WO2015137029A1 - ボンディング装置およびボンディング方法 - Google Patents

Abstract

本実施形態に係るボンディング装置は、搬送部（２０）に形成されているボンディング用開口（２６）からボンディング対象を認識するための撮影空間（ＶＳ）を横切るように第１の気体流（Ｄ１）を形成する第１のブロワー部（１１ｈ）と、撮影空間に沿って第２の気体流（Ｄ２）を形成する第２のブロワー部（１２ｈ）とを備える。第２のブロワー部（１２ｈ）は、第１の気体流（Ｄ１）によって周囲の気体（Ｇ２）が撮影空間（ＶＳ）に巻き込まれることを抑制するように第２の気体流（Ｄ２）による障壁を形成する。これにより、基板やリードフレーム等のボンディング対象物を加熱することによって生じる陽炎の影響を抑制することができる。

Description

ボンディング装置およびボンディング方法

　本発明は半導体装置のボンディング装置およびボンディング方法に係り、特に陽炎防止技術に関する。

　基板やリードフレーム等のボンディング対象物を、不活性ガスを流通させた密閉炉の中で搬送させることによって、ボンディング対象物の酸化を防止する構造を備えたボンディング装置が存在する。このようなボンディング装置では、密閉炉にボンディング用開口が設けられており、カメラ等の撮影部によってボンディング用開口を通じてボンディング対象物を認識しながらボンディングツールをボンディング用開口から挿入してボンディング処理を行うようになっている。

　この分野の公知文献として、例えば特許文献１には、移動テーブルにより基板を加熱装置に送り、基板を所定温度以上に加熱してから電子部品をボンディングするダイボンディング装置が開示されている。特許文献１記載の発明では、基板にボンディングするにあたり、カメラにより基板の熱膨張を観察し、この観察結果に基づいてボンディングする電子部品の着地座標を補正するようにしている（請求項１）。

　特に特許文献１記載の発明では、ボンディング用開口の近くに設けられたブロワー機構からエアーを吹き出して、ボンディング対象物が加熱されているためにボンディング用開口付近に発生する陽炎を解消して、基板をはっきり観察できるように構成されている。

特公平０７－９３３３５号公報

　しかしながら、本願発明者らの観察によると、陽炎にエアーを吹き付ける際に周囲の加熱された空気が負圧により巻き込まれて、撮影部が基板を撮影する空間である撮影空間に入り込んで別の陽炎を発生させてしまい、撮影部による画像に揺らぎを生じていることが判った。画像に揺らぎが発生すると、ボンディング対象物の認識精度を悪化させボンディング位置に誤差が生ずるため、結果としてスループットを悪化させるといった問題を生ずるのである。

　そこで本発明は、上述の問題点に鑑み、基板やリードフレーム等のボンディング対象物を加熱することによって生じる陽炎の影響を抑制することによって、ボンディング精度を向上させることを課題のひとつとする。

　（１）本発明の実施形態の一態様であるボンディング装置は、ボンディング対象物を搬送する搬送部を有するボンディング装置であって、搬送部に形成されているボンディング用開口からボンディング対象を認識するための撮影空間を横切るように第１の気体流を形成する第１のブロワー部と、撮影空間に沿って第２の気体流を形成する第２のブロワー部と、を有するブロワー機構を備え、第２のブロワー部は、第１の気体流によって周囲の気体が撮影空間に巻き込まれることを抑制するように第２の気体流による障壁を形成することを特徴とする。

　また本発明の実施形態の一態様であるボンディング方法は、ボンディング対象物を搬送する搬送部を有するボンディング装置に適用され、搬送部に形成されているボンディング用開口からボンディング対象を認識するための撮影空間を横切るように第１の気体流を形成する第１のブロワーステップと、撮影空間に沿って第２の気体流を形成する第２のブロワーステップと、を備え、第２のブロワーステップは、第１の気体流によって周囲の気体が撮影空間に巻き込まれることを抑制するように第２の気体流による障壁を形成することを特徴とする。

　本実施形態に係る上記ボンディング装置は、所望により以下の構成を備えていてもよい。
　（２）例えば、上記ボンディング用開口から上記ボンディング対象物のボンディングを行うボンディングアームを備え、上記ボンディングアームは、上記第１の気体流の乱れを抑制する形状を備えるようにしてもよい。

　（３）例えば、上記第１のブロワー部は、上記第１の気体流が上記ボンディング用開口に入り込まない第１の角度に上記第１の気体流を形成するものとしてもよい。

　（４）例えば、上記第１の角度は、上記ボンディング用開口の開口面から１５°～８０°の範囲としてもよい。

　（５）例えば、上記第１のブロワー部は、上記搬送部の中の上記ボンディング対象物の搬送方向と反対方向に向けて上記第１の気体流を形成するものとしてもよい。

　（６）例えば、上記第２のブロワー部は、周囲の気体に対する障壁となるような第２の角度に上記第２の気体流を形成するものとしてもよい。

　（７）例えば、上記第２の角度は、上記ボンディング用開口の開口面から７０°～１３５°の範囲としてもよい。

　（８）例えば、上記第２のブロワー部は、上記ボンディング用開口の幅より広い範囲に上記第２の気体流を形成するものとしてもよい。

　（９）例えば、上記第２の気体流の流速は、上記第１の気体流の流速より小さいこととしてもよい。

　（１０）例えば、上記ブロワー機構は、圧縮気体を生成するコンプレッサと、コンプレッサから供給された圧縮気体が通過するパイプとを含み、上記第１のブロワー部は、パイプに形成された第１のノズルから圧縮気体を噴出することによって第１の気体流を形成し、上記第２のブロワー部は、パイプに形成された第２のノズルから圧縮気体を噴出することによって第２の気体流を形成してもよい。

　（１１）例えば、上記搬送部は、ボンディング対象物の酸化を防止する密閉炉を有してもよい。

　（１２）例えば、上記ブロワー機構は、上記第１のブロワー部を有する第１のブロワー機構と、上記第２のブロワー部を有する第２のブロワー機構とを備えてもよい。

　本発明によれば、撮影空間を横切るように第１の気体流が形成されるのでボンディング用開口から吹き出す陽炎を撮影空間から排除するとともに、撮影空間に沿って第２の気体流による障壁が形成されるので、第１の気体流によって周囲の気体が撮影空間に巻き込まれることを抑制することができ、撮影空間内へ陽炎が入り込む可能性を大幅に抑制し、撮影画像に揺らぎが発生することを防止可能である。

