WO2018092826A1 - ポリロタキサンを用いたウレタン樹脂、および研磨用パッド - Google Patents

ポリロタキサンを用いたウレタン樹脂、および研磨用パッド Download PDF

Info

Publication number
WO2018092826A1
WO2018092826A1 PCT/JP2017/041200 JP2017041200W WO2018092826A1 WO 2018092826 A1 WO2018092826 A1 WO 2018092826A1 JP 2017041200 W JP2017041200 W JP 2017041200W WO 2018092826 A1 WO2018092826 A1 WO 2018092826A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
group
active hydrogen
compound
thio
cyanate
Prior art date
Application number
PCT/JP2017/041200
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
康智 清水
川崎　剛美
百田　潤二
光喜 戸知
Original Assignee
株式会社トクヤマ
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社トクヤマ filed Critical 株式会社トクヤマ
Priority to JP2018551671A priority Critical patent/JP7130556B2/ja
Priority to MYPI2019002083A priority patent/MY189105A/en
Priority to CN201780062077.3A priority patent/CN109790274B/zh
Priority to EP17872366.4A priority patent/EP3543267A4/en
Priority to KR1020197009430A priority patent/KR102415172B1/ko
Priority to US16/344,599 priority patent/US10920007B2/en
Publication of WO2018092826A1 publication Critical patent/WO2018092826A1/ja
Priority to IL266663A priority patent/IL266663A/en

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G18/00—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates
    • C08G18/06—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen
    • C08G18/28—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen characterised by the compounds used containing active hydrogen
    • C08G18/40—High-molecular-weight compounds
    • C08G18/64—Macromolecular compounds not provided for by groups C08G18/42 - C08G18/63
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G18/00—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates
    • C08G18/06—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen
    • C08G18/08—Processes
    • C08G18/10—Prepolymer processes involving reaction of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen in a first reaction step
    • C08G18/12—Prepolymer processes involving reaction of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen in a first reaction step using two or more compounds having active hydrogen in the first polymerisation step
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/11—Lapping tools
    • B24B37/20—Lapping pads for working plane surfaces
    • B24B37/24—Lapping pads for working plane surfaces characterised by the composition or properties of the pad materials
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
    • B24D3/00—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents
    • B24D3/02—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent
    • B24D3/20—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent and being essentially organic
    • B24D3/28—Resins or natural or synthetic macromolecular compounds
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G18/00—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates
    • C08G18/06—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen
    • C08G18/08—Processes
    • C08G18/10—Prepolymer processes involving reaction of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen in a first reaction step
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G18/00—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates
    • C08G18/06—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen
    • C08G18/28—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen characterised by the compounds used containing active hydrogen
    • C08G18/30—Low-molecular-weight compounds
    • C08G18/32—Polyhydroxy compounds; Polyamines; Hydroxyamines
    • C08G18/3203—Polyhydroxy compounds
    • C08G18/3206—Polyhydroxy compounds aliphatic
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G18/00—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates
    • C08G18/06—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen
    • C08G18/28—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen characterised by the compounds used containing active hydrogen
    • C08G18/30—Low-molecular-weight compounds
    • C08G18/32—Polyhydroxy compounds; Polyamines; Hydroxyamines
    • C08G18/3225—Polyamines
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G18/00—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates
    • C08G18/06—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen
    • C08G18/28—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen characterised by the compounds used containing active hydrogen
    • C08G18/40—High-molecular-weight compounds
    • C08G18/48—Polyethers
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G18/00—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates
    • C08G18/06—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen
    • C08G18/28—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen characterised by the compounds used containing active hydrogen
    • C08G18/65—Low-molecular-weight compounds having active hydrogen with high-molecular-weight compounds having active hydrogen
    • C08G18/66—Compounds of groups C08G18/42, C08G18/48, or C08G18/52
    • C08G18/6666—Compounds of group C08G18/48 or C08G18/52
    • C08G18/667—Compounds of group C08G18/48 or C08G18/52 with compounds of group C08G18/32 or polyamines of C08G18/38
    • C08G18/6674—Compounds of group C08G18/48 or C08G18/52 with compounds of group C08G18/32 or polyamines of C08G18/38 with compounds of group C08G18/3203
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G18/00—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates
    • C08G18/06—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen
    • C08G18/70—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen characterised by the isocyanates or isothiocyanates used
    • C08G18/72—Polyisocyanates or polyisothiocyanates
    • C08G18/74—Polyisocyanates or polyisothiocyanates cyclic
    • C08G18/76—Polyisocyanates or polyisothiocyanates cyclic aromatic
    • C08G18/7614—Polyisocyanates or polyisothiocyanates cyclic aromatic containing only one aromatic ring
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G18/00—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates
    • C08G18/06—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen
    • C08G18/70—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen characterised by the isocyanates or isothiocyanates used
    • C08G18/72—Polyisocyanates or polyisothiocyanates
    • C08G18/74—Polyisocyanates or polyisothiocyanates cyclic
    • C08G18/76—Polyisocyanates or polyisothiocyanates cyclic aromatic
    • C08G18/7614—Polyisocyanates or polyisothiocyanates cyclic aromatic containing only one aromatic ring
    • C08G18/7621—Polyisocyanates or polyisothiocyanates cyclic aromatic containing only one aromatic ring being toluene diisocyanate including isomer mixtures
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G18/00—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates
    • C08G18/06—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen
    • C08G18/70—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen characterised by the isocyanates or isothiocyanates used
    • C08G18/72—Polyisocyanates or polyisothiocyanates
    • C08G18/74—Polyisocyanates or polyisothiocyanates cyclic
    • C08G18/76—Polyisocyanates or polyisothiocyanates cyclic aromatic
    • C08G18/7614—Polyisocyanates or polyisothiocyanates cyclic aromatic containing only one aromatic ring
    • C08G18/7628—Polyisocyanates or polyisothiocyanates cyclic aromatic containing only one aromatic ring containing at least one isocyanate or isothiocyanate group linked to the aromatic ring by means of an aliphatic group
    • C08G18/7642—Polyisocyanates or polyisothiocyanates cyclic aromatic containing only one aromatic ring containing at least one isocyanate or isothiocyanate group linked to the aromatic ring by means of an aliphatic group containing at least two isocyanate or isothiocyanate groups linked to the aromatic ring by means of an aliphatic group having a primary carbon atom next to the isocyanate or isothiocyanate groups, e.g. xylylene diisocyanate or homologues substituted on the aromatic ring
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G83/00—Macromolecular compounds not provided for in groups C08G2/00 - C08G81/00
    • C08G83/007—Polyrotaxanes; Polycatenanes
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
    • C08L75/00—Compositions of polyureas or polyurethanes; Compositions of derivatives of such polymers
    • C08L75/04—Polyurethanes
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
    • C09D175/00—Coating compositions based on polyureas or polyurethanes; Coating compositions based on derivatives of such polymers
    • C09D175/04—Polyurethanes
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09G—POLISHING COMPOSITIONS; SKI WAXES
    • C09G1/00—Polishing compositions
    • C09G1/04—Aqueous dispersions

