JP2017045852A - 基板搬送用コンベア及び部品実装装置 - Google Patents

Abstract

【課題】コンベアによって搬送される基板の位置決め精度をより高度に保つ。【解決手段】基板搬送用のコンベア４は、基板Ｐの搬送方向Ｃｄに延びるコンベア本体２０と、前記搬送方向における互いに異なる位置でそれぞれコンベア本体２０に固定され、当該コンベア本体２０を基台２上に固定的に支持する第１脚部２２Ａ、および前記搬送方向への変位を許容する状態で当該コンベア本体２０を基台２上に支持する第２脚部２２Ｂとを備える。【選択図】図２

Description

本発明は、部品実装装置などの部品実装基板を生産するための装置に組み込まれてプリント配線板等の基板を搬送する基板搬送用コンベアおよびこの基板搬送用コンベアを備えた部品実装装置に関する。

ビーム（フレーム）に沿って移動可能な部品搭載用のヘッドにより部品供給部から部品を吸着して取り出し、当該部品をプリント配線板等の基板上に実装（搭載）する部品実装装置が知られている。部品実装装置は、近年、より一層の高速化が求められており、ヘッドは、モータを駆動源とするねじ送り機構などによって上記ビームに沿って高速で駆動される。そのため、上記ビームに熱伸びによる歪みが発生し易くなり、このようなビームの歪みによるヘッドの移動誤差が、部品の実装精度上、無視できない場合が生じている。そこで、この点を改善する部品実装装置として、例えば特許文献１には、ビームの端部をその長手方向に移動自在な状態で支持することによって熱伸びを逃し、これによりビームに歪みが生じることを抑制するようにしたものが開示されている。

特許第４４９０５６４号公報

しかし、特許文献１には、ヘッドを支持するビームの歪みによる実装精度の低下を抑制する技術についての開示はあるものの、作動中の発熱に起因する基板の位置決め精度の低下を抑制する技術についての開示は見られない。すなわち、部品実装装置では、外乱（気流等）による実装作業への影響や安全性の観点から実装作業領域がカバーで覆われたものが多く、作動中のカバー内部の温度は、ヘッドの高速移動に伴う発熱等によって停止中よりも高くなる。このようなカバー内部の温度上昇は、基板搬送用のコンベアに熱変形をもたらし、基板の位置決め精度の低下、ひいては実装精度の低下をもたらす要因となるが、このような基板の位置決め精度の低下を抑制する技術については、上記の特許文献１には開示がない。

本発明は、上記のような事情に鑑みてなされたものであり、基板搬送用コンベアにより搬送される基板の位置決め精度をより高度に保つことができる技術を提供することを目的とする。

上記の課題を解決するために、本発明は、基台上に支持されて、基板を搬送する基板搬送用のコンベアであって、基板の搬送方向に延びるコンベア本体と、前記搬送方向における互いに異なる位置でそれぞれ前記コンベア本体に固定され、当該コンベア本体を基台上に固定的に支持する第１脚部、および前記搬送方向への変位を許容する状態で当該コンベア本体を基台上に支持する第２脚部と、を備えるものである。

この基板搬送用コンベアによれば、コンベア本体は、第１脚部を介して基台上に固定的に支持されているものの、第２脚部を介して搬送方向への変位が許容される状態で基台上に支持されているので、雰囲気温度の上昇に伴いコンベア本体が長手方向へ熱伸びすることが許容される。従って、当該熱伸びが両脚部の間で拘束（規制）されることによってコンベア本体に歪みが生じることが効果的に抑制され、これにより、搬送基板の位置決め精度をより高度に保つことが可能となる。

特に、前記コンベア本体により搬送される基板を所定の作業位置で保持する基板保持装置を含むものでは、コンベア本体に歪みが生じると、基板の位置決め精度が著しく低下するため、上記のような構成は、基板保持装置を有する基板搬送用コンベアに有用なものとなる。

上記の基板搬送用コンベアにおいては、前記第１脚部を基準として前記搬送方向における反第２脚部側の位置でコンベア本体に固定され、前記搬送方向への変位を許容する状態で当該コンベア本体を基台上に支持する第３脚部をさらに備えているものであってもよい。

