JP7341921B2 - 空調装置及びエージング方法 - Google Patents

Description

本発明の実施形態は、空調装置及びエージング方法に関する。

電池、電子機器及び半導体等の製造工程においては、電池、電子機器及び半導体等のワークを加熱した後にワークを高温の雰囲気で長時間エージングする。高温の雰囲気でのエージングでは、ワークを保管室に配置し、保管室を高温にする。

前述のような高温の雰囲気でのワークのエージングでは、鉛直方向についての保管室の寸法（保管室の底から天井までの高さ）に関係なく、保管室においてワークが配置される領域内での温度差が低減されることが、求められている。そして、ワークが配置される領域内での温度差を低減することにより、ワークが配置される領域の温度の均一化を実現することが、求められている。

特開２００８－２４９３４７号公報

本発明が解決しようとする課題は、鉛直方向についての保管室の寸法に関係なく、保管室においてワークが配置される領域内の温度差を低減する空調装置及びエージング方法を提供することにある。

実施形態によれば、空調装置は、保管室、ラック、入出庫機、供給部、排気部、ブロア及び温度調整器を備える。保管室には、ワークが保管される。ラックは、横方向の両側に空間が形成される状態で保管室に配置され、ラックには、ワークを配置可能である。入出庫機は、横方向及び鉛直方向の両方に交差する縦方向についてラックに対して隣り合って保管室に配置され、ラックへワークを入庫可能、かつ、ラックからワークを出庫可能である。供給部は、ラックの両側の空間のそれぞれに噴出口を有し、鉛直下側へ向かって噴出口から気体を噴出する。供給部の噴出口は、入出庫機に対して縦方向にずれた位置に位置する。排気部は、空間のそれぞれにおいて噴出口より鉛直下側に排気口を有し、排気口から保管室の気体を排気する。排気部の排気口は、入出庫機に対して縦方向にずれた位置に位置する。ブロアが駆動されることにより、保管室から排気された気体は、排気口から噴出口へ送られる。温度調整器は、排気口から噴出口へ送られる気体の温度を調整する。
また、実施形態によれば、エージング方法は、横方向の両側に空間が形成される状態に保管室内に配置されたラックにワークを収納することを備え、横方向及び鉛直方向の両方に交差する縦方向についてラックに対して隣り合って保管室に配置される入出庫機を用いて、ラックにワークを収納する。エージング方法は、ラックの両側の空間のそれぞれに設けられ、かつ、入出庫機に対して縦方向にずれた位置に位置する噴出口から鉛直下側へ向かって気体を噴出させることを備える。そして、エージング方法は、空間のそれぞれにおいて噴出口より鉛直下側に設けられ、かつ、入出庫機に対して縦方向にずれた位置に位置する排気口から保管室の気体を排気することと、保管室の排気口から排気された気体の温度を調整して噴出口へ送ることと、を備える。

図１は、第１の実施形態に係る空調装置を、ラック（第１のラック）を縦方向についてラック（第２のラック）が位置する側から視た状態で示す概略図である。 図２は、第１の実施形態に係る保管室を、ラック（第２のラック）を縦方向についてラック（第１のラック）が位置する側から視た状態で示す概略図である。 図３は、第１の実施形態に係る保管室を、横方向の一方側から視た状態を示す概略図である。 図４は、第１の実施形態に係る保管室を、鉛直上側から視た状態で示す概略図である。 図５は、第１の実施形態に係る保管室の内部を、ラックを省略して概略的に示す斜視図である。

以下、実施形態について、図面を参照して説明する。

（第１の実施形態）
図１は、空調装置１を示す。図１に示すように、空調装置１は、保管室２を形成する壁部３を備える。図２乃至図５は、保管室２を示す。ここで、保管室２では、鉛直方向（矢印Ｚ１及び矢印Ｚ２で示す方向）、鉛直方向に対して交差する（垂直又は略垂直な）横方向（矢印Ｘ１及び矢印Ｘ２で示す方向）、及び、鉛直方向及び横方向の両方に対して交差する（垂直又は略垂直な）縦方向（矢印Ｙ１及び矢印Ｙ２で示す方向）が、規定される。

壁部３は、天壁５、底壁６、及び、二対の側壁７Ａ，７Ｂ，８Ａ，８Ｂを備える。天壁５及び底壁６は、保管室２を挟んで、互いに対して鉛直方向（高さ方向）に離れて配置される。一対の側壁７Ａ，７Ｂは、保管室２を挟んで、互いに対して横方向（第１の水平方向）に離れて配置され、一対の側壁８Ａ，８Ｂは、保管室２を挟んで、互いに対して縦方向（第２の水平方向）に離れて配置される。側壁７Ａ，７Ｂ，８Ａ，８Ｂのそれぞれは、底壁６から天壁５まで、鉛直方向に沿って延設される。また、側壁７Ａ，７Ｂのそれぞれは、側壁８Ａ，８Ｂの間に、縦方向に沿って延設され、側壁８Ａ，８Ｂのそれぞれは、側壁７Ａ，７Ｂの間に、横方向に沿って延設される。なお、ある一例では、天壁５と底壁６との間の距離（底から天井までの高さ）、すなわち、鉛直方向についての保管室２の寸法（高さ）は、１０ｍ以上になる。

