WO2013111775A1 - 半導体装置の製造方法、及び、当該半導体装置の製造方法に用いられる接着フィルム - Google Patents

半導体装置の製造方法、及び、当該半導体装置の製造方法に用いられる接着フィルム Download PDF

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俊平 田中
雄一郎 宍戸
謙司 大西
文輝 浅井
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日東電工株式会社
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  • Patent Document 2 a groove having a depth of cut shallower than the wafer thickness is formed from the wafer surface on which the semiconductor circuit is formed, a surface protection sheet is adhered to the circuit surface, and the back surface of the semiconductor wafer is ground. As a result, the wafer thickness is reduced, and finally the wafer is divided into individual chips, and a dicing die bond sheet consisting of a base material and an adhesive layer formed on the ground surface is attached to the ground surface.
  • the surface protective sheet is peeled off, the adhesive layer of the dicing die bond sheet exposed between the chips is cut, and the adhesive layer is peeled off from the base material of the dicing die bond sheet together with the chip.
  • the protective film is peeled off and removed before the laser beam irradiation. Therefore, it can suppress that the debris at the time of cut
  • polyesters such as polyurethane, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polycarbonate, polyimide, polyetheretherketone, polyimide, poly
  • an external cross-linking agent can be appropriately employed for the pressure-sensitive adhesive in order to increase the number average molecular weight of an acrylic polymer as a base polymer.
  • Specific means of the external crosslinking method includes a method of adding and reacting a so-called crosslinking agent such as a polyisocyanate compound, an epoxy compound, an aziridine compound, or a melamine-based crosslinking agent.
  • a so-called crosslinking agent such as a polyisocyanate compound, an epoxy compound, an aziridine compound, or a melamine-based crosslinking agent.
  • the amount used is appropriately determined depending on the balance with the base polymer to be cross-linked and further depending on the intended use as an adhesive. Generally, it is preferable to add about 5 parts by weight or less, more preferably 0.1 to 5 parts by weight, with respect to 100 parts by weight of the base polymer.
  • additives such as conventionally well-known various tackifier and anti-aging agent, other than the said component as needed to an adhesive
  • ⁇ Production of dicing film> Prepared an olefin-based multilayer film (thickness 100 ⁇ m) in which a layer (thickness 80 ⁇ m) made of a mixed resin of polypropylene and ethylene-propylene rubber and a layer (thickness 20 ⁇ m) made of LLDP (linear low density polyethylene) are laminated did.
  • the layer made of LLDP is embossed on the surface opposite to the bonding surface.
  • This adhesive composition solution was applied on a release film (release liner) made of a polyethylene terephthalate film having a thickness of 50 ⁇ m after the silicone release treatment, and then dried at 130 ° C. for 2 minutes. Thereby, an adhesive film F having a thickness of 25 ⁇ m according to Example 6 was obtained.
  • the punched adhesive films B to J are pasted so as to cover the portions of the prepared dicing film irradiated with ultraviolet rays, and sample B according to Example 2, Sample C according to Example 3, Sample D according to Example 4, Sample E according to Example 5, Sample F according to Example 6, Sample G according to Example 7, Sample H according to Comparative Example 1, Sample I according to Comparative Example 2, Comparative Example 3 Sample J according to was obtained.

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Abstract

接着フィルムの切断信頼性を向上でき且つ接着フィルムによるデブリ汚染を抑制することが可能な半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。半導体ウェハ（４）の表面に溝（４Ｓ）を形成した後、保護用粘着フィルム（４４）を貼り付け、半導体ウェハの裏面研削を行い、裏面から溝を表出させる工程と、半導体ウェハの裏面に接着フィルムを貼り付けた後、保護用粘着フィルムを剥離する工程と、接着フィルムが表出している溝に沿って波長３５５ｎｍのレーザーを照射し、接着フィルムを切断する工程とを具備し、接着フィルムが（ａ）波長３５５ｎｍにおける吸光係数が４０ｃｍ－１以上であり、（ｂ）５０℃での引張貯蔵弾性率が０．５ＭＰａ以上２０ＭＰａ以下であり、且つ、（ｃ）１２０℃での引張貯蔵弾性率が０．３ＭＰａ以上７ＭＰａ以下、又は、１２０℃での溶融粘度が２０００Ｐａ・ｓ以上である半導体装置の製造方法を提供する。

Description

半導体装置の製造方法、及び、当該半導体装置の製造方法に用いられる接着フィルム
　本発明は、半導体装置の製造方法、及び、当該半導体装置の製造方法に用いられる接着フィルムに関する。
　従来、半導体装置の製造過程に於いてリードフレームや電極部材への半導体チップの固着には、銀ペーストが用いられている。かかる固着処理は、リードフレームのダイパッド等の上にペースト状接着剤を塗工し、それに半導体チップを搭載してペースト状接着剤層を硬化させて行う。
　しかしながら、ペースト状接着剤はその粘度挙動や劣化等により塗工量や塗工形状等に大きなバラツキを生じる。その結果、形成されるペースト状接着剤厚は不均一となるため半導体チップに係わる固着強度の信頼性が乏しい。即ち、ペースト状接着剤の塗工量が不足すると半導体チップと電極部材との間の固着強度が低くなり、後続のワイヤーボンディング工程で半導体チップが剥離する。一方、ペースト状接着剤の塗工量が多すぎると半導体チップの上までペースト状接着剤が流延して特性不良を生じ、歩留まりや信頼性が低下する。この様な固着処理に於ける問題は、半導体チップの大型化に伴って特に顕著なものとなっている。そのため、ペースト状接着剤の塗工量の制御を頻繁に行う必要があり、作業性や生産性に支障をきたす。
　このペースト状接着剤の塗工工程に於いて、ペースト状接着剤をリードフレームや形成チップに別途塗布する方法がある。しかし、この方法では、ペースト状接着剤層の均一化が困難であり、またペースト状接着剤の塗布に特殊装置や長時間を必要とする。このため、ダイシング工程で半導体ウェハを接着保持するとともに、マウント工程に必要なチップ固着用の接着剤層をも付与するダイシングフィルムが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
　このダイシングフィルムは、支持基材上に接着剤層を剥離可能に設けてなるものであり、その接着剤層による保持下に半導体ウェハをダイシングしたのち、支持基材を延伸して形成チップを接着剤層とともに剥離し、これを個々に回収してその接着剤層を介してリードフレーム等の被着体に固着させるようにしたものである。
　ダイシングフィルム上にダイボンドフィルムが積層されたダイシング・ダイボンドフィルムを使用し、半導体ウェハをダイボンドフィルムの保持下でダイシングする場合、このダイボンドフィルムを半導体ウェハと同時に切断する必要がある。ところが、ダイヤモンドブレードを用いた一般的なダイシング方法においては、ダイシング時に発生する熱の影響によるダイボンドフィルムとダイシングフィルムとの癒着、切削屑の発生による半導体チップ同士の固着、半導体チップ側面への切削屑の付着等が懸念されるため、切断速度を遅くする必要があり、コストの上昇を招いていた。
　特許文献２には、半導体回路が形成されたウエハ表面からそのウエハ厚さよりも浅い切込み深さの溝を形成し、該回路面に表面保護シートを貼着し、上記半導体ウエハの裏面研削をすることでウエハの厚みを薄くするとともに、最終的には個々のチップへの分割を行い、研削面に、基材とその上に形成された接着剤層とからなるダイシング・ダイボンドシートを貼着し、該表面保護シートを剥離し、チップ間に露出しているダイシング・ダイボンドシートの接着剤層を切断し、該接着剤層をチップとともに、ダイシング・ダイボンドシートの基材から剥離し、該接着剤層を介して、チップを所定の基台上に固着する半導体装置の製造方法が開示されている。
