WO2017130973A1

WO2017130973A1 - 表面処理剤

Info

Publication number: WO2017130973A1
Application number: PCT/JP2017/002367
Authority: WO
Inventors: 大貴石井; 義昭本多; 健前平; 希望中野
Original assignee: ダイキン工業株式会社
Priority date: 2016-01-26
Filing date: 2017-01-24
Publication date: 2017-08-03
Also published as: KR102157665B1; TW201731916A; US20190031828A1; CN108495907A; KR20180098616A; EP3409744A1; JP2017133003A; US10870729B2; CN108495907B; EP3409744A4; JP6172410B2; TWI709589B

Abstract

本発明は、（１）下記一般式（Ａ１）、（Ａ２）、（Ｂ１）、（Ｂ２）、（Ｃ１）、（Ｃ２）、（Ｄ１）および（Ｄ２）：［式中、各記号は、明細書内の記載と同意義である。］のいずれかで表される少なくとも１種のパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物、および　（２）下記一般式（Ｏ）：　Ｒｆ^１－ＰＦＰＥ'－Ｒｆ^２　・・・（Ｏ）［式中、各記号は、明細書内の記載と同意義である。］で表される含フッ素オイルを含む表面処理剤であって、上記一般式（Ｏ）で表される含フッ素オイルのうち、含フッ素オイルの数平均分子量よりも２．０倍以上の分子量を有する含フッ素オイルの含有量が１０ｍｏｌ％以下であることを特徴とする表面処理剤を提供する。

Description

表面処理剤

　本発明は、表面処理剤、具体的には、パーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物および含フッ素オイルを含んで成る表面処理剤に関する。

　ある種の含フッ素シラン化合物は、基材の表面処理に用いると、優れた撥水性、撥油性、防汚性などを提供し得ることが知られている。含フッ素シラン化合物を含む表面処理剤から得られる層（以下、「表面処理層」とも言う）は、いわゆる機能性薄膜として、例えばガラス、プラスチック、繊維、建築資材など種々多様な基材に施されている。

　そのような含フッ素シラン化合物として、パーフルオロポリエーテル基を分子主鎖に有し、Ｓｉ原子に結合した加水分解可能な基を分子末端または末端部に有するパーフルオロポリエーテル基含有シラン化合物が知られている。例えば、特許文献１および２には、Ｓｉ原子に結合した加水分解可能な基を分子末端または末端部に有するパーフルオロポリエーテル基含有シラン化合物が記載されている。

国際公開第９７／０７１５５号特表２００８－５３４６９６号公報国際公開第２０１４／１６３０５７号

　パーフルオロポリエーテル基含有シラン化合物を含む表面処理剤から得られる層は、撥水性、撥油性、防汚性などの機能を薄膜でも発揮し得ることから、光透過性および透明性が求められるメガネやタッチパネルなどの光学部材に好適に利用されている。とりわけ、これら用途においては、指紋等の汚れが付着しても容易に拭き取ることができるように、また、ユーザが指でディスプレイパネルに触れて操作した際に優れた触感を提供することができるように、高い表面滑り性を実現することが求められている。更に、繰り返し摩擦を受けてもかかる機能を維持し得るように摩擦耐久性が求められる。

　表面処理層に優れた表面滑り性を付与するために、表面処理剤に含フッ素オイルを含ませることが知られている（特許文献３）。しかしながら、本発明者らは、パーフルオロポリエーテル基含有シラン化合物を含む表面処理剤に、含フッ素オイルを混合すると、得られる表面処理層の透明性が低下する場合があることに気付いた。

　本発明は、撥水性、撥油性、防汚性、防水性を有し、かつ、高い摩擦耐久性、高い表面滑り性および高い透明性を有する層を形成することのできるパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物を含んで成る表面処理剤を提供することを目的とする。

　本発明者らは、鋭意検討した結果、パーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物および含フッ素オイルを含んで成る表面処理剤において、表面処理剤に含まれる含フッ素オイルの高分子量画分の含有量を低くすることにより、透明性の低下を抑制しつつ、高い摩擦耐久性および高い表面滑り性を有する表面処理層を形成できることを見出し、本発明を完成するに至った。

　即ち、本発明の第１の要旨によれば、
　（１）下記一般式（Ａ１）、（Ａ２）、（Ｂ１）、（Ｂ２）、（Ｃ１）、（Ｃ２）、（Ｄ１）および（Ｄ２）：

［式中：
　ＰＦＰＥは、各出現においてそれぞれ独立して、式：
　　　－（ＯＣ_４Ｆ_８）_ａ－（ＯＣ_３Ｆ_６）_ｂ－（ＯＣ_２Ｆ_４）_ｃ－（ＯＣＦ_２）_ｄ－
（式中、ａ、ｂ、ｃおよびｄは、それぞれ独立して、０～２００の整数であって、ａ、ｂ、ｃおよびｄの和は少なくとも１であり、添字ａ、ｂ、ｃまたはｄを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は式中において任意である。）
で表される基であり；
　Ｒｆは、各出現においてそれぞれ独立して、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基を表し；
　Ｒ^１は、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表し；
　Ｒ^２は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または炭素数１～２２のアルキル基を表し；
　Ｒ^１１は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子またはハロゲン原子を表し；
　Ｒ^１２は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｎ１は、（－ＳｉＲ^１ _ｎ１Ｒ^２ _３－ｎ１）単位毎に独立して、０～３の整数であり；
　ただし、式（Ａ１）、（Ａ２）、（Ｂ１）および（Ｂ２）において、少なくとも１つのｎ１が、１～３の整数であり；
　Ｘ^１は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表し；
　Ｘ^２は、各出現においてそれぞれ独立して、単結合または２価の有機基を表し；
　ｔは、各出現においてそれぞれ独立して、１～１０の整数であり；
　αは、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　α’は、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　Ｘ^５は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表し；
　βは、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　β’は、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　Ｘ^７は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表し；
　γは、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　γ’は、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　Ｒ^ａは、各出現においてそれぞれ独立して、－Ｚ^１－ＳｉＲ^７１ _ｐ１Ｒ^７２ _ｑ１Ｒ^７３ _ｒ１を表し；
　Ｚ^１は、各出現においてそれぞれ独立して、酸素原子または２価の有機基を表し；
　Ｒ^７１は、各出現においてそれぞれ独立して、Ｒ^ａ’を表し；
　Ｒ^ａ’は、Ｒ^ａと同意義であり；
　Ｒ^ａ中、Ｚ^１基を介して直鎖状に連結されるＳｉは最大で５個であり；
　Ｒ^７２は、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表し；
　Ｒ^７３は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｐ１は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ｑ１は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ｒ１は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ただし、式（Ｃ１）および（Ｃ２）において、少なくとも１つのｑ１が１～３の整数であり；
　Ｒ^ｂは、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表し；
　Ｒ^ｃは、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｋ１は、各出現においてそれぞれ独立して、１～３の整数であり；
　ｌ１は、各出現においてそれぞれ独立して、０～２の整数であり；
　ｍ１は、各出現においてそれぞれ独立して、０～２の整数であり；
　ただし、γを付して括弧でくくられた単位において、ｋ１、ｌ１およびｍ１の和は３であり；
　Ｘ^９は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表し；
　δは、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　δ’は、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　Ｒ^ｄは、各出現においてそれぞれ独立して、－Ｚ^２－ＣＲ^８１ _ｐ２Ｒ^８２ _ｑ２Ｒ^８３ _ｒ２を表し；
　Ｚ^２は、各出現においてそれぞれ独立して、酸素原子または２価の有機基を表し；
　Ｒ^８１は、各出現においてそれぞれ独立して、Ｒ^ｄ’を表し；
　Ｒ^ｄ’は、Ｒ^ｄと同意義であり；
　Ｒ^ｄ中、Ｚ^２基を介して直鎖状に連結されるＣは最大で５個であり；
　Ｒ^８２は、各出現においてそれぞれ独立して、－Ｙ－ＳｉＲ^８５ _ｎ２Ｒ^８６ _３－ｎ２を表し；
　Ｙは、各出現においてそれぞれ独立して、２価の有機基を表し；
　Ｒ^８５は、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表し；
　Ｒ^８６は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｎ２は、（－Ｙ－ＳｉＲ^８５ _ｎ２Ｒ^８６ _３－ｎ２）単位毎に独立して、１～３の整数を表し；
　ただし、式（Ｄ１）および（Ｄ２）において、少なくとも１つのｎ２は１～３の整数であり；
　Ｒ^８３は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｐ２は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ｑ２は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ｒ２は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　Ｒ^ｅは、各出現においてそれぞれ独立して、－Ｙ－ＳｉＲ^８５ _ｎ２Ｒ^８６ _３－ｎ２を表し；
　Ｒ^ｆは、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｋ２は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ｌ２は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ｍ２は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ただし、式（Ｄ１）および（Ｄ２）において、少なくとも１つのｑ２は２または３であるか、あるいは、少なくとも１つのｌ２は２または３である。］
のいずれかで表される少なくとも１種のパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物、および
　（２）下記一般式（Ｏ）：
　Ｒｆ^１－ＰＦＰＥ’－Ｒｆ^２　　　　・・・（Ｏ）
［式中：
　Ｒｆ^１は、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよいＣ_１－１６のアルキル基を表し；
　Ｒｆ^２は、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよいＣ_１－１６のアルキル基、フッ素原子または水素原子を表し；
　ＰＦＰＥ’は、－（ＯＣ_４Ｆ_８）_ａ’－（ＯＣ_３Ｆ_６）_ｂ’－（ＯＣ_２Ｆ_４）_ｃ’－（ＯＣＦ_２）_ｄ’－であり；
　ａ’、ｂ’、ｃ’およびｄ’は、それぞれ独立して、０以上３００以下の整数であり、ａ’、ｂ’、ｃ’およびｄ’の和は少なくとも１であり、添字ａ’、ｂ’、ｃ’またはｄ’を付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は、式中において任意である。］
で表される含フッ素オイル
を含む表面処理剤であって、上記一般式（Ｏ）で表される含フッ素オイルのうち、含フッ素オイルの数平均分子量よりも２．０倍以上の分子量を有する含フッ素オイルの含有量が１０ｍｏｌ％以下であることを特徴とする表面処理剤が提供される。

　本発明の第２の要旨によれば、
　（１）下記一般式（Ａ１）、（Ａ２）、（Ｂ１）、（Ｂ２）、（Ｃ１）、（Ｃ２）、（Ｄ１）および（Ｄ２）：

［式中：
　ＰＦＰＥは、各出現においてそれぞれ独立して、式：
　　　－（ＯＣ_４Ｆ_８）_ａ－（ＯＣ_３Ｆ_６）_ｂ－（ＯＣ_２Ｆ_４）_ｃ－（ＯＣＦ_２）_ｄ－
（式中、ａ、ｂ、ｃおよびｄは、それぞれ独立して、０～２００の整数であって、ａ、ｂ、ｃおよびｄの和は少なくとも１であり、添字ａ、ｂ、ｃまたはｄを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は式中において任意である。）
で表される基であり；
　Ｒｆは、各出現においてそれぞれ独立して、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基を表し；
　Ｒ^１は、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表し；
　Ｒ^２は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または炭素数１～２２のアルキル基を表し；
　Ｒ^１１は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子またはハロゲン原子を表し；
　Ｒ^１２は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｎ１は、（－ＳｉＲ^１ _ｎ１Ｒ^２ _３－ｎ１）単位毎に独立して、０～３の整数であり；
　ただし、式（Ａ１）、（Ａ２）、（Ｂ１）および（Ｂ２）において、少なくとも１つのｎ１が、１～３の整数であり；
　Ｘ^１は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表し；
　Ｘ^２は、各出現においてそれぞれ独立して、単結合または２価の有機基を表し；
　ｔは、各出現においてそれぞれ独立して、１～１０の整数であり；
　αは、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　α’は、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　Ｘ^５は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表し；
　βは、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　β’は、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　Ｘ^７は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表し；
　γは、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　γ’は、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　Ｒ^ａは、各出現においてそれぞれ独立して、－Ｚ^１－ＳｉＲ^７１ _ｐ１Ｒ^７２ _ｑ１Ｒ^７３ _ｒ１を表し；
　Ｚ^１は、各出現においてそれぞれ独立して、酸素原子または２価の有機基を表し；
　Ｒ^７１は、各出現においてそれぞれ独立して、Ｒ^ａ’を表し；
　Ｒ^ａ’は、Ｒ^ａと同意義であり；
　Ｒ^ａ中、Ｚ^１基を介して直鎖状に連結されるＳｉは最大で５個であり；
　Ｒ^７２は、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表し；
　Ｒ^７３は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｐ１は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ｑ１は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ｒ１は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ただし、式（Ｃ１）および（Ｃ２）において、少なくとも１つのｑ１が１～３の整数であり；
　Ｒ^ｂは、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表し；
　Ｒ^ｃは、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｋ１は、各出現においてそれぞれ独立して、１～３の整数であり；
　ｌ１は、各出現においてそれぞれ独立して、０～２の整数であり；
　ｍ１は、各出現においてそれぞれ独立して、０～２の整数であり；
　ただし、γを付して括弧でくくられた単位において、ｋ１、ｌ１およびｍ１の和は３であり；
　Ｘ^９は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表し；
　δは、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　δ’は、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　Ｒ^ｄは、各出現においてそれぞれ独立して、－Ｚ^２－ＣＲ^８１ _ｐ２Ｒ^８２ _ｑ２Ｒ^８３ _ｒ２を表し；
　Ｚ^２は、各出現においてそれぞれ独立して、酸素原子または２価の有機基を表し；
　Ｒ^８１は、各出現においてそれぞれ独立して、Ｒ^ｄ’を表し；
　Ｒ^ｄ’は、Ｒ^ｄと同意義であり；
　Ｒ^ｄ中、Ｚ^２基を介して直鎖状に連結されるＣは最大で５個であり；
　Ｒ^８２は、各出現においてそれぞれ独立して、－Ｙ－ＳｉＲ^８５ _ｎ２Ｒ^８６ _３－ｎ２を表し；
　Ｙは、各出現においてそれぞれ独立して、２価の有機基を表し；
　Ｒ^８５は、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表し；
　Ｒ^８６は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｎ２は、（－Ｙ－ＳｉＲ^８５ _ｎ２Ｒ^８６ _３－ｎ２）単位毎に独立して、１～３の整数を表し；
　ただし、式（Ｄ１）および（Ｄ２）において、少なくとも１つのｎ２は１～３の整数であり；
　Ｒ^８３は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｐ２は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ｑ２は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ｒ２は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　Ｒ^ｅは、各出現においてそれぞれ独立して、－Ｙ－ＳｉＲ^８５ _ｎ２Ｒ^８６ _３－ｎ２を表し；
　Ｒ^ｆは、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｋ２は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ｌ２は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ｍ２は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ただし、式（Ｄ１）および（Ｄ２）において、少なくとも１つのｑ２は２または３であるか、あるいは、少なくとも１つのｌ２は２または３である。］
のいずれかで表される少なくとも１種のパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物、および
　（２）下記一般式（Ｏ）：
　Ｒｆ^１－ＰＦＰＥ’－Ｒｆ^２　　　　・・・（Ｏ）
［式中：
　Ｒｆ^１は、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよいＣ_１－１６のアルキル基を表し；
　Ｒｆ^２は、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよいＣ_１－１６のアルキル基、フッ素原子または水素原子を表し；
　ＰＦＰＥ’は、－（ＯＣ_４Ｆ_８）_ａ’－（ＯＣ_３Ｆ_６）_ｂ’－（ＯＣ_２Ｆ_４）_ｃ’－（ＯＣＦ_２）_ｄ’－であり；
　ａ’、ｂ’、ｃ’およびｄ’は、それぞれ独立して、０以上３００以下の整数であり、ａ’、ｂ’、ｃ’およびｄ’の和は少なくとも１であり、添字ａ’、ｂ’、ｃ’またはｄ’を付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は、式中において任意である。］
で表される含フッ素オイルを含む表面処理剤であって、上記一般式（Ｏ）で表される含フッ素オイルのうち、５，０００以上の分子量を有する含フッ素オイルの含有量が１０ｍｏｌ％以下であることを特徴とする表面処理剤が提供される。

　本発明の第３の要旨によれば、上記表面処理剤を含有するペレットが提供される。

　本発明の第４の要旨によれば、基材と、該基材の表面に、上記表面処理剤より形成された層とを含む物品が提供される。

　本発明によれば、パーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物および含フッ素シランを含んで成る新規な表面処理剤が提供される。この表面処理剤を用いることにより、撥水性、撥油性および防汚性を有し、かつ、高い透明性、高い摩擦耐久性および高い表面滑り性を有する表面処理層を形成することができる。

　以下、本発明の化合物について説明する。

　本明細書において用いられる場合、「炭化水素基」とは、炭素および水素を含む基であって、炭化水素から１個の水素原子を脱離させた基を意味する。かかる炭化水素基としては、特に限定されるものではないが、１つまたはそれ以上の置換基により置換されていてもよい、炭素数１～２０の炭化水素基、例えば、脂肪族炭化水素基、芳香族炭化水素基等が挙げられる。上記「脂肪族炭化水素基」は、直鎖状、分枝鎖状または環状のいずれであってもよく、飽和または不飽和のいずれであってもよい。また、炭化水素基は、１つまたはそれ以上の環構造を含んでいてもよい。尚、かかる炭化水素基は、その末端または分子鎖中に、１つまたはそれ以上のＮ、Ｏ、Ｓ、Ｓｉ、アミド、スルホニル、シロキサン、カルボニル、カルボニルオキシ等を有していてもよい。

　本明細書において用いられる場合、「炭化水素基」の置換基としては、特に限定されないが、例えば、ハロゲン原子；１個またはそれ以上のハロゲン原子により置換されていてもよい、Ｃ_１－６アルキル基、Ｃ_２－６アルケニル基、Ｃ_２－６アルキニル基、Ｃ_３－１０シクロアルキル基、Ｃ_３－１０不飽和シクロアルキル基、５～１０員のヘテロシクリル基、５～１０員の不飽和ヘテロシクリル基、Ｃ_６－１０アリール基および５～１０員のヘテロアリール基から選択される１個またはそれ以上の基が挙げられる。

　本明細書において用いられる場合、「２～１０価の有機基」とは、炭素を含有する２～１０価の基を意味する。かかる２～１０価の有機基としては、特に限定されないが、炭化水素基からさらに１～９個の水素原子を脱離させた２～１０価の基が挙げられる。例えば、２価の有機基としては、特に限定されるものではないが、炭化水素基からさらに１個の水素原子を脱離させた２価の基が挙げられる。

　本発明の表面処理剤は、（１）パーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物および（２）含フッ素オイルを含んで成る。

　本発明で用いられる上記パーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物は、下記一般式（Ａ１）、（Ａ２）、（Ｂ１）、（Ｂ２）、（Ｃ１）、（Ｃ２）、（Ｄ１）および（Ｄ２）：

のいずれかで表される少なくとも１種のパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物である。以下、上記式（Ａ１）、（Ａ２）、（Ｂ１）、（Ｂ２）、（Ｃ１）、（Ｃ２）、（Ｄ１）および（Ｄ２）で表されるパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物について説明する。

　式（Ａ１）および（Ａ２）：

　上記式中、ＰＦＰＥは、それぞれ独立して、－（ＯＣ_４Ｆ_８）_ａ－（ＯＣ_３Ｆ_６）_ｂ－（ＯＣ_２Ｆ_４）_ｃ－（ＯＣＦ_２）_ｄ－であり、パーフルオロ（ポリ）エーテル基に該当する。ここに、ａ、ｂ、ｃおよびｄは、それぞれ独立して０または１以上の整数であって、ａ、ｂ、ｃおよびｄの和は少なくとも１である。好ましくは、ａ、ｂ、ｃおよびｄは、それぞれ独立して０以上２００以下の整数、例えば１～２００の整数であり、より好ましくは、それぞれ独立して０以上１００以下の整数である。また、好ましくは、ａ、ｂ、ｃおよびｄの和は５以上であり、より好ましくは１０以上、例えば１０以上１００以下である。また、ａ、ｂ、ｃまたはｄを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は式中において任意である。これら繰り返し単位のうち、－（ＯＣ_４Ｆ_８）－は、－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）－、－（ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＣＦ_２）－、－（ＯＣＦ_２ＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２）－、－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ（ＣＦ_３））－、－（ＯＣ（ＣＦ_３）_２ＣＦ_２）－、－（ＯＣＦ_２Ｃ（ＣＦ_３）_２）－、－（ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ（ＣＦ_３））－、－（ＯＣＦ（Ｃ_２Ｆ_５）ＣＦ_２）－および－（ＯＣＦ_２ＣＦ（Ｃ_２Ｆ_５））－のいずれであってもよいが、好ましくは－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）－である。－（ＯＣ_３Ｆ_６）－は、－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）－、－（ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２）－および－（ＯＣＦ_２ＣＦ（ＣＦ_３））－のいずれであってもよいが、好ましくは－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）－である。また、－（ＯＣ_２Ｆ_４）－は、－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２）－および－（ＯＣＦ（ＣＦ_３））－のいずれであってもよいが、好ましくは－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２）－である。

　一の態様において、ＰＦＰＥは、－（ＯＣ_３Ｆ_６）_ｂ－（式中、ｂは１以上２００以下、好ましくは５以上２００以下、より好ましくは１０以上２００以下の整数である）であり、好ましくは、－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）_ｂ－（式中、ｂは１以上２００以下、好ましくは５以上２００以下、より好ましくは１０以上２００以下の整数である）または－（ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２）_ｂ－（式中、ｂは１以上２００以下、好ましくは５以上２００以下、より好ましくは１０以上２００以下の整数である）であり、より好ましくは－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）_ｂ－（式中、ｂは１以上２００以下、好ましくは５以上２００以下、より好ましくは１０以上２００以下の整数である）である。

　別の態様において、ＰＦＰＥは、－（ＯＣ_４Ｆ_８）_ａ－（ＯＣ_３Ｆ_６）_ｂ－（ＯＣ_２Ｆ_４）_ｃ－（ＯＣＦ_２）_ｄ－（式中、ａおよびｂは、それぞれ独立して０以上３０以下の整数であり、ｃおよびｄは、それぞれ独立して１以上２００以下、好ましくは５以上２００以下、より好ましくは１０以上２００以下の整数であり、添字ａ、ｂ、ｃまたはｄを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は、式中において任意である）であり、好ましくは－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）_ａ－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）_ｂ－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２）_ｃ－（ＯＣＦ_２）_ｄ－である。一の態様において、ＰＦＰＥは、－（ＯＣ_２Ｆ_４）_ｃ－（ＯＣＦ_２）_ｄ－（式中、ｃおよびｄは、それぞれ独立して１以上２００以下、好ましくは５以上２００以下、より好ましくは１０以上２００以下の整数であり、添字ｃまたはｄを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は、式中において任意である）であってもよい。

　さらに別の態様において、ＰＦＰＥは、－（Ｒ^７－Ｒ^８）_ｆ－で表される基である。式中、Ｒ^７は、ＯＣＦ_２またはＯＣ_２Ｆ_４であり、好ましくはＯＣ_２Ｆ_４である。即ち、好ましくは、ＰＦＰＥは、－（ＯＣ_２Ｆ_４－Ｒ^８）_ｆ－で表される基である。式中、Ｒ^８は、ＯＣ_２Ｆ_４、ＯＣ_３Ｆ_６およびＯＣ_４Ｆ_８から選択される基であるか、あるいは、これらの基から独立して選択される２または３つの基の組み合わせである。ＯＣ_２Ｆ_４、ＯＣ_３Ｆ_６およびＯＣ_４Ｆ_８から独立して選択される２または３つの基の組み合わせとしては、特に限定されないが、例えば－ＯＣ_２Ｆ_４ＯＣ_３Ｆ_６－、－ＯＣ_２Ｆ_４ＯＣ_４Ｆ_８－、－ＯＣ_３Ｆ_６ＯＣ_２Ｆ_４－、－ＯＣ_３Ｆ_６ＯＣ_３Ｆ_６－、－ＯＣ_３Ｆ_６ＯＣ_４Ｆ_８－、－ＯＣ_４Ｆ_８ＯＣ_４Ｆ_８－、－ＯＣ_４Ｆ_８ＯＣ_３Ｆ_６－、－ＯＣ_４Ｆ_８ＯＣ_２Ｆ_４－、－ＯＣ_２Ｆ_４ＯＣ_２Ｆ_４ＯＣ_３Ｆ_６－、－ＯＣ_２Ｆ_４ＯＣ_２Ｆ_４ＯＣ_４Ｆ_８－、－ＯＣ_２Ｆ_４ＯＣ_３Ｆ_６ＯＣ_２Ｆ_４－、－ＯＣ_２Ｆ_４ＯＣ_３Ｆ_６ＯＣ_３Ｆ_６－、－ＯＣ_２Ｆ_４ＯＣ_４Ｆ_８ＯＣ_２Ｆ_４－、－ＯＣ_３Ｆ_６ＯＣ_２Ｆ_４ＯＣ_２Ｆ_４－、－ＯＣ_３Ｆ_６ＯＣ_２Ｆ_４ＯＣ_３Ｆ_６－、－ＯＣ_３Ｆ_６ＯＣ_３Ｆ_６ＯＣ_２Ｆ_４－、および－ＯＣ_４Ｆ_８ＯＣ_２Ｆ_４ＯＣ_２Ｆ_４－等が挙げられる。上記ｆは、２～１００の整数、好ましくは２～５０の整数である。上記式中、ＯＣ_２Ｆ_４、ＯＣ_３Ｆ_６およびＯＣ_４Ｆ_８は、直鎖または分枝鎖のいずれであってもよく、好ましくは直鎖である。この態様において、ＰＦＰＥは、好ましくは、－（ＯＣ_２Ｆ_４－ＯＣ_３Ｆ_６）_ｆ－または－（ＯＣ_２Ｆ_４－ＯＣ_４Ｆ_８）_ｆ－である。

　上記式中、Ｒｆは、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基を表す。

　上記１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基における「炭素数１～１６のアルキル基」は、直鎖であっても、分枝鎖であってもよく、好ましくは、直鎖または分枝鎖の炭素数１～６、特に炭素数１～３のアルキル基であり、より好ましくは直鎖の炭素数１～３のアルキル基である。

　上記Ｒｆは、好ましくは、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されている炭素数１～１６のアルキル基であり、より好ましくはＣＦ_２Ｈ－Ｃ_１－１５フルオロアルキレン基であり、さらに好ましくは炭素数１～１６のパーフルオロアルキル基である。

　該炭素数１～１６のパーフルオロアルキル基は、直鎖であっても、分枝鎖であってもよく、好ましくは、直鎖または分枝鎖の炭素数１～６、特に炭素数１～３のパーフルオロアルキル基であり、より好ましくは直鎖の炭素数１～３のパーフルオロアルキル基、具体的には－ＣＦ_３、－ＣＦ_２ＣＦ_３、または－ＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_３である。

　上記式中、Ｒ^１は、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表す。

　上記式中、Ｒ^２は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または炭素数１～２２のアルキル基、好ましくは炭素数１～４のアルキル基を表す。

　上記「加水分解可能な基」とは、本明細書において用いられる場合、加水分解反応により、化合物の主骨格から脱離し得る基を意味する。加水分解可能な基の例としては、－ＯＲ、－ＯＣＯＲ、－Ｏ－Ｎ＝ＣＲ_２、－ＮＲ_２、－ＮＨＲ、ハロゲン（これら式中、Ｒは、置換または非置換の炭素数１～４のアルキル基を示す）などが挙げられ、好ましくは－ＯＲ（即ち、アルコキシ基）である。Ｒの例には、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基などの非置換アルキル基；クロロメチル基などの置換アルキル基が含まれる。それらの中でも、アルキル基、特に非置換アルキル基が好ましく、メチル基またはエチル基がより好ましい。水酸基は、特に限定されないが、加水分解可能な基が加水分解して生じたものであってよい。

　上記式中、Ｒ^１１は、各出現において、それぞれ独立して、水素原子またはハロゲン原子を表す。ハロゲン原子は、好ましくはヨウ素原子、塩素原子またはフッ素原子であり、より好ましくはフッ素原子である。

　上記式中、Ｒ^１２は、各出現において、それぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表す。低級アルキル基は、好ましくは炭素数１～２０のアルキル基であり、より好ましくは炭素数１～６のアルキル基であり、例えばメチル基、エチル基、プロピル基等が挙げられる。

　上記式中、ｎ１は、（－ＳｉＲ^１ _ｎ１Ｒ^２ _３－ｎ１）単位毎に独立して、０～３の整数であり、好ましくは１～３であり、より好ましくは３である。ただし、式中、すべてのｎ１が同時に０になることはない。換言すれば、式中、少なくとも１つはＲ^１が存在する。

　上記式中、Ｘ^１は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表す。当該Ｘ^１は、式（Ａ１）および（Ａ２）で表される化合物において、主に撥水性および表面滑り性等を提供するパーフルオロポリエーテル部（即ち、Ｒｆ－ＰＦＰＥ部または－ＰＦＰＥ－部）と、基材との結合能を提供するシラン部（即ち、αを付して括弧でくくられた基）とを連結するリンカーと解される。従って、当該Ｘ^１は、式（Ａ１）および（Ａ２）で表される化合物が安定に存在し得るものであれば、いずれの有機基であってもよい。

　上記式中、αは１～９の整数であり、α’は１～９の整数である。これらαおよびα’は、Ｘ^１の価数に応じて変化し得る。式（Ａ１）においては、αおよびα’の和は、Ｘ^１の価数と同じである。例えば、Ｘ^１が１０価の有機基である場合、αおよびα’の和は１０であり、例えばαが９かつα’が１、αが５かつα’が５、またはαが１かつα’が９となり得る。また、Ｘ^１が２価の有機基である場合、αおよびα’は１である。式（Ａ２）においては、αはＸ^１の価数から１を引いた値である。

　上記Ｘ^１は、好ましくは２～７価であり、より好ましくは２～４価であり、さらに好ましくは２価の有機基である。

　一の態様において、Ｘ^１は２～４価の有機基であり、αは１～３であり、α’は１である。

　別の態様において、Ｘ^１は２価の有機基であり、αは１であり、α’は１である。この場合、式（Ａ１）および（Ａ２）は、下記式（Ａ１’）および（Ａ２’）で表される。

　上記Ｘ^１の例としては、特に限定するものではないが、例えば、下記式：
　　　－（Ｒ^３１）_ｐ’－（Ｘ^ａ）_ｑ’－
［式中：
　Ｒ^３１は、各出現においてそれぞれ独立して、単結合、－（ＣＨ_２）_ｓ’－またはｏ－、ｍ－もしくはｐ－フェニレン基を表し、好ましくは－（ＣＨ_２）_ｓ’－であり、
　ｓ’は、１～２０の整数、好ましくは１～６の整数、より好ましくは１～３の整数、さらにより好ましくは１または２であり、
　Ｘ^ａは、各出現においてそれぞれ独立して、－（Ｘ^ｂ）_ｌ’－を表し、
　Ｘ^ｂは、各出現においてそれぞれ独立して、－Ｏ－、－Ｓ－、ｏ－、ｍ－もしくはｐ－フェニレン基、－Ｃ（Ｏ）Ｏ－、－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－、－（Ｓｉ（Ｒ^３３）_２Ｏ）_ｍ’－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－、－ＣＯＮＲ^３４－、－Ｏ－ＣＯＮＲ^３４－、－ＮＲ^３４－および－（ＣＨ_２）_ｎ’－からなる群から選択される基を表し、
　Ｒ^３３は、各出現においてそれぞれ独立して、フェニル基、Ｃ_１－６アルキル基またはＣ_１－６アルコキシ基を表し、好ましくはフェニル基またはＣ_１－６アルキル基であり、より好ましくはメチル基であり、
　Ｒ^３４は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子、フェニル基またはＣ_１－６アルキル基（好ましくはメチル基）を表し、
　ｍ’は、各出現においてそれぞれ独立して、１～１００の整数、好ましくは１～２０の整数であり、
　ｎ’は、各出現においてそれぞれ独立して、１～２０の整数、好ましくは１～６の整数、より好ましくは１～３の整数であり、
　ｌ’は、１～１０の整数、好ましくは１～５の整数、より好ましくは１～３の整数であり、
　ｐ’は、０、１または２であり、
　ｑ’は、０または１であり、
　ここに、ｐ’およびｑ’の少なくとも一方は１であり、ｐ’またはｑ’を付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は任意である］
で表される２価の基が挙げられる。ここに、Ｒ^３１およびＸ^ａ（典型的にはＲ^３１およびＸ^ａの水素原子）は、フッ素原子、Ｃ_１－３アルキル基およびＣ_１－３フルオロアルキル基から選択される１個またはそれ以上の置換基により置換されていてもよい。

　好ましくは、上記Ｘ^１は、－（Ｒ^３１）_ｐ’－（Ｘ^ａ）_ｑ’－Ｒ^３２－である。Ｒ^３２は、単結合、－（ＣＨ_２）_ｔ’－またはｏ－、ｍ－もしくはｐ－フェニレン基を表し、好ましくは－（ＣＨ_２）_ｔ’－である。ｔ’は、１～２０の整数、好ましくは２～６の整数、より好ましくは２～３の整数である。ここに、Ｒ^３２（典型的にはＲ^３２の水素原子）は、フッ素原子、Ｃ_１－３アルキル基およびＣ_１－３フルオロアルキル基から選択される１個またはそれ以上の置換基により置換されていてもよい。

　好ましくは、上記Ｘ^１は、
Ｃ_１－２０アルキレン基、
－Ｒ^３１－Ｘ^ｃ－Ｒ^３２－、または
－Ｘ^ｄ－Ｒ^３２－
［式中、Ｒ^３１およびＲ^３２は、上記と同意義である。］
であり得る。

　より好ましくは、上記Ｘ^１は、
Ｃ_１－２０アルキレン基、
－（ＣＨ_２）_ｓ’－Ｘ^ｃ－、
－（ＣＨ_２）_ｓ’－Ｘ^ｃ－（ＣＨ_２）_ｔ’－
－Ｘ^ｄ－、または
－Ｘ^ｄ－（ＣＨ_２）_ｔ’－
［式中、ｓ’およびｔ’は、上記と同意義である。］
である。

　上記式中、Ｘ^ｃは、
－Ｏ－、
－Ｓ－、
－Ｃ（Ｏ）Ｏ－、
－ＣＯＮＲ^３４－、
－Ｏ－ＣＯＮＲ^３４－、
－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－、
－（Ｓｉ（Ｒ^３３）_２Ｏ）_ｍ’－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－、
－Ｏ－（ＣＨ_２）_u’－（Ｓｉ（Ｒ^３３）_２Ｏ）_ｍ’－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－、
－Ｏ－（ＣＨ_２）_u’－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－Ｏ－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－ＣＨ_２ＣＨ_２－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－Ｏ－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－、
－Ｏ－（ＣＨ_２）_u’－Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２－、
－ＣＯＮＲ^３４－（ＣＨ_２）_u’－（Ｓｉ（Ｒ^３３）_２Ｏ）_ｍ’－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－、
－ＣＯＮＲ^３４－（ＣＨ_２）_u’－Ｎ（Ｒ^３４）－、または
－ＣＯＮＲ^３４－（ｏ－、ｍ－またはｐ－フェニレン）－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－
［式中、Ｒ^３３、Ｒ^３４およびｍ’は、上記と同意義であり、
　ｕ’は１～２０の整数、好ましくは２～６の整数、より好ましくは２～３の整数である。］を表す。Ｘ^ｃは、好ましくは－Ｏ－である。

　上記式中、Ｘ^ｄは、
－Ｓ－、
－Ｃ（Ｏ）Ｏ－、
－ＣＯＮＲ^３４－、
－ＣＯＮＲ^３４－（ＣＨ_２）_u’－（Ｓｉ（Ｒ^３３）_２Ｏ）_ｍ’－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－、
－ＣＯＮＲ^３４－（ＣＨ_２）_u’－Ｎ（Ｒ^３４）－、または
－ＣＯＮＲ^３４－（ｏ－、ｍ－またはｐ－フェニレン）－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－
［式中、各記号は、上記と同意義である。］
を表す。

　より好ましくは、上記Ｘ^１は、
Ｃ_１－２０アルキレン基、
－（ＣＨ_２）_ｓ’－Ｘ^ｃ－（ＣＨ_２）_ｔ’－、または
－Ｘ^ｄ－（ＣＨ_２）_ｔ’－
［式中、各記号は、上記と同意義である。］
であり得る。

　さらにより好ましくは、上記Ｘ^１は、
Ｃ_１－２０アルキレン基、
－（ＣＨ_２）_ｓ’－Ｏ－（ＣＨ_２）_ｔ’－、
－（ＣＨ_２）_ｓ’－（Ｓｉ（Ｒ^３３）_２Ｏ）_ｍ’－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－（ＣＨ_２）_ｔ’－、
－（ＣＨ_２）_ｓ’－Ｏ－（ＣＨ_２）_u’－（Ｓｉ（Ｒ^３３）_２Ｏ）_ｍ’－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－（ＣＨ_２）_ｔ’－、または
－（ＣＨ_２）_ｓ’－Ｏ－（ＣＨ_２）_ｔ’－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－（ＣＨ_２）_u’－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－（Ｃ_vＨ_２v）－
［式中、Ｒ^３３、ｍ’、ｓ’、ｔ’およびｕ’は、上記と同意義であり、ｖは１～２０の整数、好ましくは２～６の整数、より好ましくは２～３の整数である。］
である。

　上記式中、－（Ｃ_vＨ_２v）－は、直鎖であっても、分枝鎖であってもよく、例えば、－ＣＨ_２ＣＨ_２－、－ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２－、－ＣＨ（ＣＨ_３）－、－ＣＨ（ＣＨ_３）ＣＨ_２－であり得る。

　上記Ｘ^１基は、フッ素原子、Ｃ_１－３アルキル基およびＣ_１－３フルオロアルキル基（好ましくは、Ｃ_１－３パーフルオロアルキル基）から選択される１個またはそれ以上の置換基により置換されていてもよい。

　別の態様において、Ｘ^１基としては、例えば下記の基が挙げられる：

［式中、Ｒ^４１は、それぞれ独立して、水素原子、フェニル基、炭素数１～６のアルキル基、またはＣ_１－６アルコキシ基、好ましくはメチル基であり；
　Ｄは、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＦ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３－、
－（ＣＨ_２）_２－、
－（ＣＨ_２）_３－、
－（ＣＨ_２）₄－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮ（ＣＨ_３）－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮ（Ｐｈ）－（ＣＨ_２）_３－（式中、Ｐｈはフェニルを意味する）、および

（式中、Ｒ^４２は、それぞれ独立して、水素原子、Ｃ_１－６のアルキル基またはＣ_１－６のアルコキシ基、好ましくはメチル基またはメトキシ基、より好ましくはメチル基を表す。）
から選択される基であり、
　Ｅは、－（ＣＨ_２）_ｎ－（ｎは２～６の整数）であり、
　Ｄは、分子主鎖のＰＦＰＥに結合し、Ｅは、ＰＦＰＥと反対の基に結合する。］

　上記Ｘ^１の具体的な例としては、例えば：
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_２Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_１０Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_２０Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＦ_２ＣＨＦＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＦ_２ＣＨＦＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＦ_２ＣＨＦＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２（ＣＨ_２）_７ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_２ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_２ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_２ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_２ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－（ＣＨ_２）_２－、
－（ＣＨ_２）_３－、
－（ＣＨ_２）_４－、
－（ＣＨ_２）_５－、
－（ＣＨ_２）_６－、
－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮ（ＣＨ_３）－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮ（Ｐｈ）－（ＣＨ_２）_３－（式中、Ｐｈはフェニルを意味する）、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＯＮ（ＣＨ_３）－（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＯＮ（Ｐｈ）－（ＣＨ_２）_６－（式中、Ｐｈはフェニルを意味する）、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_２ＮＨ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_６ＮＨ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２Ｏ－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２Ｏ－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_６－、
－Ｓ－（ＣＨ_２）_３－、
－（ＣＨ_２）_２Ｓ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_２Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_１０Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_２０Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－
－Ｃ（Ｏ）Ｏ－（ＣＨ_２）_３－、
－Ｃ（Ｏ）Ｏ－（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_３－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_３－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－ＣＨ（ＣＨ_３）－、
－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_３－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_３－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－ＣＨ（ＣＨ_３）－ＣＨ_２－、
－ＯＣＨ_２－、
－Ｏ（ＣＨ_２）_３－、
－ＯＣＦＨＣＦ_２－、

などが挙げられる。

　さらに別の態様において、Ｘ^１は、式：－（Ｒ^１６）_ｘ－（ＣＦＲ^１７）_ｙ－（ＣＨ_２）_ｚ－で表される基である。式中、ｘ、ｙおよびｚは、それぞれ独立して、０～１０の整数であり、ｘ、ｙおよびｚの和は１以上であり、括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は式中において任意である。

　上記式中、Ｒ^１６は、各出現においてそれぞれ独立して、酸素原子、フェニレン、カルバゾリレン、－ＮＲ^２６－（式中、Ｒ^２６は、水素原子または有機基を表す）または２価の有機基である。好ましくは、Ｒ^１６は、酸素原子または２価の極性基である。

　上記「２価の極性基」としては、特に限定されないが、－Ｃ（Ｏ）－、－Ｃ（＝ＮＲ^２７）－、および－Ｃ（Ｏ）ＮＲ^２７－（これらの式中、Ｒ^２７は、水素原子または低級アルキル基を表す）が挙げられる。当該「低級アルキル基」は、例えば、炭素数１～６のアルキル基、例えばメチル、エチル、ｎ－プロピルであり、これらは、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい。

　上記式中、Ｒ^１７は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子、フッ素原子または低級フルオロアルキル基であり、好ましくはフッ素原子である。当該「低級フルオロアルキル基」は、例えば、炭素数１～６、好ましくは炭素数１～３のフルオロアルキル基、好ましくは炭素数１～３のパーフルオロアルキル基、より好ましくはトリフルオロメチル基、ペンタフルオロエチル基、さらに好ましくはトリフルオロメチル基である。

　この態様において、Ｘ^１は、好ましくは、式：－（Ｏ）_ｘ－（ＣＦ_２）_ｙ－（ＣＨ_２）_ｚ－（式中、ｘ、ｙおよびｚは、上記と同意義であり、括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は式中において任意である）で表される基である。

　上記式：－（Ｏ）_ｘ－（ＣＦ_２）_ｙ－（ＣＨ_２）_ｚ－で表される基としては、例えば、－（Ｏ）_ｘ’－（ＣＨ_２）_ｚ”－Ｏ－［（ＣＨ_２）_ｚ’’’－Ｏ－］_ｚ””、および－（Ｏ）_ｘ’－（ＣＦ_２）_ｙ”－（ＣＨ_２）_ｚ”－Ｏ－［（ＣＨ_２）_ｚ’’’－Ｏ－］_ｚ””（式中、ｘ’は０または１であり、ｙ”、ｚ”およびｚ’’’は、それぞれ独立して、１～１０の整数であり、ｚ””は、０または１である）で表される基が挙げられる。なお、これらの基は左端がＰＦＰＥ側に結合する。

　別の好ましい態様において、Ｘ^１は、－Ｏ－ＣＦＲ^１３－（ＣＦ_２）_ｅ－である。

　上記Ｒ^１３は、それぞれ独立して、フッ素原子または低級フルオロアルキル基を表す。低級フルオロアルキル基は、例えば炭素数１～３のフルオロアルキル基、好ましくは炭素数１～３のパーフルオロアルキル基、より好ましくはトリフルオロメチル基、ペンタフルオロエチル基、更に好ましくはトリフルオロメチル基である。

　上記ｅは、それぞれ独立して、０または１である。

　一の具体例において、Ｒ^１３はフッ素原子であり、ｅは１である。

　さらに別の態様において、Ｘ^１基の例として、下記の基が挙げられる：

［式中、
　Ｒ^４１は、それぞれ独立して、水素原子、フェニル基、炭素数１～６のアルキル基、またはＣ_１－６アルコキシ基好ましくはメチル基であり；
　各Ｘ^１基において、Ｔのうち任意のいくつかは、分子主鎖のＰＦＰＥに結合する以下の基：
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＦ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３－、
－（ＣＨ_２）_２－、
－（ＣＨ_２）_３－、
－（ＣＨ_２）₄－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮ（ＣＨ_３）－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮ（Ｐｈ）－（ＣＨ_２）_３－（式中、Ｐｈはフェニルを意味する）、または

［式中、Ｒ^４２は、それぞれ独立して、水素原子、Ｃ_１－６のアルキル基またはＣ_１－６のアルコキシ基、好ましくはメチル基またはメトキシ基、より好ましくはメチル基を表す。］
であり、別のＴのいくつかは、分子主鎖のＰＦＰＥと反対の基（即ち、式（Ａ１）、
（Ａ２）、（Ｄ１）および（Ｄ２）においては炭素原子、また、下記する式（Ｂ１）、（Ｂ２）、（Ｃ１）および（Ｃ２）においてはＳｉ原子）に結合する－（ＣＨ_２）_ｎ”－（ｎ”は２～６の整数）であり、存在する場合、残りのＴは、それぞれ独立して、メチル基、フェニル基、Ｃ_１－６アルコキシ基またはラジカル捕捉基もしくは紫外線吸収基であり得る。

　ラジカル捕捉基は、光照射で生じるラジカルを捕捉できるものであれば特に限定されないが、例えばベンゾフェノン類、ベンゾトリアゾール類、安息香酸エステル類、サリチル酸フェニル類、クロトン酸類、マロン酸エステル類、オルガノアクリレート類、ヒンダードアミン類、ヒンダードフェノール類、またはトリアジン類の残基が挙げられる。

　紫外線吸収基は、紫外線を吸収できるものであれば特に限定されないが、例えばベンゾトリアゾール類、ヒドロキシベンゾフェノン類、置換および未置換安息香酸もしくはサリチル酸化合物のエステル類、アクリレートまたはアルコキシシンナメート類、オキサミド類、オキサニリド類、ベンゾキサジノン類、ベンゾキサゾール類の残基が挙げられる。

　好ましい態様において、好ましいラジカル捕捉基または紫外線吸収基としては、

が挙げられる。

　この態様において、Ｘ^１は、それぞれ独立して、３～１０価の有機基であり得る。

　上記式中、ｔは、それぞれ独立して、１～１０の整数である。好ましい態様において、ｔは１～６の整数である。別の好ましい態様において、ｔは２～１０の整数であり、好ましくは２～６の整数である。

　上記式中、Ｘ^２は、各出現においてそれぞれ独立して、単結合または２価の有機基を表す。Ｘ^２は、好ましくは、炭素数１～２０のアルキレン基であり、より好ましくは、－（ＣＨ_２）_ｕ－（式中、ｕは、０～２の整数である）である。

　好ましい式（Ａ１）および（Ａ２）で示される化合物は、下記式（Ａ１’）および（Ａ２’）：

［式中：
　ＰＦＰＥは、それぞれ独立して、式：
　　　　－（ＯＣ_４Ｆ_８）_ａ－（ＯＣ_３Ｆ_６）_ｂ－（ＯＣ_２Ｆ_４）_ｃ－（ＯＣＦ_２）_ｄ－
（式中、ａ、ｂ、ｃおよびｄは、それぞれ独立して、０～２００の整数であって、ａ、ｂ、ｃおよびｄの和は少なくとも１であり、添字ａ、ｂ、ｃまたはｄを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は式中において任意である。）
で表される基であり；
　Ｒｆは、各出現においてそれぞれ独立して、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基を表し；
　Ｒ^１は、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表し；
　Ｒ^２は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または炭素数１～２２のアルキル基を表し；
　Ｒ^１１は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子またはハロゲン原子を表し；
　Ｒ^１２は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｎ１は、１～３の整数であり、好ましくは３であり；
　Ｘ^１は、－Ｏ－ＣＦＲ^１３－（ＣＦ_２）_ｅ－であり；
　Ｒ^１３は、フッ素原子または低級フルオロアルキル基であり；
　ｅは、０または１であり；
　Ｘ^２は、－（ＣＨ_２）_ｕ－であり；
　ｕは、０～２の整数であり（ｕが０の場合Ｘ^２は単結合である）；
　ｔは、１～１０の整数である。］
で表される化合物である。

　上記式（Ａ１）および（Ａ２）で表される化合物は、例えば、Ｒｆ－ＰＦＰＥ－部分に対応するパーフルオロポリエーテル誘導体を原料として、末端にヨウ素を導入した後、－ＣＨ_２ＣＲ^１２（Ｘ^２－ＳｉＲ^１ _ｎ１Ｒ^２ _３－ｎ１）－に対応するビニルモノマーを反応させることにより得ることができる。

　式（Ｂ１）および（Ｂ２）：

　上記式（Ｂ１）および（Ｂ２）中、Ｒｆ、ＰＦＰＥ、Ｒ^１、Ｒ^２およびｎ１は、上記式（Ａ１）および（Ａ２）に関する記載と同意義である。

　上記式中、Ｘ^５は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表す。当該Ｘ^５は、式（Ｂ１）および（Ｂ２）で表される化合物において、主に撥水性および表面滑り性等を提供するパーフルオロポリエーテル部（Ｒｆ－ＰＦＰＥ部または－ＰＦＰＥ－部）と、基材との結合能を提供するシラン部（具体的には、－ＳｉＲ^１ _ｎ１Ｒ^２ _３－ｎ１）とを連結するリンカーと解される。従って、当該Ｘ^５は、式（Ｂ１）および（Ｂ２）で表される化合物が安定に存在し得るものであれば、いずれの有機基であってもよい。

　上記式中のβは、１～９の整数であり、β’は、１～９の整数である。これらβおよびβ’は、Ｘ^３の価数に応じて決定され、式（Ｂ１）において、βおよびβ’の和は、Ｘ^５の価数と同じである。例えば、Ｘ^５が１０価の有機基である場合、βおよびβ’の和は１０であり、例えばβが９かつβ’が１、βが５かつβ’が５、またはβが１かつβ’が９となり得る。また、Ｘ^５が２価の有機基である場合、βおよびβ’は１である。式（Ｂ２）において、βはＸ^５の価数の値から１を引いた値である。

　上記Ｘ^５は、好ましくは２～７価、より好ましくは２～４価、さらに好ましくは２価の有機基である。

　一の態様において、Ｘ^５は２～４価の有機基であり、βは１～３であり、β’は１である。

　別の態様において、Ｘ^５は２価の有機基であり、βは１であり、β’は１である。この場合、式（Ｂ１）および（Ｂ２）は、下記式（Ｂ１’）および（Ｂ２’）で表される。

　上記Ｘ^５の例としては、特に限定するものではないが、例えば、Ｘ^１に関して記載したものと同様のものが挙げられる。

　中でも、好ましい具体的なＸ^５は、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_２Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_１０Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_２０Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＦ_２ＣＨＦＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＦ_２ＣＨＦＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＦ_２ＣＨＦＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２（ＣＨ_２）_７ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_２ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_２ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_２ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_２ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－（ＣＨ_２）_２－、
－（ＣＨ_２）_３－、
－（ＣＨ_２）_４－、
－（ＣＨ_２）_５－、
－（ＣＨ_２）_６－、
－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮ（ＣＨ_３）－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮ（Ｐｈ）－（ＣＨ_２）_３－（式中、Ｐｈはフェニルを意味する）、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＯＮ（ＣＨ_３）－（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＯＮ（Ｐｈ）－（ＣＨ_２）_６－（式中、Ｐｈはフェニルを意味する）、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_２ＮＨ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_６ＮＨ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２Ｏ－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２Ｏ－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_６－、
－Ｓ－（ＣＨ_２）_３－、
－（ＣＨ_２）_２Ｓ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_２Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_１０Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_２０Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－
－Ｃ（Ｏ）Ｏ－（ＣＨ_２）_３－、
－Ｃ（Ｏ）Ｏ－（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_３－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_３－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－ＣＨ（ＣＨ_３）－、
－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_３－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_３－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－ＣＨ（ＣＨ_３）－ＣＨ_２－、
－ＯＣＨ_２－、
－Ｏ（ＣＨ_２）_３－、
－ＯＣＦＨＣＦ_２－、

などが挙げられる。

　好ましい式（Ｂ１）および（Ｂ２）で示される化合物は、下記式（Ｂ１’）および（Ｂ２’）：

［式中：
　ＰＦＰＥは、それぞれ独立して、式：
　　　　－（ＯＣ_４Ｆ_８）_ａ－（ＯＣ_３Ｆ_６）_ｂ－（ＯＣ_２Ｆ_４）_ｃ－（ＯＣＦ_２）_ｄ－
（式中、ａ、ｂ、ｃおよびｄは、それぞれ独立して、０～２００の整数であって、ａ、ｂ、ｃおよびｄの和は少なくとも１であり、添字ａ、ｂ、ｃまたはｄを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は式中において任意である。）
で表される基であり；
　Ｒｆは、各出現においてそれぞれ独立して、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基を表し；
　Ｒ^１は、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表し；
　Ｒ^２は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または炭素数１～２２のアルキル基を表し；
　ｎ１は、１～３の整数であり、好ましくは３であり；
　Ｘ^５は、－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_２－、－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３－または－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_６－である］
で表される化合物である。

　上記式（Ｂ１）および（Ｂ２）で表される化合物は、公知の方法、例えば特許文献１に記載の方法またはその改良方法により製造することができる。例えば、式（Ｂ１）および（Ｂ２）で表される化合物は、下記式（Ｂ１－４）または（Ｂ２－４）：

［式中：
　ＰＦＰＥは、それぞれ独立して、式：
　　　　－（ＯＣ_４Ｆ_８）_ａ－（ＯＣ_３Ｆ_６）_ｂ－（ＯＣ_２Ｆ_４）_ｃ－（ＯＣＦ_２）_ｄ－
（式中、ａ、ｂ、ｃおよびｄは、それぞれ独立して、０～２００の整数であって、ａ、ｂ、ｃおよびｄの和は少なくとも１であり、添字ａ、ｂ、ｃまたはｄを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は式中において任意である。）
で表される基であり；
　Ｒｆは、各出現においてそれぞれ独立して、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基を表し；
　Ｘ^５’は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表し；
　βは、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　β’は、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　Ｒ^９２は、単結合または２価の有機基である。］
で表される化合物を、ＨＳｉＭ_３（式中、Ｍは、それぞれ独立して、ハロゲン原子、Ｒ^１またはＲ^２であり、Ｒ^１は、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基であり、Ｒ^２は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または炭素数１～２２のアルキル基である）と反応させて、必要に応じて、上記ハロゲン原子を、Ｒ^１またはＲ^２に変換して、式（Ｂ１”）または（Ｂ２”）：

［式中、ＰＦＰＥ、Ｒｆ、Ｘ^５’、β、β’およびＲ^９２は、上記と同意義であり；
　ｎ１は、０～３の整数である。］
で表される化合物として得ることができる。

　式（Ｂ１”）または（Ｂ２”）において、Ｘ^５’からＲ^９２－ＣＨ_２ＣＨ_２－までの部分が、式（Ｂ１）または（Ｂ２）におけるＸ^５に対応する。

　式（Ｃ１）および（Ｃ２）：

　上記式（Ｃ１）および（Ｃ２）中、ＲｆおよびＰＦＰＥは、上記式（Ａ１）および（Ａ２）に関する記載と同意義である。

　上記式中、Ｘ^７は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表す。当該Ｘ^７は、式（Ｃ１）および（Ｃ２）で表される化合物において、主に撥水性および表面滑り性等を提供するパーフルオロポリエーテル部（Ｒｆ－ＰＦＰＥ部または－ＰＦＰＥ－部）と、基材との結合能を提供するシラン部（具体的には、－ＳｉＲ^ａ _ｋ１Ｒ^ｂ _ｌ１Ｒ^ｃ _ｍ１基）とを連結するリンカーと解される。従って、当該Ｘ^７は、式（Ｃ１）および（Ｃ２）で表される化合物が安定に存在し得るものであれば、いずれの有機基であってもよい。

　上記式中のγは、１～９の整数であり、γ’は、１～９の整数である。これらγおよびγ’は、Ｘ^７の価数に応じて決定され、式（Ｃ１）において、γおよびγ’の和は、Ｘ^７の価数と同じである。例えば、Ｘ^７が１０価の有機基である場合、γおよびγ’の和は１０であり、例えばγが９かつγ’が１、γが５かつγ’が５、またはγが１かつγ’が９となり得る。また、Ｘ^７が２価の有機基である場合、γおよびγ’は１である。式（Ｃ２）において、γはＸ^７の価数の値から１を引いた値である。

　上記Ｘ^７は、好ましくは２～７価、より好ましくは２～４価、さらに好ましくは２価の有機基である。

　一の態様において、Ｘ^７は２～４価の有機基であり、γは１～３であり、γ’は１である。

　別の態様において、Ｘ^７は２価の有機基であり、γは１であり、γ’は１である。この場合、式（Ｃ１）および（Ｃ２）は、下記式（Ｃ１’）および（Ｃ２’）で表される。

　上記Ｘ^７の例としては、特に限定するものではないが、例えば、Ｘ^１に関して記載したものと同様のものが挙げられる。

　中でも、好ましい具体的なＸ^７は、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_２Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_１０Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_２０Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＦ_２ＣＨＦＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＦ_２ＣＨＦＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＦ_２ＣＨＦＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２（ＣＨ_２）_７ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_２ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_２ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_２ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_２ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－（ＣＨ_２）_２－、
－（ＣＨ_２）_３－、
－（ＣＨ_２）_４－、
－（ＣＨ_２）_５－、
－（ＣＨ_２）_６－、
－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮ（ＣＨ_３）－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮ（Ｐｈ）－（ＣＨ_２）_３－（式中、Ｐｈはフェニルを意味する）、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＯＮ（ＣＨ_３）－（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＯＮ（Ｐｈ）－（ＣＨ_２）_６－（式中、Ｐｈはフェニルを意味する）、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_２ＮＨ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_６ＮＨ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２Ｏ－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２Ｏ－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_６－、
－Ｓ－（ＣＨ_２）_３－、
－（ＣＨ_２）_２Ｓ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_２Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_１０Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_２０Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－
－Ｃ（Ｏ）Ｏ－（ＣＨ_２）_３－、
－Ｃ（Ｏ）Ｏ－（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_３－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_３－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－ＣＨ（ＣＨ_３）－、
－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_３－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_３－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－ＣＨ（ＣＨ_３）－ＣＨ_２－、
－ＯＣＨ_２－、
－Ｏ（ＣＨ_２）_３－、
－ＯＣＦＨＣＦ_２－、

などが挙げられる。

　上記式中、Ｒ^ａは、各出現においてそれぞれ独立して、－Ｚ^１－ＳｉＲ^７１ _ｐ１Ｒ^７２ _ｑ１Ｒ^７３ _ｒ１を表す。

　式中、Ｚ^１は、各出現においてそれぞれ独立して、酸素原子または２価の有機基を表す。

　上記Ｚ^１は、好ましくは、２価の有機基であり、式（Ｃ１）または式（Ｃ２）における分子主鎖の末端のＳｉ原子（Ｒ^ａが結合しているＳｉ原子）とシロキサン結合を形成するものを含まない。

　上記Ｚ^１は、好ましくは、Ｃ_１－６アルキレン基、－（ＣＨ_２）_ｇ－Ｏ－（ＣＨ_２）_ｈ－（式中、ｇは、１～６の整数であり、ｈは、１～６の整数である）または、－フェニレン－（ＣＨ_２）_ｉ－（式中、ｉは、０～６の整数である）であり、より好ましくはＣ_１－３アルキレン基である。これらの基は、例えば、フッ素原子、Ｃ_１－６アルキル基、Ｃ_２－６アルケニル基、およびＣ_２－６アルキニル基から選択される１個またはそれ以上の置換基により置換されていてもよい。

　式中、Ｒ^７１は、各出現においてそれぞれ独立して、Ｒ^ａ’を表す。Ｒ^ａ’は、Ｒ^ａと同意義である。

　Ｒ^ａ中、Ｚ^１基を介して直鎖状に連結されるＳｉは最大で５個である。即ち、上記Ｒ^ａにおいて、Ｒ^７１が少なくとも１つ存在する場合、Ｒ^ａ中にＺ^１基を介して直鎖状に連結されるＳｉ原子が２個以上存在するが、かかるＺ基を介して直鎖状に連結されるＳｉ原子の数は最大で５個である。なお、「Ｒ^ａ中のＺ基を介して直鎖状に連結されるＳｉ原子の数」とは、Ｒ^ａ中において直鎖状に連結される－Ｚ^１－Ｓｉ－の繰り返し数と等しくなる。

　例えば、下記にＲ^ａ中においてＺ^１基（下記では単に「Ｚ」と示す）を介してＳｉ原子が連結された一例を示す。

　上記式において、＊は、主鎖のＳｉに結合する部位を意味し、…は、ＺＳｉ以外の所定の基が結合していること、即ち、Ｓｉ原子の３本の結合手がすべて…である場合、ＺＳｉの繰り返しの終了箇所を意味する。また、Ｓｉの右肩の数字は、＊から数えたＺ基を介して直鎖状に連結されたＳｉの出現数を意味する。即ち、Ｓｉ^２でＺＳｉ繰り返しが終了している鎖は「Ｒ^ａ中のＺ^１基を介して直鎖状に連結されるＳｉ原子の数」が２個であり、同様に、Ｓｉ^３、Ｓｉ^４およびＳｉ^５でＺＳｉ繰り返しが終了している鎖は、それぞれ、「Ｒ^ａ中のＺ^１基を介して直鎖状に連結されるＳｉ原子の数」が３、４および５個である。なお、上記の式から明らかなように、Ｒ^ａ中には、ＺＳｉ鎖が複数存在するが、これらはすべて同じ長さである必要はなく、それぞれ任意の長さであってもよい。

　好ましい態様において、下記に示すように、「Ｒ^ａ中のＺ^１基を介して直鎖状に連結されるＳｉ原子の数」は、すべての鎖において、１個（左式）または２個（右式）である。

　一の態様において、Ｒ^ａ中のＺ基を介して直鎖状に連結されるＳｉ原子の数は１個または２個、好ましくは１個である。

　式中、Ｒ^７２は、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表す。

　上記「加水分解可能な基」とは、本明細書において用いられる場合、加水分解反応を受け得る基を意味する。加水分解可能な基の例としては、－ＯＲ、－ＯＣＯＲ、－Ｏ－Ｎ＝Ｃ（Ｒ）_２、－Ｎ（Ｒ）_２、－ＮＨＲ、ハロゲン（これら式中、Ｒは、置換または非置換の炭素数１～４のアルキル基を示す）などが挙げられ、好ましくは－ＯＲ（アルコキシ基）である。Ｒの例には、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基などの非置換アルキル基；クロロメチル基などの置換アルキル基が含まれる。それらの中でも、アルキル基、特に非置換アルキル基が好ましく、メチル基またはエチル基がより好ましい。水酸基は、特に限定されないが、加水分解可能な基が加水分解して生じたものであってよい。

　好ましくは、Ｒ^７２は、－ＯＲ（式中、Ｒは、置換または非置換のＣ_１－３アルキル基、より好ましくはメチル基を表す）である。

　式中、Ｒ^７３は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表す。該低級アルキル基は、好ましくは炭素数１～２０のアルキル基、より好ましくは炭素数１～６のアルキル基、さらに好ましくはメチル基である。

　式中、ｐ１は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；ｑ１は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；ｒ１は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数である。ただし、ｐ１、ｑ１およびｒ１の和は３である。

　好ましい態様において、Ｒ^ａ中の末端のＲ^ａ’（Ｒ^ａ’が存在しない場合、Ｒ^ａ）において、上記ｑ１は、好ましくは２以上、例えば２または３であり、より好ましくは３である。

　好ましい態様において、Ｒ^ａの末端部の少なくとも１つは、－Ｓｉ（－Ｚ^１－ＳｉＲ^７２ _ｑＲ^７３ _ｒ）_２または－Ｓｉ（－Ｚ^１－ＳｉＲ^７２ _ｑＲ^７３ _ｒ）_３、好ましくは－Ｓｉ（－Ｚ^１－ＳｉＲ^７２ _ｑＲ^７３ _ｒ）_３であり得る。式中、（－Ｚ^１－ＳｉＲ^７２ _ｑＲ^７３ _ｒ）の単位は、好ましくは（－Ｚ^１－ＳｉＲ^７２ _３）である。さらに好ましい態様において、Ｒ^ａの末端部は、すべて－Ｓｉ（－Ｚ^１－ＳｉＲ^７２ _ｑＲ^７３ _ｒ）_３、好ましくは－Ｓｉ（－Ｚ^１－ＳｉＲ^７２ _３）_３であり得る。

　上記式（Ｃ１）および（Ｃ２）においては、少なくとも１つのＲ^７２が存在する。

　上記式中、Ｒ^ｂは、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表す。

　上記Ｒ^ｂは、好ましくは、水酸基、－ＯＲ、－ＯＣＯＲ、－Ｏ－Ｎ＝Ｃ（Ｒ）_２、－Ｎ（Ｒ）_２、－ＮＨＲ、ハロゲン（これら式中、Ｒは、置換または非置換の炭素数１～４のアルキル基を示す）であり、好ましくは－ＯＲである。Ｒは、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基などの非置換アルキル基；クロロメチル基などの置換アルキル基が含まれる。それらの中でも、アルキル基、特に非置換アルキル基が好ましく、メチル基またはエチル基がより好ましい。水酸基は、特に限定されないが、加水分解可能な基が加水分解して生じたものであってよい。より好ましくは、Ｒ^ｃは、－ＯＲ（式中、Ｒは、置換または非置換のＣ_１－３アルキル基、より好ましくはメチル基を表す）である。

　上記式中、Ｒ^ｃは、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表す。該低級アルキル基は、好ましくは炭素数１～２０のアルキル基、より好ましくは炭素数１～６のアルキル基、さらに好ましくはメチル基である。

　式中、ｋ１は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；ｌ１は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；ｍ１は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数である。ただし、ｋ１、ｌ１およびｍ１の和は、３である。

　上記式（Ｃ１）および（Ｃ２）で表される化合物は、例えば、Ｒｆ－ＰＦＰＥ－部分に対応するパーフルオロポリエーテル誘導体を原料として、末端に水酸基を導入した後、末端に不飽和結合を有する基を導入し、この不飽和結合を有する基とハロゲン原子を有するシリル誘導体とを反応させ、さらにこのシリル基に末端に水酸基を導入し、導入した不飽和結合を有する基とシリル誘導体とを反応させることにより得ることができる。例えば、以下のようにして得ることができる。

　好ましい式（Ｃ１）および（Ｃ２）で示される化合物は、下記式（Ｃ１”）および（Ｃ２”）：

［式中：
　ＰＦＰＥは、それぞれ独立して、式：
　　　　－（ＯＣ_４Ｆ_８）_ａ－（ＯＣ_３Ｆ_６）_ｂ－（ＯＣ_２Ｆ_４）_ｃ－（ＯＣＦ_２）_ｄ－
（式中、ａ、ｂ、ｃおよびｄは、それぞれ独立して、０～２００の整数であって、ａ、ｂ、ｃおよびｄの和は少なくとも１であり、添字ａ、ｂ、ｃまたはｄを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は式中において任意である。）
で表される基であり；
　Ｒｆは、各出現においてそれぞれ独立して、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基を表し；
　Ｘ^７は、－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_２－、－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３－または－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_６－を表し；
　Ｒ^ａは、各出現においてそれぞれ独立して、－Ｚ^１－ＳｉＲ^７１ _ｐ１Ｒ^７２ _ｑ１Ｒ^７３ _ｒ１を表し；
　Ｚ^１は、Ｃ_１－６アルキレン基を表し；
　Ｒ^７１は、各出現においてそれぞれ独立して、Ｒ^ａ’を表し；
　Ｒ^ａ’は、Ｒ^ａと同意義であり；
　Ｒ^ａ中、Ｚ^１基を介して直鎖状に連結されるＳｉは最大で５個であり；
　Ｒ^７２は、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表し；
　Ｒ^７３は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｐ１は、各出現においてそれぞれ独立して、０～２の整数であり；
　ｑ１は、各出現においてそれぞれ独立して、１～３の整数、好ましくは３であり；
　ｒ１は、各出現においてそれぞれ独立して、０～２の整数であり；
　ただし、一のＲ^ａにおいて、ｐ１、ｑ１およびｒ１の和は３である。］
で表される化合物である。

　上記式（Ｃ１）および（Ｃ２）で表される化合物は、例えば以下のようにして製造することができる。下記式（Ｃ１－４）または（Ｃ２－４）：

［式中：
　ＰＦＰＥは、それぞれ独立して、式：
　　　　－（ＯＣ_４Ｆ_８）_ａ－（ＯＣ_３Ｆ_６）_ｂ－（ＯＣ_２Ｆ_４）_ｃ－（ＯＣＦ_２）_ｄ－
（式中、ａ、ｂ、ｃおよびｄは、それぞれ独立して、０～２００の整数であって、ａ、ｂ、ｃおよびｄの和は少なくとも１であり、添字ａ、ｂ、ｃまたはｄを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は式中において任意である。）
で表される基であり；
　Ｒｆは、各出現においてそれぞれ独立して、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基を表し；
　Ｘ^７’は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表し；
　γは、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　γ’は、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　Ｒ^９２は、単結合または２価の有機基である。］
で表される化合物を、ＨＳｉＲ^９３ _ｋ１Ｒ^ｂ _ｌ１Ｒ^ｃ _ｍ１（式中、Ｒ^９３はハロゲン原子、例えばフッ素原子、塩素原子、臭素原子またはヨウ素原子、好ましくは塩素原子であり、Ｒ^ｂは、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表し、Ｒ^ｃは、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し、ｋ１は１～３の整数であり、ｌ１およびｍ１は、それぞれ独立して、０～２の整数であり、ｋ１、ｌ１およびｍ１の和は３である。）で表される化合物と反応させて、式（Ｃ１－５）または（Ｃ２－５）：

［式中、Ｒｆ、ＰＦＰＥ、Ｒ^９２、Ｒ^９３、Ｒ^ｂ、Ｒ^ｃ、γ、γ’、Ｘ^７’、ｋ１、ｌ１およびｍ１は、上記と同意義である。］
で表される化合物を得る。

　得られた式（Ｃ１－５）または（Ｃ２－５）で表される化合物を、Ｈａｌ－Ｊ－Ｒ^８４－ＣＨ＝ＣＨ_２（式中、Ｈａｌはハロゲン原子（例えば、Ｉ、Ｂｒ、Ｃｌ、Ｆ等）を表し、Ｊは、Ｍｇ、Ｃｕ、ＰｄまたはＺｎを表し、Ｒ^９４は単結合または２価の有機基を表す。）で表される化合物と反応させて、式（Ｃ１－６）または（Ｃ２－６）：

［式中、Ｒｆ、ＰＦＰＥ、Ｒ^９２、Ｒ^９４、Ｒ^ｂ、Ｒ^ｃ、γ、γ’、Ｘ^７’、ｋ１、ｌ１およびｍ１は、上記と同意義である。］
で表される化合物を得る。

　得られた式（Ｃ１－６）または（Ｃ２－６）で表される化合物を、ＨＳｉＭ_３（式中、Ｍは、それぞれ独立して、ハロゲン原子、Ｒ^７２またはＲ^７３であり、Ｒ^７２は、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表し、Ｒ^７３は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表す。）と反応させて、必要に応じて、上記ハロゲン原子を、Ｒ^７２またはＲ^７３に変換して、式（Ｃ１’’’）または（Ｃ２’’’）：

［式中、Ｒｆ、ＰＦＰＥ、Ｒ^７２、Ｒ^７３、Ｒ^９２、Ｒ^９４、Ｒ^ｂ、Ｒ^ｃ、γ、γ’、Ｘ^７’、ｋ１、ｌ１およびｍ１は、上記と同意義であり；
　ｑ１は、各出現においてそれぞれ独立して、１～３の整数であり；
　ｒ１は、各出現においてそれぞれ独立して、０～２の整数である。］
で表される化合物を得ることができる。

　式（Ｃ１’’’）または（Ｃ２’’’）において、Ｘ^７’からＲ^９２－ＣＨ_２ＣＨ_２－までの部分が、式（Ｃ１）または（Ｃ２）におけるＸ^７に対応し、－Ｒ^９４－ＣＨ_２ＣＨ_２－が式（Ｃ１）または（Ｃ２）におけるＺに対応する。

　式（Ｄ１）および（Ｄ２）：

　上記式（Ｄ１）および（Ｄ２）中、ＲｆおよびＰＦＰＥは、上記式（Ａ１）および（Ａ２）に関する記載と同意義である。

　上記式中、Ｘ^９は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表す。当該Ｘは、式（Ｄ１）および（Ｄ２）で表される化合物において、主に撥水性および表面滑り性等を提供するパーフルオロポリエーテル部（即ち、Ｒｆ－ＰＦＰＥ部または－ＰＦＰＥ－部）と、基材との結合能を提供する部（即ち、δを付して括弧でくくられた基）とを連結するリンカーと解される。従って、当該Ｘは、式（Ｄ１）および（Ｄ２）で表される化合物が安定に存在し得るものであれば、いずれの有機基であってもよい。

　上記式中、δは１～９の整数であり、δ’は１～９の整数である。これらδおよびδ’は、Ｘの価数に応じて変化し得る。式（Ｄ１）においては、δおよびδ’の和は、Ｘの価数と同じである。例えば、Ｘが１０価の有機基である場合、δおよびδ’の和は１０であり、例えばδが９かつδ’が１、δが５かつδ’が５、またはδが１かつδ’が９となり得る。また、Ｘ^９が２価の有機基である場合、δおよびδ’は１である。式（Ｄ２）においては、δはＸ^９の価数から１を引いた値である。

