KR101757709B1

KR101757709B1 - 습공기 형성 장치 및 이를 포함하는 검사 시스템

Info

Publication number: KR101757709B1
Application number: KR1020160058954A
Authority: KR
Inventors: 서장일
Original assignee: 주식회사 고영테크놀러지
Priority date: 2016-05-13
Filing date: 2016-05-13
Publication date: 2017-07-14

Abstract

습공기 형성 장치 및 이를 포함하는 검사 시스템이 개시된다. 습공기 형성 장치는 내부에서 습공기가 폐쇄적으로 순환하는 풍로와, 상기 습공기에 혼합되는 습기를 생성하는 가습부와, 상기 풍로에서 순환하는 습공기 일부를 검사체에 분사하는 분사 송풍부를 포함한다.

Description

습공기 형성 장치 및 이를 포함하는 검사 시스템{MOIST AIR FORMING APPARATUS AND INSPECTION SYSTEM WITH THE SAME}

본 발명은 검사 시스템에 관한 것으로, 특히 습공기 형성 장치 및 이를 포함하는 검사 시스템에 관한 것이다.

제품의 품질에 대한 소비자들의 기준이 나날이 높아지고 있어, 제품을 생산하는데 있어서 제조업자들은 제품의 생산 과정, 조립 과정, 중간 과정 및 최종 조립 완료 과정에서 불량품을 제거하기 위한 노력을 기울이고 있다. 제품의 불량을 제거하기 위해 다양한 검사 시스템을 이용하여 제품의 양호(Good) 또는 불량(NG) 여부를 판별하고 있다.

일반적으로, 검사 시스템은 검사체에 광을 조사하고 검사체로부터 반사되는 광을 수신하여 검사체의 영상 데이터를 획득하고, 획득된 영상 데이터에 기초하여 사전 설정된 검사 기준에 따라 검사체에 검사를 수행하여 검사체의 양호 또는 불량을 나타내는 검사 결과를 형성한다.

이와 같은 검사 방식에서는 검사체로부터 반사된 광을 수신하여 검사체의 형상을 확인하게 되므로, 반사되는 광을 수신하는 것이 중요하다. 일반적으로 검사체의 표면으로부터 입사된 광이 난반사되면, 난반사된 광은 전방위로 퍼지게 되어 검사 시스템의 촬상부의 위치에 관계없이 반사된 광을 수신할 수 있다. 그러나, 검사체의 재질, 형상 등에 의해 입사된 광이 정반사 또는 투과되는 경우가 있고, 이 경우 정반사된 광은 일정 방향으로만 진행하게 되며, 또한 광이 검사체를 투과하게 되면 촬상부에 입사되는 광이 적어지므로 소정 위치에 고정된 촬상부를 통해 검사체로부터의 광을 감지하는 것이 매우 어려울 뿐만 아니라, 검사가 불가능한 영역이 존재하게 된다.

한편, 검사체가 표면에 거울이나 유리면과 같은 경면 반사면을 갖는 경면 물체인 경우에는 검사체에 격자 패턴이 맺히지 않는 경우가 있다. 이러한 경우에는 검사체에 대한 정확한 검사를 수행하는 것이 곤란하게 된다.

한국 특허공보 제10-1217175호

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 습공기를 풍로를 통해 폐쇄 순환시키는 습공기 형성 장치 및 이를 포함하는 검사 시스템을 제공하는 것이다.

본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는 히터, 열풍기 또는 가습기를 수시로 온/오프하면서 보유한 습공기의 온도, 습도를 유지함으로써, 장치의 수명이 향상되고, 가습기의 수분 공급량 및 소모 전력을 절약하는 습공기 형성 장치 및 이를 포함하는 검사 시스템을 제공하는 것이다.

본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는 인라인 설비 구동 중 검사를 일시중지하는 경우, 습공기를 생성하여 배출하지 않고 히터, 열풍기 또는 가습기의 오프시간을 늘림으로써 장치의 수명이 향상되는 습공기 형성 장치 및 이를 포함하는 검사 시스템을 제공하는 것이다.

본 발명의 예시적인 일 실시예에 따르는 습공기 형성 장치는 내부에서 습공기가 폐쇄적으로 순환하는 풍로, 상기 습공기에 혼합되는 습기를 생성하는 가습부 및 상기 풍로에서 순환하는 습공기 일부를 검사체에 분사하는 분사 송풍부를 포함한다.

일 실시예로, 상기 습공기 형성 장치는 상기 풍로를 순환하는 상기 습공기의 온도를 외기 온도보다 높은 온도로 가열하는 히터를 더 포함할 수 있다.

일 실시예로, 상기 습공기 형성 장치는 상기 습공기와 상기 가습부에 의해 형성된 습기를 혼합하는 혼합부를 더 포함할 수 있다.

일 실시예로, 상기 혼합부는, 상기 습공기가 상기 풍로를 통해 유입되는 제1 유입구, 상기 습기가 유입되는 제2 유입구 및 상기 습공기가 상기 풍로로 토출되는 토출구를 포함하는 케이스 및 상기 제2 유입구로부터 유입된 상기 습기가 통과하는 복수의 관통구멍을 갖고, 상기 제1 유입구와 상기 토출구에 연결되며, 상기 제1 유입구로부터 유입된 상기 습공기와 상기 관통구멍을 통과한 상기 습기를 혼합하는 혼합관을 포함하고, 상기 제1 유입구와 상기 제2 유입구는 풍로의 내부에 위치할 수 있다.

일 실시예로, 상기 습공기 형성 장치는 상기 풍로에 폐쇄되어 있는 습공기의 일부를 상기 분사 송풍부로 공급하거나 공급을 차단하는 개폐부를 더 포함할 수 있다.

일 실시예로, 상기 습공기 형성 장치는 상기 풍로에 폐쇄되어 있는 습공기의 일부를 공급 받아 저장하고, 저장된 습공기를 풍로로 공급하는 습공기 버퍼부를 더 포함할 수 있다.

일 실시예로, 상기 습공기 형성 장치는 상기 습공기의 형성 및 분사를 제어하는 제어부 및 상기 습공기의 온도 및 습도를 감지하는 습공기 감지부를 더 포함하고, 상기 제어부는 상기 감지된 온도 및 습도에 기초하여 상기 히터 및 상기 가습부의 구동을 제어할 수 있다.

일 실시예로, 상기 습공기 형성 장치는 상기 습공기의 형성 및 분사를 제어하는 제어부를 더 포함하고, 상기 제어부는 상기 분사 송풍부의 구동 여부 또는 구동 횟수에 기초하여 상기 히터 및 상기 가습부의 구동을 제어할 수 있다.

일 실시예로, 상기 습공기 형성 장치는 상기 검사체를 냉각하는 냉각부를 더 포함할 수 있다.

일 실시예로, 상기 냉각부는 상기 검사체를 제1 온도로 냉각하고, 상기 제1 온도는 상기 검사체에 분사된 습공기를 수증기 과포화 또는 수증기 포화 상태로 냉각하는 온도일 수 있다.

일 실시예로, 상기 냉각부는 상기 검사체를 복수 적재하기 위한 검사체 적재부, 냉풍을 형성하도록 동작하는 냉풍 형성부 및 상기 검사체 적재부와 상기 냉풍 형성부를 연결하여, 상기 냉풍 형성부에서 형성된 상기 냉풍을 상기 검사체 적재부 내로 공급하기 위한 공급관을 포함할 수 있다.

일 실시예로, 상기 습공기 형성 장치는 상기 습공기가 분사된 상기 검사체를 냉각 유지시키는 냉각대를 더 포함할 수 있다.

일 실시예로, 상기 냉각대는 상기 검사체를 냉각시키기 위한 냉각 소자, 상기 냉각 소자 위에 설치되어, 상기 검사체를 흡착 유지하고 상기 검사체의 열을 상기 냉각 소자로 전달하기 위한 상부판 및 상기 냉각 소자 아래에 설치되어, 상기 냉각 소자에서 발생하는 열을 방산하기 위한 하부판을 포함할 수 있다.

일 실시예로, 상기 냉각대는 상기 검사체가 상기 상부판에 흡착 유지되도록 복수의 천공을 통해 공기를 흡입하도록 동작하는 석션부를 더 포함할 수 있다.

일 실시예로, 상기 습공기 형성 장치는 상기 습공기를 상기 풍로에서 순환시키는 순환 송풍부를 더 포함할 수 있다.

또한, 본 발명의 예시적인 일 실시예에 따르는 검사 시스템은 본 발명의 일 실시예에 따르는 습공기 형성 장치, 상기 습공기가 분사된 상기 검사체에 광을 조사하고 상기 검사체로부터 반사되는 광을 수신하여 상기 검사체의 영상 데이터를 획득하는 영상 데이터 획득부, 상기 영상 데이터에 기초하여 사전 설정된 검사 기준에 따라 상기 검사체를 검사하여 상기 검사체의 양호 또는 불량을 나타내는 검사 결과를 형성하는 영상 데이터 처리부 및 상기 검사 결과를 표시하는 검사 결과 표시부를 포함할 수 있다.

본 발명에 의하면, 습공기 형성 장치는, 습공기를 풍로를 통해 폐쇄 순환시킴으로써, 온도, 습도 등을 일정하게 유지하며 습공기를 보유할 수 있다. 따라서, 습공기의 온도, 습도 등을 일정하게 유지하기 위해서 습공기를 연속적으로 생성할 필요가 없다.

보유한 습공기의 온도, 습도는 히터, 열풍기 또는 가습기를 온/오프하면서 유지할 수 있으므로, 히터, 열풍기 또는 가습기를 연속적으로 작동시키는 방식에 비하여 장치의 수명이 향상된다. 또한, 이에 따라, 가습기의 수분 공급량이 절약되고, 소모 전력을 감소시킬 수 있다.

한편, 인라인 설비 구동 중에는 공정에 장애가 발생하는 등의 이유로 검사를 일시중지하는 경우가 있을 수 있다. 이러한 경우 습공기를 생성하여 배출하지 않고 보유한 습공기를 유지하며, 히터, 열풍기 또는 가습기의 오프시간을 늘림으로써, 장치의 수명이 향상될 수 있다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 검사 시스템의 구성을 개략적으로 나타낸 사시도.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 냉각부의 구성을 개략적으로 나타낸 구성도.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 습공기 공급부의 구성을 개략적으로 나타낸 구성도.
도 4a는 본 발명의 제1 실시예에 따른 혼합부의 사시도.
도 4b는 본 발명의 제1 실시예에 따른 혼합부의 단면도.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 영상 데이터 획득부를 개략적으로 나타낸 설명도.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 검사 시스템의 구성을 개략적으로 나타낸 사시도.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 냉각대를 개략적으로 나타낸 단면도.
도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 냉각대의 상면도.
도 9는 본 발명의 제3 실시예에 따른 검사 시스템의 구성을 개략적으로 나타낸 사시도.
도 10은 본 발명의 제4 실시예에 따른 검사 시스템의 구성을 개략적으로 나타낸 사시도.

본 발명의 실시예들은 본 발명을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것이다. 본 발명의 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며, 본 발명이 아래 제시된 실시예들이나 이들 실시예들에 대한 구체적 설명으로 한정되는 것으로 해석해서는 아니 된다.

본 실시예에서 사용되는 용어 "부"는 소프트웨어, FPGA(field-programmable gate array), ASIC(application specific integrated circuit)과 같은 하드웨어 구성요소를 의미할 수 있다. 그러나, "부"는 하드웨어 및 소프트웨어에 한정되는 것은 아니다. "부"는 어드레싱할 수 있는 저장 매체에 있도록 구성될 수도 있고, 하나 또는 그 이상의 프로세서들을 재생시키도록 구성될 수도 있다. 따라서, 일례로서 "부"는 소프트웨어 구성요소들, 객체지향 소프트웨어 구성요소들, 클래스 구성요소들 및 태스크 구성요소들과 같은 구성요소들과, 프로세서, 함수, 속성, 프로시저, 서브루틴, 프로그램 코드의 세그먼트, 드라이버, 펌웨어, 마이크로코드, 회로, 데이터, 데이터베이스, 데이터 구조, 테이블, 어레이 및 변수를 포함한다. 구성요소와 "부" 내에서 제공되는 기능은 더 작은 수의 구성요소 및 "부"로 결합되거나 추가적인 구성요소와 "부"로 더 분리될 수 있다.

본 명세서에서 사용되는 모든 기술적 용어들 및 과학적 용어들은, 다르게 정의되어 있지 않는 한 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해되는 의미를 갖는다. 본 명세서에서 사용되는 모든 용어들은 본 발명을 보다 명확히 설명하기 위한 목적으로 선택된 것이며 본 발명의 범위를 제한하기 위해 선택된 것이 아니다.

본 명세서에서 단수형은 달리 언급하지 않는 이상 복수형도 포함하며, 이는 청구항에서도 마찬가지이다.

본 발명의 다양한 실시 예에서 사용된 "제1", "제2" 등의 표현들은 구성요소를 구분하기 위해 사용하는 것일 뿐 해당 구성요소의 순서, 중요도 등을 한정하는 것이 아니다.

본 명세서에서 사용되는 "포함하는", 및 "갖는"은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 개방형 용어(open-ended terms)로 이해되어야 한다.

본 명세서에서 "~에 기초하여"라는 문구는 결정에 영향을 주는 하나 이상의 인자를 기술하는데 사용되고, 이 용어는 결정에 사용되는 추가적인 인자를 배제하지는 않는다.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 상기 어떤 구성요소가 상기 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 상기 어떤 구성요소와 상기 다른 구성요소 사이에 새로운 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명한다. 도면상의 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 사용하고 동일한 구성요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다. 다만, 이하의 설명에서는 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 우려가 있는 경우, 널리 알려진 기능이나 구성에 관한 구체적인 설명은 생략하기로 한다.

습공기 형성 장치를 이용하여 정확한 검사를 수행하기 위해서는 습공기의 온도, 습도 등을 일정하게 유지하는 것이 매우 중요하다. 따라서, 습공기의 온도, 습도 등을 일정하게 유지하기 위해서 습공기 형성 장치를 연속적으로 구동하는 것이 일반적이다. 그러나 습공기 형성 장치에 포함되는 히터와 가습기는 그 수명이 사용 시간에 비례하여 단축한다. 따라서 습공기 형성 장치를 계속하여 구동하는 방식에서는 습공기 형성 장치의 수명이 단축되어 내구성이 충분하지 않은 문제가 있다.

또한, 검사 이전의 공정에서 장애가 발생하여 소정의 시간 동안 검사 공정을 수행할 수 없는 경우도 있을 수 있는데, 이런 경우에도 습공기 형성 장치를 연속적으로 구동하는 것은 비경제적이다. 그러나, 검사가 중단된 경우에 습공기 형성 장치의 구동을 중지하였다가 구동을 재개하는 방식을 이용하면, 습공기가 원하는 온도와 습도에 도달할 때까지 검사를 개시할 수 없으므로, 검사가 지연되는 문제가 있다.

본 발명에 의하면 이상에서 언급한 문제들의 해결이 가능하다.

제1 실시예

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 검사 시스템을 개략적으로 나타낸 사시도이다. 검사 시스템은 검사체(B)의 2차원 또는 3차원의 영상을 획득하여 검사체(B)의 양부를 판별한다. 본 실시예에 따른 검사 시스템(100)은 냉각부(110)를 포함한다. 냉각부(110)는 검사체(B)를 일정 온도로 냉각시킨다. 검사체(B)는 경면 반사면을 포함할 수 있으며, 예를 들면, 검사체(B)는 휴대 단말용 메탈 케이스, 반도체 기판의 솔더링 및 기판을 포함하지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

냉각부(110)는 검사체(B)를 미리 정해진 온도(이하, "제1 온도"라 함)로 냉각시킨다. 제1 온도는 습공기 공급부(120)에 의하여 습공기를 가하면 검사체(B)의 표면에 김서림(또는 수분 입자)이 발생하는 온도로 설정된다. 이는 습공기의 온/습도를 습공기선도에 적용함으로써 설정될 수 있다. 예를 들어, 습공기의 온도가 20, 습도가 50%인 경우, 이를 습공기선도에 적용하면, 수증기 포화 상태가 되는 온도, 즉 김서림(또는 수분 입자)이 발생할 수 있는 온도(이슬점 온도)는 9가 된다. 따라서, 이 예시에서, 제1 온도는 9 이하로 설정될 수 있다. 냉각부(110)에 의해 검사체를 냉각시키면 검사체 표면뿐만 아니라 검사체 표면 주변의 공기도 제1 온도로 냉각된다. 검사체 표면 주변의 습공기가 제1 온도가 되면, 습공기선도에 따라 수증기 포화 상태 또는 수증기 과포화 상태가 되어 검사체(B)의 표면에 김서림(또는 수분 입자)이 발생한다. 검사체 표면에 김서림(또는 수분입자)을 용이하게 생성하기 위해서 본원발명은 검사체 표면에 습공기를 인가하는 구성을 채택하였는바 이에 대해서는 후술하기로 한다.

통상적인 검사 장치의 설치 환경 등을 고려하면, 제1 온도는 -20℃ 내지 20℃가 바람직하고, 0℃ 내지 15℃가 보다 바람직하며, 2℃ 내지 5℃가 보다 더 바람직하다.

전술한 실시예에서는 검사체 표면에 김서림(또는 수분입자)을 용이하게 생성하기 위해서 냉각부(110)가 검사체를 냉각시키는 것으로 설명하였지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 검사체가 냉각되지 않은 상태에서도 습공기의 절대 수증기량이 충분하다면, 습공기선도에 따라 검사체 표면 주변의 공기가 수증기 포화 상태 또는 수증기 과포화 상태로 될 수 있고, 이에 따라 검사체 표면에 김서림(또는 수분입자)이 생성될 수 있다.

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 냉각부(110)의 구성을 개략적으로 나타낸 구성도이다. 도 2를 참조하면, 냉각부(110)는 검사체 적재부(115)를 포함한다. 검사체 적재부(115)는 검사체(B)를 일시적으로 수납한다. 예를 들면, 검사체 적재부(115)는 복수의 검사체(B)를 다단으로 적재한다. 예를 들면, 검사체 적재부(115)는 검사체(B)가 이송되지 않는 동안에 밀폐되는 밀폐형 적재부일 수 있다.

냉각부(110)는 냉풍 형성부(111)를 더 포함한다. 냉풍 형성부(111)는 검사체 적재부(115)내에 수납된 검사체(B)를 제1 온도 이하로 냉각시키기 위한 냉풍을 형성한다. 예를 들면, 냉풍 형성부(111)는 에어컨 또는 냉동기를 포함할 수 있다.

냉각부(110)는 냉풍 공급관(113)을 더 포함한다. 냉풍 공급관(113)은 냉풍 형성부(111)와 검사체 적재부(115)를 연결하기 위한 관으로, 냉풍 형성부(111)에서 형성된 냉풍을 검사체 적재부(115)내로 공급한다. 예를 들면, 냉풍 공급관(113)의 일단은 검사체 적재부(115)의 상단 일측에 설치되지만, 반드시 이에 한정되지 않고, 필요에 따라 검사체 적재부(115)의 다양한 위치에 설치될 수도 있다.

냉각부(110)는 냉풍 순환관(117)을 더 포함한다. 냉풍 순환관(117)은 검사체 적재부(115)와 냉풍 형성부(111)를 연결하기 위한 관으로, 검사체 적재부(115)내에 공급된 냉풍을 냉풍 형성부(111)로 다시 공급하여 순환 구조를 이루게 한다. 예를 들면, 냉풍 순환관(117)의 일단은 검사체 적재부(115)의 하단 측면에 설치되지만, 반드시 이에 한정되지 않고, 필요에 따라 검사체 적재부(115)의 다양한 위치에 설치될 수 있다.

전술한 실시예에서는 냉각부(110)가 냉풍 순환관(117)을 포함하여 검사체 적재부(115)내에 공급된 냉풍을 냉풍 형성부(111)로 순환시키는 구성인 것으로 설명하였지만, 다른 실시예에서는 냉각부(110)가 냉풍 순환관(117)을 포함하지 않고, 검사체 적재부(115)의 하단 측면에 형성된 배기구(도시하지 않음)를 통해 검사체 적재부(115)내에 공급된 냉풍을 배기시킬 수도 있다.

다시 도 1을 참조하면, 검사 시스템(100)은 습공기 공급부(120)를 더 포함한다. 습공기 공급부(120)는 습공기를 형성하여 순환시키고, 형성된 습공기를 검사체(B)의 표면에 습공기를 분사한다. 습공기선도에 따르면 포화 수증기량은 온도에 비례하므로 습공기는 온도가 높을 수록 더 많은 수증기를 함유할 수 있다. 본원은 포화되지 않은 상태의 습공기를 이용함으로써 습공기 공급부 내에서의 응결 현상을 방지하면서 검사체(B)의 표면에서만 수분입자가 균일한 김서림을 얻을 수 있다.

수증기를 함유하는 습공기를 검사체(B)에 인가하면 검사체(B) 표면에 도달한 습공기는 검사체(B) 표면의 온도인 제1 온도에 의해 냉각된다. 이때 습공기가 냉각되어 포화 상태 또는 과포화 상태에 도달하면 검사체 표면에 수증기가 응결되어 김서림(또는 수분 입자)이 발생한다.

습공기 공급부(120)는 검사체(B)의 표면 전체에 일정한 습도를 갖는 습공기를 분사하기 위해, 검사체(B)의 상단에 위치할 수 있지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 습공기 공급부(120)의 구성을 개략적으로 나타낸 구성도이다.

본 실시예에서, 습공기 순환부(121)는 습공기를 형성하고, 습공기를 가열하며, 습공기를 순환시킨다. 본 실시예에 있어서, 습공기 순환부(121)는 풍로(1211), 순환 송풍부(1212), 히터(1213) 및 가습부(1214)를 포함한다. 또한, 습공기 순환부(121)는 혼합부(1215) 및 습공기 버퍼부(1216) 를 더 포함한다.

풍로(1211)는 습공기가 폐쇄적으로 순환되는 관으로, 순환 중에 가열과 가습이 이루어지게 된다. 본 실시예에서 풍로는 풍로에서 폐쇄 순환하는 습공기를 가열하는 히터(1213), 습공기에 가습부(1214)에 의해 생성된 습기를 가하는 혼합부(1215), 습공기를 순환시키는 순환 송풍부(1212)를 연결시키는 폐쇄형 통로로 구현된다. 본 실시예에서 풍로(1211)는 히터(1213), 혼합부(1215) 등이 연결된 폐쇄 통로로 설명되었으나, 다른 실시예에서는, 풍로(1211) 내에 히터(1213), 혼합부(1215) 등의 구성을 위치시키는 것도 가능하다.

풍로(1211)는 원형 또는 다각형의 관 형상의 단면을 가질 수 있지만 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 풍로(1211)의 크기는 필요에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 또한, 풍로(1211)는 외부로부터 공기를 흡입하기 위한 흡입구(도시하지 않음)가 설치되어 외기를 흡입할 수 있다. 그러나, 흡입구는 반드시 이에 한정되지 않고, 히터(1213), 가습부(1214), 순환 송풍부(1212), 혼합부(1215), 또는 습공기 버퍼부(1216) 중 적어도 하나에 설치될 수도 있고, 분사 송풍부(125)를 역방향으로 동작시켜 외기를 신속히 흡입하는 것도 가능하다.

순환 송풍부(1212)는 습공기를 풍로(1211)를 통해 폐쇄적으로 순환시킨다. 일례로서, 순환 송풍부(1212)는 습공기를 풍로(1211)를 통해 연속적으로 순환시킨다. 습공기를 폐쇄적으로 순환시키지 않는다면, 습공기가 위치에 따라 냉각되어 온도, 습도 등이 달라질 수 있다. 본 실시예에서는 순환 송풍부(1212)를 통해 습공기를 순환시킴으로써, 다량의 습공기를 그 온도와 습도가 균일한 상태로 유지하는 것이 가능하다. 이에 따라, 풍로(1211) 내의 일 부분에서 습공기가 응결되는 것을 방지할 수 있다.

히터(1213)는 풍로(1211)를 순환하는 습공기를 미리 설정된 온도(이하 "제2 온도"라고 함) 이상으로 가열한다. 습공기선도에 따르면 포화 수증기량은 온도에 비례하기 때문에 본 실시예와 같이 습공기를 가열시키면 습공기가 보유한 절대 수증기량을 증가시킬 수 있다. 절대 수증기량이 증가하면, 검사체(B)의 표면에 응결될 습기의 양을 늘릴 수 있다. 또한, 습공기를 가열하여 포화 수증기량이 증가하면 풍로(1211) 내에서의 습공기의 응결을 최소화 할 수도 있다. 통상적인 검사 장치의 설치 환경 등을 고려하면, 제2 온도는 20℃ 내지 300℃가 바람직하고, 30℃ 내지 200℃가 보다 바람직하며, 40℃ 내지 150℃가 보다 더 바람직하다. 히터(1213)는 습공기를 가열할 수 있는 장치라면 어떤 장치이어도 무방하다.

전술한 실시예에서는 히터(1213)가 습공기를 가열하는 것으로 설명하였지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 가습부(1214)가 충분한 수증기를 습공기에 가하거나 냉각부(110)에 의해 냉각된 검사체(B)의 제1 온도가 충분히 낮은 경우, 습공기가 가열되지 않더라도 습공기선도에 따라 검사체 표면 주변의 공기가 수증기 포화 상태 또는 수증기 과포화 상태로 될 수 있다. 이에 따라 검사체 표면에는 김서림(또는 수분입자)이 생성될 수 있다.

가습부(1214)는 습기(또는 미세한 물방울)를 형성한다. 가습부(1214)는 초음파 가습기(도시하지 않음)일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 습기를 형성할 수 있는 장치라면 어떤 장치라도 무방하다.

본 실시예에서, 습공기의 온도, 습도 등이 원하는 값에 도달하면, 검사 시스템(100)의 제어부(160)에 의해 히터(1213)와 가습부(1214)의 구동이 일시 정지될 수 있다. 제어부(160)에 대하여는 아래에서 상세하게 설명하기로 한다. 제어부(160)가 히터(1213)와 가습부(1214)를 일시 정지하더라도, 습공기는 순환 송풍부(1212)에 의해 풍로(1211)에서 폐쇄적으로 순환되므로, 풍로(1211) 내에서 그 온도와 습도가 균일한 상태로 유지된다. 이와 같이 제어부(160)는 히터(1213)와 가습부(1214)의 구동을 일시적으로 정지하였다가 습공기의 온도 및 습도가 소정 기준에서 벗어나면 습공기 순환부(121)의 구동을 재시작할 수 있다. 이와 같은 방법으로, 본 실시예에서는 습공기 순환부(121)의 구동을 수시로 온/오프로 제어하면서, 습공기의 온도, 습도 등을 일정하게 유지할 수 있다. 이에 따라, 히터(1213)와 가습부(1214)의 구동 시간이 감소되고, 그 내구성이 향상될 수 있다. 또 다른 실시예에서는, 히터(1213)와 가습부(1214)를 주기적으로 온/오프하여 제어할 수도 있다.

이상과 같이, 습공기를 풍로(1211)를 통해 순환시킴으로써, 습공기의 온도, 습도 등을 일정하게 유지하면서도 히터(1213)와 가습부(1214)의 구동을 최소화할 수 있으며, 습공기의 응결 역시 방지할 수 있다.

전술한 실시예에서는 히터(1213)와 순환 송풍부(1212)를 별도로 구성하는 것으로 설명하였지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 히터(1213) 및 순환 송풍부(1212)는 일체로 형성된 열풍기로 구성될 수 있다.

혼합부(1215)는 히터(1213)에 의해 가열된 습공기와 가습부(1214)에 의해 형성된 습기를 혼합하여, 히터(1213)에 의해 가열된 습공기보다 높은 습도를 갖는 습공기를 형성한다. 도 4a는 본 발명의 제1 실시예에 따른 혼합부(1215)의 사시도이고, 도 4b는 본 발명의 제1 실시예에 따른 혼합부(1215)의 단면도이다. 도 4a 및 도 4b를 참조하면, 혼합부(1215)는 케이스(401)를 포함한다.

케이스(401)는 히터(1213)에 의해 가열된 습공기와 가습부(1214)에서 형성된 습기를 밀폐시킨다. 예를 들면, 케이스(401)는 풍로(1211)에 연결되고, 히터(1213)에 의해 가열된 습공기가 유입되는 제1 유입구(402); 가습부(1214)에 연결되어 가습부(1214)로부터의 습기가 유입되는 제2 유입구(403); 및 풍로(1211)에 연결되고, 습공기(즉, 히터(1213)에 의해 가열된 습공기와 가습부(1214)로부터의 습기가 혼합된 습공기)가 풍로(1211)로 토출되는 토출구(404)로 구성된다.

혼합부(1215)는 혼합관(405)을 더 포함한다. 혼합관(405)은 케이스(401)의 제1 유입구(402) 및 토출구(404)에 연결된다. 또한, 혼합관(405)은 복수의 관통구멍(TH)을 갖는다. 관통구멍(TH)의 직경은 1㎜ 내지 10㎜인 것이 바람직하지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

본 실시예에 있어서, 히터(1213)에 의해 가열된 습공기는 케이스(401)의 제1 유입구(402)를 통해 혼합관(405)내에 유입되고, 가습부(1214)에 의해 형성된 습기는 케이스(401)의 제2 유입구(403)를 거쳐 관통구멍(TH)을 통해 혼합관(405)내에 유입된다. 따라서, 히터(1213)에 의해 가열된 습공기와 가습부(1214)에 의해 형성된 습기가 혼합관(405)내에서 혼합되어, 히터(1213)에 의해 가열된 습공기보다 높은 습도를 갖는 습공기가 형성된다.

전술한 실시예에서는 습공기 순환부(121)가 혼합부(1215)를 포함하는 것으로 설명하였지만, 반드시 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 습공기 순환부(121)는 혼합부(1215)를 포함하지 않고, 히터(1213)에 의해 가열된 습공기와 가습부(1214)에 의해 형성된 습기가 풍로(1211)에서 혼합될 수도 있다.

다시 도 3을 참조하면, 습공기 버퍼부(1216)는 혼합부(1215)와 순환 송풍부(1212) 사이에 설치되고, 혼합부(1215)에 의해 형성된 습공기를 저장한다. 습공기 버퍼부(1216)의 형상 및 크기는 필요에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 이와 같이, 습공기 순환부(121)가 습공기 버퍼부(1216)를 포함으로써, 분사 송풍부(125)에 의해 분사되는 습공기에 의해 풍로(1211)에 존재하는 습공기가 부족하게 되어 습공기의 온도 및 습도가 급격히 떨어지고, 이에 따라 히터(1213) 및 가습부(1214)의 온/오프 시간(즉, 히터(1213) 및 가습부(1214)의 구동 시간 및 구동 정지 시간 사이의 시간)이 짧아지는 것을 방지할 수 있다.

전술한 실시예에서는 습공기 순환부(121)가 습공기 버퍼부(1216)를 포함하는 것으로 설명하였지만, 반드시 이에 한정되지 않고, 풍로(1211)가 충분한 양의 습공기를 유지할 수 있다면, 습공기 순환부(121)는 습공기 버퍼부(1216)를 포함하지 않을 수도 있다.

습공기 공급부(120)는 습공기 순환부(121)에 의해 가열 및 가습되어 폐쇄적으로 순환하는 습공기의 일부를 유도하여 검사체(B)로 분사하기 위한 개폐부(124), 습공기 유도관(122) 및 분사 송풍부(125)를 포함한다.

개폐부(124)가 개방되면서 분사 송풍부(125)가 작동하면 풍로(1211)에서 순환 중인 습공기의 일부는 습공기 유도관(122)으로 유도되어 검사체(B)로 분사된다. 개폐부(124)는 풍로(1211)와 습공기 유도관(122)의 결합부와 분사 송풍부(125)의 상단 사이에 설치될 수 있지만, 반드시 이에 한정되지 않고, 분사 송풍부(125)의 하단에 설치될 수도 있다.

본 실시예에 있어서, 개폐부(124)는 풍로(1211)를 순환하는 습공기의 온도 및 습도가 일정 조건에 도달할 때까지, 습공기 유도관(122)을 폐쇄하여, 검사체(B)로의 습공기 공급을 차단한다. 또한, 습공기 공급부(120)는 풍로(1211)를 순환하는 습공기의 온도 및 습도가 일정 조건에 도달한 상태에서 검사체(B)가 이송되어 오면, 개폐부(124)를 개방하여 풍로(1211)에서 폐쇄적으로 순환하던 습공기의 일부를 분사 송풍부(125)로 공급한다.

분사 송풍부(125)는 습공기를 검사체(B)의 표면에 분사한다. 예를 들면, 분사 송풍부(125)는 풍로(1211)를 순환하는 습공기의 온도 및 습도가 일정 조건에 도달한 상태에서 검사체(B)가 이송되어 오면, 개폐부(124)에 의해 개방된 풍로(1211)로부터 공급되는 습공기를 검사체(B)의 표면에 분사한다. 분사 송풍부(125)는 팬을 포함하지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 이와 같이, 분사 송풍부(125)를 통해 습공기를 검사체(B)의 표면에 분사함으로써, 매우 짧은 시간에 습공기를 검사체(B)의 표면에 분사시킬 수 있다.

전술한 실시예에서는 분사 송풍부(125)를 통해 습공기를 검사체(B)의 표면에 분사하는 것으로 설명하였지만, 반드시 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 습공기 공급부(120)는 분사 송풍부(125)를 포함하지 않고, 순환 송풍부(1212)를 통해 습공기를 검사체(B)의 표면에 분사할 수도 있다.

습공기 감지부(123)는 풍로(1211)내의 소정 위치에 설치되어, 풍로(1211)를 순환하는 습공기의 온도 및 습도를 감지하고, 감지된 온도 및 습도를 포함하는 감지 정보(이하, "습공기 감지 정보"라 함)를 형성한다. 예를 들면, 습공기 감지부(123)는 온습도 센서(도시하지 않음)를 포함하지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

다시 도 1을 참조하면, 검사 시스템(100)은 영상 데이터 획득부(130)를 더 포함한다. 영상 데이터 획득부(130)는 표면에 김서림(또는 수분 입자)이 발생한 검사체(B)에 광을 조사하고, 검사체(B)에 의해 반사된 광을 수광하여 검사체(B)의 영상 데이터를 획득한다. 영상 데이터는 검사체(B)의 2차원 또는 3차원 영상 데이터일 수 있다.

도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 영상 데이터 획득부(130)를 개략적으로 나타낸 설명도이다. 도 5를 참조하면, 영상 데이터 획득부(130)는 조명부(131)를 포함한다.

조명부(131)는 검사체(B)의 형상을 측정하기 위한 패턴 조명을 검사체(B)에 조사한다. 예를 들면, 조명부(131)는 광을 발생시키기 위한 광원(1311), 광원(1311)으로부터의 광을 패턴 조명으로 변환시키기 위한 격자 소자(1312), 격자 소자(1312)를 피치 이송시키기 위한 격자 이송 기구(1313) 및 격자 소자(1312)에 의해 변환된 패턴 조명을 검사체(B)에 투영시키기 위한 투영 렌즈(1314)를 포함한다. 여기서, 격자 소자(1312)는 패턴 조명의 위상 천이를 위해 PZT 엑추에이터(piezo actuator) 등의 격자 이송 기구(1313)를 통해 소정의 거리(예를 들어, 2π/N(N은 2 이상의 자연수))만큼씩 이송될 수 있다. 이와 달리, 격자 소자(1312) 및 격자 이송 기구(1313)를 이용하는 대신, 액정 표시 장치의 영상을 이용하여 위상 천이된 격자 패턴광을 조사할 수도 있다. 그러나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 위상 천이된 격자 패턴광을 조사할 수 있는 한 다른 수단으로 구현하는 것도 가능하다.

일례로서, 조명부(131)는 1개 또는 원주 방향이나 가상의 다각 평면을 따라 일정한 각도로 이격되도록 복수개 설치될 수 있다. 다른 예로서, 조명부(131)는 검사체(B)의 수직한 방향을 따라 일정한 간격으로 이격되도록 복수개 설치될 수 있다. 또 다른 예로서, 조명부(131)는 검사체(B)와 수직한 방향을 따라 1개 설치될 수 있다.

영상 데이터 획득부(130)는 촬상부(137)를 더 포함한다. 촬상부(137)는 검사체(B)에 의해 반사된 광을 수신하여 검사체(B)의 영상 데이터를 획득한다. 즉, 촬상부(137)는 조명부(131)의 패턴광의 조사를 통해 검사체(B)를 촬상하여 검사체(B)의 영상 데이터를 획득한다. 촬상부(137)는 CCD(charge coupled device) 카메라 또는 CMOS(complementary metal oxide semiconductor) 카메라를 포함할 수 있지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 일례로서, 촬상부(137)는 검사체(B)로부터 수직한 상부 위치에 설치될 수 있다. 다른 예로서, 촬상부(137)는 검사체(B)로부터 수직한 상부 위치와, 원주 방향을 따라 일정한 각도로 이격되어 복수개 설치될 수 있다.

한편, 검사체(B)가 표면에 거울이나 유리면과 같은 경면 반사면을 갖는 경면 물체인 경우에는 검사체(B)에 조명부(131)에 의한 격자 패턴광이 맺히지 않는 경우가 있다. 이러한 문제점을 해결하기 위해, 습공기 공급부(120)에 의하여 습공기를 검사체(B)의 표면에 분사하여 검사체(B)의 표면에 김서림(또는 수분 입자)을 형성하면, 촬상부(137)가 김서림(또는 수분 입자)이 형성된 검사체(B)의 표면에 의해 난반사된 광을 수신할 수 있다. 이에 따라, 영상 데이터 획득부(130)는 수신된 광에 기초하여 검사체(B)의 영상 데이터를 획득할 수 있다.

도 5에 도시된 영상 데이터 획득부(130)는 검사체(B)의 영상 데이터를 획득할 수 있는 검사 장치들 중 하나의 실시예를 나타낸 것이므로, 영상 데이터 획득부(130)가 반드시 도 5에 나타낸 형태로 한정되는 것이 아님에 주의하여야 한다.

다시 도 1을 참조하면, 검사 시스템(100)은 이송부(140)를 더 포함한다. 이송부(140)는 검사체(B)를 냉각부(110), 습공기 공급부(120) 및 영상 데이터 획득부(130)로 이송한다. 일실시예에 있어서, 이송부(140)는 검사체(B)를 일방향으로 이송한다. 이송부(140)는 컨베이어(도시하지 않음) 등을 포함하지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

검사 시스템(100)은 영상 데이터 처리부(170)를 더 포함한다. 영상 데이터 처리부(170)는 영상 데이터 획득부(130)에 의해 획득된 영상 데이터에 기초하여 사전 설정된 검사 기준에 따라 검사체(B)를 검사하여 검사체(B)의 양호(Good) 또는 불량(NG)을 나타내는 검사 결과를 형성한다.

검사 시스템(100)은 검사 결과 표시부(180)를 더 포함한다. 검사 결과 표시부(180)는 영상 데이터 처리부(170)에 의해 형성된 검사 결과를 표시한다. 예를 들면, 검사 결과 표시부(180)는 LCD(diquid crystal display), LED(light emitting diode) 디스플레이, OLED(organic light emitting diode)를 포함하지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

검사 시스템(100)은 온습도 감지부(190)를 더 포함한다. 온습도 감지부(190)는 검사 시스템(100)의 소정 위치에 설치되어, 검사 시스템(100) 주위 공기의 온도 및 습도 중 적어도 하나를 감지하고, 감지된 온도 및 습도 중 적어도 하나를 포함하는 감지 정보(이하, "온습도 감지 정보"라 함)를 형성한다. 일례로, 온습도 감지부(190)는 검사 시스템(100) 주위의 온도를 감지하고 감지된 온도를 포함하는 온도 감지 정보를 출력하는 온도 감지부(도시하지 않음) 및 검사 시스템(100) 주위의 습도를 감지하고 감지된 습도를 포함하는 습도 감지 정보를 출력하는 습도 감지부(도시하지 않음)를 포함할 수 있다. 다른 예로, 온습도 감지부(190)는 온도 감지부와 습도 감지부를 별도로 포함하지 않고 온도 및 습도를 감지할 수 있는 온습도 센서(도시하지 않음)를 포함할 수도 있다.

검사 시스템(100)은 제어부(160)를 더 포함한다. 제어부(160)는 검사 시스템(100)의 각 구성요소, 즉 냉각부(110), 습공기 공급부(120), 영상 데이터 획득부(130), 이송부(140), 영상 데이터 처리부(170), 검사 결과 표시부(180) 및 온습도 감지부(190) 각각의 동작을 제어한다.

일례로서, 제어부(160)는 습공기 공급부(120)에서 습공기의 온도와 습도에 기초하여 냉각부(110)의 냉각 온도(제1 온도)를 설정할 수 있다. 예를 들어, 습공기의 온도가 20, 습도가 50%인 경우, 제어부(160)는 이를 습공기선도에 적용하여, 수증기 포화 상태가 되는 온도, 즉 김서림(또는 수분 입자)이 발생할 수 있는 온도(이슬점 온도) 9를 산출할 수 있다. 이에 따라 제어부(160)는 제1 온도를 9 이하로 설정할 수 있다. 제어부(160)는 냉각부(110)의 온도를 제1 온도로 조절하기 위한 제어신호를 형성하여 출력하고, 이에 따라 냉각부(110)가 검사체(B)를 제1 온도 이하로 냉각시킬 수 있다.

또한, 제어부(160)는 온습도 감지부(190)로부터 제공되는 주위 공기의 온습도 감지 정보에 기초하여 냉각부(110)의 냉각 온도(제1 온도)를 조절할 수 있다. 예를 들어, 제어부(160)는 주위 공기의 온습도 감지 정보에 따라 검사체(B)의 표면에 형성된 김서림(또는 수분 입자)이 영상 데이터 획득시까지 유지되기 어렵다고 판정되는 경우, 제1 온도를 낮은 값으로 설정할 수 있다. 예를 들어, 검사체(B)의 영상 데이터가 획득될 때까지 검사체(B)의 냉각이 유지되지 않으면 습공기선도에 따라 검사체(B) 표면 주변의 공기가 수증기 불포화 상태가 되는 경우, 검사체(B) 표면에 형성된 김서림(또는 수분입자)이 증발될 수 있다. 따라서, 검사체(B)의 영상 데이터가 획득될 때까지 검사체(B) 표면 주변의 공기가 습공기선도에 따라 수증기 포화 상태 또는 수증기 과포화 상태로 되도록 제1 온도를 충분히 낮게 설정하면, 김서림(또는 수분 입자)이 유지될 수 있다.

또한, 제어부(160)는 습공기 감지부(123)로부터 제공되는 습공기 감지 정보에 기초하여 습공기 공급부(120)의 습공기 형성 및 습공기 분사를 제어할 수 있다. 예를 들어, 제어부(160)는 습공기 감지부(123)로부터 제공되는 습공기 감지 정보(즉, 습공기의 온도)와 미리 설정된 제2 온도를 비교하여, 습공기의 온도가 제2 온도 이상인지 여부를 결정한다. 습공기의 온도가 제2 온도 이하이면 제어부(160)는 히터(1213)를 더 가동시킬 수 있다.

또한, 제어부(160)는 제1 온도 및 제2 온도에 기초하여 습공기의 습도를 결정할 수 있다. 예를 들어, 제어부(160)는 제1 온도 및 제2 온도를 습공기선도에 적용하여, 습기가 형성될 수 있는 습공기의 습도, 즉 김서림(또는 수분 입자)이 발생할 수 있는 습도(이하, "습기 형성 습도"라 함)를 산출할 수 있다. 예를 들면, 제1 온도가 9℃이고 제2 온도가 20℃인 경우, 습기 형성 습도는 50%이다.

제어부(160)는 습공기 감지부(123)로부터 제공되는 습공기 감지 정보(즉, 습공기의 습도)와 습기 형성 습도를 비교하여, 습공기의 습도가 습기 형성 습도 이상인지 여부를 결정한다. 습공기의 습도가 습기 형성 습도 이하이면 제어부(160)는 가습부(1214)를 더 가동시킬 수 있다.

또한, 제어부(160)는 습공기의 온도가 제2 온도 이상이고, 습공기의 습도가 습기 형성 습도 이상인 상태에서 검사체(B)가 이송되어 온 경우, 습공기를 검사체(B)에 분사할 수 있다. 일례로, 제어부(160)는 개폐부(124)를 개방시키고, 분사 송풍부(125)를 구동시키며, 히터(1213) 및 가습부(1214)의 구동(습공기 가열 및 습기 형성)을 정지시키기 위한 제어신호를 형성하여 출력할 수 있다. 이에 따라, 개폐부(124)는 습공기 유도관(122)을 개방하고, 분사 송풍부(125)는 습공기를 검사체(B)의 표면에 분사한다. 또한, 히터(1213)는 풍로(1211)를 순환하는 습공기의 가열을 정지하고, 가습부(1214)는 습기의 형성을 정지한다. 이와 같이, 감지된 습공기의 온도 및 습도에 따라 히터(1213) 및 가습부(1214)의 구동을 정지시킴으로써, 히터(1213) 및 가습부(1214)의 수명을 향상시킬 수 있다.

한편, 습공기의 온도가 제2 온도 미만이거나, 습공기의 습도가 습기 형성 습도 미만인 것으로 결정되면, 제어부(160)는 개폐부(124)를 폐쇄시키고, 분사 송풍부(125)의 구동(습공기 분사)을 정지시킬 수 있다.

다른 실시예로서, 제어부(160)는 개폐부(124)의 개폐 및 분사 송풍부(125)의 구동 횟수에 기초하여 히터(1213) 및 가습부(1214)의 온/오프를 제어할 수도 있다. 인라인 상에서 검사체(B)에 대한 양불검사를 수행하는 때에는, 일정한 시간동안 습공기가 반복적으로 분사될 수 있다. 이 때, 검사체(B)에 습공기가 일정 횟수(예를 들어, 3회) 분사되면, 풍로(1211) 내의 습공기의 온도 및 습도가 낮아져, 풍로(1211) 내의 습공기를 가열하고 습기를 공급할 필요가 생길 수 있다. 이에 따라, 제어부(160)는 개폐부(124)의 개폐 및 분사 송풍부(125)의 구동 횟수가 예를 들어 3회인 경우, 즉 검사체(B)에 습공기가 3회 분사된 경우, 히터(1213) 및 가습부(1214)를 소정의 시간 동안 동작시킨 후 구동정지하는 프로세스를 반복할 수 있다. 이러한 방식으로 개폐부(124)의 개폐 및 분사 송풍부(125)의 구동 횟수에 기초하여 히터(1213) 및 가습부(1214)를 온/오프함으로써, 제어부(160)는 실시간 온/습도 정보 없이 히터(1213) 및 가습부(1214)의 온/오프를 제어할 수도 있다.

또 다른 예로, 제어부(160)는 개폐부(124)의 개폐 및 분사 송풍부(125)의 구동 여부에 따라 히터(1213) 및 가습부(1214)의 온/오프를 제어할 수도 있다. 예를 들어, 제어부(160)는 개폐부(124)가 개방되고 분사 송풍부(125)가 구동되는 경우, 즉 검사체(B)에 습공기가 분사되는 경우, 풍로(1211) 내의 습공기를 가열하고 습기를 공급하도록 히터(1213) 및 가습부(1214)를 동작시키고, 개폐부(124)가 폐쇄되고 분사 송풍부(125)가 구동되지 않는 경우, 히터(1213) 및 가습부(1214)를 동작시키지 않을 수도 있다.

또 다른 예로, 제어부(160)는 공정 과정에서 검사가 일시적으로 중단된 경우에, 습공기를 생성 및 배출하지 않고 히터(1213)와 가습부(1214)의 구동을 일시적으로 중단할 수도 있다. 이와 같이 검사 중단 시에 히터(1213)와 가습부(1214)의 오프시간을 늘림으로써 히터(1213)와 가습부(1214)의 구동 시간을 최소화하여 내구성을 향상시키는 것이 가능하다.

또 다른 예로, 제어부(160)는 히터(1213)와 가습부(1214)를 각각 온/오프하는 시간 간격을 미리 셋팅한 뒤, 미리 정해진 시간 간격으로 히터(1213)와 가습부(1214) 각각의 구동을 주기적으로 온/오프할 수도 있다.

일례로, 제어부(160)는 본 실시예의 전술한 하나 이상의 기능들을 수행하기 위해 저장 매체(예를 들어, 비일시적 컴퓨터 판독 가능 저장 매체)에 기록된 컴퓨터 실행 가능 명령어들을 판독하고 실행하는 시스템 또는 장치의 컴퓨터에 의해 실현될 수 있고, 전술한 실시예(들) 중 하나 이상의 기능들을 수행하기 위해 저장 매체로부터 컴퓨터 실행 가능 명령어들을 판독하여 실행함으로써, 시스템 또는 장치의 컴퓨터에 의해 수행되는 방법에 의해 실현될 수 있다. 컴퓨터는 중앙 프로세싱 유닛(CPU), 마이크로 프로세싱 유닛(MPU), 또는 다른 회로 중 하나 이상을 포함할 수 있고, 별개의 컴퓨터들 또는 별개의 컴퓨터 프로세서들의 네트워크를 포함할 수 있다. 컴퓨터 실행가능 명령어들은 예를 들어, 네트워크 또는 저장 매체로부터 컴퓨터에 제공될 수 있다. 저장 매체는 예를 들어, 하드 디스크, 랜덤-액세스 메모리(RAM), 판독 전용 메모리(ROM), 분산 컴퓨팅 시스템들의 스토리지, 광 디스크(컴팩트 디스크(CD), 디지털 다기능 디스크(DVD), 또는 블루-레이 디스크(BD)), 플래시 메모리 디바이스, 및 메모리 카드 등 중 하나 이상을 포함할 수 있다.

선택적으로, 냉각부(110) 및 습공기 공급부(120)는 검사체(B)의 표면에 김서림(또는 수분 입자)을 형성하는 습공기 형성 장치로서 구성될 수 있다. 한편, 제어부(160)는 습공기 형성 장치에 포함될 수도 있다.

또한 선택적으로, 검사 시스템(100)은 이송부(140)에 의해 이송되는 검사체(B)의 위치를 감지하고, 감지된 위치를 포함하는 위치 정보를 출력하는 검사체 감지부(도시하지 않음)를 더 포함할 수 있다. 검사체 감지부는 위치 센서 등을 포함할 수 있지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

또한 선택적으로, 검사 시스템(100)은 습공기 공급부(120)로부터 분사되는 습공기를 배기하는 습공기 배기구(도시하지 않음)를 더 포함할 수도 있다. 이와 같이, 검사 시스템(100)은 습공기 배기구를 포함함으로써, 습공기 공급부(120)로부터 분사되는 습공기에 의해 검사 시스템(100)에 고장 등이 발생할 가능성을 감소시킬 수 있다.

또한 선택적으로, 습공기를 분사한 후에 검사체(B)의 영상 데이터를 획득하는 경우, 검사체(B)의 표면에 김서림이 너무 많이 발생(즉, 수분 입자가 너무 많이 응결)하거나, 또는 김서림이 너무 적게 발생(즉, 수분 입자가 너무 적게 응결)하여, 획득된 영상 데이터만으로는 검사체(B)를 정확하게 검사할 수 없는 경우가 발생할 수도 있다. 제어부(160)는 검사 시스템(100)의 설정 전에 분사 송풍부(125)에서 분사되는 습공기의 세기를 조절하여 습공기의 농도 조절을 가능하게 할 수 있으며, 최적의 농도를 설정해 둘 수 있다. 즉, 제어부(160)는 온습도 감지부(190)에 의해 감지된 습도(즉, 습도 감지 정보)에 기초하여, 습공기의 분사 세기를 제어할 수 있다.

제2 실시예

도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 검사 시스템(600)의 구성을 개략적으로 나타낸 사시도이다. 본 실시예에서는 제1 실시예와 동일한 구성요소에 대해 동일한 도면부호를 부여하고 그 상세한 설명을 생략한다.

도 6을 참조하면, 본 실시예에 따른 검사 시스템(600)은 냉각대(650)를 포함한다. 냉각대(650)는 검사체(B)의 표면에 형성된 김서림(또는 수분 입자)이 유지되도록, 습공기 공급부(120)로부터 이송부(140)에 의해 이송된 검사체(B)를 미리 정해진 온도(즉, 제3 온도) 이하로 유지시킬 수 있다. 이 때 제3 온도는 검사체 표면 주변의 공기가 수증기 포화 상태 또는 수증기 과포화 상태로 되는 온도이다. 이는 주변 공기의 온/습도를 습공기선도에 적용함으로써 설정될 수 있다. 검사체 표면 주변의 공기를 수증기 포화 상태 또는 수증기 과포화 상태로 하면, 검사체(B) 표면에 형성된 김서림(또는 수분 입자)이 증발하지 않으므로, 김서림(또는 수분 입자)이 유지될 수 있다.

도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 냉각대(650)를 개략적으로 나타낸 단면도이고, 도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 냉각대(650)의 상면도이다. 도 7을 참조하면, 냉각대(650)는 냉각 소자(651)를 포함한다. 냉각 소자(651)는 검사체(B)를 제1 온도 이하로 냉각시킨다. 예를 들면, 냉각 소자(651)는 전류에 의해 열의 흡수가 일어나는 펠티에 효과를 이용하여 냉각하는 펠티에 소자를 포함한다. 그러나, 냉각 소자(651)는 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

냉각대(650)는 상부판(652)을 더 포함한다. 상부판(652)은 검사체(B)를 흡착 유지시킨다. 상부판(652)은 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 공기의 흡입에 의해 검사체(B)를 흡착 유지시키기 위한 복수의 천공(PH) 및 흡입관(654)을 포함한다. 또한, 상부판(652)은 냉각 소자(651) 상에 위치하여 검사체(B)의 열을 냉각 소자(651)에 전달한다. 즉, 검사체(B)의 열이 상부판(652)을 통해 냉각 소자(651)에 전달되어 냉각 소자(651)가 열을 흡수함으로써, 검사체(B)가 냉각된다. 예를 들면, 상부판(652)은 열전달율이 높은 재료로 이루어진다. 일례로서, 상부판(652)은 알루미늄으로 이루어질 수 있지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

냉각대(650)는 하부판(653)을 더 포함한다. 하부판(653)은 냉각 소자(651)의 아래에 위치하여, 냉각 소자(651)에서 발생하는 열을 방산한다. 하부판(653)은 흡입관(654)에 연결되고 공기 흡입을 위한 흡입관(655)을 포함한다. 예를 들면, 하부판(653)은 열전달율이 높은 재료로 이루어질 수 있다. 일례로서, 하부판(653)은 알루미늄으로 이루어질 수 있지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

다시 도 6을 참조하면, 검사 시스템(600)은 온습도 감지부(690)를 더 포함한다. 온습도 감지부(690)는 온도 및 습도 중 적어도 하나를 감지하여 감지 정보를 출력한다. 온습도 감지부(690)는 검사 시스템(600)의 소정 위치에 설치되는 온도 감지부(도시하지 않음) 및 습도 감지부(도시하지 않음)를 포함할 수 있다.

예를 들면, 온도 감지부는 검사 시스템(100) 주위의 온도를 감지하고, 감지된 온도를 포함하는 온도 감지 정보(이하, "제1 온도 감지 정보"라 함)를 출력하는 제1 온도 감지부(도시하지 않음)와, 냉각대(650)(즉, 냉각대(650)의 상부판(652))에 설치되어 냉각대(650)의 온도를 감지하고, 감지된 온도를 포함하는 온도 감지 정보(이하, "제2 온도 감지 정보"라 함)를 출력하는 제2 온도 감지부(도시하지 않음)를 포함한다.

검사 시스템(600)은 제어부(660)를 더 포함한다. 제어부(660)는 검사 시스템(600)의 각 구성요소, 즉 냉각부(110), 습공기 공급부(120), 영상 데이터 획득부(130), 이송부(140), 검사 결과 표시부(180), 영상 데이터 처리부(170), 냉각대(650) 및 온습도 감지부(690) 각각의 동작을 제어한다.

일례로서, 제어부(660)는 습공기 공급부(120)의 습공기의 온도와 습도에 기초하여 냉각부(110)의 냉각 온도(제1 온도)를 설정할 수 있다. 또한, 제어부(160)는 제1 온도 및 제2 온도에 기초하여 습공기의 습도를 결정할 수 있다. 또한, 제어부(660)는 습공기 감지부(123)로부터 제공되는 습공기 감지 정보에 기초하여 습공기 공급부(120)의 습공기 형성 및 습공기 분사를 제어할 수 있다. 본 실시예에서 위와 관련된 제어부(660)의 기능은 제1 실시예와 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.

제어부(660)는 제2 온도 감지부로부터 제공되는 냉각대(650)의 온도에 기초하여, 냉각대(650)의 온도를 제3 온도 이하로 조절하기 위한 제어신호를 형성하여 출력할 수 있다. 이에 따라, 검사체(B) 표면 주변의 공기를 습공기선도에 따라 수증기 포화 상태 또는 수증기 과포화 상태로 하면, 검사체(B) 표면에 형성된 김서림(또는 수분 입자)이 증발하지 않으므로, 김서림(또는 수분 입자)이 유지될 수 있다.

일례로, 제어부(660)는 본 실시예의 전술한 하나 이상의 기능들을 수행하기 위해 저장 매체(예를 들어, 비일시적 컴퓨터 판독 가능 저장 매체)에 기록된 컴퓨터 실행 가능 명령어들을 판독하고 실행하는 시스템 또는 장치의 컴퓨터에 의해 실현될 수 있고, 전술한 실시예(들) 중 하나 이상의 기능들을 수행하기 위해 저장 매체로부터 컴퓨터 실행 가능 명령어들을 판독하여 실행함으로써, 시스템 또는 장치의 컴퓨터에 의해 수행되는 방법에 의해 실현될 수 있다. 컴퓨터는 중앙 프로세싱 유닛(CPU), 마이크로 프로세싱 유닛(MPU), 또는 다른 회로 중 하나 이상을 포함할 수 있고, 별개의 컴퓨터들 또는 별개의 컴퓨터 프로세서들의 네트워크를 포함할 수 있다. 컴퓨터 실행가능 명령어들은 예를 들어, 네트워크 또는 저장 매체로부터 컴퓨터에 제공될 수 있다. 저장 매체는 예를 들어, 하드 디스크, 랜덤-액세스 메모리(RAM), 판독 전용 메모리(ROM), 분산 컴퓨팅 시스템들의 스토리지, 광 디스크(컴팩트 디스크(CD), 디지털 다기능 디스크(DVD), 또는 블루-레이 디스크(BD)), 플래시 메모리 디바이스, 및 메모리 카드 등 중 하나 이상을 포함할 수 있다.

선택적으로, 냉각부(110) 및 습공기 공급부(120)는 검사체(B)의 표면에 김서림(또는 수분 입자)을 형성하는 습공기 형성 장치로서 구성될 수 있다. 한편, 제어부(660)는 습공기 형성 장치에 포함될 수도 있다.

또한 선택적으로, 검사 시스템(600)은 이송부(140)에 의해 이송되는 검사체(B)의 위치를 감지하고, 감지된 위치를 포함하는 위치 정보를 출력하는 검사체 감지부(도시하지 않음)를 더 포함할 수 있다. 검사체 감지부는 위치 센서 등을 포함할 수 있지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

또한 선택적으로, 검사 시스템(600)은 습공기 공급부(120)로부터 분사되는 습공기를 배기하는 습공기 배기구(도시하지 않음)를 더 포함할 수도 있다. 이와 같이, 검사 시스템(600)은 습공기 배기구를 포함함으로써, 습공기 공급부(120)로부터 분사되는 습공기에 의해 검사 시스템(600)에 고장 등이 발생할 가능성을 감소시킬 수 있다.

또한 선택적으로, 습공기를 분사한 후에 검사체(B)의 영상 데이터를 획득하는 경우, 검사체(B)의 표면에 김서림이 너무 많이 발생(즉, 수분 입자가 너무 많이 응결)하거나, 또는 김서림이 너무 적게 발생(즉, 수분 입자가 너무 적게 응결)하여, 획득된 영상 데이터만으로는 검사체(B)를 정확하게 검사할 수 없는 경우가 발생할 수도 있다. 제어부(660)는 검사 시스템(600)의 설정 전에 분사 송풍부(125)에서 분사되는 습공기의 세기를 조절하여 습공기의 농도 조절을 가능하게 할 수 있으며, 최적의 농도를 설정해 둘 수 있다. 즉, 제어부(660)는 온습도 감지부(690)에 의해 감지된 습도(즉, 습도 감지 정보)에 기초하여, 습공기의 분사 세기를 제어할 수 있다.

제3 실시예

도 9는 본 발명의 제3 실시예에 따른 검사 시스템을 개략적으로 나타낸 사시도이다. 본 실시예에서는 제1 실시예 및 제2 실시예에서의 구성요소와 동일한 구성요소에 대해 동일한 도면부호를 부여하고 그 설명을 생략한다.

도 9를 참조하면, 본 실시예에 따른 검사 시스템(900)은 냉각대(950)를 포함한다. 냉각대(950)는 검사체(B)를 제1 온도 이하로 냉각 및 유지시킬 수 있다. 즉, 냉각대(950)는 제1 실시예에서의 냉각부(110) 및 제2 실시예에서의 냉각대(650)의 기능을 수행하여, 검사체(B)를 제1 온도 이하로 냉각시키고, 냉각된 검사체(B)를 일정 온도(제1 온도) 이하로 유지시킨다. 즉, 검사체(B) 표면 주변의 공기를 습공기선도에 따라 수증기 포화 상태 또는 수증기 과포화 상태로 함으로써, 검사체(B) 표면에 김서림(또는 수분 입자)이 형성 및 유지될 수 있다. 본 실시예에서의 냉각대(950)는 제2 실시예에서의 도 7에 도시된 냉각대(650)와 동일한 구성을 가지므로, 본 실시예에서 상세한 설명은 생략한다.

이와 같이, 본 실시예에서는 제1 실시예에서의 냉각부(110) 대신에 냉각대(950)를 이용하여 검사체(B)를 냉각 유지시킴으로써, 검사 시스템(900)을 단순화시키고 제작 비용을 절감시킬 수 있다.

검사 시스템(900)은 온습도 감지부(990)를 더 포함한다. 온습도 감지부(990)는 검사 시스템(900) 주위의 온도 및 습도를 감지하고, 냉각대(950)의 온도를 감지한다. 본 실시예에서의 온습도 감지부(990)는 제2 실시예에서의 온습도 감지부(690)와 동일한 구성 및 기능을 가지므로 본 실시예에서 상세한 설명은 생략한다.

검사 시스템(900)은 제어부(960)를 더 포함한다. 본 실시예에서의 제어부(960)는 냉각대(950)의 온도만을 조절하는 점에서, 냉각부(110) 및 냉각대(950)의 온도를 조절하는 제2 실시예의 제어부(660)와 상이하며, 그 외에는 제2 실시예의 제어부(660)와 유사하므로 본 실시예에서 상세한 설명은 생략한다.

선택적으로, 냉각대(950) 및 습공기 공급부(120)는 검사체(B)의 표면에 김서림(또는 수분 입자)을 형성하는 습공기 형성 장치로서 구성될 수 있다. 한편, 제어부(960)는 습공기 형성 장치에 포함될 수도 있다.

또한 선택적으로, 검사 시스템(900)은 이송부(140)에 의해 이송되는 검사체(B)의 위치를 감지하고, 감지된 위치를 포함하는 위치 정보를 출력하는 검사체 감지부(도시하지 않음)를 더 포함할 수 있다. 검사체 감지부는 위치 센서 등을 포함할 수 있지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

또한 선택적으로, 검사 시스템(900)은 습공기 공급부(120)로부터 분사되는 습공기를 배기하는 습공기 배기구(도시하지 않음)를 더 포함할 수도 있다. 이와 같이, 검사 시스템(900)은 습공기 배기구를 포함함으로써, 습공기 공급부(120)로부터 분사되는 습공기에 의해 검사 시스템(900)에 고장 등이 발생할 가능성을 감소시킬 수 있다.

또한 선택적으로, 습공기를 분사한 후에 검사체(B)의 영상 데이터를 획득하는 경우, 검사체(B)의 표면에 김서림이 너무 많이 발생(즉, 수분 입자가 너무 많이 응결)하거나, 또는 김서림이 너무 적게 발생(즉, 수분 입자가 너무 적게 응결)하여, 획득된 영상 데이터만으로는 검사체(B)를 정확하게 검사할 수 없는 경우가 발생할 수도 있다. 제어부(960)는 검사 시스템(900)의 설정 전에 분사 송풍부(125)에서 분사되는 습공기의 세기를 조절하여 습공기의 농도 조절을 가능하게 할 수 있으며, 최적의 농도를 설정해 둘 수 있다. 즉, 제어부(960)는 온습도 감지부(990)에 의해 감지된 습도(즉, 습도 감지 정보)에 기초하여, 습공기의 분사 세기를 제어할 수 있다.

제4 실시예

도 10은 본 발명의 제4 실시예에 따른 검사 시스템(1000)을 개략적으로 보이는 사시도이다. 도 10을 참조하면, 검사 시스템(1000)은 냉각대(1050-1, 1050-2)를 포함한다. 본 실시예에서의 냉각대(1050-1, 1050-2)는 제2 실시예에서의 냉각대(650)와 동일한 구성 및 기능을 가지므로 상세한 설명은 생략한다. 또한, 본 실시예에서는 측정 시스템(1000)이 2개의 냉각대(1050-1, 1050-2)를 포함하는 것으로 설명하였지만, 반드시 이에 한정되지 않고 3개 이상의 냉각대를 포함할 수도 있다. 이와 같이, 본 실시예에서도 제1 실시예에서의 냉각부(110) 대신에 냉각대(1050-1, 1050-2)를 이용하여 검사체(B)를 냉각함으로써, 검사 시스템(1000)을 단순화시키고 제작 비용을 절감시킬 수 있다.

검사 시스템(1000)은 습공기 공급부(1020-1, 1020-2)를 더 포함한다. 본 실시예에서의 습공기 공급부(1020-1, 1020-2)는 제1 실시예에서의 습공기 공급부(120)와 동일한 구성 및 기능을 가지므로 본 실시예에서 상세한 설명은 생략한다. 또한, 본 실시예에서는 검사 시스템(1000)이 2개의 습공기 공급부(1020-1, 1020-2)를 포함하는 것으로 설명하였지만, 반드시 이에 한정되지 않고 3개 이상의 습공기 공급부를 포함할 수도 있다.

검사 시스템(100)은 영상 데이터 획득부(1030)를 더 포함한다. 본 실시예에 있어서, 영상 데이터 획득부(1030)는 소정 방향으로 이동시키기 위한 이동기구(도시하지 않음)를 더 포함한다. 따라서, 영상 데이터 획득부(1030)는 이동기구에 의해 냉각대(1050-1) 및 냉각대(1050-2)측으로 이동하여, 냉각대(1050-1) 및 냉각부(1050-2) 위에 각각 적재된 검사체(B)에 대한 영상 데이터를 획득한다. 본 실시예에서는 검사 시스템(1000)이 1개의 영상 데이터 획득부(1030)를 포함하는 것으로 설명하였지만, 반드시 이에 한정되지 않고 2개 이상의 영상 데이터 획득부를 포함할 수도 있다.

검사 시스템(1000)은 이송부(1040-1, 1040-2)를 더 포함한다. 본 실시예에서의 이송부(1040-1, 1040-2)는 제3 실시예에서의 이송부(140)와 동일한 구성 및 기능을 가지므로 본 실시예에서 상세한 설명은 생략한다. 또한, 본 실시예에서는 검사 시스템(1000)이 2개의 이송부(1040-1, 1040-2)를 포함하는 것으로 설명하였지만, 반드시 이에 한정되지 않고 3개 이상의 이송부를 포함할 수도 있다.

검사 시스템(1000)은 온습도 감지부(1090)를 더 포함한다. 본 실시예에서의 온습도 감지부(1090)는 냉각대(1050-1, 1050-2) 각각에 설치되어 냉각대(1050-1, 1050-2) 각각의 온도를 감지하는 점에서 제3 실시예에서의 온습도 감지부(990)와 상이하고, 그 외에는 제3 실시예에서의 온습도 감지부(990)와 유사하므로 본 실시예에서 상세한 설명은 생략한다.

검사 시스템(1000)은 제어부(1060)를 더 포함한다. 본 실시예에서의 제어부(1060)는 냉각대(1050-1, 1050-2) 및 습공기 공급부(1020-1, 1020-2) 각각의 온도를 조절하는 점에서 제3 실시예에서의 제어부(960)와 상이하며, 그 외에는 제3 실시예에서의 제어부(960)와 유사하므로 본 실시예에서 상세한 설명은 생략한다.

선택적으로, 냉각대(1050-1, 1050-2) 및 습공기 공급부(1020-1, 1020-2)는 검사체(B)의 표면에 김서림(또는 수분 입자)을 형성하는 습공기 형성 장치로서 구성될 수 있다. 한편, 제어부(1060)는 습공기 형성 장치에 포함될 수도 있다.

또한 선택적으로, 검사 시스템(1000)은 이송부(1040-1, 1040-2) 각각에 의해 이송되는 검사체(B)의 위치를 감지하고, 감지된 위치를 포함하는 위치 정보를 출력하는 검사체 감지부(도시하지 않음)를 더 포함할 수 있다. 검사체 감지부는 위치 센서 등을 포함할 수 있지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

또한 선택적으로, 검사 시스템(1000)은 습공기 공급부(1020-1, 1020-2) 각각으로부터 분사되는 습공기를 배기하는 습공기 배기구(도시하지 않음)를 더 포함할 수도 있다. 이와 같이, 검사 시스템(1000)은 습공기 배기구를 포함함으로써, 습공기 공급부(1020-1, 1020-2) 각각으로부터 분사되는 습공기에 의해 검사 시스템(1000)에 고장 등이 발생할 가능성을 감소시킬 수 있다.

또한 선택적으로, 습공기를 분사한 후에 검사체(B)의 영상 데이터를 획득하는 경우, 검사체(B)의 표면에 김서림이 너무 많이 발생(즉, 수분 입자가 너무 많이 응결)하거나, 또는 김서림이 너무 적게 발생(즉, 수분 입자가 너무 적게 응결)하여, 획득된 영상 데이터만으로는 검사체(B)를 정확하게 검사할 수 없는 경우가 발생할 수도 있다. 제어부(1060)는 검사 시스템(1000)의 설정 전에 습공기 공급부(1020-1, 1020-2) 각각의 분사 송풍부(125)에서 분사되는 습공기의 세기를 조절하여 습공기의 농도 조절을 가능하게 할 수 있으며, 최적의 농도를 설정해 둘 수 있다. 즉, 제어부(1060)는 온습도 감지부(1090)에 의해 감지된 습도(즉, 습도 감지 정보)에 기초하여, 습공기의 분사 세기를 제어할 수 있다.

본 명세서에서는 본 발명이 일부 실시예들과 관련하여 설명되었지만, 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자가 이해할 수 있는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 변경이 이루어질 수 있다는 점을 알아야 할 것이다. 또한, 그러한 변형 및 변경은 본 명세서에 첨부된 특허청구의 범위 내에 속하는 것으로 생각되어야 한다.

100, 600, 900, 1000: 검사 시스템 110: 냉각부
111: 냉풍 형성부 113: 냉풍 공급관
115: 검사체 적재부 117: 냉풍 순환관
120, 1020-1, 1020-2: 습공기 공급부
121: 습공기 순환부 122: 습공기 유도관
123: 습공기 감지부 124: 개폐부
125: 분사 송풍부
1211: 풍로 1212: 순환 송풍부
1213: 히터 1214: 가습부
1215: 혼합부 1216: 습공기 버퍼부
130, 1030: 영상 데이터 획득부 131: 조명부
1311: 광원 1312: 격자 소자
1313: 격자 이송 기구 1314: 투영 렌즈
140, 1040-1, 1040-2: 이송부 160, 660, 960, 1060: 제어부
170: 영상 데이터 처리부 180: 검사 결과 표시부
190, 690, 990, 1090 : 온습도 감지부
401: 케이스 402: 제1 유입구
403: 제2 유입구 404: 토출구
405: 혼합관
650, 950, 1050-1, 1050-2: 냉각대 651: 냉각 소자
652: 상부판 653: 하부판
654, 655: 흡입관
TH: 관통구멍 PH: 천공

Claims

습공기 형성 장치로서,
내부에서 습공기가 폐쇄적으로 순환하는 풍로;
상기 습공기에 혼합되는 습기를 생성하는 가습부; 및
상기 풍로에서 순환하는 습공기 일부를 검사체에 분사하는 분사 송풍부
를 포함하는 습공기 형성 장치.
제1항에 있어서,
상기 풍로를 순환하는 상기 습공기의 온도를 외기 온도보다 높은 온도로 가열하는 히터
를 더 포함하는 습공기 형성 장치.
제1항에 있어서,
상기 습공기와 상기 가습부에 의해 형성된 습기를 혼합하는 혼합부
를 더 포함하는 습공기 형성 장치.
제3항에 있어서,
상기 혼합부는,
상기 습공기가 상기 풍로를 통해 유입되는 제1 유입구, 상기 습기가 유입되는 제2 유입구 및 상기 습공기가 상기 풍로로 토출되는 토출구를 포함하는 케이스; 및
상기 제2 유입구로부터 유입된 상기 습기가 통과하는 복수의 관통구멍을 갖고, 상기 제1 유입구와 상기 토출구에 연결되며, 상기 제1 유입구로부터 유입된 상기 습공기와 상기 관통구멍을 통과한 상기 습기를 혼합하는 혼합관
을 포함하고,
상기 제1 유입구와 상기 제2 유입구는 풍로의 내부에 위치하는,
습공기 형성 장치.
제1항에 있어서,
상기 풍로에 폐쇄되어 있는 습공기의 일부를 상기 분사 송풍부로 공급하거나 공급을 차단하는 개폐부
를 더 포함하는 습공기 형성 장치.
제1항에 있어서,
상기 풍로에 폐쇄되어 있는 습공기의 일부를 공급 받아 저장하고, 저장된 습공기를 풍로로 공급하는 습공기 버퍼부
를 더 포함하는 습공기 형성 장치.
제2항에 있어서,
상기 습공기의 형성 및 분사를 제어하는 제어부; 및
상기 습공기의 온도 및 습도를 감지하는 습공기 감지부
를 더 포함하고,
상기 제어부는 상기 감지된 온도 및 습도에 기초하여 상기 히터 및 상기 가습부의 구동을 제어하는, 습공기 형성 장치.
제2항에 있어서,
상기 습공기의 형성 및 분사를 제어하는 제어부를 더 포함하고,
상기 제어부는 상기 분사 송풍부의 구동 여부 또는 구동 횟수에 기초하여 상기 히터 및 상기 가습부의 구동을 제어하는, 습공기 형성 장치.
제1항에 있어서,
상기 검사체를 냉각하는 냉각부를 더 포함하는, 습공기 형성 장치.
제9항에 있어서,
상기 냉각부는 상기 검사체를 제1 온도로 냉각하고,
상기 제1 온도는 상기 검사체에 분사된 습공기를 수증기 과포화 또는 수증기 포화 상태로 냉각하는 온도인, 습공기 형성 장치.
제9항에 있어서,
상기 냉각부는
상기 검사체를 복수 적재하기 위한 검사체 적재부;
냉풍을 형성하도록 동작하는 냉풍 형성부; 및
상기 검사체 적재부와 상기 냉풍 형성부를 연결하여, 상기 냉풍 형성부에서 형성된 상기 냉풍을 상기 검사체 적재부 내로 공급하기 위한 공급관
을 포함하는, 습공기 형성 장치.
제9항에 있어서,
상기 습공기가 분사된 상기 검사체를 냉각 유지시키는 냉각대
를 더 포함하는 습공기 형성 장치.
제12항에 있어서, 상기 냉각대는
상기 검사체를 냉각시키기 위한 냉각 소자;
상기 냉각 소자 위에 설치되어, 상기 검사체를 흡착 유지하고 상기 검사체의 열을 상기 냉각 소자로 전달하기 위한 상부판; 및
상기 냉각 소자 아래에 설치되어, 상기 냉각 소자에서 발생하는 열을 방산하기 위한 하부판
을 포함하는, 습공기 형성 장치.
제13항에 있어서, 상기 냉각대는
상기 검사체가 상기 상부판에 흡착 유지되도록 복수의 천공을 통해 공기를 흡입하도록 동작하는 석션부
를 더 포함하는 습공기 형성 장치.
제1항에 있어서,
상기 습공기를 상기 풍로에서 순환시키는 순환 송풍부
를 더 포함하는 습공기 형성 장치.
검사 시스템으로서,
제1항 내지 제15항 중 어느 한 항에 따른 습공기 형성 장치;
상기 습공기가 분사된 상기 검사체에 광을 조사하고 상기 검사체로부터 반사되는 광을 수신하여 상기 검사체의 영상 데이터를 획득하는 영상 데이터 획득부;
상기 영상 데이터에 기초하여 사전 설정된 검사 기준에 따라 상기 검사체를 검사하여 상기 검사체의 양호 또는 불량을 나타내는 검사 결과를 형성하는 영상 데이터 처리부; 및
상기 검사 결과를 표시하는 검사 결과 표시부
를 포함하는 검사 시스템.