WO2016200155A1 - 습공기 형성 장치, 이를 포함하는 검사 장치 및 검사 방법 - Google Patents

습공기 형성 장치, 이를 포함하는 검사 장치 및 검사 방법 Download PDF

Info

Publication number
WO2016200155A1
WO2016200155A1 PCT/KR2016/006079 KR2016006079W WO2016200155A1 WO 2016200155 A1 WO2016200155 A1 WO 2016200155A1 KR 2016006079 W KR2016006079 W KR 2016006079W WO 2016200155 A1 WO2016200155 A1 WO 2016200155A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
air
temperature
unit
wet air
measurement object
Prior art date
Application number
PCT/KR2016/006079
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
서장일
김효빈
신용승
김홍기
이호준
Original Assignee
주식회사 고영테크놀러지
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from KR1020150080674A external-priority patent/KR101626475B1/ko
Priority claimed from KR1020150093565A external-priority patent/KR101664337B1/ko
Priority claimed from KR1020160058954A external-priority patent/KR101757709B1/ko
Application filed by 주식회사 고영테크놀러지 filed Critical 주식회사 고영테크놀러지
Priority to US15/735,016 priority Critical patent/US10619870B2/en
Priority to CN201680033628.9A priority patent/CN107743572B/zh
Priority to EP16807795.6A priority patent/EP3306235B1/en
Publication of WO2016200155A1 publication Critical patent/WO2016200155A1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F6/00—Air-humidification, e.g. cooling by humidification
    • F24F6/12—Air-humidification, e.g. cooling by humidification by forming water dispersions in the air
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
    • B01F23/00—Mixing according to the phases to be mixed, e.g. dispersing or emulsifying
    • B01F23/10—Mixing gases with gases
    • B01F23/12—Mixing gases with gases with vaporisation of a liquid
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
    • B01F25/00—Flow mixers; Mixers for falling materials, e.g. solid particles
    • B01F25/30—Injector mixers
    • B01F25/31—Injector mixers in conduits or tubes through which the main component flows
    • B01F25/314—Injector mixers in conduits or tubes through which the main component flows wherein additional components are introduced at the circumference of the conduit
    • B01F25/3142—Injector mixers in conduits or tubes through which the main component flows wherein additional components are introduced at the circumference of the conduit the conduit having a plurality of openings in the axial direction or in the circumferential direction
    • B01F25/31425—Injector mixers in conduits or tubes through which the main component flows wherein additional components are introduced at the circumference of the conduit the conduit having a plurality of openings in the axial direction or in the circumferential direction with a plurality of perforations in the axial and circumferential direction covering the whole surface
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L1/00—Enclosures; Chambers
    • B01L1/04—Dust-free rooms or enclosures
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
    • F25B21/00—Machines, plants or systems, using electric or magnetic effects
    • F25B21/02—Machines, plants or systems, using electric or magnetic effects using Peltier effect; using Nernst-Ettinghausen effect
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
    • F25B41/00—Fluid-circulation arrangements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
    • G01B11/2513—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object with several lines being projected in more than one direction, e.g. grids, patterns
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/958—Inspecting transparent materials or objects, e.g. windscreens
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2200/00—Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
    • B01L2200/14—Process control and prevention of errors
    • B01L2200/143—Quality control, feedback systems
    • B01L2200/147—Employing temperature sensors
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00—Additional constructional details
    • B01L2300/02—Identification, exchange or storage of information
    • B01L2300/024—Storing results with means integrated into the container
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00—Additional constructional details
    • B01L2300/10—Means to control humidity and/or other gases
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00—Additional constructional details
    • B01L2300/18—Means for temperature control
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00—Additional constructional details
    • B01L2300/18—Means for temperature control
    • B01L2300/1894—Cooling means; Cryo cooling
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
    • F28C—HEAT-EXCHANGE APPARATUS, NOT PROVIDED FOR IN ANOTHER SUBCLASS, IN WHICH THE HEAT-EXCHANGE MEDIA COME INTO DIRECT CONTACT WITHOUT CHEMICAL INTERACTION
    • F28C3/00—Other direct-contact heat-exchange apparatus
    • F28C3/06—Other direct-contact heat-exchange apparatus the heat-exchange media being a liquid and a gas or vapour
    • F28C3/08—Other direct-contact heat-exchange apparatus the heat-exchange media being a liquid and a gas or vapour with change of state, e.g. absorption, evaporation, condensation
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N2021/845—Objects on a conveyor

Abstract

본 발명은 측정 대상물을 소정 온도로 냉각시키고, 냉각된 측정 대상물에 소정 온도의 습공기를 분사하여, 측정 대상물의 표면에 수분 입자를 형성하는 습공기 형성 장치 및 이를 포함하는 측정 시스템을 제공한다. 본 발명에 따른 습공기 형성 장치는, 측정 대상물을 제1 온도 이하로 냉각시키도록 동작하는 냉각부와, 제1 온도보다 높은 제2 온도의 습공기를 형성하고, 냉각된 측정 대상물의 표면에 습공기를 분사하여, 냉각된 측정 대상물의 표면에 수분 입자를 형성하기 위한 습공기 공급부를 포함한다.

Description

습공기 형성 장치, 이를 포함하는 검사 장치 및 검사 방법
본 발명은 측정 분야에 관한 것으로, 특히 습공기 형성 장치, 이를 포함하는 검사 장치 및 검사 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 측정 시스템은 조명부에서 격자 패턴광을 형성하여 측정 대상물에 조사하고, 촬상부에서 측정 대상물로부터 반사되는 광을 수광하고, 수광된 광을 이용하여 측정 대상물의 형상을 측정한다.
즉, 측정 시스템이 측정 대상물의 형상을 측정하기 위해서는, 측정 대상물로부터 반사되는 광이 촬상부에서 수광되어야 한다. 측정 대상물의 표면에서 광이 난반사되면, 난반사된 광은 전방위로 퍼지게 된다. 이에 따라, 촬상부는 촬상부의 위치에 관계없이 반사된 광을 수광할 수 있다.
그러나, 측정 대상물이 표면에 거울이나 유리면과 같은 경면 반사면을 갖는 경우에는, 표면에서 광이 정반사되거나 투과될 수 있다. 광이 정반사되는 경우에는 정반사된 광은 일정 방향으로만 진행하므로 고정된 위치의 촬상부에서 광을 감지하기 어렵다. 또한 광이 측정 대상물을 투과하는 경우에는 촬상부에 입사되는 광이 적어지므로 고정된 위치의 촬상부에서 광을 감지하는 것이 어렵다. 이에 따라, 측정 대상물에 대한 정확한 측정을 수행하는 것이 곤란하게 된다.
본 발명의 일 실시예는 결로 현상을 이용하여 측정 대상물의 표면에 수분 입자(water particles)를 골고루 형성하는 습공기 형성 장치 및 이를 포함하는 측정 시스템을 제공한다.
본 발명의 일 실시예는 결로 현상을 이용하여 측정 대상물의 표면에 수분 입자를 골고루 형성하여 검사를 수행하는 검사 장치를 제공한다.
본 발명의 일 실시예는 습공기를 풍로를 통해 폐쇄 순환시키는 습공기 형성 장치 및 이를 포함하는 측정 시스템을 제공한다.
본 발명의 일 실시예는 히터, 열풍기 또는 가습기를 수시로 온/오프하면서 보유한 습공기의 온도, 습도를 유지함으로써, 장치의 수명이 향상되고, 가습기의 습기 공급량 및 소모 전력을 절약하는 습공기 형성 장치 및 이를 포함하는 측정 시스템을 제공한다.
본 발명의 일 실시예는 인라인 설비 구동 중 측정(또는 검사)을 일시중지하는 경우, 습공기를 생성하여 배출하지 않고 히터, 열풍기 또는 가습기의 오프시간을 늘림으로써 장치의 수명이 향상되는 습공기 형성 장치 및 이를 포함하는 측정 시스템을 제공한다.
본 발명의 예시적인 일 실시예에 따르는 습공기 형성 장치는 측정 대상물의 온도보다 높은 온도의 온풍과, 습기를 혼합하여 습공기를 형성하고, 상기 측정 대상물의 표면에 상기 습공기를 분사하여, 상기 측정 대상물의 표면에 수분 입자를 형성하기 위한 습공기 공급부를 포함한다.
일 실시예로, 상기 습공기 형성 장치는 상기 측정 대상물을 냉각시키도록 동작하는 냉각부를 더 포함할 수 있다.
일 실시예로, 상기 냉각부는 상기 측정 대상물을 복수 적재하기 위한 측정 대상물 적재부, 냉풍을 형성하도록 동작하는 냉풍 형성부, 및 상기 측정 대상물 적재부와 상기 냉풍 형성부를 연결하여, 상기 냉풍 형성부에서 형성된 상기 냉풍을 상기 측정 대상물 적재부 내로 공급하기 위한 냉풍 공급관을 포함할 수 있다.
일 실시예로, 상기 냉각부는 상기 측정 대상물 적재부와 상기 냉풍 형성부를 연결하여, 상기 측정 대상물 적재부 내에 공급된 상기 냉풍을 상기 냉풍 형성부로 순환시키기 위한 냉풍 순환관을 더 포함할 수 있다.
일 실시예로, 상기 습공기 공급부는, 상기 온풍을 형성하도록 동작하는 온풍 형성부, 상기 습기를 형성하도록 동작하는 가습부, 및 상기 온풍 및 상기 습기를 혼합하여 상기 습공기를 형성하도록 동작하는 혼합부를 포함할 수 있다.
일 실시예로, 상기 혼합부는, 상기 온풍이 유입되는 제1 유입구, 상기 습기가 유입되는 제2 유입구 및 상기 습공기가 토출되는 토출구를 포함하는 케이스, 및 상기 제2 유입구로부터 유입된 상기 습기가 통과하는 복수의 관통구멍을 갖고, 상기 제1 유입구와 상기 토출구에 연결되며, 상기 제1 유입구로부터 유입된 상기 온풍과 상기 관통구멍을 통과한 상기 습기를 혼합하여 상기 습공기를 형성하기 위한 혼합관을 포함할 수 있다.
일 실시예로, 상기 습공기 형성 장치는 상기 습공기가 분사된 상기 측정 대상물을 냉각 유지시키는 냉각대 를 더 포함할 수 있다.
일 실시예로, 상기 냉각대는 상기 측정 대상물을 냉각시키기 위한 냉각 소자, 상기 냉각 소자 위에 설치되어, 상기 측정 대상물을 흡착 유지하고 상기 측정 대상물의 열을 상기 냉각 소자로 전달하기 위한 상부판, 및 상기 냉각 소자 아래에 설치되어, 상기 냉각 소자에서 발생하는 열을 방산하기 위한 하부판을 포함할 수 있다.
일 실시예로, 상기 냉각대는 상기 측정 대상물이 상기 상부판에 흡착 유지되도록 복수의 천공을 통해 공기를 흡입하도록 동작하는 석션부를 더 포함할 수 있다.
일 실시예로, 상기 습공기 공급부는, 내부에서 상기 습공기가 폐쇄적으로 순환하는 풍로, 상기 습공기에 혼합되는 상기 습기를 생성하는 가습부, 및 상기 풍로에서 순환하는 상기 습공기 일부를 상기 측정 대상물에 분사하는 분사 송풍부를 포함할 수 있다.
일 실시예로, 상기 습공기 공급부는, 상기 풍로를 순환하는 상기 습공기의 온도를 외기 온도보다 높은 온도로 가열하는 히터를 더 포함할 수 있다.
일 실시예로, 상기 습공기 공급부는, 상기 습공기와 상기 가습부에 의해 형성된 습기를 혼합하는 혼합부를 더 포함할 수 있다.
일 실시예로, 상기 습공기 공급부는, 상기 풍로에 폐쇄되어 있는 상기 습공기의 일부를 상기 분사 송풍부로 공급하거나 공급을 차단하는 개폐부를 더 포함할 수 있다.
일 실시예로, 상기 습공기 공급부는, 상기 풍로에 폐쇄되어 있는 상기 습공기의 일부를 공급 받아 저장하고, 저장된 상기 습공기를 상기 풍로로 공급하는 습공기 버퍼부를 더 포함할 수 있다.
일 실시예로, 상기 습공기 공급부는, 상기 습공기를 상기 풍로에서 순환시키는 순환 송풍부를 더 포함할 수 있다.
일 실시예로, 상기 습공기 공급부는, 상기 습공기의 온도 및 습도를 감지하는 습공기 감지부를 더 포함하고, 상기 습공기 형성 장치는, 상기 습공기의 형성 및 분사를 제어하는 제어부를 더 포함하고, 상기 제어부는 상기 감지된 온도 및 습도에 기초하여 상기 히터 및 상기 가습부의 구동을 제어할 수 있다.
일 실시예로, 상기 습공기 형성 장치는 상기 습공기의 형성 및 분사를 제어하는 제어부를 더 포함하고, 상기 제어부는 상기 분사 송풍부의 구동 여부 또는 구동 횟수에 기초하여 상기 히터 및 상기 가습부의 구동을 제어할 수 있다.
본 발명의 예시적인 일 실시예에 따르는 검사 장치는, 측정 대상물의 온도보다 높은 온도의 온풍과 습기를 혼합하여 습공기를 형성하고, 상기 측정 대상물의 표면에 상기 습공기를 분사하여, 상기 측정 대상물의 표면에 수분 입자를 형성하기 위한 습공기 공급부를 포함하는 습공기 형성 장치, 및 상기 측정 대상물을 검사하기 위하여, 상기 습공기가 분사된 상기 측정 대상물에 광을 조사하고 상기 측정 대상물로부터 반사되는 광을 수신하여 상기 측정 대상물의 영상 데이터를 획득하는 영상 데이터 획득부를 포함할 수 있다.
일 실시예로, 상기 습공기 형성 장치는, 상기 측정 대상물을 냉각시키도록 동작하는 냉각부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 예시적인 일 실시예에 따르는 검사 장치에 의해 수행되는 검사 방법은, 측정 대상물의 온도보다 높은 온도의 온풍과, 습기를 혼합하여 습공기를 형성하는 단계, 상기 측정 대상물의 표면에 상기 습공기를 분사하여 상기 측정 대상물의 표면에 수분 입자를 형성하는 단계, 및 상기 측정 대상물을 검사하기 위하여, 수분 입자가 형성된 상기 측정 대상물을 측정하여 영상 데이터를 획득하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 표면에서 광이 정반사되거나 투과되는 측정 대상물(예를 들어, 경면 물체)의 표면에, 수분 입자를 골고루 형성할 수 있어, 경면 물체에 대한 정확한 2차원 또는 3차원 형상이 측정될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 측정 대상물의 형상에 관계없이 측정 대상물의 전체 표면에 수분 입자를 골고루 형성할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 측정 대상물의 표면에 수분 입자를 골고루 형성할 수 있어, 측정 대상물에 대한 정확한 검사가 수행될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 습공기 형성 장치는, 습공기를 풍로를 통해 폐쇄 순환시킴으로써, 온도, 습도 등을 일정하게 유지하며 습공기를 보유할 수 있다. 따라서, 습공기의 온도, 습도 등을 일정하게 유지하기 위해서 습공기를 연속적으로 생성할 필요가 없다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 보유한 습공기의 온도, 습도는 히터, 열풍기 또는 가습기를 온/오프하면서 유지할 수 있으므로, 히터, 열풍기 또는 가습기를 연속적으로 작동시키는 방식에 비하여 장치의 수명이 향상된다. 또한, 본 발명의 실시예들은 가습기의 습기 공급량을 절약할 수 있고 소모 전력을 감소시킬 수 있다.
한편, 인라인 설비 구동 중에는 공정에 장애가 발생하는 등의 이유로 측정(또는 검사)을 일시중지하는 경우가 있을 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 의하면, 이러한 경우 습공기를 생성하여 배출하지 않고 보유한 습공기를 유지하며, 히터, 열풍기 또는 가습기의 오프시간을 늘림으로써, 장치의 수명이 향상될 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 측정 시스템의 구성을 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각부의 구성을 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 습공기 공급부의 구성을 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 혼합부의 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 혼합부의 단면도이다.
도 6는 본 발명의 일 실시예에 따른 영상 데이터 획득부를 개략적으로 나타낸 설명도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 측정 시스템을 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 냉각대의 단면도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 냉각대의 상면도이다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 측정 시스템을 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 측정 시스템을 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 측정 시스템을 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 습공기 공급부의 구성을 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 14는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 혼합부의 사시도이다.
도 15는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 혼합부의 단면도이다.
도 16은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 17은 본 발명의 실시예들에 따라 검사를 수행하는 방법을 나타낸 순서도이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것이다. 본 발명의 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며, 본 발명이 아래 제시된 실시예들이나 이들 실시예들에 대한 구체적 설명으로 한정되는 것으로 해석해서는 아니 된다.
본 실시예에서 사용되는 용어 "부"는 소프트웨어, FPGA(field-programmable gate array), ASIC(application specific integrated circuit)과 같은 하드웨어 구성요소를 의미할 수 있다. 그러나, "부"는 하드웨어 및 소프트웨어에 한정되는 것은 아니다. "부"는 어드레싱할 수 있는 저장 매체에 있도록 구성될 수도 있고, 하나 또는 그 이상의 프로세서들을 재생시키도록 구성될 수도 있다. 따라서, 일례로서 "부"는 소프트웨어 구성요소들, 객체지향 소프트웨어 구성요소들, 클래스 구성요소들 및 태스크 구성요소들과 같은 구성요소들과, 프로세서, 함수, 속성, 프로시저, 서브루틴, 프로그램 코드의 세그먼트, 드라이버, 펌웨어, 마이크로코드, 회로, 데이터, 데이터베이스, 데이터 구조, 테이블, 어레이 및 변수를 포함한다. 구성요소와 "부" 내에서 제공되는 기능은 더 작은 수의 구성요소 및 "부"로 결합되거나 추가적인 구성요소와 "부"로 더 분리될 수 있다.
본 명세서에서 사용되는 모든 기술적 용어들 및 과학적 용어들은, 다르게 정의되어 있지 않는 한 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해되는 의미를 갖는다. 본 명세서에서 사용되는 모든 용어들은 본 발명을 보다 명확히 설명하기 위한 목적으로 선택된 것이며 본 발명의 범위를 제한하기 위해 선택된 것이 아니다.
본 명세서에서 단수형은 달리 언급하지 않는 이상 복수형도 포함하며, 이는 청구항에서도 마찬가지이다.
본 발명의 다양한 실시 예에서 사용된 "제1", "제2" 등의 표현들은 구성요소를 구분하기 위해 사용하는 것일 뿐 해당 구성요소의 순서, 중요도 등을 한정하는 것이 아니다.
본 명세서에서 사용되는 "포함하는", 및 "갖는"은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 개방형 용어(open-ended terms)로 이해되어야 한다.
본 명세서에서 "~에 기초하여"라는 문구는 결정에 영향을 주는 하나 이상의 인자를 기술하는데 사용되고, 이 용어는 결정에 사용되는 추가적인 인자를 배제하지는 않는다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 상기 어떤 구성요소가 상기 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 상기 어떤 구성요소와 상기 다른 구성요소 사이에 새로운 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
본 명세서에서 사용되는 용어 중 "습공기(moist air)"는 수증기를 포함한 공기를 의미한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명한다. 도면상의 유사한 구성요소에 대해서는 유사한 참조부호를 사용하고 동일한 구성요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다. 다만, 이하의 설명에서는 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 우려가 있는 경우, 널리 알려진 기능이나 구성에 관한 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 측정 시스템을 개략적으로 나타낸 사시도이다. 측정 시스템은 측정 대상물(예를 들어, 경면 물체)(IO)의 2차원 또는 3차원의 형상을 측정할 수 있다. 측정 대상물(200)은 표면에서 광이 정반사되거나 투과되는 경면 반사면을 포함할 수 있다. 예를 들면, 측정 대상물(200)은 휴대 단말용 메탈 케이스, 반도체 기판의 솔더링 및 기판 등을 포함할 수 있지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 측정 시스템(100)은 냉각부(110)를 포함할 수 있다. 냉각부(110)는 측정 대상물(200)을 미리 정해진 온도(이하, "제1 온도"라 함) 이하로 냉각시킬 수 있다. 구체적인 제1 온도의 설정에 대하여는 아래에서 상세히 설명하기로 한다. 냉각부(110)에 의해 측정 대상물(200)을 냉각시키면 측정 대상물(200) 표면뿐만 아니라 측정 대상물 표면 주변의 공기도 제1 온도 이하로 냉각될 수 있다. 측정 대상물(200) 표면 주변의 습공기가 제1 온도 이하가 됨으로써 수증기 포화 상태 또는 수증기 과포화 상태가 되면, 결로가 발생하여 측정 대상물(200)의 표면에 수분 입자가 생성될 수 있다. 통상적인 측정 장치의 설치 환경 등을 고려하면, 제1 온도는 -20℃ 내지 20℃ 범위이거나, 0℃ 내지 15℃ 범위이거나, 또는 2℃ 내지 5℃ 범위일 수 있다.
전술한 실시예에 따른 측정 시스템은 냉각부를 포함할 수 있지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 측정 대상물(200)이 냉각되지 않은 상태에서도 습공기의 절대 수증기량이 충분하다면, 습공기선도에 따라 측정 대상물(200) 표면 주변의 공기가 수증기 포화 상태 또는 수증기 과포화 상태로 될 수 있다. 이에 따라 결로가 발생하여 측정 대상물(200) 표면에 수분입자가 생성될 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각부(110)의 구성을 개략적으로 나타낸 구성도이다. 도 2를 참조하면, 냉각부(110)는 측정 대상물 적재부(115)를 포함할 수 있다. 측정 대상물 적재부(115)는 측정 대상물(200)을 일시적으로 수납할 수 있다. 예를 들면, 측정 대상물 적재부(115)는 복수의 측정 대상물(200)을 다단으로 적재할 수 있다. 예를 들면, 측정 대상물 적재부(115)는 측정 대상물(200)이 이송되지 않는 동안에 밀폐되는 밀폐형 버퍼부일 수 있다.
냉각부(110)는 냉풍 형성부(111)를 더 포함할 수 있다. 냉풍 형성부(111)는 측정 대상물 적재부(115)내에 수납된 측정 대상물(200)을 제1 온도 이하로 냉각시키기 위한 냉풍을 형성할 수 있다. 예를 들면, 냉풍 형성부(111)는 에어컨, 냉동기 등을 포함할 수 있지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
냉각부(110)는 냉풍 공급관(113)을 더 포함할 수 있다. 냉풍 공급관(113)은 냉풍 형성부(111)와 측정 대상물 적재부(115)를 연결하기 위한 관으로, 냉풍 형성부(111)에서 형성된 냉풍을 측정 대상물 적재부(115)내로 공급한다. 예를 들면, 냉풍 공급관(113)의 일단은 측정 대상물 적재부(115)의 상단 일측에 설치될 수 있지만, 반드시 이에 한정되지 않고, 필요에 따라 측정 대상물 적재부(115)의 다양한 위치에 설치될 수도 있다.
냉각부(110)는 냉풍 순환관(117)을 더 포함할 수 있다. 냉풍 순환관(117)은 측정 대상물 적재부(115)와 냉풍 형성부(111)를 연결하기 위한 관으로, 측정 대상물 적재부(115)내에 공급된 냉풍을 냉풍 형성부(111)로 다시 공급하여 순환 구조를 이루게 할 수 있다. 예를 들면, 냉풍 순환관(117)의 일단은 측정 대상물 적재부(115)의 하단 측면에 설치될 수 있지만, 반드시 이에 한정되지 않고, 필요에 따라 측정 대상물 적재부(115)의 다양한 위치에 설치될 수 있다.
전술한 실시예에서는 냉각부(110)가 냉풍 순환관(117)을 포함하여 측정 대상물 적재부(115)내에 공급된 냉풍을 냉풍 형성부(111)로 순환시키는 구성인 것으로 설명하였지만, 다른 실시예에서는 냉각부(110)가 냉풍 순환관(117)을 포함하지 않고, 측정 대상물 적재부(115)의 하단 측면에 형성된 배기구를 통해 측정 대상물 적재부(115)내에 공급된 냉풍을 배기시킬 수도 있다.
다시 도 1을 참조하면, 측정 시스템(100)은 습공기 공급부(120)를 더 포함할 수 있다. 습공기 공급부(120)는 측정 대상물(200)의 표면에 습공기를 형성하여 분사할 수 있다. 습공기는 냉각부(110)의 제1 온도보다 높은 온도를 가질 수 있다. 습공기가 측정 대상물(200)에 인가되면, 습공기는 측정 대상물(200) 표면의 온도에 의해 냉각될 수 있다. 이 때 습공기가 냉각되어 습공기선도에 따라 포화 상태 또는 과포화 상태에 도달하면 측정 대상물(200) 표면에 수증기가 응결되어 수분 입자가 생성될 수 있다.
일실시예에 있어서, 습공기 공급부(120)는 습공기를 연속적 또는 비연속적으로 분사할 수 있다. 일례로서, 습공기 공급부(120)는 측정 대상물(200)의 위치를 검출하여, 측정 대상물(200)이 소정 위치에 위치하였을 때 습공기를 분사할 수 있다. 예를 들어, 습공기 공급부(120)는 측정 대상물(200)이 습공기 공급부(120)의 아래에 위치하였을 때 습공기를 분사할 수 있다. 다른 예로서, 습공기 공급부(120)는 측정 대상물(200)의 위치에 관계없이 습공기를 연속적으로 분사할 수 있다.
일실시예에 있어서, 습공기 공급부(120)는 측정 대상물(200)의 표면 전체에, 일정한 습도를 갖는 습공기를 분사하기 위해, 측정 대상물(200)의 상단에 위치할 수 있지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 습공기 공급부(120)의 구성을 개략적으로 나타낸 구성도이다. 도 3을 참조하면, 습공기 공급부(120)는 온풍 형성부(121)를 포함할 수 있다.
온풍 형성부(121)는 미리 정해진 온도(제2 온도)를 이상의 온풍을 형성할 수 있다. 제2 온도는 냉각부(110)의 제1 온도보다 높을 수 있다. 통상적인 측정 장치의 설치 환경 등을 고려하면, 제2 온도는 20℃ 내지 300℃ 범위이거나, 30℃ 내지 200℃ 범위이거나, 40℃ 내지 150℃ 범위일 수 있다. 일실시예에 있어서, 온풍 형성부(121)는 전열식 온풍기를 포함할 수 있지만, 반드시 이에 한정되지 않고, 온풍을 형성할 수 있는 장치라면 어떤 장치라도 무방하다.
습공기 공급부(120)는 가습부(122)를 더 포함할 수 있다. 가습부(122)는 액체를 이용하여 습기(또는, 미세한 물방울)를 형성할 수 있다. 일실시예에 있어서, 액체는 물이 될 수 있으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 일실시예에 있어서, 가습부(122)는 초음파 가습기를 포함하지만, 이에 한정되는 것은 아니며, 습기를 형성할 수 있는 장치라면 어떤 장치라도 무방하다.
습공기 공급부(120)는 혼합부(123)를 더 포함할 수 있다. 혼합부(123)는 온풍 형성부(121)로부터 제공되는 온풍과 가습부(122)로부터 제공되는 습기(moisture)를 혼합하여 습공기를 형성할 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 혼합부(123)의 사시도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 혼합부(123)의 단면도이다. 도 4 및 도 5를 참조하면, 혼합부(123)는 케이스(410)를 포함할 수 있다.
케이스(410)는 온풍 형성부(121)로부터 제공되는 온풍과 가습부(122)로부터 제공되는 습기를 밀폐시킬 수 있다. 케이스(410)는 온풍 형성부(121)로부터의 온풍이 유입되는 온풍 유입구(411), 가습부(122)로부터의 습기가 유입되는 습기 유입구(412) 및 습공기가 토출되는 토출구(413)를 포함할 수 있다.
혼합부(123)는 혼합관(420)을 더 포함할 수 있다. 혼합관(420)은 케이스(410)의 온풍 유입구(411) 및 토출구(413)에 연결될 수 있다. 또한, 혼합관(420)은 복수의 관통구멍(421)을 가질 수 있다. 관통구멍(421)의 직경은 1㎜ 내지 10㎜일 수 있지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 또한, 혼합관(420)은 원통 형상을 가질 수 있지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
일실시예에 있어서, 온풍 형성부(121)에 의해 형성된 온풍은 케이스(410)의 온풍 유입구(411)를 통해 혼합관(420)내에 유입될 수 있다. 또한, 가습부(122)에 의해 형성된 습기는 케이스(410)의 습기 유입구(412)를 거쳐 관통구멍(421)을 통해 혼합관(420)내에 유입될 수 있다. 따라서, 혼합관(420)내에서 온풍과 습기가 혼합되어 습공기가 형성될 수 있다.
다시 도 3을 참조하면, 습공기 공급부(120)는 노즐(124)을 더 포함할 수 있다. 노즐(124)은 케이스(410)의 토출구(413)와 연결되어, 혼합부(123)에서 형성된 습공기를 측정 대상물(200)의 표면에 분사할 수 있다. 일실시예에 있어서, 노즐(124)은 측정 대상물(200)의 상단에 설치될 수 있지만, 반드시 이에 한정되지 않고, 습공기를 측정 대상물(200)의 표면에 일정하게 분사할 수 있는 위치라면, 어떤 위치에 설치되어 있어도 무방하다. 또한, 노즐(124)은 습공기를 다양한 방향에서 분사할 수 있도록 복수로 구성될 수도 있다.
습공기 공급부(120)는 습공기 감지부(125)를 더 포함할 수 있다. 습공기 감지부(125)는 습공기 공급부(120) 내의 소정 위치에 설치되어, 습공기 공급부(120)가 분사하는 습공기의 온도 및 습도를 감지하고, 감지된 온도 및 습도를 포함하는 감지 정보(이하, "습공기 감지 정보"라 함)를 형성한다. 예를 들면, 습공기 감지부(125)는 온습도 센서를 포함하지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
다시 도 1을 참조하면, 측정 시스템(100)은 영상 데이터 획득부(130)를 더 포함할 수 있다. 영상 데이터 획득부(130)는 표면에 수분 입자가 생성된 측정 대상물(200)에 광을 조사하고, 측정 대상물(200)에 의해 반사된 광을 수광하여 측정 대상물(200)의 영상 데이터를 획득한다. 영상 데이터는 측정 대상물(200)의 2차원 또는 3차원 영상 데이터일 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 영상 데이터 획득부(130)를 개략적으로 나타낸 설명도이다. 도 6을 참조하면, 영상 데이터 획득부(130)는 조명부(131)를 포함할 수 있다.
조명부(131)는 측정 대상물(200)의 형상을 측정하기 위한 패턴 조명을 측정 대상물(200)에 조사할 수 있다. 예를 들면, 조명부(131)는 광을 발생시키기 위한 광원(1311), 광원(1311)으로부터의 광을 패턴 조명으로 변환시키기 위한 격자 소자(1312), 격자 소자(1312)를 피치 이송시키기 위한 격자 이송 기구(1313) 및 격자 소자(1312)에 의해 변환된 패턴 조명을 측정 대상물(200)에 투영시키기 위한 투영 렌즈(1314)를 포함할 수 있다. 여기서, 격자 소자(1312)는 패턴 조명의 위상 천이를 위해 PZT 엑추에이터(Lead Zirconate Titanate Actuator) 등의 격자 이송 기구(1313)를 통해 소정의 거리(예를 들어, 2π/N(N은 2 이상의 자연수))만큼씩 이송될 수 있다. 이와 달리, 격자 소자(1312) 및 격자 이송 기구(1313)를 이용하는 대신, 액정 표시 장치의 영상을 이용하여 위상 천이된 격자 패턴광을 조사할 수도 있다. 그러나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 위상 천이된 격자 패턴광을 조사할 수 있는 한 다른 수단으로 구현하는 것도 가능하다.
일례로서, 조명부(131)는 1개 또는 원주 방향이나 가상의 다각 평면을 따라 일정한 각도로 이격되도록 복수개 설치될 수 있다. 다른 예로서, 조명부(131)는 측정 대상물(200)의 수직한 방향에 대해 일정한 각도로 기울어지게 복수개 설치될 수 있다. 또 다른 예로서, 조명부(131)는 측정 대상물(200)과 수직한 방향을 따라 1개 설치될 수도 있다.
영상 데이터 획득부(130)는 촬상부(132)를 더 포함할 수 있다. 촬상부(132)는 측정 대상물(200)에 의해 반사된 광을 수신하여 측정 대상물(200)의 영상 데이터를 획득할 수 있다. 즉, 촬상부(132)는 조명부(131)의 패턴광의 조사를 통해 측정 대상물(200)을 촬영하여 측정 대상물(200)의 영상 데이터를 획득할 수 있다. 촬상부(132)는 CCD(charge coupled device) 카메라 또는 CMOS(complementary metal oxide semiconductor) 카메라를 포함하지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 일례로서, 촬상부(132)는 측정 대상물(200)로부터 수직한 상부 위치에 설치될 수 있다. 다른 예로서, 촬상부(132)는 측정 대상물(200)로부터 수직한 상부 위치와, 원주 방향을 따라 일정한 각도로 이격되어 복수개 설치될 수 있다.
영상 데이터 획득부(130)는 스테이지(133)를 더 포함할 수 있다. 스테이지(133)는 측정 대상물(200)을 지지 및 고정할 수 있다. 일실시예에 있어서, 스테이지(133)는 측정 대상물(200)의 일단부를 지지 및 고정하도록 동작하는 제1 스테이지(1331)와, 측정 대상물(200)의 타단부를 지지 및 고정하도록 동작하는 제2 스테이지(1332)를 포함할 수 있다.
도 6에 도시된 영상 데이터 획득부(130)는 측정 대상물(200)의 영상 데이터를 획득할 수 있는 측정 장치들 중 하나의 실시예를 나타낸 것이므로, 영상 데이터 획득부(130)가 반드시 도 6에 나타낸 형태로 한정되는 것이 아님에 주의하여야 한다.
다시 도 1을 참조하면, 측정 시스템(100)은 이송부(140)를 더 포함할 수 있다. 이송부(140)는 측정 대상물(200)을 냉각부(110), 습공기 공급부(120) 및 영상 데이터 획득부(130)로 이송할 수 있다. 일실시예에 있어서, 이송부(140)는 측정 대상물(200)을 일방향으로 이송할 수 있다. 이송부(140)는 컨베이어 등을 포함하지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
측정 시스템(100)은 온습도 감지부(190)를 더 포함할 수 있다. 온습도 감지부(190)는 온도 및 습도 중 적어도 하나를 감지하여 감지 정보를 출력할 수 있다. 온습도 감지부(190)는 측정 시스템(100)의 소정 위치에 설치되어, 측정 시스템(100) 주위 공기의 온도 및 습도 중 적어도 하나를 감지하고, 감지된 온도 및 습도 중 적어도 하나를 포함하는 감지 정보(이하, "온습도 감지 정보"라 함)를 출력할 수 있다. 일례로, 온습도 감지부(190)는 온도 감지부 및 습도 감지부를 포함할 수 있다. 온도 감지부는 온도 센서 등을 포함하지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 습도 감지부는 습도 센서 등을 포함하지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 다른 예로, 온습도 감지부(190)는 온도 감지부와 습도 감지부를 별도로 포함하지 않고 온도 및 습도를 감지할 수 있는 온습도 센서를 포함할 수도 있다.
측정 시스템(100)은 제어부(160)를 더 포함할 수 있다. 제어부(160)는 측정 시스템(100)의 각 구성요소, 즉 냉각부(110), 습공기 공급부(120), 영상 데이터 획득부(130), 이송부(140), 온습도 감지부(190) 각각의 동작을 제어할 수 있다.
일례로서, 제어부(160)는 온습도 감지부(190)로부터 제공되는 온습도 감지 정보에 기초하여 냉각부(110)의 제1 온도 및 습공기 공급부(120)의 제2 온도를 조절할 수 있다. 즉, 제어부(160)는 온습도 감지 정보에 기초하여 제1 온도 및 제2 온도를 설정하고, 설정된 제1 온도에 기초하여 냉각부(110)에서 냉각되는 측정 대상물(200)의 온도를 조절하고, 설정된 제2 온도에 기초하여 습공기 공급부(120)에서 공급되는 습공기의 온도를 조절할 수 있다. 또한, 제어부(160)는 가습부(122)의 가습량을 제어하여 습공기 공급부(120)에서 공급되는 습공기의 습도를 조절할 수도 있다.
일례로서, 제어부(160)는 습공기의 온도 및 습도 정보를 습공기선도에 적용하여 결로가 발생될 수 있는 이슬점 온도를 산출할 수 있다. 예를 들어, 제어부(160)는 습공기 감지부(125)가 감지한 습공기의 온도 및 습도 정보를 습공기선도에 적용하여 이슬점 온도를 산출하고, 제1 온도를 이슬점 온도 이하로 설정할 수 있다. 예를 들어, 습공기의 온도가 20℃, 습도가 50%인 경우, 제어부(160)는 이를 습공기선도에 적용하여, 이슬점 온도 9℃를 산출할 수 있다. 이에 따라, 제어부(160)는 제1 온도를 9℃ 이하로 설정할 수 있다. 또 다른 예로, 제어부(160)는 온습도 감지부(190)에 의해 감지된 측정 시스템(100) 주위 공기의 온도 및 습도를 습공기선도에 적용하여 주위 공기의 이슬점 온도를 산출하고, 제1 온도를 주위 공기의 이슬점 온도 이하로 설정할 수도 있다. 제어부(160)는 냉각부(110)가 측정 대상물(200)을 냉각시키는 온도를 제1 온도 이하로 조절하기 위한 제어신호를 출력할 수 있다. 이에 따라, 냉각부(110)는 제어부(160)로부터의 제어신호에 따라 측정 대상물(200)을 제1 온도 이하로 냉각시킬 수 있다.
또한, 제어부(160)는 온습도 감지부(190)로부터 제공되는 주위 공기의 온습도 감지 정보에 기초하여 냉각부(110)의 제1 온도를 조절할 수 있다. 예를 들어, 제어부(160)는 주위 공기의 온습도 감지 정보에 따라 측정 대상물(200)의 표면에 형성된 수분 입자가 영상 데이터 획득시까지 유지되기 어렵다고 판정되는 경우, 제1 온도를 더 낮은 값으로 설정할 수 있다. 예를 들어, 측정 대상물(200)의 영상 데이터가 획득될 때까지 측정 대상물(200)의 냉각이 충분히 유지되지 않아 습공기선도에 따라 측정 대상물(200) 표면 주변의 공기가 수증기 불포화 상태가 되는 경우에는, 측정 대상물(200) 표면에 형성된 수분입자가 증발될 수 있다. 따라서, 측정 대상물(200)의 영상 데이터가 획득될 때까지 측정 대상물(200) 표면 주변의 공기가 습공기선도에 따라 수증기 포화 상태 또는 수증기 과포화 상태를 유지하도록, 제어부(160)가 제1 온도를 충분히 낮게 설정하면, 수분 입자가 측정 대상물의 표면에 충분히 오랫동안 유지될 수 있다.
다른 예로, 제어부(160)는 온도 감지 정보, 즉 온도 감지부에 의해 감지된 온도에 기초하여 제2 온도를 설정할 수 있다. 예를 들어, 제어부(160)는 제2 온도를 온도 감지부에 의해 감지된 온도 이상으로 설정할 수 있다. 예를 들어, 온도 감지부에 의해 감지된, 측정 시스템(100) 주위 공기의 온도가 20℃인 경우, 제어부(160)는 제2 온도를 온도 감지부에 의해 감지된 온도(20℃) 이상으로 설정할 수 있다. 다른 예로, 제어부(160)는 제2 온도를 온도 감지부에 의해 감지된 온도보다 소정 온도 높게 설정할 수 있다. 일례로서, 온도 감지부에 의해 감지된 온도가 20℃인 경우, 제어부(160)는 제2 온도를 온도 감지부에 의해 감지된 온도(20℃)보다 소정 온도(예를 들어, 10℃) 높은 온도(30℃)로 설정할 수 있다. 제어부(160)는 습공기 공급부(120)의 온풍의 온도를 제2 온도 이상으로 조절하기 위한 제어신호를 출력할 수 있다. 이에 따라, 습공기 공급부(120)의 온풍 형성부(121)는 제어부(160)로부터의 제어신호에 따라 제2 온도(예를 들어, 30℃) 이상의 소정 온도의 온풍을 형성할 수 있다.
또한, 위에서 설명한 바와 같이 제어부(160)는 습공기의 온도 및 습도 정보를 습공기선도에 적용하여 결로가 발생될 수 있는 온도, 즉 이슬점 온도를 산출할 수 있다. 일례로, 제어부(160)는 온도 감지부에 의해 감지된, 측정 시스템(100) 주위 공기의 온도, 제2 온도 및 이슬점 온도에 기초하여 제1 온도를 설정할 수 있다. 예를 들어, 제어부(160)는 제2 온도와 온도 감지부에 의해 감지된 온도 간의 온도차를 산출하고, 제1 온도를 이슬점 온도에 온도차를 더한 온도로 설정할 수 있다. 일례로서, 제어부(160)는 제2 온도(30℃)와 온도 감지부에 의해 감지된 온도(20℃)간의 온도차(10℃)를 산출하고, 제1 온도를 이슬점 온도(9℃)와 온도차(10℃)를 더한 온도(19℃)로 설정할 수 있다. 제어부(160)는 냉각부(110)가 측정 대상물(200)을 냉각시키는 온도를 제1 온도 이하로 조절하기 위한 제어신호를 출력할 수 있다. 이에 따라, 냉각부(110)는 제어부(160)로부터의 제어신호에 따라 측정 대상물(200)을 제1 온도 이하로 냉각시킬 수 있다.
또한, 제어부(160)는 제1 온도 및 제2 온도에 기초하여 습공기의 습도를 결정할 수 있다. 예를 들어, 제어부(160)는 제1 온도 및 제2 온도를 습공기선도에 적용하여, 결로가 발생될 수 있는 습공기의 습도, 즉 측정 대상물(200)의 표면에 수분 입자가 발생할 수 있는 습도(이하, "결로 발생 습도"라 함)를 산출할 수 있다. 예를 들면, 제1 온도가 9℃이고 제2 온도가 20℃인 경우, 결로 발생 습도는 50%이다. 제어부(160)는 습공기 감지부(125)로부터 제공되는 습공기 감지 정보(즉, 습공기의 습도)와 결로 발생 습도를 비교하여, 습공기의 습도가 결로 발생 습도 이상인지 여부를 결정할 수 있다. 습공기의 습도가 결로 발생 습도 이하이면 제어부(160)는 가습부(1264)를 더 가동시킬 수 있다.
일례로, 제어부(160)는 본 실시예의 전술한 하나 이상의 기능들을 수행하기 위해 저장 매체(예를 들어, 비일시적 컴퓨터 판독 가능 저장 매체)에 기록된 컴퓨터 실행 가능 명령어들을 판독하고 실행하는 시스템 또는 장치의 컴퓨터에 의해 실현될 수 있고, 전술한 실시예(들) 중 하나 이상의 기능들을 수행하기 위해 저장 매체로부터 컴퓨터 실행 가능 명령어들을 판독하여 실행함으로써, 시스템 또는 장치의 컴퓨터에 의해 수행되는 방법에 의해 실현될 수 있다. 컴퓨터는 중앙 프로세싱 유닛(CPU), 마이크로 프로세싱 유닛(MPU), 또는 다른 회로 중 하나 이상을 포함할 수 있고, 별개의 컴퓨터들 또는 별개의 컴퓨터 프로세서들의 네트워크를 포함할 수 있다. 컴퓨터 실행가능 명령어들은 예를 들어, 네트워크 또는 저장 매체로부터 컴퓨터에 제공될 수 있다. 저장 매체는 예를 들어, 하드 디스크, 랜덤-액세스 메모리(RAM), 판독 전용 메모리(ROM), 분산 컴퓨팅 시스템들의 스토리지, 광 디스크(컴팩트 디스크(CD), 디지털 다기능 디스크(DVD), 또는 블루-레이 디스크(BD)), 플래시 메모리 디바이스, 및 메모리 카드 등 중 하나 이상을 포함할 수 있다.
선택적으로, 냉각부(110) 및 습공기 공급부(120)는 측정 대상물(200)의 표면에 수분 입자를 생성하기 위한 습공기 형성 장치(300)로서 구성될 수 있다. 한편, 이송부(140), 제어부(160) 및 온습도 감지부(190) 중 적어도 하나가 습공기 형성 장치(300)에 포함될 수도 있다.
또한 선택적으로, 측정 시스템(100)은 이송부(140)에 의해 이송되는 측정 대상물(200)의 위치를 감지하고, 감지된 위치를 포함하는 위치 정보를 출력하는 측정 대상물 감지부를 더 포함할 수 있다. 측정 대상물 감지부는 위치 센서 등을 포함할 수 있지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
또한 선택적으로, 측정 시스템(100)은 습공기 공급부(120)로부터 분사되는 습공기를 배기하는 습공기 배기구를 더 포함할 수도 있다. 이와 같이, 측정 시스템(100)은 습공기 배기구를 포함함으로써, 습공기 공급부(120)로부터 분사되는 습공기에 의해 측정 시스템(100)에 고장 등이 발생할 가능성을 감소시킬 수 있다.
또한, 습공기를 분사한 후에 측정 대상물(200)의 영상 데이터를 획득하는 경우, 측정 대상물(200)의 표면에 김서림이 너무 많이 발생(즉, 수분 입자가 너무 많이 응결)하거나, 또는 김서림이 너무 적게 발생(즉, 수분 입자가 너무 적게 응결)하여, 획득된 영상 데이터만으로는 정확한 2차원 또는 3차원 형상을 도출할 수 없는 경우가 발생할 수도 있다. 선택적으로, 제어부(160)는 측정 시스템(100)의 설정 전에 온풍 형성부(121)에서 분사되는 온풍의 풍량을 조절하여 습공기가 외부 공기와 섞이는 정도를 조절할 수도 있으며, 최적의 풍량을 설정해 둘 수 있다. 즉, 제어부(160)는 온습도 감지부를 통하여 감지된 온습도 감지 정보에 기초하여 온풍의 풍량을 제어하기 위한 제어신호를 형성할 수 있다. 따라서, 온풍 형성부(121)는 제어부(160)로부터의 제어신호에 따라 온풍의 풍량을 조절할 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 측정 시스템을 개략적으로 나타낸 사시도이다. 본 실시예에서는 위에서 설명한 바와 유사한 구성요소에 대해 유사한 도면부호를 부여하고 그 상세한 설명을 생략한다.
도 7을 참조하면, 측정 시스템(700)은 냉각대(750)를 포함할 수 있다. 냉각대(750)는 측정 대상물(200)의 표면에 형성된 수분 입자가 유지되도록, 습공기 공급부(120)로부터 이송부(140)에 의해 이송된 측정 대상물(200)을 미리 정해진 온도(제3 온도) 이하로 냉각시킬 수 있다. 예를 들어, 제3 온도는 냉각부(110)가 측정 대상물(200)을 냉각시키는 제1 온도일 수 있다. 즉, 냉각대(750)는 측정 대상물(200)의 온도가 제1 온도 이하로 유지되도록 측정 대상물(200)을 냉각시킬 수 있다. 다른 예로, 제3 온도는 측정 대상물(200) 표면 주변의 공기가 수증기 포화 상태 또는 수증기 과포화 상태로 되는 온도로 설정될 수도 있다. 이는 온습도 감지부(790)로부터 제공된 주변 공기의 온/습도를 습공기선도에 적용함으로써 설정될 수 있다. 측정 대상물(200) 표면 주변의 공기를 수증기 포화 상태 또는 수증기 과포화 상태로 하면, 측정 대상물(200) 표면에 형성된 수분 입자가 증발하지 않으므로, 수분 입자가 유지될 수 있다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각대(750)를 개략적으로 보이는 단면도이고, 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각대(750)의 상면도이다. 도 8을 참조하면, 냉각대(750)는 냉각 소자(751)를 포함할 수 있다. 냉각 소자(751)는 측정 대상물(200)을 제3 온도 이하로 냉각시킨다. 예를 들면, 냉각 소자(751)는 전류에 의해 열의 흡수가 일어나는 펠티에 효과를 이용하여 냉각하는 펠티에 소자를 포함할 수 있다. 그러나, 냉각 소자(751)는 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
냉각대(750)는 상부판(752)을 더 포함할 수 있다. 상부판(752)은 측정 대상물(200)을 흡착 유지시킬 수 있다. 상부판(752)은 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 공기의 흡입에 의해 측정 대상물(200)을 흡착 유지하기 위한 복수의 천공(756) 및 흡입관(754)을 포함할 수 있다. 또한, 상부판(752)은 냉각 소자(751) 상에 위치하여 측정 대상물(200)의 열을 냉각 소자(751)에 전달할 수 있다. 즉, 측정 대상물(200)의 열이 상부판(752)을 통해 냉각 소자(751)에 전달되어 냉각 소자(751)가 열을 흡수함으로써, 측정 대상물(200)이 냉각될 수 있다. 예를 들면, 상부판(752)은 열전달율이 높은 재료로 이루어질 수 있다. 일례로서, 상부판(752)은 알루미늄으로 이루어질 수 있지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
냉각대(750)는 하부판(753)을 더 포함할 수 있다. 하부판(753)은 냉각 소자(751)의 아래에 위치하여, 냉각 소자(751)에서 발생하는 열을 방산할 수 있다. 하부판(753)은 흡입관(754)에 연결되고 공기 흡입을 위한 흡입관(755)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 하부판(753)은 열전달율이 높은 재료로 이루어질 수 있다. 일례로서, 하부판(753)은 알루미늄으로 이루어질 수 있지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
다시 도 7을 참조하면, 측정 시스템(700)은 온습도 감지부(790)를 더 포함할 수 있다. 온습도 감지부(790)는 온도 및 습도 중 적어도 하나를 감지하여 감지 정보를 출력한다. 일례로서, 온습도 감지부(790)는 측정 시스템(700)의 소정 위치에 설치되는 온도 감지부 및 습도 감지부를 포함할 수 있다.
예를 들면, 온도 감지부는 측정 시스템(700) 주위의 온도를 감지하고, 감지된 온도를 포함하는 제1 온도 감지 정보를 출력하도록 동작하는 제1 온도 감지부와, 냉각대(750)(즉, 냉각대(750)의 상부판(752))에 설치되어 냉각대(750)의 온도를 감지하고, 감지된 온도를 포함하는 제2 온도 감지 정보를 출력하도록 동작하는 제2 온도 감지부를 포함할 수 있다.
측정 시스템(700)은 제어부(760)를 더 포함할 수 있다. 제어부(760)는 측정 시스템(700)의 각 구성요소, 즉 냉각부(110), 습공기 공급부(120), 영상 데이터 획득부(130), 이송부(140), 냉각대(750) 및 온습도 감지부(790) 각각의 동작을 제어할 수 있다.
일례로서, 제어부(760)는 온습도 감지부(790)로부터 제공되는 감지 정보에 기초하여 냉각부(110)의 제1 온도, 습공기 공급부(120)의 제2 온도 및 냉각대(750)의 제3 온도를 조절할 수 있다. 즉, 제어부(760)는 제1 온도 감지부로부터 제공되는 제1 온도 감지 정보 및 습도 감지부로부터 제공되는 습도 감지 정보에 기초하여 제1 온도 및 제2 온도를 설정하고, 설정된 제1 온도에 기초하여 냉각부(110)의 제1 온도 및 냉각대(750)의 제3 온도를 조절하고, 설정된 제2 온도에 기초하여 습공기 공급부(120)에서 공급되는 습공기의 온도를 조절할 수 있다. 또한, 제어부(760)는 가습부(122)의 가습량을 제어하여 습공기 공급부(120)에서 공급되는 습공기의 습도를 조절할 수도 있다.
일례로서, 제어부(760)는 습공기의 온도 및 습도 정보를 습공기선도에 적용하여 결로가 발생될 수 있는 이슬점 온도를 산출할 수 있다. 예를 들어, 제어부(760)는 습공기 감지부(125)가 감지한 습공기의 온도 및 습도 정보를 습공기선도에 적용하여 이슬점 온도를 산출하고, 제1 온도를 이슬점 온도 이하로 설정할 수 있다. 또 다른 예로, 제어부(760)는 제1 온도 감지부에 의해 감지된 온도 및 습도 감지부에 의해 감지된 습도를 습공기선도에 적용하여 이슬점 온도를 산출하고, 제1 온도를 주위 공기의 이슬점 온도 이하로 설정할 수도 있다. 제어부(760)는 냉각부(110)가 측정 대상물(200)을 냉각시키는 온도를 제1 온도 이하로 조절하기 위한 제어신호를 출력할 수 있다. 이에 따라, 냉각부(110)는 제어부(760)로부터의 제6 제어신호에 따라 측정 대상물(200)을 제1 온도 이하로 냉각시킬 수 있다.
또한, 제어부(760)는 제2 온도 감지부에 의해 감지된 온도(즉, 제2 온도 감지 정보)와 제3 온도를 비교하여, 제2 온도 감지부에 의해 감지된 온도가 제3 온도보다 높으면, 냉각대(750)의 온도를 제3 온도 이하로 조절하기 위한 제어신호를 출력할 수 있다. 이에 따라, 냉각대(750)는 제어부(760)로부터의 제어신호에 따라 측정 대상물(200)을 제3 온도 이하로 냉각시킬 수 있다.
다른 예로, 제어부(760)는 제1 온도 감지 정보에 기초하여 제2 온도를 설정할 수 있다. 예를 들어, 제어부(760)는 제2 온도를 제1 온도 감지부에 의해 감지된 온도 이상으로 설정할 수 있다. 다른 예로, 제어부(760)는 제2 온도를 제1 온도 감지부에 의해 감지된 온도보다 소정 온도 높은 온도로 설정할 수 있다. 제어부(760)는 습공기 공급부(120)의 온풍의 온도를 제2 온도 이상으로 조절하기 위한 제어신호를 출력할 수 있다. 이에 따라, 습공기 공급부(120)의 온풍 형성부(121)는 제어부(760)로부터의 제어신호에 따라 제2 온도 이상의 온도를 갖는 온풍을 형성할 수 있다.
또한, 제어부(760)는 제1 온도 감지 정보 및 습도 감지 정보를 습공기선도에 적용하여 이슬점 온도를 산출할 수 있다. 제어부(760)는 제1 온도 감지부에 의해 감지된 측정 시스템(700) 주위의 온도, 제2 온도 및 이슬점 온도에 기초하여 제1 온도를 설정할 수 있다. 예를 들어, 제어부(760)는 제1 온도 감지부에 의해 감지된 온도와 제2 온도 간의 온도차를 산출하고, 제1 온도를 이슬점 온도에 온도차를 더한 온도로 설정할 수 있다. 제어부(760)는 냉각부(110)가 측정 대상물(200)을 냉각시키는 온도를 제1 온도 이하로 조절하기 위한 제어신호를 출력할 수 있다. 따라서, 냉각부(110)는 제어부(760)로부터의 제어신호에 따라 측정 대상물(200)을 제1 온도 이하로 냉각시킬 수 있다.
또한, 제어부(760)는 냉각대(750)가 측정 대상물(200)을 냉각시키는 미리 정해진 온도(제3 온도)를 측정 대상물(200) 표면 주변의 공기가 수증기 포화 상태 또는 수증기 과포화 상태로 되는 온도로 설정할 수 있다. 이는 온습도 감지부(790)로부터 제공된 주변 공기의 온/습도를 습공기선도에 적용함으로써 산출될 수 있다. 측정 대상물(200) 표면 주변의 공기를 수증기 포화 상태 또는 수증기 과포화 상태로 하면, 측정 대상물(200) 표면에 형성된 수분 입자가 증발하지 않으므로, 수분 입자가 유지될 수 있다. 또한, 제어부(760)는 제2 온도 감지부에 의해 감지된 냉각대(750)의 온도(제2 온도 감지 정보)와 제3 온도를 비교하여, 제2 온도 감지부에 의해 감지된 냉각대(750)의 온도가 제3 온도보다 높으면, 냉각대(750)의 온도를 제3 온도 이하로 조절하기 위한 제어신호를 출력할 수 있다. 이에 따라, 냉각대(750)는 제어부(760)로부터의 제어신호에 따라 측정 대상물(200)을 제3 온도 이하로 냉각시킬 수 있다. 이러한 방식으로, 측정 대상물(200) 표면 주변의 공기를 습공기선도에 따라 수증기 포화 상태 또는 수증기 과포화 상태로 하면, 측정 대상물(200) 표면에 형성된 수분 입자가 증발하지 않으므로, 수분 입자가 유지될 수 있다.
일례로, 제어부(760)는 본 실시예의 전술한 하나 이상의 기능들을 수행하기 위해 저장 매체(예를 들어, 비일시적 컴퓨터 판독 가능 저장 매체)에 기록된 컴퓨터 실행 가능 명령어들을 판독하고 실행하는 시스템 또는 장치의 컴퓨터에 의해 실현될 수 있고, 전술한 실시예(들) 중 하나 이상의 기능들을 수행하기 위해 저장 매체로부터 컴퓨터 실행 가능 명령어들을 판독하여 실행함으로써, 시스템 또는 장치의 컴퓨터에 의해 수행되는 방법에 의해 실현될 수 있다. 컴퓨터는 중앙 프로세싱 유닛(CPU), 마이크로 프로세싱 유닛(MPU), 또는 다른 회로 중 하나 이상을 포함할 수 있고, 별개의 컴퓨터들 또는 별개의 컴퓨터 프로세서들의 네트워크를 포함할 수 있다. 컴퓨터 실행가능 명령어들은 예를 들어, 네트워크 또는 저장 매체로부터 컴퓨터에 제공될 수 있다. 저장 매체는 예를 들어, 하드 디스크, 랜덤-액세스 메모리(RAM), 판독 전용 메모리(ROM), 분산 컴퓨팅 시스템들의 스토리지, 광 디스크(컴팩트 디스크(CD), 디지털 다기능 디스크(DVD), 또는 블루-레이 디스크(BD)), 플래시 메모리 디바이스, 및 메모리 카드 등 중 하나 이상을 포함할 수 있다.
선택적으로, 냉각부(110), 습공기 공급부(120) 및 냉각대(750)는 측정 대상물(200)의 표면에 수분 입자를 형성하기 위한 습공기 형성 장치(800)로서 구성될 수 있다. 한편, 이송부(140), 제어부(760) 및 온습도 감지부(790) 중 적어도 하나가 습공기 형성 장치(800)에 포함될 수도 있다.
또한 선택적으로, 측정 시스템(700)은 이송부(140)에 의해 이송되는 측정 대상물(200)의 위치를 감지하고, 감지된 위치를 포함하는 위치 정보를 출력하는 측정 대상물 감지부를 더 포함할 수 있다. 측정 대상물 감지부는 위치 센서 등을 포함할 수 있지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
또한 선택적으로, 측정 시스템(700)은 습공기 공급부(120)로부터 분사되는 습공기를 배기하는 습공기 배기구를 더 포함할 수도 있다. 이와 같이, 측정 시스템(700)은 습공기 배기구를 포함함으로써, 습공기 공급부(120)로부터 분사되는 습공기에 의해 측정 시스템(700)에 고장 등이 발생할 가능성을 감소시킬 수 있다.
또한 선택적으로, 측정 시스템(700)은 냉각대(750)의 흡입관(755)에 연결되어, 측정 대상물(200)을 냉각대(750)의 상부판(752)에 흡착 유지시키도록 공기를 흡입하도록 동작하는 석션부를 더 포함할 수 있다.
또한, 습공기를 분사한 후에 측정 대상물(200)의 영상 데이터를 획득하는 경우, 측정 대상물(200)의 표면에 김서림이 너무 많이 발생(즉, 수분 입자가 너무 많이 응결)하거나, 또는 김서림이 너무 적게 발생(즉, 수분 입자가 너무 적게 응결)하여, 획득된 영상 데이터만으로는 정확한 2차원 또는 3차원 형상을 도출할 수 없는 경우가 발생할 수도 있다. 선택적으로, 제어부(760)는 측정 시스템(700)의 설정 전에 온풍 형성부(121)에서 분사되는 온풍의 풍량을 조절하여 습공기가 외부 공기와 섞이는 정도를 조절할 수도 있으며, 최적의 풍량을 설정해 둘 수 있다. 즉, 제어부(760)는 온습도 감지부를 통하여 감지된 온습도 감지 정보에 기초하여 온풍의 세기를 제어하기 위한 제어신호를 형성할 수 있다. 따라서, 온풍 형성부(121)는 제어부(760)로부터의 제어신호에 따라 온풍의 풍량을 조절할 수 있다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 측정 시스템을 개략적으로 나타낸 사시도이다. 본 실시예에서는 위에서 설명한 바와 유사한 구성요소에 대해 유사한 도면부호를 부여하고 그 상세한 설명을 생략한다.
도 10을 참조하면, 본 실시예에 따른 측정 시스템(1000)은 냉각대(1050)를 포함할 수 있다. 냉각대(1050)는 측정 대상물(200)을 제3 온도 이하로 냉각 및 유지시킬 수 있다. 즉, 냉각대(1050)는 도 1의 냉각부(110) 및 도 7의 냉각대(750)의 기능을 수행하여, 측정 대상물(200)을 제3 온도 이하로 냉각시키고 냉각된 측정 대상물(200)을 제3 온도 이하로 유지시킬 수 있다. 즉, 측정 대상물(200) 표면 주변의 공기를 습공기선도에 따라 수증기 포화 상태 또는 수증기 과포화 상태로 함으로써, 측정 대상물(200) 표면에 수분 입자가 형성 및 유지될 수 있다. 본 실시예에서의 냉각대(1050)는 도 8에 도시된 냉각대(750)와 동일한 구성을 가지므로, 본 실시예에서 상세한 설명은 생략한다.
이와 같이, 본 실시예에서는 도 1의 냉각부(110) 대신에 냉각대(1050)를 이용하여 측정 대상물(200)을 냉각 및 유지함으로써, 측정 시스템(1000)을 단순화시키고 제작 비용을 절감시킬 수 있다.
측정 시스템(1000)은 온습도 감지부(1090)를 더 포함할 수 있다. 온습도 감지부(1090)는 측정 시스템(1000) 주위의 온도 및 습도를 감지하고, 냉각대(1050)의 온도를 감지할 수 있다. 본 실시예에서의 온습도 감지부(1090)는 도 7의 온습도 감지부(790)와 동일한 구성 및 기능을 가지므로 본 실시예에서 상세한 설명은 생략한다.
측정 시스템(1000)은 제어부(1060)를 더 포함할 수 있다. 본 실시예에서의 제어부(1060)는 냉각대(1050)의 온도만을 조절하는 점에서, 냉각부(110) 및 냉각대(750)의 온도를 조절하는 도 7의 제어부(760)와 상이하며, 그 외에는 도 7의 제어부(760)와 유사하므로 본 실시예에서 상세한 설명은 생략한다.
선택적으로, 냉각대(1050) 및 습공기 공급부(120)는 측정 대상물(200)의 표면에 수분 입자를 형성하기 위한 습공기 형성 장치(1200)로서 구성될 수 있다. 한편, 이송부(140), 제어부(1060) 및 온습도 감지부(1090) 중 적어도 하나가 습공기 형성 장치(1200)에 포함될 수도 있다.
또한 선택적으로, 측정 시스템(1000)은 이송부(140)에 의해 이송되는 측정 대상물(200)의 위치를 감지하고, 감지된 위치를 포함하는 위치 정보를 출력하는 측정 대상물 감지부를 더 포함할 수 있다. 측정 대상물 감지부는 위치 센서 등을 포함할 수 있지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
또한 선택적으로, 측정 시스템(1000)은 습공기 공급부(120)로부터 분사되는 습공기를 배기하도록 동작하는 습공기 배기구를 더 포함할 수도 있다. 이와 같이, 측정 시스템(1000)은 습공기 배기구를 포함함으로써, 습공기 공급부(120)로부터 분사되는 습공기에 의해 측정 시스템(1000)에 고장 등이 발생할 가능성을 감소시킬 수 있다.
또한 선택적으로, 측정 시스템(1000)은 냉각대(1050)의 흡입관에 연결되어, 측정 대상물(200)을 냉각대(1050)의 상부판에 흡착 유지시키도록 공기를 흡입하도록 동작하는 석션부를 더 포함할 수 있다.
또한, 습공기를 분사한 후에 측정 대상물(200)의 영상 데이터를 획득하는 경우, 측정 대상물(200)의 표면에 김서림이 너무 많이 발생(즉, 수분 입자가 너무 많이 응결)하거나, 또는 김서림이 너무 적게 발생(즉, 수분 입자가 너무 적게 응결)하여, 획득된 영상 데이터만으로는 정확한 2차원 또는 3차원 형상을 도출할 수 없는 경우가 발생할 수도 있다. 선택적으로, 제어부(1060)는 측정 시스템(1000)의 설정 전에 온풍 형성부(121)에서 분사되는 온풍의 풍량을 조절하여 습공기가 외부 공기와 섞이는 정도를 조절할 수도 있으며, 최적의 풍량을 설정해 둘 수 있다. 즉, 제어부(1060)는 온습도 감지부를 통하여 감지된 온습도 감지 정보에 기초하여 온풍의 풍량을 제어하기 위한 제어신호를 형성할 수 있다. 따라서, 온풍 형성부(121)는 제어부(1060)로부터의 제어신호에 따라 온풍의 풍량을 조절할 수 있다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 측정 시스템(1100)을 개략적으로 나타낸 사시도이다. 도 11을 참조하면, 측정 시스템(1100)은 냉각대(1150-1, 1150-2)를 포함할 수 있다. 본 실시예에서의 냉각대(1150-1, 1150-2)는 도 7의 냉각대(750)와 동일한 구성 및 기능을 가지므로 본 실시예서 상세한 설명은 생략한다. 또한, 본 실시예에서는 측정 시스템(1100)이 2개의 냉각대(1150-1, 1150-2)를 포함하는 것으로 설명하였지만, 반드시 이에 한정되지 않고 3개 이상의 냉각대를 포함할 수도 있다. 이와 같이, 본 실시예에서도 도 1의 냉각부(110) 대신에 냉각대(1150-1, 1150-2)를 이용하여 측정 대상물(200)을 냉각함으로써, 측정 시스템(1100)을 단순화시키고 제작 비용을 절감시킬 수 있다.
측정 시스템(1100)은 습공기 공급부(1120-1, 1120-2)를 더 포함한다. 본 실시예에서의 습공기 공급부(1120-1, 1120-2)는 도 1의 습공기 공급부(120)와 동일한 구성 및 기능을 가지므로 본 실시예에서 상세한 설명은 생략한다. 또한, 본 실시예에서는 측정 시스템(1100)이 2개의 습공기 공급부(1120-1, 1120-2)를 포함하는 것으로 설명하였지만, 반드시 이에 한정되지 않고 3개 이상의 습공기 공급부를 포함할 수도 있다.
측정 시스템(1100)은 영상 데이터 획득부(1130)를 더 포함한다. 본 실시예에 있어서, 영상 데이터 획득부(1130)는 소정 방향으로 이동시키기 위한 이동기구를 더 포함할 수 있다. 따라서, 영상 데이터 획득부(1130)는 이동기구에 의해 냉각대(1150-1) 및 냉각대(1150-2)측으로 이동하여, 냉각대(1150-1) 및 냉각대(1150-2) 위에 각각 적재된 측정 대상물(200)의 영상 데이터를 획득할 수 있다. 본 실시예에서는 측정 시스템(1100)이 1개의 영상 데이터 획득부(1130)를 포함하는 것으로 설명하였지만, 반드시 이에 한정되지 않고 2개 이상의 영상 데이터 획득부를 포함할 수도 있다.
측정 시스템(1100)은 이송부(1140-1, 1140-2)를 더 포함할 수 있다. 본 실시예에서의 이송부(1140-1, 1140-2)는 도 10의 이송부(140)와 동일한 구성 및 기능을 가지므로 본 실시예에서 상세한 설명은 생략한다. 또한, 본 실시예에서는 측정 시스템(1100)이 2개의 이송부(1140-1, 1140-2)를 포함하는 것으로 설명하였지만, 반드시 이에 한정되지 않고 3개 이상의 이송부를 포함할 수도 있다.
측정 시스템(1100)은 온습도 감지부(1190)를 더 포함할 수 있다. 본 실시예에서의 온습도 감지부(1190)는 냉각대(1150-1, 1150-2) 각각에 설치되어 냉각대(1150-1, 1150-2) 각각의 온도를 감지하는 점에서 도 10의 온습도 감지부(1090)와 상이하고, 그 외에는 도 10의 온습도 감지부(1090)와 유사하므로 본 실시예에서 상세한 설명은 생략한다.
측정 시스템(1100)은 제어부(1160)를 더 포함한다. 본 실시예에서의 제어부(1160)는 냉각대(1150-1, 1150-2) 및 습공기 공급부(1120-1, 1120-2) 각각의 온도를 조절하는 점에서 도 10의 제어부(1060)와 상이하며, 그 외에는 도 10의 제어부(1060)와 유사하므로 본 실시예에서 상세한 설명은 생략한다.
선택적으로, 냉각대(1150-1, 1150-2) 및 습공기 공급부(1120-1, 1120-2)는 측정 대상물(200)의 표면에 수분 입자를 형성하는 습공기 형성 장치(1300)로서 구성될 수 있다. 한편, 이송부(1140-1, 1140-2), 제어부(1160) 및 온습도 감지부(1190) 중 적어도 하나가 습공기 형성 장치(1300)에 포함될 수도 있다.
또한 선택적으로, 측정 시스템(1100)은 이송부(1140-1, 1140-2) 각각에 의해 이송되는 측정 대상물(200) 의 위치를 감지하고, 감지된 위치를 포함하는 위치 정보를 출력하는 측정 대상물 감지부를 더 포함할 수 있다. 측정 대상물 감지부는 위치 센서 등을 포함할 수 있지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
또한 선택적으로, 측정 시스템(1100)은 습공기 공급부(1120-1, 1120-2) 각각으로부터 분사되는 습공기를 배기하도록 동작하는 습공기 배기구를 더 포함할 수도 있다. 이와 같이, 측정 시스템(1100)은 습공기 배기구를 포함함으로써, 습공기 공급부(1120-1, 1120-2) 각각으로부터 분사되는 습공기에 의해 측정 시스템(1100)에 고장 등이 발생할 가능성을 감소시킬 수 있다.
또한 선택적으로, 측정 시스템(1100)은 냉각대(1150-1, 1150-2) 각각의 흡입관에 연결되어, 측정 대상물(200)을 냉각대(1150-1, 1150-2) 각각의 상부판에 흡착 유지시키도록 공기를 흡입하도록 동작하는 석션부를 더 포함할 수 있다.
또한 습공기를 분사한 후에 측정 대상물(200)의 영상 데이터를 획득하는 경우, 측정 대상물(200)의 표면에 김서림이 너무 많이 발생(즉, 수분 입자가 너무 많이 응결)하거나, 또는 김서림이 너무 적게 발생(즉, 수분 입자가 너무 적게 응결)하여, 획득된 영상 데이터만으로는 정확한 2차원 또는 3차원 형상을 도출할 수 없는 경우가 발생할 수도 있다. 선택적으로, 제어부(1160)는 측정 시스템(1100)의 설정 전에 습공기 공급부(1120-1, 1120-2) 각각의 온풍 형성부에서 분사되는 온풍의 풍량을 조절하여 습공기가 외부 공기와 섞이는 정도를 조절할 수도 있으며, 최적의 풍량을 설정해 둘 수 있다. 즉, 제어부(1160)는 온습도 감지부를 통하여 감지된 온습도 감지 정보에 기초하여 온풍의 세기를 제어하기 위한 제어신호를 형성한다. 따라서, 습공기 공급부(1120-1, 1120-2) 각각의 온풍 형성부는 제어부(1160)로부터의 제어신호에 따라 온풍의 풍량을 조절할 수 있다.
한편, 습공기 형성 장치를 이용하여 정확한 측정을 수행하기 위해서는 습공기의 온도, 습도 등을 일정하게 유지하는 것이 중요하다. 따라서, 습공기의 온도, 습도 등을 일정하게 유지하기 위해서 습공기 형성 장치를 연속적으로 구동하는 것이 일반적이다. 그러나 습공기 형성 장치에 포함되는 히터와 가습기는 그 수명이 사용 시간에 비례하여 단축한다. 따라서 습공기 형성 장치를 계속하여 구동하는 방식보다 습공기 형성 장치의 수명을 향상시키는 것이 바람직할 것이다.
또한, 측정(또는 검사) 이전의 공정에서 장애가 발생하여 소정의 시간 동안 측정(또는 검사) 공정을 수행할 수 없는 경우도 있을 수 있는데, 이런 경우에도 습공기 형성 장치를 연속적으로 구동하는 것은 비경제적일 수 있다. 그러나, 측정(또는 검사)이 중단된 경우에 습공기 형성 장치의 구동을 중지하였다가 구동을 재개하는 방식을 이용하면, 습공기가 원하는 온도와 습도에 도달할 때까지 측정(또는 검사)을 개시할 수 없으므로, 측정(또는 검사)가 지연될 수 있다.
본 실시예에 의하면 이상에서 언급한 문제들의 해결이 가능하다.
도 12는 본 실시예에 따른 측정 시스템(1400)을 또한 도시한다. 본 실시예에 따른 측정 시스템(1400)은 냉각부(110), 습공기 공급부(120), 영상 데이터 획득부(130), 이송부(140), 제어부(1460) 및 온습도 감지부(190) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 본 실시예에서의 냉각부(110), 영상 데이터 획득부(130), 이송부(140) 및 온습도 감지부(190)는 도 1의 냉각부(110), 영상 데이터 획득부(130), 이송부(140) 및 온습도 감지부(190)와 유사한 구성 및 기능을 가지므로 본 실시예에서 상세한 설명은 생략한다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 습공기 공급부(120)의 구성을 개략적으로 나타낸 구성도이다. 본 실시예에 따른 습공기 공급부(120)에서, 습공기 순환부(126)는 습공기를 형성하고, 습공기를 가열하며, 습공기를 순환시킨다. 본 실시예에 있어서, 습공기 순환부(126)는 풍로(1261), 순환 송풍부(1262), 히터(1263) 및 가습부(1264)를 포함한다. 또한, 습공기 순환부(126)는 혼합부(1265) 및 습공기 버퍼부(1266) 를 더 포함한다.
풍로(1261)는 습공기가 폐쇄적으로 순환되는 관으로, 순환 중에 가열과 가습이 이루어질 수 있다. 본 실시예에서 풍로는 풍로에서 폐쇄 순환하는 습공기를 가열하는 히터(1263), 습공기에 가습부(1264)에 의해 생성된 습기를 가하는 혼합부(1265), 습공기를 순환시키는 순환 송풍부(1262)를 연결시키는 폐쇄형 통로로 구현될 수 있다. 본 실시예에서 풍로(1261)는 히터(1263), 혼합부(1265) 등이 연결된 폐쇄 통로로 설명되었으나, 다른 실시예에서는, 풍로(1261) 내에 히터(1263), 혼합부(1265) 등의 구성을 위치시키는 것도 가능하다.
풍로(1261)는 원형 또는 다각형의 관 형상의 단면을 가질 수 있지만 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 풍로(1261)의 크기는 필요에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 또한, 풍로(1261)는 외부로부터 공기를 흡입하기 위한 흡입구가 설치되어 외기를 흡입할 수 있다. 그러나, 흡입구는 반드시 이에 한정되지 않고, 히터(1263), 가습부(1264), 순환 송풍부(1262), 혼합부(1265), 또는 습공기 버퍼부(1266) 중 적어도 하나에 설치될 수도 있고, 실시예에 따라서는 분사 송풍부(129)를 역방향으로 동작시켜 습공기 유도관(127)을 통해 외기를 신속히 흡입하는 것도 가능하다.
순환 송풍부(1262)는 습공기를 풍로(1261)를 통해 폐쇄적으로 순환시킬 수 있다. 일례로서, 순환 송풍부(1262)는 습공기를 풍로(1261)를 통해 연속적으로 순환시킬 수 있다. 습공기를 폐쇄적으로 순환시키지 않는다면, 습공기가 위치에 따라 냉각되어 온도, 습도 등이 달라질 수 있다. 본 실시예에서는 순환 송풍부(1262)를 통해 습공기를 순환시킴으로써, 다량의 습공기를 그 온도와 습도가 균일한 상태로 유지하는 것이 가능하다. 이에 따라, 풍로(1261) 내의 일 부분에서 습공기가 응결되는 것을 방지할 수 있다.
히터(1263)는 풍로(1261)를 순환하는 습공기를 미리 설정된 온도(이하 "제4 온도"라고 함) 이상으로 가열할 수 있다. 습공기선도에 따르면 포화 수증기량은 온도에 비례하기 때문에 본 실시예와 같이 습공기를 가열시키면 습공기가 보유한 절대 수증기량을 증가시킬 수 있다. 절대 수증기량이 증가하면, 측정 대상물(200)의 표면에 응결될 습기의 양을 늘릴 수 있다. 또한, 습공기를 가열하여 포화 수증기량이 증가하면 풍로(1261) 내에서의 습공기의 응결을 최소화 할 수도 있다. 통상적인 측정 시스템의 설치 환경 등을 고려하면, 제4 온도는 20℃ 내지 300℃ 범위이거나, 30℃ 내지 200℃ 범위이거나, 40℃ 내지 150℃ 범위일 수 있다. 히터(1263)는 습공기를 가열할 수 있는 장치라면 어떤 장치이어도 무방하다.
전술한 실시예에서는 히터(1263)가 습공기를 가열하는 것으로 설명하였지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 가습부(1264)가 충분한 수증기를 습공기에 가하거나 냉각부(110)에 의해 제1 온도 이하로 냉각된 측정 대상물(200)의 온도가 충분히 낮은 경우, 습공기가 가열되지 않더라도 습공기선도에 따라 측정 대상물(200) 표면 주변의 공기가 수증기 포화 상태 또는 수증기 과포화 상태로 될 수 있다. 이에 따라 측정 대상물(200) 표면에는 결로가 발생하여 수분입자가 생성될 수 있다.
가습부(1264)는 습기(또는 미세한 물방울)를 형성한다. 가습부(1264)는 초음파 가습기일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 습기를 형성할 수 있는 장치라면 어떤 장치라도 무방하다.
본 실시예에서, 습공기의 온도, 습도 등이 원하는 값에 도달하면, 측정 시스템(1400)의 제어부(1460)에 의해 히터(1263)와 가습부(1264)의 구동이 일시 정지될 수 있다. 제어부(1460)에 대하여는 아래에서 상세하게 설명하기로 한다. 제어부(1460)가 히터(1263)와 가습부(1264)를 일시 정지하더라도, 습공기는 순환 송풍부(1262)에 의해 풍로(1261)에서 폐쇄적으로 순환되므로, 풍로(1261) 내에서 그 온도와 습도가 균일한 상태로 유지될 수 있다. 이와 같이 제어부(1460)는 히터(1263)와 가습부(1264)의 구동을 일시적으로 정지하였다가 습공기의 온도 및 습도가 소정 기준에서 벗어나면 습공기 순환부(126)의 구동을 재시작할 수 있다. 이와 같은 방법으로, 본 실시예에서는 습공기 순환부(126)의 구동을 수시로 온/오프로 제어하면서, 습공기의 온도, 습도 등을 일정하게 유지할 수 있다. 이에 따라, 히터(1263)와 가습부(1264)의 구동 시간이 감소되고, 그 내구성이 향상될 수 있다. 또 다른 실시예에서는, 히터(1263)와 가습부(1264)를 주기적으로 온/오프하여 제어할 수도 있다.
이상과 같이, 습공기를 풍로(1261)를 통해 순환시킴으로써, 습공기의 온도, 습도 등을 일정하게 유지하면서도 히터(1263)와 가습부(1264)의 구동을 최소화할 수 있으며, 습공기의 응결 역시 방지할 수 있다.
전술한 실시예에서는 히터(1263)와 순환 송풍부(1262)를 별도로 구성하는 것으로 설명하였지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 히터(1263) 및 순환 송풍부(1262)는 일체로 형성된 열풍기로 구성될 수 있다.
혼합부(1265)는 히터(1263)에 의해 가열된 습공기와 가습부(1264)에 의해 형성된 습기를 혼합하여, 히터(1263)에 의해 가열된 습공기보다 높은 습도를 갖는 습공기를 형성할 수 있다. 도 14는 본 발명의 본 실시예에 따른 혼합부(1265)의 사시도이고, 도 15는 본 발명의 본 실시예에 따른 혼합부(1265)의 단면도이다. 도 14 및 도 15를 참조하면, 혼합부(1265)는 케이스(410)를 포함할 수 있다.
케이스(410)는 히터(1263)에 의해 가열된 습공기와 가습부(1264)에서 형성된 습기를 밀폐시킬 수 있다. 예를 들면, 케이스(410)는 풍로(1261)에 연결되고, 히터(1263)에 의해 가열된 습공기가 유입되는 제1 유입구(411); 가습부(1264)에 연결되어 가습부(1264)로부터의 습기가 유입되는 제2 유입구(412); 및 풍로(1261)에 연결되고, 습공기(즉, 히터(1263)에 의해 가열된 습공기와 가습부(1264)로부터의 습기가 혼합된 습공기)가 풍로(1261)로 토출되는 토출구(413)를 포함할 수 있다.
혼합부(1265)는 혼합관(420)을 더 포함할 수 있다. 혼합관(420)은 케이스(410)의 제1 유입구(411) 및 토출구(413)에 연결될 수 있다. 또한, 혼합관(420)은 복수의 관통구멍(421)을 가질 수 있다. 관통구멍(421)의 직경은 1㎜ 내지 10㎜일 수 있지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
본 실시예에 있어서, 히터(1263)에 의해 가열된 습공기는 케이스(410)의 제1 유입구(411)를 통해 혼합관(420)내에 유입되고, 가습부(1264)에 의해 형성된 습기는 케이스(410)의 제2 유입구(412)를 거쳐 관통구멍(421)을 통해 혼합관(420)내에 유입될 수 있다. 따라서, 히터(1263)에 의해 가열된 습공기와 가습부(1264)에 의해 형성된 습기가 혼합관(420)내에서 혼합되어, 히터(1263)에 의해 가열된 습공기보다 높은 습도를 갖는 습공기가 형성될 수 있다.
전술한 실시예에서는 습공기 순환부(126)가 혼합부(1265)를 포함하는 것으로 설명하였지만, 반드시 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 습공기 순환부(126)는 혼합부(1265)를 포함하지 않고, 히터(1263)에 의해 가열된 습공기와 가습부(1264)에 의해 형성된 습기가 풍로(1261)에서 혼합될 수도 있다.
다시 도 13을 참조하면, 습공기 버퍼부(1266)는 혼합부(1265)와 순환 송풍부(1262) 사이에 설치되고, 혼합부(1265)에 의해 형성된 습공기를 저장할 수 있다. 습공기 버퍼부(1266)의 형상 및 크기는 필요에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 이와 같이, 습공기 순환부(126)가 습공기 버퍼부(1266)를 포함하면, 분사 송풍부(129)에 의해 습공기가 분사되더라도 풍로(1261) 내의 습공기가 급격히 부족해지지 않는다. 이에 따라 습공기의 온도 및 습도가 급격히 떨어지는 것을 방지할 수 있고, 히터(1263) 및 가습부(1264)의 오프 시간(즉, 히터(1263) 및 가습부(1264)의 구동 시간 및 구동 정지 시간 사이의 시간)이 짧아지는 것을 방지할 수 있다.
전술한 실시예에서는 습공기 순환부(126)가 습공기 버퍼부(1266)를 포함하는 것으로 설명하였지만, 반드시 이에 한정되지 않고, 풍로(1261)가 충분한 양의 습공기를 유지할 수 있다면, 습공기 순환부(126)는 습공기 버퍼부(1266)를 포함하지 않을 수도 있다.
습공기 공급부(120)는 습공기 순환부(126)에 의해 가열 및 가습되어 폐쇄적으로 순환하는 습공기의 일부를 유도하여 측정 대상물(200)로 분사하기 위한 개폐부(128), 습공기 유도관(127) 및 분사 송풍부(129)를 포함할 수 있다.
개폐부(128)가 개방되면서 분사 송풍부(129)가 작동하면 풍로(1261)에서 순환 중인 습공기의 일부는 습공기 유도관(127)으로 유도되어 측정 대상물(200)로 분사될 수 있다. 개폐부(128)는 풍로(1261)와 습공기 유도관(127)의 결합부와 분사 송풍부(129)의 상단 사이에 설치될 수 있지만, 반드시 이에 한정되지 않고, 분사 송풍부(129)의 하단에 설치될 수도 있다.
본 실시예에 있어서, 개폐부(128)는 풍로(1261)를 순환하는 습공기의 온도 및 습도가 일정 조건에 도달할 때까지, 습공기 유도관(127)을 폐쇄하여, 측정 대상물(200)로의 습공기 공급을 차단할 수 있다. 또한, 습공기 공급부(120)는 풍로(1261)를 순환하는 습공기의 온도 및 습도가 일정 조건에 도달한 상태에서 측정 대상물(200)이 이송되어 오면, 개폐부(128)를 개방하여 풍로(1261)에서 폐쇄적으로 순환하던 습공기의 일부를 분사 송풍부(129)로 공급할 수 있다.
분사 송풍부(129)는 습공기를 측정 대상물(200)의 표면에 분사할 수 있다. 예를 들면, 분사 송풍부(129)는 풍로(1261)를 순환하는 습공기의 온도 및 습도가 일정 조건에 도달한 상태에서 측정 대상물(200)이 이송되어 오면, 개폐부(128)에 의해 개방된 풍로(1261)로부터 공급되는 습공기를 측정 대상물(200)의 표면에 분사할 수 있다. 분사 송풍부(129)는 팬을 포함하지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 이와 같이, 분사 송풍부(129)를 통해 습공기를 측정 대상물(200)의 표면에 분사함으로써, 매우 짧은 시간에 습공기를 측정 대상물(200)의 표면에 분사시킬 수 있다.
전술한 실시예에서는 분사 송풍부(129)를 통해 습공기를 측정 대상물(200)의 표면에 분사하는 것으로 설명하였지만, 반드시 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 습공기 공급부(120)는 분사 송풍부(129)를 포함하지 않고, 순환 송풍부(1262)를 통해 습공기를 측정 대상물(200)의 표면에 분사할 수도 있다.
습공기 감지부(125)는 풍로(1261)내의 소정 위치에 설치되어, 풍로(1261)를 순환하는 습공기의 온도 및 습도를 감지하고, 감지된 온도 및 습도를 포함하는 감지 정보(이하, "습공기 감지 정보"라 함)를 형성할 수 있다. 예를 들면, 습공기 감지부(125)는 온습도 센서를 포함하지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
측정 시스템(1400)은 제어부(1460)를 더 포함할 수 있다. 제어부(1460)는 측정 시스템(1400)의 각 구성요소, 즉 냉각부(110), 습공기 공급부(120), 영상 데이터 획득부(130), 이송부(140) 및 온습도 감지부(190) 각각의 동작을 제어할 수 있다.
일례로서, 제어부(1460)는 습공기 공급부(120)에서 습공기의 온도와 습도에 기초하여 냉각부(110)의 제1 온도를 설정할 수 있다. 예를 들어, 습공기의 온도가 20℃, 습도가 50%인 경우, 제어부(1460)는 이를 습공기선도에 적용하여, 결로가 발생할 수 있는 이슬점 온도 9℃를 산출할 수 있다. 이에 따라 제어부(1460)는 제1 온도를 9℃ 이하로 설정할 수 있다. 제어부(1460)는 냉각부(110)가 측정 대상물(200)을 냉각시키는 온도를 제1 온도 이하로 조절하기 위한 제어신호를 형성하여 출력하고, 이에 따라 냉각부(110)가 측정 대상물(200)을 제1 온도 이하로 냉각시킬 수 있다.
또한, 제어부(1460)는 온습도 감지부(190)로부터 제공되는 주위 공기의 온습도 감지 정보에 기초하여 냉각부(110)의 제1 온도를 조절할 수 있다. 예를 들어, 제어부(1460)는 주위 공기의 온습도 감지 정보에 따라 측정 대상물(200)의 표면에 형성된 수분 입자가 영상 데이터 획득시까지 유지되기 어렵다고 판정되는 경우, 제1 온도를 더 낮은 값으로 설정할 수 있다. 예를 들어, 측정 대상물(200)의 영상 데이터가 획득될 때까지 측정 대상물(200)의 냉각이 충분히 유지되지 않아 습공기선도에 따라 측정 대상물(200) 표면 주변의 공기가 수증기 불포화 상태가 되는 경우에는, 측정 대상물(200) 표면에 형성된 수분입자가 증발될 수 있다. 따라서, 측정 대상물(200)의 영상 데이터가 획득될 때까지 측정 대상물(200) 표면 주변의 공기가 습공기선도에 따라 수증기 포화 상태 또는 수증기 과포화 상태를 유지하도록, 제어부(1460)가 제1 온도를 충분히 낮게 설정하면, 수분 입자가 측정 대상물의 표면에 충분히 오랫 동안 유지될 수 있다.
또한, 제어부(1460)는 습공기 감지부(125)로부터 제공되는 습공기 감지 정보에 기초하여 습공기 공급부(120)의 습공기 형성 및 습공기 분사를 제어할 수 있다. 예를 들어, 제어부(1460)는 습공기 감지부(125)로부터 제공되는 습공기 감지 정보(즉, 습공기의 온도)와 미리 설정된 제4 온도를 비교하여, 습공기의 온도가 제4 온도 이상인지 여부를 결정한다. 습공기의 온도가 제4 온도 이하이면 제어부(1460)는 히터(1263)를 더 가동시킬 수 있다.
또한, 제어부(1460)는 제1 온도 및 제4 온도에 기초하여 습공기의 습도를 결정할 수 있다. 예를 들어, 제어부(1460)는 제1 온도 및 제4 온도를 습공기선도에 적용하여, 결로가 발생될 수 있는 습공기의 습도, 즉 측정 대상물(200)의 표면에 수분 입자가 발생할 수 있는 습도(이하, "결로 발생 습도"라 함)를 산출할 수 있다. 예를 들면, 제1 온도가 9℃이고 제4 온도가 20℃인 경우, 결로 발생 습도는 50%이다. 제어부(1460)는 습공기 감지부(125)로부터 제공되는 습공기 감지 정보(즉, 습공기의 습도)와 결로 발생 습도를 비교하여, 습공기의 습도가 결로 발생 습도 이상인지 여부를 결정한다. 습공기의 습도가 결로 발생 습도 이하이면 제어부(1460)는 가습부(1264)를 더 가동시킬 수 있다.
또한, 제어부(1460)는 습공기의 온도가 제4 온도 이상이고, 습공기의 습도가 결로 발생 습도 이상인 상태에서 측정 대상물(200)이 이송되어 온 경우, 습공기를 측정 대상물(200)에 분사할 수 있다. 일례로, 제어부(1460)는 개폐부(128)를 개방시키고, 분사 송풍부(129)를 구동시키며, 히터(1263) 및 가습부(1264)의 구동(습공기 가열 및 습기 형성)을 정지시키기 위한 제어신호를 형성하여 출력할 수 있다. 이에 따라, 개폐부(128)는 습공기 유도관(127)을 개방하고, 분사 송풍부(129)는 습공기를 측정 대상물(200)의 표면에 분사할 수 있다. 또한, 히터(1263)는 풍로(1261)를 순환하는 습공기의 가열을 정지하고, 가습부(1264)는 습기의 형성을 정지할 수 있다. 이와 같이, 감지된 습공기의 온도 및 습도에 따라 히터(1263) 및 가습부(1264)의 구동을 정지시킴으로써, 히터(1263) 및 가습부(1264)의 수명을 향상시킬 수 있다.
한편, 습공기의 온도가 제4 온도 미만이거나, 습공기의 습도가 결로 발생 습도 미만인 것으로 결정되면, 제어부(1460)는 개폐부(128)를 폐쇄시키고, 분사 송풍부(129)의 구동(습공기 분사)을 정지시킬 수 있다.
다른 실시예로서, 제어부(1460)는 개폐부(128)의 개폐 및 분사 송풍부(129)의 구동 횟수에 기초하여 히터(1263) 및 가습부(1264)의 온/오프를 제어할 수도 있다. 인라인 상에서 측정 대상물(200)에 대한 측정(또는 양불검사)을 수행하는 때에는, 일정한 시간동안 습공기가 반복적으로 분사될 수 있다. 이 때, 측정 대상물(200)에 습공기가 일정 횟수(예를 들어, 3회) 분사되면, 풍로(1261) 내의 습공기의 온도 및 습도가 낮아져, 풍로(1261) 내의 습공기를 가열하고 습기를 공급할 필요가 생길 수 있다. 이에 따라, 제어부(1460)는 개폐부(128)의 개폐 및 분사 송풍부(129)의 구동 횟수가 예를 들어 3회인 경우, 즉 측정 대상물(200)에 습공기가 3회 분사된 경우, 히터(1263) 및 가습부(1264)를 소정의 시간 동안 동작시킨 후 구동정지하는 프로세스를 반복할 수 있다. 이러한 방식으로 개폐부(128)의 개폐 및 분사 송풍부(129)의 구동 횟수에 기초하여 히터(1263) 및 가습부(1264)를 온/오프함으로써, 제어부(1460)는 실시간 온/습도 정보 없이 히터(1263) 및 가습부(1264)의 온/오프를 제어할 수도 있다.
또 다른 예로, 제어부(1460)는 개폐부(128)의 개폐 및 분사 송풍부(129)의 구동 여부에 따라 히터(1263) 및 가습부(1264)의 온/오프를 제어할 수도 있다. 예를 들어, 제어부(1460)는 개폐부(128)가 개방되고 분사 송풍부(129)가 구동되는 경우, 즉 측정 대상물(200)에 습공기가 분사되는 경우, 풍로(1261) 내의 습공기를 가열하고 습기를 공급하도록 히터(1263) 및 가습부(1264)를 동작시키고, 개폐부(128)가 폐쇄되고 분사 송풍부(129)가 구동되지 않는 경우, 히터(1263) 및 가습부(1264)를 동작시키지 않을 수도 있다.
또 다른 예로, 제어부(1460)는 공정 과정에서 측정(또는 검사)이 일시적으로 중단된 경우에, 습공기를 생성 및 배출하지 않고 히터(1263)와 가습부(1264)의 구동을 일시적으로 중단할 수도 있다. 이와 같이 측정(또는 검사) 중단 시에 히터(1263)와 가습부(1264)의 오프시간을 늘림으로써 히터(1263)와 가습부(1264)의 구동 시간을 최소화하여 내구성을 향상시키는 것이 가능하다.
또 다른 예로, 제어부(1460)는 히터(1263)와 가습부(1264)를 각각 온/오프하는 시간 간격을 미리 셋팅한 뒤, 미리 정해진 시간 간격으로 히터(1263)와 가습부(1264) 각각의 구동을 주기적으로 온/오프할 수도 있다.
일례로, 제어부(1460)는 본 실시예의 전술한 하나 이상의 기능들을 수행하기 위해 저장 매체(예를 들어, 비일시적 컴퓨터 판독 가능 저장 매체)에 기록된 컴퓨터 실행 가능 명령어들을 판독하고 실행하는 시스템 또는 장치의 컴퓨터에 의해 실현될 수 있고, 전술한 실시예(들) 중 하나 이상의 기능들을 수행하기 위해 저장 매체로부터 컴퓨터 실행 가능 명령어들을 판독하여 실행함으로써, 시스템 또는 장치의 컴퓨터에 의해 수행되는 방법에 의해 실현될 수 있다. 컴퓨터는 중앙 프로세싱 유닛(CPU), 마이크로 프로세싱 유닛(MPU), 또는 다른 회로 중 하나 이상을 포함할 수 있고, 별개의 컴퓨터들 또는 별개의 컴퓨터 프로세서들의 네트워크를 포함할 수 있다. 컴퓨터 실행가능 명령어들은 예를 들어, 네트워크 또는 저장 매체로부터 컴퓨터에 제공될 수 있다. 저장 매체는 예를 들어, 하드 디스크, 랜덤-액세스 메모리(RAM), 판독 전용 메모리(ROM), 분산 컴퓨팅 시스템들의 스토리지, 광 디스크(컴팩트 디스크(CD), 디지털 다기능 디스크(DVD), 또는 블루-레이 디스크(BD)), 플래시 메모리 디바이스, 및 메모리 카드 등 중 하나 이상을 포함할 수 있다.
선택적으로, 냉각부(110) 및 습공기 공급부(120)는 측정 대상물(200)의 표면에 수분 입자를 형성하는 습공기 형성 장치(1500)로서 구성될 수 있다. 한편, 제어부(1460) 및 온습도 감지부(190) 중 적어도 하나는 습공기 형성 장치(1500)에 포함될 수도 있다.
또한 선택적으로, 측정 시스템(1400)은 이송부(140)에 의해 이송되는 측정 대상물(200)의 위치를 감지하고, 감지된 위치를 포함하는 위치 정보를 출력하는 측정 대상물 감지부를 더 포함할 수 있다. 측정 대상물 감지부는 위치 센서 등을 포함할 수 있지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
또한 선택적으로, 측정 시스템(1400)은 습공기 공급부(120)로부터 분사되는 습공기를 배기하는 습공기 배기구를 더 포함할 수도 있다. 이와 같이, 측정 시스템(1400)은 습공기 배기구를 포함함으로써, 습공기 공급부(120)로부터 분사되는 습공기에 의해 측정 시스템(1400)에 고장 등이 발생할 가능성을 감소시킬 수 있다.
또한 선택적으로, 습공기를 분사한 후에 측정 대상물(200)의 영상 데이터를 획득하는 경우, 측정 대상물(200)의 표면에 김서림이 너무 많이 발생(즉, 수분 입자가 너무 많이 응결)하거나, 또는 김서림이 너무 적게 발생(즉, 수분 입자가 너무 적게 응결)하여, 획득된 영상 데이터만으로는 측정 대상물(200)을 정확하게 측정할 수 없는 경우가 발생할 수도 있다. 제어부(160)는 측정 시스템(1400)의 설정 전에 분사 송풍부(129)에서 분사되는 습공기의 풍량을 조절하여 습공기가 외부 공기와 섞이는 정도를 조절할 수도 있으며, 최적의 풍량을 설정해 둘 수 있다. 즉, 제어부(1460)는 온습도 감지부(190)에 의해 감지된 온습도(즉, 온습도 감지 정보)에 기초하여, 분사되는 습공기의 풍량을 제어할 수 있다.
한편, 제품의 품질에 대한 소비자들의 기준이 나날이 높아지고 있어, 제품을 생산하는데 있어서 제조업자들은 제품의 생산 과정, 조립 과정, 중간 과정 및 최종 조립 완료 과정에서 불량품을 제거하기 위한 노력을 기울이고 있다. 제품의 불량을 제거하기 위해 다양한 검사 장치를 이용하여 제품의 양호(Good) 또는 불량(NG) 여부를 판별하고 있다.
예를 들면, 전자 부품이 실장된 기판의 신뢰성을 검증하기 위해서는, 전자 부품의 실장 전후에 기판의 제조가 제대로 이루어졌는지를 검사할 필요가 있다. 일례로, 전자 부품을 기판에 실장하기 전에 기판의 패드 영역에 납이 제대로 도포되어 있는지를 검사하거나, 전자 부품을 기판에 실장한 후 전자 부품이 제대로 실장되었는지를 검사할 수 있다.
최근, 기판에 실장된 검사 대상(예를 들어, 전자 부품 등)에 대한 정밀한 측정을 위하여, 검사 대상에 패턴 조명을 조사하는 적어도 하나의 조명부와, 패턴 조명의 검사를 통해 검사 대상의 영상을 촬영하여 영상 데이터를 획득하는 촬상부를 포함하는 기판 검사 장치를 이용하여 검사 대상의 2차원 또는 3차원 형상을 측정하는 기술이 사용되고 있다. 즉, 기판 검사 장치는 패턴 조명을 기판의 표면으로 조사하고, 측정 대상의 표면에서 반사 또는 확산되어 나오는 광을 수광하여 측정 대상의 표면에 대한 2차원 또는 3차원의 형상을 측정한다.
도 16은 본 실시예에 따른 검사 장치(1600)를 도시한다. 예를 들어, 검사 장치(1600)는 측정 대상물(예를 들어, 기판)의 2차원 또는 3차원 형상을 측정하여 기판의 패드 영역에 납이 제대로 도포되어 있는지를 검사하거나, 전자 부품을 기판에 실장한 후 전자 부품이 제대로 실장되었는지 등을 검사할 수 있다. 다른 예로, 검사 장치(1600)는 측정 대상물(200)의 일 부분의 높이, 각도, 거칠기 등을 측정하고, 미리 정해진 검사 기준값과 비교함으로써 측정 대상물(200)을 검사할 수도 있다.
검사 장치(1600)는 냉각부(110), 습공기 공급부(120), 영상 데이터 획득부(130), 이송부(140), 제어부(160) 및 온습도 감지부(190) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 본 실시예에서의 검사 장치(1600)의 냉각부(110), 습공기 공급부(120), 영상 데이터 획득부(130), 이송부(140), 제어부(160) 및 온습도 감지부(190)는 도 1의 측정 시스템(700)의 냉각부(110), 습공기 공급부(120), 영상 데이터 획득부(130), 이송부(140), 제어부(160) 및 온습도 감지부(190)와 유사하므로, 본 실시예에서 상세한 설명은 생략한다.
검사 장치(1600)는 영상 데이터 처리부(1670)를 더 포함할 수 있다. 영상 데이터 처리부(1670)는 영상 데이터 획득부(130)에 의해 획득된 영상 데이터에 기초하여 사전 설정된 검사 기준에 따라 측정 대상물(200)을 검사하여 측정 대상물(200)의 양호(Good) 또는 불량(NG)을 나타내는 검사 결과를 형성할 수 있다.
검사 장치(1600)는 검사 결과 표시부(1680)를 더 포함할 수 있다. 검사 결과 표시부(1680)는 영상 데이터 처리부(1670)에 의해 형성된 검사 결과를 표시할 수 있다. 예를 들면, 검사 결과 표시부(1680)는 LCD(diquid crystal display), LED(light emitting diode) 디스플레이, OLED(organic light emitting diode)를 포함할 수 있지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
또한 선택적으로, 검사 장치(1600)는 이송부(140)에 의해 이송되는 측정 대상물(200)의 위치를 감지하고, 감지된 위치를 포함하는 위치 정보를 출력하는 측정 대상물 감지부를 더 포함할 수 있다. 측정 대상물 감지부는 위치 센서 등을 포함할 수 있지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
또한 선택적으로, 검사 장치(1600)는 습공기 공급부(120)로부터 분사되는 습공기를 배기하는 습공기 배기구를 더 포함할 수도 있다. 이와 같이, 검사 장치(1600)는 습공기 배기구를 포함함으로써, 습공기 공급부(120)로부터 분사되는 습공기에 의해 검사 장치(1600)에 고장 등이 발생할 가능성을 감소시킬 수 있다.
도 17은 본 발명의 일 실시예에 따라 검사 장치에 의해 측정 대상물(200)의 검사를 수행하는 절차를 나타낸 흐름도이다.
냉각부(110)는 측정 대상물(200)을 제1 온도로 냉각시킬 수 있다(S1701). 제1 온도는 습공기의 온도 및 습도를 습공기선도에 적용하여 측정 대상물(200)의 표면에 결로가 발생할 수 있는 이슬점 온도 이하로 설정될 수 있다. 다만, 측정 대상물(200)이 냉각되지 않은 상태에서도 습공기의 절대 수증기량이 충분하다면, 습공기선도에 따라 측정 대상물(200) 표면 주변의 공기가 수증기 포화 상태 또는 수증기 과포화 상태로 될 수 있으므로, 냉각시키는 단계(S1701)가 반드시 포함되어야 하는 것은 아니다.
습공기 공급부(120)는 제1 온도보다 높은 제2 온도의 온풍과 습기를 혼합하여 습공기를 형성할 수 있다(S1702).
또한, 습공기 공급부(120)는 냉각된 측정 대상물(200)의 표면에 습공기를 분사하여, 측정 대상물(200)의 표면에 수분 입자를 형성할 수 있다(S1703).
검사 장치(1600)는 측정 대상물(200)을 검사하기 위하여 수분 입자가 형성된 측정 대상물(200)을 측정하여 영상 데이터를 획득할 수 있다(S1704).
본 명세서에서는 본 발명이 일부 실시예들과 관련하여 설명되었지만, 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자가 이해할 수 있는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 변경이 이루어질 수 있다는 점을 알아야 할 것이다. 또한, 그러한 변형 및 변경은 본 명세서에 첨부된 특허청구의 범위 내에 속하는 것으로 생각되어야 한다.

Claims (20)

  1. 측정 대상물의 온도보다 높은 온도의 온풍과, 습기를 혼합하여 습공기를 형성하고, 상기 측정 대상물의 표면에 상기 습공기를 분사하여, 상기 측정 대상물의 표면에 수분 입자를 형성하기 위한 습공기 공급부
    를 포함하는 습공기 형성 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 측정 대상물을 냉각시키도록 동작하는 냉각부
    를 더 포함하는 습공기 형성 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 냉각부는,
    상기 측정 대상물을 복수 적재하기 위한 측정 대상물 적재부;
    냉풍을 형성하도록 동작하는 냉풍 형성부; 및
    상기 측정 대상물 적재부와 상기 냉풍 형성부를 연결하여, 상기 냉풍 형성부에서 형성된 상기 냉풍을 상기 측정 대상물 적재부 내로 공급하기 위한 냉풍 공급관
    을 포함하는, 습공기 형성 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 냉각부는,
    상기 측정 대상물 적재부와 상기 냉풍 형성부를 연결하여, 상기 측정 대상물 적재부 내에 공급된 상기 냉풍을 상기 냉풍 형성부로 순환시키기 위한 냉풍 순환관
    을 더 포함하는, 습공기 형성 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 습공기 공급부는,
    상기 온풍을 형성하도록 동작하는 온풍 형성부;
    상기 습기를 형성하도록 동작하는 가습부; 및
    상기 온풍 및 상기 습기를 혼합하여 상기 습공기를 형성하도록 동작하는 혼합부
    를 포함하는, 습공기 형성 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 혼합부는,
    상기 온풍이 유입되는 제1 유입구, 상기 습기가 유입되는 제2 유입구 및 상기 습공기가 토출되는 토출구를 포함하는 케이스; 및
    상기 제2 유입구로부터 유입된 상기 습기가 통과하는 복수의 관통구멍을 갖고, 상기 제1 유입구와 상기 토출구에 연결되며, 상기 제1 유입구로부터 유입된 상기 온풍과 상기 관통구멍을 통과한 상기 습기를 혼합하여 상기 습공기를 형성하기 위한 혼합관
    을 포함하는, 습공기 형성 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 습공기가 분사된 상기 측정 대상물을 냉각 유지시키는 냉각대
    를 더 포함하는 습공기 형성 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 냉각대는
    상기 측정 대상물을 냉각시키기 위한 냉각 소자;
    상기 냉각 소자 위에 설치되어, 상기 측정 대상물을 흡착 유지하고 상기 측정 대상물의 열을 상기 냉각 소자로 전달하기 위한 상부판; 및
    상기 냉각 소자 아래에 설치되어, 상기 냉각 소자에서 발생하는 열을 방산하기 위한 하부판
    을 포함하는, 습공기 형성 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 냉각대는
    상기 측정 대상물이 상기 상부판에 흡착 유지되도록 복수의 천공을 통해 공기를 흡입하도록 동작하는 석션부
    를 더 포함하는, 습공기 형성 장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기 습공기 공급부는,
    내부에서 상기 습공기가 폐쇄적으로 순환하는 풍로;
    상기 습공기에 혼합되는 상기 습기를 생성하는 가습부; 및
    상기 풍로에서 순환하는 상기 습공기 일부를 상기 측정 대상물에 분사하는 분사 송풍부
    를 포함하는, 습공기 형성 장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 습공기 공급부는,
    상기 풍로를 순환하는 상기 습공기의 온도를 외기 온도보다 높은 온도로 가열하는 히터
    를 더 포함하는, 습공기 형성 장치.
  12. 제10항에 있어서, 상기 습공기 공급부는,
    상기 습공기와 상기 가습부에 의해 형성된 습기를 혼합하는 혼합부
    를 더 포함하는, 습공기 형성 장치.
  13. 제10항에 있어서, 상기 습공기 공급부는,
    상기 풍로에 폐쇄되어 있는 상기 습공기의 일부를 상기 분사 송풍부로 공급하거나 공급을 차단하는 개폐부
    를 더 포함하는, 습공기 형성 장치.
  14. 제10항에 있어서, 상기 습공기 공급부는,
    상기 풍로에 폐쇄되어 있는 상기 습공기의 일부를 공급 받아 저장하고, 저장된 상기 습공기를 상기 풍로로 공급하는 습공기 버퍼부
    를 더 포함하는, 습공기 형성 장치.
  15. 제10항에 있어서, 상기 습공기 공급부는,
    상기 습공기를 상기 풍로에서 순환시키는 순환 송풍부
    를 더 포함하는, 습공기 형성 장치.
  16. 제11항에 있어서,
    상기 습공기 공급부는,
    상기 습공기의 온도 및 습도를 감지하는 습공기 감지부를 더 포함하고,
    상기 습공기 형성 장치는,
    상기 습공기의 형성 및 분사를 제어하는 제어부를 더 포함하고,
    상기 제어부는 상기 감지된 온도 및 습도에 기초하여 상기 히터 및 상기 가습부의 구동을 제어하는, 습공기 형성 장치.
  17. 제11항에 있어서,
    상기 습공기의 형성 및 분사를 제어하는 제어부를 더 포함하고,
    상기 제어부는 상기 분사 송풍부의 구동 여부 또는 구동 횟수에 기초하여 상기 히터 및 상기 가습부의 구동을 제어하는, 습공기 형성 장치.
  18. 측정 대상물의 온도보다 높은 온도의 온풍과 습기를 혼합하여 습공기를 형성하고, 상기 측정 대상물의 표면에 상기 습공기를 분사하여, 상기 측정 대상물의 표면에 수분 입자를 형성하기 위한 습공기 공급부를 포함하는 습공기 형성 장치; 및
    상기 측정 대상물을 검사하기 위하여, 상기 습공기가 분사된 상기 측정 대상물에 광을 조사하고 상기 측정 대상물로부터 반사되는 광을 수신하여 상기 측정 대상물의 영상 데이터를 획득하는 영상 데이터 획득부
    를 포함하는 검사 장치.
  19. 제18항에 있어서, 상기 습공기 형성 장치는,
    상기 측정 대상물을 냉각시키도록 동작하는 냉각부를 더 포함하는, 검사 장치.
  20. 검사 장치에 의해 수행되는 검사 방법으로서,
    측정 대상물의 온도보다 높은 온도의 온풍과, 습기를 혼합하여 습공기를 형성하는 단계;
    상기 측정 대상물의 표면에 상기 습공기를 분사하여 상기 측정 대상물의 표면에 수분 입자를 형성하는 단계; 및
    상기 측정 대상물을 검사하기 위하여, 수분 입자가 형성된 상기 측정 대상물을 측정하여 영상 데이터를 획득하는 단계
    를 포함하는 검사 방법.
PCT/KR2016/006079 2015-06-08 2016-06-08 습공기 형성 장치, 이를 포함하는 검사 장치 및 검사 방법 WO2016200155A1 (ko)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US15/735,016 US10619870B2 (en) 2015-06-08 2016-06-08 Humid air forming device, inspection device comprising same, and inspection method
CN201680033628.9A CN107743572B (zh) 2015-06-08 2016-06-08 湿空气形成装置、包括其的检查装置及检查方法
EP16807795.6A EP3306235B1 (en) 2015-06-08 2016-06-08 Measurement system and method

Applications Claiming Priority (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150080674A KR101626475B1 (ko) 2015-06-08 2015-06-08 기판 검사 장치
KR10-2015-0080674 2015-06-08
KR10-2015-0093565 2015-06-30
KR1020150093565A KR101664337B1 (ko) 2015-06-30 2015-06-30 습공기 형성 장치 및 이를 포함하는 측정 시스템
KR10-2016-0058954 2016-05-13
KR1020160058954A KR101757709B1 (ko) 2016-05-13 2016-05-13 습공기 형성 장치 및 이를 포함하는 검사 시스템

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2016200155A1 true WO2016200155A1 (ko) 2016-12-15

Family

ID=57504205

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/KR2016/006079 WO2016200155A1 (ko) 2015-06-08 2016-06-08 습공기 형성 장치, 이를 포함하는 검사 장치 및 검사 방법

Country Status (4)

Country Link
US (1) US10619870B2 (ko)
EP (1) EP3306235B1 (ko)
CN (1) CN107743572B (ko)
WO (1) WO2016200155A1 (ko)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110319787A (zh) * 2018-03-30 2019-10-11 致茂电子(苏州)有限公司 表面量测系统
TWI690691B (zh) * 2018-03-30 2020-04-11 致茂電子股份有限公司 表面量測系統
CN108871233A (zh) * 2018-07-31 2018-11-23 苏州天准科技股份有限公司 一种曲面玻璃轮廓度检测装置及检测方法
CN108955542B (zh) * 2018-09-04 2023-11-21 宁波兰辰光电有限公司 一种汽车曲面玻璃激光自动检测设备及检测方法
AT521833B1 (de) * 2018-10-25 2023-07-15 Nextsense Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Inspektion von spiegelnden Oberflächen
CN109489578A (zh) * 2018-11-12 2019-03-19 江西兆九光电技术有限公司 一种光学测量光洁物体表面形貌的方法
CN111197966A (zh) * 2018-11-16 2020-05-26 致茂电子(苏州)有限公司 使用冷凝手段的表面检测装置及其方法
CN111214931B (zh) * 2018-11-23 2022-05-13 致茂电子(苏州)有限公司 冷凝系统

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05240709A (ja) * 1992-02-28 1993-09-17 Nec Corp 波長測定装置
JPH08139065A (ja) * 1994-11-04 1996-05-31 Lg Semicon Co Ltd ウェーハ洗浄装置
KR20020046053A (ko) * 2000-12-12 2002-06-20 이 창 세 웨이퍼 상의 유기오염물 분석장치 및 방법
KR20100050077A (ko) * 2008-11-05 2010-05-13 고상수 수증기가 함유된 열풍기
KR20110119083A (ko) * 2010-04-26 2011-11-02 엘아이지에이디피 주식회사 기판검사장치 및 기판검사방법

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19506642C1 (de) * 1995-02-25 1996-03-21 Focus Mestechnik Gmbh & Co Kg Verfahren und Vorrichtung zum optischen Ausmessen der Oberflächenkontur eines Werkstückes
US5873356A (en) * 1995-06-26 1999-02-23 Control Options, Inc. High efficiency wood pellet stove
US7094451B2 (en) * 1999-04-07 2006-08-22 Board Of Trustees Of Michigan State University Chemical functionalization of material surfaces using optical energy and chemicals
DE10108221A1 (de) * 2001-02-21 2002-09-12 Charalambos Tassakos Verfahren und Vorrichtung zur optischen Erfassung eines Objekts
US6421931B1 (en) * 2001-05-08 2002-07-23 Daniel R Chapman Method and apparatus for drying iron ore pellets
DE102004025490A1 (de) * 2004-05-22 2005-12-15 Hubert Kammer Verfahren zum optischen Vermessen reflektierender und/oder transparenter Objekte mittels Lasermesstechnik
KR100919205B1 (ko) 2005-06-20 2009-09-28 엘지디스플레이 주식회사 배향막 검사장치 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조방법
JP4605387B2 (ja) * 2005-12-12 2011-01-05 住友電気工業株式会社 温度特性検査装置
KR100652903B1 (ko) * 2005-12-21 2006-12-04 한국과학기술연구원 초흡수성 고분자를 함유한 제습제의 제조 방법 및 그 제조장치
ES2460067T3 (es) * 2007-06-08 2014-05-13 Lg Electronics Inc. Secadora
JP5011215B2 (ja) * 2008-06-05 2012-08-29 株式会社日立製作所 非接触寸法計測方法および装置
CN101404867A (zh) * 2008-11-14 2009-04-08 常州钟恒新材料有限公司 电气柜冷却送风系统
CN101571355B (zh) * 2009-06-01 2011-01-05 苏州中门子科技有限公司 强循环快速冷却室
KR101039614B1 (ko) 2009-12-15 2011-06-09 방광철 수냉식 냉각방식을 이용한 메모리 검사용 냉온공급장치
CN201648504U (zh) * 2010-04-13 2010-11-24 张凤强 强冷风机
JP5574799B2 (ja) 2010-04-23 2014-08-20 キヤノン株式会社 露光装置、それを用いたデバイスの製造方法、並びに気体供給装置
CN201938337U (zh) * 2010-12-27 2011-08-24 上海烟草集团有限责任公司 烟叶干燥装置
US8991068B2 (en) * 2011-06-16 2015-03-31 General Electric Company Energy efficient cycle for clothes dryer
KR20120013206A (ko) 2011-12-02 2012-02-14 (주)엔비즈 자동 광학 검사 장치 및 방법
CN202375013U (zh) * 2011-12-20 2012-08-15 成都市美金迪不锈钢制品有限公司 链斗式物料冷却成形生产流水线装置
WO2013099434A1 (ja) * 2011-12-27 2013-07-04 ジャパンスーパークォーツ株式会社 シリカガラスルツボの三次元形状測定方法、シリコン単結晶の製造方法
CN202928007U (zh) * 2012-09-07 2013-05-08 顾艳 一种桑拿用快速空气加热加湿装置
CN202925061U (zh) * 2012-11-12 2013-05-08 南京年达炉业科技有限公司 一种强冷室
CN203105573U (zh) * 2012-12-24 2013-08-07 高元能 一种强制热风循环式热泵槟榔烘干装置
US20170045427A1 (en) * 2014-02-20 2017-02-16 The Arizona Board Of Regents On Behalf Of The University Of Arizona Method for guiding cell spreading in automated cytogenetic assays

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05240709A (ja) * 1992-02-28 1993-09-17 Nec Corp 波長測定装置
JPH08139065A (ja) * 1994-11-04 1996-05-31 Lg Semicon Co Ltd ウェーハ洗浄装置
KR20020046053A (ko) * 2000-12-12 2002-06-20 이 창 세 웨이퍼 상의 유기오염물 분석장치 및 방법
KR20100050077A (ko) * 2008-11-05 2010-05-13 고상수 수증기가 함유된 열풍기
KR20110119083A (ko) * 2010-04-26 2011-11-02 엘아이지에이디피 주식회사 기판검사장치 및 기판검사방법

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP3306235A4 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN107743572B (zh) 2021-03-30
US20180320913A1 (en) 2018-11-08
EP3306235A4 (en) 2018-04-11
EP3306235A1 (en) 2018-04-11
US10619870B2 (en) 2020-04-14
CN107743572A (zh) 2018-02-27
EP3306235B1 (en) 2020-09-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2016200155A1 (ko) 습공기 형성 장치, 이를 포함하는 검사 장치 및 검사 방법
US8920162B1 (en) Closed loop temperature heat up and control utilizing wafer-to-heater pedestal gap modulation
US7371997B2 (en) Thermal processing apparatus and thermal processing method
US8345233B2 (en) Inspection apparatus and inspection method
WO2018110953A1 (en) Substrate processing apparatus and method using the same
JP2007165390A (ja) 検査装置及び方法
WO2013191421A1 (ko) 기판 처리 장치
WO2016056748A1 (ko) 기판 처리용 히터장치 및 이를 구비한 기판 액처리 장치
WO2017181507A1 (zh) 灯条光衰检测方法、装置和系统
US7947215B2 (en) Heat treatment apparatus, heat treatment method, and recording medium storing computer program carrying out the same
US10295334B2 (en) 3D measuring system
CN103278945B (zh) 一种检测设备
WO2009119983A2 (ko) 중복 영상을 이용한 에프피디 기판 및 반도체 웨이퍼 검사시스템
US7733374B2 (en) Image pickup device and substrate mounting apparatus for an electronic part
JPH11142469A (ja) 低高温電気特性測定方法および装置
WO2022045500A1 (ko) 제습이 가능한 차량용 램프
KR101757709B1 (ko) 습공기 형성 장치 및 이를 포함하는 검사 시스템
WO2020122553A1 (en) Electronic apparatus and controlling method thereof
WO2018208095A1 (ko) 솔더링 장치, 레이저 가공 장치 및 가공 방법
WO2021256746A1 (ko) 살균성, 위생효율 및 제조 정밀도를 높인 odf 제조 시스템 및 방법
WO2022010112A1 (ko) 펠티어 소자를 구비한 냉장고의 제어방법 및 이를 사용하는 냉장고
KR102225424B1 (ko) 열처리 방법 및 열처리 장치
WO2023106627A1 (ko) 공기조화기 및 이의 제어방법
WO2021167145A1 (ko) 증착 장치 시스템
WO2022220435A1 (ko) 신발 관리기 및 그 제어 방법

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 16807795

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 15735016

Country of ref document: US

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2016807795

Country of ref document: EP