JP6872457B2 - 質量分析用試料台の作製方法 - Google Patents
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- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Description
(1)基板材料の表面の一部を、ドライエッチングまたはウエットエッチングにより、直線または曲線で閉じた形状であって、その内側が表面支援レーザー脱離イオン化現象を発現できる凹凸部分を有する表面支援レーザー脱離イオン化発現部に形成し、
撥水性または撥油性を有する下記構造式(I)で表わされるパーフルオロアルキルポリエーテル基含有シラン化合物を溶媒に溶解してなる液に、前記基板材料を浸漬させ、浸漬後に基板材料を加熱し、次いで基板材料を洗浄して、基板材料の表面を撥水性または撥油性に表面改質し、
該表面改質された前記基板材料の前記表面支援レーザー脱離イオン化発現部を、質量分析用試料の設定部とすることを特徴とする質量分析用試料台の作製方法。
ここで、aは1〜30の整数、bは1〜10の整数、cは1〜20の整数、dは1〜10の整数、eは1〜20の整数、gは0〜20の整数、hは0〜10の整数、nは1〜320の整数であり、mおよびpの和は3である。
(2)前記光学基板材料が、シリコン、ゲルマニウム、サファイア、フッ化カルシウム、フッ化バリウム、セレン化亜鉛、ケイ素鋼、真鍮、青銅、白銅、赤胴、ジェラルミン、シルミン、ハステロイ、モネル、ニクロム、パーマロイ、ステンレス、およびガラスから選ばれる1種以上を含む(1)に記載の質量分析用試料台の作製方法、
(3)前記溶媒が、アルコール類、ケトン類、エーテル類、アルデヒド類、アミン類、脂肪酸類、エステル類およびニトリル類から選ばれる1種以上を含むものであり、かつ、該溶媒はフッ素変性されたものである(1)または(2)に記載の質量分析用試料台の作製方法、
(4)前記表面支援レーザー脱離イオン化現象を発現できる凹凸部分の算術平均粗さRaが0.1nm〜5000nmである(1)〜(3)のいずれかに記載の質量分析用試料台の作製方法、
(5)前記表面支援レーザー脱離イオン化現象を発現できる凹凸部分の領域の面積が0.0001〜10mm2である(1)〜(4)のいずれかに記載の質量分析用試料台の作製方法、
(6)前記表面支援レーザー脱離イオン化現象を発現できる凹凸部分を加工するためのドライエッチングに使用するイオンがガリウムイオン、アルゴンイオン、セシウムイオン、および酸素イオンから選ばれる1種以上を含む(1)〜(5)のいずれかに記載の質量分析用試料台の作製方法、
(7)前記表面支援レーザー脱離イオン化現象を発現できる部分を加工するためのウエットエッチングに使用するアルカリ液体が水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化テトラメチルアンモニウムから選ばれる1種以上を含む(1)〜(5)のいずれかに記載の質量分析用試料台の作製方法、
(8)前記表面支援レーザー脱離イオン化現象を発現できる凹凸部分を加工するためのウエットエッチングに使用するフッ酸との混合酸性液体が、塩酸、硫酸、硝酸、ギ酸、および酢酸から選ばれる1種以上を含む(1)〜(5)のいずれかに記載のマイクロ分光分析用試料台の作製方法、である。
まず、本発明における撥水性、撥油性を有する化合物としては、下記構造式(I)で表わされるパーフルオロアルキルポリエーテル基含有シラン化合物が好ましく例示される。
まず、撥水性または撥油性を有する化合物として、パーフルオロアルキルポリエーテル基含有シラン化合物
2:基板材料
3:試料
4:検出器
5:レーザー
6:表面支援レーザー脱離イオン化発現部
7:イオン
Claims (8)
- 基板材料の表面の一部を、ドライエッチングまたはウエットエッチングにより、直線または曲線で閉じた形状であって、その内側が表面支援レーザー脱離イオン化現象を発現できる凹凸部分を有する表面支援レーザー脱離イオン化発現部に形成し、
撥水性または撥油性を有する下記構造式(I)で表わされるパーフルオロアルキルポリエーテル基含有シラン化合物を溶媒に溶解してなる液に、前記基板材料を浸漬させ、浸漬後に基板材料を加熱し、次いで基板材料を洗浄して、基板材料の表面を撥水性または撥油性に表面改質し、
該表面改質された前記基板材料の前記表面支援レーザー脱離イオン化発現部を、質量分析用試料の設定部とすることを特徴とする質量分析用試料台の作製方法。
ここで、aは1〜30の整数、bは1〜10の整数、cは1〜20の整数、dは1〜10の整数、eは1〜20の整数、gは0〜20の整数、hは0〜10の整数、nは1〜320の整数であり、mおよびpの和は3である。 - 前記基板材料が、シリコン、ゲルマニウム、サファイア、フッ化カルシウム、フッ化バリウム、セレン化亜鉛、ケイ素鋼、真鍮、青銅、白銅、赤胴、ジェラルミン、シルミン、ハステロイ、モネル、ニクロム、パーマロイ、ステンレス、およびガラスから選ばれる1種以上を含む請求項1に記載の質量分析用試料台の作製方法。
- 前記溶媒が、アルコール類、ケトン類、エーテル類、アルデヒド類、アミン類、脂肪酸類、エステル類およびニトリル類から選ばれる1種以上を含むものであり、かつ、該溶媒はフッ素変性されたものである請求項1または2に記載の質量分析用試料台の作製方法。
- 前記表面支援レーザー脱離イオン化現象を発現できる凹凸部分の算術平均粗さRaが0.1nm〜5000nmであることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の質量分析用試料台の作製方法。
- 前記表面支援レーザー脱離イオン化現象を発現できる凹凸部分の領域の面積が0.0001〜10mm2であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の質量分析用試料台の作製方法。
- 前記表面支援レーザー脱離イオン化現象を発現できる凹凸部分を加工するためのドライエッチングに使用するイオンがガリウムイオン、アルゴンイオン、セシウムイオン、および酸素イオンから選ばれる1種以上を含むことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の質量分析用試料台の作製方法。
- 前記表面支援レーザー脱離イオン化現象を発現できる凹凸部分を加工するためのウエットエッチングに使用するアルカリ液体が水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化テトラメチルアンモニウムから選ばれる1種以上を含むことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の質量分析用試料台の作製方法。
- 前記表面支援レーザー脱離イオン化現象を発現できる凹凸部分を加工するためのウエットエッチングに使用するフッ酸との混合酸性液体が、塩酸、硫酸、硝酸、ギ酸、および酢酸から選ばれる1種以上を含むことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の質量分析用試料台の作製方法。
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