WO2015037709A1

WO2015037709A1 - 金属板、金属板の製造方法、および金属板を用いてマスクを製造する方法

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Publication number: WO2015037709A1
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Abstract

　良好な搬送性を有する金属板を提供することを目的とする。金属板の幅方向の中央部分における急峻度の最大値は、０．４％以下になっている。また、中央部分における急峻度の最大値は、一端側部分における急峻度の最大値以下になっており、かつ、他端側部分における急峻度の最大値以下になっている。さらに、一端側部分における急峻度の最大値と、他端側部分における急峻度の最大値と、の差は、０．４％以下になっている。

Description

金属板、金属板の製造方法、および金属板を用いてマスクを製造する方法

　本発明は、複数の貫通孔を形成してマスクを製造するために用いられる金属板に関する。また本発明は、金属板の製造方法に関する。また本発明は、複数の貫通孔が形成されたマスクを、金属板を用いて製造する方法に関する。

　近年、スマートフォンやタブレットＰＣ等の持ち運び可能なデバイスで用いられる表示装置に対して、高精細であること、例えば画素密度が３００ｐｐｉ以上であることが求められている。また、持ち運び可能なデバイスにおいても、フルハイビジョンに対応することへの需要が高まっており、この場合、表示装置の画素密度が例えば４５０ｐｐｉ以上であることが求められる。

　応答性の良さや消費電力の低さのため、有機ＥＬ表示装置が注目されている。有機ＥＬ表示装置の画素を形成する方法として、所望のパターンで配列された貫通孔を含む蒸着マスクを用い、所望のパターンで画素を形成する方法が知られている。具体的には、はじめに、有機ＥＬ表示装置用の基板に対して蒸着マスクを密着させ、次に、密着させた蒸着マスクおよび基板を共に蒸着装置に投入し、有機材料などの蒸着を行う。蒸着マスクは一般に、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングによって金属板に貫通孔を形成することにより、製造され得る（例えば、特許文献１）。例えば、はじめに、金属板上にレジスト膜を形成し、次に、レジスト膜に露光マスクを密着させた状態でレジスト膜を露光してレジストパターンを形成し、その後、金属板のうちレジストパターンによって覆われていない領域をエッチングすることにより、貫通孔が形成される。

特開２００４－３９３１９号公報

　蒸着マスクを用いて蒸着材料を基板上に成膜する場合、基板だけでなく蒸着マスクにも蒸着材料が付着する。例えば、蒸着材料の中には、蒸着マスクの法線方向に対して大きく傾斜した方向に沿って基板に向かうものも存在するが、そのような蒸着材料は、基板に到達するよりも前に蒸着マスクの貫通孔の壁面に到達して付着する。この場合、基板のうち蒸着マスクの貫通孔の壁面の近傍に位置する領域には蒸着材料が付着しにくくなり、この結果、付着する蒸着材料の厚みが他の部分に比べて小さくなってしまったり、蒸着材料が付着していない部分が生じてしまったりすることが考えられる。すなわち、蒸着マスクの貫通孔の壁面の近傍における蒸着が不安定になってしまうことが考えられる。従って、有機ＥＬ表示装置の画素を形成するために蒸着マスクが用いられる場合、画素の寸法精度や位置精度が低下してしまい、この結果、有機ＥＬ表示装置の発光効率が低下してしまうことになる。

　このような課題を解決するため、蒸着マスクを製造するために用いられる金属板の厚みを小さくすることが考えられる。なぜなら、金属板の厚みを小さくすることによって、蒸着マスクの貫通孔の壁面の高さを小さくすることができ、このことにより、蒸着材料のうち貫通孔の壁面に付着するものの比率を低くすることができるからである。しかしながら、厚みの小さな金属板を得るためには、母材を圧延して金属板を製造する際の圧延率を大きくする必要がある。ここで圧延率とは、（母材の厚み－金属板の厚み）／（母材の厚み）によって算出される値のことである。圧延後にアニールなどの熱処理を施した場合であっても、通常、圧延率が大きいほど、圧延に基づく変形の不均一さの程度が大きくなる。例えば、幅方向（母材の搬送方向に直交する方向）の位置に応じて金属板の伸び率が異なり、この結果、金属板に波打ち形状が現れることが知られている。具体的には、耳伸びと呼ばれる、幅方向の端部における波打ち形状や、中伸びと呼ばれる、幅方向の中央部における波打ち形状が挙げられる。このような波打ち形状が現れると、ロールトゥロールで金属板を搬送する際、金属板に加えられる引っ張り応力が幅方向で不均一になり、この結果、搬送不良が生じやすくなってしまうことが考えられる。搬送不良が生じると、金属板から蒸着マスクを製造する工程の効率が低下してしまうことや、蒸着マスクの歩留りが低下してしまうことになる。このような課題は、従来技術、例えば上述の特許文献１においては認識されていないものである。

　ところで、板材に生じる上述の波打ち形状の程度を表す指標として、急峻度が知られている。急峻度とは、板材の波打ち形状の周期に対する、波打ち形状の高さの百分率のことである。例えば特開平７－２２７６２０号公報においては、ハーフエッチングした場合の反りを抑制するため、圧延材の急峻度を１％以下にすることが提案されている。また特開平１１－５７８１２号公報においては、板材の平坦度を表す指標として急峻度を採用し、急峻度が１．５％を超えた場合に、伸び率１．０％以内でレベラー通板を施すことが提案されている。また特開２００３－２８６５２７号公報においては、リードフレーム材料として十分な平坦な形状を有する銅または銅合金を、急峻度０．５％という指標に基づいて選別することが提案されている。しかしながら、これらの文献には、急峻度を板材の幅方向の各位置で評価するという思想は開示されていない。このため、これらの文献において提案されている、急峻度に関するアプローチによっては、板材の搬送中に生じる搬送不良を十分に抑制することができないと考えられる。なお、これらの文献は、蒸着マスクなどのマスクに関するものではなく、また、蒸着マスクを構成する材料として一般に用いられるインバー材に関するものでもない。

　本発明は、このような課題を考慮してなされたものであり、蒸着マスクなどのマスクを製造するために用いられる金属板であって、安定に搬送され得る金属板を提供することを目的とする。また本発明は、金属板の製造方法およびマスクの製造方法を提供することを目的とする。

　本発明は、複数の貫通孔を形成してマスクを製造するために用いられる金属板の製造方法であって、
　前記マスクの前記貫通孔は、搬送されている長尺状の前記金属板をエッチングすることによって形成されるものであり、
　前記金属板の製造方法は、
　母材を圧延して前記金属板を得る圧延工程と、
　前記金属板の幅方向における一端および他端を所定範囲にわたって切り落とす切断工程と、を備え、
　前記切断工程後の前記金属板は、その長手方向における長さがその幅方向の位置に応じて異なることに起因する波打ち形状を少なくとも部分的に有しており、
　前記切断工程後の前記金属板の前記波打ち形状の前記長手方向における周期に対する、前記波打ち形状の高さの百分率を急峻度と称する場合、以下の条件（１）～（３）が満たされており、
　（１）前記切断工程後の前記金属板の幅方向の中央部分における急峻度の最大値が、０．４％以下であること；
　（２）前記中央部分における急峻度の最大値が、前記切断工程後の前記金属板の幅方向の一端側部分における急峻度の最大値以下であり、かつ、前記切断工程後の前記金属板の幅方向の他端側部分における急峻度の最大値以下であること；および、
　（３）前記一端側部分における急峻度の最大値と、前記他端側部分における急峻度の最大値と、の差が０．４％以下であること；
　前記一端側部分、前記中央部分および前記他端側部分はそれぞれ、前記切断工程後の前記金属板の幅の３０％、４０％および３０％を占める部分である、金属板の製造方法である。

　本発明による金属板の製造方法において、前記金属板から製造される前記マスクは、所望のパターンで蒸着を行うために用いられる蒸着マスクであってもよい。

　本発明による金属板の製造方法において、前記切断工程において切断される前記金属板の一端側の範囲および他端側の範囲は、前記切断工程の前に実施される、前記金属板の前記波打ち形状の観察工程の結果に基づいて決定されてもよい。

　本発明による金属板の製造方法は、前記圧延工程によって得られた前記金属板をアニールして、前記金属板の内部応力を除去するアニール工程をさらに備えていてもよい。この場合、前記アニール工程は、前記圧延された母材を長手方向に引っ張りながら実施されてもよい。

　本発明による金属板の製造方法において、前記母材が、インバー材から構成されていてもよい。

　本発明は、複数の貫通孔を形成してマスクを製造するために用いられる金属板であって、
　前記マスクの前記貫通孔は、搬送されている長尺状の前記金属板をエッチングすることによって形成されるものであり、
　前記金属板は、その長手方向における長さがその幅方向の位置に応じて異なることに起因する波打ち形状を少なくとも部分的に有しており、
　前記金属板の前記波打ち形状の前記長手方向における周期に対する、前記波打ち形状の高さの百分率を急峻度と称する場合、以下の条件（１）～（３）が満たされており、
　（１）前記金属板の幅方向の中央部分における急峻度の最大値が、０．４％以下であること；
　（２）前記中央部分における急峻度の最大値が、前記金属板の幅方向の一端側部分における急峻度の最大値以下であり、かつ、前記金属板の幅方向の他端側部分における急峻度の最大値以下であること；および、
　（３）前記一端側部分における急峻度の最大値と、前記他端側部分における急峻度の最大値と、の差が０．４％以下であること；
　前記一端側部分、前記中央部分および前記他端側部分はそれぞれ、前記金属板の幅の３０％、４０％および３０％を占める部分である、金属板である。

　本発明による金属板から製造される前記マスクは、所望のパターンで蒸着を行うために用いられる蒸着マスクであってもよい。

　本発明による金属板は、インバー材から構成されていてもよい。

　本発明は、複数の貫通孔が形成されたマスクを製造する方法であって、
　その長手方向における長さがその幅方向の位置に応じて異なることに起因する波打ち形状を少なくとも部分的に有する金属板を準備する工程と、
　前記金属板上にレジストパターンを形成するレジストパターン形成工程と、
　前記金属板のうち前記レジストパターンによって覆われていない領域をエッチングし、前記金属板に、前記貫通孔を画成するようになる凹部を形成するエッチング工程と、を備え、
　前記金属板の前記波打ち形状の前記長手方向における周期に対する、前記波打ち形状の高さの百分率を急峻度と称する場合、以下の条件（１）～（３）が満たされており、
　（１）前記金属板の幅方向の中央部分における急峻度の最大値が、０．４％以下であること；
　（２）前記中央部分における急峻度の最大値が、前記金属板の幅方向の一端側部分における急峻度の最大値以下であり、かつ、前記金属板の幅方向の他端側部分における急峻度の最大値以下であること；および、
　（３）前記一端側部分における急峻度の最大値と、前記他端側部分における急峻度の最大値と、の差が０．４％以下であること；
　前記一端側部分、前記中央部分および前記他端側部分はそれぞれ、前記金属板の幅の３０％、４０％および３０％を占める部分である、マスクの製造方法である。

　本発明によるマスクの製造方法において、前記マスクは、所望のパターンで蒸着を行うために用いられる蒸着マスクであってもよい。この場合、前記蒸着マスクは、複数の貫通孔が形成された有効領域と、前記有効領域の周囲に位置する周囲領域と、を備えていてもよい。また、前記エッチング工程は、前記金属板のうち前記レジストパターンによって覆われていない領域をエッチングし、前記有効領域をなすようになる前記金属板の領域内に、前記貫通孔を画成するようになる凹部を形成するものであってもよい。

　本発明によるマスクの製造方法において、前記レジストパターン形成工程は、
　前記金属板上にレジスト膜を形成する工程と、前記レジスト膜に露光マスクを真空密着させる工程と、前記露光マスクを介して前記レジスト膜を所定のパターンで露光する工程と、を有していてもよい。

　本発明によるマスクの製造方法において、前記金属板が、インバー材から構成されていてもよい。

　本発明によれば、マスクの製造工程において安定に搬送され得る金属板を選別することができる。

図１は、本発明の一実施の形態を説明するための図であって、蒸着マスクを含む蒸着マスク装置の一例を示す概略平面図である。図２は、図１に示す蒸着マスク装置を用いて蒸着する方法を説明するための図である。図３は、図１に示された蒸着マスクを示す部分平面図である。図４は、図３のＩＶ－ＩＶ線に沿った断面図である。図５は、図３のＶ－Ｖ線に沿った断面図である。図６は、図３のＶＩ－ＶＩ線に沿った断面図である。図７（ａ）は、母材を圧延して、所望の厚さを有する金属板を得る工程を示す図であり、図７（ｂ）は、圧延によって得られた金属板をアニールする工程を示す図である。図８は、図７（ａ）（ｂ）に示す工程によって得られた金属板を示す斜視図である。図９（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）はそれぞれ、図８のａ－ａ線、ｂ－ｂ線、ｃ－ｃ線およびｄ－ｄ線に沿った断面図である。図１０は、金属板の幅方向の各位置における急峻度を示す図である。図１１は、図１に示す蒸着マスクの製造方法の一例を全体的に説明するための模式図である。図１２は、蒸着マスクの製造方法の一例を説明するための図であって、金属板上にレジスト膜を形成する工程を示す断面図である。図１３は、蒸着マスクの製造方法の一例を説明するための図であって、レジスト膜に露光マスクを密着させる工程を示す断面図である。図１４は、蒸着マスクの製造方法の一例を説明するための図であって、法線方向に沿った断面において長尺金属板を示す図である。図１５は、蒸着マスクの製造方法の一例を説明するための図であって、法線方向に沿った断面において長尺金属板を示す図である。図１６は、蒸着マスクの製造方法の一例を説明するための図であって、法線方向に沿った断面において長尺金属板を示す図である。図１７は、蒸着マスクの製造方法の一例を説明するための図であって、法線方向に沿った断面において長尺金属板を示す図である。図１８は、蒸着マスクの製造方法の一例を説明するための図であって、法線方向に沿った断面において長尺金属板を示す図である。図１９は、蒸着マスクの製造方法の一例を説明するための図であって、法線方向に沿った断面において長尺金属板を示す図である。図２０は、蒸着マスクの製造方法の一例を説明するための図であって、法線方向に沿った断面において長尺金属板を示す図である。図２１は、定盤に載置された第１サンプルを示す平面図。図２２は、第１巻き体から得られる第１形態の長尺金属板を示す平面図。図２３は、第１巻き体から得られる第２形態の長尺金属板を示す平面図。図２４は、第１～第２０巻き体から切り出された第１～第２０サンプルにおける急峻度の測定結果を示す図。図２５は、第１～第２０巻き体から得られた第１形態の長尺金属板における、搬送性能の評価結果を示す図。図２６は、第１～第２０巻き体から得られた第２形態の長尺金属板における、搬送性能の評価結果を示す図。

　以下、図面を参照して本発明の一実施の形態について説明する。なお、本件明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。

　図１～図２０は、本発明による一実施の形態を説明するための図である。以下の実施の形態およびその変形例では、有機ＥＬ表示装置を製造する際に有機材料を所望のパターンで基板上にパターニングするために用いられる蒸着マスクの製造方法を例にあげて説明する。ただし、このような適用に限定されることなく、種々の用途に用いられる蒸着マスクの製造方法に対し、本発明を適用することができる。

　なお、本明細書において、「板」、「シート」、「フィルム」の用語は、呼称の違いのみに基づいて、互いから区別されるものではない。例えば、「板」はシートやフィルムと呼ばれ得るような部材も含む概念であり、したがって、例えば「金属板」は、「金属シート」や「金属フィルム」と呼ばれる部材と呼称の違いのみにおいて区別され得ない。

　また、「板面（シート面、フィルム面）」とは、対象となる板状（シート状、フィルム状）の部材を全体的かつ大局的に見た場合において対象となる板状部材（シート状部材、フィルム状部材）の平面方向と一致する面のことを指す。また、板状（シート状、フィルム状）の部材に対して用いる法線方向とは、当該部材の板面（シート面、フィルム面）に対する法線方向のことを指す。

　さらに、本明細書において用いる、形状や幾何学的条件および物理的特性並びにそれらの程度を特定する、例えば、「平行」、「直交」、「同一」、「同等」等の用語や長さや角度並びに物理的特性の値等については、厳密な意味に縛られることなく、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈することとする。

　（蒸着マスク装置）
　まず、製造方法対象となる蒸着マスクを含む蒸着マスク装置の一例について、主に図１～図６を参照して説明する。ここで、図１は、蒸着マスクを含む蒸着マスク装置の一例を示す平面図であり、図２は、図１に示す蒸着マスク装置の使用方法を説明するための図である。図３は、蒸着マスクを第１面の側から示す平面図であり、図４～図６は、図３の各位置における断面図である。

　図１及び図２に示された蒸着マスク装置１０は、略矩形状の金属板２１からなる複数の蒸着マスク２０と、複数の蒸着マスク２０の周縁部に取り付けられたフレーム１５と、を備えている。各蒸着マスク２０には、互いに対向する第１面２１ａおよび第２面２１ｂを有する金属板２１を少なくとも第１面２１ａからエッチングすることにより形成された貫通孔２５が、多数設けられている。この蒸着マスク装置１０は、図２に示すように、蒸着マスク２０が蒸着対象物である基板、例えばガラス基板９２の下面に対面するようにして蒸着装置９０内に支持され、基板への蒸着材料の蒸着に使用される。

　蒸着装置９０内では、不図示の磁石からの磁力によって、蒸着マスク２０とガラス基板９２とが密着するようになる。蒸着装置９０内には、蒸着マスク装置１０の下方に、蒸着材料（一例として、有機発光材料）９８を収容するるつぼ９４と、るつぼ９４を加熱するヒータ９６とが配置されている。るつぼ９４内の蒸着材料９８は、ヒータ９６からの加熱により、気化または昇華してガラス基板９２の表面に付着するようになる。上述したように、蒸着マスク２０には多数の貫通孔２５が形成されており、蒸着材料９８はこの貫通孔２５を介してガラス基板９２に付着する。この結果、蒸着マスク２０の貫通孔２５の位置に対応した所望のパターンで、蒸着材料９８がガラス基板９２の表面に成膜される。

　上述したように、本実施の形態では、貫通孔２５が各有効領域２２において所定のパターンで配置されている。なお、カラー表示を行いたい場合には、貫通孔２５の配列方向（前述の一方向）に沿って蒸着マスク２０（蒸着マスク装置１０）とガラス基板９２とを少しずつ相対移動させ、赤色用の有機発光材料、緑色用の有機発光材料および青色用の有機発光材料を順に蒸着させていってもよい。

　なお、蒸着マスク装置１０のフレーム１５は、矩形状の蒸着マスク２０の周縁部に取り付けられている。フレーム１５は、蒸着マスク２０が撓んでしまうことがないように蒸着マスクを張った状態に保持する。蒸着マスク２０とフレーム１５とは、例えばスポット溶接により互いに対して固定されている。

　蒸着処理は、高温雰囲気となる蒸着装置９０の内部で実施される。従って、蒸着処理の間、蒸着装置９０の内部に保持される蒸着マスク２０、フレーム１５および基板９２も加熱される。この際、蒸着マスク、フレーム１５および基板９２は、各々の熱膨張係数に基づいた寸法変化の挙動を示すことになる。この場合、蒸着マスク２０やフレーム１５と基板９２の熱膨張係数が大きく異なっていると、それらの寸法変化の差異に起因した位置ずれが生じ、この結果、基板９２上に付着する蒸着材料の寸法精度や位置精度が低下してしまう。このような課題を解決するため、蒸着マスク２０およびフレーム１５の熱膨張係数が、基板９２の熱膨張係数と同等の値であることが好ましい。例えば、基板９２としてガラス基板９２が用いられる場合、蒸着マスク２０およびフレーム１５の材料として、鉄に所定量のニッケルを、例えば３６質量％のニッケルを加えた鉄合金であるインバー材を用いることができる。

　（蒸着マスク）
　次に、蒸着マスク２０について詳細に説明する。図１に示すように、本実施の形態において、蒸着マスク２０は、金属板２１からなり、平面視において略四角形形状、さらに正確には平面視において略矩形状の輪郭を有している。蒸着マスク２０の金属板２１は、規則的な配列で貫通孔２５が形成された有効領域２２と、有効領域２２を取り囲む周囲領域２３と、を含んでいる。周囲領域２３は、有効領域２２を支持するための領域であり、基板へ蒸着されることを意図された蒸着材料が通過する領域ではない。例えば、有機ＥＬ表示装置用の有機発光材料の蒸着に用いられる蒸着マスク２０においては、有効領域２２は、有機発光材料が蒸着して画素を形成するようになる基板（ガラス基板９２）上の区域、すなわち、作製された有機ＥＬ表示装置用基板の表示面をなすようになる基板上の区域に対面する、蒸着マスク２０内の領域のことである。ただし、種々の目的から、周囲領域２３に貫通孔や凹部が形成されていてもよい。図１に示された例において、各有効領域２２は、平面視において略四角形形状、さらに正確には平面視において略矩形状の輪郭を有している。

　図示された例において、蒸着マスク２０の複数の有効領域２２は、蒸着マスク２０の長手方向と平行な一方向に沿って所定の間隔を空けて一列に配列されている。図示された例では、一つの有効領域２２が一つの有機ＥＬ表示装置に対応するようになっている。すなわち、図１に示された蒸着マスク装置１０（蒸着マスク２０）によれば、多面付蒸着が可能となっている。

　図３に示すように、図示された例において、各有効領域２２に形成された複数の貫通孔２５は、当該有効領域２２において、互いに直交する二方向に沿ってそれぞれ所定のピッチで配列されている。この金属板２１に形成された貫通孔２５の一例について、図３～図６を主に参照して更に詳述する。

　図４～図６に示すように、複数の貫通孔２５は、蒸着マスク２０の法線方向に沿った一方の側となる第１面２０ａと、蒸着マスク２０の法線方向に沿った他方の側となる第２面２０ｂと、の間を延びて、蒸着マスク２０を貫通している。図示された例では、後に詳述するように、蒸着マスクの法線方向における一方の側となる金属板２１の第１面２１ａの側から金属板２１に第１凹部３０がエッチングによって形成され、金属板２１の法線方向における他方の側となる第２面２１ｂの側から金属板２１に第２凹部３５が形成され、この第１凹部３０および第２凹部３５によって貫通孔２５が形成されている。

　図３～図６に示すように、蒸着マスク２０の第１面２０ａの側から第２面２０ｂの側へ向けて、蒸着マスク２０の法線方向に沿った各位置における蒸着マスク２０の板面に沿った断面での各第１凹部３０の断面積は、しだいに小さくなっていく。図３に示すように、第１凹部３０の壁面３１は、その全領域において蒸着マスク２０の法線方向に対して交差する方向に延びており、蒸着マスク２０の法線方向に沿った一方の側に向けて露出している。同様に、蒸着マスク２０の法線方向に沿った各位置における蒸着マスク２０の板面に沿った断面での各第２凹部３５の断面積は、蒸着マスク２０の第２面２０ｂの側から第１面２０ａの側へ向けて、しだいに小さくなっていてもよい。第２凹部３５の壁面３６は、その全領域において蒸着マスク２０の法線方向に対して交差する方向に延びており、蒸着マスク２０の法線方向に沿った他方の側に向けて露出している。

　なお、図４～図６に示すように、第１凹部３０の壁面３１と、第２凹部３５の壁面３６とは、周状の接続部４１を介して接続されている。接続部４１は、蒸着マスクの法線方向に対して傾斜した第１凹部３０の壁面３１と、蒸着マスクの法線方向に対して傾斜した第２凹部３５の壁面３６とが合流する張り出し部の稜線によって、画成されている。そして、接続部４１は、蒸着マスク２０の平面視において最も貫通孔２５の面積が小さくなる貫通部４２を画成する。

　図４～図６に示すように、蒸着マスクの法線方向に沿った他方の側の面、すなわち、蒸着マスク２０の第２面２０ｂ上において、隣り合う二つの貫通孔２５は、蒸着マスクの板面に沿って互いから離間している。すなわち、後述する製造方法のように、蒸着マスク２０の第２面２０ｂに対応するようになる金属板２１の第２面２１ｂ側から当該金属板２１をエッチングして第２凹部３５を作製する場合、隣り合う二つの第２凹部３５の間に金属板２１の第２面２１ｂが残存するようになる。

　一方、図４～図６に示すように、蒸着マスクの法線方向に沿った一方の側、すなわち、蒸着マスク２０の第１面２０ａの側において、隣り合う二つの第１凹部３０が接続されている。すなわち、後述する製造方法のように、蒸着マスク２０の第１面２０ａに対応するようになる金属板２１の第１面２１ａ側から当該金属板２１をエッチングして第１凹部３０を形成する場合、隣り合う二つの第１凹部３０の間に、金属板２１の第１面２１ａが残存しないようになる。すなわち、金属板２１の第１面２１ａは、有効領域２２の全域にわたってエッチングされている。このような第１凹部３０によって形成される蒸着マスク２０の第１面２０ａによれば、図２に示すように蒸着マスク２０の第１面２０ａが蒸着材料９８に対面するようにしてこの蒸着マスク２０を用いた場合に、蒸着材料９８の利用効率を効果的に改善することができる。

　図２に示すようにして蒸着マスク装置１０が蒸着装置９０に収容された場合、図４に二点鎖線で示すように、蒸着マスク２０の第１面２０ａが蒸着材料９８を保持したるつぼ９４側に位置し、蒸着マスク２０の第２面２０ｂがガラス基板９２に対面する。したがって、蒸着材料９８は、次第に断面積が小さくなっていく第１凹部３０を通過してガラス基板９２に付着する。図４に矢印で示すように、蒸着材料９８は、るつぼ９４からガラス基板９２に向けてガラス基板９２の法線方向に沿って移動するだけでなく、ガラス基板９２の法線方向に対して大きく傾斜した方向に移動することもある。このとき、蒸着マスク２０の厚みが大きいと、斜めに移動する蒸着材料９８の多くは、貫通孔２５を通ってガラス基板９２に到達するよりも前に、第１凹部３０の壁面３１に到達して付着する。この場合、ガラス基板９２上の貫通孔２５に対面する領域内には、蒸着材料９８が到達しやすい領域と到達しにくい部分が生じてしまう。従って、蒸着材料の利用効率（成膜効率：ガラス基板９２に付着する割合）を高めて高価な蒸着材料を節約し、且つ、高価な蒸着材料を用いた成膜を所望の領域内に安定してむらなく実施するためには、斜めに移動する蒸着材料９８を可能な限りガラス基板９２に到達させるように蒸着マスク２０を構成することが重要になる。すなわち、蒸着マスク２０のシート面に直交する図４～図６の断面において、貫通孔２５の最小断面積を持つ部分となる接続部４１と、第１凹部３０の壁面３１の他の任意の位置と、を通過する直線Ｌ１が、蒸着マスク２０の法線方向に対してなす最小角度θ１（図４参照）を、十分に大きくすることが有利となる。

　角度θ１を大きくするための方法の１つとして、蒸着マスク２０の厚みを小さくし、これによって、第１凹部３０の壁面３１や第２凹部３５の壁面３６の高さを小さくすることが考えられる。すなわち、蒸着マスク２０を構成するための金属板２１として、蒸着マスク２０の強度を確保できる範囲内で可能な限り厚みの小さな金属板２１を用いることが好ましいと言える。

　角度θ１を大きくするためのその他の方法として、第１凹部３０の輪郭を最適化することも考えられる。たとえば本実施の形態によれば、隣り合う二つの第１凹部３０の壁面３１が合流することにより、他の凹部と合流していない点線で示された壁面（輪郭）を有する凹部と比較して、この角度θ１を大幅に大きくすることができている（図４参照）。以下、その理由について説明する。

　第１凹部３０は、後に詳述するように、金属板２１の第１面２１ａをエッチングすることにより形成される。エッチングによって形成される凹部の壁面は、一般的に、浸食方向に向けて凸となる曲面状となる。したがって、エッチングによって形成された凹部の壁面３１は、エッチングの開始側となる領域において切り立ち、エッチングの開始側とは反対側となる領域、すなわち凹部の最も深い側においては、金属板２１の法線方向に対して比較的に大きく傾斜するようになる。一方、図示された蒸着マスク２０では、隣り合う二つの第１凹部３０の壁面３１が、エッチングの開始側において合流しているので、二つの第１凹部３０の壁面３１の先端縁３２が合流する部分４３の外輪郭が、切り立った形状ではなく、面取された形状となっている。このため、貫通孔２５の大部分をなす第１凹部３０の壁面３１を、蒸着マスクの法線方向に対して効果的に傾斜させることができる。すなわち角度θ１を大きくすることができる。これにより、蒸着材料９８の利用効率を効果的に改善しながら、所望のパターンでの蒸着を高精度に安定して実施することができる。

　（材料）
　以下、上述の蒸着マスク２０を構成するための材料（金属板）について説明する。蒸着マスク２０を構成する枚葉状の金属板２１は、後述するように、はじめに、母材を圧延することによって作製される長尺状の金属板（以下、長尺金属板とも称する）から得られる。従って、厚みの小さな金属板２１を得るためには、母材を圧延して長尺金属板を製造する際の圧延率を大きくする必要がある。しかしながら、圧延率が大きいほど、圧延に基づく変形の不均一さの程度が大きくなる。例えば、幅方向（母材の搬送方向に直交する方向）の位置に応じて長尺金属板の伸び率が異なり、この結果、上述の波打ち形状が長尺金属板に現れることがある。

　長尺金属板に貫通孔を形成するエッチング工程は、一般に、ロールトゥロールで搬送されている長尺金属板に対して実施される。このため、エッチング工程を効率良く実施するためには、長尺金属板の搬送性が優れていることが好ましい。しかしながら、長尺金属板の厚みが小さくなるにつれて一般に、長尺金属板の搬送は困難になる。例えば、長尺金属板の搬送方向が、理想的な搬送方向からずれる「寄り」や、長尺金属板に引っ張り応力を加えた時に長尺金属板がその長手方向に沿って折れてしまう「座屈折れ」などが、長尺金属板の厚みが小さくなるにつれて生じやすくなる。座屈折れは、長尺金属板の搬送方向を転換するためのローラーなどを起点にして特に生じやすい。また、上述の波打ち形状が長尺金属板に生じていると、寄りや座屈折れがさらに生じやすくなると考えられる。なぜなら、波打ち形状が生じていると、長尺金属板の搬送方向を転換するためのローラーが長尺金属板に対して及ぼす圧力が幅方向において不均一になるからである。圧力がかからない部位では、ローラーから長尺金属板自体が浮き、更には、浮くだけに留まらず、折れが発生しやすくなってしまう。また、長尺金属板を挟圧して搬送する一対の搬送ローラーが長尺金属板に対して及ぼす圧力が、幅方向において不均一になり易いということも、寄りや座屈折れが生じやすくなる原因として考えられる。従って、エッチング工程を効率良く実施するためには、寄りや座屈折れが生じにくい長尺金属板を選別して用いることが重要になる。本実施の形態においては、後述するように、幅方向の各位置において算出した長尺金属板の急峻度を指標として、長尺金属板を選別することを提案する。急峻度の定義については後述する。

　次に、このような構成からなる本実施の形態とその作用および効果について説明する。ここでは、はじめに、蒸着マスクを製造するために用いられる金属板の製造方法について説明する。次に、得られた金属板を用いて蒸着マスクを製造する方法について説明する。その後、得られた蒸着マスクを用いて基板上に蒸着材料を蒸着させる方法について説明する。

　（金属板の製造方法）
　はじめに図７（ａ）（ｂ）、図８、図９（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）および図１０を参照して、金属板の製造方法について説明する。図７（ａ）は、母材を圧延して、所望の厚さを有する金属板を得る工程を示す図であり、図７（ｂ）は、圧延によって得られた金属板をアニールする工程を示す図である。

　〔圧延工程〕
　はじめに図７（ａ）に示すように、インバー材から構成された母材５５を準備し、この母材５５を、一対の圧延ロール５６ａ，５６ｂを含む圧延装置５６に向けて、矢印Ｄ１で示す搬送方向に沿って搬送する。一対の圧延ロール５６ａ，５６ｂの間に到達した母材５５は、一対の圧延ロール５６ａ，５６ｂによって圧延され、この結果、母材５５は、その厚みが低減されるとともに、搬送方向に沿って伸ばされる。これによって、厚みｔ_０の長尺金属板６４を得ることができる。図７（ａ）に示すように、長尺金属板６４をコア６１に巻き取ることによって巻き体６２を形成してもよい。厚みｔ_０の具体的な値は特には限られないが、例えば０．０２０～０．１００ｍｍの範囲内となっている。

　なお図７（ａ）は、圧延工程の概略を示すものに過ぎず、圧延工程を実施するための具体的な構成や手順が特に限られることはない。例えば圧延工程は、母材５５を構成するインバー材の再結晶温度以上で母材を加工する熱間圧延工程や、インバー材の再結晶温度以下で母材を加工する冷間圧延工程を含んでいてもよい。

　〔スリット工程〕
　その後、圧延工程によって得られた長尺金属板６４の幅方向における両端をそれぞれ３～５ｍｍの範囲にわたって切り落とすスリット工程を実施してもよい。このスリット工程は、圧延に起因して長尺金属板６４の両端に生じ得るクラックを除去するために実施される。このようなスリット工程を実施することにより、長尺金属板６４が破断してしまう現象、いわゆる板切れが、クラックを起点として生じてしまうことを防ぐことができる。

　〔アニール工程〕
　その後、圧延によって長尺金属板６４内に蓄積された残留応力を取り除くため、図７（ｂ）に示すように、アニール装置５７を用いて長尺金属板６４をアニールする。アニール工程は、図７（ｂ）に示すように、長尺金属板６４を搬送方向（長手方向）に引っ張りながら実施されてもよい。すなわち、アニール工程は、いわゆるバッチ式の焼鈍ではなく、搬送しながらの連続焼鈍として実施されてもよい。アニール工程が実施される期間は、長尺金属板６４の厚みや圧延率などに応じて適切に設定されるが、例えば５００℃で６０秒にわたってアニール工程が実施される。なお上記「６０秒」は、アニール装置５７中の５００℃に加熱された空間を長尺金属板６４が通過することに要する時間が６０秒であることを意味している。

　アニール工程を実施することにより、残留応力が有る程度除去された、厚みｔ_０の長尺金属板６４を得ることができる。なお厚みｔ_０は通常、蒸着マスク２０の周囲領域２３内の最大厚みＴｂに等しくなる。

　なお、上述の圧延工程、スリット工程およびアニール工程を複数回繰り返すことによって、厚みｔ_０の長尺の金属板６４を作製してもよい。また図７（ｂ）においては、アニール工程が、長尺金属板６４を長手方向に引っ張りながら実施される例を示したが、これに限られることはなく、アニール工程を、長尺金属板６４がコア６１に巻き取られた状態で実施してもよい。すなわちバッチ式の焼鈍が実施されてもよい。なお、長尺金属板６４がコア６１に巻き取られた状態でアニール工程を実施する場合、長尺金属板６４に、巻き体６２の巻き取り径に応じた反りの癖がついてしまうことがある。従って、巻き体６２の巻き径や母材５５を構成する材料によっては、長尺金属板６４を長手方向に引っ張りながらアニール工程を実施することが有利である。

　〔切断工程〕
　その後、長尺金属板６４の幅方向における両端をそれぞれ所定範囲にわたって切り落とし、これによって、長尺金属板６４の幅を所望の幅に調整する切断工程を実施する。このようにして、所望の厚みおよび幅を有する長尺金属板６４を得ることができる。

　〔検査工程〕
　その後、得られた長尺金属板６４の急峻度を検査する検査工程を実施する。図８は、図７（ａ）（ｂ）に示す工程によって得られた長尺金属板６４を示す斜視図である。図８に示すように、長尺金属板６４は、その長手方向Ｄ１における長さがその幅方向Ｄ２の位置に応じて異なることに起因する波打ち形状を少なくとも部分的に有している。ここで長手方向Ｄ１は、母材５５を圧延する際の搬送方向に平行な方向であり、幅方向Ｄ２は、長手方向Ｄ１に直交する方向である。図８において、長尺金属板６４の幅方向Ｄ２の端部が符号６４ｅで表されている。

　長尺金属板６４に表れている波打ち形状について説明する。図９（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）はそれぞれ、図８のａ－ａ線、ｂ－ｂ線、ｃ－ｃ線およびｄ－ｄ線に沿った断面図である。図８のａ－ａ線は、長尺金属板６４の幅方向の中央部６４ｃに沿って長手方向に延びる線であり、従って図９（ａ）は、長尺金属板６４の幅方向の中央部６４ｃにおける長尺金属板６４の断面を示している。また図８のｄ－ｄ線は、長尺金属板６４の幅方向の端部６４ｅに沿って長手方向に延びる線であり、従って図９（ｄ）は、長尺金属板６４の幅方向の端部６４ｅにおける長尺金属板６４の断面を示している。本実施の形態による長尺金属板６４には中伸びが現れており、このため、幅方向の中央部６４ｃにおいて長尺金属板６４に現れる波打ち形状の程度は、中央部６４ｃから少し離れた位置、例えば図８のｂ－ｂ線の位置において長尺金属板６４に現れる波打ち形状の程度よりも大きくなっている。また本実施の形態による長尺金属板６４には耳伸びも現れており、このため、幅方向の端部６４ｅにおいて長尺金属板６４に現れる波打ち形状の程度は、端部６４ｅから少し離れた位置、例えば図８のｃ－ｃ線の位置において長尺金属板６４に現れる波打ち形状の程度よりも大きくなっている。

　検査工程においては、はじめに、長尺金属板６４の幅方向の各位置における急峻度を算出する。ここで「急峻度」とは、長尺金属板６４の波打ち形状の長手方向における周期Ｌに対する、波打ち形状の高さＨの百分率（％）、すなわちＨ／Ｌ×１００（％）のことである。「周期」とは、長尺金属板６４の波打ち形状における、谷と谷との間の距離のことであり、「高さ」とは、波打ち形状の山の頂点から、谷と谷とを結ぶ直線までの距離のことである。

　例えば図９（ａ）においては、図８のａ－ａ線に沿って存在する波打ち形状の２つの山について、周期がそれぞれ符号Ｌ_ａ１およびＬ_ａ２で示されており、高さがそれぞれ符号Ｈ_ａ１およびＨ_ａ２で示されている。また図示はされていないが、急峻度を算出する際の、長尺金属板６４の長手方向における対象範囲内には、図８のａ－ａ線に沿ってさらに多数の波打ち形状の山が存在している。例えば、ｎａ個の山が存在していると仮定し、各山の周期をＬ_ａｎａで表し、各山の高さをＨ_ａｎａで表す（ｎａは正の整数）。この場合、ｎａ個の山の急峻度はそれぞれ、Ｈ_ａｎａ／Ｌ_ａｎａ×１００（％）となる。また、図８のａ－ａ線に沿った位置における急峻度は、ｎａ個の山の急峻度の平均値、すなわちＨ_ａｎａ／Ｌ_ａｎａ×１００（％）（ｎａは正の整数）の平均値として算出される。

　図８のａ－ａ線に沿った位置の場合と同様に、図８のｂ－ｂ線、ｃ－ｃ線およびｄ－ｄ線に沿った位置における急峻度はそれぞれ、Ｈ_ｂｎｂ／Ｌ_ｂｎｂ×１００（％）（ｎｂは正の整数）の平均値、Ｈ_ｃｎｃ／Ｌ_ｃｎｃ×１００（％）（ｎｃは正の整数）の平均値、およびＨ_ｄｎｄ／Ｌ_ｄｎｄ×１００（％）（ｎｄは正の整数）の平均値として算出される。

　長尺金属板６４の波打ち形状の周期および高さを算出するための方法は特には限られない。例えば、図８のａ－ａ線に沿った位置、すなわち中央部６４ｃにおける長尺金属板６４の波打ち形状の各山の周期Ｌ_ａｎａおよび高さＨ_ａｎａを算出する場合、はじめに、対象物との間の距離を測定することができる測距装置を、幅方向Ｄ２の中央部６４ｃで長尺金属板６４の長手方向Ｄ１に沿って長尺金属板６４上で走査し、これによって、長尺金属板６４の表面の高さ位置を長手方向Ｄ１に沿って所定の間隔で測定する。この間隔は、例えば１ｍｍ～５ｍｍの範囲内である。これによって、中央部６４ｃにおける長尺金属板６４の三次元プロファイルを取得することができる。また、三次元プロファイルを解析することにより、各山の周期Ｌ_ａｎａおよび高さＨ_ａｎａを算出することができる。なお、各測定点の間を滑らかに結ぶ曲線を、三次元プロファイルとして採用してもよい。
　また、このような測定を、幅方向Ｄ２における位置を変えながら繰り返すことにより、幅方向Ｄ２の各位置における、長尺金属板６４の波打ち形状の周期および高さを算出することができる。

　図１０は、長尺金属板６４の幅方向Ｄ２の各位置において算出された急峻度を示すグラフである。図１０においては、横軸が、長尺金属板６４の幅方向Ｄ２における位置を示しており、縦軸が、急峻度を示している。なお図１０においては、長尺金属板６４の幅方向Ｄ２の各位置において算出された急峻度の値を滑らかに結んだ曲線８０が示されている。図１０の横軸の上段には、幅方向Ｄ２の中央部６４ｃを原点とした場合の、幅方向Ｄ２における位置が、ｍｍのオーダーで記されている。また図１０の横軸の下段には、幅方向Ｄ２における位置の、長尺金属板６４の全幅に対する比率が％で示されている。なお図１０においては、蒸着マスク２０を製造するための長尺金属板６４として、５００ｍｍの全幅を有するものが用いられる場合について説明する。従って、例えば幅方向Ｄ２の中央部６４ｃから＋１００ｍｍ離れた位置における比率は＋２０％となっている。また図１０においては、図８のａ－ａ線、ｂ－ｂ線、ｃ－ｃ線およびｄ－ｄ線の位置における長尺金属板６４の急峻度がそれぞれ符号Ａ、Ｂ、ＣおよびＤで示されている。

　長尺金属板６４の幅方向Ｄ２の各位置において急峻度を算出した後、急峻度の値に基づいて、長尺金属板６４の選別を実施する。ここでは、以下の条件（１）～（３）を全て満たす長尺金属板６４のみを、後述する蒸着マスク２０の製造工程において使用するという、長尺金属板６４の選別を実施する。
　（１）長尺金属板６４の幅方向Ｄ２の中央部分Ｒ１における急峻度の最大値Ｋ１_ｍａｘが、０．４％以下であること；
　（２）長尺金属板６４の幅方向Ｄ２の中央部分Ｒ１における急峻度の最大値Ｋ１_ｍａｘが、長尺金属板６４の幅方向の一端側部分Ｒ２における最大値Ｋ２_ｍａｘ以下であり、かつ、長尺金属板６４の幅方向の他端側部分Ｒ３における最大値Ｋ３_ｍａｘ以下であること；および、
　（３）一端側部分Ｒ２における急峻度の最大値Ｋ２_ｍａｘと、他端側部分Ｒ３における急峻度の最大値Ｋ３_ｍａｘと、の差が０．４％以下であること；
　以下、上記の条件（１）～（３）についてそれぞれ検討する。なお図１０において、長尺金属板６４の中央部分が符号Ｒ１で示されており、中央部分Ｒ１よりも長尺金属板６４の幅方向における一端側に位置する一端側部分が符号Ｒ２で表されており、中央部分Ｒ１よりも長尺金属板６４の幅方向における他端側に位置する他端側部分が符号Ｒ３で表されている。一端側部分Ｒ２、中央部分Ｒ１および他端側部分Ｒ３はそれぞれ、切断工程後の長尺金属板６４の幅の３０％、４０％および３０％を占める部分として定義される。

　中伸びおよび耳伸びが生じている長尺金属板６４においては、一般に、図１０に示すように、長尺金属板６４の幅方向の中央部６４ｃ近傍において、急峻度の極大値が現れる（点Ａ）。また、長尺金属板６４の幅方向の中央部から一端側または他端側へ少し離れた位置に、急峻度の極小値が現れる（点Ｂ）。また、点Ｂから幅方向の一端部または他端部へ向かうにつれて、急峻度が増加していき（点Ｃ）、そして、幅方向の一端または他端において急峻度の値が最大になる（点Ｄ）。この場合、急峻度＝０．４％を示す基準線８１を中央部分Ｒ１に描いた場合に、急峻度の曲線８０が基準線８１よりも下方に位置することが、上述の条件（１）が満たされていることを意味する。図１０に示す例においては、上述の条件（１）が満たされている。

　条件（２）については、中央部分Ｒ１における急峻度の最大値Ｋ１_ｍａｘが、一端側部分Ｒ２における急峻度の最大値Ｋ２_ｍａｘ以下であり、かつ、他端側部分Ｒ３における急峻度の最大値Ｋ３_ｍａｘ以下であるかどうかを判定する。図１０に示す例においては、上述の条件（２）が満たされている。

　条件（３）については、一端側部分Ｒ２における急峻度の最大値Ｋ２_ｍａｘと、他端側部分Ｒ３における急峻度の最大値Ｋ３_ｍａｘと、の差が０．４％以下であるかどうかを判定する。図１０に示す例においては、上述の条件（３）が満たされている。

　このような選別を実施することにより、長尺金属板６４の圧延率が大きいことに起因して長尺金属板６４に波打ち形状が現れている場合であっても、その波打ち形状の程度が、後の蒸着マスク２０の製造工程において問題になるものであるかどうかを前もって判断することができる。これによって、長尺金属板６４から作製される蒸着マスク２０の生産効率や歩留りを向上させることができる。

　なお、図１０に示すような急峻度の曲線８０を有する、全幅５００ｍｍの長尺金属板６４を得る方法が特に限られることはない。
　例えば、母材５５を圧延することにより、５００ｍｍを超える全幅、例えば７００ｍｍの全幅を有する長尺金属板を作製し、その後、当該長尺金属板の幅方向における両端を所定範囲にわたって切断する上述の切断工程を実施することにより、幅５００ｍｍの長尺金属板６４を作製する。この際、切断工程前の、７００ｍｍの全幅を有する長尺金属板においては、図１０において二点鎖線で示すように、その急峻度が非常に大きくなる部分、例えば１％を超える部分が存在することが考えられる。また、比較的に小さな急峻度を有している部分が、７００ｍｍ幅の長尺金属板の中央からずれた部分に存在することも考えられる。この場合、７００ｍｍ幅の長尺金属板の両端を所定範囲にわたって均等に切り落とすのではなく、７００ｍｍ幅の長尺金属板の両端を不均等に切り落としてもよい。

　例えば、切断工程の前に、７００ｍｍの全幅を有する長尺金属板の波打ち形状を観察する観察工程を実施する。この観察工程は、作業者の目視によって実施されてもよく、若しくは、上述の測距装置を用いて実施されてもよい。
　この際、例えば、長尺金属板の一端側に、急峻度が比較的に大きな領域が広域にわたって広がっていることが確認された場合、７００ｍｍの全幅を有する長尺金属板の一端側を他端側に比べて広域に切り落とすよう、切断工程を実施してもよい。例えば、一端側において１５０ｍｍにわたって切り落とし、他端側において５０ｍｍにわたって切り落とす、ということが考えられる。
　また、比較的に小さな急峻度を有している部分が、７００ｍｍ幅の長尺金属板の中央から一端側にずれた部分に広がっている場合、そのような小さな急峻度を有する部分が、切断工程後の７００ｍｍ幅の長尺金属板６４の中央部分Ｒ１になるよう、切断工程を実施してもよい。例えば、一端側において５０ｍｍにわたって切り落とし、他端側において１５０ｍｍにわたって切り落とす、ということが考えられる。
　このように、切断工程において切り落とす長尺金属板の部分を、観察工程の結果に基づいて決定することにより、より理想的な急峻度プロファイルを有する長尺金属板６４を得ることができる。

　（蒸着マスクの製造方法）
　次に、上述のようにして選別された長尺金属板６４を用いて蒸着マスク２０を製造する方法について、主に図１１～図２０を参照して説明する。以下に説明する蒸着マスク２０の製造方法では、図１１に示すように、長尺金属板６４が供給され、この長尺金属板６４に貫通孔２５が形成され、さらに長尺金属板６４を断裁することによって枚葉状の金属板２１からなる蒸着マスク２０が得られる。

　より具体的には、蒸着マスク２０の製造方法、帯状に延びる長尺の金属板６４を供給する工程と、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングを長尺の金属板６４に施して、長尺金属板６４に第１面６４ａの側から第１凹部３０を形成する工程と、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングを長尺金属板６４に施して、長尺金属板６４に第２面６４ｂの側から第２凹部３５を形成する工程と、を含んでいる。そして、長尺金属板６４に形成された第１凹部３０と第２凹部３５とが互いに通じ合うことによって、長尺金属板６４に貫通孔２５が作製される。図１１に示された例では、第２凹部３５の形成工程が、第１凹部３０の形成工程の前に実施され、且つ、第２凹部３５の形成工程と第１凹部３０の形成工程の間に、作製された第２凹部３５を封止する工程が、さらに設けられている。以下において、各工程の詳細を説明する。

　図１１には、蒸着マスク２０を作製するための製造装置６０が示されている。図１１に示すように、まず、長尺金属板６４をコア６１に巻き取った巻き体６２が準備される。そして、このコア６１が回転して巻き体６２が巻き出されることにより、図１１に示すように帯状に延びる長尺金属板６４が供給される。なお、長尺金属板６４は、貫通孔２５を形成されて枚葉状の金属板２１、さらには蒸着マスク２０をなすようになる。

　供給された長尺金属板６４は、搬送ローラー７２によって、エッチング装置（エッチング手段）７０に搬送される。エッチング手段７０によって、図１２～図２０に示された各処理が施される。

　まず、図１２に示すように、長尺金属板６４の第１面６４ａ上（図１２の紙面における下側の面上）および第２面６４ｂ上にネガ型の感光性レジスト材料を塗布し、長尺金属板６４上にレジスト膜６５ｃ、６５ｄを形成する。次に、レジスト膜６５ｃ、６５ｄのうちの除去したい領域に光を透過させないようにした露光マスク８５ａ、８５ｂを準備し、露光マスク８５ａ、８５ｂをそれぞれ図１３に示すようにレジスト膜６５ｃ、６５ｄ上に配置する。露光マスク８５ａ、８５ｂとしては、例えば、レジスト膜６５ｃ、６５ｄのうちの除去したい領域に光を透過させないようにしたガラス乾板が用いられる。その後、真空密着によって露光マスク８５ａ、８５ｂをレジスト膜６５ｃ、６５ｄに十分に密着させる。
　なお感光性レジスト材料として、ポジ型のものが用いられてもよい。この場合、露光マスクとして、レジスト膜のうちの除去したい領域に光を透過させるようにした露光マスクが用いられる。

　その後、レジスト膜６５ｃ、６５ｄを露光マスク８５ａ、８５ｂ越しに露光し、さらにレジスト膜６５ｃ、６５ｄを現像する。以上のようにして、図１４に示すように、長尺金属板６４の第１面６４ａ上にレジストパターン（単に、レジストとも呼ぶ）６５ａを形成し、長尺金属板６４の第２面６４ｂ上にレジストパターン（単に、レジストとも呼ぶ）６５ｂを形成することができる。

　次に、図１５に示すように、長尺金属板６４上に形成されたレジストパターン６５ｂをマスクとして、エッチング液（例えば塩化第二鉄溶液）を用いて、長尺金属板６４の第２面６４ｂ側からエッチングする。例えば、エッチング液が、搬送される長尺金属板６４の第２面６４ｂに対面する側に配置されたノズルから、レジストパターン６５ｂ越しに長尺金属板６４の第２面６４ｂに向けて噴射される。この結果、図１５に示すように、長尺金属板６４のうちのレジストパターン６５ｂによって覆われていない領域で、エッチング液による浸食が進む。以上のようにして、第２面６４ｂの側から長尺金属板６４に多数の第２凹部３５が形成される。

　その後、図１６に示すように、エッチング液に対する耐性を有した樹脂６９によって、形成された第２凹部３５が被覆される。すなわち、エッチング液に対する耐性を有した樹脂６９によって、第２凹部３５が封止される。図１６に示す例において、樹脂６９の膜が、形成された第２凹部３５だけでなく、第２面６４ｂ（レジストパターン６５ｂ）も覆うように形成されている。

　次に、図１７に示すように、長尺金属板６４に対して第２回目のエッチングを行う。第２回目のエッチングにおいて、長尺金属板６４は第１面６４ａの側のみからエッチングされ、第１面６４ａの側から第１凹部３０の形成が進行していく。長尺金属板６４の第２面６４ｂの側には、エッチング液に対する耐性を有した樹脂６９が被覆されているからである。したがって、第１回目のエッチングにより所望の形状に形成された第２凹部３５の形状が損なわれてしまうことはない。

　エッチングによる浸食は、長尺金属板６４のうちのエッチング液に触れている部分において行われていく。従って、浸食は、長尺金属板６４の法線方向（厚み方向）のみに進むのではなく、長尺金属板６４の板面に沿った方向にも進んでいく。この結果、図１８に示すように、エッチングが長尺金属板６４の法線方向に進んで第１凹部３０が第２凹部３５と接続するだけでなく、レジストパターン６５ａの隣り合う二つの孔６６ａに対面する位置にそれぞれ形成された二つの第１凹部３０が、二つの孔６６ａの間に位置するブリッジ部６７ａの裏側において、合流する。

　図１９に示すように、長尺金属板６４の第１面６４ａの側からのエッチングがさらに進む。図１９に示すように、隣り合う二つの第１凹部３０が合流してなる合流部分４３がレジストパターン６５ａから離間して、レジストパターン６５ａ下となる当該合流部分４３において、エッチングによる浸食が金属板６４の法線方向（厚さ方向）にも進む。これにより、蒸着マスクの法線方向に沿った一方の側へ向けて尖っていた合流部分４３が、蒸着マスクの法線方向に沿った一方の側からエッチングされ、図１９に示すように面取される。これにより、第１凹部３０の壁面３１が蒸着マスクの法線方向に対してなす傾斜角度θ１を増大させることができる。

　このようにして、エッチングによる長尺金属板６４の第１面６４ａの浸食が、長尺金属板６４の有効領域２２をなすようになる全領域内において、進む。これにより、有効領域２２をなすようになる領域内における長尺金属板６４の法線方向に沿った最大厚みＴａが、エッチング前における長尺金属板６４の最大厚みＴｂより薄くなる。

　以上のようにして、長尺金属板６４の第１面６４ａの側からのエッチングが予め設定した量だけ進んで、長尺金属板６４に対する第２回目のエッチングが終了する。このとき、第１凹部３０は長尺金属板６４の厚さ方向に沿って第２凹部３５に到達する位置まで延びており、これにより、互いに通じ合っている第１凹部３０および第２凹部３５によって貫通孔２５が長尺金属板６４に形成される。

　その後、図２０に示すように、長尺金属板６４から樹脂６９が除去される。樹脂膜６９は、例えばアルカリ系剥離液を用いることによって、除去することができる。アルカリ系剥離液が用いられる場合、図２０に示すように、樹脂６９と同時にレジストパターン６５ａ，６５ｂも除去される。なお、樹脂６９を除去した後、樹脂６９とは別途にレジストパターン６５ａ，６５ｂを除去してもよい。

　このようにして多数の貫通孔２５を形成された長尺金属板６４は、当該長尺金属板６４を狭持した状態で回転する搬送ローラー７２，７２により、切断装置（切断手段）７３へ搬送される。なお、この搬送ローラー７２，７２の回転によって長尺金属板６４に作用するテンション（引っ張り応力）を介し、上述した供給コア６１が回転させられ、巻き体６２から長尺金属板６４が供給されるようになっている。

　その後、多数の凹部３０，３５が形成された長尺金属板６４を切断装置（切断手段）７３によって所定の長さおよび幅に切断することにより、多数の貫通孔２５が形成された枚葉状の金属板２１が得られる。

　以上のようにして、多数の貫通孔２５を形成された金属板２１からなる蒸着マスク２０が得られる。ここで本実施の形態によれば、金属板２１の第１面２１ａは、有効領域２２の全域にわたってエッチングされている。このため、蒸着マスク２０の有効領域２２の厚みを小さくし、かつ、第１面２１ａ側に形成される二つの第１凹部３０の壁面３１の先端縁３２が合流する部分４３の外輪郭を、面取された形状とすることができる。従って、上述の角度θ１を大きくすることができ、このことにより、蒸着材料の利用効率および蒸着の位置精度を向上させることができる。

　ところで上述のように、蒸着マスク２０を作製するために準備される長尺金属板６４の厚みは小さく、例えば０．０２０～０．１００ｍｍ程度になっている。このように非常に薄い長尺金属板６４が搬送される場合、長尺金属板６４に引っ張り応力を加えた時に長尺金属板６４がその長手方向に沿って折れてしまう座屈折れが生じやすくなる。また、有効領域２２については、貫通孔２５以外の部分もエッチングされている。この結果、蒸着マスク２０の製造工程においてロールトゥロールで搬送されている長尺金属板６４は、元々が薄い上に、エッチング工程後には局所的にさらに薄くなっている。従って、エッチング工程後には、座屈折れがさらに生じやすくなってしまう。本件発明者らが研究を重ねたところ、この座屈折れは、長尺金属板６４に大きな中伸びが生じている場合に発生しやすいことを見出した。中伸びと座屈折れとの相関については、様々なことが考えられる。例えば、大きな中伸びが生じていることは、搬送のための引っ張り応力が十分に加えられていない箇所（以下、だぶつき箇所とも称する）が長尺金属板６４の幅方向における中央部分Ｒ１に存在し易くなることを意味している。このようなだぶつき箇所が存在していると、長尺金属板６４に加えられる引っ張り応力がだぶつき箇所の周辺で不均一になるため、搬送方向に沿った変形が生じ易くなることが考えられる。特に、だぶつき箇所が中央部分Ｒ１に存在している場合、引っ張り応力の不均一さに及ぼす影響が大きくなる。この結果、特に長尺金属板の搬送方向を転換するためのローラーなどにおいて、だぶつき箇所には圧力がかからないためだぶつき箇所がローラーから浮いてしまい、更には、浮くだけに留まらず長尺金属板に座屈折れが生じやすくなってしまうことが考えられる。座屈折れが生じた長尺金属板６４は不良品として廃棄されるため、座屈折れが生じやすいことは、蒸着マスク２０の歩留りが低くなることを意味している。

　ここで本実施の形態によれば、上述の条件（１）により、長尺金属板６４の幅方向Ｄ２の中央部分Ｒ１における急峻度の最大値Ｋ１_ｍａｘが０．４％以下である長尺金属板６４が用いられている。すなわち、中央部分Ｒ１におけるだぶつきの程度が小さくなっている。このため、座屈折れなどの変形が生じることを抑制することができる。このため、高い歩留りで蒸着マスク２０を製造することができる。

　また、長尺金属板６４に加えられる引っ張り応力が、長尺金属板６４の幅方向における位置に応じて大きく異なる場合、長尺金属板６４の搬送方向が、理想的な搬送方向、すなわち搬送ローラー７２の軸方向に直交する方向からずれてしまう、いわゆる寄りが生じやすくなる。例えば、長尺金属板６４の一端側部分Ｒ２に加えられる引っ張り応力が、長尺金属板６４の中央部分Ｒ１や他端側部分Ｒ３に加えられる引っ張り応力に比べて極めて大きい場合、長尺金属板６４の搬送方向が長尺金属板６４の一端側へずれていってしまう。長尺金属板６４の搬送方向がずれると、長尺金属板６４が搬送領域外に移動してしまい、搬送不能となってしまうことが生じ得る。従って、寄りが生じやすいことは、得られる蒸着マスク２０の品質が低下することだけでなく、蒸着マスク２０の生産効率や歩留りが低下してしまうことを意味している。
　ロールトゥロールによる搬送を実施する装置内には、搬送される対象物の、幅方向における位置をモニタし、モニタ結果に基づいて、対象物の搬送方向が理想から大きくずれることを防ぐよう搬送方向の修正を実施する制御手段が通常は備えられている。しかしながら、制御手段の応答速度よりも速く対象物の搬送方向がずれてしまった場合、搬送方向の修正が完了するよりも前に対象物が搬送ローラーから外れてしまうことが生じ得る。従って、制御手段にのみ頼ることなく、対象物に加えられる引っ張り応力が局所的に大きくならないようにすることが重要である。

　ここで本実施の形態によれば、上述の条件（２）により、長尺金属板６４の幅方向Ｄ２の中央部分Ｒ１における急峻度の最大値Ｋ１_ｍａｘが、長尺金属板６４の幅方向の一端側部分Ｒ２における最大値Ｋ２_ｍａｘ以下であり、かつ、長尺金属板６４の幅方向の他端側部分Ｒ３における最大値Ｋ３_ｍａｘ以下である長尺金属板６４が用いられている。このため、中央部分Ｒ１に加えられる引っ張り応力を、一端側部分Ｒ２に加えられる引っ張り応力、および、他端側部分Ｒ３に加えられる引っ張り応力よりも概して大きくすることができる。すなわち、理想的な搬送方向に沿って加えられる引っ張り力を十分に確保することができる。
　また本実施の形態によれば、上述の条件（３）により、一端側部分Ｒ２における急峻度の最大値Ｋ２_ｍａｘと、他端側部分Ｒ３における急峻度の最大値Ｋ３_ｍａｘと、の差が０．４％以下である長尺金属板６４が用いられている。このため、一端側部分Ｒ２に加えられる引っ張り応力および他端側部分Ｒ３に加えられる引っ張り応力のうちのいずれか一方が、他方に対して極めて大きくなってしまうことを防ぐことができる。
　これらのことにより、本実施の形態によれば、蒸着マスク２０の製造工程において、長尺金属板６４の寄りが生じることを抑制することができる。このため、蒸着マスク２０の品質を確保することができ、また、蒸着マスク２０の生産効率や歩留りを向上させることができる。

　（蒸着方法）
　次に、得られた蒸着マスク２０を用いて基板９２上に蒸着材料を蒸着させる方法について説明する。はじめに図２に示すように、蒸着マスク２０を基板９２に対して密着させる。この際、蒸着マスク２０をフレーム１５に張設することによって、蒸着マスク２０の面が基板９２の面に平行になるようにする。ここで本実施の形態によれば、幅方向Ｄ２における急峻度に基づいて予め選別された長尺金属板６４が用いられている。このため、このような選別が実施されない場合に比べて、各蒸着マスク２０における急峻度のばらつきが、ひいては有効領域２２の各貫通孔２５のピッチのばらつきが一様に低減されている。従って、高い位置精度で蒸着材料を基板９２に蒸着させることができる。従って、蒸着によって有機ＥＬ表示装置の画素を形成する場合、有機ＥＬ表示装置の画素の寸法精度や位置精度を高めることができる。このことにより、高精細な有機ＥＬ表示装置を作製することが可能になる。

　また本実施の形態において、金属板２１の第１面２１ａが、有効領域２２の全域にわたってエッチングされる例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、有効領域２２の一部においてのみ金属板２１の第１面２１ａがエッチングされてもよい。

　また本実施の形態において、長尺金属板６４から製造される、複数の貫通孔２５が形成されたマスクが、所望のパターンで蒸着を行うために用いられる蒸着マスク２０である例を示した。しかしながら、長尺金属板６４から製造されるマスクが蒸着マスク２０に限られることはない。例えば長尺金属板６４を用いて、シャドーマスクなどのその他のマスクを製造することもできる。

　次に、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその要旨を超えない限り、以下の実施例の記載に限定されるものではない。

　（第１巻き体および第１サンプル）
　はじめに、インバー材から構成された母材に対して上述の圧延工程、スリット工程、アニール工程および切断工程を実施することにより、長尺の金属板が巻き取られた巻き体（第１巻き体）を製造した。

　具体的には、はじめに、第１熱間圧延工程および第１冷間圧延工程をこの順で行う第１圧延工程を実施し、次に、長尺金属板の幅方向における両端をそれぞれ３～５ｍｍの範囲にわたって切り落とす第１スリット工程を実施し、その後、５００℃で６０秒にわたって長尺金属板を連続焼鈍する第１アニール工程を実施した。さらに、第１アニール工程を経た長尺金属板に対して、第２冷間圧延工程を含む第２圧延工程を実施し、次に、長尺金属板の幅方向における両端をそれぞれ３～５ｍｍの範囲にわたって切り落とす第２スリット工程を実施し、その後、５００℃で６０秒にわたって長尺金属板を連続焼鈍する第２アニール工程を実施した。これによって、所望の厚みを有する、約６００ｍｍ幅の長尺金属板６４を得た。その後、長尺金属板６４の幅方向における両端をそれぞれ所定範囲にわたって切り落とし、これによって、長尺金属板６４の幅を所望の幅、具体的には５００ｍｍ幅に最終的に調整する切断工程を実施した。

　なお、上述の冷間圧延工程においては、バックアップローラーを用いた圧力調整を行った。具体的には、長尺金属板６４の形状が左右対称になるよう、圧延機のバックアップローラー形状、および、圧力を調整した。また、冷間圧延工程は、圧延油、例えば灯油を用いてクーリングしながら行った。冷間圧延工程の後には、炭化水素系の洗浄剤で長尺金属板を洗浄する洗浄工程を行った。洗浄工程の後には、上述のスリット工程を実施した。

　その後、シャーを用いて第１巻き体の先端部を切り取ることによって、幅５００ｍｍ、投影長さ７００ｍｍの金属板からなる第１サンプル１００を得た。なお「投影長さ」とは、金属板を真上から見た場合、すなわち金属板の波打ち形状を無視した場合の金属板の長さ（圧延方向における寸法）のことである。また第１サンプル１００の幅とは、幅方向における第１サンプル１００の一対の端部１０１，１０２の間の距離のことである。第１サンプル１００の一対の端部１０１，１０２は、圧延工程およびアニール工程によって得られる金属板の幅方向における両端を所定範囲にわたって切り落とす切断工程を経ることによって形成される部分であり、ほぼ真っ直ぐに延びている。

　次に図２１に示すように、第１サンプル１００を定盤１１０上に水平に載置した。その際、第１サンプル１００に部分的な凹みが生じないよう、第１サンプル１００を静かに定盤１１０上に置いた。次に、第１サンプル１００の一端１０１において、投影長さ５００ｍｍの領域における第１サンプル１００の急峻度を測定した。なお投影長さ５００ｍｍの領域とは、投影長さ７００ｍｍの第１サンプル１００から、サンプル１の長手方向における両端１０３，１０４から１００ｍｍ以内にある領域を除いた領域のことである。両端１０３，１０４から１００ｍｍ以内にある領域を測定対象から除いたのは、シャーによる切断に起因する第１サンプル１００のゆがみの影響が急峻度の測定結果に及ぶことを防ぐためである。図２１において、投影長さ５００ｍｍの領域が一点鎖線で示されている。

　測定においては、はじめに、図２１において矢印ｓで示すように、レーザー光を利用した測距装置を第１サンプル１００の長手方向に沿って第１サンプル１００に対して相対的に移動させて、長手方向における第１サンプル１００の一端１０１での表面の高さ位置を連続的に測定し、長尺金属板６４のプロファイルを滑らかな曲線で描いた。その後、得られた曲線に基づいて、曲線に含まれる複数の山の各々について、周期および高さを算出した。次に、各山の急峻度を算出し、そして、各山の急峻度の平均値を算出した。このようにして、一端１０１における第１サンプル１００の急峻度を算出した。
　第１サンプル１００の表面の高さ位置を測定するための測距装置としては、レーザー顕微鏡であるレーザーテック株式会社製のOPTELICS H1200を使用した。なお測定の際に移動される要素は測距装置または第１サンプル１００のいずれでもよいが、ここでは、定盤１１０をステージとして、OPTELICS H1200から構成されたヘッドをＸＹ方向に移動させるための櫓を組むことで自動測定を行った。ステージとしては、５００ｍｍ×５００ｍｍのオートステージを用いた。ＸＹ方向におけるオートステージの制御には、レーザー干渉計を利用した。

　次に、一端１０１から他端１０２側へ２ｍｍ変位した位置において、第１サンプル１００の急峻度を同様に測定した。第１サンプル１００の幅方向における位置を所定のピッチｐで変えながら上述の測定を繰り返し実施することにより、幅方向の各位置における第１サンプルの急峻度を測定した。ここでは、ピッチｐを２ｍｍとした。得られた測定結果は、一端１０１を含む上述の一端側部分Ｒ２における急峻度の測定結果、他端１０２を含む上述の他端側部分Ｒ３における急峻度の測定結果、および、中央部を含む上述の中央部分Ｒ１における急峻度の測定結果を含んでいる。なお中央部分Ｒ１は、一端１０１を基準とする場合、一端１０１からの距離が１５０～３５０ｍｍの範囲内となっている部分のことである。また一端側部分Ｒ２は、一端１０１を基準とする場合、一端１０１からの距離が０～１５０ｍｍの範囲内となっている部分のことである。一また他端側部分Ｒ３は、一端１０１を基準とする場合、一端１０１からの距離が３５０～５００ｍｍの範囲内となっている部分のことである。

　測定の結果、中央部分Ｒ１における急峻度の最大値Ｋ１_ｍａｘは０．２％であり、一端側部分Ｒ２における急峻度の最大値Ｋ２_ｍａｘは０．１％であり、他端側部分Ｒ３における急峻度の最大値Ｋ３_ｍａｘは０．３％であった。これらの測定結果と、上述の条件（１）～（３）とを照らしあわせたところ、第１サンプル１００においては、条件（１）、（３）は満たされていたが、条件（２）が満たされていなかった。従って第１サンプル１００は、蒸着マスクを製造するための素材として用いることができないものであると判定される。

　〔１次効果の評価　その１〕
　上述の蒸着マスクの製造方法を用いて、第１巻き体の長尺金属板６４から蒸着マスク２０を製造した。図２２は、本評価による蒸着マスク２０を構成するための複数の金属板２１が割り付けられた長尺金属板６４を示す図である。

　図２２において、長尺金属板６４の長手方向において各金属板２１を区画する一対の第１破断線が符号２４ａで表されており、長尺金属板６４の幅方向において各金属板２１を区画する一対の第２破断線が符号２４ｂで表されている。この場合、第１破断線２４ａおよび第２破断線２４ｂに沿って長尺金属板６４を裁断することによって、枚葉状の金属板２１からなる蒸着マスク２０を得ることができる。なお図２２に示す例において、第１破断線２４ａおよび第２破断線２４ｂはいずれもミシン目で構成されている。ミシン目は、有効領域２２に貫通孔２５を形成するためのエッチング工程において、貫通孔２５と同時に形成されたものである。この場合、作業者が手作業で第１破断線２４ａおよび第２破断線２４ｂを破断させ、長尺金属板６４から金属板２１を取り出すことが可能である。
　また本評価において、長尺金属板６４の第１面６４ａは、貫通孔２５が形成される部分でのみエッチングされており、その他の部分はエッチングされていない。
　図２２に示す上述の形態の長尺金属板６４を、後の説明において、「第１形態の長尺金属板６４」とも称する。

　本評価においては、長尺金属板６４を用いた蒸着マスク２０の製造工程において、上述の「寄り」および「座屈折れ」が発生するかどうかを評価した。評価は、エッチング工程の前後でそれぞれ実施した。なお「寄り」が発生したかどうかは、幅方向における長尺金属板６４の位置が基準から５０ｍｍ以上ずれたことがあったかどうかによって判定した。すなわち、幅方向における長尺金属板６４の位置が基準から５０ｍｍ以上ずれたことが検出された場合、「寄りが発生した」と判定した。また本評価においては、エッチング工程後の長尺金属板６４に亀裂が入ること、すなわち、いわゆる「板切れ」が発生したかどうかについても評価した。図２２において、発生し得る板切れが符号Ｆで表されている。図２２に示すように、板切れＦは、ミシン目や、エッチングが施された有効領域２２を起点として生じやすい。板切れが生じると、長尺金属板６４および長尺金属板６４上に設けられたレジスト膜などがエッチング槽に落下し、この結果、エッチング槽の洗浄が必要になってしまうことがある。このため、蒸着マスク２０の歩留り向上という観点だけでなく、製造ラインの保全という観点からも、板切れの発生を抑制することが好ましい。

　評価の結果、第１巻き体から得られた、第１形態の長尺金属板６４に基づく蒸着マスクの製造工程においては、「座屈折れ」および「板切れ」は生じなかったが、「寄り」が生じていた。

　〔１次効果の評価　その２〕
　上述の蒸着マスクの製造方法を用いて、第１巻き体の長尺金属板６４から蒸着マスク２０を製造した。図２３は、本評価による蒸着マスク２０を構成するための複数の金属板２１が割り付けられた長尺金属板６４を示す図である。
　図２３に示すように、本評価において、長尺金属板６４の長手方向において各金属板２１を区画する一対の第１破断線２４ａは、長尺金属板６４の長手方向に沿って延びる貫通孔で構成されている。蒸着マスク（蒸着用メタルマスク）においては、マスクフレームに蒸着マスクを架張することによって、ガラス基板に対する蒸着マスクの孔位置合わせを行う。このため、従来のシャドーマスクとは異なり、長手方向に沿って破断線を破断させる時に生じる微小な変形も許されない。従って、図２４に示すように、長手方向に延びる第１破断線２４ａを貫通孔で構成している。また本評価において、長尺金属板６４の第１面６４ａは、有効領域２２の全域にわたってエッチングされている。その他の点は、上述の「１次効果の評価　その１」の場合と同様にして、上述の「寄り」、「座屈折れ」および「板切れ」が発生するかどうかを評価した。
　図２３に示す上述の形態の長尺金属板６４を、後の説明において、「第２形態の長尺金属板６４」とも称する。

　評価の結果、第１巻き体から得られた、第２形態の長尺金属板６４に基づく蒸着マスクの製造工程においては、「座屈折れ」は生じなかったが、「寄り」および「板切れ」が生じていた。

　（第２～第２０巻き体および第２～第２０サンプル）
　第１巻き体の場合と同様にして、インバー材から構成された母材から、第２巻き体～第２０巻き体を製造した。さらに、第１巻き体の場合と同様にして、第２巻き体～第２０巻き体に関して、各巻き体から取り出されたサンプルの急峻度の測定、並びに、各巻き体の長尺金属板から作製された蒸着マスクに関する上述の「１次効果　その１」および「１次効果　その２」を実施した。

　（各サンプルの判定結果のまとめ）
　第１巻き体～第２０巻き体から取り出された各サンプルの急峻度の測定結果を、図２４に示す。図２４に示すように、第４，第５，第８，第９，第１２，第１３，第１５および第１６サンプルでは、判定結果が「○」となった。すなわち、上述の条件（１）～（３）がいずれも満たされていた。一方、第１，第２，第３，第６，第７，第１０，第１１，第１４，第１７，第１８，第１９および第２０サンプルにおいては、判定結果が「×」となった。すなわち、上述の条件（１）～（３）の少なくとも１つが満たされていなかった。
　具体的には、上述の条件（１）が、第１７，第１８，第１９および第２０サンプルにおいて満たされていなかった。また、上述の条件（２）が、第１，第２，第３，第７，第１１，第１４および第１７サンプルにおいて満たされていなかった。また、上述の条件（３）が、第３，第６および第１０サンプルにおいて満たされていなかった。

　（各巻き体に関する「１次効果　その１」のまとめ）
　第１巻き体～第２０巻き体から上述の第１形態の長尺金属板を作製することに関する上述の「１次効果　その１」の結果を、図２５に示す。図２５に示すように、第４，第５，第８，第９，第１２，第１３，第１４，第１５および第１６巻き体から得られた第１形態の長尺金属板６４では、判定結果が「○」となった。すなわち、「寄り」、「座屈折れ」または「板切れ」のいずれもが生じなかった。一方、第１，第２，第３，第６，第７，第１０，第１１，第１７，第１８，第１９および第２０巻き体から得られた第１形態の長尺金属板６４においては、判定結果が「×」となった。すなわち、「寄り」、「座屈折れ」および「板切れ」の少なくとも１つが生じていた。

　「座屈折れ」は、第１７，第１８，第１９および第２０巻き体から得られた第１形態の長尺金属板６４において生じていた。ここで上述のように、第１７，第１８，第１９および第２０巻き体から取り出された第１７，第１８，第１９および第２０サンプルにおいては、上述の条件（１）が満たされていなかった。従って、上述の条件（１）は、座屈折れと密接な関係にあると言える。なお図２５に示すように、エッチング工程の前に座屈折れが生じてしまった場合、エッチング工程後の評価を実施することができなかった。

　「寄り」は、第１，第２，第３，第６，第７，第１０，第１１および第１７巻き体から得られた第１形態の長尺金属板６４において生じていた。ここで上述のように、第１，第２，第３，第６，第７，第１０，第１１および第１７巻き体から取り出された第１，第２，第３，第６，第７，第１０，第１１および第１７サンプルにおいては、上述の条件（２）または（３）の少なくともいずれか一方が満たされていなかった。従って、上述の条件（２），（３）は、寄りと密接な関係にあると言える。

　図２５に示すように、どの巻き体を用いた場合であっても、第１形態の長尺金属板６４に関しては「板切れ」が生じていなかった。

　図２４と図２５との対比から分かるように、上述の条件（１）～（３）に基づく判定結果が○となった巻き体から作製された長尺金属板６４においては、蒸着マスク２０の製造工程における「寄り」、「座屈折れ」および「板切れ」のいずれも生じなかった。すなわち、上述の条件（１）～（３）を利用することにより、蒸着マスク２０の製造工程において安定に搬送され得る長尺金属板６４を供給することができる巻き体を選別することができると言える。従って、上述の条件（１）～（３）は、有力な判断手法であると考える。

　（各巻き体に関する「１次効果　その２」のまとめ）
　第１巻き体～第２０巻き体から上述の第２形態の長尺金属板を作製することに関する上述の「１次効果　その２」の結果を、図２６に示す。図２６に示すように、第４，第５，第８，第９，第１２，第１３，第１５および第１６巻き体から得られた第２形態の長尺金属板６４では、判定結果が「○」となった。すなわち、「寄り」、「座屈折れ」または「板切れ」のいずれもが生じなかった。一方、第１，第２，第３，第６，第７，第１０，第１１，第１４，第１７，第１８，第１９および第２０巻き体から得られた第２形態の長尺金属板６４においては、判定結果が「×」となった。すなわち、「寄り」、「座屈折れ」および「板切れ」の少なくとも１つが生じていた。

　「座屈折れ」は、第１４，第１７，第１８，第１９および第２０巻き体から得られた第２形態の長尺金属板６４において生じていた。特に、第１４巻き体においては、エッチング工程の前には座屈折れは生じなかったが、エッチング工程の後には座屈折れが生じていた。ここで、第１４巻き体から切り出された第１４サンプルの急峻度の測定結果においては、図２４に示すように、一端側部分Ｒ２における急峻度の最大値Ｋ２_ｍａｘおよび他端側部分Ｒ３における急峻度の最大値Ｋ３_ｍａｘのいずれもが、中央部分Ｒ１における急峻度の最大値Ｋ１_ｍａｘよりも小さくなっていた。すなわち、上述の条件（２）が満たされていなかった。

　ところで、第１４巻き体以外の巻き体においては、図２４および図２５に示すように、条件（２）が満たされていないことと、「寄り」が生じることとが密接に関連していた。また、図２５に示すように、第１形態の長尺金属板６４を第１４巻き体から作製した場合には、座屈折れは生じなかった。以下、第２形態の長尺金属板６４を第１４巻き体から作製した場合に、座屈折れが生じてしまった原因について考察する。

　条件（２）が満たされなかったサンプルが得られた巻き体は、第１４巻き体以外では、上述のように第１，第２，第３，第７，第１１および第１７巻き体である。これらの巻き体から得られたサンプルにおいては、図２４に示すように、一端側部分Ｒ２における急峻度の最大値Ｋ２_ｍａｘまたは他端側部分Ｒ３における急峻度の最大値Ｋ３_ｍａｘのいずれか一方のみが、中央部分Ｒ１における急峻度の最大値Ｋ１_ｍａｘよりも小さくなっていた。このことから、条件（２）によって引き起こされ得る不具合は、Ｋ２_ｍａｘおよびＫ３_ｍａｘのいずれか一方がＫ１_ｍａｘより小さいかどうかによって、「寄り」が発生し得ると考えられる。また、Ｋ２_ｍａｘおよびＫ３_ｍａｘのいずれもがＫ１_ｍａｘよりも小さい場合であっても、第１形態の長尺金属板６４を作製した場合には座屈折れは生じなかった。このことから、条件（２）に起因する座屈折れは、Ｋ２_ｍａｘおよびＫ３_ｍａｘのいずれもがＫ１_ｍａｘよりも小さく、かつ、長尺金属板６４のエッチングが広域にわたって実施される場合、例えば第１破断線２４ａが貫通孔として形成される場合や、有効領域２２が全域にわたってエッチングされる場合などに生じる可能性があると言える。そして上述の条件（２）によれば、エッチングの程度によっては生じ得る座屈折れを、巻き体の段階で予測することができると言える。

　「寄り」は、第１，第２，第３，第６，第７，第１０，第１１および第１７巻き体から得られた第２形態の長尺金属板６４において生じていた。このように、寄りが生じた巻き体は、第１形態の長尺金属板６４を作製した場合と、第２形態の長尺金属板６４を作製した場合とで一致していた。

　「板切れ」は、第１，第２，第３，第６，第７，第１０，第１１および第１７巻き体から得られた第２形態の長尺金属板６４において生じていた。このように、第２形態の長尺金属板６４を作製した場合、板切れが生じた巻き体は、寄りが生じた巻き体と同一であった。従って、長尺金属板６４のエッチングが広域にわたって実施される場合、上述の条件（２），（３）は、寄りだけでなく板切れとも密接な関係にあると言える。

　図２４と図２６との対比から分かるように、上述の条件（１）～（３）に基づく判定結果と、「座屈折れ」、「寄り」および「板切れ」に基づく判定結果とは完全に一致していた。すなわち、上述の条件（１）～（３）を利用することにより、蒸着マスク２０の製造工程において不具合を生じさせ得る巻き体を無駄なく排除することができると言える。従って、上述の条件（１）～（３）は、長尺金属板６４のエッチングが広域にわたって実施される場合に特に有力な判断手法であると考える。

　２０　蒸着マスク
　２１　金属板
　２１ａ　金属板の第１面
　２１ｂ　金属板の第２面
　２２　有効領域
　２３　周囲領域
　２５　貫通孔
　３０　第１凹部
　３１　壁面
　３５　第２凹部
　３６　壁面
　５５　母材
　５６　圧延装置
　５７　アニール装置
　６１　コア
　６２　巻き体
　６４　長尺金属板
　６４ａ　長尺金属板の第1面
　６４ｂ　長尺金属板の第２面
　６４ｃ　長尺金属板の幅方向における中央部
　６４ｅ　長尺金属板の幅方向における端部
　６５ａ，６５ｂ　レジストパターン
　６５ｃ，６５ｄ　レジスト膜
　８０　急峻度率の曲線
　８１　基準線
　８５ａ、８５ｂ　露光マスク

Claims

　複数の貫通孔を形成してマスクを製造するために用いられる金属板の製造方法であって、
　前記マスクの前記貫通孔は、搬送されている長尺状の前記金属板をエッチングすることによって形成されるものであり、
　前記金属板の製造方法は、
　母材を圧延して前記金属板を得る圧延工程と、
　前記金属板の幅方向における一端および他端を所定範囲にわたって切り落とす切断工程と、を備え、
　前記切断工程後の前記金属板は、その長手方向における長さがその幅方向の位置に応じて異なることに起因する波打ち形状を少なくとも部分的に有しており、
　前記切断工程後の前記金属板の前記波打ち形状の前記長手方向における周期に対する、前記波打ち形状の高さの百分率を急峻度と称する場合、以下の条件（１）～（３）が満たされており、
　（１）前記切断工程後の前記金属板の幅方向の中央部分における急峻度の最大値が、０．４％以下であること；
　（２）前記中央部分における急峻度の最大値が、前記切断工程後の前記金属板の幅方向の一端側部分における急峻度の最大値以下であり、かつ、前記切断工程後の前記金属板の幅方向の他端側部分における急峻度の最大値以下であること；および、
　（３）前記一端側部分における急峻度の最大値と、前記他端側部分における急峻度の最大値と、の差が０．４％以下であること；
　前記一端側部分、前記中央部分および前記他端側部分はそれぞれ、前記切断工程後の前記金属板の幅の３０％、４０％および３０％を占める部分である、金属板の製造方法。
　前記金属板から製造される前記マスクは、所望のパターンで蒸着を行うために用いられる蒸着マスクである、請求項１に記載の金属板の製造方法。
　前記切断工程において切断される前記金属板の一端側の範囲および他端側の範囲は、前記切断工程の前に実施される、前記金属板の前記波打ち形状の観察工程の結果に基づいて決定される、請求項１または２に記載の金属板の製造方法。
　前記圧延工程によって得られた前記金属板をアニールして、前記金属板の内部応力を除去するアニール工程をさらに備え、
　前記アニール工程は、前記圧延された母材を長手方向に引っ張りながら実施される、請求項１または２に記載の金属板の製造方法。
　前記母材が、インバー材から構成されている、請求項１または２に記載の金属板の製造方法。
　複数の貫通孔を形成してマスクを製造するために用いられる金属板であって、
　前記マスクの前記貫通孔は、搬送されている長尺状の前記金属板をエッチングすることによって形成されるものであり、
　前記金属板は、その長手方向における長さがその幅方向の位置に応じて異なることに起因する波打ち形状を少なくとも部分的に有しており、
　前記金属板の前記波打ち形状の前記長手方向における周期に対する、前記波打ち形状の高さの百分率を急峻度と称する場合、以下の条件（１）～（３）が満たされており、
　（１）前記金属板の幅方向の中央部分における急峻度の最大値が、０．４％以下であること；
　（２）前記中央部分における急峻度の最大値が、前記金属板の幅方向の一端側部分における急峻度の最大値以下であり、かつ、前記金属板の幅方向の他端側部分における急峻度の最大値以下であること；および、
　（３）前記一端側部分における急峻度の最大値と、前記他端側部分における急峻度の最大値と、の差が０．４％以下であること；
　前記一端側部分、前記中央部分および前記他端側部分はそれぞれ、前記金属板の幅の３０％、４０％および３０％を占める部分である、金属板。
　前記金属板から製造される前記マスクは、所望のパターンで蒸着を行うために用いられる蒸着マスクである、請求項６に記載の金属板。
　前記金属板が、インバー材から構成されている、請求項６または７に記載の金属板。
　複数の貫通孔が形成されたマスクを製造する方法であって、
　その長手方向における長さがその幅方向の位置に応じて異なることに起因する波打ち形状を少なくとも部分的に有する金属板を準備する工程と、
　前記金属板上にレジストパターンを形成するレジストパターン形成工程と、
　前記金属板のうち前記レジストパターンによって覆われていない領域をエッチングし、前記金属板に、前記貫通孔を画成するようになる凹部を形成するエッチング工程と、を備え、
　前記金属板の前記波打ち形状の前記長手方向における周期に対する、前記波打ち形状の高さの百分率を急峻度と称する場合、以下の条件（１）～（３）が満たされており、
　（１）前記金属板の幅方向の中央部分における急峻度の最大値が、０．４％以下であること；
　（２）前記中央部分における急峻度の最大値が、前記金属板の幅方向の一端側部分における急峻度の最大値以下であり、かつ、前記金属板の幅方向の他端側部分における急峻度の最大値以下であること；および、
　（３）前記一端側部分における急峻度の最大値と、前記他端側部分における急峻度の最大値と、の差が０．４％以下であること；
　前記一端側部分、前記中央部分および前記他端側部分はそれぞれ、前記金属板の幅の３０％、４０％および３０％を占める部分である、マスクの製造方法。
　前記マスクは、所望のパターンで蒸着を行うために用いられる蒸着マスクであり、
　前記蒸着マスクは、複数の貫通孔が形成された有効領域と、前記有効領域の周囲に位置する周囲領域と、を備え、
　前記エッチング工程は、前記金属板のうち前記レジストパターンによって覆われていない領域をエッチングし、前記有効領域をなすようになる前記金属板の領域内に、前記貫通孔を画成するようになる凹部を形成するものである、請求項９に記載のマスクの製造方法。
　前記レジストパターン形成工程は、
　前記金属板上にレジスト膜を形成する工程と、
　前記レジスト膜に露光マスクを真空密着させる工程と、
　前記露光マスクを介して前記レジスト膜を所定のパターンで露光する工程と、を有する、請求項９または１０に記載のマスクの製造方法。
　前記金属板が、インバー材から構成されている、請求項９または１０に記載のマスクの製造方法。