Definitions

  • the present invention relates to a novel urethane resin. Specifically, the present invention relates to a novel urethane resin obtained by polymerizing a specific polymerizable monomer component, and a novel polishing pad comprising the urethane resin.
  • the polishing member is a member used when the other member to be polished is planarized with an abrasive.
  • the polishing member is a member to be used while being brought into contact with the surface while sliding the surface of the member to be polished while supplying an abrasive such as slurry to the surface. is there.
  • a polishing pad is included.
  • polishing members Many polyurethane resins are used for such polishing members.
  • a polishing member a highly durable material having good wear resistance over a long period of time is always desired because of cost reduction, stable production, and productivity improvement.
  • the polishing member is used as a pad material (hereinafter sometimes referred to as a polishing pad) in a CMP (Chemical Mechanical Polishing) method.
  • the CMP method is a polishing method that imparts excellent surface flatness, and is particularly employed in the manufacturing processes of liquid crystal displays (LCDs), glass substrates for hard disks, silicon wafers, and semiconductor devices.
  • the CMP method generally employs a method of polishing by supplying a slurry (polishing liquid) in which abrasive grains are dispersed in an alkaline solution or an acid solution during polishing. That is, the object to be polished is flattened by a mechanical action by abrasive grains in the slurry and by a chemical action by an alkali solution or an acid solution.
  • the surface of the polishing object is flattened by supplying the slurry to the surface of the object to be polished and bringing the polishing pad material into contact with the surface while sliding.
  • polishing characteristics of the polishing pad in the CMP method are required to give an excellent flatness to the object to be polished and to have a high polishing rate (polishing rate). Furthermore, in order to improve productivity, improvement in wear resistance is desired.
  • Such a polishing pad material is obtained from a urethane curable composition
  • a urethane curable composition comprising a main component containing a urethane prepolymer obtained by reacting a polyol and a polyisocyanate such as toluene diisocyanate, and a curing agent containing an amine compound.
  • a known abrasive is known (see Patent Document 1).
  • an abrasive using p-phenylene diisocyanate as a polyisocyanate compound is known as one that can further improve the wear resistance (see Patent Document 2).
  • the abrasives described in these methods are improved to meet the recent demand for high wear resistance because the polyol compound is a diol compound and the urethane resin obtained does not have a crosslinked structure. There was room for.
  • polyrotaxane has been developed as a polymer having a novel structure.
  • This polyrotaxane is a functional material having a complex molecular structure composed of an axial molecule and a plurality of cyclic molecules that include the axial molecule.
  • a polyrotaxane used as a member having excellent slidability, which is used for a worn portion can be cited (for example, see Patent Document 3).
  • Patent Document 3 the material containing polyrotaxane described in Patent Document 3 is mainly intended for use in sports equipment, building materials, or medical materials, but it satisfies high wear resistance. There was room for improvement.
  • thermoplastic resin containing polyrotaxane and thermoplastic polyurethane (see Patent Document 4) is known.
  • the thermoplastic resin described in Patent Document 4 improves the mechanical properties of the thermoplastic polyurethane resin by including a polyrotaxane, but the polyrotaxane and the thermoplastic polyurethane are merely mixed, There was still room for improvement in terms of satisfying excellent wear resistance.
  • JP 2007-77207 A Japanese Patent Application Laid-Open No. 2015-178558 International Publication WO2006 / 115255 Pamphlet International Publication WO2016 / 114243 Pamphlet International Publication WO2015 / 159875 Pamphlet JP 2017-48305 A JP 2017-75301 A
  • Patent Documents 5 to 7 can improve the mechanical properties of the polyurethane more effectively.
  • urethane resins used for polishing pads are desired to have higher wear resistance than conventional polyurethane resins. It was.
  • polishing pads for example, when a semiconductor material such as a wafer is polished, fine scratches are not generated, that is, scratch resistance is good, the polishing rate is high, and the wafer is smooth. It is desired to be able to produce the product stably. Therefore, in addition to excellent wear resistance, polishing that has moderate hardness, excellent scratch resistance, and low hysteresis elastic recovery for stable polishing capable of polishing at high polishing speeds, etc. Pads are desired.
  • an object of the present invention is to provide a urethane resin that is used for a sliding member having a low hysteresis and high abrasion resistance and excellent elastic recovery.
  • a urethane resin that can be suitably used as a polishing pad.
  • the present inventors have a urethane resin obtained by reacting a polyrotaxane having a specific structure, in particular, a polyrotaxane having a more modified cyclic molecule and a polyisocyanate compound as a polishing member. By using it, it discovered that the said subject could be solved and came to complete this invention.
  • (1) It has a complex molecular structure composed of an axial molecule and a plurality of cyclic molecules that include the axial molecule, and a side chain having a group having active hydrogen is introduced into at least a part of the cyclic molecule.
  • Polyrotaxane (A), and Polyiso (thio) cyanate compound (B) There is provided a urethane resin obtained by polymerizing a polymerizable composition containing.
  • the polyrotaxane (A) has a chain molecule penetrating through a ring of a plurality of cyclic molecules, and a bulky group is bonded to both ends of the shaft molecule. Is a complex of molecules having a structure in which is no longer removed from the axial molecule.
  • a complex of molecules such as polyrotaxane is called a supramolecule.
  • the polymerization composition of the present invention can suitably adopt the following aspect.
  • the polymerizable composition is (1) urethane resin containing 3 to 2000 parts by mass of the polyiso (thio) cyanate compound (B) with respect to 100 parts by mass of the polyrotaxane (A).
  • the polymerizable composition further contains an active hydrogen-containing compound (C) having a group having active hydrogen other than the polyrotaxane (A).
  • the active hydrogen-containing compound (C) includes a compound (CA) having an amino group as a group having active hydrogen.
  • the polymerizable composition is For 100 parts by mass of the polyrotaxane (A), 10 to 3000 parts by mass of the polyiso (thio) cyanate compound (B) and 3 to 2000 parts by mass of the active hydrogen-containing compound (C).
  • the polyiso (thio) cyanate compound (B) is A bifunctional active hydrogen-containing compound (C1) having a group having two active hydrogens in the molecule; Urethane prepolymer having an iso (thio) cyanate group at the end of the molecule, obtained by reacting a bifunctional iso (thio) cyanate group-containing compound (B1) having two iso (thio) cyanate groups in the molecule Including (B2). (7)
  • the isocyanate equivalent of the polyiso (thio) cyanate compound (B) containing the urethane prepolymer (B2) is in the range of 300 to 5,000.
  • a polishing pad comprising the urethane resin according to any one of (1) to (7).
  • the urethane resin of the present invention has an appropriate hardness and excellent elastic recovery (low hysteresis loss) and high wear resistance, as will be shown in the examples described later.
  • the urethane resin when used as a sliding member (abrasive), for example, as a polishing pad, not only good wear resistance but also excellent polishing characteristics, that is, high polishing rate and low scratch resistance High flatness can be expressed.
  • the urethane resin of the present invention has a complex molecular structure composed of an axial molecule and a plurality of cyclic molecules that surround the axial molecule, and at least a part of the cyclic molecule has a side chain having a group having active hydrogen.
  • the urethane resin of the present invention is a thermosetting urethane resin in which the polyrotaxane (A) is incorporated in the molecule.
  • polyrotaxane (A) having a complex molecular structure composed of an axial molecule and a plurality of cyclic molecules that include the axial molecule, wherein a side chain having a group having active hydrogen is introduced into at least a part of the cyclic molecule (A) (hereinafter, simply referred to as “polyrotaxane (A)” or “component (A)”) will be described.
  • the polyrotaxane (A) used in the present invention is generally indicated by “1”, and is composed of a chain-like axial molecule “2”, a cyclic molecule “3”, and a side chain “ It has a complex molecular structure formed from 5 ′′.
  • the chain molecule “2” is surrounded by a plurality of cyclic molecules “3”, and the axial molecule “2” penetrates the inside of the ring of the cyclic molecule “3”. Therefore, the cyclic molecule “3” can freely slide on the axial molecule “2”, but the end molecules “4” are formed at both ends of the axial molecule “2”, and the cyclic molecule Dropping of “3” from the axial molecule “2” is prevented. Further, a side chain “5” having a group having active hydrogen is introduced into the ring of the cyclic molecule “3”.
  • the cyclic molecule “3” can slide on the axial molecule “2”.
  • the active hydrogen-containing compound (C) and polyiso (thio) cyanate compound (B ) To form a crosslinked structure, or a pseudo-crosslinked structure.
  • the urethane resin has the slidable crosslinked structure in the molecule, it is considered that the urethane resin has low hysteresis loss and can exhibit excellent mechanical properties.
  • the polyrotaxane (A) can be synthesized by the method described in International Publication No. WO2015 / 068798 pamphlet and the like. The configuration of the component (A) will be described.
  • Polyrotaxane (A) axial molecule In the polyrotaxane (A), various types of axial molecules are known.
  • the chain portion may be linear or branched as long as it can penetrate the ring of the cyclic molecule. , Generally formed by a polymer. Specifically, it is described in pamphlet of International Publication No. WO2015 / 068798.
  • Suitable polymers for forming such a chain part of the axial molecule include, for example, polyethylene glycol, polyisoprene, polyisobutylene, polybutadiene, polypropylene glycol, polytetrahydrofuran, polydimethylsiloxane, polyethylene, polypropylene, polyvinyl alcohol, or polyvinylmethyl. Ethers can be mentioned, and among these, polyethylene glycol is particularly preferable.
  • the bulky group formed at both ends of the chain portion is not particularly limited as long as it is a group that prevents the elimination of the cyclic molecule from the axial molecule, but from the viewpoint of bulkiness, for example, an adamantyl group, a trityl group, etc. , A fluoresceinyl group, a dinitrophenyl group, and a pyrenyl group, and among these, an adamantyl group can be mentioned particularly in terms of ease of introduction.
  • the molecular weight of the axial molecule is not particularly limited, but if it is too large, the viscosity tends to increase, and if it is too small, the mobility of the cyclic molecule tends to decrease. From such a viewpoint, the weight average molecular weight Mw of the axial molecule is preferably in the range of 1,000 to 100,000, more preferably 5,000 to 80,000, and particularly preferably 10,000 to 50,000. .
  • the cyclic molecule has a ring of a size that can include the axial molecule as described above.
  • a ring include a cyclodextrin ring, a crown ether ring, a benzocrown ring, a dibenzocrown ring, and A dicyclohexano crown ring can be mentioned, and among these, a cyclodextrin ring is particularly preferable.
  • Cyclodextrin rings include ⁇ -form (ring inner diameter 0.45-0.6 nm), ⁇ -form (ring inner diameter 0.6-0.8 nm), and ⁇ -form (ring inner diameter 0.8-0.95 nm). In particular, an ⁇ -cyclodextrin ring is most preferable.
  • a plurality of cyclic molecules having a ring as described above are included in one axial molecule.
  • the inclusion number of cyclic molecules is 0.001 to 0.6, more preferably 0.002 to 0.00. 5, more preferably in the range of 0.003 to 0.4.
  • the maximum inclusion number of a cyclic molecule with respect to one axial molecule can be calculated from the length of the axial molecule and the thickness of the ring of the cyclic molecule. For example, taking the case where the chain part of the axial molecule is formed of polyethylene glycol and the ring of the cyclic molecule is an ⁇ -cyclodextrin ring, the maximum inclusion number is calculated as follows. .
  • the number of repeating units is calculated from the molecular weight of the polyethylene glycol, and 1 ⁇ 2 of the number of repeating units is obtained as the maximum inclusion number of the cyclic molecule.
  • This maximum inclusion number is 1.0, and the inclusion number of the cyclic molecule is adjusted to the above-mentioned range.
  • the polyrotaxane (A) used in the present invention is characterized in that a side chain is introduced into the cyclic molecule, and the side chain has a group having active hydrogen.
  • the side chain of the cyclic molecule has a certain length.
  • the active hydrogen directly possessed by the cyclic molecule does not correspond to the active hydrogen possessed by the side chain. That is, for example, when the cyclic molecule is an ⁇ -cyclodextrin ring, the active hydrogen of the hydroxyl group (OH group) of the ⁇ -cyclodextrin ring does not correspond to the active hydrogen of the side chain.
  • the side chain having a certain length exhibits an excellent effect by having active hydrogen.
  • the cyclic molecule is an ⁇ -cyclodextrin ring
  • a hydroxyl group (OH group) possessed by the ⁇ -cyclodextrin ring is reacted with another compound to give another It is preferable to form a ring having a side chain formed from the above compound and to introduce active hydrogen into the side chain.
  • Examples of the group having active hydrogen in the side chain include a hydroxyl group (OH group), a thiol group (SH group), and an amino group (—NH 2 or —NHR; R is a substituent, for example, an alkyl group). There may be mentioned at least one group selected. Among these, an OH group is preferable from the viewpoint of good reactivity with the iso (thio) cyanate compound (B).
  • the side chain having a group having active hydrogen is not particularly limited, but is preferably formed by repeating organic chains having 3 to 20 carbon atoms.
  • the average molecular weight of such side chains should be in the range of 50 to 10,000, preferably 100 to 8,000, more preferably 200 to 5,000, most preferably 300 to 1,500. It is in.
  • the average molecular weight of the side chain can be adjusted by the amount used at the time of introduction of the side chain and can be obtained by calculation, but can also be obtained from 1 H-NMR measurement. If the side chain is too short, the uniform flatness of the surface of the object to be polished tends to be reduced. On the other hand, if the side chain is too long, the wear resistance tends to decrease.
  • the side chain as described above is introduced by modifying a functional group of the cyclic molecule.
  • the ⁇ -cyclodextrin ring has 18 OH groups (hydroxyl groups) as functional groups, and side chains are introduced through these OH groups. That is, a maximum of 18 side chains can be introduced into one ⁇ -cyclodextrin ring.
  • the functional group possessed by the cyclic molecule may affect the compatibility with other components. In particular, when the functional group is an OH group, the compatibility with other components is greatly affected.
  • the ratio (degree of modification) in which the functional group is modified is preferably 6% or more and 80% or less, and more preferably 30% or more and 70% or less.
  • the functional group of the cyclic molecule is less reactive than the OH group of the side chain. Therefore, even if the degree of modification is low, compatibility problems and bleed-out problems are unlikely to occur. Therefore, if the modification degree is within the above range, a more excellent effect is exhibited.
  • the side chain is bonded to 9 out of 18 OH groups of the ⁇ -cyclodextrin ring, the modification degree is 50%.
  • the side chain (organic chain) as described above may be linear or branched as long as it has a group having active hydrogen in the organic chain.
  • ring-opening polymerization; radical polymerization; cationic polymerization; anionic polymerization; living radical polymerization such as atom transfer radical polymerization, RAFT polymerization, and NMP polymerization is used, and the functional group of the cyclic molecule has a group having active hydrogen.
  • a desired side chain can be introduced by reacting an organic chain (side chain).
  • side chains derived from cyclic compounds such as lactones and cyclic ethers can be introduced by ring-opening polymerization.
  • an OH group is introduced as a group having active hydrogen at the end of the side chain.
  • cyclic ether or a lactone from the viewpoint of easy availability, high reactivity, and easy adjustment of the size (molecular weight).
  • suitable cyclic compounds are as follows.
  • Cyclic ether Ethylene oxide, 1,2-propylene oxide, epichlorohydrin, epibromohydrin, 1,2-butylene oxide, 2,3-butylene oxide, isobutylene oxide, oxetane, 3-methyloxetane, 3,3-dimethyloxetane, Tetrahydrofuran, 2-methyltetrahydrofuran, 3-methyltetrahydrofuran and the like.
  • Lactone compounds 4-membered ring lactones such as ⁇ -propiolactone, ⁇ -methylpropiolactone, L-serine- ⁇ -lactone and the like.
  • 5-membered ring lactones such as ⁇ -butyrolactone, ⁇ -hexanolactone, ⁇ -heptanolactone, ⁇ -octanolactone, ⁇ -decanolactone, ⁇ -dodecanolactone, ⁇ -hexyl- ⁇ -butyrolactone, ⁇ -heptyl - ⁇ -butyrolactone, ⁇ -hydroxy- ⁇ -butyrolactone, ⁇ -methyl- ⁇ -decanolactone, ⁇ -methylene- ⁇ -butyrolactone, ⁇ , ⁇ -dimethyl- ⁇ -butyrolactone, D-erythronolactone, ⁇ -methyl- ⁇ -Butyrolactone, ⁇ -nonanolactone, DL-pantolactone, ⁇ -phenyl- ⁇ -butyrolactone, ⁇ -undecanolactone, ⁇ -valerolactone, 2,2-pentamethylene-1,3-dioxolan-4
  • 6-membered ring lactones such as ⁇ -valerolactone, ⁇ -hexanolactone, ⁇ -octanolactone, ⁇ -nonanolactone, ⁇ -decanolactone, ⁇ -undecanolactone, ⁇ -dodecanolactone, ⁇ -tridecanolactone, ⁇ -tetradecanolactone, DL-mevalonolactone, 4-hydroxy-1-cyclohexanecarboxylic acid ⁇ -lactone, monomethyl- ⁇ -valerolactone, monoethyl- ⁇ -valerolactone, monohexyl- ⁇ -valerolactone, 1,4-dioxane -2-one, 1,5-dioxepane-2-one, etc.
  • 7-membered lactones such as non-alkyl- ⁇ -caprolactone, dialkyl- ⁇ -caprolactone, monomethyl- ⁇ -caprolactone, monoethyl- ⁇ -caprolactone, monohexyl- ⁇ -caprolactone, dimethyl- ⁇ -caprolactone, di-n-propyl- ⁇ -caprolactone, di-n-hexyl- ⁇ -caprolactone, trimethyl- ⁇ -caprolactone, triethyl- ⁇ -caprolactone, tri-n- ⁇ -caprolactone, ⁇ -caprolactone, 5-nonyl-oxepan-2-one, 4, 4,6-trimethyl-oxepan-2-one, 4,6,6-trimethyl-oxepan-2-one, 5-hydroxymethyl-oxepan-2-one and the like.
  • 8-membered ring lactone such as ⁇ -enanthate lactone.
  • lactones such as lactone, lactide, dilactide, tetramethylglycoside, 1,5-dioxepan-2-one, t-butylcaprolactone, etc.
  • the above cyclic compounds can be used alone or in combination of two or more.
  • the side chain-introducing compound preferably used is a lactone compound, and lactones such as ⁇ -caprolactone, ⁇ -acetyl- ⁇ -butyrolactone, ⁇ -methyl- ⁇ -butyrolactone, ⁇ -valerolactone, ⁇ -butyrolactone, etc.
  • lactones such as ⁇ -caprolactone, ⁇ -acetyl- ⁇ -butyrolactone, ⁇ -methyl- ⁇ -butyrolactone, ⁇ -valerolactone, ⁇ -butyrolactone, etc.
  • the compound is particularly preferred, most preferred is ⁇ -caprolactone.
  • a side chain is introduced by reacting a cyclic compound by ring-opening polymerization
  • a functional group for example, a hydroxyl group
  • a functional group for example, a hydroxyl group
  • a hydroxyl group is poor in reactivity, and a large molecule can be directly reacted particularly due to steric hindrance. It can be difficult.
  • a highly functional functional group hydroxyl group
  • a method of introducing a large side chain by ring-opening polymerization of caprolactone to the hydroxyl group of the hydroxypropyl group can be employed.
  • the hydroxypropylated moiety can also be regarded as a side chain.
  • the side chain having an OH group hydroxyl group
  • the side chain is easily introduced and the size of the side chain (molecular weight) is adjusted.
  • cyclic compounds such as cyclic acetals, cyclic amines, cyclic carbonates, cyclic imino ethers, and cyclic thiocarbonates
  • introducing side chains having active hydrogen groups can do.
  • suitable cyclic compounds those described in International Publication No. WO2015 / 068798 pamphlet can be used.
  • a method for introducing a side chain into a cyclic molecule using radical polymerization is as follows.
  • the ring possessed by the polyrotaxane cyclic molecule does not have an active site as a radical starting point. Therefore, prior to reacting the radical polymerizable compound, the compound for forming the radical initiation point is reacted with the functional group (OH group) of the ring to form the active site that becomes the radical initiation point. It is necessary to keep it.
  • an organic halogen compound is representative, for example, 2-bromoisobutyryl bromide, 2-bromobutyric acid, 2-bromopropionic acid, 2-chloropropion. And acid, 2-bromoisobutyric acid, epichlorohydrin, epibromohydrin, 2-chloroethyl isocyanate, and the like. That is, such an organic halogen compound is bonded to the ring by a condensation reaction with a functional group of the ring of the cyclic molecule, and a group containing a halogen atom (an organic halogen compound residue) is introduced into the ring. In this organic halogen compound residue, radicals are generated by the movement of halogen atoms or the like during radical polymerization, and this serves as a radical polymerization starting point and radical polymerization proceeds.
  • the group having an active site that serves as a radical polymerization initiation point (organic halogen compound residue) as described above is, for example, an amine, a carboxylic acid, an isocyanate, an imidazole, an acid anhydride, etc. It can also be introduced by reacting a compound having a functional group, introducing a functional group other than a hydroxyl group, and reacting the above-described organic halogen compound with the other functional group.
  • a radically polymerizable compound used for introducing a side chain by radical polymerization at least one functional group such as a (meth) acryl group, a vinyl group, or a styryl group having an ethylenically unsaturated bond is used.
  • the compound having (hereinafter referred to as an ethylenically unsaturated monomer) is preferably used.
  • an oligomer or polymer having a terminal ethylenically unsaturated bond hereinafter referred to as a macromonomer
  • a macromonomer an oligomer or polymer having a terminal ethylenically unsaturated bond
  • the side chain when a side chain is introduced into a cyclic molecule using a radical polymerizable compound, and the radical polymerizable compound has an active hydrogen group, the side chain has a group having an active hydrogen as it is. Will have.
  • the radical polymerizable compound does not have a group having active hydrogen, after forming a side chain by the radical polymerizable compound, a part of the side chain may be substituted with a group having active hydrogen. That's fine.
  • the polyrotaxane (A) most preferably used is a cyclic molecule having an ⁇ -cyclodextrin ring having polyethylene glycol bonded at both ends with an adamantyl group as an axial molecule, and further the polyroproxane (A) by polycaprolactone.
  • a side chain terminal is an OH group
  • polycaprolactone may be introduced by ring-opening polymerization after hydroxypropylating the OH group of the ⁇ -cyclodextrin ring.
  • the polyiso (thio) cyanate compound (B) of the present invention (hereinafter sometimes simply referred to as “component (B)”) has two or more isocyanate groups in one molecule and two isothiocyanate groups in one molecule. It is a compound in which the total number of isocyanate groups and isothiocyanate groups is 2 or more per molecule.
  • the polyiso (thio) cyanate compound (B) may include a urethane prepolymer (B2) prepared by a reaction between a polyiso (thio) cyanate compound and a poly (thi) ol compound described below.
  • a urethane prepolymer (B2) corresponding to the polyiso (thio) cyanate compound (B) those generally used containing an unreacted isocyanate group can be used in the present invention without any limitation.
  • the polyiso (thio) cyanate compound (B) can be broadly classified into, for example, aliphatic isocyanate, alicyclic isocyanate, aromatic isocyanate, isothiocyanate compound, and urethane prepolymer (B2).
  • the polyiso (thio) cyanate compound (B) one type of compound can be used or a plurality of types of compounds can be used.
  • the reference mass is the total amount of the plurality of types of compounds.
  • Specific examples of these polyiso (thio) cyanate compounds (B) include the following compounds.
  • Aliphatic isocyanates Ethylene diisocyanate, trimethylene diisocyanate, tetramethylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, octamethylene diisocyanate, nonamethylene diisocyanate, 2,2'-dimethylpentane diisocyanate, 2,2,4-trimethylhexamethylene diisocyanate, decamethylene diisocyanate, butene diisocyanate, 1,3-butadiene-1,4-diisocyanate, 2,4,4-trimethylhexamethylene diisocyanate, 1,6,11-trimethylundecamethylene diisocyanate, 1,3,6-trimethylhexamethylene diisocyanate, 1,8- Diisocyanate-4-isocyanatomethyloctane, 2,5,7-trimethyl-1,8-diisocyanate-5-isocyanate Nate methyloctane, bis (isocyanate ethyl) carbonate
  • Alicyclic isocyanates Isophorone diisocyanate, (bicyclo [2.2.1] heptane-2,5-diyl) bismethylene diisocyanate, (bicyclo [2.2.1] heptane-2,6-diyl) bismethylene diisocyanate, 2 ⁇ , 5 ⁇ -bis (Isocyanate) norbornane, 2 ⁇ , 5 ⁇ -bis (isocyanate) norbornane, 2 ⁇ , 6 ⁇ -bis (isocyanate) norbornane, 2 ⁇ , 6 ⁇ -bis (isocyanate) norbornane, 2,6-di (isocyanatemethyl) furan, bis (isocyanatemethyl) ) Cyclohexane, dicyclohexylmethane-4,4′-diisocyanate, 4,4-isopropylidenebis (cyclohexyl isocyanate), cyclohexane diisocyanate, methylcyclohexane diiso
  • Aromatic isocyanates ; Xylylene diisocyanate (o-, m-, p-), tetrachloro-m-xylylene diisocyanate, methylenediphenyl-4,4'-diisocyanate, 4-chloro-m-xylylene diisocyanate, 4,5-dichloro-m -Xylylene diisocyanate, 2,3,5,6-tetrabromo-p-xylylene diisocyanate, 4-methyl-m-xylylene diisocyanate, 4-ethyl-m-xylylene diisocyanate, bis (isocyanatoethyl) benzene, bis ( Isocyanatopropyl) benzene, 1,3-bis ( ⁇ , ⁇ -dimethylisocyanatomethyl) benzene, 1,4-bis ( ⁇ , ⁇ -dimethylisocyanatomethyl) benzene, ⁇ , ⁇ ,
  • Isothiocyanate compounds Bifunctional iso (thio) cyanate group-containing compounds such as p-phenylene diisothiocyanate, xylylene-1,4-diisothiocyanate, and ethylidine diisothiocyanate (constituting urethane prepolymer (B2) described in detail below) (Corresponding to the bifunctional iso (thio) cyanate group-containing compound (B1)).
  • Suitable polyiso (thio) cyanate compound (B) includes the following compounds.
  • Preferred examples of the polyiso (thio) cyanate compound (B) include compounds represented by the following formulas (1) to (7) and 1,5-naphthalene diisocyanate.
  • 1,5-naphthalene diisocyanate and urethane prepolymer (B2) composed of isocyanate and polyol listed in the following formulas (1) to (7) are also preferably used.
  • suitable examples of modified iso (thio) cyanate compounds sold as products include carbodiimide-modified MDI (for example, product name Millionate MTL series, manufactured by Tosoh Corporation), polyol-modified isocyanate (for example, product name Coronate 1108). Coronate 1120, Coronate 1334, Coronate 1050, Coronate 1057 (manufactured by Tosoh Corporation), and the like. These compounds can be used alone, or two or more kinds of compounds can also be used.
  • A is an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, and the carbon atom in the chain of the alkylene group may be a group substituted with a sulfur atom. It is preferable to use a compound represented by The compound represented by the formula (1) corresponds to the bifunctional iso (thio) cyanate group-containing compound (B1) constituting the urethane prepolymer (B2) described in detail below.
  • A is an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, and may be a linear or branched group. Among them, a pentamethylene group, a hexamethylene group, or a heptamethylene group having 5 to 10 carbon atoms, a linear group of an octamethylene group, or a hydrogen of a pentamethylene group, a hexamethylene group, a heptamethylene group, or an octamethylene group.
  • a branched group in which a part of the atoms is substituted with a methyl group is preferable.
  • the compound represented by the formula (1) include ethylene diisocyanate, pentamethylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, heptamethylene diisocyanate, octamethylene diisocyanate, 2,4,4, -trimethylhexanemethylene diisocyanate and the like. . These compounds can be used alone, or two or more kinds of compounds can also be used.
  • each of the two represented R 1 s in each of the formulas (2) and (3) is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or a hydrogen atom
  • R 2 is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and when a plurality of R 2 are present, they may be the same group or different groups
  • a is an integer of 2 or 3
  • b is an integer of 0 to 4
  • c is an integer of 0 to 4.
  • a compound represented by The difference between the compound represented by the formula (2) and the compound represented by the formula (3) is that a compound having a phenyl group (a compound represented by the formula (2)) and a compound having a cyclohexane group (ring) This is a difference from the compound represented by the formula (3).
  • the compound represented by the formula (2) or (3) when a is 2 (in the case of a compound having 2 isocyanate groups), the urethane prepolymer (B2) described in detail below is formed. This corresponds to the bifunctional iso (thio) cyanate group-containing compound (B1).
  • the alkyl group having 1 to 4 carbon atoms in R 1 may be a linear or branched group.
  • R 1 is particularly preferably a hydrogen atom, a methyl group, or an ethyl group.
  • the alkyl group having 1 to 4 carbon atoms may be a linear or branched group.
  • R 2 is particularly preferably a hydrogen atom, a methyl group, or an ethyl group.
  • the compound represented by the formula (2) or the formula (3) include isophorone diisocyanate, xylene diisocyanate (o-, m-, p-), 2,4-tolylene diisocyanate, 2, Examples include 6-tolylene diisocyanate and phenylene diisocyanate (o-, m-, p-). These compounds can be used alone or in combination of two or more compounds.
  • each of the formulas (4) and (5) are each an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or a hydrogen atom, Different groups, d is an integer from 0 to 4. It is preferable to use a compound represented by The difference between the compound represented by the formula (4) and the compound represented by the formula (5) is that a compound having two phenyl groups (compound represented by the formula (4)) and two cyclohexane groups (rings) are used. This is a difference from the compound having the compound (the compound represented by the formula (5)).
  • the compound shown by the said Formula (4) or (5) corresponds to the bifunctional iso (thio) cyanate group containing compound (B1) which comprises the urethane prepolymer (B2) explained in full detail below.
  • the alkyl group having 1 to 4 carbon atoms in R 3 may be a linear or branched group.
  • R 3 is particularly preferably a hydrogen atom, a methyl group, or an ethyl group.
  • Specific examples of the compound represented by the formula (4) or the formula (5) include 2,2′-diphenylmethane diisocyanate, 2,4′-diphenylmethane diisocyanate, 4,4′-diphenylmethane diisocyanate, and dicyclohexylmethane. -4,4'-diisocyanate and the like. These compounds can be used alone, or two or more kinds of compounds can also be used.
  • R 4 is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or a hydrogen atom, and may be the same group or different groups, and e is an integer of 0 to 4.
  • the compound represented by the formula (6) corresponds to the bifunctional iso (thio) cyanate group-containing compound (B1) constituting the urethane prepolymer (B2) described in detail below.
  • the alkyl group having 1 to 4 carbon atoms in R 4 may be a linear or branched group.
  • R 4 is particularly preferably a hydrogen atom, a methyl group, or an ethyl group.
  • the compound represented by the formula (6) include norbornane diisocyanate, 2,5-bis (isocyanate methyl) -bicyclo [2,2,1] -heptane, 2,6-bis (isocyanate methyl). -Bicyclo [2,2,1] -heptane. These compounds can be used alone, or two or more kinds of compounds can also be used.
  • R 5 s are each an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and may be the same group or different groups, and f is an integer of 1 or more and 100 or less. It is a compound.
  • the alkyl group having 1 to 4 carbon atoms in R 5 may be a linear or branched group.
  • R 5 is particularly preferably a methyl group or an ethyl group.
  • the compound represented by the formula (7) include polymeric MDI, for example, product name Millionate MR series manufactured by Tosoh Corporation. These compounds can be used alone, or two or more kinds of compounds can also be used.
  • Particularly suitable polyiso (thio) cyanate compound (B)) Among the preferred iso (thio) cyanates described above, more preferred iso (thio) cyanate compounds include aromatic isocyanates and modified products thereof (urethane prepolymer (B2)). Among these, it is particularly preferable to use the urethane prepolymer (B2).
  • the polyiso (thio) cyanate compound (B) A bifunctional active hydrogen-containing compound (C1) having a group having two active hydrogens in the molecule; Urethane prepolymer having an iso (thio) cyanate group at the end of the molecule, obtained by reacting a bifunctional iso (thio) cyanate group-containing compound (B1) having two iso (thio) cyanate groups in the molecule It is preferable to use (B2).
  • the bifunctional active hydrogen-containing compound (C1) is included in the active hydrogen-containing compound (C) described in detail below.
  • the active hydrogen-containing compound (C) two active hydrogens are contained in the molecule. This corresponds to a compound having a group.
  • the bifunctional iso (thio) cyanate group-containing compound (B1) corresponds to a compound having two iso (thio) cyanate groups in the molecule among the compounds described in the polyiso (thio) cyanate compound (B). To do.
  • the urethane prepolymer (B2) obtained by reacting the bifunctional iso (thio) cyanate group-containing compound (B1) with the bifunctional active hydrogen-containing compound (C1) is converted into polyiso (thio) cyanate. It is preferable to use it as the compound (B). That is, as will be described in the following polymerization method, first, the urethane prepolymer (B2) is prepared, then, the urethane prepolymer (B2), the polyrotaxane (A), and, if necessary, below.
  • the active hydrogen-containing compound (C) described in detail it is preferable to react (polymerize) the active hydrogen-containing compound (C) described in detail to produce a urethane resin (hereinafter, this method may be referred to as “prepolymer method”).
  • this method may be referred to as “prepolymer method”.
  • the urethane prepolymer (B2) is reacted (polymerized) with the polyrotaxane (A) and, if necessary, the active hydrogen-containing compound (C) described in detail below, the urethane prepolymer (B2 ) Can be used in combination of two or more types, for example, different constituent components, different molecular weights, and the like.
  • another polyiso (thio) cyanate compound (B) can also be used simultaneously as needed.
  • the urethane prepolymer (B2) it is not particularly limited, but as the bifunctional iso (thio) cyanate group-containing compound (B1), it is particularly preferable to use the compounds exemplified below. .
  • bifunctional active hydrogen-containing compound (C1) among the active hydrogen-containing compounds (C) described in detail below, two active hydrogen-containing groups (—OH, amino group, etc.) are present in the molecule. If it is a compound which has, it will not restrict
  • a bifunctional active hydrogen-containing compound (C1) having at least one molecular weight (number average molecular weight) of 500 to 2000 is used.
  • the bifunctional active hydrogen-containing compound (C1) having a molecular weight of 500 to 2000 can be used in combination of different types and different molecular weights.
  • the bifunctional active hydrogen-containing compound (C1) having a molecular weight (number average molecular weight) of 500 to 2000 is used.
  • a bifunctional active hydrogen-containing compound (C1) having a molecular weight (number average molecular weight) of 90 to 300 may be used in combination.
  • the bifunctional active hydrogen-containing compound having a molecular weight of 500 to 2000 (depending on the type of the bifunctional active hydrogen-containing compound (C1) and polyiso (thio) cyanate compound (B) used and the amount of these used ( When C1) is 100 parts by mass, the bifunctional active hydrogen-containing compound (C1) having a molecular weight of 90 to 300 is preferably 1 to 100 parts by mass.
  • the urethane prepolymer (B2) must be iso (thio) cyanate groups at both ends of the molecule. Therefore, the urethane prepolymer (B2) contains the number of moles (n1) of iso (thio) cyanate groups in the bifunctional iso (thio) cyanate group-containing compound (B1) and the active hydrogen of the bifunctional active hydrogen-containing compound (C1). The number of moles (n2) is preferably in the range of 1 ⁇ (n1) / (n2) ⁇ 2.3.
  • the number of moles (n1) of the iso (thio) cyanate group is determined based on the iso (thio) cyanate group-containing compound ) Of the total number of iso (thio) cyanate groups.
  • the number of moles of active hydrogen (n2) is the total number of active hydrogen moles of these bifunctional active hydrogen-containing compounds.
  • the number of moles of the amino group is equal to the number of moles of the active hydrogen.
  • the urethane prepolymer (B2) has an iso (thio) cyanate equivalent (the molecular weight of the urethane prepolymer (B2) divided by the number of iso (thio) cyanate groups in one molecule. Value) is preferably 300 to 5000, more preferably 500 to 3000, and particularly preferably 700 to 2000.
  • the urethane prepolymer (B2) in the present invention is preferably a linear compound synthesized from a bifunctional iso (thio) cyanate group-containing compound (B1) and a bifunctional active hydrogen-containing compound (C1). In this case, the number of iso (thio) cyanate groups in one molecule is 2.
  • this urethane prepolymer (B2) when using this urethane prepolymer (B2), this urethane prepolymer (B2) and a bifunctional iso (thio) cyanate group containing compound (B1) can be used together.
  • the equivalent of iso (thio) cyanate is preferably 300 to 5,000. That is, the average iso (thio) cyanate equivalent in the polyiso (thio) cyanate compound (B) comprising the urethane prepolymer (B2) and the bifunctional iso (thio) cyanate group-containing compound (B1) is 300 to 5000. It is preferable to become.
  • the average iso (thio) cyanate equivalent is 300 to 5000
  • the polyiso (thio) cyanate compound (B) having a certain molecular weight is used, and it is considered that an excellent effect is exhibited.
  • the urethane prepolymer (B2) is produced in the range of 1 ⁇ (n1) / (n2) ⁇ 2, and the bifunctional iso (thio) cyanate group-containing compound (B1) is not included. It is preferable to be in a state.
  • a polyiso (thio) cyanate compound (B) consisting only of the urethane prepolymer (B2), and the iso (thio) cyanate equivalent of the urethane prepolymer (B2) is 300 to 5,000.
  • the iso (thio) cyanate equivalent of the urethane prepolymer (B2) can be determined by quantifying the iso (thio) cyanate group of the urethane prepolymer (B2) in accordance with JIS K 7301.
  • the iso (thio) cyanate group can be quantified by the following back titration method. First, the obtained urethane prepolymer (B2) is dissolved in a dry solvent. Next, di-n-butylamine, which is clearly in excess of the amount of iso (thio) cyanate groups contained in the urethane prepolymer (B) and has a known concentration, is added to the dry solvent, and the urethane prepolymer is added.
  • All iso (thio) cyanate groups of polymer (B2) are reacted with di-n-butylamine.
  • the di-n-butylamine not consumed (not involved in the reaction) is then titrated with acid to determine the amount of di-n-butylamine consumed. Since the consumed di-n-butylamine and the iso (thio) cyanate group of the urethane prepolymer (B2) have the same amount, the equivalent of iso (thio) cyanate can be determined.
  • the urethane prepolymer (B2) is a linear urethane prepolymer having iso (thio) cyanate groups at both ends, the number average molecular weight of the urethane prepolymer (B2) is equivalent to the iso (thio) cyanate equivalent. Twice as much. The molecular weight of this urethane prepolymer (2) tends to coincide with the value measured by gel permeation chromatography (GPC).
  • GPC gel permeation chromatography
  • the urethane prepolymer (B2) has an iso (thio) cyanate equivalent of preferably 300 to 5000, more preferably 500 to 3000, particularly preferably 700 to 2000 is not clear, but is considered as follows. It is done. That is, when the urethane prepolymer (B2) having a certain molecular weight reacts with the hydroxyl group of the side chain of the polyrotaxane (A), the slidable molecule becomes larger and the movement of the molecule itself becomes larger. It is considered that it is easy to recover (elastic recovery; low hysteric).
  • the use of the urethane prepolymer (B2) facilitates dispersion of the cross-linking points in the urethane resin so that they are present randomly and uniformly, and stable performance is exhibited.
  • the urethane resin obtained using a urethane prepolymer (B2) becomes easy to control at the time of manufacture, and can be suitably used as a polishing pad.
  • Such an effect is obtained when the urethane prepolymer (B2) and the bifunctional iso (thio) cyanate group-containing compound (B1) are used in combination, and the average iso (thio) cyanate equivalent of the polyiso (thio) cyanate compound is 300. Even ⁇ 5000 is considered to be expressed. However, it is considered that the effect becomes more remarkable when only the urethane prepolymer (B2) is used.
  • the urethane prepolymer (B2) is obtained from the iso (thio) cyanate equivalent of the urethane prepolymer (B2), and the iso (thio) cyanate content ((I); present in the urethane prepolymer (B2); Molar molar concentration (mol / kg)) and (thio) urethane bond (including (thio) urea bond) content ((U); molar molar concentration (mol / kg)) present in urethane prepolymer (B2) ) Is preferably 1 ⁇ (U) / (I) ⁇ 10.
  • the iso (thio) cyanate content ((I); molar concentration (mol / kg)) is a value obtained by multiplying the reciprocal of the iso (thio) cyanate equivalent by 1000.
  • the (thio) urethane bond (including (thio) urea bond) content (U) mass molar concentration (mol / kg) present in the urethane prepolymer for example, a theoretical value is obtained by the following method. That is, the iso (thio) cyanate group before the reaction present in the bifunctional active hydrogen-containing compound (C1) and the bifunctional iso (thio) cyanate group-containing compound (B1) constituting the urethane prepolymer (B2).
  • the urethane resin for polishing of the present invention is obtained by polymerizing a polymerizable composition containing the polyrotaxane (A) and the polyiso (thio) cyanate compound (B).
  • the polymerizable composition may contain other components in addition to the two components.
  • an active hydrogen-containing compound (C) having a group having active hydrogen other than the polyrotaxane (A) can be included.
  • the active hydrogen-containing compound (C) will be described.
  • the active hydrogen-containing compound (C) used in the present invention (hereinafter sometimes simply referred to as “component (C)”) is a compound having a group having active hydrogen other than the polyrotaxane (A).
  • the group having active hydrogen include the same groups as those described in the item of (the side chain of the polyrotaxane (A) cyclic molecule).
  • the polymerizable composition used in the present invention contains the component (C)
  • the crosslinking density of the obtained urethane resin can be prepared. As a result, it is considered that the obtained urethane resin exhibits an excellent effect.
  • the active hydrogen-containing compound (C) can be used without any limitation as long as it is a compound having at least one group having active hydrogen described above. Moreover, you may have group which has several types of active hydrogen in one molecule
  • Examples of the compound having an OH group include a polyol compound.
  • the polyol compound is a compound containing two or more OH groups in one molecule.
  • a compound having OH at both ends of an alkylene group having 2 to 10 carbon atoms specifically, dimethyl-, trimethyl-, tetramethyl-, pentamethyl-, hexamethyl-dihydroxy compounds.
  • polyester polyol polyether containing two or more OH groups in one molecule
  • polyether polyol polyether containing two or more OH groups in one molecule
  • polycarbonate polyol polycarbonate polyol
  • polycaprolactone polyol polycaprolactone containing two or more OH groups in one molecule
  • acrylic polymer containing two or more OH groups in one molecule A coalescence (polyacryl polyol) can be mentioned as a typical example.
  • polyol compounds may also contain a prepolymer prepared by a reaction with the polyiso (thio) cyanate compound (B) described above.
  • examples of the polyol polymer prepolymer include known compounds having unreacted OH groups at both ends.
  • Alicyclic alcohols Hydrogenated bisphenol A, cyclobutanediol, cyclopentane diol, cyclohexane diol, cycloheptane diol, cyclooctane diol, cyclohexane dimethanol, hydroxypropyl cyclohexanol, tricyclo [5,2,1,0 2,6] decane - dimethanol, Bicyclo [4,3,0] -nonanediol, dicyclohexanediol, tricyclo [5,3,1,1 3,9 ] dodecanediol, bicyclo [4,3,0] nonanedimethanol, tricyclo [5,3, 1,1 3,9 ] dodecane-diethanol, hydroxypropyltricyclo [5,3,1,1 3,9 ] dodecanol, spiro [3,4] octanediol, butylcyclohexanediol,
  • Aromatic alcohol Dihydroxynaphthalene, dihydroxybenzene, bisphenol A, bisphenol F, xylylene glycol, tetrabromobisphenol A, bis (4-hydroxyphenyl) methane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) ethane, 1,2-bis (4 -Hydroxyphenyl) ethane, bis (4-hydroxyphenyl) phenylmethane, bis (4-hydroxyphenyl) diphenylmethane, bis (4-hydroxyphenyl) -1-naphthylmethane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl)- 1-phenylethane, 2- (4-hydroxyphenyl) -2- (3-hydroxyphenyl) propane, 2,2-bis (4-hydroxyphenyl) butane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) butane, 2,2-bis (4-hydroxyphen ) -3-methylbutane, 2,2-bis (4-hydroxyphenyl) pentane, 3,3-bis (4-hydroxyphen
  • Polyester polyol A compound obtained by a condensation reaction between a polyol and a polybasic acid is exemplified.
  • the number average molecular weight is preferably 400 to 2000, more preferably 500 to 1500, and most preferably 600 to 1200.
  • Those having hydroxyl groups only at both ends of the molecule (two in the molecule) correspond to the bifunctional active hydrogen-containing compound (C1) constituting the urethane prepolymer (B2).
  • Polyether polyol Compounds obtained by ring-opening polymerization of alkylene oxide, or a reaction of a compound having two or more active hydrogen-containing groups in the molecule with alkylene oxide, and modified products thereof.
  • the number average molecular weight is preferably 400 to 2000, more preferably 500 to 1500, and most preferably 600 to 1200.
  • Those having hydroxyl groups only at both ends of the molecule (two in the molecule) correspond to the bifunctional active hydrogen-containing compound (C1) constituting the urethane prepolymer (B2).
  • Polycaprolactone polyol compounds obtained by ring-opening polymerization of ⁇ -caprolactone.
  • the number average molecular weight is preferably 400 to 2000, more preferably 500 to 1500, and most preferably 600 to 1200.
  • Those having hydroxyl groups only at both ends of the molecule (two in the molecule) correspond to the bifunctional active hydrogen-containing compound (C1) constituting the urethane prepolymer (B2).
  • Polycarbonate polyol A compound obtained by phosgenation of one or more kinds of low molecular polyols or a compound obtained by transesterification using ethylene carbonate, diethyl carbonate, diphenyl carbonate or the like can be mentioned.
  • the number average molecular weight is preferably 400 to 2000, more preferably 500 to 1500, and most preferably 600 to 1200.
  • Those having hydroxyl groups only at both ends of the molecule (two in the molecule) correspond to the bifunctional active hydrogen-containing compound (C1) constituting the urethane prepolymer (B2).
  • Polyacryl polyol examples thereof include compounds obtained by copolymerization of an acrylic ester or methacrylic ester containing a hydroxyl group and a monomer copolymerizable with these esters. Those having hydroxyl groups only at both ends of the molecule (two in the molecule) correspond to the bifunctional active hydrogen-containing compound (C1) constituting the urethane prepolymer (B2).
  • Acrylic polyol examples include polyol compounds obtained by polymerizing (meth) acrylic acid esters and vinyl monomers. Those having hydroxyl groups only at both ends of the molecule (two in the molecule) correspond to the bifunctional active hydrogen-containing compound (C1) constituting the urethane prepolymer (B2).
  • examples of the compound having an OH group include a monool compound in addition to the polyol compound.
  • the monool compound has one OH group in one molecule. Specific examples of these compounds are as follows.
  • Monool compounds polyethylene glycol monooleyl ether, polyoxyethylene monooleate, polyethylene glycol monolaurate, polyethylene glycol monostearate, polyethylene glycol mono-4-octylphenyl ether, linear polyoxyethylene alkyl Ether (polyethylene glycol monomethyl ether, polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene-2-ethylhexyl ether, polyoxyethylene tridecyl ether, polyoxyethylene cetyl ether, polyoxyethylene stearyl ether), polypropylene glycol monomethyl ether, glyceryl dioleate And a saturated alkyl alcohol having a straight chain or branched chain having 5 to 30 carbon atoms. That.
  • the compound exemplified above may be a compound having an OH group during the reaction. That is, a compound having a group capable of forming an OH group in the reaction field, specifically, a compound having an epoxy group may be used.
  • a polyhydric alcohol compound having two or three OH groups in the molecule it is preferable to use a polyhydric alcohol compound having two or three OH groups in the molecule.
  • a monool compound having one OH group in the molecule is preferably used.
  • active hydrogen-containing compound (C) SH group-containing compound Next, the active hydrogen containing compound (C) which has SH group (thiol group) is illustrated.
  • the compound having an SH group include a polythiol compound.
  • a polythiol compound is a compound containing two or more SH groups in one molecule.
  • these polythiol compounds may also contain the prepolymer prepared by reaction with the polyiso (thio) cyanate compound (B) mentioned above similarly to the polyol compound mentioned above.
  • a prepolymer of the polythiol compound of the active hydrogen-containing compound (C) a commonly used prepolymer containing an unreacted SH group can also be used in the present invention).
  • An aliphatic thiol compound 1,3-propanedithiol, 1,6-hexanedithiol, 1,10-decanedithiol, 1,8-octanedithiol, 1,4-butanediol bis (3-mercaptopropionate), 1,4-butanediol Bis (thioglycolate), 1,6-hexanediol bis (thioglycolate), tetraethylene glycol bis (3-mercaptopropionate), 1,6-hexanediol bis (3-mercaptopropionate), etc.
  • a bifunctional active hydrogen-containing compound (corresponding to the bifunctional active hydrogen-containing compound (C1) constituting the urethane prepolymer (B2)), Tetrakis (mercaptomethyl) methane, trimethylolpropane tris (3-mercaptopropionate), trimethylolethane tris (3-mercaptobutyrate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate), dipentaerythritol hexakis ( Polyfunctional active hydrogen-containing compounds such as 3-mercaptopropionate) and pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate).
  • Alicyclic thiol compounds 1,4-bis (mercaptopropylthiomethyl) benzene, 2,5-bis (mercaptomethyl) -1,4-dithiane, and the like. These correspond to the bifunctional active hydrogen-containing compound (C1).
  • Aromatic thiol compound 4,6-bis (mercaptomethylthio) -1,3-dithiane.
  • SH group compounds include monothiol compounds.
  • the monothiol compound only needs to have one thiol group in one molecule. Specific examples of these compounds are as follows.
  • Monothiol compounds 3-methoxybutyl 3-mercaptopropionate, ethyl 3-mercaptopropionate, saturated alkylthiol having a linear or branched structure having 5 to 30 carbon atoms, and the like.
  • the compound having a primary or secondary amino group of the present invention can be used without any limitation. Among them, it is roughly classified into aliphatic amines, alicyclic amines, aromatic amines, and polyamine compounds, and specific examples thereof include the following compounds.
  • Aliphatic amines such as ethylene diamine, hexamethylene diamine, nonamethylene diamine, undecane methylene diamine, dodecane methylene diamine, meta-xylene diamine, 1,3-propane diamine, putrescine (2 constituting the urethane prepolymer (B2))
  • Bifunctional active hydrogen-containing compounds such as ethylene diamine, hexamethylene diamine, nonamethylene diamine, undecane methylene diamine, dodecane methylene diamine, meta-xylene diamine, 1,3-propane diamine, putrescine (2 constituting the urethane prepolymer (B2))
  • Polyfunctional active hydrogen-containing compounds such as diethylenetriamine, Butylamine, hexylamine, dodecylamine, octylamine, diethylamine, di-n-propylamine, diisopropylamine, di-n-butylamine, diisobutylamine, di-
  • An alicyclic amine a bifunctional active hydrogen-containing compound such as isophorone diamine or cyclohexyl diamine (corresponding to the bifunctional active hydrogen-containing compound (C1) constituting the urethane prepolymer (B2)), Monofunctional active hydrogen-containing compounds such as cyclohexylamine.
  • Aromatic amines 4,4′-methylenebis (o-chloroaniline) (MOCA), 2,6-dichloro-p-phenylenediamine, 4,4′-methylenebis (2,3-dichloroaniline), 4,4′-methylenebis (2 -Ethyl-6-methylaniline), 3,5-bis (methylthio) -2,4-toluenediamine, 3,5-bis (methylthio) -2,6-toluenediamine, 3,5-diethyltoluene-2, 4-diamine, 3,5-diethyltoluene-2,6-diamine, trimethylene glycol-di-p-aminobenzoate, polytetramethylene glycol-di-p-aminobenzoate, 4,4'-diamino-3,3 ', 5,5'-tetraethyldiphenylmethane, 4,4'-diamino-3,3'-diisopropyl-5,5'
  • the amino group-containing compound (CA) the amino group (—NH 2 ) strictly has two active hydrogens. However, in the present invention, considering the reactivity of the active hydrogen of the amino group, the number of moles of active hydrogen of the compound having the amino group is equal to the number of moles of the amino group. In the reaction between an amino group and an iso (thio) cyanate group, one active hydrogen in the amino group and one iso (thio) cyanate group react to form a urea bond / thiourea bond first.
  • the active hydrogen in this bond (—NHCONH—, —NHCSNH—) is not involved in the next reaction unless it is at a high temperature, for example, at a temperature of 150 ° C. or higher. Therefore, in the present invention, substantially 1 mol of iso (thio) cyanate group and 1 mol of amino group (1 mol of active hydrogen in the amino group) react with each other. Therefore, in the present invention, when a compound having an amino group such as the amino group-containing compound (CA) is used, the number of moles of active hydrogen in the compound having an amino group is the number of moles of the amino group. It shall be equal.
  • the composite active hydrogen-containing compound has a group having plural types of active hydrogens of different types in the molecule, and various physical property adjustments can be achieved by using such an active hydrogen-containing compound.
  • Such composite active hydrogen-containing compounds include OH / SH type compounds containing OH groups and SH groups, OH / amino group type compounds containing OH groups and amino groups, and the like. Specific examples thereof include the following compounds.
  • a bifunctional active hydrogen-containing compound exemplified by 1-hydroxy-4-mercaptocyclohexane (corresponding to the bifunctional active hydrogen-containing compound (C1) constituting the urethane prepolymer (B2)), 3-mercapto-1,2-propanediol, 1,3-dimercapto-2-propanol, 2,3-dimercapto-1-propanol, pentaerythritol tris (3-mercaptopropionate), pentaerythritol mono (3-mercapto Propionate) and polyfunctional active hydrogen-containing compounds such as pentaerythritol bis (3-mercaptopropionate), Monofunctional active hydrogen-containing compounds exemplified by 4-mercaptophenol.
  • bifunctional active hydrogen-containing compound such as monoethanolamine and monopropanolamine (corresponding to bifunctional active hydrogen-containing compound (C1) constituting the urethane prepolymer (B2)), Polyfunctional active hydrogen-containing compounds such as diethanolamine and 2- (2-aminoethylamino) ethanol; These are also included in the amino group-containing compound (CA).
  • CA amino group-containing compound
  • the active hydrogen-containing compound that can be particularly suitably used is an active hydrogen-containing compound having an OH group or an amino group from the viewpoint of reactivity and odor generated when the resulting polyurethane resin is worn. It is particularly preferred that Especially, the difference in the manufacturing method of urethane resin, optimal (C) component, its compounding quantity, etc. differ.
  • a method for producing a polyurethane resin by simultaneously reacting a polyrotaxane (A), a polyiso (thio) cyanate compound (B) (excluding a urethane prepolymer (B2)), and an active hydrogen-containing compound (C) (hereinafter referred to as a polyurethane resin)
  • this method is simply referred to as “one-pot method”) and when urethane resin is produced using the urethane prepolymer (B2).
  • Suitable active hydrogen-containing compound (C) in the one-pot method When a urethane resin is produced by a one-pot method, an aliphatic polyol (a “polyhydric alcohol” having at least 3 or more hydroxyl groups in the molecule) or at least 3 or more hydroxyl groups in the molecule is preferred. A combination of a polyhydric alcohol and a diol (a compound having two hydroxyl groups in the molecule) is preferable in consideration of physical properties, ease of handling, and productivity of a urethane resin.
  • Suitable active hydrogen-containing compound (C) in the prepolymer method On the other hand, in the prepolymer method using the urethane prepolymer (B2), the iso (thio) cyanate group of the urethane prepolymer (B2) and the active hydrogen in the polyrotaxane (A) and the active hydrogen-containing compound (C).
  • a urethane resin is produced by reacting (polymerizing) with a group having a high molecular weight, and the following active hydrogen-containing compound (C) is preferably used. That is, when using the urethane prepolymer (B2), it is preferable to use an amino group-containing compound (CA) having an amino group.
  • CA amino group-containing compounds
  • MOCA 4,4′-methylenebis (o-chloroaniline)
  • trimethylene glycol-di-p-aminobenzoate polytetramethylene It is preferable to use glycol-di-p-aminobenzoate or the like.
  • the urethane resin obtained by the prepolymer method is easy to control the molecular structure, but is less likely to have a higher degree of cross-linking than the one-pot method.
  • the obtained urethane resin becomes a urethane urea resin having a urea bond.
  • This urea bond may have a pseudo-crosslinked structure by hydrogen bonds, or may react (polymerize) with the urea bond portion and the iso (thio) cyanate group of the urethane prepolymer (B2) to take a crosslinked structure. Therefore, it is considered that the mechanical strength of the obtained urethane resin can be improved.
  • the polymerizable composition used in the present invention is not particularly limited, but in order to exert an excellent effect, the polyiso (thio) cyanate compound (B) is used with respect to 100 parts by mass of the polyrotaxane (A). 3) to 2000 parts by mass is preferable.
  • the proportion of the polyrotaxane (A) is too small, the effect of improving the wear resistance due to the high mobility inherent in the polyrotaxane (A) tends to decrease.
  • this polyrotaxane (A) increases too much, it exists in the tendency for the abrasion-resistant improvement effect by bridge
  • the polymerizable composition preferably contains 4 to 1500 parts by mass of the polyiso (thio) cyanate compound (B) with respect to 100 parts by mass of the polyrotaxane (A), and preferably 5 to 1000 parts by mass. Further preferred.
  • the blending ratio of the polyrotaxane (A) with respect to 100 parts by mass of the polyrotaxane (A) is polyiso (thio) cyanate compound.
  • the amount of (B) is preferably 5 to 50 parts by mass because of excellent mechanical properties.
  • the blending ratio of each of the polyrotaxane (A) is 20 to 1000 masses with respect to 100 mass parts of the polyrotaxane (A). It is preferable to use a part because of excellent mechanical properties.
  • the polyiso (thio) cyanate compound (B) is added in an amount of 10 to 3000 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the polyrotaxane (A).
  • the active hydrogen-containing compound (C) is contained in an amount of 3 to 2000 parts by mass.
  • the polyiso (thio) cyanate compound (B) and 4 to 1000 parts by mass of the active hydrogen-containing compound (C) are included with respect to 100 parts by mass of the polyrotaxane (A). More preferably, the polyiso (thio) cyanate compound (B) is contained in an amount of 20 to 1500 parts by mass and the active hydrogen-containing compound (C) is contained in an amount of 5 to 500 parts by mass.
  • the blending ratio is 100 parts by mass of the polyrotaxane (A).
  • the polyiso (thio) cyanate compound (B) is preferably 20 to 500 parts by mass and the active hydrogen-containing compound (C) is preferably 50 to 500 parts by mass because of excellent mechanical properties.
  • the total number of moles of the polyrotaxane (A) having active hydrogen and the number of moles of groups having active hydrogen of the active hydrogen-containing compound (C) blended as necessary hereinafter, "The number of moles of groups having all active hydrogens" and iso (thio) cyanate group of the polyiso (thio) cyanate compound (B) (in the case of the prepolymer method, urethane prepolymer (B2 ) Is preferably in the following range.
  • the number of moles of the group having all active hydrogens is preferably 0.8 to 1.2 moles. If the iso (thio) cyanate group is too much or too little, the resulting urethane resin tends to cause poor curing or wear resistance tends to decrease. In order to obtain a urethane resin having a better cured state, a uniform state, and excellent wear resistance, when the iso (thio) cyanate group is 1 mole, the group having all active hydrogens can be obtained.
  • the number of moles is more preferably 0.85 to 1.15 moles, and even more preferably 0.9 to 1.1 moles.
  • the number of moles of the group having all active hydrogens is the number of moles of the groups having active hydrogens of the polyrotaxane (A). Will be equal.
  • the number of moles of the group having active hydrogens in the polyrotaxane (A) is 1.
  • the number of moles of the active hydrogen-containing compound (C) is preferably 0.1 to 20 moles, and more preferably 0.2 to 10 moles.
  • the “number of moles of the group having all active hydrogens” includes all the active hydrogens possessed by the polyrotaxane (A), that is, groups having active hydrogens in the side chain, and the activity possessed in other places.
  • a group having hydrogen for example, a group having an active hydrogen directly possessed by a cyclic molecule (when the cyclic molecule is an ⁇ -cyclodextrin ring, a hydroxyl group of the ⁇ -cyclodextrin ring into which no side chain is introduced)
  • Shall for example, a group having an active hydrogen directly possessed by a cyclic molecule (when the cyclic molecule is an ⁇ -cyclodextrin ring, a hydroxyl group of the ⁇ -cyclodextrin ring into which no side chain is introduced)
  • the number of moles (hereinafter sometimes referred to as “the total number of moles of groups having active hydrogen”) is 1 mole of the iso (thio) cyanate group, and the total number of moles of the group having active hydrogen is 1 It is preferably 2 to 0.4 mol, and more preferably 1.2 to 0.6 mol.
  • the number of moles of groups having all active hydrogens or “the total number of moles of groups having active hydrogens” and the moles of iso (thio) cyanate groups of the polyiso (thio) cyanate compound (B).
  • the preferred ratio with the number is the same range whether it is the one-shot method or the prepolymer method.
  • the amino group as the active hydrogen-containing compound (C) is calculated.
  • the number of moles of active hydrogen in the compound having the amino group is equal to the number of moles of the amino group.
  • the polymerizable composition in order to obtain a polishing urethane resin, the polymerizable composition may be polymerized.
  • the polymerization method is not particularly limited, and a normal method of obtaining a polyurethane resin by polymerizing a compound having a group having active hydrogen and a compound having an iso (thio) cyanate group can be employed. .
  • a dry method such as a one-pot method or a prepolymer method, a wet method using a solvent, or the like can be used.
  • the dry method can be suitably used in the present invention.
  • the polyrotaxane (A) (component (A)) and the polyiso (thio) cyanate compound (B) (component (B)) may be polymerized simultaneously in the polymerization composition.
  • the urethane resin can be obtained by simultaneously polymerizing the component (C). If the component (A) is solid and does not melt, it can be reacted with the component (B) after being previously mixed with the component (C).
  • the urethane prepolymer (B2) having an iso (thio) cyanate group at the end of the molecule is prepared by first reacting the component (B) and the component (C), and then ( What is necessary is just to mix a component A) and to make both react.
  • the urethane prepolymer (B2) can be reacted with not only the component (A) but also the composition containing the component (B) and the component (C).
  • the prepolymer does not have an iso (thio) cyanate group but has a group having active hydrogen
  • the active hydrogen-containing prepolymer is reacted with the component (A) and the component (B). You can do it.
  • the composition containing the component (C) other than the active hydrogen-containing prepolymer is reacted with the active hydrogen-containing prepolymer to obtain a polymerization composition. It can also be obtained.
  • a urethane prepolymer (B2) having an iso (thio) cyanate group at the end of the molecule.
  • (C) component is amine group containing (CA).
  • the urethane resin of the present invention can be provided with pores in the resin.
  • a well-known foaming method or the like can be used without any limitation. Examples of these methods include volatile foaming agents such as low boiling point hydrocarbons, foaming agent foaming methods in which water or the like is added, a method of dispersing and hardening micro hollow bodies (micro balloons), and thermally expandable fine particles.
  • volatile foaming agents such as low boiling point hydrocarbons
  • foaming agent foaming methods in which water or the like is added a method of dispersing and hardening micro hollow bodies (micro balloons), and thermally expandable fine particles.
  • a method of foaming fine particles by heating after mixing, or a mechanical froth foaming method in which an inert gas such as air or nitrogen is blown during mixing can be exemplified.
  • the density of the urethane resin is preferably 0.4 to 0.9 g / cm 3 .
  • water foaming after reacting with an iso (thio) cyanate group, it becomes carbon dioxide and an amino group, and the amino group further reacts with the iso (thio) cyanate group to form a urea bond / thiourea bond. Therefore, in this invention, when water is used for an additive, water shall have two active hydrogen.
  • the urethane resin of the present invention can be used for polishing pads because of its excellent mechanical properties. Further, the urethane resin of the present invention can have any appropriate hardness. Hardness can be measured according to the Shore method, for example, according to JIS standard (hardness test) K6253.
  • the urethane resin of the present invention preferably has a Shore hardness of 40A to 90D.
  • the Shore hardness of a general polyurethane resin for abrasives used in the present invention is preferably 20D to 90D, more preferably 20D to 80D (“D” is a hardness on the Shore “D” scale. Is shown).
  • the urethane resin of the present invention is preferably 40A to 90A, and more preferably 50A to 90A (“A” is a shore). "A” scale hardness is shown). Thus, what is necessary is just to have arbitrary hardness by changing a mixing
  • the polyurethane resin of the present invention has a compressibility within a certain range in order to develop the flatness of the object to be polished.
  • the compression rate can be measured by a method based on JIS L 1096, for example.
  • the compressibility of the urethane resin of the present invention is preferably 0.5% to 50%. It becomes possible to express the flatness of the outstanding to-be-polished object by being in the said range.
  • the polyurethane resin of the present invention has low hysteresis loss or excellent elastic recovery, so that when used as a polishing pad, the flatness of the object to be polished and a high polishing rate can be exhibited.
  • the hysteresis loss can be measured, for example, by a method based on JIS K 6251. Specifically, a test piece prepared in a dumbbell shape is stretched 100% and then returned to its original state, thereby reducing hysteresis loss (elongation when stretched and restored, stress area / stretch when stretched) Stress area ⁇ 100) can be measured.
  • the hysteresis loss is not particularly limited, but the hysteresis loss is preferably 60% or less, more preferably 50% or less, and further preferably 40% or less.
  • Hysteresis loss is low, and when used as a polishing pad, it is assumed that the kinetic energy of the abrasive grains can be used uniformly for polishing the object to be polished, and thus exhibits excellent flatness and a high polishing rate. It becomes possible. Furthermore, it is considered that an excellent polishing rate can be exhibited even with a soft pad by reducing hysteresis loss.
  • the urethane resin of the present invention may include a polishing layer formed from a plurality of layers.
  • the polishing layer includes a first layer having a polishing surface that comes into contact with an object to be polished when polishing, and a surface facing the polishing surface of the first layer.
  • a second layer in contact with the first layer may be used.
  • the physical properties of the first layer can be adjusted because the second layer has a hardness and an elastic modulus different from those of the first layer. For example, by changing the hardness of the first layer and the hardness of the second layer, it is possible to adjust the polishability of the object to be polished.
  • the urethane resin of the present invention may be a so-called fixed abrasive urethane resin by containing abrasive grains as a constituent element.
  • abrasive grains include particles made of a material selected from cerium oxide, silicon oxide, alumina, silicon carbide, zirconia, iron oxide, manganese dioxide, titanium oxide, and diamond, or two or more kinds of particles made of these materials. Is mentioned.
  • the holding method of these abrasive grains is not particularly limited, it can be held inside the urethane resin by, for example, dispersing the polymer composition and then curing the polymer composition.
  • the urethane resin of the present invention includes a polymerization catalyst, a stabilizer such as an antioxidant, an ultraviolet absorber, a surfactant, a flame retardant, a plasticizer, a pigment, a filler, an antistatic agent, a foam stabilizer, Other additives may be added. These additives may be used alone or in combination of two or more. These additives can be contained in the polishing urethane resin by being contained in the polymerizable composition and polymerizing the polymerizable composition.
  • a stabilizer such as an antioxidant, an ultraviolet absorber, a surfactant, a flame retardant, a plasticizer, a pigment, a filler, an antistatic agent, a foam stabilizer, Other additives may be added. These additives may be used alone or in combination of two or more. These additives can be contained in the polishing urethane resin by being contained in the polymerizable composition and polymerizing the polymerizable composition.
  • the urethane resin of the present invention is not particularly limited, but a groove structure can be formed on the surface thereof.
  • the groove structure is not particularly limited as long as it retains and renews the slurry when the member to be polished is polished.
  • X (striped) grooves XY lattice grooves, concentric grooves, through holes , Non-penetrating holes, polygonal columns, cylinders, spiral grooves, eccentric circular grooves, radial grooves, and combinations of these grooves.
  • the manufacturing method of the groove structure is not particularly limited. For example, a method of machine cutting using a jig such as a tool of a predetermined size, a resin is poured into a mold having a predetermined surface shape, and curing is performed. Using a press plate having a predetermined surface shape, a method of producing a resin by pressing, a method of producing using photolithography, a method of producing using a printing technique, a carbon dioxide laser, etc. Examples include a manufacturing method using laser light.
  • the urethane resin of the present invention can also be used as a nonwoven fabric urethane resin polishing pad obtained by, for example, impregnating a nonwoven fabric with the urethane resin of the present invention and then curing.
  • RX-1 a polyrotaxane having an average molecular weight of about 350 and a weight average molecular weight of 200,000 in a side chain having a hydroxyl group in the side chain.
  • RX-2 Polyrotaxane having an average molecular weight of about 650 and a weight average molecular weight of 350,000 in the side chain having a hydroxyl group in the side chain.
  • RX-3 a polyrotaxane having an average molecular weight of about 450 and a weight average molecular weight of 300,000 in a side chain having a hydroxyl group in the side chain.
  • dimethylformamide (DMF) was used as a developing solution, and measurement was performed under conditions of a flow rate of 1 ml / min and a temperature of 40 ° C.
  • Polystyrene was used as a standard sample, and the weight average molecular weight was determined by comparative conversion.
  • a differential refractometer was used as the detector.
  • the slurry reagent obtained above was allowed to stand at 4 ° C. for 12 hours. Thereafter, 50 ml of a DMF / methanol mixed solvent (volume ratio 1/1) was added, mixed and centrifuged, and the supernatant was discarded. Further, after washing with the above DMF / methanol mixed solution, washing with methanol and centrifugation were performed to obtain a precipitate.
  • the obtained precipitate was dried by vacuum drying and then dissolved in 50 mL of dimethyl sulfoxide (DMSO), and the obtained transparent solution was dropped into 700 mL of water to precipitate polyrotaxane. The precipitated polyrotaxane was collected by centrifugation and vacuum dried. Further, it was dissolved in DMSO, precipitated in water, collected and dried to obtain a purified polyrotaxane.
  • the inclusion amount of ⁇ -CD at this time is 0.25.
  • the amount of inclusion was measured by dissolving polyrotaxane in deuterated dimethyl sulfoxide (DMSO-d 6 ) and measuring with a 1 H-NMR measuring apparatus (JNM-LA500, manufactured by JEOL), and was calculated by the following method.
  • X, Y and X / (YX) have the following meanings.
  • X integrated value of protons derived from hydroxyl groups of cyclodextrin at 4 to 6 ppm.
  • Y Integral value of proton derived from methylene chain of 3-4 ppm cyclodextrin and PEG.
  • X / (YX) Proton ratio of cyclodextrin to PEG First, theoretically, X / (YX) when the maximum inclusion amount is 1 is calculated in advance, and from this value and the analysis value of the actual compound The inclusion amount was calculated by comparing the calculated X / (YX).
  • the modification degree of the cyclic molecule to the OH group by the hydroxypropyl group was 0.5, and the weight average molecular weight Mw was 50,000 by GPC measurement.
  • a mixed solution was prepared by dissolving 5 g of the obtained hydroxypropylated polyrotaxane in 15 g of ⁇ -caprolactone at 80 ° C. The mixture was stirred at 110 ° C. for 1 hour while blowing dry nitrogen, 0.16 g of a 50 wt% xylene solution of tin (II) 2-ethylhexanoate was added, and the mixture was stirred at 130 ° C. for 6 hours. Thereafter, xylene was added to obtain a polycaprolactone-modified polyrotaxane xylene solution into which a side chain having a nonvolatile concentration of about 35% by mass was introduced.
  • RX-2 was obtained in the same manner as RX-1, except that 30 g of ⁇ -caprolactone was used.
  • the physical properties of this polyrotaxane (RX-2) were as follows. Side chain modification: 0.5 (50%). Side chain molecular weight: about 650 on average. Polyrotaxane weight average molecular weight Mw (GPC): 350,000. It is a polyrotaxane (A) having a hydroxyl group at the end of the side chain.
  • RX-3 was prepared in the same manner as RX-1 except that linear polyethylene glycol (PEG) having a molecular weight of 20000 was used as the polymer for forming the axial molecule, and ⁇ -caprolactone was changed to 20 g. .
  • the physical properties of this polyrotaxane (RX-3) were as follows. Side chain modification: 0.5 (50%). Side chain molecular weight: about 450 on average. Polyrotaxane weight average molecular weight Mw (GPC): 300,000. It is a polyrotaxane (A) having a hydroxyl group at the end of the side chain.
  • Production Example Pre-3 Production Example A terminal isocyanate urethane prepolymer having an iso (thio) cyanate equivalent weight of 539 was obtained in the same manner as in Production Example Pre-2 except that 130 g of diethylene glycol was used (Pre-3 Obtained).
  • Production Example Pre-4 Production Example Preisocyanate having an iso (thio) cyanate equivalent of 1500 in the same manner as in Production Example Pre-2 except that 2300 g of polyoxytetramethylene glycol (number average molecular weight; 1000) was used. A urethane prepolymer was obtained (Pre-4 was obtained).
  • Production Example Production Example of Pre-5 The same procedure as in Production Example Pre-2 was performed, except that 1500 g of polyoxytetramethylene glycol (number average molecular weight; 1000) was used and 50 g of diethylene glycol was used. An isocyanate urethane prepolymer was obtained (Pre-5 was obtained).
  • Production Example Production Example of Pre-6 The same method as in Production Example Pre-2 was performed except that 2500 g of polyoxytetramethylene glycol (number average molecular weight; 1000) was used and 300 g of diethylene glycol was used. A terminal isocyanate urethane prepolymer was obtained (Pre-6 was obtained).
  • PL1 Duranol (polycarbonate diol, number average molecular weight 500) manufactured by Asahi Kasei Chemicals Corporation.
  • BudiOH 1,4-butanediol.
  • TMP Trimethylolpropane.
  • TMP-30 Trimethylolpropane tripolyoxyethylene ether manufactured by Nippon Emulsifier Co., Ltd.
  • Pemp pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate).
  • MOCA 4,4′-methylenebis (o-chloroaniline)
  • TMGdiAB trimethylene glycol-di-p-aminobenzoate
  • PPG7 polypropylene glycol diol type average molecular weight 700 ⁇ Other ingredients> CeO 2 : Cerium oxide (cerium oxide powder having an average particle size of 0.2 ⁇ m).
  • L5617 Silicone foam stabilizer SZ1142 manufactured by Momentive, Inc. Silicone foam stabilizer ET manufactured by Toray Dow Corning ET: TOYOCAT-ET (produced by Tosoh Corporation) 920-40: Microcapsule 920-40 (manufactured by Nippon Philite)
  • Example 1 According to the following formulation, RX-1 (100 parts by mass) of component (A) was dissolved in a flask equipped with a nitrogen introduction tube, a thermometer, and a stirrer in a nitrogen atmosphere at 40 degrees, and XDI (15) of component (B) To a homogeneous solution by stirring and mixing to obtain a polymerization composition. Each blending amount is shown in Table 2. The molar ratio between the total number of moles of groups having active hydrogen (the total number of moles of OH groups in the side chain of polyrotaxane (A) RX-1) and the iso (thio) cyanate group of component (B) XDI is shown.
  • the number of moles of groups having all active hydrogens (the total number of moles of OH groups in the side chain of polyrotaxane (A) RX-1 and the number of moles of OH groups possessed by the cyclodextrin ring of RX-1 The molar ratio between the total number of moles) and the (B) component XDI iso (thio) cyanate group is shown.
  • the polymerization composition was poured into a flat mold. Then, it was cured at 80 ° C. for 2 hours and then at 90 ° C. for 4 hours.
  • the urethane resin was removed from the mold.
  • the obtained urethane resin had an abrasion resistance of 3.9 and a D hardness of 30. Note that the wear resistance and hardness were evaluated as follows. The results are shown in Table 3.
  • Abrasion resistance ECOMET-3 single-side polishing machine manufactured by BUEHLER was used as a polishing machine, and abrasion was performed while flowing water with a polishing paper (# 600) load of 7 pounds, rotation speed of 200 rpm, and polishing time of 5 minutes. The wear resistance was evaluated.
  • the evaluation method was as follows. (Abrasion amount by polishing / resin weight before polishing) ⁇ 100 (%) (2) Shore D hardness was measured with a durometer manufactured by Kobunshi Keiki in accordance with JIS standard (hardness test) K6253.
  • Example 2 In a flask equipped with a nitrogen introduction tube, a thermometer, and a stirrer, component (A) RX-1 (100 parts by mass), component (C) PL1 (100 parts by mass), TMP (30 parts by mass), under a nitrogen stream, TMP-30 (100 parts by mass) was stirred and mixed at 40 ° C. to make a uniform solution, then returned to room temperature, and (B) component XDI (220 parts by mass) was added and stirred uniformly to obtain a polymerizable composition. It was. Each blending amount is shown in Table 2. The molar ratio between the total number of moles of groups having active hydrogen and the iso (thio) cyanate group of component (B) XDI is shown.
  • the molar ratio of the number of moles of the group having all active hydrogens to the iso (thio) cyanate group of the component (B) XDI is shown. Both the total number of moles of the group having active hydrogen and the number of moles of the group having all active hydrogens include the number of moles of the group having active hydrogen as the component (C).
  • the polymerization composition was poured into a flat mold. Then, it was cured at 80 ° C. for 2 hours and then at 90 ° C. for 4 hours. After the polymerization was completed, the urethane resin was removed from the mold. The obtained urethane resin had an abrasion resistance of 2.9% and a D hardness of 64. The results are shown in Table 3.
  • Examples 3 to 7 Comparative Examples 1 and 2> A cured product was prepared and evaluated in the same manner as in Example 2 except that the polymerizable composition having the composition shown in Table 2 was used. The results are shown in Table 3.
  • Example 8 A cured product was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1 except that the polymerizable composition having the composition shown in Table 2 was used. The results are shown in Table 3.
  • Example 9 In a flask equipped with a nitrogen introduction tube, a thermometer, and a stirrer, under a nitrogen stream, (B) component Pre-1 (463 parts by mass) as component (B) and dried cerium oxide having an average particle size of 0.2 ⁇ m Powder (30 parts by mass) was introduced and sufficiently stirred. Next, separately prepared RX-1 (100 parts by mass) of component (A), PL1 (100 parts by mass) of component (C), and BudiOH (42 parts by mass) were stirred and mixed uniformly at a temperature of 60 ° C. The solution was introduced into the flask. Thereafter, the mixture was further stirred and mixed in the flask to obtain a polymerizable composition. Each blending amount is shown in Table 2.
  • the molar ratio between the total number of moles of active hydrogen groups and the iso (thio) cyanate group of component (B) XDI is shown. Further, the molar ratio of the number of moles of the group having all active hydrogens to the iso (thio) cyanate group of the component (B) XDI is shown. Both the total number of moles of the group having active hydrogen and the number of moles of the group having all active hydrogens include the number of moles of the group having active hydrogen as the component (C).
  • the polymerization composition was poured into a flat mold. Then, it was cured at 80 ° C. for 2 hours and then at 90 ° C. for 4 hours. After the polymerization was completed, the urethane resin was removed from the mold. The obtained urethane resin had an abrasion resistance of 2.2% and a D hardness of 65. The results are shown in Table 3.
  • Example 10 The component (A) RX-1 (100 parts by mass) and the component (C) MOCA (21 parts by mass) were mixed at 120 ° C. to obtain a homogeneous solution, which was sufficiently degassed and cooled to 100 ° C. .
  • Pre-2 (296 parts by mass; urethane prepolymer (B2)) as component (B) heated to 70 ° C. was added, and the mixture was stirred with a rotation / revolution stirrer to obtain a uniform polymerizable composition.
  • Table 4 shows the blending amounts. Table 4 also shows the molar ratio between the total number of moles of groups having active hydrogen and the iso (thio) cyanate group in component (B) Pre-2.
  • Table 4 also shows the molar ratio of the number of groups having all active hydrogens to the iso (thio) cyanate group in the component (B) Pre-2. Both the total number of moles of the group having active hydrogen and the number of moles of the group having all active hydrogens are values including the number of moles of the group having active hydrogen as the component (C).
  • C) 21 parts by mass of MOCA.
  • the polymerizable composition was poured into a mold and cured at 100 ° C. After completion of the polymerization, the urethane resin was removed from the mold to obtain a urethane resin having a thickness of 2 mm.
  • the obtained urethane resin had a polishing rate of 1.9 ⁇ m / hr, scratch resistance of 1, a Taber abrasion amount of 19 mg, a D hardness of 30, a density of 1.1 g / cm 3 , and a hysteresis loss of 10%.
  • the results are shown in Table 5. Note that the wear resistance and hardness were evaluated as follows.
  • Polishing rate Polishing conditions are shown below. Polishing pad: 380 ⁇ . Object to be polished: 3 2 inch sapphire wafers. Slurry: FUJIMI Compol 80 stock solution. Pressure: 411 g / cm 2 . Number of revolutions: 60 rpm. Time: 1 hour. Under the above conditions, the polishing rate when polishing was measured.
  • Scratch The presence or absence of a scratch on the wafer when polished under the conditions described in (3) above was confirmed. Evaluation was carried out according to the following criteria. 1: No scratches even with visual inspection or laser microscope. 2: Scratch cannot be confirmed visually, but can be confirmed with a laser microscope. 3: One or two scratches can be visually confirmed only at the edge portion of the wafer. 4: 3 or more scratches can be visually confirmed only on the wafer edge portion, or 1-2 scratches can be confirmed on the entire wafer. 5: One that can visually confirm three or more scratches on the entire wafer.
  • Taber abrasion amount Measured with a 5130 type device manufactured by Taber. The Taber abrasion test was conducted with a load of 1 kg, a rotational speed of 60 rpm, a rotational speed of 1000 revolutions, and a wear wheel of H-18.
  • Density Density was measured with (DSG-1) manufactured by Toyo Seiki Co., Ltd.
  • Hysteresis loss Hysteresis when a resin punched into a dumbbell No. 8 shape with a thickness of 2 mm is stretched by 20 mm at 10 mm / min using an AG-SX autograph made by Shimadzu Corporation and then returned until the stress becomes zero Loss was measured.
  • Examples 11 to 14 and Comparative Example 3 A cured product was produced and evaluated in the same manner as in Example 10 except that the polymerizable composition having the composition shown in Table 4 was used. The results are shown in Table 5.
  • Example 15 To component (B) Pre-2 (296 parts by mass; urethane prepolymer (B2)) heated to 70 ° C., L5617 (6.3 parts by mass) of the other component was added and stirred under a nitrogen atmosphere. Was stirred vigorously at 2000 rpm using a stirrer using a beater, and bubbles were taken in by a mechanical floss method. Separately, RX-1 (100 parts by mass) as component (A) and MOCA (21 parts by mass) as component (C) were mixed to prepare a uniform solution at 120 ° C. After sufficiently deaerated, the homogeneous solution cooled to 100 ° C.
  • Table 6 shows the blending amounts. Table 6 also shows the molar ratio between the total number of moles of groups having active hydrogen and the iso (thio) cyanate group in component (B) Pre-2. Table 6 also shows the molar ratio of the number of moles of the group having all active hydrogens to the iso (thio) cyanate group in the component (B) Pre-2.
  • Both the total number of moles of the group having active hydrogen and the number of moles of the group having all active hydrogens are values including the number of moles of the group having active hydrogen as the component (C).
  • the polymerizable composition was poured into a mold and cured at 100 ° C. After completion of the polymerization, the urethane resin was removed from the mold to obtain a foamed urethane resin having a thickness of 2 mm.
  • the obtained urethane resin had a polishing rate of 3.2 ⁇ m / hr, scratch resistance of 1, a Taber abrasion amount of 15 mg, a D hardness of 20, a density of 0.7 g / cm 3 , and a hysteresis loss of 10%.
  • Example 16 to 20 Comparative Example 4> A cured product was produced and evaluated in the same manner as in Example 15 except that the polymerizable composition having the composition shown in Table 6 was used. The results are shown in Table 7.
  • Example 21 Pre-2 (341 parts by mass; urethane prepolymer (B2)) of component (B) heated to 70 ° C., SZ1142 (6.8 parts by mass) of other components, water (0.4 parts by mass), ET (0.2 mass part) was added, and it stirred at 2000 rpm for 1 minute using the autorotation revolution stirrer (made by Shinkey).
  • RX-1 100 parts by mass
  • MOCA 21 parts by mass
  • the polymerizable composition was poured into a mold and cured at 100 ° C. After completion of the polymerization, the urethane resin was removed from the mold to obtain a foamed urethane resin having a thickness of 2 mm.
  • the obtained urethane resin had a polishing rate of 3.4 ⁇ m / hr, a scratch resistance of 1, a Taber abrasion amount of 14 mg, a D hardness of 23, a density of 0.9 g / cm 3 , and a hysteresis loss of 8%. These evaluations were performed in the same manner as in Example 10. The results are shown in Table 7.
  • Example 22 A cured product was prepared and evaluated in the same manner as in Example 21 except that the polymerizable composition having the composition shown in Table 6 was used. The results are shown in Table 7.
  • 920-40 (3.4 parts by mass) was added to Pre-2 (307 parts by mass; urethane prepolymer (B2)) of the component (B) heated to 70 ° C., and an autorotation revolving stirrer (manufactured by Sinky) was added. And stirred for 1.5 minutes at 2000 rpm.
  • RX-1 100 parts by mass
  • MOCA 21 parts by mass
  • a uniform polymerizable composition having Table 6 shows the blending amounts. Table 6 also shows the molar ratio between the total number of active hydrogen groups and the iso (thio) cyanate group in component (B) Pre-2. Table 6 also shows the molar ratio of the total number of active hydrogen groups to the iso (thio) cyanate group in the component (B) Pre-2. Both the total number of moles of active hydrogen groups and the number of moles of all active hydrogen groups are values including the number of moles of active hydrogen groups in component (C). (A): RX-1 100 parts by mass.
  • Example 24 A cured product was prepared and evaluated in the same manner as in Example 22 except that the polymerizable composition having the composition shown in Table 6 was used. The results are shown in Table 7.
  • polishing urethane resin obtained by using the polyrotaxane as the component (A) has excellent durability.
  • polyrotaxane 2 axial molecule 3: cyclic molecule 4: bulky end group 5: side chain

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Wood Science & Technology (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Polyurethanes Or Polyureas (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)

Abstract

均一に架橋点が分散し、適度に分子運動することが可能であると考えられる、耐摩耗性が高い摺動部材用のウレタン樹脂を提供することにある。特に、研磨用パッドとして好適に使用できるウレタン樹脂を提供することにある。　軸分子と該軸分子を包接する複数の環状分子とからなる複合分子構造を有してなり、該環状分子の少なくとも一部に、活性水素基を有する側鎖が導入されたポリロタキサン（Ａ）、及び、ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）を含む重合性組成物を重合して得られる研磨用ウレタン樹脂を提供する。

Description

ポリロタキサンを用いたウレタン樹脂、および研磨用パッド
　本発明は、新規なウレタン樹脂に関する。具体的には、特定の重合性モノマー成分を重合して得られる新規なウレタン樹脂、および該ウレタン樹脂からなる新規な研磨用パッドに関する。
　研磨用部材とは、相手方の被研磨部材を研磨剤により平坦化する際に使用される部材である。具体的には、該研磨用部材とは、被研磨部材の表面を平坦化するに際し、スラリー等の研磨剤を該表面に供給しながら、該表面に摺動させつつ接触させて使用するものである。例えば、研磨用パッドが含まれる。
　このような研磨用部材には、ポリウレタン樹脂が数多く用いられている。一般的に研磨用部材としては、コスト低減、安定製造、及び生産性の向上から長期にわたって耐摩耗が良好な耐久性の高い材料が常に望まれる。
　研磨用部材は、具体的には、ＣＭＰ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）法におけるパッド材（以下、研磨用パッドとする場合もある）として使用される。ＣＭＰ法は、優れた表面平坦性を付与する研磨方法であり、特に、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、ハードディスク用ガラス基盤、シリコンウェハ、半導体デバイスの製造プロセスで採用されている。
　前記ＣＭＰ法では、通常、研磨加工時に砥粒をアルカリ溶液、又は酸溶液に分散させたスラリー（研磨液）を供給して研磨する方式が一般的に採用されている。すなわち、被研磨物は、スラリー中の砥粒により機械的作用と、アルカリ溶液、又は酸溶液により化学的作用とにより平坦化される。通常、該スラリーを被研磨物の表面に供給し、研磨パッド材を滑らしつつ該表面に接触させることにより、該研磨物の表面を平坦化する。
　前記ＣＭＰ法においての研磨パッドの研磨特性としては、被研磨物に優れた平坦性を与え、研磨レート（研磨速度）が大きいことが要求される。さらには生産性の向上の為、耐摩耗性の向上が望まれている。
　このような研磨パッドの材質としては、ポリオール、およびトルエンジイソシアネートのようなポリイソシアネートを反応させて得られるウレタンプレポリマーを含む主剤と、アミン化合物を含む硬化剤とからなるウレタン硬化性組成物から得られる研磨材が知られている（特許文献１参照）。さらに、より耐摩耗性が向上できるものとして、ポリイソシアネート化合物としてｐ－フェニレンジイソシアネートを使用した研磨材が知られている（特許文献２参照）。
　しかしながら、これら方法に記載されている研磨材は、ポリオール化合物がジオール化合物であり、得られるウレタン樹脂においては、架橋構造がないことから、近年の高度な耐摩耗性の要求に応えるためには改善の余地があった。
　一方、近年、新規な構造のポリマーとして、ポリロタキサンの開発がすすめられている。このポリロタキサンは、軸分子と該軸分子を包接する複数の環状分子とからなる複合分子構造を有する機能的な材料である。具体的な開発例として、例えば、摩耗部分に使用される、摺動性に優れた部材となるポリロタキサンが挙げられる（例えば、特許文献３参照）。
　しかしながら、特許文献３に記載されたポリロタキサンを含む材料は、主に、スポーツ用品、建築材料、又は医療材料に使用することを目的としているためと考えられるが、高度な耐摩耗性を満足するという点では改善の余地があった。
　また、その他、ポリロタキサンを使用して、以下のような樹脂が検討されている。例えば、ポリロタキサンと、熱可塑性ポリウレタンとを含む熱可塑性樹脂（特許文献４参照）が知られている。この特許文献４に記載の熱可塑性樹脂は、ポリロタキサンを含むことにより、熱可塑性ポリウレタン樹脂の機械特性を向上しているが、該ポリロタキサンと熱可塑ポリウレタンとは単に混合されているだけであり、高度な耐摩耗性を満足するという点では、やはり改善の余地があった。
　これに対して、ポリロタキサンそのものをポリウレタンの分子内に取り込み、該ポリウレタンの機械的特性を改善することも行われている（特許文献５～７参照）。
特開２００７－７７２０７号公報 特開２０１５－１７８５５８号公報 国際公開ＷＯ２００６／１１５２５５号パンフレット 国際公開ＷＯ２０１６／１１４２４３号パンフレット 国際公開ＷＯ２０１５／１５９８７５号パンフレット 特開２０１７－４８３０５号公報 特開２０１７－７５３０１号公報
　特許文献５～７に記載のポリウレタンは、より効果的にポリウレタンの機械的特性を向上できる。
　しかしながら、近年、高性能な樹脂の開発が望まれており、特に、研磨用パッドに使用するウレタン樹脂においては、従来のポリウレタン樹脂よりも、より高度な耐摩耗性に優れたものの開発が望まれていた。加えて、例えば、研磨用パッドのような用途においては、ウェハのような半導体材料を研磨する際には、微細な傷を発生させずすなわち耐スクラッチ性がよく、研磨速度が速く、平滑なウェハを安定して製造できるものが望まれている。そのため、耐摩耗性に優れる以外にも、適度な硬度を有し、しかも耐スクラッチ性に優れ、速い研磨速度等で研磨が可能な安定した研磨を行うために低ヒステリシスの弾性回復に優れた研磨用パッドが望まれている。
　したがって、本発明の目的は、耐摩耗性が高く、弾性回復に優れた、低ヒステリシスの摺動部材用となるウレタン樹脂を提供することにある。特に、研磨用パッドとして好適に使用できるウレタン樹脂を提供することにある。
　本発明者等は、上記課題を解決するために鋭意検討した結果、特定の構造を有する、特に、環状分子をより修飾したポリロタキサンとポリイソシアネート化合物を反応させて得られるウレタン樹脂を研磨用部材として使用することにより、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。
　すなわち、本発明によれば、
　（１）軸分子と該軸分子を包接する複数の環状分子とからなる複合分子構造を有してなり、該環状分子の少なくとも一部に、活性水素を持つ基を有する側鎖が導入されたポリロタキサン（Ａ）、及び、
　ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）
を含む重合性組成物を重合して得られるウレタン樹脂が提供される。
　本発明において、上記のポリロタキサン（Ａ）は、複数の環状分子の環内を鎖状の軸分子が貫通しており且つ軸分子の両端に嵩高い基が結合しており、立体障害により環状分子が軸分子から抜けなくなった構造を有している分子の複合体である。
　ポリロタキサンのような分子の複合体は、超分子（Ｓｕｐｒａｍｏｌｅｃｕｌｅ）と呼ばれている。
本発明の重合組成物は、次の態様を好適に採り得る。
　（２）前記重合性組成物が、
　前記ポリロタキサン（Ａ）１００質量部に対して、前記ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）を３～２０００質量部含有する（１）のウレタン樹脂。
　（３）前記重合性組成物が、前記ポリロタキサン（Ａ）以外の、活性水素を持つ基を有する活性水素含有化合物（Ｃ）をさらに含むこと。
　（４）前記活性水素含有化合物（Ｃ）が、活性水素を持つ基としてアミノ基を有する化合物（ＣＡ）を含むこと。
　（５）前記重合性組成物が、
　前記ポリロタキサン（Ａ）１００質量部に対して、
　前記ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）を１０～３０００質量部、及び
　前記活性水素含有化合物（Ｃ）を３～２０００質量部
含有すること。
　（６）前記ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）が、
　分子内に２つの活性水素を持つ基を有する２官能活性水素含有化合物（Ｃ１）と、
　分子内に２つのイソ（チオ）シアネート基を有する２官能イソ（チオ）シアネート基含有化合物（Ｂ１）と、を反応させて得られる、分子の末端にイソ（チオ）シアネート基を有するウレタンプレポリマー（Ｂ２）を含むこと。
　（７）前記ウレタンプレポリマー（Ｂ２）を含む前記ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）のイソシアネート当量が３００～５０００の範囲にあること。
　（８）前記（１）～（７）の何れかに記載のウレタン樹脂からなる研磨用パッド。
　本発明のウレタン樹脂は、後述する実施例でも示されているように、適度な硬度を有し且つ優れた弾性回復（低ヒステリシスロス）と耐摩耗性が高いものである。
　そのため、摺動部材用（研磨材）、例えば、研磨用のパッドとして該ウレタン樹脂を使用した場合には、良好な耐摩耗性だけではなく、優れた研磨特性すなわち高い研磨レートと低スクラッチ性と高平坦性とを発現させることができる。
本発明で使用するポリロタキサン（Ａ）のイメージ図である。
　本発明のウレタン樹脂は、軸分子と該軸分子を包接する複数の環状分子とからなる複合分子構造を有してなり、該環状分子の少なくとも一部に、活性水素を持つ基を有する側鎖が導入されたポリロタキサン（Ａ）、及びポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）を含む重合性組成物を重合させて得られるウレタン樹脂である。
　本発明のウレタン樹脂は、前記ポリロタキサン（Ａ）が分子内に取り込まれた、熱硬化性ウレタン樹脂である。
　先ず、軸分子と該軸分子を包接する複数の環状分子とからなる複合分子構造を有してなり、該環状分子の少なくとも一部に、活性水素を持つ基を有する側鎖が導入されたポリロタキサン（Ａ）（以下、単に「ポリロタキサン（Ａ）」又は「（Ａ）成分」とする場合もある）について説明する。
　＜軸分子と該軸分子を包接する複数の環状分子とからなる複合分子構造を有してなり、該環状分子の少なくとも一部に、活性水素を持つ基を有する側鎖が導入されたポリロタキサン（Ａ）＞
　本発明で使用するポリロタキサン（Ａ）は、図１に示されているように、全体として“１”で示されており、鎖状の軸分子“２”と環状分子“３”と側鎖“５”から形成されている複合分子構造を有している。即ち、鎖状の軸分子“２”を複数の環状分子“３”が包接しており、環状分子“３”が有する環の内部を軸分子“２”が貫通している。従って、環状分子“３”は、軸分子“２”上を自由にスライドし得るのであるが、軸分子“２”の両端には、嵩高い末端基“４”が形成されており、環状分子“３”の軸分子“２”からの脱落が防止されている。さらに、環状分子“３”が有する環には、活性水素を持つ基を有する側鎖“５”が導入されている。
　前記ポリロタキサン（Ａ）は、該環状分子“３”が軸分子“２”上をスライド可能である。それに加え、さらに環状分子“３”から活性水素を持つ基を有する側鎖が導入されていることから、下記に詳述する前記活性水素含有化合物（Ｃ）、およびポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）と反応して架橋構造を形成することもできるし、疑似架橋構造を形成することもできる。その結果、分子運動し易い架橋点を有することがウレタン樹脂の耐摩耗性を向上させているものと推定される。さらに、ウレタン樹脂が、その分子中に前記スライド可能な架橋構造を有するものとなるため、低いヒステリシスロスを有し、優れた機械特性を発現できるものと考えられる。
　前記ポリロタキサン（Ａ）は、国際公開第ＷＯ２０１５／０６８７９８号パンフレット等に記載の方法で合成することができる。前記（Ａ）成分の構成について説明する。
　（ポリロタキサン（Ａ）　軸分子）
　前記ポリロタキサン（Ａ）において、軸分子としては、種々のものが知られており、例えば、鎖状部分としては、環状分子が有する環を貫通し得る限りにおいて直鎖状或いは分岐鎖であってよく、一般にポリマーにより形成される。具体的には、国際公開第ＷＯ２０１５／０６８７９８号パンフレット等に記載されている。
　このような軸分子の鎖状部分を形成する好適なポリマーとしては、例えば、ポリエチレングリコール、ポリイソプレン、ポリイソブチレン、ポリブタジエン、ポリプロピレングリコール、ポリテトラヒドロフラン、ポリジメチルシロキサン、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリビニルアルコール又はポリビニルメチルエーテルを挙げることができ、これらのうち、ポリエチレングリコールが特に好ましいものとして挙げられる。
　さらに、鎖状部分の両端に形成される嵩高い基としては、軸分子からの環状分子の脱離を防ぐ基であれば、特に制限されないが、嵩高さの観点から、例えばアダマンチル基、トリチル基、フルオレセイニル基、ジニトロフェニル基、およびピレニル基を挙げることができ、これらのうち、特に導入のし易さなどの点で、アダマンチル基を挙げることができる。
　前記軸分子の分子量は、特に制限されるものではないが、大きすぎると、粘度が高くなる傾向があり、小さすぎると環状分子の可動性が低下する傾向がある。このような観点から、軸分子の重量平均分子量Ｍｗは、好ましくは１，０００～１００，０００、より好ましくは５，０００～８０，０００、特に好ましくは１０，０００～５０，０００の範囲にある。
　（ポリロタキサン（Ａ）の環状分子）
　また、環状分子は、上記のような軸分子を包接し得る大きさの環を有するものであり、このような環としては、例えばシクロデキストリン環、クラウンエーテル環、ベンゾクラウン環、ジベンゾクラウン環およびジシクロヘキサノクラウン環を挙げることができ、これらのうち特にシクロデキストリン環が好ましい。
　シクロデキストリン環には、α体（環内径０．４５～０．６ｎｍ）、β体（環内径０．６～０．８ｎｍ）、γ体（環内径０．８～０．９５ｎｍ）がある。特に、α－シクロデキストリン環が最も好ましい。
　上記のような環を有する環状分子は、１つの軸分子に複数個が包接している。一般に、軸分子１個当たりに包接し得る環状分子の最大包接数を１としたとき、環状分子の包接数は、０．００１～０．６、より好ましくは、０．００２～０．５、さらに好ましくは０．００３～０．４の範囲にあることが好ましい。
　一つの軸分子に対する環状分子の最大包接数は、軸分子の長さおよび環状分子が有する環の厚みから算出することができる。例えば、軸分子の鎖状部分がポリエチレングリコ－ルで形成され、環状分子が有する環がα－シクロデキストリン環である場合を例にとると、次のようにして最大包接数が算出される。
　即ち、ポリエチレングリコ－ルの繰り返し単位［－ＣＨ２－ＣＨ２Ｏ－］の２単位分がα－シクロデキストリン環１つの厚みに近似する。従って、このポリエチレングリコ－ルの分子量から繰り返し単位数を算出し、この繰り返し単位数の１／２が環状分子の最大包接数として求められる。この最大包接数を１．０とし、環状分子の包接数が前述した範囲に調整されることとなる。
　（ポリロタキサン（Ａ）　環状分子が有する側鎖）
　本発明で使用するポリロタキサン（Ａ）は、前記環状分子に側鎖が導入され、該側鎖が活性水素を持つ基を有することを特徴とする。本発明において、前記環状分子が有する側鎖とは、ある程度の長さを有するものである。そして、該環状分子が直接有する活性水素は、該側鎖が有する活性水素には該当しない。すなわち、例えば、該環状分子がα－シクロデキストリン環である場合には、α－シクロデキストリン環が有する水酸基（ＯＨ基）の活性水素は、該側鎖が有する活性水素には該当しない。本発明においては、ある程度の長さを有する側鎖が活性水素を有することにより、優れた効果を発揮するものと考えられる。後述するが、本発明においては、例えば、環状分子がα－シクロデキストリン環である場合には、該α－シクロデキストリン環が有する水酸基（ＯＨ基）と、他の化合物とを反応させて、他の化合物から形成される側鎖を有する環とし、その際、該側鎖に活性水素を導入することが好ましい。
　前記側鎖が有する活性水素を持つ基としては、例えば水酸基（ＯＨ基）、チオール基（ＳＨ基）、およびアミノ基（－ＮＨ２、又は－ＮＨＲ；Ｒは置換基、例えば、アルキル基）から選択される少なくとも１種の基が挙げられる。その中でもイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）との反応性が良好な点からＯＨ基が好ましい。
　また、活性水素を持つ基を有する側鎖は、特に制限されるものではないが、炭素数が３～２０の範囲にある有機鎖の繰り返しにより形成されていることが好適である。このような側鎖の平均分子量は５０～１０，０００、好ましくは１００～８，０００、より好ましくは２００～５，０００の範囲にあるのがよく、最も好ましくは、３００～１，５００の範囲にある。この側鎖の平均分子量は、側鎖の導入時に使用する量により調整ができ、計算により求めることができるが、１Ｈ－ＮＭＲの測定からも求めることができる。側鎖が短過ぎると、被研磨体の表面の均一な平坦精度が低下する傾向にある。一方、側鎖が長過ぎると、耐摩耗性が低下する傾向にある。
　上記のような側鎖は、環状分子が有する官能基を利用し、この官能基を修飾することによって導入される。例えば、α－シクロデキストリン環は、官能基として１８個のＯＨ基（水酸基）を有しており、このＯＨ基を介して側鎖が導入される。即ち、１つのα－シクロデキストリン環に対しては最大で１８個の側鎖を導入することができることとなる。本発明においては、前述した側鎖の機能を十分に発揮させるためには、このような環が有する全官能基数の６％以上、特に３０％以上が、側鎖で修飾されていることが好ましい。なお、環状分子が有する官能基は、他成分との相溶性に影響を与える場合があり、特に、該官能基がＯＨ基であると、他成分との相溶性に大きな影響を与える。そのため、該官能基が修飾された割合（修飾度）は、６％以上８０％以下であることが好ましく、３０％以上７０％以下であることがより好ましい。なお、下記に詳述するが、環状分子の官能基は、側鎖が有するＯＨ基よりも反応性が低いため、修飾度は低くても相溶性の低下、ブリードアウトの問題は生じ難い。そのため、修飾度は、上記範囲であれば、より優れた効果を発揮する。因みに、上記α－シクロデキストリン環の１８個のＯＨ基の内の９個に側鎖が結合している場合、その修飾度は５０％となる。
　上記のような側鎖（有機鎖）は、活性水素を持つ基をその有機鎖に有するものであれば、直鎖状であってもよいし、分枝状であってもよい。また、開環重合；ラジカル重合；カチオン重合；アニオン重合；原子移動ラジカル重合、ＲＡＦＴ重合、ＮＭＰ重合などのリビングラジカル重合などを利用し、前記環状分子の官能基に、活性水素を持つ基を有する有機鎖（側鎖）を反応させることによって、所望の側鎖を導入することができる。
　例えば、開環重合により、ラクトンや環状エーテル等の環状化合物に由来する側鎖を導入することができる。ラクトンや環状エーテル等の環状化合物を開環重合して導入した側鎖は、該側鎖の末端に活性水素を持つ基としてＯＨ基が導入されることとなる。
　該環状化合物の中でも、入手が容易であり、反応性が高く、さらには大きさ（分子量）の調整が容易であるという観点から、環状エーテルやラクトンを用いることが好ましい。好適な環状化合物の具体例は、以下のとおりである。
　環状エーテル；
　エチレンオキシド、１，２－プロピレンオキシド、エピクロロヒドリン、エピブロモヒドリン、１，２－ブチレンオキシド、２，３－ブチレンオキシド、イソブチレンオキシド、オキセタン、３－メチルオキセタン、３，３－ジメチルオキセタン、テトラヒドロフラン、２－メチルテトラヒドロフラン、３－メチルテトラヒドロフランなど。
　ラクトン化合物；
　４員環ラクトン、例えば、β－プロピオラクトン、β－メチルプロピオラクトン、Ｌ－セリン－β－ラクトンなど。
　５員環ラクトン、例えば、γ－ブチロラクトン、γ－ヘキサノラクトン、γ－ヘプタノラクトン、γ－オクタノラクトン、γ－デカノラクトン、γ－ドデカノラクトン、α－ヘキシル－γ－ブチロラクトン、α－ヘプチル－γ－ブチロラクトン、α－ヒドロキシ－γ－ブチロラクトン、γ－メチル－γ－デカノラクトン、α－メチレン－γ－ブチロラクトン、α，α－ジメチル－γ－ブチロラクトン、Ｄ－エリスロノラクトン、α－メチル－γ－ブチロラクトン、γ－ノナノラクトン、ＤＬ－パントラクトン、γ－フェニル－γ－ブチロラクトン、γ－ウンデカノラクトン、γ－バレロラクトン、２，２－ペンタメチレン－１，３－ジオキソラン－４－オン、α－ブロモ－γ－ブチロラクトン、γ－クロトノラクトン、α－メチレン－γ－ブチロラクトン、α－メタクリロイルオキシ－γ－ブチロラクトン、β－メタクリロイルオキシ－γ－ブチロラクトンなど。
　６員環ラクトン、例えば、δ－バレロラクトン、δ－ヘキサノラクトン、δ－オクタノラクトン、δ－ノナノラクトン、δ－デカノラクトン、δ－ウンデカノラクトン、δ－ドデカノラクトン、δ－トリデカノラクトン、δ－テトラデカノラクトン、ＤＬ－メバロノラクトン、４－ヒドロキシ－１－シクロヘキサンカルボン酸δ－ラクトン、モノメチル－δ－バレロラクトン、モノエチル－δ－バレロラクトン、モノヘキシル－δ－バレロラクトン、１，４－ジオキサン－２－オン、１，５－ジオキセパン－２－オンなど。
　７員環ラクトン、例えば、ノンアルキル－ε－カプロラクトン、ジアルキル－ε－カプロラクトン、モノメチル－ε－カプロラクトン、モノエチル－ε－カプロラクトン、モノヘキシル－ε－カプロラクトン、ジメチル－ε－カプロラクトン、ジ－ｎ－プロピル－ε－カプロラクトン、ジ－ｎ－ヘキシル－ε－カプロラクトン、トリメチル－ε－カプロラクトン、トリエチル－ε－カプロラクトン、トリ－ｎ－ε－カプロラクトン、ε－カプロラクトン、５－ノニル－オキセパン－２－オン、４，４，６－トリメチル－オキセパン－２－オン、４，６，６－トリメチル－オキセパン－２－オン、５－ヒドロキシメチル－オキセパン－２－オンなど。
　８員環ラクトン、例えば、ζ－エナントラクトンなど。
　その他のラクトン、例えば、ラクトン、ラクチド、ジラクチド、テトラメチルグリコシド、１，５－ジオキセパン－２－オン、ｔ－ブチルカプロラクトンなど。
　上記の環状化合物は、単独で使用することができ、また複数種を併用することもできる。
　本発明において、好適に使用される側鎖導入化合物はラクトン化合物であり、ε－カプロラクトン、α－アセチル－γ－ブチロラクトン、α－メチル－γ－ブチロラクトン、γ－バレロラクトン、γ－ブチロラクトン等のラクトン化合物が特に好適であり、もっとも好ましいものはε－カプロラクトンである。
　また、開環重合により環状化合物を反応させて側鎖を導入する場合、環に結合している官能基（例えば水酸基）は反応性に乏しく、特に立体障害などにより大きな分子を直接反応させることが困難な場合がある。このような場合には、例えば、カプロラクトンなどを反応させるために、プロピレンオキシドなどの低分子化合物を官能基と反応させてヒドロキシプロピル化により、反応性に富んだ官能基（水酸基）を導入した後、このヒドロキシプロピル基のヒドロキシル基にカプロラクトンを開環重合させて、大きな側鎖を導入するという手段を採用することができる。この場合、ヒドロキシプロピル化した部分も側鎖と見なすことができる。
　本発明で使用するポリロタキサン（Ａ）において、環状分子に、ＯＨ基（水酸基）を有する側鎖を導入する場合には、側鎖の導入のし易さ、側鎖の大きさ（分子量）の調整のし易さ、および、該ＯＨ基を変性すること等を考慮すると、前記開環重合により側鎖を導入する方法を採用することが好ましい。そのため、末端にＯＨ基を有する側鎖が導入されることが好ましい。
　この他、開環重合により、環状アセタール、環状アミン、環状カーボネート、環状イミノエーテル、環状チオカーボネート等の環状化合物に由来する側鎖を導入することにより、活性水素基を有する側鎖を導入することができる。これらの中でも、好適な環状化合物の具体例は、国際公開第ＷＯ２０１５／０６８７９８号パンフレットに記載されているものが使用できる。
　また、ラジカル重合を利用して環状分子に側鎖を導入する方法は、以下の通りである。
　ポリロタキサンの環状分子が有している環は、ラジカル開始点となる活性部位を有していない。このため、ラジカル重合性化合物を反応させるに先立って、環が有している官能基（ＯＨ基）にラジカル開始点を形成するための化合物を反応させて、ラジカル開始点となる活性部位を形成しておく必要がある。
　上記のようなラジカル開始点を形成するための化合物としては、有機ハロゲン化合物が代表的であり、例えば、２－ブロモイソブチリルブロミド、２－ブロモブチル酸、２－ブロモプロピオン酸、２－クロロプロピオン酸、２－ブロモイソ酪酸、エピクロロヒドリン、エピブロモヒドリン、２－クロロエチルイソシアネートなどを挙げることができる。即ち、かかる有機ハロゲン化合物は、環状分子の環が有している官能基との縮合反応により、該環に結合し、該環にハロゲン原子を含む基（有機ハロゲン化合物残基）を導入する。この有機ハロゲン化合物残基には、ラジカル重合に際して、ハロゲン原子の移動等によりラジカルが生成し、これがラジカル重合開始点となって、ラジカル重合が進行することとなる。
　また、上記のようなラジカル重合開始点となる活性部位を有する基（有機ハロゲン化合物残基）は、例えば環が有している水酸基に、アミン、カルボン酸、イソシアネート、イミダゾール、酸無水物などの官能基を有する化合物を反応させ、水酸基以外の他の官能基を導入し、このような他の官能基に前述した有機ハロゲン化合物を反応させて導入することもできる。
　また、ラジカル重合により側鎖を導入するために用いるラジカル重合性化合物としては、エチレン性不飽和結合を有する基、例えば、（メタ）アクリル基、ビニル基、スチリル基等の官能基を少なくとも１種有する化合物（以下、エチレン性不飽和モノマーと呼ぶ）が好適に使用される。また、エチレン性不飽和モノマーとしては、末端エチレン性不飽和結合を有するオリゴマーもしくはポリマー（以下、マクロモノマーと呼ぶ）も使用することができる。このようなエチレン性不飽和モノマーとしては、好適な環状化合物の具体例は、国際公開第ＷＯ２０１５／０６８７９８号パンフレットに記載されているものが使用できる。
　以上のように、ラジカル重合性化合物を使用して環状分子に側鎖を導入し、該ラジカル重合性化合物が活性水素基を有している場合には、そのまま側鎖が活性水素を持つ基を有することになる。また、該ラジカル重合性化合物が活性水素を持つ基を有するものではない場合には、該ラジカル重合性化合物による側鎖を形成した後、該側鎖の一部を活性水素を持つ基で置換してやればよい。
　（好適なポリロタキサン（Ａ）の構成）
　本発明において、最も好適に使用されるポリロタキサン（Ａ）は、両端にアダマンチル基で結合しているポリエチレングリコールを軸分子とし、α－シクロデキストリン環を有する環状分子とし、さらに、ポリカプロラクトンにより該環に側鎖（末端がＯＨ基）が導入されているものである。この際、α－シクロデキストリン環のＯＨ基をヒドロキシプロピル化した後、開環重合によりポリカプロラクトンを導入してもよい。
　次に、ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）について説明する。
　＜ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）＞
　本発明のポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）（以下、単に「（Ｂ）成分」とする場合もある）は、イソシアネート基を１分子中に２個以上、イソチオシアネート基を１分子中に２個以上、イソシアネート基とイソチオシアネート基との合計の基の数が１分子中に２個以上存在する化合物である。
　また、前記ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）は、ポリイソ（チオ）シアネート化合物と下記するポリ（チ）オール化合物との反応により調製されるウレタンプレポリマー（Ｂ２）を含んでもよい。ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）に該当するウレタンプレポリマー（Ｂ２）は、未反応のイソシアネート基を含む一般に使用されているものが、何ら制限なく、本発明においても使用できる。
　前記ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）としては、例えば、大きく分類すれば、脂肪族イソシアネート、脂環族イソシアネート、芳香族イソシアネート、イソチオシアネート化合物、ウレタンプレポリマー（Ｂ２）に分類することができる。本発明において、前記ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）は、１種類の化合物を使用することもできるし、複数種類の化合物を使用することもできる。複数種類の化合物を使用する場合には、基準となる質量は、複数種類の化合物の合計量である。これらポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）を具体的に例示すると以下の化合物が挙げられる。
　脂肪族イソシアネート；
　エチレンジイソシアネート、トリメチレンジイソシアネート、テトラメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、オクタメチレンジイソシアネート、ノナメチレンジイソシアネート、２，２’－ジメチルペンタンジイソシアネート、２，２，４－トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、デカメチレンジイソシアネート、ブテンジイソシアネート、１，３－ブタジエン－１，４－ジイソシアネート、２，４，４－トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、１，６，１１－トリメチルウンデカメチレンジイソシアネート、１，３，６－トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、１，８－ジイソシアネート－４－イソシアネートメチルオクタン、２，５，７－トリメチル－１，８－ジイソシアネート－５－イソシアネートメチルオクタン、ビス（イソシアネートエチル）カーボネート、ビス（イソシアネートエチル）エーテル、１，４－ブチレングリコールジプロピルエーテル－ω，ω’－ジイソシアネート、リジンジイソシアネートメチルエステル、２，４，４，－トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート等の２官能イソシアネート化合物（下記に詳述するウレタンプレポリマー（Ｂ２）を構成する２官能イソ（チオ）シアネート基含有化合物（Ｂ１）に該当する）、
　リジントリイソシアネート、２－イソシアネートエチル－２，６－ジイソシアネートヘキサノエ－ト、２－イソシアネートプロピル－２，６－ジイソシアネートヘキサノエート等の多官能イソシアネート化合物。
　脂環族イソシアネート；
　イソホロンジイソシアネート、（ビシクロ［２．２．１］ヘプタン－２，５－ジイル）ビスメチレンジイソシアネート、（ビシクロ［２．２．１］ヘプタン－２，６－ジイル）ビスメチレンジイソシアネート、２β，５α－ビス（イソシアネート）ノルボルナン、２β，５β－ビス（イソシアネート）ノルボルナン、２β，６α－ビス（イソシアネート）ノルボルナン、２β，６β－ビス（イソシアネート）ノルボルナン、２，６－ジ（イソシアネートメチル）フラン、ビス（イソシアネートメチル）シクロヘキサン、ジシクロヘキシルメタン－４，４’－ジイソシアネート、４，４－イソプロピリデンビス（シクロヘキシルイソシアネート）、シクロヘキサンジイソシアネート、メチルシクロヘキサンジイソシアネート、ジシクロヘキシルジメチルメタンジイソシアネート、２，２’－ジメチルジシクロヘキシルメタンジイソシアネート、ビス（４－イソシアネート－ｎ－ブチリデン）ペンタエリスリトール、ダイマー酸ジイソシアネート、２，５－ビス（イソシアネートメチル）－ビシクロ〔２，２，１〕－ヘプタン、２，６－ビス（イソシアネートメチル）－ビシクロ〔２，２，１〕－ヘプタン、３，８－ビス（イソシアネートメチル）トリシクロデカン、３，９－ビス（イソシアネートメチル）トリシクロデカン、４，８－ビス（イソシアネートメチル）トリシクロデカン、４，９－ビス（イソシアネートメチル）トリシクロデカン、１，５－ジイソシアネートデカリン、２，７－ジイソシアネートデカリン、１，４－ジイソシアネートデカリン、２，６－ジイソシアネートデカリン、ビシクロ［４．３．０］ノナン－３，７－ジイソシアネート、ビシクロ［４．３．０］ノナン－４，８－ジイソシアネート、ビシクロ［２．２．１］ヘプタン－２，５－ジイソシアネートとビシクロ［２．２．１］ヘプタン－２，６－ジイソシアネート、ビシクロ［２，２，２］オクタン－２，５－ジイソシアネート、ビシクロ［２，２，２］オクタン－２，６－ジイソシアネート、トリシクロ［５．２．１．０２.６］デカン－３，８－ジイソシアネート、トリシクロ［５．２．１．０２.６］デカン－４，９－ジイソシアネート等の２官能イソシアネート化合物（下記に詳述するウレタンプレポリマー（Ｂ２）を構成する２官能イソ（チオ）シアネート基含有化合物（Ｂ１）に該当する）、
　２－イソシアネートメチル－３－（３－イソシアネートプロピル）－５－イソシアネートメチル－ビシクロ〔２，２，１〕－ヘプタン、２－イソシアネートメチル－３－（３－イソシアネートプロピル）－６－イソシアネートメチル－ビシクロ〔２，２，１〕－ヘプタン、２－イソシアネートメチル－２－（３－イソシアネートプロピル）－５－イソシアネートメチル－ビシクロ〔２，２，１〕－ヘプタン、２－イソシアネートメチル－２－（３－イソシアネートプロピル）－６－イソシアネートメチル－ビシクロ〔２，２，１〕－ヘプタン、２－イソシアネートメチル－３－（３－イソシアネートプロピル）－５－（２－イソシアネートエチル）－ビシクロ〔２，２，１〕－ヘプタン、２－イソシアネートメチル－３－（３－イソシアネートプロピル）－６－（２－イソシアネートエチル）－ビシクロ〔２，１，１〕－ヘプタン、２－イソシアネートメチル－２－（３－イソシアネートプロピル）－５－（２－イソシアネートエチル）－ビシクロ〔２，２，１〕－ヘプタン、２－イソシアネートメチル－２－（３－イソシアネートプロピル）－６－（２－イソシアネートエチル）－ビシクロ〔２，２，１〕－ヘプタン、１，３，５－トリス（イソシアネートメチル）シクロヘキサン等の多官能イソシアネート化合物。
　芳香族イソシアネート；
　キシリレンジイソシアネート（ｏ－、ｍ－，ｐ－）、テトラクロロ－ｍ－キシリレンジイソシアネート、メチレンジフェニル－４，４’－ジイソシアネート、４－クロル－ｍ－キシリレンジイソシアネート、４，５－ジクロル－ｍ－キシリレンジイソシアネート、２，３，５，６－テトラブロム－ｐ－キシリレンジイソシアネート、４－メチル－ｍ－キシリレンジイソシアネート、４－エチル－ｍ－キシリレンジイソシアネート、ビス（イソシアネートエチル）ベンゼン、ビス（イソシアネートプロピル）ベンゼン、１，３－ビス（α，α－ジメチルイソシアネートメチル）ベンゼン、１，４－ビス（α，α－ジメチルイソシアネートメチル）ベンゼン、α，α，α’，α’－テトラメチルキシリレンジイソシアネート、ビス（イソシアネートブチル）ベンゼン、ビス（イソシアネートメチル）ナフタリン、ビス（イソシアネートメチル）ジフェニルエーテル、ビス（イソシアネートエチル）フタレート、２，６－ジ（イソシアネートメチル）フラン、フェニレンジイソシアネート（ｏ－，ｍ－，ｐ－）、トリレンジイソシアネート、エチルフェニレンジイソシアネート、イソプロピルフェニレンジイソシアネート、ジメチルフェニレンジイソシアネート、ジエチルフェニレンジイソシアネート、ジイソプロピルフェニレンジイソシアネート、トリメチルベンゼントリイソシアネート、ベンゼントリイソシアネート、１，３，５－トリイソシアネートメチルベンゼン、１，５－ナフタレンジイソシアネート、メチルナフタレンジイソシアネート、ビフェニルジイソシアネート、２，４－トリレンジイソシアネート、２，６－トリレンジイソシアネート、４，４’－ジフェニルメタンジイソシアネート、２，２'－ジフェニルメタンジイソシアネート、２，４'－ジフェニルメタンジイソシアネート、３，３’－ジメチルジフェニルメタン－４，４’－ジイソシアネート、ビベンジル－４，４’－ジイソシアネート、ビス（イソシアネートフェニル）エチレン、３，３’－ジメトキシビフェニル－４，４’－ジイソシアネート、フェニルイソシアネートメチルイソシアネート、フェニルイソシアネートエチルイソシアネート、テトラヒドロナフチレンジイソシアネート、ヘキサヒドロベンゼンジイソシアネート、ヘキサヒドロジフェニルメタン－４，４’－ジイソシアネート、ジフェニルエーテルジイソシアネート、エチレングリコ－ルジフェニルエーテルジイソシアネート、１，３－プロピレングリコールジフェニルエーテルジイソシアネート、ベンゾフェノンジイソシアネート、ジエチレングリコ－ルジフェニルエーテルジイソシアネート、ジベンゾフランジイソシアネート、カルバゾールジイソシアネート、エチルカルバゾールジイソシアネート、ジクロロカルバゾールジイソシアネート、２，４－トリレンジイソシアネート、２，６－トリレンジイソシアネート等の２官能イソシアネート化合物（下記に詳述するウレタンプレポリマー（Ｂ２）を構成する２官能イソ（チオ）シアネート基含有化合物（Ｂ１）に該当する）、
　メシチリレントリイソシアネート、トリフェニルメタントリイソシアネート、ポリメリックＭＤＩ、ナフタリントリイソシアネート、ジフェニルメタン－２，４，４’－トリイソシアネート、３－メチルジフェニルメタン－４，４’，６－トリイソシアネート、４－メチル－ジフェニルメタン－２，３，４’，５，６－ペンタイソシアネート等の多官能イソシアネート化合物。
　イソチオシアネート化合物；
　ｐ－フェニレンジイソチオシアネート、キシリレン－１，４－ジイソチオシアネート、及びエチリジンジイソチオシアネート等の２官能イソ（チオ）シアネート基含有化合物（下記に詳述するウレタンプレポリマー（Ｂ２）を構成する２官能イソ（チオ）シアネート基含有化合物（Ｂ１）に該当する）。
　＜好適なポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）＞
　以上のような該ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）の中でも、好適な化合物としては、以下の化合物が挙げられる。
　該ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）の好ましい例としては、下記式（１）～（７）で示される化合物、１，５－ナフタレンジイソシアネートが挙げられる。その他にも、１，５－ナフタレンジイソシアネート、および、下記式（１）～（７）に挙げられるイソシアネートとポリオールからなるウレタンプレポリマー（Ｂ２）も好適に用いられる。さらに、製品として販売している変性体イソ（チオ）シアネート化合物で好適な例を例示するとカルボジイミド変性ＭＤＩ（例えば、製品名ミリオネートＭＴＬシリーズ　東ソー株式会社製）、ポリオール変性イソシアネート（例えば、製品名コロネート１１０８、コロネート１１２０、コロネート１３３４、コロネート１０５０、コロネート１０５７　東ソー株式会社製）等が挙げられる。これら化合物は、単独で使用することもできるし、２種類以上の化合物を使用することもできる。
　（アルキレン鎖を有する化合物）
　下記式（１）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000001
（ここで、
　Ａは、炭素数１～１０のアルキレン基であり、前記アルキレン基の鎖中の炭素原子は硫黄原子に置換された基であってもよい。）で示される化合物を使用することが好ましい。前記式（１）で示される化合物は、下記に詳述するウレタンプレポリマー（Ｂ２）を構成する２官能イソ（チオ）シアネート基含有化合物（Ｂ１）に該当する。
　Ａは、炭素数１～１０のアルキレン基であり、直鎖状、又は分岐鎖状の基であってもよい。中でも、炭素数５～１０のペンタメチレン基、ヘキサメチレン基、又はヘプタメチレン基、オクタメチレン基の直鎖状の基、又は、ペンタメチレン基、ヘキサメチレン基、ヘプタメチレン基、オクタメチレン基の水素原子の一部がメチル基に置換された分岐鎖状の基が好ましい。
　前記式（１）で示される化合物を具体的に例示すると、エチレンジイソシアネート、ペンタメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、ヘプタメチレンジイソシアネート、オクタメチレンジイソシアネート、２，４，４，－トリメチルヘキサンメチレンジイソシアネート等が挙げられる。これら化合物は、単独で使用することもできるし、２種類以上の化合物を使用することもできる。
　（分子内に１つのフェニル基、又はシクロヘキサン基（環）を有する化合物）
　下記式（２）、または下記式（３）：
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000002
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000003
（ここで、式（２）、（３）それぞれ中の、表示された２つの
　Ｒ１は、それぞれ、炭素数１～４のアルキル基、又は水素原子であり、同一の基であっても、異なる基であってもよく、
　Ｒ２は炭素数１～４のアルキル基であり、Ｒ２が複数存在する場合には、同一の基であっても、異なる基であってよく、
　ａは整数で２又は３であり、ｂは整数で０～４であり、ｃは整数で０～４である。）で示される化合物を使用することが好ましい。前記式（２）で示される化合物と前記式（３）で示される化合物の違いは、フェニル基を有する化合物（前記式（２）で示される化合物）とシクロヘキサン基（環）を有する化合物（前記式（３）で示される化合物）との違いである。なお、前記式（２）、または（３）で示される化合物において、ａが２となる場合（イソシアネート基が２個となる化合物の場合）は下記に詳述するウレタンプレポリマー（Ｂ２）を構成する２官能イソ（チオ）シアネート基含有化合物（Ｂ１）に該当する。
　Ｒ１における炭素数１～４のアルキル基は、直鎖状、又は分岐鎖状の基であってもよい。中でも、　Ｒ１は、水素原子、メチル基、エチル基であることが特に好ましい。
　Ｒ２において、炭素数１～４のアルキル基は、直鎖状、又は分岐鎖状の基であってもよい。中でも、　Ｒ２は、水素原子、メチル基、エチル基であることが特に好ましい。
　前記式（２）、又は前記式（３）で示される化合物を具体的に例示すれば、イソホロンジイソシアネート、キシレンジイソシアネート（ｏ－，ｍ－，ｐ－）、２，４－トリレンジイソシアネート、２，６－トリレンジイソシアネート、フェニレンジイソシアネート（ｏ－，ｍ－，ｐ－）等が挙げられる。これら化合物は、単独で使用することもできるし、２種類以上の化合物を併用することもできる。
　（分子内に２つのフェニル基、又は２つのシクロヘキサン基（環）を有する化合物）
　下記式（４）、下記式（５）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000004
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000005
（ここで、式（４）、（５）それぞれ中の、表示された４つの
　Ｒ３は、それぞれ、炭素数１～４のアルキル基、又は水素原子であり、同一の基であっても、異なる基であってもよく、
　ｄは整数で０～４である。）で示される化合物を使用することが好ましい。前記式（４）で示される化合物と前記式（５）で示される化合物の違いは、フェニル基を２個有する化合物（前記式（４）で示される化合物）とシクロヘキサン基（環）を２個有する化合物（前記式（５）で示される化合物）との違いである。なお、前記式（４）、又は（５）で示される化合物は、下記に詳述するウレタンプレポリマー（Ｂ２）を構成する２官能イソ（チオ）シアネート基含有化合物（Ｂ１）に該当する。
　Ｒ３における炭素数１～４のアルキル基は、直鎖状、又は分岐鎖状の基であってもよい。中でも、Ｒ３は、水素原子、メチル基、エチル基であることが特に好ましい。
　前記式（４）、又は前記式（５）で示される化合物を具体的に例示すれば、２，２'－ジフェニルメタンジイソシアネート、２，４'－ジフェニルメタンジイソシアネート、４，４'－ジフェニルメタンジイソシアネート、ジシクロヘキシルメタン－４，４'－ジイソシアネート等が挙げられる。これら化合物は、単独で使用することもできるし、２種類以上の化合物を使用することもできる。
　（ノルボルナン環を有する化合物）
　下記式（６）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000006
（式中、
　Ｒ４は、それぞれ、炭素数１～４のアルキル基、又は水素原子であり、同一の基であっても、異なる基であってよく、ｅは整数で０～４である。）で示される化合物である。前記式（６）で示される化合物は、下記に詳述するウレタンプレポリマー（Ｂ２）を構成する２官能イソ（チオ）シアネート基含有化合物（Ｂ１）に該当する。
　Ｒ４における炭素数１～４のアルキル基は、直鎖状、又は分岐鎖状の基であってもよい。中でも、Ｒ４は、水素原子、メチル基、エチル基であることが特に好ましい。
　前記式（６）で示される化合物を具体的に例示すれば、ノルボルナンジイソシアネート、２，５－ビス（イソシアネートメチル）－ビシクロ〔２，２，１〕－ヘプタン、２，６－ビス（イソシアネートメチル）－ビシクロ〔２，２，１〕－ヘプタンが挙げられる。これら化合物は、単独で使用することもできるし、２種類以上の化合物を使用することもできる。
　（高分子量化合物）
　下記式（７）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000007
（ここで、表示された２つのＲ５は、それぞれ、炭素数１～４のアルキル基であり、同一の基であっても、異なる基であってよく、ｆは整数で１以上１００以下の数である。）で示される化合物である。
　Ｒ５における炭素数１～４のアルキル基は、直鎖状、又は分岐鎖状の基であってもよい。中でも、Ｒ５は、メチル基、エチル基であることが特に好ましい。
　前記式（７）で示される化合物を具体的に例示すれば、ポリメリックＭＤＩ例えば、製品名ミリオネートＭＲシリーズ　東ソー株式会社製が挙げられる。これら化合物は、単独で使用することもできるし、２種類以上の化合物を使用することもできる。
　（特に好適なポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ））
　上記記載の好ましいイソ（チオ）シアネートの中でも、さらに好適なイソ（チオ）シアネート化合物としては、芳香族イソシアネート、及びその変性体（ウレタンプレポリマー（Ｂ２））等が挙げられる。その中でも、特に該ウレタンプレポリマー（Ｂ２）を使用することが好ましい。
　（特に好適なポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）：ウレタンプレポリマー（Ｂ２））
　本発明おいては、ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）として、
　分子内に２つの活性水素を持つ基を有する２官能活性水素含有化合物（Ｃ１）と、
　分子内に２つのイソ（チオ）シアネート基を有する２官能イソ（チオ）シアネート基含有化合物（Ｂ１）と、を反応させて得られる、分子の末端にイソ（チオ）シアネート基を有するウレタンプレポリマー（Ｂ２）を使用することが好ましい。
　前記２官能活性水素含有化合物（Ｃ１）は、下記に詳述する活性水素含有化合物（Ｃ）に含まれるものであり、該活性水素含有化合物（Ｃ）のうち、分子内に２つの活性水素を持つ基を有する化合物が該当する。
　また、２官能イソ（チオ）シアネート基含有化合物（Ｂ１）は、前記ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）で説明した化合物のうち、分子内に２つのイソ（チオ）シアネート基を有する化合物が該当する。
　本発明においては、前記２官能イソ（チオ）シアネート基含有化合物（Ｂ１）と前記２官能活性水素含有化合物（Ｃ１）とを反応して得られるウレタンプレポリマー（Ｂ２）を、ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）として使用することが好ましい。すなわち、下記の重合方法の箇所で説明するが、先ず、該ウレタンプレポリマー（Ｂ２）を準備し、次いで、該ウレタンプレポリマー（Ｂ２）と、前記ポリロタキサン（Ａ）、および必要に応じて下記に詳述する活性水素含有化合物（Ｃ）とを反応（重合）させて、ウレタン樹脂を製造することが好ましい（以下、この方法を「プレポリマー法」とする場合もある。）。また、該ウレタンプレポリマー（Ｂ２）と、前記ポリロタキサン（Ａ）、および必要に応じて下記に詳述する活性水素含有化合物（Ｃ）とを反応（重合）させる際には、ウレタンプレポリマー（Ｂ２）は、２種類以上のもの、例えば、構成成分が異なるもの、分子量が異なるもの等を組み合わせて使用することができる。また、該プレポリマー（Ｂ２）を使用する際に、必要に応じて、その他のポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）も同時に使用することもできる。
　ウレタンプレポリマー（Ｂ２）とする場合には、特に制限されるものではないが、２官能イソ（チオ）シアネート基含有化合物（Ｂ１）としては、特に、次に例示する化合物を使用することが好ましい。具体的には、１，５－ナフタレンジイソシアネート、キシレンジイソシアネート（ｏ－，ｍ－，ｐ－）、２，４－トリレンジイソシアネート、２，６－トリレンジイソシアネート、フェニレンジイソシアネート（ｏ－，ｍ－，ｐ－）、２，２'－ジフェニルメタンジイソシアネート、２，４'－ジフェニルメタンジイソシアネート、４，４'－ジフェニルメタンジイソシアネートを使用することが好ましい。
　一方、前記２官能活性水素含有化合物（Ｃ１）としては、下記に詳述する活性水素含有化合物（Ｃ）のうち、分子内に２つの、活性水素を持つ基（－ＯＨ、アミノ基等）を有する化合物であれば、特に制限されるものではない。中でも、該ウレタンプレポリマー（Ｂ２）を構成する２官能活性水素含有化合物としては、特に以下の化合物を使用することが好ましい。具体的には、
ポリエステルポリオールの分子の両末端にのみ（分子内に２つの）水酸基を有するもの、ポリエーテルポリオール分子の両末端にのみ（分子内に２つの）水酸基を有するもの、
ポリカプロラクトンポリオール分子の両末端にのみ（分子内に２つの）水酸基を有するもの、
ポリカーボネートポリオール分子の両末端にのみ（分子内に２つの）水酸基を有するもの、
エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、ブチレングリコール、１，５－ジヒドロキシペンタン、１，６－ジヒドロキシヘキサン、１，７－ジヒドロキシヘプタン、１，８－ジヒドロキシオクタン、１，９－ジヒドロキシノナン、１，１０－ジヒドロキシデカン、１，１１－ジヒドロキシウンデカン、１，１２－ジヒドロキシドデカン、ネオペンチルグリコールを挙げることができる。
　以上の中でも、最終的に得られるウレタン樹脂が、特に優れた特性を発揮するためには、少なくとも１種類の分子量（数平均分子量）が５００～２０００の２官能活性水素含有化合物（Ｃ１）を使用してウレタンプレポリマー（Ｂ２）を製造することが好ましい。５００～２０００の２官能活性水素含有化合物（Ｃ１）は、種類の異なるもの、分子量の異なるものを組み合わせて使用することもできる。また、最終的に得られるウレタン樹脂の硬度等を調整するために、ウレタンプレポリマー（Ｂ２）を形成する際に、該分子量（数平均分子量）が５００～２０００の２官能活性水素含有化合物（Ｃ１）と、該分子量（数平均分子量）が９０～３００の２官能活性水素含有化合物（Ｃ１）とを組み合わせて使用することもできる。この場合、使用する２官能活性水素含有化合物（Ｃ１）、およびポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）の種類、およびそれらの使用量にもよるが、分子量５００～２０００の２官能活性水素含有化合物（Ｃ１）を１００質量部とした時、分子量９０～３００の２官能活性水素含有化合物（Ｃ１）を１～１００質量部とすることが好ましい。
　また、ウレタンプレポリマー（Ｂ２）は、分子の両末端がイソ（チオ）シアネート基とならなければならない。そのため、ウレタンプレポリマー（Ｂ２）は、２官能イソ（チオ）シアネート基含有化合物（Ｂ１）におけるイソ（チオ）シアネート基のモル数（ｎ１）と２官能活性水素含有化合物（Ｃ１）の活性水素のモル数（ｎ２）とが、１＜（ｎ１）／（ｎ２）≦２．３となる範囲で製造することが好ましい。２種類以上の、分子の末端がイソ（チオ）シアネート基含有化合物（Ｂ１）を用いる場合、該イソ（チオ）シアネート基のモル数（ｎ１）は、それらイソ（チオ）シアネート基含有化合物（Ｂ１）の合計のイソ（チオ）シアネート基のモル数とする。また、２種類以上の２官能活性水素含有化合物（Ｃ１）を用いた場合、該活性水素のモル数（ｎ２）は、それら２官能活性水素含有化合物の合計の活性水素のモル数とする。
　なお、下記に詳述するが、該２官能活性水素含有化合物（Ｃ１）において、アミノ基を有する化合物の場合、アミノ基のモル数と活性水素のモル数とは等しいものとする。
　また、特に制限されるものではないが、前記ウレタンプレポリマー（Ｂ２）は、イソ（チオ）シアネート当量（ウレタンプレポリマー（Ｂ２）の分子量を１分子中のイソ（チオ）シアネート基の数で割った値）が、好ましくは３００～５０００、より好ましくは５００～３０００、特に好ましくは７００～２０００となるものである。本発明におけるウレタンプレポリマー（Ｂ２）は、好ましくは、２官能イソ（チオ）シアネート基含有化合物（Ｂ１）と２官能活性水素含有化合物（Ｃ１）とから合成される直鎖状のものであるため、この場合には１分子中のイソ（チオ）シアネート基の数は２となる。
　なお、該ウレタンプレポリマー（Ｂ２）を使用する場合、該ウレタンプレポリマー（Ｂ２）と２官能イソ（チオ）シアネート基含有化合物（Ｂ１）とを併用して使用することができる。この場合であっても、前記イソ（チオ）シアネート当量は３００～５０００となることが好ましい。つまり、該ウレタンプレポリマー（Ｂ２）と２官能イソ（チオ）シアネート基含有化合物（Ｂ１）とから成るポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）中の平均のイソ（チオ）シアネート当量が３００～５０００となることが好ましい。平均のイソ（チオ）シアネート当量が３００～５０００となることにより、ある程度の分子量を有するポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）を使用することになり、優れた効果を発揮するものと考えられる。
　ただし、本発明においては、１＜（ｎ１）／（ｎ２）≦２となる範囲でウレタンプレポリマー（Ｂ２）を製造して、２官能イソ（チオ）シアネート基含有化合物（Ｂ１）が含まれない状態とすることが好ましい。つまり、ウレタンプレポリマー（Ｂ２）のみからなるポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）を使用し、該ウレタンプレポリマー（Ｂ２）のイソ（チオ）シアネート当量が３００～５０００となることが好ましい。
　該ウレタンプレポリマー（Ｂ２）のイソ（チオ）シアネート当量は、ウレタンプレポリマー（Ｂ２）が有するイソ（チオ）シアネート基をＪＩＳ　Ｋ　７３０１に準拠して定量することにより、求めることができる。該イソ（チオ）シアネート基は、以下の逆滴定法によって定量できる。先ず、得られたウレタンプレポリマー（Ｂ２）を乾燥溶媒に溶解させる。次に、ウレタンプレポリマー（Ｂ）が有するイソ（チオ）シアネート基の量よりも、明らかに過剰量であって、かつ濃度が既知のジ－ｎ－ブチルアミンを、該乾燥溶媒に加え、ウレタンプレポリマー（Ｂ２）の全イソ（チオ）シアネート基とジ－ｎ－ブチルアミンとを反応させる。次いで、消費されなかった（反応に関与しなかった）ジ－ｎ－ブチルアミンを酸で滴定して、消費されたジ－ｎ－ブチルアミンの量を求める。この消費されたジ－ｎ－ブチルアミンと、ウレタンプレポリマー（Ｂ２）が有するイソ（チオ）シアネート基とは、同量であることからイソ（チオ）シアネート当量を求めることができる。また、ウレタンプレポリマー（Ｂ２）は、両末端がイソ（チオ）シアネート基の直鎖状のウレタンプレポリマーであることから、ウレタンプレポリマー（Ｂ２）の数平均分子量は、イソ（チオ）シアネート当量の２倍となる。このウレタンプレポリマー（２）の分子量は、ゲルパーミネーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）で測定した値と一致し易い。なお、該ウレタンプレポリマー（Ｂ２）と２官能イソ（チオ）シアネート基含有化合物（Ｂ１）とを併用して使用する場合には、両者の混合物を上記方法に沿って測定すればよい。
　前記ウレタンプレポリマー（Ｂ２）は、イソ（チオ）シアネート当量が好ましくは３００～５０００、より好ましくは５００～３０００、特に好ましくは７００～２０００となる理由は、明らかではないが、以下のように考えられる。すなわち、ある程度の分子量を有するウレタンプレポリマー（Ｂ２）がポリロタキサン（Ａ）の側鎖の水酸基等と反応することにより、スライド可能な分子が大きくなって分子自体の動きが大きくなり、その結果、変形に対しても回復（弾性回復；低ヒステリック）し易くなると考えられる。さらには、ウレタンプレポリマー（Ｂ２）が使用されることにより、ウレタン樹脂における架橋点が分散し易くなってランダムに且つ均一に存在するようになり、安定した性能が発揮されるものと考えられる。そして、ウレタンプレポリマー（Ｂ２）を使用して得られるウレタン樹脂は、製造時の制御がし易くなり、加えて研磨用パッドとして好適に使用できるようになると考えられる。このような効果は、ウレタンプレポリマー（Ｂ２）と２官能イソ（チオ）シアネート基含有化合物（Ｂ１）とを併用した場合において、ポリイソ（チオ）シアネート化合物の平均のイソ（チオ）シアネート当量が３００～５０００であっても、発現するものと考えられる。ただし、前記効果は、ウレタンプレポリマー（Ｂ２）のみである場合の方が顕著になると考えられる。
　さらに、前記ウレタンプレポリマー（Ｂ２）は、ウレタンプレポリマー（Ｂ２）のイソ（チオ）シアネート当量から求められる、ウレタンプレポリマー（Ｂ２）中に存在するイソ（チオ）シアネート含有量（（Ｉ）；質量モル濃度（ｍｏｌ／ｋｇ））と、ウレタンプレポリマー（Ｂ２）中に存在する（チオ）ウレタン結合（（チオ）ウレア結合を含む）含有量（（Ｕ）；質量モル濃度（ｍｏｌ／ｋｇ））が、１≦（Ｕ）／（Ｉ）≦１０になることが好ましい。この範囲は、ウレタンプレポリマー（Ｂ２）と２官能イソ（チオ）シアネート基含有化合物（Ｂ１）とを併用して使用する場合も同じである。ただし、本発明においては、ウレタンプレポリマー（Ｂ２）のみであることが好ましい。この理由も明らかではないが、（チオ）ウレタン結合（（チオ）ウレア結合を含む）が存在することにより、水素結合等の作用により、他分子との相互作用が生じ易くなり、得られるウレタン樹脂の特性を高めることができる。なお、イソ（チオ）シアネート含有量（（Ｉ）；質量モル濃度（ｍｏｌ／ｋｇ））は、イソ（チオ）シアネート当量の逆数に１０００をかけた値である。また、ウレタンプレポリマー中に存在する（チオ）ウレタン結合（（チオ）ウレア結合を含む）含有量　（Ｕ）質量モル濃度（ｍｏｌ／ｋｇ）は、例えば、下記の手法で理論値が求められる。即ち、ウレタンプレポリマー（Ｂ２）を構成する２官能活性水素含有化合物（Ｃ１）、および２官能イソ（チオ）シアネート基含有化合物（Ｂ１）中に存在する、反応前のイソ（チオ）シアネート基の含有量を全イソシアネート含有量（（ａＩ）；質量モル濃度（ｍｏｌ／ｋｇ））とすると、（チオ）ウレタン結合（（チオ）ウレア結合を含む）含有量（（Ｕ）；質量モル濃度（ｍｏｌ／ｋｇ））は、（Ｂ）成分の全イソ（チオ）シアネート基の含有量（（ａＩ）；質量モル濃度（ｍｏｌ／ｋｇ））からイソシアネート含有量（（Ｉ）；質量モル濃度（ｍｏｌ／ｋｇ））を引いた値（（Ｕ）＝（ａＩ）－（Ｉ））となる。
　（重合性組成物が含むその他の成分）
　本発明の研磨用ウレタン樹脂は、前記ポリロタキサン（Ａ）、および前記ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）を含む重合性組成物を重合して得られるものである。本発明において、前記重合性組成物は、前記の２成分に加えて、その他の成分を配合することもできる。
　重合に関与する成分としては、前記ポリロタキサン（Ａ）以外の、活性水素を持つ基を有する活性水素含有化合物（Ｃ）を含むことができる。次に、この活性水素含有化合物（Ｃ）について説明する。
　＜活性水素含有化合物（Ｃ）＞
　本発明で使用する活性水素含有化合物（Ｃ）（以下、単に「（Ｃ）成分」とする場合もある）は、前記ポリロタキサン（Ａ）以外の、活性水素を持つ基を有する化合物である。該活性水素を持つ基としては、（ポリロタキサン（Ａ）の環状分子が有する側鎖）の項目で説明した基と同一の基が挙げられる。
　本発明で使用する重合性組成物が（Ｃ）成分を含むことにより、得られるウレタン樹脂の架橋密度を調製することができる。その結果、得られるウレタン樹脂が優れた効果を発揮するものと考えられる。
　前記活性水素含有化合物（Ｃ）は、少なくとも上述した活性水素を持つ基を１つ以上有している化合物であれば何ら制限なく用いることが可能である。また１つの分子中に数種類の活性水素を持つ基を有していてもよい。さらに、これらの活性水素含有化合物（Ｃ）は、複数種類の化合物を使用することもできる。複数種類の化合物を使用する場合には、基準となる質量は、複数種類の化合物の合計量である。なお、本発明で使用する活性水素含有化合物（Ｃ）を例示するとすれば、以下のようなものが例示できる。
　（活性水素含有化合物（Ｃ）；ＯＨ基を有する化合物）
　ＯＨ基を有する化合物としては、例えば、ポリオール化合物が挙げられる。ポリオール化合物としては、１分子中に２個以上のＯＨ基を含有する化合物である。
　例えば、炭素数２～１０のアルキレン基の両末端にＯＨを有する化合物、具体的には、ジメチル－、トリメチル－、テトラメチル－、ペンタメチル－、ヘキサメチル－ジヒドロキシ化合物が挙げられる。その他、１分子中に２個以上のＯＨ基を含有するポリエステル（ポリエステルポリオール）、１分子中に２個以上のＯＨ基を含有するポリエーテル（以下ポリエーテルポリオールという）、１分子中に２個以上のＯＨ基を含有するポリカーボネート（ポリカーボネートポリオール）、１分子中に２個以上のＯＨ基を含有するポリカプロラクトン（ポリカプロラクトンポリオール）、１分子中に２個以上のＯＨ基を含有するアクリル系重合体（ポリアクリルポリオール）を代表的として挙げることができる。
　また、これらのポリオール化合物は、前述するポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）との反応により調製されるプレポリマーを含んでもよい。前記活性水素含有化合物（Ｃ）において、ポリオール化合物のプレポリマーとしては、未反応のＯＨ基を両末端に有する、公知の化合物が挙げられる。
　これらの化合物を具体的に例示すると次のとおりである。
　脂肪族アルコール；
　エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、ブチレングリコール、１，５－ジヒドロキシペンタン、１，６－ジヒドロキシヘキサン、１，７－ジヒドロキシヘプタン、１，８－ジヒドロキシオクタン、１，９－ジヒドロキシノナン、１，１０－ジヒドロキシデカン、１，１１－ジヒドロキシウンデカン、１，１２－ジヒドロキシドデカン、ネオペンチルグリコール、モノオレイン酸グリセリル、モノエライジン、ポリエチレングリコール、３－メチル－１，５－ジヒドロキシペンタン、ジヒドロキシネオペンチル、２－エチル－１，２－ジヒドロキシヘキサン、２－メチル－１，３－ジヒドロキシプロパン等の２官能活性水素含有化合物（前記ウレタンプレポリマー（Ｂ２）を構成する２官能活性水素含有化合物（Ｃ１）に該当する）、
　グリセリン、トリメチロールエタン、トリメチロールプロパン、ジトリメチロールプロパン、トリメチロールプロパントリポリオキシエチレンエーテル（例えば、日本乳化剤株式会社のＴＭＰ－３０、ＴＭＰ－６０、ＴＭＰ－９０等）、ブタントリオール、１，２－メチルグルコサイド、ペンタエリトリトール、ジペンタエリトリトール、トリペンタエリトリトール、ソルビトール、エリスリトール、スレイトール、リビトール、アラビニトール、キシリトール、アリトール、マンニトール、ドルシトール、イディトール、グリコール、イノシトール、ヘキサントリオール、トリグリセロール、ジグリセロール、トリエチレングリコール等の多官能活性水素含有化合物。
　脂環族アルコール；
　水添ビスフェノールＡ、シクロブタンジオール、シクロペンタンジオール、シクロヘキサンジオール、シクロヘプタンジオール、シクロオクタンジオール、シクロヘキサンジメタノール、ヒドロキシプロピルシクロヘキサノール、トリシクロ〔５，２，１，０２，６〕デカン－ジメタノール、ビシクロ〔４，３，０〕－ノナンジオール、ジシクロヘキサンジオール、トリシクロ〔５，３，１，１３，９〕ドデカンジオール、ビシクロ〔４，３，０〕ノナンジメタノール、トリシクロ〔５，３，１，１３，９〕ドデカン－ジエタノール、ヒドロキシプロピルトリシクロ〔５，３，１，１３，９〕ドデカノール、スピロ〔３，４〕オクタンジオール、ブチルシクロヘキサンジオール、１，１’－ビシクロヘキシリデンジオール、１，４－シクロヘキサンジメタノール、１，３－シクロヘキサンジメタノール、１，２－シクロヘキサンジメタノール、及びｏ－ジヒドロキシキシリレン等の２官能活性水素含有化合物（前記ウレタンプレポリマー（Ｂ２）を構成する２官能活性水素含有化合物（Ｃ１）に該当する）、
　トリス（２－ヒドロキシエチル）イソシアヌレート、シクロヘキサントリオール、スクロース、マルチトール、ラクチトール等の多官能活性水素含有化合物。
　芳香族アルコール；
　ジヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシベンゼン、ビスフェノールＡ、ビスフェノールＦ、キシリレングリコール、テトラブロムビスフェノールＡ、ビス（４－ヒドロキシフェニル）メタン、１，１－ビス（４－ヒドロキシフェニル）エタン、１，２－ビス（４－ヒドロキシフェニル）エタン、ビス（４－ヒドロキシフェニル）フェニルメタン、ビス（４－ヒドロキシフェニル）ジフェニルメタン、ビス（４－ヒドロキシフェニル）－１－ナフチルメタン、１，１－ビス（４－ヒドロキシフェニル）－１－フェニルエタン、２－（４－ヒドロキシフェニル）－２－（３－ヒドロキシフェニル）プロパン、２，２－ビス（４－ヒドロキシフェニル）ブタン、１，１－ビス（４－ヒドロキシフェニル）ブタン、２，２－ビス（４－ヒドロキシフェニル）－３－メチルブタン、２，２－ビス（４－ヒドロキシフェニル）ペンタン、３，３－ビス（４－ヒドロキシフェニル）ペンタン、２，２－ビス（４－ヒドロキシフェニル）ヘキサン、２，２－ビス（４－ヒドロキシフェニル）オクタン、２，２－ビス（４－ヒドロキシフェニル）－４－メチルペンタン、２，２－ビス（４－ヒドロキシフェニル）ヘプタン、４，４－ビス（４－ヒドロキシフェニル）ヘプタン、２，２－ビス（４－ヒドロキシフェニル）トリデカン、２，２－ビス（４－ヒドロキシフェニル）オクタン、２，２－ビス（３－メチル－４－ヒドロキシフェニル）プロパン、２，２－ビス（３－エチル－４－ヒドロキシフェニル）プロパン、２，２－ビス（３－ｎ－プロピル－４－ヒドロキシフェニル）プロパン、２，２－ビス（３－イソプロピル－４－ヒドロキシフェニル）プロパン、２，２－ビス（３－ｓｅｃ－ブチル－４－ヒドロキシフェニル）プロパン、２，２－ビス（３－ｔｅｒｔ－ブチル－４－ヒドロキシフェニル）プロパン、２，２－ビス（３－シクロヘキシル－４－ヒドロキシフェニル）プロパン、２，２－ビス（３－アリル－４'－ヒドロキシフェニル）プロパン、２，２－ビス（３－メトキシ－４－ヒドロキシフェニル）プロパン、２，２－ビス（３，５－ジメチル－４－ヒドロキシフェニル）プロパン、２，２－ビス（２，３，５，６－テトラメチル－４－ヒドロキシフェニル）プロパン、ビス（４－ヒドロキシフェニル）シアノメタン、１－シアノ－３，３－ビス（４－ヒドロキシフェニル）ブタン、２，２－ビス（４－ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン、１，１－ビス（４－ヒドロキシフェニル）シクロペンタン、１，１－ビス（４－ヒドロキシフェニル）シクロヘキサン、１，１－ビス（４－ヒドロキシフェニル）シクロヘプタン、１，１－ビス（３－メチル－４－ヒドロキシフェニル）シクロヘキサン、１，１－ビス（３，５－ジメチル－４－ヒドロキシフェニル）シクロヘキサン、１，１－ビス（３，５－ジクロロ－４－ヒドロキシフェニル）シクロヘキサン、１，１－ビス（３－メチル－４－ヒドロキシフェニル）－４－メチルシクロヘキサン、１，１－ビス （４－ヒドロキシフェニル）－３，３，５－トリメチルシクロヘキサン、２，２－ビス（４－ヒドロキシフェニル）ノルボルナン、２，２－ビス（４－ヒドロキシフェニル）アダマンタン、４，４'－ ジヒドロキシジフェニルエーテル、４，４'－ ジヒドロキシ－３，３'－ジメチルジフェニルエーテル、エチレングリコールビス（４－ヒドロキシフェニル）エーテル、４，４'－ ジヒドロキシジフェニルスルフィド、３，３'－ジメチル－４，４'－ジヒドロキシジフェニルスルフィド、３，３'－ジシクロヘキシル－４，４'－ジヒドロキシジフェニルスルフィド、３，３'－ジフェニル－４，４'－ジヒドロキシジフェニルスルフィド、４，４'－ジヒドロキシジフェニルスルホキシド、３，３'－ジメチル－４，４'－ジヒドロキシジフェニルスルホキシド、４，４'－ジヒドロキシジフェニルスルホン、４，４'－ジヒドロキシ－３，３'－ジメチルジフェニルスルホン、ビス（４－ヒドロキシフェニル）ケトン、ビス（４－ヒドロキシ－３－メチルフェニル）ケトン、７，７'－ジヒドロキシ－３，３',４，４'－テトラヒドロ－４，４，４'，４'－テトラメチル－２，２'－スピロビ（２Ｈ－１－ベンゾピラン）、トランス－２，３－ビス（４－ヒドロキシフェニル）－２－ブテン、９，９－ビス（４－ヒドロキシフェニル）フルオレン、３，３－ビス（４－ヒドロキシフェニル）－２－ブタノン、１，６－ビス（４－ヒドロキシフェニル）－１，６－ヘキサンジオン、４，４'－ジヒドロキシビフェニル、ｍ－ジヒドロキシキシリレン、ｐ－ジヒドロキシキシリレン、１，４－ビス（２－ヒドロキシエチル）ベンゼン、１，４－ビス（３－ヒドロキシプロピル）ベンゼン、１，４－ビス（４－ヒドロキシブチル）ベンゼン、１，４－ビス（５－ヒドロキシペンチル）ベンゼン、１，４－ビス（６－ヒドロキシヘキシル）ベンゼン、２，２－ビス〔４－（２”－ヒドロキシエチルオキシ）フェニル〕プロパン、及びハイドロキノン、レゾールシン等の２官能活性水素含有化合物（前記ウレタンプレポリマー（Ｂ２）を構成する２官能活性水素含有化合物（Ｃ１）に該当する）、
　トリヒドロキシナフタレン、テトラヒドロキシナフタレン、ベンゼントリオール、ビフェニルテトラオール、ピロガロール、（ヒドロキシナフチル）ピロガロール、トリヒドロキシフェナントレン等の多官能活性水素含有化合物。
　ポリエステルポリオール；ポリオールと多塩基酸との縮合反応により得られる化合物が挙げられる。中でも、数平均分子量が４００～２０００であることが好ましく、５００～１５００がより好ましく、６００～１２００が最も好ましい。分子の両末端にのみ（分子内に２つの）水酸基を有するものは、前記ウレタンプレポリマー（Ｂ２）を構成する２官能活性水素含有化合物（Ｃ１）に該当する。
　ポリエーテルポリオール；アルキレンオキシドの開環重合、または、分子中に活性水素含有基を２個以上有する化合物とアルキレンオキサイドとの反応により得られる化合物およびその変性体が挙げられる。中でも、数平均分子量が４００～２０００であることが好ましく、５００～１５００がより好ましく、６００～１２００が最も好ましい。分子の両末端にのみ（分子内に２つの）水酸基を有するものは、前記ウレタンプレポリマー（Ｂ２）を構成する２官能活性水素含有化合物（Ｃ１）に該当する。
　ポリカプロラクトンポリオール；ε－カプロラクトンの開環重合により得られる化合物が挙げられる。中でも、数平均分子量が４００～２０００であることが好ましく、５００～１５００より好ましく、６００～１２００が最も好ましい。分子の両末端にのみ（分子内に２つの）水酸基を有するものは、前記ウレタンプレポリマー（Ｂ２）を構成する２官能活性水素含有化合物（Ｃ１）に該当する。
　ポリカーボネートポリオール；低分子ポリオールの１種類以上をホスゲン化して得られる化合物あるいはエチレンカーボネート、ジエチルカーボネート、ジフェニルカーボネート等を用いてエステル交換して得られる化合物が挙げられる。中でも、数平均分子量が４００～２０００であることが好ましく、５００～１５００がより好ましく、６００～１２００が最も好ましい。分子の両末端にのみ（分子内に２つの）水酸基を有するものは、前記ウレタンプレポリマー（Ｂ２）を構成する２官能活性水素含有化合物（Ｃ１）に該当する。
　ポリアクリルポリオール；水酸基を含有するアクリル酸エステルもしくはメタクリル酸エステルとこれらエステルと共重合可能なモノマーとの共重合により得られる化合物が挙げられる。分子の両末端にのみ（分子内に２つの）水酸基を有するものは、前記ウレタンプレポリマー（Ｂ２）を構成する２官能活性水素含有化合物（Ｃ１）に該当する。
　アクリルポリオール；（メタ）アクリル酸エステルやビニルモノマーを重合させて得られるポリオール化合物が挙げられる。分子の両末端にのみ（分子内に２つの）水酸基を有するものは、前記ウレタンプレポリマー（Ｂ２）を構成する２官能活性水素含有化合物（Ｃ１）に該当する。
　その他、前記活性水素含有化合物（Ｃ）のうち、ＯＨ基を有する化合物としては、ポリオール化合物の他に、モノオール化合物も挙げられる。モノオール化合物は、１分子中に１個のＯＨ基を有している。これらの化合物を具体的に例示すると次のとおりである。
　モノオール化合物；ポリエチレングリコ－ルモノオレイルエーテル、ポリオキシエチレンモノオレエート、ポリエチレングリコ－ルモノラウラート、ポリエチレングリコ－ルモノステアラート、ポリエチレングリコールモノ－４－オクチルフェニルエーテル、直鎖状のポリオキシエチレンアルキルエーテル（ポリエチレングリコールモノメチルエーテル、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレン－２－エチルヘキシルエーテル、ポリオキシエチレントリデシルエーテル、ポリオキシエチレンセチルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル）、ポリプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジオレイン酸グリセリル、及び炭素数５～３０の直鎖状、又は枝分かれ状を有する飽和アルキルアルコール等が挙げられる。
　以上例示した化合物は、反応時にＯＨ基を有する化合物となればよい。すなわち、反応場において、ＯＨ基を形成しうる基を有するもの、具体的には、エポキシ基を有する化合物であってもよい。
　本発明においては、上記化合物の中でも、ＯＨ基を分子中に２つ、もしくは３つ有する多価アルコール化合物を使用することが好ましい。ジオール化合物以外の化合物としては、分子中に１個のＯＨ基を有するモノオール化合物を使用することが好ましい。
　（活性水素含有化合物（Ｃ）　ＳＨ基含有化合物）
　次に、ＳＨ基（チオール基）を有する活性水素含有化合物（Ｃ）を例示する。ＳＨ基を有する化合物としては、例えばポリチオール化合物が挙げられる。ポリチオール化合物は、１分子中に２個以上のＳＨ基を含有する化合物である。また、これらのポリチオール化合物も、上述したポリオール化合物と同様に、前述するポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）との反応により調製されるプレポリマーを含んでもよい。（活性水素含有化合物（Ｃ）のポリチオール化合物のプレポリマーとしては、未反応のＳＨ基を含む、一般に使用されているプレポリマーが本発明においても使用できる。）。
　これらの化合物を具体的に例示すると次のとおりである。
　脂肪族チオール化合物；
　１，３－プロパンジチオール、１，６－ヘキサンジチオール、１，１０－デカンジチオール、１，８－オクタンジチオール、１，４－ブタンジオールビス（３－メルカプトプロピオネート）、１，４－ブタンジオールビス（チオグリコレート）、１，６－ヘキサンジオールビス（チオグリコレート）、テトラエチレングリコールビス（３－メルカプトプロピオネート）、１，６－ヘキサンジオールビス（３－メルカプトプロピオネート）等の２官能活性水素含有化合物（前記ウレタンプレポリマー（Ｂ２）を構成する２官能活性水素含有化合物（Ｃ１）に該当する）、
　テトラキス（メルカプトメチル）メタン、トリメチロールプロパントリス（３－メルカプトプロピオネート）、トリメチロールエタントリス（３－メルカプトブチレート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３－メルカプトプロピオネート）、ジペンタエリスリトールヘキサキス（３－メルカプトプロピオネート）、及びペンタエリスリトールテトラキス（３－メルカプトブチレート）等の多官能活性水素含有化合物。
　脂環族チオール化合物；１，４－ビス（メルカプトプロピルチオメチル）ベンゼン、及び２，５－ビス（メルカプトメチル）－１，４－ジチアン等。これらは、２官能活性水素含有化合物（Ｃ１）に該当する。
　芳香族チオール化合物；４，６－ビス（メルカプトメチルチオ）－１，３－ジチアン。
　その他のＳＨ基化合物としては、モノチオール化合物が挙げられる。モノチオール化合物としては、１分子中に１個のチオール基を有していればよく、これらの化合物を具体的に例示すると次のとおりである。
　モノチオール化合物；３－メルカプトプロピオン酸－３－メトキシブチル、３－メルカプトプロピオン酸エチル、及び炭素数５～３０の直鎖状、又は枝分かれ状構造を有する飽和アルキルチオール等。
　次にアミノ基を有する化合物を例示する。
　（活性水素含有化合物（Ｃ）　アミノ基含有化合物（ＣＡ））
　本発明の１級、または２級のアミノ基を有する化合物は、何ら制限なく用いることが出来る。その中でも、大きく分けて、脂肪族アミン、脂環族アミン、芳香族アミン、ポリアミン化合物に分類され、その具体例としては、以下の化合物を挙げることができる。
　脂肪族アミン；
　エチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、ノナメチレンジアミン、ウンデカンメチレンジアミン、ドデカメチレンジアミン、メタキシレンジアミン、１，３－プロパンジアミン、プトレシン等の２官能活性水素含有化合物（前記ウレタンプレポリマー（Ｂ２）を構成する２官能活性水素含有化合物（Ｃ１）に該当する）、
　ジエチレントリアミン等の多官能活性水素含有化合物、
　ブチルアミン、ヘキシルアミン、ドデシルアミン、オクチルアミン、ジエチルアミン、ジｎ－プロピルアミン、ジイソプロピルアミン、ジ－ｎ－ブチルアミン、ジイソブチルアミン、ジ－ｔ－ブチルアミン、ジヘキシルアミン、ジ（２－エチルヘキシル）アミン、Ｎ－イソプロピル－Ｎ－イソブチルアミン、ジ－ｓｅｃ－ブチルアミン、及びＮ－メチルヘキシルアミン等の単官能活性水素含有化合物。
　脂環族アミン；イソホロンジアミン、シクロヘキシルジアミン等の２官能活性水素含有化合物（前記ウレタンプレポリマー（Ｂ２）を構成する２官能活性水素含有化合物（Ｃ１）に該当する）、
　シクロヘキシルアミン等の単官能活性水素含有化合物。
　芳香族アミン；
　４，４’－メチレンビス（ｏ－クロロアニリン）（ＭＯＣＡ）、２，６－ジクロロ－ｐ－フェニレンジアミン、４，４’－メチレンビス（２，３－ジクロロアニリン）、４，４’－メチレンビス（２－エチル－６－メチルアニリン）、３，５－ビス（メチルチオ）－２，４－トルエンジアミン、３，５－ビス（メチルチオ）－２，６－トルエンジアミン、３，５－ジエチルトルエン－２，４－ジアミン、３，５－ジエチルトルエン－２，６－ジアミン、トリメチレングリコール－ジ－ｐ－アミノベンゾエート、ポリテトラメチレングリコール－ジ－ｐ－アミノベンゾエート、４，４’－ジアミノ－３，３’，５，５’－テトラエチルジフェニルメタン、４，４’－ジアミノ－３，３’－ジイソプロピル－５，５’－ジメチルジフェニルメタン、４，４’－ジアミノ－３，３’，５，５’－テトライソプロピルジフェニルメタン、１，２－ビス（２－アミノフェニルチオ）エタン、４，４’－ジアミノ－３，３’－ジエチル－５，５’－ジメチルジフェニルメタン、Ｎ，Ｎ’－ジ－ｓｅｃ－ブチル－４，４’－ジアミノジフェニルメタン、３，３’－ジエチル－４，４’－ジアミノジフェニルメタン、ｍ－キシリレンジアミン、Ｎ，Ｎ’－ジ－ｓｅｃ－ブチル－ｐ－フェニレンジアミン、ｍ－フェニレンジアミン、ｐ－キシリレンジアミン、ｐ－フェニレンジアミン、３，３’－メチレンビス（メチル－６－アミノベンゾエート）、２，４－ジアミノ－４－クロロ安息香酸－２－メチルプロピル、２，４－ジアミノ－４－クロロ安息香酸－イソプロピル、２，４－ジアミノ－４－クロロフェニル酢酸－イソプロピル、テレフタル酸－ジ－（２－アミノフェニル）チオエチル、ジフェニルメタンジアミン、トリレンジアミン、ピペラジン等の２官能活性水素含有化合物（前記ウレタンプレポリマー（Ｂ２）を構成する２官能活性水素含有化合物（Ｃ１）に該当する）、
　１，３，５－ベンゼントリアミン、メラミン等の多官能活性水素含有化合物、
　２－メチルピペリジン、３－メチルピペリジン、４－メチルピペリジン、ピペジリン、２，４－ジメチルピペリジン、２，６－ジメチルピぺリジン、３，５－ジメチルピペリジン、モルホリン、ピロール、及びＮ－メチルベンジルアミン等の単官能活性水素含有化合物。
　これらは単独で使用してもよく、２種以上を併用してもよい。
　なお、前記のアミノ基含有化合物（ＣＡ）において、アミノ基（－ＮＨ２）は厳密に言えば活性水素を２個有している。ただし、本発明においては、アミノ基の活性水素の反応性を考え、該アミノ基を有する化合物の活性水素のモル数は、アミノ基のモル数と等しいものとする。アミノ基とイソ（チオ）シアネート基との反応は、アミノ基における１つの活性水素と１つのイソ（チオ）シアネート基とが反応して、先ず、ウレア結合・チオウレア結合を形成する。そして、この結合（－ＮＨＣＯＮＨ－、－ＮＨＣＳＮＨ－）における活性水素は、高温でなければ、例えば、１５０℃以上の温度としなければ、次の反応に関与しない。そのため、本発明においては、実質的に、１モルのイソ（チオ）シアネート基と１モルのアミノ基（アミノ基における１モルの活性水素）とが反応することになる。したがって、本発明においては、該アミノ基含有化合物（ＣＡ）のようなアミノ基を有する化合物を使用した場合には、該アミノ基を有する化合物の活性水素のモル数は、アミノ基のモル数と等しいものとする。また、当然のことではあるが、イソ（チオ）シアネート基と反応する第２級アミン基（例えば、－ＮＨＲ）を有するアミノ基含有化合物（ＣＡ）の場合も、該アミノ基を有する化合物の活性水素のモル数は、アミノ基のモル数と等しいものとする。
　（活性水素含有化合物（Ｃ）　複合型活性水素含有化合物）
　複合型活性水素含有化合物は、分子中に異なるタイプの複数種の活性水素を持つ基を有するものであり、このような活性水素含有化合物の使用により、各種の物性調整を図ることができる。
　このような複合型活性水素含有化合物の例としては、ＯＨ基とＳＨ基を含有しているＯＨ／ＳＨ型化合物、ＯＨ基とアミノ基を含有しているＯＨ／アミノ基型化合物等が挙げられ、その具体例としては、以下の化合物を挙げることができる。
　ＯＨ／ＳＨ型化合物；
　１－ヒドロキシ－４－メルカプトシクロヘキサンに例示される２官能活性水素含有化合物（前記ウレタンプレポリマー（Ｂ２）を構成する２官能活性水素含有化合物（Ｃ１）に該当する）、
　３－メルカプト－１，２－プロパンジオール、１，３－ジメルカプト－２－プロパノール、２，３－ジメルカプト－１－プロパノール、ペンタエリスリトールトリス（３－メルカプトプロピオネート）、ペンタエリスリトールモノ（３－メルカプトプロピオネート）、及び、ペンタエリスリトールビス（３－メルカプトプロピオネート）等の多官能活性水素含有化合物、
４－メルカプトフェノールに例示される単官能活性水素含有化合物。
　ＯＨ／アミノ基型化合物；モノエタノールアミン、及び、モノプロパノールアミン等の２官能活性水素含有化合物（前記ウレタンプレポリマー（Ｂ２）を構成する２官能活性水素含有化合物（Ｃ１）に該当する）、
　ジエタノールアミン、及び、２－（２－アミノエチルアミノ）エタノール等の多官能活性水素含有化合物。これらはアミノ基含有化合物（ＣＡ）にも含まれるものとする。なお、当然のことながら、これら化合物において、アミノ基の活性水素のモル数はアミノ基と等しいものと考え、活性水素のモル数は、アミノ基のモル数と水酸基のモル数の合計モル数と考える。
　これらは単独で使用してもよく、２種以上を併用してもよい。
　（好適な活性水素含有化合物（Ｃ））
　上述した（Ｃ）成分において、特に好適に利用できる活性水素を持つ基としては、反応性や得られるポリウレタン樹脂の摩耗の際に生じる臭気の観点から、ＯＨ基、アミノ基を有する活性水素含有化合物であることが特に好ましい。中でも、ウレタン樹脂の製造方法の違い、最適な（Ｃ）成分、およびその配合量等が異なる。すなわち、ポリロタキサン（Ａ）、ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）（ただし、ウレタンプレポリマー（Ｂ２）を除く）、および活性水素含有化合物（Ｃ）を同時に反応させてポリウレタン樹脂を製造する方法（以下、この方法を単に「ワンポット法」という場合もある）と、前記ウレタンプレポリマー（Ｂ２）を使用してウレタン樹脂を製造する場合とで違いがある。次に、そのことについて説明する。
　（ワンポット法における好適な活性水素含有化合物（Ｃ））
　ワンポット法でウレタン樹脂を製造する場合には、脂肪族ポリオール（分子内に少なくとも３つ以上の水酸基を有する「多価アルコール」が好ましい。）、又は、分子内に少なくとも３つ以上の水酸基を有する多価アルコールとジオール（分子内に２つの水酸基を有する化合物）との組み合わせが、物性、取り扱い易さ、ウレタン樹脂の生産性を考慮すると好ましい。
　（プレポリマー法における好適な活性水素含有化合物（Ｃ））
　一方、ウレタンプレポリマー（Ｂ２）を使用するプレポリマー法においては、該ウレタンプレポリマー（Ｂ２）のイソ（チオ）シアネート基と、前記ポリロタキサン（Ａ）及び前記活性水素含有化合物（Ｃ）における活性水素を持つ基とを反応（重合）させて、高分子量化してウレタン樹脂を製造するが、以下の活性水素含有化合物（Ｃ）を使用することが好ましい。すなわち、ウレタンプレポリマー（Ｂ２）を使用する場合には、アミノ基を有するアミノ基含有化合物（ＣＡ）を使用することが好ましい。アミノ基含有化合物（ＣＡ）の中でも、４，４’－メチレンビス（ｏ－クロロアニリン）（以下、単に「ＭＯＣＡ」とする場合もある）、トリメチレングリコール－ジ－ｐ－アミノベンゾエート、ポリテトラメチレングリコール－ジ－ｐ－アミノベンゾエート等を使用することが好ましい。
　この理由は明らかではないが、以下のように考えられる。つまり、プレポリマー法により得られるウレタン樹脂は、分子構造の制御はし易いが、ワンポット法と比較して架橋度の高いものとなり難い。プレポリマー法において、前記アミノ基含有化合物（ＣＡ）を使用することにより、得られるウレタン樹脂が、ウレア結合を有するウレタンウレア樹脂となる。このウレア結合は、その結合同士が水素結合により疑似的な架橋構造をとったり、ウレア結合部とウレタンプレポリマー（Ｂ２）のイソ（チオ）シアネート基と反応（重合）して架橋構造をとることができるため、得られるウレタン樹脂の機械的強度を向上できるものと考えられる。
　（重合性組成物の配合割合）
　本発明で使用する重合性組成物は、特に制限されるものではないが、優れた効果を発揮するためには、前記ポリロタキサン（Ａ）１００質量部に対して、ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）を３～２０００質量部含むことが好ましい。得られるウレタン樹脂において、前記ポリロタキサン（Ａ）の割合が少な過ぎると、該ポリロタキサン（Ａ）が元来有する運動性の高さによる耐摩耗性の向上効果が低下する傾向にある。また、該ポリロタキサン（Ａ）が多くなり過ぎると、同じく、架橋による耐摩耗性向上効果が低下する傾向にある。また、該重合性組成物における該ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）の分散性が低下するものと考えられるが、架橋点が均一に分散しているウレタン樹脂の製造が難しくなる傾向にある。そのため、前記重合性組成物は、前記ポリロタキサン（Ａ）１００質量部に対して、ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）を４～１５００質量部含むことがより好ましく、５～１０００質量部含むことがさらに好ましい。
　（ワンポット法における好適な配合割合（活性水素含有化合物（Ｃ）を使用しない場合））
　前記ポリロタキサン（Ａ）と、ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）とをワンポット法で反応させる場合には、それぞれの配合割合は、ポリロタキサン（Ａ）１００質量部に対して、ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）を５～５０質量部とすることが、優れた機械特性のため好ましい。
　（プレポリマー法における好適な配合割合（活性水素含有化合物（Ｃ）を使用しない場合））
　前記ポリロタキサン（Ａ）と、ウレタンプレポリマー（Ｂ２）とを反応させる場合には、それぞれの配合割合は、前記ポリロタキサン（Ａ）１００質量部に対して、ウレタンプレポリマー（Ｂ２）を２０～１０００質量部とすることが、優れた機械特性のため好ましい。
　（配合割合　活性水素含有化合物（Ｃ）を使用する場合）
　また、前記重合性組成物が、前記活性水素含有化合物（Ｃ）を含む場合には、前記ポリロタキサン（Ａ）１００質量部に対して、前記ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）を１０～３０００質量部、前記活性水素含有化合物（Ｃ）を３～２０００質量部含むことが好ましい。重合性組成物から得られるウレタン樹脂中に、ある程度の前記ポリロタキサン（Ａ）が存在することにより優れた効果が発揮される。そのため、前記ポリロタキサン（Ａ）１００質量部に対して、前記ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）を１５～２５００質量部、前記活性水素含有化合物（Ｃ）を４～１０００質量部含むことがより好ましく、前記ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）を２０～１５００質量部、前記活性水素含有化合物（Ｃ）を５～５００質量部含むことがさらに好ましい。
　（ワンポット法における好適な配合割合（活性水素含有化合物（Ｃ）を使用する場合））
　前記ポリロタキサン（Ａ）と、ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）と、活性水素含有化合物（Ｃ）とをワンポット法で反応させる場合には、それぞれの配合割合は、ポリロタキサン（Ａ）１００質量部に対して、ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）を２０～５００質量部、活性水素含有化合物（Ｃ）を５０～５００質量部とすることが、優れた機械特性のため好ましい。
　（プレポリマー法における好適な配合割合（活性水素含有化合物（Ｃ）を使用する場合））
　前記ポリロタキサン（Ａ）と、ウレタンプレポリマー（Ｂ２）と、活性水素含有化合物（Ｃ）とを反応させる場合には、それぞれの配合割合は、ポリロタキサン（Ａ）１００質量部に対して、ウレタンプレポリマー（Ｂ２）を５０～１５００質量部、活性水素含有化合物（Ｃ）を５～２００質量部とすることが、優れた機械特性のため好ましい。
　（活性水素含有化合物（Ｃ）を使用する場合の特に好適な配合割合）
　本発明で使用する重合性組成物において、好適な各成分の配合量は上記の通りであるが、本発明においては、前記配合割合を満足し、かつ、以下の条件を満足するように重合性組成物の各成分を調整することが好ましい。すなわち、前記ポリロタキサン（Ａ）が有する活性水素を持つ基のモル数、必要に応じて配合される前記活性水素含有化合物（Ｃ）の活性水素を持つ基のモル数との合計モル数（以下、「全活性水素を持つ基のモル数」とする場合もある）と、前記ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）のイソ（チオ）シアネート基（プレポリマー法の場合には、ウレタンプレポリマー（Ｂ２）のイソ（チオ）シアネート基）のモル数との比が以下の範囲となることが好ましい。
　具体的には、前記イソ（チオ）シアネート基を１モルとしたとき、前記全活性水素を持つ基のモル数が０．８～１．２モルとなることが好ましい。前記イソ（チオ）シアネート基が多過ぎたり、少な過ぎたりすると、得られるウレタン樹脂において、硬化不良を生じ易くなったり、耐摩耗性が低下する傾向にある。より一層、硬化状態がよく、均一な状態で、しかも耐摩耗性に優れたウレタン樹脂を得るためには、前記イソ（チオ）シアネート基を１モルとしたとき、前記全活性水素を持つ基のモル数が０．８５～１．１５モルとなることがより好ましく、０．９～１．１モルとなることがさらに好ましい。
　なお、前記全活性水素を持つ基のモル数は、重合性組成物が前記活性水素含有化合物（Ｃ）を含まない場合には、前記ポリロタキサン（Ａ）が有する活性水素を持つ基のモル数と等しくなる。
　前記全活性水素を持つ基のモル数に、重合性組成物が前記活性水素含有化合物（Ｃ）を含んでなる場合には、前記ポリロタキサン（Ａ）の活性水素を持つ基のモル数を１とした場合、活性水素含有化合物（Ｃ）のモル数は、０．１～２０モルとなることが好ましく、０．２～１０モルとなることがさらに好ましい。
　また、「全活性水素を持つ基のモル数」には、前記ポリロタキサン（Ａ）が有する全ての活性水素を持つ基、すなわち、側鎖が有する活性水素を持つ基、およびその他の箇所に有する活性水素を持つ基（例えば、環状分子が直接有する活性水素を持つ基（環状分子がα－シクロデキストリン環の場合には、側鎖が導入されていないα－シクロデキストリン環の水酸基））が含まれるものとする。
　ただし、例えば、側鎖が導入されていないα－シクロデキストリン環の水酸基等は、反応性が低いため、この水酸基を除いて考えることもできる。そのため、前記ポリロタキサン（Ａ）の側鎖が有する活性水素を持つ基のモル数、および必要に応じて配合される前記活性水素基含有化合物（Ｃ）の活性水素を持つ基のモル数との合計モル数（以下、「活性水素を持つ基の合計モル数」とする場合もある）が、前記イソ（チオ）シアネート基を１モルとしたとき、前記活性水素を持つ基の合計モル数が１．２～０．４モルとなることが好ましく、１．２～０．６モルとなることがさらに好ましい。この範囲を満足することにより、硬化状態がよく、均一な状態で、しかも耐摩耗性に優れたウレタン樹脂を得ることができる。
　なお、前記の通り、「全活性水素を持つ基のモル数」または「活性水素を持つ基の合計モル数」と、前記ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）のイソ（チオ）シアネート基のモル数との好ましい割合は、ワンショット法であっても、プレポリマー法であっても同じ範囲である。
　なお、当然のことであるが、「全活性水素を持つ基のモル数」、および「活性水素を持つ基の合計モル数」を算出する際に、前記活性水素含有化合物（Ｃ）としてアミノ基含有化合物（ＣＡ）のようなアミノ基を有する化合物を使用した場合には、該アミノ基を有する化合物の活性水素のモル数は、アミノ基のモル数と等しいものとする。
　（重合性組成物の重合方法）
　本発明において、研磨用ウレタン樹脂を得るためには、前記重合性組成物を重合させればよい。重合の方法は、特に制限されるものではなく、活性水素を持つ基を有する化合物とイソ（チオ）シアネート基を有する化合物とを重合してポリウレタン樹脂を得る、通常の方法を採用することができる。具体的には、ワンポット法、プレポリマー法等の乾式法、及び、溶剤を用いた湿式法等を用いることが出来る。特に乾式法が本発明では好適に利用できる。
　例えば、ワンポット法であれば、上記重合組成物において、前記ポリロタキサン（Ａ）（（Ａ）成分）、及びポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）（（Ｂ）成分）を同時に重合させればよく、活性水素含有化合物（Ｃ）（（Ｃ）成分）がある場合には、（Ｃ）成分も同時に重合させることでウレタン樹脂を得ることが出来る。（Ａ）成分が固体で、溶融しないのであれば、（Ｃ）成分と予め混合した後に、（Ｂ）成分と反応させることもできる。
　プレポリマー法であれば、例えば上記（Ｂ）成分と（Ｃ）成分を先に反応させることで分子の末端にイソ（チオ）シアネート基を有したウレタンプレポリマー（Ｂ２）を作製し、その後（Ａ）成分とを混合して、両者を反応させればよい。その際、ウレタンプレポリマー（Ｂ２）と反応させることが出来るのは、もちろん（Ａ）成分のみならず、（Ｂ）成分、及び（Ｃ）成分を含んだ組成物も反応させることができる。また、上記プレポリマーが、イソ（チオ）シアネート基を有さず、活性水素を持つ基を有している場合、前記活性水素含有プレポリマーと（Ａ）成分、及び（Ｂ）成分とを反応させればよい。その際、（Ａ）成分、及び（Ｂ）成分の他にも活性水素含有プレポリマー以外の（Ｃ）成分を含んでいる組成物と前記活性水素含有プレポリマーとを反応させて重合組成物を得ることもできる。ただし、反応（重合）を制御するという点では、分子の末端にイソ（チオ）シアネート基を有したウレタンプレポリマー（Ｂ２）を使用することが好ましい。そして、特に、ウレタンプレポリマー（Ｂ２）と反応させる（Ｃ）成分を用いる場合には、（Ｃ）成分がアミン基含有（ＣＡ）であることが好ましい。
　（得られるウレタン樹脂のその他の特性、添加剤）
　本発明のウレタン樹脂は、樹脂中に細孔を設けることが出来る。その際は、公知で知られている発泡方法等を何ら制限なく用いることが可能である。それらの方法を例示すれば、低沸点炭化水素等の揮発性の発泡剤や、水などを添加する発泡剤発泡法、微小中空体（マイクロバルーン）を分散硬化させる方法、熱膨張性の微粒子を混合したのち加熱し微粒子を発泡させる方法、または混合中に空気や窒素等の不活性ガスを吹き込むメカニカルフロス発泡法が例示できる。発泡させた場合、ウレタン樹脂の密度は、０．４～０．９ｇ／ｃｍ３であることが好ましい。また、水発泡の場合、イソ（チオ）シアネート基と反応した後、二酸化炭素とアミノ基となり、そのアミノ基がさらにイソ（チオ）シアネート基と反応しウレア結合・チオウレア結合を形成する。よって、本発明では、水を添加剤に用いた際には、水は活性水素を二つ有しているものとする。
　本発明のウレタン樹脂は、その優れた機械特性から研磨用パッドに使用できる。また、本発明のウレタン樹脂は、任意の適当な硬さを有することができる。硬さは、ショアー（Ｓｈｏｒｅ）法に従って測定することができ、例えば、ＪＩＳ規格（硬さ試験）Ｋ６２５３に従って測定することができる。本発明のウレタン樹脂は、４０Ａ～９０Ｄのショアー硬さを有することが好ましい。本発明に用いる、一般的な研磨材用ポリウレタン樹脂のショアー硬さは、２０Ｄ～９０Ｄであることが好ましく、２０Ｄ～８０Ｄであることがさらに好ましい（「Ｄ」はショアー「Ｄ」スケールでの硬さを示している）。また、比較的柔らかい研磨パッドが必要とされる用途で利用する際は、本発明のウレタン樹脂は、４０Ａ～９０Ａであるのが好ましく、５０Ａ～９０Ａであることがさらに好ましい（「Ａ」はショアー「Ａ」スケールでの硬さを示している）。このように必要に応じて、配合組成、及び配合量を変えることにより、任意の硬さを有すればよい。
　また、本発明のポリウレタン樹脂は、ある範囲に圧縮率があることが被研磨物の平坦性を発現させる上で好ましい。圧縮率は、例えば、ＪＩＳ Ｌ １０９６に準拠した方法により測定することが可能である。本発明のウレタン樹脂の圧縮率は、０．５％～５０％であることが好ましい。上記範囲内であることで、優れた被研磨物の平坦性を発現させることが可能となる。
　また、本発明のポリウレタン樹脂は、低ヒステリシスロス性または優れた弾性回復性を有することにより、研磨用パッドとして使用した場合、被研磨物の平坦性、及び高い研磨レートを発現させることができる。ヒステリシスロスは、例えば、ＪＩＳ Ｋ　６２５１に準拠した方法で測定できる。具体的には、ダンベル状に準備した試験片を、１００％伸長した後、元に戻すことで、ヒステリシスロス（伸長し、元に戻した際の伸びと応力の面積／伸長した際の伸びと応力の面積×１００）を測定できる。
　本発明のウレタン樹脂において、特に制限されるものではないが、ヒステリシスロスは、６０％以下となることが好ましく、５０％以下となることがより好ましく、４０％以下となることがさらに好ましい。ヒステリシスロスが低くなることにより、研磨用パッドとして使用し場合に、砥粒の運動エネルギーを均一に被研磨物の研磨に利用できると推察されるため、優れた平坦性、高い研磨レートを発現することが可能となる。さらに、ヒステリシスロスが低くなることで、柔らかいパッドにおいても、優れた研磨レートを発現できるものと考えられる。
　また、本発明のウレタン樹脂は、複数の層から形成される研磨層を備えていてもよい。例えば、本発明のウレタン樹脂が２層からなる場合、前記研磨層は、研磨を行う際に被研磨物と接触する研磨面を有する第１層と、前記第１層の研磨面に相対する面で前記第１層と接する第２層を用いてもよい。この場合、第２層が第１層と違う硬度や弾性率を持つことで、第１層の物性を調整することも可能となる。例えば、第１層の硬度と第２層の硬度を変えることにより、被研磨物の研磨性を調整させることが可能となる。
　また、本発明のウレタン樹脂は、構成要素として、内部に砥粒を含有させて、いわゆる固定砥粒ウレタン樹脂としてもよい。砥粒としては、例えば、酸化セリウム、酸化珪素、アルミナ、炭化珪素、ジルコニア、酸化鉄、二酸化マンガン、酸化チタン及びダイヤモンドから選択される材料からなる粒子、又はこれら材料からなる二種以上の粒子等が挙げられる。これら砥粒の保有方法は、特に限定されないが、例えば上記重合組成物に分散させた後に、該重合組成物を硬化させることで、ウレタン樹脂内部に保有することができる。
　その他にも、本発明のウレタン樹脂には、重合触媒、酸化防止剤などの安定剤、紫外線吸収剤、界面活性剤、難燃剤、可塑剤、顔料、充填剤、帯電防止剤、整泡剤、その他の添加剤を加えてもよい。これらの添加剤は単独で用いても２種以上を併用してもよい。これら添加剤は、重合性組成物に含有させ、該重合性組成物を重合することにより、研磨用ウレタン樹脂中に含有させることができる。
　本発明のウレタン樹脂は、特に制限されるものではないが、その表面に溝構造を形成することもできる。該溝構造は、被研磨部材を研磨する際に、スラリーを保持・更新する形状であれば特に限定されるものではなく、例えば、Ｘ（ストライプ）溝、ＸＹ格子溝、同心円状溝、貫通孔、貫通していない穴、多角柱、円柱、螺旋状溝、偏心円状溝、放射状溝、およびこれらの溝を組み合わせたものが挙げられる。
　上記溝構造の作製方法は特に限定されるものではないが、例えば、所定サイズのバイトのような治具を用い機械切削する方法、所定の表面形状を有した金型に樹脂を流しこみ、硬化させることにより作製する方法、所定の表面形状を有したプレス板で樹脂をプレスし作製する方法、フォトリソグラフィを用いて作製する方法、印刷手法を用いて作製する方法、炭酸ガスレーザーなどを用いたレーザー光による作製方法などが挙げられる。
　本発明のウレタン樹脂は、例えば不織布に本発明のウレタン樹脂を含浸させ、その後硬化して得られる不織布ウレタン樹脂研磨パッドとしても用いることも出来る。
　次に、実施例及び比較例を用いて本発明を詳細に説明するが、本発明は本実施例に限定されるものではない。以下の実施例及び比較例において、評価方法等は、以下のとおりである。
　（使用したポリロタキサン（Ａ））
ＲＸ－１：側鎖にヒドロキシル基を有する側鎖の分子量が平均で約３５０、重量平均分子量が２０００００のポリロタキサン。
ＲＸ－２：側鎖にヒドロキシル基を有する側鎖の分子量が平均で約６５０、重量平均分子量が３５００００のポリロタキサン。
ＲＸ－３：側鎖にヒドロキシル基を有する側鎖の分子量が平均で約４５０、重量平均分子量が３０００００のポリロタキサン。
　（分子量測定；ゲルパーミネーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ測定））
　ＧＰＣの測定は、装置として液体クロマトグラフ装置（日本ウォーターズ社製）を用いた。カラムは分析するサンプルの分子量に応じて、昭和電工株式会社製Ｓｈｏｄｅｘ　ＧＰＣ　ＫＦ－８０２（排除限界分子量：５，０００）、ＫＦ８０２．５（排除限界分子量：２０，０００）、ＫＦ－８０３（排除限界分子量：７０，０００）、ＫＦ－８０４（排除限界分子量：４００，０００）、ＫＦ－８０５（排除限界分子量：２，０００，０００）を適宜使用した。また、展開液としてジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）を用い、流速１ｍｌ／ｍｉｎ、温度４０℃の条件にて測定した。標準試料にポリスチレンを用い、比較換算により重量平均分子量を求めた。なお、検出器には示差屈折率計を用いた。
　＜使用したポリロタキサン（Ａ）の製造方法＞
　製造例（ＲＸ－１の製造）
　（１－１）ＰＥＧ－ＣＯＯＨの調製；
　軸分子形成用のポリマーとして、分子量１０，０００の直鎖状ポリエチレングリコール（ＰＥＧ）を用意した。
下記処方；
　ＰＥＧ　１０ｇ、
　ＴＥＭＰＯ　（２，２，６，６－テトラメチル－１－ピペリジニルオキシラジカル）１００ｍｇ
　臭化ナトリウム　１ｇ
を準備し、各成分を水１００ｍＬに溶解させた。この溶液に、市販の次亜塩素酸ナトリウム水溶液（有効塩素濃度５％）５ｍＬを添加し、室温で１０分間撹拌した。その後、エタノールを最大５ｍＬまでの範囲で添加して反応を終了させた。そして、５０ｍＬの塩化メチレンを用いた抽出を行った後、塩化メチレンを留去し、２５０ｍＬのエタノールに溶解させてから、－４℃の温度で１２時間かけて再沈させ、ＰＥＧ－ＣＯＯＨを回収し、乾燥した。
　（１－２）ポリロタキサンの調製；
　上記で調製されたＰＥＧ－ＣＯＯＨ　３ｇおよびα－シクロデキストリン（α－ＣＤ）１２ｇを、それぞれ、７０℃の温水５０ｍＬに溶解させ、得られた各溶液を混合し、よく振り混ぜた。次いで、この混合溶液を、４℃の温度で１２時間再沈させ、析出した包接錯体を凍結乾燥して回収した。その後、室温でジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）５０ｍｌに、アダマンタンアミン０．１３ｇを溶解した後、上記の包接錯体を添加して速やかによく振り混ぜた。続いてＢＯＰ試薬（ベンゾトリアゾール－１－イル－オキシ－トリス（ジメチルアミノ）ホスホニウムヘキサフルオロホスフェート）０．３８ｇをＤＭＦに溶解した溶液をさらに添加して、よく振り混ぜた。さらにジイソプロピルエチルアミン０．１４ｍｌをＤＭＦに溶解させた溶液を添加してよく振り混ぜてスラリー状の試薬を得た。
　上記で得られたスラリー状の試薬を４℃で１２時間静置した。その後、ＤＭＦ／メタノール混合溶媒（体積比１／１）５０ｍｌを添加、混合、遠心分離を行なって上澄みを捨てた。さらに、上記ＤＭＦ／メタノール混合溶液による洗浄を行った後、メタノールを用いて洗浄、遠心分離を行い、沈殿物を得た。得られた沈殿物を真空乾燥で乾燥させた後、５０ｍＬのジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）に溶解させ、得られた透明な溶液を７００ｍＬの水中に滴下してポリロタキサンを析出させた。析出したポリロタキサンを遠心分離で回収し、真空乾燥させた。さらにＤＭＳＯに溶解、水中で析出、回収、乾燥を行い、精製ポリロタキサンを得た。このときのα－ＣＤの包接量は０．２５である。
　ここで、包接量は、重水素化ジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ－ｄ６）にポリロタキサンを溶解し、１Ｈ－ＮＭＲ測定装置（日本電子製ＪＮＭ－ＬＡ５００）により測定し、以下の方法により算出した。
ここで、Ｘ，Ｙ及びＸ／（Ｙ－Ｘ）は、以下の意味を示す。
Ｘ：４～６ｐｐｍのシクロデキストリンの水酸基由来プロトンの積分値。
Ｙ：３～４ｐｐｍのシクロデキストリン及びＰＥＧのメチレン鎖由来プロトンの積分値。
　Ｘ／（Ｙ－Ｘ）：ＰＥＧに対するシクロデキストリンのプロトン比
　先ず、理論的に最大包接量１の時のＸ／（Ｙ－Ｘ）を予め算出し、この値と実際の化合物の分析値から算出されたＸ／（Ｙ－Ｘ）を比較することにより包接量を算出した。
　（１－３）ポリロタキサンへの側鎖の導入；
　上記で精製されたポリロタキサン５００ｍｇを１ｍｏｌ／ＬのＮａＯＨ水溶液５０ｍＬに溶解し、プロピレンオキシド３．８３ｇ（６６ｍｍｏｌ）を添加し、アルゴン雰囲気下、室温で１２時間撹拌した。次いで、１ｍｏｌ／ＬのＨＣｌ水溶液を用い、上記のポリロタキサン溶液を、ｐＨが７～８となるように中和し、透析チューブにて透析した後、凍結乾燥し、ヒドロキシプロピル化ポリロタキサンを得た。得られたヒドロキシプロピル化ポリロタキサンは、１Ｈ－ＮＭＲおよびＧＰＣで同定し、所望の構造を有するヒドロキシプロピル化ポリロタキサンであることを確認した。
　なお、ヒドロキシプロピル基による環状分子のＯＨ基への修飾度は０．５であり、ＧＰＣ測定により重量平均分子量Ｍｗ：５０，０００であった。
　得られたヒドロキシプロピル化ポリロタキサン５ｇを、ε－カプロラクトン１５ｇに８０℃で溶解させた混合液を調製した。この混合液を、乾燥窒素をブローさせながら１１０℃で１時間攪拌した後、２－エチルヘキサン酸錫（ＩＩ）の５０ｗｔ％キシレン溶液０．１６ｇを加え、１３０℃で６時間攪拌した。その後、キシレンを添加し、不揮発濃度が約３５質量％の側鎖を導入したポリカプロラクトン修飾ポリロタキサンキシレン溶液を得た。
　（１－４）ＯＨ基導入側鎖修飾ポリロタキサン（ＲＸ－１；本発明で使用するポリロタキサン（Ａ）に該当）の調製；
　上記で調製されたポリカプロラクトン修飾ポリロタキサンキシレン溶液をヘキサン中に滴下し、回収し、乾燥することにより、側鎖の末端としてＯＨ基を有する側鎖修飾ポリロタキサン（ＲＸ－１）を得た。
このポリロタキサン（Ａ）；ＲＸ－１の物性は以下の通りであった。
ポリロタキサン重量平均分子量Ｍｗ（ＧＰＣ）：２００，０００。
側鎖の修飾度：０．５（％で表示すると５０％となる）。
側鎖の分子量：平均で約３５０。
側鎖の末端に水酸基を有するポリロタキサン（Ａ）である。
　＜ＲＸ－２の製造＞
　ε－カプロラクトンを３０ｇとした以外はＲＸ－１と同様に調整し、ＲＸ－２を得た。このポリロタキサン（ＲＸ－２）の物性は以下の通りであった。
側鎖の修飾度：０．５（５０％）。
側鎖の分子量：平均で約６５０。
ポリロタキサン重量平均分子量Ｍｗ（ＧＰＣ）：３５００００。
側鎖の末端に水酸基を有するポリロタキサン（Ａ）である。
　＜ＲＸ－３の製造＞
　軸分子形成用のポリマーに、分子量２００００の直鎖状ポリエチレングリコ－ル（ＰＥＧ）を用い、また、ε－カプロラクトンを２０ｇとした以外はＲＸ－１と同様に調整し、ＲＸ－３を得た。このポリロタキサン（ＲＸ－３）の物性は以下の通りであった。
側鎖の修飾度：０．５（５０％）。
側鎖の分子量：平均で約４５０。
ポリロタキサン重量平均分子量Ｍｗ（ＧＰＣ）：３０００００。
側鎖の末端に水酸基を有するポリロタキサン（Ａ）である。
　＜ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）＞
ＸＤＩ：ｍ－キシレンジイソシアネート。
＜ウレタンプレポリマー（Ｂ２）＞
以下の表１に示すウレタンプレポリマー（Ｂ２）を準備した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000008
　＜ウレタンプレポリマー（Ｂ２）の製造例＞
　製造例　Ｐｒｅ－１の製造例
　窒素導入管、温度計、攪拌機を備えたフラスコに窒素雰囲気下中、２，４－トリレンジイソシアネート５０ｇとポリオキシテトラメチレングリコール（ 数平均分子量；１０００）３２ｇと１，４－ブタンジオール１０ｇを、８０℃で８時間反応させ、イソ（チオ）シアネート当量が３１９の末端イソシアネートウレタンプレポリマーを得た（Ｐｒｅ－１を得た）。
　製造例　Ｐｒｅ－２の製造例
　窒素導入管、温度計、攪拌機を備えたフラスコに窒素雰囲気下中、２，４－トリレンジイソシアネート１０００ｇとポリオキシテトラメチレングリコール（数平均分子量；１０００）１８００ｇを、７０℃で４時間反応させた。その後、ジエチレングリコール２４０ｇを加え、さらに７０℃、４時間反応させ、イソ（チオ）シアネート当量が９０５の末端イソシアネートウレタンプレポリマーを得た（Ｐｒｅ－２を得た）。
　製造例　Ｐｒｅ－３の製造例
　ジエチレングリコール１３０ｇを使用した以外は、製造例　Ｐｒｅ－２と同様の方法を行い、イソ（チオ）シアネート当量が５３９の末端イソシアネートウレタンプレポリマーを得た（Ｐｒｅ－３を得た）。
　製造例　Ｐｒｅ－４の製造例
　ポリオキシテトラメチレングリコール（数平均分子量；１０００）２３００ｇを使用した以外は、製造例　Ｐｒｅ－２と同様の方法を行い、イソ（チオ）シアネート当量が１５００の末端イソシアネートウレタンプレポリマーを得た（Ｐｒｅ－４を得た）。
　製造例　Ｐｒｅ－５の製造例
　ポリオキシテトラメチレングリコール（数平均分子量；１０００）１５００ｇを使用し、ジエチレングリコール５０ｇ使用した以外は、製造例　Ｐｒｅ－２と同様の方法を行い、イソシアネート当量が３３８の末端イソシアネートウレタンプレポリマーを得た（Ｐｒｅ－５を得た）。
　製造例　Ｐｒｅ－６の製造例
　ポリオキシテトラメチレングリコール（数平均分子量；１０００）２５００ｇを使用し、ジエチレングリコール３００ｇを使用した以外は、製造例　Ｐｒｅ－２と同様の方法を行い、イソシアネート当量が４５８０の末端イソシアネートウレタンプレポリマーを得た（Ｐｒｅ－６を得た）。
　＜ポリロタキサン（Ａ）以外の、活性水素基を有する活性水素基含有化合物（Ｃ）＞
ＰＬ１：旭化成ケミカルズ株式会社製デュラノ－ル（ポリカ－ボネートジオール、数平均分子量５００）。
ＢｕｄｉＯＨ：１，４－ブタンジオール。
ＴＭＰ：トリメチロ－ルプロパン 。
ＴＭＰ－３０：日本乳化剤株式会社製トリメチロールプロパントリポリオキシエチレンエーテル。
ＰＥＭＰ：ペンタエリスリトールテトラキス（３－メルカプトプロピオネート）。
ＭＯＣＡ：４，４’－メチレンビス（ｏ－クロロアニリン）
ＴＭＧｄｉＡＢ：トリメチレングリコール－ジ－ｐ－アミノベンゾエート
ＰＰＧ７：ポリプロピレングリコール　ジオール型　平均分子量７００
　＜その他の成分＞
ＣｅＯ２：酸化セリウム（平均粒径０．２μｍの酸化セリウムパウダー）。
Ｌ５６１７：モメンティブ社製シリコーン整泡剤
ＳＺ１１４２：東レ・ダウコーニング社製シリコーン整泡剤
ＥＴ：ＴＯＹＯＣＡＴ－ＥＴ（東ソー社製）
９２０－４０：マイクロカプセル９２０－４０（日本フィライト社製）
　＜実施例１＞
　下記処方により、窒素導入管、温度計、攪拌機を備えたフラスコに窒素雰囲気下中、（Ａ）成分のＲＸ－１（１００質量部）を４０度で溶解させ、（Ｂ）成分のＸＤＩ（１５質量部）と攪拌混合することで均一溶液にし、重合組成物を得た。各配合量を表２に示す。活性水素を持つ基の合計モル数（ポリロタキサン（Ａ）　ＲＸ－１の側鎖のＯＨ基の全モル数）と（Ｂ）成分　ＸＤＩのイソ（チオ）シアネート基とのモル比を示した。また、全活性水素を持つ基のモル数（ポリロタキサン（Ａ）　ＲＸ－１の側鎖のＯＨ基の全モル数と、該ＲＸ－１のシクロデキストリン環が有するＯＨ基の全モル数と、の合計モル数）と（Ｂ）成分　ＸＤＩのイソ（チオ）シアネート基とのモル比を示した。
処方；
（Ａ）：ＲＸ－１　１００質量部。
（Ｂ）：ＸＤＩ　１５質量部。
　前記重合組成物を平型の鋳型に注入した。ついで、８０℃で２時間、その後９０℃で４時間硬化させた。重合終了後、鋳型からウレタン樹脂を取り外した。得られたウレタン樹脂の耐摩耗性は３．９、Ｄ硬度は３０であった。尚、耐摩耗性、硬度の評価に関しては以下のようにして行った。結果を表３に示した。
　〔評価項目〕
　（１）耐摩耗性：ＢＵＥＨＬＥＲ社製のＥＣＯＭＥＴ－３の片面研磨機を研磨機に、研磨紙（♯６００）で荷重７ポンド、回転数２００ｒｐｍ、研磨時間５分で流水を流しながら摩耗を行い、耐摩耗性を評価した。評価方法としては、以下の方法をとった。
（研磨による摩耗量/研磨前の樹脂重量）×１００（％）
　（２）ＪＩＳ規格（硬さ試験）Ｋ６２５３に従って、高分子計器製のデュロメーターによりショアーＤ硬度を測定した。
　＜実施例２＞
　窒素導入管、温度計、攪拌機を備えたフラスコに、窒素気流下（Ａ）成分のＲＸ－１（１００質量部）、（Ｃ）成分のＰＬ１（１００質量部）、ＴＭＰ（３０質量部）、ＴＭＰ－３０（１００質量部）を４０度で攪拌混合により均一溶液にした後、室温まで戻し、（Ｂ）成分のＸＤＩ（２２０質量部）を添加し、均一攪拌し、重合性組成物を得た。各配合量を表２に示す。活性水素を持つ基の合計モル数と（Ｂ）成分　ＸＤＩのイソ（チオ）シアネート基とのモル比を示した。また、全活性水素を持つ基のモル数と（Ｂ）成分　ＸＤＩのイソ（チオ）シアネート基とのモル比を示した。活性水素を持つ基の合計モル数、および全活性水素を持つ基のモル数共に、（Ｃ）成分の活性水素を持つ基のモル数を含む。
（Ａ）：ＲＸ－１　１００質量部。
（Ｂ）：ＸＤＩ　２２０質量部。
（Ｃ）：ＰＬ１　１００質量部、ＴＭＰ　３０質量部、ＴＭＰ―３０　１００質量部。
　前記重合組成物を平型の鋳型に注入した。ついで、８０℃で２時間、その後９０℃で４時間硬化させた。重合終了後、鋳型からウレタン樹脂を取り外した。得られたウレタン樹脂の耐摩耗性は２．９％、Ｄ硬度は６４であった。結果を表３に示した。
　＜実施例３～７、比較例１、２＞
　表２に示した組成の重合性組成物を用いた以外は、実施例２と同様な方法で硬化体を作製し、評価を行なった。結果を表３に示した。
　＜実施例８＞
　表２に示した組成の重合性組成物を用いた以外は、実施例１と同様な方法で硬化体を作製し、評価を行なった。結果を表３に示した。
　＜実施例９＞
　窒素導入管、温度計、攪拌機を備えたフラスコに、窒素気流下、（Ｂ）成分として（Ｂ２）成分のＰｒｅ－１（４６３質量部）と、乾燥させた平均粒径０．２μｍの酸化セリウムパウダー（３０質量部）とを導入して十分に攪拌した。次いで、別途調整した、（Ａ）成分のＲＸ－１（１００質量部）、（Ｃ）成分のＰＬ１（１００質量部）、ＢｕｄｉＯＨ（４２質量部）を６０℃の温度で攪拌混合して均一にした溶液を、該フラスコに導入した。その後、該フラスコ内でさらに攪拌混合を行い、重合性組成物を得た。各配合量を表２に示す。活性水素基の合計モル数と（Ｂ）成分　ＸＤＩのイソ（チオ）シアネート基とのモル比を示した。また、全活性水素を持つ基のモル数と（Ｂ）成分　ＸＤＩのイソ（チオ）シアネート基とのモル比を示した。活性水素を持つ基の合計モル数、および全活性水素を持つ基のモル数共に、（Ｃ）成分の活性水素を持つ基のモル数を含む。
（Ａ）：ＲＸ－１　１００質量部
（Ｂ）：Ｐｒｅ－１　４６３質量部
（Ｃ）：ＰＬ１　１００質量部、ＢｕｄｉＯＨ　４２質量部
（その他の成分）：ＣｅＯ２　３０質量部。
　前記重合組成物を平型の鋳型に注入した。ついで、８０℃で２時間、その後９０℃で４時間硬化させた。重合終了後、鋳型からウレタン樹脂を取り外した。得られたウレタン樹脂の耐摩耗性は２．２％、Ｄ硬度は６５であった。結果を表３に示した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000009
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000010
　＜実施例１０＞
　（Ａ）成分のＲＸ－１（１００質量部）と（Ｃ）成分のＭＯＣＡ（２１質量部）とを１２０℃で混合して均一溶液にした後、十分に脱気し、１００℃まで冷却した。この均一溶液に、７０℃に加温した（Ｂ）成分のＰｒｅ－２（２９６質量部；ウレタンプレポリマー（Ｂ２））を加え、自転公転攪拌機で攪拌して均一な重合性組成物を得た。各配合量を表４に示した。活性水素を持つ基の合計モル数と、（Ｂ）成分　Ｐｒｅ－２におけるイソ（チオ）シアネート基とのモル比も表４に示した。また、全活性水素を持つ基のモル数と、（Ｂ）成分　Ｐｒｅ－２におけるイソ（チオ）シアネート基とのモル比も表４に示した。活性水素を持つ基の合計モル数、および全活性水素を持つ基のモル数共に、（Ｃ）成分の活性水素を持つ基のモル数を含む値である。
（Ａ）：ＲＸ－１　１００質量部。
（Ｂ）：Ｐｒｅ－２　２９６質量部。
（Ｃ）：ＭＯＣＡ　２１質量部。
　前記重合性組成物を金型へ注入し、１００℃で硬化させた。重合終了後、鋳型からウレタン樹脂を取り外し、厚さ２ｍｍのウレタン樹脂を得た。得られたウレタン樹脂の研磨レートは１．９μｍ／ｈｒ、耐スクラッチ性は１、テーバー摩耗量は１９ｍｇ、Ｄ硬度は３０、密度は１．１ｇ／ｃｍ３、ヒステリシスロスは１０％であった。結果を表５に示した。尚、耐摩耗性、硬度の評価に関しては以下のようにして行った。
　〔評価項目〕
　（３）研磨レート：研磨条件を下記に示す。
研磨パッド：３８０φ。
被研磨物：２インチサファイアウエハ　３枚。
スラリー：ＦＵＪＩＭＩ　コンポール　８０原液。
圧力：４１１ｇ／ｃｍ２。
回転数：６０ｒｐｍ。
時間：１時間。
上記条件にて、研磨を実施した際の研磨レートを測定した。
　（４）スクラッチ：上記（３）で記載した条件で研磨した際のウェハのスクラッチの有無を確認した。評価は以下の基準で実施した。
１：目視でも、レーザー顕微鏡でもスクラッチがないもの。
２：目視ではスクラッチは確認できないが、レーザー顕微鏡では確認できるもの。
３：目視でウェハのエッジ部位のみに１～２本スクラッチが確認できるもの。
４：目視でウェハエッジ部位のみに３本以上、またはウェハ全体に１～２本スクラッチが確認できるもの。
５：目視で、ウェハ全体にスクラッチが３本以上確認できるもの。
　（５）テーバー摩耗量：テーバー社製の５１３０型の装置で測定。荷重は１Ｋｇ、回転速度は６０ｒｐｍ、回転数は１０００回転、摩耗輪はＨ－１８でテーバー摩耗試験を実施した。
　（６）密度：東洋精機（株）製の（ＤＳＧ－１）にて密度を測定した。
　（７）ヒステリシスロス：厚み２ｍｍのダンベル８号形状に打ち抜いた樹脂を島津社製ＡＧ－ＳＸのオートグラフにて１０ｍｍ／ｍｉｎで２０ｍｍ伸長させ、その後、応力がゼロになるまで戻した際のヒステリシスロスを測定した。
　実施例１１～１４、比較例３
　表４に示した組成の重合性組成物を用いた以外は、実施例１０と同様な方法で硬化体を作製し、評価を行なった。結果を表５に示した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000011
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000012
　＜実施例１５＞
　７０℃に加温した（Ｂ）成分のＰｒｅ－２（２９６質量部；ウレタンプレポリマー（Ｂ２））に、その他の成分のＬ５６１７（６．３質量部）を加え、窒素雰囲気下中、攪拌羽をビーターにした攪拌機を用い、２０００ｒｐｍで激しく攪拌し、メカニカルフロス法にて気泡を取り込んだ。別途、（Ａ）成分のＲＸ－１（１００質量部）と（Ｃ）成分のＭＯＣＡ（２１質量部）とを混合して１２０℃で均一溶液を準備した。十分に脱気した後、１００℃まで冷却した該均一溶液を、前記気泡を取り込んだＰｒｅ－２に加え、窒素雰囲気下中、攪拌羽をビーターにした攪拌機を用い、２０００ｒｐｍで激しく攪拌し、メカニカルフロス法にて気泡を取り込み、発泡構造を有する均一な重合性組成物を得た。各配合量を表６に示した。活性水素を持つ基の合計モル数と、（Ｂ）成分　Ｐｒｅ－２におけるイソ（チオ）シアネート基とのモル比も表６に示した。また、全活性水素を持つ基のモル数と、（Ｂ）成分　Ｐｒｅ－２におけるイソ（チオ）シアネート基とのモル比も表６に示した。活性水素を持つ基の合計モル数、および全活性水素を持つ基のモル数共に、（Ｃ）成分の活性水素を持つ基のモル数を含む値である。
（Ａ）：ＲＸ－１　１００質量部。
（Ｂ）：Ｐｒｅ－２　２９６質量部。
（Ｃ）：ＭＯＣＡ　２１質量部。
（その他の成分）：Ｌ－５６１７　６．３質量部。
　前記重合性組成物を金型へ注入し、１００℃で硬化させた。重合終了後、鋳型からウレタン樹脂を取り外し、厚さ２ｍｍの発泡ウレタン樹脂を得た。得られたウレタン樹脂の研磨レートは３．２μｍ／ｈｒ、耐スクラッチ性は１、テーバー摩耗量は１５ｍｇ、Ｄ硬度は２０、密度は０．７ｇ／ｃｍ３、ヒステリシスロスは１０％であった。これら評価は、実施例１０と同様の方法で行った。結果を表７に示した。
　＜実施例１６～２０、比較例４＞
　表６に示した組成の重合性組成物を用いた以外は、実施例１５と同様な方法で硬化体を作製し、評価を行なった。結果を表７に示した。
　＜実施例２１＞
　７０℃に加温した（Ｂ）成分のＰｒｅ－２（３４１質量部；ウレタンプレポリマー（Ｂ２））に、その他の成分のＳＺ１１４２（６．８質量部）、水（０．４質量部）、ＥＴ（０．２質量部）を加え、自転公転攪拌機（シンキー製）を用い、２０００ｒｐｍで１分攪拌した。別途、（Ａ）成分のＲＸ－１（１００質量部）と（Ｃ）成分のＭＯＣＡ（２１質量部）とを混合して１２０℃で均一溶液を準備した。十分に脱気した後、１００℃まで冷却した該均一溶液を、前記気泡を取り込んだＰｒｅ－２に加え、自転公転攪拌機（シンキー社製）を用い、２０００ｒｐｍで１分攪拌し、発泡構造を有する均一な重合性組成物を得た。各配合量を表６に示した。活性水素基の合計モル数と、（Ｂ）成分　Ｐｒｅ－２におけるイソ（チオ）シアネート基とのモル比も表６に示した。また、全活性水素基のモル数と、（Ｂ）成分　Ｐｒｅ－２におけるイソ（チオ）シアネート基とのモル比も表６に示した。活性水素基の合計モル数、および全活性水素基のモル数共に、（Ｃ）成分の活性水素基のモル数を含む値である。
（Ａ）：ＲＸ－１　１００質量部。
（Ｂ）：Ｐｒｅ－２　３４１質量部。
（Ｃ）：ＭＯＣＡ　２１質量部。
（その他の成分）：ＳＺ１１４２　６．８質量部、水　０．４質量部、ＥＴ　０．２質量部。
　前記重合性組成物を金型へ注入し、１００℃で硬化させた。重合終了後、鋳型からウレタン樹脂を取り外し、厚さ２ｍｍの発泡ウレタン樹脂を得た。得られたウレタン樹脂の研磨レートは３．４μｍ／ｈｒ、耐スクラッチ性は１、テーバー摩耗量は１４ｍｇ、Ｄ硬度は２３、密度は０．９ｇ／ｃｍ３、ヒステリシスロスは８％であった。これら評価は、実施例１０と同様の方法で行った。結果を表７に示した。
　＜実施例２２＞
　表６に示した組成の重合性組成物を用いた以外は、実施例２１と同様な方法で硬化体を作製し、評価を行なった。結果を表７に示した。
　＜実施例２３＞
　７０℃に加温した（Ｂ）成分のＰｒｅ－２（３０７質量部；ウレタンプレポリマー（Ｂ２））に、９２０－４０（３．４質量部）を加え、自転公転攪拌機（シンキー社製）を用い、２０００ｒｐｍで１．５分攪拌した。別途、（Ａ）成分のＲＸ－１（１００質量部）と（Ｃ）成分のＭＯＣＡ（２１質量部）とを混合して１２０℃で均一溶液を準備した。十分に脱気した後、１００℃まで冷却した該均一溶液を、前記気泡を取り込んだＰｒｅ－２に加え、自転公転攪拌機（シンキー社製）を用い、２０００ｒｐｍで１．５分攪拌し、発泡構造を有する均一な重合性組成物を得た。各配合量を表６に示した。活性水素基の合計モル数と、（Ｂ）成分　Ｐｒｅ－２におけるイソ（チオ）シアネート基とのモル比も表６に示した。また、全活性水素基のモル数と、（Ｂ）成分　Ｐｒｅ－２におけるイソ（チオ）シアネート基とのモル比も表６に示した。活性水素基の合計モル数、および全活性水素基のモル数共に、（Ｃ）成分の活性水素基のモル数を含む値である。
（Ａ）：ＲＸ－１　１００質量部。
（Ｂ）：Ｐｒｅ－２　３０７質量部。
（Ｃ）：ＭＯＣＡ　２１質量部。
（その他の成分）：９２０－４０　３．４質量部
　前記重合性組成物を金型へ注入し、１００℃で硬化させた。重合終了後、鋳型からウレタン樹脂を取り外し、厚さ２ｍｍの発泡ウレタン樹脂を得た。得られたウレタン樹脂の研磨レートは３．３μｍ／ｈｒ、耐スクラッチ性は１、テーバー摩耗量１７ｍｇは、Ｄ硬度は２７、密度は０．８ｇ／ｃｍ３、ヒステリシスロスは２５％であった。これら評価は、実施例１０と同様の方法で行った。結果を表７に示した。
　＜実施例２４＞
　表６に示した組成の重合性組成物を用いた以外は、実施例２２と同様な方法で硬化体を作製し、評価を行なった。結果を表７に示した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000013
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000014
　以上の実施例、比較例から明らかな通り、（Ａ）成分のポリロタキサンを用い得られる研磨用ウレタン樹脂は、優れた耐久性を有することが明らかである。
１：ポリロタキサン
２：軸分子
３：環状分子
４：嵩高い末端基
５：側鎖

Claims (8)

  1. 　軸分子と該軸分子を包接する複数の環状分子とからなる複合分子構造を有してなり、該環状分子の少なくとも一部に、活性水素を持つ基を有する側鎖が導入されたポリロタキサン（Ａ）、及び、
    　ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）
    を含む重合性組成物を重合して得られるウレタン樹脂。
  2. 　前記重合性組成物が、
    　前記ポリロタキサン（Ａ）１００質量部に対して、前記ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）を３～２０００質量部含有する請求項１に記載のウレタン樹脂。
  3. 　前記重合性組成物が、前記ポリロタキサン（Ａ）以外の、活性水素を持つ基を有する活性水素含有化合物（Ｃ）をさらに含む請求項１に記載のウレタン樹脂。
  4. 　前記活性水素含有化合物（Ｃ）が、活性水素を持つ基としてアミノ基を有するアミノ基化合物（ＣＡ）を含む請求項３に記載のウレタン樹脂。
  5. 　前記重合性組成物が、
    　前記ポリロタキサン（Ａ）１００質量部に対して、
    　前記ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）を１０～３０００質量部、及び
    　前記活性水素含有化合物（Ｃ）を３～２０００質量部
    含有する請求項３又は４に記載のウレタン樹脂。
  6. 　前記ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）が、
    　分子内に２つの活性水素を持つ基を有する２官能活性水素含有化合物（Ｃ１）と、
    　分子内に２つのイソ（チオ）シアネート基を有する２官能イソ（チオ）シアネート基含有化合物（Ｂ１）と、を反応させて得られる、
    　分子の末端にイソ（チオ）シアネート基を有するウレタンプレポリマー（Ｂ２）を含むものである請求項１～４の何れかに記載のウレタン樹脂。
  7. 　前記ウレタンプレポリマー（Ｂ２）を含む前記ポリイソ（チオ）シアネート化合物（Ｂ）のイソシアネート当量が３００～５０００の範囲にある請求項６に記載のウレタン樹脂。
  8. 　請求項１～７の何れかに記載のウレタン樹脂からなる研磨用パッド。
PCT/JP2017/041200 2016-11-17 2017-11-16 ポリロタキサンを用いたウレタン樹脂、および研磨用パッド WO2018092826A1 (ja)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018551671A JP7130556B2 (ja) 2016-11-17 2017-11-16 ポリロタキサンを用いたウレタン樹脂、および研磨用パッド
MYPI2019002083A MY189105A (en) 2016-11-17 2017-11-16 Urethane resin comprising a polyrotaxane and polishing pad
CN201780062077.3A CN109790274B (zh) 2016-11-17 2017-11-16 使用聚轮烷的氨基甲酸酯树脂、以及抛光垫
EP17872366.4A EP3543267A4 (en) 2016-11-17 2017-11-16 URETHANE RESIN WITH POLYROTAXAN AND POLISHING CUSHION
KR1020197009430A KR102415172B1 (ko) 2016-11-17 2017-11-16 폴리로탁산을 사용한 우레탄 수지 및 연마용 패드
US16/344,599 US10920007B2 (en) 2016-11-17 2017-11-16 Urethane resin comprising a polyrotaxane and polishing pad
IL266663A IL266663A (en) 2016-11-17 2019-05-15 Urethane resin containing polyrotaxane and polishing pad

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016-224330 2016-11-17
JP2016224330 2016-11-17
JP2017-161744 2017-08-25
JP2017161744 2017-08-25

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2018092826A1 true WO2018092826A1 (ja) 2018-05-24

Family

ID=62146537

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2017/041200 WO2018092826A1 (ja) 2016-11-17 2017-11-16 ポリロタキサンを用いたウレタン樹脂、および研磨用パッド

Country Status (9)

Country Link
US (1) US10920007B2 (ja)
EP (1) EP3543267A4 (ja)
JP (1) JP7130556B2 (ja)
KR (1) KR102415172B1 (ja)
CN (1) CN109790274B (ja)
IL (1) IL266663A (ja)
MY (1) MY189105A (ja)
TW (1) TWI814714B (ja)
WO (1) WO2018092826A1 (ja)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019069694A1 (ja) * 2017-10-04 2019-04-11 豊田合成株式会社 架橋ポリロタキサンを有する化合物及びアクチュエータ
WO2019198675A1 (ja) * 2018-04-10 2019-10-17 株式会社トクヤマ ポリロタキサンを用いたウレタン樹脂、および研磨用パッド
WO2020096010A1 (ja) * 2018-11-08 2020-05-14 株式会社トクヤマ イオン性基含有ロタキンサンモノマーを含む硬化性組成物、および該硬化性組成物からなる研磨用パッド
JP2020189953A (ja) * 2019-05-24 2020-11-26 株式会社イノアックコーポレーション ポリウレタン発泡体
WO2021117837A1 (ja) 2019-12-11 2021-06-17 株式会社トクヤマ イオン性基含有マイクロバルーンおよびその製造方法
WO2021241708A1 (ja) * 2020-05-28 2021-12-02 株式会社トクヤマ 積層研磨パッド
WO2022045018A1 (ja) 2020-08-26 2022-03-03 株式会社トクヤマ 重合性官能基含有マイクロバルーン
JP2022113157A (ja) * 2018-11-08 2022-08-03 株式会社トクヤマ 研磨用パッド
WO2022163766A1 (ja) 2021-01-29 2022-08-04 株式会社トクヤマ 環状多官能モノマーを含む硬化性組成物
WO2022163781A1 (ja) 2021-01-29 2022-08-04 国立大学法人鹿児島大学 メラミン系樹脂からなる新規な微小中空粒子
KR20230047101A (ko) 2020-08-05 2023-04-06 가부시끼가이샤 도꾸야마 경화성 조성물 및 그 경화체

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10259099B2 (en) * 2016-08-04 2019-04-16 Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Inc. Tapering method for poromeric polishing pad
EP3543267A4 (en) * 2016-11-17 2020-07-08 Tokuyama Corporation URETHANE RESIN WITH POLYROTAXAN AND POLISHING CUSHION
US11779653B2 (en) 2017-09-29 2023-10-10 The Regents Of The University Of California Multi-armed polyrotaxane platform for protected nucleic acid delivery
JP6660924B2 (ja) * 2017-10-11 2020-03-11 Ｂａｓｆ Ｉｎｏａｃポリウレタン株式会社 バウンドストッパおよびその製造方法
JP7264775B2 (ja) * 2019-09-03 2023-04-25 エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社 光コネクタ研磨用パッド
TW202204461A (zh) * 2020-03-31 2022-02-01 日商德山股份有限公司 Ｃｍｐ研磨墊用中空微球
CN111909337B (zh) * 2020-08-14 2022-04-26 广州市白云化工实业有限公司 交联剂、聚氨酯预聚体以及单组分聚氨酯胶

Citations (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006115255A1 (ja) 2005-04-25 2006-11-02 The University Of Tokyo ゲル状組成物及びその製造方法
JP2007077207A (ja) 2005-09-12 2007-03-29 Toyo Tire & Rubber Co Ltd 微細気泡ポリウレタン発泡体の製造方法及び、微細気泡ポリウレタン発泡体からなる研磨パッド
WO2010024431A1 (ja) * 2008-09-01 2010-03-04 アドバンスト・ソフトマテリアルズ株式会社 溶媒フリーの架橋ポリロタキサンを有する材料、及びその製造方法
JP2010138258A (ja) * 2008-12-10 2010-06-24 Lintec Corp 粘着剤組成物及び粘着シート
WO2011108515A1 (ja) * 2010-03-02 2011-09-09 アドバンスト・ソフトマテリアルズ株式会社 架橋ポリロタキサンを有する材料、及びその製造方法
JP2011241401A (ja) * 2011-05-30 2011-12-01 Advanced Softmaterials Inc 架橋ポリロタキサンを有する材料、及びその製造方法
WO2013099842A1 (ja) * 2011-12-26 2013-07-04 アドバンスト・ソフトマテリアルズ株式会社 修飾化ポリロタキサン及びその製造方法、並びに修飾化ポリロタキサンを有して形成される材料
WO2015068798A1 (ja) 2013-11-11 2015-05-14 株式会社トクヤマ フォトクロミック組成物
JP2015178558A (ja) 2014-03-19 2015-10-08 Dic株式会社 ウレタン組成物及び研磨材
WO2015159875A1 (ja) 2014-04-15 2015-10-22 宇部興産株式会社 注型熱硬化型ポリウレタンエラストマー
WO2016114243A1 (ja) 2015-01-13 2016-07-21 アドバンスト・ソフトマテリアルズ株式会社 熱可塑性エラストマー用組成物、熱可塑性エラストマー、及び熱可塑性エラストマーの製造方法
JP2016153729A (ja) * 2015-02-20 2016-08-25 住友理工株式会社 変形量測定構造体
WO2016143910A1 (ja) * 2015-03-10 2016-09-15 株式会社トクヤマ フォトクロミック硬化体の製造方法
JP2017048305A (ja) 2015-09-01 2017-03-09 宇部興産株式会社 熱硬化型ポリウレタン
JP2017075301A (ja) 2015-10-14 2017-04-20 宇部興産株式会社 注型熱硬化型ポリウレタンエラストマー

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4467262B2 (ja) * 2003-08-28 2010-05-26 株式会社ブリヂストン 架橋体及びその製造方法、並びにそのリサイクル方法
JP4638718B2 (ja) * 2004-12-01 2011-02-23 Ｈｏｙａ株式会社 レンズ鏡筒
JP5311530B2 (ja) * 2006-02-23 2013-10-09 リンテック株式会社 粘着シート
WO2013061988A1 (ja) * 2011-10-28 2013-05-02 宇部興産株式会社 水性ポリウレタン樹脂分散体組成物
WO2014080981A1 (ja) * 2012-11-22 2014-05-30 国立大学法人 東京大学 新規ポリロタキサン及びその製造方法
KR101587190B1 (ko) * 2013-03-15 2016-01-20 주식회사 엘지화학 플라스틱 필름
JP6460895B2 (ja) * 2015-04-17 2019-01-30 Ｔｏｙｏ Ｔｉｒｅ株式会社 軟質ポリウレタンフォーム製造用ポリオール組成物、軟質ポリウレタンフォーム及び軟質ポリウレタンフォームの製造方法
JP2016204434A (ja) * 2015-04-17 2016-12-08 東洋ゴム工業株式会社 軟質ポリウレタンフォーム製造用ポリオール組成物および軟質ポリウレタンフォーム
EP3543267A4 (en) * 2016-11-17 2020-07-08 Tokuyama Corporation URETHANE RESIN WITH POLYROTAXAN AND POLISHING CUSHION

Patent Citations (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006115255A1 (ja) 2005-04-25 2006-11-02 The University Of Tokyo ゲル状組成物及びその製造方法
JP2007077207A (ja) 2005-09-12 2007-03-29 Toyo Tire & Rubber Co Ltd 微細気泡ポリウレタン発泡体の製造方法及び、微細気泡ポリウレタン発泡体からなる研磨パッド
WO2010024431A1 (ja) * 2008-09-01 2010-03-04 アドバンスト・ソフトマテリアルズ株式会社 溶媒フリーの架橋ポリロタキサンを有する材料、及びその製造方法
JP2010138258A (ja) * 2008-12-10 2010-06-24 Lintec Corp 粘着剤組成物及び粘着シート
WO2011108515A1 (ja) * 2010-03-02 2011-09-09 アドバンスト・ソフトマテリアルズ株式会社 架橋ポリロタキサンを有する材料、及びその製造方法
JP2011241401A (ja) * 2011-05-30 2011-12-01 Advanced Softmaterials Inc 架橋ポリロタキサンを有する材料、及びその製造方法
WO2013099842A1 (ja) * 2011-12-26 2013-07-04 アドバンスト・ソフトマテリアルズ株式会社 修飾化ポリロタキサン及びその製造方法、並びに修飾化ポリロタキサンを有して形成される材料
WO2015068798A1 (ja) 2013-11-11 2015-05-14 株式会社トクヤマ フォトクロミック組成物
JP2015178558A (ja) 2014-03-19 2015-10-08 Dic株式会社 ウレタン組成物及び研磨材
WO2015159875A1 (ja) 2014-04-15 2015-10-22 宇部興産株式会社 注型熱硬化型ポリウレタンエラストマー
WO2016114243A1 (ja) 2015-01-13 2016-07-21 アドバンスト・ソフトマテリアルズ株式会社 熱可塑性エラストマー用組成物、熱可塑性エラストマー、及び熱可塑性エラストマーの製造方法
JP2016153729A (ja) * 2015-02-20 2016-08-25 住友理工株式会社 変形量測定構造体
WO2016143910A1 (ja) * 2015-03-10 2016-09-15 株式会社トクヤマ フォトクロミック硬化体の製造方法
JP2017048305A (ja) 2015-09-01 2017-03-09 宇部興産株式会社 熱硬化型ポリウレタン
JP2017075301A (ja) 2015-10-14 2017-04-20 宇部興産株式会社 注型熱硬化型ポリウレタンエラストマー

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP3543267A4

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019069694A1 (ja) * 2017-10-04 2019-04-11 豊田合成株式会社 架橋ポリロタキサンを有する化合物及びアクチュエータ
WO2019198675A1 (ja) * 2018-04-10 2019-10-17 株式会社トクヤマ ポリロタキサンを用いたウレタン樹脂、および研磨用パッド
JPWO2019198675A1 (ja) * 2018-04-10 2021-05-13 株式会社トクヤマ ポリロタキンサンを用いたウレタン樹脂、および研磨用パッド
US11912813B2 (en) 2018-04-10 2024-02-27 Tokuyama Corporation Urethane resin using polyrotaxane, and pad for polishing
JP2022113157A (ja) * 2018-11-08 2022-08-03 株式会社トクヤマ 研磨用パッド
WO2020096010A1 (ja) * 2018-11-08 2020-05-14 株式会社トクヤマ イオン性基含有ロタキンサンモノマーを含む硬化性組成物、および該硬化性組成物からなる研磨用パッド
JP2020189953A (ja) * 2019-05-24 2020-11-26 株式会社イノアックコーポレーション ポリウレタン発泡体
WO2021117837A1 (ja) 2019-12-11 2021-06-17 株式会社トクヤマ イオン性基含有マイクロバルーンおよびその製造方法
WO2021241708A1 (ja) * 2020-05-28 2021-12-02 株式会社トクヤマ 積層研磨パッド
KR20230017190A (ko) 2020-05-28 2023-02-03 가부시끼가이샤 도꾸야마 적층 연마 패드
KR20230047101A (ko) 2020-08-05 2023-04-06 가부시끼가이샤 도꾸야마 경화성 조성물 및 그 경화체
WO2022045018A1 (ja) 2020-08-26 2022-03-03 株式会社トクヤマ 重合性官能基含有マイクロバルーン
WO2022163766A1 (ja) 2021-01-29 2022-08-04 株式会社トクヤマ 環状多官能モノマーを含む硬化性組成物
WO2022163781A1 (ja) 2021-01-29 2022-08-04 国立大学法人鹿児島大学 メラミン系樹脂からなる新規な微小中空粒子
KR20230135081A (ko) 2021-01-29 2023-09-22 가부시끼가이샤 도꾸야마 환상 다관능 모노머를 포함하는 경화성 조성물

Also Published As

Publication number Publication date
JPWO2018092826A1 (ja) 2019-10-17
US10920007B2 (en) 2021-02-16
KR20190077322A (ko) 2019-07-03
US20190263961A1 (en) 2019-08-29
KR102415172B1 (ko) 2022-07-01
TW201831550A (zh) 2018-09-01
CN109790274B (zh) 2021-11-02
MY189105A (en) 2022-01-25
EP3543267A4 (en) 2020-07-08
CN109790274A (zh) 2019-05-21
EP3543267A1 (en) 2019-09-25
JP7130556B2 (ja) 2022-09-05
IL266663A (en) 2019-07-31
TWI814714B (zh) 2023-09-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2018092826A1 (ja) ポリロタキサンを用いたウレタン樹脂、および研磨用パッド
WO2019198675A1 (ja) ポリロタキサンを用いたウレタン樹脂、および研磨用パッド
WO2020032056A1 (ja) ポリ擬ロタキサンモノマーを含む硬化性組成物
WO2019221249A1 (ja) 低水分量ポリロタキサンモノマー、および該モノマーを含む硬化性組成物
WO2020096010A1 (ja) イオン性基含有ロタキンサンモノマーを含む硬化性組成物、および該硬化性組成物からなる研磨用パッド
WO2022138769A1 (ja) 活性水素基含有側鎖を有する環状分子、および該環状分子を含む硬化性組成物
WO2021241708A1 (ja) 積層研磨パッド
WO2022030531A1 (ja) 硬化性組成物及びその硬化体
WO2022163781A1 (ja) メラミン系樹脂からなる新規な微小中空粒子
WO2022163766A1 (ja) 環状多官能モノマーを含む硬化性組成物
CN116806229A (zh) 含有环状单体的新型的固化性组合物
CN116745333A (zh) 由三聚氰胺系树脂形成的新型的微小中空颗粒

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 17872366

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20197009430

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2018551671

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2017872366

Country of ref document: EP

Effective date: 20190617