JP4503076B2 - 揺動駆動装置 - Google Patents

揺動駆動装置 Download PDF

Info

Publication number
JP4503076B2
JP4503076B2 JP2008009074A JP2008009074A JP4503076B2 JP 4503076 B2 JP4503076 B2 JP 4503076B2 JP 2008009074 A JP2008009074 A JP 2008009074A JP 2008009074 A JP2008009074 A JP 2008009074A JP 4503076 B2 JP4503076 B2 JP 4503076B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
swing
axis
coil
spring
strip
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2008009074A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2009171784A (ja
Inventor
教之 小守
厚司 道盛
伸二 柳生
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP2008009074A priority Critical patent/JP4503076B2/ja
Priority to US12/354,935 priority patent/US8183721B2/en
Publication of JP2009171784A publication Critical patent/JP2009171784A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4503076B2 publication Critical patent/JP4503076B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K33/00Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system
    • H02K33/02Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system with armatures moved one way by energisation of a single coil system and returned by mechanical force, e.g. by springs

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Projection Apparatus (AREA)
  • Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)

Description

本発明は、揺動動作を行うボイスコイルモータを備える投射型画像表示装置の画素ずらしを行なう揺動駆動装置に関するものである。
近年、光を投射してスクリーンに映像を映し出す投射型画像表示装置において、投射光をガラスに透過させ、そのガラスを微小揺動させることにより、投射光を揺動方向にずらす画素ずらし装置が採用されている。この画素ずらし装置によりスクリーン上の画像を半画素ずらすことにより、見かけ上の画素数を増加させ、解像度を向上させている。
画素ずらし装置の、ガラスを微小揺動させるアクチュエータ(揺動駆動装置)としては、円筒状のコイルと、このコイルを外側から覆うように配設されるカップ状の外ヨークと、この外ヨークの内側中央部(前記コイルの内側)に配設される永久磁石と、この永久磁石の上端に配設される内ヨークと、を備えるボイスコイルモータが使用されている。
同様に、揺動動作を行う装置において、円筒状のボイスコイルモータが採用されているが、その揺動中心はボイスコイルモータの外にあり、かつ、動作を行う部分とボイスコイルモータとの中間位置に設けられている。なお、ボイスコイルモータをアクチュエータとして用いる装置の例は、特許文献1等に開示されている。
特開平5−326603号公報(第2頁、図1)