保管室２には、１つ以上のラック１０が配置され、本実施形態では、２つのラック１０（１０Ａ，１０Ｂ）が保管室２に配置される。そして、本実施形態では、保管室２において、ラック１０Ａ，１０Ｂが縦方向に沿って配列される。すなわち、本実施形態では、ラック１０Ａ，１０Ｂの配列方向が、保管室２の縦方向と一致又は略一致する。ここで、図１は、ラック（第１のラック）１０Ａを、縦方向についてラック（第２のラック）１０Ｂが位置する側から視た状態を示し、図２は、ラック（第２のラック）１０Ｂを、縦方向についてラック（第１のラック）１０Ａが位置する側から視た状態を示す。また、図３は、保管室２を横方向の一方側（矢印Ｘ２側）から視た状態を示し、図４は、保管室２を鉛直上側（矢印Ｚ１側）から視た状態を示す。そして、図５は、保管室２の内部を、ラック１０Ａ，１０Ｂを省略して示す。

図１乃至図５等の一例では、ラック１０Ａ，１０Ｂのそれぞれは、鉛直方向について１０段に形成される。そして、ラック１０Ａは、ワーク１１が配置される配置位置Ａ１～Ａ１０を有する。配置位置Ａ１～Ａ１０は、鉛直方向について互いに対してずれる。そして、配置位置Ａ１～Ａ１０の中では、配置位置Ａ１が最も鉛直下側に位置し、配置位置Ａ１０が最も鉛直上側に位置する。同様に、ラック１０Ｂは、ワーク１１が配置される配置位置Ｂ１～Ｂ１０を有する。配置位置Ｂ１～Ｂ１０は、鉛直方向について互いに対してずれる。そして、配置位置Ｂ１～Ｂ１０の中では、配置位置Ｂ１が最も鉛直下側に位置し、配置位置Ｂ１０が最も鉛直上側に位置する。

また、保管室２では、横方向についてラック１０のそれぞれの両側に、空間１２が形成される。すなわち、保管室２では、ラック１０Ａは、横方向について側壁７Ａ，７Ｂのそれぞれとの間に空間１２を形成し、ラック１０Ｂは、横方向について側壁７Ａ，７Ｂのそれぞれとの間に空間１２を形成する。

また、保管室２には、入出庫機であるスタッカクレーン１３が配置される。スタッカクレーン１３は、縦方向（ラック１０の配列方向）について、ラック１０Ａ，１０Ｂの間に配置される。したがって、スタッカクレーン１３は、縦方向について、ラック１０Ａに対してラック１０Ｂが位置する側に隣り合って配置される。そして、スタッカクレーン１３は、縦方向について、ラック１０Ｂに対してラック１０Ａが位置する側に隣り合って配置される。スタッカクレーン１３は、ラック１０Ａ，１０Ｂのそれぞれにワーク１１を入庫可能であるとともに、ラック１０Ａ，１０Ｂのそれぞれからワーク１１を出庫可能である。

壁部３の側壁８Ａは、縦方向についてスタッカクレーン１３及びラック１０Ｂとは反対側から、ラック１０Ａに隣接する。そして、壁部３の側壁８Ｂは、縦方向についてスタッカクレーン１３及びラック１０Ａとは反対側から、ラック１０Ｂに隣接する。ある一例では、空調装置１は、コンベヤ（図示しない）を備え、コンベヤによって、保管室２へのワーク１１の搬入、及び、保管室２からのワーク１１の搬出等が行われる。また、コンベヤの代わりに、又は、コンベヤに加えて、壁部３に扉（図示しない）が形成されてもよい。この場合、作業者等が、扉を介して、保管室２へのワーク１１の搬入、及び、保管室２からのワーク１１の搬出等を行う。

空調装置１は、保管室２へ気体を供給する供給部１５、及び、保管室２から気体を排気する排気部１６を備える。供給部１５は、供給ダクト２１、噴出部２２、及び、流入部２３を備える。本実施形態では、噴出部２２が、４つ設けられ、噴出部２２のそれぞれに、噴出口２５が形成される。前述のように、保管室２では、横方向についてラック１０のそれぞれの両側に、空間１２が形成される。そして、空間１２のそれぞれに、噴出口２５の対応する１つ（噴出部２２の対応する１つ）が配置される。図１乃至図５等の一例では、側壁７Ａ，８Ａの間の角部、側壁７Ａ，８Ｂの間の角部、側壁７Ｂ，８Ａの間の角部、及び、側壁７Ｂ，８Ｂの間の角部のそれぞれに、噴出口２５が配置される。

また、空間１２のそれぞれでは、鉛直上側の領域に、噴出口２５が配置される。図１乃至図５等の一例では、噴出口２５のそれぞれは、ラック１０Ａの配置位置Ａ１０及びラック１０Ｂの配置位置Ｂ１０に対して、すなわち、ラック１０のそれぞれの最上段に対して、同一又は略同一の高さに配置される。なお、別のある一例では、噴出口２５のそれぞれは、ラック１０Ａの配置位置Ａ１０及びラック１０Ｂの配置位置Ｂ１０に対して、鉛直上側に配置されてもよい。前述のように噴出口２５が配置されるため、噴出口２５のそれぞれは、保管室２において、天壁５の近傍に配置される。また、流入部２３は、流入口２６を備える。供給部１５では、流入口２６から、供給ダクト２１の内部の供給流路に、気体が流入する。そして、供給ダクト２１の供給流路を通して、気体が、噴出口２５のそれぞれに供給される。噴出口２５のそれぞれは、空間１２の対応する１つにおいて、鉛直下側へ向かって（すなわち、鉛直下側への速度成分を有するように）気体を噴出する（例えば、図５の矢印Ｆ１）。なお、鉛直下側へ向かっての気体の噴出は、水平方向（横方向及び／又は縦方向）の速度成分を有することを妨げるものではない。

