CN107743572B - 湿空气形成装置、包括其的检查装置及检查方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种使测量对象物冷却为预定温度，并向冷却的测量对象物喷射预定温度的湿空气，在测量对象物的表面形成水雾颗粒的湿空气形成装置及包括其的测量系统。本发明的湿空气形成装置包括：冷却部，其进行运转，以使测量对象物冷却到第一温度以下；湿空气供应部，其用于形成高于第一温度的第二温度的湿空气，向冷却的测量对象物的表面喷射湿空气，在冷却的测量对象物的表面形成水雾颗粒。

Description

湿空气形成装置、包括其的检查装置及检查方法

技术领域

本发明涉及测量领域，特别是涉及湿空气形成装置、包括其的检查装置及检查方法。

背景技术

一般而言，测量系统是照明部形成格子图案光并照射于测量对象物，拍摄部接收从测量对象物反射的光，利用接收的光来测量测量对象物的形状。

即，测量系统为了测量测量对象物的形状，从测量对象物反射的光需要被拍摄部接收。如果光在测量对象物的表面散射，则散射的光全方位传播。因此，拍摄部可以与拍摄部位置无关地接收反射的光。

但是，在测量对象物在表面具有诸如反射镜或玻璃面的镜面反射面的情况下，光会在表面正反射或透过。在光正反射的情况下，正反射的光只向既定方向行进，因而在固定位置的拍摄部难以感知光。另外，在光透过测量对象物的情况下，入射到拍摄部的光减少，因而固定位置的拍摄部难以感知光。因此，难以对测量对象物执行准确测量。

发明内容

解决的技术问题

本发明的一个实施例提供一种利用结露现象而在测量对象物的表面均匀形成的水雾颗粒(water particles)的湿空气形成装置及包括其的测量系统。

本发明的一个实施例提供一种利用结露现象而在测量对象物的表面均匀形成水雾颗粒并执行检查的检查装置。

本发明的一个实施例提供一种通过风道使湿空气封闭循环的湿空气形成装置及包括其的测量系统。

本发明的一个实施例提供一种湿空气形成装置及包括其的测量系统，随时开启/关闭加热器、热风机或加湿器，维持保有的湿空气的温度、湿度，从而提高装置的寿命，节约加湿器的湿气供应量及耗电。

本发明的一个实施例提供一种湿空气形成装置及包括其的测量系统，当在直列设备(inline equipment)驱动中临时停止测量(或检查)时，生成湿空气且不排出，延长加热器、热风机或加湿器的关闭时间，从而提高装置的寿命。

技术方案

本发明一个示例性实施例的湿空气形成装置包括：湿空气供应部，其用于将温度高于测量对象物温度的暖风与湿气混合而形成湿空气，向所述测量对象物的表面喷射所述湿空气，在所述测量对象物的表面形成水雾颗粒。

作为一个实施例，所述湿空气形成装置可以还包括冷却部，其进行运转，以使所述测量对象物冷却。

作为一个实施例，所述冷却部可以包括：测量对象物承载部，其用于承载多个所述测量对象物；冷风形成部，其进行运转，以便形成冷风；及冷风供应管，其用于连接所述测量对象物承载部与所述冷风形成部，将在所述冷风形成部形成的所述冷风供应到所述测量对象物承载部内。

作为一个实施例，所述冷却部可以还包括：冷风循环管，其用于连接所述测量对象物承载部与所述冷风形成部，使供应到所述测量对象物承载部内的所述冷风向所述冷风形成部循环。

作为一个实施例，所述湿空气供应部可以包括：暖风形成部，其进行运转，以便形成所述暖风；加湿部，其进行运转，以便形成所述湿气；及混合部，其进行运转，以便混合所述暖风及所述湿气，形成所述湿空气。

作为一个实施例，所述混合部可以包括：外壳，其包括供所述暖风流入的第一流入口、供所述湿气流入的第二流入口及供所述湿空气吐出的吐出口；及混合管，其具有供从所述第二流入口流入的所述湿气穿过的多个贯通孔，连接于所述第一流入口和所述吐出口，混合从所述第一流入口流入的所述暖风和穿过所述贯通孔的所述湿气，形成所述湿空气。

作为一个实施例，所述湿空气形成装置可以还包括冷却台，其使喷射了所述湿空气的所述测量对象物冷却并保持。

作为一个实施例，所述冷却台可以包括：冷却元件，其用于使所述测量对象物冷却；上部板，其用于安装于所述冷却元件上方，吸附保持所述测量对象物，将所述测量对象物的热传递给所述冷却元件；及下部板，其用于安装于所述冷却元件下方，使所述冷却元件发生的热释放。

作为一个实施例，所述冷却台可以还包括：抽吸部，其进行运转，以便通过多个穿孔吸入空气，使得所述测量对象物被吸附于所述上部板并保持。

作为一个实施例，所述湿空气供应部可以包括：风道，其供所述湿空气在内部封闭地循环；加湿部，其生成混合于所述湿空气的所述湿气；及喷射送风部，其将所述风道中循环的所述湿空气的一部分向所述测量对象物喷射。

作为一个实施例，所述湿空气供应部可以还包括：加热器，其将在所述风道循环的所述湿空气的温度加热到高于外气温度的温度。

作为一个实施例，所述湿空气供应部可以还包括：混合部，其混合所述湿空气和借助于所述加湿部而形成的湿气。

作为一个实施例，所述湿空气供应部可以还包括：开闭部，其将封闭于所述风道中的所述湿空气的一部分供应给所述喷射送风部或切断供应。

作为一个实施例，所述湿空气供应部可以还包括：湿空气缓冲部，其接受供应封闭于所述风道中的所述湿空气的一部分并存储，将存储的所述湿空气供应给所述风道。

作为一个实施例，所述湿空气供应部可以还包括：循环送风部，其使所述湿空气在所述风道中循环。

作为一个实施例，所述湿空气供应部可以还包括：湿空气感知部，其感知所述湿空气的温度及湿度；所述湿空气形成装置可以还包括：控制部，其控制所述湿空气的形成及喷射；所述控制部基于所述感知的温度及湿度，可以控制所述加热器及所述加湿部的驱动。

作为一个实施例，所述湿空气形成装置可以还包括控制部，其控制所述湿空气的形成及喷射；所述控制部基于所述喷射送风部的驱动与否或驱动次数，可以控制所述加热器及所述加湿部的驱动。

本发明一个示例性实施例的检查装置可以包括：湿空气形成装置，其包括湿空气供应部，所述湿空气供应部用于混合温度高于测量对象物温度的暖风和湿气而形成湿空气，向所述测量对象物的表面喷射所述湿空气，在所述测量对象物的表面形成水雾颗粒；及影像数据获得部，其为了检查所述测量对象物，向喷射所述湿空气的所述测量对象物照射光，接收从所述测量对象物反射的光，获得所述测量对象物的影像数据。

作为一个实施例，所述湿空气形成装置可以还包括：冷却部，其进行运转，以使所述测量对象物冷却。

借助于本发明一个示例性实施例的检查装置而执行的检查方法可以包括：混合温度高于测量对象物温度的暖风和湿气而形成湿空气的步骤；向所述测量对象物的表面喷射所述湿空气而在所述测量对象物的表面形成水雾颗粒的步骤；及为了检查所述测量对象物而测量形成有水雾颗粒的所述测量对象物并获得影像数据的步骤。

发明效果

根据本发明的一个实施例，可以在光在表面正反射或透过的测量对象物(例如，镜面物体)的表面，均匀地形成水雾颗粒，可以对镜面物体准确测量二维或三维形状。

根据本发明的一个实施例，可以与测量对象物形状无关地在测量对象物的全体表面均匀形成水雾颗粒。

根据本发明的一个实施例，可以在测量对象物的表面均匀形成水雾颗粒，可以执行对测量对象物的准确检查。

根据本发明的一个实施例，湿空气形成装置通过风道使湿空气封闭循环，从而可以既定地保持温度、湿度等并保有湿空气。因此，不需要为了既定地保持湿空气的温度、湿度等而连续生成湿空气。

根据本发明的一个实施例，保有的湿空气的温度、湿度可以通过开启/关闭加热器、热风机或加湿器而保持，因而与使加热器、热风机或加湿器连续运转的方式相比，提高装置的寿命。另外，本发明的实施例可以节约加湿器的湿气供应量，可以减少耗电。

另一方面，在直列设备驱动中，由于工序中发生障碍等理由，会有临时停止测量(或检查)的情形。根据本发明的一个实施例，此时生成湿空气且不排出，维持保有的湿空气，延长加热器、热风机或加湿器的关闭时间，从而能够提高装置的寿命。

附图说明

图1是概略地显示本发明实施例的测量系统的构成的立体图。

图2是概略地显示本发明一个实施例的冷却部的构成的构成图。

图3是概略地显示本发明一个实施例的湿空气供应部的构成的构成图。

图4是本发明一个实施例的混合部的立体图。

图5是本发明一个实施例的混合部的剖面图。

图6是概略地显示本发明一个实施例的影像数据获得部的说明图。

图7是概略地显示本发明另一实施例的测量系统的立体图。

图8是本发明另一实施例的冷却台的剖面图。

图9是本发明另一实施例的冷却台的俯视图。

图10是概略地图示本发明又一实施例的测量系统的立体图。

图11是概略地显示本发明又一实施例的测量系统的立体图。

图12是概略地显示本发明又一实施例的测量系统的立体图。

图13是概略地显示本发明又一实施例的湿空气供应部的构成的构成图。

图14是本发明又一实施例的混合部的立体图。

图15是本发明又一实施例的混合部的剖面图。

图16是概略地显示本发明又一实施例的检查装置的构成的立体图。

图17是显示根据本发明的实施例而执行检查的方法的顺序图。

具体实施方式

本发明的实施例是出于说明本发明的目的而举例的。本发明的实施例可以以多样的形态实施，不得解释为本发明限定于以下提示的实施例或对这些实施例的具体说明。

本实施例中使用的术语“部”可以意味着软件、诸如FPGA(field-programmablegate array，现场可编程门阵列)、ASIC(application specific integrated circuit，专用集成电路)的硬件构成要素。但是，“部”并非限定于硬件及软件。“部”既可以构成得位于可寻址的存储介质中，也可以构成得使一个或其以上的处理器运行。因此，作为一个示例，“部”包括诸如软件构成要素、面向对象的软件构成要素、类构成要素及任务构成要素的构成要素，与处理器、函数、属性、子过程、子程序、程序代码的区段、驱动程序、固件、微码、电路、数据、数据库、数据结构、工作表、数组及变数。构成要素和“部”内提供的功能可以由更小数量的构成要素及“部”结合，或分离成追加的构成要素和“部”。

只要未不同地定义，本说明书中使用的所有技术术语及科学术语具有本发明所属技术领域的技术人员一般理解的意义。本说明书中使用的所有术语是出于更明确地说明本发明之目的而选择，并非为了限制本发明的范围而选择的。

在本说明书中，只要未不同地提及，单数型也包括复数型，这在权利要求项中亦然。

在本发明的多样实施例中使用的“第一”、“第二”等表现只是为了区分构成要素而使用，并非限定相应构成要素的顺序、重要度等。

本说明书中使用的“包括的”及“具有的”，只要语句中未特别提及，则应理解为开放型术语(open-ended terms)。

在本说明书中，“基于～”字样的语句用于记述对决定产生影响的一个以上的因子，该术语不排除用于决定的追加性因子。

在提及某种构成要素“连接于”或“接入于”其他构成要素时，应理解为既可以是所述某种构成要素直接连接于或接入于所述其他构成要素，也可以在所述某种构成要素与所述其他构成要素之间存在新的其他构成要素。

本说明书中使用的术语中的“湿空气(moist air)”意味着包含水蒸气的空气。

下面参照附图，说明本发明的实施例。对于附图上类似的构成要素，使用类似的附图标记，并省略对相同构成要素的重复说明。不过，在以下说明中，当存在不必要地混淆本发明要旨的忧虑时，省略对众所周知的功能或构成的具体说明。

图1是概略地显示本发明一个实施例的测量系统的立体图。测量系统可以测量测量对象物(例如，镜面物体)IO的二维或三维的形状。测量对象物200可以包括光在表面正反射或透过的镜面反射面。例如，测量对象物200可以包括便携终端用金属壳、半导体基板的焊接处及基板等，但并非必须限定于此。

如果参照图1，本实施例的测量系统100可以包括冷却部110。冷却部110可以使测量对象物200冷却至预先确定的温度(以下称为“第一温度”)以下。对于具体的第一温度的设置，将在下面详细说明。如果借助于冷却部110而使测量对象物200冷却，那么，不仅是测量对象物200表面，测量对象物表面周边的空气也可以冷却到第一温度以下。测量对象物200表面周边的湿空气达到第一温度以下，从而如果成为水蒸气饱和状态或水蒸气过饱和状态，则发生结露，会在测量对象物200的表面生成水雾颗粒。如果考虑到通常的测量装置的安装环境等，则第一温度可以为-20℃～20℃范围，或0℃～15℃范围，或2℃～5℃范围。

前述实施例的测量系统可以包括冷却部，但并非必须限定于此。例如，在测量对象物200未冷却的状态下，如果湿空气的绝对水蒸气量充足，则根据湿空气线图，测量对象物200表面周边的空气会成为水蒸气饱和状态或水蒸气过饱和状态。因此会发生结露，在测量对象物200表面生成水雾颗粒。

图2是概略地显示本发明一个实施例的冷却部110的构成的构成图。如果参照图2，冷却部110可以包括测量对象物承载部115。测量对象物承载部115可以暂时收纳测量对象物200。例如，测量对象物承载部115可以分多段承载多个测量对象物200。例如，测量对象物承载部115可以是在不移送测量对象物200期间进行密闭的密闭型缓冲部。

冷却部110可以还包括冷风形成部111。冷风形成部111可以形成用于使测量对象物承载部115内收纳的测量对象物200冷却至第一温度以下的冷风。例如，冷风形成部111可以包括空调、冷冻机等，但并非必须限定于此。

冷却部110可以还包括冷风供应管113。冷风供应管113作为用于连接冷风形成部111与测量对象物承载部115的管，将冷风形成部111形成的冷风供应到测量对象物承载部115内。例如，冷风供应管113的一端可以安装于测量对象物承载部115的上端一侧，但并非必须限定于此，也可以根据需要而安装于测量对象物承载部115的多样位置。

冷却部110可以还包括冷风循环管117。冷风循环管117作为用于连接测量对象物承载部115与冷风形成部111的管，可以将供应到测量对象物承载部115内的冷风重新供应给冷风形成部111而实现循环结构。例如，冷风循环管117的一端可以安装于测量对象物承载部115的下端侧面，但并非必须限定于此，可以根据需要而安装于测量对象物承载部115的多样位置。

在前述实施例中，说明了冷却部110包括冷风循环管117，使供应到测量对象物承载部115内的冷风循环到冷风形成部111的构成，在另一实施例中，冷却部110不包括冷风循环管117，而是可以通过在测量对象物承载部115的下端侧面形成的排气口，使供应到测量对象物承载部115内的冷风排出。

如果再次参照图1，测量系统100可以还包括湿空气供应部120。湿空气供应部120可以形成湿空气并向测量对象物200的表面喷射。湿空气可以具有高于冷却部110的第一温度的温度。如果湿空气接入测量对象物200，则湿空气会因测量对象物200表面的温度而冷却。此时，湿空气冷却，根据湿空气线图，达到饱和状态或过饱和状态后，水蒸气在测量对象物200表面凝结，可以生成水雾颗粒。

在一个实施例中，湿空气供应部120可以连续或非连续地喷射湿空气。作为一个示例，湿空气供应部120检测测量对象物200的位置，当测量对象物200位于预定位置时，可以喷射湿空气。例如，湿空气供应部120在测量对象物200位于湿空气供应部120下方时，可以喷射湿空气。作为另一示例，湿空气供应部120可以与测量对象物200位置无关地连续喷射湿空气。

在一个实施例中，湿空气供应部120为了向测量对象物200的全体表面喷射具有既定湿度的湿空气，可以位于测量对象物200的上端，但并非必须限定于此。

图3是概略地显示本发明一个实施例的湿空气供应部120构成的构成图。如果参照图3，湿空气供应部120可以包括暖风形成部121。

暖风形成部121可以形成预先确定的温度(第二温度)以上的暖风。第二温度可以高于冷却部110的第一温度。如果考虑通常的测量装置的安装环境等，则第二温度可以为20℃～300℃范围，或30℃～200℃范围，或40℃～150℃范围。在一个实施例中，暖风形成部121可以包括电热式暖风机，但并非必须限定于此，只要是能够形成暖风的装置，任何装置均可。

湿空气供应部120可以还包括加湿部122。加湿部122可以利用液体形成湿气(或细微水滴)。在一个实施例中，液体可以为水，但并非必须限定于此。在一个实施例中，加湿部122包括超声波加湿器，但并非限定于此，只要是能够形成湿气的装置，任何装置均可。

湿空气供应部120可以还包括混合部123。混合部123可以混合从暖风形成部121提供的暖风和从加湿部122提供的湿气(moisture)，形成湿空气。

图4是本发明一个实施例的混合部123的立体图，图5是本发明一个实施例的混合部123的剖面图。如果参照图4及图5，混合部123可以包括外壳410。

外壳410可以使从暖风形成部121提供和暖风和从加湿部122提供的湿气密闭。外壳410可以包括供来自暖风形成部121的暖风流入的第一流入口411、供来自加湿部122的湿气流入的第二流入口412及供湿空气吐出的吐出口413。

混合部123可以还包括混合管420。混合管420可以连接于外壳410的第一流入口411及吐出口413。另外，混合管420可以具有多个贯通孔421。贯通孔421的直径可以为1㎜～10㎜，但并非必须限定于此。另外，混合管420可以具有圆筒形状，但并非必须限定于此。

在一个实施例中，借助于暖风形成部121而形成的暖风可以通过外壳410的第一流入口411而流入混合管420内。另外，借助于加湿部122而形成的湿气，可以经外壳410的第二流入口412，通过贯通孔421流入混合管420内。因此，在混合管420内，暖风和湿气混合，可以形成湿空气。

如果再次参照图3，湿空气供应部120可以还包括喷嘴124。喷嘴124可以与外壳410的吐出口413连接，将混合部123形成的湿空气喷射于测量对象物200的表面。在一个实施例中，喷嘴124可以安装于测量对象物200的上端，但并非必须限定于此，只要是能够既定地向测量对象物200的表面喷射湿空气的位置，安装于哪种位置均可。另外，喷嘴124也可以由多个构成，以便能够在多样方向喷射湿空气。

湿空气供应部120可以还包括湿空气感知部125。湿空气感知部125安装于湿空气供应部120内的预定位置，感知湿空气供应部120喷射的湿空气的温度及湿度，形成包括感知的温度及湿度的感知信息(以下称为“湿空气感知信息”)。例如，湿空气感知部125包括温湿度传感器，但并非必须限定于此。

如果再次参照图1，测量系统100可以还包括影像数据获得部130。影像数据获得部130可以向在表面生成水雾颗粒的测量对象物200照射光，接收被测量对象物200反射的光，获得测量对象物200的影像数据。影像数据可以为测量对象物200的二维或三维影像数据。

图6是概略地显示本发明一个实施例的影像数据获得部130的说明图。如果参照图6，影像数据获得部130可以包括照明部131。

照明部131可以向测量对象物200照射用于测量测量对象物200形状的图案照明。例如，照明部131可以包括用于发生光的光源1311、用于将来自光源1311的光变换成图案照明的格子元件1312、用于间距移送格子元件1312的格子移送器具1313及用于使被格子元件1312变换的图案照明投影于测量对象物200的投影透镜1314。其中，格子元件1312为了图案照明的相移而通过PZT致动器(Lead Zirconate Titanate Actuator，压电致动器)等格子移送器具1313每次移送预定距离(例如，2π/N(N为2以上的自然数))。不同于此，可以取代利用格子元件1312及格子移送器具1313，而是利用液晶显示装置的影像，照射经相移的格子图案光。但是，并非必须限定于此，只要能够照射经相移的格子图案光，也可以以其他装置体现。

作为一个示例，照明部131可以安装1个，或沿圆柱方向或虚拟多边形平面隔开既定角度地安装多个。作为另一示例，照明部131可以相对于测量对象物200的垂直方向倾斜既定角度地安装多个。作为又一示例，照明部131也可以沿着与测量对象物200垂直的方向安装1个。

影像数据获得部130可以还包括拍摄部132。拍摄部132可以接收被测量对象物200反射的光，获得测量对象物200的影像数据。即，拍摄部132可以通过照明部131的图案光照射而拍摄测量对象物200，获得测量对象物200的影像数据。拍摄部132包括CCD(chargecoupled device，电荷耦合装置)照相机或CMOS(complementary metal oxidesemiconductor，互补金属氧化物半导体)照相机，但并非必须限定于此。作为一个示例，拍摄部132可以安装于从测量对象物200起的垂直的上部位置。作为另一示例，拍摄部132可以在从测量对象物200的垂直的上部位置，沿圆周方向隔开既定角度安装多个。

影像数据获得部130可以还包括平台133。平台133可以支撑及固定测量对象物200。在一个实施例中，平台133可以包括：第一平台1331，其进行运转，以便支撑及固定测量对象物200的一端部；第二平台1332，其进行运转，以便支撑及固定测量对象物200的另一端部。

图6所示的影像数据获得部130显示了能够获得测量对象物200的影像数据的测量装置之一的实施例，需要注意的是，并非影像数据获得部130必须限定于图6所示的形态。

如果再次参照图1，测量系统100可以还包括移送部140。移送部140可以将测量对象物200移送到冷却部110、湿空气供应部120及影像数据获得部130。在一个实施例中，移送部140可以单向移送测量对象物200。移送部140包括传输机等，但并非必须限定于此。

测量系统100可以还包括温湿度感知部190。温湿度感知部190可以感知温度及湿度中至少一者并输出感知信息。温湿度感知部190可以安装于测量系统100的预定位置，感知测量系统100周围空气的温度及湿度中至少一者，输出包括感知的温度及湿度中至少一者的感知信息(以下称为“温湿度感知信息”)。作为一个示例，温湿度感知部190可以包括温度感知部及湿度感知部。温度感知部包括温度传感器等，但并非必须限定于此。湿度感知部包括湿度传感器等，但并非必须限定于此。作为另一示例，温湿度感知部190可以不独立地包括温度感知部和湿度感知部，而是可以包括能够感知温度及湿度的温湿度传感器。

测量系统100可以还包括控制部160。控制部160可以控制测量系统100的各构成要素，即，控制冷却部110、湿空气供应部120、影像数据获得部130、移送部140、温湿度感知部190各自的运转。

作为一个示例，控制部160可以基于从温湿度感知部190提供的温湿度感知信息，调节冷却部110的第一温度及湿空气供应部120的第二温度。即，控制部160可以基于温湿度感知信息，设置第一温度及第二温度，基于设置的第一温度，调节在冷却部110冷却的测量对象物200的温度，基于设置的第二温度，调节湿空气供应部120供应的湿空气的温度。另外，控制部160也可以控制加湿部122的加湿量，调节湿空气供应部120供应的湿空气的湿度。

作为一个示例，控制部160可以将湿空气的温度及湿度信息应用于湿空气线图，算出会发生结露的露点温度。例如，控制部160可以将湿空气感知部125感知的湿空气的温度及湿度信息应用于湿空气线图而算出露点温度，将第一温度设置为露点温度以下。例如，当湿空气的温度为20℃、湿度为50％时，控制部160可以将其应用于湿空气线图，算出露点温度9℃。因此，控制部160可以将第一温度设置为9℃以下。作为又一示例，控制部160也可以将借助于温湿度感知部190感知的测量系统100周围空气的温度及湿度应用于湿空气线图，算出周围空气的露点温度，将第一温度设置为周围空气的露点温度以下。控制部160可以输出用于将冷却部110使测量对象物200冷却的温度调节为第一温度以下的控制信号。因此，冷却部110可以根据来自控制部160的控制信号，使测量对象物200冷却到第一温度以下。

另外，控制部160可以基于从温湿度感知部190提供的周围空气的温湿度感知信息，调节冷却部110的第一温度。例如，控制部160在根据周围空气的温湿度感知信息，判断在测量对象物200的表面形成的水雾颗粒难以维持至获得影像数据时的情况下，可以将第一温度设置为更低的值。例如，直到获得测量对象物200的影像数据之前，未充分保持测量对象物200的冷却，根据湿空气线图，测量对象物200表面周边的空气成为水蒸气不饱和状态，在这种情况下，在测量对象物200表面形成的水雾颗粒会蒸发。因此，如果控制部160将第一温度设置得足够低，则水雾颗粒可以在测量对象物的表面保持足够长时间，使得测量对象物200表面周边的空气根据湿空气线图，保持水蒸气饱和状态或水蒸气过饱和状态，直至获得测量对象物200的影像数据为止。

作为另一示例，控制部160可以基于温度感知信息，即，基于温度感知部所感知的温度，设置第二温度。例如，控制部160可以将第二温度设置为温度感知部所感知的温度以上。例如，当温度感知部所感知的测量系统100周围空气的温度为20℃时，控制部160可以将第二温度设置为温度感知部所感知的温度(20℃)以上。作为另一示例，控制部160可以将第二温度设置为比温度感知部所感知的温度高出预定温度。作为一个示例，当温度感知部所感知的温度为20℃时，控制部160可以将第二温度设置为比温度感知部所感知的温度(20℃)高出预定温度(例如，10℃)的温度(30℃)。控制部160可以输出用于将湿空气供应部120的暖风温度调节为第二温度以上的控制信号。因此，湿空气供应部120的暖风形成部121可以根据来自于控制部160的控制信号，形成第二温度(例如，30℃)以上的预定温度的暖风。

另外，正如上面所作的说明，控制部160可以将湿空气的温度及湿度信息应用于湿空气线图，算出会发生结露的温度，即，露点温度。作为一个示例，控制部160可以基于温度感知部所感知的测量系统100周围空气的温度、第二温度及露点温度来设置第一温度。例如，控制部160可以算出第二温度与温度感知部所感知的温度间的温度差，将第一温度设置为在露点温度基础上加上温度差的温度。作为一个示例，控制部160可以算出第二温度(30℃)与温度感知部所感知的温度(20℃)间的温度差(10℃)，将第一温度设置为露点温度(9℃)与温度差(10℃)相加的温度(19℃)。控制部160可以输出用于将冷却部110使测量对象物200冷却的温度调节为第一温度以下所需的控制信号。因此，冷却部110可以根据来自控制部160的控制信号，使测量对象物200冷却至第一温度以下。

另外，控制部160可以基于第一温度及第二温度，决定湿空气的湿度。例如，控制部160可以将第一温度及第二温度应用于湿空气线图，算出会发生结露的湿空气湿度，即，会在测量对象物200的表面发生水雾颗粒的湿度(以下称为“结露发生湿度”)。例如，当第一温度为9℃、第二温度为20℃时，结露发生湿度为50％。控制部160可以比较从湿空气感知部125提供的湿空气感知信息(即，湿空气的湿度)与结露发生湿度，决定湿空气的湿度是否为结露发生湿度以上。如果湿空气的湿度为结露发生湿度以下，则控制部160可以使加湿部1264继续启动。

作为一个示例，控制部160为了执行本实施例的前述一个以上的功能，可以借助于可读取及运行在存储介质(例如，非暂时性计算机可读存储介质)中记录的计算机可执行命令的系统或装置的计算机来实现，为了执行前述实施例中一个以上的功能，可以借助于如下方法来实现，即，从存储介质读取计算机可执行命令并运行，从而借助于系统或装置的计算机来执行。计算机可以包括中央处理器(CPU)、微处理器(MPU)或其他电路中的一者以上，可以包括另外的计算机或另外的计算机处理器的网络。计算机可执行命令例如可以从网络或存储介质提供给计算机。存储介质例如可以包括硬盘、随机存取存储器(RAM)、只读存储器(ROM)、分布计算系统的存储器、光盘(激光唱片(CD)、数字多功能光盘(DVD)或蓝光光盘(BD))、快闪存储装置及存储卡等中一者以上。

选择性地，冷却部110及湿空气供应部120可以由用于在测量对象物200的表面生成水雾颗粒的湿空气形成装置300构成。另一方面，移送部140、控制部160及温湿度感知部190中至少一者也可以包含于湿空气形成装置300。

另外选择性地，测量系统100可以还包括测量对象物感知部，所述测量对象物感知部感知被移送部140移送的测量对象物200的位置，输出包括所感知的位置的位置信息。测量对象物感知部可以包括位置传感器等，但并非必须限定于此。

另外选择性地，测量系统100也可以还包括排除从湿空气供应部120喷射的湿空气的湿空气排气口。如上所述，测量系统100包括湿空气排气口，从而借助于从湿空气供应部120喷射的湿空气，可以减小测量系统100会发生故障等的可能性。

另外，在喷射湿空气后获得测量对象物200的影像数据时，也会发生在测量对象物200的表面过多发生雾气(即，水雾颗粒过多凝结)或雾气过少发生(即，水雾颗粒过少凝结)，从而无法仅以获得的影像数据导出准确的二维或三维形状的情形。选择性地，控制部160也可以在测量系统100的设置前，调节暖风形成部121喷射的暖风风量，调节湿空气与外部空气混合的程度，可以设置最佳的风量。即，控制部160可以基于通过温湿度感知部而感知的温湿度感知信息，形成用于控制暖风风量的控制信号。因此，暖风形成部121可以根据来自控制部160的控制信号，调节暖风风量。

图7是概略地显示本发明一个实施例的测量系统的立体图。在本实施例中，针对与上面所作说明类似的构成要素，赋予类似的附图标记并省略其详细说明。

如果参照图7，测量系统700可以包括冷却台750。冷却台750可以使从湿空气供应部120被移送部140所移送的测量对象物200冷却至预先确定的温度(第三温度)以下，以便在测量对象物200的表面形成的水雾颗粒得以保持。例如，第三温度可以是冷却部110使测量对象物200冷却的第一温度。即，冷却台750可以使测量对象物200冷却，以便测量对象物200的温度保持第一温度以下。作为另一示例，第三温度也可以设置为测量对象物200表面周边的空气达到水蒸气饱和状态或水蒸气过饱和状态的温度。这可以通过将从温湿度感知部790提供的周边空气的温/湿度应用于湿空气线图而设置。如果使测量对象物200表面周边的空气达到水蒸气饱和状态或水蒸气过饱和状态，则在测量对象物200表面形成的水雾颗粒不蒸发，因而水雾颗粒能够保持。

图8是概略地显示本发明一个实施例的冷却台750的剖面图，图9是本发明一个实施例的冷却台750的俯视图。如果参照图8，冷却台750可以包括冷却元件751。冷却元件751使测量对象物200冷却至第三温度以下。例如，冷却元件751可以包括利用借助于电流而吸热的帕尔贴效应进行冷却的帕尔贴元件。但是，冷却元件751并非必须限定于此。

冷却台750可以还包括上部板752。上部板752可以吸附并保持测量对象物200。上部板752如图8及图9所示，可以包括用于借助空气的吸入而吸附并保持测量对象物200的多个穿孔756及吸入管754。另外，上部板752可以位于冷却元件751上，将测量对象物200的热传递给冷却元件751。即，测量对象物200的热通过上部板752传递给冷却元件751，冷却元件751吸收热，从而测量对象物200可以被冷却。例如，上部板752可以由导热率高的材料构成。作为一个示例，上部板752可以由铝构成，但并非必须限定于此。

冷却台750可以还包括下部板753。下部板753可以位于冷却元件751的下方，释放冷却元件751发生的热。下部板753可以包括吸入管755，所述吸入管755连接于吸入管754，用于吸入空气。例如，下部板753可以由高导热率的材料构成。作为一个示例，下部板753可以由铝构成，但并非必须限定于此。

如果再次参照图7，测量系统700可以还包括温湿度感知部790。温湿度感知部790感知温度及湿度中至少一者，输出感知信息。作为一个示例，温湿度感知部790可以包括安装于测量系统700预定位置的温度感知部及湿度感知部。

例如，温度感知部可以包括：第一温度感知部，其进行运转，以便感知测量系统700周边的温度，输出包括所感知的温度的第一温度感知信息；第二温度感知部，其安装于冷却台750(即，冷却台750的上部板752)，进行运转，以便感知冷却台750的温度，输出包括所感知的温度的第二温度感知信息。

测量系统700可以还包括控制部760。控制部760可以控制测量系统700的各构成要素，即，控制冷却部110、湿空气供应部120、影像数据获得部130、移送部140、冷却台750及温湿度感知部790各自的运转。

作为一个示例，控制部760可以基于从温湿度感知部790提供的感知信息，调节冷却部110的第一温度、湿空气供应部120的第二温度及冷却台750的第三温度。即，控制部760可以基于从第一温度感知部提供的第一温度感知信息及从湿度感知部提供的湿度感知信息，设置第一温度及第二温度，基于设置的第一温度，调节冷却部110的第一温度及冷却台750的第三温度，基于设置的第二温度，调节湿空气供应部120供应的湿空气的温度。另外，控制部760也可以控制加湿部122的加湿量，调节湿空气供应部120供应的湿空气的湿度。

作为一个示例，控制部760可以将湿空气的温度及湿度信息应用于湿空气线图，算出会发生结露的露点温度。例如，控制部760可以将湿空气感知部125感知的湿空气的温度及湿度信息应用于湿空气线图，算出露点温度，将第一温度设置为露点温度以下。作为又一示例，控制部760可以将第一温度感知部所感知的温度及湿度感知部所感知的湿度应用于湿空气线图，算出露点温度，将第一温度设置为周围空气的露点温度以下。控制部760可以输出用于将冷却部110使测量对象物200冷却的温度调节为第一温度以下所需的控制信号。因此，冷却部110可以根据来自控制部760的第六控制信号，使测量对象物200冷却至第一温度以下。

另外，控制部760可以比较第二温度感知部所感知的温度(即，第二温度感知信息)与第三温度，如果第二温度感知部所感知的温度高于第三温度，则输出用于将冷却台750的温度调节为第三温度以下所需的控制信号。因此，冷却台750可以根据来自控制部760的控制信号，使测量对象物200冷却至第三温度以下。

作为另一示例，控制部760可以基于第一温度感知信息，设置第二温度。例如，控制部760可以将第二温度设置为第一温度感知部所感知的温度以上。作为另一示例，控制部760可以将第二温度设置为比第一温度感知部所感知的温度高出预定温度的温度。控制部760可以输出用于将湿空气供应部120的暖风温度调节为第二温度以上所需的控制信号。因此，湿空气供应部120的暖风形成部121可以根据来自控制部760的控制信号，形成具有第二温度以上的温度的暖风。

另外，控制部760可以将第一温度感知信息及湿度感知信息应用于湿空气线图，算出露点温度。控制部760可以基于第一温度感知部所感知的测量系统700周边的温度、第二温度及露点温度而设置第一温度。例如，控制部760可以算出第一温度感知部所感知的温度与第二温度间的温度差，将第一温度设置为在露点温度基础上加上温度差的温度。控制部760可以输出用于将冷却部110使测量对象物200冷却的温度调节为第一温度以下所需的控制信号。因此，冷却部110可以根据来自控制部760的控制信号，使测量对象物200冷却至第一温度以下。

另外，控制部760可以将冷却台750使测量对象物200冷却的预先确定的温度(第三温度)设置为测量对象物200表面周边的空气成为水蒸气饱和状态或水蒸气过饱和状态的温度。这可以通过将从温湿度感知部790提供的周边空气的温/湿度应用于湿空气线图而算出。如果使测量对象物200表面周边的空气达到水蒸气饱和状态或水蒸气过饱和状态，则在测量对象物200表面形成的水雾颗粒不蒸发，因而水雾颗粒可以维持。另外，控制部760可以比较第二温度感知部所感知的冷却台750的温度(第二温度感知信息)与第三温度，如果第二温度感知部所感知的冷却台750的温度高于第三温度，则输出用于将冷却台750的温度调节为第三温度以下所需的控制信号。因此，冷却台750可以根据来自控制部760的控制信号，使测量对象物200冷却至第三温度以下。如果利用这种方式，使测量对象物200表面周边的空气根据湿空气线图而达到水蒸气饱和状态或水蒸气过饱和状态，则在测量对象物200表面形成的水雾颗粒不蒸发，因而水雾颗粒可以维持。

作为一个示例，控制部760为了执行本实施例的前述一个以上的功能，可以借助于可读取及运行在存储介质(例如，非暂时性计算机可读存储介质)中记录的计算机可执行命令的系统或装置的计算机来实现，为了执行前述实施例中一个以上的功能，可以借助于如下方法来实现，即，从存储介质读取计算机可执行命令并运行，从而借助于系统或装置的计算机来执行。计算机可以包括中央处理器(CPU)、微处理器(MPU)或其他电路中的一者以上，可以包括另外的计算机或另外的计算机处理器的网络。计算机可执行命令例如可以从网络或存储介质提供给计算机。存储介质例如可以包括硬盘、随机存取存储器(RAM)、只读存储器(ROM)、分布计算系统的存储器、光盘(激光唱片(CD)、数字多功能光盘(DVD)或蓝光光盘(BD))、快闪存储装置及存储卡等中一者以上。

选择性地，冷却部110、湿空气供应部120及冷却台750可以由用于在测量对象物200的表面生成水雾颗粒的湿空气形成装置00构成。另一方面，移送部140、控制部760及温湿度感知部790中至少一者也可以包含于湿空气形成装置800。

