WO2017221783A1 - 積層フィルム - Google Patents

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WO2017221783A1
WO2017221783A1 PCT/JP2017/021943 JP2017021943W WO2017221783A1 WO 2017221783 A1 WO2017221783 A1 WO 2017221783A1 JP 2017021943 W JP2017021943 W JP 2017021943W WO 2017221783 A1 WO2017221783 A1 WO 2017221783A1
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laminated film
layer
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film according
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沢本敦司
末岡雅則
松井一直
佐藤幸平
佃明光
道添純二
金度均
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東レ株式会社
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    • C08J2433/04—Characterised by the use of homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical, or of salts, anhydrides, esters, amides, imides, or nitriles thereof; Derivatives of such polymers esters
    • C08J2433/06—Characterised by the use of homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical, or of salts, anhydrides, esters, amides, imides, or nitriles thereof; Derivatives of such polymers esters of esters containing only carbon, hydrogen, and oxygen, the oxygen atom being present only as part of the carboxyl radical

Definitions

  • the present invention relates to a laminated film that can be suitably used as a display film, particularly as a cover film on the front surface of a flexible display.
  • Such a display requires a film that replaces glass in order to reduce weight and prevent cracking due to bending or impact.
  • a film that replaces the glass used for the front plate of the touch panel there is a demand for a film having a surface hardness that is not easily damaged, specifically a pencil hardness of 5H or more.
  • Such a film needs to be compatible with not only the high transparency but also the bending resistance, which is a characteristic contrary to the above surface hardness.
  • Patent Documents 1 to 4 propose a high-hardness film having a hard coat layer on a film of an acrylic resin, a polyester resin, or a triacetyl cellulose resin.
  • Patent Documents 5 to 7 propose a thin film with high hardness.
  • Patent Document 8 describes a wholly aromatic polyamide film. Although this is excellent in bending resistance, it cannot be said that the surface hardness of the film alone is sufficient.
  • An object of the present invention is to provide a laminated film that realizes both bending resistance by expressing high surface hardness even in a thin film.
  • a laminated film according to the present invention is a laminated film in which a cured layer containing a curable resin is laminated on at least one side of the film,
  • the total thickness is 1-100 ⁇ m
  • the light transmittance at a wavelength of 400 nm is 70% or more
  • the Young's modulus when the surface of the cured layer is pushed in by 1 ⁇ m with a nanoindenter in the thickness direction is 5 GPa or more
  • the deformation amount after applying a stress of 0.5 MPa for 30 minutes is 500 ppm or less.
  • the present invention it is possible to provide a laminated film that realizes both bending resistance by expressing a high surface hardness even in a thin film, and can be suitably used particularly as a cover film on the front surface of a display.
  • the laminated film of the present invention is a laminated film in which a layer containing a curable resin (hereinafter sometimes referred to as a cured layer) is laminated on at least one side of a base film, and the total thickness of the laminated film is 1 to 100 ⁇ m. is there.
  • a layer containing a curable resin hereinafter sometimes referred to as a cured layer
  • the total thickness of the laminated film is preferably from 5 to 80 ⁇ m, more preferably from the viewpoint of achieving a higher level of surface hardness and bending resistance, and more preferably from 10 to 50 ⁇ m.
  • the curable resin contained in the cured layer is preferably a thermosetting resin or an ultraviolet curable resin, specifically, an organic silicone type, a polyol type, a melamine type, an epoxy type, a polyfunctional acrylate type, a urethane.
  • resins such as organic resins, isocyanate resins, organic-inorganic hybrid materials which are composite materials of organic materials and inorganic materials, and silsesquioxane resins having a curable functional group. More preferred are epoxy-based, polyfunctional acrylate-based, organic-inorganic hybrid-based, and silsesquioxane-based resins. More preferred are polyfunctional acrylate-based, organic-inorganic hybrid-based, and silsesquioxane-based resins.
  • polyfunctional acrylate-based and silsesquioxane-based resins used as the curable resin polyfunctional acrylate monomers, oligomers, urethane acrylate oligomers, alkoxysilanes, alkoxysilane hydrolysates, alkoxysilane oligomers, and the like are preferable.
  • polyfunctional acrylate monomers include polyfunctional acrylates having two or more (meth) acryloyloxy groups in one molecule and modified polymers thereof. Specific examples include pentaerythritol tri (meth) acrylate and pentaerythritol.
  • pentaerythritol triacrylate hexanemethylene diisocyanate urethane polymer can be used. These monomers can be used alone or in combination of two or more.
  • Each cured layer preferably contains one or more kinds of particles.
  • the particles may be either inorganic particles or organic particles, but it is preferable to contain inorganic particles in order to improve the surface hardness.
  • the inorganic particles are not particularly limited, and examples thereof include metal and metalloid oxides, silicides, nitrides, borides, chlorides, and carbonates. Specifically, silica (SiO 2 ), aluminum oxide (Al 2 O 3 ), zinc oxide (ZnO), zirconium oxide (ZrO 2 ), titanium oxide (TiO 2 ), antimony oxide (Sb 2 O 3 ), and indium At least one particle selected from the group consisting of tin oxide (In 2 O 3 ) is preferred.
  • the particle diameter is preferably 1 to 300 nm.
  • the particle diameter is more preferably from 50 to 200 nm, and even more preferably from 100 to 150 nm, from the viewpoint that the surface hardness and the bending resistance are compatible at a higher level.
  • the particles are preferably subjected to surface treatment.
  • Surface treatment here refers to introducing a compound onto the particle surface by chemical bonding (including covalent bonding, hydrogen bonding ionic bonding, van der Waals bonding, hydrophobic bonding, etc.) and adsorption (including physical adsorption and chemical adsorption).
  • the particle / resin mass ratio is more preferably 30/70 to 70/30, and even more preferably 40/60 to 60/40, since the surface hardness and the bending resistance are compatible at a higher level. .
  • the cured layer preferably has a thickness of one side of 1 to 20 ⁇ m. More preferably, it is 1 to 10 ⁇ m. If the thickness of the hardened layer is thinner than 1 ⁇ m, the surface hardness may be lowered. Moreover, when the thickness of a hardened layer exceeds 10 micrometers, when a laminated
  • the B layer is in contact with the film (A layer), and the C layer is B.
  • B layer / A layer, C layer / B layer / A layer, B layer / A layer / B layer, C layer / B layer / A layer / B layer / C layer It is preferable to include any one of the laminated structures. More preferably, it includes any laminated structure of C layer / B layer / A layer, B layer / A layer / B layer, C layer / B layer / A layer / B layer / C layer.
  • a method of diluting or dissolving a curable resin, particles or the like using an organic solvent, and applying the solution on a film with a metabar or a slit die can be cited. It can. Then, the cured layer of desired thickness is obtained by hardening the curable resin apply
  • the curing method include thermal curing, ultraviolet irradiation, and photocuring by electron beam (EB) irradiation, but are not particularly limited.
  • the organic solvent used for diluting or dissolving the curable resin is methanol, ethanol, isopropyl alcohol, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, ethyl acetate, methyl acetate, butyl acetate, toluene, methylene chloride, butyro It is preferable that at least one is selected from cellulose.
  • it may already be diluted with a solvent other than the organic solvent described above.
  • concentration of an above described solvent shall be 30 mass% or more. When the concentration of the solvent is less than 30% by mass, whitening, curling, and wrinkling may occur on the film during coating.
  • the laminated film preferably has an intermediate layer having a thickness of 0.5 to 6.0 ⁇ m between the base film and the cured layer, the electron density by SEM observation being different from that of the film and the cured layer.
  • the difference in electron density is determined by reading the density difference of the SEM photograph with an image analyzer and binarizing it.
  • middle layer expresses adhesive force between a base film and a hardened layer, and also becomes difficult to peel even when it bends repeatedly. If the intermediate layer is less than 0.5 ⁇ m, peeling may occur during repeated bending, and if it exceeds 6.0 ⁇ m, the hardness may be reduced.
  • a solvent having a good solvent / poor solvent mass ratio of 15/85 to 50/50 is used as a solvent for forming the cured layer described later.
  • the good solvent acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, n-methyl-2-pyrrolidone, butyrocellulose and the like are preferable
  • the poor solvent ethanol, methanol, isopropyl alcohol, butyl acetate, ethyl acetate, methyl acetate, toluene And methylene chloride are preferred.
  • the laminated film preferably has EA> EC and EB> EC.
  • the elastic modulus of each layer is obtained by measuring the cross section of the laminate by a force volume method using an atomic force microscope (AFM).
  • FAM atomic force microscope
  • EA> EC and EB> EC can be achieved by using a solvent having a good solvent / poor solvent mass ratio of 15/85 to 50/50 as a solvent for forming a cured layer described later.
  • a solvent having a good solvent / poor solvent mass ratio of 15/85 to 50/50 as a solvent for forming a cured layer described later.
  • the good solvent acetone, methyl ethyl ketone, n-methyl-2-pyrrolidone, butyrocellulose and the like are preferable
  • the poor solvent ethanol, methanol, isopropyl alcohol, butyl acetate, ethyl acetate, methyl acetate, toluene, methylene chloride and the like Is preferred.
  • the laminated film preferably has an average roughness Ra of the cured layer surface of 1 to 10 nm. If Ra is less than 1 nm, the slipperiness of the surface may be poor and scratches may be formed. If Ra exceeds 10 nm, the protrusions may be shaved and scratches may occur.
  • the average roughness Ra is more preferably 2 to 8 nm, and even more preferably 3 to 7 nm because scratches are less likely to be scratched.
  • An average roughness Ra on the surface of the hardened layer can be 1 to 10 nm by adding particles having the above-mentioned particle diameter in the above-described content.
  • the laminated film has a Young's modulus of 5 GPa or more when the surface of the cured layer is pressed by 1 ⁇ m in the thickness direction with a nanoindenter.
  • the upper limit of the Young's modulus is not particularly defined, but is usually about 20 GPa. Since defects such as dents at the time of contact can be further suppressed, the Young's modulus when pushed in by 1 ⁇ m in the thickness direction with a nanoindenter is more preferably 6 GPa or more, and further preferably 7 GPa or more.
  • Such Young's modulus can be achieved by using the above-described particle size and resin for the cured layer.
  • the above Young's modulus is preferably satisfied for at least one of them, and it is more preferable that both the cured layers satisfy the above Young's modulus.
  • the laminated film has a light transmittance of 70% or more at a wavelength of 400 nm.
  • the light transmittance of light at a wavelength of 400 nm is less than 70%, the visibility may be lowered when used for a cover film.
  • the upper limit of the light transmittance is 100%.
  • the amount is more preferably 75% or more, and further preferably 80% or more.
  • a polymer with suppressed absorption on the visible light low wavelength side for example, a polymer containing structural units represented by chemical formulas (I) to (IV) described later Can be achieved by using.
  • the laminated film preferably has a yellowness (YI) of 5.0 or less. If the yellowness (YI) exceeds 5.0, the visibility may be lowered when used for a cover film. Since visibility improves more, it is more preferable that it is 4.0 or less, and it is further more preferable that it is 3.5 or less.
