JP2009294108A - 非接触寸法計測方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】大気中に配置された計測対象物1に対して、計測対象物の計測部位を冷却する冷却装置5と、計測対象物1の形状を計測する2次元レーザ変位センサ2を備える。MPU8は、冷却装置5により冷却された計測部位の表面温度を放射温度計6により計測し、計測部位の温度が、計測環境の露点温度以下且つ近傍となると、計測結果処理装置9に対する計測トリガを与え、計測結果処理装置9は、非接触センサ2による計測結果を処理する。
【選択図】図1
Description
かかる方法により、大型部品の光沢且つ曲面に対する寸法計測が可能となる。
かかる構成により、大型部品の光沢且つ曲面に対する寸法計測が可能となる。
最初に、図1を用いて、本実施形態による非接触寸法計測装置の全体構成について説明する。
図1は、本発明の一実施形態による非接触寸法計測装置の全体構成を示すシステム構成図である。
図2は、本発明の一実施形態による非接触寸法計測装置による計測方法を示すフローチャートである。図3は、本発明の一実施形態による非接触寸法計測装置による計測時に用いる湿り空気線図である。
図4は、本発明の一実施形態による非接触寸法計測装置による計測結果の説明図である。
2…2次元レーザ変位センサ
2a…照射光
2b…反射光
3…気温センサ
4…湿度センサ
5…冷却装置
6…放射温度計
7…加湿装置
8…MPU
9…計測結果処理手段
10…計測ヘッド
11…計測装置本体
Claims (3)
- 光沢曲面を有する物体の光学的な非接触による非接触寸法計測方法であって、
大気中に配置された計測対象物に対して、前記計測対象物の計測部位の表面温度を、露点温度以下且つ近傍に制御し、表面結露の初期状態を生じさせた上で、前記計測部位の寸法を非接触にて光学的に計測することを特徴とする非接触寸法計測方法。 - 光沢曲面を有する物体の光学的な非接触により寸法を計測する非接触寸法計測装置であって、
大気中に配置された計測対象物に対して、前記計測対象物の計測部位を冷却する冷却装置と、
前記計測部位を加湿する加湿装置と、
前記計測部位の冷却中の温度を監視する放射温度計と、
前記計測部位を含む計測環境の気温を計測する気温センサと、
前記計測環境の湿度を計測する湿度センサと、
前記計測対象物の形状を計測する非接触センサと、
該非接触センサによる計測結果を処理する計測結果処理装置と、
前記冷却装置により冷却された前記計測部位の表面温度を前記放射温度計により計測し、前記計測部位の温度が、前記気温センサ及び前記湿度センサの検出結果に基づく前記計測環境の露点温度以下且つ近傍となると、前記計測結果処理装置に対する計測トリガを与えるMPUを備えることを特徴とする非接触寸法計測装置。 - 請求項2記載の非接触寸法計測装置において、
前記非接触センサのセンシング部と、前記冷却装置のノズルと、前記放射温度計のセンシング部と、前記加湿装置のノズルとが一体化された計測ヘッドと、
前記非接触センサと、前記冷却装置と、前記放射温度計と、前記加湿装置と、前記気温センサと、前記湿度センサと、前記計測結果処理装置と、前記MPUとが一体化された計測制御装置本体とから構成されることを特徴とする非接触寸法計測装置。
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