図１乃至図５等の一例では、供給ダクト２１は、配管部３１～３４を備える。配管部３１～３４のそれぞれは、保管室２の内部に配置される。このため、供給ダクト２１の少なくとも一部は、保管室２の内部に配置され、図１乃至図５の一例では、供給ダクト２１の大部分が、保管室２の内部に配置される。また、図１乃至図５の一例では、流入部２３の流入口２６は、保管室２の外部に配置される。供給ダクト２１では、流入口２６から配管部３１の内部を通して、配管部３２，３３のそれぞれの内部に、気体が供給される。そして、配管部３２の内部を通して、配管部３４の内部に、気体が供給される。保管室２では、側壁７Ａ，８Ａの間の角部に、配管部３１が鉛直方向に沿って延設される。そして、配管部３１は、流入部２３側（流入口２６側）の端部から天壁５の近傍まで、鉛直上側に向かって延設される。

また、保管室２では、配管部３２～３４は、天壁５の近傍に配置される。配管部３２は、側壁７Ａと天壁５との間の角部に縦方向に沿って延設され、配管部３１，３３との接続位置から側壁８Ｂの近傍の位置まで縦方向に沿って延設される。配管部３３は、側壁８Ａと天壁５との間の角部に横方向に沿って延設され、配管部３１，３２との接続位置から側壁７Ｂの近傍の位置まで横方向に沿って延設される。配管部３４は、側壁８Ｂと天壁５との間の角部に横方向に沿って延設され、配管部３２との接続位置から側壁７Ｂの近傍の位置まで横方向に沿って延設される。また、供給ダクト２１では、配管部３１，３２，３３の接続位置の近傍、配管部３２，３４の接続位置の近傍、配管部３３において配管部３１，３２とは反対側の端部、及び、配管部３４において配管部３２とは反対側の端部のそれぞれに、噴出部２２（噴出口２５）が形成される。

排気部１６は、排気ダクト３６及び排出部３７を備える。排気ダクト３６には、排気口３８が形成される。本実施形態では、排気ダクト３６に、排気口３８が１０個形成され、排気口３８は、４つの排気口３８Ａ、及び、６つの排気口３８Ｂから構成される。前述のように、保管室２では、横方向についてラック１０のそれぞれの両側に、空間１２が形成される。そして、空間１２のそれぞれに、排気口３８Ａの対応する１つが配置される。図１乃至図５等の一例では、側壁７Ａ，８Ａの間の角部、側壁７Ａ，８Ｂの間の角部、側壁７Ｂ，８Ａの間の角部、及び、側壁７Ｂ，８Ｂの間の角部のそれぞれに、排気口３８Ａが配置される。また、側壁８Ａの近傍では、横方向についてラック１０Ａが配置される領域に、すなわち、横方向について中央部に、排気口３８Ｂの中の３つが配置される。そして、側壁８Ｂの近傍では、横方向についてラック１０Ｂが配置される領域に、すなわち、横方向について中央部に、排気口３８Ｂの中の残りの３つが配置される。

保管室２では、排気口３８（３８Ａ，３８Ｂ）は、鉛直下側の領域に配置され、底壁６の近傍に配置される。このため、空間１２のそれぞれでは、鉛直下側の領域に、排気口３８Ａが配置される。そして、空間１２のそれぞれでは、排気口３８Ａは、噴出口２５より鉛直下側に、配置される。図１乃至図５等の一例では、排気口３８（３８Ａ,３８Ｂ）のそれぞれは、ラック１０Ａの配置位置Ａ１及びラック１０Ｂの配置位置Ｂ１に対して、すなわち、ラック１０のそれぞれの最下段に対して、鉛直下側に位置する。したがって、排気口３８は、ラック１０においてワーク１１を配置される配置位置Ａ１～Ａ１０，Ｂ１～Ｂ１０の中で最も鉛直下側の配置位置Ａ１，Ｂ１に対して、鉛直下側に位置する。

また、排出部３７は、排出口３９を備える。排気部１６では、排気口３８のそれぞれから、保管室２の気体が排気される。このため、保管室２から、排気口３８を通して、排気ダクト３６の内部の排気流路に、気体が流出する。排気口３８のそれぞれでは、鉛直下側から、保管室２の気体が排気ダクト３６の内部へ流出する。そして、気体は、排気ダクト３６の排気流路から、排出部３７の排出口３９を通して排出される。

図１乃至図５等の一例では、排気ダクト３６は、配管部４１～４４を備える。配管部４１～４４のそれぞれは、保管室２の内部に配置される。また、図１乃至図５の一例では、排出部３７の排出口３９は、保管室２の外部に配置される。排気ダクト３６では、配管部４１，４２の接続位置に、排出部３７が接続される。そして、配管部４２において、配管部４１及び排出部３７の接続位置とは反対側の端部に、配管部４３が接続される。そして、配管部４３において、配管部４２の接続位置とは反対側の端部に、配管部４４が接続される。排気口３８のそれぞれを通して排気ダクト３６の内部に流入した気体は、配管部４１，４２のいずれかの内部を通して、排出部３７へ排出される。保管室２では、配管部４１～４４は、鉛直下側の領域に配置され、底壁６の近傍に配置される。

配管部４１は、側壁８Ａと底壁６との間の角部に横方向に沿って延設され、配管部４２及び排出部３７との接続位置から横方向に沿って側壁７Ｂが位置する側へ向かって延設される。配管部４１には、排気口３８Ｂの中の３つが形成される。配管部４２は、側壁７Ａと底壁６との間の角部に縦方向に沿って延設され、配管部４１及び排出部３７との接続位置から側壁８Ｂの近傍の位置まで縦方向に沿って延設される。配管部４３は、側壁８Ｂと底壁６との間の角部に横方向に沿って延設され、配管部４２との接続位置から側壁７Ｂの近傍の位置まで横方向に沿って延設される。配管部４３には、排気口３８Ｂの中の配管部４１に形成される３つとは別の３つが形成される。配管部４４は、側壁７Ｂと底壁６との間の角部に縦方向に沿って延設され、配管部４３との接続位置から縦方向に沿って側壁８Ａが位置する側へ向かって延設される。また、排気ダクト３６では、配管部４１，４２及び排出部３７の接続位置の近傍、配管部４２，４３の接続位置の近傍、配管部４３，４４の接続位置の近傍、及び、配管部４４において配管部４３とは反対側の端部のそれぞれに、排気口３８Ａが形成される。

