CN110998408A - 镜装置 - Google Patents

Abstract

本发明的镜装置具备支承部、可动部(4)、以及配置于第一轴线(X)上的可动部(4)的两侧的一对扭力杆(7、8)。可动部(4)具有连接有一对扭力杆(7、8)的框状的框架(42)和配置于框架(42)的内侧的镜部(41)。镜部(41)在位于与第二轴线(Y)平行的方向上的镜部(41)的两侧的一对连接区域(40a、40b)的各个与框架(42)连接。镜部(41)和框架(42)之间的区域中一对连接区域(40a、40b)以外的区域为空间。在从垂直于第一轴线(X)及第二轴线(Y)的方向观察的情况下，镜部(41)的外缘和框架(42)的内缘在一对连接区域(40a、40b)的各个以曲率连续的方式连接。

Description

镜装置

技术领域

本发明涉及一种构成为例如MEMS(Micro Electro Mechanical Systems(微机电系统))器件的镜装置。

背景技术

作为MEMS器件，已知有一种镜装置，其具备：支承部；可动部，其设置有镜部；一对扭力杆，其将可动部与支承部连结以使可动部可以以规定轴线为中心线摆动。在这种镜装置中，为了抑制镜部在使可动部高速(例如，以可动部的共振频率水平(数KHz～数十KHz))摆动时发生弯曲，有时在可动部将镜部经由配置于上述轴线上的一对连结部与框状的框架连结(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：美国专利第7619802号说明书

发明内容

发明所要解决的问题

在上述的镜装置中，因为一对扭力杆及一对连结部配置于同一轴线上，所以如果使可动部高速摆动，则在一对连结部产生的应力因一对扭力杆的扭曲而变大，可动部可能在连结部发生破损。

本发明的目的在于提供一种镜装置，其能够抑制镜部弯曲及可动部破损这两者。

解决问题的技术手段

本发明的一方面的镜装置，具备：支承部；可动部；一对扭力杆，其配置于第一轴线上的可动部的两侧，将可动部与支承部连结以使可动部能够以第一轴线为中心线摆动，可动部具有：框状的框架，其连接有一对扭力杆；镜部，其配置于框架的内侧，镜部在位于与垂直于第一轴线的第二轴线平行的方向上的镜部的两侧的一对第一连接区域的各个与框架连接，镜部和框架之间的区域中一对第一连接区域以外的区域为空间，在从垂直于第一轴线及第二轴线的方向观察的情况下，镜部的外缘和框架的内缘在一对第一连接区域的各个以曲率连续的方式连接。

在该镜装置中，与框状的框架连接的一对扭力杆配置于第一轴线上，镜部和框状的框架被相互连接的一对第一连接区域位于与垂直于第一轴线的第二轴线平行的方向上的镜部的两侧。由此，即使使可动部高速摆动，例如与仅一对连接区域位于第一轴线上的情况、或镜部和框状的框架仅在一个连接区域相互连接的情况等相比，在一对第一连接区域的各个产生的应力也因一对扭力杆的扭曲而变小。再有，在该镜装置中，在从垂直于第一轴线及第二轴线的方向观察的情况下，镜部的外缘和框架的内缘在一对第一连接区域的各个以曲率连续的方式连接。由此，应力难以集中于一对第一连接区域的各个。如上，根据该镜装置，能够抑制镜部弯曲及可动部破损这两者。

本发明的一方面的镜装置，具备：支承部；可动部；一对扭力杆，其配置于第一轴线上的可动部的两侧，将可动部与支承部连结以使可动部能够以第一轴线为中心线摆动，可动部具有：框状的框架，其连接有一对扭力杆；镜部，其配置于框架的内侧，镜部在位于与垂直于第一轴线的第二轴线平行的方向上的镜部的两侧的一对第一连接区域的各个、及位于与第一轴线平行的方向上的镜部的两侧的一对第二连接区域的各个与框架连接，镜部和框架之间的区域中一对第一连接区域及一对第二连接区域以外的区域为空间，在从垂直于第一轴线及第二轴线的方向观察的情况下，镜部的外缘和框架的内缘在一对第一连接区域的各个以曲率连续的方式连接。

在该镜装置中，与框状的框架连接的一对扭力杆配置于第一轴线上，镜部和框状的框架被相互连接的一对第一连接区域位于与垂直于第一轴线的第二轴线平行的方向上的镜部的两侧。再有，镜部和框状的框架被相互连接的一对第二连接区域位于与第一轴线平行的方向上的镜部的两侧。由此，即使使可动部高速摆动，例如与仅一对连接区域位于第一轴线上的情况、或镜部和框状的框架仅在一个连接区域相互连接的情况等相比，在一对第一连接区域的各个及一对第二连接区域的各个产生的应力也因一对扭力杆的扭曲而变小。再有，在该镜装置中，在从垂直于第一轴线及第二轴线的方向观察的情况下，镜部的外缘和框架的内缘在一对第一连接区域的各个以曲率连续的方式连接。由此，应力难以集中于一对第一连接区域的各个。如上，根据该镜装置，能够抑制镜部弯曲及可动部破损这两者。

在本发明的一方面的镜装置中，也可以是，在从垂直于第一轴线及第二轴线的方向观察的情况下，镜部的外缘和框架的内缘在一对第二连接区域的各个以曲率连续的方式连接。由此，应力难以集中于一对第二连接区域的各个。

在本发明的一方面的镜装置中，也可以是，一对第二连接区域位于第一轴线上的镜部的两侧。由此，能够使围绕第一轴线的可动部的转动惯量减小。

在本发明的一方面的镜装置中，也可以是，一对第一连接区域位于第二轴线上的镜部的两侧。由此，能够在一对扭力杆的各杆和一对第一连接区域的各个之间确保充分的距离(一对扭力杆的扭曲不易影响到一对第一连接区域的各个的距离)。因此，能够简化可动部的结构，同时抑制镜部弯曲及可动部破损这两者。

在本发明的一方面的镜装置中，也可以是，框架包含一对第一部分，所述一对第一部分连接有镜部且沿与第一轴线平行的方向延伸，越是从一对第一连接区域的各个离开，与第二轴线平行的方向上的一对第一部分的各个的宽度越是变小。由此，能够使因一对扭力杆的扭曲产生的应力向宽度在一对第一部分的各个变小的部分分散，使在一对第一连接区域的各个产生的应力进一步减小。再有，能够确保一对第一连接区域的各个中的连接强度，并且使可动部的转动惯量减小宽度在一对第一部分的各个变小的量。使可动部的转动惯量减小在使可动部高速摆动方面是有利的。