　特許文献２に記載の半導体装置の製造方法では、ダイシングブレードを用いてチップ間に露出している接着剤層を切断している。また、接着剤層の切断に用いられるダイシングブレードの幅は、チップの溝幅よりも狭い幅のものを使用し、さらにそのプレード幅はチップ間溝幅の３０～９０％程度であることが望ましいとされている。しかしながら、特許文献２の半導体装置の製造方法では、チップ裏面に貼り付けられている、切断された接着剤層は、平面視でチップよりも大きく、チップからはみ出した状態となる場合がある。チップからはみ出した、隣接する接着剤層同士は、その距離が近いため再接着する場合がある。そのため、ピックアップができなくなる場合があるという問題があった。また、接着剤層がチップからはみ出した状態であると、接着剤層の近辺に設けられているワイヤーポンディングパッドを接着剤層に由来する物質により、汚染する場合があるといった問題があった。また、はみ出した接着剤層のためにワイヤーポンディングし難くなる場合があるといった問題があった。
　特許文献３には、（ａ）予め半導体ウエハ基板表面の貫通部相当部位に、半導体ウエハの最終製品厚さ程度に溝切り加工する工程と、（ｂ）溝切り加工された前記半導体ウエハ基板表面に保護用粘着テープを貼合する工程と、（ｃ）予め溝切り加工された部位が貫通する厚さまで前記半導体ウエハ基板を薄膜化する工程と、（ｄ）前記半導体ウエハ基板の裏面研削加工終了後に当該保護用粘着テープを貼り合わせたまま、前記半導体ウエハ基板の裏面にダイボンドシートを貼り合せる工程と、（ｄｅ１）前記ダイボンドシートに、さらに基材フィルム上に紫外線の照射によって硬化する紫外線硬化型粘着剤からなる粘着剤層が形成されたダイシングテープを貼り合せる工程と、（ｄｅ２）前記ダイシングテープの基材フィルム側から紫外線を照射し前記粘着剤層を硬化する工程と、（ｅ）前記半導体ウエハの貫通部に沿って、当該ダイボンドシート及び前記硬化後の粘着剤層にレーザーを照射して、当該ダイボンドシートを切断する工程とを有する、接着剤付き半導体チップの製造方法が開示されている。
　特許文献３に記載の接着剤付き半導体チップの製造方法では、保護用粘着テープを半導体ウエハに貼り合わせた状態のまま、ダイシングフィルム側から、レーザーを照射してダイボンドシートを切断している。そのため、レーザーによりダイボンドシートを切断した際の屑（デブリ）が保護用粘着テープ上にある、チップ間の空隙に詰まることになる。その結果、ダイボンドシートを切断した際の屑がダイボンドシートと融着するなどし、ダイボンドシートの切断が適切に行なわれないこととなる。特に、チップ厚さが薄い場合や、ダイボンドシートの厚さが厚い場合には、ダイボンドシートの切断が適切に行なわれない可能性が非常に高くなる。そのため、その後のピックアップ工程でダイシングテープからダイボンドシートを剥離できないこととなるといった問題があった。
　そこで、特許文献４には、ウエーハの表面に、得ようとするチップの厚さに相当する深さの分割溝を、分割予定ラインに沿って形成する分割溝形成工程と、前記ウエーハの表面に保護フィルムを貼着する保護フィルム貼着工程と、前記ウエーハの裏面を、前記分割溝が表出するまで研削して、ウエーハを個々の前記チップに分割する裏面研削工程と、複数のチップに分割された前記ウエーハの裏面に、接着フィルムが貼着され、かつ、この接着フィルムに、環状のフレームに支持された伸延性を有するダイシングテープが貼着された状態とする接着フィルム貼着工程と、前記保護フィルムを剥がして除去した後、前記分割溝に通したレーザ光線を前記接着フィルムに照射することによって該接着フィルムを前記分割溝に沿って切断する接着フィルム切断工程とを備えるデバイスの製造方法が開示されている（特に、段落［００４６］、段落［００５１］、図１０参照）。
　特許文献４に記載のデバイスの製造方法では、レーザ光線の照射前に保護フィルムを剥がして除去している。そのため、レーザ光線により接着フィルムを切断した際のデブリがチップ間の空隙に詰まることを抑制することができる。
特開昭６０－５７６４２号公報 特開２００１－１５６０２７号公報 特開２０１１－００９７６３号公報 特開２００７－０８１０３７号公報
　しかしながら、特許文献４に記載のデバイスの製造方法では、レーザ光線の照射前に保護フィルムを剥がして除去しているため、レーザ光線照射時に接着フィルムから飛散するデブリがチップ表面に付着する可能性があるといった点で改善の余地があった。
　本発明は前記問題点に鑑みなされたものであり、その目的は、接着フィルムの切断信頼性を向上でき、且つ、接着フィルムによるデブリ汚染を抑制することが可能な半導体装置の製造方法、及び、当該半導体装置の製造方法に使用される接着フィルムを提供することにある。
　本願発明者等は、前記従来の問題点を解決すべく、半導体装置の製造方法、及び、当該半導体装置の製造方法に使用される接着フィルムについて検討した。その結果、下記の構成を採用することにより、接着フィルムの切断信頼性を向上でき、且つ、接着フィルムによるデブリ汚染を抑制することが可能であることを見出して本発明を完成させるに至った。
　すなわち、本発明に係る半導体装置の製造方法は、半導体ウェハの表面に裏面まで達しない溝を形成する工程Ａと、溝が形成された前記半導体ウェハの表面に保護用粘着フィルムを貼り付ける工程Ｂと、前記半導体ウェハの裏面研削を行い、裏面から前記溝を表出させる工程Ｃと、前記工程Ｃの後、前記半導体ウェハの裏面に、接着フィルムを貼り付ける工程Ｄと、前記工程Ｄの後に、前記保護用粘着フィルムを剥離する工程Ｅと、前記工程Ｅの後に、前記接着フィルムが表出している前記溝に沿って波長３５５ｎｍのレーザーを照射し、前記接着フィルムを切断する工程Ｆとを具備し、前記接着フィルムが、（ａ）波長３５５ｎｍにおける吸光係数が４０ｃｍ－１以上であり、（ｂ）５０℃での引張貯蔵弾性率が０．５ＭＰａ以上２０ＭＰａ以下であり、且つ、（ｃ）１２０℃での引張貯蔵弾性率が０．３ＭＰａ以上７ＭＰａ以下、又は、１２０℃での溶融粘度が２０００Ｐａ・ｓ以上であることを特徴とする。
　前記構成によれば、レーザーにより接着フィルムを切断するため、切断された接着フィルムが、平面視でチップからはみ出した状態となることを抑制することができる。また、前記構成によれば、レーザーの照射前に保護用粘着フィルムを剥がしている。従って、レーザーにより接着フィルムを切断した際のデブリがチップ間の空隙に詰まることを抑制することができる。その結果、レーザーによる接着フィルムの切断信頼性を向上させることができる。
　また、前記接着フィルムは、（ａ）波長３５５ｎｍにおける吸光係数が４０ｃｍ－１以上であるため、３５５ｎｍのレーザーにより好適に切断される。また、前記接着フィルムが、（ｂ）５０℃での引張貯蔵弾性率が０．５ＭＰａ以上２０ＭＰａ以下であり、且つ、（ｃ）１２０℃での引張貯蔵弾性率が０．３ＭＰａ以上７ＭＰａ以下、又は、１２０℃での溶融粘度が２０００Ｐａ・ｓ以上であり、ある程度の硬さを有する。従って、レーザ照射時に接着フィルムから飛散するデブリの量が少なくなる。その結果、チップ表面にデブリが付着することを抑制することができる。
　このように、前記構成によれば、接着フィルムの切断信頼性を向上でき、且つ、接着フィルムによるデブリ汚染を抑制することができる。
　前記構成において、前記接着フィルムは、ダイボンドフィルムであり、前記工程Ｄは、前記工程Ｃの後、前記半導体ウェハの裏面に、前記ダイボンドフィルムを貼り付ける工程であることが好ましい。
　前記構成において、前記ダイボンドフィルムは、ダイシングフィルム上に積層されていることが好ましい。
　前記構成において、前記接着フィルムが、被着体上にフリップチップ接続された半導体素子の裏面に形成するためのフリップチップ型半導体裏面用フィルムであり、前記工程Ｄは、前記工程Ｃの後、前記半導体ウェハの裏面に、前記フリップチップ型半導体裏面用フィルムを貼り付ける工程であることが好ましい。
　前記構成において、前記フリップチップ型半導体裏面用フィルムは、ダイシングフィルム上に積層されていることが好ましい。
　前記構成において、前記接着フィルムは、熱硬化性樹脂としてのエポキシ樹脂及びフェノール樹脂と、熱可塑性樹脂としてのアクリル樹脂と、フィラーとを含み、エポキシ樹脂、フェノール樹脂及びアクリル樹脂の合計重量をＡ重量部とし、フィラーの重量をＢ重量部としたときのＢ／（Ａ＋Ｂ）が、０以上０．７以下であることが好ましい。前記Ｂ／（Ａ＋Ｂ）が０．７以下であると、３５５ｎｍのレーザーにより切断し易い。
　また、本発明に係る接着フィルムは、前記に記載の半導体装置の製造方法に使用される接着フィルムであって、（ａ）波長３５５ｎｍにおける吸光係数が４０ｃｍ－１以上であり、（ｂ）５０℃での引張貯蔵弾性率が０．５ＭＰａ以上２０ＭＰａ以下であり、且つ、（ｃ）１２０℃での引張貯蔵弾性率が０．３ＭＰａ以上７ＭＰａ以下、又は、１２０℃での溶融粘度が２０００Ｐａ・ｓ以上であることを特徴とする。
　前記構成によれば、前記接着フィルムは、（ａ）波長３５５ｎｍにおける吸光係数が４０ｃｍ－１以上であるため、３５５ｎｍのレーザーにより好適に切断される。また、前記接着フィルムが、（ｂ）５０℃での引張貯蔵弾性率が０．５ＭＰａ以上２０ＭＰａ以下であり、且つ、（ｃ）１２０℃での引張貯蔵弾性率が０．３ＭＰａ以上７ＭＰａ以下、又は、１２０℃での溶融粘度が２０００Ｐａ・ｓ以上であり、ある程度の硬さを有する。従って、レーザ照射時に接着フィルムから飛散するデブリの量が少なくなる。その結果、チップ表面にデブリが付着することを抑制することができる。
　前記構成において、前記接着フィルムは、熱硬化性樹脂としてのエポキシ樹脂及びフェノール樹脂と、熱可塑性樹脂としてのアクリル樹脂と、フィラーとを含み、エポキシ樹脂、フェノール樹脂及びアクリル樹脂の合計重量をＡ重量部とし、フィラーの重量をＢ重量部としたときのＢ／（Ａ＋Ｂ）が、０以上０．７以下であることが好ましい。前記Ｂ／（Ａ＋Ｂ）が０．７以下であると、３５５ｎｍのレーザーにより切断し易い。
本発明の一実施形態に係る半導体装置の一製造方法を説明するための断面模式図である。 本発明の一実施形態に係る半導体装置の一製造方法を説明するための断面模式図である。 本発明の一実施形態に係る半導体装置の一製造方法を説明するための断面模式図である。 本発明の一実施形態に係る半導体装置の一製造方法を説明するための断面模式図である。 本発明の一実施形態に係る半導体装置の一製造方法を説明するための断面模式図である。 本発明の一実施形態に係る半導体装置の一製造方法を説明するための断面模式図である。 本発明の一実施形態に係る半導体装置の一製造方法を説明するための断面模式図である。 本発明の一実施形態に係る半導体装置の一製造方法を説明するための断面模式図である。
　本発明の一実施形態に係る半導体装置の製造方法について、以下に説明する。以下では、まず、本発明の接着フィルムがダイボンドフィルムである場合について説明する。図１～図８は、本発明の一実施形態に係る半導体装置の一製造方法を説明するための断面模式図である。
　本実施形態に係る半導体装置の製造方法は、半導体ウェハの表面に裏面まで達しない溝を形成する工程Ａと、溝が形成された前記半導体ウェハの表面に保護用粘着フィルムを貼り付ける工程Ｂと、前記半導体ウェハの裏面研削を行い、裏面から前記溝を表出させる工程Ｃと、前記工程Ｃの後、前記半導体ウェハの裏面に、ダイボンドフィルムを貼り付ける工程Ｄと、前記工程Ｄの後に、前記保護用粘着フィルムを剥離する工程Ｅと、前記工程Ｅの後に、前記ダイボンドフィルムが表出している前記溝に沿って波長３５５ｎｍのレーザーを照射し、前記ダイボンドフィルムを切断する工程Ｆとを少なくとも具備し、前記ダイボンドフィルムが、（ａ）波長３５５ｎｍにおける吸光係数が４０ｃｍ－１以上であり、（ｂ）５０℃での引張貯蔵弾性率が０．５ＭＰａ以上２０ＭＰａ以下であり、且つ、（ｃ）１２０℃での引張貯蔵弾性率が０．３ＭＰａ以上７ＭＰａ以下、又は、１２０℃での溶融粘度が２０００Ｐａ・ｓ以上である。なお、本明細書において、半導体ウェハの表面とは、回路が形成された面をいう。
　［溝形成工程］
　まず、図１に示すように、回転ブレード４１にて半導体ウェハ４の表面４Ｆに裏面４Ｒまで達しない溝４Ｓを形成する（工程Ａ）。なお、溝４Ｓの形成時には、半導体ウェハ４は、図示しない支持基材にて支持されてもよい。溝４Ｓの深さは、半導体ウェハ４の厚さ等に応じて適宜設定可能である。
　［保護用粘着フィルム貼付工程］
　次に、図２に示すように、溝４Ｓが形成された半導体ウェハ４の表面４Ｆに、保護部材４２が有する保護用粘着フィルム４４を貼り付ける（工程Ｂ）。保護部材４２は、中央に開口部を有するリング状のフレーム４３と、フレーム４３の裏面に貼付され、フレーム４３の開口部を塞ぐ保護用粘着フィルム４４とを有しており、保護用粘着フィルム４４は、その粘着力により半導体ウェハ４を支持している。保護用粘着フィルム４４としては、従来公知のもの（例えば、特開２００５－３３２８７３号公報参照）を採用することができる。
　［溝表出工程］
　次に、溝４Ｓ形成時に支持基材を用いた場合は、これを剥離する。その後、図３に示すように、研削砥石４５にて裏面研削を行い、裏面４Ｒから溝４Ｓを表出させる（工程Ｃ）。
　［ダイシング・ダイボンドフィルム貼付工程］
　次に、ダイシング・ダイボンドフィルム１２を準備する。ダイシング・ダイボンドフィルム１２は、ダイシングフィルム１１上にダイボンドフィルム３が積層された構成を有する（図４参照）。ダイシングフィルム１１は基材１上に粘着剤層２を積層して構成されており、ダイボンドフィルム３はその粘着剤層２上に設けられている。
　その後、図４に示すように、溝４Ｓが表出した半導体ウェハ４の裏面４Ｒにダイシング・ダイボンドフィルム１２のダイボンドフィルム３を貼り付ける（工程Ｄ）。なお、半導体ウェハ４への保護用粘着フィルム４４や、ダイシング・ダイボンドフィルム１２の貼り付けは、従来公知のテープ貼付装置を用いることができ、裏面研削も、従来公知の研削装置を用いることができる。
　ここで、ダイシング・ダイボンドフィルム１２、及び、ダイボンドフィルム３について説明するこことする。
　（ダイシング・ダイボンドフィルム）
　上述の通り、ダイシング・ダイボンドフィルム１２は、ダイシングフィルム１１上にダイボンドフィルム３が積層された構成を有する。ダイシングフィルム１１は基材１上に粘着剤層２を積層して構成されており、ダイボンドフィルム３はその粘着剤層２上に設けられている。
　基材１はダイシング・ダイボンドフィルム１２の強度母体となるものである。基材１としては、例えば、低密度ポリエチレン、直鎖状ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、超低密度ポリエチレン、ランダム共重合ポリプロピレン、ブロック共重合ポリプロピレン、ホモポリプロレン、ポリブテン、ポリメチルペンテン等のポリオレフィン、エチレン－酢酸ビニル共重合体、アイオノマー樹脂、エチレン－（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン－（メタ）アクリル酸エステル（ランダム、交互）共重合体、エチレン－ブテン共重合体、エチレン－ヘキセン共重合体、ポリウレタン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリアミド、全芳香族ポリアミド、ポリフェニルスルフイド、アラミド（紙）、ガラス、ガラスクロス、フッ素樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、セルロース系樹脂、シリコーン樹脂、金属（箔）、紙等が挙げられる。
　また基材１の材料としては、前記樹脂の架橋体等のポリマーが挙げられる。前記プラスチックフィルムは、無延伸で用いてもよく、必要に応じて一軸又は二軸の延伸処理を施したものを用いてもよい。延伸処理等により熱収縮性を付与した樹脂シートによれば、ダイシング後にその基材１を熱収縮させることにより粘着剤層２とダイボンドフィルム３との接着面積を低下させて、半導体チップ（半導体素子）の回収の容易化を図ることができる。
　基材１の表面は、隣接する層との密着性、保持性等を高める為、慣用の表面処理、例えば、クロム酸処理、オゾン暴露、火炎暴露、高圧電撃暴露、イオン化放射線処理等の化学的又は物理的処理、下塗剤（例えば、後述する粘着物質）によるコーティング処理を施すことができる。基材１は、同種又は異種のものを適宜に選択して使用することができ、必要に応じて数種をブレンドしたものを用いることができる。
　基材１の厚さは、特に制限されず適宜に決定できるが、一般的には５～２００μｍ程度である。
　粘着剤層２の形成に用いる粘着剤としては特に制限されず、例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤等の一般的な感圧性粘着剤を用いることができる。前記感圧性粘着剤としては、半導体ウェハやガラス等の汚染をきらう電子部品の超純水やアルコール等の有機溶剤による清浄洗浄性等の点から、アクリル系ポリマーをベースポリマーとするアクリル系粘着剤が好ましい。
　前記アクリル系ポリマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステル（例えば、メチルエステル、エチルエステル、プロピルエステル、イソプロピルエステル、ブチルエステル、イソブチルエステル、ｓ－ブチルエステル、ｔ－ブチルエステル、ペンチルエステル、イソペンチルエステル、ヘキシルエステル、ヘプチルエステル、オクチルエステル、２－エチルヘキシルエステル、イソオクチルエステル、ノニルエステル、デシルエステル、イソデシルエステル、ウンデシルエステル、ドデシルエステル、トリデシルエステル、テトラデシルエステル、ヘキサデシルエステル、オクタデシルエステル、エイコシルエステル等のアルキル基の炭素数１～３０、特に炭素数４～１８の直鎖状又は分岐鎖状のアルキルエステル等）及び（メタ）アクリル酸シクロアルキルエステル（例えば、シクロペンチルエステル、シクロヘキシルエステル等）の１種又は２種以上を単量体成分として用いたアクリル系ポリマー等が挙げられる。尚、（メタ）アクリル酸エステルとはアクリル酸エステル及び／又はメタクリル酸エステルをいい、本発明の（メタ）とは全て同様の意味である。
　前記アクリル系ポリマーは、凝集力、耐熱性等の改質を目的として、必要に応じ、前記（メタ）アクリル酸アルキルエステル又はシクロアルキルエステルと共重合可能な他のモノマー成分に対応する単位を含んでいてもよい。この様なモノマー成分として、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチル（メタ）アクリレート、カルボキシペンチル（メタ）アクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸等のカルボキシル基含有モノマー；無水マレイン酸、無水イタコン酸等の酸無水物モノマー；（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸４－ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸６－ヒドロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸８－ヒドロキシオクチル、（メタ）アクリル酸１０－ヒドロキシデシル、（メタ）アクリル酸１２－ヒドロキシラウリル、（４－ヒドロキシメチルシクロヘキシル）メチル（メタ）アクリレート等のヒドロキシル基含有モノマー；スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２－（メタ）アクリルアミド－２－メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸等のスルホン酸基含有モノマー；２－ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェート等のリン酸基含有モノマー；アクリルアミド、アクリロニトリル等が挙げられる。これら共重合可能なモノマー成分は、１種又は２種以上使用できる。これら共重合可能なモノマーの使用量は、全モノマー成分の４０重量％以下が好ましい。
　更に、前記アクリル系ポリマーは、架橋させる為、多官能性モノマー等も、必要に応じて共重合用モノマー成分として含むことができる。この様な多官能性モノマーとして、例えば、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、ポリエステル（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらの多官能性モノマーも１種又は２種以上用いることができる。多官能性モノマーの使用量は、粘着特性等の点から、全モノマー成分の３０重量％以下が好ましい。
　前記アクリル系ポリマーは、単一モノマー又は２種以上のモノマー混合物を重合に付すことにより得られる。重合は、溶液重合、乳化重合、塊状重合、懸濁重合等の何れの方式で行うこともできる。清浄な被着体への汚染防止等の点から、低分子量物質の含有量が小さいのが好ましい。この点から、アクリル系ポリマーの数平均分子量は、好ましくは３０万以上、更に好ましくは４０万～３００万程度である。
　また、前記粘着剤には、ベースポリマーであるアクリル系ポリマー等の数平均分子量を高める為、外部架橋剤を適宜に採用することもできる。外部架橋方法の具体的手段としては、ポリイソシアネート化合物、エポキシ化合物、アジリジン化合物、メラミン系架橋剤等のいわゆる架橋剤を添加し反応させる方法が挙げられる。外部架橋剤を使用する場合、その使用量は、架橋すべきベースポリマーとのバランスにより、更には、粘着剤としての使用用途によって適宜決定される。一般的には、前記ベースポリマー１００重量部に対して、５重量部程度以下、更には０．１～５重量部配合するのが好ましい。更に、粘着剤には、必要により、前記成分のほかに、従来公知の各種の粘着付与剤、老化防止剤等の添加剤を用いてもよい。
　粘着剤層２は放射線硬化型粘着剤により形成することができる。放射線硬化型粘着剤は、紫外線等の放射線の照射により架橋度を増大させてその粘着力を容易に低下させることができ、粘着剤層２のワーク貼り付け部分に対応する部分のみを放射線照射することにより他の部分との粘着力の差を設けることができる。
　また、ダイボンドフィルム３が貼り付けられる部分よりもわずかに狭い範囲で、放射線硬化型の粘着剤層２を予め硬化させることにより、粘着力が著しく低下した部分を容易に形成できる。硬化し、粘着力の低下した部分にダイボンドフィルム３が貼付けられる為、粘着剤層２の前記粘着力の低下した部分とダイボンドフィルム３との界面は、ピックアップ時に容易に剥がれる性質を有する。一方、放射線を照射していない部分は十分な粘着力を有しており、ダイシング時に半導体ウエハを確実に保持できる。
　前述の通り、ダイシング・ダイボンドフィルム１２の粘着剤層２に於いて、未硬化の放射線硬化型粘着剤により形成されている部分はダイボンドフィルム３と粘着し、ダイシングする際の保持力を確保できる。この様に放射線硬化型粘着剤は、チップ状ワーク（半導体チップ等）を基板等の被着体に固着する為のダイボンドフィルム３を、接着・剥離のバランスよく支持することができる。
　放射線硬化型粘着剤は、炭素－炭素二重結合等の放射線硬化性の官能基を有し、かつ粘着性を示すものを特に制限なく使用することができる。放射線硬化型粘着剤としては、例えば、前記アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤等の一般的な感圧性粘着剤に、放射線硬化性のモノマー成分やオリゴマー成分を配合した添加型の放射線硬化型粘着剤を例示できる。
　配合する放射線硬化性のモノマー成分としては、例えば、ウレタンオリゴマー、ウレタン（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリストールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリストールモノヒドロキシペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、１，４－ブタンジオールジ（メタ）アクリレート等が挙げられる。また放射線硬化性のオリゴマー成分はウレタン系、ポリエーテル系、ポリエステル系、ポリカーボネート系、ポリブタジエン系等種々のオリゴマーがあげられ、その分子量が１００～３００００程度の範囲のものが適当である。放射線硬化性のモノマー成分やオリゴマー成分の配合量は、前記粘着剤層の種類に応じて、粘着剤層の粘着力を低下できる量を、適宜に決定することができる。一般的には、粘着剤を構成するアクリル系ポリマー等のベースポリマー１００重量部に対して、例えば５～５００重量部、好ましくは４０～１５０重量部程度である。
　また、放射線硬化型粘着剤としては、前記説明した添加型の放射線硬化型粘着剤のほかに、ベースポリマーとして、炭素－炭素二重結合をポリマー側鎖又は主鎖中もしくは主鎖末端に有するものを用いた内在型の放射線硬化型粘着剤が挙げられる。内在型の放射線硬化型粘着剤は、低分子成分であるオリゴマー成分等を含有する必要がなく、又は多くは含まない為、経時的にオリゴマー成分等が粘着剤在中を移動することなく、安定した層構造の粘着剤層を形成することができる為好ましい。
　前記炭素－炭素二重結合を有するベースポリマーは、炭素－炭素二重結合を有し、かつ粘着性を有するものを特に制限なく使用できる。この様なベースポリマーとしては、アクリル系ポリマーを基本骨格とするものが好ましい。アクリル系ポリマーの基本骨格としては、前記例示したアクリル系ポリマーが挙げられる。
　前記アクリル系ポリマーへの炭素－炭素二重結合の導入法は特に制限されず、様々な方法を採用できるが、炭素－炭素二重結合はポリマー側鎖に導入するのが分子設計が容易である。例えば、予め、アクリル系ポリマーに官能基を有するモノマーを共重合した後、この官能基と反応しうる官能基及び炭素－炭素二重結合を有する化合物を、炭素－炭素二重結合の放射線硬化性を維持したまま縮合又は付加反応させる方法が挙げられる。
　これら官能基の組合せの例としては、カルボン酸基とエポキシ基、カルボン酸基とアジリジル基、ヒドロキシル基とイソシアネート基等が挙げられる。これら官能基の組合せのなかでも反応追跡の容易さから、ヒドロキシル基とイソシアネート基との組合せが好適である。また、これら官能基の組み合わせにより、前記炭素－炭素二重結合を有するアクリル系ポリマーを生成するような組合せであれば、官能基はアクリル系ポリマーと前記化合物のいずれの側にあってもよいが、前記の好ましい組み合わせでは、アクリル系ポリマーがヒドロキシル基を有し、前記化合物がイソシアネート基を有する場合が好適である。この場合、炭素－炭素二重結合を有するイソシアネート化合物としては、例えば、メタクリロイルイソシアネート、２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネート、ｍ－イソプロペニル－α，α－ジメチルベンジルイソシアネート等が挙げられる。また、アクリル系ポリマーとしては、前記例示のヒドロキシ基含有モノマーや２－ヒドロキシエチルビニルエーテル、４－ヒドロキシブチルビニルエーテル、ジエチレングルコールモノビニルエーテルのエーテル系化合物等を共重合したものが用いられる。
　前記内在型の放射線硬化型粘着剤は、前記炭素－炭素二重結合を有するベースポリマー（特にアクリル系ポリマー）を単独で使用することができるが、特性を悪化させない程度に前記放射線硬化性のモノマー成分やオリゴマー成分を配合することもできる。放射線硬化性のオリゴマー成分等は、通常ベースポリマー１００重量部に対して３０重量部の範囲内であり、好ましくは０～１０重量部の範囲である。
　前記放射線硬化型粘着剤には、紫外線等により硬化させる場合には光重合開始剤を含有させる。光重合開始剤としては、例えば、４－（２－ヒドロキシエトキシ）フェニル（２－ヒドロキシ－２－プロピル）ケトン、α－ヒドロキシ－α，α’－ジメチルアセトフェノン、２－メチル－２－ヒドロキシプロピオフェノン、１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン等のα－ケトール系化合物；メトキシアセトフェノン、２，２－ジメトキシ－２－フェニルアセトフエノン、２，２－ジエトキシアセトフェノン、２－メチル－１－［４－（メチルチオ）－フェニル］－２－モルホリノプロパン－１等のアセトフェノン系化合物；ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、アニソインメチルエーテル等のベンゾインエーテル系化合物；ベンジルジメチルケタール等のケタール系化合物；２－ナフタレンスルホニルクロリド等の芳香族スルホニルクロリド系化合物；１－フェノン－１，１―プロパンジオン－２－（ｏ－エトキシカルボニル）オキシム等の光活性オキシム系化合物；ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、３，３’－ジメチル－４－メトキシベンゾフェノン等のベンゾフェノン系化合物；チオキサンソン、２－クロロチオキサンソン、２－メチルチオキサンソン、２，４－ジメチルチオキサンソン、イソプロピルチオキサンソン、２，４－ジクロロチオキサンソン、２，４－ジエチルチオキサンソン、２，４－ジイソプロピルチオキサンソン等のチオキサンソン系化合物；カンファーキノン；ハロゲン化ケトン；アシルホスフィノキシド；アシルホスフォナート等が挙げられる。光重合開始剤の配合量は、粘着剤を構成するアクリル系ポリマー等のベースポリマー１００重量部に対して、例えば０．０５～２０重量部程度である。
　また放射線硬化型粘着剤としては、例えば、特開昭６０－１９６９５６号公報に開示されている、不飽和結合を２個以上有する付加重合性化合物、エポキシ基を有するアルコキシシラン等の光重合性化合物と、カルボニル化合物、有機硫黄化合物、過酸化物、アミン、オニウム塩系化合物等の光重合開始剤とを含有するゴム系粘着剤やアクリル系粘着剤等が挙げられる。
　前記放射線硬化型の粘着剤層２中には、必要に応じて、放射線照射により着色する化合物を含有させることもできる。放射線照射により、着色する化合物を粘着剤層２に含ませることによって、放射線照射された部分のみを着色することができる。従って、粘着剤層２に放射線が照射されたか否かが目視により直ちに判明することができ、ワーク貼り付け部分を認識し易く、ワークの貼り合せが容易である。また光センサー等によって半導体素子を検出する際に、その検出精度が高まり、半導体素子のピックアップ時に誤動作が生ずることを防止できる。
　粘着剤層２の厚さは、特に限定されないが、チップ切断面の欠け防止や接着層の固定保持の両立性等の点よりは、１～５０μｍ程度であるのが好ましい。好ましくは２～３０μｍ、更には５～２５μｍが好ましい。
　ダイボンドフィルム３の積層構造は特に限定されず、例えば接着剤層の単層のみからなるものや、コア材料の片面又は両面に接着剤層を形成した多層構造のもの等が挙げられる。前記コア材料としては、フィルム（例えばポリイミドフィルム、ポリエステルフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリカーボネートフィルム等）、ガラス繊維やプラスチック製不織繊維で強化された樹脂基板、シリコン基板又はガラス基板等が挙げられる。
　前記ダイボンドフィルム３を構成する接着剤組成物としては、熱可塑性樹脂と熱硬化性樹脂を併用したものが挙げられる。
　前記熱硬化性樹脂としては、フェノール樹脂、アミノ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレタン樹脂、シリコーン樹脂、又は熱硬化性ポリイミド樹脂等が挙げられる。これらの樹脂は、単独で又は２種以上を併用して用いることができる。特に、半導体素子を腐食させるイオン性不純物等の含有が少ないエポキシ樹脂が好ましい。また、エポキシ樹脂の硬化剤としてはフェノール樹脂が好ましい。
　前記エポキシ樹脂は、接着剤組成物として一般に用いられるものであれば特に限定は無く、例えばビスフェノールＡ型、ビスフェノールＦ型、ビスフェノールＳ型、臭素化ビスフェノールＡ型、水添ビスフェノールＡ型、ビスフェノールＡＦ型、ビフェニル型、ナフタレン型、フルオンレン型、フェノールノボラック型、オルソクレゾールノボラック型、トリスヒドロキシフェニルメタン型、テトラフェニロールエタン型等の二官能エポキシ樹脂や多官能エポキシ樹脂、又はヒダントイン型、トリスグリシジルイソシアヌレート型若しくはグリシジルアミン型等のエポキシ樹脂が用いられる。これらは単独で、又は２種以上を併用して用いることができる。これらのエポキシ樹脂のうちノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、トリスヒドロキシフェニルメタン型樹脂又はテトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂が特に好ましい。これらのエポキシ樹脂は、硬化剤としてのフェノール樹脂との反応性に富み、耐熱性等に優れるからである。
　更に、前記フェノール樹脂は、前記エポキシ樹脂の硬化剤として作用するものであり、例えば、フェノールノボラック樹脂、フェノールアラルキル樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ｔｅｒｔ－ブチルフェノールノボラック樹脂、ノニルフェノールノボラック樹脂等のノボラック型フェノール樹脂、レゾール型フェノール樹脂、ポリパラオキシスチレン等のポリオキシスチレン等が挙げられる。これらは単独で、又は２種以上を併用して用いることができる。これらのフェノール樹脂のうちフェノールノボラック樹脂、フェノールアラルキル樹脂が特に好ましい。半導体装置の接続信頼性を向上させることができるからである。
　前記エポキシ樹脂とフェノール樹脂との配合割合は、例えば、前記エポキシ樹脂成分中のエポキシ基１当量当たりフェノール樹脂中の水酸基が０．５～２．０当量になるように配合することが好適である。より好適なのは、０．８～１．２当量である。即ち、両者の配合割合が前記範囲を外れると、十分な硬化反応が進まず、エポキシ樹脂硬化物の特性が劣化し易くなるからである。
　前記熱可塑性樹脂としては、天然ゴム、ブチルゴム、イソプレンゴム、クロロプレンゴム、エチレン－酢酸ビニル共重合体、エチレン－アクリル酸共重合体、エチレン－アクリル酸エステル共重合体、ポリブタジエン樹脂、ポリカーボネート樹脂、熱可塑性ポリイミド樹脂、６－ナイロンや６，６－ナイロン等のポリアミド樹脂、フェノキシ樹脂、アクリル樹脂、ＰＥＴやＰＢＴ等の飽和ポリエステル樹脂、ポリアミドイミド樹脂、又はフッ素樹脂等が挙げられる。これらの熱可塑性樹脂は単独で、又は２種以上を併用して用いることができる。これらの熱可塑性樹脂のうち、イオン性不純物が少なく耐熱性が高く、半導体素子の信頼性を確保できるアクリル樹脂が特に好ましい。
　前記アクリル樹脂としては、特に限定されるものではなく、炭素数３０以下、特に炭素数４～１８の直鎖若しくは分岐のアルキル基を有するアクリル酸又はメタクリル酸のエステルの１種又は２種以上を成分とする重合体（アクリル共重合体）等が挙げられる。前記アルキル基としては、例えばメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、ｔ－ブチル基、イソブチル基、アミル基、イソアミル基、ヘキシル基、へプチル基、シクロヘキシル基、２－エチルヘキシル基、オクチル基、イソオクチル基、ノニル基、イソノニル基、デシル基、イソデシル基、ウンデシル基、ラウリル基、トリデシル基、テトラデシル基、ステアリル基、オクタデシル基、又はドデシル基等が挙げられる。
　また、前記重合体を形成する他のモノマーとしては、特に限定されるものではなく、例えばアクリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチルアクリレート、カルボキシペンチルアクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマール酸若しくはクロトン酸等の様なカルボキシル基含有モノマー、無水マレイン酸若しくは無水イタコン酸等の様な酸無水物モノマー、（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸４－ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸６－ヒドロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸８－ヒドロキシオクチル、（メタ）アクリル酸１０－ヒドロキシデシル、（メタ）アクリル酸１２－ヒドロキシラウリル若しくは（４－ヒドロキシメチルシクロヘキシル）－メチルアクリレート等の様なヒドロキシル基含有モノマー、スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２－（メタ）アクリルアミド－２－メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート若しくは（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸等の様なスルホン酸基含有モノマー、又は２－ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェート等の様な燐酸基含有モノマーが挙げられる。
　前記熱硬化性樹脂の配合割合としては、所定条件下で加熱した際にダイボンドフィルム３が熱硬化型としての機能を発揮する程度であれば特に限定されないが、５～６０重量％の範囲内であることが好ましく、１０～５０重量％の範囲内であることがより好ましい。
　ダイボンドフィルム３を予めある程度架橋をさせておく場合には、作製に際し、重合体の分子鎖末端の官能基等と反応する多官能性化合物を架橋剤として添加させておくのがよい。これにより、高温下での接着特性を向上させ、耐熱性の改善を図ることができる。
　前記架橋剤としては、従来公知のものを採用することができる。特に、トリレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、ｐ－フェニレンジイソシアネート、１，５－ナフタレンジイソシアネート、多価アルコールとジイソシアネートの付加物等のポリイソシアネート化合物がより好ましい。架橋剤の添加量としては、前記の重合体１００重量部に対し、通常０．０５～７重量部とするのが好ましい。架橋剤の量が７重量部より多いと、接着力が低下するので好ましくない。その一方、０．０５重量部より少ないと、凝集力が不足するので好ましくない。また、この様なポリイソシアネート化合物と共に、必要に応じて、エポキシ樹脂等の他の多官能性化合物を一緒に含ませるようにしてもよい。
　また、ダイボンドフィルム３には、その用途に応じて無機充填剤（フィラー）を適宜配合することができる。無機充填剤の配合は、導電性の付与や熱伝導性の向上、弾性率の調節等を可能とする。前記無機充填剤としては、例えば、シリカ、クレー、石膏、炭酸カルシウム、硫酸バリウム、酸化アルミナ、酸化ベリリウム、炭化珪素、窒化珪素等のセラミック類、アルミニウム、銅、銀、金、ニッケル、クロム、鉛、錫、亜鉛、パラジウム、半田等の金属、又は合金類、その他カーボン等からなる種々の無機粉末が挙げられる。これらは、単独で又は２種以上を併用して用いることができる。無機充填剤の平均粒径は、０．１～８０μｍの範囲内であることが好ましい。前記無機充填剤の配合量は、有機樹脂成分１００重量部に対し０～８０重量部に設定することが好ましい。特に好ましくは０～７０重量部である。
　また、ダイボンドフィルム３には、色材を配合することができる。色材を配合することにより、波長３５５ｎｍにおけるダイボンドフィルム３の吸光係数を大きくすることができる。配合量としては、有機成分１００重量部に対して０．００１～１０重量部とすることができる。色材としては、波長３５５ｎｍにおけるダイボンドフィルム３の吸光係数を大きくすることができるものであれば、特に限定されない。このような色材としては、例えば、黒系色材、青系色材、赤系色材などの各種濃色系色材を好適に用いることができる。色材としては、顔料、染料などいずれであってもよい。色材は単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。なお、染料としては、酸性染料、反応染料、直接染料、分散染料、カチオン染料等のいずれの形態の染料であっても用いることが可能である。また、顔料も、その形態は特に制限されず、公知の顔料から適宜選択して用いることができる。
　特に、色材として染料を用いると、ダイボンドフィルム３中には、染料が溶解により均一又はほぼ均一に分散した状態となるため、着色濃度が均一又はほぼ均一なダイボンドフィルム３を容易に製造することができる。
　黒系色材としては、特に制限されないが、例えば、無機の黒系顔料、黒系染料から適宜選択することができる。また、黒系色材としては、シアン系色材（青緑系色材）、マゼンダ系色材（赤紫系色材）およびイエロー系色材（黄系色材）が混合された色材混合物であってもよい。黒系色材は単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。もちろん、黒系色材は、黒以外の色の色材と併用することもできる。
　具体的には、黒系色材としては、例えば、カーボンブラック（ファーネスブラック、チャンネルブラック、アセチレンブラック、サーマルブラック、ランプブラックなど）、グラファイト（黒鉛）、酸化銅、二酸化マンガン、アゾ系顔料（アゾメチンアゾブラックなど）、アニリンブラック、ペリレンブラック、チタンブラック、シアニンブラック、活性炭、フェライト（非磁性フェライト、磁性フェライトなど）、マグネタイト、酸化クロム、酸化鉄、二硫化モリブデン、クロム錯体、複合酸化物系黒色色素、アントラキノン系有機黒色色素などが挙げられる。
　黒系色材としては、Ｃ．Ｉ．ソルベントブラック３、同７、同２２、同２７、同２９、同３４、同４３、同７０、Ｃ．Ｉ．ダイレクトブラック１７、同１９、同２２、同３２、同３８、同５１、同７１、Ｃ．Ｉ．アシッドブラック１、同２、同２４、同２６、同３１、同４８、同５２、同１０７、同１０９、同１１０、同１１９、同１５４Ｃ．Ｉ．ディスパーズブラック１、同３、同１０、同２４等のブラック系染料；Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、同７等のブラック系顔料なども利用することができる。
　このような黒系色材としては、例えば、商品名「Ｏｉｌ Ｂｌａｃｋ ＢＹ」、商品名「ＯｉｌＢｌａｃｋ ＢＳ」、商品名「ＯｉｌＢｌａｃｋ ＨＢＢ」、商品名「Ｏｉｌ Ｂｌａｃｋ ８０３」、商品名「Ｏｉｌ Ｂｌａｃｋ ８６０」、商品名「Ｏｉｌ Ｂｌａｃｋ ５９７０」、商品名「Ｏｉｌ Ｂｌａｃｋ ５９０６」、商品名「Ｏｉｌ Ｂｌａｃｋ ５９０５」（オリエント化学工業株式会社製）などが市販されている。
　黒系色材以外の色材としては、例えば、シアン系色材、マゼンダ系色材、イエロー系色材などが挙げられる。シアン系色材としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ソルベントブルー２５、同３６、同６０、同７０、同９３、同９５；Ｃ．Ｉ．アシッドブルー６、同４５等のシアン系染料；Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１、同２、同３、同１５、同１５：１、同１５：２、同１５：３、同１５：４、同１５：５、同１５：６、同１６、同１７、同１７：１、同１８、同２２、同２５、同５６、同６０、同６３、同６５、同６６；Ｃ．Ｉ．バットブルー４；同６０、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７等のシアン系顔料などが挙げられる。
　また、マゼンダ系色材において、マゼンダ系染料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ソルベントレッド１、同３、同８、同２３、同２４、同２５、同２７、同３０、同４９、同５２、同５８、同６３、同８１、同８２、同８３、同８４、同１００、同１０９、同１１１、同１２１、同１２２；Ｃ．Ｉ．ディスパースレッド９；Ｃ．Ｉ．ソルベントバイオレット８、同１３、同１４、同２１、同２７；Ｃ．Ｉ．ディスパースバイオレット１；Ｃ．Ｉ．ベーシックレッド１、同２、同９、同１２、同１３、同１４、同１５、同１７、同１８、同２２、同２３、同２４、同２７、同２９、同３２、同３４、同３５、同３６、同３７、同３８、同３９、同４０；Ｃ．Ｉ．ベーシックバイオレット１、同３、同７、同１０、同１４、同１５、同２１、同２５、同２６、同２７、２８などが挙げられる。
　マゼンダ系色材において、マゼンダ系顔料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１、同２、同３、同４、同５、同６、同７、同８、同９、同１０、同１１、同１２、同１３、同１４、同１５、同１６、同１７、同１８、同１９、同２１、同２２、同２３、同３０、同３１、同３２、同３７、同３８、同３９、同４０、同４１、同４２、同４８：１、同４８：２、同４８：３、同４８：４、同４９、同４９：１、同５０、同５１、同５２、同５２：２、同５３：１、同５４、同５５、同５６、同５７：１、同５８、同６０、同６０：１、同６３、同６３：１、同６３：２、同６４、同６４：１、同６７、同６８、同８１、同８３、同８７、同８８、同８９、同９０、同９２、同１０１、同１０４、同１０５、同１０６、同１０８、同１１２、同１１４、同１２２、同１２３、同１３９、同１４４、同１４６、同１４７、同１４９、同１５０、同１５１、同１６３、同１６６、同１６８、同１７０、同１７１、同１７２、同１７５、同１７６、同１７７、同１７８、同１７９、同１８４、同１８５、同１８７、同１９０、同１９３、同２０２、同２０６、同２０７、同２０９、同２１９、同２２２、同２２４、同２３８、同２４５；Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３、同９、同１９、同２３、同３１、同３２、同３３、同３６、同３８、同４３、同５０；Ｃ．Ｉ．バットレッド１、同２、同１０、同１３、同１５、同２３、同２９、同３５などが挙げられる。
　また、イエロー系色材としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ソルベントイエロー１９、同４４、同７７、同７９、同８１、同８２、同９３、同９８、同１０３、同１０４、同１１２、同１６２等のイエロー系染料；Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３１、同４３；Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１、同２、同３、同４、同５、同６、同７、同１０、同１１、同１２、同１３、同１４、同１５、同１６、同１７、同２３、同２４、同３４、同３５、同３７、同４２、同５３、同５５、同６５、同７３、同７４、同７５、同８１、同８３、同９３、同９４、同９５、同９７、同９８、同１００、同１０１、同１０４、同１０８、同１０９、同１１０、同１１３、同１１４、同１１６、同１１７、同１２０、同１２８、同１２９、同１３３、同１３８、同１３９、同１４７、同１５０、同１５１、同１５３、同１５４、同１５５、同１５６、同１６７、同１７２、同１７３、同１８０、同１８５、同１９５；Ｃ．Ｉ．バットイエロー１、同３、同２０等のイエロー系顔料などが挙げられる。
　シアン系色材、マゼンダ系色材、イエロー系色材などの各種色材は、それぞれ、単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。なお、シアン系色材、マゼンダ系色材、イエロー系色材などの各種色材を２種以上用いる場合、これらの色材の混合割合（または配合割合）としては、特に制限されず、各色材の種類や目的とする色などに応じて適宜選択することができる。
　尚、ダイボンドフィルム３には、前記無機充填剤以外に、必要に応じて他の添加剤を適宜に配合することができる。他の添加剤としては、例えば難燃剤、シランカップリング剤イオントラップ剤等が挙げられる。前記難燃剤としては、例えば、三酸化アンチモン、五酸化アンチモン、臭素化エポキシ樹脂等が挙げられる。これらは、単独で、又は２種以上を併用して用いることができる。前記シランカップリング剤としては、例えば、β－（３、４－エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、γ－グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ－グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン等が挙げられる。これらの化合物は、単独で又は２種以上を併用して用いることができる。前記イオントラップ剤としては、例えばハイドロタルサイト類、水酸化ビスマス等が挙げられる。これらは、単独で又は２種以上を併用して用いることができる。
　ダイボンドフィルム３の厚さ（積層体の場合は、総厚）は特に限定されないが、チップ切断面の欠け防止や接着層による固定保持の両立性の観点から、５～１００μｍが好ましく、より好ましくは５～６０μｍ、さらに好ましくは５～３０μｍである。
　　ダイボンドフィルム３の波長３５５ｎｍにおける吸光係数は、４０ｃｍ－１以上であり、５０ｃｍ－１以上であることが好ましく、６０ｃｍ－１以上であることがより好ましい。また、前記吸光係数は、大きいことが好ましいが、例えば、４００ｃｍ－１以下、１０００ｃｍ－１以下である。前記吸光係数が、４０ｃｍ－１以上であるため、ダイボンドフィルム３は、３５５ｎｍのレーザーにより好適に切断される。
　ダイボンドフィルム３の５０℃での引張貯蔵弾性率は、０．５ＭＰａ以上２０ＭＰａ以下であり、好ましくは、０．７５ＭＰａ以上１９．５ＭＰａ以下、より好ましくは、１ＭＰａ以上１９ＭＰａ以下である。ダイボンドフィルム３の５０℃での引張貯蔵弾性率が、０．５ＭＰａ以上２０ＭＰａ以下であるため、レーザ照射時にイボンドフィルム３から飛散するデブリの量が少なくなる。その結果、チップ表面にデブリが付着することを抑制することができる。
　また、ダイボンドフィルム３の１２０℃での引張貯蔵弾性率は、０．３ＭＰａ以上７ＭＰａ以下、又は、１２０℃での溶融粘度が２０００Ｐａ・ｓ以上である。前記１２０℃での引張貯蔵弾性率は、好ましくは、０．３５ＭＰａ以上６．９ＭＰａ以下、より好ましくは、０．３８ＭＰａ以上６．８ＭＰａ以下である。前記１２０℃での溶融粘度は、好ましくは、２１５０Ｐａ・ｓ以上、より好ましくは、２２００Ｐａ・ｓ以上である。また、前記１２０℃での溶融粘度は、高いほど好ましいが、例えば、３０００Ｐａ・ｓ以下、４０００Ｐａ・ｓ以下である。ダイボンドフィルム３の１２０℃での引張貯蔵弾性率が、０．３ＭＰａ以上７ＭＰａ以下、又は、１２０℃での溶融粘度が２０００Ｐａ・ｓ以上であるため、レーザ照射時にイボンドフィルム３から飛散するデブリの量が少なくなる。その結果、チップ表面にデブリが付着することを抑制することができる。
　ダイボンドフィルム３は、熱硬化性樹脂としてのエポキシ樹脂及びフェノール樹脂と、熱可塑性樹脂としてのアクリル樹脂と、フィラーとを含み、エポキシ樹脂、フェノール樹脂及びアクリル樹脂の合計重量をＡ重量部とし、フィラーの重量をＢ重量部としたときのＢ／（Ａ＋Ｂ）が、０以上０．７以下であることが好ましい。前記Ｂ／（Ａ＋Ｂ）は、０以上０．６８以下であることがより好ましく、０以上０．６５以下であることがさらに好ましい。前記Ｂ／（Ａ＋Ｂ）が０．７以下であると、３５５ｎｍのレーザーにより切断し易い。
　ダイシング・ダイボンドフィルム１２に積層されたダイボンドフィルム３は、セパレータにより保護されていることが好ましい（図示せず）。セパレータは、実用に供するまでダイボンドフィルム３を保護する保護材としての機能を有している。また、セパレータは、更に、粘着剤層２にダイボンドフィルム３を転写する際の支持基材として用いることができる。セパレータはダイシング・ダイボンドフィルムのダイボンドフィルム３上にワークを貼着する際に剥がされる。セパレータとしては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレン、ポリプロピレンや、フッ素系剥離剤、長鎖アルキルアクリレート系剥離剤等の剥離剤により表面コートされたプラスチックフィルムや紙等も使用可能である。
　本実施の形態に係るダイシング・ダイボンドフィルム１２は、例えば、次の通りにして作製される。
　先ず、基材１は、従来公知の製膜方法により製膜することができる。当該製膜方法としては、例えばカレンダー製膜法、有機溶媒中でのキャスティング法、密閉系でのインフレーション押出法、Ｔダイ押出法、共押出し法、ドライラミネート法等が例示できる。
　次に、基材１上に粘着剤組成物溶液を塗布して塗布膜を形成した後、該塗布膜を所定条件下で乾燥させ（必要に応じて加熱架橋させて）、粘着剤層２を形成する。塗布方法としては特に限定されず、例えば、ロール塗工、スクリーン塗工、グラビア塗工等が挙げられる。また、乾燥条件としては、例えば乾燥温度８０～１５０℃、乾燥時間０．５～５分間の範囲内で行われる。また、セパレータ上に粘着剤組成物を塗布して塗布膜を形成した後、前記乾燥条件で塗布膜を乾燥させて粘着剤層２を形成してもよい。その後、基材１上に粘着剤層２をセパレータと共に貼り合わせる。これにより、ダイシングフィルム１１が作製される。
　ダイボンドフィルム３は、例えば、次の通りにして作製される。
　先ず、ダイシング・ダイボンドフィルム３の形成材料である接着剤組成物溶液を作製する。当該接着剤組成物溶液には、前述の通り、前記接着剤組成物やその他各種の添加剤等が配合されている。
　次に、接着剤組成物溶液を基材セパレータ上に所定厚みとなる様に塗布して塗布膜を形成した後、該塗布膜を所定条件下で乾燥させ、接着剤層を形成する。塗布方法としては特に限定されず、例えば、ロール塗工、スクリーン塗工、グラビア塗工等が挙げられる。また、乾燥条件としては、例えば乾燥温度７０～１６０℃、乾燥時間１～５分間の範囲内で行われる。また、セパレータ上に粘着剤組成物溶液を塗布して塗布膜を形成した後、前記乾燥条件で塗布膜を乾燥させて接着剤層を形成してもよい。その後、基材セパレータ上に接着剤層をセパレータと共に貼り合わせる。
　続いて、ダイシングフィルム１１及び接着剤層からそれぞれセパレータを剥離し、接着剤層と粘着剤層とが貼り合わせ面となる様にして両者を貼り合わせる。貼り合わせは、例えば圧着により行うことができる。このとき、ラミネート温度は特に限定されず、例えば３０～５０℃が好ましく、３５～４５℃がより好ましい。また、線圧は特に限定されず、例えば０．１～２０ｋｇｆ／ｃｍが好ましく、１～１０ｋｇｆ／ｃｍがより好ましい。次に、接着剤層上の基材セパレータを剥離し、本実施の形態に係るダイシング・ダイボンドフィルムが得られる。
　［保護用粘着フィルム剥離工程］
　上記ダイシング・ダイボンドフィルム貼付工程の後、図５に示すように、半導体ウェハ４の表面４Ｆから保護用粘着フィルム４４を剥離する（工程Ｅ）。剥離は従来公知の剥離装置を用いることができる。
　［ダイボンドフィルム切断工程］
　次に、図６に示すように、ダイボンドフィルム３が表出している溝４Ｓに沿って波長３５５ｎｍのレーザー５０を照射し、ダイボンドフィルム３を切断する（工程Ｅ）。その結果、個々に切断されたダイボンドフィルム３付きの半導体チップ５が得られる（図７参照）。本発明で用いられるレーザーは、熱加工プロセスを経由しない非熱的加工である紫外光吸収によるアブレーション加工が可能な、ＹＡＧレーザーの第三高調波（３５５ｎｍ）が好適に用いることができる。これにより、レーザー加工時の熱的なダメージを低くすることができる。レーザー照射条件としては、以下の条件の範囲内で適宜調整すればよい。
　＜レーザー照射条件＞
　　　　　レーザー光源　　　　　　　ＹＡＧレーザー
　　　　　波長　　　　　　　　　　　３５５ｎｍ
　　　　　発振方法　　　　　　　　　パルス発振
　　　　　パルスモード　　　　　　　ｔｙｐｅ　Ａ（パルス幅１ｎｓ～１００００ｎｓ）
　　　　　繰り返し周波数　　　　　　５０ｋＨｚ～２００ｋＨｚ
　　　　　平均出力　　　　　　　　　０．５Ｗ～２．０Ｗ
　　　　　レーザー送り出し速度　　　５０ｍｍ／ｓ～２００ｍｍ／ｓ
　　　　　レーザー焦点位置　　　　　接着フィルムの表面
　次に、ダイシング・ダイボンドフィルム１２に接着固定された半導体チップ５を剥離する為に、半導体チップ５のピックアップを行う（ピックアップ工程）。ピックアップの方法としては特に限定されず、従来公知の種々の方法を採用できる。例えば、個々の半導体チップ５をダイシング・ダイボンドフィルム１２側からニードルによって突き上げ、突き上げられた半導体チップ５をピックアップ装置によってピックアップする方法等が挙げられる。
　次に、図８に示すように、ピックアップした半導体チップ５を、ダイボンドフィルム３を介して被着体６に仮固着する（固定工程）。被着体６としては、リードフレーム、ＴＡＢフィルム、基板又は別途作製した半導体チップ等が挙げられる。被着体６は、例えば、容易に変形されるような変形型被着体であってもよく、変形することが困難である非変形型被着体（半導体ウェハ等）であってもよい。
　前記基板としては、従来公知のものを使用することができる。また、前記リードフレームとしては、Ｃｕリードフレーム、４２Ａｌｌｏｙリードフレーム等の金属リードフレームやガラスエポキシ、ＢＴ（ビスマレイミド－トリアジン）、ポリイミド等からなる有機基板を使用することができる。しかし、本発明はこれに限定されるものではなく、半導体素子をマウントし、半導体素子と電気的に接続して使用可能な回路基板も含まれる。
　ダイボンドフィルム３の仮固着時における２５℃での剪断接着力は、被着体６に対して０．２ＭＰａ以上であることが好ましく、より好ましくは０．２～１０ＭＰａである。ダイボンドフィルム３の剪断接着力が少なくとも０．２ＭＰａ以上であると、ワイヤーボンディング工程の際に、当該工程に於ける超音波振動や加熱により、ダイボンドフィルム３と半導体チップ５又は被着体６との接着面でずり変形を生じることが少ない。即ち、ワイヤーボンディングの際の超音波振動により半導体素子が動くことが少なく、これによりワイヤーボンディングの成功率が低下するのを防止する。また、ダイボンドフィルム３’の仮固着時における１７５℃での剪断接着力は、被着体６に対して０．０１ＭＰａ以上であることが好ましく、より好ましくは０．０１～５ＭＰａである。
　次に、被着体６の端子部（インナーリード）の先端と半導体チップ５上の電極パッド（図示しない）とをボンディングワイヤー７で電気的に接続するワイヤーボンディングを行う（ワイヤーボンディング工程）。前記ボンディングワイヤー７としては、例えば金線、アルミニウム線又は銅線等が用いられる。ワイヤーボンディングを行う際の温度は、８０～２５０℃、好ましくは８０～２２０℃の範囲内で行われる。また、その加熱時間は数秒～数分間行われる。結線は、前記温度範囲内となる様に加熱された状態で、超音波による振動エネルギーと印加加圧による圧着工ネルギーの併用により行われる。本工程は、ダイボンドフィルム３の熱硬化を行うことなく実行することができる。また、本工程の過程でダイボンドフィルム３により半導体チップ５と被着体６とが固着することはない。
　次に、封止樹脂８により半導体チップ５を封止する（封止工程）。本工程は、被着体６に搭載された半導体チップ５やボンディングワイヤー７を保護する為に行われる。本工程は、封止用の樹脂を金型で成型することにより行う。封止樹脂８としては、例えばエポキシ系の樹脂を使用する。樹脂封止の際の加熱温度は、通常１７５℃で６０～９０秒間行われるが、本発明はこれに限定されず、例えば１６５～１８５℃で、数分間キュアすることができる。これにより、封止樹脂を硬化させると共に、ダイボンドフィルム３を介して半導体チップ５と被着体６とを固着させる。即ち、本発明に於いては、後述する後硬化工程が行われない場合に於いても、本工程に於いてダイボンドフィルム３による固着が可能であり、製造工程数の減少及び半導体装置の製造期間の短縮に寄与することができる。
　前記後硬化工程に於いては、前記封止工程で硬化不足の封止樹脂８を完全に硬化させる。封止工程に於いてダイボンドフィルム３が完全に熱硬化していない場合でも、本工程に於いて封止樹脂８と共にダイボンドフィルム３の完全な熱硬化が可能となる。本工程に於ける加熱温度は、封止樹脂の種類により異なるが、例えば１６５～１８５℃の範囲内であり、加熱時間は０．５～８時間程度である。
　上述した実施形態では、本発明の接着フィルムがダイボンドフィルムである場合について説明した。しかしながら、本発明の接着フィルムはダイボンドフィルムに限定されず、例えば、被着体上にフリップチップ接続された半導体素子の裏面に形成するためのフリップチップ型半導体裏面用フィルムであってもよい。フリップチップ型半導体裏面用フィルムについては、例えば、特開２０１１－１５１３６０号公報、特開２０１１－１５１３６１号公報、特開２０１１－１５１３６２号公報、特開２０１１－１５１３６３号公報、特開２０１１－００９７１１号公報等に開示されているので、ここでの説明は省略する。
　上述した実施形態では、接着フィルムとしてのダイボンドフィルムがダイシングフィルム上に積層されている場合について説明した。しかしながら、本発明はこの例に限定されず、接着フィルムとしてのダイボンドフィルムは、ダイシングフィルムに積層されず、単独で用いられていてもよい。この場合、例えば、ダイボンドフィルムにダイシングフィルムを貼り付けて用いることができる。また、本発明の接着フィルムが、フリップチップ型半導体裏面用フィルムである場合、前記フリップチップ型半導体裏面用フィルムは、単独で用いられてもよく、ダイシングフィルム上に積層されていてもよい。
　以下に、この発明の好適な実施例を例示的に詳しく説明する。但し、この実施例に記載されている材料や配合量等は、特に限定的な記載がない限りは、この発明の要旨をそれらのみに限定する趣旨のものではない。なお、以下において、部とあるのは重量部を意味する。
　＜ダイシングフィルムの作製＞
　ポリプロピレンとエチレン－プロピレンラバーとの混合樹脂からなる層（厚み８０μｍ）と、ＬＬＤＰ（直鎖状低密度ポリエチレン）からなる層（厚み２０μｍ）とを積層させたオレフィン系多層フィルム（厚み１００μｍ）を準備した。なお、ＬＬＤＰからなる層には、貼り合わせ面とは反対側の面に、エンボス処理が施してある。
　冷却管、窒素導入管、温度計および撹拌装置を備えた反応容器に、アクリル酸２－エチルヘキシル（以下、「２ＥＨＡ」という。）８８．８部、アクリル酸－２－ヒドロキシエチル（以下、「ＨＥＡ」という。）１１．２部、過酸化ベンゾイル０．２部及びトルエン６５部を入れ、窒素気流中で６１℃にて６時間重合処理をし、重量平均分子量８５万のアクリル系ポリマーＡを得た。重量平均分子量は下記の通りである。２ＥＨＡとＨＥＡとのモル比は、１００ｍｏｌ対２０ｍｏｌとした。
　このアクリル系ポリマーＡに２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネート（以下、「ＭＯＩ」という。）１２部（ＨＥＡに対し８０ｍｏｌ％）を加え、空気気流中で５０℃にて４８時間、付加反応処理をし、アクリル系ポリマーＡ’を得た。
　次に、アクリル系ポリマーＡ’１００部に対し、ポリイソシアネート化合物（商品名「コロネートＬ」、日本ポリウレタン（株）製）８部、及び光重合開始剤（商品名「イルガキュア６５１」、チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社製）５部を加えて、粘着剤溶液を作製した。
　前記で調製した粘着剤溶液を、ＰＥＴ剥離ライナーのシリコーン処理を施した面上に塗布し、１２０℃で２分間加熱架橋して、厚さ１０μｍの粘着剤層を形成した。次いで、当該粘着剤層面に、前記オレフィン系多層フィルムの非エンボス面（混合樹脂からなる層）に貼り合わせ、５０℃にて２４時間保存した。その後、半導体ウエハが搭載される領域のみに紫外線照射装置（日東精機（商品名、ＵＭ－８１０製）を用いて、３００ｍＪ／ｃｍ２の紫外線をオレフィン系多層フィルム側から照射し、ダイシングフィルムを得た。
　＜接着フィルムの作製＞
　（実施例１）
　下記（ａ）～（ｄ）をメチルエチルケトンに溶解させ、濃度２３．６重量％の接着剤組成物溶液を得た。
（ａ）アクリル酸エチル－メチルメタクリレートを主成分とするアクリル酸エステル系ポリマー（根上工業（株）製、商品名；パラクロンＷ－１９７ＣＭ）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１００部
（ｂ）エポキシ樹脂（ＪＥＲ（株）製、エピコート１００４）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　３２部
（ｃ）フェノール樹脂（三井化学（株）製、ミレックスＸＬＣ－４Ｌ）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　３４部
（ｄ）球状シリカ（アドマテックス（株）製、ＳＯ－２５Ｒ）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　９０部
　この接着剤組成物溶液を、シリコーン離型処理した厚さが５０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムからなる離型処理フィルム（剥離ライナー）上に塗布した後、１３０℃で２分間乾燥させた。これにより、実施例１に係る厚さ２５μｍの接着フィルムＡを得た。
　（実施例２）
　下記（ａ）～（ｄ）をメチルエチルケトンに溶解させ、濃度２３．６重量％の接着剤組成物溶液を得た。
（ａ）アクリル酸エチル－メチルメタクリレートを主成分とするアクリル酸エステル系ポリマー（根上工業（株）製、商品名；パラクロンＷ－１９７ＣＭ）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１００部
（ｂ）エポキシ樹脂（ＪＥＲ（株）製、エピコート１００４）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１２部
（ｃ）フェノール樹脂（三井化学（株）製、ミレックスＸＬＣ－４Ｌ）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１３部
（ｄ）球状シリカ（アドマテックス（株）製、ＳＯ－２５Ｒ）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１８８部
　この接着剤組成物溶液を、シリコーン離型処理した厚さが５０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムからなる離型処理フィルム（剥離ライナー）上に塗布した後、１３０℃で２分間乾燥させた。これにより、実施例２に係る厚さ２５μｍの接着フィルムＢを得た。
　（実施例３）
　下記（ａ）～（ｄ）をメチルエチルケトンに溶解させ、濃度２３．６重量％の接着剤組成物溶液を得た。
（ａ）アクリル酸エチル－メチルメタクリレートを主成分とするアクリル酸エステル系ポリマー（根上工業（株）製、商品名；パラクロンＷ－１９７ＣＭ）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１００部
（ｂ）エポキシ樹脂（ＪＥＲ（株）製、エピコート１００４）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　２１部
（ｃ）フェノール樹脂（三井化学（株）製、ミレックスＸＬＣ－４Ｌ）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　２２部
（ｄ）球状シリカ（アドマテックス（株）製、ＳＯ－２５Ｒ）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　７７部
　この接着剤組成物溶液を、シリコーン離型処理した厚さが５０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムからなる離型処理フィルム（剥離ライナー）上に塗布した後、１３０℃で２分間乾燥させた。これにより、実施例３に係る厚さ２５μｍの接着フィルムＣを得た。
　（実施例４）
　下記（ａ）～（ｄ）をメチルエチルケトンに溶解させ、濃度２３．６重量％の接着剤組成物溶液を得た。
（ａ）エポキシ基含有アクリル樹脂（ナガセケムテックス（株）製、商品名ＳＧ－Ｐ３）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１００部
（ｂ）フェノール樹脂（三井化学（株）製、ミレックスＸＬＣ－４Ｌ）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１１部
（ｃ）球状シリカ（アドマテックス（株）製、ＳＯ－２５Ｒ）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　８２部
（ｄ）染料（オリエント化学工業（株）製、オイルスカーレット３０８）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　０．６部
　この接着剤組成物溶液を、シリコーン離型処理した厚さが５０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムからなる離型処理フィルム（剥離ライナー）上に塗布した後、１３０℃で２分間乾燥させた。これにより、実施例４に係る厚さ２５μｍの接着フィルムＤを得た。
　（実施例５）
　下記（ａ）～（ｄ）をメチルエチルケトンに溶解させ、濃度２３．６重量％の接着剤組成物溶液を得た。
（ａ）エポキシ基含有アクリル樹脂（ナガセケムテックス（株）製、商品名ＳＧ－Ｐ３）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１００部
（ｂ）エポキシ樹脂（ＪＥＲ（株）製、エピコート１００４）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１１部
（ｃ）フェノール樹脂（三井化学（株）製、ミレックスＸＬＣ－４Ｌ）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１４部
（ｄ）染料（オリエント化学工業（株）製、オイルスカーレット３０８）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　０．６部
　この接着剤組成物溶液を、シリコーン離型処理した厚さが５０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムからなる離型処理フィルム（剥離ライナー）上に塗布した後、１３０℃で２分間乾燥させた。これにより、実施例５に係る厚さ２５μｍの接着フィルムＥを得た。
　（実施例６）
　下記（ａ）～（ｄ）をメチルエチルケトンに溶解させ、濃度２３．６重量％の接着剤組成物溶液を得た。
（ａ）エポキシ基含有アクリル樹脂（ナガセケムテックス（株）製、商品名ＳＧ－Ｐ３）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１００部
（ｂ）エポキシ樹脂（ＪＥＲ（株）製、エピコート１００４）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１１部
（ｃ）フェノール樹脂（三井化学（株）製、ミレックスＸＬＣ－４Ｌ）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１４部
（ｄ）染料（オリエント化学工業（株）製、オイルブラックＨＢＢ）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　０．６部
　この接着剤組成物溶液を、シリコーン離型処理した厚さが５０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムからなる離型処理フィルム（剥離ライナー）上に塗布した後、１３０℃で２分間乾燥させた。これにより、実施例６に係る厚さ２５μｍの接着フィルムＦを得た。
　（実施例７）
　下記（ａ）～（ｅ）をメチルエチルケトンに溶解させ、濃度２３．６重量％の接着剤組成物溶液を得た。
（ａ）アクリル酸エチル－メチルメタクリレートを主成分とするアクリル酸エステル系ポリマー（根上工業（株）製、商品名；パラクロンＷ－１９７ＣＭ）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１００部
（ｂ）エポキシ樹脂１（ＪＥＲ（株）製、エピコート１００４）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１０２部
（ｃ）エポキシ樹脂２（ＪＥＲ（株）製、エピコート８２７）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１３部
（ｄ）フェノール樹脂（三井化学（株）製、ミレックスＸＬＣ－４Ｌ）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１１９部
（ｅ）球状シリカ（アドマテックス（株）製、ＳＯ－２５Ｒ）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　３７０部
　この接着剤組成物溶液を、シリコーン離型処理した厚さが５０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムからなる離型処理フィルム（剥離ライナー）上に塗布した後、１３０℃で２分間乾燥させた。これにより、実施例７に係る厚さ２５μｍの接着フィルムＧを得た。
　（比較例１）
　下記（ａ）～（ｄ）をメチルエチルケトンに溶解させ、濃度２３．６重量％の接着剤組成物溶液を得た。
（ａ）アクリル酸エチル－メチルメタクリレートを主成分とするアクリル酸エステル系ポリマー（根上工業（株）製、商品名；パラクロンＷ－１９７ＣＭ）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１００部
（ｂ）エポキシ樹脂（ＪＥＲ（株）製、エピコート１００４）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　５部
（ｃ）フェノール樹脂（三井化学（株）製、ミレックスＸＬＣ－４Ｌ）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　６部
（ｄ）球状シリカ（アドマテックス（株）製、ＳＯ－２５Ｒ）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１６７部
　この接着剤組成物溶液を、シリコーン離型処理した厚さが５０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムからなる離型処理フィルム（剥離ライナー）上に塗布した後、１３０℃で２分間乾燥させた。これにより、比較例１に係る厚さ２５μｍの接着フィルムＨを得た。
　（比較例２）
　下記（ａ）～（ｅ）をメチルエチルケトンに溶解させ、濃度２３．６重量％の接着剤組成物溶液を得た。
（ａ）アクリル酸エチル－メチルメタクリレートを主成分とするアクリル酸エステル系ポリマー（根上工業（株）製、商品名；パラクロンＷ－１９７ＣＭ）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１００部
（ｂ）エポキシ樹脂（ＪＥＲ（株）製、エピコート１００４）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１２部
（ｃ）フェノール樹脂（三井化学（株）製、ミレックスＸＬＣ－４Ｌ）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１３部
（ｄ）球状シリカ（アドマテックス（株）製、ＳＯ－２５Ｒ）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　３７５部
（ｅ）染料（オリエント化学工業（株）製、オイルスカーレット３０８）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　０．３部
　この接着剤組成物溶液を、シリコーン離型処理した厚さが５０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムからなる離型処理フィルム（剥離ライナー）上に塗布した後、１３０℃で２分間乾燥させた。これにより、比較例２に係る厚さ２５μｍの接着フィルムＩを得た。
　（比較例３）
　下記（ａ）～（ｅ）をメチルエチルケトンに溶解させ、濃度２３．６重量％の接着剤組成物溶液を得た。
（ａ）アクリル酸エチル－メチルメタクリレートを主成分とするアクリル酸エステル系ポリマー（根上工業（株）製、商品名；パラクロンＷ－１９７ＣＭ）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１００部
（ｂ）エポキシ樹脂１（ＪＥＲ（株）製、エピコート１００４）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１３５部
（ｃ）エポキシ樹脂２（ＪＥＲ（株）製、エピコート８２７）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１４４部
（ｄ）フェノール樹脂（三井化学（株）製、ミレックスＸＬＣ－４Ｌ）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　２８８部
（ｅ）球状シリカ（アドマテックス（株）製、ＳＯ－２５Ｒ）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　４４５部
　この接着剤組成物溶液を、シリコーン離型処理した厚さが５０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムからなる離型処理フィルム（剥離ライナー）上に塗布した後、１３０℃で２分間乾燥させた。これにより、比較例３に係る厚さ２５μｍの接着フィルムＪを得た。
　（波長３５５ｎｍにおける吸光係数の測定）
　実施例及び比較例に係る接着フィルムをそれぞれ４層に積層して厚さ１００μｍとした。これを治具にとりつけ、紫外可視分光光度計ＵＶ－２５５０（ＳＨＩＭＡＤＺＵ（株）製）を用いて、波長３５５ｎｍのレーザー光に対する透過率Ｔ％及び反射率Ｒ％を測定し、以下の式Ａにより計算を行った。結果を下記表１に示す。
　＜式Ａ＞
　　Ｔ’＝Ｔ／（１００－Ｒ）×１００
　　吸光係数［ｃｍ－１］＝ＬＮ（１／Ｔ’）／（接着フィルムの厚み［ｃｍ］）
　（５０℃、及び、１２０℃での引張貯蔵弾性率の測定）
　実施例及び比較例に係る接着フィルムについて、それぞれ厚さ２００μｍ、長さ２５ｍｍ（測定長さ）幅１０ｍｍの短冊状の測定片となる様に積層、及び、切断した。次に、固定粘弾性測定装置（ＲＳＡ－ＩＩＩ、レオメトリックサイエンティフィック社製）を用いて、－５０～３００℃での引張貯蔵弾性率を測定した。測定条件は、周波数１Ｈｚ、昇温速度１０℃／分とした。その際の５０℃、及び、１２０℃における測定値を表１に示す。
　（１２０℃での溶融粘度の測定）
　実施例及び比較例に係る接着フィルムについて、レオメーター（ＨＡＡＫＥ社製、商品名；ＲＳ－１）を用いて、パラレルプレート法により１２０℃での溶融粘度を測定した。具体的には、１２０℃になる様に加熱しているプレートに、０．１ｇの接着フィルムを仕込み、測定を開始した。測定開始から２４０秒後の値の平均値を溶融粘度とした。尚、プレート間のギャップは０．１ｍｍとした。結果を表１に示す。
　（デブリ発生、及び、レーザー加工性の評価）
　＜サンプルの作成＞
　実施例及び比較例の接着フィルムＡ～Ｊを円形に打ち抜いた。打ち抜きは、作成した前記ダイシングフィルムの紫外線が照射された部分よりも広くなるように行なった。次に、打ち抜いた接着フィルムＡを、作成した前記ダイシングフィルムの紫外線が照射された部分を覆うように貼り付け、実施例１に係るサンプルＡを得た。同様に、打ち抜いた接着フィルムＢ～Ｊを、それぞれ、作成した前記ダイシングフィルムの紫外線が照射された部分を覆うように貼り付け、実施例２に係るサンプルＢ、実施例３に係るサンプルＣ、実施例４に係るサンプルＤ、実施例５に係るサンプルＥ、実施例６に係るサンプルＦ、実施例７に係るサンプルＧ、比較例１に係るサンプルＨ、比較例２に係るサンプルＩ、比較例３に係るサンプルＪを得た。
　＜評価＞
　ブレードダイシング加工により、半導体ウエハ（厚さ７４０μｍ）の表面に深さ１００μｍ、幅３０μｍの溝を形成した。溝は、得られるチップが縦１０ｍｍ×横１０ｍｍとなるように格子状に形成した。次に、溝が形成された半導体ウェハの表面に、保護用粘着フィルムを貼り付けた。保護用粘着フィルムには、厚さ１５０μｍポリオレフィンシートを用いた。なお、前記保護用粘着フィルムの粘着剤層として、紫外線を照射することにより粘着力が低下するものを用いた。
　次に、厚さが５０μｍとなるまで、半導体ウエハに裏面研削を行い、溝が表出した半導体ウェハを得た。すなわち、個々の大きさが、厚さ５０μｍ、縦１０ｍｍ×横１０ｍｍの半導体チップを得た。次に、溝が表出した半導体ウェハの裏面に実施例及び比較例に係るサンプルの接着フィルムを６０℃で貼り付け、半導体ウェハの裏面から保護用粘着フィルムを剥離した。
　次に、接着フィルムが表出している溝に沿って、ダイシングフィルムとは反対側から波長３５５ｎｍのレーザーを照射し、接着フィルムを切断した。レーザーの照射条件、及び、装置は以下の通りとした。
　＜レーザー照射条件、及び、装置＞
　　　　　装置　　　　　　　　　　　ＤＩＳＣＯ社製　ＤＦＬ－７１６０
　　　　　レーザー光源　　　　　　　ＹＡＧレーザー
　　　　　波長　　　　　　　　　　　３５５ｎｍ
　　　　　発振方法　　　　　　　　　パルス発振
　　　　　パルスモード　　　　　　　ｔｙｐｅ　Ａ
　　　　　集光スポット径　　　　　　１０μｍ
　　　　　繰り返し周波数　　　　　　１００ｋＨｚ
　　　　　平均出力　　　　　　　　　１．０Ｗ
　　　　　レーザー送り出し速度　　　１００ｍｍ／ｓ
　　　　　レーザー焦点位置　　　　　接着フィルムの表面
　レーザーによる接着フィルムの切断後、ピックアップを行なった。レーザーにより接着フィルムが切断されており、ピックアップ工程にて、接着フィルム付きの半導体チップをピックアップできた場合を○、ピックアップできなかった場合を×として、レーザー加工性を評価した。結果を表１に示す。
　また、レーザーによる接着フィルムの切断後、デブリが半導体チップの端から内側に向かって３０μｍ以上まで入り込んでいるか否かを評価した。デブリが半導体チップの端から内側に向かって３０μｍ以上まで入り込んでいない場合を○、入り込んでいる場合を×として、デブリ発生を評価した。結果を表１に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
  
　（結果）
　実施例のサンプルでは、デブリ発生評価、及び、レーザー加工性の評価において、良好な結果を示した。一方、比較例１のサンプルでは、接着フィルムの吸光係数が小さいため、レーザーを吸収できず、アブレーションが適切におこらなかった。また、比較例２のサンプルでは、５０℃での引張貯蔵弾性率が低く、また、フィラーが多いため、レーザー加工が適切に行なわれなかった。比較例３のサンプルは、アブレーションはおこったが、溶融粘度が低いため、デブリが多く発生し、チップ間の空隙において再融着した。
　　　　１　　基材
　　　　２　　粘着剤層
　　　　３　　ダイボンドフィルム
　　　　４　　半導体ウェハ
　　　　４Ｓ　　溝
　　　　４Ｆ　　表面
　　　　４Ｒ　　裏面
　　　　５　　半導体チップ
　　　　６　　被着体
　　　　７　　ボンディングワイヤー
　　　　８　　封止樹脂
　　　１１　　ダイシングフィルム
　　　１２　　ダイシング・ダイボンドフィルム
　　　４４　　保護用粘着フィルム

Claims (8)

  1. 　半導体ウェハの表面に裏面まで達しない溝を形成する工程Ａと、
    　溝が形成された前記半導体ウェハの表面に保護用粘着フィルムを貼り付ける工程Ｂと、
    　前記半導体ウェハの裏面研削を行い、裏面から前記溝を表出させる工程Ｃと、
    　前記工程Ｃの後、前記半導体ウェハの裏面に、接着フィルムを貼り付ける工程Ｄと、
    　前記工程Ｄの後に、前記保護用粘着フィルムを剥離する工程Ｅと、
    　前記工程Ｅの後に、前記接着フィルムが表出している前記溝に沿って波長３５５ｎｍのレーザーを照射し、前記接着フィルムを切断する工程Ｆとを具備し、
    　前記接着フィルムが、（ａ）波長３５５ｎｍにおける吸光係数が４０ｃｍ－１以上であり、（ｂ）５０℃での引張貯蔵弾性率が０．５ＭＰａ以上２０ＭＰａ以下であり、且つ、（ｃ）１２０℃での引張貯蔵弾性率が０．３ＭＰａ以上７ＭＰａ以下、又は、１２０℃での溶融粘度が２０００Ｐａ・ｓ以上であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
  2. 　前記接着フィルムは、ダイボンドフィルムであり、
    　前記工程Ｄは、前記工程Ｃの後、前記半導体ウェハの裏面に、前記ダイボンドフィルムを貼り付ける工程であることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
  3. 　前記ダイボンドフィルムは、ダイシングフィルム上に積層されていることを特徴とする請求項２に記載の半導体装置の製造方法。
  4. 　前記接着フィルムが、被着体上にフリップチップ接続された半導体素子の裏面に形成するためのフリップチップ型半導体裏面用フィルムであり、
    　前記工程Ｄは、前記工程Ｃの後、前記半導体ウェハの裏面に、前記フリップチップ型半導体裏面用フィルムを貼り付ける工程であることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
  5. 　前記フリップチップ型半導体裏面用フィルムは、ダイシングフィルム上に積層されていることを特徴とする請求項４に記載の半導体装置の製造方法。
  6. 　前記接着フィルムは、熱硬化性樹脂としてのエポキシ樹脂及びフェノール樹脂と、熱可塑性樹脂としてのアクリル樹脂と、フィラーとを含み、
    　エポキシ樹脂、フェノール樹脂及びアクリル樹脂の合計重量をＡ重量部とし、フィラーの重量をＢ重量部としたときのＢ／（Ａ＋Ｂ）が、０以上０．７以下である請求項１～５のいずれか１に記載の半導体装置の製造方法。
  7. 　請求項１～５のいずれか１に記載の半導体装置の製造方法に使用される接着フィルムであって、
    （ａ）波長３５５ｎｍにおける吸光係数が４０ｃｍ－１以上であり、
    （ｂ）５０℃での引張貯蔵弾性率が０．５ＭＰａ以上２０ＭＰａ以下であり、且つ、
    （ｃ）１２０℃での引張貯蔵弾性率が０．３ＭＰａ以上７ＭＰａ以下、又は、１２０℃で
    の溶融粘度が２０００Ｐａ・ｓ以上
    であることを特徴とする接着フィルム。
  8. 　熱硬化性樹脂としてのエポキシ樹脂及びフェノール樹脂と、熱可塑性樹脂としてのアクリル樹脂と、フィラーとを含み、
    　エポキシ樹脂、フェノール樹脂及びアクリル樹脂の合計重量をＡ重量部とし、フィラーの重量をＢ重量部としたときのＢ／（Ａ＋Ｂ）が、０以上０．７以下である請求項７に記載の接着フィルム。
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