JPH05326603A - ワイヤボンダ - Google Patents
ワイヤボンダInfo
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- JPH05326603A JPH05326603A JP4132907A JP13290792A JPH05326603A JP H05326603 A JPH05326603 A JP H05326603A JP 4132907 A JP4132907 A JP 4132907A JP 13290792 A JP13290792 A JP 13290792A JP H05326603 A JPH05326603 A JP H05326603A
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- Japan
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- bonding
- wire bonder
- voice coil
- fulcrum
- bonding arm
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/78—Apparatus for connecting with wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
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- H01L2224/78—Apparatus for connecting with wire connectors
- H01L2224/7825—Means for applying energy, e.g. heating means
- H01L2224/783—Means for applying energy, e.g. heating means by means of pressure
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-
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ワイヤボンダにおいて、イナーシャを減少さ
せ、推力アップおよびボンディングの高速化を図り、ボ
ンディングのインデックスを短縮させ、単位時間当りの
生産量を増大させ、印加電流の立ち上がりを良好にし、
応答性を向上させる。 【構成】 ワイヤボンダにおいて、支点１を中心に揺動
可能なボンディングアーム２のモータ取付部５の両側に
ボイスコイルモータ７ａ，７ｂを２個対向させて取り付
け、対称構造とした。
せ、推力アップおよびボンディングの高速化を図り、ボ
ンディングのインデックスを短縮させ、単位時間当りの
生産量を増大させ、印加電流の立ち上がりを良好にし、
応答性を向上させる。 【構成】 ワイヤボンダにおいて、支点１を中心に揺動
可能なボンディングアーム２のモータ取付部５の両側に
ボイスコイルモータ７ａ，７ｂを２個対向させて取り付
け、対称構造とした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ワイヤボンダに関し、
特に、支点を中心として揺動可能なボンディングアーム
を備えたワイヤボンダに適用して有効な技術に関する。
特に、支点を中心として揺動可能なボンディングアーム
を備えたワイヤボンダに適用して有効な技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種のワイヤボンダとしては、図１
（ａ），( ｂ）に示す従来例１のワイヤボンダがある。
（ａ），( ｂ）に示す従来例１のワイヤボンダがある。
【０００３】すなわち、従来例１のワイヤボンダは、ボ
ンディングアーム２のモータ取付部５の片側に通常型の
ボイスコイルモータを１個のみ取り付け、ボンディング
ツール４を上下動させて半導体ペレット１０やリードフ
レームなどの所要部分にボンディングする構造としたも
のである。なお、３はボンディングホーン、４はボンデ
ィングツール、５はモータ取付け部、６はコイル、７ｃ
はボイスコイルモータ、８はコアである。
ンディングアーム２のモータ取付部５の片側に通常型の
ボイスコイルモータを１個のみ取り付け、ボンディング
ツール４を上下動させて半導体ペレット１０やリードフ
レームなどの所要部分にボンディングする構造としたも
のである。なお、３はボンディングホーン、４はボンデ
ィングツール、５はモータ取付け部、６はコイル、７ｃ
はボイスコイルモータ、８はコアである。
【０００４】これに対し、駆動力を増大させ、ボンディ
ングを高速化するために、図２（ａ），（ｂ）に示す従
来例２のワイヤボンダが考えられる。
ングを高速化するために、図２（ａ），（ｂ）に示す従
来例２のワイヤボンダが考えられる。
【０００５】すなわち、従来例２のワイヤボンダは、大
型のボイスコイルモータ７ｃを使用したもので、この大
型のボイスコイルモータ７ｃをボンディングアーム２の
モータ取付部５の片側に取り付けた構造となっている。
型のボイスコイルモータ７ｃを使用したもので、この大
型のボイスコイルモータ７ｃをボンディングアーム２の
モータ取付部５の片側に取り付けた構造となっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記した従来
例２のワイヤボンダの構造では、大型のボイスコイルモ
ータ７ｃを使用する構造となっているので、ボンディン