また、空調装置１には、排気部１６の排出口３９（排出部３７）と供給部１５の流入口２６（流入部２３）との間を中継する中継流路４６が、形成される。中継流路４６には、ブロア４７、及び、温度調整器であるヒータ４８が配置される。ブロア４７及びヒータ４８は、保管室２の外部に配置される。ブロア４７を駆動することにより、保管室２から排気ダクト３６の内部に排気された気体は、排気口３８のそれぞれから、排気ダクト３６の排気流路、中継流路４６、及び、供給ダクト２１の供給流路を順に通って、噴出口２５のそれぞれに送られる。これにより、排気口３８のそれぞれから排気された気体が、噴出口２５のそれぞれに送られる。また、ブロア４７を駆動することにより、保管室２では、排気口３８のそれぞれに向かう吸引力が、作用する。したがって、空間１２のそれぞれでは、排気口３８Ａに向かう吸引力が作用する。

また、ヒータ４８は、作動されることにより、中継流路４６において、排気口３８のそれぞれから噴出口２５のそれぞれへ送られる気体の温度を調整する。本実施形態では、ヒータ４８は、中継流路４６において気体を加熱する。そして、中継流路４６において、気体は、例えば、５０℃以上９０℃以下のいずれかの温度範囲に、ヒータ４８によって調整され、噴出口２５のそれぞれに供給される。そして、供給部１５は、ヒータ４８によって温度が調整された気体を、噴出口２５のそれぞれから前述のように噴出する。

また、保管室２では、ラック１０のそれぞれにファン５１が配置される。図１乃至図５等の一例では、ラック１０のそれぞれに、ファン５１が複数配置される。そして、ラック１０のそれぞれでは、１段目の下端、３段目と４段目との間、及び、６段目と７段目との間のそれぞれにファン５１が配置される。このため、ラック１０のそれぞれでは、ファン５１の配置は、鉛直方向について３段構成になる。ファン５１の中では、ラック１０のそれぞれにおいて６段目と７段目との間に位置するファン５１Ａが、最も鉛直上側に位置する。本実施形態では、供給部１５の噴出口２５のそれぞれは、ファン５１の中で最も鉛直上側に位置するファン５１Ａよりも、鉛直上側に位置する。また、ファン５１の中では、ラック１０のそれぞれにおいて１段目の下端に位置するファン５１Ｂが、最も鉛直下側に位置する。本実施形態では、排気部１６の排気口３８のそれぞれは、ファン５１の中で最も鉛直下側に位置するファン５１Ｂよりも、鉛直下側に位置する。

また、図１乃至図５の一例では、ラック１０のそれぞれにおいて、ファン５１の配置は、縦方向について３列構成になる。なお、図５では、ラック１０それぞれにおいて、縦方向についてのファン５１の配置である３列構成の中の１列のみ示し、３列構成の中の他の２列は省略する。また、図１乃至図５の一例では、ラック１０Ａにおいて、ファン５１の配置は、横方向について３列構成になり、ラック１０Ｂにおいて、ファン５１の配置は、横方向について４列構成になる。

ファン５１のそれぞれは、駆動されることにより、保管室２において気体を鉛直上側に向かって（すなわち、鉛直上側の速度成分を有するように）送風する（例えば、図５の矢印Ｆ２）。このため、保管室２において、ラック１０（１０Ａ，１０Ｂ）が配置される領域では、ファン５１によって、鉛直上側への気体の流れが生じる。ファン５１による鉛直上側へ向かっての気体の送風は、水平方向（横方向及び／又は縦方向）の速度成分を持たせることを妨げるものではない。ラック１０Ａでは、ファン５１のそれぞれは、送風方向が鉛直方向に対して壁部３の側壁８Ａが位置する側へ傾斜する状態に、配置される。そして、ラック１０Ｂでは、ファン５１のそれぞれは、送風方向が鉛直方向に対して壁部３の側壁８Ｂが位置する側へ傾斜する状態に、配置される。したがって、ファン５１のそれぞれの送風方向は、鉛直方向に対して、縦方向の外側へ傾斜する。すなわち、本実施形態において、ファン５１により送風される気体は、鉛直上側の速度成分のほかに縦方向の速度成分を有する。さらに、横方向の速度成分を有していても構わない。

