WO2020136921A1 - ワイヤ封止体 - Google Patents

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WO2020136921A1
WO2020136921A1 PCT/JP2019/003430 JP2019003430W WO2020136921A1 WO 2020136921 A1 WO2020136921 A1 WO 2020136921A1 JP 2019003430 W JP2019003430 W JP 2019003430W WO 2020136921 A1 WO2020136921 A1 WO 2020136921A1
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WO
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wire
case
film
spool
winding
Prior art date
Application number
PCT/JP2019/003430
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English (en)
French (fr)
Inventor
義将 塚原
信行 木村
Original Assignee
田中電子工業株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by 田中電子工業株式会社 filed Critical 田中電子工業株式会社
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials

Definitions

  • the embodiment of the present invention relates to a wire sealing body.
  • wire bonding for example, one end of a bonding wire is generally bonded to an electrode of a semiconductor chip by a method called ball bonding, and the other end of the bonding wire is bonded to an external electrode by a method called wedge bonding.
  • ball bonding one end of a bonding wire is melted by discharge or the like and solidified into a spherical shape by surface tension or the like to form a ball.
  • the solidified ball is called a free air ball (FAB), and is connected to the electrode of the semiconductor chip by a thermocompression bonding method using ultrasonic waves.
  • FAB free air ball
  • a metal wire such as a gold wire, a silver wire, a copper wire, an aluminum wire, or a coated wire obtained by coating these with another metal is used. These metal wires are not limited to bonding wires, and are also used when forming bumps or the like on electrodes of semiconductor chips.
  • the metal wire is generally wound around a take-up spool to form a wound body, and the wound body is housed in a case to be stored or transported.
  • the conventional spool case has a shape in which the winding body of the metal wire is housed in the case body and then the opening of the case body is covered with a lid body made of resin, the lid body does not cover the case body.
  • the lid body and case body are not in a completely tightly sealed state, oxygen, moisture, and other impurities are transmitted, so that wires typified by metal wires are used. It will deteriorate. There are many problems that occur due to the deterioration of the surface quality of the metal wire due to the outside air component. There is a problem that the bonding apparatus is stopped due to deterioration of the bonding property. Further, the shape of the FAB may become unstable, or the FAB may be hardened by forming the FAB from an oxidized metal wire, which may damage the semiconductor chip or the like at the time of joining.
  • a method in which a spool around which an intermediate processed material is wound is packed in a vinyl bag using a vacuum pack, an air pack, or an air pack after vacuuming is used.
  • the packaging method using these outer bags has a big problem. That is, in order to enclose a spool around which a large amount of metal wire is wound in the above-mentioned manner before shipping, the cost of the outer bag, the deoxidizer, etc. is greatly increased, and the deaeration and gas injection are required. Since the time for the sealing work itself increases, there is a big problem in terms of productivity.
  • a vaporizable rust preventive agent is put in a spool case or an outer bag accommodating the spool case to prevent oxidation.
  • a method of storing activated carbon or an oxygen absorbent in a spool case so as not to come into contact with a metal wire has been studied.
  • the volatile rust preventive agent is considerably small and is only enclosed without being fixed in the spool case or the protective bag, the volatile rust preventive agent will be It may move and come into contact with the metal wire wound on the spool, which may cause bending or deformation. Further, if the volatile rust preventive agent, activated carbon, or oxygen absorbent leaks out due to some cause and such powder is scattered in the spool case, it may cause serious surface contamination of the metal wire.
  • spools have been developed to solve problems such as collapse due to vibration and shock, and not only spools but also vibration measures are taken by the spool case.
  • a synthetic resin container body integrally provided with an upwardly bulging fitting ridge for fitting a cylindrical spool and an outer peripheral wall ridge of the container body are fitted together.
  • a spool case for a bonding wire which is a spool case made of a lid, in which a planar shape of a portion of the fitting body in contact with and supporting the spool of the fitting main body is polygonal, and a corner portion of which is rounded is disclosed.
  • Japanese Patent No. 3533658 discloses, as a spool case having a similar spool adhesion effect, "an upward bulging fitting ridge that fits with an inner peripheral surface of a cylindrical spool and an outer edge peripheral wall ridge that fits with a lid.
  • a tubular spool flange is provided around the fitting ridge of the container body.
  • This spool case "fixes the spool firmly in order to support it at two places, the inner peripheral surface of the spool and the outer peripheral surface of the flange.” Therefore, when removing the spool, you have to pull it out with a strong force and accidentally come into contact with the wire, or when the spool case lid is opened due to insufficient fixation between the spool and the container body.
  • Japanese Unexamined Patent Publication No. 1-294474 Japanese Patent Publication No. 5-7271 JP-A-2003-26249 Japanese Patent Laid-Open No. 2007-250750 JP, 2013-48164, A Japanese Patent No. 2679697 Japanese Patent No. 3533658
  • a conventional spool case that houses a take-up spool in which a wire such as a metal wire is wound
  • the case body and the lid body are not sealed, and oxygen, moisture, and other impurities in the outside air are transmitted. Therefore, it is impossible to avoid the deterioration of the surface properties of wires typified by metal wires and the contamination due to the outside air components. Deterioration or contamination of the surface properties of the wire is a factor that reduces the looseness of the wire.
  • the outer bag is filled with a take-up spool in which a wire is wound and then deaerated, and in some cases, a deoxidizing agent such as activated carbon or an oxygen absorbent may be added together. Since it is necessary to enclose, the cost of the outer bag and the deoxidizer is high, and the enclosing work itself takes time, which inevitably causes an increase in production cost and a decrease in productivity.
  • the problem to be solved by the present invention is to provide a wire sealing body in which a wire is sealed by a spool case capable of suppressing deterioration of surface quality and contamination of the wire due to outside air components at low cost. ..
  • a wire sealing body of the present invention includes a winding spool, a wire winding body including a wire wound around the winding spool, a case body in which the wire winding body is housed, and the wire winding body. And a lid case that seals the opening of the case body so as to seal the body.
  • the case body is made of a synthetic resin body
  • the lid body is made of a synthetic resin film which is in close contact with the case body and is peelable, or a composite film containing a synthetic resin film. It is characterized by
  • the wire sealing body of the present invention since the wire winding body having the wire is hermetically sealed in the spool case, the outside air such as oxygen, moisture, and other impurities in the outside air into the spool case It is possible to prevent the deterioration of the surface properties of the wire and the contamination due to the intrusion of the components. Therefore, the surface texture of the wire can be easily maintained at low cost.
  • FIG. 1 It is a figure which shows the schematic structure of the metal wire sealing body of embodiment in a partial cross section. It is a perspective view which shows the winding spool in the metal wire sealing body shown in FIG. It is a perspective view which shows the case main body of the spool case in the metal wire sealing body shown in FIG. It is a figure which shows the modification of the opening part of the case main body shown in FIG. It is a figure which shows the other modification of the opening part of the case main body shown in FIG. It is a figure which shows the modification of the vertical cross-sectional shape of the case main body shown in FIG. It is a figure which shows the other modification of the vertical cross-sectional shape of the case main body shown in FIG. It is a figure which shows the other modification of the vertical cross-sectional shape of the case main body shown in FIG. It is a figure which shows the other modification of the vertical cross-sectional shape of the case main body shown in FIG. It is a figure which shows the unwinding test of a metal wire winding body.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a metal wire sealing body as an example of the wire sealing body of the embodiment.
  • the metal wire sealing body 1 shown in FIG. 1 includes a metal wire winding body 2 and a spool case 3 that houses the metal wire winding body 2.
  • the wire sealing body of the embodiment is not limited to the metal wire sealing body, and may be a wire other than the metal wire, such as a resin wire or a fiber wire, which is sealed.
  • the metal wire winding body 2 includes a winding spool 4 and a metal wire 5 wound around the winding spool 4.
  • the spool case 3 includes a case body 6 accommodating the metal wire winding body 2, and a lid body 7 that seals the opening of the case body 6 so as to seal the metal wire winding body 2 and that can be peeled off. And has a function of preventing the deterioration of the surface properties and the contamination of the metal wire 5 due to the outside air component.
  • the metal wire winding body 2 has the metal wire 5 wound around the winding spool 4 as described above.
  • a bonding wire or the like is exemplified as the metal wire 5.
  • the bonding wire is used to electrically connect the electrodes of the semiconductor chip to external electrodes of the lead frame, the circuit board, etc., electrically connect the electrodes of the plurality of semiconductor chips, the electrodes of the semiconductor chip, the lead frame, the circuit board, etc. It is a metal wire used for forming connection bumps on external electrodes.
  • the metal wire 5 include gold or gold alloy wire, palladium or palladium alloy wire, platinum or platinum alloy wire, aluminum or aluminum alloy wire, silver or silver alloy wire, copper or copper alloy wire, and the like.
  • the wire include a coated wire coated with another metal, and used as, for example, a bonding wire.
  • the coated wire is a core material made of the above metal or alloy, a metal layer made of a metal different from the metal constituting the core material, or an alloy layer containing such a metal is provided as a coating layer, A typical example is copper or a copper alloy wire coated with palladium or a palladium alloy.
  • the shape of the metal wire 5 typified by a bonding wire is not particularly limited.
  • a typical gold or gold alloy wire it has a diameter of 18 ⁇ m or more and 30 ⁇ m or less, and the winding spool 4 has a diameter of 18 ⁇ m or more.
  • it is wound with a length of 1000 m or more and 5000 m or less.
  • the take-up spool 4 has a cylindrical body portion 8 and a pair of flange portions 9 (9A, 9B) provided at both ends of the body portion 8, respectively.
  • the take-up spool 4 has a hollow portion 10 which penetrates the body portion 8 and further penetrates a pair of flange portions 9A and 9B, respectively.
  • a motor rotating shaft of a metal wire bonding apparatus, etc. It is possible to attach it to a wire bonding step or the like.
  • a spool called AL-4 or AL-2 having an inner diameter of 47 mm or more and 50 mm or less is known.
  • the take-up spool 4 may be made of synthetic resin or metal.
  • the metal take-up spool 4 is generally manufactured by using aluminum whose surface is anodized.
  • materials for forming the take-up spool 4 made of synthetic resin include acrylonitrile-butadiene-styrene copolymer (ABS resin), polycarbonate, and impact-resistant polystyrene.
  • the winding spool 4 used in the wire sealing body 1 of the embodiment is preferably a spool having an inner diameter of 47 mm or more and 52 mm or less including AL-4 and AL-2 described above from the viewpoint of versatility.
  • the spool case 3 includes a case body 6 that houses the metal wire winding body 2 and a lid body 7 that seals the opening of the case body 6.
  • the spool case 3 is preferably made of a transparent body or a translucent body.
  • the internal structure such as the bottom portion where the metal wire winding body 2 is arranged can be visually observed from the outside of the spool case 3, so that the metal wire 5 is unrolled, disturbed, or has a defect on the wire surface due to adhesion of foreign matter. Will be easier to find.
  • the degree of transparency may be such that winding collapse of the metal wire 5 can be visually recognized.
  • the case body 6 is made of synthetic resin such as polyvinylidene chloride (PVDC), polyvinyl chloride (PVC), polyethylene terephthalate (PET), polypropylene (PP), polyethylene (PE), ethylene-vinyl alcohol copolymer (EVOH).
  • PVDC polyvinylidene chloride
  • PVC polyvinyl chloride
  • PET polyethylene terephthalate
  • PP polypropylene
  • PE polyethylene
  • EVOH ethylene-vinyl alcohol copolymer
  • the case body 6 is manufactured by vacuum molding or injection molding a synthetic resin material.
  • the thickness of the case body 6 may be 0.3 mm or more and 1.5 mm or less, preferably 0.5 mm or more and 1.3 mm or less, and more preferably 0.1 mm or less from the viewpoints of both production cost and moldability and rigidity. It is more preferably 7 mm or more and 1.1 mm or less.
  • the thickness of the case main body 6 referred to here is the thickness of the main body side surface that is the portion that maintains the overall strength of the spool case 3 as a container for the metal wire winding body 2 or the thermocompression bonding portion with the lid body, A portion that does not affect the strength or a portion having another specific function may be out of the above thickness range.
  • a part of the case body 6 may be out of the above-mentioned thickness range.
  • the above-mentioned thickness can be appropriately measured with, for example, a ruler or a caliper. If the measurement is difficult at the curved portion, the thickness of the flat portion can be the thickness of the case body 6.
  • the case body 6 has a container-shaped wound body housing portion 11 having a hollow interior, an opening 12 provided at one end of the wound body housing portion 11, and a periphery of the opening portion 12. It has an upper peripheral edge 13 which is provided and serves as a contact portion of the lid body 7.
  • the metal wire winding body 2 is housed in the winding body housing portion 11 of the case body 6.
  • the opening 12 of the case body 6 accommodating the metal wire winding body 2 is sealed with a lid body 7 so as to seal the metal wire 5.
  • the lid body 7 is airtightly adhered to the upper peripheral edge 13 provided around the opening 12, whereby the metal wire 5 is hermetically sealed by the spool case 3. By bringing the lid body 7 into close contact with the case body 6, the metal wire winding body 2 will not fall off or be thrown out of the spool case 3 even when an impact or the like is applied.
  • the lid body 7 is made of a synthetic resin film which is in close contact with the case body 6 and which can be peeled off, or a composite film containing a synthetic resin film. Therefore, in the bonding step in manufacturing a semiconductor device or the like, the take-up spool 4 around which the metal wire 5 is wound by peeling off the lid body 7 can be easily taken out without using a cutter, scissors, or the like, thereby improving productivity. Leads to improvement of.
  • the close contact with the upper peripheral edge 13 of the lid body 7 is performed by, for example, thermocompression bonding (welding) of the synthetic resins.
  • thermocompression bonding temperature is 120° C. or more and 170° C. or less from the viewpoint of peelability after thermocompression bonding. A degree is preferable.
  • a contact method other than thermocompression bonding may be applied as long as it is a method capable of maintaining a releasable state while closely contacting in an airtight state. Examples of such adhesion methods include ultrasonic welding, high frequency welding, and adhesion with a hot melt material.
  • the peel strength of the lid body 7 made of a synthetic resin film or a composite film can be controlled by the peel strength (g).
  • the peel strength can be easily measured by fixing the case body 6 and fixing the spring-type hook to the lid body 7.
  • the peel strength of the lid body 7 is preferably in a certain range from the viewpoint of both the ease of peeling the lid body 7 and the close contact with the case body 6. That is, specifically, the peel strength of the lid body 7 is preferably in the range of 280 g or more and 2000 g or less, and more preferably in the range of 400 g or more and 1500 g or less.
  • the thickness of the lid body 7 made of a synthetic resin film or a composite film may be 20 ⁇ m or more and 100 ⁇ m or less, including the composite film, from the viewpoint of gas barrier properties and adhesiveness during thermocompression bonding, and 30 ⁇ m or more and 90 ⁇ m or less. It is more preferably 45 ⁇ m or more and 75 ⁇ m or less.
  • the lid body 7 is made of a synthetic resin film that is in close contact with the case body 6 and can be peeled off as described above, or a composite film including a synthetic resin film.
  • the lid body 7 is, for example, a polyvinylidene chloride (PVDC) film, a polyvinyl chloride (PVC) film, a polyethylene terephthalate (PET) film, a polypropylene (PP) film, a polyethylene (PE) film, an ethylene-vinyl alcohol copolymer ( EVOH) film, nylon (NY) film, metaxylylene adipamide film, biaxially oriented nylon film, non-oriented nylon film, biaxially oriented polypropylene film, high density polyethylene film, polyvinylidene chloride biaxially oriented nylon film, Polyvinylidene chloride-coated unstretched nylon film, polyacrylonitrile film, polyamide film, polyethylene film, unstretched polypropylene film, polycarbonate film, poly
  • the composite film at least one selected from the above-mentioned synthetic resin film provided with an inorganic material coating layer such as silica coat, alumina coat, and aluminum coat, or a synthetic resin film and a film with a coat layer.
  • an inorganic material coating layer such as silica coat, alumina coat, and aluminum coat
  • a synthetic resin film and a film with a coat layer A laminated film in which two films are laminated can be used.
  • the lid 7 is preferably a synthetic resin film having a two-layer or three-layer structure or more, rather than a single-layer synthetic resin film, from the viewpoint of achieving both gas barrier properties and easy peeling.
  • Synthetic resin films have different gas barrier properties and thermocompression/peeling properties depending on their types, and it is expected that these properties can be obtained at the same time by laminating films having different functions.
  • PET polyethylene terephthalate
  • PE polyethylene
  • the case body 6 and the lid body 7 should be made of the same resin material or a composite resin material in which the same resin material is mixed. Is preferred.
  • the lid body 7 is preferably made of a rubbing-resistant synthetic resin film.
  • the synthetic resin film has sufficient strength against tension, but there is a possibility that pinholes may occur due to the rubbing of the packaging box and the contents.
  • the lid body 7 including a synthetic resin film having resistance to rubbing it is possible to suppress the generation of pinholes.
  • PET polyethylene terephthalate
  • LLPDE linear low-density polyethylene
  • LLPDE linear low-density polyethylene
  • the case body 6 made of a synthetic resin body and the lid body 7 made of a synthetic resin film or a composite film are preferably impermeable to oxygen and water.
  • the impermeability of oxygen and moisture to the case body 6 and the lid body 7 can be measured by using a commercially available oxygen permeability measuring device (for example, OX-TRAN2/22 manufactured by MOCON).
  • OX-TRAN2/22 manufactured by MOCON oxygen permeability measuring device
  • the oxygen permeability is 8000 cm 3 /(m 2 ⁇ 24h ⁇ atm) or less, it is possible to suppress the deterioration of the surface properties and the contamination of the metal wire 5 due to the invasion of outside air components.
  • the oxygen permeability is preferably 3000 cm 3 /(m 2 ⁇ 24h ⁇ atm) or less, which allows oxygen to be practically transmitted. It is possible to suppress oxidation and corrosion of the metal wire 5 due to the above.
  • the oxygen permeability of the case body 6 and the lid body 7 is more preferably 1000 cm 3 /(m 2 ⁇ 24h ⁇ atm) or less, and 300 cm 3 /(m 2 ⁇ 24h). ⁇ Atm) or less is more preferable, and optimally 100 cm 3 /(m 2 ⁇ 24h ⁇ atm) or less.
  • the water vapor permeability of the case body 6 made of a synthetic resin body and the lid body 7 made of a synthetic resin film or a composite film is considered to have a certain correlation with the oxygen permeability, and the oxygen permeability has a constant value. If it is below, the water vapor permeability can be suppressed to a certain value or less.
  • PET polyethylene terephthalate
  • the oxygen permeability is 80 cm 3 /(m 2 ⁇ 24h ⁇ atm) in terms of the material thickness of 25 ⁇ m
  • the water vapor permeability is 22 g/m 2 ⁇ 24h.
  • the lid body 7 By using the case body 6 and the lid body 7 having the oxygen permeability and the water vapor permeability as described above, oxygen, moisture, other impurities, etc. can be stored in the spool case 3 through the case body 6 and the lid body 7. It is possible to suppress the deterioration of the surface properties and the contamination of the metal wire 5 due to the entry of outside air components. That is, the lid body 7 is brought into close contact with the case body 6 to not only hermetically seal the inside of the spool case 3, but also to prevent the outside air component from entering the spool case 3 through the case body 6 and the lid body 7.
  • the case body 6 accommodating the metal wire winding body 2 is hermetically sealed with the lid body 7, deterioration or contamination of the surface property of the metal wire 5 of the metal wire 5, particularly oxidation or corrosion due to oxygen, moisture, etc.
  • the inside of the case main body 6 is deaerated before sealing with the lid body 7, and it is preferable that the case main body 6 sealed with the lid body 7 is filled with an inert gas.
  • the metal wire 5 may be deteriorated in surface quality or contaminated due to the influence of oxygen, sulfur, or the like remaining in the spool case 3.
  • deaeration may be atmospheric pressure or lower, and more preferably 20 kPa or lower. Further, although it does not prevent the deoxidizing agent or the like from being arranged in the spool case 3, in that case, the scattering or the like into the spool case 3 is prevented. Then, when the inert gas is filled, it is preferable that the inert gas concentration (nitrogen, argon gas, etc.) inside the case is higher than at least the inert gas concentration in the atmosphere, and the inert gas concentration is 90% or more. Is preferable, and more preferably 98% or more.
  • the metal wire 5 containing copper, silver, etc. which are oxidizing metals When storing the metal wire 5 containing copper, silver, etc. which are oxidizing metals, in an environment where proper temperature and humidity are maintained such as in a clean room, oxidation etc. does not occur even when exposed to the atmosphere, but transportation In a harsh environment of high temperature and high humidity, oxidation may occur.
  • the inside of the case body 6 before being sealed by the lid body 7 may be degassed and further filled with an inert gas.
  • Any inert gas may be used as long as it can be expected to suppress a chemical reaction such as oxidation of the metal wire 5.
  • nitrogen gas, argon gas, carbon dioxide gas or the like can be used.
  • a gas displacement packaging method using an inert gas can be applied in addition to the method of filling the inert gas after degassing the case body 6 described above.
  • the gas replacement packaging method is a method of removing the air in the packaging container and filling it with another gas.
  • an inert gas is injected into the case body 6 accommodating the metal wire winding body 2, and the air inside the case body 6 is removed by the inert gas. Replace with active gas. The case body 6 whose gas has been replaced is quickly sealed with a lid 7.
  • the metal wire winding body 2 having the metal wire 5 wound around the winding spool 4 is made of a synthetic resin body that does not allow oxygen and moisture to pass therethrough. Since the spool case 3 is hermetically sealed by the case body 6 and the lid body 7 made of a synthetic resin film or a composite film that does not allow oxygen and moisture to permeate, for example, copper or silver that is an oxidizing metal is used. Even with the metal wire 5 as the main component, it is possible to prevent oxidation and corrosion due to invasion of oxygen and moisture during transportation and storage. Therefore, the surface texture of the metal wire 5 can be maintained during transportation and storage.
  • the spool case 3 composed of the case body 6 and the lid body 7 prevents the metal wire 5 from being oxidized or corroded
  • a conventional outer bag or a sealing bag using a deoxidizing agent or the like enclosed therein is used.
  • the cost of the outer bag, the deoxidizer, etc., the man-hour required for the enclosing work, etc. can be reduced, so that the deterioration of the surface property of the metal wire 5 can be suppressed at a low cost, and the packing can be performed.
  • the space for storing in the box for use is reduced, it becomes possible to avoid shipping problems such as an increase in shipping cost.
  • the user side of the metal wire sealing body had some problems such as the removal of the packaging bag, the work space, and the increase in the amount of waste. According to this, the above-mentioned difficulties on the user side can be eliminated.
  • the winding body housing portion 11 is formed by bulging a substantially rectangular pyramid trapezoidal peripheral wall ridge having a hollow interior inside the upper peripheral edge 13.
  • the bottom surface of the large square pyramid is located on the upper side, and the bottom surface of the small area is located on the lower side.
  • the substantially quadrangular truncated pyramid-shaped wound body accommodating portion 11 has a bottom portion 11a corresponding to a small-area bottom surface (lower side) of the substantially quadrangular pyramid.
  • the shape of the winding body housing portion 11 may be a bottomed container shape capable of housing the metal wire winding body 2, and may be a substantially truncated pyramid shape other than the substantially quadrangular truncated pyramid shape.
  • the substantially quadrangular truncated pyramid shape refers to a truncated pyramid in which the opening 12 is substantially quadrangular, but even if the opening 12 has a polygonal shape or has rounded corners. Good. Further, it does not have to be a truncated pyramid in a strict sense, and may have, for example, a part having a rounded shape.
  • the shape of the opening 12 provided at one end of the substantially rectangular pyramid-shaped winding body housing portion 11 does not have to be a quadrangle in a strict sense.
  • It may be a curved shape such as a part of the above, or a polygonal shape with diagonally connected corners as shown in FIG. 5, for example.
  • the vertical cross-sectional shape (cross-sectional shape cut in the depth direction) of the wound body accommodating portion 11 does not have to be a square pyramid in a strict sense, and as shown in FIG.
  • the corners may be curved, or the corners on the bottom side may be obliquely connected to each other so that the tip portion has two or more inclination angles, as shown in FIGS. 7 and 8.
  • the inclined portion shown in FIGS. 7 and 8 may be provided on only one of the corners on the bottom side of the truncated pyramid. Even with such a shape, as long as the metal wire winding body 2 can be housed and the bottom portion 11a supporting the metal wire winding body 2 is provided, the spool case 3 and the case body 6 thereof. The function as the (winding body accommodating portion 11) can be obtained.
  • the metal wire winding body 2 is accommodated in the winding body accommodating portion 11 having a substantially truncated pyramid shape.
  • the central axis of the cylindrical body portion 8 of the winding spool 4 (the axis passing through the centers of the upper and lower surfaces of the cylinder) is parallel to the bottom portion 11a of the winding body housing portion 11. It is stored in the winding body storage portion 11.
  • the winding direction of the metal wire 5 with respect to the body portion 8 (the central axis direction of the body portion 8) becomes horizontal in the winding body housing portion 11, in other words, the direction of the metal wire 5 is the winding body housing portion.
  • the metal wire winding body 2 can be housed so as to be parallel (vertical direction) to the depth direction of 11. Therefore, collapse of the metal wire 5 during transportation or the like can be suppressed. That is, as described above, when the spool is housed in the spool case in the same direction as the direction in which the metal wire is wound on the spool, the metal wire is positioned in the horizontal direction, so that the metal wire is likely to collapse. In the metal wire sealing body 1 using the spool case 3 of the embodiment, such winding collapse of the metal wire 5 can be suppressed.
  • the winding body housing portion 11 is provided on each of two opposing side surfaces 11b of the peripheral wall ridge having a substantially truncated pyramid shape, and is provided inside the winding body housing portion 11 (the case body 6). It has an inflating portion 14 that projects toward.
  • the inflating portions 14 are provided on one side surface 11b in a single or plural pairs, and are formed so as to make point contact or line contact with the outer peripheral surface of the flange 9 (9A, 9B) of the take-up spool 4.
  • a space is provided between the take-up spool 4 and the winding body accommodating portion 11 (the case body 6) by supporting the inflating portion 14 by making point contact or line contact with the flange 9 of the take-up spool 4.
  • the width of the void is preferably 1 mm or less, more preferably 0.5 mm or less.
  • the inflating portion 14 typically has a plurality of corrugation shapes, but may have any other shape as long as it makes point contact or line contact with the flange 9. From the viewpoint of making point contact or line contact with the flange 9, the inflatable portion 14 is preferably a ridge or a protrusion. It is preferable that the two opposing side surfaces 11 b of the substantially quadrangular truncated pyramid-shaped peripheral wall ridge each have two or more inflated portions 14. By supporting the flanges 9A and 9B of the take-up spool 4 with two or more inflating portions 14 provided on the two opposite side surfaces 11b, the metal wire winding body 2 and the case body 6 during transportation or the like.
  • the supportability of the metal wire winding body 2 can be improved while suppressing contact with the metal wire winding body 2. Therefore, the winding collapse of the metal wire 5 can be suppressed more effectively, and the looseness and unevenness of the metal wire 5 during long-distance transportation can be suppressed. It is possible to prevent disconnection of the metal wire 5 and stop of the wire bonding device.
  • the spool case can be easily manufactured at low cost at the time of transportation or storage. Oxygen and moisture can be prevented from entering the inside of the metal wire 3, and the metal wire 5 can be prevented from being oxidized and corroded. Therefore, for example, even a metal wire 5 containing copper that is easily oxidized or silver that is easily sulfurized as a main component can be transported and stored while maintaining the surface texture of the metal wire 5.
  • a method of manufacturing a wire sealing body includes a wire winding body including a winding spool, a wire wound around the winding spool, a case body in which the wire winding body is housed, and a wire winding body.
  • a spool case including a lid body that seals an opening of the case body so as to seal the body, and a method for producing a wire sealing body, wherein the case body is made of a synthetic resin body, Is made of a synthetic resin film that is in close contact with the case body and can be peeled off, or a composite film containing a synthetic resin film.
  • the winding spool is taken out from the wire sealing body, and the wire wound around the winding spool is joined to the wire wound from the wire winding body.
  • the wire sealing body includes a winding spool, a wire winding body including a wire wound around the winding spool, and a wire winding body.
  • a spool case having a lid body that seals the opening of the case body so as to seal the wire winding body, and the case body is made of a synthetic resin body. Is made of a synthetic resin film that is in close contact with the case body and can be peeled off, or a composite film containing a synthetic resin film.
  • the take-up spool is taken out from the wire sealing body, and the wire is taken out from the wire winding body in which the wire is wound around the take-up spool, and the electrode member, the electrode connection unit, or the circuit board.
  • the wire sealing body includes a winding spool, a wire winding body including a wire wound around the winding spool, and a case body in which the wire winding body is accommodated.
  • a spool case having a lid body that seals the opening of the case body so as to seal the wire winding body, the case body is made of a synthetic resin body, and the lid body is in close contact with the case body. And a peelable synthetic resin film or a composite film containing a synthetic resin film.
  • the wire of the embodiment is a wire that is obtained by taking out the winding spool from the wire sealing body and unwinding it from the wire winding body wound on the winding spool, and the wire sealing body is a winding spool,
  • a wire winding body that includes a wire wound around a take-up spool, a case body that houses the wire winding body, and a lid body that seals the opening of the case body so as to seal the wire winding body.
  • the case body of the spool case is made of polyethylene terephthalate (PET), has a width of 95.0 mm, a depth of 78.0 mm, and has a peripheral wall ridge with a height of 61.5 mm. The width becomes gradually narrower in the direction, and the widest part width of the bottom surface is 51.3 mm.
  • the thickness of the main part of the case body is 1.0 mm, and the oxygen permeability is 2.0 cm 3 /(m 2 ⁇ 24h ⁇ atm).
  • Two inflating portions are provided on each of two opposing side walls of the peripheral wall ridge.
  • the case body has a structure in which spools are inserted so that the left and right flanges come into contact with the side surfaces of the peripheral wall ridge in the depth direction (bottom direction) from the opening in the upper part, and the two inflated parts on both sides of the peripheral wall ridge are the tips. It abuts and fixes the spool case.
  • a film having a thickness of 60 ⁇ m using NY and PE (Example 1), a film having a thickness of 60 ⁇ m using silica coat PET (Example 2), KOP (polyvinylidene chloride coat)
  • a film having a thickness of 65 ⁇ m using OPP (biaxially oriented polypropylene) and CP (cellulose propionate) (Example 3)
  • a film having a thickness of 80 ⁇ m using OPP and PE Example 4
  • OPP and PE were prepared.
  • Example 5 70 ⁇ m thick film used (Example 5), 60 ⁇ m thick film using OPP and PE (Example 6), 70 ⁇ m thick film using PS (Example 7), and HIPS (high impact polystyrene).
  • a film (Example 8) having a thickness of 50 ⁇ m was prepared.
  • the oxygen permeability of each film is as shown in Table 1.
  • the metal wire winding body was stored in the case body described above and then sealed with the lid body described above.
  • an AL-4 winding spool in which a metal wire having a wire diameter of 20 ⁇ m was wound for 3000 m was prepared.
  • the type (material) of the metal wire in each example is as shown in Table 1.
  • the AL-4 take-up spool is made of aluminum, and the back surface of the body and the outer peripheral surface of the flange are nickel-plated.
  • the diameter of the body is 50.3 mm, the width is 47.0 mm, and the diameter of the left and right flanges is 58.5 mm.
  • the above-mentioned film was thermocompression-bonded to the case body, and the case body was sealed with the lid body to fabricate the metal wire sealed bodies of Examples 1 to 8. ..
  • These metal wire sealed bodies were subjected to the characteristic evaluation described below.
  • Table 1 shows the types of metal wires, the structure of the case body, and the oxygen permeability of the film.
  • the spool case having the same case body and lid as in Example 1 is described as new, and the spool case according to Comparative Example 1 described later is described as old.
  • the oxygen permeability of the case body and the film was measured by the isobaric method.
  • Example 9 In the case main body of Example 1, a metal wire sealing body was produced in the same manner as in Example 1 except that the case main body in which the side wall of the peripheral wall ridge was not provided with the expansion portion was used and the following film was used for the lid. Then, it was subjected to the characteristic evaluation described later.
  • the lid film a film having a thickness of 25 ⁇ m using EVA (vinyl acetate copolymerized polyethylene) (Example 9), a film having a thickness of 15 ⁇ m using HIPS (impact-resistant polystyrene) (Example 10), And a 15 ⁇ m thick film (Example 11) using LDPE (low density polyethylene) was used.
  • Table 1 shows the types of metal wires, the structure of the case body, and the oxygen permeability of the film.
  • a case (lid) made of high impact polystyrene (HIPS) and a tray are prepared.
  • the width and depth of the case portion are 88.0 mm and the height is 47.7 mm.
  • the width and depth of the tray section are the same as the case section, and the tray section is structured so as to cover the case section.
  • the conventional case has a structure in which one of the side surfaces of the flange part of the spool is placed in contact with the bottom surface of the tray part, and the circular groove of the flange part of the spool is fitted into the groove of the tray part. The spool is only fixed by fitting the circular recessed portion at the center of the case into the cavity of the body of the case.
  • the case (lid) part and the tray part are not made of film, and both are not in close contact.
  • the type (material) of the metal wire in each example is as shown in Table 1. This case was subjected to the characteristic evaluation described later.
  • Table 1 shows the results of each of the above tests.
  • the comprehensive evaluation of Table 1 is "A” when the drop test, the unraveling test after vibration and drop, and the unraveling test after storage are all “O”, and only the drop test is “O”. The case where it existed was made into “B”, and the case where all tests were "X” was made into “X”. The comprehensive evaluation is also shown in Table 1.
  • Example 12 to 21 In the same manner as in Example 1, using the same case body as in Example 1 and a lid body shown below, an AL-4 take-up spool in which a Cu alloy wire having a wire diameter of 20 ⁇ m was wound 3000 m or a wire diameter of 20 ⁇ m was used. A metal wire sealing body was produced by hermetically sealing an AL-4 winding spool in which an Ag alloy wire was wound for 3000 m. In Examples 12 to 21, the take-up spool was housed in the case body, the case was deaerated, and then the case body was sealed with the lid. These metal wire sealed bodies were subjected to the characteristic evaluation described below.
  • a film having a thickness of 60 ⁇ m using silica-coated PET (Example 12), a film having a thickness of 95 ⁇ m using NY and PE (Example 13), 50 ⁇ m thick film using PET (Example 14), 60 ⁇ m thick film using PE (Example 15), 65 ⁇ m thick film using KOP and CP (Example 16), NY and PE 80 ⁇ m thick film (Example 17) using PET, 30 ⁇ m thick film using PET (Example 18), 80 ⁇ m thick film using PE (Example 19), OPP and PE were used.
  • a 40 ⁇ m thick film (Example 20) and a 20 ⁇ m thick film using HIPS (Example 21) were used.
  • Table 2 shows the types of metal wires, the configuration of the case body, and the oxygen permeability of the film.
  • the lid body did not come off even in the drop test, and in the metal wire sealed bodies of Examples 12 to 19, the lid body oxygen was used.
  • the effective storage period varies depending on the permeability, the rotation unraveling test gives better results than Comparative Examples 4 to 5, so the surface properties of the oxidizable copper alloy wire and silver alloy wire are maintained. You can see that it can be stored.
  • the use of the lid having a low oxygen permeability enables the copper alloy wire and the silver alloy wire to be well stored for a long period of time.
  • Example 12 to 19 shown in Table 2 except that nitrogen gas having a concentration of 99.9% was sufficiently injected into the case main body accommodating the metal wire winding body in an amount larger than the internal volume of the case, A metal wire sealing body manufactured under the same conditions as 12 to 19 was subjected to a rotation unraveling test after storage under the same conditions as above, and it was found that when the storage was about twice as long as the results in Table 2. However, it was confirmed that the result of the rotation unraveling test was good.

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Abstract

本発明のワイヤ封止体（１）は、巻取スプール（４）に巻回されたワイヤ（５）を備えるワイヤ巻回体（２）と、ワイヤ巻回体（２）が収納されたケース本体（６）と、ワイヤ巻回体（２）を封止するように、ケース本体（６）の開口を密封するふた体（７）とを備えるスプールケースとを具備する。ケース本体（６）は合成樹脂体からなり、ふた体（７）はケース本体（６）に密着し、かつ剥離可能な合成樹脂フィルム、又は合成樹脂フィルムを含む複合フィルムからなる。

Description

ワイヤ封止体
　本発明の実施形態は、ワイヤ封止体に関する。
　半導体チップの電極とリードフレームや回路基板等の外部電極とは、例えばワイヤボンディングにより接続される。ワイヤボンディングでは、例えばボール接合と呼ばれる方式により半導体チップの電極にボンディングワイヤの一端を接合し、ウェッジ接合と呼ばれる方式によりボンディングワイヤの他端を外部電極に接合することが一般的である。ボール接合においては、ボンディングワイヤの一端を放電等により溶融させ、表面張力等により球形状に凝固させてボールを形成する。凝固したボールはフリーエアーボール（Ｆｒｅｅ　Ａｉｒ　Ｂａｌｌ：ＦＡＢ）と呼ばれ、超音波併用熱圧着ボンディング法等により半導体チップの電極に接続される。ボンディングワイヤとしては、金ワイヤ、銀ワイヤ、銅ワイヤ、アルミニウムワイヤ等や、またこれらに他の金属を被覆した被覆ワイヤ等の金属ワイヤが用いられている。これらの金属ワイヤはボンディングワイヤに限らず、半導体チップの電極にバンプ等を形成する際にも用いられる。
　上記したボンディングワイヤ等の金属ワイヤにおいては、保管時や運搬時におけるワイヤの外気中の酸素、水分、その他、排気ガスや大気汚染由来の汚染物質等により表面性状の劣化や汚染が問題となる。金属ワイヤは、一般に巻取スプールに巻回して巻回体とし、この巻回体をケースに収納することによって、保管や運搬に供される。しかしながら、従来のスプールケースは、ケース本体に金属ワイヤの巻回体を収納した後、ケース本体の開口を樹脂製のふた体で覆う形状を有しているものの、ふた体がケース本体に対して単に嵌合しているだけであり、ふた体とケース本体とが完全に密着された密閉状態ではないため、酸素や水分、その他の不純物を透過させてしまうため、金属ワイヤに代表されるワイヤが劣化してしまう。外気成分による金属ワイヤの表面性状の劣化により発生する問題は多く、例えば金属ワイヤをボンディングワイヤとして使用する場合、金属ワイヤと電極等との接合強度の低下、金属ワイヤの解き性の低下に伴う連続ボンディング性の低下によるボンディング装置の停止等が問題となる。また、ＦＡＢの形状が不安定になったり、酸化した金属ワイヤからＦＡＢを形成することでボールが硬化し、接合時に半導体チップ等に損傷を与えるおそれがある。このようなことから、金属ワイヤの多くの特性を満足し、厳しい不良率の低減が求められる生産管理を行うためには、金属ワイヤの表面性状の劣化を回避しなければならない。さらに、現在広く用いられている、ふた体とトレイ部とで構成されるケースでは、例えば嵌合が緩い場合に、落下した際の衝撃等によりふた体が外れ、ケース中からスプールが放り出されてしまうおそれもある。これはスプールに巻回された金属ワイヤの品質等を劣化させる要因となる。
　上記したような問題を回避するために、例えば特開平１－２９４４７４号公報に示されるように、金属ワイヤの巻回体を収納したケースをフィルム状の袋で密封した包装体において、袋内に酸素吸着剤や吸湿材を封入し、さらに袋内を真空状態にしたり、あるいは不活性ガスを注入する方法、特公平５－７２７１号公報に示されるように、金属ワイヤを内蔵したケースを収納した合成樹脂フィルム製袋体内を、真空引きした後に水素ガスや不活性ガスを封入して、圧力を一定の気圧以下に保持する方法、また特開２００３－２６２４９号公報に示されるように、金属ワイヤ又は中間加工材を巻回したスプールをビニール袋を用いて真空パック、エアーパック、もしくは真空後のエアーパックにより梱包する方法等が取られている。しかしながら、これらの外装袋を用いた梱包方法は、大きな問題を有している。すなわち、大量の金属ワイヤを巻回したスプールを、上記したような方法で封入して出荷するためには、外装袋や脱酸剤等のコストが大幅にかさむ上に、脱気やガスの注封止作業自体の時間が増えることになるために生産性の点で大きな問題がある。さらに、外装袋に封入することにより、梱包用の箱内に納める際にスペースを余分に取ってしまうことになり、スプールの入数が制限される等の出荷上の問題が生じる。厳しいコスト競争に晒されているボンディングワイヤ業界等においては、これらの問題を回避するために、外装袋による封入に代わる梱包方法の確立が喫緊の課題になっている。
　また、金属ワイヤの表面劣化を防ぐ別の手段として、例えば特開２００７－２５０７５０号公報に示されるように、スプールケース又はそれを収納する外装袋の中に気化性防錆剤を入れて酸化防止を図る方法、特開２０１３－４８１６４号公報に示されるように、金属ワイヤに接触しないように活性炭や酸素吸収剤をスプールケース内に収納する方法等が検討されている。しかしながら、気化性防錆剤は相当に小さく、またスプールケース内又は保護袋内に固定等されることなく同封されているだけであると、気化性防錆剤がスプールケースや外装袋の中で移動し、スプールに巻回された金属ワイヤに接触してしまい、折れ曲がりや変形癖を発生させるおそれがある。また万が一、何らかの原因で気化性防錆剤、活性炭、又は酸素吸収剤が流出し、スプールケース内にそのような粉末が散乱した場合、金属ワイヤの深刻な表面汚染をも引き起こすおそれがある。
　そこで、特に半導体素子用ボンディングワイヤにおいて、外装袋等を使用することなく、生産性を維持しながら保管時や輸送時における表面性状の劣化や汚染を防止するような金属ワイヤの収納容器及び保管方法が求められている。
　また、上述した酸化等による問題とは別に、例えば金属ワイヤをスプールに巻回した状態でケースに入れて運搬した場合において、金属ワイヤの巻崩れや偏りの問題がある。すなわち、長距離の輸送における振動や揺れがケース内のスプールに伝わることによって、スプールに巻かれている金属ワイヤに緩みや偏りが生じることがある。金属ワイヤに緩みや偏りが生じると、ワイヤボンディング工程のワイヤ繰り出し時に、金属ワイヤが絡まって上手く繰り出せないという不具合が発生してしまう。巻き緩みは金属ワイヤが絡まったり、金属ワイヤがくぐったりした場合に断線の原因にもなるため、ボンディング装置にてスムーズに金属ワイヤを繰り出すことができず、装置の停止等が起きてワイヤボンディング工程の生産性を著しく低下させることになる。
　これまでも振動や衝撃による巻崩れ等の課題を解決するためのスプールは様々に開発されており、またスプールだけではなく、スプールケースによる振動対策もとられている。例えば、特許２６７９６９７号公報には、「筒状スプールを嵌合せしめる上向膨出状の嵌合隆を一体に備えた合成樹脂製の容器本体と、該容器本体の外縁周壁隆に嵌合する蓋体からなるスプールケースであって、上記容器本体における嵌合隆のスプールと接触し支える部分の平面形状を多角形とし、そのコーナ部を丸く縁取りしたボンディングワイヤ用のスプールケース」が開示されており、「多角形柱の各辺でコーナ部を支えるため、コーナ部の反発力が増し、コーナ部が強固にスプールに圧接して確実かつ堅固にスプールを保持する」ことが記載されている。このスプールケースでは、容器本体内部にスプールフランジが直接面接触しているため、輸送運搬中での衝撃や製造工程での振動がスプールに直に伝わり、金属ワイヤが巻崩れてしまうおそれがある。また、金属ワイヤをスプールに巻く方向と同じ方向にスプールをスプールケースに収納するので、よりワイヤの巻崩れが生じやすい。さらに、蓋体は容器本体に嵌合されるだけであるため、大きな衝撃が加わった際に蓋体が外れることを確実に防止することはできない。
　同様のスプールの密着効果を奏するスプールケースとして、特許３５３３６５８号公報には、「筒状スプールの内周面と嵌合する上向き膨出状の嵌合隆と、蓋体と嵌合する外縁周壁隆とを一体に備えた容器本体と、該容器本体の外縁周壁隆に嵌合する蓋体とからなるボンディングワイヤ用スプールケースにおいて、該容器本体の嵌合隆の周囲に、筒状スプールのフランジを外周より嵌合させる溝が円周状に形成されているスプールケース」が開示されており、このスプールケースは「スプール内周面とフランジ外周面の２箇所で支えるために、スプールを堅固に固定することができ、このためスプール取り出し時に強い力で引き抜くことを余儀なくされてワイヤに誤って接触したり、スプールと容器本体との固定が不十分でスプールケースの蓋を開封したときに誤ってスプールを落下させてしまう等の事故を防ぐ効果があり、繰り返し使用に十分耐え得る」ことが記載されている。しかしながら、金属ワイヤをスプールに巻く方向と同じ方向にスプールを容器本体にはめ込むため、上述した問題と同様に、衝撃や振動をスプールが直接受けやすく、垂直方向への金属ワイヤの巻き崩れや巻乱れを克服できないという問題がある。さらに、蓋体は容器本体に嵌合されるだけであるため、大きな衝撃が加わった際に蓋体が外れることを確実に防止することはできない。
特開平１－２９４４７４号公報 特公平５－７２７１号公報 特開２００３－２６２４９号公報 特開２００７－２５０７５０号公報 特開２０１３－４８１６４号公報 特許２６７９６９７号公報 特許３５３３６５８号公報
　従来の金属ワイヤ等のワイヤを巻回した巻取スプールを収納するスプールケースでは、ケース本体とふた体とが密閉されておらず、外気中の酸素、水分、その他の不純物等を透過させてしまうため、それら外気成分による金属ワイヤに代表されるワイヤの表面性状の劣化や汚染を回避することができない。ワイヤの表面性状の劣化や汚染は、ワイヤの解き性等を低下させる要因となる。また、従来の外装袋を用いた保管方法では、外装袋にワイヤを巻回した巻取スプールを封入した上で脱気梱包し、場合によっては活性炭や酸素吸収剤等の脱酸剤を一緒に封入する必要があり、外装袋や脱酸剤のコストがかさむ上に封入作業自体に時間がかかり、生産コストの増加や生産性の低下が避けられない。
　本発明が解決しようとする課題は、低コストで外気成分によるワイヤの表面性状の劣化や汚染を抑制することを可能にしたスプールケースによりワイヤを封止したワイヤ封止体を提供することにある。
　本発明のワイヤ封止体は、巻取スプールと、前記巻取スプールに巻回されたワイヤとを備えるワイヤ巻回体と、前記ワイヤ巻回体が収納されたケース本体と、前記ワイヤ巻回体を封止するように、前記ケース本体の開口を密封するふた体とを備えるスプールケースと、を具備する。本発明のワイヤ封止体において、前記ケース本体は、合成樹脂体からなり、前記ふた体は、前記ケース本体に密着し、かつ剥離可能な合成樹脂フィルム、又は合成樹脂フィルムを含む複合フィルムからなることを特徴としている。
　本発明のワイヤ封止体によれば、ワイヤを有するワイヤ巻回体を、スプールケースで気密に封止しているため、スプールケース内への外気中の酸素、水分、その他の不純物等の外気成分の侵入によるワイヤの表面性状の劣化や汚染を防ぐことができる。従って、低コストで簡易的にワイヤの表面性状を維持することができる。
実施形態の金属ワイヤ封止体の概略構成を一部断面で示す図である。 図１に示す金属ワイヤ封止体における巻取スプールを示す斜視図である。 図１に示す金属ワイヤ封止体におけるスプールケースのケース本体を示す斜視図である。 図３に示すケース本体の開口部の変形例を示す図である。 図３に示すケース本体の開口部の他の変形例を示す図である。 図３に示すケース本体の縦断面形状の変形例を示す図である。 図３に示すケース本体の縦断面形状の他の変形例を示す図である。 図３に示すケース本体の縦断面形状の他の変形例を示す図である。 金属ワイヤ巻回体の巻き解き試験を示す図である。
　以下、本発明の実施形態のワイヤ封止体について、図面を参照して説明する。各実施形態において、実質的に同一の構成部位には同一の符号を付し、その説明を一部省略する場合がある。図面は模式的なものであり、厚さと平面寸法との関係、各部の厚さの比率、縦寸法と横寸法との比率等は現実のものとは異なる場合がある。
　図１は、実施形態のワイヤ封止体の一例として金属ワイヤ封止体の概略構成を示す断面図である。図１に示す金属ワイヤ封止体１は、金属ワイヤ巻回体２と、金属ワイヤ巻回体２を収納するスプールケース３とを具備している。なお、実施形態のワイヤ封止体は金属ワイヤ封止体に限られるものではなく、金属ワイヤ以外のワイヤ、例えば樹脂ワイヤや繊維ワイヤ等を封止したものであってもよい。金属ワイヤ巻回体２は、巻取スプール４と、巻取スプール４に巻回された金属ワイヤ５とを備えている。スプールケース３は、金属ワイヤ巻回体２が収納されたケース本体６と、金属ワイヤ巻回体２を封止するように、ケース本体６の開口を密封し、かつ剥離可能なふた体７とを備え、金属ワイヤ５の外気成分による表面性状の劣化や汚染等を防止する機能等を有するものである。
　金属ワイヤ巻回体２は、上記したように巻取スプール４に巻回された金属ワイヤ５を有している。金属ワイヤ５としては、ボンディングワイヤ等が例示される。ボンディングワイヤは、半導体チップの電極とリードフレームや回路基板等の外部電極との電気的な接続、複数の半導体チップの電極間の電気的な接続、半導体チップの電極、リードフレームや回路基板等の外部電極上への接続用バンプの形成等に用いられる金属ワイヤである。
　金属ワイヤ５の具体例としては、金又は金合金ワイヤ、パラジウム又はパラジウム合金ワイヤ、白金又は白金合金ワイヤ、アルミニウム又はアルミニウム合金ワイヤ、銀又は銀合金ワイヤ、銅又は銅合金ワイヤ等や、これらのワイヤに他の金属を被覆した被覆ワイヤ等が挙げられ、例えばボンディングワイヤとして用いられる。被覆ワイヤは、上記した金属や合金からなる芯材に、芯材を構成する金属とは別の金属からなる金属層、又はそのような金属を含む合金層を被覆層として設けたものであり、代表例としてはパラジウム又はパラジウム合金で被覆された銅又は銅合金ワイヤが挙げられる。ボンディングワイヤに代表される金属ワイヤ５の形状は特に限定されるものではないが、例えば代表的な金又は金合金ワイヤの場合、１８μｍ以上３０μｍ以下の直径を有しており、巻取スプール４に例えば１０００ｍ以上５０００ｍ以下程度の長さで巻回される。
　巻取スプール４は、図２に示すように、円筒状の胴部８と、胴部８の両端にそれぞれ設けられた一対のフランジ部９（９Ａ、９Ｂ）とを有している。巻取スプール４は、胴部８内を貫通し、さらに一対のフランジ部９Ａ、９Ｂをそれぞれ貫通する空洞部１０を有しており、この空洞部１０により金属ワイヤのボンディング装置のモータ回転軸等に取り付けることが可能とされており、これによりワイヤボンディング工程等に供される。巻取スプール４としては、例えば内径が４７ｍｍ以上５０ｍｍ以下のＡＬ－４又はＡＬ－２と呼ばれるスプールが知られている。巻取スプール４は、合成樹脂製であってもよいし、金属製であってもよい。金属製の巻取スプール４は、一般的に表面をアルマイト処理したアルミニウムを用いて製造される。合成樹脂製の巻取スプール４の形成材料としては、例えばアクリロニトリル－ブタジエン－スチレン共重合体（ＡＢＳ樹脂）、ポリカーボネート、耐衝撃性ポリスチレン等が挙げられる。なお、実施形態のワイヤ封止体１に用いられる巻取スプール４は、汎用性の観点から、上記したＡＬ－４やＡＬ－２を含む内径が４７ｍｍ以上５２ｍｍ以下のスプールであることが好ましい。
　スプールケース３は、図１に示すように、金属ワイヤ巻回体２を収納するケース本体６と、ケース本体６の開口を密封するふた体７とを備えている。スプールケース３は、透明体又は半透明体からなることが好ましい。これによって、スプールケース３の外部から金属ワイヤ巻回体２が配置された底部等の内部構造が目視で観察できるため、金属ワイヤ５の巻崩れ、巻乱れ、異物付着等によるワイヤ表面の不具合等を発見しやすくなる。透明の度合いは金属ワイヤ５の巻崩れ等を視認できることができる程度であればよい。
　ケース本体６は合成樹脂体、例えばポリ塩化ビニリデン（ＰＶＤＣ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエチレン（ＰＥ）、エチレン－ビニルアルコール共重合体（ＥＶＯＨ）、ナイロン（ＮＹ）、メタキシリレンアジパミド、２軸延伸ナイロン、無延伸ナイロン、２軸延伸ポリプロピレン、高密度ポリエチレン、ポリ塩化ビニリデンコート２軸延伸ナイロン、ポリ塩化ビニリデンコート無延伸ナイロン、ポリアクリルニトリル、ポリアミド、ポリエチレン、無延伸ポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリスチレン、及び耐衝撃性ポリスチレンから選ばれる単層又は複層の合成樹脂体からなる。ケース本体６は、合成樹脂材料を真空成形や射出成型することにより作製される。ケース本体６の厚さは、生産コスト及び成形容易性と剛強性の両立の観点から、０．３ｍｍ以上１．５ｍｍ以下であればよく、０．５ｍｍ以上１．３ｍｍ以下が好ましく、さらに０．７ｍｍ以上１．１ｍｍ以下がより好ましい。ここで言うケース本体６の厚さは、スプールケース３の金属ワイヤ巻回体２の収納容器としての全体強度を維持する部分である本体側面又はふた体との熱圧着部分の厚さであり、強度に影響しない部分や他の特定の機能を有する部分については上記した厚さ範囲から外れていてもよい。また、さらなる剛強性を付与するために、ケース本体６の一部が上記した厚さ範囲から外れていてもよい。なお、上記した厚さは、例えば定規やノギス等で適宜測定することが可能である。また、曲線部分で計測が困難な場合は、平坦な部分の厚みをケース本体６の厚さとすることができる。
　ケース本体６は、図３に示すように、内部が空洞の容器形状の巻回体収容部１１と、巻回体収容部１１の一端に設けられた開口部１２と、開口部１２の周囲に設けられ、ふた体７の密着部分となる上周縁１３とを有している。金属ワイヤ巻回体２は、ケース本体６の巻回体収容部１１内に収納されている。金属ワイヤ巻回体２が収納されたケース本体６の開口部１２は、金属ワイヤ５を封止するように、ふた体７で密封される。ふた体７は開口部１２の周囲に設けられた上周縁１３に対して気密状態で密着され、これにより金属ワイヤ５をスプールケース３で気密封止するように構成されている。ケース本体６にふた体７を密着させることによって、衝撃等が加わった際においても、スプールケース３から金属ワイヤ巻回体２が脱落したり、放り出されることがない。
　さらに、ふた体７はケース本体６に密着し、かつ剥離可能な合成樹脂フィルム、又は合成樹脂フィルムを含む複合フィルムからなる。従って、半導体装置製造等におけるボンディング工程において、カッターやハサミ等を用いずに、ふた体７を剥離して金属ワイヤ５を巻回した巻取スプール４を容易に取り出すことができ、これによって生産性の向上につながる。ふた体７の上周縁１３に対する密着は、例えば合成樹脂同士の熱圧着（溶着）により実施される。ふた体７の形成材料にもよるが、例えばふた体７に後述するイージーピール性の複層樹脂フィルムを用いた場合、熱圧着後の剥離性の観点から熱圧着温度は１２０℃以上１７０℃以下程度が好ましい。なお、気密状態で密着させつつ剥離可能な状態を維持し得る方法であれば、熱圧着以外の密着方法を適用してもよい。そのような密着方法としては、超音波溶着、高周波溶着、ホットメルト材による接着等が挙げられる。
　合成樹脂フィルムや複合フィルムからなるふた体７の剥離性に関しては、ピール強度（ｇ）にて制御できる。ピール強度は、ケース本体６を固定し、ふた体７にばね式ばかりのフックを固定して簡易的に測定できる。ふた体７の剥離容易性とケース本体６との密着性の両立の観点から、ふた体７のピール強度が一定の範囲にあることが好ましい。すなわち、具体的には、ふた体７のピール強度は２８０ｇ以上２０００ｇ以下の範囲が好ましく、より好ましくは４００ｇ以上１５００ｇ以下の範囲である。ピール強度が２８０ｇ未満であると、輸送中に振動等でフィルムからなるふた体７が剥がれたり、反対に２０００ｇを超えると剥がれにくくなり、作業性が著しく低下する。また、合成樹脂フィルムや複合フィルムからなるふた体７の厚さは、ガスバリア性や熱圧着時の密着性の観点から、複合フィルムを含めて２０μｍ以上１００μｍ以下であればよく、３０μｍ以上９０μｍ以下が好ましく、さらに４５μｍ以上７５μｍ以下がより好ましい。
　ふた体７は、上記したようにケース本体６に密着し、かつ剥離可能な合成樹脂フィルム、又は合成樹脂フィルムを含む複合フィルムからなる。ふた体７は、例えばポリ塩化ビニリデン（ＰＶＤＣ）フィルム、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）フィルム、ポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）フィルム、ポリプロピレン（ＰＰ）フィルム、ポリエチレン（ＰＥ）フィルム、エチレン－ビニルアルコール共重合体（ＥＶＯＨ）フィルム、ナイロン（ＮＹ）フィルム、メタキシリレンアジパミドフィルム、２軸延伸ナイロンフィルム、無延伸ナイロンフィルム、２軸延伸ポリプロピレンフィルム、高密度ポリエチレンフィルム、ポリ塩化ビニリデンコート２軸延伸ナイロンフィルム、ポリ塩化ビニリデンコート無延伸ナイロンフィルム、ポリアクリルニトリルフィルム、ポリアミドフィルム、ポリエチレンフィルム、無延伸ポリプロピレンフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリスチレンフィルム、及び耐衝撃性ポリスチレンフィルムから選ばれる少なくとも１つを含む合成樹脂フィルム、又はそのような合成樹脂フィルムを含む複合フィルムからなる。複合フィルムとしては、上記した合成樹脂フィルムの少なくとも１つにシリカコート、アルミナコート、アルミニウムコート等の無機材料コート層を設けたコート層付きフィルムや、合成樹脂フィルム及びコート層付きフィルムから選ばれる少なくとも２つのフィルムを積層した積層フィルムが挙げられる。
　ふた体７は、ガスバリア性と剥離容易性との両立の観点から、単層の合成樹脂フィルムよりも２層又は３層構造以上の合成樹脂フィルムであることが好ましい。合成樹脂フィルムはその種類によりガスバリア性や熱圧着・剥離性の機能が分かれており、機能の異なるフィルムを積層することによって、これらの性質を同時に得ることが期待できる。具体的には、複数の機能を有する、市販の２層又は３層構造以上のフィルムからなるポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）系やポリエチレン（ＰＥ）系のイージーピールフィルムの使用が考えられる。また、合成樹脂素材において、異種の素材（例えば、ポリプロピレン（ＰＰ）とポリエチレン（ＰＥ）、ポリスチレン（ＰＳ）とポリエチレン（ＰＥ）等）は熱圧着が困難な場合がある。このため、ケース本体６とふた体７との熱圧着性を高めるためには、ケース本体６とふた体７には同種の樹脂素材、又は同種の樹脂素材を混合した複合樹脂素材を使用することが好ましい。
　さらに、ふた体７は輸送中のトラブル回避の観点から、擦れに耐性を持つ合成樹脂フィルムからなることが好ましい。合成樹脂フィルムは、引張に対して十分な強度を持っているが、梱包箱と内容物の擦れによりピンホールが発生する可能性がある。このような点に対して、擦れに耐性を持つ合成樹脂フィルムを含むふた体７を用いることによって、ピンホールの発生を抑制することができる。具体的には、ポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）／延伸ナイロン（ＯＮ）／直鎖状低密度ポリエチレン（ＬＬＰＤＥ）からなる複層フィルムを用いることが考えられる。また、輸送中の破裂の可能性も考えられるため、耐衝撃性に優れた合成樹脂フィルムを用いることが好ましい。具体的には、延伸ナイロン（ＯＮ）からなるフィルムや２軸延伸ポリプロピレン（ＯＰＰ）からなるフィルムを含む合成樹脂フィルムをふた体７に用いることが考えられる。
　合成樹脂体からなるケース本体６、及び合成樹脂フィルムや複合フィルムからなるふた体７は、酸素及び水分を透過させないことが好ましい。ケース本体６及びふた体７が酸素及び水分を透過させないことは、市販の酸素透過度測定装置（例えば、ＭＯＣＯＮ社製ＯＸ－ＴＲＡＮ２／２２）を用いて測定することができる。酸素透過度が８０００ｃｍ３／（ｍ２・２４ｈ・ａｔｍ）以下であれば、外気成分の侵入による金属ワイヤ５の表面性状の劣化や汚染を抑制することができる。さらに、外気成分の侵入による金属ワイヤ５の酸化や硫化等を防ぐためには、酸素透過度が３０００ｃｍ３／（ｍ２・２４ｈ・ａｔｍ）以下であることが好ましく、これにより実用的に酸素の透過等による金属ワイヤ５の酸化や腐食を抑制することができる。金属ワイヤ５の酸化や腐食を抑制するために、ケース本体６及びふた体７の酸素透過度は、１０００ｃｍ３／（ｍ２・２４ｈ・ａｔｍ）以下がより好ましく、３００ｃｍ３／（ｍ２・２４ｈ・ａｔｍ）以下がさらに好ましく、最適には１００ｃｍ３／（ｍ２・２４ｈ・ａｔｍ）以下である。
　さらに、合成樹脂体からなるケース本体６、及び合成樹脂フィルムや複合フィルムからなるふた体７の水蒸気透過度は、酸素透過度と一定の相関関係にあると考えられ、酸素透過度が一定の値以下であれば水蒸気透過度もある値以下に抑えることができる。例えば、ポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）の場合には、素材の厚さ２５μｍ換算で酸素透過度が８０ｃｍ３／（ｍ２・２４ｈ・ａｔｍ）である場合、水蒸気透過度は２２ｇ／ｍ２・２４ｈとなる。
　上述したような酸素透過度及び水蒸気透過度を有するケース本体６及びふた体７を用いることによって、ケース本体６やふた体７を介してスプールケース３内に、酸素、水分、その他の不純物等の外気成分が入り込むことによる金属ワイヤ５の表面性状の劣化や汚染を抑制することができる。すなわち、ふた体７をケース本体６に密着させて、スプールケース３内を気密封止するだけでなく、ケース本体６やふた体７を介した外気成分のスプールケース３内への進入を抑制することによって、スプールケース３内に外気成分が入り込むことによる金属ワイヤ５の表面性状の劣化や汚染をより効果的に抑制することができる。スプールケース３内に外気成分が入り込むと、金属ワイヤ５の表面の酸素、水分、その他の不純物等による劣化や汚染が発生する。このため、金属ワイヤ５の巻取スプール４からの解き性が低下したり、金属ワイヤ５の性能や品質が劣化する。スプールケース３内への外気成分の入り込みを防ぐことによって、金属ワイヤ５の表面性状の劣化や汚染、それらによる金属ワイヤ５の解き性、性能、品質等の劣化を抑制することができる。
　金属ワイヤ巻回体２を収納したケース本体６をふた体７で気密に封止するにあたって、金属ワイヤ５の金属ワイヤ５の表面性状の劣化や汚染、特に酸素や水分等による酸化や腐食をより確実に防止する上で、ふた体７で密封する前にケース本体６内は脱気することが好ましく、さらにふた体７で密封するケース本体６内に不活性ガスを充填することが好ましい。金属ワイヤ５は、スプールケース３内に残留する酸素や硫黄等の影響によって、表面性状の劣化や汚染が生じるおそれがある。このため、ケース本体６をふた体７で密封する前に脱気することによって、金属ワイヤ５の表面性状の劣化や汚染を抑制することができる。なお、脱気とは大気圧以下であれば良く、２０ｋＰａ以下であればなお良い。また、スプールケース３内に脱酸剤等を配置することを妨げるものではないが、その場合にはスプールケース３内への飛散等が生じないようにする。それから、不活性ガスを充填した場合は、ケース内部の不活性ガス濃度（窒素やアルゴンガス等）が、少なくとも大気雰囲気の不活性ガス濃度より高いことが好ましく、さらに不活性ガス濃度が９０％以上であることが好ましく、９８％以上であることがより好ましい。
　酸化性金属である銅や銀等を含む金属ワイヤ５を保管する際に、クリーンルーム等の適切な温湿度が保たれた環境においては、大気に曝露された状態でも酸化等は生じないが、輸送中における高温高湿の過酷な環境下では、酸化等のおそれがある。このような輸送中に酸化等が生じるおそれがある金属ワイヤ５を適用する場合には、ふた体７で密封される前のケース本体６内を脱気し、さらに不活性ガスを充填することが好ましい。不活性ガスは金属ワイヤ５の酸化等の化学反応を抑制することが期待できるものであればよく、例えば窒素ガス、アルゴンガス、二酸化炭素ガス等を使用することができる。
　不活性ガスの充填方法には、上記したケース本体６内を脱気した後に不活性ガスを充填する方法の他に、不活性ガスによるガス置換包装法を適用することができる。ガス置換包装法は、包装容器内の空気を除去し、他のガスを充填する方法である。実施形態の金属ワイヤ封止体１では、例えば金属ワイヤ巻回体２を収納したケース本体６に不活性ガスを注入し、不活性ガスでケース本体６内の空気を除去しつつ、空気を不活性ガスで置換する。ガス置換したケース本体６は、ふた体７で素早く密封する。
　上述したように、実施形態の金属ワイヤ封止体１においては、巻取スプール４に巻回された金属ワイヤ５を有する金属ワイヤ巻回体２を、酸素及び水分を透過させない合成樹脂体からなるケース本体６と、酸素及び水分を透過させない合成樹脂フィルム又は複合フィルムからなるふた体７とで構成されたスプールケース３で気密に封止しているため、例えば酸化性金属である銅や銀を主成分とする金属ワイヤ５であっても、輸送時や保管時における酸素や水分の侵入による酸化や腐食を防ぐことができる。従って、輸送時や保管時に金属ワイヤ５の表面性状を維持することができる。さらに、ケース本体６とふた体７とで構成されたスプールケース３で、金属ワイヤ５の酸化や腐食を防いでいるため、従来の外装袋やその中に封入した脱酸剤等を用いた封止方法に比べて、外装袋や脱酸剤等のコスト、封入作業に要する工数等を削減することができるため、低コストで金属ワイヤ５の表面性状の低下を抑制することができると共に、梱包用の箱内に納める際のスペースが低減されるため、出荷コストの増大等の出荷上の問題を回避することが可能になる。また、従来の封止方法では、金属ワイヤ封止体の使用者側においても梱包袋の取り外し、作業スペース、廃棄物量の増大等の難点があったが、実施形態の金属ワイヤ封止体１によれば、上記した使用者側の難点も解消することができる。
　スプールケース３のケース本体６において、巻回体収容部１１は図３に示すように、上周縁１３の内側に内部が空洞な略四角錘台形状の周壁隆を膨出させることにより形成されており、四角錘台の大面積の底面が上側、小面積の底面が下側に位置している。略四角錘台形状の巻回体収容部１１は、略四角錘台の小面積の底面（下側）に相当する底部１１ａを有している。巻回体収容部１１の形状は、金属ワイヤ巻回体２を収納することが可能な有底容器形状であればよく、略四角錘台形状以外の略角錐台形状等であってもよい。ここで、略四角錘台形状とは、開口部１２が略四角形である角錐台のことを言うが、開口部１２の形状が多角形となるものや角が丸くなっているものであってもよい。また、厳密な意味で角錐台である必要はなく、例えば一部が丸みを帯びた形状であってもよい。
　略四角錘台形状の巻回体収容部１１において、その一端に設けられた開口部１２の形状は厳密な意味で四角形ではなくてもよく、例えば図４に示すように、角を円や楕円の一部のような曲線とした形状や、例えば図５に示すように、角を斜めに繋いだ多角形状であってもよい。また、巻回体収容部１１の縦断面形状（深さ方向に切断した断面形状）は、厳密な意味で四角錘台ではなくてもよく、図６に示すように、四角錘台の底部側角部を曲線とした形状や、例えば図７や図８に示すように、底部側角部を斜めに繋ぎ、先端部分の傾斜角度を２つ又は２つ以上とした形状であってもよい。図６に示す曲線部分や図７及び図８に示す傾斜部分は、四角錘台の底部側角部の一方のみに設けてもよい。このような形状であっても、金属ワイヤ巻回体２を収納することが可能で、かつ金属ワイヤ巻回体２を支持する底部１１ａを有していれば、スプールケース３及びそのケース本体６（巻回体収容部１１）としての機能を得ることができる。
　略四角錘台形状の巻回体収容部１１内には、金属ワイヤ巻回体２が収納される。金属ワイヤ巻回体２は、巻取スプール４の円筒状の胴部８の中心軸（円筒の上下両面の中心を通る軸）が、巻回体収容部１１の底部１１ａと平行となるように、巻回体収容部１１内に収納されている。これによって、胴部８に対する金属ワイヤ５の巻回方向（胴部８の中心軸方向）が巻回体収容部１１内で水平方向になる、言い換えると金属ワイヤ５の方向が巻回体収容部１１の深さ方向に対して平行（垂直方向）になるように、金属ワイヤ巻回体２を収納することができる。従って、運搬時等における金属ワイヤ５の巻崩れ等を抑制することができる。すなわち、前述したように、金属ワイヤをスプールに巻く方向と同じ方向にスプールをスプールケースに収納すると、金属ワイヤが水平方向に位置するようになるため、金属ワイヤに巻崩れ等が生じやすくなる。実施形態のスプールケース３を用いた金属ワイヤ封止体１では、そのような金属ワイヤ５の巻崩れを抑制することができる。
　巻回体収容部１１は、さらに図３に示すように、略四角錘台形状の周壁隆の対向する２つの側面１１ｂにそれぞれ設けられ、巻回体収容部１１（ケース本体６）の内側に向けて突出する膨張部１４を有している。膨張部１４は１つの側面１１ｂに単数又は複数の対で設けられ、巻取スプール４のフランジ９（９Ａ、９Ｂ）の外周面に点接触又は線接触するように形成されている。膨張部１４を巻取スプール４のフランジ９に点接触又は線接触させて支持することによって、巻取スプール４と巻回体収容部１１（ケース本体６）との間に空間を設けられる。ここで、金属ワイヤ巻回体２と巻回体収容部１１（ケース本体６）との間には、前後及び左右方向に空隙を設けることが好ましい。空隙の幅は１ｍｍ以下が好ましく、０．５ｍｍ以下がより好ましい。このような空隙を設けつつ膨張部１４を巻取スプール４のフランジ９に接触させることによって、外部からの衝撃を分散させて直接的な金属ワイヤ巻回体２への衝撃を緩和することできると共に、微小な振動を吸収することができる。従って、運搬時等における金属ワイヤ巻回体２のケース本体６内での移動や外部からの衝撃等による金属ワイヤ５の巻崩れ等を抑制することができる。
　膨張部１４は複数本の波溝状となるものが典型例であるが、フランジ９と点接触又は線接触するものであれば、これ以外の形状であってもよい。フランジ９と点接触又は線接触させるという観点から、膨張部１４は凸条体または突起体であることが好ましい。略四角錘台形状の周壁隆の対向する２つの側面１１ｂは、それぞれ２つ又はそれ以上の膨張部１４を有することが好ましい。巻取スプール４のフランジ９Ａ、９Ｂを対向する２つの側面１１ｂにそれぞれ設けられた２つ又はそれ以上の膨張部１４で支持することによって、運搬時等における金属ワイヤ巻回体２とケース本体６との接触を抑制しつつ、金属ワイヤ巻回体２の支持性を高めることができる。従って、金属ワイヤ５の巻崩れ等がより効果的に抑えられ、長距離の輸送における金属ワイヤ５の緩みや偏りを抑制することできるため、これらにより生じるワイヤ繰り出し時の金属ワイヤ５の絡まり、さらに金属ワイヤ５の断線、ワイヤボンディング装置の停止等を防ぐことが可能になる。
　上述したように、実施形態の金属ワイヤ封止体１によれば、製造コスト、製造工数、出荷コスト等の増加を抑制した上で、低コストでかつ簡易的に輸送時や保管時におけるスプールケース３内への酸素や水分の侵入を防ぎ、金属ワイヤ５の酸化や腐食を防止することができる。従って、例えば酸化しやすい銅や硫化しやすい銀を主成分とする金属ワイヤ５であっても、金属ワイヤ５の表面性状を維持しつつ、輸送及び保管することが可能となる。さらに、スプールケース３のケース本体６の形状等に基づいて、例えば長距離の輸送時における金属ワイヤ５の巻崩れ、巻緩み、偏り等を抑制することでき、これらにより生じるワイヤ繰り出し時の金属ワイヤ５の絡まり、さらに金属ワイヤ５の断線、ワイヤボンディング装置の停止等を抑制することが可能になる。
　実施形態のワイヤ封止体の製造方法は、巻取スプールと、巻取スプールに巻回されたワイヤとを備えるワイヤ巻回体と、ワイヤ巻回体が収納されたケース本体と、ワイヤ巻回体を封止するように、ケース本体の開口を密封するふた体とを備えるスプールケースと、を具備するワイヤ封止体の製造方法であって、ケース本体は、合成樹脂体からなり、ふた体は、ケース本体に密着し、かつ剥離可能な合成樹脂フィルム、又は合成樹脂フィルムを含む複合フィルムからなる。
　実施形態の電極用部材、電極接続ユニット、又は回路基板は、ワイヤ封止体から巻取スプールを取り出して、巻取スプールにワイヤが巻回されたワイヤ巻回体から繰り出されたワイヤが接合された電極用部材、電極接続ユニット、又は回路基板であって、ワイヤ封止体は、巻取スプールと、巻取スプールに巻回されたワイヤとを備えるワイヤ巻回体と、ワイヤ巻回体が収納されたケース本体と、ワイヤ巻回体を封止するように、ケース本体の開口を密封するふた体とを備えるスプールケースと、を具備し、ケース本体は、合成樹脂体からなり、ふた体は、ケース本体に密着し、かつ剥離可能な合成樹脂フィルム、又は合成樹脂フィルムを含む複合フィルムからなる。
　実施形態の接合方法は、ワイヤ封止体から巻取スプールを取り出して、巻取スプールにワイヤが巻回されたワイヤ巻回体からワイヤを繰り出して、電極用部材、電極接続ユニット、又は回路基板に接合する接合方法であって、ワイヤ封止体は、巻取スプールと、巻取スプールに巻回されたワイヤとを備えるワイヤ巻回体と、ワイヤ巻回体が収納されたケース本体と、ワイヤ巻回体を封止するように、ケース本体の開口を密封するふた体とを備えるスプールケースと、を具備し、ケース本体は、合成樹脂体からなり、ふた体は、ケース本体に密着し、かつ剥離可能な合成樹脂フィルム、又は合成樹脂フィルムを含む複合フィルムからなる。
　実施形態のワイヤは、ワイヤ封止体から巻取スプールを取り出して、巻取スプールに巻回されたワイヤ巻回体から繰り出されたワイヤであって、ワイヤ封止体は、巻取スプールと、巻取スプールに巻回されたワイヤとを備えるワイヤ巻回体と、ワイヤ巻回体が収納されたケース本体と、ワイヤ巻回体を封止するように、ケース本体の開口を密封するふた体とを備えるスプールケースと、を具備し、ケース本体は、合成樹脂体からなり、ふた体は、ケース本体に密着し、かつ剥離可能な合成樹脂フィルム、又は合成樹脂フィルムを含む複合フィルムからなる。
　次に、本発明の実施例について説明する。なお、本発明は以下の実施例に限定されない。
（実施例１～８）
　スプールケースのケース本体は、ポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）製で、幅９５．０ｍｍ、奥行７８．０ｍｍの上周縁を有し、周壁隆の高さは６１．５ｍｍであり、周壁隆は入口から奥行方向に徐々に狭くなっており、底面の最も広い部分幅は５１．３ｍｍである。ケース本体の主要部の厚さは１．０ｍｍであり、酸素透過度は２．０ｃｍ３／（ｍ２・２４ｈ・ａｔｍ）である。周壁隆の対向する側壁２面には、それぞれ２本の膨張部を設けている。ケース本体は、上部の開口から奥行方向（底面方向）に左右のフランジ部が周壁隆の側面側に当たるようにスプールを入れる構造を有し、周壁隆の両側にある２組の膨張部は先端でスプールケースと当接して固定している。
　また、ふた体を構成するフィルムとして、ＮＹ及びＰＥを用いた厚さ６０μｍのフィルム（実施例１）、シリカコートＰＥＴを用いた厚さの６０μｍフィルム（実施例２）、ＫＯＰ（ポリ塩化ビニリデンコートＯＰＰ（二軸延伸ポリプロピレン））及びＣＰ（プロピオン酸セルロース）を用いた厚さ６５μｍのフィルム（実施例３）、ＯＰＰ及びＰＥを用いた厚さ８０μｍのフィルム（実施例４）、ＯＰＰ及びＰＥを用いた厚さ７０μｍフィルム（実施例５）、ＯＰＰ及びＰＥを用いた厚さ６０μｍフィルム（実施例６）、ＰＳを用いた厚さ７０μｍのフィルム（実施例７）、及びＨＩＰＳ（耐衝撃性ポリスチレン）を用いた厚さ５０μｍのフィルム（実施例８）を用意した。各フィルムの酸素透過度は、表１に示す通りである。
　上記したケース本体内に金属ワイヤ巻回体を収納した後に上記したふた体で密封した。金属ワイヤ巻回体としては、線径２０μｍの金属ワイヤを３０００ｍ巻いたＡＬ－４巻取スプールを用意した。各例の金属ワイヤの種類（素材）は表１に示す通りである。ＡＬ－４巻取スプールは、アルミニウム製で胴部裏面及びフランジ外周面にニッケルめっきが施されている。胴部の直径は５０．３ｍｍ、幅は４７．０ｍｍ、左右フランジ部の直径は５８．５ｍｍである。ケース本体内に金属ワイヤ巻回体を収納し後、上記したフィルムをケース本体に熱圧着し、ふた体でケース本体を密閉することによって、実施例１～８の金属ワイヤ封止体を作製した。これらの金属ワイヤ封止体を後述する特性評価に供した。金属ワイヤの種類、ケース本体の構成、フィルムの酸素透過度は表１に示す通りである。表１のケースの構成について、実施例１と同一のケース本体及びふた体を有するスプールケースは新と表記し、後述する比較例１によるスプールケースは旧と表記した。なお、ケース本体とフィルムの酸素透過度は、等圧法により測定した。
（実施例９～１１）
　実施例１のケース本体において、周壁隆の側壁に膨張部を設けていないケース本体を用いると共に、ふた体に下記のフィルムを用いる以外は、実施例１と同様にして金属ワイヤ封止体を作製し、後述する特性評価に供した。ふた体のフィルムとしては、ＥＶＡ（酢酸ビニル共重合ポリエチレン）を用いた厚さ２５μｍのフィルム（実施例９）、ＨＩＰＳ（耐衝撃性ポリスチレン）を用いた厚さ１５μｍのフィルム（実施例１０）、及びＬＤＰＥ（低密度ポリエチレン）を用いた厚さ１５μｍのフィルム（実施例１１）を使用した。金属ワイヤの種類、ケース本体の構成、フィルムの酸素透過度は表１に示す通りである。
（比較例１～３）
　従来のケースとして、耐衝撃性ポリスチレン（ＨＩＰＳ）製のケース（ふた）部及びトレイ部からなるものを用意した。ケース部の幅及び奥行は８８．０ｍｍで高さは４７．７ｍｍである。トレイ部の幅及び奥行はケース部と同じで、トレイ部がちょうどケース部に覆いかぶさる構造となっている。従来のケースは、スプールのフランジ部の側面のいずれかがトレイ部の底面と接触するように置く構造となっており、トレイ部の溝にスプールのフランジ部の円形の溝を嵌合し、スプールの胴部の空洞にケース部中央の円形の陥没部分を嵌合させることによりスプールが固定されているだけで、ケース（ふた）部及びトレイ部はフィルム製ではなく、両者は密着されていない。このトレイ部に線径２０μｍの金属ワイヤを３０００ｍ巻いたＡＬ－４巻取スプールを配置し、ケース（ふた）部で覆った。各例の金属ワイヤの種類（素材）は表１に示す通りである。このケースを後述する特性評価に供した。
　上記した実施例１～１１の金属ワイヤ封止体及び比較例１～３のケースについて、以下に示す落下試験、振動及び落下後の回転解き試験、１カ月保存後の回転解き試験を行った。それらの結果を表１に合わせて示す。なお、落下試験でケースが開き、金属ワイヤ巻回体がケースから放り出されたものは、振動及び落下後の回転解き試験を行っていない。
（落下試験）
　表１の実施例１～１１の金属ワイヤ封止体及び比較例１～３のケースについて、５００ｍｍの高さから床に４回落下させ、ふた体がケース本体から外れたかどうかを確認した。４回の落下試験において、１回でもふた体が外れた場合には「×」とし、１回もふた体が外れていない場合には「○」とした。
（振動及び落下後の回転解き試験）
　表１の実施例１～１１の金属ワイヤ封止体及び比較例１～３のケースについて、まず、長距離の陸送を想定して、振動試験装置にて、振れ幅２．５ｍｍ、周波数１０Ｈｚの条件で３６時間巻取スプールの左右フランジ幅方向に振動させた。振動後の金属ワイヤ封止体及びケースを５００ｍｍの高さから床に４回落下させた。落下試験後の試料について、金属ワイヤの巻取スプールからの回転解き試験を行い、巻取スプールから繰り出された金属ワイヤの不具合の有無をフランジ部９から離れる位置によって観察した。上記の回転解き試験結果については、図９のフランジ部９の右側から繰り出された銅ワイヤ５が図の「ｂ」を超えて繰り出された場合（図の「ｂ」から「ｃ」の範囲、又は「ｃ」より左側の範囲）を「繰出し不良」とし、図の「ａ」から「ｂ」の範囲を「良」とした。振動及び落下後の回転解き試験において、４個の落下試験後のスプールのうち、上記の「繰出し不良」の異常が１個も見られなかった場合のみ「○」とし、１個でも異常が見られた場合は「×」とした。
（保管後の回転解き試験）
　表１の実施例１～１１の金属ワイヤ封止体及び比較例１～３のケースについて、落下試験とは別に、気温４０℃、湿度８５％の過酷な環境下で１カ月保管した後、上記した回転解き試験を行った。評価は、各例について４個のスプールの回転解き試験を行い、４個のスプールのうち、上記した「繰出し不良」の異常が１個も見られなかった場合のみ「○」とし、１個でも異常が見られた場合は「×」とした。
　上記した各試験の結果を表１に示す。なお、表１の総合評価は、落下試験、振動及び落下後の解き試験、及び保管後の解き試験がいずれも「○」であった場合を「Ａ」とし、落下試験のみが「○」であった場合を「Ｂ」とし、全ての試験が「×」であった場合を「Ｘ」とした。総合評価を表１に合わせて示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　表１に示すように、実施例１～１１の金属ワイヤ封止体は、落下試験によってもふた体が外れることはなく、また実施例１～８の金属ワイヤ封止体は、振動及び落下後や保管後においても繰出し不良が生じないことが確認された。
（実施例１２～２１）
　実施例１と同一のケース本体と以下に示すふた体とを用いて、実施例１と同様にして、線径２０μｍのＣｕ合金ワイヤを３０００ｍ巻いたＡＬ－４巻取スプール、又は線径２０μｍのＡｇ合金ワイヤを３０００ｍ巻いたＡＬ－４巻取スプールを気密封止した金属ワイヤ封止体を作製した。実施例１２～２１については、ケース本体内に巻取スプールを収納し、ケース内を脱気した後、ケース本体をふた体で密封した。これらの金属ワイヤ封止体を後述する特性評価に供した。
　実施例１２～２１において、ふた体を構成するフィルムとしては、シリカコートＰＥＴを用いた厚さ６０μｍのフィルム（実施例１２）、ＮＹ及びＰＥを用いた厚さ９５μｍのフィルム（実施例１３）、ＰＥＴを用いた厚さ５０μｍのフィルム（実施例１４）、ＰＥを用いた厚さ６０μｍのフィルム（実施例１５）、ＫＯＰ及びＣＰを用いた厚さ６５μｍのフィルム（実施例１６）、ＮＹ及びＰＥを用いた厚さ８０μｍのフィルム（実施例１７）、ＰＥＴを用いた厚さ３０μｍのフィルム（実施例１８）、ＰＥを用いた厚さ８０μｍのフィルム（実施例１９）、ＯＰＰ及びＰＥを用いた厚さ４０μｍのフィルム（実施例２０）、及びＨＩＰＳを用いた厚さ２０μｍのフィルム（実施例２１）を使用した。金属ワイヤの種類、ケース本体の構成、フィルムの酸素透過度は表２に示す通りである。