另外选择性地，测量系统700可以还包括测量对象物感知部，所述测量对象物感知部感知被移送部140移送的测量对象物200的位置，输出包括所感知的位置的位置信息。测量对象物感知部可以包括位置传感器等，但并非必须限定于此。

另外选择性地，测量系统700也可以还包括排除从湿空气供应部120喷射的湿空气的湿空气排气口。如上所述，测量系统700包括湿空气排气口，从而借助于从湿空气供应部120喷射的湿空气，可以减小测量系统700会发生故障等的可能性。

另外选择性地，测量系统700可以还包括：抽吸部，其连接于冷却台750的吸入管755，进行运转以便吸入空气，以便使测量对象物200吸附于冷却台750的上部板752并维持。

另外，在喷射湿空气后获得测量对象物200的影像数据时，也会发生在测量对象物200的表面过多发生雾气(即，水雾颗粒过多凝结)或雾气过少发生(即，水雾颗粒过少凝结)而无法仅以获得的影像数据导出准确的二维或三维形状的情形。选择性地，控制部760也可以在测量系统700的设置前，调节暖风形成部121喷射的暖风风量，调节湿空气与外部空气混合的程度，可以设置最佳的风量。即，控制部760可以基于通过温湿度感知部而感知的温湿度感知信息，形成用于控制暖风强度的控制信号。因此，暖风形成部121可以根据来自控制部760的控制信号，调节暖风风量。

图10是概略地显示本发明一个实施例的测量系统的立体图。在本实施例中，针对与上面所作说明类似的构成要素，赋予类似的附图标记并省略其详细说明。

如果参照图10，本实施例的测量系统1000可以包括冷却台1050。冷却台1050可以使测量对象物200冷却至第三温度以下并维持。即，冷却台1050可以执行图1的冷却部110及图7的冷却台750的功能，使测量对象物200冷却至第三温度以下，使冷却的测量对象物200维持在第三温度以下。即，将测量对象物200表面周边的空气，根据湿空气线图而达到水蒸气饱和状态或水蒸气过饱和状态，从而可以在测量对象物200表面形成水雾颗粒并维持。本实施例中的冷却台1050具有与图8所示冷却台750相同的构成，因而在本实施例中省略详细说明。

如上所述，在本实施例中，取代图1的冷却部110而利用冷却台1050来冷却测量对象物200并维持，从而能够简化测量系统1000，节省制作费用。

测量系统1000可以还包括温湿度感知部1090。温湿度感知部1090可以感知测量系统1000周围的温度及湿度，感知冷却台1050的温度。本实施例中的温湿度感知部1090具有与图7的温湿度感知部790相同的构成及功能，因而在本实施例中省略详细说明。

测量系统1000可以还包括控制部1060。本实施例中的控制部1060只调节冷却台1050的温度，在这一点上，与调节冷却部110及冷却台750的温度的图7的控制部760相异，此外则与图7的控制部760类似，因此在本实施例中省略详细说明。

选择性地，冷却台1050及湿空气供应部120可以由用于在测量对象物200的表面形成水雾颗粒的湿空气形成装置1200构成。另一方面，移送部140、控制部1060及温湿度感知部1090中至少一者也可以包含于湿空气形成装置1200。

另外选择性地，测量系统1000可以还包括测量对象物感知部，所述测量对象物感知部感知被移送部140所移送的测量对象物200的位置，输出包括所感知的位置的位置信息。测量对象物感知部可以包括位置传感器等，但并非必须限定于此。

另外选择性地，测量系统1000可以还包括湿空气排气口，所述湿空气排气口进行运转，以便排出从湿空气供应部120喷射的湿空气。如上所述，测量系统1000包括湿空气排气口，从而借助于从湿空气供应部120喷射的湿空气，可以减小测量系统1000会发生故障等的可能性。

另外选择性地，测量系统1000可以还包括：抽吸部，其连接于冷却台1050的吸入管，进行运转以便吸入空气，以便使测量对象物200吸附于冷却台1050的上部板并维持。

另外，在喷射湿空气后获得测量对象物200的影像数据时，也会发生在测量对象物200的表面过多发生雾气(即，水雾颗粒过多凝结)或雾气过少发生(即，水雾颗粒过少凝结)而无法仅以获得的影像数据导出准确的二维或三维形状的情形。选择性地，控制部1060也可以在测量系统1000的设置前，调节暖风形成部121喷射的暖风风量，调节湿空气与外部空气混合的程度，可以设置最佳的风量。即，控制部1060可以基于通过温湿度感知部而感知的温湿度感知信息，形成用于控制暖风强度的控制信号。因此，暖风形成部121可以根据来自控制部1060的控制信号，调节暖风风量。

图11是概略地显示本发明一个实施例的测量系统1100的立体图。如果参照图11，测量系统1100可以包括冷却台1150-1、1150-2。本实施例中的冷却台1150-1、1150-2具有与图7的冷却台750相同的构成及功能，因而在本实施例中省略详细说明。另外，在本实施例中，说明了测量系统1100包括2个冷却台1150-1、1150-2的情形，但并非必须既定于此，也可以包括3个以上的冷却台。如上所述，在本实施例中，可以取代图1的冷却部110而利用冷却台1150-1、1150-2来冷却测量对象物200，从而可以简化测量系统1100，节省制作费用。

测量系统1100还包括湿空气供应部1120-1、1120-2。本实施例中的湿空气供应部1120-1、1120-2具有与图1的湿空气供应部120相同的构成及功能，因此在本实施例中省略详细说明。另外，在本实施例中，说明了测量系统1100包括2个湿空气供应部1120-1、1120-2的情形，但并非必须限定于此，也可以包括3个以上的湿空气供应部。

测量系统1100还包括影像数据获得部1130。在本实施例中，影像数据获得部1130可以还包括用于向预定方向移动的移动机构。因此，影像数据获得部1130借助于移动机构，沿冷却台1150-1及冷却台1150-2侧移动，可以获得分别承载于冷却台1150-1及冷却台1150-2上的测量对象物200的影像数据。在本实施例中，说明了测量系统1100包括1个影像数据获得部1130的情形，但并非必须限定于此，也可以包括2个以上的影像数据获得部。

测量系统1100可以还包括移送部1140-1、1140-2。本实施例中的移送部1140-1、1140-2具有与图10的移送部140相同的构成及功能，因此在本实施例中省略详细说明。另外，在本实施例中，说明了测量系统1100包括2个移送部1140-1、1140-2的情形，但并非必须限定于此，也可以包括3个以上移送部。

测量系统1100可以还包括温湿度感知部1190。本实施例中的温湿度感知部1190安装于各个冷却台1150-1、1150-2，感知冷却台1150-1、1150-2各自的温度，在这一点上，与图10的温湿度感知部1090相异，此外则与图10的温湿度感知部1090类似，因此在本实施例中省略详细说明。

测量系统1100还包括控制部1160。本实施例中的控制部1160调节冷却台1150-1、1150-2及湿空气供应部1120-1、1120-2各自的温度，在这一点上，与图10的控制部1060相异，此外则与图10的控制部1060类似，因此在本实施例中省略详细说明。

选择性地，冷却台1150-1、1150-2及湿空气供应部1120-1、1120-2可以由在测量对象物200的表面形成水雾颗粒的湿空气形成装置1300构成。另一方面，移送部1140-1、1140-2、控制部1160及温湿度感知部1190中至少一者也可以包含于湿空气形成装置1300。

另外选择性地，测量系统1100可以还包括测量对象物感知部，所述测量对象物感知部感知借助于各个移送部1140-1、1140-2而移送的测量对象物200的位置，输出包括所感知的位置的位置信息。测量对象物感知部可以包括位置传感器等，但并非必须限定于此。

另外选择性地，测量系统1100也可以还包括湿空气排气口，所述湿空气排气口进行运转，以便排出从各个湿空气供应部1120-1、1120-2喷射的湿空气。如上所述，测量系统1100包括湿空气排气口，从而借助于从各个湿空气供应部1120-1、1120-2喷射的湿空气，可以减小测量系统1100会发生故障等的可能性。

另外选择性地，测量系统1100可以还包括：抽吸部，其连接于各个冷却台1150-1、1150-2的吸入管，进行运转以便吸入空气，以便使测量对象物200吸附于冷却台1150-1、1150-2各自的上部板并维持。

另外，在喷射湿空气后获得测量对象物200的影像数据时，也会发生在测量对象物200的表面过多发生雾气(即，水雾颗粒过多凝结)或雾气过少发生(即，水雾颗粒过少凝结)而无法仅以获得的影像数据导出准确的二维或三维形状的情形。选择性地，控制部1160也可以在测量系统1100的设置前，调节湿空气供应部1120-1、1120-2各自的暖风形成部喷射的暖风风量，调节湿空气与外部空气混合的程度，可以设置最佳的风量。即，控制部1160可以基于通过温湿度感知部而感知的温湿度感知信息，形成用于控制暖风强度的控制信号。因此，湿空气供应部1120-1、1120-2各自的暖风形成部可以根据来自控制部1160的控制信号，调节暖风风量。

另一方面，为了利用湿空气形成装置执行准确测量，既定地维持湿空气的温度、湿度等很重要。因此，为了既定地维持湿空气的温度、湿度等，一般是连续驱动湿空气形成装置。但是，湿空气形成装置中包括的加热器和加湿器，其寿命与使用时间成比例缩短。因此，与继续驱动湿空气形成装置的方式相比，提高湿空气形成装置的寿命更为优选。

另外，也会存在在测量(或检查)之前的工序中发生障碍而无法在预定时间期间执行测量(或检查)工序的情形，在这种情况下，连续驱动湿空气形成装置会是不经济的。但是，在测量(或检查)中断的情况下，如果利用停止湿空气形成装置的驱动后再开始驱动的方式，则在湿空气达到所需温度和湿度之前，无法开始测量(或检查)，因而测量(或检查)会延迟。

根据本实施例，可以解决以上提及的问题。

图12也图示了本实施例的测量系统1400。本实施例的测量系统1400可以包括冷却部110、湿空气供应部120、影像数据获得部130、移送部140、控制部1460及温湿度感知部190中至少一者。本实施例中的冷却部110、影像数据获得部130、移送部140及温湿度感知部190具有与图1的冷却部110、影像数据获得部130、移送部140及温湿度感知部190类似的构成及功能，因此在本实施例中省略详细说明。

图13是概略地显示本发明一个实施例的湿空气供应部120的构成的构成图。在本实施例的湿空气供应部120中，湿空气循环部126形成湿空气，加热湿空气，使湿空气循环。在本实施例中，湿空气循环部126包括风道1261、循环送风部1262、加热器1263及加湿部1264。另外，湿空气循环部126还包括混合部1265及湿空气缓冲部1266。

风道1261作为供湿空气封闭地循环的管，可以在循环中实现加热和加湿。在本实施例中，风道可以体现封闭型通道，连接对在风道中封闭循环的湿空气进行加热的加热器1263、在湿空气中加入由加湿部1264生成的湿气的混合部1265、使湿空气循环的循环送风部1262。在本实施例中，说明了风道1261是连接加热器1263、混合部1265等的封闭通道，但在其他实施例中，也可以使加热器1263、混合部1265等构成位于风道1261内。

风道1261可以具有圆形或多边形的管形状的剖面，但并不必须限定于此，风道1261的大小可以根据需要而多样地变更。另外，风道1261安装有用于从外部吸入空气的吸入口，可以吸入外气。但是，吸入口并非必须限定于此，也可以安装于加热器1263、加湿部1264、循环送风部1262、混合部1265或湿空气缓冲部1266中至少一者，根据实施例，也可以使喷射送风部129逆向运转，通过湿空气诱导管127，迅速吸入外气。

循环送风部1262可以通过风道1261而使湿空气封闭地循环。作为一个示例，循环送风部1262可以通过风道1261，使湿空气连续循环。如果不使湿空气封闭地循环，则湿空气根据位置而冷却，温度、湿度等会不同。在本实施例中，通过循环送风部1262使湿空气循环，从而能够将大量的湿空气维持在其温度和湿度均一的状态。因此，能够防止湿空气在风道1261内的一部分凝结。

加热器1263可以将在风道1261中循环的湿空气加热成预先设置的温度(下面称为“第四温度”)以上。根据湿空气线图，饱和水蒸气量与温度成比例，因此，如果如本实施例所示使湿空气加热，则可以使湿空气保有的绝对水蒸气量增加。如果绝对水蒸气量增加，则可以增加将在测量对象物200的表面凝结的湿气的量。另外，如果加热湿空气，饱和水蒸气量增加，则也可以使风道1261内的湿空气的凝结最小化。如果考虑通常的测量系统的安装环境等，则第四温度可以为20℃～300℃范围，或30℃～200℃范围，或40℃～150℃范围。加热器1263只要是能够加热湿空气的装置，则任何装置均可。

在前述实施例中，说明了加热器1263加热湿空气的情形，但并非必须限定于此。例如，当加湿部1264将充足的水蒸气加入湿空气，或借助于冷却部110而冷却至第一温度以下的测量对象物200的温度足够低时，即使湿空气不加热，根据湿空气线图，测量对象物200表面周边的空气也可以达到水蒸气饱和状态或水蒸气过饱和状态。因此，在测量对象物200表面会发生结露，生成水雾颗粒。

加湿部1264形成湿气(或微细水滴)。加湿部1264可以为超声波加湿器，但并不限定于此，只要是能够形成湿气的装置，则任何装置均可。

在本实施例中，如果湿空气的温度、湿度等达到希望的值，则借助于测量系统1400的控制部1460，加热器1263和加湿部1264的驱动可以暂时停止。下面将针对控制部1460进行详细说明。即使控制部1460暂时停止加热器1263和加湿部1264，湿空气借助于循环送风部1262而在风道1261中封闭地循环，因此在风道1261内，其温度和湿度可以维持均一的状态。如上所述，控制部1460暂时停止加热器1263和加湿部1264的驱动，如果湿空气的温度及湿度超出预定基准，则可以重新开始湿空气循环部126的驱动。利用这种方法，在本实施例中，可以在随时开启/关闭湿空气循环部126的驱动的同时，既定地维持湿空气的温度、湿度等。因此，加热器1263和加湿部1264的驱动时间减少，可以提高其耐久性。在又一实施例中，也可以周期性地控制加热器1263和加湿部1264开启/关闭。

如上所述，通过风道1261使湿空气循环，从而可以在既定地维持湿空气的温度、湿度等的同时，使加热器1263和加湿部1264的驱动实现最小化，并可以防止湿空气的凝结。

在前述实施例中，说明了独立地构成加热器1263和循环送风部1262的情形，但并非必须限定于此。例如，加热器1263及循环送风部1262可以由一体形成的热风机构成。

混合部1265可以混合被加热器1263加热的湿空气和借助于加湿部1264而形成的湿气，形成具有比被加热器1263加热的湿空气更高湿度的湿空气。图14是本发明的本实施例的混合部1265的立体图，图15是本发明的本实施例的混合部1265的剖面图。如果参照图14及图15，混合部1265可以包括外壳410。

外壳410可以使被加热器1263加热的湿空气和加湿部1264形成的湿气密闭。例如，外壳410可以包括：第一流入口411，其连接于风道1261，供被加热器1263加热的湿空气流入；第二流入口412，其连接于加湿部1264，供来自加湿部1264的湿气流入；及吐出口413，其连接于风道1261，供湿空气(即，被加热器1263加热的湿空气与来自加湿部1264的湿气混合的湿空气)吐出到风道1261。

混合部1265可以还包括混合管420。混合管420可以连接于外壳410的第一流入口411及吐出口413。另外，混合管420可以具有多个贯通孔421。贯通孔421的直径可以为1㎜～10㎜，但并非必须限定于此。

在本实施例中，被加热器1263加热的湿空气通过外壳410的第一流入口411流入混合管420内，借助于加湿部1264而形成的湿气可以经外壳410的第二流入口412，通过贯通孔421流入混合管420内。因此，被加热器1263加热的湿空气与借助于加湿部1264而形成的湿气在混合管420内混合，可以形成具有比被加热器1263加热的湿空气更高湿度的湿空气。

在前述实施例中，说明了湿空气循环部126包括混合部1265的情形，但并非必须限定于此。例如，湿空气循环部126也可以不包括混合部1265，被加热器1263加热的湿空气与借助于加湿部1264而形成的湿气可以在风道1261中混合。

如果再次参照图13，湿空气缓冲部1266可以安装于混合部1265与循环送风部1262之间，存储借助于混合部1265而形成的湿空气。湿空气缓冲部1266的形状及大小可以根据需要而多样地变更。如上所述，如果湿空气循环部126包括湿空气缓冲部1266，则即使借助于喷射送风部129而喷射湿空气，风道1261内的湿空气也不会急剧变得不足。因此，能够防止湿空气的温度及湿度急剧下降，能够防止加热器1263及加湿部1264的关闭时间(即，加热器1263及加湿部1264的驱动时间及驱动停止时间之间的时间)变短。

在前述实施例中，说明了湿空气循环部126包括湿空气缓冲部1266的情形，但并非必须限定于此，如果风道1261能够保持充足量的湿空气，则湿空气循环部126也可以不包括湿空气缓冲部1266。

湿空气供应部120可以包括用于诱导借助于湿空气循环部126而加热及加湿并封闭地循环的湿空气的一部分向测量对象物200喷射所需的开闭部128、湿空气诱导管127及喷射送风部129。

如果在开闭部128开放的同时，喷射送风部129进行运转，那么在风道1261中循环中的湿空气的一部分可以被诱导至湿空气诱导管127，向测量对象物200喷射。开闭部128可以安装于风道1261和湿空气诱导管127的结合部与喷射送风部129的上端之间，但并非必须限定于此，也可以安装于喷射送风部129的下端。

在本实施例中，开闭部128可以在风道1261中循环的湿空气的温度及湿度达到既定条件之前，封闭湿空气诱导管127，切断向测量对象物200的湿空气供应。另外，湿空气供应部120在风道1261中循环的湿空气的温度及湿度达到既定条件的状态下，如果移送测量对象物200，则可以开放开闭部128，将风道1261中曾封闭地循环的湿空气的一部分供应给喷射送风部129。

喷射送风部129可以将湿空气喷射于测量对象物200的表面。例如，喷射送风部129在风道1261中循环的湿空气的温度及湿度达到既定条件的状态下，如果移送测量对象物200，则可以将从借助于开闭部128而开放的风道1261供应的湿空气喷射于测量对象物200的表面。喷射送风部129包括风扇，但并非必须限定于此。如上所述，通过喷射送风部129将湿空气喷射于测量对象物200的表面，从而可以在极短时间使湿空气喷射于测量对象物200的表面。

在前述实施例中，说明了通过喷射送风部129将湿空气喷射于测量对象物200的表面的情形，但并非必须限定于此。例如，湿空气供应部120也可以不包括喷射送风部129，而是通过循环送风部1262，将湿空气喷射于测量对象物200的表面。

湿空气感知部125可以安装于风道1261内的预定位置，感知在风道1261中循环的湿空气的温度及湿度，形成包含所感知的温度及湿度的感知信息(以下称为“湿空气感知信息”)。例如，湿空气感知部125包括温湿度传感器，但并非必须限定于此。

测量系统1400可以还包括控制部1460。控制部1460可以控制测量系统1400各构成要素，即，控制冷却部110、湿空气供应部120、影像数据获得部130、移送部140及温湿度感知部190各自的运转。

作为一个示例，控制部1460可以基于湿空气供应部120中湿空气的温度和湿度，设置冷却部110的第一温度。例如，当湿空气的温度为20℃、湿度为50％时，控制部1460可以将其应用于湿空气线图，算出会发生结露的露点温度9℃。因此，控制部1460可以将第一温度设置为9℃以下。控制部1460可以形成并输出将冷却部110使测量对象物200冷却的温度调节为第一温度以下所需的控制信号，因此，冷却部110可以使测量对象物200冷却至第一温度以下。

另外，控制部1460可以基于从温湿度感知部190提供的周围空气的温湿度感知信息，调节冷却部110的第一温度。例如，控制部1460在根据周围空气的温湿度感知信息，判定为在测量对象物200的表面形成的水雾颗粒难以维持至获得影像数据时的情况下，可以将第一温度设置为更低的值。例如，测量对象物200的冷却不足以维持至获得测量对象物200的影像数据，根据湿空气线图,测量对象物200表面周边的空气成为水蒸气不饱和状态，在这种情况下，在测量对象物200表面形成的水雾颗粒会蒸发。因此，为了使测量对象物200表面周边的空气根据湿空气线图，维持水蒸气饱和状态或水蒸气过饱和状态直至获得测量对象物200的影像数据时，如果控制部1460将第一温度设置得足够低，则水雾颗粒可以在测量对象物的表面维持足够长时间。

另外，控制部1460可以基于从湿空气感知部125提供的湿空气感知信息，控制湿空气供应部120的湿空气形成及湿空气喷射。例如，控制部1460比较从湿空气感知部125提供的湿空气感知信息(即，湿空气的温度)与预先设置的第四温度，决定湿空气的温度是否为第四温度以上。如果湿空气的温度为第四温度以下，则控制部1460可以使加热器1263继续启动。

另外，控制部1460可以基于第一温度及第四温度来决定湿空气的湿度。例如，控制部1460可以将第一温度及第四温度应用于湿空气线图，算出会发生结露的湿空气的湿度，即，算出会在测量对象物200的表面发生水雾颗粒的湿度(以下称为“结露发生湿度”)。例如，当第一温度为9℃、第四温度为20℃时，结露发生湿度为50％。控制部1460比较从湿空气感知部125提供的湿空气感知信息(即，湿空气的湿度)与结露发生湿度，决定湿空气的湿度是否为结露发生湿度以上。如果湿空气的湿度为结露发生湿度以下，则控制部1460可以使加湿部1264继续启动。

另外，控制部1460在湿空气的温度为第四温度以上、湿空气的湿度为结露发生湿度以上的状态下，当移送来测量对象物200时，可以将湿空气喷射于测量对象物200。作为一个示例，控制部1460可以形成并输出用于使开闭部128开放、使喷射送风部129驱动、使加热器1263及加湿部1264的驱动(加热湿空气及形成湿气)所需的控制信号。因此，开闭部128开放湿空气诱导管127，喷射送风部129可以将湿空气喷射于测量对象物200的表面。另外，加热器1263停止加热在风道1261中循环的湿空气，加湿部1264可以停止形成湿气。如上所述，根据所感知的湿空气的温度及湿度，使加热器1263及加湿部1264的驱动停止，从而可以提高加热器1263及加湿部1264的寿命。

另一方面，如果决定为湿空气的温度不足第四温度，或湿空气的湿度不足结露发生湿度，则控制部1460可以使开闭部128封闭，停止喷射送风部129的驱动(喷射湿空气)。

作为另一实施例，控制部1460也可以基于开闭部128的开闭及喷射送风部129的驱动次数，控制加热器1263及加湿部1264的开启/关闭。当在直列上执行对测量对象物200的测量(或是否良好检查)时，可以在既定的时间期间，反复喷射湿空气。此时，如果向测量对象物200喷射湿空气既定次数(例如，3次)，则风道1261内的湿空气温度及湿度降低，会发生加热风道1261内的湿空气并供应湿气的需要。因此，控制部1460在开闭部128的开闭及喷射送风部129的驱动次数例如为3次时，即，当向测量对象物200喷射3次湿空气时，可以反复进行使加热器1263及加湿部1264在运转预定时间后停止驱动的过程。通过这种方式，基于开闭部128的开闭及喷射送风部129的驱动次数，开启/关闭加热器1263及加湿部1264，从而控制部1460也可以不需要实时温/湿度信息地控制加热器1263及加湿部1264的开启/关闭。

作为又一示例，控制部1460也可以根据开闭部128的开闭及喷射送风部129的驱动与否，控制加热器1263及加湿部1264的开启/关闭。例如，控制部1460在开闭部128开放、喷射送风部129进行驱动时，即，在湿空气喷射于测量对象物200时，使加热器1263及加湿部1264运转，以便加热风道1261内的湿空气并供应湿气，当开闭部128封闭、喷射送风部129不驱动时，也可以使加热器1263及加湿部1264不运转。

作为又一示例，控制部1460在工序过程中测量(或检查)暂时中断的情况下，也可以不生成及排出湿空气，而是暂时中断加热器1263和加湿部1264的驱动。如上所述，在测量(或检查)中断时，延长加热器1263和加湿部1264的关闭时间，从而可以使加热器1263和加湿部1264的驱动时间最小化，提高耐久性。

作为又一示例，控制部1460也可以预先设置分别开启/关闭加热器1263和加湿部1264的时间间隔，然后按预先确定的时间间隔，周期性地开启/关闭加热器1263和加湿部1264各自的驱动。

作为一个示例，控制部1460为了执行本实施例的前述一个以上的功能，可以借助于可读取及运行在存储介质(例如，非暂时性计算机可读存储介质)中记录的计算机可执行命令的系统或装置的计算机来实现，为了执行前述实施例中一个以上的功能，可以借助于如下方法来实现，即，从存储介质读取计算机可执行命令并运行，从而借助于系统或装置的计算机来执行。计算机可以包括中央处理器(CPU)、微处理器(MPU)或其他电路中的一者以上，可以包括另外的计算机或另外的计算机处理器的网络。计算机可执行命令例如可以从网络或存储介质提供给计算机。存储介质例如可以包括硬盘、随机存取存储器(RAM)、只读存储器(ROM)、分布计算系统的存储器、光盘(激光唱片(CD)、数字多功能光盘(DVD)或蓝光光盘(BD))、快闪存储装置及存储卡等中一者以上。

选择性地，冷却部110及湿空气供应部120可以由用于在测量对象物200的表面生成水雾颗粒的湿空气形成装置1500构成。另一方面，控制部1460及温湿度感知部190中至少一者也可以包含于湿空气形成装置1500。

另外选择性地，测量系统1400可以还包括测量对象物感知部，所述测量对象物感知部感知被移送部140移送的测量对象物200的位置，输出包括所感知的位置的位置信息。测量对象物感知部可以包括位置传感器等，但并非必须限定于此。

另外选择性地，测量系统1400也可以还包括排出从湿空气供应部120喷射的湿空气的湿空气排气口。如上所述，测量系统1400包括湿空气排气口，从而借助于从湿空气供应部120喷射的湿空气，可以减小测量系统1400会发生故障等的可能性。

另外，在喷射湿空气后获得测量对象物200的影像数据时，也会发生在测量对象物200的表面过多发生雾气(即，水雾颗粒过多凝结)或雾气过少发生(即，水雾颗粒过少凝结)而无法仅以获得的影像数据准确测量测量对象物200的情形。控制部160也可以在测量系统1400的设置前，调节喷射送风部129喷射的湿空气的风量，调节湿空气与外部空气混合的程度，可以设置最佳的风量。即，控制部1460可以基于温湿度感知部190所感知的温湿度(即，温湿度感知信息)，控制喷射的湿空气的风量。

另一方面，消费者对制品品质的基准日益提高，在生产制品方面，制造商在制品的生产过程、组装过程、中间过程及最终组装完成过程中倾注努力去除不良品。为了去除制品的不良，利用多样的检查系统，判别制品的良好(Good)或不良(NG)。

例如，为了验证贴装了电子部件的基板的可靠性，需要检查在电子部件贴装前后，基板的制造是否正常实现。作为一个示例，可以在将电子部件贴装于基板之前，检查在基板的焊垫区域是否正常涂布了焊料，或在将电子部件贴装于基板后，检查电子部件是否正常贴装。

最近，为了对贴装于基板的检查对象(例如，电子部件等)进行精密检测，使用了利用基板检查装置来测量检查对象的二维或三维形状的技术，所述基板检查装置包括向检查对象照射图案照明的至少一个照明部、通过图案照明的检查而拍摄检查对象的影像并获得影像数据的拍摄部。即，基板检查装置向基板的表面照射图案照明，接收从测量对象的表面反射或扩散的光，测量关于测量对象表面的二维或三维的形状。

图16图示了本实施例的检查装置1600。例如，检查装置1600可以测量测量对象物(例如，基板)的二维或三维形状，检查在基板的焊垫区域是否正常涂布焊料，或在将电子部件贴装于基板后，检查电子部件是否正常贴装等。作为另一示例，检查装置1600也可以测量测量对象物200的一部分的高度、角度、粗糙度等，与预先确定的检查基准值比较，从而检查测量对象物200。

检查装置1600可以包括冷却部110、湿空气供应部120、影像数据获得部130、移送部140、控制部160及温湿度感知部190中至少一者。本实施例中的检查装置1600的冷却部110、湿空气供应部120、影像数据获得部130、移送部140、控制部160及温湿度感知部190与图1的测量系统700的冷却部110、湿空气供应部120、影像数据获得部130、移送部140、控制部160及温湿度感知部190类似，因此在本实施例中省略详细说明。

检查装置1600可以还包括影像数据处理部1670。影像数据处理部1670可以基于由影像数据获得部130所获得的影像数据，根据事先设置的检查基准，检查测量对象物200，形成代表测量对象物200的良好(Good)或不良(NG)的检查结果。

检查装置1600可以还包括检查结果显示部1680。检查结果显示部1680可以显示借助于影像数据处理部1670而形成的检查结果。例如，检查结果显示部1680可以包括LCD(diquid crystal display，液晶显示装置)、LED(ight emitting diode，发光二极管)显示装置、OLED(organic light emitting diode，有机电致发光二极管)，但并非必须限定于此。

另外选择性地，检查装置1600可以还包括测量对象物感知部，所述测量对象物感知部感知借助于移送部140而移送的测量对象物200的位置，输出包括所感知的位置的位置信息。测量对象物感知部也可以包括位置传感器等，但并非必须限定于此。

另外选择性地，检查装置1600可以还包括湿空气排气口，所述湿空气排气口排出从湿空气供应部120喷射的湿空气。如上所述，检查装置1600包括湿空气排气口，从而借助于从湿空气供应部120喷射的湿空气，可以减小在检查装置1600发生故障等的可能性。

图17是显示根据本发明的一个实施例而借助于检查装置来执行测量对象物200的检查的步骤的流程图。

冷却部110可以使测量对象物200冷却至第一温度(S1701)。就第一温度而言，可以将湿空气的温度及湿度应用于湿空气线图，设置为会在测量对象物200的表面发生结露的露点温度以下。不过，即使在测量对象物200未冷却的状态下，如果湿空气的绝对水蒸气量充足，那么根据湿空气线图，测量对象物200表面周边的空气会成为水蒸气饱和状态或水蒸气过饱和状态，因而并非必须包括进行冷却的步骤(S1701)。

湿空气供应部120可以混合高于第一温度的第二温度的暖风和湿气而形成湿空气(S1702)。

另外，湿空气供应部120向冷却的测量对象物200的表面喷射湿空气，可以在测量对象物200的表面形成水雾颗粒(S1703)。

检查装置1600为了检查测量对象物200，可以测量形成水雾颗粒的测量对象物200而获得影像数据(S1704)。

在本说明书中，本发明就一部分实施例进行了说明，但需要知道的是，本发明在不超出所属技术领域的技术人员能够理解的本发明精神及范围的范围内，可以实现多样的变形及变更。另外，这种变形及变更应视为属于本说明书附带的权利要求书的范围内。

Claims (17)

1.一种湿空气形成装置，包括：

湿空气供应部，其用于将温度高于测量对象物温度的暖风与湿气混合而形成湿空气，向所述测量对象物的表面喷射所述湿空气，在所述测量对象物的表面形成水雾颗粒；及

冷却台，其使喷射了所述湿空气的所述测量对象物冷却并保持；

其中，所述冷却台包括：

冷却元件，其用于使所述测量对象物冷却；

上部板，其安装于所述冷却元件上方，吸附保持所述测量对象物，用于将所述测量对象物的热传递给所述冷却元件；及

下部板，其安装于所述冷却元件下方，用于使所述冷却元件发生的热释放。

2.根据权利要求1所述的湿空气形成装置，其中，

还包括冷却部，其进行运转，以使所述测量对象物冷却。

3.根据权利要求2所述的湿空气形成装置，其中，

所述冷却部包括：

测量对象物承载部，其用于承载多个所述测量对象物；

冷风形成部，其进行运转，以便形成冷风；及

冷风供应管，其用于连接所述测量对象物承载部与所述冷风形成部，将在所述冷风形成部形成的所述冷风供应到所述测量对象物承载部内。

4.根据权利要求3所述的湿空气形成装置，其中，

所述冷却部还包括：冷风循环管，其用于连接所述测量对象物承载部与所述冷风形成部，使供应到所述测量对象物承载部内的所述冷风向所述冷风形成部循环。

5.根据权利要求1所述的湿空气形成装置，其中，

所述冷却台还包括：抽吸部，其进行运转，以便通过多个穿孔吸入空气，使得所述测量对象物被吸附于所述上部板并保持。

6.一种湿空气形成装置，包括：

湿空气供应部，其用于将温度高于测量对象物温度的暖风与湿气混合而形成湿空气，向所述测量对象物的表面喷射所述湿空气，在所述测量对象物的表面形成水雾颗粒，

所述湿空气供应部包括：

暖风形成部，其进行运转，以便形成所述暖风；

加湿部，其进行运转，以便形成所述湿气；及

混合部，其进行运转，以便混合所述暖风及所述湿气，形成所述湿空气；

其中，所述混合部包括：

外壳，其包括供所述暖风流入的第一流入口、供所述湿气流入的第二流入口及供所述湿空气吐出的吐出口；及

混合管，其具有供从所述第二流入口流入的所述湿气穿过的多个贯通孔，连接于所述第一流入口和所述吐出口，混合从所述第一流入口流入的所述暖风和穿过所述贯通孔的所述湿气，形成所述湿空气。

7.一种湿空气形成装置，包括：

湿空气供应部，其用于将温度高于测量对象物温度的暖风与湿气混合而形成湿空气，向所述测量对象物的表面喷射所述湿空气，在所述测量对象物的表面形成水雾颗粒，

所述湿空气供应部包括：

风道，其供所述湿空气在内部封闭地循环；

加湿部，其生成混合于所述湿空气的所述湿气；及

喷射送风部，其将所述风道中循环的所述湿空气的一部分向所述测量对象物喷射。

8.根据权利要求7所述的湿空气形成装置，其中，

所述湿空气供应部还包括：加热器，其将在所述风道循环的所述湿空气的温度加热到高于外气温度的温度。

9.根据权利要求7所述的湿空气形成装置，其中，

所述湿空气供应部还包括：混合部，其混合所述湿空气和借助于所述加湿部而形成的湿气。

10.根据权利要求7所述的湿空气形成装置，其中，

所述湿空气供应部还包括：开闭部，其将封闭于所述风道中的所述湿空气的一部分供应给所述喷射送风部或切断供应。

11.根据权利要求7所述的湿空气形成装置，其中，

所述湿空气供应部还包括：湿空气缓冲部，其接受供应封闭于所述风道中的所述湿空气的一部分并存储，将存储的所述湿空气供应给所述风道。

12.根据权利要求7所述的湿空气形成装置，其中，

所述湿空气供应部还包括：循环送风部，其使所述湿空气在所述风道中循环。

13.根据权利要求8所述的湿空气形成装置，其中，

所述湿空气供应部还包括：湿空气感知部，其感知所述湿空气的温度及湿度；

所述湿空气形成装置还包括：控制部，其控制所述湿空气的形成及喷射；

所述控制部基于所述感知的温度及湿度，控制所述加热器及所述加湿部的驱动。

14.根据权利要求8所述的湿空气形成装置，其中，

还包括控制部，其控制所述湿空气的形成及喷射；

所述控制部基于所述喷射送风部的驱动与否或驱动次数，控制所述加热器及所述加湿部的驱动。

15.一种检查装置，包括：

湿空气形成装置；及

影像数据获得部，其为了检查测量对象物，向喷射所述湿空气的所述测量对象物照射光，接收从所述测量对象物反射的光，获得所述测量对象物的影像数据；

其中，所述湿空气形成装置包括：

湿空气供应部，所述湿空气供应部用于混合温度高于所述测量对象物温度的暖风和湿气而形成湿空气，向所述测量对象物的表面喷射所述湿空气，在所述测量对象物的表面形成水雾颗粒；及

冷却台，其使喷射了所述湿空气的所述测量对象物冷却并保持；

其中，所述冷却台包括：

冷却元件，其用于使所述测量对象物冷却；

上部板，其安装于所述冷却元件上方，吸附保持所述测量对象物，用于将所述测量对象物的热传递给所述冷却元件；及

下部板，其安装于所述冷却元件下方，用于使所述冷却元件发生的热释放。

16.根据权利要求15所述的检查装置，其中，

所述湿空气形成装置还包括：冷却部，其进行运转，以使所述测量对象物冷却。

17.一种检查方法，作为借助于包括湿空气形成装置及影像数据获得部的检查装置而执行的检查方法，其中，包括：

通过所述湿空气形成装置的湿空气供应部混合温度高于测量对象物温度的暖风和湿气而形成湿空气的步骤；

通过所述湿空气形成装置的所述湿空气供应部向所述测量对象物的表面喷射所述湿空气而在所述测量对象物的表面形成水雾颗粒的步骤；

将所述测量对象物移动至所述湿空气形成装置的冷却台，利用所述冷却台的上部板吸附保持所述测量对象物的步骤；

将所述测量对象物的热从所述冷却台的上部板传递到所述冷却台的冷却元件，并通过所述冷却台的下部板释放所述冷却元件发生的热；及

为了检查所述测量对象物，通过所述影像数据获得部测量形成有水雾颗粒的所述测量对象物并获得影像数据的步骤。

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