WO2013168385A1 - 光学反射素子 - Google Patents

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Definitions

  • the drive units 24A and 24C constituting the vibration units 14 and 15 have a silicon substrate 18 integrally formed over the entire optical reflecting element 11 as a lowermost layer, and an insulating film 19 is formed on the silicon substrate 18. ing.
  • a lower electrode film 20 is provided on the insulating film 19, a piezoelectric film 21 is formed on the lower electrode film 20, and an upper electrode film 22 is formed on the piezoelectric film 21.
  • the piezoelectric layer 23 includes the insulating film 19, the lower electrode film 20, the piezoelectric film 21, and the upper electrode film 22.
  • the first vibrating parts 43A and 43B rotate the movable frame 44 around the second axis 17B
  • the second vibrating parts 45A and 45B rotate the mirror part 47 around the first axis 17A orthogonal to the second axis 17B. .

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Abstract

 光学反射素子は、ミラー部と、一対の接合部と、一対の振動部と、複数の駆動部と、固定部とを有する。接合部はそれぞれ、ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続された第1端と、この第1端の反対側の第2端とを有し、第1軸方向に伸びている。振動部はそれぞれ、接合部の一方の第2端に接続された中央部を有する。複数の駆動部はそれぞれ、一対の振動部のそれぞれに設けられ、ミラー部を回動させる。固定部には一対の振動部の各両端が連結されている。接合部の第1軸に直交する方向の長さとして定義される梁幅は、一対の振動部のそれぞれの梁幅より大きい。

Description

光学反射素子
 本発明は、ヘッドアップディスプレイやヘッドマウントディスプレイ等の画像投影装置に用いられる光学反射素子に関する。
 近年、Micro Electro Mechanical Systems(MEMS)技術を用いて、レーザ光を走査しスクリーン等に画像を投影する光学反射素子が開発されている。画像を投影するには、その光学反射素子を用いてレーザ光を2次元に走査する必要がある。光学反射素子を駆動する原理として、例えば圧電アクチュエータが用いられる。
 図10は従来の光学反射素子1の斜視図である。光学反射素子1は、ミラー部9と、ミラー部9を支持する固定部3と、一対の振動梁4と、ミラー部9を回動駆動させる圧電体層10とを有する。振動梁4はそれぞれ、ミラー部9が固定部3に対して回動可能なように、ミラー部9と固定部3とを連結している。圧電体層10に通電すると圧電体層10が伸縮する。この伸縮によって、振動梁4が捩れ変形してミラー部9が回動する。
 また、各振動梁4は、ミラー部9から延出するトーションバー6と、駆動部材7と、一対の弾性部材8とを有する。駆動部材7はトーションバー6のミラー部9と反対側の端に接続されている。一対の弾性部材8は、駆動部材7よりもミラー部9寄りに設けられ、互いにミラー部9の回動中心軸を介して対向している。また弾性部材8の第1端は駆動部材7に接続され、第2端は固定部3の一部に接続されている。なお、この出願に関する圧電アクチュエータを開示するものとして、例えば、特許文献1が挙げられる。
特許第4285568号公報
 本発明は、大きな変位量かつ高周波駆動を実現できる小型の光学反射素子である。本発明の光学反射素子は、ミラー部と、一対の接合部と、一対の振動部と、複数の駆動部と、固定部とを有する。接合部はそれぞれ、ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続された第1端と、この第1端の反対側の第2端とを有し、第1軸方向に伸びている。振動部はそれぞれ、接合部の一方の第2端に接続された中央部を有する。複数の駆動部はそれぞれ、一対の振動部のそれぞれに設けられ、ミラー部を回動させる。固定部には一対の振動部の各両端が連結されている。接合部の第1軸に直交する方向の長さとして定義される梁幅は、一対の振動部のそれぞれの梁幅より大きい。
 この構成により、接合部に掛かる応力が低減され機械的強度を高めることができるので、ミラー部を大きな回動角(変位量)でかつ高周波駆動させることができる。
図1は本発明の実施の形態1による光学反射素子の平面図である。 図2は図1に示す光学反射素子の2-2線における断面図である。 図3は図1に示す光学反射素子の共振周波数と機械振れ角の関係を示す図である。 図4は図1に示す光学反射素子における電極膜の配置図である。 図5は図1に示す光学反射素子の5-5線における断面図である。 図6は本発明の実施の形態2における光学反射素子の振動部を示す部分拡大図である。 図7Aは本発明の実施の形態2における光学反射素子の他の振動部を示す部分拡大図である。 図7Bは本発明の実施の形態2における光学反射素子のさらに他の振動部を示す部分拡大図である。 図7Cは本発明の実施の形態2における光学反射素子の別の振動部を示す部分拡大図である。 図8は本発明の実施の形態3における光学反射素子の平面図である。 図9は図8に示す光学反射素子の振動部の拡大図である。 図10は従来の光学反射素子の斜視図である。
 本実施の形態の説明に先立ち、従来の光学反射素子1における課題を簡単に説明する。投影画像の解像度を高めるためには、ミラー部9の回動角度を維持しながら駆動周波数を高くして光束(光点)の走査速度を高める必要がある。その際、トーションバー6に応力が集中するため、例えば、トーションバー6を長くして応力を分散する必要がある。その結果、光学反射素子1が大きくなり、走査速度が低下する。
 以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態による光学反射素子を説明する。
 (実施の形態1)
 図1は、本発明の実施の形態1による光学反射素子11の平面図である。光学反射素子11は、ミラー部12と、一対の接合部13A、13Bと、一対の振動部14、15と、複数の駆動部24A,24B、24C、24Dと、固定部16とを有する。接合部13A、13Bは、第1軸17Aに沿った方向に伸び、ミラー部12を挟むように対向している。すなわち、接合部13A、13Bの第1端はミラー部12の対向する位置でミラー部12に接続されてミラー部12を支持している。振動部14、15は中央部で接合部13A、13Bを挟むように配置され、これらの第2端に接続されている。振動部14、15は、第1軸17Aに直交する第2軸17Bに沿って伸びている。枠状の固定部16は振動部14、15の両端に連結され、振動部14、15を支持している。なお固定部16は振動部14、15を支持していれば2つ以上の部品で構成してもよく枠状でなくてもよい。
 駆動部24A、24Bは振動部14の中央部を挟んだ互いに反対側に設けられ、駆動部24C、24Dは振動部15の中央部を挟んだ互いに反対側に設けられている。駆動部24A~24Dは第1軸17Aを中心軸としてミラー部12を回動させる。駆動部24A~24Dは、第2軸17B方向に延伸された直線形状、あるいは湾曲した形状を有している。
 次に、駆動部24A~24Dの構成について図2を参照しながら説明する。図2は、図1における2-2線の断面図である。振動部14、15を構成する駆動部24A、24Cは、最下層として光学反射素子11の全体に亘って一体に形成されたシリコン基板18を有し、シリコン基板18上に絶縁膜19が形成されている。絶縁膜19の上には下部電極膜20が設けられ、下部電極膜20の上には圧電膜21が形成され、圧電膜21の上には上部電極膜22が形成されている。このように、圧電体層23は、絶縁膜19と、下部電極膜20と、圧電膜21と、上部電極膜22とで構成されている。
 下部電極膜20、上部電極膜22は、白金、金、チタン、タングステンなどの金属膜で形成され、圧電膜21はチタン酸ジルコン酸鉛(Pb(Zr1-x,Ti)O)等の圧電材料によって形成されている。これらは蒸着、ゾルゲル、CVD、スパッタ法等によって薄膜として形成することができる。なお、駆動部24B、24Dも同様に構成されている。すなわち、駆動部24A~24Dは、下部電極膜20と圧電膜21と上部電極膜22を順に積膜して形成されている。
 下部電極膜20と上部電極膜22との間に所定の電圧を印加することにより、逆圧電効果によって圧電膜21が圧電膜21の平面方向に伸縮動作する。そのため、圧電膜21を含む駆動部24A~24Dは、厚み方向に曲げ変位を起こす。
 駆動部24Aに与える電圧を、接合部13Aを挟んで対向する駆動部24Bに与える電圧に対して逆位相にすることにより、駆動部24A、24Bが逆方向へ曲がる。その結果、駆動部24A、24Bに挟まれた接合部13Aには捩れ変位が生じる。
 接合部13Bにも接合部13Aと同様に、駆動部24C、24Dに位相が逆方向の電圧を印加することにより捩れ変位が生じる。駆動部24Aと駆動部24Cに印加する電圧の位相を同位相にし、駆動部24B、24Dに印加する電圧の位相を同位相とすることにより、接合部13A、13Bが同位相で捩れ変位を起こす。その結果、ミラー部12が第1軸17Aの周りに回動する。
 第1軸17A周りに回動動作を起こす固有振動モードを利用することで、ミラー部12を大きく変位させることが可能になる。そのため、駆動部24A~24Dに共振周波数と同期した駆動周波数を印加させることで、第1軸17Aを中心軸としてミラー部12を大きく変位させることができる。
 このようにミラー部12を変位させると、接合部13A、13Bには捩れ変位が起こることにより、捩れ応力が発生する。ミラー部12の変位量が増大するに伴って、接合部13A、13Bに掛かる捩れ応力も増加する。この捩れ応力が接合部13A、13Bの機械的強度を越えると、接合部13A、13Bにはクラック破壊などが起こり、ミラー部12を変位動作させることができなくなる。
 一般的に、ミラー部12の変位量を増大させるには、例えば、接合部13A、13Bの長さを第1軸17A方向に延伸して、接合部13A、13Bに掛かる捩れ応力を低減する。しかしながら、接合部13A、13Bを第1軸17A方向に延伸させると光学反射素子11が大きくなり、前述のように走査速度である共振周波数が低下する。
 これに対し光学反射素子11では、接合部13A、13Bの梁幅W1が、振動部14、15の梁幅W2より大きい。梁幅W1は、接合部13A、13Bの第1軸17Aに直交する方向の長さとして定義される。一方、梁幅W2は、振動部14、15の第1軸17Aに沿った方向の長さとして定義される。
 この寸法関係により、接合部13A、13Bでは、捩れ変位よりも、駆動部24A~24Dによる曲げ変位が支配的になる。すなわち、接合部13A、13Bの中央部に掛かっていた捩れ応力よりも、接合部13A、13Bのそれぞれの全体に掛かる曲げ応力が支配的となる。このように接合部13A、13B全体に応力が分散されるため、接合部13A、13Bを構成する材料の機械的強度を越えることなくミラー部12の変位量を確保することができる。
 なお、接合部13A、13Bの梁幅を広くすることで、回動体であるミラー部12と接合部13A、13Bの合計質量が増加する。その結果、ミラー部12の上下振動モードの共振周波数は低下する。一方、第1軸17Aに平行な接合部13A、13Bの端部からミラー部12の第2軸17B方向の端部までの距離は相対的に短くなる。そのため、ミラー部12の第1軸17A周りにおける慣性モーメントが相対的に小さくなる。その結果、第1軸17A周りを回動する振動モードの共振周波数は増加する。この両者のバランスを調整することによって振動モードの共振周波数を増加させることができる。
 図3は、振動部14、15の梁幅W2に対し、接合部13A、13Bの梁幅W1を増減させたことによる共振周波数とミラー部12の機械振れ角の関係を示している。横軸は共振周波数、縦軸は機械振れ角を示している。接合部13A、13Bの梁幅W1を振動部14、15の梁幅W2である170μmに対し50μm狭くすると、共振周波数と機械振れ角が低下する。一方、接合部13A、13Bの梁幅W1を振動部14、15の梁幅W2である170μmに対し100μm広くした場合には、共振周波数と機械振れ角が共に増加しトレードオフの関係を逸脱できていることが分かる。このように、振動部14、15の梁幅W2に対し、接合部13A、13Bの梁幅W1を大きくすることで、共振周波数と機械振れ角を同時に増大させることができる。
 次に図4を参照しながら、光学反射素子11における好ましい構造を説明する。図4は光学反射素子11における上部電極膜22の配置図である。
 前述のように、駆動部24A~24Dには、振動部14、15に曲げ変位を起こすための圧電体層23が設けられている。そのため、圧電体層23を利用して振動部14、15の駆動状態をモニタリングする機能を同時に持たせてもよい。つまり、圧電膜21は圧電効果を有するため、駆動部24A~24Dの曲げ変位に伴って、電荷を発生する。また、曲げ変位量に応じた電荷量が発生するため、この電荷をモニタリングすることで、振動部14、15の駆動状態を精度よくモニタリングすることが可能となる。
 但し、振動部14、15の駆動を阻害することなく駆動状態を検知し、且つ圧電膜21に歪みが生じ易い箇所に電極膜を配置することが必要となる。駆動部24A~24Dが曲げ変位を起こすため、固定部16の周辺には歪みが集中し易い。そのため、図4に示すように、少なくとも固定部16と振動部14、15との境界線上に、上部電極膜22を設けることが望ましい。すなわち、固定部16と振動部14、15との境界にモニタ部を構成する上部電極膜22が形成されていることが好ましい。
 次に図5を参照しながら、光学反射素子11における別の好ましい構造を説明する。図5は図1に示す光学反射素子の5-5線における断面図であり、接合部13Aの断面を示している。
 このように、接合部13A、13Bの梁幅W1を、接合部13A、13Bの梁厚tより大きくすることが望ましい。梁厚tは、第1軸17Aと第2軸17Bで構成される平面と直交する方向の長さで定義される。接合部13A、13Bの梁幅W1が、梁厚t以下の場合、接合部13A、13Bに掛かる捩れ応力は、接合部13A、13Bの側壁部に集中し易くなり、梁幅W1を広くして平面方向に応力を分散させた効果が得られない。また、シリコン基板18を用いた場合、シリコンの加工にはボッシュプロセスを用いることが多い。しかし、ボッシュプロセスを用いると側壁にはスキャロップと呼ばれる凹凸形状が発生する。この凹凸部に応力が集中すると機械強度が低下してしまう。以上のことから、接合部13A、13Bの梁幅W1を梁厚tよりも大きくしておくことが望ましい。
 (実施の形態2)
 図6は本発明の実施の形態2における光学反射素子31の振動部32を示す部分拡大図である。光学反射素子31は、ミラー部34と、接合部33と、振動部32と、固定部35とを有する。光学反射素子31は振動部32が曲率を有している点で実施の形態1における光学反射素子11と異なっている。それ以外の基本的な構成は光学反射素子11と同様である。すなわち、図示していないが、接合部33はミラー部34の対向する位置に一対で設けられ、振動部32は一対で設けられ、それぞれの中央部で接合部33に接続されている。振動部32の両端は固定部35に接続されている。接合部33の第1軸17Aに直交する方向の長さとして定義される梁幅は、振動部32の梁幅より大きい。
 振動部32は、接合部33に接続された中央部と固定部35との間に一対の梁部32Aを有し、梁部32Aは湾曲形状を有している。なお振動部32の梁幅は、梁部32Aの湾曲形状の外周と内周との間の長さとして定義される。
 振動部32上には、圧電膜を有する駆動部(図示せず)が設けられている。この圧電膜に電圧を印加することにより、逆圧電効果によって圧電膜が圧電膜の平面方向に伸縮し、振動部32が厚み方向に曲げ変位を起こす。振動部32の曲げ変位により、接合部33と振動部32の接続箇所付近において曲げ応力が発生する。しかしながら、振動部32の梁部32Aが湾曲形状を有していることにより、接合部33と振動部32の接続箇所近傍の応力を分散することができる。その結果、機械強度が向上し、ミラー部34の振れ角を大きくすることができる。
 次に、湾曲した梁部32Aの図6とは異なる形状について、図7A~図7Cを参照しながら説明する。図7A~図7Cは本実施の形態における他の振動部32を示す部分拡大図である。
 図7A~図7Cに示す振動部32では、梁部32Aが固定部35により近い第1湾曲部36と、接合部33に接続された中央部により近い第2湾曲部37とで構成されている。
 直線形状を有する実施の形態1における振動部14、15では、振動部14、15と固定部16との接続箇所において、振動部14、15の曲げ変位に伴った応力が集中しやすい。これに対し、振動部32と固定部35との接続箇所である第1湾曲部36を、図7A~図7Cのようにある曲率半径を有した形状とすることで固定部35と第1湾曲部36との接合箇所を応力分散することができる。
 また図7Bに示すように、第1湾曲部36の曲率半径と第2湾曲部37の曲率半径とが異なった構成としても良い。ここで、第1湾曲部36の曲率半径をr、第2湾曲部37の曲率半径をRとしている。
 接合部33に大きな捩れ変位を効率よく発生させるには、接合部33に対する駆動部の直交成分の割合を、接合部33に可能な限り近い箇所に多く設けることが効果的である。つまり、第1湾曲部36の曲率半径rが第2湾曲部37の曲率半径Rと同じかより大きい場合、接合部33に対する駆動部の直交成分の多くが接合部33から離れた第1湾曲部36上に構成される。そのため、接合部33に捩れ変位を起こす駆動効率が低下してしまう。
 そこで、接合部33に対する駆動部の直交成分の多くを、接合部33に近い第2湾曲部37上に占めるように、第1湾曲部36の曲率半径rを第2湾曲部37の曲率半径Rより小さくすることが好ましい。なお、第1湾曲部36、第2湾曲部37の曲率半径の大小関係については、図7Aに示す振動部32にも適用可能である。
 また、駆動部38を構成する圧電体層23(図2参照)を、第1湾曲部36上に設けるよりも、少なくとも第2湾曲部37上に設けることが好ましい。この配置により接合部33の捩れ変位を効率よく大きくすることができる。
 なお、第1湾曲部36の曲率半径rが大きいと、曲率半径rに伴って素子が第1軸17A方向に拡大してしまう。ここで、図7Bに示すように、第1湾曲部36を第1軸17Aに沿った方向にミラー部34に向かって凸な形状とし、第2湾曲部37を第1軸17A方向に固定部35に向かって凸な形状とすることが好ましい。すなわち、第1湾曲部36と第2湾曲部37の湾曲方向が異なり、逆方向に突出していることが好ましい。この形状により、ミラー部34に近い位置に固定部35との接続位置を設けることができるため、固定部35と第1湾曲部36との接合箇所を応力分散しながら第1湾曲部36の曲率半径rの幅だけ光学反射素子31を小型化することができる。
 また、図7Cに示すように、第2湾曲部37を第1湾曲部36により近い側と接合部33により近い側とで曲率半径が異なる構成としても良い。振動部32の曲げ変位により、接合部33と振動部32の接続箇所付近において曲げ応力が発生する。この応力を分散するには接続箇所近傍の曲率半径を大きくする必要がある。第2湾曲部37内の第1湾曲部36に近い側に掛かる応力は比較的小さい。このため、第2湾曲部37の曲率半径が一定であると光学反射素子31が大きくなる。そこで、第2湾曲部37の第1湾曲部36に近い側の曲率半径を接合部33に近い側に対して小さくすることで、光学反射素子31の機械強度を確保したまま小型化することができる。
 また、第1湾曲部36上には駆動用とは異なる圧電膜39を設け、振動部32の駆動状態をモニタリングする機能を同時に持たせてもよい。圧電膜39は固定部35と振動部32との境界に形成されたモニタ部として機能する。
 圧電膜39は圧電効果を有するため、振動部32の曲げ変位に伴って、電荷を発生する。また、曲げ変位量に応じた電荷量が発生するため、この電荷をモニタリングすることで、振動部32の駆動状態を精度よくモニタリングすることが可能となる。但し、振動部32の駆動を阻害することなく駆動状態を検知し、且つ歪みが生じ易い箇所に圧電膜39を配置することが必要となる。振動部32が曲げ変位を起こすため、固定部35と第1湾曲部36との境界線周辺に歪みが集中し易い。そのため、少なくとも固定部35と第1湾曲部36との境界線上に圧電膜39を設けることが望ましい。
 (実施の形態3)
 図8は本発明の実施の形態3における光学反射素子41の平面図である。光学反射素子41は、固定部42と、一対の第1振動部43A、43Bと、可動枠44と、一対の第2振動部45A、45Bと、一対の接合部46A、46Bと、ミラー部47とを有している。
 固定部42の内側に対向するように第1振動部43A、43Bの第1端が接続され、第2端が可動枠44と接続されている。すなわち第1振動部43A、43Bは可動枠44を支持している。可動枠44の内側における第2軸17Bに沿った方向に対向する両辺に、第2振動部45A、45Bが接続されている。接合部46A、46Bの第1端は回動可能なミラー部47の対向する位置に接続され、第1端の反対側の第2端は第2振動部45A、45Bの中央部に接続されている。第1振動部43A、43Bは第2軸17B周りに可動枠44を回動させ、第2振動部45A、45Bは第2軸17Bと直交する第1軸17A周りにミラー部47を回動させる。
 図2に示した実施の形態1、2と同様に、第1振動部43A、43Bは、最下層として一体に形成されたシリコン基板18を有し、シリコン基板18上に絶縁膜19が形成されている。絶縁膜19の上には下部電極膜20が設けられ、下部電極膜20の上には圧電膜21が形成され、圧電膜21の上には上部電極膜22が形成されている。下部電極膜20、圧電膜21、上部電極膜22は駆動部として機能する。
 図9は第1振動部43Aの一部拡大図である。第1振動部43Aは、平行に設けられ隣り合った複数の連結部48と、連結部48のうちの2つを繋ぐ折り返し部49を有し、複数の連結部48と、複数の折り返し部49によってミアンダ形状に形成されている。第1振動部43Aの下部電極膜20と上部電極膜22との間に所定の電圧を印加すると、圧電膜21に所定の電界が掛かり、逆圧電効果によって圧電膜21が圧電膜21の平面方向に伸縮動作をする。このとき、圧電膜21で発生した平面方向の伸縮動作が第1振動部43Aの厚み方向のモーメントとして働くことにより、第1振動部43Aは厚み方向に撓み振動する。このとき、第1振動部43Aの連結部48に対し、隣接した連結部48にそれぞれ逆位相の電圧を印加することによって、連結部48の撓みが重畳され、可動枠44は第2軸17B周りに回動する。
 第2振動部45A、45Bとして、実施の形態1で説明した振動部14、15または実施の形態2で説明した振動部32を用いることにより、第1軸17A周り、および第2軸17B周りに、ミラー部47は同時に大きな変位で回動することができる。そのため、ミラー部47に、例えばレーザ光を照射して、2次元平面上に鮮明な画像などを投影することが可能となる。
 本発明の光学反射素子は、スクリーンに鮮明な画像を投影することができ、小型プロジェクタやヘッドマウントディスプレイに利用することができる。
11,31,41  光学反射素子
12,34,47  ミラー部
13A,13B,33,46A,46B  接合部
14,15,32  振動部
16,35,42  固定部
17A  第1軸
17B  第2軸
18  シリコン基板
19  絶縁膜
20  下部電極膜
21,39  圧電膜
22  上部電極膜
23  圧電体層
24A,24B,24C,24D,38  駆動部
32A  梁部
36  第1湾曲部
37  第2湾曲部
43A,43B  第1振動部
44  可動枠
45A,45B  第2振動部
48  連結部
49  折り返し部

Claims (13)

  1. ミラー部と、
    前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続された第1端と、前記第1端の反対側の第2端とを有し、第1軸方向に伸びる一対の接合部と、
    前記接合部の一方の前記第2端に接続された中央部を有する一対の振動部と、
    前記一対の振動部のそれぞれに設けられ前記ミラー部を回動させる複数の駆動部と、
    前記一対の振動部の各両端が連結された固定部と、を備え、
    前記接合部の前記第1軸に直交する方向の長さとして定義される梁幅が、前記一対の振動部のそれぞれの梁幅より大きい、
    光学反射素子。
  2. 前記一対の振動部は、前記第1軸に直交する第2軸に沿って伸び、前記一対の振動部のそれぞれの前記梁幅は、前記第1軸に沿った方向の長さとして定義される、
    請求項1記載の光学反射素子。
  3. 前記一対の振動部はそれぞれ、前記接合部に接続された前記中央部と前記固定部との間に一対の梁部を有し、
    前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し、
    前記一対の振動部のそれぞれの前記梁幅は、前記湾曲形状の外周と内周との間の長さとして定義される、
    請求項1記載の光学反射素子。
  4. 前記梁部はそれぞれ、前記固定部により近い第1湾曲部と、前記中央部により近い第2湾曲部とで構成された、
    請求項3記載の光学反射素子。
  5. 前記第1湾曲部の曲率半径が前記第2湾曲部の曲率半径よりも小さい、
    請求項4記載の光学反射素子。
  6. 前記第2湾曲部の曲率半径は、前記第1湾曲部により近い側と前記接合部により近い側とで異なる、
    請求項5記載の光学反射素子。
  7. 前記第1湾曲部と前記第2湾曲部の湾曲方向が異なる、
    請求項4記載の光学反射素子。
  8. 前記第1湾曲部の曲率半径が前記第2湾曲部の曲率半径よりも小さい、
    請求項7記載の光学反射素子。
  9. 前記第2湾曲部の曲率半径は、前記第1湾曲部により近い側と前記接合部により近い側とで異なる、
    請求項8記載の光学反射素子。
  10. 前記駆動部は前記第2湾曲部上に形成されている、
    請求項4記載の光学反射素子。
  11. 前記駆動部は、下部電極膜と圧電膜と上部電極膜を順に積膜して形成されている、
    請求項1記載の光学反射素子。
  12. 前記固定部と前記振動部との境界にモニタ部が形成されている、
    請求項1記載の光学反射素子。
  13. 前記接合部の前記梁幅は、前記第1軸と前記第1軸に直交する第2軸で構成される平面と直交する方向の長さで定義される前記接合部の梁厚よりも大きい、
    請求項1記載の光学反射素子。
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