JPH11212020A

JPH11212020A - ガルバノミラーの取付装置

Info

Publication number: JPH11212020A
Application number: JP10013968A
Authority: JP
Inventors: Tetsuo Ikegame; 哲夫池亀
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1998-01-27
Filing date: 1998-01-27
Publication date: 1999-08-06
Also published as: US6008924A

Abstract

(57)【要約】【課題】ガルバノミラー２０をその反射面の傾きを調整
してキヤリッジ２に取付ける取付装置の小形化および構
造の簡略化を達成する。【解決手段】ガルバノミラー２０のベース部材２２のう
ち、ミラー２１の反射面と平行な方向上にある部分に支
承面２４を形成し、キヤリッジ２には上記の反射面と平
行な方向に開口したガルバノミラー収容部２８を形成す
るとともにこの内側に支承座面２９を形成し、支承面２
８と支承座面２９の中心軸線を上記の反射面と平行な方
向に揃え、このガルバノミラー２０を反射面と平行な方
向からガルバノミラー収容部２８内に挿入するだけで支
承面２４と支承座面２９とが当接される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光学装置、たとえ
ば光磁気ディスクドライブ、追記形ディスクドライブ、
相変化形ディスクドライブ、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ、光
カード等の光記録媒体等に対して情報を記録および／ま
たは再生する情報記録再生装置、光スキャナー等の光学
装置に使用する光束の方向を制御するミラー式偏向装置
すなわちガルバノミラーを、取付けるべき固定部材に対
して傾きを調整して取付ける装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】上記のような各種の光学装置には、小形
のガルバノミラーが用いられている。ところで、このよ
うな光学装置にガルバノミラーを取付ける場合には、入
射光の光軸等に対しするミラーの傾き等を調整して正確
に位置決して取付ける必要がある。このように、ガルバ
ノミラーの傾きを調整して取付けるための取付け装置と
しては、各種の構造のものがあるが、上述したような光
学装置では、小形化に対する要求が厳しく、このため球
面状の支承面を備えた取付装置が多く用いられている。

【０００３】この取付装置は、ガルバノミラーの本体す
なわちベース部材に球面状の支承面を形成し、またこの
ガルバノミラーを取付けるべきキヤリッジやフレーム等
の固定部材には、この支承面と当接するたとえば球面状
の支承座面を形成し、これら支承面と支承座面を当接さ
せた状態でこのガルバノミラーを固定するものである。
そして、取り付けの際、または取り付け後に、この支承
面を支承座面に対して摺動させることにより、任意の方
向、たとえば互いに直交する２軸のまわりの傾きを調整
し、この後にこのガルバノミラーを固定する。このよう
な取付装置は、構造が簡単で小形に形成することができ
るので、上述したような光学装置の小形のガルバノミラ
ーの取付装置として適している。

【０００４】ところで、このガルバノミラーのミラーの
前面側は光学装置の光路となるので、当然ながらガルバ
ノミラーの前面側には取付装置を配置することはできな
い。このため、従来のガルバノミラーの取付装置は、ミ
ラーの背面側に設けられている。

【０００５】たとえば、実用新案登録公報第２５３６２
７４号に開示されているガルバノミラー装置では、ガル
バノミラーのヨークの背面に球面状の当接部を形成し、
またリテーナの前面に凹部を形成し、上記の当接部を凹
部に当接させ、このヨークとリテーナを３本の調整ねじ
で締結してある。また、このリテーナはハウジングの立
壁部の側面に取付けるように構成されている。そして、
上記の調整ねじを緩めた状態で当接部を凹部に対して摺
動させてミラーの角度位置を調整し、この後に調整ねじ
を締め付けてこのヨークを固定する。

【０００６】しかしながら、上記のような従来の構造の
ものは、以下のような不具合があった。すなわち、光学
装置のハウジング等は、たとえばダイカストにより一体
的に製造されるものが多く、このガルバノミラー等の光
学要素を挿入、装着する収容部は光学装置の光路と直交
あるいは交差する方向に開口して形成されているものが
多い。したがって、上述のように取付位置を調整するた
めの当接部をガルバノミラーの背面側に形成すると、リ
テーナ等を上記のハウジングの収容部の立壁部の側面に
取付ける必要がある。

【０００７】しかし、これら光学装置のハウジングは、
小形化の必要から収容部の寸法は収容すべき光学要素の
外形寸法に対して余裕を持たせることができない。この
ため、このような狭い収容部にガルバノミラーを挿入し
た後に、その位置を調整しながらハウジングの立壁部の
側面に装着しなければならず、作業性が極めて低くなる
という不具合がある。

【０００８】また、小形化のためには、ハウジングの内
壁面に凹部を直接形成し、ここにガルバノミラー側の当
接部を当接させ、このガルバノミラーをハウジングに直
接取付けることが好ましい。しかし、このハウジングは
上述のように一般的にダイカスト製品であるため、立壁
部の側面すなわち金型の抜き方向と平行な面には凹部を
形成することができない。

【０００９】したがって、上記の従来技術のようにリテ
ーナを設け、このリテーナに凹部を形成し、このリテー
ナをハウジングの立壁部の側面に取付ける構造を採用せ
ざるを得ず、構造が複雑となり、部品点数が増加すると
ともに、この取付構造の部分の寸法も大きくなり、この
光学装置の小形化を阻害するという不具合もある。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】本発明は以上の事情に
基づいてなされたもので、構造が簡単でより小形化する
ことができ、また取付調整作業も容易なガルバノミラー
の取付装置を提供するものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の本発明
は、ベース部材と、このベース部材に対してミラー回転
軸線まわりに回転自在に支持され少なくともミラーを有
する可動部と、この可動部を回転駆動する駆動手段とを
備えたガルバノミラーを、上記のミラーの反射面と平行
でかつ互いに直交する軸線まわりの少なくとも２方向の
傾きを調整して固定部材に固定する取付装置において、
上記のベース部材のうち上記のミラーの反射面と平行な
方向上に位置する底部、上部または側部にはその中心軸
線が上記のミラーの反射面と平行なの支承面が形成さ
れ、また上記の固定部材には、上記のミラーの反射面と
平行な方向に向けて開口し上記のガルバノミラーを収容
するガルバノミラー収容部が形成され、また、このガル
バノミラー収容部内には、その中心軸線が上記のミラー
の反射面と平行な支承座面が形成され、また、上記のガ
ルバノミラーのベース部材の支承面を上記のガルバノミ
ラー収容部の支承座面に当接させた状態でこのガルバノ
ミラーを固定するガルバノミラー固定手段とを具備した
ものである。

【００１２】したがって、ガルバノミラー収容部の開口
の方向、支承面および支承座面の中心軸線がいずれもミ
ラーの反射面と平行な方向すなわち光路と直交または交
差する方向に揃えられる。よって、ガルバノミラーをこ
の開口からガルバノミラー収容部に挿入するだけで支承
面と支承座面とが当接するとともに、このガルバノミラ
ーを開口の方向すなわち挿入方向に押圧すれば支承面と
支承座面とが当接状態に維持されるので、この状態で支
承面と支承座面とを摺動させてこのガルバノミラーの少
なくとも２方向の傾きの調整が可能となり、その取付け
作業が容易かつ能率的となる。

【００１３】また、上記のように支承面と支承座面とを
直接当接させることができるので、これらの間に前記の
従来技術のようなリテーナ等の部材を介在させる必要が
なく、この取付装置の構造が簡単で部品点数も少なく、
また小形化できる。

【００１４】さらに、上記の固定部材側の支承座面がガ
ルバノミラー収容部の開口の方向と一致しているので、
この支承座面をダイカスト成型の際に容易に形成でき、
また上記の開口から工具等を挿入して容易に機械加工す
ることもでき、この固定部材の製造も容易である。

【００１５】また、請求項２に記載の本発明は、前記の
支承面の中心軸線は、前記のミラー回転軸と平行である
ことを特徴とするものである。このミラーの回転軸は一
般にこのガルバノミラーのアセンブリの中心軸線と一致
しているので、このガルバノミラーをその中心軸線の方
向に挿入して取付けることができ、取付け作業が容易で
ある。

【００１６】また、請求項３に記載の本発明は、前記の
支承面の中心軸線は、前記のミラーの反射面内に含まれ
かつ前記のミラー回転軸と平行であることを特徴とする
ものである。したがって、固定部材側の支承座面に対し
て、この支承面をその中心軸線まわりに回転させて傾き
の調整をしても、このミラーの反射面がこの中心軸線と
直交する方向にずれることがなく、取付け調整作業をよ
り容易かつ正確に行うことができる。

【００１７】また、請求項４に記載の本発明は、前記の
支承面の傾きの中心は、前記のミラーの反射面上の入射
光の光軸の位置と一致していることを特徴とするもので
ある。したがって、この球面状の支承面を支承座面に対
して任意の方向に摺動させて傾きを調整しても、ミラー
の反射面は入射光の光軸に対してずれることがなく、取
付け作業をより容易かつ正確に行うことができる。

【００１８】また、請求項５に記載の本発明は、前記の
ガルバノミラー固定手段は、前記のベース部材と固定部
材とを接着する接着材であることを特徴とするものであ
る。したがって、取付け調整ホルダ等により保持したガ
ルバノミラーをガルバノミラー収容部内に挿入して支承
面と支承座面とを当接させた状態で傾きを調整し、この
後に上記の接着材によりこのガルバノミラーを固定部材
に固定することにより、このガルバノミラーを容易かつ
確実に取付けることができ、またこの固定のための他の
部材を必要としないので、構造が簡単で小形化すること
ができる。

【００１９】また、請求項６に記載の本発明は、前記の
ガルバノミラーは、前記の可動部に設けられた可動コイ
ルと、前記の可動部を回転自在に支承するの片持梁状の
支持部材と、上記の可動部の両側部に配置された一対の
固定磁石とを備え、また前記のベース部材は、上端部が
開口され底部に底壁部を有する有底筒状の部材であり、
この有底筒状のベース部材内に上記の支持部材および固
定磁石が所定の配置で挿入固定されており、またこのベ
ース部材の周壁部のうち前記のミラーの前面側に対応す
る部分は切除されて光路開口が形成されており、また上
記の底壁部の下面には前記のミラー回転軸線と平行な中
心軸線を有する球面状の支承面が形成されていることを
特徴とするものである。

【００２０】したがって、この有底筒状のベース部材
は、このガルバノミラーを構成する各部品を所定の位置
に組み付けるフレームと、支承面を形成するベースとを
兼用しているので、部品点数が少なく、構造が簡単とな
る。また、可動部を支持する部材を片持梁形の支持部材
とし、これを円筒形のベース部材内に収容し、かつこの
ベース部材の前面側に光路開口を形成したので、このガ
ルバノミラーをコンパクトに形成でき、より小形化する
ことができる。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、図を参照して本発明の実施
形態を説明する。この実施形態のものは、光磁気ディス
クを記録媒体とする情報記録再生装置の光ピックアップ
装置において、この光ピックアップ装置の固定部材すな
わちキヤリッジにガルバノミラーを取付調整する場合の
ものである。

【００２２】まず、図１を参照してこの光ピックアップ
装置の光学素子の概略的な配置を説明する。図中の１は
光磁気ディスクであって、この光磁気デイスク１の記録
面に沿ってアーム状のキヤリッジ２が設けられている。
このキヤリッジ１内には、後述する光学系が設けられ、
この光学系により光磁気ディスク１の記録面上に光スポ
ットＰを結び、情報の書き込みおよび読み出しを行う。

【００２３】上記のキヤリッジ２は、回転軸３を中心と
して図示しない駆動機構により回動され、その先端部を
機械的に移動させて粗アクセスを行う。また、上記の光
学系には、後述するガルバノミラー２０が設けられ、上
記の光スポットＰを光学的に移動させて微トラッキング
を行う。

【００２４】上記のキヤリッジ２は、具体的な構造は図
示していないが、たとえばマグネシウム合金をダイキャ
ストまたはプラスチックのモールド成形して形成したも
ので、その内部に上述の光学系が内蔵されている。な
お、このキヤリッジ２は、上記のようなマグネシウム合
金のダイキャスト以外にも、アルミニウムダイキャス
ト、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）、液晶プラス
チック（ＬＣＰ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）等の
プラスチック材料の成形でも良い。この光学系は、光源
であるレーザダイオード１１を備え、ここから出射した
光はビームスプリッタ１２の表面で一部の光が反射さ
れ、この反射光はコリメートレンズ１３に入射して平行
光となる。そして、この平行光はリレーレンズ１４で集
光される。また、この光学系には、後述するガルバノミ
ラー２０が設けられ、上記のリレーレンズ１４で集光さ
れた光はその焦点位置の少し手前でこのガルバノミラー
２０のミラー２１で反射され、コンバージョンレンズ１
５により再び平行光とされる。この平行光は上記のキヤ
リッジ２のアーム部分内をその長手方向に沿って進み、
このアーム部分の先端部に設けられた固定ミラー１６で
反射される。この反射光は対物レンズ１７に入射し、前
述の光磁気ディスク１の記録面上に前記の光スポットＰ
を結ぶ。

【００２５】また、光磁気ディスク１の記録面からの反
射の戻り光の一部は前記のビームスプリッタ１２を透過
し、フォトディテクター１８に入射する。そして、この
フォトディテクター１８からの出力により、情報再生信
号、フオーカシングエラー信号、トラッキングエラー信
号等の信号が得られる。そして、たとえば上記のフオー
カシングエラー信号、トラッキングエラー信号等は、こ
の光ピックアップ装置の制御回路（図示せず）に送ら
れ、この制御回路からの制御信号により上記のガルバノ
ミラー２０のミラー２１がそのミラー回転軸まわりに回
転し、これにより前記の光スポットＰの位置を光学的に
トラッキング方向に移動させて前述の微トラッキングを
行う。また、この制御回路からの制御信号により、上記
のリレーレンズ１４が図示しない駆動機構によりその光
軸方向に駆動され、前記の光磁気ディスク１上の光スポ
ットＰの焦点制御を行う。

【００２６】なお、この実施形態のものは、上記のレー
ザダイオード１１から上記の固定ミラー１６、およびフ
ォトディテクター１８に至る光路は、いずれも上記のキ
ヤリッジ２の回転面と平行な面内に配置されている。

【００２７】次に、この実施形態の光ピックアップ装置
に使用される上記のガルバノミラー２０の構成について
説明する。図２はこの実施形態のガルバノミラーを前方
側から見た斜視図、図３は後方側から見た斜視図、図４
は分解斜視図である。

【００２８】図中の２２はベース部材であって、このベ
ース部材２２はたとえば鋼板材をプレス成型して形成さ
れ、全体の形状は略有底円筒状をなしている。このベー
ス部材２２の底壁部２３の中央部には孔が形成されてリ
ング状をなしており、この底壁部２３の下面は球面状に
形成されてこのガルバノミラーを取付け調整するための
支承面２４に形成されている。この支承面２４の球面の
中心は、図１１に示すように、上記のミラー２１の反射
面上の入射光の光軸の位置Ｏと一致している。また、こ
のベース部材２２の周壁のうち、前記のミラー２１の前
面側は切り欠かれており、光が通過するための光路開口
２５が形成されている。

【００２９】上記のようなガルバノミラー２０は、図１
１および図１２に示すように、上記のキヤリッジ２に形
成されたガルバノミラー収容部２８内に収容される。こ
のガルバノミラー収容部２８は、上記のようなガルバノ
ミラー２０の外形と略対応した形状、すなわち円形の凹
部である。また、このガルバノミラー収容部２８は、こ
のキヤリッジ２内の光路が配置される平面と垂直な方
向、たとえば上方に向けて開口されている。このガルバ
ノミラー収容部２８の開口方向は、このキヤリッジ２を
ダイカスト成型する際の金型の抜き方向でもある。

【００３０】そして、このガルバノミラー収容部２８の
底部には、リング状の支承座面２９が形成されている。
この支承座面２９は、このキヤリッジ２をダイカストに
より成型する際に、一体的に形成されたもので、円錐面
状をなしている。そして、このガルバノミラー収容部２
８内に挿入されたガルバノミラー２０は、その底部の支
承面２４がこの支承座面２９に当接した状態で傾き等が
調整され、所定の傾き位置に固定されている。

【００３１】上記のガルバノミラー２０の支承面２４の
中心軸線Ｓ、および上記の支承座面２９の中心軸線Ｓ´
は、いずれも上記のミラー２１の回転中心軸線であるミ
ラー回転軸Ｒと平行に配置されている。また、これらの
支承面２４と支承座面２９の中心軸線Ｓ，Ｓ´は、上記
のミラー２１の反射面内に含まれ、またこの反射面上の
入射光の光軸の位置を通過するように配置されている。

【００３２】そして、このベース部材２２内には、バネ
アセンブリ３０が収容されている。このバネアセンブリ
３０は、合成樹脂材料で形成され片持梁状をなした固定
側の固定部材３１と、この固定部材３１の前面側に回動
自在に支持された合成樹脂材料からなる可動部材３２と
から構成されている。この可動部材３２は、上記の固定
部材３１に対して、後に詳述するバネ３３，３４により
図２に示すようなＹ軸と平行なミラー回転軸線Ｒまわり
に回転自在に支承されている。

【００３３】また、この可動部材３２の前面には、ミラ
ー２１が取付けられており、またこのミラー２１の周囲
を囲んで略四角形の可動コイル３７が取付けられてお
り、これら可動部材３２、ミラー２１および可動コイル
３７等により可動部が形成されている。なお、このミラ
ー２１に入射する入射光および反射した反射光の光路
は、前記の図２のＸ軸およびＺ軸を含む平面内に配置さ
れている。上記のミラー回転軸Ｒは、上記のようにＹ軸
と平行で、かつこれら可動部材３２、ミラー２１および
可動コイル３７等からなる可動部全体の重心点を通過し
ており、このミラー回転軸Ｒはこの可動部の慣性主軸と
一致している。

【００３４】なお、上記の可動部材３２の前面には、左
右一対、上下一対の合計４個の位置決突部３５，３６が
一体に突設されている。そして、上記のミラー２１の左
右側面および上下面は、これらの位置決突部３５，３６
の内側面に嵌合し、このミラー２１がこの可動部材３２
の前面に所定位置に位置決めされている。また、前記の
可動コイル３７は、その左右、上下の内周面が上記の位
置決突部３５，３６の外側面に嵌合し、この可動コイル
３７が所定位置に位置決めされている。よって、上記の
ミラー２１の外周と可動コイル３７の内周との間には、
上記の各位置決突部３５，３６が介在しており、これら
の間に所定の隙間が形成されている。

【００３５】そして、上記の可動部材３２、ミラー２
１、可動コイル３７は、上記の隙間内に充填された接着
材により互いに一体的に接着されている。したがって、
これらの部品からなる可動部は、全体の形状が四角形の
ブロック状となり、かつ接着材で互いに一体的に接合さ
れているので、この可動部自身の固有振動数が極めて高
くなり、この可動部が回動する際の共振が確実に防止さ
れる。

【００３６】なお、上記の固定部材３１、可動部材３２
はガラス繊維で強化された非導電性の合成樹脂材料、た
とえば液晶プラスチック（ＬＣＰ）、ポリフェニレンス
ルフィド（ＰＰＳ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、
ポリカーボネート（ＰＣ）等で形成されている。また、
上記のミラー２１は平面状のガラス基板の前面に反射率
の高い反射膜を形成したものである。また、上記の可動
コイル３７は直径０．０５ｍｍの導線を４層に巻回した
もので、その上下部からはそれぞれリード線３８が導出
されている。なお、この可動コイル３７への給電構造に
ついては後に説明する。

【００３７】また、上記のバネアセンブリ３０の平面形
状は、前述のごとく略四角形をなしており、このバネア
センブリ３０が円筒状のベース部材２２内に挿入される
ことにより、このバネアセンブリ３０の両側に空間が形
成される。なお、このバネアセンブリ３０の固定部材３
１の背面には、図３に示すように嵌合突部４６が形成さ
れている。また、上記のベース部材２２の周壁部の背面
側の上縁部には、上記の嵌合突部４６に対応して嵌合凹
部４７が形成されている。そして、上記の嵌合突部４６
がこの嵌合凹部４７内に嵌合することにより、このバネ
アセンブリ３０が位置決めされてこのベース部材２２内
に嵌合される。

【００３８】また、このバネアセンブリ３０の両側の空
間内には、略四角形ブロック状の固定側の永久磁石３９
が異極を対向させてそれぞれ収容されている。なお、こ
のベース部材３２の周壁のうちこれら永久磁石３９が収
容される部分は平面状の平面部２６に形成され、これら
永久磁石３９を安定して収容するように構成されてい
る。

【００３９】なお、上記のベース部材２２の平面形状は
略円形であり、また上記のバネアセンブリ３０および永
久磁石３９の平面形状は四角形である。したがって、こ
れらが上記のようにこのベース部材２２内に嵌合して収
容されることにより、これら永久磁石３９の後側には隙
間がそれぞれ形成される。これらの隙間は、後述するよ
うに、このガルバノミラー２０を調整して取付ける際の
取付工具の位置決ピンが挿入される隙間として使用され
る。

【００４０】次に、上記のバネアセンブリ３０の構成に
ついて説明する。図５には、このバネアセンブリ３０の
斜視図を示す。前記の固定部材３１は、ビーム状の梁部
４１と、この梁部４１の上下両端部から前方に突出した
アーム部４２，４３とを有している。また、上記の可動
部材３２の上下両端部には、それぞれバネ取付部４４が
一体に突設されている。そして、上記のアーム部４２，
４３とバネ取付部４４との間は前述のバネ３３，３４に
より前記のミラー回転軸Ｒまわりに回転自在に連結され
ている。そして、これらのバネ３３，３４、固定部材３
１、可動部材３２の連結構造は以下のように構成されて
いる。

【００４１】図６には、これらのバネ３３，３４の形
状、および固定部材３１、可動部材３２との配置関係を
示し、また図７にはこれらのバネ３３，３４を固定部材
３１や可動部材３２に組み込む前の打抜きブランク材の
状態を示す。これらのバネ３３，３４は、上記の可動部
材３２を回転自在に支持するための部材と、上記の固定
部材３１等の補強をなす補強部材と、前記の可動コイル
３７に給電をなす導電部材とを兼用している。

【００４２】これらのバネ３３，３４は、たとえばベリ
リウム銅合金の厚さ０．０３ｍｍの薄板材をエッチング
等に所定の形状に加工したもので、その表面には耐蝕性
および半田付け性を向上させるために０．２ミクロン程
度の厚さの金メッキが施されている。そして、これらの
バネ３３，３４は、たとえばＳ字状に屈曲したＳ字状バ
ネ部５１と、このＳ字状バネ部５１の一端部に連続して
形成された端子部５２と、このＳ字状バネ部５１の他端
部に連続して形成された補強導電部５４，５５と、これ
らの補強導電部５４，５５の先端部に形成された端子部
５６とを有している。上記の端子部５２の先端部には、
前述した可動コイル３７のリード線３８が係合されるＶ
字状の係合切欠５３がそれぞれ形成されている。なお、
下側のバネ３４の補強導電部５５は、略Ｌ字状に形成さ
れている。

【００４３】そして、上記のバネ３３，３４は、図２お
よび図５のＹ−Ｚ面と平行に配置され、その端子部５２
および補強導電部５４，５５は、これらの固定部材３１
および可動部材３２内の中心面かつ対称面に一体的に埋
設されている。上記の補強導電部材５４，５５は金属板
材であり、その面方向における曲げや剪断変形について
は高い剛性を有している。したがって、これらが固定部
材３１の梁部４１やアーム部４２，４３内に一体的に埋
設されていることにより、これらの部分の剛性を高め、
荷重による変形、この固定部材３１を射出成型した場合
の変形、温度変化による熱膨張による変形等を防止し、
バネアセンブリ３０の精度を高める。また、これら端子
部５２や補強導電部５４，５５等はこれら固定部材３１
や可動部材３２の中心面内に埋設されているので、バネ
アセンブリ３０は中心面に対して左右対称の構造とな
り、不規則な変形をより効果的に防止し、精度をより高
くする。

【００４４】上方のバネ３３は、その端子部５２が可動
部材３２の上側のバネ取付部４４内に一体的に埋設され
ており、またこの端子部５２の先端部はこのバネ取付部
４４の先端面から突出している。そして、この先端部の
係合切欠５３に可動コイル３７の一方のリード線３８の
先端部が係合し、さらに半田付けにより接合されてい
る。また、このバネ３３の補強導電部５４は、固定部材
３１の上側のアーム部４２内に一体的に埋設されてい
る。そして、この補強導電部５４の先端の端子部５４
は、図３に示すように固定部材３１の背面に突出してい
る。そして、この図３および図１１に示すように、この
端子部５４にはプリント配線板６０の端子部が半田付け
されている。したがって、このプリント配線板６０、バ
ネ３３の補強導電部５４、Ｓ字状バネ部５１、端子部５
２、リード線３８を介してこの可動コイル３７に給電が
なされる。

【００４５】また、下方のバネ３４は、上記と同様にそ
の端子部５２が可動部材３２の下側のバネ取付部４４内
に埋設され、また係合切欠５３には可動コイル３７の他
方のリード線３８が係合して半田付けされている。ま
た、このバネ３４のＬ字状の補強導電部５５は、固定部
材３１の下側のアーム部４３および梁部４１内に連続し
て一体に埋設されている。そして、この補強導電部５５
の先端の端子部５６は固定部材３１の背面部に突出し、
前記と同様にプリント配線板６０の他方の端子部に半田
付けされており、前記と同様にこれらの部材を介して可
動コイル３７に給電がなされる。

【００４６】このようなバネアセンブリ３０は以下のよ
うにして組み立てられる。まず、前述したようなベリリ
ウム銅合金等の薄板材をエッチング加工して図７に示す
ようなバネのブランク材６０を製造する。このブランク
材６０は、枠状のフレーム部６１を有しており、このフ
レーム部６１内に前記のようなバネ３３，３４が所定の
配置関係で一体に形成されている。なお、これらバネ３
３，３４とフレーム部６１とは組み立て後に切断する切
断予定線Ｃの部分で連続している。また、このフレーム
部６１のたとえば４隅には、位置決めのための位置決孔
６３がそれぞれ形成されている。

【００４７】そして、このようなブランク材６０を一対
の金型（図示せず）の間に挟んでこれらの金型を衝合
し、この金型のキャビテイ内に樹脂材料を射出して前述
の固定部材３１および可動部材３２を形成し、これと同
時に上記のバネ３３，３４の部分をこれらの固定部材３
１や可動部材３２の金型衝合面である中心面に一体的に
埋設する。

【００４８】なお、この樹脂材料と上記のバネ３３，３
４の表面との間の接着力は非常に小さいので、これら埋
設されたバネ３３，３４が一体化されず、かつこれらの
部分で固定部材３１および可動部材３２が左右に割れて
しまうことがある。これを防止するために、これらバネ
３３，３４の適宜箇所には透孔６２が形成されており、
たとえば図８に示すようにこれらの透孔６２内に射出さ
れた樹脂が充填され、これら固定部材３１や可動部材３
２の左右の部分を連結するとともに、これらバネ３３，
３４を一体化している。

【００４９】また、上記の金型のキャビテイ内に樹脂材
料を射出する際に、その射出圧力によりバネ３３，３４
の各部がキャビテイ内で変形し、これらバネ３３，３４
の各部が中心からずれたり、変形したりすることがあ
る。このような不具合を防止するために、上記のバネ３
３，３４の適宜の部分、たとえば端子部５２の先端部、
補強導電部５４，５５の縁部、端子部５６等を金型の間
で挟圧し、これらの部分がキヤビテイ内で移動、変形す
るのを防止するように構成されている。したがって、上
記の金型の間に挟圧された部分は、図８および図９に示
すように上記の固定部材３１、可動部材３２の表面から
突出している。

【００５０】なお、上記の補強導電部５５は、固定部材
３１の梁部４１のほぼ全長に亘って埋設され、かつその
縁部がこの梁部４１のほぼ全長にわたって突出してい
る。したがって、この補強導電部５５の埋設部分では、
この梁部４１が左右に分割され、強度、剛性が低下す
る。このような不具合を防止するには、この補強導電部
５５に前述したような透孔を形成してこの透孔内に充填
された樹脂材料でこの梁部の左右の部分を連結すればよ
いが、このような透孔を形成すると、この補強導電部５
５の強度、剛性が低下する。このため、この梁部４１の
中央部には、これを横断する方向に連結リブ部６４が一
体に突設されている。この連結リブ部６４は、補強導電
部５５の突出した縁部を跨いでこの梁部４１の左右の部
分を連結している。したがって、この補強導電部５５に
透孔を形成することなくこの梁部４１の左右を連結する
ことができる。

【００５１】なお、この連結リブ部６４は、上記の可動
部材３２の背面に対向しており、この可動部材３２の最
大回動角度を規制するストッパを兼用している。

【００５２】そして、上述のようにしてこれらバネ３
３，３４を固定部材３１や可動部材３２内に一体に埋設
した後に、上述したような切断予定線Ｃの部分を切断
し、フレーム部６１からこれらバネ３３，３４を分離
し、このバネアセンブリ３０を完成する。

【００５３】次に、上記のＳ字状バネ部５１について説
明する。これらのＳ字状バネ部５１は、前述のように図
２および図５のＹ−Ｚ面と平行に配置されており、可動
部材３２を図２および図５のＹ軸と平行なミラー回転軸
Ｒまわりに回転自在に支承し、かつこれ以外の他の方向
については可動部材３２の移動を可能なかぎり防止する
支持部材として作用するものである。

【００５４】図１０は、このＳ字状バネ部５１を拡大し
て示したもので、一対の略半円形の湾曲部５１ａと、こ
れらの一端部の端部５１ｂと、これらの湾曲部５１ａの
他端部を互いに連結する略直線状の直線部５１ｃとが一
体に形成されているものである。そして、上記の端部５
１ｂは、前述のように固定部材３１側、および可動部材
３２側に固定されている。

【００５５】このＳ字状バネ部５１は、上記のような支
持部材としての作用を達成するために、以下のような薄
板の変形の特性を利用している。一般に、薄板材は、そ
の面方向と直交する方向の単純な曲げ変形に対しては剛
性が最も小さく、ねじれ変形に対してはある程度剛性が
高く、面方向に沿う曲げ変形や剪断変形に対しては最も
高い剛性を示す。可動部材３２が固定部材３１に対して
ミラー回転軸Ｒまわりに回動した場合には、このミラー
回転軸Ｒの近傍部分、すなわちこのＳ字状バネ部５１の
端部５１ｂの根元部、直線部５１ｃの中央部に生じる変
形は面方向と直交する方向の単純な曲げ変形であるが、
この軸Ｒから離れた部分ではねじれ変形が生じ、このね
じれ変形はこの軸Ｒから離れる程大きくなる。したがっ
て、これら軸Ｒに近い部分に集中して単純な曲げ変形が
生じるとともに、この軸Ｒから離れた部分は変形量が小
さくなり、かつこのＳ字状バネ部５１の全体の変形は軸
Ｒを中心とする軸対称の変形が生じる。したがって、こ
のＳ字状バネ部５１は、このミラー回転軸Ｒを中心とし
て回動するように可動部材３２を支持し、このミラー回
転軸Ｒまわりの回転に伴う弾性力は小さい。

【００５６】一方、上記の可動部材３２がＹ軸方向、Ｚ
軸方向、およびＸ軸まわりに傾くように移動する場合に
は、上記のＳ字状バネ部５１にその面方向の曲げ変形や
剪断変形が生じる。このＳ字状バネ部５１は、このよう
な面方向の曲げ変形や剪断変形に対しては前述のように
剛性が高く、よってこれらの方向についての可動部材３
２の支持剛性は高い。特に、Ｚ軸方向の移動、およびＸ
軸まわりの傾動は、この可動部材３２に取付けられたミ
ラー２１で反射された光の焦点のずれ、光軸の傾き等の
光学的な誤差の原因となるが、これらの方向の支持剛性
は上記のように高いので、このような光学的な誤差を効
果的に排除することができる。

【００５７】なお、この可動部材３２がＸ軸の方向に移
動する場合、およびＺ軸まわりに傾動する場合には、上
記のＳ字状バネ部５１の端部５１ｂおよび直線部５１ｃ
にねじれ変形が生じ、湾曲部５１ａの中央部に単純な曲
げ変形が発生し、比較的剛性が低くなるが、これらの方
向の移動は、ミラー２１がその反射面に平行な方向に移
動するだけであり、実質的な反射面の変位は生じないの
で、光学的な誤差は発生しない。

【００５８】さらに、上記のように可動部材３２が光学
的な誤差の原因となるＺ軸方向への移動およびＸ軸まわ
りの傾動、すなわちＳ字状バネ５１の面方向の曲げ変形
や剪断変形のが可能な限り小さくなるように、上記のＳ
字状バネ部５１は以下のような形状に形成されている。
図１０に示すように、このＳ字状バネ部５１は、その端
部５１ｂおよび直線部５１ｃの幅Ｗ_２，Ｗ_３が狭く、湾
曲部５１ａの幅Ｗ_１が広くなるように設定されている。
たとえばこの実施形態では、上記の端部５１ｂおよび直
線部５１ｃの幅Ｗ_２，Ｗ_３はいずれも０．０８ｍｍ、湾
曲部５１ａの幅Ｗ_１は０．１６ｍｍに設定されている。

【００５９】このＳ字状バネ部５１の面方向の曲げ変形
や剪断変形の剛性を高くするには、このＳ字状バネ部５
１の各部の幅を広くすればよい。しかし、この幅を一様
に広くすると、この端部５１ｂや直線部５１ｃの部分の
面方向と直交する方向の単純な曲げの剛性も高くなり、
ミラー回転軸Ｒまわりの変形の剛性も高くなってしま
う。しかし、上記のように湾曲部５１ａの部分の幅Ｗ_１
を広くすれば、端部５１ｂや直線部５１ｃの部分の面方
向と直交する方向の単純な曲げ変形の剛性はほとんど変
わらないが、この湾曲部５１ａの部分の面方向の曲げ変
形や剪断変形の剛性は高くなり、このＳ字状バネ部５１
全体の面方向における曲げ変形や剪断変形の剛性は高く
なる。一方で、上記のミラー回転軸Ｒまわりの変形の際
には、このミラー回転軸Ｒの近傍の端部５１ｂおよび直
線部５１ｃが曲げ変形し、この軸Ｒから離れた位置にあ
る湾曲部５１ａの部分の変形は少ない。したがって、こ
の場合のミラー回転軸Ｒ回りの変形の剛性の増大はわず
かである。

【００６０】上記のＳ字状バネ部５１は、前述のように
ミラー回転軸Ｒまわりに回転自在な支承をなす部材とし
て作用するものであるから、その特性としては、この軸
Ｒまわりの変形の際の剛性Ｇ_Ｒに対して、それ以外の方
向すなわち図５のＺ軸方向の変形の際の剛性Ｇ_Ｚが大き
いこと、すなわちＧ_Ｚ／Ｇ_Ｒが大きい程好ましいもので
ある。

【００６１】次に、上記のような効果を確認するために
行った試験の結果を説明する。この場合に、上記のＳ字
状バネ部５１は、寸法が小さいものであるので、このＳ
字状バネ部５１の各方向の剛性を直接測定するのは困難
でかつ精度が低い。このような条件を考慮して、以下の
ような方法により上記のＧ_Ｚ／Ｇ_Ｒの剛性の比を間接的
に測定した。

【００６２】まず、比較例として、バネの板厚が０．０
３ｍｍ、Ｓ字状バネ部５１の全体が０．０８ｍｍの均一
な幅のものと、上述のように端部５１ｂおよび直線部５
１ｃの幅がいずれも０．０８ｍｍ、湾曲部５１ａの幅Ｗ
１が０．１６ｍｍの実施形態のバネを試作し、これらを
同じ固定部材３１や可動部材３２と一体化してバネアセ
ンブリ３０を製造した。

【００６３】そして、上記の可動部材３２の各方向の固
有振動数を測定した。まず、均一な幅の比較例のもの
は、ミラー回転軸Ｒまわりの可動部材３２の固有振動数
ｆ_Ｒと、この可動部材３２のＺ軸方向の固有振動数ｆ_Ｚ
を測定した結果、ｆ_Ｒ＝１２８Ｈｚ、ｆ_Ｚ＝７１８Ｈｚ
であった。一方、上記の実施形態のものについても同様
に可動部材の固有振動数を測定した結果、ｆ_Ｒ＝１５９
Ｈｚ、ｆ_Ｚ＝１４１４Ｈｚであった。そして、これらの
比を算出した結果、均一な幅の参考例のものは、そのｆ
_Ｚ／ｆ_Ｒが５．６であるのに対して、実施形態のもの
は、このｆ_Ｚ／ｆ_Ｒが８．９であった。そして、このＳ
字状バネ部の剛性の比は、（ｆ_Ｚ／ｆ_Ｒ）^２であるか
ら、上記の参考例のものは、上記の（ｆ_Ｚ／ｆ_Ｒ）^２す
なわちミラー回転軸まわりの剛性とＺ軸方向の剛性の比
Ｇ_Ｚ／Ｇ_Ｒが約３１であるのに対して、この実施形態の
ものは、Ｇ_Ｚ／Ｇ_Ｒが約７９であった。したがって、こ
の実施形態のものは、このＧ_Ｚ／Ｇ_Ｒが参考例の約２．
６倍である。よって、この実施形態のものは、ミラー回
転軸Ｒまわりの剛性をＧ_Ｒを参考例と等しく設定すれ
ば、Ｚ軸方向の剛性Ｇ_Ｚは２．６倍となる。つまり、例
えば共振や振動によって可動部材３２が移動する量、す
なわちミラー２１で反射される光のずれは１／２．６と
なり、より高精度のガルバノミラーと、より安定したト
ラッキング特性が得られる。

【００６４】また、上記の実施形態では、支持部材の形
状としてＳ字状バネ５１を用いている。ガルバノミラー
２０の支持部材であるバネは、消費電力を小さくし、支
持部材に発生する最大応力を小さくして支持部材の信頼
性を向上させるために、その有効長は長い方が望まし
い。しかし、支持部材をミラー回転軸Ｒ方向に長くする
とガルバノミラー２０の寸法が非常に大きくなり、装置
の小形化の障害となってしまう。そのため、この実施形
態では、支持部材であるバネをＳ字状とし、バネの両端
の端部５１ｂ、５１ｂの間のバネの長さを長くし、２つ
の端部５１ｂ、５１ｂの間の直線距離を短くしてある。

【００６５】さらにこの実施形態では、端部５１ｂの固
定部材３１への取付け、および端部５１ｂの可動部材３
２への取付けをミラー回転軸Ｒ方向に対して垂直方向で
あるＺ方向に位置させた。このため、支持部材であるＳ
字状のバネ５１の取付部を含めたミラー回転軸Ｒ方向の
寸法を非常に小さく構成することができる。そのため、
ガルバノミラー２０のミラー回転軸Ｒ方向の寸法を小さ
くし、消費電力を小さくし、支持部材に発生する最大応
力を小さくして信頼性を向上させることができる。

【００６６】また、上記のように可動部材３２はバネ３
３，３４のＳ字状バネ部５１の変形により、ミラー回転
軸Ｒまわりに回転自在に支承されており、このＳ字状バ
ネ部５１はこのミラー回転軸Ｒまわりの変形に対して所
定のバネ定数を有しているため、この可動部材３２はこ
のミラー回転軸Ｒまわりに振動する。そして、このよう
な可動部材３２の振動を減衰するために、以下のような
減衰機構が設けられている。

【００６７】すなわち、図５ないし図６に示すように、
上記の固定部材３１のアーム部４２，４３の先端部に
は、前記のバネ３３，３４のＳ字状バネ部５１の一方の
端部５１ｂを囲むようにして上下１対ずつの突部７１，
７２がそれぞれ突設されている。また、上記の可動部材
３２のバネ取付部４４にも、それぞれ突部７３が突設さ
れてこのバネ取付部４４がＵ字状に形成され、Ｓ字状バ
ネ部５１の他方の端部５１ｂを囲むように構成されてい
る。また、上記の突部７２と７３とにより、このＳ字状
バネ部５１の直線部５１ｃを囲むように構成されてい
る。

【００６８】そして、これらの突部７１，７２の間に形
成された凹部、および上記の突部７２，７３の間の間隙
には、それぞれダンピング材７４，７５が充填されてお
り、上記のＳ字状バネ部５１の端部５１ｂはこのダンピ
ング材７４内に埋没され、またＳ字状バネ部５１の直線
部５１ｃは上記のダンピング材７５内に埋没されてい
る。これらのダンピング材７４，７５は、たとえば未硬
化の熱硬化シリコーンゲル材をこれらの凹部および隙間
内に所定量ずつ注入保持させた後に、このバネアセンブ
リ３０全体をオーブン内でたとえば７０°Ｃで３０分間
加熱し、この未硬化のゲル材を硬化させて所定の粘性を
有するシリコーンゲル材としたものである。

【００６９】したがって、上記の可動部材３２がミラー
回転軸Ｒまわりに回転した場合に、このＳ字状バネ部５
１の端部５１ｂおよび直線部５１ｃがこれらのダンピン
グ材７４，７５中で変形することにより、その粘性抵抗
により所定の減衰力が発生し、この可動部材３２の振動
を減衰する。

【００７０】上記の未硬化のダンピング材７４，７５を
注入保持させる際には、その表面張力により自由表面が
最小となるような凝集力が働く。したがって、上記の未
硬化のダンピング材７４の液塊は、一対の突部７１，７
２の間に形成される凹部の奥部に保持され、Ｓ字状バネ
部５１の端部５１ｂを中心部に埋没させた所定の位置に
保持される。また、上記の未硬化のダンピング材７５の
液塊も、突部７２，７３の間に保持されるとともに、Ｓ
字状バネ部５１の直線部５１ｃをその中心に埋没させる
ように保持される。

【００７１】ただし、この突部７２，７３の互いに対向
する面が平行な平面であると、このダンピング材７５の
液塊が図６の左右方向すなわち図５のＺ方向に移動して
も、上記の直線部５１ｃの断面形状はＺ軸方向に一定で
あるので、その自由表面は変化しない。このため、この
ダンピング材７５の液塊は、このＺ方向の任意の位置に
移動可能となり、その保持位置が一定しない。このよう
な不具合を防止するため、この実施形態では、これら突
部７２，７３の互いに対向する面には、Ｘ軸方向に連続
する断面山形の突条部７６がそれぞれ形成されている。
したがって、このダンピング材７５の液塊がＺ軸方向に
移動すると、この液塊の両側の自由表面の面積に差が生
じて表面張力に差が発生し、この液塊は両側の自由表面
の表面張力が釣合う位置まで、すなわちこの断面山形の
突条部７６に対してＺ軸方向に対称の位置まで移動し、
この位置で安定して保持される。よって、このダンピン
グ材７５を所定の位置に正確に保持させることができ
る。

【００７２】なお、上記のダンピング材７４，７５とし
ては、前記のような材料の他に、たとえば紫外線硬化シ
リコーンゲル、アクリルゲル、溶剤により液状になった
ブチルゴム、アクリルの粘着材など、その他の減衰特性
のある任意の材料を使用することができる。

【００７３】次に、上述したような構成のガルバノミラ
ー２０を前記の固定部材すなわちキヤリッジ２のガルバ
ノミラー収容部２８内に装着するとともに、その傾き等
を調整して所定の位置に取付ける取付装置の作用を図１
１および図１２を参照して説明する。

【００７４】まず、前述のように、ガルバノミラー２０
のベース２２の底面に形成されている球面状の支承面２
４は、その中心軸線Ｓが前記のミラー回転軸Ｒと平行で
かつミラー２１の反射面内に含まれている。また、この
支承面２４の球面の中心点は、上記のミラー２１の反射
面上の入射光の光軸の位置Ｏと一致している。また、上
記のキヤリッジ２のガルバノミラー収容部２８の底部に
形成されている円錐面状の支承座面２９は、その中心軸
線Ｓ´が前記のミラー回転軸Ｒと平行でかつミラー２１
の反射面内に含まれており、かつ上記のミラー２１の反
射面上の入射光の光軸の位置Ｏを通過している。

【００７５】そして、図１２に示すように、まずこのガ
ルバノミラー２０を取付工具８０により保持する。この
取付工具８０は、その下端部が倒立Ｕ字状をなし、その
荷担部にはたとえば４本の位置決ピン８１が突設されて
いる。また、この取付工具８０内には、図示しない電磁
石が内蔵されている。

【００７６】このような取付工具８０は、このガルバノ
ミラー２０の上方からこれに近接して嵌合し、上記の電
磁石を励磁することにより、このガルバノミラー２０を
磁気的に吸着保持する。この場合に、上記の位置決ピン
８１は、このガルバノミラー２０の永久磁石３９の後側
に形成された隙間内と前側に挿入され、これらの位置決
ピン８１によりこれら永久磁石３９の前後面が挟まれて
保持される。これによって、このガルバノミラー２０は
この取付工具８０に対して所定の位置に位置決めして保
持される。

【００７７】次に、この取付工具８０に保持されたガル
バノミラー２０を、ガルバノミラー収容部２８内にその
上端開口部から挿入する。この挿入方向は、上記のミラ
ー回転軸Ｒと平行な方向、すなわち支承面２４の中心軸
線Ｓおよび支承座面２９の中心軸線Ｓ´と平行な方向で
ある。このようにして挿入されたガルバノミラー２０
は、図１１に示すようにその支承面２４が支承座面２９
に着座して当接し、これらの中心軸線Ｓ，Ｓ´が一致す
る。

【００７８】この状態で、このガルバノミラー２０を取
付工具８０により下方に所定の押圧力たとえば１００ｇ
ｆ程度の押圧力で押圧し、支承面２４と支承座面２９と
を当接させた状態に維持し、これらを摺動させつつこの
ガルバノミラー２０の傾き、たとえば上記のミラー回転
軸ＲまわりすなわちＹ軸まわり、および前記のＸ軸まわ
りに回動させ、光学系の光軸に対してミラー２１の反射
面に平行な２軸まわりの傾きに調整する。なお、このよ
うな調整は、このガルバノミラー２０のミラー２１にレ
ーザダイオード１１からの光を入射し、キヤリッジ２の
基準面に対する固定ミラー１６からの出射光の傾きをオ
ートコリメータによって検出し、図示しない制御装置に
より上記の取付工具８０の傾きを自動的に制御して行わ
れる。

【００７９】そして、上記のような傾きの調整作業が終
了したら、このガルバノミラー２０をその位置に保持
し、このガルバノミラー２０とガルバノミラー収容部２
８の内面との間、たとえばベース部材２２の前縁部およ
び両側面部とガルバノミラー収容部２８の内面との間、
または支承面２４と支承座面２９との間に接着剤Ａを注
入して硬化させ、このガルバノミラー２０をキヤリッジ
２に対して所定の取付位置に固定する。そして、この後
に、上記の取付工具８０を上方に抜き去る。

【００８０】上記のように、この実施形態のものは、ガ
ルバノミラーの支承面２４の中心軸線Ｓがミラー２１の
反射面と平行な方向、たとえばミラー回転軸Ｒと平行な
方向であり、またキヤリッジ２側のガルバノミラー収容
部２８もミラー２１の反射面と平行でさらにミラー回転
軸Ｒと平行な方向に開口され、かつその支承座面２９の
中心軸線Ｓ´もミラー２１の反射面と平行でさらにミラ
ー回転軸Ｒと平行である。

【００８１】したがって、このガルバノミラー２０をミ
ラー２１の反射面と平行でさらにミラー回転軸Ｒと平行
な方向、すなわち光路と直交または交差する方向からガ
ルバノミラー収容部２８内に挿入するだけで、この支承
面２４と支承座面２９とを当接させることができ、この
状態でこれらの面を摺動させてこのガルバノミラー２０
の２方向の傾きを調整することができる。したがって、
その調整取付作業が容易となる。

【００８２】また、このガルバノミラー収容部２８の開
口の方向とその支承座面２９の中心軸線Ｓ´の方向が平
行であるので、キヤリッジ２等の固定部材をダイキャス
トで製造する場合に、この支承座面２９の中心軸線Ｓ´
と金型の抜き方向が一致するので、この支承座面２９を
このキヤリッジ２に一体的に形成でき、また支承座面２
９を加工する場合でも切削工具を開口から挿入してこの
支承座面２９を機械加工することも容易であり、その製
造が極めて容易となる。また、キヤリッジ２側に直接形
成した支承座面２９にガルバノミラー２０の支承面２４
を直接当接できるので、このガルバノミラーの取付構造
が簡単で小形化でき、この光ピックアップ等の光学装置
を小形化することができる。また、このようなキヤリッ
ジをプラスチックの成形品で製造する場合でも、上記と
同様に容易に支承座面２９を形成することができる。

【００８３】なお、この実施形態の場合には、ガルバノ
ミラー２０側の支承面２４の中心軸線Ｓは、ミラー回転
軸Ｒと平行である。このミラー回転軸Ｒはガルバノミラ
ー２０のアセンブリの中心軸と一致しているので、この
ガルバノミラーをその中心軸の方向に挿入するだけで、
その支承面２４が支承座面２９に着座させることがで
き、取付調整作業が一層容易となる。

【００８４】また、この支承座面２９の中心軸線Ｓ´
は、ガルバノミラー２０のミラー２１の反射面内に含ま
れているので、この中心軸線Ｓ´まわりにガルバノミラ
ー２０を回動させて傾きを調整しても、ミラー２１の反
射面がＺ軸方向すなわち光学的な誤差が生じる方向に移
動するのが防止され、調整取付作業が容易となる。

【００８５】また、支承面２４の球面の中心は、ミラー
２１の反射面上の入射光軸の位置と一致しているので、
このガルバノミラー２０を任意の方向に傾き調整して
も、この入射光軸の位置の反射面はＺ軸方向には移動せ
ず、取付調整作業が極めて容易となる。

【００８６】また、この実施形態では、ガルバノミラー
２０をキヤリッジ２に対してビスやバネ等の他の固定用
部品を使用せずに接着材Ａで固定しているので、その構
造が簡単であるとともに、一層の小形化を達成すること
ができる。

【００８７】さらに、上記の実施形態のガルバノミラー
２０は、有底円筒状のベース部材２２内にバネアセンブ
リ３０、永久磁石３９等を収容し、このベース部材２２
の底部に支承面２４を、周壁部の一部を切除して光路開
口２５を形成し、さらに支承面２４がミラー２１を囲む
ように構成したので、このガルバノミラー２０全体がコ
ンパクトに形成され、より小形に形成することができ
る。

【００８８】なお、本発明は上記の実施形態には限定さ
れない。たとえば、上記のガルバノミラー２０のミラー
回転軸方向は、支承面と平行でなくとも良い。たとえ
ば、上記の実施形態でミラー回転軸をＸ軸と平行な方向
としても良い。この場合には、ガルバノミラー２０の支
承面２４を平面部２６の周囲に形成したような構成にす
れば良い。

【００８９】また、上記の実施形態では、ベース部材の
支承面を球面の一部にて構成し、この支承面を受ける固
定部材の支承座面は円錐面にて構成したが、これらの形
状はミラーを傾ける構成であれば、任意の形状のものを
採用することができる。たとえば、支承面を球面、支承
座面も球面としても良い。また、支承面を３点で構成
し、支承座面を球面としても良い。また、支承面を円環
面、支承座面を球面としても良い。さらに、これらの支
承面および支承座面は、上記のような球面、円錐面、３
点受け、円環面等、任意の形状のものを任意に組み合わ
せて採用することが可能である。

【００９０】また、上記の支承面は必ずしもガルバノミ
ラーの底部に形成する必要はなく、またこの支承面の中
心軸線、支承座面の中心軸線、ガルバノミラー収容部の
開口の方向は、かならずしもミラー回転軸と平行な方向
には限定されず、光学装置のハウジングの構成や、光学
部品の配置等の各種の条件に対応して適宜の方向に設定
することが可能である。

【００９１】たとえば、ガルバノミラー収容部の開口を
下方に向けて開口させ、支承面はこのガルバノミラーの
上部に形成し、このガルバノミラーを下方から挿入する
ようにしても良い。さらに、このガルバノミラー収容部
の開口を側方、たとえば入射光と出射光の光軸を含む平
面内でこれら光軸と交差する方向に開口させ、ガルバノ
ミラーの側部に支承面を形成し、側方から挿入するよう
に構成しても良い。これらの方向は、いずれもこのガル
バノミラーのミラーの反射面と平行な方向であり、した
がって、支承面はベース部材のうち、ミラーの反射面と
平行な方向上に位置する部分に形成すれば良い。

【００９２】また、ガルバノミラーの駆動方式は必ずし
も上記の実施形態のものには限定されない。たとえば、
可動部にマグネットを配置し、ベース側にコイルを配置
したムービングマグネット方式でも良い。また、電磁駆
動には限らず、圧電素子、静電駆動形でも良い。また、
支持方式も金属バネには限らず、ワイヤ、樹脂等の弾性
部材を使用したものでも良く、またシリコン基板をエッ
チング加工しミラーと支持バネとを一体に形成したもの
でも良い。

【００９３】また、ガルバノミラーの構造は、必ずしも
上記の実施形態の構造には限定されるものではなく、各
種の仕様に対応して各種の構造のものが採用可能である
ことはもちろんである。また、このガルバノミラーをキ
ヤリッジ等の固定部材に固定する手段は、必ずしも接着
材には限定されず、螺子、かしめ、スプリング部材によ
る押圧、その他の固定手段を採用することができる。

【００９４】さらに上記のガルバノミラーは、平面状の
ミラーを備えたものには限定されず、凹面ミラー、ホロ
グラム、プリズム等の光学素子を回転、傾動させるもの
でもよく、このガルバノミラーの形式や構造は限定され
るものではない。

【００９５】

【発明の効果】上述の如く本発明のガルバノミラーの調
整取付装置は、ガルバノミラー側の支承面がベース部材
のうちミラーの反射面と平行な方向上にある位置に形成
され、固定部材側のガルバノミラー収容部もこのミラー
の反射面と平行な方向に開口され、かつ支承面や支承座
面の中心軸線もこのミラーの反射面と平行である。よっ
て、このガルバノミラーをミラーの反射面の方向からガ
ルバノミラー収容部内に挿入するだけで、支承面と支承
座面とを直接的に当接させることができ、調整取付作業
が容易となるとともに、構造が簡単で部品点数も少な
く、小形に形成することができる。また、この支承座面
の中心軸線が開口の方向と一致しているので、この支承
座面の製造も容易である等、その効果は大である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態の光ピックアップ装置の構成
を示す概略的な斜視図。

【図２】実施形態のガルバノミラーを前方から見た斜視
図。

【図３】実施形態のガルバノミラーを後方から見た斜視
図。

【図４】実施形態のガルバノミラーの分解斜視図。

【図５】実施形態のガルバノミラーのバネアセンブリの
斜視図。

【図６】実施形態のガルバノミラーのバネアセンブリの
概略的な側面図。

【図７】実施形態のバネのブランク材の平面図。

【図８】図６の８−８線に沿う断面図。

【図９】図６の９−９線に沿う断面図。

【図１０】バネのＳ字状バネ部の概略的な側面図。

【図１１】ガルバノミラー収容部とその内部に収容され
たガルバノミラーの縦断面図。

【図１２】ガルバノミラーの取付状態を示す分解斜視
図。

【符号の説明】

２キヤリッジ２０ガルバノミラー２１ミラー２２ベース部材２４支承面２８ガルバノミラー収容部２９支承座面３０バネアセンブリ３１固定部材３２可動部材３３，３４バネ３７可動コイル３９永久磁石

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ベース部材と、このベース部材に対して
ミラー回転軸線まわりに回転自在に支持され少なくとも
ミラーを有する可動部と、この可動部を回転駆動する駆
動手段とを備えたガルバノミラーを、上記のミラーの反
射面と平行でかつ互いに直交する軸線まわりの少なくと
も２方向の傾きを調整して固定部材に固定する取付装置
において、上記のベース部材のうち上記のミラーの反射面と平行な
方向上に位置する底部、上部または側部にはその中心軸
線が上記のミラーの反射面と平行な支承面が形成され、また上記の固定部材には、上記のミラーの反射面と平行
な方向に向けて開口し上記のガルバノミラーを収容する
ガルバノミラー収容部が形成され、また、このガルバノミラー収容部内には、その中心軸線
が上記のミラーの反射面と平行な支承座面が形成され、また、上記のガルバノミラーのベース部材の支承面を上
記のガルバノミラー収容部の支承座面に当接させた状態
でこのガルバノミラーを固定するガルバノミラー固定手
段とを具備したことを特徴とするガルバノミラーの取付
装置。
【請求項２】前記の支承面の中心軸線は、前記のミラ
ー回転軸と平行であることを特徴とする請求項１のガル
バノミラーの取付装置。
【請求項３】前記の支承面の中心軸線は、前記のミラ
ーの反射面内に含まれかつ前記のミラー回転軸と平行で
あることを特徴とする請求項１のガルバノミラーの取付
装置。
【請求項４】前記の支承面の傾きの中心は、前記のミ
ラーの反射面上の入射光の光軸の位置と一致しているこ
とを特徴とする請求項１のガルバノミラーの取付装置。
【請求項５】前記のガルバノミラー固定手段は、前記
のベース部材と固定部材とを接着する接着材であること
を特徴とする請求項１のガルバノミラーの取付装置。
【請求項６】前記のガルバノミラーは、前記の可動部
に設けられた可動コイルと、前記の可動部を回転自在に
支承するの片持梁状の支持部材と、上記の可動部の両側
部に配置された一対の固定磁石とを備え、また前記のベ
ース部材は、上端部が開口され底部に底壁部を有する有
底筒状の部材であり、この有底筒状のベース部材内に上
記のヨーク部材および固定磁石が所定の配置で挿入固定
されており、またこのベース部材の周壁部のうち前記の
ミラーの前面側に対応する部分は切除されて光路開口が
形成されており、また上記の底壁部の下面には前記のミ
ラー回転軸線と平行な中心軸線を有する球面状の支承面
が形成されていることを特徴とする請求項１のガルバノ
ミラーの取付装置。