グアーム２の支点１からボイスコイルモータ７ｃの中心
までの距離Ｌ２が従来例１のワイヤボンダにおける距離
Ｌ１よりも増大し、これに伴い、ボンディングアーム２
の形状が増大するという問題があった。
例２のワイヤボンダの構造では、大型のボイスコイルモ
ータ７ｃを使用する構造となっているので、ボンディン
グアーム２の支点１からボイスコイルモータ７ｃの中心
までの距離Ｌ２が従来例１のワイヤボンダにおける距離
Ｌ１よりも増大し、これに伴い、ボンディングアーム２
の形状が増大するという問題があった。
【０００７】このため、イナーシャが大きくなり，ボン
ディングの高速化が困難であるという問題があった。
ディングの高速化が困難であるという問題があった。
【０００８】また、ボンディングアームの形状の増大に
より、コンパク化が困難であるという問題があった。
より、コンパク化が困難であるという問題があった。
【０００９】本発明の目的は、イナーシャを減少させ、
推力アップおよびボンディングの高速化を図ることので
きるワイヤボンダを提供することにある。
推力アップおよびボンディングの高速化を図ることので
きるワイヤボンダを提供することにある。
【００１０】本発明の他の目的は、ボンディングのイン
デックスを短縮させ、単位時間当りの生産量を向上させ
ることのできるワイヤボンダを提供することにある。
デックスを短縮させ、単位時間当りの生産量を向上させ
ることのできるワイヤボンダを提供することにある。
【００１１】また、本発明の他の目的は、小型のボンデ
ィングアームの使用を可能にしてコンパクト化を図り、
イナーシャをより一層減少させることのできるワイヤボ
ンダを提供することにある。
ィングアームの使用を可能にしてコンパクト化を図り、
イナーシャをより一層減少させることのできるワイヤボ
ンダを提供することにある。
【００１２】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下の通りである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下の通りである。
【００１４】本発明１のワイヤボンダは、支点を中心と
して揺動可能なボンディングアームのモータ取付部の片
側にボイスコイルモータを２個またはそれ以上の複数個
取り付けた構造としたものである。
して揺動可能なボンディングアームのモータ取付部の片
側にボイスコイルモータを２個またはそれ以上の複数個
取り付けた構造としたものである。
【００１５】本発明２のワイヤボンダは、支点を中心と
して揺動可能なボンディングアームのモータ取付部の両
側に同一性能のボイスコイルモータを対向させて取り付
け、対称構造としたものである。
して揺動可能なボンディングアームのモータ取付部の両
側に同一性能のボイスコイルモータを対向させて取り付
け、対称構造としたものである。
【００１６】
【作用】本発明１のワイヤボンダによれば、支点を中心
として揺動可能なボンディングアームのモータ取付部の
片側にボイスコイルモータを２個またはそれ以上の複数
個取り付けた構造としたので、推力を増大させ、支点か
らボイスコイルモータの中心までの距離を減少させてボ
ンディングの高速化を図ることができる。
として揺動可能なボンディングアームのモータ取付部の
片側にボイスコイルモータを２個またはそれ以上の複数
個取り付けた構造としたので、推力を増大させ、支点か
らボイスコイルモータの中心までの距離を減少させてボ
ンディングの高速化を図ることができる。
【００１７】したがって、ボンディングのインデックス
を短縮させ、単位時間当りの生産量を増大させることが
できる。
を短縮させ、単位時間当りの生産量を増大させることが
できる。
【００１８】本発明２のワイヤボンダによれば、支点を
中心として揺動可能なボンディングアームのモータ取付
部の両側に同一性能のボイスコイルモータを対向させて
取り付け、対称構造としたので、小型のボンディングア
ームの使用を可能にしてコンパクト化を図り、イナーシ
ャをより一層減少させることができる。
中心として揺動可能なボンディングアームのモータ取付
部の両側に同一性能のボイスコイルモータを対向させて
取り付け、対称構造としたので、小型のボンディングア
ームの使用を可能にしてコンパクト化を図り、イナーシ
ャをより一層減少させることができる。
【００１９】また、支点を中心として揺動可能なボンデ
ィングアームのモータ取付部の両側に同一性能のボイス
コイルモータを対向させて取り付け、対称構造としたの
で、コイルの相互インダクタンスにより、電気的時定数
を減少させ、印加電流の立ち上がりを良好にし、応答性
を向上させることができる。
ィングアームのモータ取付部の両側に同一性能のボイス
コイルモータを対向させて取り付け、対称構造としたの
で、コイルの相互インダクタンスにより、電気的時定数
を減少させ、印加電流の立ち上がりを良好にし、応答性
を向上させることができる。
【００２０】
【実施例１】図３（ａ），（ｂ）は本発明の実施例１で
あるワイヤボンダを示す平面図および側面図である。
あるワイヤボンダを示す平面図および側面図である。
【００２１】本実施例１におけるワイヤボンダは、超音
波ワイヤボンダに適用したもので、そのボンディングヘ
ッドは支点１を中心として揺動するボンディングアーム
２を備え、このボンディングアーム２の左端側にボンデ
ィングホーン３が水平に延び、先端にボンディングツー
ル４が垂設されている。
波ワイヤボンダに適用したもので、そのボンディングヘ
ッドは支点１を中心として揺動するボンディングアーム
２を備え、このボンディングアーム２の左端側にボンデ