円筒状のボイスコイルモータは、コイルの全周において推力を発生するため効率が良いが、カップ状のヨーク等の加工が難しい、という問題がある。そのため、矩形に巻いたコイルの孔部に、金属板でできたヨーク(センターヨーク)を配置し、コイルの一辺を挟む位置に、1個の磁石を配置した形状のボイスコイルモータが用いられている。
このボイスコイルモータは、磁石の背面側に配置したヨーク(バックヨーク)の端部と、コイルの中心穴部に配置したセンターヨークの端部と、を接触させる形状とすることにより、磁石の磁束を還流させ、ボイスコイルモータの効率を上げることができる。
上記の矩形コイルを備えたボイスコイルモータを用いるとき、揺動中心から一番離れたコイルの一辺をボイスコイルモータとして機能させることにより、トルクを増大させることができる。また、ボイスコイルモータとして機能させるコイルの一辺を、揺動中心から離すほど、小さな推力で大きなトルクを得ることができる。
しかしながら、コイルは銅線により形成されていて、揺動部品の中では比較的に質量が大きく、揺動中心からの距離を大きくすると、イナーシャが大きくなり、高速揺動動作が難しい、という問題があった。また、画素ずらしを行なう揺動駆動装置は、投射型画像表示装置の薄型化、小型化に伴い、小型化の要求が強くなっている。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、揺動動作の高速化と装置の小型化を両立させた投射型画像表示装置の画素ずらしを行なう揺動駆動装置を得ることを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る揺動駆動装置、揺動軸心および取付部を有する揺動部と、略中央に前記揺動軸心を支持する揺動支点が設けられ、辺に支持部が形成されベースと、前記揺動支点の内側に配置された前記揺動部の前記取付部に取付けられる固定部、一端が前記ベースの前記支持部に取付けられる撓み梁部および前記揺動支点を挟むように前記揺動軸心と略平行に配置されて一端が前記固定部に接続され他端が前記撓み梁部に接続される捻り梁部を有し、前記揺動部を前記ベースに揺動可能に軸支させる帯状板ばねと、を備えることを特徴とする。
この発明によれば、揺動動作の高速化と装置の小型化を両立させた投射型画像表示装置の画素ずらしを行なう揺動駆動装置が得られる、という効果を奏する。
以下に、本発明にかかる揺動駆動装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
実施の形態1.
図1は、本発明にかかる揺動駆動装置の実施の形態1を示す斜視図であり、図2は、実施の形態1の揺動駆動装置の分解斜視図であり、図3は、実施の形態1の揺動駆動装置の揺動部の斜視図であり、図4−1は、矩形環状のコイルの正面図であり、図4−2は、図4−1のA−A線に沿う矩形環状のコイルの縦断面図であり、図5は、単位トルク当たりのイナーシャJとトルクTの腕の長さとの関係を示すグラフである。
図1〜図3に示すように、フラップ1には、投射型画像表示装置の投射光を透過させるガラス3と、矩形環状のコイル4と、コイル4に発生する推力により撓み、反力を発生する帯状板ばね2と、が取付けられている。フラップ1、ガラス3及びコイル4は、揺動部10aを構成している。
フラップ1は、揺動軸心1aの下寄りに矩形環状のコイル4を保持し、揺動軸心1aの上側窓部1cに投射光を透過させるガラス3を保持し、左右の揺動軸心1a上に取付部1b、1bを有している。
ベース7は、略中央に、フラップ1の揺動軸心1aを支持する離間した二つの揺動支点7a、7aが設けられ、周辺四隅に四つの支持部7b、7bが形成され、フラップ1を揺動支点7a、7a上に支持する。
横向きT字状に形成された帯状板ばね2は、フラップ1の揺動軸心1aに交差(直交)するように配置され、フラップ1の左右の取付部1b、1bに略中央に位置する固定部が取付けられ、両端部がベース7の支持部7b、7bに取付けられている。帯状板ばね2は、フラップ1の揺動軸心1aを、ベース7の略中央に設けられた揺動支点7a、7aに当接させ軸支させる押圧力を与え、自身の撓みによりフラップ1をベース7に揺動可能に軸支させる。
ガラス3は、揺動軸心1aを挟んでコイル4の反対側に配置されている。フラップ1の揺動動作により、帯状板ばね2の略中央に設けられた、揺動軸心1a方向内側に延びる捻り梁部2aには、捻りによる反力が、撓み梁部2bには撓みによる反力が、それぞれ発生し、コイル4(ボイスコイルモータ)の付勢力を発生させている。