また、空調装置１は、コントローラ５０を備える。コントローラ５０は、例えば、コンピュータ等である。コントローラ５０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）又はＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等を含むプロセッサ又は集積回路（制御回路）、及び、メモリ等の記憶媒体を備える。コントローラ５０は、集積回路等を１つのみ備えてもよく、集積回路等を複数備えてもよい。コントローラ５０は、記憶媒体等に記憶されるプログラム等を実行することにより、処理を行う。コントローラ５０は、ブロア４７の駆動、ヒータ４８の作動、及び、ファン５１のそれぞれの駆動等を制御する。また、ある一例では、中継流路４６において気体の温度を検知する温度センサ等が、設けられる。この場合、コントローラ５０は、温度センサでの検知結果に基づいて、ヒータ４８の作動を制御する。これにより、中継流路４６において、気体の温度がより適切に調整される。
また、本実施形態において、鉛直方向に生じる温度差が小さくなるように、コントローラ５０により、ブロア４７及びファン５１のそれぞれの流量を調整することができる。具体的には、噴出口２５から保管室２の鉛直下側に向かって噴出する気体の流量と、ファン５１により保管室２の鉛直上側に向かって送風される気体の流量とのバランスを調整することにより、保管室２の鉛直上側の部位と鉛直下側の部位との温度差を調整することができる。噴出口２５から噴出する気体の流量は、ブロア４７の回転数を調整することにより、調節可能である。ファン５１のそれぞれでは、回転数を調整することにより、送風される気体の流量を調節可能である。このため、コントローラ５０によってブロア４７の回転数及びファン５１のそれぞれの回転数を調整することにより、噴出口２５から鉛直下側に向かって噴出する気体の流量とファン５１により鉛直上側に向かって送風される気体の流量とのバランスが、制御される。

本実施形態の空調装置１は、ワーク１１を加熱した後に、ワーク１１を高温の雰囲気で長時間エージングする際に、用いられる。ある一例では、空調装置１は、二次電池等の電池の製造において、製品化前の電池をワーク１１として高温の雰囲気でエージングする際に、用いられる。別のある一例では、空調装置１は、半導体の製造において、製品化前の半導体をワーク１１として高温の雰囲気でエージングする際に、用いられる。また、半導体及び電池以外に、ワーク１１を電子機器とすることも可能である。

ワーク１１を高温の雰囲気でエージングする際には、まず、コンベヤによって、又は、扉を介して、ワーク１１を、保管室２に搬入する。そして、スタッカクレーン１３によって、ワーク１１を、ラック１０（１０Ａ，１０Ｂ）のそれぞれに入庫する。そして、コントローラ５０は、ブロア４７を駆動するとともに、ヒータ４８を作動する。また、コントローラ５０は、ファン５１のそれぞれを駆動する。なお、保管室２へのワーク１１の搬入、及び、ラック１０のそれぞれへのワーク１１の入庫は、ブロア４７、ヒータ４８及びファン５１が駆動された状態で行われてもよい。

ブロア４７及びヒータ４８が駆動されることにより、ヒータ４８によって加熱された気体、すなわち、温度が調整された気体が、供給部１５の噴出口２５のそれぞれに供給される。噴出口２５のそれぞれには、例えば、５０℃以上９０℃以下のいずれかの温度範囲に温度調整された気体が、供給される。また、本実施形態の保管室２では、横方向についてラック１０のそれぞれの両側に、空間１２が形成される。そして、空間１２のそれぞれでは、鉛直上側の領域に、噴出口２５が配置される。そして、空間１２のそれぞれでは、噴出口２５に供給された気体が、噴出口２５から鉛直下側へ向かって噴出される。空間１２のそれぞれでは、ラック１０等の干渉物が配置されないため、噴出口２５から噴出された気体が、底壁６の近傍まで到達し易い。

また、空間１２のそれぞれには、噴出口２５より鉛直下側に、排気口３８Ａが配置される。本実施形態の空調装置１では、排気口３８Ａを含む排気口３８のそれぞれから、保管室２の気体を排気する。そして、ブロア４７を駆動することにより、保管室２では、排気口３８のそれぞれに向かう吸引力が、作用する。このため、空間１２のそれぞれでは、排気口３８Ａに向かう吸引力が作用する。排気口３８Ａに向かう吸引力によって、空間１２のそれぞれでは、噴出口２５から噴出された気体が、底壁６の近傍までさらに到達し易くなる。

前述のように、本実施形態では、鉛直方向についての保管室２の寸法（高さ）が、例えば１０ｍ以上等の大きい寸法になっても、空間１２のそれぞれにおいて、噴出口２５から噴出された気体が、底壁６の近傍まで到達し易くなる。すなわち、鉛直方向についての保管室２の寸法に関係なく、温度が調整された気体が、底壁６の近傍まで到達し易くなる。したがって、保管室２では、鉛直方向について天壁５の近傍から底壁６の近傍までの全体に渡って、ラック１０のそれぞれが配置される領域の気体が、噴出口２５の対応するいずれかから噴出される気体、すなわち、温度が調整された気体と混合する。

前述のように気体が混合するため、ラック１０のそれぞれが配置される領域内では、鉛直方向についての位置に起因する温度差が、低減される。すなわち、ラック１０Ａが配置される領域では、最も鉛直下側の配置位置Ａ１と最も鉛直上側の配置位置Ａ１０との間の温度差が低減され、ラック１０Ｂが配置される領域では、最も鉛直下側の配置位置Ｂ１と最も鉛直上側の配置位置Ｂ１０との間の温度差が低減される。したがって、本実施形態では、鉛直方向についての保管室２の寸法が大きくなっても、ワーク１１が配置される領域内、すなわち、ラック１０のそれぞれが配置される領域内において、温度差が低減される。これにより、ワーク１１が配置される領域における温度の均一化を、実現し易くなる。また、ワーク１１が配置される領域内での温度差が低減されることにより、生産性の高い保管室２が実現される。

また、本実施形態では、排気口３８は、ラック１０においてワーク１１を配置される配置位置Ａ１～Ａ１０，Ｂ１～Ｂ１０の中で最も鉛直下側の配置位置Ａ１，Ｂ１に対して、鉛直下側に位置する。このため、配置位置Ａ１，Ｂ１及びこれらの近傍の気体は、噴出口２５のそれぞれから噴出される気体と、さらに混合し易くなる。これにより、ワーク１１が配置される領域内、すなわち、ラック１０のそれぞれが配置される領域内において、温度差がさらに低減される。

