JP2007006587A - アクチュエータ - Google Patents

アクチュエータ Download PDF

Info

Publication number
JP2007006587A
JP2007006587A JP2005182626A JP2005182626A JP2007006587A JP 2007006587 A JP2007006587 A JP 2007006587A JP 2005182626 A JP2005182626 A JP 2005182626A JP 2005182626 A JP2005182626 A JP 2005182626A JP 2007006587 A JP2007006587 A JP 2007006587A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mass
rod
actuator
actuator according
elastic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2005182626A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4193817B2 (ja
Inventor
Mitsuhiro Yoda
光宏 與田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2005182626A priority Critical patent/JP4193817B2/ja
Priority to US11/472,263 priority patent/US7926369B2/en
Priority to CNB2006100932035A priority patent/CN100395580C/zh
Publication of JP2007006587A publication Critical patent/JP2007006587A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4193817B2 publication Critical patent/JP4193817B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/26Optical coupling means
    • G02B6/35Optical coupling means having switching means
    • G02B6/3564Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details
    • G02B6/3568Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details characterised by the actuating force
    • G02B6/3578Piezoelectric force
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • G02B26/0833Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
    • G02B26/0858Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by piezoelectric means
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/26Optical coupling means
    • G02B6/35Optical coupling means having switching means
    • G02B6/351Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements
    • G02B6/3512Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements the optical element being reflective, e.g. mirror
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/26Optical coupling means
    • G02B6/35Optical coupling means having switching means
    • G02B6/3594Characterised by additional functional means, e.g. means for variably attenuating or branching or means for switching differently polarized beams
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T74/00Machine element or mechanism
    • Y10T74/10High frequency vibratory devices

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
  • Laser Beam Printer (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)

Abstract

【課題】低電圧駆動が可能で、かつ、小型化を図りつつ、大きな振れ角で駆動することができるアクチュエータを提供すること。
【解決手段】第1の弾性連結部26(27)は、第1の質量部21(22)の回動中心軸を介して互いに対向する2つの棒状連結部材261、262(271、272)で構成され、圧電素子31、32(33、34)は、各棒状連結部材261、262(271、272)に接合され、2つの棒状連結部材261、262(271、272)を互いに逆方向に主として曲げ変形させるように構成されており、圧電素子31、32(33、34)の駆動により、第1の弾性連結部26(27)全体を捩り変形させながら、第1の質量部21(22)を回動させ、これに伴い、第2の弾性連結部28(29)を捩り変形させながら、第2の質量部25を回動させる。
【選択図】図1

