KR20110119083A - 기판검사장치 및 기판검사방법 - Google Patents

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Abstract

증기를 기판 표면에 분사하여 기판을 검사하는 방법보다 신뢰도가 높은 검사방법이 필요하다. 이러한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 기판검사방법은, (a)검사챔버 내부의 기판에 광을 조사하는 단계와, (b)기판 표면에 수증기가 응결되도록 기판을 냉각하는 단계 및 (c)수증기가 응결된 기판에서 반사된 광을 통하여 기판의 결함을 검사하는 단계를 포함한다.

Description

기판검사장치 및 기판검사방법 {APPARATUS FOR INSPECTING SUBSTRATE AND METHOD OF INSPECTING SUBSTRATE}
본 발명은 피처리물을 검사하는 장치 및 피처리물을 검사하는 방법에 관한 것으로서, 구체적으로는 기판검사장치 및 기판검사방법에 관한 것이다.
액정표시장치는 CS(column space) layer, RGB layer, BM(Black Matrix) layer, 투명전극 layer, glass layer 등이 결합된 것일 수 있다. 각각의 layer(이하, ‘기판’이라 함)에 대해서 얼룩이나 흠이 있는지(예를 들어, 배향막의 상태, glass 표면의 흠 등) 검사하는 과정이 수행될 수 있다.
그러한 검사를 수행하는 방법 중의 하나는 증기를 기판에 분사하여 물방울 맺힘 등의 상태를 관찰하는 방법이 있다.
한편, 종래의 기판검사방법의 경우에는 액정표시장치의 기판에 얼룩이나 이물질이 존재하는지 탐지하기 위하여 검사자가 육안으로 검사를 하고 있다.
즉, 기판에 빛을 조사하여 반사되는 빛을 통하여 기판면에 결함이 존재하는지 직접 육안으로 비교 판단하고 있다.
그러나, 이러한 방법에 의하는 경우에 검사자마다 검사장치의 설정 조건이 다를 수 있고, 그에 따라 검사품질에 차이가 발생할 수 있다.
뿐만 아니라, 검사자의 수작업에 의존하므로 검사시간이 오래 걸리는 문제가 있다.
이러한 문제 때문에 수작업에 의존하는 검사작업에 대한 자동화의 필요성이 대두되고 있다.
증기를 기판 표면에 분사하여 기판을 검사하는 방법보다 신뢰도가 높은 검사방법이 필요하다.
또한, 보다 신속 정확하고 효율적인 자동검사가 가능한 기판검사장치 및 기판검사방법이 필요하다.
본 발명의 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자가 명확하게 이해할 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 기판검사방법은, (a)검사챔버 내부의 기판에 광을 조사하는 단계; (b)상기 기판 표면에 수증기가 응결되도록 상기 기판을 냉각하는 단계; 및 (c)수증기가 응결된 상기 기판에서 반사된 광을 통하여 상기 기판의 결함을 검사하는 단계;를 포함한다.
또한, 수증기압을 증가시키도록 상기 (b)단계에서 또는 상기 (b)단계 전에 수증기를 공급하는 단계를 더 포함할 수 있다.
또한, 수증기압을 증가시키도록 상기 (b)단계에서 또는 상기 (b)단계 전에 상기 검사챔버의 내부 온도를 상승시키고 수증기를 공급하는 단계를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 (b)단계는 상기 기판의 일부분인 제1영역을 냉각하는 단계인 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 제1영역에 수증기가 응결되면, 상기 기판을 이동시켜서 상기 기판의 다른 일부분인 제2영역을 냉각시키는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 (c)단계는, (c1)수증기가 응결된 상기 기판에서 반사된 광을 카메라를 통하여 수광하여 영상정보를 획득하는 단계와, (c2)획득한 상기 영상정보를 바탕으로 상기 기판의 결함을 검사하는 단계를 포함할 수 있다.
또한, 상기 (c2)단계는 수증기의 응결 정도가 불균일한 영역을 기판의 결함으로 판단하는 단계를 포함할 수 있다.
또한, 수증기의 응결 정도가 불균일한지 여부는 상기 영상정보에서 밝기 변화가 설정값 이상인 영역이 존재하는 여부로 판단하는 단계를 포함할 수 있다.
또한, 응결된 수분을 제거하도록 상기 기판을 가열하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 기판검사장치는, 기판에 광을 조사하는 광원; 상기 기판의 표면에 수증기가 응결되도록 상기 기판을 냉각하는 기판냉각부; 및 상기 기판에서 반사된 상기 광을 수광하는 카메라;를 포함한다.
또한, 상기 기판에 수증기를 공급하는 수증기공급부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 카메라를 통하여 획득한 영상정보를 바탕으로 상기 기판의 결함을 판단하는 결함판단부를 포함할 수 있다.
또한, 수증기가 응결되는 영역을 변경할 수 있도록 상기 기판과 상기 기판냉각부 중에서 어느 일측을 이동시키는 제어부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 기판 표면에 응결된 수분을 제거하도록 상기 기판을 가열하는 히터를 더 포함할 수 있다.
증기를 직접 기판 표면으로 분사하여 미세 물방울층을 형성하는 경우에는 분사량이 많은 영역에는 불균일한 미세 물방울층이 형성되는 경우가 많다. 또한, 증기 분사과정에서 크기가 상이한 물방울이 튀어 나가서 불균일한 물방층을 형성할 수도 있다. 그러나, 본 발명의 구성을 통하여, 증기를 분사하는 과정이 없이 기판 표면에서 응결현상을 유발하여 균일한 미세 물방울층을 형성할 수 있는 효과가 있다.
뿐만 아니라, 증기를 직접 분사하는 방식의 경우에는 대형 기판에 적용하기 위해서 장치의 구성이 매우 복잡해지며 증기를 분사하는 장치가 기판 상면에 위치하는 경우에는 증기분사장치 자체에서 파티클이 발생하여서 기판 결함을 유발할 수 있는 문제가 있다. 그러나, 본 발명의 구성을 통하여 기판 하면에 기판냉각부가 위치함에 따라 파티클 유발이 억제되는 효과가 있고, 대형 기판의 검사에 적용하기가 매우 용이한 효과가 있다.
대면적의 기판인 경우에는 전체 면적을 모두 냉각할 필요가 없이 일부 영역을 냉각하고 검사를 수행하고 다음 영역을 냉각하여 검사를 수행할 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 기술적 효과는 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판검사장치의 개략적인 구성도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판검사장치의 개략적인 블록 다이어그램이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판검사장치의 수증기 응결과정을 나타낸 온도-수증기압 그래프이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판검사장치의 개략적인 구성도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 기판검사방법에 대한 순서도이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 실시예는 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 위하여 과장되게 표현된 부분이 있을 수 있으며, 도면상에서 동일 부호로 표시된 요소는 동일 요소를 의미한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판검사장치의 개략적인 구성도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판검사장치의 개략적인 블록 다이어그램이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판검사장치의 수증기 응결과정을 나타낸 온도-수증기압 그래프이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 기판검사장치는 검사챔버(101), 광원(110), 반사부(120), 카메라(140), 기판스테이지(131a), 기판냉각부(132a), 기판히터(133a), 검사챔버히터(150), 수증기공급부(160), 전원부(170), 저장부(180), 디스플레이부(190), 제어부(200)를 포함한다.
검사챔버(101)는 검사챔버 내부와 외부를 격리하며, 먼지 등의 이물질이 내부로 인입되는 것을 방지한다.
광원(110)은 기판에 대하여 광을 조사한다. 광원(110)에는 메탈 할라이드 램프가 사용될 수 있으며, 그 밖에 크세논 램프, 수은 램프, 크립톤 램프, 할로겐 램프, 형광등 등이 사용될 수도 있고 기타 메탈 할라이드 램프와 유사한 광특성을 가지는 램프가 사용될 수 있다. 또한, 나트륨 램프 등이 사용될 수도 있으며, 이에 한정되지 않고 나트륨 램프의 광특성과 유사한 광을 조사할 수 있는 다른 종류의 램프가 사용될 수도 있다.
반사부(120)는 광원(110)에서 조사된 광의 광경로에 마련되며, 광을 반사하여 기판(S)으로 유도할 수 있다.
카메라(140)는 기판에서 반사된 광을 수광하며 기판의 영상정보를 획득한다. 기판의 영상정보는 기판면을 촬영한 이미지, 그래픽 컴퓨터파일, 이미지특성(명도, 명도의 변화량, 색상 등)에 대한 그래프 정보 등일 수 있다.
기판스테이지(131a)는 기판(S)을 적재하여 지지하며, 기판스테이지제어부(204)에 의하여 기판스테이지(131a)를 수평이동, 수직이동, 회전시킬 수도 있다.
기판냉각부(132a)는 내측에 냉매가 흐르는 냉매유로를 포함할 수 있으며, 이에 따라 기판(S)을 냉각할 수 있다. 상온에서 기판 표면에 수증기가 응결될 수 있을 정도의 온도로 기판을 냉각할 수 있다.
도 3에서 보듯이, 수증기압이 V1일 때, 온도가 T1에서 T2로 낮아지면(경로①) 수증기가 응결될 수 있다. 기판냉각부(132a)는 도 3의 경로①의 현상이 유발되도록 하는 역할을 할 수 있다.
도 1로 돌아와서, 냉매를 냉각하기 위하여 필요한 증발기(미도시)와 응축기(미도시)는 검사챔버(101) 외부에 별도로 마련될 수도 있다. 기판(S)의 냉각되는 영역을 변경할 수 있도록 기판냉각부(132a)가 기판스테이지(131a) 하부의 일정한 위치에 고정된 상태에서 기판스테이지(131a)가 이동할 수 있다.
다른 실시예로서, 기판(S)의 냉각되는 영역을 변경할 수 있도록 기판스테이지(131a)는 일정한 위치에 고정되고 기판냉각부(132a)가 이동할 수도 있다.
다른 실시예로서, 기판(S)의 냉각되는 영역을 변경할 수 있도록 기판스테이지 내부에 기판냉각부가 기판 평면에 수평방향으로 슬라이딩 가능하도록 삽입될 수도 있다.
기판히터(133a)는 기판냉각부(132a)의 일측 또는 양측에 설치되어 기판스테이지(131a) 및 기판(S)을 가열함으로써 기판 표면에 응결된 미세 물방울을 신속하게 증발시킬 수 있다.
검사챔버히터(150)는 검사챔버(101) 내부온도를 상승시킬 수 있다. 광원에서 발생하는 열도 검사챔버의 내부온도 상승에 기여할 수도 있다.
수증기공급부(160)는 검사챔버(101) 내부에 수증기를 공급하여 수증기압을 상승시킬 수 있다.
검사챔버(101) 내부온도가 상승시킴으로써 포화수증기압을 상승시킬 수가 있다. 이에 따라 수증기공급부(160)를 통하여 챔버 내부 공기에 더 많은 수증기를 공급할 수 있다.
예를 들어, 도 3의 T2에서 T1으로 상승 경우에 포화수증기압이 V1에서 V3로 상승할 수 있다. 또한, T2에서 현재 수증기압이 V0라고 가정할 때, 온도를 T1으로 상승시키면 수증기압을 최대 V3 정도까지로 상승시킬 수도 있다.
실제 수증기압이 V1이고, 온도가 T1일 때에는 온도를 T2까지 하강하여야 수증기의 응결현상이 발생된다(경로①). 그러나, 실제 수증기압이 V2이고, 온도가 T1이면 온도를 T3까지만 하강시켜도 수증기의 응결현상이 발생된다(경로②).
결국, 검사챔버 내부온도가 높고 수증기압이 높으면 조금만 기판을 냉각하더라도 쉽게 수증기의 응결현상이 발생된다.
예를 들어, 현재 상태가 수증기압이 V0이고, 온도가 T3이면 온도를 T1으로 상승시키고(경로③), 수증기를 공급하여 수증기압을 V2로 하고(경로④), 온도를 T3로 하강시키면(경로②) 수증기의 응결현상이 발생된다.
증기를 직접 기판 표면으로 분사하여 미세 물방울층을 형성하는 경우에는 분사량이 많은 영역에는 불균일한 미세 물방울층이 형성되는 경우가 많다. 또한, 증기 분사과정에서 크기가 상이한 물방울이 튀어 나가서 불균일한 물방층을 형성할 수도 있다. 그러나, 본 발명의 구성을 통하여, 증기를 분사하는 과정이 없이 기판 표면에서 응결현상을 유발하여 균일한 미세 물방울층을 형성할 수 있는 효과가 있다.
뿐만 아니라, 증기를 직접 분사하는 방식의 경우에는 대형 기판에 적용하기 위해서 장치의 구성이 매우 복잡해지며 증기를 분사하는 장치가 기판 상면에 위치하는 경우에는 증기분사장치 자체에서 파티클이 발생하여서 기판 결함을 유발할 수 있는 문제가 있다. 그러나, 본 발명의 구성을 통하여 기판 하면에 기판냉각부가 위치함에 따라 파티클 유발이 억제되는 효과가 있고, 대형 기판의 검사에 적용하기가 매우 용이한 효과가 있다.
저장부(180)는 기판에 대한 영상정보 및 기타 관련 데이터를 저장할 수 있다.
디스플레이부(190)는 기판의 영상정보 및 기타 관련 이미지나 정보를 검사자에게 제공할 수 있다.
제어부(200)는 앞서 설명한 각각의 구성요소를 제어(위치, 각도, 동작 등)하는 부분으로서, 광원제어부(201), 카메라제어부(202), 반사부제어부(203), 기판스테이지제어부(204), 결함판단부(205), 중앙제어부(206)를 포함한다.
각각의 개별 제어부는 액추에이터, 로봇암 등의 기계적 구성과 이러한 기계적 구성을 컨트롤하는 회로부를 포함할 수 있다.
결함판단부(205)는 획득한 영상정보를 통하여 기판에 결함이 있는지 판단한다. 획득한 영상정보에서 수증기의 응결 정도가 불균일한 영역을 기판의 결함으로 판단할 수 있다. 표면결함이나 이물질이 있는 부분에는 응결량이 많고 이에 따라 보다 큰 물방울로 응결될 수 있다.
응결 정도가 불균일한지 여부를 판단하는 방식은 여러 가지가 있을 수 있으며, 일 실시예로서, 획득한 영상정보의 밝기를 조정하는 단계, 노이즈를 제거하는 단계, 밝기 변화 정도가 설정값을 초과하는 구간을 결함으로 판단하는 단계 등을 포함하는 방식일 수 있다.
중앙제어부(206)는 각각의 상기 구성요소의 작동을 전체적으로 제어하고 필요한 연산을 하는 부분이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판검사장치의 개략적인 구성도이다. 설명의 편의상, 앞서 설명한 구성요소와 실질적으로 동일한 구성요소는 설명을 생략한다.
도 4에 보듯이, 본 실시예에 따른 기판검사장치는 검사챔버(101), 광원(110), 반사부(120), 카메라(140), 기판스테이지(131b), 기판냉각부(132b), 기판히터(133b), 검사챔버히터(150), 수증기공급부(160)를 포함한다.
기판냉각부(132b)는 기판스테이지(131b) 내부에 설치되고 기판을 냉각할 수 있다. 기판냉각부(132b)는 기판스테이지 내부에 설치된 냉매유로로 마련될 수 있다.
다른 실시예로서, 상기 냉매유로는 복수의 영역으로 구분 제어될 수 있도록 복수의 단위유로를 포함하도록 마련될 수 있다. 이에 따라, 기판의 냉각영역을 변경하고자 하는 경우에는 단위유로를 별도로 제어할 수도 있다.
기판히터(133b)는 기판스테이지(131b) 내부에 설치될 수 있고, 기판을 가열하여 기판 표면에 응결된 물방울을 제거할 수 있다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 기판검사방법에 대한 순서도이다. 일 실시례로서 각 단계를 순서를 정하여 나열하였으나, 청구항에서 명시적으로 각 단계 상호간의 순서가 한정되어 있지 않으면 아래에서 설명하는 순서와 달리 실시될 수 있다.
도 5에서 보듯이, 먼저 기판에 광을 조사하는 단계(S10)가 수행될 수 있다.
또한, 수증기압을 증가시키도록 검사챔버의 온도를 상승시키고 수증기를 공급하는 단계(S20)가 수행될 수 있다.
또한, 기판 표면에 수증기가 응결되도록 기판의 제1영역을 냉각하는 단계(S30)가 수행될 수 있다.
또한, 제1영역에 수증기가 응결되면 기판을 이동시켜서 기판의 제2영역을 냉각시키는 단계(S40)가 수행될 수 있다. 즉, 대면적의 기판인 경우에는 전체 면적을 모두 냉각할 필요가 없이 일부 영역을 냉각하고 검사를 수행하고 다음 영역을 냉각하여 검사를 수행할 수 있다.
또한, 수증기가 응결된 기판에서 반사된 광을 카메라를 통하여 수광하여 영상정보를 획득하는 단계(S50)가 수행될 수 있다. 즉, 검사자가 직접 육안검사를 하는 것이 아니라 카메라를 통하여 영상정보를 획득할 수 있다.
또한, 획득한 영상정보를 바탕으로 기판의 결함을 검사하는 단계(S60)가 수행될 수 있다. 즉, 검사자가 직접 육안검사를 하는 것이 아니라, 카메라를 통하여 간접적으로 획득한 영상정보를 통하여 결함을 검사할 수 있으며, 영상정보를 처리하는 컴퓨터 프로세싱에 의하여 결함을 자동으로 검사할 수도 있다.
S60단계는 획득한 영상정보에서 밝기 변화가 설정값 이상인 영역을 결함으로 판단하는 단계를 포함할 수 있다.
한편, 기판 표면에 응결된 수증기를 제거하도록 기판을 가열하는 단계를 더 포함할 수도 있다. 즉, 미세 물방울층을 이용한 기판검사를 신속하게 완료한 후 다른 종류의 기판검사를 수행할 수 있도록 히터를 이용하여 기판 표면의 수분을 신속하게 제거하는 단계가 수행될 수도 있다.
앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 일 실시예는, 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.

Claims (14)

  1. (a)검사챔버 내부의 기판에 광을 조사하는 단계;
    (b)상기 기판 표면에 수증기가 응결되도록 상기 기판을 냉각하는 단계; 및
    (c)수증기가 응결된 상기 기판에서 반사된 광을 통하여 상기 기판의 결함을 검사하는 단계;를 포함하는 기판검사방법.
  2. 제1항에 있어서,
    수증기압을 증가시키도록 상기 검사챔버 내부에 수증기를 공급하는 단계를 더 포함하는 기판검사방법.
  3. 제1항에 있어서,
    수증기압을 증가시키도록 상기 검사챔버의 내부 온도를 상승시키고 수증기를 공급하는 단계를 더 포함하는 기판검사방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 (b)단계는 상기 기판의 일부분인 제1영역을 냉각하는 단계인 것을 특징으로 하는 기판검사방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1영역에 수증기가 응결되면, 상기 기판을 이동시켜서 상기 기판의 다른 일부분인 제2영역을 냉각시키는 것을 특징으로 하는 기판검사방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 (c)단계는, (c1)수증기가 응결된 상기 기판에서 반사된 광을 카메라를 통하여 수광하여 영상정보를 획득하는 단계와, (c2)획득한 상기 영상정보를 바탕으로 상기 기판의 결함을 검사하는 단계를 포함하는 기판검사방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 (c2)단계는 수증기의 응결 정도가 불균일한 영역을 기판의 결함으로 판단하는 단계를 포함하는 기판검사방법.
  8. 제7항에 있어서,
    수증기의 응결 정도가 불균일한지 여부는 상기 영상정보에서 밝기 변화가 설정값 이상인 영역이 존재하는 여부로 판단하는 단계를 포함하는 기판검사방법.
  9. 제1항에 있어서,
    응결된 수분을 제거하도록 상기 기판을 가열하는 단계를 더 포함하는 기판검사방법.
  10. 기판에 광을 조사하는 광원;
    상기 기판의 표면에 수증기가 응결되도록 상기 기판을 냉각하는 기판냉각부; 및
    상기 기판에서 반사된 상기 광을 수광하는 카메라;를 포함하는 기판검사장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 기판에 수증기를 공급하는 수증기공급부를 더 포함하는 기판검사장치.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 카메라를 통하여 획득한 영상정보를 바탕으로 상기 기판의 결함을 판단하는 결함판단부를 포함하는 기판검사장치.
  13. 제10항에 있어서,
    수증기가 응결되는 영역을 변경할 수 있도록 상기 기판과 상기 기판냉각부 중에서 어느 일측을 이동시키는 제어부를 더 포함하는 기판검사장치.
  14. 제10항에 있어서,
    상기 기판 표면에 응결된 수분을 제거하도록 상기 기판을 가열하는 히터를 더 포함하는 기판검사장치.
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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102495065A (zh) * 2011-11-24 2012-06-13 北京大学 一种探测二维纳米结构材料薄膜表面缺陷的方法
KR101626475B1 (ko) * 2015-06-08 2016-06-01 주식회사 고영테크놀러지 기판 검사 장치
KR101664337B1 (ko) * 2015-06-30 2016-10-11 주식회사 고영테크놀러지 습공기 형성 장치 및 이를 포함하는 측정 시스템
WO2016200155A1 (ko) * 2015-06-08 2016-12-15 주식회사 고영테크놀러지 습공기 형성 장치, 이를 포함하는 검사 장치 및 검사 방법
KR20160144310A (ko) * 2015-06-08 2016-12-16 주식회사 고영테크놀러지 기판 검사 장치
WO2017119715A1 (ko) * 2016-01-05 2017-07-13 경기대학교 산학협력단 그래핀 검사 장치 및 방법
CN108955542A (zh) * 2018-09-04 2018-12-07 宁波兰辰光电有限公司 一种汽车曲面玻璃激光自动检测设备及检测方法
CN109596463A (zh) * 2018-12-26 2019-04-09 浙江星星科技股份有限公司 一种显示面板表面af防指纹膜的检测方法
CN110319787A (zh) * 2018-03-30 2019-10-11 致茂电子(苏州)有限公司 表面量测系统
CN111197966A (zh) * 2018-11-16 2020-05-26 致茂电子(苏州)有限公司 使用冷凝手段的表面检测装置及其方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008205224A (ja) 2007-02-20 2008-09-04 Fujitsu Ltd 表面検査方法及び表面検査装置
JP5060412B2 (ja) * 2008-07-14 2012-10-31 東京エレクトロン株式会社 異物検出方法、異物検出装置、異物検出システム及び記憶媒体

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102495065A (zh) * 2011-11-24 2012-06-13 北京大学 一种探测二维纳米结构材料薄膜表面缺陷的方法
CN107743572A (zh) * 2015-06-08 2018-02-27 株式会社高永科技 湿空气形成装置、包括其的检查装置及检查方法
US10619870B2 (en) 2015-06-08 2020-04-14 Koh Young Technology Inc. Humid air forming device, inspection device comprising same, and inspection method
WO2016200155A1 (ko) * 2015-06-08 2016-12-15 주식회사 고영테크놀러지 습공기 형성 장치, 이를 포함하는 검사 장치 및 검사 방법
KR20160144310A (ko) * 2015-06-08 2016-12-16 주식회사 고영테크놀러지 기판 검사 장치
KR101626475B1 (ko) * 2015-06-08 2016-06-01 주식회사 고영테크놀러지 기판 검사 장치
US20180320913A1 (en) * 2015-06-08 2018-11-08 Koh Young Technology Inc. Humid air forming device, inspection device comprising same, and inspection method
CN107743572B (zh) * 2015-06-08 2021-03-30 株式会社高迎科技 湿空气形成装置、包括其的检查装置及检查方法
KR101664337B1 (ko) * 2015-06-30 2016-10-11 주식회사 고영테크놀러지 습공기 형성 장치 및 이를 포함하는 측정 시스템
WO2017119715A1 (ko) * 2016-01-05 2017-07-13 경기대학교 산학협력단 그래핀 검사 장치 및 방법
CN110319787A (zh) * 2018-03-30 2019-10-11 致茂电子(苏州)有限公司 表面量测系统
CN108955542A (zh) * 2018-09-04 2018-12-07 宁波兰辰光电有限公司 一种汽车曲面玻璃激光自动检测设备及检测方法
CN108955542B (zh) * 2018-09-04 2023-11-21 宁波兰辰光电有限公司 一种汽车曲面玻璃激光自动检测设备及检测方法
CN111197966A (zh) * 2018-11-16 2020-05-26 致茂电子(苏州)有限公司 使用冷凝手段的表面检测装置及其方法
CN109596463A (zh) * 2018-12-26 2019-04-09 浙江星星科技股份有限公司 一种显示面板表面af防指纹膜的检测方法

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