本発明の第１実施形態に係るボンディング装置の概要を説明する斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る密閉炉のボンディング用開口付近の拡大斜視図・部分断面図である。 本発明の第１実施形態に係る密閉炉の概念断面図である。 本発明の第１実施形態に係るボンディング装置の機能を説明するブロック図である。 本発明の第１実施形態に係る密閉炉のボンディング用開口付近の拡大平面図である。 本発明の第１実施形態に係る密閉炉のボンディング用開口付近の拡大平面図である。 本発明の第１実施形態に係る作用を説明する概念断面図である。 本発明の第１実施形態に係るボンディングアームを用いた場合の概念断面図である。 本発明の第１実施形態に係るボンディングアームを用いた場合の概念平面図である。 本発明の第２実施形態に係るボンディング装置の概要を説明する斜視図である。 本発明の第２実施形態に係る密閉炉のボンディング用開口付近の拡大斜視図・部分断面図である。 本発明の第２実施形態に係る密閉炉の概念断面図である。 本発明の第２実施形態に係るボンディング装置の機能を説明するブロック図である。 本発明の第２実施形態に係る密閉炉のボンディング用開口付近の拡大平面図である。 本発明の第２実施形態に係る密閉炉のボンディング用開口付近の拡大平面図である。 本発明の第２実施形態に係る作用を説明する概念断面図である。 本発明の第２実施形態に係るボンディングアームを用いた場合の概念断面図である。 本発明の第２実施形態に係るボンディングアームを用いた場合の概念平面図である。 従来のボンディングアームを用いた場合の概念断面図である。 従来のボンディングアームを用いた場合の概念平面図である。

　以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。なお、以下の実施形態は、本発明を説明するための例示であり、本発明はその要旨を逸脱しない限り、さまざまな変形が可能である。例えば、以下の実施形態における「…部」や「…機構」は、総てをハードウェアで構成しても、総てをコンピューターに所定のソフトウェアプログラムを実行させることにより機能的に実現してもよい。また一部をハードウェアで構成し、残りをソフトウェアプログラムの実行により機能的に実現するように構成してもよい。さらに、必要に応じて示す上下左右等の位置関係は、特に断らない限り、図示の表示に基づくものとする。さらにまた、図面における各種の寸法比率は、その図示の比率に限定されるものではない。

　［第１実施形態］
　（構成）
　図１に、本発明の実施形態に係るボンディング装置の概要を説明する斜視図を示す。図１に示すように、本実施形態に係るボンディング装置１０は、密閉炉２０、撮影部１４、およびボンディングアーム１６等を概略備えて構成されている。

　密閉炉２０は、ボンディング対象物を搬送するための搬送部の一例であり、具体的にはボンディング対象物の酸化を防止する酸化防止手段である。密閉炉２０は、不活性ガスが供給される搬送通路２５にベルト２２が収容されており、ボンディング対象物３２を載置したベルト２２が移動することによりボンディング対象物３２を搬送可能に構成されている。ボンディング対象物は、例えばリードフレームや基板であるが、本実施形態では、ボンディング対象物として、複数のチップ３４からなるリードフレーム３２を例示する。チップ３４は、半導体チップ等である。なお、図１では、密閉炉２０の上部カバーの図示を一部省略してあるため、移動中のベルト２２および搬送中のリードフレーム３２が見えるように図示されている。密閉炉２０には、上面にボンディング用開口２６が設けられており、当該開口を通して内部を搬送されるリードフレーム３２の各チップ３４を観察したり物理的に処理したりすることが可能になっている。

　図２に密閉炉２０のボンディング用開口２６付近の拡大斜視図・部分断面図を示し、図３に密閉炉２０の概念断面図を示す。図２および図３に示すように、密閉炉２０は、搬送通路２５を挟んで上部と下部とに分けて構成されており、密閉炉２０の上部には上記ボンディング用開口２６が形成されており、密閉炉２０の下部には加熱部２８が敷設されている。

　具体的に図２に示すように、密閉炉２０の上部には、不活性ガス流通路２０ｈが設けられおり、通路の下面に搬送通路２５と貫通するように複数の孔が設けられている。図３に示すように、密閉炉２０には、外部の不活性ガス供給部２３（図４参照）からガス導入口２４を介して不活性ガス流通路２０ｈに不活性ガスが供給され、上記複数の孔を介して搬送通路２５に不活性ガスが供給されるようになっている。供給された不活性ガスは、図２および図３に示す矢印の方向に流れてボンディング用開口２６から吹き出るようになっている。

　不活性ガスが流通する密閉炉２０の搬送通路２５では、外部の搬送機構２１（図４参照）により駆動されるベルト２２がボンディング対象となるリードフレーム３２を搬送するようになっている。リードフレーム３２が搬送される搬送通路２５は上述の機構により不活性ガスが流通しているので、酸素等の酸化剤ガスがボンディング用開口２６を介して搬送通路２５へ入り込むことが防止される。よって、ボンディング対象物であるリードフレーム３２の酸化を効果的に防止することができるようになっている。

　また図２および図３に示すように、密閉炉２０の下部に敷設された加熱部２８は、搬送通路２５を搬送されるリードフレーム３２を加熱可能に設けられている。リードフレーム３２は、加熱されることにより還元作用が促進され、酸化の進行が抑制されるようになっている。

　なお、ボンディング用開口２６には、抑え部材２７が取り付けられている。抑え部材２７は、複数のスリットを備えており、不活性ガスが吹き出すための経路を与えるとともに、リードフレーム３２を最小限度露出させるようになっている。

　図１に戻り、密閉炉２０の上面であってボンディング用開口２６の近傍には、本発明に係るブロワー機構１１の一部であるパイプ１１ｐが設けられている。ブロワー機構１１については、後ほど詳述する。

　撮影部１４は、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ　Ｃｏｕｐｌｅｄ　Ｄｅｖｉｃｅ）カメラ等の２次元撮像手段であり、本実施形態では位置検出手段として機能する。撮影部１４は、撮影部駆動機構１３によって上下方向および左右方向に移動可能に設けられており、ボンディング用開口２６上に搬送されて、開口を通してリードフレーム３２のいずれかのチップ３４を撮影して、ボンディング対象となるチップ３４の位置を検出するようになっている。

　ボンディングアーム１６は、位置検出されたチップ３４に対してボンディングを行うボンディングツールである。ボンディングアーム１６は、ボンディングアーム駆動機構１５により上下方向および左右方向に移動可能に設けられており、ボンディング用開口２６上に搬送されて、開口を通して位置が検出されたチップ３４に対してボンディングを実施するようになっている。

　図４にボンディング装置１０の機能を説明するブロック図を示す。図４に示すように、ボンディング装置１０は、機能ブロックとして、ブロワー制御部１００とボンディング制御部２００とを備える。これらの制御部は、マイクロプロセッサを備えるコンピューター装置が所定のソフトウェアプログラムを実行することにより機能的に実現されるものであり、本発明のボンディング方法を含むものである。

　ブロワー制御部１００は、ブロワー機構１１を制御する機能ブロックである。ブロワー機構１１は、パイプ１１ｐ（図１参照）、図示しないコンプレッサ、およびコンプレッサからパイプ１１ｐへ空気を供給する供給路１７（図６参照）等から構成される。

　ボンディング制御部２００は、撮影部駆動機構１３、ボンディングアーム駆動機構１５、搬送機構２１、不活性ガス供給部２３、および加熱部２８を制御する機能ブロックである。具体的に、ボンディング制御部２００は、撮影部駆動機構１３に制御信号を供給して、撮影部駆動機構１３に設けられた撮影部１４を密閉炉２０のボンディング用開口２６に対して相対的に移動させ、ボンディング用開口２６を通じて観察されるリードフレーム３２の一つのチップ３４上に撮影部１４を位置させる。そして撮影部１４が撮影したチップ３４の画像に基づいて当該チップ３４の位置を検出する。またボンディング制御部２００は、ボンディングアーム駆動機構１５に制御信号を供給して、ボンディングアーム駆動機構１５に設けられたボンディングアーム１６を検出されたチップ３４の位置に対応するように移動させる。そしてボンディングアーム１６に制御信号を供給してチップ３４のボンディングをさせる。

