとも一部で第1反射導電層よりも薄いので、第2有機EL素子の第1電極をエッジカバーの開口の内側で透過する光の量が、当該第2反射導電層が設けられていないかまたは第1反射導電層よりも薄い部分で増大する。これにより、表示領域のうち電子部品に利用される光を透過する第2表示領域での光の透過率を高めることができる。
図1は、第1実施形態に係る有機EL表示装置の概略構成を示す平面図である。 図2は、図1のII-II線に沿う箇所における有機EL表示装置の断面図である。 図3は、図3は、有機EL表示装置の表示領域を構成する画素と各種の表示用配線とを示す平面図である。 図4は、図3のIV-IV線に沿う箇所における有機EL表示装置の断面図である。 図5は、第1実施形態に係る有機EL表示装置の画素回路を示す等価回路図である。 図6は、第1実施形態に係る有機EL表示装置の第1表示領域における要部を示す断面図である。 図7は、第1実施形態に係る有機EL表示装置の第2表示領域における要部を示す断面図である。 図8は、第1実施形態に係る有機EL表示装置を構成する有機EL層の積層構造を示す断面図である。 図9は、第1実施形態に係る有機EL表示装置の第1表示領域および第2表示領域における各第1電極の積層構造を示す断面図である。 図10は、第1実施形態に係る有機EL表示装置の第1表示領域および第2表示領域における各発光領域およびその周辺の構成を示す平面図である。 図11は、第1実施形態に係る有機EL表示装置の製造方法を概略的に示すフロー図である。 図12は、第1実施形態に係る有機EL表示装置の製造方法における発光素子層形成工程を概略的に示すフロー図である。 図13は、第1実施形態に係る有機EL表示装置の製造方法における第1成膜工程で成膜を行った基板の要部を示す断面図である。 図14は、第1実施形態に係る有機EL表示装置の製造方法における第1パターニング工程でレジスト層を形成した基板の要部を示す断面図である。 図15は、第1実施形態に係る有機EL表示装置の製造方法における第1パターニング工程でパターニングを行った基板の要部を示す断面図である。 図16は、第1実施形態に係る有機EL表示装置の製造方法における第2成膜工程で成膜を行った基板の要部を示す断面図である。 図17は、第1実施形態に係る有機EL表示装置の製造方法における第2パターニング工程でレジスト層を形成した基板の要部を示す断面図である。 図18は、第1実施形態に係る有機EL表示装置の製造方法における第2パターニング工程でパターニングを行った基板の要部を示す断面図である。 図19は、第1実施形態の変形例1に係る有機EL表示装置の第2表示領域における要部を示す断面図である。 図20は、第1実施形態の変形例2に係る有機EL表示装置の第1表示領域および第2表示領域における各発光領域およびその周辺の構成を示す平面図である。 図21は、第2実施形態に係る有機EL表示装置の第1表示領域における要部を示す断面図である。 図22は、第2実施形態に係る有機EL表示装置の第2表示領域における要部を示す断面図である。 図23は、第2実施形態に係る有機EL表示装置の第1表示領域および第2表示領域における各第1電極の積層構造を示す断面図である。 図24は、第2実施形態に係る有機EL表示装置の第1表示領域および第2表示領域における各発光領域およびその周辺の構成を示す平面図である。 図25は、第2実施形態に係る有機EL表示装置の製造方法における第1成膜工程で成膜を行った基板の要部を示す断面図である。 図26は、第2実施形態に係る有機EL表示装置の製造方法における第1パターニング工程でレジスト層を形成した基板の要部を示す断面図である。 図27は、第2実施形態に係る有機EL表示装置の製造方法における第1パターニング工程でパターニングを行った基板の要部を示す断面図である。 図28は、第2実施形態に係る有機EL表示装置の製造方法における第2成膜工程で成膜を行った基板の要部を示す断面図である。 図29は、第2実施形態に係る有機EL表示装置の製造方法における第2パターニング工程でレジスト層を形成した基板の要部を示す断面図である。 図30は、第2実施形態に係る有機EL表示装置の製造方法における第2パターニング工程でパターニングを行った基板の要部を示す断面図である。 図31は、第2実施形態の変形例1に係る有機EL表示装置の第2表示領域における要部を示す断面図である。 図32は、第2実施形態の変形例2に係る有機EL表示装置の第1表示領域および第2表示領域における各発光領域およびその周辺の構成を示す平面図である。 図33は、第3実施形態に係る有機EL表示装置の第2表示領域における要部を示す断面図である。 図34は、第3実施形態に係る有機EL表示装置の第1表示領域および第2表示領域における各第1電極の積層構造を示す断面図である。 図35は、第3実施形態に係る有機EL表示装置の第1表示領域および第2表示領域における各発光領域およびその周辺の構成を示す平面図である。 図36は、第3実施形態に係る有機EL表示装置の製造方法における第1パターニング工程でレジスト層を形成した基板の要部を示す断面図である。 図37は、第3実施形態に係る有機EL表示装置の製造方法における第1パターニング工程でパターニングを行った基板の要部を示す断面図である。 図38は、第3実施形態に係る有機EL表示装置の製造方法における第2成膜工程で成膜を行った基板の要部を示す断面図である。 図39は、第3実施形態に係る有機EL表示装置の製造方法における第2パターニング工程でレジスト層を形成した基板の要部を示す断面図である。 図40は、第3実施形態に係る有機EL表示装置の製造方法における第2パターニング工程でパターニングを行った基板の要部を示す断面図である。 図41は、第3実施形態の変形例に係る有機EL表示装置の第1表示領域および第2表示領域における各発光領域およびその周辺の構成を示す平面図である。
 以下、例示的な実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。以下の実施形態では、本開示の技術に係る表示装置として、有機EL素子を備える有機EL表示装置を例に挙げて説明する。
 なお、以下の実施形態において、或る膜や層、素子などの構成要素の上にその他の膜や層、素子などの構成要素が設けられている、または形成されているとする記載は、或る構成要素の直上にその他の構成要素が存在する場合のみを意味するのではなく、それら両方の構成要素の間に、それら以外の膜や層、素子などの構成要素が介在されている場合も含む。
 また、以下の実施形態において、或る膜や層、素子などの構成要素がその他の膜や層、素子などの構成要素に接続されているとする記載は、特に断らない限り電気的に接続されていることを意味する。当該記載は、本開示の技術の趣旨を逸脱しない範囲において、直接的な接続を意味する場合のみならず、それら以外の膜や層、素子などの構成要素を介した間接的な接続を意味する場合も含む。当該記載は、或る構成要素に他の構成要素が一体化されている、つまり或る構成要素の一部が他の構成要素を構成している場合も含む。
 また、以下の実施形態において、或る膜や層、素子などの構成要素がその他の膜や層、素子などの構成要素と同層であるという記載は、或る構成要素がその他の構成要素と同一プロセスによって形成されていることを意味する。或る膜や層、素子などの構成要素がその他の膜や層、素子などの構成要素の下層であるという記載は、或る構成要素がその他の構成要素よりも先のプロセスによって形成されていることを意味する。或る膜や層、素子などの構成要素がその他の膜や層、素子などの構成要素の上層であるという記載は、或る構成要素がその他の構成要素よりも後のプロセスによって形成されていることを意味する。
 また、以下の実施形態において、或る膜や層、素子などの構成要素がその他の膜や層、素子などの構成要素と同一である、または同等であるとする記載は、或る構成要素とその他の構成要素とが完全に同一である状態、または完全に同等である状態のみを意味するのではなく、或る構成要素とその他の構成要素とが製造ばらつきや公差の範囲内で変動しているといった実質的に同一である状態、または実質的に同等である状態についても含む。
 また、以下の実施形態において、「第1」、「第2」、「第3」…という記載は、これらの記載が付与された語句を区別するために用いられ、その語句の数や何らかの順序までも限定するものではない。
 《第1実施形態》
 図1~図4は、本開示の技術に係る有機EL表示装置1の一例を示す。図1は、第1実施形態に係る有機EL表示装置1の概略構成を示す平面図である。図2は、図1のII-II線に沿う箇所における有機EL表示装置1の断面図である。図3は、有機EL表示装置1の表示領域Dを構成する画素Pxと各種の表示用配線とを示す平面図である。図4は、図3のIV-IV線に沿う箇所における有機EL表示装置1の断面図である。
 -有機EL表示装置の構成-
 図1および図2に示すように、有機EL表示装置1は、画面の正面側を撮影するカメラ3と組み合わせられるインカメラ付きの表示装置を構成する。有機EL表示装置1には、画像を表示する表示領域Dと、表示領域Dの周囲に設けられた額縁領域Fとが設けられている。カメラ3は、有機EL表示装置1の樹脂基板層10に対して表示領域Dの背面側に配置され、平面視で表示領域Dと重なる位置に設けられる。
 カメラ3は、有機EL表示装置1における表示領域Dの正面側から後述する発光素子層50、TFT層20および樹脂基板層10を透過した光を撮影に利用する電子部品である。カメラ3は、例えば、(Charge Coupled Device)やCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)などのイメージセンサを有している。カメラ3は、有機EL表示装置1を収容する図示しない筐体の内部に設置される。
 表示領域Dは、画面を構成する矩形状の領域である。本実施形態では、矩形状の表示領域Dを例示するが、表示領域Dは、辺が円弧状になった形状、角部が円弧状になった形状、辺の一部に切り欠きがある形状などの略矩形状であってもよい。図3に示すように、表示領域Dは、複数の画素Pxによって構成される。
 複数の画素Pxは、マトリクス状に配列されている。各画素Pxは、3つのサブ画素Spによって構成される。3つのサブ画素Spは、赤色に発光する発光領域Eを有するサブ画素Sprと、緑色に発光する発光領域Eを有するサブ画素Spgと、青色に発光する発光領域Eを有するサブ画素Spbとである。これら3つのサブ画素Spr,SPg、Spgは、例えばストライプ状に配列されている。
 図1および図2に示すように、表示領域Dは、第1表示領域D1と、第2表示領域D2とを有している。第1表示領域D1は、表示領域Dの大部分を占める領域である。第2表示領域D2は、第1表示領域D1の内側に位置している。第2表示領域D2は、表示領域Dのうちカメラ3の撮影に利用される光を透過する部分を含む領域である。第2表示領域D2は、例えば表示領域Dの上側に矩形島状に設けられ、第1表示領域D1に囲まれている。第2表示領域D2は、上述したような略矩形状であってもよく、円形や楕円形など、その他の形状であってもよい。
 額縁領域Fは、画面以外の非表示部分を構成する矩形枠状の領域である。額縁領域Fの一辺を構成する部分には、外部回路と接続するための端子部Tが設けられている。額縁領域Fにおける表示領域Dと端子部Tとの間には、図1中で横方向である第1方向Xを折り曲げの軸として折り曲げ可能な折り曲げ部Bが設けられている。
 端子部Tは、額縁領域Fが折り曲げ部Bで例えば180°に(U字状に)折り曲げられることにより、有機EL表示装置1の背面側に配置される。端子部Tは、FPC(Flexible Printed Circuit)などの配線基板Cbと接続される。額縁領域Fには、表示領域Dから端子部Tに引き出された複数の引き出し配線Llが設けられている。複数の引き出し配線Llは、端子部Tで配線基板Cbを介して表示制御回路(不図示)に接続される。
 額縁領域Fにおいて、後述する平坦化膜29には、トレンチGが表示領域Dを囲むように設けられている。トレンチGは、平面視で略C状をなすように延びて、端子部T側を開口する。トレンチGは、平坦化膜29を貫通し、平坦化膜29を額縁領域Fの内側と外側とに区切るように分断している。トレンチGは、表示領域Dへの水分などの浸入を防止する役割を果たす。トレンチGは、表示領域Dの全周に亘って設けられてもよい。
 額縁領域Fにおいて、端子部Tが設けられた辺と隣り合う辺(図1で左右の各辺)を構成する部分には、ゲートドライバGdおよびエミッションドライバEdを含む駆動回路Dcがモノリシックに設けられる。ゲートドライバGdは、トレンチGよりも表示領域D側に配置される。エミッションドライバEdは、トレンチGよりも額縁領域Fの外周側に配置される。トレンチGに対するゲートドライバGdとエミッションドライバEdとの配置は逆であってもよい。
 額縁領域Fには、第1額縁配線La(図1で左上りの斜線ハッチングを付す)と、第2額縁配線Lb(図1で右上りの斜線ハッチングを付す)とが設けられている。第1額縁配線Laは、トレンチGおよび駆動回路Dcよりも表示領域D側に枠状に設けられている。第1額縁配線Laは、額縁領域FにおけるトレンチGの開口した部分を通じて端子部Tに延びている。第1額縁配線Laには、端子部Tで配線基板Cbを介してハイレベル電源電圧(ELVDD)が入力される。第2額縁配線Lbは、トレンチGおよび駆動回路Dcよりも額縁領域Fの外周側に略C状に設けられている。第2額縁配線Lbの両端部は、第1額縁配線Laに沿って端子部Tに延びている。第2額縁配線Lbには、端子部Tで配線基板Cbを介してローレベル電源電圧(ELVSS)が入力される。
 額縁領域Fには、第1堰き止め壁Waと、第2堰き止め壁Wbとが設けられている。第1堰き止め壁Waは、トレンチGの外側に枠状に設けられている。第2堰き止め壁Wbは、第1堰き止め壁Waの外周に枠状に設けられている。第1堰き止め壁Waおよび第2堰き止め壁Wbは、有機EL表示装置1の製造過程において、封止膜80を構成する有機封止層82を形成する有機材料の塗布時に、当該有機材料の額縁領域Fの外側への広がりを堰き止める役割を果たす。第1堰き止め壁Waおよび第2堰き止め壁Wbはそれぞれ、図示しないが、例えば、第1壁層と、第1壁層上に設けられた第2壁層とによって構成されている。
 有機EL表示装置1は、個々のサブ画素Spでの発光をTFT30により制御し、TFT30の動作により画像表示を行うアクティブマトリクス駆動方式を採用している。図2および図4に示すように、有機EL表示装置1は、樹脂基板層10と、樹脂基板層10上に設けられたTFT層20と、TFT層20上に設けられた発光素子層50と、発光素子層50を覆うように設けられた封止膜80とを備えている。
 〈樹脂基板層〉
 樹脂基板層10は、ベースとなる基板の一例である。樹脂基板層10は、ポリイミド樹脂やポリアミド樹脂、エポキシ樹脂などの有機材料によって形成されている。樹脂基板層は、可撓性を有している。樹脂基板層10は、酸化シリコンや窒化シリコン、酸窒化シリコンなどの無機材料からなる無機絶縁層と上記有機材料からなる樹脂層との積層膜によって構成されてもよい。樹脂基板層10の裏面には、裏面保護フィルム11が貼り付けられている。
 〈TFT層〉
 TFT層20は、樹脂基板層10上に順に設けられた、ベースコート膜21と、半導体層22と、ゲート絶縁膜23と、第1導電層24と、第1層間絶縁膜25と、第2導電層26と、第2層間絶縁膜27と、第3導電層28と、平坦化膜29および第1壁層とを備えている。
 〈第1~第3導電層〉
 第1導電層24、第2導電層26および第3導電層28には、各種の配線や電極が含まれている。
 第1導電層24は、ゲート絶縁膜23上に設けられている。第1導電層24は、複数のゲート配線24gl、複数のゲート電極24ge、複数のエミッション制御配線24el、複数の第1容量電極24ceおよび複数の第1引き出し配線を含んでいる。ゲート配線24gl、ゲート電極24ge、エミッション制御配線24el、第1容量電極24ceおよび第1引き出し配線は、例えば、アルミニウム(Al)、タングステン(W)、モリブデン(Mo)、タンタル(Ta)、クロム(Cr)、チタン(Ti)、銅(Cu)などからなる金属層の単層膜または積層膜により構成され、同一層に同一材料によって形成されている。
 第2導電層26は、第1層間絶縁膜25上に設けられている。第2導電層26は、複数の初期化電源配線26il、複数の第1電源配線26plおよび複数の第2容量電極26ceを含んでいる。初期化電源配線26il、第1電源配線26plおよび第2容量電極26ceは、例えば、アルミニウム(Al)、タングステン(W)、モリブデン(Mo)、タンタル(Ta)、クロム(Cr)、チタン(Ti)、銅(Cu)などからなる金属層の単層膜または積層膜により構成され、同一層に同一材料によって形成されている。
 第3導電層28は、第2層間絶縁膜27上に設けられている。第3導電層28は、複数のソース配線28sl、複数のソース電極28se、複数のドレイン電極28de、複数の接続導電部28cp、複数の第2電源配線28pl、複数の第2引き出し配線、第1額縁配線Laおよび第2額縁配線Lbを含んでいる。ソース配線28sl、ソース電極28se、ドレイン電極28de、第2電源配線28pl、第2引き出し配線、第1額縁配線Laおよび第2額縁配線Lbは、例えば、アルミニウム(Al)、タングステン(W)、モリブデン(Mo)、タンタル(Ta)、クロム(Cr)、チタン(Ti)、銅(Cu)などからなる金属層の単層膜または積層膜により構成され、同一層に同一材料によって形成されている。
 〈各種配線〉
 図3に示すように、複数のゲート配線24glは、表示領域Dに設けられ、第1方向Xに互いに平行に延びている。ゲート配線24glは、ゲート信号を伝達する表示用配線であって、サブ画素Spの行ごとに設けられている。各ゲート配線24glは、ゲートドライバGdに接続され、所定のタイミングで選択されて活性状態となる。
 複数のエミッション制御配線24elは、表示領域Dに設けられ、第1方向Xに互いに平行に延びている。エミッション制御配線24elは、エミッション制御信号を伝達する表示用配線であって、サブ画素Spの行ごとに設けられている。各エミッション制御配線24elは、エミッションドライバEdに接続され、所定のタイミングで順に選択されて非活性状態となる。
 複数の第1引き出し配線は、額縁領域Fに設けられ、第1方向Xと直交する図1中で縦方向である第2方向Yに互いに平行に延びている。各第1引き出し配線は、ソース配線28slなどの表示用配線と端子部Tとを接続する接続配線であって、引き出し配線Llの一部を構成している。
 複数の初期化電源配線26ilは、表示領域Dに設けられ、第1方向Xに互いに平行に延びている。初期化電源配線26ilは、初期化電位を付与する表示用配線であって、サブ画素Spの行ごとに設けられている。
 複数の第1電源配線26plは、表示領域Dに設けられ、第1方向Xに互いに平行に延びている。第1電源配線26plは、所定のハイレベル電位を付与する表示用配線であって、サブ画素Spの行ごとに設けられている。各第1電源配線26plは、第2層間絶縁膜27に形成されたコンタクトホールを介して第1額縁配線Laに接続されている。
 複数のソース配線28slは、表示領域Dに設けられ、第2方向Yに互いに平行に延びている。ソース配線28slは、ソース信号を伝達する表示用配線であって、サブ画素Spの列ごとに設けられている。各ソース配線28slは、引き出し配線Llに接続され、引き出し配線Llおよび端子部Tを介して表示制御回路に接続される。
 複数の第2電源配線28plは、表示領域Dに設けられ、第2方向Yに互いに平行に延びている。第2電源配線28plは、所定のハイレベル電位を付与する表示用配線であって、サブ画素Spの列ごとに設けられている。各第2電源配線28plは、第1額縁配線Laに接続され、各第1電源配線26plと交差している。各第2電源配線28plは、第2層間絶縁膜27に形成されたコンタクトホール(不図示)を介して第1電源配線26plと交差箇所で接続されている。これら複数の第2電源配線28plは、複数の第1電源配線26plと共にハイレベル電源配線Plを構成している。
 複数の第2引き出し配線は、額縁領域Fに設けられ、第2方向Yに互いに平行に延びている。各第2引き出し配線は、第1層間絶縁膜25および第2層間絶縁膜27に形成されたコンタクトホールを介して第1引き出し配線と接続されている。各第2引き出し配線は、ソース配線28slなどの表示用配線と端子部Tとを接続する接続配線であって、第1引き出し配線と共に引き出し配線Llを構成している。
 〈各種電極〉
 ゲート電極24ge、ソース電極28seおよびドレイン電極28deはそれぞれ、サブ画素Spごとに複数設けられ、ゲート絶縁膜23、第1層間絶縁膜25および第2層間絶縁膜27と共にTFT30を構成している。第1容量電極24ceおよび第2容量電極26ceはそれぞれ、サブ画素Spごとに少なくとも1つずつ設けられ、第1層間絶縁膜25と共にキャパシタ32を構成している。
 〈TFT〉
 TFT30は、サブ画素Spごとに複数設けられている。すなわち、TFT層20は、複数のTFT30を含んでいる。複数のTFT30はいずれも、トップゲート型のTFTである。各TFT30は、半導体層22と、ゲート絶縁膜23と、ゲート電極24geと、第1層間絶縁膜25および第2層間絶縁膜27と、ソース電極28seおよびドレイン電極28deとによって構成されている。
 半導体層22は、島状に設けられている。半導体層22は、例えば、低温ポリシリコン(LTPS:Low Temperature Polycrystalline Silicon)やインジウムガリウム亜鉛酸化物(In-Ga-Zn-O系)などの酸化物半導体によって形成されている。
 ゲート絶縁膜23は、半導体層22を覆うように設けられている。ゲート絶縁膜23は、例えば、酸化シリコン、窒化シリコン、酸窒化シリコンなどからなる無機絶縁層の単層膜または積層膜によって構成されている。ゲート電極24geは、ゲート絶縁膜23を介して半導体層22の一部(チャネル領域)と重なる位置に設けられている。
 第1層間絶縁膜25は、ゲート配線24gl、ゲート電極24ge、エミッション制御配線24el、第1容量電極24ceを覆うように設けられている。第2層間絶縁膜27は、第1層間絶縁膜25上で初期化電源配線26il、第1電源配線26plおよび第2容量電極26ceを覆うように設けられている。これら第1層間絶縁膜25および第2層間絶縁膜27はそれぞれ、例えば、酸化シリコン、窒化シリコン、酸窒化シリコンなどからなる無機絶縁層の単層膜または積層膜によって構成されている。
 ソース電極28seとドレイン電極28deとは、互いに離間している。これらソース電極28seとドレイン電極28deとは、ゲート絶縁膜23、第1層間絶縁膜25および第2層間絶縁膜27に形成されたコンタクトホール31を介して、半導体層22におけるゲート電極24geと重なる領域を挟んだ位置で異なる部分(ソース領域、ドレイン領域)にそれぞれ接続されている。
 〈キャパシタ〉
 キャパシタ32は、サブ画素Spごとに少なくとも1つ設けられている。すなわち、TFT層20は、複数のキャパシタ32を含んでいる。複数のキャパシタ32それぞれは、第1容量電極24ceと、第1層間絶縁膜25と、第2容量電極26ceとによって構成されている。
 第1容量電極24ceは、サブ画素Spごとに設けられた複数のTFT30のうち3つのTFT30(第1TFT30a、第2TFT30bおよび第4TFT30d)と接続されている。第2容量電極26ceは、第1層間絶縁膜25を介して第1容量電極24ceと重なる位置に設けられている。第2容量電極26ceは、ハイレベル電源配線Plに接続されている。
 〈画素回路〉
 図5は、画素回路40を示す等価回路図である。
 サブ画素Spごとに設けられた複数のTFT30とキャパシタ32とは、図5に示すように画素回路40を構成している。画素回路40は、ゲート配線24glから供給されるゲート信号と、エミッション制御配線24elから供給されるエミッション信号と、ソース配線28slから供給されるソース信号と、初期化電源配線26ilから供給される初期化電位と、ハイレベル電源配線Plから供給されるハイレベル電位とに基づいて、対応するサブ画素Spの発光領域Eでの発光を制御する。
 図5に示す画素回路40は、m行目n列目(m,nは正の整数)のサブ画素Spの画素回路40である。図5において、参照符号に(m)を付加したソース配線28slは、m行目のサブ画素Spに対応するソース配線28slである。参照符号に(n)を付加したゲート配線24glおよびエミッション制御配線24elは、n列目のサブ画素Spに対応するゲート配線24glおよびエミッション制御配線24elである。また、参照符号に(n-1)を付加したゲート配線24glは、n列目のゲート配線24glの1つ前に走査されるゲート配線24glである。
 画素回路40を構成する複数のTFT30は、第1TFT30a、第2TFT30b、第3TFT30c、第4TFT30d、第5TFT30e、第6TFT30fおよび第7TFT30gを含んでいる。これら第1~第7TFT30a,30b,30c,30d,30e,30f,30gはいずれも、例えばPチャネル型のTFTである。第1~第7TFT30a,30b,30c,30d,30e,30f,30gにおいて、ゲート電極24geは制御端子に相当し、ソース電極28seおよびドレイン電極28deのうち一方の電極は第1導通端子Naに相当し、他方の電極は第2導通端子Nbに相当する。
 第1TFT30aは、ゲート配線24gl(n-1)と初期化電源配線26ilとキャパシタ32との間に設けられた第1初期化用のTFTである。第1TFT30aの制御端子は、ゲート配線24gl(n-1)に接続されている。第1TFT30aの第1導通端子Naは、初期化電源配線26ilに接続されている。第1TFT30aの第2導通端子Nbは、キャパシタ32の第1容量電極24ceに接続されている。この第1TFT30aは、ゲート配線24gl(n-1)の選択に応じて、初期化電源配線26ilの電圧をキャパシタ32に印加することにより、第4TFT30dの制御端子にかかる電圧を初期化する。
 第2TFT30bは、ゲート配線24gl(n)と第4TFT30dとの間に設けられた閾値電圧補償用のTFTである。第2TFT30bの制御端子は、ゲート配線24glに接続されている。第2TFT30bの第1導通端子Naは、第4TFT30dの第2導通端子Nbに接続されている。第2TFT30bの第2導通端子Nbは、第4TFT30dの制御端子に接続されている。この第2TFT30bは、ゲート配線24gl(n)の選択に応じて、第4TFT30dをダイオード接続状態にし、第4TFT30dの閾値電圧を補償する。
 第3TFT30cは、ゲート配線24gl(n)とソース配線28sl(m)と第4TFT30dとの間に設けられた書き込み制御用のTFTである。第3TFT30cの制御端子は、ゲート配線24gl(n)に接続されている。第3TFT30cの第1導通端子Naは、ソース配線28sl(m)に接続されている。第3TFT30cの第2導通端子Nbは、第4TFT30dの第1導通端子Naに接続されている。この第3TFT30cは、ゲート配線24glの選択に応じて、ソース配線28sl(m)の電圧を第4TFT30dの第1導通端子Naに印加する。
 第4TFT30dは、第1TFT30aと第2TFT30bとキャパシタ32と第3TFT30cと第5TFT30eと第6TFT30fとの間に設けられた駆動用のTFTである。第4TFT30dの制御端子は、第2TFT30bの第2導通端子Nbと、第1TFT30aの第2導通端子Nbとに接続されている。第4TFT30dの第1導通端子Naは、第3TFT30cの第2導通端子Nbと、第5TFT30eの第2導通端子Nbとに接続されている。第4TFT30dの第2導通端子Nbは、第2TFT30bの第1導通端子Naと、第6TFT30fの第1導通端子Naとに接続されている。この第4TFT30dは、自素子の制御端子と第1導通端子Naとの間にかかる電圧に応じた駆動電流を第6TFT30fの第1導通端子Naに印加する。
 第5TFT30eは、エミッション制御配線24el(n)とハイレベル電源配線Plと第4TFT30dとの間に設けられた電源供給用のTFTである。第5TFT30eの制御端子は、エミッション制御配線24el(n)に接続されている。第5TFT30eの第1導通端子Naは、ハイレベル電源配線Plに接続されている。第5TFT30eの第2導通端子Nbは、第4TFT30dの第1導通端子Naに接続されている。この第5TFT30eは、エミッション制御配線24elの選択に応じてハイレベル電源配線Plの電位を第4TFT30dの第1導通端子Naに印加する。
 第6TFT30fは、エミッション制御配線24el(n)と第2TFT30bと第4TFT30dと有機EL素子60との間に設けられた発光制御用のTFTである。第6TFT30fの制御端子は、エミッション制御配線24el(n)に接続されている。第6TFT30fの第1導通端子Naは、第4TFT30dの第2導通端子Nbに接続されている。第6TFT30fの第2導通端子Nbは、有機EL素子60の第1電極51に接続されている。この第6TFT30fは、エミッション制御配線24el(n)の選択に応じて駆動電流を有機EL素子60に印加する。
 第7TFT30gは、ゲート配線24gl(n)と初期化電源配線26ilと有機EL素子60との間に設けられた第2初期化用のTFTである。第7TFT30gの制御端子は、ゲート配線24gl(n)に接続されている。第7TFT30gの第2導通端子Nbは、初期化電源配線26ilに接続されている。第7TFT30gの第1導通端子Naは、有機EL素子60の第1電極51に接続されている。この第7TFT30gは、ゲート配線24glの選択に応じて有機EL素子60の第1電極51に蓄積した電荷をリセットする。
 キャパシタ32は、ハイレベル電源配線Plと第1TFT30aと第4TFT30dとの間に設けられたデータ保持用の素子である。キャパシタ32の第1容量電極24ceは、第4TFT30dの制御端子と、第1TFT30aの第2導通端子Nbと、第2TFT30bの第2導通端子Nbとに接続されている。キャパシタ32の第2容量電極26ceは、ハイレベル電源配線Plに接続されている。キャパシタ32は、ゲート配線24glが選択状態にあるときに、ソース配線28slの電圧で蓄電される。キャパシタ32は、蓄電により書き込まれた電圧を保持することにより、ゲート配線24glが非選択状態にあるときに、第4TFT30dの制御端子にかかる電圧を維持する。
 〈平坦化膜〉
 平坦化膜29は、表示領域Dにおいて、第6TFT30fのドレイン電極28deの一部以外の第3導電層28(ソース配線28sl、第2電源配線28pl、ソース電極28se、ドレイン電極28de)を覆うことにより、TFT層20の表面を、第1TFT30a、第2TFT30b、第3TFT30c、第4TFT30d、第5TFT30e、第6TFT30f、第7TFT30gの表面形状による段差を低減するように平坦化している。平坦化膜29は、例えばポリイミド樹脂などの有機材料によって形成されている。平坦化膜29には、第1電極51を第6TFT30fのドレイン電極28deに接続するためのコンタクトホール33が、有機EL素子60ごとに形成されている。
 〈第1壁層〉
 第1壁層は、額縁領域Fにおいて、平坦化膜29の外周に2つ設けられている。各第1壁層は、平坦化膜29の周囲全周に亘って延びる矩形枠状に形成されている。これら2つの第1壁層は、互いに相似形とされ、額縁領域Fの幅方向に互いに間隔をあけて配置されている。各第1壁層は、平坦化膜29と同一層に同一材料によって形成されている。
 〈発光素子層〉
 図6は、第1実施形態に係る有機EL表示装置1の第1表示領域D1における要部を示す断面図である。図7は、第1実施形態に係る有機EL表示装置1の第2表示領域D2における要部を示す断面図である。図8は、有機EL表示装置1を構成する有機EL層53の積層構造を示す断面図である。図9は、第1実施形態に係る有機EL表示装置1の第1表示領域D1および第2表示領域D2における各第1電極51の積層構造を示す断面図である。図10は、第1実施形態に係る有機EL表示装置1の第1表示領域D1および第2表示領域D2における各発光領域Eおよびその周辺の構成を示す平面図である。
 図4、図6および図7に示すように、発光素子層50は、平坦化膜29上に順に設けられた、第1電極51と、エッジカバー52および第2壁層(不図示)と、有機EL層53と、第2電極54とを備えている。
 第1電極51、有機EL層53および第2電極54は、有機EL素子60を構成している。有機EL素子60は、発光素子の一例である。有機EL素子60は、トップエミッション型の構造を採用している。有機EL素子60は、サブ画素Spごとに設けられている。すなわち、発光素子層50は、複数の有機EL素子60を含んでいる。
 複数の有機EL素子60には、第1表示領域D1に位置する複数の第1有機EL素子60A(図6参照)と、第2表示領域D2に位置する複数の第2有機EL素子60B(図7参照)とが含まれている。第1有機EL素子60Aおよび第2有機EL素子60Bはそれぞれ、第1電極51、有機EL層53および第2電極54を備えている。
 〈第1電極〉
 第1電極51は、有機EL素子60ごと(サブ画素Spごと)に設けられている。第1電極51は、対応するサブ画素Spにおける第6TFT30fのドレイン電極28deに対し、平坦化膜29に形成されたコンタクトホール33を介して接続されている。第1電極51は、有機EL層53に正孔(ホール)を注入する陽極として機能する。第1電極51は、有機EL層53への正孔注入効率を向上させるために、仕事関数の大きな材料で形成するのが好ましい。
 第1電極51は、第1有機EL素子60Aと第2有機EL素子60Bとで光の透過率が異なるように作り分けられている。第1有機EL素子60Aの第1電極51と、第2有機EL素子60Bの第1電極51とは、それぞれ複数の導電層が積層された構造を有し、互いの層構成が異なっている。図9に示すように、平面視において、第1有機EL素子60Aの第1電極51と、第2有機EL素子60Bの第1電極51とは、互いに同一形状で同等な面積である。
 〈第1有機EL素子の第1電極〉
 図6および図8に示すように、第1有機EL素子60Aの第1電極51は、平坦化膜29上に順に設けられた、第1下側透明導電層61、第1反射導電層62および第1上側透明導電層65を備えている。
 第1下側透明導電層61は、第1反射導電層62の腐食を抑制すると共に、平坦化膜29に対する第1電極51の密着性を向上させるための層である。第1下側透明導電層61は、光を透過する光透過性を有している。第1下側透明導電層61は、例えば、インジウムスズ酸化物(ITO)およびインジウム亜鉛酸化物(IZO)から選択される少なくとも1つの透明導電酸化物によって形成されている。第1下側透明導電層61の厚さt11は、例えば10nm~20nm程度である。
 第1反射導電層62は、第1下側透明導電層61上に設けられている。第1反射導電層62は、第1下側反射導電層63と、第1下側反射導電層63上に設けられた第1上側反射導電層64とを有している。第1下側反射導電層63および第1上側反射導電層64はいずれも、光を反射する光反射性を有している。これら第1下側反射導電層63および第1上側反射導電層64はそれぞれ、銀(Ag)、銀合金、アルミニウム(Al)およびアルミニウム合金から選択される少なくとも1つの金属材料によって形成されている。第1上側反射導電層64は、第1下側反射導電層63よりも薄い(t14<t13)。第1下側反射導電層63の厚さt13は、例えば70nm~90nm程度である。第1上側反射導電層64の厚さt14は、例えば10nm~50nm程度である。第1反射導電層62は、表示領域Dの正面側から入射する光(図6に破線矢印で概念的に示す)を全反射するか、または殆ど全て反射する。
 第1上側透明導電層65は、第1反射導電層62上に設けられている。第1上側透明導電層65は、第1反射導電層62の腐食を抑制するための層である。第1上側透明導電層65は、光を透過する光透過性を有している。第1上側透明導電層65は、例えば、インジウムスズ酸化物(ITO)およびインジウム亜鉛酸化物(IZO)から選択される少なくとも1つの透明導電酸化物によって形成されている。第1上側透明導電層65の厚さt15は、例えば10nm~20nm程度である。
 平面視において、第1下側透明導電層61と、第1下側反射導電層63と、第1上側反射導電層64と、第1上側透明導電層65とは、互いに同一形状で同等な面積である。第1下側透明導電層61、第1下側反射導電層63、第1上側反射導電層64および第1上側透明導電層65の周端面同士は、当該第1下側透明導電層61、第1下側反射導電層63、第1上側反射導電層64および第1上側透明導電層65の積層方向(第1電極51の厚さ方向)において揃っている。第1反射導電層62は、エッジカバー52の開口68の内側全体に亘って、第1下側反射導電層63と第1上側反射導電層64とにより構成されている。
 第1下側透明導電層61、第1上側反射導電層64および第1上側透明導電層65は、同一のパターニング工程でウェットエッチングを用いて形成される。第1下側反射導電層63は、第1下側透明導電層61、第1上側反射導電層64および第1上側透明導電層65などとは別のパターニング工程でウェットエッチングを用いて形成される。第1下側透明導電層61の厚さt11と第1上側透明導電層65の厚さt15とは、ウェットエッチングによる第1電極51の形状制御性を安定させる観点から、互いに同等であることが好ましい。
 〈第2有機EL素子の第1電極〉
 図7および図8に示すように、第2有機EL素子60Bの第1電極51は、平坦化膜29上に順に設けられた、第2下側透明導電層71、第2反射導電層72および第2上側透明導電層75を備えている。
 第2下側透明導電層71は、第2反射導電層72の腐食を抑制すると共に、平坦化膜29に対する第1電極51の密着性を向上させるための層である。第2下側透明導電層71は、光を透過する光透過性を有している。第2下側透明導電層71は、第1下側透明導電層61と同一層に同一材料、例えばインジウムスズ酸化物(ITO)およびインジウム亜鉛酸化物(IZO)から選択される少なくとも1つの透明導電酸化物によって形成されている。第2下側透明導電層71の厚さt21は、例えば10nm~20nm程度である。
 第2反射導電層72は、第2下側透明導電層71上に設けられている。第2反射導電層72は、光を反射する光反射性を有している。第2反射導電層72は、第1上側反射導電層64と同一層に同一材料、例えば、銀(Ag)、銀合金、アルミニウム(Al)およびアルミニウム合金から選択される少なくとも1つの金属材料によって形成されている。第2反射導電層72は、第1反射導電層62よりも薄い(t22<t12)。そのことで、第2有機EL素子60Bの第1電極51は、第1有機EL素子60Aの第1電極51よりも薄い(t2<t1)。第2反射導電層72の厚さt22は、例えば10nm~50nm程度である。第2反射導電層72は、表示領域Dの正面側から入射する光(図7に破線矢印で概念的に示す)を一部透過させ、一部反射する。
 第2上側透明導電層75は、第2反射導電層72上に設けられている。第2上側透明導電層75は、第2反射導電層72の腐食を抑制するための層である。第2上側透明導電層75は、光を透過する光透過性を有している。第2上側透明導電層75は、第1上側透明導電層65と同一層に同一材料、例えばインジウムスズ酸化物(ITO)およびインジウム亜鉛酸化物(IZO)から選択される少なくとも1つの透明導電酸化物によって形成されている。第2上側透明導電層75の厚さt25は、例えば10nm~20nm程度である。
 平面視において、第2下側透明導電層71と、第2反射導電層72と、第2上側透明導電層75とは、互いに同一形状で同等な面積である。第2下側透明導電層71、第2反射導電層72および第2上側透明導電層75の周端面同士は、当該第2下側透明導電層71、第2反射導電層72および第2上側透明導電層75の積層方向(第1電極51の厚さ方向)において揃っている。第2反射導電層72は、エッジカバー52の開口68の内側全体に亘って第1反射導電層62よりも薄く設けられている。
 第2下側透明導電層71、第2反射導電層72および第2上側透明導電層75は、第1下側透明導電層61、第1上側反射導電層64および第1上側透明導電層65と同一のパターニング工程でウェットエッチングを用いて形成される。第2下側透明導電層71の厚さt21と第2上側透明導電層75の厚さt25とは、ウェットエッチングによる第1電極51の形状制御性を安定させる観点から、互いに同等であることが好ましい。
 〈エッジカバー〉
 エッジカバー52は、第1表示領域D1と第2表示領域D2とで共通している。図4に示すように、エッジカバー52は、隣り合うサブ画素Spの第1電極51を区画している。エッジカバー52は全体として格子状に形成され、各第1電極51の周縁部を覆っている。エッジカバー52の材料としては、例えば、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂、ポリシロキサン樹脂、ノボラック樹脂などの有機材料が挙げられる。エッジカバー52の表面の一部は、上方に突出して、フォトスペーサ69を構成している。
 平面視でエッジカバー52と重なる箇所には、第1TFT30a、第2TFT30b、第3TFT30c、第4TFT30d、第5TFT30e、第6TFT30fおよび第7TFT30gのうちいくつかのTFT30、例えば第6TFT30fを含む複数のTFT30が位置している。エッジカバー52には、第1電極51を露出させる開口68が有機EL素子60ごとに形成されている。有機EL素子60は、エッジカバー52の開口68に対応する領域に、第1電極51と第2電極54とが有機EL層53を介して互いに対向する構造を有し、同領域で発光する。
 サブ画素Spのうちエッジカバー52の開口68に対応する領域は、有機EL素子60が発光する発光領域Eを構成している。図9に示すように、平面視において、エッジカバー52における第1有機EL素子60Aの第1電極51を露出させる開口68と、第2有機EL素子60Bの第1電極51を露出させる開口68とは、互いに同一形状で同等な面積である。すなわち、第1表示領域D1の各サブ画素Spにおける発光領域Eと、第2表示領域D2の各サブ画素Spにおける発光領域Eとは、互いに同一形状で同等な面積である。
 〈第2壁層〉
 第2壁層は、2つの第1壁層それぞれの上に積層されている。すなわち、各第2壁層は、平坦化膜29の周囲全周に亘って延びる矩形枠状に形成されている。これら2つの第2壁層は、互いに相似形とされ、額縁領域Fの幅方向に互いに間隔をあけて配置されている。各第2壁層は、エッジカバー52と同一層に同一材料によって形成されている。
 〈有機EL層〉
 有機EL層53は、第1表示領域D1と第2表示領域D2とで同じ構成である。有機EL層53は、発光機能層の一例である。図7および図8に示すように、有機EL層53は、エッジカバー52の各開口68内で第1電極51上に設けられている。図9に示すように、平面視において、第1有機EL素子60Aの有機EL層53と、第2有機EL素子60Bの有機EL層53とは、互いに同一形状で同等な面積である。
 図10に示すように、有機EL層53は、第1電極51上に順に設けられた、正孔注入層53a、正孔輸送層53b、発光層53c、電子輸送層53dおよび電子注入層53eを有している。正孔注入層53a、正孔輸送層53b、電子輸送層53dおよび電子注入層53eのうちいくつかの層は、複数のサブ画素Spにおいて一続きとして共通に設けられていてもよい。
 正孔注入層53aは、陽極バッファ層とも呼ばれる。正孔注入層53aは、第1電極51と有機EL層53とのエネルギーレベルを近づけて、第1電極51から有機EL層53へ正孔が注入される効率を改善する。正孔注入層53aの材料としては、例えば、トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体などが挙げられる。
 正孔輸送層53bは、正孔を発光層53cまで効率よく移動させる機能を有している。正孔輸送層53bの材料としては、例えば、ポルフィリン誘導体、芳香族第三級アミン化合物、スチリルアミン誘導体、ポリビニルカルバゾール、ポリ-p-フェニレンビニレン、ポリシラン、トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体、ピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミン置換カルコン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、水素化アモルファスシリコン、水素化アモルファス炭化シリコン、硫化亜鉛、セレン化亜鉛などが挙げられる。
 発光層53cは、第1電極51および第2電極54によって電圧が印加されたときに、第1電極51から注入された正孔と第2電極54から注入された電子とを再結合させて発光する。発光層53cは、例えば、個々のサブ画素Spにおける有機EL素子60の発光色(赤色、緑色または青色)に合わせて異なる材料により形成される。
 発光層53cの材料としては、例えば、金属オキシノイド化合物[8-ヒドロキシキノリン金属錯体]、ナフタレン誘導体、アントラセン誘導体、ジフェニルエチレン誘導体、ビニルアセトン誘導体、トリフェニルアミン誘導体、ブタジエン誘導体、クマリン誘導体、ベンズオキサゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、オキサゾール誘導体、ベンズイミダゾール誘導体、チアジアゾール誘導体、ベンゾチアゾール誘導体、スチリル誘導体、スチリルアミン誘導体、ビススチリルベンゼン誘導体、トリススチリルベンゼン誘導体、ペリレン誘導体、ペリノン誘導体、アミノピレン誘導体、ピリジン誘導体、ローダミン誘導体、アクイジン誘導体、フェノキサゾン、キナクリドン誘導体、ルブレン、ポリ-p-フェニレンビニレン、ポリシランなどが挙げられる。
 電子輸送層53dは、電子を発光層53cまで効率よく移動させる。電子輸送層53dの材料としては、例えば、オキサジアゾール誘導体、トリアゾール誘導体、ベンゾキノン誘導体、ナフトキノン誘導体、アントラキノン誘導体、テトラシアノアントラキノジメタン誘導体、ジフェノキノン誘導体、フルオレノン誘導体、シロール誘導体、金属オキシノイド化合物などが挙げられる。
 電子注入層53eは、陰極バッファ層とも呼ばれる。電子注入層53eは、第2電極54と有機EL層53とのエネルギーレベルを近づけて、第2電極54から有機EL層53へ電子が注入される効率を改善する機能を有している。電子注入層53eの材料としては、例えば、フッ化リチウム(LiF)、フッ化マグネシウム(MgF2)、フッ化カルシウム(CaF2)、フッ化ストロンチウム(SrF2)、フッ化バリウム(BaF2)のような無機アルカリ化合物、酸化アルミニウム(Al2O3)、酸化ストロンチウム(SrO)などが挙げられる。
 〈第2電極〉
 第2電極54は、第1表示領域D1と第2表示領域D2とで同じ構成である。第2電極54は、複数のサブ画素Spに共通して設けられている。第2電極54は、有機EL層53およびエッジカバー52を覆い、有機EL層53を介して第1電極51に重なっている。第2電極54は、有機EL層53に電子を注入する陰極として機能する。第2電極54は、光を透過する光透過性を有している。
 第2電極54の材料としては、例えば、銀(Ag)、アルミニウム(Al)、バナジウム(V)、カルシウム(Ca)、チタン(Ti)、イットリウム(Y)、ナトリウム(Na)、マンガン(Mn)、インジウム(In)、マグネシウム(Mg)、リチウム(Li)、イッテルビウム(Yb)、フッ化リチウム(LiF)などが挙げられる。
 第2電極54は、例えば、マグネシウム(Mg)/銅(Cu)、マグネシウム(Mg)/銀(Ag)、ナトリウム(Na)/カリウム(K)、アスタチン(At)/酸化アスタチン(AtO2)、リチウム(Li)/アルミニウム(Al)、リチウム(Li)/カルシウム(Ca)/アルミニウム(Al)、フッ化リチウム(LiF)/カルシウム(Ca)/アルミニウム(Al)などの合金により形成されていてもよい。
 第2電極54は、例えば、酸化スズ(SnO)、酸化亜鉛(ZnO)、インジウムスズ酸化物(ITO)、インジウム亜鉛酸化物(IZO)などの導電性酸化物により形成されていてもよい。第2電極54は、有機EL層53への電子注入効率を向上させるために、仕事関数の小さな材料で形成するのが好ましい。第2電極54は、上記材料からなる層を複数積層して形成されていてもよい。
 〈封止膜〉
 図4に示すように、封止膜80は、複数の有機EL素子60を覆うように設けられている。封止膜80は、各有機EL素子60の有機EL層53を水分や酸素などから保護する。封止膜80は、第2電極54を覆うように設けられた第1無機封止層81と、第1無機封止層81上に設けられた有機封止層82と、有機封止層82上に設けられた第2無機封止層83とを備えている。
 第1無機封止層81および第2無機封止層83は、例えば、酸化シリコン膜や窒化シリコン膜、酸窒化シリコン膜などの無機絶縁膜により構成されている。有機封止層82は、例えば、アクリル樹脂やエポキシ樹脂、シリコーン樹脂、ポリ尿素樹脂、パリレン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂などの有機材料により形成されている。封止膜80は、有機EL表示装置1の表面側に貼り付けられた、図示しない表面保護フィルムにより覆われている。
 -有機EL表示装置の動作-
 上記構成の有機EL表示装置1では、各サブ画素Spにおいて、まず、対応するエミッション制御配線24elが選択されて非活性状態となると、有機EL素子60が非発光状態となる。そして、非発光状態の有機EL素子60に対応するゲート配線24glの1つ前に走査されるゲート配線24glが選択されると、そのゲート配線24glを介してゲート信号が第1TFT30aに入力されて、第1TFT30aおよび第4TFT30dがオン状態となり、初期化電源配線26ilの電圧がキャパシタ32に印加される。それによって、キャパシタ32の電荷が放電されて、第4TFT30dのゲート電極24geにかかる電圧が初期化される。
 次に、非発光状態の有機EL素子60に対応するゲート配線24glが選択されて活性状態となると、第2TFT30bおよび第3TFT30cがオン状態となり、ソース配線28slを介して伝達されるソース信号に対応する所定の電圧がダイオード接続状態の第4TFT30dを介してキャパシタ32に書き込まれる。さらに、第7TFT30gがオン状態となり、初期化電源配線26ilの電圧が有機EL素子60の第1電極51に印加されて、第1電極51に蓄積された電荷がリセットされる。
 その後、非発光状態の有機EL素子60に対応するエミッション制御配線24elが非選択とされて活性状態となると、第5TFT30eおよび第6TFT30fがオン状態となり、第4TFT30dのゲート電極24geにかかる電圧に応じた駆動電流がハイレベル電源配線Plから有機EL素子60に供給される。このようにして、各有機EL素子60は、駆動電流に応じた輝度で発光する。それにより、有機EL表示装置1では表示領域Dに画像が表示される。
 -有機EL表示装置の製造方法-
 第1実施形態に係る有機EL表示装置1を製造する方法を以下に説明する。図11は、有機EL表示装置1の製造方法を概略的に示すフロー図である。図12は、発光素子層形成工程ST2を概略的に示すフロー図である。
 図11に示すように、有機EL表示装置1の製造方法は、TFT層形成工程ST1と、発光素子層形成工程ST2と、封止膜形成工程ST3と、フレキシブル化工程ST4と、実装工程ST5とを含む。
 〈TFT層形成工程〉
 TFT層形成工程ST1では、まず、ガラス基板100上に、樹脂材料を塗布するなどして樹脂基板層10を形成する。その後、樹脂基板層10が形成された基板上に、プラズマCVD(Chemical Vapor Deposition)法およびスパッタリング法などの周知の成膜技術やフォトリソグラフィなどのパターニング技術を用いて、ベースコート膜21、半導体層22、ゲート絶縁膜23、第1導電層24(ゲート配線24gl、ゲート電極24ge、エミッション制御配線24el、第1容量電極24ceおよび第1引き出し配線)、第1層間絶縁膜25、第2導電層26(初期化電源配線26il、第1電源配線26plおよび第2容量電極26ce)、第2層間絶縁膜27、第3導電層28(ソース配線28sl、ソース電極28se、ドレイン電極28de、第2電源配線28pl、第2引き出し配線、第1額縁配線Laおよび第2額縁配線Lb)および平坦化膜29を順に形成する。
 このようにして、TFT層形成工程ST1では、樹脂基板層10上に、複数のTFT30を含むTFT層20を形成する。
 〈発光素子層形成工程〉
 発光素子層形成工程ST2は、TFT層形成工程ST1の後に行われる。図12に示すように、発光素子層形成工程ST2は、第1電極形成工程ST2aと、エッジカバー形成工程ST2bと、有機EL層形成工程ST2cと、第2電極形成工程ST2dとを含む。
 〈第1電極形成工程〉
 第1電極形成工程ST2aでは、有機EL素子60ごとに第1電極51を形成する。第1電極形成工程ST2aは、第1成膜工程ST2a-1と、第1パターニング工程ST2a-2と、第2成膜工程ST2a-3と、第2パターニング工程ST2a-4とを含む。
 〈第1成膜工程〉
 図13は、第1実施形態に係る有機EL表示装置1の製造方法における第1成膜工程ST2a-1で成膜を行った基板の要部を示す断面図である。
 図13に示すように、第1成膜工程ST2a-1では、TFT層20が形成された基板上に、例えばスパッタリング法により、第1透明導電膜101および第1反射導電膜102をそれぞれ単層でまたは複数積層するように順に成膜する。ここで成膜する第1透明導電膜101の厚さは、例えば10nm~20nm程度とする。第1反射導電膜102の厚さは、例えば70nm~90nm程度とする。
 〈第1パターニング工程〉
 図14は、第1実施形態に係る有機EL表示装置1の製造方法における第1パターニング工程ST2a-2でレジスト層103を形成した基板の要部を示す断面図である。図15は、第1実施形態に係る有機EL表示装置1の製造方法における第1パターニング工程ST2a-2でパターニングを行った基板の要部を示す断面図である。
 第1パターニング工程ST2a-2は、第1成膜工程ST2a-1の後に行われる。第1パターニング工程ST2a-2では、第1反射導電膜102をフォトリソグラフィによりパターニングして、表示領域Dのうち第1表示領域D1に、当該第1反射導電膜102から複数の第1下側反射導電層63を所定のパターンで形成する。
 まず、第1透明導電膜101および第1反射導電膜102が形成された基板上に、例えばスピンコート法などの公知の塗布法により、感光性樹脂材料を塗布する。続いて、その感光性樹脂材料の塗布膜に対し、プリベーク、露光、現像およびポストベークを行って、当該塗布膜をパターニングすることにより、図14に示すように、第1表示領域D1の第1電極51を形成する各領域に島状のレジスト層103を形成する。
 次に、レジスト層103をマスクとして第1反射導電膜102をエッチング液に晒すことにより、第1反射導電膜102にウェットエッチングを施す。このときのエッチング液には、第1透明導電膜101の材料に対する第1反射導電膜102の材料の選択比が比較的高い種のエッチング液が用いられる。そのようなエッチング液を用いたウェットエッチングにより、第1反射導電膜102を選択的に腐食溶解させてパターニングする。その後、レジスト層103をアッシングにより除去する。こうして、図15に示すように、第1表示領域D1に、当該第1反射導電膜102から各第1下側反射導電層63を形成する。
 〈第2成膜工程〉
 図16は、第1実施形態に係る有機EL表示装置1の製造方法における第2成膜工程ST2a-3で成膜を行った基板の要部を示す断面図である。
 第2成膜工程ST2a-3は、第1パターニング工程ST2a-2の後に行われる。第2成膜工程ST2a-3では、第1下側反射導電層63が形成された基板上に、例えばスパッタリング法により、第2反射導電膜104および第2透明導電膜105をそれぞれ単層でまたは複数積層するように順に成膜する。ここで成膜する第2反射導電膜104の厚さは、例えば10nm~50nm程度とする。第2透明導電膜105の厚さは、第1透明導電膜101の厚さと同等(例えば10nm~20nm程度)とする。
 〈第2パターニング工程〉
 図17は、第1実施形態に係る有機EL表示装置1の製造方法における第2パターニング工程ST2a-4でレジスト層106を形成した基板の要部を示す断面図である。図18は、第1実施形態に係る有機EL表示装置1の製造方法における第2パターニング工程ST2a-4でパターニングを行った基板の要部を示す断面図である。
 第2パターニング工程ST2a-4は、第2成膜工程ST2a-3の後に行われる。第2パターニング工程ST2a-4では、第1透明導電膜101、第2反射導電膜104および第2透明導電膜105をフォトリソグラフィによりパターニングして、第1表示領域D1および第2表示領域D2それぞれに複数の第1電極51を所定のパターンで形成する。
 まず、第2反射導電膜104および第2透明導電膜105が形成された基板上に、例えばスピンコート法などの公知の塗布法により、感光性樹脂材料を塗布する。続いて、その感光性樹脂材料の塗布膜に対し、プリベーク、露光、現像およびポストベークを行って、当該塗布膜をパターニングすることにより、図17に示すように、第1表示領域D1および第2表示領域D2の第1電極51を形成する各領域に島状のレジスト層106を形成する。
 次に、レジスト層106をマスクとして第1透明導電膜101、第2反射導電膜104および第2透明導電膜105をエッチング液に晒すことにより、それら第1透明導電膜101、第2反射導電膜104および第2透明導電膜105にウェットエッチングを施す。このときのエッチング液には、第1透明導電膜101および第2透明導電膜105の材料と第2反射導電膜104の材料との選択比が比較的低い種のエッチング液が用いられる。そのようなエッチング液を用いたウェットエッチングにより、第1透明導電膜101、第2反射導電膜104および第2透明導電膜105を一括に腐食溶解させてパターニングする。その後、レジスト層106をアッシングにより除去する。
 それら第1透明導電膜101、第2反射導電膜104および第2透明導電膜105をパターニングすることで、図18に示すように、第1表示領域D1に、各々第1下側反射導電層63と重なり合うように、第1透明導電膜101から第1下側透明導電層61を形成し、第2反射導電膜104から第1上側反射導電層64を形成し、第2透明導電膜105から第1上側透明導電層65を形成する。また、それら第1下側透明導電層61などの形成と共に、第2表示領域D2に、互いに重なり合うように、第1透明導電膜101から第2下側透明導電層71を形成し、第2反射導電膜104から第2反射導電層72を形成し、第2透明導電膜105から第2上側透明導電層75を形成する。
 このとき、第1透明導電膜101の厚さと第2透明導電膜105の厚さとが異なる場合には、第1透明導電膜101のエッチングレートと第2透明導電膜105のエッチングレートとに差異が生じるため、第1下側透明導電層61および第2下側透明導電層71の外周部分の内方へのシフト量と、第1上側透明導電層65および第2上側透明導電層75の外周部分の内方へのシフト量とが相違する。その結果、第1下側透明導電層61と第1上側透明導電層65との形状、第2下側透明導電層71と第2上側透明導電層75との形状がそれぞれ一致しないおそれがある。これに対し、本実施形態においては、第1透明導電膜101の厚さと第2透明導電膜105の厚さとが同等であるので、第1透明導電膜101のエッチングレートと第2透明導電膜105のエッチングレートとが揃う。そのため、第1下側透明導電層61と第1上側透明導電層65との形状、第2下側透明導電層71と第2上側透明導電層75との形状をそれぞれ一致させやすい。
 このようにして、第1表示領域D1に、第1下側透明導電層61、第1下側反射導電層63、第1上側反射導電層64および第1上側透明導電層65が積層されてなる第1電極51を複数形成する。また、第2表示領域D2に、第2下側透明導電層71、第2反射導電層72および第2上側透明導電層75が積層されてなる第1電極51を複数形成する。
 〈エッジカバー形成工程〉
 エッジカバー形成工程ST2bは、第1電極形成工程ST2aの後に行われる。エッジカバー形成工程ST2bでは、第1電極51が形成された基板上に、例えばスピンコート法などの公知の塗布法により、感光性樹脂材料を塗布する。続いて、その感光性樹脂材料の塗布膜に対し、プリベーク、露光処理、現像処理およびポストベークを行って、当該塗布膜をパターニングすることにより、エッジカバー52および第2壁層を形成する。
 〈有機EL層形成工程〉
 有機EL層形成工程ST2cは、エッジカバー形成工程ST2bの後に行われる。有機EL層形成工程ST2cでは、エッジカバー52が形成された基板上に、サブ画素単位でパターニング可能なFMM(Fine Metal Mask)と呼ばれる成膜用マスクを用いて、例えば真空蒸着法により、正孔注入層53a、正孔輸送層53b、発光層53c、電子輸送層53dおよび電子注入層53eを順に成膜して、個々の第1電極51上に有機EL層53を形成する。なお、正孔注入層53a、正孔輸送層53b、電子輸送層53dおよび電子注入層53eのうちいくつかの層は、表示パネル単位でパターニング可能なCMM(Common Metal Mask)やオープンマスクと呼ばれる成膜用マスクを用いて成膜してもよい。
 〈第2電極形成工程〉
 第2電極形成工程ST2dは、有機EL層形成工程ST2cの後に行われる。第2電極形成工程ST2dでは、有機EL層53が形成された基板上に、例えば成膜用マスクとしてCMM(オープンマスク)を用いる真空蒸着法により、金属膜を単層でまたは複数積層するように成膜することで、第2電極54を形成する。
 このようにして、発光素子層形成工程ST2では、TFT層20上に、複数の有機EL素子60を含む発光素子層50を形成する。
 〈封止膜形成工程〉
 封止膜形成工程ST3は、発光素子層形成工程ST2の後に行われる。封止膜形成工程ST3では、まず、発光素子層50が形成された基板上に、例えば成膜用マスクとしてCMM(オープンマスク)を用いるプラズマCVD法により、無機絶縁膜を単層でまたは複数積層するように成膜することで、第1無機封止層81を形成する。
 次に、第1無機封止層81が形成された基板上に、例えばインクジェット法により有機材料を塗布することで、有機封止層82を形成する。
 次に、有機封止層82が形成された基板上に、例えば成膜用マスクとしてCMM(オープンマスク)を用いるプラズマCVD法により、無機絶縁膜を単層でまたは複数積層するように成膜して、第2無機封止層83を形成する。
 このようにして、封止膜形成工程ST3では、第1無機封止層81、有機封止層82および第2無機封止層83が積層されてなる封止膜80を形成する。
 〈フレキシブル化工程〉
 フレキシブル化工程ST4は、封止膜形成工程ST3の後に行われる。フレキシブル化工程ST4では、樹脂基板層10の下面にガラス基板100側からレーザー光を照射することにより、樹脂基板層10の下面からガラス基板100を剥離する。そして、ガラス基板100を剥離した樹脂基板層10の下面に裏面保護フィルム11を貼り付ける。また、封止膜80が形成された基板の表面に表面保護フィルムを貼り付ける。
 〈実装工程〉
 実装工程ST5は、フレキシブル化工程ST4の後に行われる。実装工程ST5では、ガラス基板100を剥離した基板の端子部Tに、ACF(Anisotropic Conductive Film)やACP(Anisotropic Conductive Paste)などの導電材を用いて配線基板Cbを接続することにより、配線基板Cbと端子部Tとの導通をとって当該配線基板Cbと共に表示制御回路などの外部回路を実装する。
 しかる後、有機EL表示装置1をカメラ3と共に筐体内に収容し、有機EL表示装置1の背面側において、平面視で第2表示領域D2と重なる位置にカメラ3を設置する。
 以上のようにして、本実施形態の有機EL表示装置1を製造できる。
 -第1実施形態の特徴と効果-
 第1実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(1)は、第1有機EL素子60Aの第1電極51が、第1下側透明導電層61と、第1下側透明導電層61上に設けられた第1反射導電層62と、第1反射導電層62上に設けられた第1上側透明導電層65とを備え、第2有機EL素子60Bの第1電極51が、第1下側透明導電層61と同一層に同一材料によって形成された第2下側透明導電層71と、第2下側透明導電層71上に第1反射導電層62(厳密には第1上側反射導電層64)と同一層に同一材料によって形成された第2反射導電層72と、第2反射導電層72上に第1上側透明導電層65と同一層に同一材料によって形成された第2上側透明導電層75とを備え、第2反射導電層72が、エッジカバー52の開口68の内側において、第1反射導電層62よりも薄いことである。
 第1実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(1)によれば、第2反射導電層72がエッジカバー52の開口68の内側において第1反射導電層62よりも薄いので、第2有機EL素子60Bの第1電極51をエッジカバー52の開口68の内側で透過する光の量が、第2反射導電層72の厚さt22が第1反射導電層62の厚さt12と同じ場合に比べて増大する。これにより、表示領域Dのうちカメラ3に利用される光を透過する第2表示領域D2での光の透過率を高めることができる。
 第1実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(2)は、第2反射導電層72が、エッジカバー52の開口68の内側全体に亘って第1反射導電層62よりも薄く設けられていることである。
 第1実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(2)によれば、第2反射導電層72が、エッジカバー52の開口68の内側全体に亘って第1反射導電層62よりも薄いので、エッジカバー52の開口68の内側で第1電極51を透過する光の量を好適に増大させることができる。
 第1実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(3)は、第1反射導電層62が、エッジカバー52の開口68の内側全体に亘って、第1下側反射導電層63と、第1下側反射導電層63上に設けられた第1上側反射導電層64とにより構成され、第2反射導電層72が、第1上側反射導電層64と同一層に同一材料によって形成されていることである。
 第1実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(3)によれば、第2反射導電層72が第1反射導電層62を構成する2つの導電層のうちの1層である第1上側反射導電層64と同一層に同一材料によって形成されているので、有機EL表示装置1の製造上、第2反射導電層72を第1反射導電層62よりも容易に薄くできる。それにより、当該第2反射導電層72を有する第2有機EL素子60Bを比較的簡単な製造フローで実現できる。
 第1実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(4)は、第1反射導電層62および第2反射導電層72がそれぞれ、銀(Ag)、銀合金、アルミニウム(Al)およびアルミニウム合金から選択される少なくとも1つの金属材料によって形成されていることである。
 第1実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(4)によれば、第1反射導電層62および第2反射導電層72がそれぞれ、可視光の反射率が比較的高い金属材料によって形成されているので、各々トップエミッション型である第1有機EL素子60Aおよび第2有機EL素子60Bの光の取り出し効率を高めるのに有利である。
 第1実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(5)は、第1下側透明導電層61および第2下側透明導電層71と、第1上側透明導電層65および第2上側透明導電層75とがそれぞれ、インジウムスズ酸化物(ITO)およびインジウム亜鉛酸化物(IZO)から選択される少なくとも1つの透明導電酸化物によって形成されていることである。
 第1実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(5)によれば、第1下側透明導電層61および第2下側透明導電層71と、第1上側透明導電層65および第2上側透明導電層75とがそれぞれ、可視光の透過率が比較的高い透明導電酸化物によって形成されているので、第2有機EL素子60Bの第1電極51を透過する光の量を好適に増大させることができる。このことは、第2表示領域D2での光の透過率を高めるのに有利である。
 第1実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(6)は、平面視において、第1有機EL素子60Aの第1電極51の面積と、第2有機EL素子60Bの第1電極51の面積とが、互いに同等であることである。
 第1実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(7)は、平面視において、エッジカバー52における第1有機EL素子60Aの第1電極51を露出させる開口68の面積と、第2有機EL素子60Bの第1電極51を露出させる開口68の面積とが、互いに同等であることである。
 第1実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(8)は、平面視において、第1有機EL素子60Aの有機EL層53の面積と、第2有機EL素子60Bの有機EL層53の面積とが、互いに同等であることである。
 第1実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(6)~(8)によれば、第1有機EL素子60Aと第2有機EL素子60Bとで、第1電極51の面積と、エッジカバー52における第1電極51を露出させる開口68の面積と、有機EL層53の面積とが、それぞれ互いに同等であるので、第1表示領域D1と第2表示領域D2とにおいて、各サブ画素Spの発光領域Eの面積を揃え、画面の解像度を統一できる。
 また、第1実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(8)によれば、平面視で互いの面積が同等である第1表示領域D1の各有機EL層53と第2表示領域D2の各有機EL層53とを、蒸着法により成膜用マスクを変更することなく併せて形成できる。このことは、有機EL表示装置1を効率よく安価に製造するのに寄与する。
 また、蒸着法で用いられる成膜用マスクは、一般的に比較的薄く、適度な張力により引っ張って固定した状態で使用される。このため、成膜用マスクの使用時においては、同マスクの成膜材料を通す開口の形状にひずみが生じる。この開口形状のひずみがばらつくと、当該開口の位置ずれを生じる。これに対し、第1実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(8)によれば、成膜用マスクの開口の形状およびサイズを統一できるので、成膜用マスクの使用時において、開口形状のひずみがばらつくことを抑制し、当該開口の位置ずれを低減できる。
 第1実施形態に係る有機EL表示装置1の製造方法の特徴は、第1電極形成工程ST2aが、TFT層20が形成された基板上に、第1透明導電膜101および第1反射導電膜102を順に成膜する第1成膜工程ST2a-1と、第1反射導電膜102をパターニングして、第1表示領域D1に、当該第1反射導電膜102から第1下側反射導電層63を形成する第1パターニング工程ST2a-2と、第1下側反射導電層63が形成された基板上に、第2反射導電膜104および第2透明導電膜105を順に成膜する第2成膜工程ST2a-3と、第1透明導電膜101、第2反射導電膜104および第2透明導電膜105をパターニングして、第1表示領域D1に、各々第1下側反射導電層63と重なり合うように、第1透明導電膜101から第1下側透明導電層61を形成し、第2反射導電膜104から第1上側反射導電層64を形成し、第2透明導電膜105から第1上側透明導電層65を形成すると共に、第2表示領域D2に、互いに重なり合うように、第1透明導電膜101から第2下側透明導電層71を形成し、第2反射導電膜104から第2反射導電層72を形成し、第2透明導電膜105から第2上側透明導電層75を形成する第2パターニング工程ST2a-4とを含むことである。
 第1実施形態に係る有機EL表示装置1の製造方法の特徴によれば、第1パターニング工程ST2a-2で第1下側反射導電層63を形成し、第2パターニング工程ST2a-4で第1下側透明導電層61、第1上側反射導電層64および第1上側透明導電層65を形成すると共に第2下側透明導電層71、第2反射導電層72および第2上側透明導電層75を形成するので、互いに層構成の異なる第1有機EL素子60Aの第1電極51と第2有機EL素子60Bの第1電極51とを併せて形成できる。このことは、有機EL表示装置1を効率よく安価に製造するのに寄与する。
 第1実施形態に係る有機EL表示装置1の製造方法の特徴によれば、第2成膜工程ST2a-3で第2反射導電膜104および第2透明導電膜105を順に成膜した後に、第2パターニング工程ST2a-4でそれら第2反射導電膜104および第2透明導電膜105をパターニングするので、第1反射導電層62において有機EL層53からの光を反射する表面と、第2反射導電層72において有機EL層53からの光を反射する表面とはいずれも、第2反射導電膜104を成膜してからパターニングするまで第2透明導電膜105により覆われて大気に晒されずに済む。
 第1反射導電層62の表面と第2反射導電層72の表面とは、透明導電膜などで覆われることなく大気に晒されると、大気中の酸素と反応するなどして酸化したり荒れたりする事象を生じる。こうした事象は、第1反射導電層62および第2反射導電層72による有機EL層53からの光の反射率を低下させる。その結果、第1有機EL素子60Aおよび第2有機EL素子60Bの光の取り出し効率を低下させる事態を招く。
 これに対し、本実施形態においては、第1上側反射導電層64の表面と第2反射導電層72の表面とが、第2反射導電膜104を成膜してからパターニングするまで第2透明導電膜105により覆われて大気に晒されずに済むので、それら第1上側反射導電層64および第2反射導電層72の表面が大気中の酸素と反応するなどして酸化したり荒れたりするのを抑制できる。それによって、第1有機EL素子60Aおよび第2有機EL素子60Bの光の取り出し効率を高めることができる。
 《第1実施形態の変形例1》
 図19は、第1実施形態の変形例1に係る有機EL表示装置1の第2表示領域D2における要部を示す断面図である。
 第1実施形態に係る有機EL表示装置1では、平面視において、第1下側透明導電層61の面積と、第1下側反射導電層63の面積と、第1上側反射導電層64の面積と、第1上側透明導電層65の面積とは、互いに同等であるとしたが、図19に示すように、本変形例に係る有機EL表示装置1では、平面視において、第1下側反射導電層63の面積は、第1下側透明導電層61の面積、第1上側反射導電層64の面積および第1上側透明導電層65の面積よりも小さい。
 第1下側反射導電層63の周端面は、第1上側反射導電層64によって覆われている。平面視において、第1下側透明導電層61の面積と、第1上側反射導電層64の面積と、第1上側透明導電層65の面積とは、互いに同等である。第1下側透明導電層61、第1上側反射導電層64および第1上側透明導電層65の周端面同士は、当該第1下側透明導電層61、第1上側反射導電層64および第1上側透明導電層65の積層方向(第1電極51の厚さ方向)において揃っている。
 -第1実施形態の変形例1の特徴と効果-
 この変形例1に係る有機EL表示装置1の特徴は、第1下側反射導電層63の周端面が、第1上側反射導電層64によって覆われ、第1下側透明導電層61、第1上側反射導電層64および第1上側透明導電層65の周端面同士が、当該第1下側透明導電層61、第1上側反射導電層64および第1上側透明導電層65の積層方向において揃っていることである。
 この変形例1に係る有機EL表示装置1の特徴によれば、第1下側反射導電層63の周端面が、第1上側反射導電層64によって覆われているので、有機EL表示装置1の製造において、第2パターニング工程ST2a-4で第1下側透明導電層61、第1上側反射導電層64および第1上側透明導電層65を形成するときに、第1反射導電層62については第1上側反射導電膜104のみの比較的薄い膜をエッチングすることで済むので、エッチングによるサイドシフトを抑制できると共に、エッチング時間を短くすることができる。
 《第1実施形態の変形例2》
 図20は、第1実施形態の変形例2に係る有機EL表示装置1の第1表示領域D1および第2表示領域D2における各発光領域Eおよびその周辺の構成を示す平面図である。
 第1実施形態に係る有機EL表示装置1では、平面視において、第1表示領域D1におけるサブ画素Spの発光領域Eの面積と、第2表示領域D2におけるサブ画素Spの発光領域Eの面積とが、互いに同等であるとしたが、図20に示すように、本変形例に係る有機EL表示装置1では、平面視において、第1表示領域D1におけるサブ画素Spの発光領域Eの面積と、第2表示領域D2におけるサブ画素Spの発光領域Eの面積とが、互いに異なっている。
 平面視において、第1有機EL素子60Aの第1電極51と、第2有機EL素子60Bの第1電極51とは、互いに同一形状であり、第2有機EL素子60Bの第1電極51の面積は、第1有機EL素子60Aの第1電極51の面積よりも小さい。平面視において、第1有機EL素子60Aの有機EL層53と、第2有機EL素子60Bの有機EL層53とは、互いに同一形状であり、第1有機EL素子60Aの有機EL層53の面積と、第2有機EL素子60Bの有機EL層53の面積とは、互いに同等である。ここでいう「有機EL層53の面積」とは、有機EL層53における個別の発光層72が設けられた領域の平面視での面積を意味する。
 平面視において、エッジカバー52における第1有機EL素子60Aの第1電極51を露出させる開口68の面積は、第2有機EL素子60Bの第1電極51を露出させる開口68の面積よりも大きい。これら両開口68は、平面視で互いに同一形状である。平面視において、第1表示領域D1におけるサブ画素Spの発光領域Eの面積は、第2表示領域D2におけるサブ画素Spの発光領域Eの面積よりも大きい。
 -第1実施形態の変形例2の特徴と効果-
 この変形例2に係る有機EL表示装置1の特徴(1)は、平面視において、第2有機EL素子60Bの第1電極51の面積が、第1有機EL素子60Aの第1電極51の面積よりも小さいことである。
 この変形例2に係る有機EL表示装置1の特徴(1)によれば、第2有機EL素子60Bの第1電極51の面積が第1有機EL素子60Aの第1電極51の面積よりも小さいので、第2表示領域D2において正面側からの光が第1電極51により遮られる領域を減らし、正面側から背面側に向けてサブ画素Spを透過する光を多くことができる。このことは、カメラ3の撮影に利用できる光を増加させ、有機EL表示装置1と組み合わせられるインカメラ3の撮影性能を向上させるのに寄与する。
 この変形例2に係る有機EL表示装置1の特徴(2)は、第1実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(8)と同じであり、第1実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(8)と同様な効果を得ることができる。
 この変形例2に係る有機EL表示装置1の特徴(3)は、エッジカバー52において、第1有機EL素子60Aの第1電極51を露出させる開口68の面積が、第2有機EL素子60Bの第1電極51を露出させる開口68の面積よりも大きいことである。
 この変形例2に係る有機EL表示装置1の特徴(3)によれば、第1表示領域D1におけるサブ画素Spの発光領域Eの面積が、第2表示領域D2におけるサブ画素Spの発光領域Eの面積よりも大きくなるので、第1表示領域D1におけるサブ画素Spでの輝度を第2表示領域D2におけるサブ画素Spよりも高めることができる。これにより、第1表示領域D1での画像表示の明るさを確保できる。
 《第2実施形態》
 第2実施形態に係る有機EL表示装置1は、第1有機EL素子60Aの第1電極51の構成と第2有機EL素子60Bの第1電極51の構成とが第1実施形態と異なる。なお、本実施形態では、第1有機EL素子60Aおよび第2有機EL素子60Bの各第1電極51の構成が第1実施形態と異なる他は、有機EL表示装置1について第1実施形態と同様に構成されているので、同一の構成箇所は第1実施形態の説明に譲ることにして、その詳細な説明を省略する。
 -有機EL表示装置の構成-
 図21は、第2実施形態に係る有機EL表示装置1の第1表示領域D1における要部を示す断面図である。図22は、第2実施形態に係る有機EL表示装置1の第2表示領域D2における要部を示す断面図である。図23は、第2実施形態に係る有機EL表示装置1の第1表示領域D1および第2表示領域D2における各第1電極51の積層構造を示す断面図である。図24は、第2実施形態に係る有機EL表示装置1の第1表示領域D1および第2表示領域D2における各発光領域Eおよびその周辺の構成を示す平面図である。
 〈第1有機EL素子の第1電極〉
 図21および図23に示すように、第2実施形態に係る有機EL表示装置1において、第1有機EL素子60Aの第1電極51は、平坦化膜29上に順に設けられた、第1下側透明導電層61、第1反射導電層62および第1上側透明導電層65を備えている。第1下側透明導電層61および第1上側透明導電層65の各構成は、第1実施形態と同様である。第1反射導電層62の構成は、第1実施形態とは異なる。
 第1反射導電層62は、第1下側透明導電層61上に設けられている。第1反射導電層62は、例えば、銀(Ag)、銀合金、アルミニウム(Al)およびアルミニウム合金から選択される少なくとも1つの金属材料によって形成されている。第1反射導電層62の厚さt12は、例えば80nm~100nm程度である。第1反射導電層62は、表示領域Dの正面側から入射する光(図21に破線矢印で概念的に示す)を全反射するか、または殆ど全て反射する。第1反射導電層62は、第1下側透明導電層61と第1上側透明導電層65との間に封止されている。
 図24に示すように、平面視において、第1反射導電層62(図中で右上りの斜線ハッチングを付す)の面積は、第1下側透明導電層61の面積および第1上側透明導電層65の面積よりも小さい。図21に示すように、第1反射導電層62の周端面は、第1上側透明導電層65によって覆われている。第1下側透明導電層61と第1上側透明導電層65とは、第1反射導電層62の外周で互いに接している。第1下側透明導電層61および第1上側透明導電層65の周端面同士は、当該第1下側透明導電層61および第1上側透明導電層65の積層方向(第1電極51の厚さ方向)において揃っている。
 〈第2有機EL素子の第1電極〉
 図22および図23に示すように、第2実施形態に係る有機EL表示装置1において、第2有機EL素子60Bの第1電極51は、平坦化膜29上に順に設けられた、第2下側透明導電層71、第2反射導電層72および第2上側透明導電層75を備えている。第2下側透明導電層71および第2上側透明導電層75の各構成は、第1実施形態と同様である。第2反射導電層72の構成は、第1実施形態と異なっている。
 第2反射導電層72は、第2下側透明導電層71上に設けられている。第2反射導電層72は、エッジカバー52の開口68の内側において島状に複数設けられている。第2反射導電層72は、エッジカバー52と重なる位置には設けられていない。第2反射導電層72は、第1反射導電層62と同一層に同一材料、例えば銀(Ag)、銀合金、アルミニウム(Al)およびアルミニウム合金から選択される少なくとも1つの金属材料によって形成されている。第2反射導電層72の厚さt22は、エッジカバー52の開口68の内側での第1反射導電層62の厚さt12と同等であり、例えば80nm~100nm程度である。
 図24に示すように、エッジカバー52の開口68の内側において、複数の第2反射導電層72(図中で右上りの斜線ハッチングを付す)は、マトリクス状に配置されている。これら複数の第2反射導電層72は、一列に整列していてもよく、その他の配列で設けられていてもよい。隣り合う第2反射導電層72の間には、所定の隙間が設けられている。図22に示すように、第2反射導電層72の周端面は、第2上側透明導電層75によって覆われている。第2下側透明導電層71と第2上側透明導電層75とは、エッジカバー52の開口68の内側において、隣り合う第2反射導電層72の隙間で互いに接している。
 第2反射導電層72は、第2下側透明導電層71と第2上側透明導電層75との間に封止されている。第2下側透明導電層71と第2上側透明導電層75とは、第2有機EL素子60Bの第1電極51のうち平面視でエッジカバー5と重なる部分を構成し、エッジカバー52の開口68の周縁部と重なる箇所で互いに接している。第2下側透明導電層71および第2上側透明導電層75の周端面同士は、当該第2下側透明導電層71および第2上側透明導電層75の積層方向(第1電極51の厚さ方向)において揃っている。
 第2反射導電層72は、エッジカバー52の開口68の内側において部分的に設けられている。第2有機EL素子60Bの第1電極51は、エッジカバー52の開口68の内側において、第2反射導電層72が設けられていない部分を有している。そのことで、第2有機EL素子60Bの第1電極51は、エッジカバー52の開口68の内側において、薄層部分51aと、薄層部分51aよりも厚い複数の厚層部分51b(tb>ta)とを有している。
 第2有機EL素子60Bの第1電極51における薄層部分51aは、第2反射導電層72が設けられていない部分であり、第2下側透明導電層71および第2上側透明導電層75によって構成されている。当該薄層部分51aは、エッジカバー52の開口68の内側において、隣り合う第2反射導電層72の間を格子状に延びている。また、当該薄層部分51aは、第1電極51のうちエッジカバー52と重なる部分を構成し、コンタクトホール33内を含む領域にも設けられている。第2有機EL素子60Bの第1電極51は、当該薄層部分51aにおいて、表示領域Dの正面側から入射する光(図22に破線矢印で概念的に示す)を殆ど透過する。
 第2有機EL素子60Bの第1電極51における厚層部分51bは、第2反射導電層72が設けられた部分であって、マトリクス状に配置されている。当該厚層部分51bの厚さtbは、第1有機EL素子60Aの第1電極51のうちエッジカバー52の開口68の内側に位置する部分の厚さt1と同等である。第2有機EL素子60Bの第1電極51は、当該厚層部分51bにおいて、表示領域Dの正面側から入射する光(図22に破線矢印で概念的に示す)を全反射するか、または殆ど全て反射する。
 -有機EL表示装置の製造方法-
 第2実施形態に係る有機EL表示装置1を製造する方法を以下に説明する。
 第2実施形態に係る有機EL表示装置1の製造方法は、TFT層形成工程ST1と、発光素子層形成工程ST2と、封止膜形成工程ST3と、フレキシブル化工程ST4と、実装工程ST5とを含む。これらのうちTFT層形成工程ST1、封止膜形成工程ST3、フレキシブル化工程ST4および実装工程ST5は、第1実施形態と同様である。
 発光素子層形成工程ST2は、第1電極形成工程ST2aと、エッジカバー形成工程ST2bと、有機EL層形成工程ST2cと、第2電極形成工程ST2dとを含む。これらのうちエッジカバー形成工程ST2b、有機EL層形成工程ST2cおよび第2電極形成工程ST2dは、第1実施形態と同様である。
 第1電極形成工程ST2aは、第1成膜工程ST2a-1と、第1パターニング工程ST2a-2と、第2成膜工程ST2a-3と、第2パターニング工程ST2a-4とを含む。
 〈第1成膜工程〉
 図25は、第2実施形態に係る有機EL表示装置1の製造方法における第1成膜工程ST2a-1で成膜を行った基板の要部を示す断面図である。
 図25に示すように、第1成膜工程ST2a-1では、TFT層20が形成された基板上に、例えばスパッタリング法により、第1透明導電膜101および第1反射導電膜102をそれぞれ単層でまたは複数積層するように順に成膜する。ここで成膜する第1透明導電膜101の厚さは、例えば10nm~20nm程度とする。第1反射導電膜102の厚さは、例えば80nm~100nm程度とする。
 〈第1パターニング工程〉
 図26は、第2実施形態に係る有機EL表示装置1の製造方法における第1パターニング工程ST2a-2でレジスト層103を形成した基板の要部を示す断面図である。図27は、第2実施形態に係る有機EL表示装置1の製造方法における第1パターニング工程ST2a-2でパターニングを行った基板の要部を示す断面図である。
 第1パターニング工程ST2a-2は、第1成膜工程ST2a-1の後に行われる。第1パターニング工程ST2a-2では、第1反射導電膜102をフォトリソグラフィによりパターニングして、表示領域Dのうち第1表示領域D1に、当該第1反射導電膜102から複数の第1反射導電層62を所定のパターンで形成し、表示領域Dのうち第2表示領域D2に、当該第1反射導電膜102から複数の第2反射導電層72を所定のパターンで形成する。
 まず、第1透明導電膜101および第1反射導電膜102が形成された基板上に、例えばスピンコート法などの公知の塗布法により、感光性樹脂材料を塗布する。続いて、その感光性樹脂材料の塗布膜に対し、プリベーク、露光、現像およびポストベークを行って、当該塗布膜をパターニングすることにより、図26に示すように、第1表示領域D1の第1反射導電層62を形成する各領域と、第2表示領域D2の第2反射導電層72を形成する各領域とに島状のレジスト層103を形成する。
 次に、レジスト層103をマスクとして第1反射導電膜102をエッチング液に晒すことにより、第1反射導電膜102にウェットエッチングを施す。このときのエッチング液には、第1透明導電膜101の材料に対する第1反射導電膜102の材料の選択比が比較的高い種のエッチング液が用いられる。そのようなエッチング液を用いたウェットエッチングにより、第1反射導電膜102を選択的に腐食溶解させてパターニングする。その後、レジスト層103をアッシングにより除去する。こうして、図27に示すように、第1表示領域D1に、当該第1反射導電膜102から各第1反射導電層62を形成すると共に、第2表示領域D2に、当該第1反射導電膜102から各第2反射導電層72を形成する。
 〈第2成膜工程〉
 図28は、第2実施形態に係る有機EL表示装置1の製造方法における第2成膜工程ST2a-3で成膜を行った基板の要部を示す断面図である。
 第2成膜工程ST2a-3は、第1パターニング工程ST2a-2の後に行われる。図28に示すように、第2成膜工程ST2a-3では、第1反射導電層62および第2反射導電層72が形成された基板上に、例えばスパッタリング法により、第2透明導電膜105を単層でまたは複数積層するように成膜する。ここで成膜する第2透明導電膜105の厚さは、第1透明導電膜101の厚さと同等(例えば10nm~20nm程度)とする。
 〈第2パターニング工程〉
 図29は、第2実施形態に係る有機EL表示装置1の製造方法における第2パターニング工程ST2a-4でレジスト層106を形成した基板の要部を示す断面図である。図30は、第2実施形態に係る有機EL表示装置1の製造方法における第2パターニング工程ST2a-4でパターニングを行った基板の要部を示す断面図である。
 第2パターニング工程ST2a-4は、第2成膜工程ST2a-3の後に行われる。第2パターニング工程ST2a-4では、第1透明導電膜101および第2透明導電膜105をフォトリソグラフィによりパターニングして、第1表示領域D1および第2表示領域D2それぞれに複数の第1電極51を所定のパターンで形成する。
 まず、第2透明導電膜105が形成された基板上に、例えばスピンコート法などの公知の塗布法により、感光性樹脂材料を塗布する。続いて、その感光性樹脂材料の塗布膜に対し、プリベーク、露光、現像およびポストベークを行って、当該塗布膜をパターニングすることにより、図29に示すように、第1表示領域D1および第2表示領域D2の第1電極51を形成する各領域に島状のレジスト層106を形成する。
 次に、レジスト層106をマスクとして第1透明導電膜101および第2透明導電膜105をエッチング液に晒すことにより、それら第1透明導電膜101および第2透明導電膜105にウェットエッチングを施す。このときのエッチング液には、第1透明導電膜101の材料と第2透明導電膜105の材料との選択比が比較的低い種のエッチング液が用いられる。そのようなエッチング液を用いたウェットエッチングにより、第1透明導電膜101および第2透明導電膜105を一括に腐食溶解させてパターニングする。その後、レジスト層106をアッシングにより除去する。
 それら第1透明導電膜101および第2透明導電膜105をパターニングすることで、図30に示すように、第1表示領域D1に、各々第1反射導電層62と重なり合うように、第1透明導電膜101から第1下側透明導電層61を形成し、第2透明導電膜105から第1上側透明導電層65を形成する。また、それら第1下側透明導電層61などの形成と共に、第2表示領域D2に、各々第2反射導電層72と重なり合うように、第1透明導電膜101から第2下側透明導電層71を形成し、第2透明導電膜105から第2上側透明導電層75を形成する。
 このようにして、第1表示領域D1に、第1下側透明導電層61、第1反射導電層62および第1上側透明導電層65が積層されてなる第1電極51を複数形成する。また、第2表示領域D2に、第2下側透明導電層71、第2反射導電層72および第2上側透明導電層75が積層されてなる第1電極51を複数形成する。
 -第2実施形態の特徴と効果-
 第2実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(1)は、第1有機EL素子60Aの第1電極51が、第1下側透明導電層61と、第1下側透明導電層61上に設けられた第1反射導電層62と、第1反射導電層62上に設けられた第1上側透明導電層65とを備え、第2有機EL素子60Bの第1電極51が、第1下側透明導電層61と同一層に同一材料によって形成された第2下側透明導電層71と、第2下側透明導電層71上に第1反射導電層62と同一層に同一材料によって形成された第2反射導電層72と、第2反射導電層72上に第1上側透明導電層65と同一層に同一材料によって形成された第2上側透明導電層75とを備え、第2反射導電層72が、エッジカバー52の開口68の内側において、部分的に設けられていることである。
 第2実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(1)によれば、第2反射導電層72がエッジカバー52の開口68の内側において部分的に設けられているので、第2有機EL素子60Bの第1電極51のうちエッジカバー52の開口68の内側で第2反射導電層72が設けられていない部分を光が透過し、エッジカバー52の開口68の内側で当該第1電極51を透過する光の量が増大する。これにより、表示領域Dのうちカメラ3に利用される光を透過する第2表示領域D2での光の透過率を高めることができる。
 第2実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(2)は、第2有機EL素子60Bの第1電極51が、エッジカバー52の開口68の内側において、第2反射導電層72が設けられていない薄層部分51aと、第2反射導電層72が設けられた、薄層部分51aよりも厚い厚層部分51bとを有し、厚層部分51bの厚さtbが、第1有機EL素子60Aの第1電極51のうちエッジカバー52の開口68の内側に位置する部分の厚さt1と同等であることである。
 第2実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(2)によれば、第2有機EL素子60Bの第1電極51のうちエッジカバー52の開口68の内側に位置する厚層部分51bの厚さtbが、第1有機EL素子60Aの第1電極51のうちエッジカバー52の開口68の内側に位置する部分の厚さt1と同等であるので、第2有機EL素子60Bの第1電極51のうち薄層部分51aで第2表示領域D2での光の透過率を高めつつ、有機EL層53からの光を厚層部分51bで第2有機EL素子60Bの第1電極51と同様に反射させて、第2表示領域D2での輝度の低下を抑制できる。
 第2実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(3)は、エッジカバー52の開口68の内側での第2反射導電層72の厚さt22が、エッジカバー52の開口68の内側での第1反射導電層62の厚さt12と同等であり、第2下側透明導電層71と第2上側透明導電層75とが、エッジカバー52の開口68の内側で互いに接していることである。
 第2実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(3)によれば、エッジカバー52の開口68の内側での第1反射導電層62の厚さt12と第2反射導電層72の厚さt22とが互いに同等であるので、これら第1反射導電層62および第2反射導電層72を同一膜からフォトリソグラフィにより併せて形成できる。また、第2下側透明導電層71と第2上側透明導電層75とがエッジカバー52の開口68の内側で互いに接しているので、第2反射導電層72が設けられていない。そのことで、第2下側透明導電層71と第2上側透明導電層75とが接している箇所は、透明性に優れ、光透過率が比較的高い。これにより、カメラ3の撮影時の感度を高めることができる。また、有機EL表示装置1の製造において、第2透明導電膜105を成膜した後は、第2反射導電層72の外周端面の剥き出しになる領域を無くすことができるので、第1電極形成工程ST2aやその後の上層工程でのエッチング液の滞留によって第2反射導電層72に酸化や硫化などの腐食が発生するのを防止できる。
 第2実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(4)は、第1反射導電層62の周端面が、第1上側透明導電層65によって覆われ、第1下側透明導電層61と第1上側透明導電層65とが、第1反射導電層62の外周で互いに接していることである。
 第2実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(4)によれば、第1反射導電層62が第1下側透明導電層61と第1上側透明導電層65とによって封止されているので、第1反射導電層62の腐食を好適に抑制できる。また、有機EL表示装置1の製造において、第1下側透明導電層61と第1上側透明導電層65を形成するときに、第1反射導電層62の周端面が、現像処理に用いる現像液やウェットエッチングに用いるエッチング液に晒されて、内方へシフトするのを防止できる。
 第2実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(5)は、第2反射導電層72が、エッジカバー52の開口68の内側において島状に複数設けられていることである。
 第2実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(5)によれば、第2反射導電層72がエッジカバー52の開口68の内側において島状に複数設けられているので、第2反射導電層72がエッジカバー52の開口68の内側全体に亘って形成されている場合に比べて、第2表示領域D2において正面側からの光が第1電極51で遮られる領域を減らすことができる。このことは、有機EL表示装置1と組み合わせられるインカメラ3の撮影性能を向上させるのに寄与する。
 第2実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(6)は、第2下側透明導電層71と第2上側透明導電層75とが、エッジカバー52の開口68の周縁部と重なる箇所で互いに接していることである。
 第2実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(6)によれば、第2反射導電層72が第1電極51のうちエッジカバー52で覆われる部分に設けられていないので、エッジカバー52で第1電極51の周縁部を覆いやすくなる。また、第2下側透明導電層71と第2上側透明導電層75とが接している箇所は、透明性に優れ、光透過率が比較的高い。これにより、カメラ3の撮影時の感度を高めることができる。そして、第2反射導電層72のサイズが小さいほど、カメラ3の撮影時における第2反射導電層72の映り込みの影響が減るので、フォトリソグラフィによる第2反射導電層72の高精細パターン化が有効になる。
 第2実施形態に係る有機EL表示装置1の製造方法の特徴は、第1電極形成工程ST2aが、TFT層20が形成された基板上に、第1透明導電膜101および第1反射導電膜102を順に成膜する第1成膜工程ST2a-1と、第1反射導電膜102をパターニングして、第1表示領域D1に、エッジカバー52の開口68の内側全体に亘るように当該第1反射導電膜102から第1反射導電層62を形成すると共に、第2表示領域D2に、エッジカバー52の開口68の内側における一部で第1透明導電膜101を露出させるように当該第1反射導電膜102から第2反射導電層72を形成する第1パターニング工程ST2a-2と、第1反射導電層62および第2反射導電層72が形成された基板上に、第2透明導電膜105を成膜する第2成膜工程ST2a-3と、第1透明導電膜101および第2透明導電膜105をパターニングして、第1表示領域D1に、各々第1反射導電層62と重なり合うように、第1透明導電膜101から第1下側透明導電層61を形成し、第2透明導電膜105から第1上側透明導電層65を形成すると共に、第2表示領域D2に、各々第2反射導電層72と重なり合うように、第1透明導電膜101から第2下側透明導電層71を形成し、第2透明導電膜105から第2上側透明導電層75を形成する第2パターニング工程ST2a-4とを含むことである。
 第2実施形態に係る有機EL表示装置1の製造方法の特徴によれば、第1パターニング工程ST2a-2で第1反射導電層62および第2反射導電層72を形成し、第2パターニング工程ST2a-4で第1下側透明導電層61および第1上側透明導電層65を形成すると共に第2下側透明導電層71および第2上側透明導電層75を形成するので、互いに層構成の異なる第1有機EL素子60Aの第1電極51と第2有機EL素子60Bの第1電極51とを併せて形成できる。このことは、有機EL表示装置1を効率よく安価に製造するのに寄与する。
 《第2実施形態の変形例1》
 図31は、第2実施形態の変形例1に係る有機EL表示装置1の第2表示領域D2における要部を示す断面図である。
 第2実施形態に係る有機EL表示装置1では、第2有機EL素子60Bの第1電極51のうちエッジカバー52と重なる部分は、第2反射導電層72が設けられていない、第2下側透明導電層71および第2上側透明導電層75からなる薄層部分51aであるとしたが、図31に示すように、本変形例に係る有機EL表示装置1では、第2有機EL素子60Bの第1電極51のうちエッジカバー52と重なる部分は、第2反射導電層72が設けられていない薄層部分51aと、第2反射導電層72が設けられた厚層部分51bとを有している。
 第2有機EL素子60Bの第1電極51のうち厚層部分51bは、平坦化膜29のコンタクトホール33内とそのコンタクトホール33の開口周辺を覆うように形成されている。当該厚層部分51bは、第2有機EL素子60Bの第1電極51において、第6TFT30fのドレイン電極28deと接続される部分を構成している。当該厚層部分51bは、第2下側透明導電層71、第2反射導電層72および第2上側透明導電層75によって構成されている。すなわち、第2反射導電層72は、平坦化膜29のコンタクトホール33内を含む領域に設けられている。当該厚層部分51bの厚さtbは、第1有機EL素子60Aの第1電極51のうちエッジカバー52の開口68の内側に位置する部分の厚さt1(図23参照)と同等である。
 本変形例に係る有機EL表示装置1を製造するには、第2実施形態で説明した第1パターニング工程ST2a-2において、第2有機EL素子60Bの第1電極51を形成する領域のうちコンタクトホール33内およびその開口周辺に、第1反射導電膜102から第2反射導電層72を形成すればよい。
 -第2実施形態の変形例1の特徴と効果-
 この変形例1に係る有機EL表示装置1の特徴は、第2反射導電層72が、第1電極51と第6TFT30fとを接続するための、平坦化膜29に形成されたコンタクトホール33内を含む領域に設けられていることである。
 この変形例1に係る有機EL表示装置1の特徴によれば、第2有機EL素子60Bの第1電極51において第6TFT30fのドレイン電極28deと接続される部分が、第2反射導電層72が設けられた厚層部分51bであるので、第2有機EL素子60Bの第1電極51と第6TFT30fのドレイン電極28deとのコンタクト抵抗を低減できる。
 《第2実施形態の変形例2》
 図32は、第2実施形態の変形例2に係る有機EL表示装置1の第1表示領域D1および第2表示領域D2における各発光領域Eおよびその周辺の構成を示す平面図である。
 第2実施形態に係る有機EL表示装置1では、第2有機EL素子60Bの第1電極51における第2反射導電層72が、エッジカバー52の開口68の内側で島状に複数設けられているとしたが、図32に示すように、本変形例に係る有機EL表示装置1では、第2反射導電層72がエッジカバー52の開口68の内側で格子状に設けられている。第2反射導電層72は、エッジカバー52の開口68の周縁部とその開口68の全周に亘って重なっている。
 第2反射導電層72のうちエッジカバー52の開口68の内側に位置する部分には、矩形状の開口76が複数形成されている。複数の開口76は、例えばマトリクス状に配置されている。複数の開口76は、一列に整列していてもよく、千鳥状などのその他の配列で設けられていてもよい。当該開口76は、円形状や楕円形状、スリット形状など、その他の形状であってもよい。第2反射導電層72は、エッジカバー52の開口68の周縁部とその開口68の全周に亘って重なっている。
 -第2実施形態の変形例2の特徴と効果-
 この変形例2に係る有機EL表示装置1の特徴は、第2反射導電層72が、エッジカバー52の開口68の周縁部とその開口68の全周に亘って重なっていることである。
 この変形例2に係る有機EL表示装置1の特徴によれば、エッジカバー52の周縁部およびその付近で有機EL層53が発した光を第2反射導電層72により表示領域Dの正面側に反射できる。有機EL層53の発光強度は、エッジカバー52の周縁部およびその付近で比較的高い。よって、エッジカバー52の内側において、第1電極51の一部に第2反射導電層72を設けないことに起因して第2有機EL素子60Bの光の取り出し効率が低下するのを抑制できる。
 《第3実施形態》
 第3実施形態に係る有機EL表示装置1は、第1有機EL素子60Aの第1電極51の構成と第2有機EL素子60Bの第1電極51の構成とが第1実施形態と異なる。なお、本実施形態では、第1有機EL素子60Aおよび第2有機EL素子60Bの各第1電極51の構成が第1実施形態と異なる他は、有機EL表示装置1について第1実施形態と同様に構成されているので、同一の構成箇所は第1実施形態の説明に譲ることにして、その詳細な説明を省略する。
 -有機EL表示装置の構成-
 図33は、第3実施形態に係る有機EL表示装置1の第2表示領域D2における要部を示す断面図である。図34は、第3実施形態に係る有機EL表示装置1の第1表示領域D1および第2表示領域D2における各第1電極51の積層構造を示す断面図である。図35は、第3実施形態に係る有機EL表示装置1の第1表示領域D1および第2表示領域D2における各発光領域Eおよびその周辺の構成を示す平面図である。
 〈第1有機EL素子の第1電極〉
 第3実施形態に係る有機EL表示装置1において、第1有機EL素子60Aの第1電極51は、図34に示すように、平坦化膜29上に順に設けられた、第1下側透明導電層61、第1反射導電層62および第2上側透明導電層75を備えている。第1下側透明導電層61および第1上側透明導電層65の各構成は、第1実施形態と同様である。第1反射導電層62の構成については、第1実施形態の変形例1と同様である。
 第1反射導電層62は、第1下側透明導電層61上に設けられた第1下側反射導電層63と、第1下側反射導電層63上に設けられた第1上側反射導電層64とを有している。図35に示すように、第1下側反射導電層63(図中でドットハッチングを付す)は、第1有機EL素子60Aの第1電極51の外周部分を除く略全体に亘って設けられている。第1上側反射導電層64(図中で右上りの斜線ハッチングを付す)は、第1有機EL素子60Aの第1電極51全体に亘って設けられている。
 〈第2有機EL素子の第1電極〉
 図33および図34に示すように、第2有機EL素子60Bの第1電極51は、平坦化膜29上に順に設けられた、第2下側透明導電層71、第2反射導電層72および第2上側透明導電層75を備えている。第2下側透明導電層71および第2上側透明導電層75の各構成は、第1実施形態と同様である。第2反射導電層72の構成は、第1実施形態と異なっている。
 第2反射導電層72は、第2下側透明導電層71上に設けられた第2下側反射導電層73と、第2下側反射導電層73上に設けられた第2上側反射導電層74とを備えている。第2下側反射導電層73および第2上側反射導電層74はそれぞれ、光を反射する光反射性を有している。
 第2下側反射導電層73は、エッジカバー52の開口68の内側において島状に複数設けられている。第2下側反射導電層73は、平面視でエッジカバー52と重なる位置には設けられていない。第2下側反射導電層73は、第1下側反射導電層63と同一層に同一材料、例えば銀(Ag)、銀合金、アルミニウム(Al)およびアルミニウム合金から選択される少なくとも1つの金属材料によって形成されている。第2下側反射導電層73の厚さt23は、エッジカバー52の開口68の内側での第1下側反射導電層63の厚さt13と同等であり、例えば70nm~90nm程度である。
 図35に示すように、エッジカバー52の開口68の内側において、複数の第2下側反射導電層73(図中でドットハッチングを付す)は、マトリクス状に配置されている。これら複数の第2下側反射導電層73は、一列に整列していてもよく、千鳥状などのその他の配列で設けられていてもよい。隣り合う第2下側反射導電層73の間には、所定の隙間が設けられている。図33に示すように、第2下側反射導電層73の周端面は、第2上側反射導電層74によって覆われている。第2下側透明導電層と第2上側反射導電層とは、エッジカバー52の開口68の内側において、隣り合う第2反射導電層72の隙間で互いに接している。
 第2下側反射導電層73は、第2下側透明導電層71と第2上側反射導電層74との間に封止されている。第2下側透明導電層71と第2上側反射導電層74とは、エッジカバー52の開口68の周縁部と重なる箇所で互いに接している。第2下側透明導電層71、第2上側反射導電層74および第2上側透明導電層75は、第2有機EL素子60Bの第1電極51のうち平面視でエッジカバー52と重なる部分を構成している。第2下側透明導電層71、第2上側反射導電層74および第2上側透明導電層75の周端面同士は、当該第2下側透明導電層71、第2上側反射導電層74および第2上側透明導電層75の積層方向(第1電極51の厚さ方向)において揃っている。
 第2下側反射導電層73は、エッジカバー52の開口68の内側において部分的に設けられている。第2有機EL素子60Bの第1電極51は、エッジカバー52の開口68の内側において、第2下側反射導電層73が設けられていない部分を有している。そのことで、第2有機EL素子60Bの第1電極51は、エッジカバー52の開口68の内側において、薄層部分51aと、薄層部分51aよりも厚い複数の厚層部分51b(tb>ta)とを有している。
 第2有機EL素子60Bの第1電極51における薄層部分51aは、第2下側反射導電層73が設けられていない部分であって、第2下側透明導電層71、第2上側反射導電層74および第2上側透明導電層75によって構成されている。すなわち、当該薄層部分51aの第2反射導電層72は、第2上側反射導電層74によって構成されている。当該薄層部分51aは、エッジカバー52の開口68の内側において、隣り合う第2下側反射導電層73の間を格子状に延びている。また、当該薄層部分51aは、第1電極51のうちエッジカバー52と重なる部分を構成し、コンタクトホール33内を含む領域にも設けられている。第2有機EL素子60Bの第1電極51は、当該薄層部分51aにおいて、表示領域Dの正面側から入射する光(図33に破線矢印で概念的に示す)を一部反射し、一部透過する。
 第2有機EL素子60Bの第1電極51における厚層部分51bは、第2下側反射導電層73が設けられた部分であって、マトリクス状に配置されている。当該厚層部分51bの第2反射導電層72は、第2下側反射導電層73および第2上側反射導電層74によって構成されている。当該厚層部分51bの厚さtbは、第1有機EL素子60Aの第1電極51のうちエッジカバー52の開口68の内側に位置する部分の厚さt1と同等である。第2有機EL素子60Bの第1電極51は、当該厚層部分51bにおいて、第2反射導電層72により、表示領域Dの正面側から入射する光(図33に破線矢印で概念的に示す)を全反射するか、または殆ど全て反射する。
 -有機EL表示装置の製造方法-
 第3実施形態に係る有機EL表示装置1を製造する方法を以下に説明する。
 第3実施形態に係る有機EL表示装置1の製造方法は、TFT層形成工程ST1と、発光素子層形成工程ST2と、封止膜形成工程ST3と、フレキシブル化工程ST4と、実装工程ST5とを含む。これらのうちTFT層形成工程ST1、封止膜形成工程ST3、フレキシブル化工程ST4および実装工程ST5は、第1実施形態と同様である。
 発光素子層形成工程ST2は、第1電極形成工程ST2aと、エッジカバー形成工程ST2bと、有機EL層形成工程ST2cと、第2電極形成工程ST2dとを含む。これらのうちエッジカバー形成工程ST2b、有機EL層形成工程ST2cおよび第2電極形成工程ST2dは、第1実施形態と同様である。
 第1電極形成工程ST2aは、第1成膜工程ST2a-1と、第1パターニング工程ST2a-2と、第2成膜工程ST2a-3と、第2パターニング工程ST2a-4とを含む。
 〈第1成膜工程〉
 第1成膜工程ST2a-1は、第1実施形態と同様である。すなわち、図13に示すように、第1成膜工程ST2a-1では、TFT層20が形成された基板上に、例えばスパッタリング法により、第1透明導電膜101および第1反射導電膜102をそれぞれ単層でまたは複数積層するように順に成膜する。ここで成膜する第1透明導電膜101の厚さは、例えば10nm~20nm程度とする。第1反射導電膜102の厚さは、例えば70nm~90nm程度とする。
 〈第1パターニング工程〉
 図36は、第3実施形態に係る有機EL表示装置1の製造方法における第1パターニング工程ST2a-2でレジスト層103を形成した基板の要部を示す断面図である。図37は、第3実施形態に係る有機EL表示装置1の製造方法における第1パターニング工程ST2a-2でパターニングを行った基板の要部を示す断面図である。
 第1パターニング工程ST2a-2は、第1成膜工程ST2a-1の後に行われる。第1パターニング工程ST2a-2では、第1反射導電膜102をフォトリソグラフィによりパターニングして、表示領域Dのうち第1表示領域D1に、当該第1反射導電膜102から複数の第1下側反射導電層63を所定のパターンで形成し、表示領域Dのうち第2表示領域D2に、当該第1反射導電膜102から複数の第2下側反射導電層73を所定のパターンで形成する。
 まず、第1透明導電膜101および第1反射導電膜102が形成された基板上に、例えばスピンコート法などの公知の塗布法により、感光性樹脂材料を塗布する。続いて、その感光性樹脂材料の塗布膜に対し、プリベーク、露光、現像およびポストベークを行って、当該塗布膜をパターニングすることにより、図36に示すように、第1表示領域D1の第1下側反射導電層63を形成する各領域と、第2表示領域D2の第2下側反射導電層73を形成する各領域とに島状のレジスト層103を形成する。
 次に、レジスト層103をマスクとして第1反射導電膜102をエッチング液に晒すことにより、第1反射導電膜102にウェットエッチングを施す。このときのエッチング液には、第1透明導電膜101の材料に対する第1反射導電膜102の材料の選択比が比較的高い種のエッチング液が用いられる。そのようなエッチング液を用いたウェットエッチングにより、第1反射導電膜102を選択的に腐食溶解させてパターニングする。その後、レジスト層103をアッシングにより除去する。こうして、図37に示すように、第1表示領域D1に、当該第1反射導電膜102から各第1下側反射導電層63を形成すると共に、当該第1反射導電膜102から各第2下側反射導電層73を形成する。
 図38は、第3実施形態に係る有機EL表示装置1の製造方法における第2成膜工程ST2a-3で成膜を行った基板の要部を示す断面図である。
 第2成膜工程ST2a-3は、第1パターニング工程ST2a-2の後に行われる。図39に示すように、第2成膜工程ST2a-3では、第1下側反射導電層63および第2下側反射導電層73が形成された基板上に、例えばスパッタリング法により、第2反射導電膜104および第2透明導電膜105をそれぞれ単層でまたは複数積層するように順に成膜する。ここで成膜する第2反射導電膜104の厚さは、例えば10nm~50nm程度とする。第2透明導電膜105の厚さは、第1透明導電膜101の厚さと同等(例えば10nm~20nm程度)とする。
 〈第2パターニング工程〉
 図39は、第3実施形態に係る有機EL表示装置1の製造方法における第2パターニング工程ST2a-4でレジスト層106を形成した基板の要部を示す断面図である。図40は、第3実施形態に係る有機EL表示装置1の製造方法における第2パターニング工程ST2a-4でパターニングを行った基板の要部を示す断面図である。
 第2パターニング工程ST2a-4は、第2成膜工程ST2a-3の後に行われる。第2パターニング工程ST2a-4では、第1透明導電膜101、第2反射導電膜104および第2透明導電膜105をフォトリソグラフィによりパターニングして、第1表示領域D1および第2表示領域D2それぞれに複数の第1電極51を所定のパターンで形成する。
 まず、第2反射導電膜104および第2透明導電膜105が形成された基板上に、例えばスピンコート法などの公知の塗布法により、感光性樹脂材料を塗布する。続いて、その感光性樹脂材料の塗布膜に対し、プリベーク、露光、現像およびポストベークを行って、当該塗布膜をパターニングすることにより、図39に示すように、第1表示領域D1および第2表示領域D2の第1電極51を形成する各領域に島状のレジスト層106を形成する。
 次に、レジスト層106をマスクとして第1透明導電膜101、第2反射導電膜104および第2透明導電膜105をエッチング液に晒すことにより、それら第1透明導電膜101、第2反射導電膜104および第2透明導電膜105にウェットエッチングを施す。このときのエッチング液には、第2反射導電膜の材料と第1透明導電膜101および第2透明導電膜105の材料との選択比が比較的低い種のエッチング液が用いられる。そのようなエッチング液を用いたウェットエッチングにより、第1透明導電膜101、第2反射導電膜104および第2透明導電膜105を一括に腐食溶解させてパターニングする。その後、レジスト層106をアッシングにより除去する。
 それら第1透明導電膜101、第2反射導電膜104および第2透明導電膜105をパターニングすることで、図40に示すように、第1表示領域D1に、各々第1下側反射導電層63と重なり合うように、第1透明導電膜101から第1下側透明導電層61を形成し、第2反射導電膜104から第1上側反射導電層64を形成し、第2透明導電膜105から第1上側透明導電層65を形成する。また、それら第1下側透明導電層61などの形成と共に、第2表示領域D2に、各々第2下側反射導電層73と重なり合うように、第1透明導電膜101から第2下側透明導電層71を形成し、第2反射導電膜104から第2上側反射導電層74を形成し、第2透明導電膜105から第2上側透明導電層75を形成する。
 このようにして、第1表示領域D1に、第1下側透明導電層61、第1下側反射導電層63、第1上側反射導電層64および第1上側透明導電層65が積層されてなる第1電極51を複数形成する。また、第2表示領域D2に、第2下側透明導電層71、第2下側反射導電層73、第2上側反射導電層74および第2上側透明導電層75が積層されてなる第1電極51を複数形成する。
 -第3実施形態の特徴と効果-
 第3実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(1)は、第1有機EL素子60Aの第1電極51が、第1下側透明導電層61と、第1下側透明導電層61上に設けられた第1反射導電層62と、第1反射導電層62上に設けられた第1上側透明導電層65とを備え、第2有機EL素子60Bの第1電極51が、第1下側透明導電層61と同一層に同一材料によって形成された第2下側透明導電層71と、第2下側透明導電層71上に第1反射導電層62と同一層に同一材料によって形成された第2反射導電層72と、第2反射導電層72上に第1上側透明導電層65と同一層に同一材料によって形成された第2上側透明導電層75とを備え、第2反射導電層72が、エッジカバー52の開口68の内側において、一部で第1反射導電層62よりも薄いことである。
 第3実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(1)によれば、第2反射導電層72がエッジカバー52の開口68の内側において一部で第1反射導電層62よりも薄いので、第2有機EL素子60Bの第1電極51のうちエッジカバー52の開口68の内側で第2反射導電層72が第1反射導電層62よりも薄い部分を光が透過し、エッジカバー52の開口68の内側で当該第1電極51を透過する光の量が増大する。これにより、表示領域Dのうちカメラ3に利用される光を透過する第2表示領域D2での光の透過率を高めることができる。
 第3実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(2)は、第2有機EL素子60Bの第1電極51が、エッジカバー52の開口68の内側において、第2反射導電層72が第1反射導電層62よりも薄く設けられた薄層部分51aと、第2反射導電層72が第1反射導電層62と同等の厚さで設けられた、薄層部分51aよりも厚い厚層部分51bとを有し、厚層部分51bの厚さtbが、第1有機EL素子60Aの第1電極51のうちエッジカバー52の開口68の内側に位置する部分の厚さt1と同等であることである。
 第3実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(2)によれば、第2有機EL素子60Bの第1電極51のうち厚層部分51bの厚さtbが第1有機EL素子60Aの第1電極51のうちエッジカバー52の開口68の内側に位置する部分の厚さt1と同等であるので、第2有機EL素子60Bの第1電極51のうち薄層部分51aで第2表示領域D2での光の透過率を高めつつ、有機EL層53からの光を厚層部分51bで第1有機EL素子60Aの第1電極51と同様に反射させ、第2表示領域D2での輝度の低下を抑制できる。
 第3実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(3)は、第1反射導電層62が、エッジカバー52の開口68の内側全体に亘って、第1下側反射導電層63と、第1下側反射導電層63上に設けられた第1上側反射導電層64とにより構成され、第2有機EL素子60Bの第1電極51のうち厚層部分51bの第2反射導電層72が、第1下側反射導電層63と同一層に同一材料によって形成された第2下側反射導電層73と、第2下側反射導電層73上に第1上側反射導電層64と同一層に同一材料によって形成された第2上側反射導電層74とにより構成され、第2有機EL素子60Bの第1電極51のうち薄層部分51aの第2反射導電層72が、第2上側反射導電層74と同一層に同一材料によって形成された第2上側反射導電層74により構成されていることである。
 第3実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(3)によれば、第2有機EL素子60Bの第1電極51のうち厚層部分51bの第2反射導電層72が第1反射導電層62を構成する2つの導電層と同一層に同一材料によって形成され、薄層部分51aの第2反射導電層72が第1反射導電層62を構成する2つの導電層のうちの1層と同一層に同一材料によって形成されているので、有機EL表示装置1の製造上、第2反射導電層72に第1反射導電層62よりも薄い薄層部分51aを設けることが容易である。それにより、第2有機EL素子60Bを比較的簡単な製造フローで実現できる。
 第3実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(4)は、第2下側反射導電層73が、エッジカバー52の開口68の内側において島状に複数設けられていることである。
 第3実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(4)によれば、第2下側反射導電層73がエッジカバー52の開口68の内側において島状に複数設けられているので、第2下側反射導電層73がエッジカバー52の開口68の内側全体に亘って形成されている場合に比べて、第2表示領域D2において正面側からの光が第2下側反射導電層73で遮られる領域を減らすことができる。このことは、有機EL表示装置1と組み合わせられるインカメラ3の撮影性能を向上させるのに寄与する。
 第3実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(5)は、第2下側透明導電層71と第2上側反射導電層74とが、エッジカバー52の開口68の周縁部と重なる箇所で互いに接していることである。
 第3実施形態に係る有機EL表示装置1の特徴(5)によれば、第2反射導電層72が第1電極51のうちエッジカバー52で覆われる部分に設けられていないので、エッジカバー52で第1電極51の周縁部を覆いやすくなる。また、第2下側透明導電層71と第2上側透明導電層75とが接している箇所は、透明性に優れ、光透過率が比較的高い。これにより、カメラ3の撮影時の感度を高めることができる。そして、第2反射導電層72のサイズが小さいほど、カメラ3の撮影時における第2反射導電層72の映り込みの影響が減るので、フォトリソグラフィによる第2反射導電層72の高精細パターン化が有効になる。
 第3実施形態に係る有機EL表示装置1の製造方法の特徴は、第1電極形成工程ST2aが、TFT層20が形成された基板上に、第1透明導電膜101および第1反射導電膜102を順に成膜する第1成膜工程ST2a-1と、第1反射導電膜102をパターニングして、表示領域Dのうち第1表示領域D1に、エッジカバー52の開口68の内側全体に亘るように当該第1反射導電膜102から第1下側反射導電層63を形成すると共に、表示領域Dのうち第2表示領域D2に、エッジカバー52の開口68の内側における一部で第1透明導電膜101を露出させるように当該第1反射導電膜102から第2下側反射導電層73を形成する第1パターニング工程ST2a-2と、第1下側反射導電層63および第2下側反射導電層73が形成された基板上に、第2反射導電膜104および第2透明導電膜105を成膜する第2成膜工程ST2a-3と、第1透明導電膜101、第2反射導電膜104および第2透明導電膜105をパターニングして、第1表示領域D1に、各々第1下側反射導電層63と重なり合うように、第1透明導電膜101から第1下側透明導電層61を形成し、第2反射導電膜104から第1上側反射導電層64を形成し、第2透明導電膜105から第1上側透明導電層65を形成すると共に、第2表示領域D2に、各々第2下側反射導電層73と重なり合うように、第1透明導電膜101から第2下側透明導電層71を形成し、第2反射導電膜104から第2上側反射導電層74を形成し、第2透明導電膜105から第2上側透明導電層75を形成する第2パターニング工程ST2a-4とを含むことである。
 第2実施形態に係る有機EL表示装置1の製造方法の特徴によれば、第1パターニング工程ST2a-2で第1下側反射導電層63および第2下側反射導電層73を形成し、第2パターニング工程ST2a-4で第1下側透明導電層61、第1上側反射導電層64および第1上側透明導電層65を形成すると共に第2下側透明導電層71、第2上側反射導電層74および第2上側透明導電層75を形成するので、互いに層構成の異なる第1有機EL素子60Aの第1電極51と第2有機EL素子60Bの第1電極51とを併せて形成できる。このことは、有機EL表示装置1を効率よく安価に製造するのに寄与する。
 また、第2実施形態に係る有機EL表示装置1の製造方法の特徴によれば、第2成膜工程ST2a-3で第2反射導電膜104および第2透明導電膜105を順に成膜した後に、第2パターニング工程ST2a-4でそれら第2反射導電膜104および第2透明導電膜105をパターニングするので、第1反射導電層62において有機EL層53からの光を反射する表面と、第2反射導電層72において有機EL層53からの光を反射する表面とはいずれも、第2反射導電膜104を成膜してからパターニングするまで第2透明導電膜105により覆われて大気に晒されずに済む。これにより、第1上側反射導電層64および第2反射導電層72の表面が大気中の酸素と反応するなどして酸化したり荒れたりするのを抑制できる。その結果、第1有機EL素子60Aおよび第2有機EL素子60Bの光の取り出し効率を高めることができる。
 《第3実施形態の変形例》
 図41は、第3実施形態の変形例に係る有機EL表示装置1の第1表示領域D1および第2表示領域D2における各発光領域Eおよびその周辺の構成を示す平面図である。
 第3実施形態に係る有機EL表示装置1では、第2有機EL素子60Bの第1電極51における第2下側反射導電層73が、エッジカバー52の開口68の内側で島状に複数設けられているとしたが、図41に示すように、本変形例に係る有機EL表示装置1では、第2下側反射導電層73がエッジカバー52の開口68の内側で格子状に設けられている。
 第2下側反射導電層73のうちエッジカバー52の開口68の内側に位置する部分には、矩形状の開口78が複数形成されている。複数の開口78は、例えばマトリクス状に配置されている。複数の開口78は、一列に整列していてもよく、千鳥状などのその他の配列で設けられていてもよい。当該開口78は、円形状や楕円形状、スリット形状など、矩形状以外の形状であってもよい。第2下側反射導電層73は、エッジカバー52の周縁部とその開口68の全周に亘って重なっている。
 -第3実施形態の変形例の特徴と効果-
 この変形例に係る有機EL表示装置1の特徴は、第2下側反射導電層73が、エッジカバー52の開口68の周縁部とその開口68の全周に亘って重なっていることである。
 この変形例に係る有機EL表示装置1の特徴によれば、エッジカバー52の周縁部およびその付近で有機EL層53が発した光を、第2有機EL素子60Bの第1電極51のうち第2下側反射導電層73が設けられた厚層部分51bにより表示領域Dの正面側に反射できる。有機EL層53の発光強度は、エッジカバー52の周縁部およびその付近で比較的高い。よって、エッジカバー52の内側において、第1電極51の一部に第2下側反射導電層73を設けないことに起因して第2有機EL素子60Bの光の取り出し効率が低下するのを抑制できる。
 以上のように、本開示の技術の例示として、好ましい実施形態について説明した。しかし、本開示の技術は、これに限定されず、適宜、変更、置き換え、付加、省略などを行った実施の形態にも適用可能である。また、上記実施形態で説明した各構成要素を組み合わせて新たな実施の形態とすることも可能である。また、添付図面および詳細な説明に記載された構成要素の中には、課題解決のためには必須でない構成要素も含まれ得る。そのため、それらの必須でない構成要素が添付図面や詳細な説明に記載されていることを以て、直ちにそれらの必須でない構成要素が必須であるとの認定をするべきではない。
 例えば、上記実施形態およびその変形例について、以下のような構成としてもよい。
 第1実施形態では、第2有機EL素子60Bの第1電極51に含まれる第2反射導電層72が、第1有機EL素子60Aの第1電極51に含まれる第1上側反射導電層64と同一層に同一材料によって形成されているとしたが、例えば、第2反射導電層72は、第1有機EL素子60Aの第1電極51に含まれる第1下側反射導電層63と同一層に同一材料によって形成されていてもよい。この場合、第1下側反射導電層63および第2反射導電層72は同一膜から相対的に薄く形成され、第1上側反射導電層64は相対的に厚く形成される。
 第3実施形態では、第2有機EL素子60Bの第1電極51に含まれる第2反射導電層72において、第2下側反射導電層73がエッジカバー52の開口68の内側で島状に複数設けられ、第2上側反射導電層74がそれら複数の第2下側反射導電層73を覆っているとしたが、第2下側反射導電層73がエッジカバー52の開口68の内側全体に亘って設けられ、第2上側反射導電層74がエッジカバー52の開口68の内側で島状に複数設けられていてもよい。すなわち、第2下側反射導電層73と第2上側反射導電層74との態様は逆であってもよい。このことは、第3実施形態の変形例についても同じである。
 平坦化膜29の材料としては、ポリイミド樹脂を例示したが、本開示の技術はこれに限られない。平坦化膜29は、例えばポリメタクリル酸メチル樹脂(PMMA)などのアクリル樹脂によって形成されていてもよい。アクリル樹脂は、第2表示領域D2における光の透過率を高める観点から平坦化膜29の材料として好ましい。
 第1有機EL素子60Aの有機EL層53の面積と、第2有機EL素子60Bの有機EL層53の面積とは、互いに同等であるとしたが、本開示の技術はこれに限らない。第1有機EL素子60Aの有機EL層53の面積と、第2有機EL素子60Bの有機EL層53の面積とは、互いに同等であることが好ましいが、互いに異なっていてもよい。
 有機EL層53は、各サブ画素Spに個別に設けられるとしたが、本開示の技術はこれに限らない。有機EL層53は、発光層53cを含めて複数のサブ画素Spにおいて一続きとして共通に設けられてもよい。この場合、有機EL表示装置1は、カラーフィルタを備えるなどして、各サブ画素Spでの色調表現を行ってもよい。
 各画素Pxが3色のサブ画素Spによって構成されるとしたが、本開示の技術はこれに限らない。各画素Pxを構成するサブ画素Spは3色に限らず、4色以上であってもよい。また、各画素Pxを構成する3色のサブ画素Spは、ストライプ配列で設けられるとしたが、本開示の技術はこれに限らない。各画素Pxを構成する複数のサブ画素Spの配列は、ペンタイル配列など、他の配列であってもよい。
 第1TFT30a、第2TFT30b、第3TFT30c、第4TFT30d、第5TFT30e、第6TFT30fおよび第7TFT30gはいずれも、トップゲート型であるとしたが、本開示の技術はこれに限らない。これら第1TFT30a、第2TFT30b、第3TFT30c、第4TFT30d、第5TFT30e、第6TFT30fおよび第7TFT30gは、ボトムゲート型であってもよい。また、サブ画素Pxに設けられるTFT30は、6つ以下であってもよく、8つ以上であってもよい。
 第1電極51は陽極であり、第2電極54は陰極であるとしたが、本開示の技術はこれに限らない。第1電極51が陰極であり、第2電極54が陽極であってもよい。この場合、例えば、有機EL層53は反転した積層構造とされる。
 有機EL層53は、正孔注入層53a、正孔輸送層53b、発光層53c、電子輸送層53dおよび電子注入層53eからなる5層積層構造であるとしたが、本開示の技術はこれに限らない。有機EL層53は、正孔注入層兼正孔輸送層、発光層53cおよび電子輸送層兼電子注入層からなる3層積層構造であってもよく、任意の構造を採用することが可能である。
 有機EL表示装置1に組み合わせられる電子部品としてはカメラ3を例示としたが、本開示の技術はこれに限らない。当該電子部品は、有機EL表示装置1の背面において平面視で表示領域Dと重なる位置に配置され、発光素子層50、TFT層20および樹脂基板層10を透過した光を利用するものであれば、指紋センサや顔認証センサなど、その他の電子部品であってもよい。
 表示装置として有機EL表示装置1を例示したが、本開示の技術はこれに限らない。本開示の技術は、電流によって駆動される複数の発光素子を備える表示装置に適用することが可能である。例えば、本開示の技術は、量子ドット含有層を用いた発光素子であるQLED(Quantum-dot Light Emitting Diode)を備える表示装置にも適用することが可能である。
     D  表示領域
    D1  第1表示領域
    D2  第2表示領域
    tb  厚層部分の厚さ
    t1  第1有機EL素子の第1電極の厚さ
   t12  第1反射導電層の厚さ
   t22  第2反射導電層の厚さ
     1  有機EL表示装置(表示装置)
     3  カメラ(電子部品)
    10  樹脂基板層(基板)
    20  TFT層(薄膜トランジスタ層)
    30  TFT(薄膜トランジスタ)
    33  コンタクトホール
    50  発光素子層
    51  第1電極
   51a  薄層部分
   51b  厚層部分
    52  エッジカバー
    53  有機EL層(発光機能層)
    54  第2電極
    60  有機EL素子(発光素子)
   60A  第1有機EL素子(第1発光素子)
   60B  第2有機EL素子(第2発光素子)
    61  第1下側透明導電層
    62  第1反射導電層
    63  第1下側反射導電層
    64  第1上側反射導電層
    65  第1上側透明導電層
    71  第2下側透明導電層
    72  第2反射導電層
    73  第2下側反射導電層
    74  第2上側反射導電層
    75  第2上側透明導電層
   101  第1透明導電膜
   102  第1反射導電膜
   104  第2反射導電膜
   105  第2透明導電膜
 

Claims (25)

  1.  基板と、
     前記基板上に設けられ、複数の薄膜トランジスタを含む薄膜トランジスタ層と、
     前記薄膜トランジスタ層上に設けられ、複数の発光素子を含む発光素子層とを備え、
     前記薄膜トランジスタの動作で制御される前記発光素子の発光により画像を表示する表示領域が設けられ、
     前記基板に対して前記表示領域の背面側に、前記発光素子層、前記薄膜トランジスタ層および前記基板を透過した光を利用する電子部品が配置される表示装置であって、
     前記発光素子層は、前記発光素子ごとに設けられた第1電極と、該第1電極の周縁部を覆い、前記第1電極を露出させる開口が形成されたエッジカバーと、該エッジカバーの開口内で前記第1電極上に設けられた発光機能層と、該発光機能層上に設けられた第2電極とを含み、
     前記表示領域は、第1表示領域と、該第1表示領域の内側に位置し、前記電子部品に利用される光を透過する第2表示領域とを有し、
     前記複数の発光素子には、各々前記第1電極、前記発光機能層および前記第2電極を備えた、前記第1表示領域に位置する第1発光素子と、前記第2表示領域に位置する第2発光素子とが含まれ、
     前記第1発光素子の前記第1電極は、光透過性を有する第1下側透明導電層と、該第1下側透明導電層上に設けられた、光反射性を有する第1反射導電層と、該第1反射導電層上に設けられた、光透過性を有する第1上側透明導電層とを備え、
     前記第2発光素子の前記第1電極は、前記第1下側透明導電層と同一層に同一材料によって形成された、光透過性を有する第2下側透明導電層と、該第2下側透明導電層上に前記第1反射導電層と同一層に同一材料によって形成された、光反射性を有する第2反射導電層と、該第2反射導電層上に前記第1上側透明導電層と同一層に同一材料によって形成された、光透過性を有する第2上側透明導電層とを備え、
     前記第2反射導電層は、前記エッジカバーの開口の内側において、部分的に設けられている、または少なくとも一部で前記第1反射導電層よりも薄い
    ことを特徴とする表示装置。
  2.  請求項1に記載された表示装置において、
     前記第2反射導電層は、前記エッジカバーの開口の内側全体に亘って前記第1反射導電層よりも薄く設けられている
    ことを特徴とする表示装置。
  3.  請求項2に記載された表示装置において、
     前記第1反射導電層は、前記エッジカバーの開口の内側全体に亘って、第1下側反射導電層と、該第1下側反射導電層上に設けられた第1上側反射導電層とにより構成され、
     前記第2反射導電層は、前記第1上側反射導電層と同一層に同一材料によって形成されている
    ことを特徴とする表示装置。
  4.  請求項1に記載された表示装置において、
     前記第2発光素子の前記第1電極は、前記エッジカバーの開口の内側において、前記第2反射導電層が設けられていない薄層部分と、前記第2反射導電層が設けられた、前記薄層部分よりも厚い厚層部分とを有し、
     前記厚層部分の厚さは、前記第1発光素子の前記第1電極のうち前記エッジカバーの開口の内側に位置する部分の厚さと同等である
    ことを特徴とする表示装置。
  5.  請求項4に記載された表示装置において、
     前記エッジカバーの開口の内側での前記第2反射導電層の厚さは、前記エッジカバーの開口の内側での前記第1反射導電層の厚さと同等であり、
     前記第2下側透明導電層と前記第2上側透明導電層とは、前記エッジカバーの開口の内側で互いに接している
    ことを特徴とする表示装置。
  6.  請求項4または5に記載された表示装置において、
     前記第1反射導電層の周端面は、前記第1上側透明導電層によって覆われ、
     前記第1下側透明導電層と前記第1上側透明導電層とは、前記第1反射導電層の外周で互いに接している
    ことを特徴とする表示装置。
  7.  請求項4~6のいずれか1項に記載された表示装置において、
     前記薄膜トランジスタ層は、複数の前記薄膜トランジスタを覆うように設けられた平坦化膜を含み、
     前記平坦化膜には、前記第1電極と前記薄膜トランジスタとを電気的に接続するためのコンタクトホールが形成され、
     前記第2反射導電層は、前記コンタクトホール内を含む領域に設けられている
    ことを特徴とする表示装置。
  8.  請求項4~7のいずれか1項に記載された表示装置において、
     前記第2反射導電層は、前記エッジカバーの開口の内側において島状に複数設けられている
    ことを特徴とする表示装置。
  9.  請求項4~8のいずれか1項に記載された表示装置において、
     前記第2下側透明導電層と前記第2上側透明導電層とは、前記エッジカバーの開口の周縁部と重なる箇所で互いに接している
    ことを特徴とする表示装置。
  10.  請求項4~8のいずれか1項に記載された表示装置において、
     前記第2反射導電層は、前記エッジカバーの開口の周縁部と該開口の全周に亘って重なっている
    ことを特徴とする表示装置。
  11.  請求項1に記載された表示装置において、
     前記第2発光素子の前記第1電極は、前記エッジカバーの開口の内側において、前記第2反射導電層が前記第1反射導電層よりも薄く設けられた薄層部分と、前記第2反射導電層が前記第1反射導電層と同等の厚さで設けられた、前記薄層部分よりも厚い厚層部分とを有し、
     前記厚層部分の厚さは、前記第1発光素子の前記第1電極のうち前記エッジカバーの開口の内側に位置する部分の厚さと同等である
    ことを特徴とする表示装置。
  12.  請求項11に記載された表示装置において、
     前記第1反射導電層は、前記エッジカバーの開口の内側全体に亘って、第1下側反射導電層と、該第1下側反射導電層上に設けられた第1上側反射導電層とにより構成され、
     前記厚層部分の前記第2反射導電層は、前記第1下側反射導電層と同一層に同一材料によって形成された第2下側反射導電層と、該第2下側反射導電層上に前記第1上側反射導電層と同一層に同一材料によって形成された第2上側反射導電層とにより構成され、
     前記薄層部分の前記第2反射導電層は、前記第2上側反射導電層と同一層に同一材料によって形成された第2上側反射導電層により構成されている
    ことを特徴とする表示装置。
  13.  請求項12に記載された表示装置において、
     前記第2下側反射導電層は、前記エッジカバーの開口の内側において島状に複数設けられている
    ことを特徴とする表示装置。
  14.  請求項12または13に記載された表示装置において、
     前記第2下側透明導電層と前記第2上側反射導電層とは、前記エッジカバーの開口の周縁部と重なる箇所で互いに接している
    ことを特徴とする表示装置。
  15.  請求項12または13に記載された表示装置において、
     前記第2下側反射導電層は、前記エッジカバーの開口の周縁部と該開口の全周に亘って重なっている
    ことを特徴とする表示装置。
  16.  請求項3、12~15のいずれか1項に記載された表示装置において、
     前記第1下側反射導電層の周端面は、前記第1上側反射導電層によって覆われ、
     前記第1下側透明導電層、前記第1上側反射導電層および前記第1上側透明導電層の周端面同士は、当該第1下側透明導電層、第1上側反射導電層および第1上側透明導電層の積層方向において揃っている
    ことを特徴とする表示装置。
  17.  請求項1~16のいずれか1項に記載された表示装置において、
     前記第1反射導電層および前記第2反射導電層はそれぞれ、銀、銀合金、アルミニウムおよびアルミニウム合金から選択される少なくとも1つの金属材料によって形成されている
    ことを特徴とする表示装置。
  18.  請求項1~17のいずれか1項に記載された表示装置において、
     前記第1下側透明導電層および前記第2下側透明導電層と、前記第1上側透明導電層および前記第2上側透明導電層とはそれぞれ、インジウムスズ酸化物およびインジウム亜鉛酸化物から選択される少なくとも1つの透明導電酸化物によって形成されている
    ことを特徴とする表示装置。
  19.  請求項1~18のいずれか1項に記載された表示装置において、
     平面視において、前記第1発光素子の前記第1電極の面積と、前記第2発光素子の前記第1電極の面積とは、互いに同等である
    ことを特徴とする表示装置。
  20.  請求項1~19のいずれか1項に記載された表示装置において、
     平面視において、前記エッジカバーにおける前記第1発光素子の前記第1電極を露出させる開口の面積と、前記第2発光素子の前記第1電極を露出させる開口の面積とは、互いに同等である
    ことを特徴とする表示装置。
  21.  請求項1~19のいずれか1項に記載された表示装置において、
     平面視において、前記エッジカバーにおける前記第1発光素子の前記第1電極を露出させる開口の面積は、前記第2発光素子の前記第1電極を露出させる開口の面積よりも大きい
    ことを特徴とする表示装置。
  22.  請求項1~21のいずれか1項に記載された表示装置において、
     平面視において、前記第1発光素子の前記発光機能層の面積と、前記第2発光素子の前記発光機能層の面積とは、互いに同等である
    ことを特徴とする表示装置。
  23.  基板と、
     前記基板上に設けられ、複数の薄膜トランジスタを含む薄膜トランジスタ層と、
     前記薄膜トランジスタ層上に設けられ、複数の発光素子を含む発光素子層とを備え、
     前記薄膜トランジスタの動作で制御される前記発光素子の発光により画像を表示する表示領域が設けられ、
     前記基板に対して前記表示領域の背面側に、前記発光素子層、前記薄膜トランジスタ層および前記基板を透過した光を利用する電子部品が配置される表示装置を製造する方法であって、
     前記基板上に前記薄膜トランジスタ層を形成する薄膜トランジスタ層形成工程と、
     前記薄膜トランジスタ層上に前記発光素子層を形成する発光素子層形成工程とを含み、
     前記発光素子層形成工程は、
      前記発光素子ごとに第1電極を形成する第1電極形成工程と、
      前記第1電極の周縁部を覆い、前記第1電極を露出させる開口が形成されたエッジカバーを形成するエッジカバー形成工程と、
      前記エッジカバーの開口内で前記第1電極上に発光機能層を形成する発光機能層形成工程と、
      前記発光機能層上に第2電極を形成する第2電極形成工程とを含み、
     前記第1電極形成工程は、
      前記薄膜トランジスタ層が形成された前記基板上に、第1透明導電膜および第1反射導電膜を順に成膜する第1成膜工程と、
      前記第1反射導電膜をパターニングして、前記表示領域のうち第1表示領域に、当該第1反射導電膜から第1下側反射導電層を形成する第1パターニング工程と、
      前記第1下側反射導電層が形成された前記基板上に、第2反射導電膜および第2透明導電膜を順に成膜する第2成膜工程と、
      前記第1透明導電膜、前記第2反射導電膜および前記第2透明導電膜をパターニングして、前記表示領域のうち前記第1表示領域に、各々前記第1下側反射導電層と重なり合うように、前記第1透明導電膜から第1下側透明導電層を形成し、前記第2反射導電膜から第1上側反射導電層を形成し、前記第2透明導電膜から第1上側透明導電層を形成すると共に、前記表示領域のうち前記第1表示領域の内側に位置し、前記電子部品に利用される光を透過する第2表示領域に、互いに重なり合うように、前記第1透明導電膜から第2下側透明導電層を形成し、前記第2反射導電膜から第2反射導電層を形成し、前記第2透明導電膜から第2上側透明導電層を形成する第2パターニング工程とを含む
    ことを特徴とする表示装置の製造方法。
  24.  基板と、
     前記基板上に設けられ、複数の薄膜トランジスタを含む薄膜トランジスタ層と、
     前記薄膜トランジスタ層上に設けられ、複数の発光素子を含む発光素子層とを備え、
     前記薄膜トランジスタの動作で制御される前記発光素子の発光により画像を表示する表示領域が設けられ、
     前記基板に対して前記表示領域の背面側に、前記発光素子層、前記薄膜トランジスタ層および前記基板を透過した光を利用する電子部品が配置される表示装置を製造する方法であって、
     前記基板上に前記薄膜トランジスタ層を形成する薄膜トランジスタ層形成工程と、
     前記薄膜トランジスタ層上に前記発光素子層を形成する発光素子層形成工程とを含み、
     前記発光素子層形成工程は、
      前記発光素子ごとに第1電極を形成する第1電極形成工程と、
      前記第1電極の周縁部を覆い、前記第1電極を露出させる開口が形成されたエッジカバーを形成するエッジカバー形成工程と、
      前記エッジカバーの開口内で前記第1電極上に発光機能層を形成する発光機能層形成工程と、
      前記発光機能層上に第2電極を形成する第2電極形成工程とを含み、
     前記第1電極形成工程は、
      前記薄膜トランジスタ層が形成された前記基板上に、第1透明導電膜および第1反射導電膜を順に成膜する第1成膜工程と、
      前記第1反射導電膜をパターニングして、前記表示領域のうち第1表示領域に、前記エッジカバーの開口の内側全体に亘るように当該第1反射導電膜から第1反射導電層を形成すると共に、前記表示領域のうち前記第1表示領域の内側に位置し、前記電子部品に利用される光を透過する第2表示領域に、前記エッジカバーの開口の内側における一部で前記第1透明導電膜を露出させるように当該第1反射導電膜から第2反射導電層を形成する第1パターニング工程と、
      前記第1反射導電層および前記第2反射導電層が形成された前記基板上に、第2透明導電膜を成膜する第2成膜工程と、
      前記第1透明導電膜および前記第2透明導電膜をパターニングして、前記第1表示領域に、各々前記第1反射導電層と重なり合うように、前記第1透明導電膜から第1下側透明導電層を形成し、前記第2透明導電膜から第1上側透明導電層を形成すると共に、前記第2表示領域に、各々前記第2反射導電層と重なり合うように、前記第1透明導電膜から第2下側透明導電層を形成し、前記第2透明導電膜から第2上側透明導電層を形成する第2パターニング工程とを含む
    ことを特徴とする表示装置の製造方法。
  25.  基板と、
     前記基板上に設けられ、複数の薄膜トランジスタを含む薄膜トランジスタ層と、
     前記薄膜トランジスタ層上に設けられ、複数の発光素子を含む発光素子層とを備え、
     前記薄膜トランジスタの動作で制御される前記発光素子の発光により画像を表示する表示領域が設けられ、
     前記基板に対して前記表示領域の背面側に、前記発光素子層、前記薄膜トランジスタ層および前記基板を透過した光を利用する電子部品が配置される表示装置を製造する方法であって、
     前記基板上に前記薄膜トランジスタ層を形成する薄膜トランジスタ層形成工程と、
     前記薄膜トランジスタ層上に前記発光素子層を形成する発光素子層形成工程とを含み、
     前記発光素子層形成工程は、
      前記発光素子ごとに第1電極を形成する第1電極形成工程と、
      前記第1電極の周縁部を覆い、前記第1電極を露出させる開口が形成されたエッジカバーを形成するエッジカバー形成工程と、
      前記エッジカバーの開口内で前記第1電極上に発光機能層を形成する発光機能層形成工程と、
      前記発光機能層上に第2電極を形成する第2電極形成工程とを含み、
     前記第1電極形成工程は、
      前記薄膜トランジスタ層が形成された前記基板上に、第1透明導電膜および第1反射導電膜を順に成膜する第1成膜工程と、
      前記第1反射導電膜をパターニングして、前記表示領域のうち第1表示領域に、前記エッジカバーの開口の内側全体に亘るように当該第1反射導電膜から第1下側反射導電層を形成すると共に、前記表示領域のうち前記第1表示領域の内側に位置し、前記電子部品に利用される光を透過する第2表示領域に、前記エッジカバーの開口の内側における一部で前記第1透明導電膜を露出させるように当該第1反射導電膜から第2下側反射導電層を形成する第1パターニング工程と、
      前記第1下側反射導電層および前記第2下側反射導電層が形成された前記基板上に、第2反射導電膜および第2透明導電膜を順に成膜する第2成膜工程と、
      前記第1透明導電膜、前記第2反射導電膜および前記第2透明導電膜をパターニングして、前記第1表示領域に、各々前記第1下側反射導電層と重なり合うように、前記第1透明導電膜から第1下側透明導電層を形成し、前記第2反射導電膜から第1上側反射導電層を形成し、前記第2透明導電膜から第1上側透明導電層を形成すると共に、前記第2表示領域に、各々前記第2下側反射導電層と重なり合うように、前記第1透明導電膜から第2下側透明導電層を形成し、前記第2反射導電膜から第2上側反射導電層を形成し、前記第2透明導電膜から第2上側透明導電層を形成する第2パターニング工程とを含む
    ことを特徴とする表示装置の製造方法。
     
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