在本发明的一方面的镜装置中，也可以是，框架还包含一对第二部分，所述一对第二部分连接有一对扭力杆且沿与第二轴线平行的方向延伸。由此，能够使因一对扭力杆的扭曲产生的应力向相互连结或连接的第一部分和第二部分之间的部分分散，使在一对第一连接区域的各个产生的应力进一步减小。

在本发明的一方面的镜装置中，也可以是，在从垂直于第一轴线及第二轴线的方向观察的情况下，一对第一部分的各个的内缘和一对第二部分的各个的内缘在相互连接的多个区域的各个以曲率连续的方式相互连接。由此，能够抑制应力集中于第一部分的内缘和第二部分的内缘被相互连接的多个区域的各个。

在本发明的一方面的镜装置中，也可以是，在从垂直于第一轴线及第二轴线的方向观察的情况下，一对第一部分的各个的外缘和一对第二部分的各个的外缘在相互连接的多个区域的各个以曲率连续的方式相互连接。由此，能够抑制应力集中于第一部分的外缘和第二部分的外缘被相互连接的多个区域的各个。

在本发明的一方面的镜装置中，也可以是，与第一轴线平行的方向上的一对第一部分的各个的长度比与第二轴线平行的方向上的一对第二部分的各个的长度长。由此，能够抑制可动部的转动惯量的增大且在一对扭力杆的各杆和一对第一连接区域的各个之间确保充分的距离(一对扭力杆的扭曲不易影响到一对第一连接区域的各个的距离)。

在本发明的一方面的镜装置中，也可以是，一对第一连接区域的各个和一对第二部分的一方的距离、及一对第一连接区域的各个和一对第二部分的另一方的距离比第一轴线和一对第一部分的各个的距离长。由此，能够抑制可动部的转动惯量的增大，同时在一对扭力杆的各杆和一对第一连接区域的各个之间确保充分的距离(一对扭力杆的扭曲不易影响到一对第一连接区域的各个的距离)。

在本发明的一方面的镜装置中，也可以是，从垂直于第一轴线及第二轴线的方向观察的情况下的镜部的形状为具有沿着第一轴线的长轴的椭圆形。由此，能够抑制可动部的转动惯量的增大，同时确保充分的镜面面积。

在本发明的一方面的镜装置中，也可以是，与第一轴线平行的方向上的一对第一连接区域的各个的宽度为与第一轴线平行的方向上的镜部的宽度的30％以下。由此，能够谋求镜部和框架的充分的连接强度的确保、及一对扭力杆的各杆和一对第一连接区域的各个之间的充分的距离的确保的兼得。

发明的效果

根据本发明，可以提供一种镜装置，其能够抑制镜部弯曲及可动部破损这两者。

附图说明

图1是一实施方式的镜装置的俯视图。

图2是图1所示的镜装置的可动部的俯视图。

图3是图1所示的镜装置的扭力杆的俯视图。

图4是图1所示的镜装置的主要部分的仰视图。

图5(a)是比较例的可动部的俯视图，图5(b)是实施例的可动部的俯视图。

图6(a)是比较例的可动部的俯视图，图6(b)是实施例的可动部的俯视图。

图7(a)是第一变形例的可动部的俯视图，图7(b)是第二变形例的可动部的俯视图。

图8是第三变形例的可动部的俯视图。

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。此外，各图中对相同或相当部分标注相同标号，省略重复说明。

[镜装置的结构]

如图1所示，镜装置1具备基座2、支承部3、可动部4、一对扭力杆5、6、一对扭力杆7、8、以及磁场产生部10。基座2、支承部3、可动部4、一对扭力杆5、6及一对扭力杆7、8通过SOI(Silicon on Insulator(绝缘层上硅))基板形成为一体。即，镜装置1构成为MEMS器件。磁场产生部10例如由采取了哈尔巴赫排列的永久磁铁等构成。在镜装置1中，以相互正交的X轴(第一轴线)及Y轴(垂直于第一轴线的第二轴线)的各轴为中心线，使设置有镜部41的可动部4摆动。镜装置1例如用于光通信用光学开关、光学扫描仪等。

在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，基座2例如具有四边形状的外形且形成为框状。基座2配置于磁场产生部10的一侧。在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，支承部3例如具有八边形状的外形且形成为框状。支承部3以与磁场产生部10分离的状态配置于基座2的内侧。在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，可动部4例如具有四边形状的外形。可动部4以与磁场产生部10分离的状态配置于支承部3的内侧。

一对扭力杆5、6配置于Y轴上的支承部3的两侧。一对扭力杆5、6将支承部3与基座2连结以使支承部3可以以Y轴为中心线摆动。为了容易提高强度及调整扭簧常数，各扭力杆5、6呈蜿蜒状延伸。一对扭力杆7、8配置于X轴上的可动部4的两侧。一对扭力杆7、8将可动部4与支承部3连结以使可动部4可以以X轴为中心线摆动。各扭力杆7、8沿着X轴呈直线状延伸。

镜装置1还具备线圈9、线圈11、多个配线12、13、14、15、以及多个电极焊盘16、17、18、19。线圈9设置于支承部3。线圈9例如以埋设于支承部3的状态呈螺旋状延伸。线圈11设置于可动部4。线圈9例如以埋设于可动部4的状态呈螺旋状延伸。各线圈9、11例如由铜等金属材料构成。此外，附图中以阴影表示配置各线圈9、11的区域。

多个电极焊盘16、17、18、19设置于基座2。各电极焊盘16、17、18、19在基座2从绝缘层21向外部露出。绝缘层21以覆盖基座2、支承部3、可动部4、一对扭力杆5、6及一对扭力杆7、8的表面(磁场产生部10的相反侧的表面)的方式形成为一体。绝缘层21例如由二氧化硅膜、氮化硅膜等构成。

配线12将线圈9的一端和电极焊盘16电连接。配线12以埋设于绝缘层21的状态，从线圈9的一端经由扭力杆5向电极焊盘16延伸。配线13将线圈9的另一端和电极焊盘17电连接。配线13以埋设于绝缘层21的状态，从线圈9的另一端经由扭力杆6向电极焊盘17延伸。各配线12、13例如由铝等金属材料构成。

配线14将线圈11的一端和电极焊盘18电连接。配线14以埋设于绝缘层21的状态，从线圈11的一端经由扭力杆7、支承部3的一部分及扭力杆5向电极焊盘18延伸。配线15将线圈11的另一端和电极焊盘19电连接。配线15以埋设于绝缘层21的状态，从线圈11的另一端经由扭力杆8、支承部3的一部分及扭力杆6向电极焊盘19延伸。各配线14、15中通过各扭力杆7、8的部分例如由钨等金属材料构成，其它部分由铝等金属材料构成。如后面所述，在一对扭力杆7、8，因为产生伴随着固有振动频率下的可动部4的共振的扭曲，所以对各配线14、15中通过各扭力杆7、8的部分施加比其它部分大的负荷。但是，在镜装置1中，因为各配线14、15中通过各扭力杆7、8的部分由具有比其它部分大的维氏硬度的金属材料构成，所以在各扭力杆7、8上各配线14、15不易发生金属疲劳。此外，附图中以阴影表示各配线14、15中通过各扭力杆7、8的部分。

在如上所述构成的镜装置1中，如果将线性动作用驱动信号经由电极焊盘16、17及配线12、13输入到线圈9，则通过与磁场产生部10产生的磁场的相互作用使洛伦兹力作用于线圈9。通过利用该洛伦兹力和一对扭力杆5、6的弹性力的平衡，能够使镜部41与支承部3一同以Y轴为中心线进行线性动作。另一方面，如果将共振动作用驱动信号经由电极焊盘18、19及配线14、15输入到线圈11，则通过与磁场产生部10产生的磁场的相互作用使洛伦兹力作用于线圈11。除该洛伦兹力外，还利用固有振动频率下的可动部4的共振，由此能够使镜部41以X轴为中心线进行共振动作。此外，固有振动频率根据可动部4的转动惯量、一对扭力杆7、8的扭簧常数等而确定。

[各部的结构]

如图2所示，除镜部41外，可动部4还具有框状的框架42。一对扭力杆7、8与框架42连接。镜部41配置于框架42的内侧。镜部41在位于与Y轴平行的方向(下面，称为“Y轴方向”)上的镜部41的两侧的一对连接区域(第一连接区域)40a、40b的各个与框架42连接。更具体而言，镜部41在位于Y轴上的镜部41的两侧的一对连接区域40a、40b的各个与框架42连接。镜部41和框架42之间的区域中一对连接区域40a、40b以外的区域为空间。即，镜部41和框架42仅在一对连接区域40a、40b相互连接。与X轴平行的方向(下面，称为“X轴方向”)上的各连接区域40a、40b的宽度(最小宽度)W2为X轴方向上的镜部41的宽度(最大宽度)W1的30％以下。

从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下的镜部41的形状为以X轴和Y轴的交点O为中心且具有沿着X轴的长轴及沿着Y轴的短轴的椭圆形。在镜部41的表面(磁场产生部10的相反侧的表面)，通过例如由铝等构成的金属膜形成有镜面41a。

在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，框架42例如具有四边形状的外形且形成为框状。更具体而言，框架42通过沿X轴方向延伸的一对第一部分43、44及沿Y轴方向延伸的一对第二部分45、46形成为框状。X轴方向上的各第一部分43、44的长度比Y轴方向上的各第二部分45、46的长度长。此外，X轴方向上的各第一部分43、44的长度可以理解为从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下的各第一部分43、44的外缘或内缘的长度。Y轴方向上的各第二部分45、46的长度可以理解为从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下的各第二部分45、46的外缘或内缘的长度。

连接区域40a和第二部分45的距离、连接区域40a和第二部分46的距离、连接区域40b和第二部分45的距离及连接区域40b和第二部分46的距离的各个比X轴和第一部分43的距离及X轴和第一部分44的距离的各个长。此外，连接区域40a和第二部分45的距离可以理解为沿着X轴方向从连接区域40a中的第二部分45侧的外缘到第二部分45的内缘的距离(最大距离)。连接区域40a和第二部分46的距离可以理解为沿着X轴方向从连接区域40a中的第二部分46侧的外缘到第二部分46的内缘的距离(最大距离)。连接区域40b和第二部分45的距离可以理解为沿着X轴方向从连接区域40b中的第二部分45侧的外缘到第二部分45的内缘的距离(最大距离)。连接区域40b和第二部分46的距离可以理解为沿着X轴方向从连接区域40b中的第二部分46侧的外缘到第二部分46的内缘的距离(最大距离)。X轴和第一部分43的距离可以理解为沿着Y轴方向从X轴到第一部分43的内缘的距离(最大距离)。X轴和第一部分44的距离可以理解为沿着Y轴方向从X轴到第一部分44的内缘的距离(最大距离)。

镜部41与第一部分43的内侧(镜部41侧)的侧面43a及第一部分44的内侧(镜部41侧)的侧面44a连接。扭力杆7与第二部分45的外侧(镜部41的相反侧)的侧面45b连接。扭力杆8与第二部分46的外侧(镜部41的相反侧)的侧面46b连接。

镜部41的侧面41b和第一部分43的内侧的侧面43a在连接区域40a以曲率连续的方式连接。镜部41的侧面41b和第一部分44的内侧的侧面44a在连接区域40b以曲率连续的方式连接。即，在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，镜部41的外缘和框架42的内缘在各连接区域40a、40b以曲率连续的方式连接。此外，“以曲率连续的方式连接”是指不存在曲率不连续的点(例如，细尖的角部(也包含锐角、直角、钝角中的任一情况)的顶点)而连接。因此，如果不存在曲率不连续的点，则在各连接区域40a、40b直线部也可以包含于镜部41的外缘及框架42的内缘(可以将直线部的曲率值看作0)。

从连接区域40a沿着X轴方向越靠近扭力杆7，Y轴方向上的第一部分43的宽度越小，另外，从连接区域40a沿着X轴方向越靠近扭力杆8，Y轴方向上的第一部分43的宽度越小。即，越是从连接区域40a离开，Y轴方向上的第一部分43的宽度越是变小。在此，第一部分43的外侧(镜部41的相反侧)的侧面43b成为与X轴平行的平坦面，第一部分43的内侧的侧面43a成为以越离开连接区域40a越靠近侧面43b的方式向镜部41的相反侧弯曲成凹状的弯曲面。从连接区域40b沿着X轴方向越靠近扭力杆7，Y轴方向上的第一部分44的宽度越小，另外，从连接区域40b沿着X轴方向越靠近扭力杆8，Y轴方向上的第一部分44的宽度越小。即，越是从连接区域40b离开，Y轴方向上的第一部分44的宽度越是变小。在此，第一部分44的外侧(镜部41的相反侧)的侧面44b成为与X轴平行的平坦面，第一部分44的内侧的侧面44a成为以越离开连接区域40b越靠近侧面44b的方式向镜部41的相反侧弯曲成凹状的弯曲面。

在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，第一部分43的内侧的侧面43a和第二部分45的内侧(镜部41侧)的侧面45a在相互连接的区域以曲率连续的方式相互连接。在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，第一部分43的内侧的侧面43a和第二部分46的内侧(镜部41侧)的侧面46a在相互连接的区域以曲率连续的方式相互连接。在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，第一部分44的内侧的侧面44a和第二部分45的内侧的侧面45a在相互连接的区域以曲率连续的方式相互连接。在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，第一部分44的内侧的侧面44a和第二部分46的内侧的侧面46a在相互连接的区域以曲率连续的方式相互连接。即，在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，各第一部分43、44的内缘和各第二部分45、46的内缘在相互连接的各个区域以曲率连续的方式相互连接。

在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，第一部分43的外侧的侧面43b和第二部分45的外侧的侧面45b在相互连接的区域以曲率连续的方式相互连接。在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，第一部分43的外侧的侧面43b和第二部分46的外侧的侧面46b在相互连接的区域以曲率连续的方式相互连接。在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，第一部分44的外侧的侧面44b和第二部分45的外侧的侧面45b在相互连接的区域以曲率连续的方式相互连接。在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，第一部分44的外侧的侧面44b和第二部分46的外侧的侧面46b在相互连接的区域以曲率连续的方式相互连接。即，在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，各第一部分43、44的外缘和各第二部分45、46的外缘在相互连接的各个区域以曲率连续的方式相互连接。

在第二部分45形成有沿Y轴方向延伸的狭缝45c。在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，狭缝45c位于扭力杆7和镜部41之间。在第二部分46形成有沿Y轴方向延伸的狭缝46c。在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，狭缝46c位于扭力杆8和镜部41之间。

线圈11在各第一部分43、44沿着外侧的各侧面43b、44b延伸。线圈11在第一部分43延伸的区域的中心位置(Y轴方向上的宽度的中心位置)位于比第一部分43的中心位置(Y轴方向上的宽度的中心位置)靠外侧(连接区域40a的相反侧)。线圈11在第一部分44延伸的区域的中心位置(Y轴方向上的宽度的中心位置)位于比第一部分44的中心位置(Y轴方向上的宽度的中心位置)靠外侧(连接区域40b的相反侧)。

线圈11在各第二部分45、46沿着内侧的各侧面45a、46a延伸。线圈11在第二部分45延伸的区域的中心位置(X轴方向上的宽度的中心位置)位于比第二部分45的中心位置(X轴方向上的宽度的中心位置)靠内侧(扭力杆7的相反侧)(在此，位于比狭缝45c靠内侧)。线圈11在第二部分46延伸的区域的中心位置(X轴方向上的宽度的中心位置)位于比第二部分46的中心位置(X轴方向上的宽度的中心位置)靠内侧(扭力杆8的相反侧)(在此，位于比狭缝46c靠内侧)。

如图3所示，在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，扭力杆7中的两方的侧面7a和第二部分45中的外侧的侧面45b在相互连接的各个区域以曲率连续的方式相互连接。即，在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，扭力杆7的外缘和第二部分45的外缘在相互连接的各个区域以曲率连续的方式相互连接。在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，扭力杆7中的两方的侧面7a和支承部3的内侧(镜部41侧)的侧面3a在相互连接的各个区域以曲率连续的方式相互连接。即，在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，扭力杆7的外缘和支承部3的内缘在相互连接的各个区域以曲率连续的方式相互连接。与第二部分45的外缘连接的区域中的扭力杆7的外缘的曲率比与支承部3的内缘连接的区域中的扭力杆7的外缘的曲率小。

同样，在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，扭力杆8中的两方的侧面和第二部分46的外侧的侧面46b在相互连接的各个区域以曲率连续的方式相互连接(参照图1及图2)。即，在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，扭力杆8的外缘和第二部分46的外缘在相互连接的各个区域以曲率连续的方式相互连接。在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，扭力杆8中的两方的侧面和支承部3的内侧的侧面3a在相互连接的各个区域以曲率连续的方式相互连接(参照图1及图2)。即，在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，扭力杆8的外缘和支承部3的内缘在相互连接的各个区域以曲率连续的方式相互连接。与第二部分46的外缘连接的区域中的扭力杆8的外缘的曲率比与支承部3的内缘连接的区域中的扭力杆8的外缘的曲率小(参照图1及图2)。

如图3所示，线圈9沿着支承部3的外侧(镜部41的相反侧)的侧面3b延伸。线圈9在支承部3中连接有扭力杆7的部分延伸的区域的中心位置(X轴方向上的宽度的中心位置)位于比该部分的中心位置(X轴方向上的宽度的中心位置)靠外侧(扭力杆7的相反侧)。线圈9在支承部3中连接有扭力杆8的部分延伸的区域的中心位置(X轴方向上的宽度的中心位置)位于比该部分的中心位置(X轴方向上的宽度的中心位置)靠外侧(扭力杆8的相反侧)(参照图1及图2)。

如图4所示，在支承部3的背面(磁场产生部10侧的表面)设置有梁结构31。在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，梁结构31沿着框状的支承部3呈环状延伸。梁结构31中沿Y轴方向延伸的部分的宽度(X轴方向上的宽度)比梁结构31中沿X轴方向延伸的部分的宽度(Y轴方向上的宽度)小。在梁结构31中沿X轴方向延伸的部分，除了横切Y轴的中间部分，形成有多个减重部31a。越是从Y轴离开，各减重部31a的尺寸越是变大。

梁结构31中在扭力杆7侧沿Y轴方向延伸的部分的中心位置(X轴方向上的宽度的中心位置)位于比支承部3中沿Y轴方向延伸且连接有扭力杆7的部分的中心位置(X轴方向上的宽度的中心位置)靠外侧(扭力杆7的相反侧)。梁结构31中在扭力杆8侧沿Y轴方向延伸的部分的中心位置(X轴方向上的宽度的中心位置)位于比支承部3中沿Y轴方向延伸且连接有扭力杆8的部分的中心位置(X轴方向上的宽度的中心位置)靠外侧(扭力杆8的相反侧)。

在镜部41的背面(磁场产生部10侧的表面)设置有多个梁结构47、48、49。在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，梁结构47从交点O朝向X轴方向上的连接区域40a的两缘部呈V字状延伸。在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，梁结构48从交点O朝向X轴方向上的连接区域40b的两缘部呈V字状延伸。在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，梁结构49从交点O向X轴方向上的两侧呈X字状延伸。

[作用及效果]

在镜装置1中，与框状的框架42连接的一对扭力杆7、8配置于X轴上，镜部41和框状的框架42被相互连接的一对连接区域40a、40b位于Y轴方向上的镜部41的两侧。由此，即使使可动部4以X轴为中心线高速摆动，例如与仅一对连接区域40a、40b位于X轴上的情况、或镜部41和框状的框架42仅在一个连接区域40a(或40b)相互连接的情况等相比，在各连接区域40a、40b产生的应力也因一对扭力杆7、8的扭曲而变小。再有，在镜装置1中，在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，镜部41的外缘和框架42的内缘在各连接区域40a、40b以曲率连续的方式连接。由此，应力难以集中于各连接区域40a、40b。如上，根据镜装置1，能够抑制镜部41弯曲及可动部4破损这两者。

在镜装置1中，一对连接区域40a、40b位于Y轴上的镜部41的两侧。由此，能够在各扭力杆7、8和各连接区域40a、40b之间确保充分的距离(一对扭力杆7、8的扭曲不易影响到各连接区域40a、40b的距离)。因此，能够简化可动部4的结构，同时抑制镜部41弯曲及可动部4破损这两者。

在镜装置1中，框架42包含连接有镜部41且沿X轴方向延伸的一对第一部分43、44，越是从各连接区域40a、40b离开，Y轴方向上的各第一部分43、44的宽度越是变小。由此，能够使因一对扭力杆7、8的扭曲产生的应力向各第一部分43、44中宽度变小的部分分散，使在各连接区域40a、40b产生的应力进一步减小。再有，能够确保各连接区域40a、40b上的连接强度，使以X轴为旋转轴的情况下的可动部4的转动惯量减小各第一部分43、44中宽度变小的量。使以X轴为旋转轴的情况下的可动部4的转动惯量减小在使可动部4以X轴为中心线高速摆动方面是有利的。特别是第一部分43的内侧的侧面43a为以越离开连接区域40a越靠近第一部分43的外侧的侧面43b的方式向镜部41的相反侧弯曲成凹状的弯曲面，第一部分44的内侧的侧面44a为以越离开连接区域40b越靠近第一部分44的外侧的侧面44b的方式向镜部41的相反侧弯曲成凹状的弯曲面，因此，能够更可靠地使因一对扭力杆7、8的扭曲产生的应力分散，抑制应力集中于各第一部分43、44。

图5(a)是比较例的可动部4的俯视图，图5(b)是实施例的可动部4(上述的可动部4)的俯视图。图6(a)是比较例的可动部4的俯视图，图6(b)是实施例的可动部4的俯视图。在图5(a)所示的比较例的可动部4中，Y轴方向上的各第一部分43、44的宽度一定，Y轴方向上的可动部4的宽度与图5(b)所示的实施例的可动部4的该宽度相等。在图6(a)所示的比较例的可动部4中，Y轴方向上的各第一部分43、44的宽度一定，Y轴方向上的可动部4的宽度比图6(b)所示的实施例的可动部4的该宽度小。

如果将图5(a)所示的比较例的可动部4和图6(a)所示的比较例的可动部4进行对比，则在图5(a)所示的比较例的可动部4中，以X轴为旋转轴的情况下的可动部4的转动惯量变大，在图6(a)所示的比较例的可动部4中，不能充分缓和因一对扭力杆7、8的扭曲产生的应力。与此相对，与图5(a)所示的比较例的可动部4相比，通过图5(b)及图6(b)所示的实施例的可动部4，能够使以X轴为旋转轴的情况下的可动部4的转动惯量减小。另外，与图6(a)所示的比较例的可动部4相比，通过图5(b)及图6(b)所示的实施例的可动部4，能够缓和因一对扭力杆7、8的扭曲产生的应力。

在镜装置1中，除一对第一部分43、44外，框架42还包含连接有一对扭力杆7、8且沿Y轴方向延伸的一对第二部分45、46。由此，能够使因一对扭力杆7、8的扭曲产生的应力向彼此连接的各第一部分43、44和各第二部分45、46之间的部分分散，使在各连接区域40a、40b产生的应力进一步减小。

在镜装置1中，在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，各第一部分43、44的内缘和各第二部分45、46的内缘在相互连接的各个区域以曲率连续的方式相互连接。由此，能够抑制应力集中于各第一部分43、44的内缘和各第二部分45、46的内缘被相互连接的各个区域。

在镜装置1中，在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，各第一部分43、44的外缘和各第二部分45、46的外缘在相互连接的各个区域以曲率连续的方式相互连接。由此，能够抑制应力集中于各第一部分43、44的外缘和各第二部分45、46的外缘被相互连接的各个区域。

在镜装置1中，X轴方向上的各第一部分43、44的长度比Y轴方向上的各第二部分45、46的长度长。由此，能够抑制以X轴为旋转轴的情况下的可动部4的转动惯量的增大，同时在各扭力杆7、8和各连接区域40a、40b之间确保充分的距离(一对扭力杆7、8的扭曲不易影响到各连接区域40a、40b的距离)。

在镜装置1中，连接区域40a和第二部分45的距离、连接区域40a和第二部分46的距离、连接区域40b和第二部分45的距离、及连接区域40b和第二部分46的距离的各个比X轴和第一部分43的距离及X轴和第一部分44的距离的各个长。由此，能够抑制以X轴为旋转轴的情况下的可动部4的转动惯量的增大，同时在各扭力杆7、8和各连接区域40a、40b之间确保充分的距离(一对扭力杆7、8的扭曲不易影响到各连接区域40a、40b的距离)。

在镜装置1中，从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下的镜部41的形状为具有沿着X轴的长轴的椭圆形。由此，能够抑制以X轴为旋转轴的情况下的可动部4的转动惯量的增大，同时确保充分的镜面41a的面积。

在镜装置1中，X轴方向上的各连接区域40a、40b的宽度为X轴方向上的镜部41的宽度的30％以下。由此，能够实现确保镜部41和框架42的充分的连接强度及各扭力杆7、8和各连接区域40a、40b之间的充分的距离这两者。

在镜装置1中，线圈11在各第一部分43、44沿着外侧的各侧面43b、44b延伸，且在各第二部分45、46沿着内侧的各侧面45a、46a延伸。由此，因为线圈11远离各连接区域40a、40b及各扭力杆7、8，所以因一对扭力杆7、8的扭曲而在线圈11中产生的应力变小。因此，能够抑制线圈11发生金属疲劳。如上所述，在各连接区域40a、40b，将应力减小至不使镜部41弯曲及不使可动部4破损的程度，但可能会残留导致线圈11发生金属疲劳的程度的应力。因此，使线圈11在各第一部分43、44沿着外侧的各侧面43b、44b延伸，且将线圈11与各连接区域40a、40b分离在安全方面是有效的。

在镜装置1中，位于扭力杆7和镜部41之间的狭缝45c形成于第一部分43，位于扭力杆8和镜部41之间的狭缝46c形成于第一部分44。由此，一对扭力杆7、8的扭曲不易影响到线圈11。因此，能够抑制线圈11发生金属疲劳。再有，一对扭力杆7、8的扭曲也不易影响到各连接区域40a、40b。因此，能够更可靠地抑制镜部41弯曲及可动部4破损这两者。

在镜装置1中，线圈9沿着支承部3的外侧的侧面3b延伸。由此，因为线圈9远离各扭力杆7、8，所以因一对扭力杆7、8的扭曲而在线圈9中产生的应力变小。因此，能够抑制线圈9发生金属疲劳。

在镜装置1中，与第二部分45的外缘连接的区域中的扭力杆7的外缘的曲率比与支承部3的内缘连接的区域中的扭力杆7的外缘的曲率小。同样，与第二部分46的外缘连接的区域中的扭力杆8的外缘的曲率比与支承部3的内缘连接的区域中的扭力杆8的外缘的曲率小。通过在与框架42连接的区域内使各扭力杆7、8的外缘的曲率减小，能够使因一对扭力杆7、8的扭曲而在框架42中产生的应力减小。另一方面，通过在与支承部3连接的区域内使各扭力杆7、8的外缘的曲率增大，能够确保各扭力杆7、8的长度，使因一对扭力杆7、8的扭曲产生的应力本身减小。此外，关于因一对扭力杆7、8的扭曲产生的应力，与使其在支承部3侧减小相比，使其在进行线性动作的可动部4侧减小更加有效。

在镜装置1中，沿着框状的支承部3呈环状延伸的梁结构31设置于支承部3的背面。由此，能够抑制支承部3的变形。而且，因为梁结构31连续形成，所以与梁结构31断续形成的情况相比，能够抑制应力集中。另外，在镜装置1中，梁结构31中沿Y轴方向延伸的部分的宽度(X轴方向上的宽度)比梁结构31中沿X轴方向延伸的部分的宽度(Y轴方向上的宽度)小。由此，能够使以Y轴为旋转轴的情况下的支承部3的转动惯量减小。另外，在镜装置1中，越是从Y轴离开，形成于梁结构31中沿X轴方向延伸的部分的各减重部31a的尺寸越是变大。由此，能够使以Y轴为旋转轴的情况下的支承部3的转动惯量减小。另外，在镜装置1中，在梁结构31中横切Y轴的中间部分未形成减重部31a。由此，能够使以X轴为旋转轴的情况下的支承部3的转动惯量增大，抑制支承部3以X轴为中心线摆动。再有，在镜装置1中，梁结构31中沿Y轴方向延伸的部分的中心位置位于比支承部3中沿Y轴方向延伸的部分的中心位置靠外侧。由此，因为梁结构31中在扭力杆7侧沿Y轴方向延伸的部分远离扭力杆7，且梁结构31中在扭力杆8侧沿Y轴方向延伸的部分远离扭力杆8，所以能够使因一对扭力杆7、8的扭曲而在梁结构31产生的应力减小。

在镜装置1中，从交点O朝向X轴方向上的连接区域40a的两缘部呈V字状延伸的梁结构47、及从交点O朝向X轴方向上的连接区域40b的两缘部呈V字状延伸的梁结构48设置于镜部41的背面。由此，能够使因一对扭力杆7、8的扭曲而在各连接区域40a、40b产生的应力减小。

[变形例]

本发明不限于上述的实施方式。例如，各部的材料及形状不限于上述的材料及形状，也可以采用各种材料及形状。作为一例，如果框架42形成为框状，则在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，例如也可以具有四边形以外的多边形状等的外形。另外，镜面41a形成于镜部41的至少一部分即可。另外，从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下的镜部41的形状也可以为圆形状等。另外，镜装置1的驱动方式不限于电磁驱动式，也可以为静电驱动式、压电驱动式、热驱动式等。另外，也可以是，基座2及一对扭力杆5、6未设置于镜装置1，支承部3作为基座发挥作用。

另外，在一对扭力杆7、8配置于第一轴线上的可动部4的两侧的情况下，一对连接区域40a、40b位于与垂直于第一轴线的第二轴线平行的方向上的镜部41的两侧即可。作为一例，在形成为多边形框状的框架42的一对部分(构成对边的部分)与第二轴线交叉的情况下，将一对连接区域40a、40b配置于该一对部分内即可。只要是上述的实施方式，则也可以将一对连接区域40a、40b配置于一对第一部分43、44内。或者，无论框架42的形状如何，都可以将一对连接区域40a、40b配置于以第一轴线和第二轴线的交点为中心点从第一轴线向一方向45度以上135度以下的区域、及从第一轴线向另一方向45度以上135度以下的区域。此外，各连接区域40a、40b也可以由物理上分离的多个区域构成。

另外，如果越离开连接区域40a，Y轴方向上的第一部分43的宽度越小，则如图7(a)所示，第一部分43的内侧的侧面43a也可以为以越离开连接区域40a越靠近第一部分43的外侧的侧面43b的方式倾斜的平坦面。同样，如果越离开连接区域40b，Y轴方向上的第一部分44的宽度越小，则如图7(a)所示，第一部分44的内侧的侧面44a也可以为以越离开连接区域40b越靠近第一部分44的外侧的侧面44b的方式倾斜的平坦面。

另外，如果越离开连接区域40a，Y轴方向上的第一部分43的宽度越小，则如图7(b)所示，第一部分43的内侧的侧面43a也可以为以越离开连接区域40a越靠近第一部分43的外侧的侧面43b的方式弯曲成台阶状的弯曲面。同样，如果越离开连接区域40b，Y轴方向上的第一部分44的宽度越小，则如图7(b)所示，第一部分44的内侧的侧面44a也可以为以越离开连接区域40b越靠近第一部分44的外侧的侧面44b的方式弯曲成台阶状的弯曲面。

另外，在第三变形例的可动部4中，如图8所示，镜部41在位于Y轴方向上的镜部41的两侧的一对连接区域(第一连接区域)40a、40b的各个、及位于X轴方向上的镜部41的两侧的一对连接区域(第二连接区域)40c、40d的各个与框架42连接。镜部41和框架42之间的区域中一对连接区域40a、40b及一对连接区域40c、40d以外的区域为空间。即，镜部41和框架42仅在一对连接区域40a、40b及一对连接区域40c、40d相互连接。

镜部41的侧面41b和第一部分43的内侧的侧面43a在连接区域40a以曲率连续的方式连接。镜部41的侧面41b和第一部分44的内侧的侧面44a在连接区域40b以曲率连续的方式连接。即，在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，镜部41的外缘和框架42的内缘在各连接区域40a、40b以曲率连续的方式连接。

镜部41的侧面41b和第二部分45的内侧的侧面45a在连接区域40d以曲率连续的方式连接。镜部41的侧面41b和第二部分46的内侧的侧面46a在连接区域40c以曲率连续的方式连接。即，在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，镜部41的外缘和框架42的内缘在各连接区域40c、40d以曲率连续的方式连接。

越离开连接区域40a，Y轴方向上的第一部分43的宽度越小。在此，第一部分43的外侧的侧面43b为与X轴平行的平坦面，第一部分43的内侧的侧面43a为越离开连接区域40a越靠近侧面43b的面。越离开连接区域40b，Y轴方向上的第一部分44的宽度越小。在此，第一部分44的外侧的侧面44b为与X轴平行的平坦面，第一部分44的内侧的侧面44a为越离开连接区域40b越靠近侧面44b的面。

此外，第一部分43的内侧的侧面43a也可以为以越离开连接区域40a越靠近第一部分43的外侧的侧面43b的方式倾斜的平坦面。同样，第一部分44的内侧的侧面44a也可以为以越离开连接区域40b越靠近第一部分44的外侧的侧面44b的方式倾斜的平坦面。另外，第一部分43的内侧的侧面43a也可以为以越离开连接区域40a越靠近第一部分43的外侧的侧面43b的方式弯曲成台阶状的弯曲面。同样，第一部分44的内侧的侧面44a也可以为以越离开连接区域40b越靠近第一部分44的外侧的侧面44b的方式弯曲成台阶状的弯曲面。

越离开连接区域40d，X轴方向上的第二部分45的宽度越小。在此，第二部分45的外侧的侧面45b为与Y轴平行的平坦面，第二部分45的内侧的侧面45a为越离开连接区域40d越靠近侧面45b的面。越离开连接区域40c，X轴方向上的第二部分46的宽度越小。在此，第二部分46的外侧的侧面46b为与Y轴平行的平坦面，第二部分46的内侧的侧面46a为越离开连接区域40c越靠近侧面46b的面。

此外，第二部分45的内侧的侧面45a也可以为以越离开连接区域40d越靠近第二部分45的外侧的侧面45b的方式倾斜的平坦面。同样，第二部分46的内侧的侧面46a也可以为以越离开连接区域40c越靠近第二部分46的外侧的侧面46b的方式倾斜的平坦面。另外，第二部分45的内侧的侧面45a也可以为以越离开连接区域40d越靠近第二部分45的外侧的侧面45b的方式弯曲成台阶状的弯曲面。同样，第二部分46的内侧的侧面46a也可以为以越离开连接区域40c越靠近第二部分46的外侧的侧面46b的方式弯曲成台阶状的弯曲面。

在具备第三变形例的可动部4的镜装置1中，与框状的框架42连接的一对扭力杆7、8配置于X轴上，将镜部41和框状的框架42彼此连接的一对连接区域40a、40b位于Y轴方向上的镜部41的两侧。再有，将镜部41和框状的框架42彼此连接的一对连接区域40c、40d位于X轴方向上的镜部41的两侧。由此，即使使可动部4以X轴为中心线高速摆动，例如与仅一对连接区域40a、40b位于X轴上的情况、或镜部41和框状的框架42仅在一个连接区域40a(或40b)相互连接的情况等相比，因一对扭力杆7、8的扭曲而在各连接区域40a、40b、40c、40d产生的应力也会变小。再有，在具备第三变形例的可动部4的镜装置1中，在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，镜部41的外缘和框架42的内缘在各连接区域40a、40b以曲率连续的方式连接。由此，应力难以集中于各连接区域40a、40b。如上，根据具备第三变形例的可动部4的镜装置1，能够抑制镜部41弯曲及可动部4破损这两者。

在具备第三变形例的可动部4的镜装置1中，在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，镜部41的外缘和框架42的内缘在各连接区域40c、40d以曲率连续的方式连接。由此，应力难以集中于各连接区域40c、40d。

在具备第三变形例的可动部4的镜装置1中，一对连接区域40c、40d位于X轴上的镜部41的两侧。由此，能够使围绕X轴的可动部的转动惯量减小。

在一对扭力杆7、8配置于第一轴线上的可动部4的两侧的情况下，一对连接区域40c、40d位于与第一轴线平行的方向上的镜部41的两侧即可。作为一例，在形成为多边形框状的框架42的一对部分(构成对边的部分)与第一轴线交叉的情况下，将一对连接区域40c、40d配置于该一对部分内即可。只要是第三变形例的可动部4，则也可以将一对连接区域40c、40d配置于一对第二部分45、46内。或者，无论框架42的形状如何，都可以将一对连接区域40c、40d配置于以第一轴线和第二轴线的交点为中心点从第二轴线向一方向45度以上135度以下的区域、及从第二轴线向另一方向45度以上135度以下的区域。此外，各连接区域40c、40d也可以由物理上分离的多个区域构成。

在具备第三变形例的可动部4的镜装置1中，越离开各连接区域40a、40b，Y轴方向上的各第一部分43、44的宽度越小，且越离开各连接区域40c、40d，X轴方向上的各第二部分45、46的宽度越小。由此，能够使因一对扭力杆7、8的扭曲产生的应力向各第一部分43、44及各第二部分45、46中宽度变小的部分分散，使在各连接区域40a、40b，40c、40d产生的应力进一步减小。再有，能够确保各连接区域40a、40b，40c、40d上的连接强度，同时使以X轴为旋转轴的情况下的可动部4的转动惯量减小各第一部分43、44及各第二部分45、46中宽度变小的量。但是，也可以不是越离开各连接区域40c、40d，X轴方向上的各第二部分45、46的宽度越小。

在具备第三变形例的可动部4的镜装置1中，位于扭力杆7和镜部41之间的狭缝45c形成于第一部分43，位于扭力杆8和镜部41之间的狭缝46c形成于第一部分44。再有，与第二部分45的外缘连接的区域中的扭力杆7的外缘的曲率比与支承部3的内缘连接的区域中的扭力杆7的外缘的曲率小。同样，与第二部分46的外缘连接的区域中的扭力杆8的外缘的曲率比与支承部3的内缘连接的区域中的扭力杆8的外缘的曲率小。由此，在具备第三变形例的可动部4的镜装置1中，通过四个连接区域40a、40b，40c、40d实现镜部41的稳定支承，并且一对扭力杆7、8的扭曲不易影响到一对连接区域40c、40d。

上述的实施方式中的各结构也适用于具备第三变形例的可动部4的镜装置1。例如，在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，各第一部分43、44的内缘和各第二部分45、46的内缘在相互连接的各个区域以曲率连续的方式相互连接。另外，在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，各第一部分43、44的外缘和各第二部分45、46的外缘在相互连接的各个区域以曲率连续的方式相互连接。另外，X轴方向上的各第一部分43、44的长度比Y轴方向上的各第二部分45、46的长度长。另外，连接区域40a和第二部分45的距离、连接区域40a和第二部分46的距离、连接区域40b和第二部分45的距离、及连接区域40b和第二部分46的距离的各个比X轴和第一部分43的距离及X轴和第一部分44的距离的各个长。另外，从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下的镜部41的形状为具有沿着X轴的长轴的椭圆形。另外，X轴方向上的各连接区域40a、40b的宽度为X轴方向上的镜部41的宽度的30％以下。另外，线圈11在各第一部分43、44沿着外侧的各侧面43b、44b延伸，且在各第二部分45、46沿着内侧的各侧面45a、46a延伸。另外，线圈9沿着支承部3的外侧的侧面3b延伸。另外，在支承部3的背面设置有沿着框状的支承部3呈环状延伸的梁结构31。另外，在镜部41的背面设置有从交点O朝向X轴方向上的连接区域40a的两缘部呈V字状延伸的梁结构47、及从交点O朝向X轴方向上的连接区域40b的两缘部呈V字状延伸的梁结构48。

在具备第三变形例的可动部4的镜装置1中，各部的材料及形状也不限于上述的材料及形状，可以采用各种材料及形状。作为一例，如果框架42形成为框状，则在从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下，例如也可以具有四边形以外的多边形状等外形。另外，镜面41a形成于镜部41的至少一部分即可。另外，从垂直于X轴及Y轴的方向观察的情况下的镜部41的形状也可以为圆形状等。

在上述的实施方式及各变形例中，用于使可动部4摆动的线圈11设置于可动部4，用于使支承部3摆动的线圈9设置于支承部3，但用于使可动部4摆动的线圈、及用于使支承部3摆动的线圈也可以分别设置于支承部3，或者，用于使可动部4摆动且使支承部3摆动的单一的线圈也可以设置于支承部3。

上述的一实施方式或变形例中的各结构可以任意适用于其它实施方式或变形例中的各结构。

符号的说明

1…镜装置、3…支承部、4…可动部、7、8…扭力杆、40a、40b…连接区域(第一连接区域)、40c、40d…连接区域(第二连接区域)、41…镜部、42…框架、43、44…第一部分、45、46…第二部分。

Claims (13)

1.一种镜装置，其中，

具备：

支承部；

可动部；

一对扭力杆，其配置于第一轴线上的所述可动部的两侧，将所述可动部与所述支承部连结以使所述可动部能够以所述第一轴线为中心线摆动，

所述可动部具有：

框状的框架，其连接有所述一对扭力杆；

镜部，其配置于所述框架的内侧，

所述镜部在位于与垂直于所述第一轴线的第二轴线平行的方向上的所述镜部的两侧的一对第一连接区域的各个与所述框架连接，

所述镜部和所述框架之间的区域中所述一对第一连接区域以外的区域为空间，

在从垂直于所述第一轴线及所述第二轴线的方向观察的情况下，所述镜部的外缘和所述框架的内缘在所述一对第一连接区域的各个以曲率连续的方式连接。

2.一种镜装置，其中，

具备：

支承部；

可动部；

一对扭力杆，其配置于第一轴线上的所述可动部的两侧，将所述可动部与所述支承部连结以使所述可动部能够以所述第一轴线为中心线摆动，

所述可动部具有：

框状的框架，其连接有所述一对扭力杆；

镜部，其配置于所述框架的内侧，

所述镜部在位于与垂直于所述第一轴线的第二轴线平行的方向上的所述镜部的两侧的一对第一连接区域的各个、及位于与所述第一轴线平行的方向上的所述镜部的两侧的一对第二连接区域的各个，与所述框架连接，

所述镜部和所述框架之间的区域中所述一对第一连接区域及所述一对第二连接区域以外的区域为空间，

在从垂直于所述第一轴线及所述第二轴线的方向观察的情况下，所述镜部的外缘和所述框架的内缘在所述一对第一连接区域的各个以曲率连续的方式连接。

3.根据权利要求2所述的镜装置，其中，

在从垂直于所述第一轴线及所述第二轴线的方向观察的情况下，所述镜部的外缘和所述框架的内缘在所述一对第二连接区域的各个以曲率连续的方式连接。

4.根据权利要求2或3所述的镜装置，其中，

所述一对第二连接区域位于所述第一轴线上的所述镜部的两侧。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的镜装置，其中，

所述一对第一连接区域位于所述第二轴线上的所述镜部的两侧。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的镜装置，其中，

所述框架包含连接有所述镜部且沿与所述第一轴线平行的方向延伸的一对第一部分，

越是从所述一对第一连接区域的各个离开，与所述第二轴线平行的方向上的所述一对第一部分的各个的宽度越是变小。

7.根据权利要求6所述的镜装置，其中，

所述框架还包含连接有所述一对扭力杆且沿与所述第二轴线平行的方向延伸的一对第二部分。

8.根据权利要求7所述的镜装置，其中，

在从垂直于所述第一轴线及所述第二轴线的方向观察的情况下，所述一对第一部分的各个的内缘和所述一对第二部分的各个的内缘在相互连接的多个区域的各个以曲率连续的方式相互连接。

9.根据权利要求7或8所述的镜装置，其中，

在从垂直于所述第一轴线及所述第二轴线的方向观察的情况下，所述一对第一部分的各个的外缘和所述一对第二部分的各个的外缘在相互连接的多个区域的各个以曲率连续的方式相互连接。

10.根据权利要求7～9中任一项所述的镜装置，其中，

与所述第一轴线平行的方向上的所述一对第一部分的各个的长度比与所述第二轴线平行的方向上的所述一对第二部分的各个的长度长。

11.根据权利要求7～10中任一项所述的镜装置，其中，

所述一对第一连接区域的各个和所述一对第二部分的一方的距离、及所述一对第一连接区域的各个和所述一对第二部分的另一方的距离比所述第一轴线和所述一对第一部分的各个的距离长。

12.根据权利要求7～11中任一项所述的镜装置，其中，

从垂直于所述第一轴线及所述第二轴线的方向观察的情况下的所述镜部的形状为具有沿着所述第一轴线的长轴的椭圆形。

13.根据权利要求1～12中任一项所述的镜装置，其中，

与所述第一轴线平行的方向上的所述一对第一连接区域的各个的宽度为与所述第一轴线平行的方向上的所述镜部的宽度的30％以下。

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