WO2016158221A1 - マイクロ分光分析用試料台の作製方法 - Google Patents

マイクロ分光分析用試料台の作製方法 Download PDF

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Definitions

  • the present invention relates to a method for producing a sample stage for microspectral analysis.
  • micro-spectroscopic analysis using a microscopic FTIR is an effective technique for qualitative analysis of minute and minute organic substances.
  • a normal FTIR spectrum cannot be obtained unless the thickness of the sample to be measured is in an optimal state, and therefore, sample preparation for obtaining a normal FTIR spectrum is important.
  • a solvent is formed on a fluororesin thin film attached to an infrared reflecting member of a sample stage. A pinhole serving as a condensation nucleus of the solution containing the sample was formed, and the pinhole was measured by microscopic FTIR to obtain component information on the solute of a small amount of dilute solution.
  • the thickness of the agglomerated nuclei is thick, and the obtained FTIR spectrum is saturated as a whole, and it is attached to the points and members that greatly hinder the spectrum analysis performed to qualify the components.
  • the disadvantage is that the fluororesin thin film is easily broken.
  • the present invention has the following configuration. That is, (1) an optical material is immersed in a solution obtained by dissolving a perfluoroalkyl polyether group-containing silane compound represented by the following structural formula (I) having water repellency or oil repellency in a solvent, and the optical material is heated after the immersion. Then, the optical material is washed, and the surface of the optical material is modified to be water-repellent or oil-repellent.
  • a method for producing a sample stage for micro-spectral analysis using an optical material
  • a is an integer from 1 to 30
  • b is an integer from 1 to 10
  • c is an integer from 1 to 20
  • d is an integer from 1 to 10
  • e is an integer from 1 to 20
  • h is an integer from 0 to 10
  • G is an integer from 0 to 20
  • n is an integer from 1 to 320
  • the sum of m and p is 3.
  • the solvent contains at least one selected from alcohols, ketones, ethers, aldehydes, amines, fatty acids, esters and nitriles, and the solvent is fluorine-modified.
  • the surface of the optical material on the modified side has a region where the solution can be stored inside, which is closed by a straight line or a curve having a line width of 1 to 1000 ⁇ m.
  • a groove having a width of 0.01 to 1 mm and a depth of 0.001 to 0.1 mm, or a diameter of 0.01 to 1 mm and a depth of 0.1 mm is formed on the surface of the optical material that has been modified.
  • a plate capable of easily forming a thin film made of a perfluoroalkyl ether group having desired water repellency and oil repellency on the surface of an optical material can be done accurately.
  • a perfluoroalkyl polyether group-containing silane compound represented by the following structural formula (I) is preferably exemplified.
  • a is an integer from 1 to 30
  • b is an integer from 1 to 10
  • c is an integer from 1 to 20
  • d is an integer from 1 to 10
  • e is an integer from 1 to 20
  • h is an integer from 0 to 10
  • G is an integer from 0 to 20
  • n is an integer from 1 to 320.
  • the sum of m and p is 3.
  • Examples of the solvent in the present invention include alcohols, ketones, ethers, aldehydes, amines, fatty acids, esters and nitriles, and fluorine-modified solvents are preferable. Further, fluorine-modified ethers and fluorine-modified alcohols are preferable, and ethers and alcohols having 2 to 20 carbon atoms are most preferable.
  • the solution concentration of a solution obtained by dissolving a compound having water repellency and oil repellency in a solvent is preferably 0.001 to 10% by mass, more preferably 0.01 to 1% by mass.
  • a coating method can also be employed for modification, and in that case, dip coating or spin coating is exemplified.
  • the optical material in the present invention a material that absorbs less infrared light is preferable, and silicon, germanium, sapphire, calcium fluoride, barium fluoride, zinc selenide, and diamond are exemplified. Of these, silicon is preferable. If the surface of the optical material to be processed is previously polished and mirror-finished, the present invention has an effect that it can be carried out easily and accurately.
  • the optical material is immersed in the liquid, and the immersed optical material is heated and dried.
  • heating the optical material means maintaining at 80 to 150 ° C. for 30 minutes to 3 hours. Furthermore, it is preferable to maintain at 90 to 110 ° C. for 30 minutes to 1 hour.
  • a concentration operation can be performed simply and accurately.
  • the surface is pre-polished and finished to a mirror surface, and the surface on the side where the solution sample is concentrated is closed by a straight line or a curve having a line width of 1 to 1000 ⁇ m, and has an area where the solution can be stored inside.
  • the area of the region is preferably 0.001 to 10 mm 2 , more preferably 0.001 to 0.1 mm 2 .
  • the line has a convex part height and the convex part height is 0.001 to 1 ⁇ m, or the line has a concave part depth and the concave part depth is 0.001 to 1 ⁇ m.
  • the region can be drawn with a material harder than the optical material.
  • a silane compound containing a perfluoroalkyl polyether group As a compound having water repellency or oil repellency, a silane compound containing a perfluoroalkyl polyether group
  • ethyl nonafluorobutyl ether 0.1% by mass that is, DS-5210TH (manufactured by Harvest Co., Ltd.) was used.
  • the silicon after immersion was dried by heating at 100 ° C. for 1 hour. After drying, the remaining DS-5210H was removed by washing with DS-TH (manufactured by Harvest Co., Ltd.).
  • the curve in FIG. 4 is an FTIR spectrum when infrared spectroscopic analysis by a transmission method is performed using a sample obtained by concentrating 100 ng (nanogram) of dibutyl adipate on water-repellent treated silicon
  • the curve in FIG. 2 shows an FTIR spectrum when infrared spectroscopic analysis is performed by a reflection method using a sample obtained by concentrating 100 ng of dibutyl adipate on a fluororesin thin film attached to an infrared reflecting member.
  • a rectangular region (0.028 mm 2 ) having a line width of 10 ⁇ m, a long side of 280 ⁇ m, and a short side of 100 ⁇ m was produced on the surface-modified surface with a diamond pen (D point pen manufactured by Ogura Seiki Seiki Kogyo).
  • a diamond pen D point pen manufactured by Ogura Seiki Seiki Kogyo.
  • the portion of this line was measured with a surface roughness meter (Dektak manufactured by Bruker), the concave portion was 200 nm and the convex portion was 600 nm.
  • the curve in FIG. 7 shows the infrared spectroscopic analysis of soybean oil by the transmission method, in which a solution of 1000 ng of soybean oil in 5 ⁇ L of chloroform was dropped on the silicon and the chloroform was volatilized and then concentrated in the rectangular area. It is a FTIR spectrum at the time. From FIG. 7, a good spectrum equivalent to that of FIG. 9 was obtained in all regions of 700 to 4000 cm ⁇ 1 .
  • the surface is polished in advance to finish the mirror surface, and silicon having a groove having a width of 0.1 mm and a depth of 0.005 mm is immersed in the above solution on the surface on which the solution sample is concentrated. Heat drying at 100 ° C. for 1 hour. After drying, the remaining DS-5210H was removed by washing with DS-TH (manufactured by Harvest Co., Ltd.).
  • the curve in FIG. 8 is an FTIR spectrum when infrared spectroscopic analysis is performed by a transmission method using a sample obtained by concentrating 1000 ng of soybean oil on water-repellent treated silicon. All curves of 700 to 4000 cm ⁇ 1 are shown. In the region, a good spectrum equivalent to that in FIG. 9 was obtained.
  • Modification part 2 Optical material 3: Sample 4: Detector 5: Infrared ray 6: Surface modification part 9: Concave part 10: Convex part 16: Groove

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Abstract

　撥水性または撥油性を有するパーフルオロアルキルポリエーテル基含有シラン化合物を溶媒に溶解してなる液に、光学材料を浸漬させ、浸漬後に光学材料を加熱し、次いで光学材料を洗浄して、光学材料の表面が撥水性または撥油性に表面改質されていることを特徴とする光学材料を用いたマイクロ分光分析用試料台の作製方法である。

Description

マイクロ分光分析用試料台の作製方法
　本発明は、マイクロ分光分析用試料台の作製方法に関する。
　例えば、顕微ＦＴＩＲ（フーリエ変換赤外分光光度計）などを用いたマイクロ分光分析法は、微小かつ微量の有機物の定性分析にとって有効な手法である。例えば、顕微ＦＴＩＲで定性分析を行う際、測定する試料の厚さが最適な状態でなければ、正常なＦＴＩＲスペクトルを得ることができないので、正常なＦＴＩＲスペクトルを得るための試料調製は重要となる。例えば、希薄な溶液試料の顕微ＦＴＩＲを行う場合、従来の技術としては、特許文献１、２に開示されているように、サンプル台の赤外線反射部材に付されたフッ素樹脂の薄膜上に、溶媒に試料を含ませた溶液の凝縮核となるピンホールを形成し、そのピンホールについて顕微ＦＴＩＲで測定して、微量の希薄溶液の溶質に関する成分情報を得ていた。
特開平５－９９８１３号公報 特開平５－２４０７８５号公報
　しかしながら、当該手法では凝集核の厚さが厚く、得られるＦＴＩＲスペクトルは全体的に飽和状態となってしまい、成分を定性するため実施されるスペクトル解析に大きな支障を来たす点や部材に付されたフッ素樹脂の薄膜が破壊しやすい点が欠点である。
　上記課題を解決するため、本発明は以下の構成からなる。つまり
（１）撥水性または撥油性を有する下記構造式（I）で表わされるパーフルオロアルキルポリエーテル基含有シラン化合物を溶媒に溶解してなる液に光学材料を浸漬させ、浸漬後に光学材料を加熱し、次いで光学材料を洗浄して、光学材料の表面が撥水性または撥油性に改質されていること
を特徴とする光学材料を用いたマイクロ分光分析用試料台の作製方法、
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000002
ここで、ａは１～３０の整数、ｂは１～１０の整数、ｃは１～２０の整数、ｄは１～１０の整数、ｅは１～２０の整数、ｈは０～１０の整数、ｇは０～２０の整数、ｎは１～３２０の整数であり、ｍおよびｐの和は３である。
（２）前記光学材料が、シリコン、ゲルマニウム、サファイア、フッ化カルシウム、フッ化バリウム、セレン化亜鉛、およびダイヤモンドから選ばれる１種以上を含む（１）に記載のマイクロ分光分析用試料台の作製方法、
（３）前記溶媒が、アルコール類、ケトン類、エーテル類、アルデヒド類、アミン類、脂肪酸類、エステル類およびニトリル類から選ばれる１種以上を含むものであり、かつ、該溶媒はフッ素変性されたものである（１）または（２）に記載のマイクロ分光分析用試料台の作製方法、
（４）さらに先端径が２～１０μｍの針を使用して試料を押しつぶすことを特徴とする（１）～（３）のいずれかに記載のマイクロ分光分析用試料台の作製方法、である。
（５）さらに前記光学材料の改質されている側の表面に、線の幅が１～１０００μｍである直線または曲線で閉じた、内側に溶液を溜めることのできる領域を有し、該領域の面積が０．００１～１０ｍｍ２であることを特徴とする（１）～（４）のいずれかに記載のマイクロ分光分析用試料台の作製方法、である。
（６）前記領域の該線が凸部高さを有し、その凸部高さが０．００１～１μｍであることを特徴とする（１）～（５）に記載のマイクロ分光分析用試料台の作製方法、である。
（７）前記領域の該線が凹部深さを有し、その凹部深さが０．００１～１μｍである（１）～（６）に記載のマイクロ分光分析用試料台の作製方法、である。
（８）さらに前記光学材料の改質されている側の表面に、幅０．０１～１mmかつ深さ０．００１～０．１ｍｍの溝、または、直径０．０１～１ｍｍかつ深さ０．００１～０．１ｍｍの凹みがあることを特徴とする（１）～（７）のいずれかに記載のマイクロ分光分析用試料台の作製方法、である。
　本発明により、たとえば、所望の撥水性、撥油性を有するパーフルオロアルキルエーテル基よりなる薄膜を光学材料の表面に容易に形成することができたプレートで、マイクロ分光分析における濃縮操作を簡便かつより正確に行うことができる。
本発明におけるマイクロ分光分析の試料濃縮法の概略説明図である。 本発明における別のマイクロ分光分析の試料濃縮法の概略説明図である。 本発明におけるさらに別のマイクロ分光分析の試料濃縮法の概略説明図である。 撥水加工後のシリコン上での試料のＦＴＩＲスペクトルである。 赤外線反射部材に付されたフッ素樹脂の薄膜上での試料のＦＴＩＲスペクトルである。 撥水加工後のシリコン上で針で押し潰した試料のＦＴＩＲスペクトルである。 溶液を溜める方法で厚み抑制加工、および撥水加工後のシリコン上での試料のＦＴＩＲスペクトルである。 溝で厚み抑制加工、および撥水加工後のシリコン上での試料のＦＴＩＲスペクトルである。 最適な方法で測定された試料のＦＴＩＲスペクトルである。
　以下、本発明を説明する。
　まず、本発明における撥水性、撥油性を有する化合物としては、下記構造式（I）で表わされるパーフルオロアルキルポリエーテル基含有シラン化合物が好ましく例示される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000003
ここで、ａは１～３０の整数、ｂは１～１０の整数、ｃは１～２０の整数、ｄは１～１０の整数、ｅは１～２０の整数、ｈは０～１０の整数、ｇは０～２０の整数、ｎは１～３２０の整数である。ｍとｐの和は３である。
　本発明における溶媒としては、アルコール類、ケトン類、エーテル類、アルデヒド類、アミン類、脂肪酸類、エステル類およびニトリル類があげられ、かつ、フッ素変性されたものが好ましい。さらにフッ素変性エーテル類、フッ素変性アルコール類が好ましく、エーテル類、アルコール類は炭素数２～２０のものが最も好ましい。
　撥水性、撥油性を有する化合物を溶媒に溶解してなる液の溶液濃度は０．００１～１０質量％、さらに０．０１～１質量％が好ましい。
なお、本発明において、改質にコーティング法も採用でき、その場合は、ディップコートまたはスピンコートが例示される。　本発明における光学材料として、赤外線の吸収が少ない材料が好ましく、シリコン、ゲルマニウム、サファイア、フッ化カルシウム、フッ化バリウム、セレン化亜鉛、およびダイヤモンドが例示される。なかでもシリコンが好ましい。処理対象である光学材料の表面を予め研磨して鏡面仕上げをしておくと、本発明において、簡便、かつ正確に行うことができるという効果を有する。
　前記液に前記光学材料を浸漬させ、浸漬した後の光学材料を、加熱して乾燥する。
　本発明において光学材料を加熱するとは、８０℃から１５０℃で３０分間から３時間に保つことをいう。さらには９０℃から１１０℃で３０分間から１時間に保つことが好ましい。
　本発明において試料の厚みを抑制するための方法として、溝または凹みを設ける加工をすると、簡便、かつ正確に濃縮操作を行うことができる。表面を予め研磨して鏡面に仕上げ、さらに溶液試料を濃縮する側の表面に、線の幅が１～１０００μｍである直線または曲線で閉じた、内側に溶液を溜めることのできる領域を有し、該領域の面積が０．００１～１０ｍｍ２、さらには０．００１～０．１ｍｍ２であることが好ましい。
　さらに該線が凸部高さを有し、その凸部高さが０．００１～１μｍ、または、該線が凹部深さを有し、その凹部深さが０．００１～１μｍであるのが最も好ましい。上記領域は、光学材料より硬質な材料で描くことができる。
　また、前記光学材料の改質されている側の表面に、幅０．０１～１ｍｍかつ深さ０．００１～０．１ｍｍの溝、または、直径０．０１～１ｍｍかつ深さ０．００１～０．１ｍｍの凹みがある態様も好ましく例示される。
　以下、本発明を実施例で説明するが、必ずしもこれに限定されるものではない。。
　まず、撥水性または撥油性を有する化合物として、パーフルオロアルキルポリエーテル基含有シラン化合物
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000004
のエチルノナフルオロブチルエーテル０．１質量％、つまり、ＤＳ－５２１０ＴＨ（株式会社ハーベスト製）を使用した。ここで、上記化学式における平均重合度（上記構造式（I）におけるn=32）は、19F NMRから計算した値である。
　上記溶液に表面を予め研磨して鏡面仕上げしたシリコンを浸漬した。
　浸漬した後のシリコンを１００℃で１時間加熱乾燥した。乾燥後、残留したＤＳ－５２１０ＨをＤＳ－ＴＨ（株式会社ハーベスト製）で洗浄除去した。
　以上の処理により、シリコンの表面には、約１０Å（０．００１μｍ）の薄膜が形成された。実際に5 mm□の領域で分析深さ１～数ｎｍの飛行時間型二次イオン質量分析法（ＴＯＦ－ＳＩＭＳ）によるイオンイメージ像でＳｉＯ３Ｈイオン、Ｃ３Ｆ５Ｏ２イオン、Ｃ３Ｆ７Ｏイオンなど撥水作用を有する分子構造が均一に存在していることを確認した。
　図４における曲線は、ジブチルアジペート１００ｎｇ（ナノグラム）を撥水処理したシリコン上で濃縮させてなる試料を用いて透過法による赤外分光分析を行ったときのＦＴＩＲスペクトルであり、図５における曲線は、ジブチルアジペート１００ｎｇを赤外線反射部材に付されたフッ素樹脂の薄膜上で濃縮させてなる試料を用いて反射法による赤外分光分析を行なったときのＦＴＩＲスペクトルを示すものである。
　図４から、７００～４０００ｃｍ－１の全ての領域において、図５に比べ良好なスペクトルが得られた。
　さらに、撥水加工後のシリコン上での濃縮された試料を、針先端直径が２～１０μｍの針を使用して押しつぶした試料を用いて、透過法による赤外分光分析を行なうと図６のように、適切な方法で測定したときのＦＴＩＲスペクトル（図９）と同等のＦＴＩＲスペクトルを得ることができた。
　さらに、表面改質された面にダイヤモンドペン（オグラ宝石精機工業製のＤポイントペン）で線幅１０μｍ、長辺２８０μｍ、短辺１００μｍの長方形（０．０２８ｍｍ２）の領域を作製した。この線の部分を表面粗さ計（Ｂｒｕｋｅｒ製Ｄｅｋｔａｋ）で計測したところ、凹部２００ｎｍ、凸部６００ｎｍであった。
　図７における曲線は、大豆油１０００ｎｇのクロロホルム５μＬの溶液を、上記のシリコン上に滴下し、クロロホルムを揮発させた後、上記長方形の領域で濃縮させた、大豆油を透過法で赤外分光分析したときのＦＴＩＲスペクトルである。　図７から、７００～４０００ｃｍ－１の全ての領域において、図９と同等な良好なスペクトルが得られた。
　また、表面を予め研磨して鏡面を仕上げ、さらに溶液試料を濃縮する側の表面に幅が０．１ｍｍ、深さ０．００５ｍｍの溝のあるシリコンを上記溶液に浸漬させ、浸漬後、シリコンを１００℃で１時間加熱乾燥した。乾燥後、残留したＤＳ－５２１０ＨをＤＳ－ＴＨ（株式会社ハーベスト製）で洗浄除去した。
　図８における曲線は、大豆油１０００ｎｇを撥水処理したシリコン上で濃縮させてなる試料を用いて透過法による赤外分光分析を行ったときのＦＴＩＲスペクトルであり、７００～４０００ｃｍ－１の全ての領域において、図９と同等の良好なスペクトルが得られた。
１：改質部
２：光学材料
３：試料
４：検出器
５：赤外線
６：表面改質部
９：凹部
１０：凸部
１６：溝

Claims (8)

  1. 撥水性または撥油性を有する下記構造式（I）で表わされるパーフルオロアルキルポリエーテル基含有シラン化合物を溶媒に溶解してなる液に、光学材料を浸漬させ、浸漬後に光学材料を加熱し、次いで光学材料を洗浄して、光学材料の表面が撥水性または撥油性に表面改質されていること、を特徴とする光学材料を用いたマイクロ分光分析用試料台の作製方法。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000001
     ここで、ａは１～３０の整数、ｂは１～１０の整数、ｃは１～２０の整数、ｄは１～１０の整数、ｅは１～２０の整数、ｈは０～１０の整数、ｇは０～２０の整数、ｎは１～３２０の整数であり、ｍおよびｐの和は３である。
  2. 前記光学材料が、シリコン、ゲルマニウム、サファイア、フッ化カルシウム、フッ化バリウム、セレン化亜鉛、およびダイヤモンドから選ばれる１種以上を含む請求項１に記載のマイクロ分光分析用試料台の作製方法。
  3. 前記溶媒が、アルコール類、ケトン類、エーテル類、アルデヒド類、アミン類、脂肪酸類、エステル類およびニトリル類から選ばれる１種以上を含むものであり、かつ、該溶媒はフッ素変性されたものである請求項１または２に記載のマイクロ分光分析用試料台の作製方法。
  4. さらに先端径が２～１０μｍの針を使用して試料を押しつぶすことを特徴とする請求項１～３のいずれかに記載のマイクロ分光分析用試料台の作製方法。
  5. 前記光学材料の改質されている側の表面に、線の幅が１～１０００μｍである直線または曲線で閉じた、内側に溶液を溜めることのできる領域を有し、該領域の面積が０．００１～１０ｍｍ２である請求項１～４のいずれかに記載のマイクロ分光分析用試料台の作製方法。
  6. 前記領域の該線が凸部高さを有し、その凸部高さが０．００１～１μｍである請求項１～５のいずれかに記載のマイクロ分光分析用試料台の作製方法。
  7. 前記領域の該線が凹部深さを有し、その凹部深さが０．００１～１μｍである請求項１～６のいずれかに記載のマイクロ分光分析用試料台の作製方法。
  8. 前記光学材料の改質されている側の表面に、幅０．０１～１ｍｍかつ深さ０．００１～０．１ｍｍの溝、または、直径０．０１～１ｍｍかつ深さ０．００１～０．１ｍｍの凹みがある請求項１～７のいずれかに記載のマイクロ分光分析用試料台の作製方法。
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH063267A (ja) * 1992-06-20 1994-01-11 Horiba Ltd 有機化合物の検出方法およびその装置
JP2008203020A (ja) * 2007-02-19 2008-09-04 Toppan Printing Co Ltd マイクロ分光分析方法
JP2010175338A (ja) * 2009-01-28 2010-08-12 Kanagawa Acad Of Sci & Technol 質量分析法に用いられる試料ターゲットおよびその製造方法、並びに当該試料ターゲットを用いた質量分析装置

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5334837A (en) * 1991-10-05 1994-08-02 Horiba, Ltd. Micro analytical method, sampling plate used in same, method of detecting organic compound by use of said micro analytical method, apparatus for same and method of dividing for micro-liquid flow
JPH05240785A (ja) * 1992-02-29 1993-09-17 Horiba Ltd マイクロ分光分析方法およびその方法に用いるサンプ ル台
JP2706920B2 (ja) * 1992-09-28 1998-01-28 株式会社堀場製作所 光学材料の表面処理方法
JP3977929B2 (ja) 1998-07-17 2007-09-19 株式会社堀場製作所 顕微赤外分析において用いる試料の形成用具
US6764652B2 (en) * 2001-01-24 2004-07-20 The Regents Of The University Of Michigan Micromachined device for receiving and retaining at least one liquid droplet, method of making the device and method of using the device
US6737489B2 (en) * 2001-05-21 2004-05-18 3M Innovative Properties Company Polymers containing perfluorovinyl ethers and applications for such polymers
JP4143399B2 (ja) * 2002-12-25 2008-09-03 株式会社堀場製作所 全反射蛍光ｘ線分析装置および全反射蛍光ｘ線を用いた分析方法
US7283228B2 (en) * 2003-04-11 2007-10-16 Purdue Research Foundation Process and apparatus for segregation and testing by spectral analysis of solid deposits derived from liquid mixtures
JP2006291266A (ja) * 2005-04-08 2006-10-26 Daikin Ind Ltd フッ素化合物の気相表面処理法
EP2045276A1 (en) * 2007-10-05 2009-04-08 E.I. Du Pont De Nemours And Company Fluoropolymer
WO2011059430A1 (en) * 2009-11-11 2011-05-19 Essilor International Surface treatment composition, process for producing the same, and surface-treated article
JP5757515B2 (ja) 2010-10-15 2015-07-29 学校法人立命館 撥水層を有する液滴保持ツールの製造方法
US20120237777A1 (en) * 2011-02-02 2012-09-20 Ppg Industries Ohio, Inc. Process for forming an anti-fouling coating system
JP6168825B2 (ja) * 2013-04-11 2017-07-26 キヤノン株式会社 コーティング材料、コーティング及びその製造方法、並びにインクジェットヘッド及びその製造方法
US9366626B2 (en) * 2013-06-20 2016-06-14 Thermo Scientific Portable Instruments Inc. Method and apparatus for the application of force to a sample for detection using an electromechanical means

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH063267A (ja) * 1992-06-20 1994-01-11 Horiba Ltd 有機化合物の検出方法およびその装置
JP2008203020A (ja) * 2007-02-19 2008-09-04 Toppan Printing Co Ltd マイクロ分光分析方法
JP2010175338A (ja) * 2009-01-28 2010-08-12 Kanagawa Acad Of Sci & Technol 質量分析法に用いられる試料ターゲットおよびその製造方法、並びに当該試料ターゲットを用いた質量分析装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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