ボイスコイルモータ10bは、フラップ1に固定された矩形環状のコイル4と、コイル4の孔部4aに配置されベース7に支持されたL字型のヨーク5aと、コイル4の外側に配置されベース7に支持されたヨーク5bと、ヨーク5a、5bの上下内面に固着され、コイル4を挟むように配置された2個の永久磁石6、6と、を備えている。L字型のヨーク5a、5bは、各々の端部同士が互いに当接するように配置されており、磁石6、6の夫々のN極から出た磁力線(磁束)がS極に還流する。
コイル4に電流を流すと、図1の上下方向にコイル4を横切る磁力線に対して、垂直方向に推力が発生する。この推力により、フラップ1は、揺動支点7aを中心に、帯状板ばね2のばね反力に抗して揺動する。
フラップ1に固定されフラップ1とともに揺動する要素は、ガラス3及びコイル4である。各要素の質量は、例えば、フラップ1が1.5g、ガラス3が0.7g、コイル4が2.1gであり、揺動する要素の全質量に対して、コイル4の質量が約半分を占めている。それ故、コイル4のイナーシャを低減させることが、画素ずらし装置10の応答特性を向上させるために重要である。
図4−1及び図4−2に示すように、矩形環状のコイル4の正面形状寸法は、外幅b、外高さh1、内幅b2及び内高さh2で表される。揺動中心を揺動軸X(揺動軸心1a)、揺動軸Xに平行で図心Gを通る軸(図心軸)を軸X0、軸X0と推力を発生するコイル巻線の中心を通る軸X2との間の距離を距離cとし、コイル4の厚みd、コイル4の奥行きt、コイル4の単位体積当たりの質量ρとする。
コイル4のイナーシャIは、コイル4の各微小部分の質量と微小部分の揺動中心Xからの距離の二乗の積とで表される。また、コイル4の微小部分の質量は、以下の式(1)で表される。
Figure 0004503076
従って、図中の微小部分dyのイナーシャIは、微小部分dyと揺動軸Xとの間の距離y´を用いて、以下の式(2)で表される。
Figure 0004503076
図4−1及び図4−2に示す各パラメータを式(2)に代入するとともに、周知の断面二次モーメントの算出式を用いることにより、揺動軸Xを中心とするコイル4のイナーシャIは、軸X0と揺動軸Xとの間の距離yを用いて、以下の式(3)で表される。
Figure 0004503076
また、矩形環状のコイル4の下辺に推力Fが発生する場合、揺動軸Xを中心とするトルクTは、以下の式(4)で表される。
Figure 0004503076
また、単位トルクT当たりのイナーシャJは、J=I/Tで表され、式(3)及び式(4)より、以下の式(5)で表される。
Figure 0004503076
式(5)に、例えば、b1=25mm、b2=22mm、h1=22mm、h2=18mm、t=5mm、c=10mm、ρ=4.84・10-6kg/mm3、F=1Nの値を代入すると、図5に示すようなグラフとなる。
図5に示すように、揺動中心すなわち揺動軸Xが図4−1に示す軸X1(図5のX=(h1+h2)/2=20の位置)よりコイル4の外(図4−1の上側)にある場合は、Jの値が直線的に増加する。また、揺動軸Xがコイル4の内側にある場合は、コイル4の各部分に対しての腕の長さは、長くなる部分もあれば短くなる部分もある。
例えば、図4−1において、揺動軸Xから軸X2までの腕の長さが長くなるときは、揺動軸Xから軸X1までの腕の長さは短くなる。それ故、軸X2の部分のコイル4の一辺はイナーシャが大きくなり、軸X1の部分のコイル4の一辺はイナーシャが小さくなる。
揺動軸Xがコイル4の外側に出ると、全てのコイル4の部分に対しての腕の長さが長くなるため、イナーシャの増加量は、揺動軸Xがコイル4の内側にある場合より大きくなる。また、揺動中心すなわち揺動軸Xが、図4−1に示す軸X0(図5のX=X1/2=10の位置)より推力発生位置側(図4−1の下側:図5のX=0=X2が推力発生位置)の場合は急激にJの値が大きくなる。
以上より、単位トルク当たりのイナーシャの値を小さくし、コイル4のイナーシャの影響を抑え、揺動動作を高速化した揺動部を得るためには、コイル4の揺動軸Xは図4−1に示す軸X0と軸X1との間に位置させるのがよい。
しかしながら、コイル4と揺動中心が重なるように画素ずらし装置10を構成すると、揺動支点7aがコイル4の揺動軸方向の外側に配置される。また、帯状板ばね2の捻り梁部2aが揺動軸心1a上に配置されるので、帯状板ばね2は、揺動軸心1a上の揺動支点7aの外側に配置されることになる。このように構成すると、コイル4、揺動支点7a及び帯状板ばね2が揺動軸心1a方向に一列に並ぶことになり、画素ずらし装置10が大きくなってしまい、小型化が困難となる。