また、本実施形態では、空間１２のそれぞれにおいて排気口３８Ａから排気されるとともに、ラック１０のそれぞれの鉛直下側の領域においても、排気口３８Ｂから排気される。このため、ラック１０のそれぞれが配置される領域の気体が、噴出口２５のそれぞれから噴出される気体、すなわち、温度が調整された気体とさらに混合し易くなる。

また、本実施形態では、噴出口２５は、ラック１０Ａの配置位置Ａ１０及びラック１０Ｂの配置位置Ｂ１０に対して同一又は略同一の高さに配置される、又は、配置位置Ａ１０，Ｂ１０に対して鉛直上側に配置される。これにより、ワーク１１を配置される配置位置Ａ１～Ａ１０，Ｂ１～Ｂ１０の中で最も鉛直上側の配置位置Ａ１０，Ｂ１０及びこれらの近傍の気体は、噴出口２５のそれぞれから噴出される気体と、適切に混合する。これにより、ワーク１１が配置される領域内、すなわち、ラック１０のそれぞれが配置される領域内において、温度差がさらに低減される。

また、本実施形態では、ラック１０のそれぞれに、複数のファン５１が配置される。そして、ファン５１は、保管室２において気体を鉛直上側に送る。このため、保管室２において、ラック１０（１０Ａ，１０Ｂ）が配置される領域では、ファン５１によって、鉛直上側への気体の流れが生じる。これにより、ラック１０のそれぞれが配置される領域内では、配置位置Ａ１，Ｂ１等の鉛直下側の範囲の気体と配置位置Ａ１０，Ｂ１０等の鉛直上側の範囲の気体とが混合し易くなる。したがって、ラック１０のそれぞれが配置される領域内では、温度差がさらに低減され、ワーク１１が配置される領域における温度の均一化を、さらに実現し易くなる。

また、ファン５１のそれぞれの送風方向は、鉛直方向に対して、縦方向の壁部３が位置する側（外側）へ傾斜する。ここで、ラック１０のそれぞれが配置される領域では、壁部３の近傍の範囲が、壁部３によって冷却され易い。すなわち、ラック１０Ａが配置される領域では、縦方向について側壁８Ａの近傍の範囲が冷却され易く、ラック１０Ｂが配置される領域では、縦方向について側壁８Ｂの近傍の範囲が冷却され易い。本実施形態では、ファン５１のそれぞれの送風方向を前述のようにすることにより、ラック１０のそれぞれが配置される領域において、壁部３の近傍の範囲での温度の低下が有効に防止される。これにより、ラック１０のそれぞれが配置される領域内では、温度差がさらに低減される。

また、本実施形態では、排気部１６の排気口３８のそれぞれは、ファン５１の中で最も鉛直下側に位置するファン５１Ｂよりも、鉛直下側に位置する。このため、ラック１０のそれぞれが配置される領域の気体は、噴出口２５から噴出された気体と適切に混合された状態で、ファン５１によって鉛直上側へ送られる。これにより、ワーク１１が配置される領域内、すなわち、ラック１０のそれぞれが配置される領域内において、温度差がさらに低減される。

また、本実施形態では、供給部１５において流入部２３から噴出口２５のそれぞれまで、供給ダクト２１が延設される。そして、供給ダクト２１の大部分が、保管室２の内部に配置される。すなわち、供給ダクト２１の大部分は、外部より温度の高い保管室２内に配置される。このため、ヒータ４８から噴出口２５のそれぞれまでの間での気体の温度低下が、有効に防止される。

また、本実施形態では、スタッカクレーン１３は、ラック１０Ａ，１０Ｂのそれぞれに対して縦方向に隣り合って配置される。このため、スタッカクレーン１３を用いて、ラック１０Ａ，１０Ｂのそれぞれにワーク１１を入庫し易い。同様に、スタッカクレーン１３を用いて、ラック１０Ａ，１０Ｂのそれぞれからワーク１１を出庫し易い。

（変形例）
なお、ある変形例では、噴出口２５は、ラック１０においてワーク１１の配置位置の中で最も鉛直上側の配置位置（例えばＡ１０，Ｂ１０）に対して、鉛直下側に位置してもよい。また、噴出口２５は、ファン５１の中で最も鉛直上側のファン５１Ａに対して、鉛直下側に位置してもよい。ただし、この場合も、空間１２のそれぞれにおいて、噴出口２５より鉛直下側に排気口３８Ａが配置される。そして、排気口３８Ａを含む排気口３８は、ワーク１１の配置位置の中で最も鉛直下側の配置位置（例えばＡ１，Ｂ１）に対して、鉛直下側に位置し、ファン５１の中で最も鉛直下側のファン５１Ｂに対して、鉛直下側に位置する。

また、本変形例では、ワーク１１の配置位置の中で最も鉛直上側の配置位置（例えばＡ１０，Ｂ１０）は、ファン５１のいずれかからの送風の到達範囲内に、位置する。前述のような構成にすることにより、本変形例でも、前述の実施形態等と同様に、鉛直方向についての保管室２の寸法に関係なく、ワーク１１が配置される領域内、すなわち、ラック１０のそれぞれが配置される領域内において、温度差が低減される。これにより、本変形例でも、ワーク１１が配置される領域における温度の均一化を、実現し易くなる。

また、ある変形例では、排気口３８Ｂが設けられず、排気口３８は、排気口３８Ａのみから構成されてもよい。この場合も、空間１２のそれぞれにおいて、噴出口２５より鉛直下側に排気口３８Ａが配置される。したがって、前述の実施形態等と同様に、鉛直方向についての保管室２の寸法に関係なく、ワーク１１が配置される領域内、すなわち、ラック１０のそれぞれが配置される領域内において、温度差が低減される。また、ラック１０のそれぞれに配置されるファン５１の数、及び、ラック１０のそれぞれの段数等は、前述の実施形態等に限るものではない。また、保管室２に配置されるラック１０の数も２つに限るものではない。

ある変形例では、保管室２にラック１０が１つのみ配置される。この場合も、保管室２では、横方向についてラック１０の両側に、空間１２が形成される。そして、空間１２のそれぞれには、噴出口２５が配置されるとともに、噴出口２５より鉛直下側に排気口３８Ａが配置される。また、本変形例では、スタッカクレーン１３は、縦方向について、ラック１０の一方側に隣り合って配置される。そして、壁部３の側壁８Ａ，８Ｂの一方が、縦方向についてスタッカクレーン１３とは反対側から、ラック１０に隣接する。また、本変形例でも、ラック１０に１つ以上のファン５１が配置され、ファン５１のそれぞれは、気体を鉛直上側に送る。そして、ファン５１のそれぞれの送風方向は、鉛直方向に対して縦方向の壁部３が位置する側（外側）へ傾斜する。本変形例でも、前述の実施形態等と同様に、鉛直方向についての保管室２の寸法に関係なく、ワーク１１が配置される領域内、すなわち、ラック１０のそれぞれが配置される領域内において、温度差が低減される。そして、本変形例でも、前述の実施形態等と同様の作用及び効果を奏する。

別のある変形例では、保管室２において、３つ以上のラック１０が縦方向に沿って配列される。以下、３つ以上のラック１０の中で、配列方向（縦方向）について両端に位置する２つをラック１０Ａ，１０Ｂとする。本変形例でも、横方向についてラック１０のそれぞれの両側に、空間１２が形成される。そして、空間１２のそれぞれには、噴出口２５が配置されるとともに、噴出口２５より鉛直下側に排気口３８Ａが配置される。また、本変形例では、保管室２に複数のスタッカクレーン（入出庫機）１３が配置される。そして、縦方向（配列方向）についてラック１０のそれぞれの少なくとも一方側には、スタッカクレーン１３が隣り合って配置される。ある一例では、互いに対して隣り合う２つのラック１０の間のそれぞれに、スタッカクレーン１３が配置される。

また、配列方向について両端のラック１０Ａ，１０Ｂのそれぞれに対しては、縦方向について一方側（内側）に、スタッカクレーン１３が隣り合って配置される。そして、壁部３の側壁８Ａは、縦方向についてスタッカクレーン１３とは反対側（外側）から、ラック１０Ａに隣接し、壁部３の側壁８Ｂは、縦方向についてスタッカクレーン１３とは反対側（外側）から、ラック１０Ａに隣接する。また、本変形例でも、ラック１０のそれぞれに１つ以上のファン５１が配置され、ファン５１のそれぞれは、気体を鉛直上側に送る。そして、ラック１０Ａ，１０Ｂのそれぞれでは、ファン５１のそれぞれの送風方向は、鉛直方向に対して縦方向の壁部３が位置する側（外側）へ傾斜する。本変形例でも、前述の実施形態等と同様に、鉛直方向についての保管室２の寸法に関係なく、ワーク１１が配置される領域内、すなわち、ラック１０のそれぞれが配置される領域内において、温度差が低減される。そして、本変形例でも、前述の実施形態等と同様の作用及び効果を奏する。

また、ある変形例では、温度調整器として、ヒータ４８の代わりに冷凍機が設けられてもよい。この場合、冷凍機は、中継流路４６において気体を冷却することにより、排気口３８のそれぞれから噴出口２５のそれぞれへ送られる気体の温度を調整する。本変形例でも、保管室２におけるラック１０、噴出口２５及び排気口３８のそれぞれの配置は、前述の実施形態等のいずれかと同様になる。このため、本変形例でも、前述の実施形態等と同様に、鉛直方向についての保管室２の寸法に関係なく、ワーク１１が配置される領域内、すなわち、ラック１０のそれぞれが配置される領域内において、温度差が低減される。

これらの少なくとも一つの実施形態又は実施例の空調装置では、ラックは、横方向の両側に空間が形成される状態で保管室に配置され、供給部は、ラックの両側の空間のそれぞれに噴出口を有し、鉛直下側へ向かって噴出口から気体を噴出する。排気部は、空間のそれぞれにおいて噴出口より鉛直下側に排気口を有する。ブロアは、保管室から排気された気体を、排気口から噴出口へ送る。温度調整器は、排気口から噴出口へ送られる気体の温度を調整する。また、これらの少なくとも一つの実施形態又は実施例のエージング方法は、横方向の両側に空間が形成される状態に保管室内に配置されたラックにワークを収納することと、ラックの両側の空間のそれぞれに設けられた噴出口から鉛直下側へ向かって気体を噴出させることと、空間のそれぞれにおいて噴出口より鉛直下側に設けられた排気口から保管室の気体を排気することと、保管室の排気口から排気された気体の温度を調整して噴出口へ送ることと、を備える。これらにより、鉛直方向についての保管室の寸法に関係なく、保管室においてワークが配置される領域内の温度差を低減する空調装置及びエージング方法を提供することができる。

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
以下、付記を記載する。
［１］ワークを保管する保管室と、
横方向の両側に空間が形成される状態で前記保管室に配置され、前記ワークを配置可能なラックと、
前記ラックの両側の前記空間のそれぞれに噴出口を有し、鉛直下側へ向かって前記噴出口から気体を噴出する供給部と、
前記空間のそれぞれにおいて前記噴出口より前記鉛直下側に排気口を有し、前記排気口から前記保管室の気体を排気する排気部と、
前記保管室から排気された気体を前記排気口から前記噴出口へ送るブロアと、
前記排気口から前記噴出口へ送られる気体の温度を調整する温度調整器と、
を具備する、空調装置。
［２］前記横方向及び鉛直方向の両方に交差する縦方向について前記ラックに対して隣り合って前記保管室に配置され、前記ラックへ前記ワークを入庫可能、かつ、前記ラックから前記ワークを出庫可能な入出庫機をさらに具備する、［１］の空調装置。
［３］前記保管室において前記ラックに配置され、前記保管室において気体を鉛直上側に向かって送るファンをさらに具備する、［１］又は［２］の空調装置。
［４］前記ファンは、送風方向が鉛直方向に対して前記保管室を形成する壁部が位置する側へ傾斜する状態に、配置される、［３］の空調装置。
［５］前記排気部の前記排気口は、前記ラックにおいて前記ワークを配置される配置位置の中で最も前記鉛直下側の配置位置に対して、前記鉛直下側に位置する、［１］乃至［４］のいずれか１項の空調装置。
［６］前記ラックを複数具備し、
複数の前記ラックは、前記保管室において、前記横方向及び鉛直方向の両方に交差する縦方向に沿って配列され、
複数の前記ラックのそれぞれは、前記横方向の両側に、前記空間を形成し、
前記空間のそれぞれでは、前記供給部が、前記噴出口から前記鉛直下側へ向かって気体を噴出するとともに、前記排気部が、前記噴出口より前記鉛直下側の前記排気口から気体を排気する、
［１］乃至［５］のいずれか１項の空調装置。
［７］横方向の両側に空間が形成される状態に保管室内に配置されたラックにワークを収納することと、
前記ラックの両側の前記空間のそれぞれに設けられた噴出口から鉛直下側へ向かって気体を噴出させることと、
前記空間のそれぞれにおいて前記噴出口より前記鉛直下側に設けられた排気口から前記保管室の気体を排気することと、
前記保管室の前記排気口から排気された気体の温度を調整して前記噴出口へ送ることと、
を具備する、エージング方法。

１…空調装置、２…保管室、３…壁部、１０，１０Ａ，１０Ｂ…ラック、１１…ワーク、１２…空間、１３…スタッカクレーン、１５…供給部、１６…排気部、２１…供給ダクト、２２…噴出部、２５…噴出口、３６…排気ダクト、３８，３８Ａ，３８Ｂ…排気口、４７…ブロア、４８…ヒータ、５０…コントローラ、５１，５１Ａ，５１Ｂ…ファン、Ａ１～Ａ１０，Ｂ１～Ｂ１０…配置位置。

Claims (6)

1. ワークを保管する保管室と、
   横方向の両側に空間が形成される状態で前記保管室に配置され、前記ワークを配置可能なラックと、
   前記横方向及び鉛直方向の両方に交差する縦方向について前記ラックに対して隣り合って前記保管室に配置され、前記ラックへ前記ワークを入庫可能、かつ、前記ラックから前記ワークを出庫可能な入出庫機と、
   前記ラックの両側の前記空間のそれぞれに噴出口を有し、鉛直下側へ向かって前記噴出口から気体を噴出する供給部であって、前記入出庫機に対して前記縦方向にずれた位置に前記噴出口が位置する供給部と、
   前記空間のそれぞれにおいて前記噴出口より前記鉛直下側に排気口を有し、前記排気口から前記保管室の気体を排気する排気部であって、前記入出庫機に対して前記縦方向にずれた位置に前記排気口が位置する排気部と、
   前記保管室から排気された気体を前記排気口から前記噴出口へ送るブロアと、
   前記排気口から前記噴出口へ送られる気体の温度を調整する温度調整器と、
   を具備する、空調装置。
2. 前記保管室において前記ラックに配置され、前記保管室において気体を鉛直上側に向かって送るファンをさらに具備する、請求項１の空調装置。
3. 前記ファンは、送風方向が鉛直方向に対して前記保管室を形成する壁部が位置する側へ傾斜する状態に、配置される、請求項２の空調装置。
4. 前記排気部の前記排気口は、前記ラックにおいて前記ワークを配置される配置位置の中で最も前記鉛直下側の配置位置に対して、前記鉛直下側に位置する、請求項１乃至３のいずれか１項の空調装置。
5. 前記ラックを複数具備し、
   複数の前記ラックは、前記保管室において、前記縦方向に沿って配列され、
   複数の前記ラックのそれぞれは、前記横方向の両側に、前記空間を形成し、
   前記空間のそれぞれでは、前記供給部が、前記噴出口から前記鉛直下側へ向かって気体を噴出するとともに、前記排気部が、前記噴出口より前記鉛直下側の前記排気口から気体を排気する、
   請求項１乃至４のいずれか１項の空調装置。
6. 横方向の両側に空間が形成される状態に保管室内に配置されたラックにワークを収納することであって、前記横方向及び鉛直方向の両方に交差する縦方向について前記ラックに対して隣り合って前記保管室に配置される入出庫機を用いて、前記ラックに前記ワークを収納することと、
   前記ラックの両側の前記空間のそれぞれに設けられ、かつ、前記入出庫機に対して前記縦方向にずれた位置に位置する噴出口から鉛直下側へ向かって気体を噴出させることと、
   前記空間のそれぞれにおいて前記噴出口より前記鉛直下側に設けられ、かつ、前記入出庫機に対して前記縦方向にずれた位置に位置する排気口から前記保管室の気体を排気することと、
   前記保管室の前記排気口から排気された気体の温度を調整して前記噴出口へ送ることと、
   を具備する、エージング方法。