Description

本発明は、アクチュエータに関するものである。
アクチュエータとしては、例えば、レーザープリンタ等に用いられるポリゴンミラー(回転多面体)が知られている。
しかし、このようなポリゴンミラーにおいて、より高解像度で品質のよい印字と高速印刷を達成するには、ポリゴンミラーの回転をさらに高速にしなければならない。現在のポリゴンミラーには高速安定回転を維持するためにエアーベアリングが使用されているが、今以上の高速回転を得るのは困難となっている。また、高速にするためには、大型のモーターが必要であり、機器の小型化の面で不利であるという問題がある。このようなポリゴンミラーを用いると、構造が複雑となり、コストが高くなるといった問題も生じる。
一方、比較的簡単な構造のアクチュエータとして、図10に示すような、平行平板状に電極を配置した1自由度のねじり振動子を用いたものが提案されている(例えば、非特許文献1参照)。また、前記ねじり振動子をカンチレバー方式とした1自由度静電駆動型振動子も提案されている(例えば、非特許文献2参照)。
図10の1自由度静電駆動型ねじり振動子は、ガラス基板1000上の両端部にスぺーサ200を介してシリコンの単結晶板からなる可動電極板300の両端固定部300aを固定し、この可動電極板300の両端固定部300a間に、細巾のトーションバー300bを介して可動電極部300cを支持させ、また、その可動電極部300cに電極間隔を置いて対向させる固定電極400を、ガラス基板1000上において前記可動電極部300cに対し平行配置している。可動電極板300と固定電極400との間にはスイッチ600を介して電源500が接続される。
前記構成を有するねじり振動子は、可動電極部300cと固定電極400との間に電圧を印加すると、静電引力によりトーションバー300bを軸として可動電極部300cが回転するものである。しかるに、静電引力は電極間隔の二乗に反比例するため、この種の静電アクチュエータにおいては電極間隔を小さくすることが望まれる。しかし、上述した1自由度の構造では、可動電極部300cが電極と可動部を兼ねるため、電極間隔を狭くすると変位(回転角)に制約が生じ、また可動範囲を大きくとるためには電極間隔を大きくする必要がある。このため、低電圧駆動と大振幅(振れ角)の両立が困難であるという問題がある。
K.E.Petersen:"Silicon Torsional Scanning Mirror",IBMJ.Res.Develop.,vol.24(1980)、P.631 河村他:"Siを用いたマイクロメカニクスの研究"、昭和61年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集、P.753
本発明の目的は、低電圧駆動が可能で、かつ、小型化を図りつつ、大きな振れ角で駆動することができるアクチュエータを提供することにある。
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明のアクチュエータは、第1の質量部と、
前記第1の質量部を支持するための支持部と、
前記支持部に対して前記第1の質量部を回動可能とするように、前記支持部と前記第1の質量部とを連結する第1の弾性連結部と、
第2の質量部と、
前記第1の質量部に対して前記第2の質量部を回動可能とするように、前記第1の質量部と前記第2の質量部とを連結する第2の弾性連結部と、
前記第1の弾性連結部を捩り変形させる圧電素子とを有し、
前記第1の弾性連結部は、前記第1の質量部の回動中心軸を介して互いに対向する2つの棒状連結部材で構成され、
前記圧電素子は、各棒状連結部材に接合され、前記2つの棒状連結部材を互いに逆方向に主として曲げ変形させるように構成されており、
前記圧電素子の駆動により、前記第1の弾性連結部全体を捩り変形させながら、前記第1の質量部を回動させ、これに伴い、前記第2の弾性連結部を捩り変形させながら、前記第2の質量部を回動させることを特徴とする。
これにより、駆動時に、各棒状連結部材が主として曲げ変形することにより第1の弾性連結部全体が捩り変形するため、第1の弾性連結部に生じる応力を低減することができる。そのため、大きな振れ角で駆動することができる。
また、圧電素子により駆動力を得るため、低電圧駆動であっても比較的大きな駆動力で駆動することができる。そのため、低電圧駆動であっても、第1の弾性連結部のバネ定数を高めて、高周波で駆動することができる。
本発明のアクチュエータでは、前記圧電素子は、圧電材料を主材料として構成された圧電体層と、該圧電体層を狭持する1対の電極とを有し、前記1対の電極のうちの一方が前記棒状連結部材に接合されていることが好ましい。
これにより、比較的簡単な構成で、より確実に、圧電素子により棒状連結部材を曲げ変形させることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記圧電素子は、前記棒状連結部材の長手方向に沿って延在し、その延在方向に伸縮することにより、前記棒状連結部材を曲げ変形させることが好ましい。
これにより、比較的簡単な構成で、より確実に、圧電素子により棒状連結部材を曲げ変形させることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記圧電素子は、前記2つの棒状連結部材同士の対向方向に対し直角な方向における前記棒状連結部材の少なくとも一方の端面に設けられていることが好ましい。
これにより、棒状連結部材の曲げ変形により、第1の質量部をより円滑に回動させることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記圧電素子は、前記2つの棒状連結部材同士の対向方向に対し直角な方向における前記棒状連結部材の両端面にそれぞれ設けられていることが好ましい。
これにより、より高い駆動力を得ることができる。その結果、1つの圧電素子の小型化を図ることができる。また、圧電素子と弾性連結部との間に生じる応力を低減して、アクチュエータの耐久性の向上を図ることができる。
本発明のアクチュエータでは、2つの前記圧電素子は、前記第1の質量部の回動中心軸に対して互いに対称に設けられていることが好ましい。
これにより、1対の圧電素子に対し、同一の電源から同一波形の電圧を印加して、アクチュエータを駆動することができる。その結果、アクチュエータの低コスト化を図ることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記2つの棒状連結部材と前記第1の質量部との接続部における前記2つの棒状連結部材同士の間隔をAとし、前記2つの棒状連結部材と前記支持部との接続部における前記2つの棒状連結部材同士の間隔をBとしたときに、A<Bの関係を満たすことが好ましい。
これにより、より高周波数で、かつ、より大きな振れ角で駆動することができる。
本発明のアクチュエータでは、前記2つの棒状連結部材と前記第1の質量部との接続部における前記2つの棒状連結部材同士の間隔をAとし、前記第1の質量部の回動軸線に直角な方向での最大長をLとしたときに、0≦A<0.8Lの関係を満たすことが好ましい。
これにより、より低電圧での駆動が可能で、かつ、より大きな振れ角で駆動することができる。また、第1の弾性連結部全体の捩れ変形に対する第1の質量部の回動の応答性を優れたものとすることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記2つの棒状連結部材と前記支持部との接続部における前記2つの棒状連結部材同士の間隔をBとし、前記第1の質量部の回動軸線に直角な方向での最大長をLとしたときに、0.2L<B<1.2Lの関係を満たすことが好ましい。
これにより、より高周波数で駆動することができる。
本発明のアクチュエータでは、前記2つの棒状連結部材と前記第1の質量部との接続部における前記2つの棒状連結部材同士の間隔をAとし、前記棒状連結部材の長さをCとしたときに、A<Cの関係を満たすことが好ましい。
これにより、より大きな振れ角で駆動することができる。
本発明のアクチュエータでは、各圧電素子は、交流電圧を受けて駆動し、前記交流電圧の周波数が、前記第1の質量部と前記第2の質量部とが共振する2自由度振動系の共振周波数のうち低いものと略等しくなるように設定されていることが好ましい。
これにより、第1の質量部の振れ角を抑制しつつ、第2の質量部の回転角度(振れ角)を大きくすることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記第2の弾性連結部は、前記第2の質量部を介して、その両側に1対設けられ、これに対応して、前記第1の質量部および前記第1の弾性連結部がそれぞれ1対設けられていることが好ましい。
これにより、第1の質量部および第2の質量部をより円滑に駆動することができる。
本発明のアクチュエータでは、前記1対の第1の質量部のうちの一方の回動中心軸からこれに垂直な方向での最大長をLとし、前記1対の第1の質量部のうちの他方の回動中心軸からこれに垂直な方向での最大長をLとし、前記第2の質量部の回動中心軸からこれに垂直な方向での最大長をLとしたとき、LとLとが、L<Lなる関係を満足し、かつ、LとLとが、L<Lなる関係を満足することが好ましい。