（比較例４～５）
　比較例１で用いたケース（ふた）部及びトレイ部からなる従来のケースのトレイ部に、例１２～２１と同様な、Ｃｕ合金ワイヤを巻いたＡＬ－４巻取スプール、又はＡｇ合金ワイヤを巻いたＡＬ－４巻取スプールを配置し、ケース（ふた）部で覆った。これらのケースを後述する特性評価に供した。従来のケースは密閉されていないため、脱気は行っていない。
　上記した実施例１２～２１の金属ワイヤ封止体及び比較例４～５のケースについて、上記した落下試験を行った。また、落下試験とは別に、各試料を気温２５℃、湿度５０％の環境下で１か月間、３か月間、６か月間保管した後に、上記した回転解き試験を行った。それらの結果を表２に合わせて示す。表２の総合評価は、落下試験が「○」で、かつ１か月間、３か月間、及び６か月間保管後の回転解き試験がいずれも良好である場合を「Ａ」とし、落下試験が「○」で、かつ１か月間及び３か月間保管後の回転解き試験がいずれも良好である場合を「Ｂ」とし、落下試験が「○」で、かつ１か月間保管後の回転解き試験が良好である場合を「Ｃ」とし、落下試験のみが「○」である場合を「Ｄ」とし、落下試験を含めて全ての試験が「×」である場合を「Ｘ」とした。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
　表２に示すように、実施例１２～２１の金属ワイヤ封止体は、落下試験によってもふた体が外れることはなく、また実施例１２～１９の金属ワイヤ封止体は、ふた体の酸素透過度により有効な保管期間が異なるものの、比較例４～５に比べて回転解き試験で良好な結果が得られていることから、酸化性の銅合金ワイヤ及び銀合金ワイヤの表面性状を維持しつつ保管できることが分かる。特に、酸素透過度が小さいふた体を使用することによって、銅合金ワイヤ及び銀合金ワイヤを長期間にわたって良好に保管することが可能になる。
　なお、表２に示す実施例１２～１９において、金属ワイヤ巻回体を収納したケース本体内に濃度９９．９％の窒素ガスをケース内部の容積より多く、充分に注入した以外は、実施例１２～１９と同一条件で作製した金属ワイヤ封止体について、上記と同様の条件で保管後の回転解き試験を実施したところ、表２の結果と比較して約２倍の期間保管した場合であっても、回転解き試験の結果が良好であることが確認された。
　なお、ふた体とケース本体とのピール強度を確認するため、実施例１から２１において、ケース本体を固定し、ふた体のフィルムにばね式ばかりのフックを固定し、垂直に引っ張り上げ、フィルムがすべて剥離した時の荷重を計測した。その荷重は全ての試料で２８０ｇ以上２０００ｇ以内の範囲であった。
　１…金属ワイヤ封止体、２…金属ワイヤ巻回体、３…スプールケース、４…巻取スプール、５…金属ワイヤ、６…ケース本体、７…ふた体、８…円筒状胴部、９…フランジ部、１０…空洞部、１１…巻回体収容部、１２…開口部、１３…上周縁、１４…膨張部。

Claims (26)

  1. 　巻取スプールと、前記巻取スプールに巻回されたワイヤとを備えるワイヤ巻回体と、
    　前記ワイヤ巻回体が収納されたケース本体と、前記ワイヤ巻回体を封止するように、前記ケース本体の開口を密封するふた体とを備えるスプールケースと、を具備するワイヤ封止体であって、
    　前記ケース本体は、合成樹脂体からなり、
    　前記ふた体は、前記ケース本体に密着し、かつ剥離可能な合成樹脂フィルム、又は合成樹脂フィルムを含む複合フィルムからなる、ワイヤ封止体。
  2. 　前記ワイヤは、金属ワイヤである、請求項１に記載のワイヤ封止体。
  3. 　前記ワイヤは、金もしくは金合金、パラジウムもしくはパラジウム合金、又は白金もしくは白金合金のワイヤである、請求項１に記載のワイヤ封止体。
  4. 　前記ワイヤは、アルミニウム又はアルミニウム合金のワイヤである、請求項１に記載のワイヤ封止体。
  5. 　前記ワイヤは、パラジウムを被覆した銅又はパラジウムを被覆した銅合金のワイヤである、請求項１に記載のワイヤ封止体。
  6. 　前記ワイヤは、銅又は銅合金のワイヤである、請求項１に記載のワイヤ封止体。
  7. 　前記ワイヤは、銀又は銀合金のワイヤである、請求項１に記載のワイヤ封止体。
  8. 　前記ワイヤは、ボンディングワイヤである、請求項１ないし請求項７のいずれか１項に記載のワイヤ封止体。
  9. 　前記ふた体及びケース本体の酸素透過度が８０００ｃｍ３／（ｍ２・２４ｈ・ａｔｍ）以下である、請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載のワイヤ封止体。
  10. 　前記ふた体及びケース本体の酸素透過度が３０００ｃｍ３／（ｍ２・２４ｈ・ａｔｍ）以下である、請求項１ないし請求項８のいずれか１項に記載のワイヤ封止体。
  11. 　前記ふた体と前記ケース本体とのピール強度が２８０ｇ以上２０００ｇ以下である、請求項１ないし請求項１０のいずれか１項に記載のワイヤ封止体。
  12. 　前記ふた体で密封された前記ケース本体の内部に、不活性ガスが充填されている、請求項１ないし請求項１１のいずれか１項に記載のワイヤ封止体。
  13. 　前記ふた体で密封された前記ケース本体の内部が、脱気されている、請求項１ないし請求項１１のいずれか１項に記載のワイヤ封止体。
  14. 　前記ケース本体は、ポリ塩化ビニリデン、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタラート、ポリプロピレン、ポリエチレン、エチレン－ビニルアルコール共重合体、ナイロン、メタキシリレンアジパミド、２軸延伸ナイロン、無延伸ナイロン、２軸延伸ポリプロピレン、高密度ポリエチレン、ポリ塩化ビニリデンコート２軸延伸ナイロン、ポリ塩化ビニリデンコート無延伸ナイロン、ポリアクリルニトリル、ポリアミド、ポリエチレン、無延伸ポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリスチレン、及び耐衝撃性ポリスチレンから選ばれる単層又は複層の合成樹脂体からなる、請求項１ないし請求項１３のいずれか１項に記載のワイヤ封止体。
  15. 　前記ケース本体は、０．３ｍｍ以上１．５ｍｍ以下の厚さを有する、請求項１４に記載のワイヤ封止体。
  16. 　前記ケース本体は、前記ふた体側が開口された略角錘台形状を有し、
    　前記巻取スプールは、前記ワイヤが巻回される円筒状の胴部と、前記胴部の両端に設けられた一対のフランジ部とを有し、
    　前記ワイヤ巻回体は、前記巻取スプールの前記胴部の中心軸が前記略角錘台形状の底部に対して平行となるように、前記ケース本体内に収納される、請求項１ないし請求項１５のいずれか１項に記載のワイヤ封止体。
  17. 　前記ケース本体は、前記略角錘台形状の対向する２つの側面にそれぞれ設けられ、前記ケース本体の内部に向けて突出する単数又は複数の対の膨張部を有する、請求項１６に記載のワイヤ封止体。
  18. 　前記ワイヤ巻回体は、前記巻取スプールの前記フランジ部が前記膨張部と接するように、前記ケース本体内に収納される、請求項１７に記載のワイヤ封止体。
  19. 　前記ふた体は、ポリ塩化ビニリデンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、ポリエチレンテレフタラートフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリエチレンフィルム、エチレン－ビニルアルコール共重合体フィルム、ナイロンフィルム、メタキシリレンアジパミドフィルム、２軸延伸ナイロンフィルム、無延伸ナイロンフィルム、２軸延伸ポリプロピレンフィルム、高密度ポリエチレンフィルム、ポリ塩化ビニリデンコート２軸延伸ナイロンフィルム、ポリ塩化ビニリデンコート無延伸ナイロンフィルム、ポリアクリルニトリルフィルム、ポリアミドフィルム、ポリエチレンフィルム、無延伸ポリプロピレンフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリスチレンフィルム、及び耐衝撃性ポリスチレンフィルムから選ばれる合成樹脂フィルム、前記合成樹脂フィルムに無機材料コート層を設けたコート層付きフィルム、又は前記合成樹脂フィルム及び前記コート層付きフィルムから選ばれる少なくとも２つを積層した積層フィルムからなる、請求項１ないし請求項１８のいずれか１項に記載のワイヤ封止体。
  20. 　前記ふた体は、２０μｍ以上１００μｍ以下の厚さを有する、請求項１９に記載のワイヤ封止体。
  21. 　前記ワイヤを巻回した前記巻取スプールの内径が４７ｍｍ以上５２ｍｍ以下である、請求項１ないし請求項２０のいずれか１項に記載のワイヤ封止体。
  22. 　前記ケース本体が透明又は半透明である、請求項１ないし請求項２１のいずれか１項に記載のワイヤ封止体。
  23. 　巻取スプールと、前記巻取スプールに巻回されたワイヤとを備えるワイヤ巻回体と、前記ワイヤ巻回体が収納されたケース本体と、前記ワイヤ巻回体を封止するように、前記ケース本体の開口を密封するふた体とを備えるスプールケースと、を具備するワイヤ封止体の製造方法であって、
    　前記ケース本体は、合成樹脂体からなり、前記ふた体は、前記ケース本体に密着し、かつ剥離可能な合成樹脂フィルム、又は合成樹脂フィルムを含む複合フィルムからなる、ワイヤ封止体の製造方法。
  24. 　ワイヤ封止体から巻取スプールを取り出して、前記巻取スプールにワイヤが巻回されたワイヤ巻回体から繰り出された前記ワイヤが接合された電極用部材、電極接続ユニット、又は回路基板であって、
    　前記ワイヤ封止体は、巻取スプールと、前記巻取スプールに巻回されたワイヤとを備えるワイヤ巻回体と、前記ワイヤ巻回体が収納されたケース本体と、前記ワイヤ巻回体を封止するように、前記ケース本体の開口を密封するふた体とを備えるスプールケースと、を具備し、前記ケース本体は、合成樹脂体からなり、前記ふた体は、前記ケース本体に密着し、かつ剥離可能な合成樹脂フィルム、又は合成樹脂フィルムを含む複合フィルムからなる、前記ワイヤが接合された電極用部材、電極接続ユニット、又は回路基板。
  25. 　ワイヤ封止体から巻取スプールを取り出して、前記巻取スプールにワイヤが巻回されたワイヤ巻回体から前記ワイヤを繰り出して、電極用部材、電極接続ユニット、又は回路基板に接合する接合方法であって、
    　前記ワイヤ封止体は、巻取スプールと、前記巻取スプールに巻回されたワイヤとを備えるワイヤ巻回体と、前記ワイヤ巻回体が収納されたケース本体と、前記ワイヤ巻回体を封止するように、前記ケース本体の開口を密封するふた体とを備えるスプールケースと、を具備し、前記ケース本体は、合成樹脂体からなり、前記ふた体は、前記ケース本体に密着し、かつ剥離可能な合成樹脂フィルム、又は合成樹脂フィルムを含む複合フィルムからなる、前記ワイヤを前記電極用部材、前記電極接続ユニット、又は前記回路基板に接合する接合方法。
  26. 　ワイヤ封止体から巻取スプールを取り出して、前記巻取スプールに巻回されたワイヤ巻回体から繰り出されたワイヤであって、
    　前記ワイヤ封止体は、巻取スプールと、前記巻取スプールに巻回されたワイヤとを備えるワイヤ巻回体と、前記ワイヤ巻回体が収納されたケース本体と、前記ワイヤ巻回体を封止するように、前記ケース本体の開口を密封するふた体とを備えるスプールケースと、を具備し、前記ケース本体は、合成樹脂体からなり、前記ふた体は、前記ケース本体に密着し、かつ剥離可能な合成樹脂フィルム、又は合成樹脂フィルムを含む複合フィルムからなる、前記ワイヤ巻回体から繰り出されたワイヤ。
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