この構成によれば、コンベア本体は、第１脚部の位置を起点として前記搬送方向両側へ熱伸びするため、コンベア本体の一方側の端部のみの変形量（熱伸び量）が増大することが抑制される。

この場合、前記基板保持装置は、コンベア本体に設けられ、前記第１脚部は、基板保持装置により保持される基板の前記搬送方向におけるコンベア本体の略中央で当該コンベア本体に固定されているのが好適である。

この構成によれば、基板保持装置により保持された基板を中心として、コンベア本体をその両側に均等に熱伸びさせることが可能となるため、基板の位置を含むその近傍におけるコンベア本体の変形を効果的に抑制することができる。そのため、作業位置に保持される基板の位置決め精度を保つうえで有利となる。

なお、上記の基板搬送用コンベアにおいて、前記コンベア本体は、基板を搬送する基板搬送部と、この基板搬送部に固定されて当該基板搬送部の下方で前記搬送方向に延びかつ前記基板保持装置が固定されたフレーム部とを含み、前記第１脚部および前記第２脚部は、前記フレーム部に固定されているものであってもよい。

この構成によれば、基板搬送部とフレーム部とを一体的に前記搬送方向に熱伸びさせることが可能となる。そのため、基板搬送部とは別に設けられたフレーム部に基板保持装置を固定しながらも、上述の基板搬送用コンベアと同様に、当該基板保持装置により保持される基板の位置決め精度を高度に保つことが可能となる。

また、上記の基板搬送用コンベアにおいて、前記基板は、基板上の位置基準となる原点を有するものであり、前記第１脚部および第２脚部は、基板保持装置により保持された基板の前記原点の位置と第１脚部の略中央位置とを結んだ前記搬送方向の直線距離が、前記原点の位置と第２脚部の略中央位置とを結んだ前記搬送方向の直線距離より小さくなる位置にそれぞれ設けられているのが好適である。

この構成によれば、作業位置における基板は、その原点が、コンベア本体のうち、第１脚部側、つまり熱伸びの量が比較的小さい側に位置することとなるので、コンベア本体の熱伸びによる原点の位置ずれを可及的に小さく抑えることが可能となる。

上記の基板搬送用コンベアにおいて、前記第２脚部は、コンベア本体に固定される可動部と、基台に固定されて前記可動部を前記搬送方向へ移動可能に支持する固定部とを備えた構成とすることができる。この場合、可動部および固定部は、前記搬送方向へのコンベア本体の変位を許容する滑り案内面を介して互いに当接しているものであってもよい。

これらの構成によれば、第２脚部の構造を複雑化することなく、前記搬送方向へのコンベア本体の変位を許容しつつ当該コンベア本体を基台上に支持することが可能となる。

なお、上記の基板搬送用コンベアにおいて、前記第２脚部は、可動部と固定部との間に、可動部を静圧案内するための所定圧の流体を供給する流体供給機構を備えるものであってもよい。

この構成によれば、可動部と固定部との摩擦を軽減することができ、コンベア本体の熱伸びをよりスムーズ行わせることが可能となる。そのため、当該熱伸びが拘束されることによりコンベア本体に歪みが発生することをより確実に抑制することが可能となる。

一方、本発明の部品実装装置は、上述した何れかの基板搬送用コンベアと、部品を供給する部品供給部と、前記部品供給部から部品を吸着して取り出し、当該部品を前記基板搬送用コンベアが搬送する基板上に実装するヘッドと、を備えているものである。

この構成によれば、上記の通り、基板搬送用コンベアにより搬送される基板の位置決め精度が高度に保たれるので、基板に対する部品の実装精度を向上させる上で有利となる。

以上説明したように、本発明によれば、基板搬送用コンベアにより搬送される基板の位置決め精度をより高度に保つことができる。

本発明の第１実際形態に係る部品実装装置を示す平面図である。 コンベアの概略図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は左側面図、（ｃ）は右側面図である。 基板のフィデューシャルマークと各脚部との関係を示すコンベアの平面図である。 第２実施形態に係るコンベアの概略図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図である。 第２実施形態に係るコンベアの概略図であり、（ａ）は左側面図、（ｂ）は右側面図である。 第３実施形態に係るコンベアの正面図である。 第４実施形態に係るコンベアの概略図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は左側面図である。 変形例に係る第２脚部の断面図である。 変形例に係る第２脚部の断面図である。