画素ずらし装置10の揺動軸心1a方向を小型化するためには、帯状板ばね2の捻り梁部2aを無くし、撓み梁部2bのみの板ばねとすればよい。この場合、帯状板ばね2の捻りによりばね反力を発生する捻り梁部2aは無くなり、撓みによりばね反力を発生する撓み梁部2bのみの帯状板ばね21となる。帯状板ばね2の捻り梁部2aを無くし、撓み梁部2bのみとすることにより、揺動部10aのイナーシャを小さくして、揺動部10aの応答性能を向上するとともに、画素ずらし装置10を小型化することができる。
実施の形態2.
図6は、実施の形態1の帯状板ばね2捻り梁部2aを無くした板ばね21(図示せず)の板厚のばらつきに対する、揺動部10aが0.2度傾いたときのばね反力のばらつきを示した図であり、図7は、本発明にかかる画素ずらし装置の実施の形態2の帯状板ばね22の構造を示す正面図であり、図8は、帯状板ばね22の板厚とばね反力の関係を示す図である。
実施の形態1の揺動駆動装置10においては、揺動部10aのイナーシャを小さくし、応答性能を向上させるとともに小型化する、撓み梁部2bのみの帯状板ばね21(図示せず)を説明したが、実施の形態2の画素ずらし装置12は、帯状板ばね2の捻り反力を発生する捻り梁部2aに相当する部分を残しつつ画素ずらし装置12を小型化する帯状板ばね22(図7参照)を備えている。
一般的に、板ばねに使用されるばね用ステンレス鋼帯の板厚の許容差は、板厚に対してプラス側、マイナス側に各々10%程度である。それ故、0.25mm厚の鋼帯を用いると、板厚は、0.225mmから0.275mmの間でばらつく。また、0.35mm厚の鋼帯を用いると、板厚は、0.325mmから0.375mmの間でばらつく。
図6に示すように、帯状板ばね21では、板厚0.25mmのばね反力(トルク)3.423N・mmに対して、板厚0.225mmの場合は、2.497N・mm、板厚0.275mmの場合は、4.553N・mmと、ばね力が約30%程度ばらつく。
これに対して、帯状板ばね2で、帯状板ばね21と同等のトルクが得られる標準板厚は、0.35mmとなる。図6に示すように、板厚0.35mmのばね反力(トルク)2.696N・mmに対して、板厚0.325mmの場合は、2.162N・mm、板厚0.375mmの場合は、3.311N・mmと、ばね反力が約20%程度ばらつく。
標準板厚以外でばね反力を合わせると、板厚は0.38mmとなり、ばね反力は3.445N・mmとなる。板厚0.355mmでは、2.813N・mm、板厚0.405mmでは、4.164N・mmと、ばね反力が約20%程度ばらつく。
板厚のばらつきによるばね反力のばらつきは、コイル4に一定の電流を流す場合に、揺動部10aの振れ角のばらつきとなり、画素ずらし量のばらつきにつながり、結果として画質低下の原因となる。このため、板ばねの板厚ばらつきに対して、ばね反力のばらつきを抑える形状とする必要がある。
帯状板ばね2と帯状板ばね21の違いは、捻り反力を発生する捻り梁部2aの有無である。それ故、画素ずらし装置10を大きくせずに、帯状板ばねに捻り反力を発生させる捻り梁部2aに相当するものを設ける必要がある。
図7は、本発明にかかる実施の形態2の揺動駆動装置12の帯状板ばね22の構造を示す正面図である。図7において、実施の形態1の揺動駆動装置10の構成要素と同等の構成要素には、同一符号を付している。
図7に示すように、帯状板ばね22は、帯状板ばね22をフラップ1に固定する固定部22cと、固定部22cに接続し、揺動支点7aを挟むように上下に配置され、捻りによりばね反力を発生する二本の捻り梁部22a、22aと、捻り梁部22aに直交するように接続し、撓みによりばね反力を発生する撓み梁部22b、22bと、を有している。揺動軸心1a上のコイル4の外側に帯状板ばね22の固定部22cを配置する。固定部22cをフラップ1にねじ9により固定する。フラップ1の揺動中心となる揺動支点7aを帯状板ばね22の固定部22cの外側に配置する。
以上のように各部を配置することにより、揺動支点7aと帯状板ばね22の捻り反力を発生する捻り梁部22a、22aとを、揺動軸心1a方向にラップさせて配置することができる。これにより、揺動軸心1a方向の寸法を小さくすることができるとともに、帯状板ばね22の捻り反力を発生する捻り梁部22a、22aを設けることができ、帯状板ばね22の板厚のばらつきによるばね反力のばらつきを抑えることができる。
図8に示すように、帯状板ばね2と帯状板ばね22は、板厚のばらつきに対して略同等の特性を示している。帯状板ばね22は、板厚のばらつきによるばね反力のばらつきが小さいので、小型で、かつ、画素ずらしのためのフラップ1の振れ角のばらつきの小さい画素ずらし装置12が得られる。
帯状板ばね22により、板厚のばらつきによるばね反力のばらつきが抑えられ、フラップ1の振れ角のばらつきが小さく、画素ずらし量のばらつきも小さく、高画質の映像を得ることができ、かつ、揺動駆動装置12を小型化することができる。
実施の形態3.
図9は、本発明にかかる実施の形態3の揺動駆動装置13の帯状板ばね23の構造を示す正面図であり、図10は、帯状板ばね23の板厚とばね反力との関係を示す図である。
実施の形態2の揺動駆動装置12においては、帯状板ばね22の捻り反力を発生する捻り梁部22a、22aを残しつつ揺動駆動装置12を小型化することができる板ばね22を示したが、実施の形態3の揺動駆動装置13は、揺動軸心1aと垂直方向の小型化が可能な帯状板ばね23を備えている。
帯状板ばね23は、帯状板ばね23をフラップ1に固定する固定部23cと、固定部23cに接続し揺動支点7aを挟むように上下に配置され夫々上方と下方に湾曲する二本の捻り梁部23a,23aと、捻り梁部23aの垂直部に接続し揺動軸心1aと平行な内側方向に湾曲して延びる撓み梁部23b、23bと、を有している。揺動軸心1a上のコイル4の外側に帯状板ばね23の固定部23cを配置する。フラップ1の揺動中心となる揺動支点7aを帯状板ばね23の固定部23cの外側に配置する。
以上のように各部を配置することにより、揺動支点7aと帯状板ばね23の捻り反力を発生する捻り梁部23a、23aとを、揺動軸心1a方向にラップさせて配置することができる。これにより、揺動軸心1a方向の寸法を小さくすることができるとともに、帯状板ばね23の捻り反力を発生する捻り梁部23a、23aを設けることができ、帯状板ばね23の板厚のばらつきによるばね反力のばらつきを抑えることができる。
また、帯状板ばね23の撓み反力を発生する撓み梁部23b、23bは、実施の形態2の直線形状から湾曲形状に変更し、帯状板ばね23の捻り反力を発生する捻り梁部23a、23aと揺動軸心1a方向に一部平行となるような形状となっている。このような形状により、帯状板ばね23の撓み反力を発生する撓み梁部23b、23bを備えながら、画素ずらし装置13の、揺動軸心1aと垂直方向の大きさを抑えることができる。
図10に示すように、帯状板ばね2と帯状板ばね23とは、板厚のばらつきに対して略同等の特性を示している。帯状板ばね23は、板厚のばらつきによるばね反力のばらつきが小さいので、小型で、かつ、画素ずらしのためのフラップ1の振れ角のばらつきの小さい画素ずらし装置13が得られる。
帯状板ばね23により、板厚のばらつきによるばね反力のばらつきが抑えられ、フラップ1の振れ角のばらつきが小さく、画素ずらし量のばらつきも小さく、高画質の映像を得ることができ、かつ、揺動駆動装置13を小型化することができる。
以上のように、本発明にかかる揺動駆動装置は、薄型化、小型化が求められる投射型画像表示装置に有用である。
本発明にかかる揺動駆動装置の実施の形態1を示す斜視図である。 実施の形態1の揺動駆動装置の分解斜視図である。 実施の形態1の揺動駆動装置の揺動部の斜視図である。 矩形環状コイルの正面図である。 図4−1のA−A線に沿う矩形環状コイルの縦断面図である。 単位トルク当たりのイナーシャJとトルクTの腕の長さとの関係を示すグラフである。 実施の形態1の帯状板ばね及び帯状板ばねの板厚のばらつきに対する、揺動部が0.2度傾いたときのばね力のばらつきを示した図である。 本発明にかかる実施の形態2の揺動駆動装置の帯状板ばねの構造を示す正面図である。 帯状板ばねの板厚とばね力の関係を示す図である。 本発明にかかる実施の形態3の揺動駆動装置の帯状板ばねの構造を示す正面図である。 帯状板ばねの板厚とばね力の関係を示す図である。
符号の説明
1 フラップ
1a 揺動軸心
1b 取付部
2,22,23 帯状板ばね
2a,22a,23a 捻り梁部
2b,22b,23b 撓み梁部
3 ガラス
4 矩形環状のコイル
4a 孔部
5a,5b ヨーク
6 永久磁石
7 ベース
7a 揺動支点
10,12,13 揺動駆動装置
10a 揺動部
10b ボイスコイルモータ
22c,23c 固定部

Claims (5)

  1. 動軸心および取付部を有する揺動部と、
    略中央に前記揺動軸心を支持する揺動支点が設けられ、辺に支持部が形成されベースと、
    前記揺動支点の内側に配置された前記揺動部の前記取付部に取付けられる固定部、一端が前記ベースの前記支持部に取付けられる撓み梁部および前記揺動支点を挟むように前記揺動軸心と略平行に配置されて一端が前記固定部に接続され他端が前記撓み梁部に接続される捻り梁部を有し、前記揺動部を前記ベースに揺動可能に軸支させる帯状板ばねと、
    を備えることを特徴とする揺動駆動装置。
  2. 前記取付部は、前記揺動軸心上に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の揺動駆動装置。
  3. 前記帯状板ばねの撓み梁部が、前記揺動部の揺動軸心と略垂直に形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の揺動駆動装置。
  4. 前記撓み梁部は、前記支持部に取付けられた端から前記揺動軸心に略平行で外側に延び、前記撓み梁部および前記捻り梁部は、略U字形状に湾曲して結合していることを特徴とする請求項1又は2に記載の揺動駆動装置。
  5. 前記揺動部は、前記揺動軸心の下寄りに矩形環状コイルを有し、前記揺動軸心の上側の窓部に投射光を透過させるガラスを備え、前記ベースは、前記矩形環状コイルの一辺に磁力線を通す永久磁石及びヨークを備え、前記揺動軸心は、前記矩形環状コイルの一辺に平行であり、かつ、前記矩形環状コイルの一辺と平行な他辺と前記矩形環状コイルの図心との間に位置することを特徴とする請求項1〜のいずれか一つに記載の揺動駆動装置。
JP2008009074A 2008-01-18 2008-01-18 揺動駆動装置 Expired - Fee Related JP4503076B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008009074A JP4503076B2 (ja) 2008-01-18 2008-01-18 揺動駆動装置
US12/354,935 US8183721B2 (en) 2008-01-18 2009-01-16 Oscillation drive device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008009074A JP4503076B2 (ja) 2008-01-18 2008-01-18 揺動駆動装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009171784A JP2009171784A (ja) 2009-07-30
JP4503076B2 true JP4503076B2 (ja) 2010-07-14

Family

ID=40875999

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008009074A Expired - Fee Related JP4503076B2 (ja) 2008-01-18 2008-01-18 揺動駆動装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US8183721B2 (ja)
JP (1) JP4503076B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11262574B2 (en) 2018-12-04 2022-03-01 Seiko Epson Corporation Light path shifting device and image display device
US11448945B2 (en) 2018-11-15 2022-09-20 Seiko Epson Corporation Optical path shifting device and image display device

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5287748B2 (ja) * 2010-01-29 2013-09-11 三菱電機株式会社 光路制御装置および投射型画像表示装置
JP6455080B2 (ja) 2014-10-31 2019-01-23 セイコーエプソン株式会社 光学デバイスおよび画像表示装置
JP6515631B2 (ja) 2015-03-27 2019-05-22 セイコーエプソン株式会社 画像表示装置、及び調整用デバイス
JP6520432B2 (ja) * 2015-06-09 2019-05-29 セイコーエプソン株式会社 光学デバイスおよび画像表示装置
WO2023188533A1 (ja) * 2022-03-30 2023-10-05 パナソニックIpマネジメント株式会社 光路変更装置およびそれを備えた投射型画像表示装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04299058A (ja) * 1991-03-27 1992-10-22 Sony Corp ガルバノモータ
JP2003057586A (ja) * 2001-08-20 2003-02-26 Brother Ind Ltd 光走査装置、光走査装置に用いられる振動体及び光走査装置を備えた画像形成装置
JP2004102249A (ja) * 2002-07-19 2004-04-02 Canon Inc マイクロ可動体
JP2007082272A (ja) * 2005-09-09 2007-03-29 Nippon Signal Co Ltd:The アクチュエータ
JP2008542849A (ja) * 2005-06-06 2008-11-27 ビーテンド リミテッド Mems装置、傾斜マイクロミラー、光制御方法及びミラー形成方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4317611A (en) * 1980-05-19 1982-03-02 International Business Machines Corporation Optical ray deflection apparatus
JP2950011B2 (ja) * 1992-04-06 1999-09-20 松下電器産業株式会社 ミラー駆動装置
JPH05326603A (ja) 1992-05-26 1993-12-10 Hitachi Ltd ワイヤボンダ
US5982521A (en) * 1995-11-15 1999-11-09 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Optical scanner
US6002506A (en) * 1997-06-11 1999-12-14 Kabushiki Kaisha Toshiba Optical deflector and beam scanner using the same
JPH11212020A (ja) * 1998-01-27 1999-08-06 Olympus Optical Co Ltd ガルバノミラーの取付装置
US6486995B2 (en) * 2000-04-28 2002-11-26 Denso Corporation Vibration-resisting structure of optical scanner
US20050018322A1 (en) * 2003-05-28 2005-01-27 Terraop Ltd. Magnetically actuated fast MEMS mirrors and microscanners
JP4023426B2 (ja) * 2003-09-30 2007-12-19 ブラザー工業株式会社 網膜走査型ディスプレイ装置
JP2005293718A (ja) 2004-03-31 2005-10-20 Nippon Chemicon Corp 磁界変調ヘッドの支持装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04299058A (ja) * 1991-03-27 1992-10-22 Sony Corp ガルバノモータ
JP2003057586A (ja) * 2001-08-20 2003-02-26 Brother Ind Ltd 光走査装置、光走査装置に用いられる振動体及び光走査装置を備えた画像形成装置
JP2004102249A (ja) * 2002-07-19 2004-04-02 Canon Inc マイクロ可動体
JP2008542849A (ja) * 2005-06-06 2008-11-27 ビーテンド リミテッド Mems装置、傾斜マイクロミラー、光制御方法及びミラー形成方法
JP2007082272A (ja) * 2005-09-09 2007-03-29 Nippon Signal Co Ltd:The アクチュエータ

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11448945B2 (en) 2018-11-15 2022-09-20 Seiko Epson Corporation Optical path shifting device and image display device
US11262574B2 (en) 2018-12-04 2022-03-01 Seiko Epson Corporation Light path shifting device and image display device

Also Published As

Publication number Publication date
US20090184775A1 (en) 2009-07-23
JP2009171784A (ja) 2009-07-30
US8183721B2 (en) 2012-05-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4503076B2 (ja) 揺動駆動装置
JP6129189B2 (ja) Memsスキャニングマイクロミラー
JP6805225B2 (ja) 駆動装置
JP5535079B2 (ja) 撮影用光学装置
JP2008040353A (ja) 光学デバイス、光スキャナおよび画像形成装置
US20150097449A1 (en) Driving apparatus
CN210428058U (zh) 光学模块以及投影机
JP2007152497A (ja) 揺動体装置
JP2011232589A (ja) 光走査装置
JP6233010B2 (ja) 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ
JP2010096807A (ja) 撮影用光学装置
JP2015059976A (ja) 光偏向ミラー及びこれを用いた光偏向器
US20080123348A1 (en) Magnetic actuator and magnetic light-shielding apparatus
JP2011013592A (ja) 光走査装置
JP2015125220A (ja) 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ
JP2007094109A (ja) 光スキャナ
JP5292529B2 (ja) レンズアクチュエータ
JP2005156684A (ja) アクチュエータ
JP4942601B2 (ja) 駆動装置
JP2018180899A (ja) 振動機構付き入力装置
WO2015025734A1 (ja) レンズユニット、撮像装置及びマルチアレイレンズ
WO2014013761A1 (ja) 光走査素子及び光走査装置
JP2014202801A (ja) 光学反射素子
JP2009136081A (ja) アクチュエータ、撮像機器、および電子機器
US20230236475A1 (en) Lens drive device

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20091119

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20091124

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100125

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100323

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100420

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4503076

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130430

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130430

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140430

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees