WO2013129564A1 - 有機ｅｌ素子の製造方法及び有機ｅｌ素子 - Google Patents

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WO2013129564A1
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organic
electrode layer
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light emitting
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啓功 大崎
成紀 森田
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日東電工株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a method for producing an organic EL element and an organic EL element, wherein an electrode layer and an organic layer are formed on a substrate, and light is emitted from the organic layer.
  • an organic EL (electroluminescence) element is known as an element used in a light emitting display device or the like.
  • the organic EL element basically includes an organic layer having at least a light emitting layer as an organic constituent layer and a pair of electrode layers.
  • a conventional organic EL element 50 has a first electrode layer 23 (for example, an anode layer) on at one surface side of a base material 21, and at least a light emitting layer as an organic constituent layer.
  • An organic layer 25 and a second electrode layer 27 are sequentially stacked (see FIG. 10A), and then a sealing layer 29 is stacked (see FIG. 10A). (See FIGS. 10B to 10D).
  • an overlapping portion of the first electrode layer 23, the organic layer 25, and the second electrode layer 27 is provided as the light emitting unit 40.
  • the first electrode layer 23 and the second electrode layer 27 are formed so as not to overlap each other outside the sealing layer 29 in order to allow current to flow from outside without short-circuiting each other.
  • the right end side of the organic layer 25 is more than the right end edge of the second electrode layer 27 so that the first electrode layer 23 can be energized without short-circuiting. Also protrudes to the right.
  • the right end portion side of the first electrode layer 23 protrudes to the right side of the right end edge of the organic layer 25 (see the right side of FIG. 10A).
  • the right end portion side of the first electrode layer is formed to protrude to the right side from the right end edge of the sealing layer 29 (see the right side in FIG.
  • the left end side of the organic layer 25 is more than the left end edge of the first electrode layer 23 so that the second electrode layer 27 can be energized without short-circuiting. It protrudes to the left. Further, the left end side of the second electrode layer 27 protrudes to the left of the left end edge of the organic layer 25 (see the left side of FIG. 10A). Further, the second electrode layer 27 is formed so as to protrude to the left of the left edge of the sealing layer 29 (see the left side of FIG. 10D).
  • a base material made of an organic resin is used as a base material in order to make it flexible.
  • oxygen and moisture pass through the base material to the constituent layer side.
  • the light emission characteristics of the organic EL element may deteriorate over time.
  • an object of the present invention is to provide a method for manufacturing an organic EL element in which deterioration of light emission characteristics is suppressed and an organic EL element.
  • the band-shaped metal base is usually formed by rolling in the longitudinal direction.
  • the longitudinal direction By this rolling, it was found that a plurality of fine grooves extending in the longitudinal direction were formed in the surface portion of the base material in the width direction.
  • the groove due to the groove of the base material extends in the longitudinal direction on the surface portion of the insulating layer laminated on the base material.
  • the second electrode layer does not protrude beyond the organic layer on at least one of the outer sides of the light emitting portion in the longitudinal direction.
  • oxygen or moisture passes through the groove on the surface of the insulating layer and penetrates into the sealing layer. To do. Further, oxygen and moisture enter from the edge side to the region corresponding to the light emitting portion at the boundary between the organic layer and the first electrode layer or at the boundary between the organic layer and the second electrode layer. As a result, it was found that the emission characteristics deteriorate.
  • an organic EL element manufacturing method includes an insulating layer, a first electrode layer, an organic layer having at least a light emitting layer as an organic constituent layer on the one surface side of a belt-shaped metal base, Manufacture of an organic EL element in which an electrode layer and a sealing layer are sequentially formed to produce an organic EL element having an overlapping portion of the first electrode layer, the organic layer, and the second electrode layer as a light emitting portion.
  • the organic layer is disposed at least on both outer sides in the longitudinal direction of the substrate with respect to the first electrode layer while preventing the first electrode layer and the second electrode layer from contacting each other.
  • the second electrode layer is protruded at least on both outer sides in the longitudinal direction from the organic layer, so that at least the outer sides of the light emitting part in the longitudinal direction of the substrate are at least the longitudinal length of the organic layer. Both directions As the edge is covered by the longitudinal end side of said second electrode layer, the first electrode layer, and forming the organic layer and the second electrode layer.
  • the organic EL device includes an insulating layer, a first electrode layer, an organic layer having at least a light-emitting layer as an organic component layer, a second electrode layer, and a sealing layer on one surface side of a belt-shaped metal substrate.
  • a stop layer is formed sequentially, and is an organic EL element having a light emitting portion as an overlapping portion of the first electrode layer, the organic layer, and the second electrode layer, wherein the first electrode layer, The second electrode layer is not in contact with the organic layer, and the organic layer protrudes at least on both outer sides in the longitudinal direction of the base material from the first electrode layer.
  • the both ends in the longitudinal direction of the organic layer are formed on the second electrode layer. Covered at both ends in the longitudinal direction And wherein the Rukoto.
  • the surface roughness in the longitudinal direction of the base material is smaller than the surface roughness in the lateral direction.
  • FIG. 1 is a schematic partial side sectional view schematically showing a layer configuration example of an organic EL element.
  • Fig.1 (a) is a figure which shows the case where an organic layer is one layer.
  • FIG. 1B is a diagram illustrating a case where the organic layer has three layers.
  • FIG.1 (c) is a figure which shows the case where there are five organic layers.
  • FIG. 2A is a schematic plan view schematically showing a state in which an anode layer is formed in the manufacture of the organic EL elements of Example 1 and Example 3.
  • FIG. FIG. 2B is a schematic plan view schematically showing a state in which the organic layer is formed.
  • FIG. 2C is a schematic plan view schematically showing a state where the cathode layer is formed.
  • FIG. 1 is a schematic partial side sectional view schematically showing a layer configuration example of an organic EL element.
  • Fig.1 (a) is a figure which shows the case where an organic layer is one layer.
  • FIG. 2D is a schematic plan view schematically showing a state in which the sealing layer is formed.
  • FIG. 3A is a schematic plan view schematically showing the organic EL elements of Example 1 and Example 3.
  • FIG. 3B is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG.
  • FIG. 3C is a cross-sectional view taken along line BB in FIG.
  • FIG. 4A is a schematic plan view schematically showing a state in which an anode layer is formed in the manufacture of the organic EL element of Example 2.
  • FIG. FIG. 4B is a schematic plan view schematically showing a state where the organic layer is formed.
  • FIG. 4C is a schematic plan view schematically showing a state where the cathode layer is formed.
  • FIG. 3A is a schematic plan view schematically showing the organic EL elements of Example 1 and Example 3.
  • FIG. 3B is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG.
  • FIG. 3C is a cross-sectional view taken along
  • FIG. 4D is a schematic plan view schematically showing a state where the sealing layer is formed.
  • FIG. 5A is a schematic plan view schematically showing the organic EL element of Example 2.
  • FIG. 5B is a cross-sectional view taken along line AA in FIG.
  • FIG. 5C is a cross-sectional view taken along line BB in FIG.
  • FIG. 6A is a schematic plan view schematically showing a state before the sealing layer is formed in the manufacture of the organic EL elements of Comparative Example 1 and Comparative Example 5.
  • FIG. FIG. 6B is a schematic plan view schematically showing a state in which the sealing layer is formed.
  • FIG. 7A is a schematic plan view schematically showing a state before the sealing layer is formed in the manufacture of the organic EL element of Comparative Example 2.
  • FIG. 7B is a schematic plan view schematically showing a state where the sealing layer is formed.
  • FIG. 8A is a schematic plan view schematically showing a state before the sealing layer is formed in the manufacture of the organic EL element of Comparative Example 3.
  • FIG. 8B is a schematic plan view schematically showing a state where the sealing layer is formed.
  • FIG. 9A is a schematic plan view schematically showing a state before the sealing layer is formed in the manufacture of the organic EL element of Comparative Example 4.
  • FIG. FIG. 9B is a schematic plan view schematically showing a state where the sealing layer is formed.
  • FIG. 10A is a schematic plan view schematically showing a state before a sealing layer is formed in the manufacture of a conventional organic EL element.
  • FIG. 10B is a schematic plan view schematically showing a state where the sealing layer is formed.
  • FIG. 10C is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG.
  • FIG. 10 (d) is a cross-sectional view taken along the line BB in FIG. 10 (b).
  • an insulating layer 31, a first electrode layer (here, an anode layer) 23, and at least a light emitting layer 25 a are formed on an organic constituent layer on one surface side of a band-shaped metal substrate 21.
  • the organic layer 25, the second electrode layer 27 (in this case, the cathode layer), and the sealing layer 29 are sequentially formed.
  • the organic layer 25 protrudes at least on both outer sides in the longitudinal direction of the base material 21 from the anode layer 23 while preventing the anode layer 23 and the cathode layer 27 from contacting each other.
  • the cathode layer 27 protrudes at least on both outer sides in the longitudinal direction from the organic layer 27.
  • the metal material used for the substrate 21 may be, for example, stainless steel, Fe, Al, Ni, Co, Cu, and alloys thereof, which can be rolled into a belt-like sheet at room temperature and normal pressure. Any metal can be used.
  • an organic insulating layer and an inorganic insulating layer can be used.
  • An insulating resin can be used as a material for forming the organic insulating layer. Since the base material 21 may be heated to 150 to 300 ° C. during the manufacturing process of the organic EL element, a heat resistant resin having a glass transition temperature of 150 ° C. or higher is used as the material of the organic insulating layer. preferable.
  • heat resistant resins include acrylic resins, norbornene resins, epoxy resins, polyimide resins, polyamideimide resins, polyamide resins, polyester resins, polyarylate resins, polyurethane resins, polycarbonate resins, polyether ketone resins, poly Examples thereof include phenylsulfone resins and composites of these resins.
  • the heat resistant resin is preferably at least one selected from the group consisting of an acrylic resin, a norbornene resin, an epoxy resin, and a polyimide resin. If the thickness of the organic insulating layer is too thin, the surface unevenness of the metal substrate 21 cannot be sufficiently flattened, and if it is too thick, the adhesion to the metal substrate 21 may be reduced. Considering this viewpoint, the thickness of the organic insulating layer is preferably in the range of 1 to 40 ⁇ m. When the thickness is within this range, sufficient electrical insulation can be secured, and adhesion to the base material 21 can be secured. The thickness of the organic insulating layer is more preferably 0.5 to 10 ⁇ m, still more preferably 1 to 5 ⁇ m.
  • the method for forming the organic insulating layer on the substrate 21 is not particularly limited, and can be formed by application by roll coating, spray coating, spin coating, dipping, or the like, or transfer of a resin formed in a film shape. .
  • an insulating inorganic material can be used as a material for forming the inorganic insulating layer. Moreover, it is preferable that this inorganic material has gas barrier property.
  • an inorganic material for example, it is preferable to include at least one of a metal and a metalloid. Further, at least one of the metal and the metalloid is preferably at least one selected from the group consisting of oxides, nitrides, carbides, oxynitrides, oxycarbides, nitride carbides, and oxynitride carbides. Examples of the metal include zinc, aluminum, titanium, copper, and magnesium, and examples of the semimetal include silicon, bismuth, and germanium.
  • the thickness of the inorganic insulating layer is preferably in the range of 10 nm to 5 ⁇ m, more preferably in the range of 50 nm to 2 ⁇ m, and further preferably in the range of 0.1 to 1 ⁇ m.
  • the method for forming the inorganic insulating layer is not particularly limited, and a vapor deposition method using a vapor deposition source capable of discharging the inorganic insulating layer forming material, a sputtering method, a dry method such as a CVD method, and a wet method such as a sol-gel method. Etc. can be used.
  • anode layer forming material indium-tin oxide (ITO), indium-zinc oxide (IZO), zinc oxide (ZnO), gallium-doped zinc oxide (GZO) Zinc oxide-based materials such as antimony-doped zinc oxide (AZO) can be used.
  • the method for forming the anode layer 23 on the insulating layer 31 is not particularly limited.
  • a general vapor deposition method using a vapor deposition source capable of discharging the anode layer forming material can be used. Among these, it is preferable to use a heat evaporation method.
  • the organic layer 25 has at least a light emitting layer 25a as an organic constituent layer.
  • the organic layer 25 is composed of one organic constituent layer, or is formed by laminating a plurality of organic constituent layers.
  • the organic constituent layer is the light emitting layer 25a described above.
  • the organic layer includes a plurality of organic constituent layers
  • the plurality of organic constituent layers includes a light emitting layer 25a and organic constituent layers other than the light emitting layer 25a.
  • Examples of organic constituent layers other than the light emitting layer 25a include a hole injection layer 25b, a hole transport layer 25d, an electron injection layer 25c, and an electron transport layer 25e.
  • the organic layer 25 is not particularly limited as long as it has at least the light emitting layer 25a as an organic constituent layer.
  • the organic layer 25 can be configured to be formed by stacking a plurality of organic constituent layers as required. For example, as shown in FIG. 1B, the hole injection layer 25b, the light emitting layer 25a, and the electron injection layer 25c may be laminated in this order to form a three-layer organic layer.
  • a hole transport layer 25d (see FIG. 1C) is sandwiched between the light emitting layer 25a and the hole injection layer 25b shown in FIG. 1B, or the light emitting layer 25a.
  • an electron transport layer 25e see FIG. 1C
  • the organic layer can be formed into a four-layer laminate.
  • the hole transport layer 25d is sandwiched between the hole injection layer 25b and the light emitting layer 25a, and the electron transport layer 25e is sandwiched between the light emitting layer 25a and the electron injection layer 25c.
  • the organic layer can also be made into a five-layer laminate.
  • the thickness of each layer is usually designed to be about several nm to several tens of nm, but the thickness is appropriately designed according to the organic layer forming material 22 and the light emission characteristics. There is no particular limitation.
  • Examples of a material for forming the light emitting layer 25a include tris (8-quinolinol) aluminum (Alq3), [2-tert-butyl-6- [2- (2,3,6,7-tetrahydro-1, 1,7,7-tetramethyl-1H, 5H-benzo [ij] quinolizin-9-yl) vinyl] -4H-pyran-4-ylidene] malononitrile (DCJTB) and the like can be used.
  • the hole injection layer 25b is a layer that facilitates injection of holes from the anode layer 23 into the light emitting layer 25a and the hole transport layer 25d.
  • a material for forming the hole injection layer 25b for example, HAT-CN (1, 4, 5, 8, 9, 12-hexaazatriphenylene hexacarbonitrile), copper phthalocyanine (CuPc), N, N '-Di (1-naphthyl) -N, N'-diphenyl-1,1'-biphenyl 4,4'diamine ( ⁇ -NPD) or the like can be used.
  • the hole transport layer 25 d is a layer having at least one of a function of transporting holes or a function of suppressing electrons injected from the cathode layer 27 from moving to the anode layer 23.
  • Examples of the material for forming the hole transport layer 25d include N, N′-bis (naphthalen-1-yl) -N, N′-bis (phenyl) -benzidine (NPB), N, N ′.
  • the electron injection layer 25c is a layer that facilitates injection of electrons from the cathode layer 27 to the light emitting layer 25a or the electron transport layer 25e.
  • a material for forming the electron injection layer 25c for example, lithium fluoride (LiF), cesium fluoride (CsF), or the like can be used.
  • the electron transport layer 25 e is a layer having at least one of a function of transporting electrons or a function of suppressing movement of holes injected from the anode layer 23 to the cathode layer 27.
  • a material for forming the electron transport layer 25e for example, tris (8-quinolinol) aluminum (Alq3) can be used.
  • the method for forming the organic layer 25 on the anode layer 23 is not particularly limited, and for example, a general vapor deposition method using a vapor deposition source capable of discharging the organic layer forming material can be used. Among such vapor deposition methods, it is preferable to use a heat vapor deposition method.
  • cathode layer forming material aluminum (Al), magnesium silver (Mg / Ag), ITO, IZO, or the like can be used.
  • the method for forming the cathode layer 27 on the organic layer 25 is not particularly limited, and for example, an evaporation method using an evaporation source capable of discharging the cathode layer forming material can be used. In addition, for example, a method of forming a film by sputtering can also be used.
  • sealing layer forming material As a material (sealing layer forming material) for forming the sealing layer 29, SiOCN, SiN, SiON or the like can be used.
  • the method for forming the sealing layer 29 on the cathode layer 27 is not particularly limited, and for example, a vapor deposition method using a vapor deposition source capable of discharging the sealing layer forming material can be used. For example, it is preferable to use a plasma assist vapor deposition method.
  • a laminate of the base material 21 and the insulating layer 31 formed on the one surface side of the base material 21 is formed in advance, and on the insulating layer 31 of the laminate,
  • the anode layer 23, the light emitting layer 25a, the cathode layer 27, and the sealing layer 29 are sequentially deposited.
  • the insulating layer 31 is formed on the base material 21 by a vapor deposition source for forming the insulating layer 31 on the base material 21 on which the insulating layer 31 is not laminated in advance.
  • the anode layer 23, the light emitting layer 25 a, the cathode layer 27, and the sealing layer 29 can be sequentially formed on the layer 31.
  • the insulating layer 31 is applied in advance on one surface side of the base material 21 by a coating apparatus or the like.
  • the anode layer 23 is formed on the insulating layer 31 in the laminate of the base material 21 and the insulating layer 31 by using the above-described vapor deposition method.
  • a light emitting layer 25a which is an organic layer is formed on the anode layer 23 using the vapor deposition method.
  • the cathode layer 27 is formed on the light emitting layer 25a by using the above evaporation method.
  • a sealing layer 29 is formed from above the cathode layer 27 by using the above-described vapor deposition method so as to cover each formed layer. Thereby, the organic EL element 20 is formed.
  • a shadow mask having an opening having a desired shape is interposed between each deposition source and the substrate 21, respectively. It can carry out suitably using conventionally well-known methods, such as the method of allowing the formation material of each component layer to pass through.
  • examples of the pattern of each constituent layer include shapes as shown in FIGS. 2 and 4, but are not particularly limited to FIGS. 2 and 4.
  • the anode layer 23 is first formed on the insulating layer 31 of the laminate, while preventing the anode layer 23 and the cathode layer 27 from contacting each other (FIG. 2A). reference).
  • the organic layer 25 is formed so as to cover the anode layer 23 at least on both outer sides of the light emitting section 40 in the longitudinal direction of the base material 21 (in the direction of the white arrow) (see FIG. 2B).
  • the cathode layer 27 is formed so as to protrude at least both outside of the organic layer 25 on both outer sides and cover the both ends in the longitudinal direction of the organic layer 25 (see FIG. 2C).
  • the sealing layer 29 is formed so that a part of anode layer 23 and the cathode layer 27 may protrude (FIG.2 (d)).
  • the organic EL element 20 is formed, and the overlapping portion of the anode layer 23, the organic layer 25, and the cathode layer 27 becomes the light emitting section 40 (see FIG. 3).
  • both ends in the longitudinal direction of the organic layer 25 are covered with both ends of the cathode layer 27 on both outer sides in the longitudinal direction of the light emitting unit 40.
  • the organic layer 25 protrudes outside the cathode layer 27 on both outer sides of the light emitting unit 40 in the width direction of the base material 21 (left and right direction in FIGS. 2 and 3). Furthermore, the anode layer 23 protrudes outside the organic layer 25. Further, the formed anode layer 23 and cathode layer 27 are not in contact with each other.
  • the anode layer 23 is first formed on the insulating layer 31 of the laminate, while preventing the anode layer 23 and the cathode layer 27 from contacting each other (FIG. 4 ( a)).
  • the organic layer 25 is formed so as to cover the anode layer 23 at least on both outer sides of the light emitting unit 40 in the longitudinal direction of the base material 21 (the direction of the white arrow) (see FIG. 4B).
  • the cathode layer 27 is formed so as to protrude at least both outside of the organic layer 25 on both the outer sides and cover the both ends in the longitudinal direction of the organic layer 25 (see FIG. 4C).
  • the sealing layer 29 is formed so that a part of anode layer 23 and the cathode layer 27 may protrude (refer FIG.4 (d)).
  • the organic EL element 20 is formed, and the overlapping portion of the anode layer 23, the organic layer 25, and the cathode layer 27 becomes the light emitting section 40 (see FIG. 5).
  • both ends in the longitudinal direction of the organic layer 25 are covered with both ends of the cathode layer 27 on both outer sides in the longitudinal direction of the light emitting unit 40.
  • the outer side of the light emitting unit 40 in the width direction of the base material 21 is organic (on the right side in FIGS. 4 and 5)
  • the layer 25 protrudes outside the cathode layer 27.
  • the anode layer 23 protrudes outside the organic layer 25.
  • the organic layer 25 protrudes outside the anode layer 23.
  • the cathode layer 27 protrudes outside the organic layer 25.
  • the formed anode layer 23 and cathode layer 27 are not in contact with each other.
  • the portions of the anode layer 23 and the cathode layer 27 that protrude from the sealing layer 29 are not in contact with each other. By energizing the protruding portion, the light emitting unit 40 can emit light.
  • the shape of the light emitting unit 40 is not particularly limited.
  • the anode layer 23, the organic layer 25, and the cathode layer 27 can be formed while preventing the anode layer 23 and the cathode layer 27 from being in contact with each other. For this reason, it can avoid that the anode layer 23 and the cathode layer 27 short-circuit, and the light emission part 40 can light-emit. Further, on both outer sides of the light emitting portion 40 in the longitudinal direction of the strip-shaped metal base material 21, the both ends in the longitudinal direction of the organic layer 25 are covered with the both ends in the longitudinal direction of the cathode layer 27.
  • both end edges of the organic layer 25 are formed by both end sides of the cathode layer 27 on the outer side of at least one of the light emitting units 40 in the width direction of the base material 21. Not covered. However, as described above, in the width direction, the convex portions between the grooves on the surface portion of the insulating layer 31 are in contact with the constituent layers, so that oxygen and moisture enter the sealing layer 29. Can be suppressed.
  • the said manufacturing method may implement the said manufacturing method as follows, for example.
  • the laminated body of the base material 21 and the insulating layer 31 wound up in a roll shape is fed out from a supply roller serving as a supply unit. While the substrate 21 of the laminated body that has been drawn out is brought into contact with the surface of a can roll (not shown) and moved, the anode layer 23, the organic layer 25, and the organic layer 25 are formed on the insulating layer 31 of the laminated body supported by the can roll.
  • the cathode layer 27 and the sealing layer 29 are sequentially formed as described above.
  • the obtained organic EL element 20 is wound up sequentially by a take-up roller (not shown) serving as a collection unit.
  • the said manufacturing method can be implemented as follows, for example.
  • the base material 21 wound up in a roll shape is fed out from the supply roller.
  • the insulating layer 31, the anode layer 23, the organic layer 25, the cathode layer 27, and the sealing layer 29 are sequentially formed on the fed base material 21 as described above.
  • the obtained organic EL element 20 is sequentially wound by the winding roller.
  • the sheet-like organic EL element 20 can be formed by feeding out the organic EL element 20 taken up by the take-up roller as described above and performing cutting or the like.
  • the organic EL element 20 of the present embodiment obtained by the above manufacturing method has an insulating layer 31, a first electrode layer (here, anode layer 23), and at least a light emitting layer 25 a on one surface side of a band-shaped metal base material 21.
  • the organic layer 25, the second electrode layer (in this case, the cathode layer 27), and the sealing layer 29 are sequentially formed.
  • the organic EL element 20 has an overlapping portion of the anode layer 23, the organic layer 25, and the cathode layer 27 as the light emitting unit 40.
  • the anode layer 23 and the cathode layer 27 are not in contact with each other, and the organic layer 25 protrudes beyond the anode layer 23 at least on both outer sides in the longitudinal direction of the substrate 21.
  • the cathode layer 27 protrudes at least on both outer sides in the longitudinal direction from the organic layer 25.
  • at least both ends of the organic layer 25 in the longitudinal direction are covered with the both ends of the cathode layer 27 in the longitudinal direction at least on both outer sides of the light emitting unit 40 in the longitudinal direction of the base material 21.
  • Such an organic EL element 20 is one in which deterioration is suppressed as described above.
  • the first electrode layer is the anode layer 23 and the second electrode layer is the cathode layer 27.
  • the first electrode layer is the cathode layer and the second electrode layer is the anode layer.
  • a cathode layer, an organic layer, and an anode layer can be sequentially formed on the insulating layer 31 of the laminate.
  • the surface roughness (Ra) of the substrate was measured using a stylus type surface shape measuring device (trade name: Dektak 150).
  • the surface roughness in the longitudinal direction and the short direction of the substrate was measured at 10 locations, respectively, and the average value at 10 locations was defined as the surface roughness in the longitudinal direction and the lateral direction of the substrate.
  • Example 1 As a band-shaped metal base material, the width is 30 mm, the length is 140 m, the thickness is 50 ⁇ m, the surface roughness (Ra) in the longitudinal direction of the base material is 40 nm, and the surface roughness (Ra) in the short direction of the base material is A 55 nm roll-shaped flexible SUS substrate was used. That is, in Example 1, the surface roughness in the longitudinal direction of the base material is smaller than the surface roughness in the lateral direction.
  • An acrylic resin (trade name “JEM-477” manufactured by JSR Corporation) was applied on one side of the base material with a coating apparatus to form an insulating layer having a thickness of 3 ⁇ m. The laminate of the base material and the insulating layer was wound around a supply roller (not shown).
  • the pattern shown in FIG. 2 was employ
  • an Al layer (anode layer) having a thickness of 100 nm is formed as the first electrode layer 23 on the insulating layer 31 of the laminated body while the laminated body wound up in a roll shape is continuously fed from the supply roller.
  • a 45 nm thick Alq3 layer as a layer, a light emitting layer and an electron transport layer, and a 0.5 nm thick LiF layer as an electron injection layer were heat-deposited in this order.
  • a Mg / Ag layer (cathode layer) having a thickness of 5/15 nm was co-deposited as the second electrode layer 27. Further, an ITO layer (cathode layer) having a thickness of 50 nm was formed by sputtering. Thereafter, SiOCN having a thickness of 0.4 ⁇ m was deposited as the sealing layer 29 by plasma-assisted deposition.
  • the obtained laminate (organic EL element 20) was wound up by a winding roller.
  • Example 1 After winding, the laminate was drawn out and cut at a predetermined length to obtain an organic EL element 20 (80 mm long ⁇ 30 mm wide) of Example 1 (see FIG. 3).
  • Example 2 The organic material of Example 2 is the same as Example 1 except that the pattern shown in FIG. 4 is adopted as the pattern of the first electrode layer 23, the organic layer 25, the second electrode layer 27, and the sealing layer 29. An EL element 20 was manufactured (see FIG. 5).
  • Example 3 Of the organic layers, a 0.5 nm thick LiF layer as the electron injection layer, a 45 nm thick Alq3 layer as the light emitting layer and the electron transport layer, a 50 nm thick NPB as the hole transport layer, and a 10 nm thick CuPc as the hole injection layer, Heat deposition was performed in this order. Further, as the second electrode layer, an ITO layer (cathode layer) having a thickness of 50 nm was formed by sputtering. Thereafter, SiOCN having a thickness of 400 nm was deposited as a sealing layer by plasma-assisted deposition. The rest is the same as in the first embodiment. Moreover, the pattern shown in FIG. 2 was employ
  • Comparative Example 1 An organic EL element 50 of Comparative Example 1 was manufactured in the same manner as Example 1 except that the pattern shown in FIG. 6 was used.
  • Comparative Example 2 An organic EL element 50 of Comparative Example 2 was manufactured in the same manner as Example 1 except that the pattern shown in FIG. 7 was used.
  • Comparative Example 3 An organic EL device 50 of Comparative Example 3 was manufactured in the same manner as Example 1 except that the pattern shown in FIG. 8 was used.
  • Comparative Example 4 An organic EL device 50 of Comparative Example 4 was manufactured in the same manner as Example 1 except that the pattern shown in FIG. 9 was used.
  • Comparative Example 5 An organic EL element 50 of Comparative Example 5 was manufactured in the same manner as Example 3 except that the pattern shown in FIG. 6 was used.
  • each of the obtained organic EL elements was stored in a constant temperature and humidity chamber set to 60 ° C./90% RH without emitting light. After the start of storage, each organic EL element was taken out and emitted at predetermined time intervals. The area of the light emitting part (the area of the light emitting region) was measured. The relationship between the storage time and the area of the light emitting part was plotted on a graph. The time when the area of the light emitting portion starts to decrease is defined as the lifetime of the organic EL element. Note that the area of the light emitting portion was measured using a digital microscope (trade name: VHX-1000) manufactured by Keyence Corporation. The results are shown in Table 1.
  • both ends of the organic layer are covered with both ends of the second electrode layer (cathode layer) on both outer sides of the light emitting portion in the longitudinal direction of the substrate.
  • Comparative Examples 1 to 5 at least one of both end edges of the organic layer is not covered with the cathode layer.
  • Table 1 when Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 5 were compared, the life of Examples 1 to 3 was 1.5 times longer than that of Comparative Examples 1 to 5.
  • the organic EL device obtained by the production method of the present invention was excellent in long-term stability because the deterioration of the light emission characteristics was suppressed.
  • the organic insulating layer is used as the insulating layer. However, the effects of the present invention can be obtained even when an inorganic insulating layer is used.

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Abstract

　本発明は、発光特性の劣化が抑制された有機ＥＬ素子の製造方法等に関する。有機ＥＬ素子の製造方法は、第１の電極層と第２の電極層とが接触していないようにしつつ、有機層を第１の電極層よりも少なくとも基材の長手方向両外側にはみ出させる。さらに第２の電極層を前記有機層よりも少なくとも前記長手方向両外側にはみ出させる。これによって、少なくとも前記基材の長手方向における前記発光部の両外側において、前記有機層の前記長手方向両端縁が前記第２の電極層の前記長手方向両端側で覆われるように、前記第１の電極層、前記有機層及び前記第２の電極層を形成する。

Description

有機ＥＬ素子の製造方法及び有機ＥＬ素子 関連出願の相互参照
　本願は、日本国特願２０１２－４１７００号及び日本国特願２０１３－２３５０２号の優先権を主張し、引用によって本願明細書の記載に組み込まれる。
　本発明は、電極層及び有機層が基材上に形成され、前記有機層から光を放出するように構成された有機ＥＬ素子の製造方法及び有機ＥＬ素子に関する。
　従来、発光表示装置等に用いられる素子として有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）素子が知られている。有機ＥＬ素子は、基本的には、少なくとも発光層を有機構成層として有する有機層と一対の電極層とを有している。
　かかる有機ＥＬ素子の一例を図１０に示す。図１０に示すように、従来の有機ＥＬ素子５０は、基材２１の一面側に、該素子の構成層として、第１の電極層２３（例えば陽極層）、少なくとも発光層を有機構成層として有する有機層２５、第２の電極層２７（例えば陰極層）が順に積層され（図１０（ａ）参照）、次いで、封止層２９が積層されることによって形成されるようになっている（図１０（ｂ）～（ｄ）参照）。また、第１の電極層２３と有機層２５と第２の電極層２７との重なり部分を発光部４０として有している。
　さらに、第１の電極層２３及び第２の電極層２７は、互いに短絡することなく外部から通電可能とするために、封止層２９よりも外側に、互いに重ならないようにはみ出して形成されている。
　例えば、図１０（ｂ）の右側において、上記短絡することなく第１の電極層２３を通電可能とするために、有機層２５の右側端部側が、第２の電極層２７の右側端縁よりも右側にはみ出している。また、第１の電極層２３の右側端部側が、有機層２５の右側端縁よりも右側にはみ出している（図１０（ａ）の右側参照）。さらに、該第１の電極層の右側端部側が、封止層２９の右側端縁よりも右側にはみ出して形成されている（図１０（ｄ）の右側参照））。
　また、図１０（ｂ）の左側において、上記短絡することなく第２の電極層２７を通電可能とするために、有機層２５の左側端部側が第１の電極層２３の左側端縁よりも左側にはみ出している。また、第２の電極層２７の左側端部側が有機層２５の左側端縁よりも左側にはみ出している（図１０（ａ）の左側参照）。さらに、該第２の電極層２７が封止層２９の左側端縁よりも左側にはみ出して形成されている（図１０（ｄ）の左側参照）。
　この種の有機ＥＬ素子では、フレキシブル化を図るために、基材として有機樹脂製の基材が用いられているが、この場合、酸素や水分が、基材を通過して上記構成層側へと侵入し、有機ＥＬ素子の発光特性が経時的に劣化する場合がある。
　そこで、金属製の基材を用いることによって、酸素や水分が基材を通過することを防止することが提案されている（特許文献１、２参照）。また、このように金属製の基材を用いる場合、金属製の基材と上記第１の電極層との接触による短絡を防止するために、基材上に絶縁層を形成するようになっている。
日本国特開２００２－２５７６３号公報 日本国特許第３９４２０１７号公報
　しかし、上記のような絶縁層を金属製の基材上に形成した場合においても、酸素や水分が有機層と電極層との境界において端縁側から侵入し、発光部において経時的に発光しない領域（ダークフレーム）が発生して、発光特性の劣化が生じる場合がある。
　本発明は、上記問題点に鑑み、発光特性の劣化が抑制された有機ＥＬ素子の製造方法及び有機ＥＬ素子を提供することを課題とする。
　上記課題を解決するために、本発明者らが鋭意研究したところ、以下のことが判明した。
　すなわち、帯状の金属製の基材は、通常、長手方向に圧延されることによって形成されている。かかる圧延により、該基材の表面部には、長手方向に延在している微細な溝が幅方向に亘って複数形成されていることが判明した。
　また、基材に絶縁層を積層した後においても、基材に積層された絶縁層の表面部には、基材の溝に起因する溝が長手方向に延在していることが判明した。
　このため、かかる基材を用いて有機ＥＬ素子を形成したとき、基材の幅方向における発光部の両外側においては、絶縁層表面部の複数の溝間に形成された凸部と、主として封止層とが接触している。この接触によって、幅方向外側からは封止層の内側へと酸素や水分が侵入し難く、発光特性の劣化に及ぼす影響が比較的小さいことが判明した。
　これに対し、基材の長手方向における発光部の両外側においては、有機層と第２の電極層の各形成パターンによって、発光特性の劣化に及ぼす影響が大きく異なることが判明した。
　具体的には、上記長手方向における発光部の両外側の少なくともいずれか一方において、第２の電極層が有機層よりも外側にはみ出していない。有機層の両端縁が第２の電極層に覆われていない場合には（図６～図１０参照）、上記絶縁層表面部の溝を酸素や水分が通過して封止層の内側まで侵入する。さらに、有機層と第１の電極層との境界や、有機層と第２の電極層との境界において、端縁側から発光部に相当する領域まで酸素や水分が侵入する。これにより、発光特性の劣化が生じることが判明した。
　一方、上記長手方向における発光部よりも両外側において、第２の電極層が有機層よりもはみ出しており、有機層の両端縁が第２の電極層の両端側で覆われている場合には（図２～図５参照）、上記絶縁層表面部の溝を酸素や水分が通過して封止層の内側まで侵入しても、第２の電極層によって、更に内側へ侵入することを抑制することができる。このため、有機層と第２の電極層との境界に酸素や水分が到達し難くなり、発光部まで酸素や水分が到達し難くなることが判明した。
　そして、かかる知見に基づき、本発明者らは、本発明を完成するに至った。
　すなわち、本発明者に係る有機ＥＬ素子の製造方法は、帯状の金属製の基材の一面側に絶縁層、第１の電極層、少なくとも発光層を有機構成層として有する有機層、第２の電極層及び封止層を順次形成することにより、前記第１の電極層と前記有機層と前記第２の電極層との重なり部分を発光部として有する有機ＥＬ素子を作製する有機ＥＬ素子の製造方法であって、前記第１の電極層と前記第２の電極層とが接触していないようにしつつ、前記有機層を前記第１の電極層よりも少なくとも前記基材の長手方向両外側にはみ出させ、さらに前記第２の電極層を前記有機層よりも少なくとも前記長手方向両外側にはみ出させることによって、少なくとも前記基材の長手方向における前記発光部の両外側において、前記有機層の前記長手方向両端縁が前記第２の電極層の前記長手方向両端側で覆われるように、前記第１の電極層、前記有機層及び前記第２の電極層を形成することを特徴とする。
　また、本発明に係る有機ＥＬ素子は、帯状の金属製の基材の一面側に絶縁層、第１の電極層、少なくとも発光層を有機構成層として有する有機層、第２の電極層及び封止層が順次形成されてなり、前記第１の電極層と前記有機層と前記第２の電極層との重なり部分を発光部として有する有機ＥＬ素子であって、前記第１の電極層と前記第２の電極層とが接触しておらず、且つ、前記有機層が前記第１の電極層よりも少なくとも前記基材の長手方向両外側にはみ出しており、さらに前記第２の電極層が前記有機層よりも少なくとも前記長手方向両外側にはみ出していることによって、少なくとも前記基材の長手方向における前記発光部の両外側において、前記有機層の前記長手方向両端縁が前記第２の電極層の前記長手方向両端側で覆われていることを特徴とする。
　また、本発明に係る有機ＥＬ素子及びその製造方法によれば、前記基材の長手方向の表面粗さが短手方向の表面粗さより小さくされていることが望ましい。
図１は、有機ＥＬ素子の層構成例を模式的に示す概略部分側面断面図である。図１（ａ）は、有機層が１層の場合を示す図である。図１（ｂ）は、有機層が３層の場合を示す図である。図１（ｃ）は、有機層が５層の場合を示す図である。 図２（ａ）は、実施例１及び実施例３の有機ＥＬ素子の製造において陽極層が形成された状態を模式的に示す概略平面図である。図２（ｂ）は、有機層が形成された状態を模式的に示す概略平面図である。図２（ｃ）は、陰極層が形成された状態を模式的に示す概略平面図である。図２（ｄ）は、封止層が形成された状態を模式的に示す概略平面図である。 図３（ａ）は、実施例１及び実施例３の有機ＥＬ素子を模式的に示す概略平面図である。図３（ｂ）は、図３（ａ）のＡ－Ａ矢視断面図である。図３（ｃ）は、図３（ａ）のＢ－Ｂ矢視断面図である。 図４（ａ）は、実施例２の有機ＥＬ素子の製造において陽極層が形成された状態を模式的に示す概略平面図である。図４（ｂ）は、有機層が形成された状態を模式的に示す概略平面図である。図４（ｃ）は、陰極層が形成された状態を模式的に示す概略平面図である。図４（ｄ）は、封止層が形成された状態を模式的に示す概略平面図である。 図５（ａ）は、実施例２の有機ＥＬ素子を模式的に示す概略平面図である。図５（ｂ）は、図５（ａ）のＡ－Ａ矢視断面図である。図５（ｃ）は、図５（ａ）のＢ－Ｂ矢視断面図である。 図６（ａ）は、比較例１及び比較例５の有機ＥＬ素子の製造において封止層が形成される前の状態を模式的に示す概略平面図である。図６（ｂ）は、封止層が形成された状態を模式的に示す概略平面図である。 図７（ａ）は、比較例２の有機ＥＬ素子の製造において封止層が形成される前の状態を模式的に示す概略平面図である。図７（ｂ）は、封止層が形成された状態を模式的に示す概略平面図である。 図８（ａ）は、比較例３の有機ＥＬ素子の製造において封止層が形成される前の状態を模式的に示す概略平面図である。図８（ｂ）は、封止層が形成された状態を模式的に示す概略平面図である。 図９（ａ）は、比較例４の有機ＥＬ素子の製造において封止層が形成される前の状態を模式的に示す概略平面図である。図９（ｂ）は、封止層が形成された状態を模式的に示す概略平面図である。 図１０（ａ）は、従来の有機ＥＬ素子の製造において封止層が形成される前の状態を模式的に示す概略平面図である。図１０（ｂ）は、封止層が形成された状態を模式的に示す概略平面図である。図１０（ｃ）は、図１０（ｂ）のＡ－Ａ矢視断面図である。図１０（ｄ）は、図１０（ｂ）のＢ－Ｂ矢視断面図である。
　以下に本発明に係る有機ＥＬ素子の製造方法及び有機ＥＬ素子について図面を参照しつつ説明する。
　本実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法は、帯状の金属製の基材２１の一面側に絶縁層３１、第１の電極層（ここでは陽極層）２３、少なくとも発光層２５ａを有機構成層として有する有機層２５、第２の電極層２７（ここでは陰極層）及び封止層２９を順次形成する。これにより、陽極層２３と前記有機層２５と陰極層２７との重なり部分を発光部４０として有する有機ＥＬ素子２０が作製される。また、有機ＥＬ素子の製造方法は、陽極層２３と陰極層２７とが接触していないようにしつつ、有機層２５を陽極層２３よりも少なくとも基材２１の長手方向両外側にはみ出させる。さらに有機ＥＬ素子の製造方法は、陰極層２７を有機層２７よりも少なくとも上記長手方向両外側にはみ出させる。これによって、少なくとも基材２１の長手方向における発光部４０の両外側において、有機層２５の上記長手方向両端縁が陰極層２７の上記長手方向両端側で覆われるように、陽極層２３、有機層２５及び陰極層２７が形成される。
　基材２１に用いる金属材料としては、例えばステンレス、Ｆｅ、Ａｌ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｃｕやこれらの合金等、圧延することによって、常温・常圧において帯状のシートとすることが可能な金属であれば、何れの金属も用いることができる。
　絶縁層３１としては、例えば、有機絶縁層及び無機絶縁層を用いることができる。
　有機絶縁層の形成材料としては、絶縁性の樹脂を使用することができる。基材２１が、有機ＥＬ素子の製造過程において、１５０～３００℃に加熱される場合があるため、有機絶縁層の材料としては、１５０℃以上のガラス転移温度を有する耐熱性樹脂を用いることが好ましい。かかる耐熱性樹脂としては、具体的には、アクリル樹脂、ノルボルネン樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテルケトン樹脂、ポリフェニルスルホン樹脂およびこれらの樹脂の複合体等が挙げられる。これらの中でも、前記耐熱性樹脂は、アクリル樹脂、ノルボルネン樹脂、エポキシ樹脂およびポリイミド樹脂からなる群から選択される少なくとも１種であることが好ましい。
　有機絶縁層の厚みは、薄すぎると、金属製の基材２１の表面凹凸の平坦化が十分にできず、厚すぎると、金属製の基材２１に対する密着性が低下するおそれがある。かかる観点を考慮すると、前記有機絶縁層の厚みは、１～４０μｍの範囲であることが好ましい。厚みがこの範囲内であると、十分な電気絶縁性を確保するとともに、基材２１に対する密着性をも確保することができる。前記有機絶縁層の厚みは、より好ましくは、０．５～１０μｍであり、さらに好ましくは、１～５μｍである。基材２１上に前記有機絶縁層を形成する方法は特に限定されず、ロールコート、スプレーコート、スピンコートおよびディッピング等による塗布や、フィルム状に形成された樹脂の転写等により形成することができる。
　無機絶縁層を形成する材料としては、絶縁性を有する無機材料を用いることができる。また、かかる無機材料は、ガスバリア性を有することが好ましい。かかる無機材料として、例えば、金属及び半金属の少なくとも１種を含むことが好ましい。また、かかる金属及び前記半金属の少なくとも１種は、酸化物、窒化物、炭化物、酸化窒化物、酸化炭化物、窒化炭化物及び酸化窒化炭化物からなる群から選ばれる少なくとも１種であることが好ましい。金属としては、例えば、亜鉛、アルミニウム、チタン、銅、マグネシウム等が挙げられ、半金属としては、例えば、ケイ素、ビスマス、ゲルマニウム等が挙げられる。
　前記無機絶縁層は薄すぎると絶縁性が低下する。また、無機絶縁層が厚すぎるとクラックが生じやすくなり、ガスバリア性および絶縁性が低下する。前記無機絶縁層の厚さは、１０ｎｍ～５μｍの範囲であることが好ましく、５０ｎｍ～２μｍの範囲であることがより好ましく、０．１～１μｍの範囲であることがさらに好ましい。前記無機絶縁層を形成する方法は、特に限定されず、無機絶縁層形成材料を吐出可能な蒸着源を用いた蒸着法、スパッタリング法、ＣＶＤ法等の乾式法およびゾル－ゲル法等の湿式法等を利用することができる。
　陽極層２３を形成するための材料（陽極層形成材料）としては、インジウム－錫酸化物（ＩＴＯ）、インジウム－亜鉛酸化物（ＩＺＯ）や、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、ガリウムドープ酸化亜鉛（ＧＺＯ）、アンチモンドープ酸化亜鉛（ＡＺＯ）等の酸化亜鉛系材料等を用いることができる。
　絶縁層３１上に陽極層２３を形成する方法は、特に限定されず、例えば、陽極層形成材料を吐出可能な蒸着源を用いた一般的な蒸着法を利用することができ、かかる蒸着法のうち、加熱蒸着法を利用することが好ましい。
　有機層２５は、少なくとも発光層２５ａを有機構成層として有する。かかる有機層２５は、１つの有機構成層から構成されるか、または、複数の有機構成層が積層されて構成されている。有機層２５が１つの有機構成層から構成される場合には、該有機構成層は、上記した発光層２５ａである。有機層が複数の有機構成層から構成される場合には、該複数の有機構成層は、発光層２５ａと、発光層２５ａ以外の有機構成層とから構成される。また、発光層２５ａ以外の有機構成層としては、例えば、正孔注入層２５ｂ、正孔輸送層２５ｄ、電子注入層２５ｃ、電子輸送層２５ｅが挙げられる。
　このように、有機層２５は、少なくとも発光層２５ａを有機構成層として有していれば特に限定されるものではない。有機層２５は、必要に応じて、複数の有機構成層を積層して形成されるように構成することができる。例えば図１（ｂ）に示すように、正孔注入層２５ｂ、発光層２５ａ及び電子注入層２５ｃをこの順に積層して、有機層を３層積層体とすることもできる。その他、必要に応じて、上記図１（ｂ）に示す発光層２５ａと正孔注入層２５ｂの間に正孔輸送層２５ｄ（図１（ｃ）参照）を挟むことによって、または、発光層２５ａと電子注入層２５ｃとの間に電子輸送層２５ｅ（図１（ｃ）参照）を挟むことによって、有機層を４層積層体とすることもできる。
　さらに、図１（ｃ）に示すように、正孔注入層２５ｂと発光層２５ａとの間に正孔輸送層２５ｄ、発光層２５ａと電子注入層２５ｃとの間に電子輸送層２５ｅを挟むことによって、有機層を５層積層体とすることもできる。また、各層の膜厚は、通常、数ｎｍ～数十ｎｍ程度になるように設計されるが、かかる膜厚は、有機層形成材料２２や、発光特性等に応じて適宜設計されるものであり、特に限定されない。
　発光層２５ａを形成するための材料としては、例えば、トリス（８－キノリノール）アルミニウム（Ａｌｑ３）、［２－ｔｅｒｔ－ブチル－６－［２－（２，３，６，７－テトラヒドロ－１，１，７，７－テトラメチル－１Ｈ，５Ｈ－ベンゾ［ｉｊ］キノリジン－９－イル）ビニル］－４Ｈ－ピラン－４－イリデン］マロノニトリル（ＤＣＪＴＢ）等を用いることができる。
　正孔注入層２５ｂとは、陽極層２３から、発光層２５ａや正孔輸送層２５ｄに正孔を注入し易くする層である。かかる正孔注入層２５ｂを形成するための材料としては、例えば、ＨＡＴ－ＣＮ（１，４，５，８，９，１２－ヘキサアザトリフェニレンヘキサカルボニトリル）、銅フタロシアニン（ＣｕＰｃ）、Ｎ，Ｎ’－ジ（１－ナフチル）－Ｎ，Ｎ’－ジフェニル－１，１’－ビフェニル４，４’ジアミン（α－ＮＰＤ）等を用いることができる。
　正孔輸送層２５ｄとは、正孔を輸送する機能、または陰極層２７から注入された電子が陽極層２３へと移動することを抑制する機能の少なくともいずれかを有している層である。かかる正孔輸送層２５ｄを形成するための材料としては、例えば、Ｎ，Ｎ’－ビス（ナフタレン－１－イル）－Ｎ，Ｎ’－ビス（フェニル）－ベンジジン（ＮＰＢ）、Ｎ，Ｎ’－ジ（１－ナフチル）－Ｎ，Ｎ’－ジフェニル－１，１’－ビフェニル４，４’ジアミン（α－ＮＰＤ）、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’－テトラフェニル－４，４’－ジアミノフェニル、Ｎ，Ｎ’－ジフェニル－Ｎ，Ｎ’－ビス（３－メチルフェニル）－［１，１’－ビフェニル］－４，４’ジアミン（ＴＰＤ）等を用いることができる。
　電子注入層２５ｃとは、陰極層２７から、発光層２５ａまたは電子輸送層２５ｅに電子を注入し易くする層である。かかる電子注入層２５ｃを形成するための材料としては、例えば、フッ化リチウム（ＬｉＦ）、フッ化セシウム（ＣｓＦ）等を用いることができる。
　電子輸送層２５ｅとは、電子を輸送する機能、または陽極層２３から注入された正孔が陰極層２７へと移動することを抑制する機能の少なくともいずれかを有している層である。かかる電子輸送層２５ｅを形成するための材料としては、例えば、トリス（８－キノリノール）アルミニウム（Ａｌｑ３）等を用いることができる。
　陽極層２３上に有機層２５を形成する方法は、特に限定されず、例えば、有機層形成材料を吐出可能な蒸着源を用いた一般的な蒸着法を利用することができる。かかる蒸着法のうち、加熱蒸着法を利用することが好ましい。
　陰極層２７を形成するための材料（陰極層形成材料）としては、アルミニウム（Ａｌ）、マグネシウム銀（Ｍｇ／Ａｇ）、ＩＴＯ、ＩＺＯ等を用いることができる。
　有機層２５上に陰極層２７を形成する方法は、特に限定されず、例えば、陰極層形成材料を吐出可能な蒸着源を用いた蒸着法を利用することができる。また、その他、例えば、スパッタリングにより成膜を行う方法を利用することもできる。
　封止層２９を形成するための材料（封止層形成材料）としては、ＳｉＯＣＮ、ＳｉＮ、ＳｉＯＮ等を用いることができる。
　陰極層２７上に封止層２９形成する方法も、特に限定されず、例えば、封止層形成材料を吐出可能な蒸着源を用いた蒸着法を利用することができ、かかる蒸着法のうち、例えばプラズマアシスト蒸着法を利用することが好ましい。
　本実施形態の有機ＥＬ素子の製造方法においては、基材２１と該基材２１の一面側に形成された絶縁層３１との積層体を予め形成し、該積層体の絶縁層３１上に、陽極層２３、発光層２５ａ、陰極層２７及び封止層２９を順次蒸着することとする。なお、その他、予め絶縁層３１が積層されていない基材２１上に、絶縁層３１を形成するための蒸着源によって基材２１上に絶縁層３１を形成し、このように形成された絶縁層３１上に、上記陽極層２３、発光層２５ａ、陰極層２７及び封止層２９を順次形成することもできる。
　本実施形態の有機ＥＬ素子の製造方法においては、具体的には例えば、先ず、塗工装置等によって基材２１の一面側に予め絶縁層３１を塗工する。
　次に、基材２１と絶縁層３１との積層体における絶縁層３１上に、上記蒸着法を利用して陽極層２３を形成する。次に、該陽極層２３上に、上記蒸着法を利用して有機層たる発光層２５ａを形成する。そして、該発光層２５ａ上に、上記蒸着法を利用して陰極層２７を形成する。次に、形成された各層を覆うように該陰極層２７の上方から、上記蒸着法を利用して封止層２９を形成する。これによって、有機ＥＬ素子２０を形成する。
　次いで、各層の形成について説明する。
　陽極層２３、有機層２５、陰極層２７及び封止層２９のパターニングは、例えば、所望の形状の開口を有するシャドーマスクを上記した各蒸着源と基材２１との間にそれぞれ介入させて、各構成層の形成材料を通過させる方法等、従来公知の方法を用いて適宜行うことができる。また、各構成層のパターンとしては、例えば、図２、図４に示すような形状が挙げられるが、これら図２、図４に特に限定されるものではない。
　例えば、図１に示すように、陽極層２３と陰極層２７とが接触していないようにしつつ、まず、上記積層体の絶縁層３１上に、陽極層２３を形成する（図２（ａ）参照）。次に、基材２１の長手方向（白抜き矢印方向）における発光部４０の少なくとも両外側において陽極層２３を覆うように有機層２５を形成する（図２（ｂ）参照）。次に、上記両外側において有機層２５よりも少なくとも両外側にはみ出し、有機層２５の上記長手方向両端縁を覆うように陰極層２７を形成する（図２（ｃ）参照）。そして、陽極層２３及び陰極層２７の一部がはみ出すように封止層２９を形成する（図２（ｄ））。これにより、有機ＥＬ素子２０が形成され、陽極層２３、有機層２５及び陰極層２７の重なり部分が発光部４０となる（図３参照）。また、図２、図３に示すように、発光部４０の上記長手方向両外側において、有機層２５の上記長手方向両端縁は、陰極層２７の両端側によって覆われている。
　かかる図２及び図３では、基材２１の幅方向（図２及び図３の左右方向）における発光部４０の両外側において、有機層２５が陰極層２７よりも外側にはみ出している。さらに、陽極層２３が有機層２５よりも外側にはみ出している。また、形成された陽極層２３と陰極層２７とは接触していない。
　また、例えば、図４に示すように、陽極層２３と陰極層２７とが接触していないようにしつつ、まず、上記積層体の絶縁層３１上に、陽極層２３を形成する（図４（ａ）参照）。次に、基材２１の長手方向（白抜き矢印方向）における発光部４０の少なくとも両外側において陽極層２３を覆うように有機層２５を形成する（図４（ｂ）参照）。次に、上記両外側において有機層２５よりも少なくとも両外側にはみ出し、有機層２５の上記長手方向両端縁を覆うように陰極層２７を形成する（図４（ｃ）参照）。そして、陽極層２３及び陰極層２７の一部がはみ出すように封止層２９を形成する（図４（ｄ）参照）。これにより、有機ＥＬ素子２０が形成され、陽極層２３、有機層２５及び陰極層２７の重なり部分が発光部４０となる（図５参照）。また、図４、図５に示すように、発光部４０の上記長手方向両外側において、有機層２５の上記長手方向両端縁は、陰極層２７の両端側によって覆われている。
　かかる図４及び図５では、基材２１の幅方向（図４及び図５の左右方向）における発光部４０の両外側のうち、一方の外側（図４及び図５の右側）においては、有機層２５が陰極層２７よりも外側にはみ出ている。また、陽極層２３が有機層２５よりも外側にはみ出している。これに対し、他方の外側（図４及び図５の左側）では、有機層２５が陽極層２３よりも外側にはみ出ている。さらに、陰極層２７が有機層２５よりも外側にはみ出している。また、形成された陽極層２３と陰極層２７とは接触していない。
　上記図３及び図５に例示された有機ＥＬ素子２０において、陽極層２３及び陰極層２７における封止層２９からはみ出している部分は、互いに接触していない。かかるはみ出し部分に通電することによって、発光部４０を発光させることができる。
　また、本実施形態では、発光部４０が矩形状であるような構成を採用したが、かかる発光部４０の形状は、特に限定されるものでない。
　かかる製造方法によれば、陽極層２３と陰極層２７とが接触していないようにしつつ、陽極層２３、有機層２５及び陰極層２７を形成することができる。このため、陽極層２３と陰極層２７とが短絡することを回避して、発光部４０の発光を可能にすることができる。また、帯状の金属製の基材２１の長手方向における発光部４０の両外側において、有機層２５の上記長手方向両端縁を陰極層２７の上記長手方向両端側で覆うことによって、基材２１の表面部に長手方向に沿って延在している微細な溝に起因する、絶縁層３１の表面部の溝を酸素や水分が通過し、封止層２９の内側まで侵入しても、有機層２５と陰極層２７との境界には到達し難くなるため、発光部４０の内側まで酸素や水分が侵入することを抑制することができる。
　従って、発光特性の劣化が抑制された有機ＥＬ素子２０を製造することが可能となる。
　なお、図２～図５に例示された有機ＥＬ素子２０では、基材２１の幅方向において発光部４０のいずれか少なくとも一方の外側では、有機層２５の両端縁が陰極層２７の両端側によって覆われていない。しかしながら、前述したように、幅方向においては、絶縁層３１の表面部の溝間の凸部と上記構成層とが接触しているため、酸素や水分が封止層２９の内部に侵入することを抑制することができる。
　また、上記製造方法を例えば、以下のように実施してもよい。ロール状に巻き取られた基材２１と絶縁層３１との積層体を供給部たる供給ローラから繰り出す。繰り出された積層体の基材２１をキャンロール（不図示）の表面に当接させて移動させつつ、該キャンロールに支持された積層体の絶縁層３１上に陽極層２３、有機層２５、陰極層２７及び封止層２９を上記の様に順次形成する。得られた有機ＥＬ素子２０を、回収部たる巻き取りローラ（不図示）により順次巻き取る。
　また、上記製造方法を、その他例えば、以下のように実施できる。ロール状に巻き取られた基材２１を上記供給ローラから繰り出す。繰り出された基材２１上に、絶縁層３１、陽極層２３、有機層２５、陰極層２７及び封止層２９を上記の様に順次形成する。得られた有機ＥＬ素子２０を上記巻き取りローラにより順次巻き取る。
　また、上記のようにして巻き取りローラで巻き取られた有機ＥＬ素子２０を繰り出し、裁断等を行って、シート状の有機ＥＬ素子２０を形成することもできる。
　上記製造方法によって得られた本実施形態の有機ＥＬ素子２０は、帯状の金属製の基材２１の一面側に絶縁層３１、第１の電極層（ここでは陽極層２３）、少なくとも発光層２５ａを有機構成層として有する有機層２５、第２の電極層（ここでは陰極層２７）及び封止層２９が順次形成されてなる。さらに、有機ＥＬ素子２０は、陽極層２３と有機層２５と陰極層２７との重なり部分を発光部４０として有する。陽極層２３と陰極層２７とが接触しておらず、且つ、有機層２５が陽極層２３よりも少なくとも基材２１の長手方向両外側にはみ出している。さらに陰極層２７が有機層２５よりも少なくとも前記長手方向両外側にはみ出している。これによって、少なくとも基材２１の長手方向における発光部４０の両外側において、有機層２５の前記長手方向両端縁が陰極層２７の前記長手方向両端側で覆われている。
　かかる有機ＥＬ素子２０は、上記の通り、劣化が抑制されたものとなる。
　本発明の有機ＥＬ素子の製造方法及び有機ＥＬ素子は、上記の通りであるが、本発明は上記各実施形態に限定されず本発明の意図する範囲内において適宜設計変更可能である。
　また、上記実施形態では、第１の電極層を陽極層２３、第２の電極層を陰極層２７としたが、その他、第１の電極層を陰極層、第２の電極層を陽極層として、上記積層体の絶縁層３１上に、陰極層、有機層及び陽極層を、順次形成することもできる。
　次に実施例を挙げて本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
＜基材の表面粗さＲａの測定＞
基材の表面粗さ（Ｒａ）の測定は、触針式表面形状測定装置（商品名：Ｄｅｋｔａｋ１５０）を用いて行った。基材の長手方向および短手方向の表面粗さをそれぞれ１０箇所測定し、１０箇所の平均値を、基材の長手方向および短手方向の表面粗さとした。
実施例１
　帯状の金属製の基材として、幅が３０ｍｍ、長さが１４０ｍ、厚み５０μｍ、基材の長手方向の表面粗さ（Ｒａ）が４０ｎｍ、基材の短手方向の表面粗さ（Ｒａ）が５５ｎｍのロール状のフレキシブルＳＵＳ基板を用いた。すなわち、実施例１においては、基材の長手方向の表面粗さが短手方向の表面粗さよりも小さくなっている。この基材の一面側に、アクリル樹脂（ＪＳＲ株式会社製　商品名「ＪＥＭ－４７７」）を塗工装置で塗工することによって、厚み３μｍの絶縁層を形成した。かかる基材と絶縁層との積層体を供給ローラ（不図示）に巻き回した。また、第１の電極層、有機層、第２の電極層及び封止層のパターンとして、図２に示すパターンを採用した。
　そして、ロール状に巻き取られた上記積層体を上記供給ローラから連続的に繰り出しつつ、繰り出された積層体の絶縁層３１上に、第１の電極層２３として厚み１００ｎｍのＡｌ層（陽極層）、有機層２５のうち、正孔注入層として厚み１０ｎｍのＨＡＴ－ＣＮ（１，４，５，８，９，１２－ヘキサアザトリフェニレンヘキサカルボニトリル）層、正孔輸送層として厚み５０ｎｍのＮＰＢ層、発光層および電子輸送層として厚み４５ｎｍのＡｌｑ３層、電子注入層として厚み０．５ｎｍのＬｉＦ層をこの順に加熱蒸着した。その後、第２の電極層２７として、厚み５／１５ｎｍのＭｇ／Ａｇ層（陰極層）を共蒸着した。さらに、スパッタリングによって厚み５０ｎｍのＩＴＯ層（陰極層）を成膜した。その後、封止層２９として厚み０．４μｍのＳｉＯＣＮをプラズマアシスト蒸着により蒸着した。得られた積層体（有機ＥＬ素子２０）は巻き取りローラで巻き取られた。
　巻き取った後、上記積層体を繰り出し、所定の長さで切断することによって、実施例１の有機ＥＬ素子２０（縦８０ｍｍ×横３０ｍｍ）を得た（図３参照）。
実施例２
　第１の電極層２３、有機層２５、第２の電極層２７及び封止層２９のパターンとして、図４に示すパターンを採用したこと以外は実施例１と同様にして、実施例２の有機ＥＬ素子２０を製造した（図５参照）。
実施例３
　有機層のうち、電子注入層として厚み０．５ｎｍのＬｉＦ層、発光層および電子輸送層として厚み４５ｎｍのＡｌｑ３層、ホール輸送層として厚み５０ｎｍのＮＰＢ、正孔注入層として厚み１０ｎｍのＣｕＰｃを、この順に加熱蒸着した。さらに、第２の電極層として、スパッタリングによって厚み５０ｎｍのＩＴＯ層（陰極層）を成膜した。その後、封止層として、厚み４００ｎｍのＳｉＯＣＮをプラズマアシスト蒸着により蒸着した。それ以外は実施例１と同様である。また、図２に示すパターンを採用して、実施例３の有機ＥＬ素子２０（縦８０ｍｍ×横３０ｍｍ）を得た（図３参照）。
比較例１
　図６に示すパターンを用いたこと以外は実施例１と同様にして、比較例１の有機ＥＬ素子５０を製造した。
比較例２
　図７に示すパターンを用いたこと以外は実施例１と同様にして、比較例２の有機ＥＬ素子５０を製造した。
比較例３
　図８に示すパターンを用いたこと以外は実施例１と同様にして、比較例３の有機ＥＬ素子５０を製造した。
比較例４
　図９に示すパターンを用いたこと以外は実施例１と同様にして、比較例４の有機ＥＬ素子５０を製造した。
比較例５
　図６に示すパターンを用いたこと以外は実施例３と同様にして、比較例５の有機ＥＬ素子５０を製造した。
＜有機ＥＬ素子の寿命評価＞
　得られた各有機ＥＬ素子を、６０℃／９０％ＲＨに設定された恒温恒湿器内に、発光していない状態で保存した。保存開始後、所定時間ごとに各有機ＥＬ素子を取り出して発光させた。発光部の面積（発光している領域の面積）を測定した。保存時間と発光部の面積との関係をグラフ上にプロットした。そして、発光部の面積が減少し始める時間を有機ＥＬ素子の寿命とした。なお、発光部の面積の測定は、株式会社キーエンス製のデジタルマイクロスコープ（商品名：ＶＨＸ－１０００）を用いて行った。結果を表１に示す。
　実施例１～３では、基材の長手方向における発光部の両外側において、有機層の両端縁が第２の電極層（陰極層）の両端側で覆われている。比較例１～５では、有機層の両端縁の少なくとも一方が陰極層で覆われていない。表１に示すように、実施例１～３と比較例１～５とを比較すると、実施例１～３の寿命は、比較例１～５の寿命の１．５倍以上長かった。この結果、本発明の製造方法によって得られた有機ＥＬ素子は、発光特性の劣化が抑制されており、長期間安定性に優れることがわかった。
　なお、上記実施例では絶縁層として有機絶縁層を用いたが、無機絶縁層を用いても同様に、本発明の効果が得られる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
２０：有機ＥＬ素子、２１：基材、２３：陽極層（第１の電極層）、２５：有機層、２５ａ： 発光層（有機構成層）、２７：陰極層（第２の電極層）、２９：封止層、４０：発光部

Claims (4)

  1. 　帯状の金属製の基材の一面側に絶縁層、第１の電極層、少なくとも発光層を有機構成層として有する有機層、第２の電極層及び封止層を順次形成することにより、
    　前記第１の電極層と前記有機層と前記第２の電極層との重なり部分を発光部として有する有機ＥＬ素子を作製する有機ＥＬ素子の製造方法であって、
    　前記第１の電極層と前記第２の電極層とが接触していないようにしつつ、
    　前記有機層を前記第１の電極層よりも少なくとも前記基材の長手方向両外側にはみ出させ、さらに前記第２の電極層を前記有機層よりも少なくとも前記長手方向両外側にはみ出させることによって、少なくとも前記基材の長手方向における前記発光部の両外側において、前記有機層の前記長手方向両端縁が前記第２の電極層の前記長手方向両端側で覆われるように、前記第１の電極層、前記有機層及び前記第２の電極層を形成することを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法。
  2. 　前記基材の長手方向の表面粗さが短手方向の表面粗さより小さい請求項１に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
  3. 　帯状の金属製の基材の一面側に絶縁層、第１の電極層、少なくとも発光層を有機構成層として有する有機層、第２の電極層及び封止層が順次形成されてなり、
    　前記第１の電極層と前記有機層と前記第２の電極層との重なり部分を発光部として有する有機ＥＬ素子であって、
    　前記第１の電極層と前記第２の電極層とが接触しておらず、且つ、
    　前記有機層が前記第１の電極層よりも少なくとも前記基材の長手方向両外側にはみ出しており、さらに前記第２の電極層が前記有機層よりも少なくとも前記長手方向両外側にはみ出していることによって、少なくとも前記基材の長手方向における前記発光部の両外側において、前記有機層の前記長手方向両端縁が前記第２の電極層の前記長手方向両端側で覆われていることを特徴とする有機ＥＬ素子。
  4. 　前記基材の長手方向の表面粗さが短手方向の表面粗さより小さい請求項３に記載の有機ＥＬ素子。
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