  • the degree of yellowness (YI) can be reduced to 5.0 or less by introducing a structure in which a conjugated bond does not last long in the polymer forming the film. In particular, in the case of an aromatic system, it is preferable to introduce an electron-withdrawing substituent such as fluorine into the aromatic ring.
  • the laminated film preferably has a glass transition temperature of 150 ° C. or higher. More preferably, the glass transition temperature is 200 ° C. or higher, and further preferably the glass transition temperature is 250 ° C. or higher. If the glass transition temperature is lower than 150 ° C., curling, cracking, or misalignment may occur when ITO is formed on the film for curing or when a thin film transistor (TFT) is formed.
  • TFT thin film transistor
  • the laminated film preferably has a haze of 5% or less. If the haze is greater than 5%, the brightness may decrease when the haze is incorporated into a display device. Since brightness becomes higher, 4% or less is more preferable, and 3% or less is more preferable. In order to reduce the haze to 5% or less, it can be achieved by reducing foreign matter in the film to reduce internal haze, smoothing the film surface, and reducing irregular reflection (external haze) on the surface.
  • the laminated film preferably has a Young's modulus in at least one direction in the plane direction of the laminated film exceeding 5.0 GPa.
  • the Young's modulus exceeds 5.0 GPa, not only does it contribute to improving surface hardness, but handling properties are also improved.
  • the storage elastic modulus at 30 ° C. is 5.0 GPa or more. More preferably, the storage elastic modulus at 30 ° C. is 5.5 GPa or more, more preferably the storage elastic modulus at 30 ° C. is 6.0 GPa or more, and most preferably the storage elastic modulus at 30 ° C. is 7.0 GPa or more. .
  • the Young's modulus in at least one direction in the plane direction of the laminated film is set to more than 5.0 GPa, for example, when a film used as a base material is formed into a laminated film by stretching in a film forming process and stretching molecular chains It is preferable because the Young's modulus can be improved.
  • the draw ratio is preferably 1.05 to 10.00 times in at least one direction, and more preferably 1.05 to 8.00 times. More preferably, it is 1.05 to 5.00 times. If it is less than 1.05 times, the effect of stretching is difficult to obtain, and if it exceeds 10.00 times, the film may be broken. It is also preferable to stretch two orthogonal directions of the film.
  • the laminated film has a deformation amount of 500 ppm or less after applying a stress of 0.5 MPa in at least one direction for 30 minutes. If it exceeds 500 ppm, the film may have streaks, flatness may deteriorate, or cracks may occur in the cured layer when it is repeatedly bent.
  • the content is preferably 0 to 500 ppm, more preferably 0 to 300 ppm, and still more preferably 0 to 100 ppm.
  • the stretching of the base film is preferably 1.05 to 10.00 times, more preferably 1.05 to 5.00 times in at least one direction. More preferably, it is 1.05 to 3.00 times. If it is less than 1.05 times, the effect of stretching is difficult to obtain, and if it exceeds 10.00 times, the film may be broken. It is also preferable to stretch two orthogonal directions of the film.
  • the heat treatment temperature is preferably 250 to 340 ° C., more preferably 300 to 340 ° C.
  • the polymer for the base film is preferably a polymer selected from polyamide, aromatic polyamide, and polyimide described later. For the cured layer, it is preferable to use the particles and the resin.
  • a hardened layer by applying a coating made of a curable resin on a film substrate in the order of application, drying, and curing. Further, when two or more cured layers are formed on one side, it is preferably formed on a film substrate by sequential or simultaneous application.
  • the sequential application means that a first cured layer is formed by applying, drying and curing one type of coating using a dip coating method, a roller coating method, a wire bar coating method, a gravure coating method or a die coating method.
  • the second cured layer is formed by applying, drying and curing a coating agent different from the first type on the first cured layer.
  • the simultaneous application is a method in which two or more kinds of coating agents are simultaneously applied, dried and cured using a multilayer slit die, and two or more cured layers are obtained by one application.
  • Drying methods include heat transfer drying, drying with hot air, drying by infrared irradiation, drying by microwave irradiation, and drying is not particularly limited, but drying by hot air irradiation is preferable.
  • Examples of the curing method include thermal curing by heat and curing by irradiating active energy rays such as an electron beam and ultraviolet rays.
  • curing is preferably performed at a temperature of 23 to 200 ° C, more preferably 80 to 200 ° C.
  • the oxygen concentration is preferably as low as possible, and is preferably cured in an inert gas atmosphere. If the oxygen concentration is high, curing may be insufficient.
  • Examples of the ultraviolet lamp used when irradiating with ultraviolet rays include a discharge lamp method, a flash method, a laser method, and an electrodeless lamp method.
  • the illuminance of the UV is preferably 100 to 3,000 mW / cm 2 , more preferably 200 to 2,000 mW / cm 2 . More preferably, it is 200 to 1,500 mW / cm 2 .
  • the protective film here refers to a film having a slightly adhesive layer on at least one side. By sticking the protective film, curling that occurs when the cured layer is formed on only one surface can be suppressed, and uneven application can be suppressed when the opposite surface is applied.
  • the laminated film includes a resin containing fluorine in the polymer structure in terms of achieving both light transmittance and mechanical properties such as Young's modulus in the thickness direction, and this resin is polyamide, aromatic polyamide, polyimide, aromatic polyimide, A film (base film) that is at least one resin selected from the group consisting of polyamideimide and aromatic polyamideimide is used, and a laminated film in which a cured layer is laminated on at least one side is preferable. More preferably, a polyamide or an aromatic polyamide containing fluorine in the polymer structure is used, and more preferably an aromatic polyamide containing fluorine in the polymer structure is used.
  • the resin is other than polyamide, aromatic polyamide, polyimide, aromatic polyimide, polyamideimide, and aromatic polyamideimide
  • the supporting force of the cured layer decreases, the Young's modulus in the thickness direction decreases, The interaction is small and the creep may increase.
  • the cross-section test piece of the laminated film is made by resin embedding method or freezing method, etc., and the composition analysis is performed by infrared spectroscopic analysis (IR) using the cross-section piece. It can be confirmed whether or not fluorine is contained.
  • IR infrared spectroscopic analysis
  • aprotic polar solvent such as N-methyl-2-pyrrolidone (NMP) or dimethyl sulfoxide (DMSO)
  • NMP N-methyl-2-pyrrolidone
  • DMSO dimethyl sulfoxide
  • IR infrared spectroscopy
  • NMR nuclear magnetic resonance spectroscopy
  • the laminated film is preferably a laminated film in which a cured layer is laminated on at least one surface of a base film containing structural units represented by the following chemical formulas (I) to (IV).
  • R 1 and R 2 are —H, an aliphatic group having 1 to 5 carbon atoms, —CF 3 , —CCl 3 , —OH, —F, —Cl, —Br, —OCH 3 , a silyl group, or an aromatic ring
  • a group containing Preferred is —CF 3 , —F, —Cl, or a group containing an aromatic ring.
  • R 3 is a group containing Si, a group containing P, a group containing S, a halogenated hydrocarbon group, a group containing an aromatic ring, or a group containing an ether bond (however, a structure having these groups in the molecule) Units may be mixed).
  • a group containing Si, a halogenated hydrocarbon group, a group containing an aromatic ring, or a group containing an ether bond is preferable. More preferably, it is a group containing Si.
  • R 4 is an arbitrary group. Although not particularly limited, —H, —Cl, and —F are preferable.
  • R 5 is an arbitrary aromatic group or an arbitrary alicyclic group. Although not particularly limited, phenyl, biphenyl, cyclohexane, and decalin are more preferable.
  • a polyamide solution that is, a film-forming stock solution.
  • a low-temperature solution polymerization method an interfacial polymerization method, a melt polymerization method, a solid-phase polymerization method, and the like can be used.
  • a low temperature solution polymerization method that is, from carboxylic acid dichloride and diamine, it is synthesized in an aprotic organic polar solvent.
  • Carboxylic acid dichlorides include terephthalic acid dichloride, 2-chloro-terephthalic acid dichloride, 2-fluoro-terephthalic acid dichloride, isophthalic acid dichloride, naphthalene dicarbonyl chloride, 4,4'-biphenyl dicarbonyl chloride, terphenyl dicarbonyl chloride, 1,4-cyclohexanedicarboxylic acid chloride, 1,3-cyclohexanedicarboxylic acid chloride, 2,6-decalin dicarboxylic acid chloride and the like can be mentioned, but 1,4-cyclohexanedicarboxylic acid chloride, terephthalic acid dichloride, 4,4 are preferable.
  • '-Biphenyl dicarbonyl chloride, isophthalic acid dichloride, 2-chloro-terephthalic acid dichloride are used.
  • diamine examples include 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,4′-diaminodiphenyl ether, 4,4′-diaminodiphenyl sulfone, 3,3′-diaminodiphenyl sulfone, and 2,2′-ditrifluoromethyl-4,4.
  • Examples include -4,4'-diaminobiphenyl and 4,4'-diaminodiphenyl sulfone.
  • Polyamide solution uses acid dichloride and diamine as monomers to produce hydrogen chloride as a by-product.
  • inorganic neutralizers such as calcium hydroxide, calcium carbonate, lithium carbonate, and ethylene
  • Organic neutralizers such as oxide, propylene oxide, ammonia, triethylamine, triethanolamine, diethanolamine are used.
  • the reaction between isocyanate and carboxylic acid is carried out in an aprotic organic polar solvent in the presence of a catalyst.
  • diamine and dicarboxylic acid dichloride When diamine and dicarboxylic acid dichloride are used as raw materials, they are amine terminals or carboxylic acid terminals depending on the composition ratio of the raw materials.
  • the end capping may be performed with other amine, carboxylic acid chloride, or carboxylic acid anhydride.
  • Compounds used for end-capping include benzoyl chloride, substituted benzoyl chloride, acetic anhydride, 5-norbornene-2,3-dicarboxylic anhydride, 4-ethynylaniline, 4-phenylethynylphthalic anhydride, maleic anhydride, etc. It can be illustrated.
  • aprotic polar solvent used in the production of polyamide examples include sulfoxide solvents such as dimethyl sulfoxide and diethyl sulfoxide, formamide solvents such as N, N-dimethylformamide and N, N-diethylformamide, N, N -Acetamide solvents such as dimethylacetamide, N, N-diethylacetamide, pyrrolidone solvents such as N-methyl-2-pyrrolidone, N-vinyl-2-pyrrolidone, phenol, o-, m- or p-cresol, xylenol And phenolic solvents such as halogenated phenol and catechol, or hexamethylphosphoramide and ⁇ -butyrolactone, which are preferably used alone or as a mixture. Using families hydrocarbons are also possible. Furthermore, for the purpose of accelerating the dissolution of the polymer, 50% by mass or less of an alkali metal or alkaline earth metal salt can be added
  • a base film made of polyamide, aromatic polyamide, or polyimide containing fluorine in the polymer structure may contain an inorganic or organic additive for the purpose of surface formation, processability improvement, and the like.