ィングホーン３が水平に延び、先端にボンディングツー
ル４が垂設されている。
【００２２】また、ボンディングアーム２の右側上端部
にモータ取付部５が一体に形成され、このモータ取付部
５は支点１側を頂点とする三角形状を有し、この三角形
状の底辺に沿って同一性能のボイスコイルモータ７ａ，
７ｂが２個並列して取り付けられている。なお、６はコ
イル、８はコアである。
にモータ取付部５が一体に形成され、このモータ取付部
５は支点１側を頂点とする三角形状を有し、この三角形
状の底辺に沿って同一性能のボイスコイルモータ７ａ，
７ｂが２個並列して取り付けられている。なお、６はコ
イル、８はコアである。
【００２３】次に、本実施例１の作用について説明す
る。
る。
【００２４】ボンディングに際し、ボンディングアーム
２のモータ取付部５の片側に取り付けた２個のボイスコ
イルモータ７ａ，７ｂによりボンディングアーム２が支
点１を中心として揺動し、ボンディングツール４が上下
動する。
２のモータ取付部５の片側に取り付けた２個のボイスコ
イルモータ７ａ，７ｂによりボンディングアーム２が支
点１を中心として揺動し、ボンディングツール４が上下
動する。
【００２５】このように、ボンディングアーム２のモー
タ取付部５の片側にボイスコイルモータ７ａ，７ｂを２
個並列に左右対称に取り付けた構造としたので、２個の
ボイスコイルモータ７ａ，７ｂにより推力を２倍に増大
させることができる。
タ取付部５の片側にボイスコイルモータ７ａ，７ｂを２
個並列に左右対称に取り付けた構造としたので、２個の
ボイスコイルモータ７ａ，７ｂにより推力を２倍に増大
させることができる。
【００２６】また、支点１からボイスコイルモータ７
ａ，７ｂの中心までの距離Ｌ１を第１の従来例であるワ
イヤボンダにおける場合と同じか、あるいはそれ以下に
減少させてイナーシャを減少させ，ボンディングの高速
化を図ることができる。
ａ，７ｂの中心までの距離Ｌ１を第１の従来例であるワ
イヤボンダにおける場合と同じか、あるいはそれ以下に
減少させてイナーシャを減少させ，ボンディングの高速
化を図ることができる。
【００２７】したがって、ボンディングのインデックス
を短縮させ、単位時間当りの生産量を増大させることが
できる。
を短縮させ、単位時間当りの生産量を増大させることが
できる。
【００２８】また、同一性能のボイスコイルモータ７
ａ，７ｂを使用する構造としたので、モータ駆動電圧の
変更を必要としない。
ａ，７ｂを使用する構造としたので、モータ駆動電圧の
変更を必要としない。
【００２９】
【実施例２】図４（ａ），（ｂ）は本発明の実施例２で
あるワイヤボンダを示す平面図および側面図である。
あるワイヤボンダを示す平面図および側面図である。
【００３０】本実施例２におけるワイヤボンダは、前記
実施例１とほぼ同様の構成を有するが、ボンディングア
ーム２のモータ取付部５の両側に、支点１を中心として
ボンディングツール４を揺動させる同一性能のボイスコ
イルモータ７ａ，７ｂを対向させて取り付けて対称構造
としたものである。
実施例１とほぼ同様の構成を有するが、ボンディングア
ーム２のモータ取付部５の両側に、支点１を中心として
ボンディングツール４を揺動させる同一性能のボイスコ
イルモータ７ａ，７ｂを対向させて取り付けて対称構造
としたものである。
【００３１】本実施例２の作用効果については、前記実
施例１の作用効果に加えて、小型のボンディングアーム
２の使用を可能にしてコンパクト化を図り、イナーシャ
をより一層減少させることができる。
施例１の作用効果に加えて、小型のボンディングアーム
２の使用を可能にしてコンパクト化を図り、イナーシャ
をより一層減少させることができる。
【００３２】また、コイル６の相互インダクタンスによ
り電気的時定数を減少させ、印加電流の立ち上がりを良
好にし、応答性を向上させることができる。
り電気的時定数を減少させ、印加電流の立ち上がりを良
好にし、応答性を向上させることができる。
【００３３】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。
【００３４】たとえば、前記実施例では、ボンディング
アームのモータ取付部の片面あるいは両面にボイスコイ
ルモータを２個設け、対称構造とした場合について説明
したが、これに限らず、ボンディングアームのモータ取
付部の片面あるいは両面にボイスコイルモータを３個ま
たは４個設け、対称構造とすることもできる。
アームのモータ取付部の片面あるいは両面にボイスコイ
ルモータを２個設け、対称構造とした場合について説明
したが、これに限らず、ボンディングアームのモータ取
付部の片面あるいは両面にボイスコイルモータを３個ま
たは４個設け、対称構造とすることもできる。
【００３５】以上の説明では、主として本発明者によっ
てなされた発明をその背景となった利用分野である超音
波ワイヤボンダで説明したが、熱圧着ワイヤボンダにも
適用できる。
てなされた発明をその背景となった利用分野である超音
波ワイヤボンダで説明したが、熱圧着ワイヤボンダにも
適用できる。
【００３６】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【００３７】(1).支点を中心として揺動可能なボンディ
ングアームのモータ取付部の片側にボイスコイルモータ
を２個またはそれ以上の複数個取り付けた構造としたの
で、推力を増大させ、支点からボイスコイルモータの中
心までの距離を減少させてボンディングの高速化を図る
ことができる。
ングアームのモータ取付部の片側にボイスコイルモータ
を２個またはそれ以上の複数個取り付けた構造としたの
で、推力を増大させ、支点からボイスコイルモータの中
心までの距離を減少させてボンディングの高速化を図る
ことができる。
【００３８】(2).前記(1) の効果により、ボンディング
のインデックスを短縮させ、単位時間当りの生産量を増
大させることができる。
のインデックスを短縮させ、単位時間当りの生産量を増
大させることができる。
【００３９】(3).支点を中心として揺動可能なボンディ
ングアームのモータ取付部の両側に同一性能のボイスコ
イルモータを対向させて取り付け、対称構造としたの
で、小型のボンディングアームの使用を可能にしてコン
パクト化を図り、イナーシャをより一層減少させること
ができる。
ングアームのモータ取付部の両側に同一性能のボイスコ
イルモータを対向させて取り付け、対称構造としたの
で、小型のボンディングアームの使用を可能にしてコン
パクト化を図り、イナーシャをより一層減少させること
ができる。
【００４０】(4).支点を中心として揺動可能なボンディ
ングアームのモータ取付部の両側に同一性能のボイスコ
イルモータを対向させて取り付け、対称構造としたの
で、コイルの相互インダクタンスにより、電気的時定数
を減少させ、印加電流の立ち上がりを良好にし、応答性
を向上させることができる。
ングアームのモータ取付部の両側に同一性能のボイスコ
イルモータを対向させて取り付け、対称構造としたの
で、コイルの相互インダクタンスにより、電気的時定数
を減少させ、印加電流の立ち上がりを良好にし、応答性
を向上させることができる。
【図１】（ａ），（ｂ）は従来例１のワイヤボンダを示
す平面図および側面図である。
す平面図および側面図である。
【図２】（ａ），（ｂ）は従来例２のワイヤボンダを示
す平面図および側面図である。
す平面図および側面図である。
【図３】（ａ），（ｂ）は本発明の実施例１であるワイ
ヤボンダを示す平面図および側面図である。
ヤボンダを示す平面図および側面図である。
【図４】（ａ），（ｂ）は本発明の実施例２であるワイ
ヤボンダを示す平面図および側面図である。
ヤボンダを示す平面図および側面図である。
１ 支点 ２ ボンディングアーム ３ ボンディングホーン ４ ボンディングツール ５ モータ取付部 ６ コイル ７ａ ボイスコイルモータ ７ｂ ボイスコイルモータ ７ｃ ボイスコイルモータ ８ コア １０ 半導体ペレット Ｌ１ 支点からボイスコイルモータの中心までの距離 Ｌ２ 支点からボイスコイルモータの中心までの距離
Claims (2)
- 【請求項１】 支点を中心として揺動可能なボンディン
グアームのモータ取付部の片側にボイスコイルモータを
２個またはそれ以上の複数個取り付けたことを特徴とす
るワイヤボンダ。 - 【請求項２】 支点を中心として揺動可能なボンディン
グアームのモータ取付部の両側に同一性能のボイスコイ
ルモータを対向させて取り付け、対称構造としたことを
特徴とするワイヤボンダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4132907A JPH05326603A (ja) | 1992-05-26 | 1992-05-26 | ワイヤボンダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4132907A JPH05326603A (ja) | 1992-05-26 | 1992-05-26 | ワイヤボンダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05326603A true JPH05326603A (ja) | 1993-12-10 |
Family
ID=15092320
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4132907A Pending JPH05326603A (ja) | 1992-05-26 | 1992-05-26 | ワイヤボンダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05326603A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8040637B2 (en) | 2007-09-21 | 2011-10-18 | Mitsubishi Electric Corporation | Drive with voice coil motor |
| US8183721B2 (en) | 2008-01-18 | 2012-05-22 | Mitsubishi Electric Corporation | Oscillation drive device |
-
1992
- 1992-05-26 JP JP4132907A patent/JPH05326603A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8040637B2 (en) | 2007-09-21 | 2011-10-18 | Mitsubishi Electric Corporation | Drive with voice coil motor |
| US8183721B2 (en) | 2008-01-18 | 2012-05-22 | Mitsubishi Electric Corporation | Oscillation drive device |
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