以下、添付図面を参照しながら本発明の好ましい実施の一形態について詳述する。
（第１の実施形態）
図１は、本発明に係る部品実装装置（本発明に係る基板搬送用コンベアが使用された部品実装装置）を概略的に平面図で示している。

部品実装装置１は、基台２と、この基台２上で基板Ｐを搬送する基板搬送機構３と、ダイシングされたウエハＷが配置される部品供給部６と、この部品供給部６から部品（ダイチップ）を吸着して基板Ｐ上に実装（搭載）するヘッド５とを備えている。

基板搬送機構３は、基台２上において基板Ｐを所定の搬送方向Ｃｄ、当例ではＸ方向に搬送する一対のコンベア４を含む。これらコンベア４は、図１の右側（Ｘ１方向側）から基板Ｐを受け入れて所定の作業位置Ｗｐ（同図に示す位置）に搬送し、実装作業後は、この基板Ｐを図１の左側（Ｘ２方向側）に搬出する。各コンベア４は、基板Ｐを保持するクランプ機構１８（本発明の基板保持装置の一例）をそれぞれ備えており、実装作業中は、これらクランプ機構１８により基板Ｐを両側（Ｙ方向の両側）からクランプして作業位置Ｗｐに位置決め保持する。

上記部品供給部６にはウエハ供給装置７が設置されている。このウエハ供給装置７は、円盤状のシリコンウエハからなるウエハＷが碁盤目状にダイシングされることにより形成された多数のチップ状部品（ダイチップ）の集合体を供給するものである。詳しくは、ウエハ供給装置７は、ダイシングされたウエハＷ（以下、単にウエハＷという）を上下多段に収納するウエハ収納エレベータ１０と、基台２上であって当該ウエハ収納エレベータ１０の前方側（Ｙ２方向側）に位置するウエハステージ１１と、上記ウエハ収納エレベータ１０からウエハステージ１１上にウエハＷを引き出すための出し入れ機構１２を備えており、複数の種類のウエハＷをウエハステージ１１上に入れ替え可能に保持している。

ヘッド５は、Ｘ方向およびＹ方向に移動可能に支持されており、ヘッド駆動機構により、部品供給部６の上記ウエハステージ１１上に位置決めされたウエハＷの上方と、作業位置Ｗｐに保持された基板Ｐの上方とにわたって移動し得るように構成されている。具体的には、ヘッド駆動機構は、基台２上に設けられる一対の高架フレームにそれぞれ固定されてＹ方向に延びる一対の固定レール１５と、これら固定レール１５に支持されてＸ方向に延びるヘッド支持部材１６と、このヘッド支持部材１６に固定されてヘッド５をＸ方向に移動自在に支持する図外の固定レールと、サーボモータを駆動源として、ヘッド支持部材１６をＹ方向に、ヘッド５をＸ方向にそれぞれ移動させるねじ送り機構とを含む。つまり、ヘッド支持部材１６がＹ方向に、ヘッド５がＸ方向にそれぞれ移動することで、ウエハステージ１１および上記作業位置Ｗｐを含む一定領域内で、ヘッド５がＸ方向およびＹ方向に移動可能となっている。

図示を省略するが、ヘッド５は、部品（ダイチップ）を吸着可能な複数のノズルを備えており、これらノズルにより部品供給部６から部品を吸着して取り出し、当該部品を作業位置Ｗｐの基板Ｐ上に搬送して実装（搭載）する。

ヘッド５は、基板Ｐの上面に付されたフィデューシャルマークＰａ、Ｐｂ（以下、マークＰａ、Ｐｂと略す）を認識するための基板認識カメラ５ａ（以下、カメラ５ａと略す）を備えている。つまり、基板Ｐがクランプ機構１８により作業位置Ｗｐに保持されると、ヘッド５と共にカメラ５ａがマークＰａ、Ｐｂの上方まで移動してこれらを撮像し、その画像の位置に基づき基板Ｐの位置や姿勢（水平面内での傾き）が認識される。

当例では、基板Ｐは一般的な矩形（長方形又は正方形）の基板であり、マークＰａ、Ｐｂは基板Ｐの上面であってかつ当該基板Ｐの対角線上の互いに対向する一対の角部にそれぞれ付されている。２つのマークＰａ、Ｐｂのうち、搬送方向上流側（Ｘ１方向側）に位置するマークＰａは基板原点であり、当該基板Ｐは、このマークＰａを基準として定められた基板上の実装ポイント上に部品が実装される。つまり、上記カメラ５ａにより撮像された画像から認識されるマークＰａの位置および基板Ｐの姿勢に基づき、基板上の実装ポイント上に部品が実装されるようにヘッド５が制御される。

なお、図示を省略しているが、部品実装装置１は、外乱（気流等）による実装作業への影響や安全性の観点から基台２上がカバーで覆われている。このような構成では、作動中のカバー内部の雰囲気温度が、ヘッドの高速移動に伴う発熱等によって停止中よりも上昇し、この温度上昇によってコンベア４に歪みが生じて、作業位置Ｗｐにおける基板Ｐの位置決め精度が損なわれる虞がある。そこで、この部品実装装置１では、基板搬送機構３（コンベア４）について次のような構成が採用されている。

図２は、コンベア４を概略図に示しており、（ａ）は正面図、（ｂ）は左側面図、（ｃ）は右側面図でそれぞれコンベア４を示している。これらの図に示すように、コンベア４は、基板Ｐの搬送方向Ｃｄ、すなわちＸ方向に延びるコンベア本体２０と、Ｘ方向における互いに異なる位置でコンベア本体２０に固定されて当該コンベア４を支持する第１、第２の脚部２２Ａ、２２Ｂとを備えている。

コンベア本体２０は、Ｘ方向に延びるアルミ合金等の金属製のガイドフレーム２１と、このガイドフレーム２１に支持される複数のプーリと、これらプーリに掛け渡される無端状の搬送ベルトとを備え、モータにより上記プーリを介して搬送ベルトを駆動することで基板Ｐを搬送するいわゆるベルトコンベアである。

第１、第２の脚部２２Ａ、２２Ｂは、上記作業位置Ｗｐを中心としてＸ方向の互いに反対側に位置している。基板Ｐの搬送方向Ｃｄにおいて作業位置Ｗｐより上流側（Ｘ１方向側）に位置する第１脚部２２Ａは、コンベア本体２０を基台２上に固定的に支持する。一方、下流側に位置する第２脚部２２Ｂは、Ｘ方向への変位を許容する状態でコンベア本体２０を基台２上に支持する。詳しく説明すると、第１脚部２２Ａは、基台２に固定されてＸ方向に延びるレール部２４（本発明の固定部の一例）と、コンベア本体２０の上記ガイドフレーム２１に固定されてレール部２４に移動可能に支持される可動部２３とを備えている。可動部２３は、その下面に、レール部２４に沿って転がり案内されるスライダ２３ａを有しており、これによりレール部２４に移動自在に支持されている。なお、スライダ２３ａおよびレール部２４は、転がり案内装置として周知のいわゆるリニアガイド装置により構成されている。

このようなコンベア４の構成によると、コンベア本体２０は、第１脚部２２Ａを介して基台２上に固定的に支持されているものの、第２脚部２２Ｂを介してＸ方向への変位が許容される状態で基台２上に支持されているので、カバー内の雰囲気温度の上昇に伴いコンベア本体２０が長手方向（Ｘ方向）へ熱伸びすることが許容される。よって、コンベア本体２０の熱伸びに起因するコンベア本体２０の歪みの発生が効果的に抑制される。つまり、仮に第１、第２の脚部２２Ａ、２２Ｂが何れもコンベア本体２０を固定的に基台２上に支持するものであると、上記のようなコンベア本体２０の熱伸びが両脚部２２Ａ、２２Ｂによって拘束（規制）される結果、両脚部２２Ａ、２２Ｂの間でコンベア本体２０が上下方向或いは左右方向（Ｙ方向）に歪む、具体的には湾曲状に変形することが考えられるが、この実施形態のコンベア４によれば、コンベア本体２０の長手方向（Ｘ方向）への熱伸びが第２脚部２２Ｂによって許容されるため、当該熱伸びによるコンベア本体２０の歪みの発生が効果的に抑制される。従って、この部品実装装置１によれば、基板Ｐの生産が長期的に継続されるような場合でも、作業位置Ｗｐにおける基板Ｐの位置決め精度を高度に保つことができ、その結果、基板Ｐに対する部品の実装精度を良好に維持することができる。

特に、上記コンベア４は、作業位置Ｗｐを中心としてＸ方向の互いに反対側の位置に第１、第２の脚部２２Ａ、２２Ｂを備え、かつ作業位置Ｗｐよりも上流側（Ｘ１方向側）に第１脚部２２Ａが設けられている。換言すれば、第１脚部２２Ａおよび第２脚部２２Ｂは、図３に示すように、クランプ機構１８により保持された基板Ｐの原点であるマークＰａの位置と第１脚部２２Ａの位置、当例では第１脚部２２Ａの略中央位置Ｃａとを結んだＸ方向の直線距離Ｄ１が、マークＰａの位置と第２脚部２２Ｂの位置、当例では第２脚部２２Ｂの略中央位置Ｃｂとを結んだＸ方向の直線距離Ｄ２より小さくなる位置にそれぞれ設けられている。つまり、コンベア本体２０に生じる熱伸び量は第１脚部２２Ａから離れる（Ｘ２方向側）ほど大きくなるが、上記構成によれば、作業位置Ｗｐの基板Ｐは、その原点であるマークＰａが、コンベア本体２０のうち、第１脚部２２Ａ側、すなわち熱伸び量が比較的小さい側に位置するため、コンベア本体２０の熱伸びによるマークＰａの位置ずれが可及的に小さく抑えられることとなる。そのため、作業位置Ｗｐにおける基板Ｐの位置決め精度をより高度に保つことが可能になるという利点がある。

（第２の実施形態）
図４および図５は、第２実施形態に係るコンベア４（基板搬送機構３）を概略的に示しており、図４（ａ）は正面図、図４（ｂ）は平面図、図５（ａ）は左側面図、図５（ｂ）は右側面図でそれぞれコンベア４を示している。なお、以下の説明では、第１実施形態と同一の構成要素については同一符号を付して説明を省略又は簡略化し、第１実施形態との相違点について詳述する。後述する第３、第４の実施形態の説明についても同様である。

第２実施形態に係る基板搬送機構３は、基板Ｐのサイズに応じてコンベア４の間隔を変更可能に構成されている。具体的には、部品実装装置１の前側（Ｙ１方向側）に位置するコンベア４（便宜上、第１コンベア４Ａと称す）に対して、後側（Ｙ２方向側）に位置するコンベア４（便宜上、第２コンベア４Ｂと称す）を前後方向（Ｙ方向）に移動させることで、コンベア４Ａ、４Ａの間隔が変更可能となっている。詳細には以下の通りである。

図４及び図５に示すように、第１コンベア４Ａは、第１実施形態のコンベア４と同一の構成を有している。一方、第２コンベア４Ｂは、第１、第２の脚部２２Ａ、２２Ｂを有する点で第１実施形態のコンベア４と共通するが、これら第１、第２の脚部２２Ａ、２２Ｂの構成が以下の通り、第１実施形態のコンベア４と相違している。

第２コンベア４Ｂの第２脚部２２Ｂは、図４（ｂ）及び図５（ａ）に示すように、基台２に固定されてＹ方向に延びるレール部２６と、このレール部２６に移動可能に支持されるテーブル２５とを備えている。そして、テーブル２５上に、Ｘ方向に延びる前記レール部２４が固定され、コンベア本体２０（ガイドフレーム２１）に固定された可動部２３（スライダ２３ａ）がレール部２４によって支持されている。テーブル２５は、その下端部に、レール部２６に沿って転がり案内されるスライダ２５ａを有しており、これによりレール部２６に移動自在に支持されている。

一方、第１脚部２２Ａは、図４（ｂ）及び図５（ｂ）に示すように、基台２に固定されてＹ方向に延びるレール部２８と、コンベア本体２０のガイドフレーム２１に固定されてレール部２８に移動可能に支持される可動部２７とを備えている。可動部２７は、その下端部に、レール部２８に沿って転がり案内されるスライダ２７ａを有しており、これによりレール部２４に移動自在に支持されている。なお、スライダ２７ａおよびレール部２８、上記第２脚部２２Ｂのスライダ２５ａおよびレール部２６は、それぞれ、転がり案内装置として周知のいわゆるリニアガイド装置により構成されている。

このような、第２実施形態の構成によれば、第１脚部２２Ａのうちレール部２８以外の部分がＹ方向に移動するとともに、第２脚部２２Ｂのうちレール部２６以外の部分がＹ方向に移動するように第２コンベア４Ｂが構成されているので、第１コンベア４Ａと第２コンベア４Ｂとの間隔を容易に変更することができる。従って、この基板搬送機構３（コンベア４Ａ、４Ｂ）によれば、コンベア本体２０の長手方向（Ｘ方向）への熱伸びに起因するコンベア本体２０の歪みの発生を抑制するという第１実施形態の作用効果を享受しつつ、基板Ｐのサイズに応じてコンベア４Ａ、４Ｂの間隔を変更することが可能となる。

なお、第２コンベア４ＢのＹ方向の移動は、手動であってもよいし、例えばモータを駆動源とするねじ送り機構等によって移動させるようにしてもよい。また、第２コンベア４ＢのＹ方向の位置決めは、Ｙ方向の移動を任意の位置で規制するロック装置を各脚部２２Ａ、２２Ｂに設けて行うようにすればよい。

（第３の実施形態）
図６は、第３の実施形態にかかるコンベア４（基板搬送機構３）の概略的な正面図である。第３実施形態のコンベア４は、以下の点で第１実施形態のコンベア４と構成が相違している。すなわち、第３実施形態のコンベア４は、Ｘ方向におけるコンベア本体２０の略中央にクランプ機構１８が設けられるとともに第１脚部２２Ａが設けられており、この第１脚部２２Ａを基準として、Ｘ方向における上記作業位置Ｗｐの両外側の位置に第２、第３脚部２２Ｂ、２２Ｃが設けられている。なお、第３脚部２２Ｃの構成は、第２脚部２２Ｂの構成と同一である。

このような第３実施形態の構成によれば、クランプ機構１８により保持された基板Ｐを中心として、コンベア本体２０をその両側（Ｘ方向両側）に均等に熱伸びさせることが可能となるため、基板Ｐの位置を含むその近傍におけるコンベア本体２０の歪みを効果的に抑制することができる。そのため、作業位置Ｗｐに保持された基板Ｐの位置決め精度を保つうえでより有効となる。

（第４の実施形態）
図７は、第４実施形態のコンベア４（基板搬送機構３）を概略的に示しており、（ａ）は正面図で、（ｂ）は左側面図でそれぞれコンベア４を示している。

第４実施形態のコンベア４は、以下の点で第１実施形態のコンベア４と構成が相違している。すなわち、第４実施形態のコンベア４では、コンベア本体２０が、基板Ｐを搬送する基板搬送部３０と、その下方に配置されてＸ方向に延びる支持フレーム３２（本発明のフレーム部に相当する）と、この支持フレーム３２に固定されて、基板搬送部３０により搬送される基板Ｐを作業位置Ｗｐで保持する吸着装置３４（本発明に係る基板保持装置の一例）とを備えており、第１、第２の脚部２２Ａ、２２Ｂがそれぞれ支持フレーム部３２に固定されている。

基板搬送部３０は、第１実施形態のコンベア本体２０とほぼ同等の構成であり、ガイドフレーム２１、複数のプーリ、およびこれらプーリに掛け渡される無端状の搬送ベルトを備えており、搬送ベルトの駆動によって基板Ｐを搬送する。但し、基板搬送部３０にはクランプ機構１８は備えられておらず、代わりに、上記吸着装置３４が当該基板搬送部３０とは別に設けられている。

吸着装置３４は、上記の通り、基板Ｐを作業位置Ｗｐで保持するものである。具体的には、吸着装置３４は、作業位置Ｗｐに搬入された基板Ｐをその下側から吸引することで、当該基板Ｐを作業位置Ｗｐに保持する。

支持フレーム３２は、吸着装置３４を支持するものである。当例では、図７（ｂ）に示すように、各コンベア４に共通する単一の支持フレーム３２が設けられている。この支持フレーム３２は、基板搬送部３０のガイドフレーム２１と同一材料、つまりアルミ合金等の金属材料で構成されており、Ｘ方向における吸着装置３４の両側の位置でそれぞれ連結部３２ａを介して基板搬送部３０、具体的にはガイドフレーム２１に固定されている。

そして、Ｘ方向における吸着装置３４の両側の位置で、各コンベア４の第１、第２の脚部２２Ａ、２２Ｂが支持フレーム３２に固定されている。

このような、第４実施形態の構成によれば、作業位置Ｗｐにおいて基板Ｐをその下方から負圧吸着（吸引）した状態で保持することができるので、例えば比較的撓み易いフレキシブル基板等の基板Ｐについても、作業位置Ｗｐに安定的に保持することが可能となる。しかも、第４実施形態の構成によれば、カバー内の雰囲気温度の変化に伴い基板搬送部３０（ガイドフレーム２１）と支持フレーム３２とがＸ方向に熱伸びした場合でも、これらは同一材料で形成されていて熱伸びの量がほぼ同等であり、また支持フレーム３２の熱伸びは第２脚部２２Ｂによって許容される。そのため、基板Ｐを搬送するための基板搬送部３０とは別に支持フレーム３２を設け、この支持フレーム３２によって吸着装置３４を支持するように構成しながらも、上記熱伸びによるコンベア本体２０の歪みの発生を効果的に抑制することができる。

従って、第４実施形態の構成によれば、コンベア本体２０のＸ方向への熱伸びに起因するコンベア本体２０の歪みの発生を抑制するという第１実施形態の作用効果を享受しつつ、フレキシブル基板等の比較的撓み易い基板Ｐを作業位置Ｗｐに安定的に保持できるという利点がある。

（変形例）
なお、上述した第１〜第４実施形態の部品実装装置１は、本発明に係る部品実装装置（本発明に係る基板搬送用コンベアが適用された部品実装装置）の好ましい実施形態の例示であって、部品実装装置１の具体的な構成や、コンベア４（基板搬送機構３）の具体的な構成は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。

例えば、上記第１〜第４の実施形態では、第２脚部２２Ｂ（第３脚部２２Ｃ）のスライダ２３ａおよびレール部２４としてリニアガイド装置が適用されており、これにより可動部２３がレール部２４に沿って転がり案内される構成であるが、第２脚部２２Ｂは、熱伸びに伴うＸ方向への変位を許容する状態でコンベア本体２０を基台２上に支持できれば上記実施形態以外の構成であってもよい。具体的には、第２脚部２２Ｂは、図８に示すように、断面Ｖ溝型の滑り案内面４１を有するレール部２４と、前記滑り案内面４１に対応する断面山型の滑り案内面４２を有する可動部２３とを備えるものであってもよい。つまり、可動部２３がレール部２４に沿って滑り案内されるものであってもよい。このような構成によれば、リニアガイド装置を用いる上記実施形態の構成に比して、第２脚部２２Ｂの構成を簡素化および低廉化することが可能となる。

また、第２脚部２２Ｂは、図９に示すように、可動部２３がレール部２４に沿って静圧案内される構成であってもよい。すなわち、同図に示す第２脚部２２Ｂは、可動部２３の内部通路４４と、この内部通路４４とエア供給源４５とを繋ぐ配管４６と、この配管４６の途中に介設された開閉バルブ４８とを備えたエア供給機構４３（本発明の流体供給機構の一例）を備えており、開閉バルブ４８の制御に基づき、可動部２３とレール部２４との間に所定圧のエアを供給することで、可動部２３をレール部２４に沿って静圧案内するように構成されている。このような構成によれば、可動部２３とレール部２４との摩擦抵抗が軽減されるため、よりスムーズにコンベア本体２０を熱伸びさせることが可能となる。そのため、当該熱伸びが拘束（規制）されることによるコンベア本体２０の歪みの発生をより確実に抑制することが可能となる。

なお、上記第１〜第４実施形態では、ウエハＷから部品（ダイチップ）を吸着して基板Ｐ上に実装（搭載）するタイプの部品実装装置１に本発明を適用しているが、本発明は、いわゆるテープフィーダやトレイフィーダといった部品供給装置によって供給される部品を基板Ｐ上に実装するタイプの部品実装装置についても適用可能である。

また、上記第１〜第４実施形態では、本発明に係る基板搬送用コンベア（コンベア４）が部品実装装置１に適用された例について説明したが、本発明に係る基板搬送用コンベアは部品実装装置１に限らず、部品実装基板を生産するための他の装置、例えば印刷装置や基板検査装置にも適用可能である。

１ 部品実装装置
２ 基台
３ 基板搬送機構
４ コンベア（基板搬送用コンベア）
５ ヘッド
６ 部品供給部
１８ クランプ機構（基板保持装置）
２０ コンベア本体
２２Ａ 第１脚部
２２Ｂ 第２脚部
２２Ｃ 第３脚部
２３ 可動部
２４ レール部（固定部）
３０ 基板搬送部
３２ 支持フレーム（フレーム部）
３４ 吸着装置（基板保持装置）
４１、４２ 滑り案内面
４３ エア供給機構（流体供給機構）
Ｃａ 第１脚部の略中央位置
Ｃｂ 第２脚部の略中央位置
Ｃｄ 搬送方向
Ｄ１、Ｄ２ 直線距離
Ｐ 基板
Ｐａ フィデューシャルマーク（原点）
Ｗｐ 作業位置

Claims (10)

1. 基台上に支持されて、基板を搬送する基板搬送用のコンベアであって、
   基板の搬送方向に延びるコンベア本体と、
   前記搬送方向における互いに異なる位置でそれぞれ前記コンベア本体に固定され、当該コンベア本体を基台上に固定的に支持する第１脚部、および前記搬送方向への変位を許容する状態で当該コンベア本体を基台上に支持する第２脚部と、を備えることを特徴とする基板搬送用コンベア。
2. 請求項１に記載の基板搬送用コンベアにおいて、
   前記コンベア本体により搬送される基板を所定の作業位置で保持する基板保持装置を含む、ことを特徴とする基板搬送用コンベア。
3. 請求項２に記載の基板搬送用コンベアにおいて、
   前記第１脚部を基準として前記搬送方向における反第２脚部側の位置でコンベア本体に固定され、前記搬送方向への変位を許容する状態で当該コンベア本体を基台上に支持する第３脚部をさらに備えている、ことを特徴とする基板搬送用コンベア。
4. 請求項３に記載の基板搬送用コンベアにおいて、
   前記基板保持装置は、コンベア本体に設けられ、
   前記第１脚部は、基板保持装置により保持される基板の前記搬送方向におけるコンベア本体の略中央で当該コンベア本体に固定されている、ことを特徴とする基板搬送用コンベア。
5. 請求項２乃至４の何れか一項に記載の基板搬送用コンベアにおいて、
   前記コンベア本体は、基板を搬送する基板搬送部と、この基板搬送部に固定されて当該基板搬送部の下方で前記搬送方向に延びかつ前記基板保持装置が固定されたフレーム部とを含み、
   前記第１脚部および前記第２脚部は、前記フレーム部に固定されている、ことを特徴とする基板搬送用コンベア。
6. 請求項２乃至５の何れか一項に記載の基板搬送用コンベアにおいて、
   前記基板は、基板上の位置基準となる原点を有するものであり、
   前記第１脚部および第２脚部は、基板保持装置により保持された基板の前記原点の位置と第１脚部の略中央位置とを結んだ前記搬送方向の直線距離が、前記原点の位置と第２脚部の略中央位置とを結んだ前記搬送方向の直線距離より小さくなる位置にそれぞれ設けられている、ことを特徴とする基板搬送用コンベア。
7. 請求項１乃至６の何れか一項に記載の基板搬送用コンベアにおいて、
   前記第２脚部は、コンベア本体に固定される可動部と、基台に固定されて前記可動部を前記搬送方向へ移動可能に支持する固定部とを備えている、ことを特徴とする基板搬送用コンベア。
8. 請求項７に記載の基板搬送用コンベアにおいて、
   可動部および固定部は、前記搬送方向へのコンベア本体の変位を許容する滑り案内面を介して互いに当接していることを特徴とする基板搬送用コンベア。
9. 請求項７に記載の基板搬送用コンベアにおいて、
   前記第２脚部は、可動部と固定部との間に、可動部を静圧案内するための所定圧の流体を供給する流体供給機構を備える、ことを特徴とする基板搬送用コンベア。
10. 請求項１乃至９の何れか一項に記載の基板搬送用コンベアと、
    部品を供給する部品供給部と、
    前記部品供給部から部品を吸着して取り出し、当該部品を前記基板搬送用コンベアが搬送する基板上に実装するヘッドと、を備えていることを特徴とする部品実装装置。

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