　上記Ｘ^９は、好ましくは２～７価であり、より好ましくは２～４価であり、さらに好ましくは２価の有機基である。

　一の態様において、Ｘ^９は２～４価の有機基であり、δは１～３であり、δ’は１である。

　別の態様において、Ｘ^９は２価の有機基であり、δは１であり、δ’は１である。この場合、式（Ｄ１）および（Ｄ２）は、下記式（Ｄ１’）および（Ｄ２’）で表される。

　上記Ｘ^９の例としては、特に限定するものではないが、例えば、Ｘ^１に関して記載したものと同様のものが挙げられる。

　中でも、好ましい具体的なＸ^９は、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_２Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_１０Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_２０Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＦ_２ＣＨＦＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＦ_２ＣＨＦＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＦ_２ＣＨＦＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２（ＣＨ_２）_７ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_２ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_２ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_２ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_２ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－（ＣＨ_２）_２－、
－（ＣＨ_２）_３－、
－（ＣＨ_２）_４－、
－（ＣＨ_２）_５－、
－（ＣＨ_２）_６－、
－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮ（ＣＨ_３）－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮ（Ｐｈ）－（ＣＨ_２）_３－（式中、Ｐｈはフェニルを意味する）、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＯＮ（ＣＨ_３）－（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＯＮ（Ｐｈ）－（ＣＨ_２）_６－（式中、Ｐｈはフェニルを意味する）、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_２ＮＨ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_６ＮＨ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２Ｏ－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２Ｏ－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_６－、
－Ｓ－（ＣＨ_２）_３－、
－（ＣＨ_２）_２Ｓ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_２Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_１０Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_２０Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－
－Ｃ（Ｏ）Ｏ－（ＣＨ_２）_３－、
－Ｃ（Ｏ）Ｏ－（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_３－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_３－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－ＣＨ（ＣＨ_３）－、
－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_３－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_３－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－ＣＨ（ＣＨ_３）－ＣＨ_２－、
－ＯＣＨ_２－、
－Ｏ（ＣＨ_２）_３－、
－ＯＣＦＨＣＦ_２－、

などが挙げられる。

　上記式中、Ｒ^ｄは、各出現においてそれぞれ独立して、－Ｚ^２－ＣＲ^８１ _ｐ２Ｒ^８２ _ｑ２Ｒ^８３ _ｒ２を表す。

　式中、Ｚ^２は、各出現においてそれぞれ独立して、酸素原子または２価の有機基を表す。

　上記Ｚ^２は、好ましくは、Ｃ_１－６アルキレン基、－（ＣＨ_２）_ｇ－Ｏ－（ＣＨ_２）_ｈ－（式中、ｇは、０～６の整数、例えば１～６の整数であり、ｈは、０～６の整数、例えば１～６の整数である）または、－フェニレン－（ＣＨ_２）_ｉ－（式中、ｉは、０～６の整数である）であり、より好ましくはＣ_１－３アルキレン基である。これらの基は、例えば、フッ素原子、Ｃ_１－６アルキル基、Ｃ_２－６アルケニル基、およびＣ_２－６アルキニル基から選択される１個またはそれ以上の置換基により置換されていてもよい。

　式中、Ｒ^８１は、各出現においてそれぞれ独立して、Ｒ^ｄ’を表す。Ｒ^ｄ’は、Ｒ^ｄと同意義である。

　Ｒ^ｄ中、Ｚ^２基を介して直鎖状に連結されるＣは最大で５個である。即ち、上記Ｒ^ｄにおいて、Ｒ^８１が少なくとも１つ存在する場合、Ｒ^ｄ中にＺ^２基を介して直鎖状に連結されるＳｉ原子が２個以上存在するが、かかるＺ^２基を介して直鎖状に連結されるＣ原子の数は最大で５個である。なお、「Ｒ^ｄ中のＺ^２基を介して直鎖状に連結されるＣ原子の数」とは、Ｒ^ｄ中において直鎖状に連結される－Ｚ^２－Ｃ－の繰り返し数と等しくなる。これは、式（Ｃ１）および（Ｃ２）におけるＲ^ａに関する記載と同様である。

　好ましい態様において、「Ｒ^ｄ中のＺ^２基を介して直鎖状に連結されるＣ原子の数」は、すべての鎖において、１個（左式）または２個（右式）である。

　一の態様において、Ｒ^ｄ中のＺ^２基を介して直鎖状に連結されるＣ原子の数は１個または２個、好ましくは１個である。

　式中、Ｒ^８２は、－Ｙ－ＳｉＲ^８５ _ｎ２Ｒ^８６ _３－２ｎを表す。

　Ｙは、各出現においてそれぞれ独立して、２価の有機基を表す。

　好ましい態様において、Ｙは、Ｃ_１－６アルキレン基、－（ＣＨ_２）_ｇ’－Ｏ－（ＣＨ_２）_ｈ’－（式中、ｇ’は、０～６の整数、例えば１～６の整数であり、ｈ’は、０～６の整数、例えば１～６の整数である）、または－フェニレン－（ＣＨ_２）_ｉ’－（式中、ｉ’は、０～６の整数である）である。これらの基は、例えば、フッ素原子、Ｃ_１－６アルキル基、Ｃ_２－６アルケニル基、およびＣ_２－６アルキニル基から選択される１個またはそれ以上の置換基により置換されていてもよい。

　一の態様において、Ｙは、Ｃ_１－６アルキレン基、－Ｏ－（ＣＨ_２）_ｈ’－または－フェニレン－（ＣＨ_２）_ｉ’－であり得る。Ｙが上記の基である場合、光耐性、特に紫外線耐性がより高くなり得る。

　上記Ｒ^５は、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表す。

　好ましくは、Ｒ^８５は、－ＯＲ（式中、Ｒは、置換または非置換のＣ_１－３アルキル基、より好ましくはエチル基またはメチル基、特にメチル基を表す）である。

　上記Ｒ^８６は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表す。該低級アルキル基は、好ましくは炭素数１～２０のアルキル基、より好ましくは炭素数１～６のアルキル基、さらに好ましくはメチル基である。

　ｎ２は、（－Ｙ－ＳｉＲ^８５ _ｎ２Ｒ^８６ _３－ｎ２）単位毎に独立して、１～３の整数を表し、好ましくは２または３、より好ましくは３である。

　上記Ｒ^８３は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表す。該低級アルキル基は、好ましくは炭素数１～２０のアルキル基、より好ましくは炭素数１～６のアルキル基、さらに好ましくはメチル基である。

　式中、ｐ２は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；ｑ２は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；ｒ２は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数である。ただし、ｐ２、ｑ２およびｒ２の和は３である。

　好ましい態様において、Ｒ^ｄ中の末端のＲ^ｄ’（Ｒ^ｄ’が存在しない場合、Ｒ^ｄ）において、上記ｑ２は、好ましくは２以上、例えば２または３であり、より好ましくは３である。

　好ましい態様において、Ｒ^ｄの末端部の少なくとも１つは、－Ｃ（－Ｙ－ＳｉＲ^８５ _ｑ２Ｒ^８６ _ｒ２）_２または－Ｃ（－Ｙ－ＳｉＲ^８５ _ｑ２Ｒ^８６ _ｒ２）_３、好ましくは－Ｃ（－Ｙ－ＳｉＲ^８５ _ｑ２Ｒ^８６ _ｒ２）_３であり得る。式中、（－Ｙ－ＳｉＲ^８５ _ｑ２Ｒ^８６ _ｒ２）の単位は、好ましくは（－Ｙ－ＳｉＲ^８５ _３）である。さらに好ましい態様において、Ｒ^ｄの末端部は、すべて－Ｃ（－Ｙ－ＳｉＲ^８５ _ｑ２Ｒ^８６ _ｒ２）_３、好ましくは－Ｃ（－Ｙ－ＳｉＲ^８５ _３）_３であり得る。

　上記式中、Ｒ^ｅは、各出現においてそれぞれ独立して、－Ｙ－ＳｉＲ^８５ _ｎ２Ｒ^８６ _３－ｎ２を表す。ここに、Ｙ、Ｒ^８５、Ｒ^８６およびｎ２は、上記Ｒ^８２における記載と同意義である。

　上記式中、Ｒ^ｆは、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表す。該低級アルキル基は、好ましくは炭素数１～２０のアルキル基、より好ましくは炭素数１～６のアルキル基、さらに好ましくはメチル基である。

　式中、ｋ２は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；ｌ２は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；ｍ２は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数である。ただし、ｋ２、ｌ２およびｍ２の和は３である。

　一の態様において、少なくとも１つのｋ２は２または３であり、好ましくは３である。

　一の態様において、ｋ２は２または３であり、好ましくは３である。

　一の態様において、ｌ２は２または３であり、好ましくは３である。

　上記式（Ｄ１）および（Ｄ２）中、少なくとも１つのｑ２は２または３であるか、あるいは、少なくとも１つのｌは２または３である。即ち、式中、少なくとも２つの－Ｙ－ＳｉＲ^８５ _ｎ２Ｒ^８６ _３－ｎ２基が存在する。

　式（Ｄ１）または式（Ｄ２）で表されるパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物は、公知の方法を組み合わせることにより製造することができる。例えば、Ｘが２価である式（Ｄ１’）で表される化合物は、限定するものではないが、以下のようにして製造することができる。

　ＨＯ－Ｘ－Ｃ（ＹＯＨ）_３（式中、ＸおよびＹは、それぞれ独立して、２価の有機基である。）で表される多価アルコールに、二重結合を含有する基（好ましくはアリル）、およびハロゲン（好ましくはブロモ）を導入して、Ｈａｌ－Ｘ－Ｃ（Ｙ－Ｏ－Ｒ－ＣＨ＝ＣＨ_２）_３（式中、Ｈａｌはハロゲン、例えばＢｒであり、Ｒは二価の有機基、例えばアルキレン基である。）で表される二重結合含有ハロゲン化物を得る。次いで、末端のハロゲンと、Ｒ^ＰＦＰＥ－ＯＨ（式中、Ｒ^ＰＦＰＥは、パーフルオロポリエーテル基含有基である。）で表されるパーフルオロポリエーテル基含有アルコールとを反応させて、Ｒ^ＰＦＰＥ－Ｏ－Ｘ－Ｃ（Ｙ－Ｏ－Ｒ－ＣＨ＝ＣＨ_２）_３を得る。次いで、末端の－ＣＨ＝ＣＨ_２と、ＨＳｉＣｌ_３およびアルコールまたはＨＳｉＲ^８５ _３と反応させて、Ｒ^ＰＦＰＥ－Ｏ－Ｘ－Ｃ（Ｙ－Ｏ－Ｒ－ＣＨ_２－ＣＨ_２－ＳｉＲ^８５ _３）_３を得ることができる。

　上記式（Ａ１）、（Ａ２）、（Ｂ１）、（Ｂ２）、（Ｃ１）、（Ｃ２）、（Ｄ１）および（Ｄ２）で表されるパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物は、特に限定されるものではないが、５×１０^２～１×１０^５の数平均分子量を有し得る。上記数平均分子量は、好ましくは２，０００～３０，０００、より好ましくは３，０００～１０，０００、さらに好ましくは３，０００～８，０００であり得る。

　尚、本発明において、「数平均分子量」は、ＧＰＣ（ゲル浸透クロマトグラフィー）分析により測定される。

　本発明の表面処理剤に含まれるパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物におけるＰＦＰＥ部分の数平均分子量は、特に限定されるものではないが、好ましくは１，５００～３０，０００、より好ましくは２，５００～１０，０００、さらに好ましくは３，０００～８，０００であり得る。

　本発明で用いられる含フッ素オイルは、下記一般式（Ｏ）：
　　　Ｒｆ^１－ＰＦＰＥ’－Ｒｆ^２　　　　・・・（Ｏ）
のいずれかで表される少なくとも１種のフルオロポリエーテル化合物である。以下、上記式（Ｏ）で表される含フッ素オイルについて説明する。

　上記式中、Ｒｆ^１は、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよいＣ_１－１６のアルキル基を表す。

　Ｒｆ^２は、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよいＣ_１－１６のアルキル基、フッ素原子または水素原子を表す。

　上記Ｒｆ^１およびＲｆ^２における「１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよいＣ_１－１６のアルキル基」は、好ましくは、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されている炭素数１～１６のアルキル基であり、より好ましくはＣＦ_２Ｈ－Ｃ_１－１５フルオロアルキレン基であり、さらに好ましくは炭素数１～１６のパーフルオロアルキル基である。

　上記式中、ＰＦＰＥ’は、－（ＯＣ_４Ｆ_８）_ａ’－（ＯＣ_３Ｆ_６）_ｂ’－（ＯＣ_２Ｆ_４）_ｃ’－（ＯＣＦ_２）_ｄ’－である。ここに、ａ’、ｂ’、ｃ’およびｄ’は、それぞれ独立して０または１以上の整数であって、ａ’、ｂ’、ｃ’およびｄ’の和は少なくとも１である。好ましくは、ａ’、ｂ’、ｃ’およびｄ’は、それぞれ独立して０以上３００以下の整数、例えば１～３００の整数であり、より好ましくは、それぞれ独立して０以上１００以下の整数である。また、好ましくは、ａ’、ｂ’、ｃ’およびｄ’の和は５以上であり、より好ましくは１０以上、例えば１０以上１００以下である。また、ａ’、ｂ’、ｃ’およびｄ’を付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は式中において任意である。これら繰り返し単位のうち、－（ＯＣ_４Ｆ_８）－は、－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）－、－（ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＣＦ_２）－、－（ＯＣＦ_２ＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２）－、－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ（ＣＦ_３））－、－（ＯＣ（ＣＦ_３）_２ＣＦ_２）－、－（ＯＣＦ_２Ｃ（ＣＦ_３）_２）－、－（ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ（ＣＦ_３））－、－（ＯＣＦ（Ｃ_２Ｆ_５）ＣＦ_２）－および－（ＯＣＦ_２ＣＦ（Ｃ_２Ｆ_５））－のいずれであってもよいが、好ましくは－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）－である。－（ＯＣ_３Ｆ_６）－は、－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）－、－（ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２）－および－（ＯＣＦ_２ＣＦ（ＣＦ_３））－のいずれであってもよいが、好ましくは－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）－である。また、－（ＯＣ_２Ｆ_４）－は、－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２）－および－（ＯＣＦ（ＣＦ_３））－のいずれであってもよいが、好ましくは－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２）－である。

　上記一般式（Ｏ）で表される含フッ素オイルの例として、以下の一般式（Ｏ１）および（Ｏ２）
　Ｒ^２１－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）_ｂ’’－Ｒ^２２　　　　　　　　・・・（Ｏ１）
　Ｒ^２１－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）_ａ’’－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）_ｂ’’－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２）_ｃ’’－（ＯＣＦ_２）_ｄ’’－Ｒ^２２　　　・・・（Ｏ２）
［式中：
　Ｒ^２１は、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基を表し；
　Ｒ^２２は、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基、フッ素原子または水素原子を表し；
　式（Ｏ１）において、ｂ’’は１以上１００以下の整数であり；
　式（Ｏ２）において、ａ’’およびｂ’’は、それぞれ独立して０以上３０以下、例えば１以上３０以下の整数であり、ｃ’’およびｄ’’は、それぞれ独立して１以上３００以下の整数であり；
　添字ａ’’、ｂ’’、ｃ’’またはｄ’’を付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は、式中において任意である。］
のいずれかで示される化合物（１種または２種以上の混合物であってよい）が挙げられる。

　本発明の表面処理剤に含まれる上記一般式（Ｏ）で表される含フッ素オイルのうち、高分子量の含フッ素オイルの含有量は、１０ｍｏｌ％以下、好ましくは７ｍｏｌ％以下、より好ましくは５ｍｏｌ％以下、さらに好ましくは３ｍｏｌ％以下、さらにより好ましくは２ｍｏｌ％以下である。さらにより好ましくは、本発明の表面処理剤は、高分子量の含フッ素オイルを実質的に含まない。高分子量の含フッ素オイルの含有量を少なくすることにより、より高い透明度および高い摩擦耐久性を得ることができる。

　一の態様において、上記高分子量の含フッ素オイルは、本発明の表面処理剤に含まれる上記一般式（Ｏ）で表される含フッ素オイルのうち、含フッ素オイル全体の数平均分子量よりも３．０倍以上、好ましくは２．５倍以上、より好ましくは２．０倍以上、さらに好ましくは１．８倍以上である分子量を有する含フッ素オイルである。より低い分子量以上の含フッ素オイル画分まで少なくすることにより、より高い透明度を得ることができる。

　好ましい態様において、本発明の表面処理剤に含まれる上記一般式（Ｏ）で表される含フッ素オイルのうち、含フッ素オイル全体の数平均分子量よりも２．０倍以上の分子量を有する含フッ素オイルの含有量は、１０ｍｏｌ％以下、好ましくは７ｍｏｌ％以下、より好ましくは５ｍｏｌ％以下、さらに好ましくは３ｍｏｌ％以下、さらにより好ましくは２ｍｏｌ％以下である。

　より好ましい態様において、本発明の表面処理剤に含まれる上記一般式（Ｏ）で表される含フッ素オイルのうち、含フッ素オイル全体の数平均分子量よりも１．８倍以上の分子量を有する含フッ素オイルの含有量は、１０ｍｏｌ％以下、好ましくは９ｍｏｌ％以下、より好ましくは８ｍｏｌ％以下、さらに好ましくは７ｍｏｌ％以下、さらにより好ましくは５ｍｏｌ％以下、特に好ましくは３ｍｏｌ％以下、特により好ましくは２ｍｏｌ％以下である。

　上記の態様において、含フッ素オイルの数平均分子量は、好ましくは１５００以上３０，０００以下、より好ましくは２，０００以上１０，０００以下、さらに好ましくは２，０００以上６，０００以下、例えば２，５００以上または３，０００以上、６，０００以下または５，５００以下であり得る。

　別の態様において、上記高分子量の含フッ素オイルは、本発明の表面処理剤に含まれる上記一般式（Ｏ）で表される含フッ素オイルのうち、１０，０００以上、好ましくは８，０００以上、より好ましくは５，０００以上の分子量を有する含フッ素オイルである。より低い分子量以上の含フッ素オイル画分まで少なくすることにより、より高い透明度を得ることができる。

　好ましい態様において、本発明の表面処理剤に含まれる上記一般式（Ｏ）で表される含フッ素オイルのうち、５，０００以上の分子量を有する含フッ素オイルの含有量は、１０ｍｏｌ％以下、好ましくは７ｍｏｌ％以下、より好ましくは５ｍｏｌ％以下、さらに好ましくは３ｍｏｌ％以下、さらにより好ましくは２ｍｏｌ％以下である。

　上記の態様において、含フッ素オイルの数平均分子量は、好ましくは１，５００以上８，０００以下、より好ましくは２，０００以上７，０００以下、さらに好ましくは２，０００以上５，５００以下、例えば２，０００以上４，５００以下であり得る。

　さらに別の態様において、本発明の表面処理剤に含まれる上記一般式（Ｏ）で表される含フッ素オイルの分散度（重量平均分子量（Ｍｗ）／数平均分子量（Ｍｎ））は、１．００以上１．３０以下、好ましくは１．００以上１．２０以下、より好ましくは１．００以上１．１０以下である。含フッ素オイルの分散度を小さくすることにより、より高い透明度および高い摩擦耐久性を得ることができる。

　上記の態様において、含フッ素オイルの数平均分子量は、好ましくは１，５００以上１０，０００以下、より好ましくは１，５００以上８，０００以下、さらに好ましくは１，５００以上５，５００以下、例えば２，０００以上５，５００以下であり得る。

　好ましい態様において、本発明の表面処理剤に含まれる上記一般式（Ｏ）で表される含フッ素オイルは、数平均分子量が、１，５００以上１０，０００以下、好ましくは１，５００以上８，０００以下、より好ましくは１，５００以上５，５００以下、例えば２，０００以上５，５００以下であり、分散度が、１．００以上１．２０以下、好ましくは１．００以上１．１０以下、より好ましくは１．００以上１．０５以下であり、分子量１０，０００以上、好ましくは８，０００以上、より好ましくは５，０００以上である含フッ素オイルの含有量が、含フッ素オイル全体に対して、１０ｍｏｌ％以下、好ましくは７ｍｏｌ％以下、より好ましくは５ｍｏｌ％以下、さらに好ましくは３ｍｏｌ％以下、さらにより好ましくは２ｍｏｌ％以下である。

　尚、表面処理剤中の含フッ素オイルにおける、特定の分子量を有する含フッ素オイルの含有量は、ＧＰＣ（ゲル浸透クロマトグラフィー）分析によって測定することができる。かかるＧＰＣ測定は、例えば、検出器としてＴＤＡ－３０２を備えるＧＰＣｍａｘ（ＨＰＬＣシステム：Malvern Instruments社製）を用いて行うことができる。

　本発明の表面処理剤に用いられる含フッ素オイルは、市販の含フッ素オイルとして入手できるか、あるいは、市販の含フッ素オイルを蒸留することにより得ることができる。また、本発明の表面処理剤に用いられる含フッ素オイルは、要求される特性に応じて、適宜合成することもできる。

　本発明の表面処理剤中、含フッ素オイルは、上記パーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物と含フッ素オイルの合計（それぞれ、２種以上の場合にはこれらの合計、以下も同様）に対して、例えば５～９５質量％、好ましくは１０～９０質量％、より好ましくは２０～８０質量％、さらに好ましくは３０～７０質量％含まれ得る。

　本発明の表面処理剤は、パーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物および含フッ素オイルに加え、他の成分を含んでいてもよい。かかる他の成分としては、特に限定されるものではないが、例えば、シリコーンオイルとして理解され得る（非反応性の）シリコーン化合物（以下、「シリコーンオイル」と言う）、触媒などが挙げられる。

　上記シリコーンオイルとしては、例えばシロキサン結合が２，０００以下の直鎖状または環状のシリコーンオイルを用い得る。直鎖状のシリコーンオイルは、いわゆるストレートシリコーンオイルおよび変性シリコーンオイルであってよい。ストレートシリコーンオイルとしては、ジメチルシリコーンオイル、メチルフェニルシリコーンオイル、メチルハイドロジェンシリコーンオイルが挙げられる。変性シリコーンオイルとしては、ストレートシリコーンオイルを、アルキル、アラルキル、ポリエーテル、高級脂肪酸エステル、フルオロアルキル、アミノ、エポキシ、カルボキシル、アルコールなどにより変性したものが挙げられる。環状のシリコーンオイルは、例えば環状ジメチルシロキサンオイルなどが挙げられる。

　本発明の表面処理剤中、かかるシリコーンオイルは、パーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物および含フッ素オイルの合計１００質量部（２種以上の場合にはこれらの合計、以下も同様）に対して、例えば０～３００質量部、好ましくは０～２００質量部で含まれ得る。

　シリコーンオイルは、表面処理層の表面滑り性を向上させるのに寄与する。

　上記触媒としては、酸（例えば酢酸、トリフルオロ酢酸等）、塩基（例えばアンモニア、トリエチルアミン、ジエチルアミン等）、遷移金属（例えばＴｉ、Ｎｉ、Ｓｎ等）等が挙げられる。

　触媒は、パーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物の加水分解および脱水縮合を促進し、表面処理層の形成を促進する。

　本発明の表面処理剤は、溶媒で希釈されていてもよい。このような溶媒としては、特に限定するものではないが、例えば、パーフルオロヘキサン、ＣＦ_３ＣＦ_２ＣＨＣｌ_２、ＣＦ_３ＣＨ_２ＣＦ_２ＣＨ_３、ＣＦ_３ＣＨＦＣＨＦＣ_２Ｆ_５、１，１，１，２，２，３，３，４，４，５，５，６，６－トリデカフルオロオクタン、１，１，２，２，３，３，４－ヘプタフルオロシクロペンタン（（ゼオローラＨ（商品名）等）、Ｃ_４Ｆ_９ＯＣＨ_３、Ｃ_４Ｆ_９ＯＣ_２Ｈ_５、ＣＦ_３ＣＨ_２ＯＣＦ_２ＣＨＦ_２、Ｃ_６Ｆ_１３ＣＨ＝ＣＨ_２、キシレンヘキサフルオリド、パーフルオロベンゼン、メチルペンタデカフルオロヘプチルケトン、トリフルオロエタノール、ペンタフルオロプロパノール、ヘキサフルオロイソプロパノール、ＨＣＦ_２ＣＦ_２ＣＨ_２ＯＨ、メチルトリフルオロメタンスルホネート、トリフルオロ酢酸およびＣＦ_３Ｏ（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_ｍ（ＣＦ_２Ｏ）_ｎＣＦ_２ＣＦ_３［式中、ｍおよびｎは、それぞれ独立して０以上１０００以下の整数であり、ｍまたはｎを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は式中において任意であり、但しｍおよびｎの和は１以上である。］、１，1－ジクロロ－２，３，３，３－テトラフルオロ－１－プロペン、１，２－ジクロロ－１，３，３，３－テトラフルオロ－１－プロペン、１，２－ジクロロ－３，３，３－トリフルオロ－１－プロペン、１，１－ジクロロ－３，３，３－トリフルオロ－１－プロペン、１，１，２－トリクロロ―３，３，３－トリフルオロ－１－プロペン、１，１，１，４，４，４－ヘキサフルオロ－２－ブテンからなる群から選択される溶媒が挙げられる。これらの溶媒は、単独で、または、２種以上の混合物として用いることができる。

　本発明の表面処理剤は、撥水性、撥油性、防汚性、防水性および高い摩擦耐久性を基材に対して付与することができ、特に限定されるものではないが、防汚性コーティング剤または防水性コーティング剤として好適に使用され得る。

　本発明の表面処理剤は、多孔質物質、例えば多孔質のセラミック材料、金属繊維、例えばスチールウールを綿状に固めたものに含浸させて、ペレットとすることができる。当該ペレットは、例えば、真空蒸着に用いることができる。

　次に、本発明の物品について説明する。

　本発明の物品は、基材と、該基材の表面に本発明の表面処理剤より形成された層（表面処理層）とを含む。

　本発明の物品における表面処理層は、高分子量の含フッ素オイルの含有量が小さい、具体的には表面処理層中の一般式（Ｏ）で表される含フッ素オイルのうち、高分子量の含フッ素オイルの含有量が、１０ｍｏｌ％以下、好ましくは７ｍｏｌ％以下、より好ましくは５ｍｏｌ％以下、さらに好ましくは３ｍｏｌ％以下である。

　本発明の表面処理剤を用いて得られる表面処理層は、透明度が高く、例えば、そのヘイズ値は、０．３５％以下、好ましくは０．３０％以下、より好ましくは０．２８％以下、さらに好ましくは０．２５％以下、さらにより好ましくは０．２０％以下であり得る。上記ヘイズ値は、市販のヘイズメーターにより測定することができる。

　従って、本発明の物品は、基材が透明である場合、例えば物品が光学部材である場合、物品自体のヘイズ値が、０．３５％以下、好ましくは０．３０％以下、より好ましくは０．２８％以下、さらに好ましくは０．２５％以下、さらにより好ましくは０．２０％以下であり得る。

　表面処理層の厚さは、特に限定されない。光学部材の場合、表面処理層の厚さは、１～５０ｎｍ、好ましくは１～３０ｎｍ、より好ましくは１～１５ｎｍの範囲であることが、光学性能、表面滑り性、摩擦耐久性および防汚性の点から好ましい。

　本発明の物品は、例えば以下のようにして製造できる。

　まず、基材を準備する。本発明に使用可能な基材は、例えばガラス、サファイアガラス、樹脂（天然または合成樹脂、例えば一般的なプラスチック材料であってよく、板状、フィルム、その他の形態であってよい）、金属（アルミニウム、銅、鉄等の金属単体または合金等の複合体であってよい）、セラミックス、半導体（シリコン、ゲルマニウム等）、繊維（織物、不織布等）、毛皮、皮革、木材、陶磁器、石材等、建築部材等、任意の適切な材料で構成され得る。好ましくは、基材は、ガラスまたはサファイアガラスである。

　上記ガラスとしては、ソーダライムガラス、アルカリアルミノケイ酸塩ガラス、ホウ珪酸ガラス、無アルカリガラス、クリスタルガラス、石英ガラスが好ましく、化学強化したソーダライムガラス、化学強化したアルカリアルミノケイ酸塩ガラス、および化学結合したホウ珪酸ガラスが特に好ましい。
　樹脂としては、アクリル樹脂、ポリカーボネートが好ましい。

　例えば、製造すべき物品が光学部材である場合、基材の表面を構成する材料は、光学部材用材料、例えばガラスまたは透明プラスチックなどであってよい。また、製造すべき物品が光学部材である場合、基材の表面（最外層）に何らかの層（または膜）、例えばハードコート層や反射防止層などが形成されていてもよい。反射防止層には、単層反射防止層および多層反射防止層のいずれを使用してもよい。反射防止層に使用可能な無機物の例としては、ＳｉＯ_２、ＳｉＯ、ＺｒＯ_２、ＴｉＯ_２、ＴｉＯ、Ｔｉ_２Ｏ_３、Ｔｉ_２Ｏ_５、Ａｌ_２Ｏ_３、Ｔａ_２Ｏ_５、ＣｅＯ_２、ＭｇＯ、Ｙ_２Ｏ_３、ＳｎＯ_２、ＭｇＦ_２、ＷＯ_３などが挙げられる。これらの無機物は、単独で、またはこれらの２種以上を組み合わせて（例えば混合物として）使用してもよい。多層反射防止層とする場合、その最外層にはＳｉＯ_２および／またはＳｉＯを用いることが好ましい。製造すべき物品が、タッチパネル用の光学ガラス部品である場合、透明電極、例えば酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）や酸化インジウム亜鉛などを用いた薄膜を、基材（ガラス）の表面の一部に有していてもよい。また、基材は、その具体的仕様等に応じて、絶縁層、粘着層、保護層、装飾枠層（Ｉ－ＣＯＮ）、霧化膜層、ハードコーティング膜層、偏光フィルム、相位差フィルム、および液晶表示モジュールなどを有していてもよい。

　基材の形状は特に限定されない。また、表面処理層を形成すべき基材の表面領域は、基材表面の少なくとも一部であればよく、製造すべき物品の用途および具体的仕様等に応じて適宜決定され得る。

　かかる基材としては、少なくともその表面部分が、水酸基を元々有する材料から成るものであってよい。かかる材料としては、ガラスが挙げられ、また、表面に自然酸化膜または熱酸化膜が形成される金属（特に卑金属）、セラミックス、半導体等が挙げられる。あるいは、樹脂等のように、水酸基を有していても十分でない場合や、水酸基を元々有していない場合には、基材に何らかの前処理を施すことにより、基材の表面に水酸基を導入したり、増加させたりすることができる。かかる前処理の例としては、プラズマ処理（例えばコロナ放電）や、イオンビーム照射が挙げられる。プラズマ処理は、基材表面に水酸基を導入または増加させ得ると共に、基材表面を清浄化する（異物等を除去する）ためにも好適に利用され得る。また、かかる前処理の別の例としては、炭素－炭素不飽和結合基を有する界面吸着剤をＬＢ法（ラングミュア－ブロジェット法）や化学吸着法等によって、基材表面に予め単分子膜の形態で形成し、その後、酸素や窒素等を含む雰囲気下にて不飽和結合を開裂する方法が挙げられる。

　またあるいは、かかる基材としては、少なくともその表面部分が、別の反応性基、例えばＳｉ－Ｈ基を１つ以上有するシリコーン化合物や、アルコキシシランを含む材料から成るものであってもよい。

　次に、かかる基材の表面に、上記の本発明の表面処理剤の膜を形成し、この膜を必要に応じて後処理し、これにより、本発明の表面処理剤から表面処理層を形成する。

　本発明の表面処理剤の膜形成は、上記の表面処理剤を基材の表面に対して、該表面を被覆するように適用することによって実施できる。被覆方法は、特に限定されない。例えば、湿潤被覆法および乾燥被覆法を使用できる。

　湿潤被覆法の例としては、浸漬コーティング、スピンコーティング、フローコーティング、スプレーコーティング、ロールコーティング、グラビアコーティングおよび類似の方法が挙げられる。

　乾燥被覆法の例としては、蒸着（通常、真空蒸着）、スパッタリング、ＣＶＤおよび類似の方法が挙げられる。蒸着法（通常、真空蒸着法）の具体例としては、抵抗加熱、電子ビーム、マイクロ波等を用いた高周波加熱、イオンビームおよび類似の方法が挙げられる。ＣＶＤ方法の具体例としては、プラズマ－ＣＶＤ、光学ＣＶＤ、熱ＣＶＤおよび類似の方法が挙げられる。

　更に、常圧プラズマ法による被覆も可能である。

　湿潤被覆法を使用する場合、本発明の表面処理剤は、溶媒で希釈されてから基材表面に適用され得る。本発明の表面処理剤の安定性および溶媒の揮発性の観点から、次の溶媒が好ましく使用される：Ｃ_５－１２のパーフルオロ脂肪族炭化水素（例えば、パーフルオロヘキサン、パーフルオロメチルシクロヘキサンおよびパーフルオロ－１，３－ジメチルシクロヘキサン）；ポリフルオロ芳香族炭化水素（例えば、ビス（トリフルオロメチル）ベンゼン）；ポリフルオロ脂肪族炭化水素（例えば、Ｃ_６Ｆ_１３ＣＨ_２ＣＨ_３（例えば、旭硝子株式会社製のアサヒクリン（登録商標）ＡＣ－６０００）、１，１，２，２，３，３，４－ヘプタフルオロシクロペンタン（例えば、日本ゼオン株式会社製のゼオローラ（登録商標）Ｈ）；ハイドロフルオロカーボン（ＨＦＣ）（例えば、１，１，１，３，３－ペンタフルオロブタン（ＨＦＣ－３６５ｍｆｃ））；ハイドロクロロフルオロカーボン（例えば、ＨＣＦＣ－２２５（アサヒクリン（登録商標）ＡＫ２２５））；ヒドロフルオロエーテル（ＨＦＥ）（例えば、パーフルオロプロピルメチルエーテル（Ｃ_３Ｆ_７ＯＣＨ_３）（例えば、住友スリーエム株式会社製のＮｏｖｅｃ（商標名）７０００）、パーフルオロブチルメチルエーテル（Ｃ_４Ｆ_９ＯＣＨ_３）（例えば、住友スリーエム株式会社製のＮｏｖｅｃ（商標名）７１００）、パーフルオロブチルエチルエーテル（Ｃ_４Ｆ_９ＯＣ_２Ｈ_５）（例えば、住友スリーエム株式会社製のＮｏｖｅｃ（商標名）７２００）、パーフルオロヘキシルメチルエーテル（Ｃ_２Ｆ_５ＣＦ（ＯＣＨ_３）Ｃ_３Ｆ_７）（例えば、住友スリーエム株式会社製のＮｏｖｅｃ（商標名）７３００）などのアルキルパーフルオロアルキルエーテル（パーフルオロアルキル基およびアルキル基は直鎖または分枝状であってよい）、あるいはＣＦ_３ＣＨ_２ＯＣＦ_２ＣＨＦ_２（例えば、旭硝子株式会社製のアサヒクリン（登録商標）ＡＥ－３０００））、１，２－ジクロロ－１，３，３，３－テトラフルオロ－１－プロペン（例えば、三井・デュポンフロロケミカル社製のバートレル（登録商標）サイオン）など。これらの溶媒は、単独で、または、２種以上を組み合わせて混合物として用いることができる。さらに、例えば、パーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物の溶解性を調整する等のために、別の溶媒と混合することもできる。

　乾燥被覆法を使用する場合、本発明の表面処理剤は、そのまま乾燥被覆法に付してもよく、または、上記した溶媒で希釈してから乾燥被覆法に付してもよい。

　膜形成は、膜中で本発明の表面処理剤が、加水分解および脱水縮合のための触媒と共に存在するように実施することが好ましい。簡便には、湿潤被覆法による場合、本発明の表面処理剤を溶媒で希釈した後、基材表面に適用する直前に、本発明の表面処理剤の希釈液に触媒を添加してよい。乾燥被覆法による場合には、触媒添加した本発明の表面処理剤をそのまま蒸着（通常、真空蒸着）処理するか、あるいは鉄や銅などの金属多孔体に、触媒添加した本発明の表面処理剤を含浸させたペレット状物質を用いて蒸着（通常、真空蒸着）処理をしてもよい。

　触媒には、任意の適切な酸または塩基を使用できる。酸触媒としては、例えば、酢酸、ギ酸、トリフルオロ酢酸などを使用できる。また、塩基触媒としては、例えばアンモニア、有機アミン類などを使用できる。

　次に、必要に応じて、膜を後処理する。この後処理は、特に限定されないが、例えば、水分供給および乾燥加熱を逐次的に実施するものであってよく、より詳細には、以下のようにして実施してよい。

　上記のようにして基材表面に本発明の表面処理剤を膜形成した後、この膜（以下、「前駆体膜」とも言う）に水分を供給する。水分の供給方法は、特に限定されず、例えば、前駆体膜（および基材）と周囲雰囲気との温度差による結露や、水蒸気（スチーム）の吹付けなどの方法を使用してよい。

　前駆体膜に水分が供給されると、本発明の表面処理剤中のパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物のＳｉに結合した加水分解可能な基に水が作用し、当該化合物を速やかに加水分解させることができると考えられる。

　水分の供給は、例えば０～２５０℃、好ましくは６０℃以上、さらに好ましくは１００℃以上とし、好ましくは１８０℃以下、さらに好ましくは１５０℃以下の雰囲気下にて実施し得る。このような温度範囲において水分を供給することにより、加水分解を進行させることが可能である。このときの圧力は特に限定されないが、簡便には常圧とし得る。

　次に、該前駆体膜を該基材の表面で、６０℃を超える乾燥雰囲気下にて加熱する。乾燥加熱方法は、特に限定されず、前駆体膜を基材と共に、６０℃を超え、好ましくは１００℃を超える温度であって、例えば２５０℃以下、好ましくは１８０℃以下の温度で、かつ不飽和水蒸気圧の雰囲気下に配置すればよい。このときの圧力は特に限定されないが、簡便には常圧とし得る。

　このような雰囲気下では、本発明のＰＦＰＥ含有シラン化合物間では、加水分解後のＳｉに結合した基同士が速やかに脱水縮合する。また、かかる化合物と基材との間では、当該化合物の加水分解後のＳｉに結合した基と、基材表面に存在する反応性基との間で速やかに反応し、基材表面に存在する反応性基が水酸基である場合には脱水縮合する。その結果、パーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物と基材との間で結合が形成される。

　上記の水分供給および乾燥加熱は、過熱水蒸気を用いることにより連続的に実施してもよい。

　以上のようにして後処理が実施され得る。かかる後処理は、摩擦耐久性を一層向上させるために実施され得るが、本発明の物品を製造するのに必須でないことに留意されたい。例えば、本発明の表面処理剤を基材表面に適用した後、そのまま静置しておくだけでもよい。

　上記のようにして、基材の表面に、本発明の表面処理剤の膜に由来する表面処理層が形成され、本発明の物品が製造される。これにより得られる表面処理層は、高い透明度、高い表面滑り性および高い摩擦耐久性を有する。また、この表面処理層は、高い摩擦耐久性に加えて、使用する表面処理剤の組成にもよるが、撥水性、撥油性、防汚性（例えば指紋等の汚れの付着を防止する）、防水性（電子部品等への水の浸入を防止する）などを有し得、機能性薄膜として好適に利用され得る。

　本発明によって得られる表面処理層を有する物品は、特に限定されるものではないが、光学部材であり得る。光学部材としては、例えば、下記の光学部材が挙げられる：例えば、陰極線管（ＣＲＴ：例、ＴＶ、パソコンモニター）、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ、無機薄膜ＥＬドットマトリクスディスプレイ、背面投写型ディスプレイ、蛍光表示管（ＶＦＤ）、電界放出ディスプレイ（ＦＥＤ：ＦｉｅｌｄＥｍｉｓｓｉｏｎＤｉｓｐｌａｙ）などのディスプレイまたはそれらのディスプレイの前面保護板、反射防止板、偏光板、アンチグレア板、あるいはそれらの表面に反射防止膜処理を施したもの；眼鏡などのレンズ；携帯電話、携帯情報端末などの機器のタッチパネルシート；ブルーレイ（Ｂｌｕ－ｒａｙ（登録商標））ディスク、ＤＶＤディスク、ＣＤ－Ｒ、ＭＯなどの光ディスクのディスク面；光ファイバー；時計の表示面など。

　本発明によって得られる表面処理層を有する他の物品は、窯業製品、塗面、布製品、皮革製品、医療品およびプラスターなどを挙げることができる

　また、本発明によって得られる表面処理層を有する他の物品は、医療機器または医療材料であってもよい。

　以上、本発明の表面処理剤を使用して得られる物品について詳述した。なお、本発明の表面処理剤の用途、使用方法ないし物品の製造方法などは、上記で例示したものに限定されない。

　本発明の表面処理剤について、以下の実施例を通じてより具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。なお、本実施例において、以下に示される化学式はすべて平均組成を示す。

　パーフルオロポリエーテル基含有シラン化合物として、下記の化合物（Ａ）および化合物（Ｂ）を用いた。

・化合物（Ａ）

・化合物（Ｂ）

（式中、ｍは１～６の整数である。）

　含フッ素オイルとして、下記構造式で表され、分子量分布が異なる３種のパーフルオロポリエーテル化合物（化合物（Ｃ）～（Ｅ））を用いた。

構造式：
　　ＣＦ_３Ｏ（ＣＦ_２Ｏ）_ｐ（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_ｑＣＦ_３
（式中、pおよびqは任意の整数である。）

・化合物（Ｃ）
　ＦＯＭＢＬＩＮＭ０３（ソルベイスペシャルティポリマーズジャパン社製）を６０～７０Ｐａで分子蒸留し、１９４℃～３２０℃での留分として得られた化合物。

・化合物（Ｄ）
　ＦＯＭＢＬＩＮＭ０３（ソルベイスペシャルティポリマーズジャパン社製）
・化合物（Ｅ）
　ＦＯＭＢＬＩＮＺ０３（ソルベイスペシャルティポリマーズジャパン社製）
・化合物（Ｆ）
　上記化合物（Ｃ）と化合物（Ｄ）の４：１混合物
・化合物（Ｇ）
　上記化合物（Ｃ）と化合物（Ｄ）の１：１混合物
・化合物（Ｈ）
　上記化合物（Ｃ）と化合物（Ｄ）の３：７混合物

　化合物（Ｃ）～（Ｈ）について、重量平均分子量（Ｍｗ）、数平均分子量（Ｍｎ）および分散度（Ｍｗ／Ｍｎ）を、ゲル浸透クロマトグラフィー（ＧＰＣ）によって測定した。ＧＰＣの測定は下記条件にて行った。Ｍｗ、Ｍｎ、Ｍｗ／ＭｎおよびＭｎのｘ倍以上の分子量の含フッ素オイルの含有率を表１に示す。

　装置：ＧＰＣｍａｘ（ＨＰＬＣシステム：Malvern Instruments社製）
　移動相：ＡＫ－２２５（旭硝子社製、アサヒクリンＡＫ－２２５）およびヘキサフルオロイソプロパノール（ＨＦＩＰ）の混合溶媒
（ＡＫ－２２５／ＨＦＩＰ＝９０／１０（容量比））
　分析カラム：Ｓｈｏｄｅｘ　ＫＦ－８０６Ｌを２本直列に連結したもの。
　分子量測定用標準試料：Ｍｎが１０００～１００００であるパーフルオロポリエーテル化合物３種。
　検出器：蒸発光散乱検出器　ＴＤＡ－３０２
　移動相流速：０．７ｍＬ／分
　カラム温度：３０℃

　表面処理剤の調製：
　実施例１
　化合物（Ａ）および化合物（Ｃ）を、質量比２：１の割合で、濃度０．１ｗｔ％（化合物（Ａ）および化合物（Ｃ）の合計）になるようにハイドロフルオロエーテル（スリーエム社製、ノベックＨＦＥ７２００）に溶解させて表面処理剤１を調製した。

　実施例２
　化合物（Ａ）および化合物（Ｃ）を、質量比１：１の割合で、濃度０．１ｗｔ％（化合物（Ａ）および化合物（Ｃ）の合計）になるようにハイドロフルオロエーテル（スリーエム社製、ノベックＨＦＥ７２００）に溶解させて表面処理剤２を調製した。

　実施例３
　化合物（Ｂ）および化合物（Ｃ）を、質量比１：１の割合で、濃度０．１ｗｔ％（化合物（Ｂ）および化合物（Ｃ）の合計）になるようにハイドロフルオロエーテル（スリーエム社製、ノベックＨＦＥ７２００）に溶解させて表面処理剤３を調製した。

　実施例４
　化合物（Ａ）および化合物（Ｆ）を、質量比１：１の割合で、濃度０．１ｗｔ％（化合物（Ａ）および化合物（Ｆ）の合計）になるようにハイドロフルオロエーテル（スリーエム社製、ノベックＨＦＥ７２００）に溶解させて表面処理剤４を調製した。

　実施例５
　化合物（Ａ）および化合物（Ｇ）を、質量比１：１の割合で、濃度０．１ｗｔ％（化合物（Ａ）および化合物（Ｇ）の合計）になるようにハイドロフルオロエーテル（スリーエム社製、ノベックＨＦＥ７２００）に溶解させて表面処理剤５を調製した。

　実施例６
　化合物（Ａ）および化合物（Ｈ）を、質量比１：１の割合で、濃度０．１ｗｔ％（化合物（Ａ）および化合物（Ｈ）の合計）になるようにハイドロフルオロエーテル（スリーエム社製、ノベックＨＦＥ７２００）に溶解させて表面処理剤６を調製した。

　比較例１
　化合物（Ａ）および化合物（Ｄ）を、質量比１：１の割合で、濃度０．１ｗｔ％（化合物（Ａ）および化合物（Ｄ）の合計）になるようにハイドロフルオロエーテル（スリーエム社製、ノベックＨＦＥ７２００）に溶解させて表面処理剤７を調製した。

　比較例２
　化合物（Ａ）および化合物（Ｅ）を、質量比１：１の割合で、濃度０．１ｗｔ％（化合物（Ａ）および化合物（Ｅ）の合計）になるようにハイドロフルオロエーテル（スリーエム社製、ノベックＨＦＥ７２００）に溶解させて表面処理剤８を調製した。

　表面処理層の形成（スプレー処理）：
　次に、市販の２流体ノズルを搭載したスプレー塗布装置を用いて、上記で調製した表面処理剤１～５を化学強化ガラス（コーニング社製、「ゴリラ」ガラス、厚さ０．７ｍｍ）上に均一にスプレー塗布した。スプレー塗布の直前に、大気圧プラズマ発生装置を用いて、化学強化ガラス表面をプラズマ処理した。表面処理剤の塗布量は、化学強化ガラス１枚（５５ｍｍ×１００ｍｍ）あたり、表面処理剤０．２ｍｌとした。その後、スプレー処理膜付き化学強化ガラスを、温度２０℃および湿度６５％の雰囲気下で４８時間静置した。これにより、スプレー処理膜が硬化して、表面処理層が形成された。

・摩擦耐久性評価
　上記にて基材表面に表面処理剤１～８から形成された表面処理層について、水の静的接触角を測定した。水の静的接触角は、接触角測定装置（協和界面科学社製）を用いて、水１μＬにて実施した。

　まず、初期評価として、表面処理層形成後、その表面に未だ何も触れていない状態で、水の静的接触角を測定した（摩擦回数　ゼロ回）。

　その後、摩擦耐久性評価として、スチールウール摩擦耐久性評価を実施した。具体的には、表面処理層を形成した基材を水平配置し、スチールウール（番手♯００００、寸法５ｍｍ×１０ｍｍ×１０ｍｍ）を表面処理層の露出上面に接触させ、その上に１，０００ｇｆの荷重を付与し、その後、荷重を加えた状態でスチールウールを１４０ｍｍ／秒の速度で往復させた。往復回数１，０００回毎に水の静的接触角（度）を測定した（接触角の測定値が１００度未満となった時点で評価を中止した。接触角の測定値が１００度を維持したときの最大の往復回数を表２に示す。

・ヘイズ値の評価
　上記にて基材表面に表面処理剤１～８から形成された表面処理層について、ヘイズメーター（日本電色工業株式会社製　ＮＤＨ－７０００）を用いてヘイズ値を測定した。結果を表２に併せて示す。

　表２から高分子量領域の含フッ素オイルをほとんど含まない表面処理剤を用いる実施例１～３では、比較例１～２と比較して、ヘイズ値が低いことが確認された。また、高分子量領域の含フッ素オイルをほとんど含まない表面処理剤を用いる実施例１～３では、比較例１～２と比較して、摩擦耐久性が高いことが確認された。特に、実施例１は低ヘイズかつ高い摩擦耐久性を有することが確認された。

　本発明は、種々多様な基材、特に透過性が求められる光学部材の表面に、表面処理層を形成するために好適に利用され得る。

Claims

　（１）下記一般式（Ａ１）、（Ａ２）、（Ｂ１）、（Ｂ２）、（Ｃ１）、（Ｃ２）、（Ｄ１）および（Ｄ２）：

［式中：
　ＰＦＰＥは、各出現においてそれぞれ独立して、式：
　　　－（ＯＣ_４Ｆ_８）_ａ－（ＯＣ_３Ｆ_６）_ｂ－（ＯＣ_２Ｆ_４）_ｃ－（ＯＣＦ_２）_ｄ－
（式中、ａ、ｂ、ｃおよびｄは、それぞれ独立して、０～２００の整数であって、ａ、ｂ、ｃおよびｄの和は少なくとも１であり、添字ａ、ｂ、ｃまたはｄを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は式中において任意である。）
で表される基であり；
　Ｒｆは、各出現においてそれぞれ独立して、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基を表し；
　Ｒ^１は、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表し；
　Ｒ^２は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または炭素数１～２２のアルキル基を表し；
　Ｒ^１１は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子またはハロゲン原子を表し；
　Ｒ^１２は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｎ１は、（－ＳｉＲ^１ _ｎ１Ｒ^２ _３－ｎ１）単位毎に独立して、０～３の整数であり；
　ただし、式（Ａ１）、（Ａ２）、（Ｂ１）および（Ｂ２）において、少なくとも１つのｎ１が、１～３の整数であり；
　Ｘ^１は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表し；
　Ｘ^２は、各出現においてそれぞれ独立して、単結合または２価の有機基を表し；
　ｔは、各出現においてそれぞれ独立して、１～１０の整数であり；
　αは、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　α’は、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　Ｘ^５は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表し；
　βは、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　β’は、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　Ｘ^７は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表し；
　γは、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　γ’は、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　Ｒ^ａは、各出現においてそれぞれ独立して、－Ｚ^１－ＳｉＲ^７１ _ｐ１Ｒ^７２ _ｑ１Ｒ^７３ _ｒ１を表し；
　Ｚ^１は、各出現においてそれぞれ独立して、酸素原子または２価の有機基を表し；
　Ｒ^７１は、各出現においてそれぞれ独立して、Ｒ^ａ’を表し；
　Ｒ^ａ’は、Ｒ^ａと同意義であり；
　Ｒ^ａ中、Ｚ^１基を介して直鎖状に連結されるＳｉは最大で５個であり；
　Ｒ^７２は、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表し；
　Ｒ^７３は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｐ１は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ｑ１は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ｒ１は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ただし、式（Ｃ１）および（Ｃ２）において、少なくとも１つのｑ１が１～３の整数であり；
　Ｒ^ｂは、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表し；
　Ｒ^ｃは、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｋ１は、各出現においてそれぞれ独立して、１～３の整数であり；
　ｌ１は、各出現においてそれぞれ独立して、０～２の整数であり；
　ｍ１は、各出現においてそれぞれ独立して、０～２の整数であり；
　ただし、γを付して括弧でくくられた単位において、ｋ１、ｌ１およびｍ１の和は３であり；
　Ｘ^９は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表し；
　δは、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　δ’は、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　Ｒ^ｄは、各出現においてそれぞれ独立して、－Ｚ^２－ＣＲ^８１ _ｐ２Ｒ^８２ _ｑ２Ｒ^８３ _ｒ２を表し；
　Ｚ^２は、各出現においてそれぞれ独立して、酸素原子または２価の有機基を表し；
　Ｒ^８１は、各出現においてそれぞれ独立して、Ｒ^ｄ’を表し；
　Ｒ^ｄ’は、Ｒ^ｄと同意義であり；
　Ｒ^ｄ中、Ｚ^２基を介して直鎖状に連結されるＣは最大で５個であり；
　Ｒ^８２は、各出現においてそれぞれ独立して、－Ｙ－ＳｉＲ^８５ _ｎ２Ｒ^８６ _３－ｎ２を表し；
　Ｙは、各出現においてそれぞれ独立して、２価の有機基を表し；
　Ｒ^８５は、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表し；
　Ｒ^８６は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｎ２は、（－Ｙ－ＳｉＲ^８５ _ｎ２Ｒ^８６ _３－ｎ２）単位毎に独立して、１～３の整数を表し；
　ただし、式（Ｄ１）および（Ｄ２）において、少なくとも１つのｎ２は１～３の整数であり；
　Ｒ^８３は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｐ２は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ｑ２は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ｒ２は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　Ｒ^ｅは、各出現においてそれぞれ独立して、－Ｙ－ＳｉＲ^８５ _ｎ２Ｒ^８６ _３－ｎ２を表し；
　Ｒ^ｆは、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｋ２は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ｌ２は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ｍ２は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ただし、式（Ｄ１）および（Ｄ２）において、少なくとも１つのｑ２は２または３であるか、あるいは、少なくとも１つのｌ２は２または３である。］
のいずれかで表される少なくとも１種のパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物、および
　（２）下記一般式（Ｏ）：
　Ｒｆ^１－ＰＦＰＥ’－Ｒｆ^２　　　　・・・（Ｏ）
［式中：
　Ｒｆ^１は、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよいＣ_１－１６のアルキル基を表し；
　Ｒｆ^２は、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよいＣ_１－１６のアルキル基、フッ素原子または水素原子を表し；
　ＰＦＰＥ’は、－（ＯＣ_４Ｆ_８）_ａ’－（ＯＣ_３Ｆ_６）_ｂ’－（ＯＣ_２Ｆ_４）_ｃ’－（ＯＣＦ_２）_ｄ’－であり；
　ａ’、ｂ’、ｃ’およびｄ’は、それぞれ独立して、０以上３００以下の整数であり、ａ’、ｂ’、ｃ’およびｄ’の和は少なくとも１であり、添字ａ’、ｂ’、ｃ’またはｄ’を付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は、式中において任意である。］
で表される含フッ素オイル
を含む表面処理剤であって、上記一般式（Ｏ）で表される含フッ素オイルのうち、含フッ素オイルの数平均分子量よりも２．０倍以上の分子量を有する含フッ素オイルの含有量が１０ｍｏｌ％以下であることを特徴とする表面処理剤。
　含フッ素オイルのうち、含フッ素オイルの数平均分子量よりも２．０倍以上の分子量を有する含フッ素オイルの含有量が５ｍｏｌ％以下であることを特徴とする、請求項１に記載の表面処理剤。
　含フッ素オイルのうち、含フッ素オイルの数平均分子量よりも１．８倍以上の分子量を有する含フッ素オイルの含有量が１０ｍｏｌ％以下であることを特徴とする、請求項１または２に記載の表面処理剤。
　含フッ素オイルのうち、含フッ素オイルの数平均分子量よりも１．８倍以上の分子量を有する含フッ素オイルの含有量が５ｍｏｌ％以下であることを特徴とする、請求項３に記載の表面処理剤。
　含フッ素オイルの数平均分子量が、１，５００以上３０，０００以下であることを特徴とする、請求項１～４のいずれか１項に記載の表面処理剤。
　含フッ素オイルの数平均分子量が、２，０００以上１０，０００以下であることを特徴とする、請求項５に記載の表面処理剤。
　（１）下記一般式（Ａ１）、（Ａ２）、（Ｂ１）、（Ｂ２）、（Ｃ１）、（Ｃ２）、（Ｄ１）および（Ｄ２）：

［式中：
　ＰＦＰＥは、各出現においてそれぞれ独立して、式：
　　　－（ＯＣ_４Ｆ_８）_ａ－（ＯＣ_３Ｆ_６）_ｂ－（ＯＣ_２Ｆ_４）_ｃ－（ＯＣＦ_２）_ｄ－
（式中、ａ、ｂ、ｃおよびｄは、それぞれ独立して、０～２００の整数であって、ａ、ｂ、ｃおよびｄの和は少なくとも１であり、添字ａ、ｂ、ｃまたはｄを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は式中において任意である。）
で表される基であり；
　Ｒｆは、各出現においてそれぞれ独立して、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基を表し；
　Ｒ^１は、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表し；
　Ｒ^２は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または炭素数１～２２のアルキル基を表し；
　Ｒ^１１は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子またはハロゲン原子を表し；
　Ｒ^１２は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｎ１は、（－ＳｉＲ^１ _ｎ１Ｒ^２ _３－ｎ１）単位毎に独立して、０～３の整数であり；
　ただし、式（Ａ１）、（Ａ２）、（Ｂ１）および（Ｂ２）において、少なくとも１つのｎ１が、１～３の整数であり；
　Ｘ^１は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表し；
　Ｘ^２は、各出現においてそれぞれ独立して、単結合または２価の有機基を表し；
　ｔは、各出現においてそれぞれ独立して、１～１０の整数であり；
　αは、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　α’は、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　Ｘ^５は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表し；
　βは、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　β’は、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　Ｘ^７は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表し；
　γは、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　γ’は、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　Ｒ^ａは、各出現においてそれぞれ独立して、－Ｚ^１－ＳｉＲ^７１ _ｐ１Ｒ^７２ _ｑ１Ｒ^７３ _ｒ１を表し；
　Ｚ^１は、各出現においてそれぞれ独立して、酸素原子または２価の有機基を表し；
　Ｒ^７１は、各出現においてそれぞれ独立して、Ｒ^ａ’を表し；
　Ｒ^ａ’は、Ｒ^ａと同意義であり；
　Ｒ^ａ中、Ｚ^１基を介して直鎖状に連結されるＳｉは最大で５個であり；
　Ｒ^７２は、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表し；
　Ｒ^７３は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｐ１は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ｑ１は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ｒ１は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ただし、式（Ｃ１）および（Ｃ２）において、少なくとも１つのｑ１が１～３の整数であり；
　Ｒ^ｂは、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表し；
　Ｒ^ｃは、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｋ１は、各出現においてそれぞれ独立して、１～３の整数であり；
　ｌ１は、各出現においてそれぞれ独立して、０～２の整数であり；
　ｍ１は、各出現においてそれぞれ独立して、０～２の整数であり；
　ただし、γを付して括弧でくくられた単位において、ｋ１、ｌ１およびｍ１の和は３であり；
　Ｘ^９は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表し；
　δは、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　δ’は、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　Ｒ^ｄは、各出現においてそれぞれ独立して、－Ｚ^２－ＣＲ^８１ _ｐ２Ｒ^８２ _ｑ２Ｒ^８３ _ｒ２を表し；
　Ｚ^２は、各出現においてそれぞれ独立して、酸素原子または２価の有機基を表し；
　Ｒ^８１は、各出現においてそれぞれ独立して、Ｒ^ｄ’を表し；
　Ｒ^ｄ’は、Ｒ^ｄと同意義であり；
　Ｒ^ｄ中、Ｚ^２基を介して直鎖状に連結されるＣは最大で５個であり；
　Ｒ^８２は、各出現においてそれぞれ独立して、－Ｙ－ＳｉＲ^８５ _ｎ２Ｒ^８６ _３－ｎ２を表し；
　Ｙは、各出現においてそれぞれ独立して、２価の有機基を表し；
　Ｒ^８５は、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表し；
　Ｒ^８６は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｎ２は、（－Ｙ－ＳｉＲ^８５ _ｎ２Ｒ^８６ _３－ｎ２）単位毎に独立して、１～３の整数を表し；
　ただし、式（Ｄ１）および（Ｄ２）において、少なくとも１つのｎ２は１～３の整数であり；
　Ｒ^８３は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｐ２は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ｑ２は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ｒ２は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　Ｒ^ｅは、各出現においてそれぞれ独立して、－Ｙ－ＳｉＲ^８５ _ｎ２Ｒ^８６ _３－ｎ２を表し；
　Ｒ^ｆは、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｋ２は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ｌ２は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ｍ２は、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ただし、式（Ｄ１）および（Ｄ２）において、少なくとも１つのｑ２は２または３であるか、あるいは、少なくとも１つのｌ２は２または３である。］
のいずれかで表される少なくとも１種のパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物、および
　（２）下記一般式（Ｏ）：
　Ｒｆ^１－ＰＦＰＥ’－Ｒｆ^２　　　　・・・（Ｏ）
［式中：
　Ｒｆ^１は、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよいＣ_１－１６のアルキル基を表し；
　Ｒｆ^２は、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよいＣ_１－１６のアルキル基、フッ素原子または水素原子を表し；
　ＰＦＰＥ’は、－（ＯＣ_４Ｆ_８）_ａ’－（ＯＣ_３Ｆ_６）_ｂ’－（ＯＣ_２Ｆ_４）_ｃ’－（ＯＣＦ_２）_ｄ’－であり；
　ａ’、ｂ’、ｃ’およびｄ’は、それぞれ独立して、０以上３００以下の整数であり、ａ’、ｂ’、ｃ’およびｄ’の和は少なくとも１であり、添字ａ’、ｂ’、ｃ’またはｄ’を付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は、式中において任意である。］
で表される含フッ素オイル
を含む表面処理剤であって、上記一般式（Ｏ）で表される含フッ素オイルのうち、５０００以上の分子量を有する含フッ素オイルの含有量が１０ｍｏｌ％以下であることを特徴とする表面処理剤。
　含フッ素オイルのうち、５，０００以上の分子量を有する含フッ素オイルの含有量が５ｍｏｌ％以下であることを特徴とする、請求項７に記載の表面処理剤。
　含フッ素オイルの分散度が、１．００以上１．２０以下であることを特徴とする、請求項１～８のいずれか１項に記載の表面処理剤。
　含フッ素オイルの分散度が、１．００以上１．１０以下であることを特徴とする、請求項９に記載の表面処理剤。
　含フッ素オイルの数平均分子量が、１，５００以上５，５００以下であることを特徴とする、請求項１～１０のいずれか１項に記載の表面処理剤。
　含フッ素オイルが、式（Ｏ１）または（Ｏ２）：
　Ｒ^２１－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）_ｂ’’－Ｒ^２２　　　　　　　　・・・（Ｏ１）
　Ｒ^２１－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）_ａ’’－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）_ｂ’’－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２）_ｃ’’－（ＯＣＦ_２）_ｄ’’－Ｒ^２２　　　・・・（Ｏ２）
［式中：
　Ｒ^２１は、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基を表し；
　Ｒ^２２は、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基、フッ素原子または水素原子を表し；
　式（Ｏ１）において、ｂ’’は１以上１００以下の整数であり；
　式（Ｏ２）において、ａ’’およびｂ’’は、それぞれ独立して０以上３０以下の整数であり、ｃ’’およびｄ’’は、それぞれ独立して１以上３００以下の整数であり；
　添字ａ’’、ｂ’’、ｃ’’またはｄ’’を付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は、式中において任意である。］
で表される１種またはそれ以上の化合物である、請求項１～１１のいずれか１項に記載の表面処理剤。
　含フッ素オイルが、式（Ｏ２）で表される１種またはそれ以上の含フッ素オイルであり、含フッ素オイルの数平均分子量が、１，５００～５，５００であることを特徴とする、請求項１２に記載の表面処理剤。
　Ｒｆが、炭素数１～１６のパーフルオロアルキル基である、請求項１～１３のいずれか１項に記載の表面処理剤。
　ＰＦＰＥが、以下の式（ｉ）～（ｉｖ）のいずれか：
　－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）_ｂ－　　　　　　　　　　　（ｉ）
［式中、ｂは１～２００の整数である。］
　－（ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２）_ｂ－　　　　　　　　　　（ｉｉ）
［式中、ｂは１～２００の整数である。］
　－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）_ａ－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）_ｂ－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２）_ｃ－（ＯＣＦ_２）_ｄ－　　　　　　　　　　　　　　　　　　（ｉｉｉ）
［式中、ａおよびｂは、それぞれ独立して、０または１～３０の整数であり、ｃおよびｄは、それぞれ独立して、１～２００の整数であり、添字ａ、ｂ、ｃまたはｄを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は、式中において任意である。］
または
　－（Ｒ^７－Ｒ^８）_ｆ－　　　　　　　　　　　　　（ｉｖ）
［式中、Ｒ^７は、ＯＣＦ_２またはＯＣ_２Ｆ_４であり、Ｒ^８は、ＯＣ_２Ｆ_４、ＯＣ_３Ｆ_６およびＯＣ_４Ｆ_８から選択される基であり；
　ｆは、２～１００の整数である。］
で表される基である、請求項１～１４のいずれかに記載の表面処理剤。
　Ｘ^１、Ｘ^５、Ｘ^７およびＸ^９が、それぞれ独立して、２～４価の有機基であり、α、β、γおよびδが、それぞれ独立して、１～３であり、α’、β’、γ’およびδ’が１である、請求項１～１５のいずれか１項に記載の表面処理剤。
　Ｘ^１、Ｘ^５、Ｘ^７およびＸ^９が２価の有機基であり、α、β、γおよびδが１であり、α’、β’、γ’およびδ’が１である、請求項１～１６のいずれか１項に記載の表面処理剤。
　Ｘ^１、Ｘ^５、Ｘ^７およびＸ^９が、それぞれ独立して、－（Ｒ^３１）_ｐ’－（Ｘ^ａ）_ｑ’－
［式中：
　Ｒ^３１は、それぞれ独立して、単結合、－（ＣＨ_２）_ｓ’－（式中、ｓ’は、１～２０の整数である）またはｏ－、ｍ－もしくはｐ－フェニレン基を表し；
　Ｘ^ａは、－（Ｘ^ｂ）_ｌ’－（式中、ｌ’は、１～１０の整数である）を表し；
　Ｘ^ｂは、各出現においてそれぞれ独立して、－Ｏ－、－Ｓ－、ｏ－、ｍ－もしくはｐ－フェニレン基、－Ｃ（Ｏ）Ｏ－、－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－、－（Ｓｉ（Ｒ^３３）_２Ｏ）_ｍ’－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－（式中、ｍ’は１～１００の整数である）、－ＣＯＮＲ^３４－、－Ｏ－ＣＯＮＲ^３４－、－ＮＲ^３４－および－（ＣＨ_２）_ｎ’－（式中、ｎ’は１～２０の整数である）からなる群から選択される基を表し；
　Ｒ^３３は、各出現においてそれぞれ独立して、フェニル基、Ｃ_１－６アルキル基またはＣ_１－６アルコキシ基を表し；
　Ｒ^３４は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子、フェニル基またはＣ_１－６アルキル基を表し；
　ｐ’は、０、１または２であり；
　ｑ’は、０または１であり；
　ここに、ｐ’およびｑ’の少なくとも一方は１であり、ｐ’またはｑ’を付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は式中において任意であり；
　Ｒ^３１およびＸ^ａは、フッ素原子、Ｃ_１－３アルキル基およびＣ_１－３フルオロアルキル基から選択される１個またはそれ以上の置換基により置換されていてもよい。］
で表される基である、請求項１７に記載の表面処理剤。
　Ｘ^１、Ｘ^５、Ｘ^７およびＸ^９が、それぞれ独立して：
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_２Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_１０Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_２０Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＦ_２ＣＨＦＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＦ_２ＣＨＦＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＦ_２ＣＨＦＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２（ＣＨ_２）_７ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_２ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_２ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_２ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_２ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－（ＣＨ_２）_２－、
－（ＣＨ_２）_３－、
－（ＣＨ_２）_４－、
－（ＣＨ_２）_５－、
－（ＣＨ_２）_６－、
－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮ（ＣＨ_３）－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮ（Ｐｈ）－（ＣＨ_２）_３－（式中、Ｐｈはフェニルを意味する）、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＯＮ（ＣＨ_３）－（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＯＮ（Ｐｈ）－（ＣＨ_２）_６－（式中、Ｐｈはフェニルを意味する）、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_２ＮＨ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_６ＮＨ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２Ｏ－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２Ｏ－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_６－、
－Ｓ－（ＣＨ_２）_３－、
－（ＣＨ_２）_２Ｓ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_２Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_１０Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_２０Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－
－Ｃ（Ｏ）Ｏ－（ＣＨ_２）_３－、
－Ｃ（Ｏ）Ｏ－（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_３－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_３－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－ＣＨ（ＣＨ_３）－、
－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_３－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_３－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－ＣＨ（ＣＨ_３）－ＣＨ_２－、
－ＯＣＨ_２－、
－Ｏ（ＣＨ_２）_３－、
－ＯＣＦＨＣＦ_２－、

からなる群から選択される、請求項１～１８のいずれか１項に記載の表面処理剤。
　Ｘ^１が、－Ｏ－ＣＦＲ^１３－（ＣＦ_２）_ｅ－であり、
　Ｒ^１３が、フッ素原子または低級フルオロアルキル基を表し、
　ｅが、０または１である、
請求項１～１９のいずれか１項に記載の表面処理剤。
　Ｘ^２が、－（ＣＨ_２）_ｓ－であり、
　ｓが、０～２の整数である、
請求項１～２０のいずれか１項に記載の表面処理剤。
　ｋ１が３であり、Ｒ^ａ中、ｑ１が３である、請求項１～２１のいずれか１項に記載の表面処理剤。
　ｌ２が３であり、ｎ２が３である、請求項１～２２のいずれか１項に記載の表面処理剤。
　Ｙが、Ｃ_１－６アルキレン基、－（ＣＨ_２）_ｇ’－Ｏ－（ＣＨ_２）_ｈ’－（式中、ｇ’は０～６の整数であり、ｈ’は０～６の整数である）、または－フェニレン－（ＣＨ_２）_ｉ’－（式中、ｉ’は、０～６の整数である）である、請求項１～２３のいずれか１項に記載の表面処理剤。
　Ｘ^１、Ｘ^５、Ｘ^７およびＸ^９が、それぞれ独立して、３～１０価の有機基である、請求項１～１５のいずれか１項に記載の表面処理剤。
　Ｘ^１、Ｘ^５、Ｘ^７およびＸ^９が、それぞれ独立して：

［式中、各基において、Ｔのうち少なくとも１つは、式（Ａ１）、（Ａ２）、（Ｂ１）、（Ｂ２）、（Ｃ１）、（Ｃ２）、（Ｄ１）および（Ｄ２）においてＰＦＰＥに結合する以下の基：　
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＦ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３－、
－（ＣＨ_２）_２－、
－（ＣＨ_２）_３－、
－（ＣＨ_２）_４－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮ（ＣＨ_３）－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮ（Ｐｈ）－（ＣＨ_２）_３－（式中、Ｐｈはフェニルを意味する）、および

であり、
　別のＴのうち少なくとも１つは、式（Ａ１）、（Ａ２）、（Ｂ１）、（Ｂ２）、（Ｃ１）、（Ｃ２）、（Ｄ１）および（Ｄ２）において、炭素原子またはＳｉ原子に結合する－（ＣＨ_２）_ｎ－（ｎは２～６の整数）であり、存在する場合、残りのＴは、それぞれ独立して、メチル基、フェニル基、炭素数１～６のアルコキシ基またはラジカル捕捉基もしくは紫外線吸収基であり、
　Ｒ^４１は、それぞれ独立して、水素原子、フェニル基、炭素数１～６のアルコキシ基または炭素数１～６のアルキル基であり、
　Ｒ^４２は、それぞれ独立して、水素原子、Ｃ_１－６のアルキル基またはＣ_１－６のアルコキシ基を表す。］
からなる群から選択される、請求項２５に記載の表面処理剤。
　パーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物が、式（Ａ１）および（Ａ２）のいずれかで表される少なくとも１種の化合物である、請求項１～２６のいずれか１項に記載の表面処理剤。
　パーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物が、式（Ｂ１）および（Ｂ２）のいずれかで表される少なくとも１種の化合物である、請求項１～２６のいずれか１項に記載の表面処理剤。
　パーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物が、式（Ｃ１）および（Ｃ２）のいずれかで表される少なくとも１種の化合物である、請求項１～２６のいずれか１項に記載の表面処理剤。
　パーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物が、式（Ｄ１）および（Ｄ２）のいずれかで表される少なくとも１種の化合物である、請求項１～２６のいずれか１項に記載の表面処理剤。
　パーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物および含フッ素オイルの合計に対して、含フッ素オイルが、５～９５質量％含有される、請求項１～３０のいずれか１項に記載の表面処理剤。
　さらに、シリコーンオイル、および触媒から選択される１種またはそれ以上の他の成分を含有する、請求項１～３１のいずれか１項に記載の表面処理剤。
　さらに溶媒を含む、請求項１～３２のいずれか１項に記載の表面処理剤。
　防汚性コーティング剤または防水性コーティング剤として使用される、請求項１～３３のいずれか１項に記載の表面処理剤。
　真空蒸着用である、請求項１～３４のいずれか１項に記載の表面処理剤。
　請求項１～３５のいずれか１項に記載の表面処理剤を含有するペレット。
　基材と、該基材の表面に、請求項１～３５のいずれか１項に記載の表面処理剤より形成された層とを含む物品。
　ヘイズ値が０．３％以下である、請求項３７に記載の物品。
　基材がガラスまたはサファイアガラスである、請求項３７または３８に記載の物品。
　ガラスが、ソーダライムガラス、アルカリアルミノケイ酸塩ガラス、ホウ珪酸ガラス、無アルカリガラス、クリスタルガラスおよび石英ガラスから成る群から選択されるガラスである、請求項３９に記載の物品。
　前記物品が光学部材である、請求項３７～４０のいずれかに記載の物品。
　前記物品がディスプレイである、請求項３７～４１のいずれか１項に記載の物品。