  • additives for surface formation include inorganic particles such as SiO 2 , TiO 2 , Al 2 O 3 , CaSO 4 , BaSO 4 , CaCO 3 , carbon black, carbon nanotubes, fullerene, zeolite, and other metal fine powders.
  • Preferred organic particles include, for example, particles made of an organic polymer such as crosslinked polyvinylbenzene, crosslinked acrylic, crosslinked polystyrene, polyester particles, polyimide particles, polyamide particles, and fluororesin particles, or the above organic polymer on the surface.
  • organic polymer such as crosslinked polyvinylbenzene, crosslinked acrylic, crosslinked polystyrene, polyester particles, polyimide particles, polyamide particles, and fluororesin particles, or the above organic polymer on the surface.
  • Inorganic particles that have been subjected to treatment such as coating may be mentioned.
  • the film-forming stock solution prepared as described above is formed into a film by a so-called solution film-forming method.
  • the solution casting method includes a dry-wet method, a dry method, a wet method, etc., and any method may be used, but here, the dry-wet method will be described as an example.
  • the stock solution is extruded from a die onto a support such as a drum, an endless belt, or a support film to form a thin film, and then dried until the thin film layer has self-holding property. Drying conditions can be performed, for example, at 23 to 220 ° C. within 60 minutes. Further, the smoother the surface of the drum, endless belt, and support film used in this drying step, the smoother the surface.
  • the film (sheet) that has been subjected to the dry process is peeled off from the support and introduced into the wet process, where desalting and solvent removal are performed, and further, stretching, drying, and heat treatment are performed to form a film.
  • the heat treatment temperature is preferably 250 to 340 ° C., more preferably 280 to 340 ° C., and further preferably 300 to 320 ° C. in order to control mechanical properties such as creep. If it exceeds 340 ° C, the yellowness (YI) may increase.
  • the heat treatment time is preferably 30 seconds or longer, more preferably 1 minute or longer, still more preferably 3 minutes or longer, more preferably 5 minutes or longer.
  • the heat treatment is preferably performed in an inert atmosphere such as nitrogen or argon.
  • a base film made of any one of polyamide, aromatic polyamide and polyimide containing fluorine in the polymer structure can be used as a laminated film.
  • a method of laminating before a die or in a die and casting it on a support is used.
  • Examples of a method of laminating in front of the die include a method of laminating using a laminating apparatus called a pinole, a composite tube, or a feed block.
  • a method of laminating in the die a method using a multilayer die or a multi-manifold die can be mentioned.
  • An organic solvent solution of a resin and an organic solvent solution of a polymer (resin composition) such as an aromatic polyamide often have different solution viscosities. Therefore, there is a possibility that it is difficult to obtain a good laminated structure by a method of laminating before a die such as pinol. For this reason, it is preferable to laminate using a multi-manifold base.
  • the film production method is controlled in the longitudinal direction of the film (in the film-conveying direction; hereinafter referred to as MD) and in the width direction (in the longitudinal direction in the film plane). It is preferable that the film is stretched at a draw ratio of 1.05 to 10.00 times.
  • the draw ratio in the MD direction is preferably 1.05 to 5.00 times, more preferably 1.05 to 3.00 times, still more preferably 1.05 to 2.00 times, and most preferably 1.05 to 1. 50 times.
  • the draw ratio in the TD direction is preferably 1.05 to 5.00 times or less, more preferably 1.05 to 3.00 times, still more preferably 1.05 to 2.00 times, and most preferably 1.05 to 1. .50 times.
  • the draw ratio in the TD direction is preferably 1.00 to 1.50 times the draw ratio in the MD direction. More preferably, it is 1.05 to 1.20 times, and most preferably 1.10 to 1.15 times.
  • the film structure is determined by its raw materials.
  • mass spectrometry analysis by a nuclear magnetic resonance method, spectroscopic analysis, or the like can be used.
  • the laminated film of the present invention described above includes a display material, a display material substrate, a circuit board, a flexible printed circuit board (FPC), a photoelectric composite circuit board, an optical waveguide board, a semiconductor mounting board, a multilayer laminated circuit board, a transparent conductive film.
  • Observation apparatus Electrolytic emission scanning electron microscope manufactured by JEOL Ltd. FE-SEM (JSM-6700F type) Observation magnification: 3,000 times Observation mode: LEI mode Acceleration voltage: 3 kV
  • the laminate cross-sectional sample for observation was created using the following apparatus.
  • Pencil hardness Using a HEIDON-14DR manufactured by Shinto Kagaku Co., Ltd., the hardness was measured at a temperature of 23 ° C. and a humidity of 65% RH. The measurement conditions are as follows. In addition, about the hardness of a pencil, it represents that it is hard in the following order shown below, 10B is the softest, and 9H is the hardest. Therefore, for example, “pencil hardness H or higher” means that the pencil hardness is any one of H, 2H, 3H,..., 9H.
  • Pencil hardness 10B (soft) ... B, HB, F, H, 2H ... 9H (hard)
  • Pencil hardness determination method If three of the five were intact, it was judged that the hardness was present. For example, after processing 5 scratches using H pencil, 2 scratches were confirmed, and after processing 5 scratches using 2H pencil, 3 scratches were observed If confirmed, the pencil hardness is H. Further, for example, after processing 5 scratches using a 2H pencil, if the number of scratches observed is 2 or less, the pencil hardness is determined to be at least 2H or more.
  • Sample size short side 50mm x long side 100mm
  • Sample installation Installation so that the position of 50 mm in the long side direction is the folding line (cylindrical contact part) Bending: 10 times
  • Tr1 is the intensity of light that has passed through the sample
  • Tr0 is the intensity of light that has passed through the air at the same distance except that it does not pass through the sample.
  • UV measuring instrument U-3410 manufactured by Hitachi Instruments
  • Wavelength range 300-800nm
  • Measurement speed 120 nm / min
  • Measurement mode Transmission
  • Apparatus Turbidimeter NDH5000 (Nippon Denshoku Industries Co., Ltd.)
  • Light source White LED 5V3W (rated)
  • Light receiving element Si photodiode with V ( ⁇ ) filter
  • Measurement light beam ⁇ 14 mm (incident aperture ⁇ 25 mm)
  • Optical conditions Conforms to JIS-K7136 (2000)
  • Viscoelasticity measuring apparatus EXSTAR6000 DMS (manufactured by Seiko Instruments Inc.) Measurement frequency: 1Hz Temperature increase rate: 5 ° C / min Temperature range: 25 to 380 ° C Holding time: 2 minutes Glass transition temperature (Tg): The temperature at the maximum peak value of Tan ⁇ was defined as the glass transition temperature.
  • Viscoelasticity measuring apparatus EXSTAR6000 DMS (manufactured by Seiko Instruments Inc.) Measurement frequency: 1Hz Temperature increase rate: 5 ° C / min Temperature range: 25 to 380 ° C Retention time: 2 minutes
  • Apparatus High-precision ultra-small hardness meter Tribodenter TI950 (manufactured by Hystron) Measuring method: Nano-indentation method Indenter: Diamond triangular pyramid indenter Measurement atmosphere: Room temperature / air
  • Observation device scanning electron microscope FE-SEM (JSM-6700F type) manufactured by JEOL Ltd. Observation magnification: 3,000 times Observation mode: LEI mode Acceleration voltage: 3 kV
  • the laminate cross-sectional sample for observation was created using the following apparatus.
  • Observation device scanning probe microscope (NanoScope V Dimension Icon) manufactured by Bruker AXS Probe: Silicon cantilever Scanning mode: Force volume (contact mode) Sectioning: Cross section polisher (CP) processing
  • the obtained polymer solution was cast on an endless belt having a mirror-like surface so that the final film thickness was 23 ⁇ m using a die.
  • the cast polymer solution was heated with hot air at 130 ° C. for 6 minutes to evaporate the solvent, and peeled off from the endless belt while stretching 1.11 times in the longitudinal direction.
  • the film which came out of the water tank was introduced into a tenter, stretched 1.29 times at 260 ° C., then relaxed 0.98 times at 340 ° C., and further heat treated at the same temperature to obtain a base film A1. It was.
  • a base film A2 is formed by the same method as the base film A1, except that the thickness cast on the endless belt is increased so that the final film thickness is 40 ⁇ m. Got.
  • the obtained polymer solution was cast on an endless belt having a mirror-like surface so that the final film thickness was 12.5 ⁇ m using a die.
  • the cast polymer solution was heated with hot air at 130 ° C. for 6 minutes to evaporate the solvent, and peeled off from the endless belt while stretching 1.12 times in the longitudinal direction.
  • the film from the water tank was introduced into a tenter, stretched 1.25 times at 260 ° C., then relaxed 0.985 times at 335 ° C., and further heat treated at the same temperature to obtain a base film A3. It was.
  • the solution thus obtained was applied to a stainless steel plate and dried with hot air at 130 ° C. for 30 minutes, and then the film was peeled off from the stainless steel plate and fixed to the frame with a pin.
  • the frame on which the film was fixed was placed in a vacuum oven, slowly heated from 100 ° C. to 300 ° C. for 2 hours, then gradually cooled and separated from the frame to obtain a polyamideimide film. Thereafter, as a final heat treatment step, the polyamide-imide film was further heat-treated at 300 ° C. for 30 minutes (thickness 50 ⁇ m).
  • base film A5 was obtained in the same manner as the base film A4 except that the thickness applied to the stainless steel plate was such that the final film thickness was 20 ⁇ m. .
  • the obtained polymer solution was cast on an endless belt having a mirror-like surface so that the final film thickness was 23 ⁇ m using a die.
  • the cast polymer solution was heated with hot air of 130 ° C. for 6 minutes to evaporate the solvent, and peeled from the endless belt while stretching the length of 1.10 times. Subsequently, it introduce
  • Example 1 Using the coating agent B1 on the surface of the base film A1 having a protective film having a thickness of 100 ⁇ m on one side (CT100 manufactured by Panac Co., Ltd.) that is not bonded, using a bar coater (# 6) (manufactured by Matsuo Sangyo Co., Ltd.). It was applied and dried at 100 ° C. for 2 minutes. Next, under a nitrogen atmosphere, ultraviolet rays of 320 mJ / cm 2 were irradiated to cure the coating film to obtain a film having a laminated structure of B1 layer / A1 layer / protective film.
  • a protective film (CT100 manufactured by Panac Co., Ltd.) was bonded onto the B1 layer to obtain a film having a laminated structure of protective film / B1 layer / A1 layer / protective film.
  • CT100 manufactured by Panac Co., Ltd.
  • the protective film on the A1 layer side is peeled off, and the coating material B1 is applied onto the A1 layer using a bar coater (# 6) (manufactured by Matsuo Sangyo Co., Ltd.) and dried at 100 ° C.
  • Example 2 Examples 2 to 15, Comparative Examples 2 to 4
  • the base film and the curing agent coating solution were changed as shown in Table 1 or Table 2, and a laminated film with a cured layer was prepared in the same manner as in Example 1.
  • Tables 1 and 2 show the results of measuring the physical properties of the obtained laminated film.

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Abstract

フィルムの少なくとも片面に硬化性樹脂を含有する層（以下、硬化層という）を積層した積層フィルムであって、　総厚みが１～１００μｍであり、　波長４００ｎｍにおける光線透過率が７０％以上であり、　前記硬化層の表面について厚み方向にナノインデンターで１μｍ押し込んだときのヤング率が５ＧＰａ以上であり、　０．５ＭＰａの応力を３０分かけた後の変形量が５００ｐｐｍ以下であることを特徴とする積層フィルム。薄膜でも高い表面硬度を発現することで、耐折り曲げ性との両立を実現する積層フィルムを提供する。

Description

積層フィルム
　本発明はディスプレイ用フィルム、特にフレキシブルディスプレイ前面のカバーフィルムとして好適に使用可能な積層フィルムに関するものである。
　近年、ディスプレイのフレキシブル化に向けた開発が本格的に進んでいる。このようなディスプレイでは、軽量化及び折り曲げや衝撃による割れを防ぐためにガラスを代替するフィルムが必要となる。特に、タッチパネルの前面板に用いるガラスを代替するフィルムとして、表面に傷がつきにくい、具体的には鉛筆硬度として５Ｈ以上の表面硬度を持つフィルムが求められている。このようなフィルムには、透明性が高いことはもちろんのこと、上記の表面硬度と相反する特性である耐折り曲げ性を両立する必要がある。
　表面硬度を向上させる技術として、特許文献１～４にはアクリル樹脂やポリエステル樹脂、あるいはトリアセチルセルロース樹脂などのフィルム上にハードコート層を有する高硬度なフィルムが提案されている。しかし、高い表面硬度を得るためにはフィルムの総厚みを大きくする必要があり、耐折り曲げ性が悪くなる課題があった。また、特許文献５～７には薄膜で高硬度のフィルムが提案されている。しかし、折り曲げる曲率が小さくなると耐折り曲げ性が十分とは言えなかった。さらに、特許文献８には全芳香族のポリアミドフィルムが記載されている。これは、耐折り曲げ性には優れるが、フィルム単体では表面硬度が十分とは言えない。
特開２０１４－６５１７２号公報 特開２０１４－１３４６７４号公報 特開２０１４－２１０４１２号公報 特開平８－１５６８２号公報 特開２００９－１９８８１１号公報 特開２００７－１４７７９８号公報 特開２００６－１７８１２３号公報 特開２００５－１５７９０号公報
　本発明は、薄膜でも高い表面硬度を発現することで、耐折り曲げ性との両立を実現する積層フィルムを提供することを課題とする。
　上記課題を解決するために、本発明に係る積層フィルムは、フィルムの少なくとも片面に硬化性樹脂を含有する硬化層を積層した積層フィルムであって、
　総厚みが１～１００μｍであり、
　波長４００ｎｍにおける光線透過率が７０％以上であり、
　前記硬化層の表面について厚み方向にナノインデンターで１μｍ押し込んだときのヤング率が５ＧＰａ以上であり、
　０．５ＭＰａの応力を３０分かけた後の変形量が５００ｐｐｍ以下であることを特徴とするものからなる。
　本発明によれば、薄膜でも高い表面硬度を発現することで、耐折り曲げ性との両立を実現する積層フィルムを提供でき、特にディスプレイ前面のカバーフィルムとして好適に用いることができる。
　本発明の積層フィルムは、基材フィルムの少なくとも片面に硬化性樹脂を含有する層（以下、硬化層ということがある）を積層した積層フィルムであって、積層フィルムの総厚みが１～１００μｍである。積層フィルムの総厚みが１μｍより小さい場合は、ハンドリング性が悪くなる恐れがある。また、総厚みが１００μｍを超える場合は、フレキシブルディスプレイに加工後に、ディスプレイとしての耐折り曲げ性が悪化する恐れがある。積層フィルムの総厚みは、５～８０μｍであることが、表面硬度と耐折り曲げ性をより高いレベルで両立する点でより好ましく、１０～５０μｍであることがさらに好ましい。
　硬化層に含まれる硬化性樹脂としては、熱硬化性樹脂や紫外線硬化性樹脂であることが好ましく、具体的には、有機シリコーン系、ポリオール系、メラミン系、エポキシ系、多官能アクリレート系、ウレタン系、イソシアネート系、有機材料と無機材料の複合材料である有機無機ハイブリット系および硬化性のある官能基を有するシルセスキオキサン系などの樹脂が挙げられる。より好ましくは、エポキシ系、多官能アクリレート系、有機無機ハイブリット系、シルセスキオキサン系の樹脂である。さらに好ましくは、多官能アクリレート系、有機無機ハイブリット系、シルセスキオキサン系の樹脂である。
　硬化性樹脂として用いる多官能アクリレート系、シルセスキオキサン系樹脂については、多官能アクリレートモノマー、オリゴマー、ウレタンアクリレートオリゴマー、アルコキシシラン、アルコキシシラン加水分解物、アルコキシシランオリゴマー、などが好ましい。多官能アクリレートモノマーの例としては、１分子中に２個以上の（メタ）アクリロイルオキシ基を有する多官能アクリレート及びその変性ポリマー、具体的な例としては、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリストールトリアクリレートヘキサンメチレンジイソシアネートウレタンポリマーなどを用いることができる。これらの単量体は１種類または２種類以上を混合して使用することができる。
　また、各硬化層には１種類以上の粒子を含むことが好ましい。ここで、粒子とは無機粒子と有機粒子のどちらでもよいが、表面硬度向上には無機粒子を含有させる方が好ましい。無機粒子は特に限定されないが、金属や半金属の酸化物、珪素化物、窒化物、ホウ素化物、塩化物、炭酸塩などが挙げられる。具体的には、シリカ（ＳｉＯ２）、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）、酸化チタン（ＴｉＯ２）、酸化アンチモン（Ｓｂ２Ｏ３）及びインジウムスズ酸化物（Ｉｎ２Ｏ３）からなる群から選ばれる少なくとも１種の粒子が好ましい。また、表面硬度を向上させる目的で粒子を導入する場合、その粒子径は１～３００ｎｍであることが好ましい。表面硬度と耐折り曲げ性がより高いレベルで両立する点で、粒子径は、より好ましくは５０～２００ｎｍであり、さらに好ましくは１００～１５０ｎｍである。なお、粒子には表面処理が施されたものが好ましい。ここでいう表面処理とは、粒子表面に化合物を化学結合（共有結合、水素結合イオン結合、ファンデアワールス結合、疎水結合等を含む）や吸着（物理吸着、化学吸着を含む）によって導入することをいう。
　さらに、各硬化層の粒子と樹脂の含有率は、質量比で、粒子／樹脂＝２０／８０～８０／２０であることが好ましい。粒子／樹脂＝２０／８０未満の場合、表面硬度が不足する恐れがあり、８０／２０を超えると耐屈曲性が低下する恐れがある。表面硬度と耐屈曲性がより高いレベルで両立することから、粒子／樹脂の質量比は３０／７０～７０／３０であることがより好ましく、４０／６０～６０／４０であることがさらに好ましい。
　硬化層は、片面の厚みが１～２０μｍであることが好ましい。より好ましくは１～１０μｍである。硬化層の厚みが１μｍより薄いと、表面硬度が低くなる恐れがある。また、硬化層の厚みが１０μｍを超えると積層フィルムを曲げた際に、積層された硬化層にクラックが発生する恐れがある。また、硬化層は、片面につき１層あるいは２層以上で形成されていても構わない。２層の場合、硬化性樹脂Ｂを含有する層（Ｂ層）および硬化性樹脂Ｃを含有する層（Ｃ層）とし、Ｂ層をフィルム（Ａ層）に接している層、Ｃ層をＢ層に接している層としたとき、Ｂ層／Ａ層、Ｃ層／Ｂ層／Ａ層、Ｂ層／Ａ層／Ｂ層、Ｃ層／Ｂ層／Ａ層／Ｂ層／Ｃ層のうちいずれかの積層構成を含むことが好ましい。より好ましくはＣ層／Ｂ層／Ａ層、Ｂ層／Ａ層／Ｂ層、Ｃ層／Ｂ層／Ａ層／Ｂ層／Ｃ層のいずれかの積層構成を含むことである。
　硬化層の厚みを 上記範囲内とするには、硬化性樹脂、粒子などを有機溶媒を用いて希釈あるいは溶解させ、その溶液をメタバーやスリットダイなどにより、フィルム上に塗布する手法を挙げることができる。その後、フィルム上に塗布された硬化性樹脂を硬化させることで所望の厚みの硬化層が得られる。硬化方法としては熱硬化や紫外線照射、電子線（ＥＢ）照射による光硬化などが挙げられるが、特に限定されない。また、硬化性樹脂を希釈または溶解させるために使用される有機溶媒は、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、酢酸エチル、酢酸メチル、酢酸ブチル、トルエン、塩化メチレン、ブチロセルロースの中から少なくとも１以上選ばれることが好ましい。また、市販されている硬化性樹脂を使用する際には前記した有機溶媒以外の溶媒で既に希釈されている場合があり、そのような硬化性樹脂を使用する際には、前記した溶媒との混合溶媒となる場合がある。その際には前記した溶媒の濃度が３０質量％以上とすることが好ましい。前記した溶媒の濃度が３０質量％未満である場合、コーティングした際にフィルムに白化、カール、シワが生じる恐れがある。
　積層フィルムは、基材フィルムと硬化層の間に、ＳＥＭ観察による電子密度がフィルム及び硬化層と異なる中間層を０．５～６．０μｍの厚みで有することが好ましい。電子密度の異同はＳＥＭ写真の濃淡差をイメージアナライザーで読み取り、２値化することにより判断する。中間層は、基材フィルムと硬化層の間に接着力を発現させ、繰り返し折り曲げた際にも剥がれにくくなる。中間層が０．５μｍ未満の場合、繰り返し折り曲げ時に剥がれが生じることがあり、６．０μｍを超えると硬度が低下する恐れがある。中間層を０．５～６．０μｍの厚みにするには、後述する硬化層を形成する際の溶媒に良溶媒／貧溶媒の質量比が１５／８５～５０／５０の溶媒を用いることで達成できる。良溶媒としては、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、ｎ－メチル－２－ピロリドン、ブチロセルロースなどが好ましく、貧溶媒としては、エタノール、メタノール、イソプロピルアルコール、酢酸ブチル、酢酸エチル、酢酸メチル、トルエン、塩化メチレンなどが好ましい。
　また、積層フィルムは、基材フィルム、硬化層、中間層の弾性率をそれぞれＥＡ、ＥＢ、ＥＣとしたとき、ＥＡ＞ＥＣかつＥＢ＞ＥＣであることが好ましい。各層の弾性率は、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）を用いたフォースボリューム法にて積層体断面を測定することで求められる。ＥＡ＞ＥＣかつＥＢ＞ＥＣとすることで、折り曲げた際に中間層が、基材フィルムと硬化層との間に生じる応力差を緩和する緩衝層として機能する。これにより、繰り返し折り曲げた際にも、積層フィルムに筋が入ったり、平面性が悪化したり、硬化層にクラックが生じることを抑制することができる。ＥＡ＞ＥＣかつＥＢ＞ＥＣとするには、後述する硬化層を形成する際の溶媒に良溶媒／貧溶媒の質量比が１５／８５～５０／５０の溶媒を用いることで達成できる。良溶媒としては、アセトン、メチルエチルケトン、ｎ－メチル－２－ピロリドン、ブチロセルロースなどが好ましく、貧溶媒としては、エタノール、メタノール、イソプロピルアルコール、酢酸ブチル、酢酸エチル、酢酸メチル、トルエン、塩化メチレンなどが好ましい。
　積層フィルムは、硬化層表面の平均粗さＲａが１～１０ｎｍであることが好ましい。Ｒａが１ｎｍ未満では、表面の滑り性が悪く、キズが付くことがあり、Ｒａが１０ｎｍを超えると突起が削れてキズが発生する恐れがある。平均粗さＲａはキズがより付きにくくなることから２～８ｎｍであることがより好ましく、３～７ｎｍであることがさらに好ましい。硬化層表面の平均粗さＲａを１～１０ｎｍとするには、前記した粒径の粒子を前記した含有量で添加することにより達成可能である。
　積層フィルムは、硬化層の表面について、ナノインデンターで厚み方向に１μｍ押し込んだときのヤング率が５ＧＰａ以上である。上記ヤング率が５ＧＰａ未満の場合、ディスプレイに加工され使用された際に、他の物との接触により凹みが生じる恐れがある。上記ヤング率の上限は特に定めないが、通常、２０ＧＰａ程度である。接触時の凹みなどの欠陥がより抑えることができることから、ナノインデンターで厚み方向に１μｍ押し込んだときのヤング率は６ＧＰａ以上であることがより好ましく、７ＧＰａ以上であることがさらに好ましい。このようなヤング率は、硬化層に前記した粒径及び樹脂を使用することにより達成可能である。
　なお、上記のヤング率は、硬化層がフィルムの表裏両面に存在する場合は、その少なくとも一方について満たしていることが好ましく、両面の硬化層ともに上記のヤング率を満たしていることがより好ましい。
　積層フィルムは、波長４００ｎｍにおける光線透過率が７０％以上である。波長４００ｎｍにおける光の光線透過率が７０％未満である場合、カバーフィルムに使用した際に視認性が低下する恐れがある。なお、光線透過率の上限は１００％である。ディスプレイに加工した際、画像がより鮮明に見えることから、より好ましくは、７５％以上であり、さらに好ましくは、８０％以上である。波長４００ｎｍにおける光の光線透過率を７０％以上とするには、可視光低波長側の吸収を抑えたポリマー、例えば、後述する化学式（Ｉ）～（ＩＶ）で示される構造単位を含有するポリマーを使用することにより達成可能である。
　積層フィルムは、黄色度（ＹＩ）が５．０以下であることが好ましい。黄色度（ＹＩ）が５．０を超える場合、カバーフィルムに使用した際に視認性が低下する恐れがある。視認性がより向上することから、４．０以下であることがより好ましく、３．５以下であることがさらに好ましい。黄色度（ＹＩ）を５．０以下にするには、フィルムを形成するポリマーに共役結合が長く続かない構造を導入することで達成できる。特に、芳香族系の場合は、フッ素等の電子吸引性の置換基を芳香環に導入することが好ましい。
　積層フィルムは、ガラス転移温度が１５０℃以上であることが好ましい。より好ましくは、ガラス転移温度が２００℃以上であり、さらに好ましくはガラス転移温度が２５０℃以上である。ガラス転移温度が１５０℃より低い場合、フィルム上にＩＴＯを形成しキュアを行う際や、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を作成する際にカール、割れ、位置ズレを起こす恐れがある。ガラス転移温度を１５０℃以上とするためには、例えば、フィルムに芳香族ポリアミドやポリイミドを用いることで達成可能である。
　積層フィルムは、ヘイズが５％以下であることが好ましい。ヘイズが５％より大きい場合は、表示装置に組み込んだ際に、明るさが低下する恐れがある。明るさがより高くなることから、４％以下がより好ましく、３％以下がさらに好ましい。ヘイズを５％以下とする為には、フィルム中の異物を低減して内部ヘイズを低下させると共に、フィルム表面を平滑にし、表面での乱反射（外部ヘイズ）を低減することで達成可能である。
　積層フィルムは、積層フィルム平面方向における少なくとも１方向のヤング率が５．０ＧＰａを超えることが好ましい。ヤング率が５．０ＧＰａを超えることで表面硬度向上に寄与するだけでなくハンドリング性が向上する。また、同様の理由から３０℃における貯蔵弾性率が５．０ＧＰａ以上であることも好ましい。より好ましくは３０℃における貯蔵弾性率が５．５ＧＰａ以上であり、さらに好ましくは３０℃における貯蔵弾性率が６．０ＧＰａ以上であり、最も好ましくは３０℃における貯蔵弾性率が７．０ＧＰａ以上である。　積層フィルム平面方向における少なくとも１方向のヤング率を５．０ＧＰａ超とするためには、例えば、基材として用いるフィルムは、製膜工程において延伸を行い、分子鎖を引き延ばすことで積層フィルムとしたときのヤング率を向上させることができるため好ましい。延伸倍率は少なくとも１方向に１．０５～１０．００倍であることが好ましく、１．０５～８．００倍がより好ましい。さらに好ましくは１．０５～５．００倍である。１．０５倍未満では延伸の効果が得にくく、１０．００倍を超えるとフィルムが破断する恐れがある。フィルムの直交する２方向を延伸することも好ましい。
　積層フィルムは、少なくとも１方向に０．５ＭＰａの応力を３０分かけた後の変形量が５００ｐｐｍ以下である。５００ｐｐｍを超える場合、繰り返し折り曲げた時に、フィルムに筋が入ったり、平面性が悪化したり、硬化層にクラックが生じる恐れがある。耐折れ曲げ性がより良くなることから、０～５００ｐｐｍであることが好ましく、０～３００ｐｐｍであることがより好ましく、０～１００ｐｐｍであることがさらに好ましい。０．５ＭＰａの応力を３０分かけた後の変形量を５００ｐｐｍ以下にするには、フィルム及び硬化層を構成する樹脂及び粒子の選定及びフィルムの配向制御が重要となる。フィルムの配向制御方法として、基材フィルムの延伸は、少なくとも１方向に１．０５～１０．００倍であることが好ましく、１．０５～５．００倍がより好ましい。さらに好ましくは１．０５～３．００倍である。１．０５倍未満では延伸の効果が得にくく、１０．００倍を超えるとフィルムが破断する恐れがある。フィルムの直交する２方向を延伸することも好ましい。また、熱処理温度は２５０～３４０℃とすることが好ましく、より好ましくは３００～３４０℃である。基材フィルムのポリマーとしては、後述するポリアミド、芳香族ポリアミド、ポリイミドから選ばれるポリマーが好ましい。硬化層については、前記の粒子及び樹脂を使用することが好ましい。
　以下、積層フィルムの製造方法について例示する。
　手法としては、フィルム基材上に硬化性樹脂からなる塗料を塗布、乾燥、硬化の順で製造することで硬化層を形成することが好ましい。また、片面に付き２層以上の硬化層を形成する際には、逐次または同時塗布によりフィルム基材上に形成することが好ましい。
　ここで、逐次塗布とは、ディップコート法、ローラーコート法、ワイヤーバーコート法、グラビアコート法やダイコート法などを用いて、１種類の塗剤を塗布、乾燥、硬化により第１硬化層を形成した後に、１種類目とは異なる塗剤を第１硬化層の上に塗布、乾燥、硬化させることにより第２硬化層を形成する方法である。作成する硬化層の種類および数については、適宜選択可能である。他方、同時塗布とは、多層スリットダイを用いて２種類以上の塗剤を同時に塗布、乾燥、硬化を行い、一度の塗布で２層以上の硬化層を得る方法である。
　乾燥の方法としては伝熱乾燥、熱風による乾燥、赤外線照射による乾燥、マイクロ波照射による乾燥が挙げられ、特に限定されるものではないが、熱風照射による乾燥が好ましい。
　硬化の方法としては、熱による熱硬化と電子線や紫外線などの活性エネルギー線を照射することによる硬化が挙げられる。熱硬化の場合は、２３～２００℃の温度で硬化させることが好ましく、より好ましくは８０～２００℃である。紫外線や電子線を照射し硬化させる場合には、酸素濃度をできるだけ低くすることが好ましく、不活性ガス雰囲気下で硬化させることが好ましい。酸素濃度が高い場合は硬化が不十分となる恐れがある。また、紫外線を照射する際に用いる紫外線ランプの種類としては、例えば放電ランプ方式、フラッシュ方式、レーザー方式、無電極ランプ方式等が挙げられる。放電ランプ方式である高圧水銀灯を用いて紫外線硬化させる場合、紫外線の照度が１００～３，０００ｍＷ／ｃｍ２であることが好ましく、より好ましくは２００～２，０００ｍＷ／ｃｍ２である。さらに好ましくは、２００～１，５００ｍＷ／ｃｍ２である。
　積層フィルムを製造する際には、保護フィルムを貼合させることが好ましい。ここでいう保護フィルムとは少なくとも片面に微粘着層を有するフィルムのことを指す。保護フィルムを貼合することで、硬化層を片面のみに作成した際に生じるカールを抑制することができ、反対面を塗布する際に塗布ムラを抑えることができる。
　積層フィルムは、光線透過性と厚み方向のヤング率などの機械特性を両立する点で、ポリマー構造中にフッ素を含有する樹脂を含み、この樹脂がポリアミド、芳香族ポリアミド、ポリイミド、芳香族ポリイミド、ポリアミドイミドおよび芳香族ポリアミドイミドからなる群から選ばれる少なくとも１種の樹脂であるフィルム（基材フィルム）を使用し、少なくとも片面に硬化層を積層した積層フィルムであることが好ましい。より好ましくはポリマー構造中にフッ素を含有するポリアミド、芳香族ポリアミドを用いることであり、さらに好ましくはポリマー構造中にフッ素を含有する芳香族ポリアミドを用いることである。ポリマー構造中にフッ素を含有していない場合、可視光での光線透過率が低下し、タッチパネルの前面板（カバーフィルム）への適用が困難となる恐れがある。また、樹脂がポリアミド、芳香族ポリアミド、ポリイミド、芳香族ポリイミド、ポリアミドイミドおよび芳香族ポリアミドイミド以外の場合は、硬化層の支持力が低下し、厚み方向のヤング率が小さくなったり、分子間の相互作用が小さく、クリープが大きくなる恐れがある。
　なお、積層フィルムの断面試験片を樹脂包埋法や凍結法などにより作成し、その断面片を用いて赤外分光分析（ＩＲ）などで組成分析を行うことで、基材フィルムのポリマー構造中にフッ素が含有されているかどうかを確認することができる。
　また別の方法としては、積層フィルムをＮ－メチル－２－ピロリドン（ＮＭＰ）やジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）等の非プロトン性極性溶媒に浸漬すると、基材フィルムのみを溶解させることができるため、その溶液を赤外分光分析（ＩＲ）や核磁気共鳴分光分析（ＮＭＲ）を用いて組成分析を行うことで、基材フィルムのポリマー構造中にフッ素が含有されているかどうかを確認することができる。
　積層フィルムは、下記化学式（Ｉ）～（ＩＶ）で示される構造単位を含む基材フィルムの少なくとも片面に硬化層を積層した積層フィルムであることが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000005
　Ｒ１、Ｒ２は、－Ｈ、炭素数１～５の脂肪族基、－ＣＦ３、－ＣＣｌ３、－ＯＨ、－Ｆ、－Ｃｌ、－Ｂｒ、－ＯＣＨ３、シリル基、または芳香環を含む基である。好ましくは、－ＣＦ３、－Ｆ、－Ｃｌ、または芳香環を含む基である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000006
　Ｒ３は、Ｓｉを含む基、Ｐを含む基、Ｓを含む基、ハロゲン化炭化水素基、芳香環を含む基、またはエーテル結合を含む基（ただし、分子内において、これらの基を有する構造単位が混在していてもよい）である。好ましくは、Ｓｉを含む基、ハロゲン化炭化水素基、芳香環を含む基、またはエーテル結合を含む基である。より好ましくは、Ｓｉを含む基である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000007
　Ｒ４は任意の基である。特に限定されないが好ましくは、－Ｈ、－Ｃｌ、－Ｆである。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000008
　Ｒ５は任意の芳香族基、任意の脂環族基である。特に限定されないが、より好ましくはフェニル、ビフェニル、シクロヘキサン、デカリンであることが好ましい。
　以下、基材フィルムとしてポリアミドフィルムや、芳香族ポリアミドフィルムを用いた例により説明するが、もちろん本発明はこれに限定されるものではない。
　ポリアミド溶液、すなわち製膜原液を得る方法は種々の方法が利用可能であり、例えば、低温溶液重合法、界面重合法、溶融重合法、固相重合法などを用いることができる。低温溶液重合法つまりカルボン酸ジクロライドとジアミンから得る場合には、非プロトン性有機極性溶媒中で合成される。
　カルボン酸ジクロライドとしてはテレフタル酸ジクロライド、２－クロロ－テレフタル酸ジクロライド、２－フルオロ－テレフタル酸ジクロライド、イソフタル酸ジクロライド、ナフタレンジカルボニルクロライド、４，４’－ビフェニルジカルボニルクロライド、ターフェニルジカルボニルクロライド、１，４－シクロヘキサンジカルボン酸クロライド、１，３－シクロヘキサンジカルボン酸クロライド、２，６－デカリンジカルボン酸クロライドなどが挙げられるが、好ましくは１，４－シクロヘキサンジカルボン酸クロライド、テレフタル酸ジクロライド、４，４’－ビフェニルジカルボニルクロライド、イソフタル酸ジクロライド、２－クロロ－テレフタル酸ジクロライドが用いられる。
　ジアミンとしては例えば４，４’－ジアミノジフェニルエーテル、３，４’－ジアミノジフェニルエーテル、４，４’－ジアミノジフェニルスルホン、３，３’－ジアミノジフェニルスルホン、２，２’－ジトリフルオロメチル－４，４’－ジアミノビフェニル、９，９－ビス（４－アミノフェニル）フルオレン、９，９－ビス（４－アミノ－３－メチルフェニル）フルオレン、ビス［４－（４－アミノフェノキシ）フェニル］スルホン、ビス［３－（３－アミノフェノキシ）フェニル］スルホン、ビス［４－（３－アミノフェノキシ）フェニル］スルホン、２，２－ビス［４－（４－アミノフェノキシ）フェニル］プロパン、２，２－ビス（４－アミノフェニル）ヘキサフルオロプロパン、ｏ－トリジン、２，２’－ジメチル－４，４’－ジアミノビフェニル（ｍ－トリジン）、１，１－ビス（４－アミノフェニル）シクロヘキサン、３，３’，５，５’－テトラメチルベンジジンなどが挙げられるが、好ましくは２，２’－ジトリフルオロメチル－４，４’－ジアミノビフェニル、４，４’－ジアミノジフェニルスルホンが挙げられる。ポリアミド溶液は、単量体として酸ジクロライドとジアミンを使用すると塩化水素が副生するが、これを中和する場合には水酸化カルシウム、炭酸カルシウム、炭酸リチウムなどの無機の中和剤、またエチレンオキサイド、プロピレンオキサイド、アンモニア、トリエチルアミン、トリエタノールアミン、ジエタノールアミンなどの有機の中和剤が使用される。また、イソシアネートとカルボン酸との反応は、非プロトン性有機極性溶媒中、触媒の存在下で行なわれる。
　ジアミンとジカルボン酸ジクロライドを原料とした場合、原料の組成比によってアミン末端あるいはカルボン酸末端となる。または他のアミン、カルボン酸クロライド、カルボン酸無水物によって、末端封止を行ってもよい。末端封止に用いる化合物としては塩化ベンゾイル、置換塩化ベンゾイル、無水酢酸、５－ノルボルネン－２，３－ジカルボン酸無水物、４－エチニルアニリン、４－フェニルエチニルフタル酸無水物、無水マレイン酸などが例示できる。
　ポリアミドの製造において、使用する非プロトン性極性溶媒としては、例えば、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシドなどのスルホキシド系溶媒、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ－ジエチルホルムアミドなどのホルムアミド系溶媒、Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ－ジエチルアセトアミドなどのアセトアミド系溶媒、Ｎ－メチル－２－ピロリドン、Ｎ－ビニル－２－ピロリドンなどのピロリドン系溶媒、フェノール、ｏ－、ｍ－またはｐ－クレゾール、キシレノール、ハロゲン化フェノール、カテコールなどのフェノール系溶媒、あるいはヘキサメチルホスホルアミド、γ－ブチロラクトンなどを挙げることができ、これらを単独又は混合物として用いるのが望ましいが、さらにはキシレン、トルエンのような芳香族炭化水素の使用も可能である。さらにはポリマーの溶解を促進する目的で溶媒には５０質量％以下のアルカリ金属、またはアルカリ土類金属の塩を添加することができる。
　ポリマー構造中にフッ素を含有するポリアミド、芳香族ポリアミド、ポリイミドからなる基材フィルムには、表面形成、加工性改善などを目的として無機質または有機質の添加物を含有させてもよい。表面形成を目的とした添加剤としては例えば、無機粒子ではＳｉＯ２、ＴｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ＣａＳＯ４、ＢａＳＯ４、ＣａＣＯ３、カーボンブラック、カーボンナノチューブ、フラーレン、ゼオライト、その他の金属微粉末等が挙げられる。また、好ましい有機粒子としては、例えば、架橋ポリビニルベンゼン、架橋アクリル、架橋ポリスチレン、ポリエステル粒子、ポリイミド粒子、ポリアミド粒子、フッ素樹脂粒子等の有機高分子からなる粒子、あるいは、表面に上記有機高分子で被覆等の処理を施した無機粒子が挙げられる。
　上記のように調製された製膜原液は、いわゆる溶液製膜法によりフィルム化が行なわれる。溶液製膜法には乾湿式法、乾式法、湿式法などがありいずれの方法で製膜されても差し支えないが、ここでは乾湿式法を例にとって説明する。
　乾湿式法で製膜する場合は該原液を口金からドラム、エンドレスベルト、支持フィルム等の支持体上に押し出して薄膜とし、次いでかかる薄膜層が自己保持性をもつまで乾燥する。乾燥条件は例えば、２３～２２０℃、６０分以内の範囲で行うことができる。またこの乾燥工程で用いられるドラム、エンドレスベルト、支持フィルムの表面は平滑であればあるほど表面の平滑なフィルムが得られる。乾式工程を終えたフィルム（シート）は支持体から剥離されて湿式工程に導入され、脱塩、脱溶媒などが行なわれ、さらに延伸、乾燥、熱処理が行なわれてフィルムとなる。熱処理温度は、前述したように、クリープ等の機械特性を制御するため、２５０～３４０℃であることが好ましく、２８０～３４０℃であることがより好ましく、さらに好ましくは３００～３２０℃である。３４０℃を超えると黄色度（ＹＩ）が増加する恐れがある。熱処理時間は３０秒以上が好ましく、より好ましくは１分以上、さらに好ましくは３分以上、より好ましくは５分以上である。また、熱処理は窒素やアルゴンなど不活性雰囲気下で行うことが好ましい。
　また、ポリマー構造中にフッ素を含有するポリアミド、芳香族ポリアミド、ポリイミドのいずれかからなる基材フィルムは積層フィルムとして用いることも可能である。 積層フィルムを製造する場合は、口金の前または口金の中で積層して支持体にキャストする方法が用いられる。口金の前で積層する方法としてはピノールや複合管、フィードブロックと呼ばれる積層装置を用いて積層する方法が挙げられる。また、口金の中で積層する方法としては多層口金、マルチマニホールド口金を用いる方法が挙げられる。樹脂の有機溶媒溶液および芳香族ポリアミドなどのポリマー（樹脂組成物）の有機溶媒溶液は溶液粘度が異なることが多い。そのためピノールなど口金前で積層する方法では良好な積層構成を得ることが困難となる恐れがある。このためマルチマニホールド口金を用いて積層することが好ましい。
　フィルムの製造方法としては、前述したように、クリープ等の機械特性を制御するため、フィルムの長手方向（製膜搬送方向。以下ＭＤということがある）と、幅方向（フィルム面内で長手方向と直交する方向。以下ＴＤということがある）ともに１．０５～１０．００倍の延伸倍率にて延伸することが好ましい。ＭＤ方向の延伸倍率は好ましくは１．０５～５．００倍、より好ましくは１．０５～３．００倍、さらに好ましくは１．０５～２．００倍、もっとも好ましくは１．０５～１．５０倍である。ＴＤ方向の延伸倍率は好ましくは１．０５～５．００倍以下、より好ましくは１．０５～３．００倍、さらに好ましくは１．０５～２．００倍、もっとも好ましくは１．０５～１．５０倍である。また、ＭＤ方向の延伸倍率に対し、ＴＤ方向の延伸倍率が１．００～１．５０倍であるが好ましい。より好ましくは１．０５～１．２０倍、最も好ましくは１．１０～１．１５倍である。
　フィルムの構造は、その原料によって決定される。原料が不明であるフィルムの構造分析を行う場合は、質量分析、核磁気共鳴法による分析、分光分析などを用いることができる。
　上記で説明した本発明の積層フィルムは、表示材料、表示材料基板、回路基板、フレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）、光電複合回路基板、光導波路基板、半導体実装用基板、多層積層回路基板、透明導電フィルム、位相差フィルム、タッチパネル、ディスプレイ（特にタッチパネル）用カバーフィルム、コンデンサー、プリンターリボン、音響振動板、太陽電池、光記録媒体、磁気記録媒体のベースフィルム、包装材料、粘着テープ、接着テープ、加飾材料等種々の用途に好ましく用いられる。
　以下に実施例を挙げて、本発明をさらに具体的に説明する。
　本明細書における物性の測定方法、効果の評価方法は次の方法に従って行った。
（１）積層フィルムの各層の厚み
　芳香族ポリアミドを用いた積層体において、各層の厚みは下記の装置を用いて、積層体断面を観察し、その観察画像のスケールから各層の厚みを算出した。
　観察装置：日本電子（株）製の電解放射走査電子顕微鏡 ＦＥ－ＳＥＭ（ＪＳＭ－６７００Ｆ型）
　観察倍率：３，０００倍
　観察モード：ＬＥＩモード
　加速電圧：３ｋＶ
　また、観察用の積層体断面サンプルは、下記の装置を用いて作成した。
　装置：（株）日本ミクロトーム研究所製のロータリーミクロトーム（ＭＯＤＥＬ：ＲＭ）、電子式試料凍結装置（ＭＯＤＥＬ：ＲＭ）
（２）鉛筆硬度
　新東科学株式会社製　ＨＥＩＤＯＮ－１４ＤＲを用いて、温度２３℃、湿度６５％ＲＨにおいて測定した。測定条件を下記する。なお、鉛筆の硬度については、下記に示す次の順に硬いことを表し、１０Ｂが最も柔らかく９Ｈが最も硬い。従って、例えば「鉛筆硬度Ｈ以上」とは、鉛筆硬度がＨ、２Ｈ、３Ｈ、・・・、９Ｈのいずれかであることを意味する。
　加重：７５０ｇ
　角度：４５°
　傷付け速度：３０ｍｍ／分
　傷付け：１０ｍｍ×５本
　サンプル状態：ガラス板にフィルムをテープで貼り付けて実施。
　鉛筆の硬度：１０Ｂ（柔らかい）・・・Ｂ、ＨＢ、Ｆ、Ｈ、２Ｈ・・・９Ｈ（硬い）
　鉛筆硬度決定方法：５本中、３本無傷であればその硬度を有していると判断した。例えば、Ｈの鉛筆を使用し５本の傷を付け処理をした後、２本の傷が確認され、次いで２Ｈの鉛筆を使用し５本の傷を付け処理をした後、３本の傷が確認された場合は、鉛筆硬度はＨとする。また、例えば２Ｈの鉛筆を使用し５本の傷を付け処理をした後、観察される傷の数が２本以下である場合は、鉛筆硬度は少なくとも２Ｈ以上であると判断する。
（３）耐折れ曲げ性
　オールグッド社製のＪＩＳ－Ｋ５６００－５－１（１９９９）「フィルム屈曲試験」対応のマンドレルを用いて、以下のサンプルを折り曲げ、曲率半径Ｒを基準に判定した。
　サンプルサイズ：短辺５０ｍｍ×長辺１００ｍｍ
　サンプル設置：長辺方向５０ｍｍの位置が折り曲げ線（円筒接触部）となるよう設置
　折り曲げ：１０回
　判定　優：Ｒ＝１ｍｍでキズ・筋・クラックが発生しない
　　　　良：Ｒ＝２ｍｍでキズ・筋・クラックが発生しないが、Ｒ＝１ｍｍでは発生
　　　　可：Ｒ＝３ｍｍでキズ・筋・クラックが発生しない、Ｒ＝２ｍｍでは発生
　　　　不可：Ｒ＝３ｍｍでキズ・筋・クラックが発生する
　（４）波長４００ｎｍにおける光線透過率
　下記装置を用いて透過率を測定し、波長４００ｎｍのときの光線透過率を採用した。
　　透過率［％］＝（Ｔｒ１／Ｔｒ０）×１００
　ただしＴｒ１は試料を通過した光の強度、Ｔｒ０は試料を通過しない以外は同一の距離の空気中を通過した光の強度である。
　　装置：ＵＶ測定器Ｕ－３４１０（日立計測社製）
　　波長範囲：３００～８００ｎｍ
　　測定速度：１２０ｎｍ／分
　　測定モード：透過
（５）黄色度（ＹＩ）
　分光式色彩計（日本電色工業株式会社製）を用いて、温度２３℃、湿度６５％ＲＨにおいて測定した。試験片は４ｃｍ×５ｃｍの試料を用いて、透過モードにより測定した。
（６）ヘイズ
　下記測定器を用いて測定した。
　　装置：濁度計ＮＤＨ５０００（日本電色工業社製）
　　光源：白色ＬＥＤ５Ｖ３Ｗ（定格）
　　受光素子：Ｖ（λ）フィルタ付Ｓｉフォトダイオード
　　測定光束：φ１４ｍｍ（入射開口φ２５ｍｍ）
　　光学条件：ＪＩＳ－Ｋ７１３６（２０００）に準拠
（７）ガラス転移温度
　下記装置を用いて測定した。
　　装置：粘弾性測定装置ＥＸＳＴＡＲ６０００　ＤＭＳ（セイコーインスツル社製）
　　測定周波数：１Ｈｚ
　　昇温速度：５℃／分
　　温度範囲：２５～３８０℃
　　保持時間：２分
　　ガラス転移温度（Ｔｇ）：Ｔａｎδの最大ピーク値の温度をガラス転移温度とした。
（８）３０℃における貯蔵弾性率
　下記装置を用いて測定し、３０℃における損失弾性（Ｅ’）を測定した。
　　装置：粘弾性測定装置ＥＸＳＴＡＲ６０００　ＤＭＳ（セイコーインスツル社製）
　　測定周波数：１Ｈｚ
　　昇温速度：５℃／分
　　温度範囲：２５～３８０℃
　　保持時間：２分
（９）ナノインデンターで１μｍ押し込み時のヤング率
　下記装置を用いて測定し、１μｍ押し込み時のヤング率を測定した。
　　装置：高精度超微小硬度計ＴｒｉｂｏｉｎｄｅｎｔｅｒＴＩ９５０（Ｈｙｓｉｔｒｏｎ社製）
　　測定方法：ナノインデンテーション法
　　使用圧子：ダイヤモンド製三角錐圧子
　　測定雰囲気：室温・大気
（１０）変形量
　下記装置を用いて、＜１＞＜２＞＜３＞の順に張力をかけて長さを測定し、計算式にそって計算した。
　　装置：熱機械分析装置ＴＭＡ－６０／６０Ｈ（セイコーインスツル社製）
　　サンプルサイズ：幅４ｍｍ、長さ：２０ｍｍ
　　温度：２３℃
　　引っ張り張力及び時間：
　＜１＞０．１ＭＰａ－３０分：低張力下で初期の長さを測定
　＜２＞０．５ＭＰａ－３０分：高張力で変形を加える
　＜３＞０．１ＭＰａ－３０分：張力を取り除いた後に一定となった長さを測定
　計算方法：＜１＞終了時の長さＬ１、＜３＞終了時の長さＬ２とした時、以下の計算式から求められる値の絶対値を変形量とした。
　　　変形量（ｐｐｍ）＝（Ｌ２－Ｌ１）／Ｌ１×１，０００，０００
（１１）中間層
　下記の装置を用いて、積層体断面を観察し、硬化層とフィルムの間に存在する電子密度が硬化層及びフィルムと異なる領域の厚みを計算した。
　　観察装置：日本電子社製の走査型電子顕微鏡ＦＥ－ＳＥＭ（ＪＳＭ－６７００Ｆ型）
　　観察倍率：３，０００倍
　　観察モード：ＬＥＩモード
　　加速電圧：３ｋＶ
　また、観察用の積層体断面サンプルは、下記の装置を用いて作成した。
　　装置：日本ミクロトーム研究所製のロータリーミクロトーム（ＭＯＤＥＬ：ＲＭ）、電子式試料凍結装置（ＭＯＤＥＬ：ＲＭ）
（１２）原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）のフォースボリューム法による弾性率
　下記の装置を用いて、ＡＦＭフォースボリューム法にて積層体断面の弾性率を測定した。測定は２３℃、６５％ＲＨ、大気中にて実施した。
　観察装置：ＢｒｕｋｅｒＡＸＳ社製の走査型プローブ顕微鏡（ＮａｎｏＳｃｏｐｅＶ　Ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ Ｉｃｏｎ）
　探針：シリコンカンチレバー
　走査モード：フォースボリューム（コンタクトモード）
　断面出し：クロスセクションポリッシャ（ＣＰ）加工
　また、硬化層に使用する塗剤の調合および基材フィルムの製造は次の方法に従って行った。なお、ここで使用した原料の構造式を以下に列挙する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000009
（１３）硬化層（Ｂ１～Ｂ３）に使用する塗剤の調合
　粒子としてシリカ粒子（日産化学工業株式会社製　オルガノシリカゾル）、樹脂として多官能アクリレート（日本化薬株式会社製　ＫＡＹＡＲＡＤ　ＰＥＴ３０）を使用し、粒子の粒径、粒子の表面処理、溶媒を表１の通り変化させ、硬化層塗剤を作成した。
（１４）基材フィルムＡ１の製造
　撹拌機（撹拌翼の形状は３枚後退翼）を備えた１，０００Ｌのグラスライニング製の反応槽に、ジアミン１を１９．９０ｋｇ、ジアミン２を３．８５ｋｇ、無水臭化リチウムを７．００ｋｇ、Ｎ－メチル－２－ピロリドンを４３３．００ｋｇ入れ、窒素雰囲気下で０℃に冷却、攪拌しながら３０分かけて酸ジクロライド２を総量４．３３ｋｇ、５回に分けて添加した。９０分間攪拌した後に酸ジクロライド１を総量１２．４６ｋｇ、１０回に分けて添加した。１時間攪拌した後、反応で発生した塩化水素を炭酸リチウムで中和して、ポリマー濃度７質量％のポリマー溶液を得た。
　得られたポリマー溶液を口金を用いて、最終フィルム厚みが２３μｍになるように表面が鏡面状のエンドレスベルト上に流延した。次いで、流延したポリマー溶液を１３０℃の熱風で６分間加熱して溶媒を蒸発させ、長手方向に１．１１倍の延伸を行いながら、エンドレスベルトから剥離した。次いで、４０℃の純水が流水する水槽に導入し、脱塩、脱溶媒を行った。さらに、水槽から出たフィルムをテンターに導入し、２６０℃で１．２９倍に延伸し、その後３４０℃で０．９８倍のリラックスを行い、さらに同じ温度で熱処理して基材フィルムＡ１を得た。
（１５）基材フィルムＡ２の製造
　エンドレスベルト上に流延する厚みを、最終フィルム厚みが４０μｍとなるように厚くした以外は、基材フィルムＡ１と同様の方法で製膜し、基材フィルムＡ２を得た。
（１６）基材フィルムＡ３の製造
　撹拌機（撹拌翼の形状は３枚後退翼）を備えた１，０００Ｌのグラスライニング製の反応槽に、ジアミン１を２８．４０ｋｇ、無水臭化リチウムを８．００ｋｇ、Ｎ－メチル－２－ピロリドンを４２４．００ｋｇ入れ、窒素雰囲気下、０℃に冷却、攪拌しながら３０分かけて酸ジクロライド３を総量７．２２ｋｇ、１２回に分けて添加した。９０分間攪拌した後に酸ジクロライド１を総量１０．７４ｋｇ、１２回に分けて添加した。１時間攪拌した後、反応で発生した塩化水素を炭酸リチウムで中和して、ポリマー濃度８質量％のポリマー溶液を得た。
　得られたポリマー溶液を口金を用いて、最終フィルム厚みが１２．５μｍになるように表面が鏡面状のエンドレスベルト上に流延した。次いで、流延したポリマー溶液を１３０℃の熱風で６分間加熱して溶媒を蒸発させ、長手方向に１．１２倍の延伸を行いながら、エンドレスベルトから剥離した。次いで、４０℃の純水が流水する水槽に導入し、脱塩、脱溶媒を行った。さらに、水槽から出たフィルムをテンターに導入し、２６０℃で１．２５倍に延伸し、その後３３５℃で０．９８５倍のリラックスを行い、さらに同じ温度で熱処理して基材フィルムＡ３を得た。
（１７）基材フィルムＡ４の製造
　反応器として、攪拌器、窒素注入装置、滴下漏斗、温度調節器および冷却器を取り付けた１．５Ｌの反応器に窒素を通過させながらＮ，Ｎ－ジメチルアセトアミド（ＤＭＡｃ）７６９ｇを充填し、反応器の温度を２５℃に合わせた後、ジアミン１を６４．０４６ｇ溶解し第１溶液を得て、この第１溶液を２５℃に維持した。第１溶液に酸無水物１を８．８８５ｇ、及び酸無水物２を１７．６５３ｇ投入した後、一定の時間攪拌して溶解および反応させて第２溶液を得た。この際、第２溶液の温度は２５℃に維持した。そして、酸クロライド１を２４．３６２ｇ添加し、固形分の濃度が１３質量％のポリアミド酸溶液を得た。
　前記ポリアミド酸溶液にピリジン１３ｇおよび無水酢酸１７ｇを投入して２５℃で３０分攪拌した後、さらに７０℃で１時間攪拌して常温に冷やし、これをメタノール２０Ｌに沈澱させ、沈澱した固形分を濾過して粉砕した後、１００℃、減圧下で６時間乾燥させて１０８ｇの固形分粉末の共重合ポリアミド－イミドを得た。前記１０８ｇの固形分粉末の共重合ポリアミド－イミドを７２２ｇのＮ，Ｎ－ジメチルアセトアミド（ＤＭＡｃ）に溶かして１３ｗｔ％の溶液を得た。こうして得られた溶液をステンレス板に塗布し、１３０℃の熱風で３０分乾燥させた後、フィルムをステンレス板から剥離してフレームにピンで固定した。フィルムが固定されたフレームを真空オーブンに入れ、１００℃から３００℃まで２時間ゆっくり加熱した後、徐々に冷却してフレームから分離してポリアミドイミドフィルムを得た。その後、最終熱処理工程としてポリアミド－イミドフィルムをさらに３００℃で３０分間熱処理した（厚さ５０μｍ）。
（１８）基材フィルムＡ５の製造
　ステンレス板に塗布する厚みを、最終フィルム厚みが２０μｍとなるようにした以外は、基材フィルムＡ４と同様の方法で製膜し、基材フィルムＡ５を得た。
（１９）基材フィルムＡ６の製造
　反応器として、攪拌器、窒素注入装置、滴下漏斗、温度調節器および冷却器を取り付けた１．５Ｌの反応器に窒素を通過させながらＮ，Ｎ－ジメチルアセトアミド（ＤＭＡｃ）７６９ｇを充填し、反応器の温度を２５℃に合わせた後、ジアミン３を６４．０４６ｇ、及びジアミン４を６４．０４６ｇ溶解し第１溶液を得て、この第１溶液を２５℃に維持した。第１溶液に酸無水物３を８．８８５ｇを投入した後、一定の時間攪拌して溶解および反応させて第２溶液を得た。
　前記ポリアミド酸溶液にピリジン１３ｇおよび無水酢酸１７ｇを投入して２５℃で３０分攪拌した後、さらに７０℃で１時間攪拌して常温に冷やし、これをメタノール２０Ｌに沈澱させ、沈澱した固形分を濾過して粉砕した後、１００℃、減圧下で６時間乾燥させて１０８ｇの固形分粉末の共重合ポリアミド－イミドを得た。
　前記１０８ｇの固形分粉末の共重合ポリイミドを７２２ｇのＮ，Ｎ－ジメチルアセトアミド（ＤＭＡｃ）に溶かして１３ｗｔ％の溶液を得た。こうして得られた溶液をステンレス板に塗布し、１３０℃の熱風で３０分乾燥させた後、フィルムをステンレス板から剥離してフレームにピンで固定した。フィルムが固定されたフレームを真空オーブンに入れ、１００℃から３００℃まで２時間ゆっくり加熱した後、徐々に冷却してフレームから分離してポリイミドフィルムを得た。その後、最終熱処理工程としてポリイミドフィルムをさらに３００℃で３０分間熱処理した（厚さ８５μｍ）。
（２０）基材フィルムＡ７の製造
　撹拌機（撹拌翼の形状は３枚後退翼）を備えた１，０００Ｌのグラスライニング製の反応槽に、ジアミン１を４３．９０ｋｇ、Ｎ－メチル－２－ピロリドンを６４５．７０ｋｇ入れ、窒素雰囲気下、０℃に冷却、攪拌しながら３０分かけて酸ジクロライド４を総量３１．７４ｋｇ、連続的に滴下して添加した。１時間攪拌した後、反応で発生した塩化水素を炭酸リチウムで中和して、ポリマー濃度９質量％のポリマー溶液を得た。
　得られたポリマー溶液を口金を用いて、最終フィルム厚みが２３μｍになるように表面が鏡面状のエンドレスベルト上に流延した。次いで、流延したポリマー溶液を１３０℃の熱風で６分間加熱して溶媒を蒸発させ、長手方向に１．１０倍の延伸を行いながら、エンドレスベルトから剥離した。次いで、４０℃の純水が流水する水槽に導入し、脱塩、脱溶媒を行った。さらに、水槽から出たフィルムをテンターに導入し、２８０℃で１．３０倍に延伸し、その後３００℃で０．９８５倍のリラックスを行い、さらに同じ温度で熱処理して基材フィルムＡ７を得た。
（実施例１）
　片面に厚み１００μｍの保護フィルム（パナック社製ＣＴ１００）を有する基材フィルムＡ１の保護フィルムが貼合されていない面に、塗剤Ｂ１をバーコーター（＃６）（松尾産業社製）を用いて塗布し、１００℃で２分間乾燥した。次いで、窒素雰囲気下において、３２０ｍＪ／ｃｍ２の紫外線を照射し塗膜を硬化させ、Ｂ１層／Ａ１層／保護フィルムの積層構成のフィルムを得た。次いで、Ｂ１層上に保護フィルム（パナック社製ＣＴ１００）を貼合し、保護フィルム／Ｂ１層／Ａ１層／保護フィルムの積層構成のフィルムを得た。次いで、Ａ１層側の保護フィルムを剥離し、Ａ１層上に塗剤Ｂ１をバーコーター（＃６）（松尾産業社製）を用いて塗布し、１００℃で２分間乾燥させた後に、窒素雰囲気下において、３２０ｍＪ／ｃｍ２の紫外線を照射し塗膜を硬化させ、保護フィルム／Ｂ１層／Ａ１層／Ｂ１層の積層構成のフィルムを得た。最後に保護フィルムを剥離し、積層フィルムを得た。得られた積層フィルムの各物性を測定した結果を表１に示す。
（実施例２～１５、比較例２～４）
　実施例１において、基材フィルム及び硬化剤塗液を表１あるいは表２の通りに変更して、実施例１と同様に硬化層付き積層フィルムを作成した。得られた積層フィルムの各物性を測定した結果を表１および表２に示す。
（比較例１）
　基剤フィルム単独の特性を表２に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000010
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000011
  
     　  
     　   

Claims (9)

  1. 　フィルムの少なくとも片面に硬化性樹脂を含有する硬化層を積層した積層フィルムであって、
    　総厚みが１～１００μｍであり、
    　波長４００ｎｍにおける光線透過率が７０％以上であり、
    　前記硬化層の表面について厚み方向にナノインデンターで１μｍ押し込んだときのヤング率が５ＧＰａ以上であり、
    　０．５ＭＰａの応力を３０分かけた後の変形量が５００ｐｐｍ以下であることを特徴とする積層フィルム。
  2. 　前記光線透過率が７０～１００％であり、
    　前記ヤング率が５～２０ＧＰａであり、
    　前記変形量が０～５００ｐｐｍである、請求項１に記載の積層フィルム。
  3. 　ガラス転移温度が１５０℃以上である、請求項１または２に記載の積層フィルム。
  4. 　前記総厚みが１０～５０μｍであり、前記硬化層の厚みが１～１０μｍである、請求項１～３のいずれかに記載の積層フィルム。
  5. 　フィルムと硬化層の間に、０．５μｍ以上６μｍ以下の厚みを有する中間層が設けられている、請求項１～４のいずれかに記載の積層フィルム。
  6. 　前記硬化層の表面が、１～１０ｎｍの平均粗さＲａを有する、請求項１～５のいずれかに記載の積層フィルム。
  7. 　粘弾性測定装置を用いて３０℃で測定した貯蔵弾性率が５ＧＰａ以上である、請求項１～６のいずれかに記載の積層フィルム。
  8. 　ポリマー構造中にフッ素含有樹脂を含み、該フッ素含有樹脂がポリアミド、芳香族ポリアミド、ポリイミド、芳香族ポリイミド、ポリアミイミドおよび芳香族ポリアミドイミドからなる群から選ばれる少なくとも１種の樹脂である、請求項１～７のいずれかに記載の積層フィルム。
  9. 　下記化学式（Ｉ）～（ＩＶ）で示される構造単位を含む、請求項８に記載の積層フィルム。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000001
     　但し、Ｒ１およびＲ２は、－Ｈ、炭素数１～５の脂肪族基、－ＣＦ３、－ＣＣｌ３、－ＯＨ、－Ｆ、－Ｃｌ、－Ｂｒ、－ＯＣＨ３、シリル基、または芳香環を含む基である。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000002
     　但し、Ｒ３は、Ｓｉを含む基、Ｐを含む基、Ｓを含む基、ハロゲン化炭化水素基、芳香環を含む基、またはエーテル結合を含む基であって、これらの基を有する構造単位が、分子内において混在していてもよい。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000003
     　但し、Ｒ４は、任意の基である。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000004
     　但し、Ｒ５は任意の芳香族基、任意の脂環族基である。
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