　さらにボンディング制御部２００は、密閉炉２０の搬送機構２１に制御信号を供給してベルト２２を駆動させる。リードフレーム３２はベルト２２とともに密閉炉２０の搬送通路２５に沿って搬送される。またボンディング制御部２００は、不活性ガス供給部２３に制御信号を供給してガス導入口２４（図３参照）から搬送通路２５の内部に不活性ガスを流通させる。さらにボンディング制御部２００は、加熱部２８に制御信号を供給して搬送通路２５を搬送されるリードフレーム３２の酸化を抑制する。

　（ブロワー機構の構成）
　次に図５～図７を参照しながら、本実施形態のブロワー機構の構成を説明する。図５に密閉炉２０のボンディング用開口２６付近の拡大平面図を示す。図６に密閉炉２０のボンディング用開口２６付近の拡大断面図（図５のＡ－Ａ線断面図）を示す。

　図５および図６に示すように、密閉炉２０のボンディング用開口２６に隣接させて、ブロワー機構１１のパイプ１１ｐが配置されている。パイプ１１ｐには、所定の間隙で複数の第１ノズル１１ｈと、所定の間隙で複数の第２ノズル１２ｈとが設けられている。図６に示すように、第１のノズル１１ｈは、パイプ１１ｐの軸方向に垂直方向の断面視において、第２のノズル１２ｈとは異なる方向に開口している。

　図６に示すように、パイプ１１ｐは、供給路１７を介して図示しないコンプレッサと接続されている。ブロワー機構１１は、パイプ１１ｐの第１ノズル１１ｈから圧縮気体を噴き出して第１の気体流を形成する第１のブロワー部として機能するとともに、同じパイプ１１ｐの第２ノズル１１ｈから圧縮気体を噴き出して第２の気体流を形成する第２のブロワー部として機能する。

　複数の第１ノズル１１ｈの開口総面積（例えば個数）と複数の第２ノズル１２ｈの開口総面積（例えば個数）は同一であってもよい。この場合、複数の第１ノズル１１ｈから噴き出す気体流の流速と複数の第２ノズル１２ｈから噴き出す気体流の流速は同じになる。あるいは、複数の第１ノズル１１ｈの開口総面積（ノズル径及び個数に依存する）が、複数の第２ノズル１２ｈの開口総面積（ノズル径及び個数に依存する）よりも小さくてもよい。この場合、複数の第１ノズル１１ｈから噴き出す気体流の流速は、複数の第２ノズル１２ｈから噴き出す気体流の流速よりも大きくなる。

　なお、図６に示すように、パイプ１１ｐとボンディング用開口２６との距離Ｌｂｗは、なるべく小さくした方が好ましい。パイプ１１ｐの第１ノズル１１ｈからの距離が遠ければ遠いほど、提供される第１の気体流Ｄ１の速度が低下する。このため、ボンディング用開口２６から第１ノズル１１ｈまでの距離が大きい場合、ボンディング用開口２６の上部における流速より大きな流速で第１の気体流Ｄ１を供給しなければならない。この点、第１ノズル１１ｈがボンディング用開口２６に近ければ近いほど、より低い初速で第１の気体流Ｄ１を供給すればよいことになり、第１の気体流Ｄ１の気体供給にかかるブロワー機構１１の消費エネルギーを削減することができるからである。

　図７の拡大断面図に基づいて上記ブロワー機構の具体的な設定と作用効果を説明する。図７は、撮影部１４がボンディング用開口２６の上部に搬送され、リードフレーム３２の特定のチップ３４について位置を検出するために撮影している場合を示している。撮影部１４に画像として撮像される空間が撮影空間ＶＳとして示されている。

　ここで、密閉炉２０では、リードフレーム３２および搬送通路２５の空間が加熱部２８により加熱されており、搬送通路２５内に流通する不活性ガスは大気圧に比べて高圧となっているので、ボンディング用開口２６からは不活性ガスの加熱ガス流Ｇ１が吹き出ている。この加熱ガス流Ｇ１は、周囲の空気より高温のため、加熱ガス流Ｇ１が撮影空間ＶＳに入り込むと、陽炎となって撮影される画像に揺らぎを与えてしまう。このため本実施形態では、撮影空間ＶＳを横切るように第１の気体流Ｄ１を供給するブロワー機構１１の第１のブロワー部（例えばパイプ１１ｐの複数の第１ノズル１１ｈ）を設けて、ボンディング用開口２６から噴き出す加熱ガス流Ｇ１を撮影空間ＶＳから吹き払って排除するようになっている。なお、本発明の実施形態では、密閉路に流通させるガスとしては、上述のような不活性ガスのほかに、コンプレッサから空気を供給したり、不活性ガスに少量の水素を含ませたフォーミングガスを供給したりすることが可能である。密閉路に流通させるガスとして少量の水素を含ませたフォーミングガスを用いれば、酸化還元作用を促進させることも可能である。

　ところが、第１の気体流Ｄ１は加熱ガス流Ｇ１を排除するために所定以上の流速を有しておりその周囲が負圧となるため、第１の気体流Ｄ１へ向けて周囲の空気が吸い込まれるような別の気体流Ｇ０が生じる。密閉炉２０はその全体が加熱されているため、このような気体流Ｇ０も若干加熱されており、この気体流Ｇ０が撮影空間ＶＳに入り込むと、加熱ガス流Ｇ１とは別の陽炎となって、撮影される画像に揺らぎを与えてしまう。

　そこで本実施形態では、さらに撮影空間ＶＳに沿って第２の気体流Ｄ２を形成するブロワー機構１１の第２のブロワー部（パイプ１１ｐの複数の第２ノズル１２ｈ）を設けて、第１の気体流Ｄ１によって周囲の気体が撮影空間ＶＳに巻き込まれることを抑制するように第２の気体流Ｄ２による障壁を形成するようになっている。

　具体的には、図７に示すように、パイプ１１ｐの第１ノズル１１ｈは、ボンディング用開口２６の上部空間に向けて第１の気体流Ｄ１を形成するような向きに形成されている。すなわち、第１ノズル１１ｈは、形成される第１の気体流Ｄ１がボンディング用開口２６に入り込まない第１の角度θ１に第１の気体流Ｄ１を形成するように形成されている。第１の角度θ１が小さすぎると、第１の気体流Ｄ１がボンディング用開口２６から密閉炉２０の中の搬送通路２５に入り込んでしまい、リードフレーム３２のチップ３４の酸化反応を進行させてしまう。第１の角度θ１が大きすぎると、ボンディング用開口２６から吹き出る加熱ガス流Ｇ１が撮影空間ＶＳの内部に多く入り込んで、画像に揺らぎを与えてしまう。例えば、このような第１の角度θ１は、ボンディング用開口２６の開口面から１５°～８０°の範囲、より好ましくは２５°～３０°の範囲とすることが好適である。

　ここで、パイプ１１ｐの第１ノズル１１ｈは、図７に示すように、密閉炉２０の中のボンディング対象物（リードフレーム３２）の搬送方向と反対方向に向けて第１の気体流Ｄ１を形成するように形成されていることが好ましい。このような向きに設定されていれば、万一第１の気体流Ｄ１の一部がボンディング用開口２６から密閉炉２０の内部に入り込んでも、搬送通路２５の上流側に入り込むことになる。ボンディング対象物は搬送通路２５に沿って搬送される間に加熱によって還元反応が進行するので、気体流の流入により若干の酸化が生じたとしても、搬送通路２５の上流側で酸化が生じるのであれば、その後の還元反応が生じる時間を長くすることができ、ボンディング対象物に対する酸化反応の進行を抑制できるからである。

　また、図７に示すように、パイプ１１ｐの第２ノズル１２ｈは、ボンディング用開口２６に介して撮影部１４が撮影する撮影空間ＶＳに沿って第２の気体流Ｄ２を形成するような向きに形成されている。すなわち、第２ノズル１２ｈは、周囲の気体に対する障壁となるような第２の角度θ２に第２の気体流Ｄ２を形成するように形成されている。第２の角度θ２が小さすぎると、撮影空間ＶＳ内に第２の気体流Ｄ２が形成されてしまい、撮影空間ＶＳの一部に周囲の空気が気体流Ｇ０として入り込んで、陽炎となって撮影される画像に揺らぎを生じてしまう。第２の角度θ２が大きすぎると、撮影空間ＶＳと第２の気体流Ｄ２との間が離れすぎて、両者の間の空気が気体流Ｇ０として撮影空間ＶＳに入り込んでしまうからである。例えば、このような第２の角度θ２は、ボンディング用開口２６の開口面から７０°～１３５°の範囲とすることが好適である。

　ここで、パイプ１１ｐの第２ノズル１２ｈは、ボンディング用開口２６の幅より広い範囲に第２の気体流Ｄ２を形成するように配置されていることが好ましい。このように配置すれば、ボンディング用開口２６の幅を超えて第２の気体流Ｄ２による障壁が形成され、周囲の空気が回り込んで、撮影空間ＶＳに陽炎のもととなる空気流Ｇ０を形成することを防止できるからである。例えば、図５に示すように、本実施形態では、パイプ１１ｐおよび第２ノズル１２ｈが、ボンディング用開口２６の幅よりも幅Ｌｅｘ１＋Ｌｅｘ２だけ広くなるように設けられている。パイプ１１ｐおよび第１ノズル１１ｈについても、同様にボンディング用開口２６より幅広に第１の空気流Ｄ１を形成可能に設けてもよい。ボンディング用開口２６から噴き出して来た加熱ガス流Ｇ１をより確実に排除可能だからである。

　ここで、第２の気体流Ｄ２の流速は、第１の気体流Ｄ１の流速より小さいこととしてもよい。噴き出してくる加熱ガス流Ｇ１を強制的に排除する第１の気体流Ｄ１に比べ、第２の気体流Ｄ２は、第１の気体流Ｄ１に向けて巻き込まれる比較的流れの穏やかな空気流Ｇ２の撮影空間ＶＳへの流入を阻止すればよいので、第１の気体流Ｄ１の流速より相当程度低い流速で十分だからである。例えば、第１の気体流Ｄ１の流速は、０．５～１０ｍ／ｓ程度の範囲が好ましいところ、第２の気体流Ｄ２の流速は、その１０分の１程度で十分である。このような流速の制御は上記したとおりノズルの開口総面積を調整することによって行うことができる。

　（ボンディングアームの構成）
　次に図８および図９を参照しながら、本実施形態のボンディングアーム１６の構成を説明する。図８に実施形態に係るボンディングアーム１６を用いた場合の概念断面図を示し、図９に実施形態に係るボンディングアーム１６を用いた場合の概念平面図を示す。また図１９に従来のボンディングアームを用いた場合の概念断面図を示し、図２０に従来のボンディングアームを用いた場合の概念平面図を示す。

　従来、ボンディングアームは、特段、筐体が気体流に晒されることを意図して設計されてはいなかった。このため、このような従来型ボンディングアーム１６ＰＡが、図１９および図２０に示すように、ボンディング用開口２６から挿入されてボンディング対象物のボンディング処理をしている間に、上記したような第１の気体流Ｄ１がパイプ４１Ｐから供給されたとすれば、第１の気体流Ｄ１は、従来型ボンディングアーム１６ＰＡの筐体の一部に直接的に衝突し、急激に方向を曲げられ、ボンディング用開口２６から噴き出す加熱ガス流を除去することが妨げられてしまう。また第１の気体流Ｄ１が筐体の一部に衝突することによって乱流が発生して、周囲の加熱された空気に陽炎を生じさせる可能性もあった。

　これに対し、本発明のボンディングアームでは、図８および図９に示すように、本実施形態のボンディングアーム１６は、第１の気体流Ｄ１の乱れを抑制する形状を備えている。乱れを抑制する形状としては、第１に、ボンディングアームの径が相対的に小さいことが好ましい。第２に、第１の気体流Ｄ１に対向する面が気体流を妨げて乱流を生ずることを防止可能な形状、例えば流線形状をしていることが好ましい。図８および図９に示した例では、ボンディングアーム１６の尖端部分は径を縮小させた円筒に形成されている。このため、パイプ１１ｐの第１ノズル１１ｈから供給された第１の気体流Ｄ１は、おおよその進行方向を変更することなく、また、乱流を発生させることなく、ボンディングアーム１６の周囲を回り込んでいく。よって、ボンディングアーム１６がボンディング用開口２６から挿入されているような場合であっても、第１の気体流Ｄ１による加熱ガス流が効果的に除去されるようになっている。

　以上、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
　（１）本実施形態によれば、ボンディング用開口２６から噴き出す加熱ガス流Ｇ１を第１の気体流Ｄ１が吹き払って、加熱ガス流Ｇ１が撮影空間ＶＳに入り込むことを抑制するとともに、第２の気体流Ｄ２が撮影空間ＶＳに沿って障壁を形成するので、周囲の気体が撮影空間ＶＳに巻き込まれることを抑制することが可能である。

　（２）本実施形態によれば、上記ボンディングアーム１６が第１の気体流Ｄ１の乱れを抑制する形状を備えているので、ボンディングアーム１６がボンディング用開口２６に挿入されている期間中でも、第１の気体流Ｄ１による加熱ガス流Ｇ１の除去が可能である。

　（３）本実施形態によれば、第１の気体流Ｄ１がボンディング用開口２６に入り込まない第１の角度θ１に第１の気体流Ｄ１を形成するので、ボンディング対象物の酸化を抑制しながら効果的に陽炎の発生を抑制可能である。

　（４）本実施形態によれば、密閉炉２０の中のボンディング対象物３２の搬送方向と反対方向に向けて第１の気体流Ｄ１を形成するので、万一第１の気体流Ｄ１の一部がボンディング用開口２６から密閉炉２０の内部に入り込んでも、加熱による還元作用により、酸化の進行を抑制することが可能である。

　（５）本実施形態によれば、周囲の気体に対する障壁となるような第２の角度θ２に第２の気体流Ｄ２を形成するので、周囲の気体が撮影空間ＶＳに巻き込まれることを効果的に抑制することが可能である。

　（６）本実施形態によれば、第２ブロワー部の範囲（すなわち複数の第２ノズル１２ｈが配置された範囲）は、ボンディング用開口２６の幅より広い範囲に第２の気体流Ｄ２を形成するので、ボンディング用開口２６の幅を超えて第２の気体流Ｄ２による障壁が形成され、周囲の空気が回り込んで、撮影空間ＶＳに陽炎のもととなる空気流Ｇ０が形成されることを防止可能である。

　（７）本実施形態によれば、第２の気体流Ｄ２の流速は、第１の気体流Ｄ１の流速より小さいので、送風に係る過剰なエネルギー消費を削減することが可能である。

　（変形例）
　本発明は、上記実施形態に限定されることなく、種々に変形して適用することが可能である。
　（１）上記実施形態では、密閉炉２０を使用していたが、必ずしも密閉炉は必須ではない。すなわち、本発明に係る搬送部は、ボンディング対象物を密閉状態で搬送する密閉炉２０に限定されるものではなく、ボンディング対象物を密閉しない状態で搬送する構成を有していればよい。この場合、例えば、密閉炉のボンディング用開口のような加熱ガス流ではなくても、局部的に対象物が加熱されることによって対象物の撮影空間に陽炎が発生するような環境であれば、本発明のブロワー機構を撮影空間の周辺に適用可能である。

　（２）上記実施形態では、パイプ１１ｐは直線的なパイプ形状であったが、これに限定されない。例えば、これらパイプは、撮影空間ＶＳを取り囲むように形成されていてもよい。

　（３）上記実施形態では、第１及び第２ノズル１１ｈ、１２ｈを配列態様、個数及び径の大きさ等において同じ形態で示したが、それらの態様は上記に限定されるものではなく、それぞれの気体流の供給速度や供給量に応じて適宜変更することが可能である。

　［第２実施形態］
（構成）
　図１０に、本発明の実施形態に係るボンディング装置の概要を説明する斜視図を示す。図１０に示すように、本実施形態に係るボンディング装置１１０は、密閉炉１２０、撮影部１１４、およびボンディングアーム１１６等を概略備えて構成されている。

　密閉炉１２０は、ボンディング対象物の酸化を防止する酸化防止手段であり、不活性ガスが供給される搬送通路１２５にベルト１２２が収容されており、ボンディング対象物１３２を載置したベルト１２２が移動することによりボンディング対象物１３２を搬送可能に構成されている。ボンディング対象物は、例えばリードフレームや基板であるが、本実施形態では、ボンディング対象物として、複数のチップ１３４からなるリードフレーム１３２を例示する。チップ１３４は、半導体チップ等である。なお、図１０では、密閉炉１２０の上部カバーの図示を一部省略してあるため、移動中のベルト１２２および搬送中のリードフレーム１３２が見えるように図示されている。密閉炉１２０には、上面にボンディング用開口１２６が設けられており、当該開口を通して内部を搬送されるリードフレーム１３２の各チップ１３４を観察したり物理的に処理したりすることが可能になっている。

　図１１に密閉炉１２０のボンディング用開口１２６付近の拡大斜視図・部分断面図を示し、図１２に密閉炉１２０の概念断面図を示す。図１１および図１２に示すように、密閉炉１２０は、搬送通路１２５を挟んで上部と下部とに分けて構成されており、密閉炉１２０の上部には上記ボンディング用開口１２６が形成されており、密閉炉１２０の下部には加熱部１２８が敷設されている。

　具体的に図１１に示すように、密閉炉１２０の上部には、不活性ガス流通路１２０ｈが設けられおり、通路の下面に搬送通路１２５と貫通するように複数の孔が設けられている。図１２に示すように、密閉炉１２０には、外部の不活性ガス供給部１２３（図１３参照）からガス導入口１２４を介して不活性ガス流通路１２０ｈに不活性ガスが供給され、上記複数の孔を介して搬送通路１２５に不活性ガスが供給されるようになっている。供給された不活性ガスは、図１１および図１２に示す矢印の方向に流れてボンディング用開口１２６から吹き出るようになっている。

　不活性ガスが流通する密閉炉１２０の搬送通路１２５では、外部の搬送機構１２１（図１３参照）により駆動されるベルト１２２がボンディング対象となるリードフレーム１３２を搬送するようになっている。リードフレーム１３２が搬送される搬送通路１２５は上述の機構により不活性ガスが流通しているので、酸素等の酸化剤ガスがボンディング用開口１２６を介して搬送通路１２５へ入り込むことが防止される。よって、ボンディング対象物であるリードフレーム１３２の酸化を効果的に防止することができるようになっている。

　また図１１および図１２に示すように、密閉炉１２０の下部に敷設された加熱部１２８は、搬送通路１２５を搬送されるリードフレーム１３２を加熱可能に設けられている。リードフレーム１３２は、加熱されることにより還元作用が促進され、酸化の進行が抑制されるようになっている。

　なお、ボンディング用開口１２６には、抑え部材１２７が取り付けられている。抑え部材１２７は、複数のスリットを備えており、不活性ガスが吹き出すための経路を与えるとともに、リードフレーム１３２を最小限度露出させるようになっている。

　図１０に戻り、密閉炉１２０の上面であってボンディング用開口１２６の近傍には、本発明に係る第１ブロアー機構１１１の一部である第１パイプ１１１ｐと第２ブロアー機構１１２の一部である第２パイプ１１２ｐとが設けられている。第１ブロアー機構１１１と第２ブロアー機構１１２とについては、後ほど詳述する。

　撮影部１１４は、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ　Ｃｏｕｐｌｅｄ　Ｄｅｖｉｃｅ）カメラ等の２次元撮像手段であり、本実施形態では位置検出手段として機能する。撮影部１１４は、撮影部駆動機構１１３によって上下方向および左右方向に移動可能に設けられており、ボンディング用開口１２６上に搬送されて、開口を通してリードフレーム１３２のいずれかのチップ１３４を撮影して、ボンディング対象となるチップ１３４の位置を検出するようになっている。

　ボンディングアーム１１６は、位置検出されたチップ１３４に対してボンディングを行うボンディングツールである。ボンディングアーム１１６は、ボンディングアーム駆動機構１１５により上下方向および左右方向に移動可能に設けられており、ボンディング用開口１２６上に搬送されて、開口を通して位置が検出されたチップ１３４に対してボンディングを実施するようになっている。

　図１３にボンディング装置１１０の機能を説明するブロック図を示す。図１３に示すように、ボンディング装置１１０は、機能ブロックとして、ブロワー制御部１１００とボンディング制御部１２００とを備える。これらの制御部は、マイクロプロセッサを備えるコンピューター装置が所定のソフトウェアプログラムを実行することにより機能的に実現されるものであり、本発明のボンディング方法を含むものである。

　ブロワー制御部１１００は、第１ブロワー機構１１１および第２ブロワー機構１１２を制御する機能ブロックである。第１ブロワー機構１１１は、第１パイプ１１１ｐ（図１０参照）、図示しない第１コンプレッサ、および第１コンプレッサから第１パイプ１１１ｐへ空気を供給する第１供給路１１７－１（図１５参照）等から構成される。第２ブロワー機構１１２は、第２パイプ１１２ｐ（図１０参照）、図示しない第２コンプレッサ、および第２コンプレッサから第２パイプ１１２ｐへ空気を供給する第２供給路１１７－２（図１５参照）等から構成される。

　ボンディング制御部１２００は、撮影部駆動機構１１３、ボンディングアーム駆動機構１１５、搬送機構１２１、不活性ガス供給部１２３、および加熱部１２８を制御する機能ブロックである。具体的に、ボンディング制御部１２００は、撮影部駆動機構１１３に制御信号を供給して、撮影部駆動機構１１３に設けられた撮影部１１４を密閉炉１２０のボンディング用開口１２６に対して相対的に移動させ、ボンディング用開口１２６を通じて観察されるリードフレーム１３２の一つのチップ１３４上に撮影部１１４を位置させる。そして撮影部１１４が撮影したチップ１３４の画像に基づいて当該チップ１３４の位置を検出する。またボンディング制御部１２００は、ボンディングアーム駆動機構１１５に制御信号を供給して、ボンディングアーム駆動機構１１５に設けられたボンディングアーム１１６を検出されたチップ１３４の位置に対応するように移動させる。そしてボンディングアーム１１６に制御信号を供給してチップ１３４のボンディングをさせる。

　さらにボンディング制御部１２００は、密閉炉１２０の搬送機構１２１に制御信号を供給してベルト１２２を駆動させる。リードフレーム１３２はベルト１２２とともに密閉炉１２０の搬送通路１２５に沿って搬送される。またボンディング制御部１２００は、不活性ガス供給部１２３に制御信号を供給してガス導入口１２４（図１２参照）から搬送通路１２５の内部に不活性ガスを流通させる。さらにボンディング制御部１２００は、加熱部１２８に制御信号を供給して搬送通路１２５を搬送されるリードフレーム１３２の酸化を抑制する。

　（ブロワー機構の構成）
　次に図１４～図１６を参照しながら、本実施形態のブロワー機構の構成を説明する。図１４に密閉炉１２０のボンディング用開口１２６付近の拡大平面図を示す。図１５に密閉炉１２０のボンディング用開口１２６付近の拡大断面図（図１４のＢ－Ｂ線断面図）を示す。

　図１４および図１５に示すように、密閉炉１２０のボンディング用開口１２６に隣接させて、第１ブロアー機構１１１の第１パイプ１１１ｐおよび第２パイプ１１２ｐが配置されている。第１パイプ１１１ｐには、所定の間隙で複数の第１ノズル１１１ｈが設けられており、第２パイプ１１２ｐには、所定の間隙で複数の第２ノズル１１２ｈが設けられている。

　図１５に示すように、第１パイプ１１１ｐは、第１供給路１１７－１を介して図示しない第１コンプレッサと接続されており、第１コンプレッサから供給された空気が第１パイプ１１１ｐの第１ノズル１１１ｈから噴き出し、第１の気体流を形成するように構成されている。第２パイプ１１２ｐは、第２供給路１１７－２を介して図示しない第２コンプレッサと接続されており、第２コンプレッサから供給された空気が第２パイプ１１１ｐの第２ノズル１１１ｈから噴き出し、第２の気体流を形成するように構成されている。

　このように、独立した別個のコンプレッサから第１パイプ１１１ｐおよび第２パイプ１１２ｐのそれぞれに空気を供給するように構成することにより、それぞれのパイプに供給する空気圧を異なるものとすることができ、それぞれのノズルから噴き出す気体流の流速を異ならせることができる。しかし、第１パイプ１１１ｐおよび第２パイプ１１２ｐを共通の供給路に接続し、一つのコンプレッサから空気を供給するように構成してもよい。この場合、第１ノズル１１１ｈおよび第２ノズル１１２ｈのノズル径を異ならせたり、オリフィスのような流量制限手段を途中に設けたりすることで、第１ノズル１１１ｈから噴き出す気体流の流速と第２ノズル１１２ｈから噴き出す気体流の流速とを異ならせることが好ましい。

　なお、図１５に示すように、第１パイプ１１１ｐとボンディング用開口１２６との距離Ｌｂｗは、なるべく小さくした方が好ましい。第１パイプ１１１ｐの第１ノズル１１１ｈからの距離が遠ければ遠いほど、提供される第１の気体流Ｄ１の速度が低下する。このため、ボンディング用開口１２６から第１ノズル１１１ｈまでの距離が大きい場合、ボンディング用開口１２６の上部における流速より大きな流速で第１の気体流Ｄ１を供給しなければならない。この点、第１ノズル１１１ｈがボンディング用開口１２６に近ければ近いほど、より低い初速で第１の気体流Ｄ１を供給すればよいことになり、第１の気体流Ｄ１の気体供給にかかる第１ブロワー機構１１１の消費エネルギーを削減することができるからである。

　図１６の拡大断面図に基づいて上記ブロワー機構の具体的な設定と作用効果を説明する。図１６は、撮影部１１４がボンディング用開口１２６の上部に搬送され、リードフレーム１３２の特定のチップ１３４について位置を検出するために撮影している場合を示している。撮影部１１４に画像として撮像される空間が撮影空間ＶＳとして示されている。

　ここで、密閉炉１２０では、リードフレーム１３２および搬送通路１２５の空間が加熱部１２８により加熱されており、搬送通路１２５内に流通する不活性ガスは大気圧に比べて高圧となっているので、ボンディング用開口１２６からは不活性ガスの加熱ガス流Ｇ１が吹き出ている。この加熱ガス流Ｇ１は、周囲の空気より高温のため、加熱ガス流Ｇ１が撮影空間ＶＳに入り込むと、陽炎となって撮影される画像に揺らぎを与えてしまう。このため本実施形態では、撮影空間ＶＳを横切るように第１の気体流Ｄ１を供給する第１ブロワー機構１１１を設けて、ボンディング用開口１２６から噴き出す加熱ガス流Ｇ１を撮影空間ＶＳから吹き払って排除するようになっている。なお、本発明の実施形態では、密閉路に流通させるガスとしては、上述のような不活性ガスのほかに、コンプレッサから空気を供給したり、不活性ガスに少量の水素を含ませたフォーミングガスを供給したりすることが可能である。密閉路に流通させるガスとして少量の水素を含ませたフォーミングガスを用いれば、酸化還元作用を促進させることも可能である。

　ところが、第１の気体流Ｄ１は加熱ガス流Ｇ１を排除するために所定以上の流速を有しておりその周囲が負圧となるため、第１の気体流Ｄ１へ向けて周囲の空気が吸い込まれるような別の気体流Ｇ０が生じる。密閉炉１２０はその全体が加熱されているため、このような気体流Ｇ０も若干加熱されており、この気体流Ｇ０が撮影空間ＶＳに入り込むと、加熱ガス流Ｇ１とは別の陽炎となって、撮影される画像に揺らぎを与えてしまう。

　そこで本実施形態では、さらに撮影空間ＶＳに沿って第２の気体流Ｄ２を形成する第２ブロアー機構１１２を設けて、第１の気体流Ｄ１によって周囲の気体が撮影空間ＶＳに巻き込まれることを抑制するように第２の気体流Ｄ２による障壁を形成するようになっている。

　第１ブロワー機構１１１について、具体的には、図１６に示すように、第１パイプ１１１ｐの第１ノズル１１１ｈは、ボンディング用開口１２６の上部空間に向けて第１の気体流Ｄ１を形成するような向きに形成されている。すなわち、第１ノズル１１１ｈは、形成される第１の気体流Ｄ１がボンディング用開口１２６に入り込まない第１の角度θ１に第１の気体流Ｄ１を形成するように形成されている。第１の角度θ１が小さすぎると、第１の気体流Ｄ１がボンディング用開口１２６から密閉炉１２０の中の搬送通路１２５に入り込んでしまい、リードフレーム１３２のチップ１３４の酸化反応を進行させてしまう。第１の角度θ１が大きすぎると、ボンディング用開口１２６から吹き出る加熱ガス流Ｇ１が撮影空間ＶＳの内部に多く入り込んで、画像に揺らぎを与えてしまう。例えば、このような第１の角度θ１は、ボンディング用開口１２６の開口面から１５°～８０°の範囲、より好ましくは２５°～３０°の範囲とすることが好適である。

　ここで、第１パイプ１１１ｐの第１ノズル１１１ｈは、図１６に示すように、密閉炉１２０の中のボンディング対象物（リードフレーム１３２）の搬送方向と反対方向に向けて第１の気体流Ｄ１を形成するように形成されていることが好ましい。このような向きに設定されていれば、万一第１の気体流Ｄ１の一部がボンディング用開口１２６から密閉炉１２０の内部に入り込んでも、搬送通路１２５の上流側に入り込むことになる。ボンディング対象物は搬送通路１２５に沿って搬送される間に加熱によって還元反応が進行するので、気体流の流入により若干の酸化が生じたとしても、搬送通路１２５の上流側で酸化が生じるのであれば、その後の還元反応が生じる時間を長くすることができ、ボンディング対象物に対する酸化反応の進行を抑制できるからである。

　また第２ブロワー機構１１２について、具体的には、図１６に示すように、第２パイプ１１２ｐの第２ノズル１１２ｈは、ボンディング用開口１２６に介して撮影部１１４が撮影する撮影空間ＶＳに沿って第２の気体流Ｄ２を形成するような向きに形成されている。すなわち、第２ノズル１１２ｈは、周囲の気体に対する障壁となるような第２の角度θ２に第２の気体流Ｄ２を形成するように形成されている。第２の角度θ２が小さすぎると、撮影空間ＶＳ内に第２の気体流Ｄ２が形成されてしまい、撮影空間ＶＳの一部に周囲の空気が気体流Ｇ０として入り込んで、陽炎となって撮影される画像に揺らぎを生じてしまう。第２の角度θ２が大きすぎると、撮影空間ＶＳと第２の気体流Ｄ２との間が離れすぎて、両者の間の空気が気体流Ｇ０として撮影空間ＶＳに入り込んでしまうからである。例えば、このような第２の角度θ２は、ボンディング用開口１２６の開口面から７０°～１３５°の範囲とすることが好適である。

　ここで、第２パイプ１１２ｐの第２ノズル１１２ｈは、ボンディング用開口１２６の幅より広い範囲に第２の気体流Ｄ２を形成するように配置されていることが好ましい。このように配置すれば、ボンディング用開口１２６の幅を超えて第２の気体流Ｄ２による障壁が形成され、周囲の空気が回り込んで、撮影空間ＶＳに陽炎のもととなる空気流Ｇ０を形成することを防止できるからである。例えば、図１４に示すように、本実施形態では、第２パイプ１１２ｐおよび第２ノズル１１２ｈが、ボンディング用開口１２６の幅よりも幅Ｌｅｘ１＋Ｌｅｘ２だけ広くなるように設けられている。第１パイプ１１１ｐおよび第１ノズル１１１ｈについても、同様にボンディング用開口１２６より幅広に第１の空気流Ｄ１を形成可能に設けてもよい。ボンディング用開口１２６から噴き出して来た加熱ガス流Ｇ１をより確実に排除可能だからである。

　ここで、第２の気体流Ｄ２の流速は、第１の気体流Ｄ１の流速より小さいこととしてもよい。噴き出してくる加熱ガス流Ｇ１を強制的に排除する第１の気体流Ｄ１に比べ、第２の気体流Ｄ２は、第１の気体流Ｄ１に向けて巻き込まれる比較的流れの穏やかな空気流Ｇ２の撮影空間ＶＳへの流入を阻止すればよいので、第１の気体流Ｄ１の流速より相当程度低い流速で十分だからである。例えば、第１の気体流Ｄ１の流速は、０．５～１０ｍ／ｓ程度の範囲が好ましいところ、第２の気体流Ｄ２の流速は、その１０分の１程度で十分である。

　（ボンディングアームの構成）
　次に図１７および図１８を参照しながら、本実施形態のボンディングアーム１１６の構成を説明する。図１７に実施形態に係るボンディングアーム１１６を用いた場合の概念断面図を示し、図１８に実施形態に係るボンディングアーム１１６を用いた場合の概念平面図を示す。

　従来、ボンディングアームは、特段、筐体が気体流に晒されることを意図して設計されてはいなかった。このため、このような従来型ボンディングアーム１６ＰＡが、図１９および図２０に示すように、ボンディング用開口２６から挿入されてボンディング対象物のボンディング処理をしている間に、上記したような第１の気体流Ｄ１がパイプ４１Pから供給されたとすれば、第１の気体流Ｄ１は、従来型ボンディングアーム１６ＰＡの筐体の一部に直接的に衝突し、急激に方向を曲げられ、ボンディング用開口２６から噴き出す加熱ガス流を除去することが妨げられてしまう。また第１の気体流Ｄ１が筐体の一部に衝突することによって乱流が発生して、周囲の加熱された空気に陽炎を生じさせる可能性もあった。

　これに対し、本発明のボンディングアームでは、図１７および図１８に示すように、本実施形態のボンディングアーム１１６は、第１の気体流Ｄ１の乱れを抑制する形状を備えている。乱れを抑制する形状としては、第１に、ボンディングアームの径が相対的に小さいことが好ましい。第２に、第１の気体流Ｄ１に対向する面が気体流を妨げて乱流を生ずることを防止可能な形状、例えば流線形状をしていることが好ましい。図１７および図１８に示した例では、ボンディングアーム１１６の尖端部分は径を縮小させた円筒に形成されている。このため、第１パイプ１１１ｐの第１ノズル１１１ｈから供給された第１の気体流Ｄ１は、おおよその進行方向を変更することなく、また、乱流を発生させることなく、ボンディングアーム１１６の周囲を回り込んでいく。よって、ボンディングアーム１１６がボンディング用開口１２６から挿入されているような場合であっても、第１の気体流Ｄ１による加熱ガス流が効果的に除去されるようになっている。

　以上、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
　（１）本実施形態によれば、ボンディング用開口１２６から噴き出す加熱ガス流Ｇ１を第１の気体流Ｄ１が吹き払って、加熱ガス流Ｇ１が撮影空間ＶＳに入り込むことを抑制するとともに、第２の気体流Ｄ２が撮影空間ＶＳに沿って障壁を形成するので、周囲の気体が撮影空間ＶＳに巻き込まれることを抑制することが可能である。

　（２）本実施形態によれば、上記ボンディングアーム１１６が第１の気体流Ｄ１の乱れを抑制する形状を備えているので、ボンディングアーム１１６がボンディング用開口１２６に挿入されている期間中でも、第１の気体流Ｄ１による加熱ガス流Ｇ１の除去が可能である。

　（３）本実施形態によれば、第１の気体流Ｄ１がボンディング用開口１２６に入り込まない第１の角度θ１に第１の気体流Ｄ１を形成するので、ボンディング対象物の酸化を抑制しながら効果的に陽炎の発生を抑制可能である。

　（４）本実施形態によれば、密閉炉１２０の中のボンディング対象物１３２の搬送方向と反対方向に向けて第１の気体流Ｄ１を形成するので、万一第１の気体流Ｄ１の一部がボンディング用開口１２６から密閉炉１２０の内部に入り込んでも、加熱による還元作用により、酸化の進行を抑制することが可能である。

　（５）本実施形態によれば、周囲の気体に対する障壁となるような第２の角度θ２に第２の気体流Ｄ２を形成するので、周囲の気体が撮影空間ＶＳに巻き込まれることを効果的に抑制することが可能である。

　（６）本実施形態によれば、第２ブロアー機構１１２は、ボンディング用開口１２６の幅より広い範囲に第２の気体流Ｄ２を形成するので、ボンディング用開口１２６の幅を超えて第２の気体流Ｄ２による障壁が形成され、周囲の空気が回り込んで、撮影空間ＶＳに陽炎のもととなる空気流Ｇ０が形成されることを防止可能である。

　（７）本実施形態によれば、第２の気体流Ｄ２の流速は、第１の気体流Ｄ１の流速より小さいので、送風に係る過剰なエネルギー消費を削減することが可能である。

　（変形例）
　本発明は、上記実施形態に限定されることなく、種々に変形して適用することが可能である。
　（１）上記実施形態では、密閉炉１２０を使用していたが、必ずしも密閉炉は必須ではない。例えば、密閉炉のボンディング用開口のような加熱ガス流ではなくても、局部的に対象物が加熱されることによって対象物の撮影空間に陽炎が発生するような環境であれば、本発明の第１のブロワー機構および第２のブロワー機構を撮影空間の周辺に適用可能である。

　（２）上記実施形態では、第１パイプ１１１ｐおよび第２パイプ１１２ｐは直線的なパイプ形状であったが、これに限定されない。例えば、これらパイプは、撮影空間ＶＳを取り囲むように形成されていてもよい。

　（３）上記実施形態では、第１パイプ１１１ｐと第２パイプ１１２ｐとを隣接して配置していたが、これに限定されない。例えば、第２パイプ１１２ｐを第１パイプ１１１ｐから離間した位置に配置して、異なる方向から第２の気体流Ｄ２を供給するように構成してもよい。本発明では、撮影空間ＶＳに周囲の空気が巻き込まれて陽炎を引き起こすことを防止すればよいため、周囲の空間と撮影空間ＶＳとの間にエアーカーテンを形成するような構成であれば、本発明の適用範囲である。

　（４）上記実施形態では、第１の気体流Ｄ１を第１パイプ１１１ｐから供給し、第２の気体流Ｄ２を第２パイプ１１２ｐから供給するように構成していたが、これに限定されない。例えば、異なる方向に向けて気体流を供給可能な複数のノズル列を一つのパイプに配置し、一つのパイプに供給した空気が、複数のノズル列からそれぞれ供給されるように構成してもよい。例えば２つのノズル列を一つのパイプに設け、それぞれから第１の気体流および第２の気体流として供給されるように構成することが可能である。このような構成では、ノズルの形態、例えばノズル列に設けられるノズル数やノズルの穴径を調整することで、それぞれの気体流の供給速度や供給量を変更することが可能である。

産業上の利用の可能性

　本発明は、上記実施形態に限定されることなく、産業上広く利用することが可能である。例えば、ボンディング装置のボンディング方式としては、ダイボンディング、フリップチップボンディング、ワイヤボンディング等、撮影空間の陽炎が問題となる種々の方式に適用可能である。

Claims (13)

1. 　ボンディング対象物を搬送する搬送部を有するボンディング装置であって、
   　前記搬送部に形成されているボンディング用開口から前記ボンディング対象を認識するための撮影空間を横切るように第１の気体流を形成する第１のブロワー部と、前記撮影空間に沿って第２の気体流を形成する第２のブロワー部と、を有するブロワー機構を備え、
   　前記第２のブロワー部は、前記第１の気体流によって周囲の気体が前記撮影空間に巻き込まれることを抑制するように前記第２の気体流による障壁を形成する、ボンディング装置。
2. 　前記ボンディング用開口から前記ボンディング対象物のボンディングを行うボンディングアームを備え、
   　前記ボンディングアームは、前記第１の気体流の乱れを抑制する形状を備える、
   請求項１に記載のボンディング装置。
3. 　前記第１のブロワー部は、前記第１の気体流が前記ボンディング用開口に入り込まない第１の角度に前記第１の気体流を形成するものである、請求項１に記載のボンディング装置。
4. 　前記第１の角度は、前記ボンディング用開口の開口面から１５°～８０°の範囲である、請求項３に記載のボンディング装置。
5. 　前記第１のブロワー部は、前記搬送部の中の前記ボンディング対象物の搬送方向と反対方向に向けて前記第１の気体流を形成するものである、請求項１に記載のボンディング装置。
6. 　前記第２のブロワー部は、周囲の気体に対する障壁となるような第２の角度に前記第２の気体流を形成するものである、請求項１に記載のボンディング装置。
7. 　前記第２の角度は、前記ボンディング用開口の開口面から７０°～１３５°の範囲である、請求項６に記載のボンディング装置。
8. 　前記第２のブロワー部は、前記ボンディング用開口の幅より広い範囲に前記第２の気体流を形成するものである、請求項１に記載のボンディング装置。
9. 　前記第２の気体流の流速は、前記第１の気体流の流速より小さい、請求項１に記載のボンディング装置。
10. 　前記ブロワー機構は、圧縮気体を生成するコンプレッサと、前記コンプレッサから供給された圧縮気体が通過するパイプとを含み、
    　前記第１のブロワー部は、前記パイプに形成された第１のノズルから圧縮気体を噴出することによって前記第１の気体流を形成し、
    　前記第２のブロワー部は、前記パイプに形成された第２のノズルから圧縮気体を噴出することによって前記第２の気体流を形成する、請求項１に記載のボンディング装置。
11. 　前記搬送部は、前記ボンディング対象物の酸化を防止する密閉炉を有する、請求項１に記載のボンディング装置。
12. 　前記ブロワー機構は、前記第１のブロワー部を有する第１のブロワー機構と、前記第２のブロワー部を有する第２のブロワー機構とを備える、請求項１に記載のボンディング装置。
13. 　ボンディング対象物を搬送する搬送部を有するボンディング装置に適用され、
    　前記搬送部に形成されているボンディング用開口から前記ボンディング対象を認識するための撮影空間を横切るように第１の気体流を形成する第１のブロワーステップと、
    　前記撮影空間に沿って第２の気体流を形成する第２のブロワーステップと、を備え、
    　前記第２のブロワーステップは、前記第１の気体流によって周囲の気体が前記撮影空間に巻き込まれることを抑制するように前記第２の気体流による障壁を形成する、ボンディング方法。
     

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