これにより、より容易かつ確実に、低電圧で駆動が可能で、かつ、第2の質量部の振れ角(振幅)が大きいものとすることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記最大長Lと、前記最大長Lとがほぼ等しいことが好ましい。
これにより、容易かつ確実に、低電圧駆動が可能で、かつ、第2の質量部の振れ角(振幅)が大きいものとすることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記第1の弾性連結部のばね定数をkとし、前記第2の弾性連結部のばね定数をkとしたとき、kとkとが、k>kなる関係を満足することが好ましい。
これにより、低電圧駆動が可能で、かつ、振れ角(振幅)が大きいものとしつつ、より高周波数で駆動することができる。また、このような構成とすることにより、第1の質量部の振幅を抑制しつつ、第2の質量部の回転角度(振れ角)を大きくすることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記第1の質量部の慣性モーメントをJとし、前記第2の質量部の慣性モーメントをJとしたとき、JとJとがJ≦Jなる関係を満足することが好ましい。
これにより、第1の質量部の振れ角(振幅)を抑制しつつ、第2の質量部の回転角度(振れ角)を大きくすることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記第2の質量部は、光反射部が設けられていることが好ましい。
これにより、アクチュエータを光スキャナ、光アッテネータ、光スイッチなどの光デバイスに適用することができる。
以下、本発明のアクチュエータの好適な実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
<第1実施形態>
まず、本発明のアクチュエータの第1実施形態を説明する。
図1は、本発明のアクチュエータの第1実施形態を示す平面図、図2は、図1中のA−A線断面図、図3は、印加する交流電圧の一例を示す図、図4は、印加した交流電圧の周波数と、第1の質量部および第2の質量部の共振曲線を示すグラフである。なお、以下では、説明の便宜上、図1中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言い、図2中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
アクチュエータ1は、図1および図2に示すように、2自由度振動系を有する基体2と、この基体2の2自由度振動系を駆動するための圧電素子31、32、33、34と、基体2を接合層5を介して支持する支持基板4とを有している。なお、基体2と支持基板4と接合層5とは、一体的に形成されていてもよい。
基体2は、1対の第1の質量部(駆動部)21、22と、1対の支持部23、24と、第2の質量部(可動部)25と、1対の第1の弾性連結部26、27と、1対の第2の弾性連結部28、29とを備えている。このような基体2にあっては、左右対称な形状となるように、第2の質量部25を中心とし、その左方に、第2の弾性連結部28、第1の質量部21、支持部23が順次配設され、右方に、第2の弾性連結部29、第1の質量部22、支持部24が順次配設されている。
1対の第1の質量部21、22は、それぞれ、板状をなし、互いにほぼ同一寸法でほぼ同一形状をなしている。
また、1対の質量部21、22の間には、第2の質量部25が設けられており、1対の質量部21、22は、第2の質量部25を中心として、ほぼ左右対称となるように設けられている。
第2の質量部25は、板状をなし、その板面に光反射部251が設けられている。これにより、アクチュエータ1を光スキャナ、光アッテネータ、光スイッチなどの光デバイスに適用することができる。
このような第1の質量部21、22および第2の質量部25にあっては、第1の質量部21、22が第1の弾性連結部26、27を介して支持部23、24に接続され、第2の質量部25が第2の弾性連結部28、29を介して第1の質量部21、22に接続されている。
第1の弾性連結部26は、第1の質量部21を支持部23に対して回動可能とするように、第1の質量部21と支持部23とを連結している。これと同様に、第1の弾性連結部27は、第1の質量部22を支持部24に対して回動可能とするように、第1の質量部22と支持部24とを連結している。
特に、第1の弾性連結部26は、第1の質量部21の回動中心軸を介して互いに対向する2つの棒状連結部材261、262で構成されている。これと同様に、第1の弾性連結部27は、第1の質量部22の回動中心軸を介して互いに対向する2つの棒状連結部材271、272で構成されている。
第2の弾性連結部28は、第2の質量部25を第1の質量部21に対して回動可能とするように、第2の質量部25と第1の質量部21とを連結している。これと同様に、第2の弾性連結部29は、第2の質量部25を第1の質量部22に対して回動可能とするように、第2の質量部25と第1の質量部22とを連結している。
各第1の弾性連結部26、27および各第2の弾性連結部28、29は、同軸的に設けられており、これらを回動中心軸(回転軸)として、第1の質量部21、22が支持部23、24に対して、また、第2の質量部25が第1の質量部21、22に対して回動可能となっている。
このように、基体2は、第1の質量部21、22と第1の弾性連結部26、27とで構成された第1の振動系と、第2の質量部25と第2の弾性連結部28、29とで構成された第2の振動系とを有する。すなわち、基体2は、第1の振動系および第2の振動系からなる2自由度振動系を有する。すなわち、1対の第2の弾性連結部28、29が第2の質量部25を介してその両側に設けられ、これに対応して、1対の第1の質量部21、22および1対の第1の弾性連結部26、27が設けられている。これにより、第1の質量部21、22および第2の質量部25をより円滑に駆動することができる。
このような2自由度振動系を有する基体2は、例えば、シリコンを主材料として構成されていて、第1の質量部21、22と、第2の質量部25と、支持部23、24と、第1の弾性連結部26、27と、第2の弾性連結部28、29とが一体的に形成されている。
そして、このような2自由度振動系を駆動するために、第1の弾性連結部26、27の棒状連結部材261、262、271、272上には、これらに対応して、圧電素子31、32、33、34が設けられている。
圧電素子31は、棒状連結部材261の上面に接合され、棒状連結部材261の長手方向に伸縮するように構成されている。これにより、圧電素子31は、その伸縮により、棒状連結部材261を上下方向に曲げ変形させる。また、圧電素子32は、棒状連結部材262の上面に接合され、棒状連結部材262の長手方向に伸縮するように構成されている。これにより、圧電素子32は、その伸縮により、棒状連結部材262を上下方向に曲げ変形させる。
言い換えれば、圧電素子31は、棒状連結部材261の長手方向に沿って延在し、その延在方向に伸縮することにより、棒状連結部材261を曲げ変形させる。これにより、比較的簡単な構成で、より確実に、圧電素子31により棒状連結部材261を曲げ変形させることができる。これと同様に、圧電素子32は、棒状連結部材262の長手方向に沿って延在し、その延在方向に伸縮することにより、棒状連結部材262を曲げ変形させる。これにより、比較的簡単な構成で、より確実に、圧電素子32により棒状連結部材262を曲げ変形させることができる。
より具体的には、圧電素子31は、圧電材料を主材料として構成された圧電体層311と、この圧電体層311を挟持する1対の電極312、313とを有している。そして、図2にて下側に位置する電極312が棒状連結部材261の上面に接合されている。このように圧電素子31が構成されていると、比較的簡単な構成で、より確実に、圧電素子31により棒状連結部材261を曲げ変形させることができる。
圧電体層311は、棒状連結部材261の上面全体を覆うとともに、棒状連結部材261と支持部23との接合部を跨ぐように設けられている。これにより、圧電素子31の駆動力を棒状連結部材261により効率的に伝達することができる。その結果、駆動電圧をより低減するとともに、棒状連結部材261をより大きく曲げ変形させることができる。
この圧電材料としては、例えば、酸化亜鉛、窒化アルミニウム、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、ニオブ酸カリウム、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、チタン酸バリウム、その他、各種のものが挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができるが、特に、酸化亜鉛、窒化アルミニウム、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、ニオブ酸カリウムおよびチタン酸ジルコン酸鉛のうちの少なくとも1種を主とするものが好ましい。このような材料で圧電体層311を構成することにより、より高い周波数でアクチュエータ1を駆動することができる。
電極312は、圧電体層311よりも長尺となっていて、支持部23上で電源(図示せず)との接続が可能となっている。一方。電極313は、圧電体層311の長さとほぼ同じ長さになっている。そして、電極313は、例えばワイヤーボンディングにより形成された配線を介して、支持部23上に設けられた端子314に接続され、電源(図示せず)との接続が可能となっている。
このような圧電素子31は、電極312と電極313(端子314)との間に電圧を印加すると、圧電体層311は、その圧電効果により、棒状連結部材261の長手方向に平行に伸縮する。これにより、圧電素子31は、その伸縮により、棒状連結部材261を上下方向に曲げ変形させる。
このような圧電素子31と同様に、圧電素子32は構成されており、電極322と端子324との間に電圧を印加すると、圧電素子32中の圧電体層(図示せず)は、その圧電効果により、棒状連結部材262の長手方向に平行に伸縮する。これにより、圧電素子32は、その伸縮により、棒状連結部材262を上下方向に曲げ変形させる。
このような圧電素子31、32は、ともに基体2の上面に設けられているので、互いに伸縮動を交互に行うように動作させると、2つの棒状連結部材261、262を互いに逆方向に主として曲げ変形させる。これにより、2つの棒状連結部材261、262で構成された第1の弾性連結部26全体が捩り変形する。
前述した圧電素子31、32と同様に、圧電素子33、34は構成されている。すなわち、圧電素子33に関し、電極332と電極333(端子334)との間に電圧を印加すると、圧電素子33中の圧電体層331は、その圧電効果により、棒状連結部材271の長手方向に平行に伸縮する。これにより、圧電素子33は、その伸縮により、棒状連結部材271を上下方向に曲げ変形させる。また、圧電素子34に関し、電極342と端子344との間に電圧を印加すると、圧電素子34中の圧電体層(図示せず)は、その圧電効果により、棒状連結部材272の長手方向に平行に伸縮する。これにより、圧電素子34は、その伸縮により、棒状連結部材272を上下方向に曲げ変形させる。
このような圧電素子33、34は、圧電素子31、32と同様に、ともに基体2の上面に設けられているので、交互に動作させると、2つの棒状連結部材271、272を互いに逆方向に主として曲げ変形させる。これにより、2つの棒状連結部材271、272で構成された第1の弾性連結部27全体が捩り変形する。
前述したような基体2を支持するための支持基板4は、接合層5を介して基体2に接合されている。接合層5は、例えば、ガラス、シリコン、またはSiOを主材料として構成されている。
また、支持基板4は、例えば、ガラスやシリコンを主材料として構成されている。
支持基板4の上面には、図2および図3に示すように、第2の質量部25に対応する部分に開口部41が形成されている。
この開口部41は、第2の質量部25が回動(振動)する際に、支持基板4に接触するのを防止する逃げ部を構成する。開口部(逃げ部)41を設けることにより、アクチュエータ1全体の大型化を防止しつつ、第2の質量部25の振れ角(振幅)をより大きく設定することができる。
なお、前述したような逃げ部は、前記効果を十分に発揮し得る構成であれば、必ずしも支持基板4の下面(第2の質量部25と反対側の面)で開放(開口)していなくてもよい。すなわち、逃げ部は、支持基板4の上面に形成された凹部で構成することもできる。
各圧電素子31、32、33、34は、図示しない電源に接続されており、各圧電素子31、32、33、34の電極間に交流電圧(駆動電圧)を印加できるよう構成されている。
以上のような構成のアクチュエータ1は、次のようにして駆動する。
例えば、図3(a)に示すような電圧を圧電素子32、34に印加するとともに、図3(b)に示すような電圧を圧電素子31、33に印加する。すなわち、互いに位相の180°ずれた電圧を圧電素子32、34と圧電素子31、33とに印加する。すると、圧電素子31、33を伸張状態とするとともに、圧電素子32、34を収縮状態とする状態と、圧電素子31、33を収縮状態とするとともに、圧電素子32、34を伸長状態とする状態とを交互に繰り返す。
これにより、第1の弾性連結部26、27が捩れ変形して、第1の質量部21、22が支持部23、24に対し回動(振動)する。
このとき、各棒状連結部材261、262、271、272が主として曲げ変形することにより第1の弾性連結部26全体および第1の弾性連結部27全体がそれぞれ捩り変形するため、第1の弾性連結部26、27に生じる応力を低減することができる。そのため、大きな振れ角で駆動することができる。
また、圧電素子31、32、33、34により駆動力を得るため、低電圧駆動であっても比較的大きな駆動力で駆動することができる。そのため、低電圧駆動であっても、第1の弾性連結部26、27のバネ定数を高めて、高周波で駆動することができる。特に、圧電素子31、32、33、34の駆動力は比較的高いため、第1の弾性連結部26、27のバネ定数が比較的高くても、振れ角を大きくすることが可能である。
そして、この第1の質量部21、22の振動(駆動)に伴って、第2の弾性連結部28、29を介して連結されている第2の質量部25も、第2の弾性連結部28、29を軸に、支持基板4の板面(図1における紙面)に対して傾斜するように振動(回動)する。
また、第1の質量部21の回動中心軸からこれに直角な方向(長手方向)での長さ(最大長)をLとし、第1の質量部22の回動中心軸からこれに直角な方向(長手方向)での長さ(最大長)をLとし、第2の質量部25の回動中心軸からこれに直角な方向での長さ(最大長)をLとしたとき、本実施形態では、第1の質量部21、22が、それぞれ独立して設けられているため、第2の質量部25の大きさ(長さL)にかかわらず、第1の質量部21、22と第2の質量部25とが干渉せず、LおよびLを小さくすることができる。これにより、第1の質量部21、22の回転角度(振れ角)を大きくすることができ、その結果、第2の質量部25の回転角度を大きくすることができる。
ここで、第1の質量部21、22および第2の質量部25の寸法は、それぞれ、L<LかつL<Lなる関係を満足するよう設定されるのが好ましい。
前記関係を満たすことにより、LおよびLをより小さくすることができ、第1の質量部21、22の回転角度をより大きくすることができ、第2の質量部25の回転角度をさらに大きくすることができる。
この場合、第2の質量部25の最大回転角度が、20°以上となるように構成されるのが好ましい。
これらによって、第1の質量部21、22の低電圧駆動と、第2の質量部25の大回転角度での振動(回動)とを実現することができる。
このため、このようなアクチュエータ1を、例えばレーザープリンタや、走査型共焦点レーザー顕微鏡等の装置に用いられる光スキャナに適用した場合には、より容易に装置を小型化することができる。
なお、前述したように、本実施形態では、LとLとはほぼ等しく設定されているが、LとLとが異なっていてもよいことは言うまでもない。
ところで、このような質量部21、22、25よりなる振動系(2自由度振動系)では、第1の質量部21、22および第2の質量部25の振幅(振れ角)と、圧電素子31、32、33、34に印加する交流電圧の周波数との間に、図4に示すような周波数特性が存在している。
すなわち、かかる振動系は、第1の質量部21、22の振幅と、第2の質量部25の振幅とが大きくなる2つの共振周波数fm[kHz]、fm[kHz](ただし、fm<fm)と、第1の質量部21、22の振幅がほぼ0となる、1つの反共振周波数fm[kHz]とを有している。
この振動系では、各圧電素子31、32、33、34に印加する交流電圧の周波数Fが、2つの共振周波数のうち低いもの、すなわち、fmとほぼ等しくなるように設定するのが好ましい。これにより、第1の質量部21、22の振幅を抑制しつつ、第2の質量部25の振れ角(回転角度)を大きくすることができる。
なお、本明細書中では、F[kHz]とfm[kHz]とがほぼ等しいとは、(fm−1)≦F≦(fm+1)の条件を満足することを意味する。
第1の質量部21、22の平均厚さは、それぞれ、1〜1500μmであるのが好ましく、10〜300μmであるのがより好ましい。
第2の質量部25の平均厚さは、1〜1500μmであるのが好ましく、10〜300μmであるのがより好ましい。
第1の弾性連結部26、27のばね定数kは、1×10−3〜1×10Nm/radであるのが好ましく、1×10−2〜1×10Nm/radであるのがより好ましく、1×10−1〜1×10Nm/radであるのがさらに好ましい。これにより、第2の質量部25の回転角度(振れ角)をより大きくすることができる。
一方、第2の弾性連結部28、29のばね定数kは、1×10−4〜1×10Nm/radであるのが好ましく、1×10−2〜1×10Nm/radであるのがより好ましく、1×10−1〜1×10Nm/radであるのがさらに好ましい。これにより、第1の質量部21、22の振れ角を抑制しつつ、第2の質量部25の振れ角をより大きくすることができる。
また、第1の弾性連結部26、27のばね定数をk、第2の弾性連結部28、29のばね定数をkとしたとき、k>kなる関係を満足するのが好ましい。これにより、第1の質量部21、22の振れ角を抑制しつつ、第2の質量部25の回転角度(振れ角)をより大きくすることができる。
さらに、第1の質量部21、22の慣性モーメントをJとし、第2の質量部25の慣性モーメントをJとしたとき、JとJとは、J≦Jなる関係を満足することが好ましく、J<Jなる関係を満足することがより好ましい。これにより、第1の質量部21、22の振れ角を抑制しつつ、第2の質量部25の回転角度(振れ角)をより大きくすることができる。
ところで、第1の質量部21、22と第1の弾性連結部26、27とからなる第1の振動系の固有振動数ωは、第1の質量部21、22の慣性モーメントJと、第1の弾性連結部26、27のばね定数kとにより、ω=(k/J1/2によって与えられる。一方、第2の質量部25と第2の弾性連結部28、29とからなる第2の振動系の固有振動数ωは、第2の質量部25の慣性モーメントJと、第2の弾性連結部28、29のばね定数kとにより、ω=(k/J1/2によって与えられる。
このようにして求められる第1の振動系の固有振動数ωと第2の振動系の固有振動数ωとは、ω>ωなる関係を満足するのが好ましい。これにより、第1の質量部21、22の振れ角を抑制しつつ、第2の質量部25の回転角度(振れ角)をより大きくすることができる。
このようなアクチュエータ1は、例えば、次のようにして製造することができる。
図5は、第1実施形態のアクチュエータ1の製造方法を説明するための図(縦断面図)である。なお、図5は、図1におけるA−A線断面に対応する断面を示している。また、以下では、説明の便宜上、図5中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
[A1]
まず、図5(a)に示すように、Si層61、SiO層62、Si層63が順次積層されたSOI基板6を用意し、SOI基板6の一方の面(Si層61側の面)に、電極312、322、332、342および端子314、324、334、344を形成する。
電極312、322、332、342および端子314、324、334、344の形成は、SOI基板6に金属膜を成膜し、電極312、322、332、342および端子314、324、334、344の形状に対応する形状をなすレジストマスクを介して金属膜をエッチングを行った後、レジストマスクを除去することにより行うことができる。
金属膜の成膜方法としては、例えば、プラズマCVD、熱CVD、レーザーCVDのような化学蒸着法(CVD)、真空蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング等の乾式メッキ法、電解メッキ、浸漬メッキ、無電解メッキ等の湿式メッキ法、溶射、シート状部材の接合等を用いることができる。なお、以下の各工程における金属膜の成膜においても、同様の方法を用いることができる。
エッチング方法としては、例えば、プラズマエッチング、リアクティブイオンエッチング、ビームエッチング、光アシストエッチング等の物理的エッチング法、ウェットエッチング等の化学的エッチング法等のうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。なお、以下の各工程におけるエッチングにおいても、同様の方法を用いることができる。
[A2]
次に、図5(b)に示すように、電極312、322、332、342上に、対応する圧電体層311、331(電極322、342に対応する圧電体層は図示せず。以下、圧電体層311、331等という)を形成する。
圧電体層311、331等の形成は、前述した工程[A1]の電極312、322、332、342の形成と同様にして行うことができる。
[A3]
次に、図5(c)に示すように、SOI基板6のSi層61の一部を除去して、第1の質量部21、22と支持部23、24と第2の質量部25と第1の弾性連結部26、27と第2の弾性連結部28、29とを形成する。これにより、基体2が得られる。
第1の質量部21、22と支持部23、24と第2の質量部25と第1の弾性連結部26、27と第2の弾性連結部28、29との形成は、SOI基板6に金属膜もしくはシリコン酸化膜を成膜し、第1の質量部21、22と支持部23、24と第2の質量部25と第1の弾性連結部26、27と第2の弾性連結部28、29との形状に対応する形状をなすレジストマスクを介して金属膜もしくはシリコン酸化膜のエッチングを行った後、レジストマスクを除去し、金属膜もしくはシリコン酸化膜をマスクとしてSi層61の一部をエッチングすることにより行うことができる。
このとき、SOI基板6の中間層たるSiO層は、前記エッチングのストップ層として機能する。
エッチング方法としては、前述の工程[A1]と同様のものを用いることができる。
[A4]
次に、図5(d)に示すように、SOI基板6のSi層63の一部を除去して、凹部(開口部41)を形成する。
この凹部の形成方法としては、前述した工程[A3]と同様のものを用いることができる。
[A5]
次に、図5(e)に示すように、圧電体層311、331等上に、これらに対応する電極313、333(電極322、342に対応する電極は図示せず。以下、電極313、333等という)を形成するとともに、第2の質量部25上に光反射部251を形成する。
電極313、333等および光反射部251の形成方法としては、前述した工程[A1]と同様の方法を用いることができる。
[A6]
次に、図5(f)に示すように、SOI基板6のSiO層62の一部を除去して、接合層5を形成する。これにより、本実施形態のアクチュエータ1が得られる。
以上のようにして、第1実施形態のアクチュエータ1が製造される。
<第2実施形態>
次に、本発明のアクチュエータの第2実施形態について説明する。
図6は、本発明のアクチュエータの第2実施形態を示す平面図、図7は、図6におけるB−B線断面図である。なお、以下では、説明の便宜上、図6中の紙面に対し手前側を「上」、紙面に対し奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」、図7中の上側を「上」、下側を「下」、紙面に対し奥側を「右」、紙面に対し手前側を「左」と言う。
以下、第2実施形態のアクチュエータについて、前述した第1実施形態のアクチュエータとの相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第2実施形態のアクチュエータ1Aは、圧電素子の構成および配置が異なる以外は、第1実施形態のアクチュエータ1とほぼ同様である。
すなわち、図6及び図7に示すアクチュエータ1Aは、各棒状連結部材261、262、271、272の両面に、圧電素子が設けられている。
より具体的に説明すると、棒状連結部材261には、その上面に圧電素子31A、下面に圧電素子31Bが設けられている。また、棒状連結部材262には、その上面に圧電素子32A、下面に圧電素子32Bが設けられている。すなわち、2つの棒状連結部材261、262同士の対向方向に対し直角な方向における棒状連結部材261の両端面にそれぞれ圧電素子が設けられている。また、2つの棒状連結部材261、262同士の対向方向に対し直角な方向における棒状連結部材262の両端面にそれぞれ圧電素子が設けられている。
圧電素子31Aは、圧電体層311Aが1対の電極312、312Aにより挟持されている。本実施形態では、圧電体層311Aの長さは、棒状連結部材261の長さとほぼ等しくなっている。また、上側の電極312Aの長さも、棒状連結部材261の長さとほぼ等しくなっている。
この圧電素子31Aと同様に、圧電素子31B、32A、32Bは構成されている。
また、棒状連結部材271には、その上面に圧電素子33A、下面に圧電素子33Bが設けられている。また、棒状連結部材272には、その上面に圧電素子34A、下面に圧電素子34Bが設けられている。
これらの圧電素子33A、33B、34A、34Bも、圧電素子31Aと同様に構成されている。
すなわち、圧電素子31A、31B、32A、32B、33A、33B、34A、34Bは、互いに同電圧で同じ駆動力が得られるようになっている。これにより、用いる電源の構成を簡略化しつつ、高精度にアクチュエータ1Aを駆動することができる。
また、このようなアクチュエータ1Aの駆動に際しては、例えば、図3(a)に示すような電圧を圧電素子31A、32B、33A、34Bに印加するとともに、図3(b)に示すような電圧を圧電素子31B、32A、33B、34Aに印加する。すると、圧電素子31A、32B、33A、34Bを伸張状態とするとともに、圧電素子31B、32A、33B、34Aを収縮状態とする状態と、圧電素子31A、32B、33A、34Bを収縮状態とするとともに、圧電素子31B、32A、33B、34Aを伸長状態とする状態とを交互に繰り返す。
これにより、第1の弾性連結部26、27が捩れ変形して、第1の質量部21、22が支持部23、24に対し回動(振動)する。
本実施形態のアクチュエータ1Aにあっては、前述した第1実施形態のアクチュエータ1と同様の効果に加えて、各弾性連結部の両面に圧電素子を設けたので、より高い駆動力を得ることができる。その結果、1つの圧電素子の小型化を図ることができる。また、圧電素子と弾性連結部との間に生じる応力を低減して、アクチュエータ1Aの耐久性の向上を図ることができる。
<第3実施形態>
次に、本発明のアクチュエータの第3実施形態について説明する。
図8は、本発明のアクチュエータの第3実施形態を示す断面図である。なお、図8は、図6のB−B線断面に対応する断面を示している。また、以下では、説明の便宜上、図8中の上側を「上」、下側を「下」、紙面に対し奥側を「右」、紙面に対し手前側を「左」と言う。
以下、第3実施形態のアクチュエータについて、前述した第2実施形態のアクチュエータとの相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第3実施形態のアクチュエータ1Bは、4つの圧電素子を省略した以外は、第2実施形態のアクチュエータ1Aとほぼ同様である。
すなわち、図8に示すアクチュエータ1Bは、棒状連結部材261の下面に圧電素子31B、棒状連結部材262の上面に圧電素子32A、棒状連結部材271の上面に圧電素子33A、棒状連結部材272の下面に圧電素子34Bが設けられている。
このように、2つの圧電素子31B、32Aは、第1の質量部21の回動中心軸に対し互いに対称に設けられている。また、2つの圧電素子33A、34Bは、第1の質量部22の回動中心軸に対し互いに対称に設けられている。これにより、圧電素子31B、32A、33A、34Bに対し、同一の電源から同一波形の電圧を印加して、アクチュエータ1Bを駆動することができる。その結果、アクチュエータ1Bの低コスト化を図ることができる。
<第4実施形態>
次に、本発明のアクチュエータの第4実施形態について説明する。
図9は、本発明のアクチュエータの第4実施形態を示す平面図である。なお、以下では、説明の便宜上、図8中の紙面に対し手前側を「上」、紙面に対し奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
以下、第4実施形態のアクチュエータについて、前述した第1実施形態のアクチュエータとの相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第4実施形態のアクチュエータ1Cは、第1の弾性連結部と第1の質量部との接続位置が異なる以外は、第1実施形態のアクチュエータ1とほぼ同様である。
すなわち、図9に示すアクチュエータ1Cは、2つの棒状連結部材261、262と第1の質量部21との接続部における2つの棒状連結部材261、262同士の間隔をAとし、2つの棒状連結部材261、262と支持部23との接続部における2つの棒状連結部材261、262同士の間隔をBとしたときに、A<Bの関係を満たしている。
これにより、間隔Aが比較的小さくなるため、棒状連結部材261、262と第1の質量部21と接続部が第1の質量部21の回動中心軸に近くなり、棒状連結部材261、262の曲げ変形が小さくても、振れ角を大きくすることができる。さらに、間隔Bが比較的大きくなるため、第1の弾性連結部26全体のバネ定数の低下を防止して、高周波数での駆動を行うことができる。したがって、駆動周波数を高いものとしつつ、振れ角をより大きくすることができる。
また、第1の質量部21の回動軸線に直角な方向での最大長をLとしたときに、0≦A<0.8Lの関係を満たしているのが好ましく、0≦A<0.5Lの関係を満たしているのがより好ましい。これにより、第1の振動系の振動に第1の質量部21の質量が好適に作用するため、より振れ角を大きくすることができる。また、間隔Aが小さいと、第1の弾性連結部26、27の捩れ変形に対する第1の質量部21、22の回動の応答性に優れるものとなる。
これに対し、間隔Aが前記上限値を超えると、第1の質量部21の質量や第1の弾性連結部26のバネ定数などによっては、第1の振動系の振動に第1の質量部21の質量が好適に作用することができずに、大きい振れ角を得ることができない場合がある。また、間隔Aが大きいと、棒状連結部材261、262の曲げ変形量に対する第1の質量部21の回動量が小さくなってしまう。
また、0.2L<B<1.2Lの関係を満たしているのが好ましく、0.3L<B<Lの関係を満たしているのがより好ましい。これにより、より確実に、第1の弾性連結部26全体のバネ定数の低下を防止して、高周波数での駆動を行うことができる。
これに対し、間隔Bが前記下限値未満であると、第1の弾性連結部26の形状や材質などによっては、第1の弾性連結部26のバネ定数が小さくなって、高周波数での駆動が難しくなる。一方、間隔Bが前記上限値を超えると、第1の弾性連結部26の形状や材質などによっては、第1の弾性連結部26のバネ定数が大きくなりすぎて、より大きな駆動力が必要となり、圧電素子31Cの大型化を招いてしまう。
棒状連結部材271、272およびこれに設けられた圧電素子33C、34Cに関しては、前述した棒状連結部材261、262およびこれに設けられた圧電素子31C、32Cと同様である。
以上のような本実施形態のアクチュエータ1Cは、より高周波数で、かつ、より大きな振れ角での駆動が可能である。
上述したようなアクチュエータ1〜1Cは、各種の電子機器に適用することができ、得られる電子機器は、信頼性の高いものとなる。
以上説明したようなアクチュエータ1〜1Cは、例えば、レーザープリンタ、バーコードリーダー、走査型共焦点レーザー顕微鏡等の光スキャナ、イメージング用ディスプレイ等に好適に適用することができる。
以上、本発明のアクチュエータについて、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、本発明のアクチュエータでは、各部の構成は、同様の機能を発揮する任意の構成のものに置換することができ、また、任意の構成を付加することもできる。
また、前述した実施形態では、棒状連結部材が直線状をなしていたが、2つの棒状連結部材を互いに逆方向に主として曲げ変形させることにより、第1の弾性連結部全体を捩り変形させることができるものであれば、棒状連結部材の形状は任意である。例えば、棒状連結部材は湾曲していてもよい。
また、前述した実施形態では、圧電素子が棒状連結部材の上面および/または下面に接合していたが、棒状連結部材を互いに逆方向に主として曲げ変形させることができるものであれば、圧電素子の配置は任意である。
また、前述した実施形態では、アクチュエータの中心を通り第1の質量部や第2の質量部の回動軸線に直角な面に対しほぼ対称(左右対称)な形状をなしている構造を説明したが、非対称であってもよい。
また、前述した実施形態では、光反射部が第2の質量部の上面(支持基板とは逆側の面)に設けられている構成について説明したが、例えば、その逆の面に設けられている構成であってもよいし、両方の面に設けられている構成であってもよい。
本発明のアクチュエータの第1実施形態を示す平面図である。 図1中のA−A線断面図である。 印加する交流電圧の一例を示す図である。 印加した交流電圧の周波数と、第1の質量部および第2の質量部の共振曲線を示すグラフある。 図1に示すアクチュエータの製造方法を説明するための図である。 本発明のアクチュエータの第2実施形態を示す平面図である。 図6中のB−B線断面図である。 本発明のアクチュエータの第3実施形態を示す断面図である。 本発明のアクチュエータの第4実施形態を示す平面図である。 従来のアクチュエータを示す斜視図である。
符号の説明
1、1A、1B、1C……アクチュエータ 2、2A……基体 21、22……第1の質量部 23、24……支持部 25……第2の質量部 251……光反射部 26、27……第1の弾性連結部 261、262、271、272……棒状連結部材 28、29……第2の弾性連結部 31、31A、31B、31C、32、32A、32B、32C、33、33A、33B、33C、34、34A、34B、34C……圧電素子 311、311A、331……圧電体層 312、312A、313、322、332、333、342……電極 314、324、334、344……端子 4……支持基板 41……開口部 5……接合層 6……SOI基板 61……Si層 62……SiO層 63……Si層 200……スペーサ 300……可動電極板 300a……両端固定部 300b……トーションバー 300c……可動電極部 400……固定電極 500……電極 600……スイッチ 1000……ガラス基板

Claims (17)

  1. 第1の質量部と、
    前記第1の質量部を支持するための支持部と、
    前記支持部に対して前記第1の質量部を回動可能とするように、前記支持部と前記第1の質量部とを連結する第1の弾性連結部と、
    第2の質量部と、
    前記第1の質量部に対して前記第2の質量部を回動可能とするように、前記第1の質量部と前記第2の質量部とを連結する第2の弾性連結部と、
    前記第1の弾性連結部を捩り変形させる圧電素子とを有し、
    前記第1の弾性連結部は、前記第1の質量部の回動中心軸を介して互いに対向する2つの棒状連結部材で構成され、
    前記圧電素子は、各棒状連結部材に接合され、前記2つの棒状連結部材を互いに逆方向に主として曲げ変形させるように構成されており、
    前記圧電素子の駆動により、前記第1の弾性連結部全体を捩り変形させながら、前記第1の質量部を回動させ、これに伴い、前記第2の弾性連結部を捩り変形させながら、前記第2の質量部を回動させることを特徴とするアクチュエータ。
  2. 前記圧電素子は、圧電材料を主材料として構成された圧電体層と、該圧電体層を狭持する1対の電極とを有し、前記1対の電極のうちの一方が前記棒状連結部材に接合されている請求項1に記載のアクチュエータ。
  3. 前記圧電素子は、前記棒状連結部材の長手方向に沿って延在し、その延在方向に伸縮することにより、前記棒状連結部材を曲げ変形させる請求項1または2に記載のアクチュエータ。
  4. 前記圧電素子は、前記2つの棒状連結部材同士の対向方向に対し直角な方向における前記棒状連結部材の少なくとも一方の端面に設けられている請求項1ないし3のいずれかに記載のアクチュエータ。
  5. 前記圧電素子は、前記2つの棒状連結部材同士の対向方向に対し直角な方向における前記棒状連結部材の両端面にそれぞれ設けられている請求項4に記載のアクチュエータ。
  6. 2つの前記圧電素子は、前記第1の質量部の回動中心軸に対して互いに対称に設けられている請求項1ないし5のいずれかに記載のアクチュエータ。
  7. 前記2つの棒状連結部材と前記第1の質量部との接続部における前記2つの棒状連結部材同士の間隔をAとし、前記2つの棒状連結部材と前記支持部との接続部における前記2つの棒状連結部材同士の間隔をBとしたときに、A<Bの関係を満たす請求項1ないし6のいずれかに記載のアクチュエータ。
  8. 前記2つの棒状連結部材と前記第1の質量部との接続部における前記2つの棒状連結部材同士の間隔をAとし、前記第1の質量部の回動軸線に直角な方向での最大長をLとしたときに、0≦A<0.8Lの関係を満たす請求項1ないし7のいずれかに記載のアクチュエータ。
  9. 前記2つの棒状連結部材と前記支持部との接続部における前記2つの棒状連結部材同士の間隔をBとし、前記第1の質量部の回動軸線に直角な方向での最大長をLとしたときに、0.2L<B<1.2Lの関係を満たす請求項1ないし8のいずれかに記載のアクチュエータ。
  10. 前記2つの棒状連結部材と前記第1の質量部との接続部における前記2つの棒状連結部材同士の間隔をAとし、前記棒状連結部材の長さをCとしたときに、A<Cの関係を満たす請求項1ないし9のいずれかに記載のアクチュエータ。
  11. 各圧電素子は、交流電圧を受けて駆動し、前記交流電圧の周波数が、前記第1の質量部と前記第2の質量部とが共振する2自由度振動系の共振周波数のうち低いものと略等しくなるように設定されている請求項1ないし10のいずれかに記載のアクチュエータ。
  12. 前記第2の弾性連結部は、前記第2の質量部を介して、その両側に1対設けられ、これに対応して、前記第1の質量部および前記第1の弾性連結部がそれぞれ1対設けられている請求項1ないし11のいずれかに記載のアクチュエータ。
  13. 前記1対の第1の質量部のうちの一方の回動中心軸からこれに垂直な方向での最大長をLとし、前記1対の第1の質量部のうちの他方の回動中心軸からこれに垂直な方向での最大長をLとし、前記第2の質量部の回動中心軸からこれに垂直な方向での最大長をLとしたとき、LとLとが、L<Lなる関係を満足し、かつ、LとLとが、L<Lなる関係を満足する請求項12に記載のアクチュエータ。
  14. 前記最大長Lと、前記最大長Lとがほぼ等しい請求項13に記載のアクチュエータ。
  15. 前記第1の弾性連結部のばね定数をkとし、前記第2の弾性連結部のばね定数をkとしたとき、kとkとが、k>kなる関係を満足する請求項1ないし14のいずれかに記載のアクチュエータ。
  16. 前記第1の質量部の慣性モーメントをJとし、前記第2の質量部の慣性モーメントをJとしたとき、JとJとがJ≦Jなる関係を満足する請求項1ないし15のいずれかに記載のアクチュエータ。
  17. 前記第2の質量部は、光反射部が設けられている請求項1ないし16のいずれかに記載のアクチュエータ。
JP2005182626A 2005-06-22 2005-06-22 アクチュエータ Expired - Fee Related JP4193817B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005182626A JP4193817B2 (ja) 2005-06-22 2005-06-22 アクチュエータ
US11/472,263 US7926369B2 (en) 2005-06-22 2006-06-21 Actuator
CNB2006100932035A CN100395580C (zh) 2005-06-22 2006-06-22 执行机构

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005182626A JP4193817B2 (ja) 2005-06-22 2005-06-22 アクチュエータ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007006587A true JP2007006587A (ja) 2007-01-11
JP4193817B2 JP4193817B2 (ja) 2008-12-10

Family

ID=37583341

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005182626A Expired - Fee Related JP4193817B2 (ja) 2005-06-22 2005-06-22 アクチュエータ

Country Status (3)

Country Link
US (1) US7926369B2 (ja)
JP (1) JP4193817B2 (ja)
CN (1) CN100395580C (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8179583B2 (en) 2007-06-05 2012-05-15 Seiko Epson Corporation Actuator, optical scanner and image forming device

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7368853B2 (en) * 2002-04-22 2008-05-06 Elliptec Resonant Actuator Aktiengesellschaft Piezoelectric motors and methods for the production and operation thereof
JP4385938B2 (ja) * 2004-12-15 2009-12-16 セイコーエプソン株式会社 アクチュエータ
JP5339752B2 (ja) * 2007-08-30 2013-11-13 キヤノン株式会社 揺動体装置及びその製造方法、光偏向器、画像形成装置
JP5554895B2 (ja) * 2008-02-20 2014-07-23 キヤノン株式会社 揺動構造体、及び揺動構造体を用いた揺動体装置
JP5842356B2 (ja) 2011-03-24 2016-01-13 セイコーエプソン株式会社 アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置
JP2012220641A (ja) * 2011-04-06 2012-11-12 Seiko Epson Corp アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置
CN103197414B (zh) * 2013-03-26 2014-01-08 北京大学 一种基于电镀工艺的静电驱动式微型扭转器件及其制备方法
DE102013206788B4 (de) * 2013-04-16 2018-02-01 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung mit einem schwingfähig aufgehängten optischen element und verfahren zum auslenken desselben
JP6460406B2 (ja) * 2015-06-09 2019-01-30 第一精工株式会社 可動反射素子及び二次元走査装置
US9941957B2 (en) * 2016-01-07 2018-04-10 Luxtera, Inc. Method and system for connectionless integrated optical receiver and transmitter test
JP6809018B2 (ja) * 2016-07-26 2021-01-06 株式会社リコー 光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置
US20210395073A1 (en) * 2018-12-19 2021-12-23 Ricoh Company, Ltd. Movable device, distance measurement device, image projection apparatus, vehicle, and mount
JP7188311B2 (ja) * 2019-07-31 2022-12-13 セイコーエプソン株式会社 ジャイロセンサー、電子機器、及び移動体
JP7395980B2 (ja) * 2019-11-19 2023-12-12 株式会社リコー 可動装置、レーザレーダ装置、画像形成装置及び画像投影装置

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3003429B2 (ja) * 1992-10-08 2000-01-31 富士電機株式会社 ねじり振動子および光偏向子
JP2924738B2 (ja) * 1995-09-29 1999-07-26 オムロン株式会社 光偏向装置
DE19709241A1 (de) 1996-05-31 1997-12-04 Hewlett Packard Co Abtastungsultraschallsonde mit lokal getriebener Wobbelultraschallquelle
US5900195A (en) 1996-08-12 1999-05-04 Urethane Products International Protection of pipeline joint connections
WO1998044571A1 (en) 1997-04-01 1998-10-08 Xros, Inc. Adjusting operating characteristics of micromachined torsional oscillators
US6384406B1 (en) 1999-08-05 2002-05-07 Microvision, Inc. Active tuning of a torsional resonant structure
ATE437382T1 (de) 2000-11-03 2009-08-15 Microvision Inc Frequenzabstimmbarer resonanter rasterabtaster mit hilfsarmen
JP2002287075A (ja) * 2001-03-28 2002-10-03 Victor Co Of Japan Ltd 光偏向器
US20050094931A1 (en) * 2002-01-21 2005-05-05 Kazuo Yokoyama Optical switch and production method therefor, information transmission device using it
JP4003552B2 (ja) 2002-06-26 2007-11-07 株式会社デンソー 光スキャナ、及びディスプレイ装置
US7446911B2 (en) * 2002-11-26 2008-11-04 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Optical scanning apparatus and image forming apparatus
JP3956933B2 (ja) 2002-11-26 2007-08-08 ブラザー工業株式会社 光走査装置および画像形成装置
JP4492252B2 (ja) * 2003-09-05 2010-06-30 セイコーエプソン株式会社 アクチュエータ
CN2639915Y (zh) * 2003-09-12 2004-09-08 清华大学 一种mems扫描微镜
JP3759598B2 (ja) * 2003-10-29 2006-03-29 セイコーエプソン株式会社 アクチュエータ
JP4385938B2 (ja) * 2004-12-15 2009-12-16 セイコーエプソン株式会社 アクチュエータ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8179583B2 (en) 2007-06-05 2012-05-15 Seiko Epson Corporation Actuator, optical scanner and image forming device

Also Published As

Publication number Publication date
CN100395580C (zh) 2008-06-18
US7926369B2 (en) 2011-04-19
US20070025659A1 (en) 2007-02-01
CN1885091A (zh) 2006-12-27
JP4193817B2 (ja) 2008-12-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4193817B2 (ja) アクチュエータ
US7649301B2 (en) Actuator capable of driving with large rotational angle or large deflection angle
JP4492252B2 (ja) アクチュエータ
JP4092283B2 (ja) 2次元光スキャナ及び光学装置
JP4385937B2 (ja) アクチュエータ
US7161275B2 (en) Actuator
JP2849697B2 (ja) 2自由度振動型マイクロアクチュエータ
JP2007326204A (ja) アクチュエータ
JP4507983B2 (ja) アクチュエータ
JP2007307662A (ja) アクチュエータ
JP5045470B2 (ja) 光学反射素子
JP2006167860A (ja) アクチュエータ
JP2005279863A (ja) アクチュエータの製造方法およびアクチュエータ
JP4123133B2 (ja) アクチュエータ
JP6092589B2 (ja) 光偏向器
JP4561262B2 (ja) アクチュエータ
JP5846097B2 (ja) 光走査装置
JP2001272626A (ja) 光スキャナ
JP2006067706A (ja) アクチュエータ
JP5045532B2 (ja) 光学反射素子
JP4175272B2 (ja) アクチュエータ
JP4403785B2 (ja) アクチュエータの製造方法およびアクチュエータ
JP2005279864A (ja) アクチュエータの製造方法およびアクチュエータ
JP2009223114A (ja) 光学反射素子
JPH07270700A (ja) 光偏向装置

Legal Events

Date Code Title Description
TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20080902

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20080915

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4193817

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111003

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121003

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121003

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131003

Year of fee payment: 5

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees