WO2012133152A1 - テンターオーブンおよび延伸フィルムの製造方法 - Google Patents

Abstract

　熱可塑性樹脂フィルムをその幅方向に延伸するためのテンターオーブンにおいて、内部に設けられた、加温されたエアをフィルム通過面に沿って走行するフィルムに吹き付けるエア吹き付けノズルが、そのエア吹き出し面に設けられたエア吹き出し開口がスリットで形成され、前記エア吹き出し面と前記フィルム通過面との間の距離Ｌと前記スリットのスリット幅Ｂが、式：（Ｌ／Ｂ）≦１０の関係を満足し、かつ、前記距離Ｌが１５０ｍｍ以下である近接ノズルであるテンターオーブン。

Description

テンターオーブンおよび延伸フィルムの製造方法

　本発明は、熱可塑性樹脂からなる延伸フィルムの製造に適したテンターオーブン、および、このテンターオーブンを用いた熱可塑性樹脂からなる延伸フィルムの製造方法に関する。

　熱可塑性樹脂からなる延伸フィルムの製造方法として、熱可塑性樹脂からなる未延伸フィルムをその長手方向に延伸することにより一軸延伸フィルムを得た後、得られた一軸延伸フィルムをテンターオーブンに導入して、その中で、その幅方向に延伸する逐次二軸延伸法や、熱可塑性樹脂からなる未延伸フィルムをテンターオーブンに導入して、その中で、その長手方向およびその幅方向に同時に延伸する同時二軸延伸法が知られている。

　熱可塑性樹脂からなる延伸フィルムは、包装用途をはじめとして、各種工業材料用途などに広く用いられている。中でも、ポリエステル、ポリオレフィンやポリアミド樹脂の逐次二軸延伸フィルムは、その優れた機械的特性、熱的特性、電気的特性等により、未延伸フィルムでは使用に耐えない用途に広く使用され、需要量も増加している。

　しかし、熱可塑性樹脂からなる延伸フィルムを製造するためのテンターオーブンの問題点として、フィルムが走行する際の随伴気流や、テンターオーブン内へ供給される加温されたエアの給気量とテンターオーブン内から排出されるエアの排気量のアンバランスなどに起因して、テンターオーブンを構成する個々の室で、エアの循環が完結せず、設定温度の異なるエアが、隣接する室へ流れ込んだり、テンターオーブン外の外気がオーブン内へ流れ込んだりする現象がある。どちらも室の境界を横切ってフィルムの走行方向にエアが流れる現象であり、このようなエア流れは、Ｍ Ｄ（Ｍａｃｈｉｎｅ　Ｄｉｒｅｃｔｉｏｎの略）流と呼ばれている。

　ＭＤ流が発生すると、室外から流れ込んだ異なる温度のエアがフィルムの近傍を流れながら、室内のエア吹き付けノズルから吹き出される加熱エアと混ざるため、フィルムに大きな温度ムラが生じる。フィルム幅方向の温度ムラは、フィルムの厚みムラおよび特性ムラの原因にもなり、製品の品質を低下させるのみならず、テンターオーブン内でフィルム破れを起こし、生産性を低下させることもある。

　ＭＤ流により、室内に異なる温度のエアが混入すると、例えば、室の循環エアの設定温度より低い温度のエアが循環エアに混入すると、循環エアをその室の設定温度まで、再加熱するのに必要な熱交換器の消費蒸気量が増加し、エネルギー効率が低下する。随伴気流や給排気のアンバランスが引き金となり、吹き付けエアのフィルム面へ向う直進性が失われ、吹き付けエアがフィルムの走行方向に流れ易くなる。この状態が形成されると、ＭＤ流が増加し、吹き付けノズル本来の加熱性能が見込めなくなる。この状態において、加熱性能を維持するためには、フィルムの延伸などに必要な温度までフィルムを加熱するための吹き付けエアの風量を増やさなければならなくなり、その結果、熱交換器の消費電力量が増加する。

　上記問題の解消を目的として、吹き付けエアの風量を、フィルムの中央部に比べフィルムの端部の方において多くして、フィルムの幅方向の温度ムラを低減する方法（特許文献１）や、温度センサが検出した温度に基づいて熱交換器を制御し、フィルムの幅方向の加熱を均一にして、フィルムの幅方向の温度ムラの低減行う方法（特許文献２、あるいは、特許文献３）が知られている。

　ＭＤ流の影響を受けにくいエア吹き付けノズルとして、エア吹き付けノズルのエア吹き出し面に設けられたエアを吹き出すエア吹き出し開口のパターンを、多数の丸孔とすることで、エア吹き出し面から吹き出されるエアを離散化させ、ＭＤ流の影響を受け難くした多孔板タイプのノズルが知られている（特許文献４）。

　平坦部と、それに続いて設けられた傾斜部を持ったノズルから、シート面に平行流のエアを流し、シートのバタツキを抑える方法がある。これにより、シートとノズルとの間のギャップを狭くでき、熱処理室の入出口の熱の出入りを抑える効果があることが知られている（特許文献５）。

　エアの噴出口のパターンを、多数の丸孔とし、多数の丸孔が第１列と第２列の各列において、間隔Ｐｙをもって配列され、第１列におけるエア噴出孔の配列と第２列におけるエア噴出孔の配列とが千鳥配列であり、第１列と第２列とは、間隔Ｐｘをもって位置し、エア噴出面とシートの走行面とは、距離Ｌをもって対向し、エア噴出面におけるエア噴出孔は、直径Ｄを有し、式（１）：６≦（Ｌ／Ｄ）／（Ｐｘ／Ｐｙ）≦９、および、式（２）：４≦Ｌ／Ｄ≦８を満足する孔のパターンを採用することで、フィルムの幅方向の伝熱効率のムラを均一にすることが知られている（特許文献６）。

ＪＰ０５－０９６６１９Ａ ＪＰ１０－２４９９３３Ａ ＪＰ２００２－０１８９７０Ａ ＪＰ２００９－２５５５１１Ａ ＪＰ２００５－００８４０７Ａ ＷＯ２００８－１１４５８６Ａ１

　しかしながら、特許文献１乃至３に記載された発明は、個々の室内でエアの循環が完結している場合には効果を発揮するが、ある室に、その室の設定温度とは異なる設定温度の隣接室の循環エアの一部が流れ込むことによって発生する温度ムラや、テンターオーブン内に外気が流れ込むことによって発生する温度ムラに対しては、温度均一化効果が得られない。

　特許文献４に記載の発明は、吹き付けノズルとして多孔板タイプのノズルを採用する際、孔の配列に起因する温度ムラが発生し易く、エアの吹き出し口のパターン、すなわち、孔径、フィルムの走行方向の孔ピッチ、フィルム幅方向の孔ピッチ、列数などを最適化しなければならない。よって、エアノズルのエア吹き出し口のパターンの設計から、生産への適用まで、大きなコスト、時間を要する。

　特許文献５に記載の発明は、フィルムを安定走行させることを主たる目的としており、フィルムを加熱、冷却、または、乾燥する機能を目的としたものではない。つまり、テンターオーブンの中で、フィルム加熱用ノズル（または、冷却、乾燥用ノズル）の能力を十分に確保するため、補助手段として利用するもので、特許文献５に記載のノズルそのものによるＭＤ流の低減の効果は小さい。

　なお、特許文献５に記載のノズルをフィルム通過面の上面側においてフィルム通過面に対向させて、かつ、フィルム通過面の下面側においてフィルム通過面に対向させて設置した場合、ノズルによって生じるコアンダ効果、すなわち、エアの吹き付け圧と吸引力によりフィルムを安定走行させる効果が、フィルム通過面の上側と下側で干渉し易くなり、フィルムのバタツキを抑える特許文献５に記載の発明の効果は得られない。従って、特許文献５では、そこに記載のノズルは、フィルム通過面の一方の側のみに設置することとしている。

　特許文献６に記載の発明は、特許文献４に記載の発明と同様、吹き出しエアについて、テンターオーブン内を流れるＭＤ流の影響を受け難くする効果はあるものの、ＭＤ流を根本的に遮断する効果はない。そのため、ＭＤ流に起因してフィルムの幅方向の物性ムラが発生する懸念や、テンターオーブンの消費エネルギーが増加する懸念がある。

　本発明の課題は、テンターオーブン内に発生するＭＤ流を抑制することで、フィルムの温度ムラを低減し、フィルムの幅方向の特性および厚みが均一である熱可塑性樹脂からなる延伸フィルムの製造を可能にするとともに、フィルムを所定の温度まで加熱し、その温度を保持するのに必要な消費エネルギーの削減を可能とするテンターオーブンを提供することにある。

　上記の問題を解決するため、発明者は、エア吹き付けノズルのエア吹き出し面からフィルム通過面までの距離に着目し、ＭＤ流の発生を抑制できるテンターオーブンの構成を見出した。

　本発明のテンターオーブンは、次の通りである。

　一端に熱可塑性樹脂フィルムからなる走行フィルムの入口を、他端に該走行フィルムの出口を有し、前記入口から前記出口に亘り形成される前記走行フィルムのフィルム通過面の上面と下面に対向して、前記走行フィルムに加温されたエアを吹き付ける複数のエア吹き付けノズルが設けられ、該エア吹き付けノズルの前記フィルム通過面に対向するエア吹き出し面に、前記加温されたエアを吹き出すエア吹き出し開口が設けられ、前記入口と出口の間に前記走行フィルムをその幅方向に延伸する延伸ゾーンを有するテンターオーブンにおいて、前記複数のエア吹き付けノズルの内の少なくとも一つのエア吹き付けノズルが、前記エア吹き出し面に設けられた前記エア吹き出し開口が前記走行フィルムの幅方向に延びるスリットで形成され、前記エア吹き出し面と前記フィルム通過面との間の距離Ｌと前記スリットの前記走行フィルムの走行方向におけるスリット幅Ｂが、式：（Ｌ／Ｂ）≦１０の関係を満足し、かつ、前記距離Ｌが１５０ｍｍ以下である近接ノズルであるテンターオーブン。

　本発明のテンターオーブンにおいて、複数の前記近接ノズルの内の少なくとも一つが、前記フィルム通過面の上面に対向して設けられ、かつ、他の少なくとも一つが、前記フィルム通過面の下面に対向して設けられていることが好ましい。

　本発明のテンターオーブンにおいて、前記フィルム通過面の上面に対向して設けられた前記近接ノズルと前記フィルム通過面の下面に対向して設けられた前記近接ノズルの少なくとも一組において、それぞれの前記エア吹き出し面が、前記フィルム通過面を介して、互いに対向していることが好ましい。

　本発明のテンターオーブンにおいて、前記近接ノズルの前記スリットから前記フィルム通過面に向い吹き出されるエアの流れ方向の前記フィルム通過面となすエア吹き付け角度が、８５乃至９５度であることが好ましい。

　本発明のテンターオーブンにおいて、前記延伸ゾーンの前記入口の側に、前記走行フィルムを予熱する予熱ゾーンが設けられ、該予熱ゾーンの少なくとも一部に、前記近接ノズルが設けられていることが好ましい。

　本発明のテンターオーブンにおいて、前記近接ノズルの少なくとも一つが、筐体からなり、該筐体は、その内部に、供給源から供給される前記加温されたエアの流路を有すると共に、その一面に、前記エア吹き出し面を有し、かつ、該筐体が、固定筐体と該固定筐体の両端部に、該固定筐体に対し前記走行フィルムの幅方向に移動可能な可動筐体を有することが好ましい。

　本発明のテンターオーブンにおいて、前記テンターオーブン内に、前記走行フィルムの両端部を把持する多数のクリップを前記入口から前記出口に向かい移動させる左右のクリップ移動装置、該左右のクリップ移動装置を案内し、かつ、前記走行フィルムの幅方向に間隔が変更可能に設けられた左右のレールと該左右のレールをカバーする左右のレールカバーを有し、前記それぞれの可動筐体がそれぞれに近い側のレールカバーに、連結部材を介して、前記左右のレールカバーにそれぞれ連結され、該それぞれの連結部材により、前記左右のレールの間隔の変更に応じて、前記可動筐体が前記走行フィルムの幅方向に移動可能とされていることが好ましい。ここで、レールカバーとは、レールを囲むように設置され、レールと一体で幅方向に移動する部材の総称である。

　本発明のテンターオーブンにおいて、前記近接ノズルの少なくとも一つが、前記スリットの片側あるいは両側に沿って設けられた前記走行フィルムの前記近接ノズルの先端への接触を防止する保護カバーを有することが好ましい。

　本発明の延伸フィルムの製造方法は、次の通りである。

　熱可塑性樹脂からなる未延伸フィルムまたは一軸延伸フィルムが、走行フィルムとして、上記本発明のテンターオーブンのいずれかのテンターオーブンの前記入口から該テンターオーブン内に導入され、該テンターオーブン内で、前記スリットノズルから吹き付けられる前記加温されたエアにより加熱処理され、この間に、前記走行フィルムがその幅方向に延伸された後、前記出口から導出されてなる延伸フィルムの製造方法。

　本発明のテンターオーブンに供される熱可塑性樹脂フィルムを形成する熱可塑性樹脂としては、例えば、次のものがある。

　すなわち、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリメチルペンテンなどのポリオレフィン樹脂、ナイロン６、ナイロン６６などのポリアミド樹脂、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレン－２，６－ナフタレート、ポリメチレンテレフタレート、ポリエチレン－ｐ－オキシベンゾエート、ポリ－１，４－シクロヘキシレンジメチレンテレフタレート、および共重合成分として、例えば、ジエチレングリコール、ネオペンチルグリコール、ポリアルキレングリコールなどのジオール成分や、アジピン酸、セバチン酸、フタル酸、イソフタル酸、２，６－ナフタレンジカルボン酸などのジカルボン酸成分などを共重合したポリエステルなどのポリエステル樹脂、その他、ポリアセタール樹脂、ポリフェニレンスルフィド樹脂がある。

　特に、本発明のより高い効果を得るには、ポリオレフィン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリエステル樹脂からなるフィルムが好ましい。中でも、ポリエチレン－２，６－ナフタレート樹脂やポリエチレンテレフタレート樹脂からなるフィルムが好ましく、特に、ポリエチレンテレフタレート樹脂からなるフィルムは、安価であるため、非常に多岐にわたる用途で用いられ、本発明の適用効果が高い。これらの熱可塑性樹脂は、ホモ樹脂であっても良く、共重合またはブレンドであっても良い。

　熱可塑性樹脂フィルムは、前述の熱可塑性樹脂と共に公知の各種添加剤、例えば、酸化防止剤、帯電防止剤、結晶核剤、無機粒子、減粘剤、熱安定剤、滑剤を含有していても良い。

　本発明のテンターオーブンによれば、テンターオーブン内のＭＤ流の発生を抑制することで、吹き付けエアの温度の均一性が確保できるため、テンターオーブン内で発生するフィルムの幅方向の温度ムラが低減され、フィルムの特性および厚みが均一な熱可塑性樹脂からなる延伸フィルムを製造することが可能となり、製品の品質向上と、テンターオーブン内でのフィルムの破れが低減されることによる製品の生産性向上が可能となる。

　また、本発明により、循環エアの温度を室の設定温度に近い温度に保持できるため、エアを再加熱する際に必要な熱交換器の消費蒸気量が削減できる。また、更に、エア吹き付けノズルの加熱効率が向上することにより、熱交換器の風量を削減でき、消費電力量も削減できる。

図１は、本発明のテンターオーブンの一態様の縦断面概略図である。 図２は、図１に示すＡ１－Ａ１矢視方向の平面概略図である。 図３ａは、本発明のテンターオーブンのエア吹き付けノズルとして用いられる近接ノズルのエア吹き出し面におけるスリットからフィルム通過面に向かい吹き出されるエアの流れ方向を説明する近接ノズルの長手方向における縦断面概略図である。 図３ｂは、近接ノズルのスリットからフィルム通過面に向かい吹き出されるエアの流れ方向のフィルム通過面となすエア吹き付け角度を説明する図３ａに示すＡ２－Ａ２矢視方向の近接ノズルの横断面概略図である。 図４ａは、本発明のテンターオーブンのエア吹き付けノズルとして用いられる近接ノズルの一例の横断面概略図である。 図４ｂは、図４ａに示す近接ノズルのエア吹き出し開口部Ｔの拡大横断面概略図である。 図５は、図１に示すＢ１－Ｂ１矢視方向の横断面概略図である。 図６は、固定筐体と可動筐体からなる近接ノズルが用いられた場合の図１に示すＢ１－Ｂ１矢視方向の横断面概略図である。 図７は、内部に、フィルムの処理条件が異なる複数のゾーンを有する本発明のテンターオーブンの一態様の縦断面概略図である。 図８は、本発明のテンターオーブンを構成する室をモデル化したモデルテスト機の模式側面概略図である。 図９は、図８のモデルテスト機にて、模擬的に随伴気流を発生させ、ＭＤ流の大きさを評価する方法を説明する模式側面概略図である。 図１０は、ＭＤ流の風速測定箇所を説明する図９に示すＣ１－Ｃ１矢視方向の模式正面概略図である。 図１１ａは、エア吹き付けノズルとして、走行フィルムの幅方向の長さが可変可能な近接ノズルが、本発明のテンターオーブンの全ゾーンに設けられた場合の図７に示すＤ１－Ｄ１矢視方向の平面概略図である。 図１１ｂは、図１１ａに示す近接ノズルの端部とレールカバーとの連結部の拡大平面概略図である。 図１２は、本発明のテンターオーブンのエア吹き付けノズルとして用いられる走行フィルムの幅方向のノズルの長さが可変可能な近接ノズルの一例の一方の端部とほぼ中央部との間の部分の平面概略図である。 図１３は、従来のテンターオーブンのエア吹き付けノズルとして用いられる多孔板タイプの吹き付けノズルにおいて、走行フィルムの幅方向のノズルの長さを可変可能とした場合の多孔板タイプの吹き付けノズルの一方の端部とほぼ中央部との間の部分の平面概略図である。 図１４ａは、本発明のテンターオーブンのエア吹き付けノズルとして用いられる走行フィルムの幅方向のノズルの長さが可変可能な近接ノズルのエア吹き出し開口（スリット）の近傍に、近接ノズルの先端部への走行フィルムの引っかかりを防止するための保護カバーを設置した場合の近接ノズルの一例のフィルムの走行方向における縦断面概略図である。 図１４ｂは、図１４ａに示す近接ノズルの平面概略図である。

　本発明のテンターオーブンのいくつかの実施態様について、図面を参照しながら説明する。

　図１は、本発明のテンターオーブンの一態様の縦断面概略図である。図２は、図１に示すＡ１－Ａ１矢視方向の平面概略図である。図１において、テンターオーブンＴＯ１は、一端に熱可塑性樹脂フィルムからなる走行フィルムの入口６を、他端に走行フィルムの出口７を有し、入口６から出口７に亘り形成される走行フィルムのフィルム通過面５を有する。

　フィルム通過面５の上面側に、入口６から出口７に向かい、すなわち、フィルムの走行方向に、間隔をおいて、５個の上側エア吹き付けノズルＮＵｎ（ｎ＝１乃至５）が設けられている。各エア吹き付けノズルＮＵｎのエア吹き出し面８は、フィルム通過面５に対し間隔をおいて、フィルム通過面５に対向している。

　フィルム通過面５の下面側にも、入口６から出口７に向かい、すなわち、フィルムの走行方向に、間隔をおいて、５個の下側エア吹き付けノズルＮＬｎ（ｎ＝１乃至５）が設けられている。各エア吹き付けノズルＮＬｎのエア吹き出し面８は、フィルム通過面５に対し間隔をおいて、フィルム通過面５に対向している。

　通常、エア吹き付けノズルは、筐体で形成され、その内部に、供給源から供給される加温されたエアの流路を有すると共に、その一面に、筐体の長手方向（走行フィルムの幅方向）に沿って、前記エア吹き出し面８を有する。

　エア吹き付けノズルＮＵｎ、ＮＬｎのエア吹き出し面８には、加温されたエアを吹き出すエア吹き出し開口８ａが設けられている。各エア吹き出し開口８ａは、スリットで形成されている。以下において、スリット８ａで形成されているエア吹き出し開口を有するエア吹き出しノズルを、スリットノズルと呼称する。

　テンターオーブンＴＯ１の内部は、フィルムの入口６からフィルムの出口７に亘って、すなわち、フィルムの走行方向に、フィルムの処理目的が異なる複数のゾーンに区分されていることが好ましい。

　テンターオーブンにおけるフィルムの処理目的が異なるゾーンとは、フィルムの予熱、延伸、熱処理、あるいは、冷却などを行うフィルムの処理工程に対応したゾーンのことであり、各工程は、一般に、予熱ゾーン、延伸ゾーン、熱処理ゾーン、冷却ゾーンなどと呼ばれる。テンターオーブンが複数のゾーンに区分されている場合、入口６に最も近い側に位置するゾーンが予熱ゾーンであることが好ましい。

　各ゾーンは、各ゾーンを区切る仕切りがない一つの処理室内に形成されることもあるが、一般には、走行フィルムの入口６から走行フィルムの出口７に亘って、すなわち、フィルムの走行方向に、複数の処理室に区画され、処理室毎に温度の設定を変更できるように構成される。テンターオーブンにおける処理室とは、走行フィルムを通すために設けられた開口部、ならびに、必要に応じて設けられている加温されたエアの供給および排出のために設けられた開口部以外が壁で仕切られた空間のことである。

　スリットノズルＮＵｎ、ＮＬｎとは、熱風（加温されたエア）を吹き出し、フィルムを加熱するためのノズルである。フィルムは、処理室内を入口６から出口７に向かって走行しながら、スリットノズルＮＵｎ、ＮＬｎから吹き出される加温されたエアによって、それぞれの処理目的に応じて、加熱または冷却される。フィルムの温度が加温されたエアの温度より高い場合は、加温されたエアによりフィルムは冷却される。

　スリットノズルＮＵｎ、ＮＬｎの周囲には、エア吸い込み部２が設けられている。フィルムに当たって跳ね返ってくる温度の低いエアは、エア吸い込み部２で吸引され、テンターオーブンＴＯ１に併設されている熱交換器３に至り、熱交換器３において、設定温度まで再加熱され、循環ファン４によって、スリットノズルＮＵｎ、ＮＬｎから吹き出される。

　スリットノズルＮＵｎ、ＮＬｎから出たエアの流れには、初期風速を維持する領域、すなわち、ポテンシャルコアと、ポテンシャルコアから離れ、周辺の静止エアを巻き込み、流速が低下する領域、すなわち、乱流域が存在する。スリットノズルＮＵｎ、ＮＬｎのエア吹き出し面８のエア吹き出し開口（スリット）８ａから出たエアは、フィルム通過面５に近づくほど、ポテンシャルコアにおけるエアの風速が弱くなり、乱流域が発達する。

　従って、フィルム通過面５とエア吹き出し面８との距離が長くなればなるほど、随伴気流などの外乱に対して、吹き出しエアの直進性が弱まり、その安定性が失われ、ＭＤ流になり易い。よって、スリットノズルＮＵｎ、ＮＬｎによるフィルムの加熱効率も低下し易い。

　エア吹き出し面８とは、スリットノズルＮＵｎ、ＮＬｎにおいてエアが吹き出す面であり、スリットノズルＮＵｎ、ＮＬｎの先端面を意味する。フィルム通過面５とは、走行するフィルムの表面が通過する面を意味する。

　ＭＤ流の発生を抑制する方法として、吹き付けエアの風速を上げることが容易に考えられる。しかし、エア吹き出し面８からフィルム通過面５までの距離が大きい状態のまま、吹き付けエアの風速を上げたとしても、ＭＤ流の発生を根本的に抑制することは困難である。何故なら、上記ポテンシャルコアの長さあるいは強さは、エア吹き出し面８のエア吹き出し開口（スリット）８ａの大きさに依存しており、風速を上げるのみでは、吹き付けエアの安定性を確保できないからである。

　風速を上げることは、エア吹き出し開口（スリット）８ａの大きさが一定であれば、吹き付けエアの風量増加を意味し、フィルム面を流れる随伴気流が多くなり、ＭＤ流になり易い。更に、風量増加により、テンターオーブンの消費エネルギー（蒸気、電力）も増加する。

　そこで、ＭＤ流の発生を抑制するためには、吹き付けエアのポテンシャルコアの直進性はエア吹き出し面８のスリット８ａのフィルムの走行方向における間隙Ｂ（スリット幅Ｂ）（図２参照）に影響されるため、エア吹き出し面８からフィルム通過面５までの距離Ｌとスリット幅Ｂが、式：（Ｌ／Ｂ）≦１０を満足していることが必要となる。距離Ｌとスリット幅Ｂが、式：（Ｌ／Ｂ）≦５を満足していることが好ましい。距離Ｌが１５０ｍｍの場合、スリット幅Ｂは、１５ｍｍ以下であることが好ましく、この場合、距離Ｌとスリット幅Ｂが、式：（Ｌ／Ｂ）≦１０を満足することが可能である。

　（Ｌ／Ｂ）の値の下限は、特に限定されないが、スリット幅Ｂの値が約１５ｍｍ以下の場合、メンテナンス性、作業性などを考慮した距離Ｌの実用範囲が約３０ｍｍとなるので、距離Ｌとスリット幅Ｂが、式：２≦（Ｌ／Ｂ）を満足していることが好ましい。

　スリット幅Ｂとは、エア吹き出し面８がスリット形状の開口を有する際の、該開口のフィルムの走行方向の長さ（幅）を云う。

　ＭＤ流の発生を更に有効に抑制する方法として、スリットノズルＮＵｎ、ＮＬｎのエア吹き出し面８からフィルム通過面５までの距離Ｌを１５０ｍｍ以下とすることが好ましい。

　エア吹き出し面８からフィルム通過面５までの距離を１５０ｍｍ以下とすることにより、吹き付けエアのポテンシャルコアがフィルム通過面５に近づくため、吹き付けエアがＭＤ流に対して、強力なエアカーテンとして機能する。よって、処理室または処理ゾーン内に設けられているスリットノズルＮＵｎ、ＮＬｎの少なくとも１つのスリットノズルにおいて、エア吹き出し面８からフィルム通過面５までの距離Ｌを１５０ｍｍ以下とすることが好ましい。

　以下において、吹き出し面８からフィルム通過面５までの距離が１５０ｍｍ以下であるスリットノズルＮＵｎ、ＮＬｎを、近接ノズルＮＵｎ、ＮＬｎと呼称する。

　これにより、ＭＤ流の抑制だけではなく、吹き付けエアの直進性あるいは安定性が一層改善されることで、近接ノズルＮＵｎ、ＮＬｎによるフィルムの加熱効率が一層向上する。また、ＭＤ流の抑制により、フィルムに発生する温度ムラを一層低減させるとともに、循環エアを各処理室の設定温度まで加熱するのに必要な消費蒸気量を一層削減させることもできる。

　一方、エア吹き出し面８からフィルム通過面５までの距離Ｌが１５０ｍｍを超えると、吹き付けエアの直進性が失われ易く、ＭＤ流の抑制効果は低下し、エア吹き付けノズルによるフィルムの加熱効率が低下する。

　更に、近接ノズルのエア吹き出し面８からフィルム通過面５までの距離Ｌが、７５ｍｍ以下であることがより好ましい。これにより、吹き付けエアのポテンシャルコアが直進性を維持したまま、フィルム通過面５に到達することで、ＭＤ流の抑制効果やフィルムの加熱効率が向上する。

　近接ノズルのエア吹き出し面８からフィルム通過面５までの距離Ｌは、５０ｍｍ以下であることが更に好ましい。距離Ｌを５０ｍｍ以下にすることで、フィルムの加熱効率は、更に向上する。

　通常、エア吹き出し面からフィルム通過面までの距離は、熱可塑性樹脂フィルムのテンターオーブンにおいては、１７０ｍｍ以上、３００ｍｍ以下である。この距離を、例えば、１７０ｍｍから、５０ｍｍに近づけると、フィルムの加熱効率は、２０乃至３０％向上することが判明した。

　近接ノズルにより、フィルムの加熱効率が向上する分、循環ファンの風量を下げることで、消費電力量を削減することができる。その際、近接ノズルを設置する前と比較して、近接ノズルを適用した場合、フィルムの特性および品質に変化がないことを確認しながら、循環ファンの風量を下げるようにすると良い。

　走行中のフィルムにたるみがある場合は、吹き付けエアによってフィルムが上下方向にばたつく現象が発生するため、エア吹き出し面８からフィルム通過面５までの距離Ｌを小さくし過ぎると、走行フィルムが近接ノズルの先端面（エア吹き出し面）に接触して、走行フィルムに破れが発生し易くなる。従って、エア吹き出し面８からフィルム通過面５までの距離Ｌの下限は、走行フィルムが近接ノズルのエア吹き出し面８に接触しない範囲で設定するのが良い。

　発明者は、後述の実施例の範囲において、走行フィルムが近接ノズルに接触することなく延伸フィルムが製造できることを確認した。走行フィルムのたるみを小さくするなどの工夫をすれば、距離Ｌを更に短くすることも可能である。

　一方、走行フィルムが、テンターオーブン内において、吹き出しエアのアンバランスなどに起因してばたつきを生じた場合の走行フィルムの近接ノズルの先端面（エア吹き出し面）への引っかかりによるフィルムの破れを防止するために、近接ノズルの先端面は、なるべく鋭利な部分がないように加工しておくことが好ましい。

　また、近接ノズルの先端面を滑らかに加工すると共に、あるいは、その代わりに、近接ノズルの先端面の近傍に、近接ノズルの長手方向（走行フィルムの幅方向）に沿ってフィルム引っかかり防止用の保護カバーを設置しても良い。保護カバーの形状としては、例えば、棒状、板状がある。板状の場合は、隣接する近接ノズルの間に亘り一枚の板を設けても良い。

　保護カバーが、隣接する近接ノズルの間に亘り一枚の板で形成される場合は、一枚の板には、排出エアが流通可能なエア流通孔が設けられていることが必要となる。これは、隣接する近接ノズルの間に形成されるエア吸い込み部２を通り、テンターオーブンに併設されている熱交換器３へと排出されるエアの流通路を確保するためである。

　フィルム引っかかり防止用の保護カバーを近接ノズルの先端面の近傍に設置する場合の一例を、図１４ａを用いて説明する。図１４ａは、本発明のテンターオーブンのエア吹き付けノズルとして用いられる走行フィルムの幅方向のノズルの長さが可変可能な近接ノズルのエア吹き出し開口（スリット）の近傍に、近接ノズルの先端面への走行フィルムの引っかかりを防止するための保護カバーを設置した場合の近接ノズルの一例のフィルムの走行方向における縦断面概略図である。

　図１４ａにおいて、近接ノズルＮＬ１、ＮＬ２のそれぞれは、走行フィルムの幅方向のノズルの長さが可変可能な近接ノズルである。各近接ノズルＮＬ１、ＮＬ２は、固定ノズル部分（固定筐体）１４と固定ノズル部分（固定筐体）１４に対し摺動可能に伸縮する可動ノズル部分（可動筐体）１５からなる。近接ノズルＮＬ１、ＮＬ２のエア吹き出し面８の近傍に、近接ノズルの先端面への走行フィルムの引っかかりを防止するための保護カバー４２が設けられている。

　保護カバー４２の先端３８が、近接ノズルＮＬ１のエア吹き出し面８より、フィルム通過面５側に位置していることが好ましい。また、保護カバー４２の先端を折り曲げるなどして、鋭利な部分がないようにするのが良い。保護カバー４２の先端３８が、近接ノズルＮＬ１のエア吹き出し面８より走行フィルム（フィルム通過面５）に近い位置に位置することにより、走行フィルムが、近接ノズルＮＬ１の先端面に接触することなく、保護カバー４２に、必要に応じて、接触するため、近接ノズルの先端面への接触によるフィルムの破れが防止される。

　エア吹き付けノズルが近接ノズルである場合、ノズルのメンテナンス性や清掃の作業性などを確保するため、フィルム通過面５の上面側に位置する上側近接ノズルＮＵｎのエア吹き出し面８からフィルム通過面５の下面側に位置する下側近接ノズルＮＬｎのエア吹き出し面８までの距離を５０ｍｍ以上とし、作業スペースを確保するのが良い。すなわち、エア吹き出し面８からフィルム通過面５までの距離Ｌを、２５ｍｍ以上にすることが好ましい。

　近接ノズルを用いる場合、フィルム通過面５に対して、エア吹き出し面８が対向して位置することが好ましい。また、近接ノズルがフィルム通過面５の上側と下側に設けられる場合、それぞれの近接ノズルのエア吹き出し面８が、フィルム通過面５を介して、互いに対向していることが好ましい。

　もし、近接ノズルを、フィルム通過面５に対して、その上側または下側のみに設置した場合、近接ノズルが設置されてない側において、ＭＤ流が流れ易くなり、近接ノズルのＭＤ流抑制効果が低減する。

　熱可塑性樹脂フィルムは、布帛のような材料とは異なって、上面と下面との間において、エアが透過し難い。フィルムの上面側または下面側のみからエアを吹き付けると、吹き付けエアの風圧によりフィルムが吹き上がり、フィルムのバタツキが大きくなる。これが、フィルム破れなどの原因になる。また、フィルムの両面を均一に加熱、冷却または乾燥することが難しく、フィルムに物性ムラが発生し易い。

　そのため、フィルムのエアが吹き付けられる面に対向する位置に、フィルムのバタツキを防止するための装置（例えば、押さえロールなど）を設けることが好ましい。しかし、フィルムのバタツキを防止するためには、フィルム通過面５の上面側と下面側において、それぞれ近接ノズルをフィルム通過面５に対向させて設置することが好ましく、上面側の近接ノズルのエア吹き出し面と下面側の近接ノズルのエア吹き出し面とが、互いに対向していることが更に好ましい。

　エア吹き出し面が対向するとは、上面側の近接ノズルのエア吹き出し面をフィルム通過面５に投影したときの投影面と、下面側の近接ノズルのエア吹き出し面をフィルム通過面５に投影したときの投影面において、双方の投影面が少なくとも一部重なる状態を云う。双方の投影面が完全に重なる状態にあることが、より好ましい。

　この状態を、近接ノズルの数をｎ個として、説明すると、次の通りとなる。すなわち、フィルム通過面５の上面側にｎ個の近接ノズルが設けられ、フィルム通過面５の下面側にもｎ個の近接ノズルが設けられ、各近接ノズルのエア吹き出し面が、フィルム通過面５に対向して位置していることが好ましく、上面側の近接ノズルのエア吹き出し面と下面側の近接ノズルのエア吹き出し面とが互いに対向していることが、更に好ましい。

　近接ノズルの数のｎ個は、ｎの値が１以上の整数であれば、その上限は特に限定されないが、一般的には、ｎの値は、３００以下の範囲で選択すれば良い。

　ＭＤ流を十分抑制し、フィルムの加熱、冷却または乾燥の能力を確保するため、近接ノズルのスリットから吹き出されるエアの流れ方向とフィルム通過面５とがなすエア吹き付け角度が、垂直であることが好ましい。エア吹き付け角度が垂直とは、近接ノズルのスリットから吹き出されるエアの流れ方向２３（図３ｂ参照）とフィルム通過面５とがなすエア吹き付け角度２２が、９０±５°の範囲内を意味する。

　この関係を図３ａと図３ｂを用いて説明する。すなわち、図３ｂに示す吹き付け角度２２が、９０°から１°でも外れれば垂直には該当しない、というわけではない。通常、近接ノズルの設置誤差などにより、吹き付け角度２２が９０°から多少ずれる場合がある。そのため、好ましい吹き付け角度２２は、９０±５°の範囲となる。吹き付け角度２２は、９０±２°の範囲であることが、より好ましい。

　吹き付け角度には、フィルムの走行方向の下流側における角度（図３ｂの角度２２）とフィルムの走行方向の上流側における角度があるが、ここで云う吹き付け角度は、フィルムの走行方向の下流側における角度（図３ｂの角度２２）を云う。

　テンターオーブンにおけるＭＤ流の抑制効果は、吹き付けエアのポテンシャルコアをできるだけフィルム通過面５に近接させることで、ＭＤ流に対して強力なエアカーテンを形成することによって得られる。よって、フィルム面での吹き付けエアの風圧が高い状態であることが好ましい。そのため、吹き付けエアをフィルム通過面５に垂直に当てることが好ましい。

　吹き付け角度２２が９０±５°から外れると、フィルム通過面５を通過するフィルム面（上面あるいは下面）に対して、吹き付けエアが斜めに当たることになり、吹き付けエアの流れのフィルム面に対する直進性が、フィルム面の随伴気流などの外乱の影響により、失われ、ＭＤ流を形成することになる。そのため、フィルム幅方向の物性ムラや、ＭＤ流による消費エネルギー増加などの問題が生じる。

　吹き付け角度２２をフィルム通過面５に対し垂直にするために、図４ａに示すように、近接ノズルＮＵｎ、ＮＬｎのフィルムの走行方向における断面（縦断面）、すなわち、ノズルの長手方向に直角な方向における断面（横断面）２４におけるエア流路の形状が、ノズル中心線２５に対して、左右対称であることが好ましい。

　図４ｂは、図４ａに示す近接ノズルのエア吹き出し開口部Ｔの拡大横断面概略図である。図４ｂに示すノズルのエア吹き出し開口部Ｔの横断面において、エア吹き出し面８におけるエア吹き出し開口（スリット）８ａのスリット間隙（スリット幅）Ｂとエア吹き出し面８からノズルの底面方向の距離Ｈが、式：（Ｈ／Ｂ）≦１０を満足する範囲において、ノズルにおける前記エア流路の断面形状が左右対称であることがより好ましい。例えば、スリット間隙Ｂが１０ｍｍの場合、式：Ｈ≦１００ｍｍを満足する範囲において、ノズルにおける前記エア流路の断面形状が左右対称であることがより好ましい。

　図５は、図１に示すテンターオーブンの図１におけるＢ－Ｂ矢視方向の横断面概略図である。図６は、図５に示す近接ノズルが固定筐体と可動筐体からなる場合のテンターオーブンの横断面概略図である。

　図５に示すテンターオーブンにおいて、フィルム通過面５の上面側および下面側に、近接ノズルＮＵｎ、ＮＬｎのエア吹き出し面８が、フィルム通過面５に対向して位置する。このテンターオーブンにおいて、その内部に、フィルムの両端部を把持するための多数のクリップ１１を入口６から出口７に向かい移動させる左右のクリップ移動装置と、左右のクリップ移動装置を案内し、かつ、走行フィルムの幅方向の間隔が可変可能に設けられた左右のレール１２と、左右のレールをカバーする左右のレールカバー１３が設けられている。

　もし、レールカバー１３と近接ノズルＮＵｎ、ＮＬｎとが干渉し、エア吹き出し面８からフィルム通過面５までの距離を１５０ｍｍ以下の範囲に近づけることができない場合、近接ノズルＮＵｎ、ＮＬｎの走行フィルムの幅方向の長さを、双方のレールカバー１３の間の距離より短くし、近接ノズルＮＵｎ、ＮＬｎが、双方のレールカバー１３の間に収容されるようにすれば良い。

　図６は、フィルム通過面５の上面側および下面側に、近接ノズルＮＵｎ、ＮＬｎのエア吹き出し面８がフィルム通過面５に対向して位置する場合のテンターオーブンの横断面概略図である。図６を用いて、双方のレール１２の走行フィルムの幅方向における間隔（レール間隔）２６が変化することに対応するための近接ノズルの構造の一例を、次に説明する。

　図６に示す近接ノズルＮＵｎ、ＮＬｎは、レール間隔２６の幅の変化に追従して、走行フィルムの幅方向に、その長さが可変（伸び縮み）可能な近接ノズルである。レール間隔２６の幅の変化に追従して、長さが可変な近接ノズルＮＵｎ、ＮＬｎの一例は、固定ノズル部分１４と固定ノズル部分１４に対して摺動可能に出入りする可動ノズル部分１５とから構成されている。可動ノズル部分は、複数段の可動な部分から形成されていても良い。

　この場合において、近接ノズルを形成する固定ノズル部分の数、および、可動ノズル部分の数は、レール間隔２６の変化幅に応じて選定すれば良い。左右の可動ノズル部分１５を左右のレールカバー１３のそれぞれに連結することで、レール間隔２６の幅変化に追従させることができる。

　長さがその長手方向（フィルムの幅方向）に可変な近接ノズルにおいて、フィルム引っかかり防止用の保護カバーを設置する場合、保護カバー４２（図１４ａ参照）は、近接ノズルと同様、レール間隙の幅変化に追従しなければならないため、例えば、図１４ｂに示すように、保護カバー４２は、固定カバー部分４０と固定カバー部分４０に対して摺動可能に出入りする可動カバー部分３９とから構成されることが好ましい。可動カバー部分３９の端部をレールカバー１３に連結することで、レール間隙の幅変化に追従させることができる。

　保護カバー４２が、フィルムの走行方向に隣接する近接ノズルＮＵｎ、ＮＬｎの間のエア吸い込み部２を横切って設けられる場合には、エア吸い込み部２を流動するエアの流動を妨げないように、保護カバー４２に、保護カバーの開口部４１を設けることが必要となる。これにより、フィルム面から跳ね返ってくるエアの流路（エア吸い込み部２）が確保される。

　この保護カバーの開口部４１の形状は、図１４ｂに示す円形の多数の孔に限られることはなく、保護カバー４２の強度、製作精度などを考慮して、保護カバーの開口部４１の形状、大きさ、配列などを設計すれば良い。

　走行フィルムの幅方向の長さが可変なノズルのエア吹き出し面のエア吹き出し開口のパターンは、スリットである必要がある。なぜなら、図１３に示すように、多孔板タイプのエア吹き出し面を有するエア吹き付けノズルが用いられ、このエア吹き付けノズルが、固定ノズル部分１４と可動ノズル部分１５から形成されている場合、エア吹き付けノズルの幅が変更される際、固定ノズル部分１４と可動ノズル部分１５との出入り箇所に孔がふさがる部分が生じることにより、隣り合う孔間のピッチ３５の変化や、実質的な開口面積３６の縮小により吹き出しエアの幅方向の分布が不均一になる部分３７が存在し、フィルム幅方向の物性ムラを均一にすることが困難となるからである。

　この問題は、エア吹き出し面のエア吹き出し開口のパターンをスリットにすることで解決される。すなわち、ノズルの長さ（ノズルのフィルムの走行方向に直角な方向の長さ）が変化したとしても、ノズルの長さ方向に設けられているスリット８ａのスリット間隙の大きさ（スリット幅）は、ノズルの長さ方向に一定であるため、スリットの開口面積が、固定ノズル部分と可動ノズル部分との出入個所おいて、不均一になることが回避されるからである。これにより、ノズルの長さが変化しても、所望の均一な物性を有する延伸フィルムの製造が実現できる。

　内部に加温されたエアの流路を有する走行フィルムの幅方向に延びる筐体からなり、この筐体において、この筐体の走行フィルムの幅方向の両端部のそれぞれが、走行フィルムの幅方向に伸縮可能とされた近接ノズルにおいて、可動ノズル部分１５とレールカバー１３との連結部は、レール１２（または、レールカバー１３）のフィルム走行方向の移動を吸収でき、かつ、フィルムの走行方向およびフィルムの幅方向に対して自由に回転できる連結部材で形成されていることが好ましい。

　テンターオーブンは、図１１ａに示すように、フィルムを幅方向に伸ばし、フィルムに所定の物性を付与する延伸工程を有する。つまり、左右のレールの間の幅の変更は、製品幅の異なる品種の切り替え時だけではなく、延伸工程において、フィルムにさまざまな延伸倍率を与える場合にも必要となる。例えば、延伸倍率を変化させるため、あるパターンＡの状態のレールＲＰＡから、別のパターンＢの状態のレールＲＰＢへと、左右のレールの間の幅を変更する場合、パターンＡの状態のレールＲＰＡにおけるレールカバー１３と可動ノズル部分１５の連結部２７の位置は、パターンＢの状態のレールＲＰＢでは、連結部２８の位置に移動する。

　つまり、双方のレールの間の幅の変更によって、連結部２７がフィルムの走行方向（ＭＤ方向）に移動すると共に、レールカバー１３が近接ノズルに対して相対的に回転する。よって、可動ノズル部分１５とレールカバー１３が単純に固定されていると、レールカバー１３の移動により、近接ノズルが損傷を受ける恐れがある。なお、フィルムの延伸倍率は、要求品質によって、約３乃至７倍の範囲で変化する場合があり、ＭＤ方向のレールの移動量も大きくなる場合がある。

　従って、テンターオーブンのＭＤ方向に複数個の近接ノズルを設ける場合、連結部２７、２８は、レール幅の変更によるＭＤ方向の移動量３０を吸収しながら、連結部２７、２８がフィルムの走行方向および幅方向に対して自由に回転できる構造とすることが好ましい。単にノズルの長さがフィルムの幅方向に伸縮するだけでは、延伸倍率の変化に追従できない場合があるからである。

　このための対処策は、例えば、レールカバー１３と可動ノズル部分１５の連結部２７を形成する連結部材に、レール移動量に応じた長穴を設け、この長穴に、ピン機構３１（図１１ｂ参照）やリンク機構などを係合させることで実現できる。この連結部材は、例えば、近接ノズルの端部の可動ノズル部分のレール側端部に取り付けられた連結部２７に設けられた長穴２７ａに、レールカバー１３に取り付けられたアーム３１ａの先端部に設けられたピン３１ｂを、移動可能に嵌合させることにより形成される。

　ただし、可動ノズル部分とレールカバーを連結しなくても、可動ノズル部分に、駆動源を設置することも可能であるが、このときは、レールカバーの動きと同期させるなど、近接ノズルとレールカバーの干渉による損傷を避ける対処策が必要となる。

　ノズルの長さが可変可能な近接ノズルにおいて、近接ノズルのスリットに、スリット間隙保持用の連結リブ３２（図１２参照）を設けることが好ましい。その際、連結リブ３２の幅３３は２ｍｍ以下で、かつ、隣り合う二つのリブ間の距離３４が１０ｍｍ以上であることが好ましい。

　エア吹き出し面がスリット形状の開口部を有する場合、すなわち、スリットノズル、あるいは、近接ノズルの場合、フィルム幅方向の加熱効率を均一化するために、固定ノズル部分と可動ノズル部分のそれぞれのスリット間隙を一定に保てるような構造のノズルであることが好ましい。これは、図１２に示すように、エア吹き出し面のスリットに、連結リブ３２（スリット間隙を保持する補強部材）を、ノズル幅方向において、一定間隔で設けることで実現できる。

　連結リブ３２の存在に起因して、連結リブ３２の近傍を通るエアの流れが乱されることで、加熱効率のムラが発生する懸念がある。しかし、発明者の検討によれば、連結リブ３２の幅３３が２ｍｍ以下で、かつ、鉛直方向の連結リブ３２の厚みが２ｍｍ以下にすることにより、この懸念は、解消される。この範囲を超えると、加熱効率のムラが大きくなり、厚みムラなどフィルムの品質問題を起こす懸念がある。

　隣り合う二つの連結リブ間の距離３４は、少なくとも１０ｍｍ以上であることが好ましい。距離３４を１０ｍｍ以上にすることで、連結リブ３２の近傍を流れるエアの流量減少による影響が小さくなり、フィルムの品質に対する実害はほとんどなくなる。距離３４の上限は、ノズルのエア吹き出し面の剛性によるので、特に限定されないが、好ましくは５００ｍｍ以下で、より好ましくは１００ｍｍ以下である。

　連結リブ３２の幅３３とは、スリットの長手方向における連結リブ３２の幅であり、連結リブ３２の厚みとは、鉛直方向の寸法のことである。隣り合う二つのリブの距離３４とは、隣接するリブの幅の中央位置の間の距離を云う。

　連結リブ３２の形状は、直方体形状もしくは丸棒のような形状でも良い。ただし、連結リブ３２の形状、ノズル幅方向のピッチなどは、生産しようとするフィルムのムラの許容レベルに応じて、最適な仕様を検討することが望ましい。

　ノズルの長さが可変可能な近接ノズルにおいて、可動ノズル部分１５の固定ノズル部分１４に対する移動個所には、摺動機構が設けられていることが好ましい。

　可動ノズル部分１５は、フィルムの幅方向において、固定ノズル部分１４と衝突することなく、両ノズル間に一定の隙間が維持されながら、低い摺動抵抗で移動し、所定のノズル幅に調整できることが好ましい。そのため、可動ノズル部分１５に摺動機構を設けることが良く、この摺動機構としては、例えば、可動ノズル部分１５に車輪を設け、固定ノズル部分１４に、可動ノズル部分１５に設けられた車輪が走行するレールを設けた摺動機構が考えられる。

　なお、摺動機構の種類、構造は、上に例示した車輪式に限るものではなく、リニアガイドによる摺動、潤滑剤を浸透させた金属板間の接触による摺動などさまざまな方法が考えられ、メンテナンス性（潤滑剤の補給、ノズルの修理、点検）、コスト、摺動抵抗、耐熱性などを考慮して、選定すれば良い。

　入口６から出口７に向かい複数のゾーンに区分されたテンターオーブンにおいて、延伸工程の前のゾーンを予熱ゾーンとした際に、近接ノズルが、少なくとも予熱ゾーンの一部に設けられていることが好ましい。その理由は、次の通りである。

　図７は、複数のゾーンから構成されるテンターオーブンの一例の縦断面概略図である。

　図７において、テンターオーブンＴＯ２は、入口６と出口７以外の部分がオーブン外壁２１で囲まれている。テンターオーブンＴＯ２の内部は、それに要求される機能に応じて、例えば、予熱ゾーンＺＰＨ、延伸ゾーンＺＤ、熱固定ゾーンＺＨＳ、冷却ゾーンＺＣに区分される。各ゾーンには、フィルム通過面の上面と下面に対向して、走行フィルムに加温されてエアを吹き付ける複数のエア吹き付けノズルが設けられている。

　予熱ゾーンＺＰＨとは、フィルムを延伸する前の工程のゾーンを云う。例えば、熱可塑性樹脂フィルムが、ポリエステルの逐次二軸延伸フィルムであれば、フィルムの結晶化が進行しない温度で、かつ、フィルムを延伸可能な温度まで加熱するゾーンである。

　テンターオーブンＴＯ２の入口６に最も近い位置にあるゾーンである予熱ゾーンＺＰＨに、ＭＤ流が発生することにより、設定温度の異なる温度のエア（例えば、オーブンの外気、延伸ゾーンの循環エアなど）が流れ込むと、吹き付けエアとＭＤ流が混合することで、フィルムの厚みムラや、延伸性不良、または、予熱に入る前のフィルムにコーティングが施されている場合は、コーティングの乾燥ムラなどの問題が起こる。

　予熱ゾーンＺＰＨで生じたこれらの品質問題は、予熱ゾーンＺＰＨ後の延伸ゾーンＺＤ、熱固定ゾーンＺＨＳ、冷却ゾーンＺＣで受ける熱履歴によって、より顕著化する。また、外気の流れ込みにより、循環エアの温度が低下し、熱交換器の消費蒸気量が必要以上に増加する。

　発明者の検討によれば、テンターオーブンＴＯ２の一部（予熱ゾーン）のみに近接ノズルを設けることによって、テンターオーブンＴＯ２の全ゾーンに近接ノズルを設けた場合の６０％以上のエネルギー削減効果が得られる見込みを得た。

　一方、テンターオーブンＴＯ２の後半のゾーン、例えば、熱固定ゾーンＺＨＳには、オリゴマの堆積物が多く存在し、そこに、ノズルの長さが可変可能な近接ノズル（図６参照）を適用する場合、ノズルの可動ノズル部分１５と固定ノズル部分１４との摺動隙間にオリゴマが入り込み、経時的に堆積することで、ノズルが故障する懸念がある。また、この摺動隙間に堆積したオリゴマがフィルム表面に落下した場合、異物欠点となり、要求の品質を得られない懸念もある。

　以上の理由より、近接ノズルを予熱ゾーンに設けることで、ノズル故障の懸念がなく、ＭＤ流の抑制効果や、エネルギー効率の向上効果を大きく発揮することができる。近接ノズルを予熱ゾーンに設ける場合は、予熱ゾーンの全てのエア吹き付けノズルが、近接ノズルであることが、更に好ましい。予熱ゾーンの全ての吹き付けノズルが近接ノズルであることによって、ＭＤ流の抑制効果や、エネルギーの削減効果が大きくなる。

　テンターオーブンの換気によるテンターオーブン内の塵埃を低減させる目的で、室内に給気ダクトと排気ダクトが設けられる場合がある。近接ノズルを使用する場合、ＭＤ流の抑制の効果を高めるためには、近接ノズルを設置した室またはゾーンにおいて、給気量合計と排気量合計の比を１とし、バランスさせることが好ましい。なぜなら、給排気量のアンバランスにより、フィルムの走行方向に、エアの流れが生じ、その流れが外乱として作用するためである。よって、予熱ゾーンに近接ノズルを使用する場合で、予熱ゾーンに給気ダクトと排気ダクトがある場合は、予熱ゾーンの給気量合計と排気量合計の比を１とすることが好ましい。

　近接ノズルを適用する室またはゾーンの入口および出口において、かつ、フィルム通過面の上面および下面から、エア吹き出し面方向（垂直方向）に、２０乃至５０ｍｍ離れたところに、エア流入防止用シャッターを設置すると、近接ノズルとの相乗効果として、ＭＤ流の大きな抑制効果が得られる。

　ＭＤ流の抑制効果および消費エネルギーの削減効果を最大限にするには、テンターオーブンの全てのゾーンに、近接ノズルを適用すれば良い。その際、ゾーン全体の給排量と排気量の比を１とすることが好ましい。

　しかし、テンターオーブンの全てのゾーンに近接ノズルを適用する際、図６に示すような長手方向（フィルムの走行方向に直角な方向）の長さが調整可能な近接ノズルは、通常の近接ノズルに比べ、その製作費が高く、また、その構造に起因する吹き出しエアの微弱な風速ムラが生じ易い。従って、費用対効果、製造される延伸フィルムの品質への影響などを十分考慮して、長手方向の長さが調整可能な近接ノズルの適用範囲を決めることが好ましい。

　一般に、熱可塑性樹脂を口金から冷却ドラム上に押し出すことで未延伸フィルムを得て、必要に応じて、この未延伸フィルムをその長手方向（走行方向）に延伸して一軸延伸フィルムとし、得られた一軸延伸フィルムをテンターオーブン中で幅方向に延伸する方法（逐次二軸延伸法）により、二軸延伸した熱可塑性樹脂フィルムを得ることが、あるいは、前記未延伸フィルムをテンターオーブン中で走行方向と幅方向とに同時に延伸する方法（同時二軸延伸法）により、二軸延伸した熱可塑性樹脂フィルムを得ることが、広く行われている。このような製造過程で用いられるテンターオーブンとして、本発明のテンターオーブンが好ましく用いられる。

　本発明の延伸フィルムの製造方法は、熱可塑性樹脂を口金から冷却ドラム上に押し出して得られる未延伸フィルム、または、既に得られている一軸延伸フィルムを、本発明のテンターオーブンに導入して二軸延伸された延伸フィルムを製造するものである。本発明の延伸フィルムの製造方法により製造される熱可塑性樹脂からなる二軸延伸された延伸フィルムは、その幅方向の特性および厚みが均一である。また、その製造工程におけるフィルムの昇温に必要な消費エネルギーを、従来の場合に比べ、大幅に削減することができる。

　次に、実施例を用いて本発明を更に説明する。

　まず、本発明による効果の評価方法について説明する。

　（１）ＭＤ流の測定手法
　本発明のテンターオーブンを構成する室をモデル化したモデルテスト機を作成し、これを用いてＭＤ流を測定した。図８は、このモデルテスト機の縦断面概略図である。テストを簡便かつ安価に実施するため、熱可塑性樹脂フィルムの代用として、フィルム通過面５の位置に、フィルムの走行方向の長さが２．０ｍ、走行フィルムの幅方向の幅が１．８ｍの透明なアクリル板１７を固定した。

　モデルテスト機の室の内形寸法は、フィルムの走行方向の長さが１．８ｍ、走行フィルムの幅方向の幅が１．８ｍ、高さが１．５ｍとした。

　モデルテスト機の図８における左側の外壁１８には、フィルムの入口６に相当する開口６を設け、右側の外壁１８には、フィルムの出口７に相当する開口７を設けた。

　アクリル板１７の下側には、エア吹き付けノズルとして、４個の近接ノズルＮＬｎ（ｎ＝１乃至４）を、フィルムの走行方向に０．３ｍピッチ間隙で設置した。近接ノズルＮＬｎのエア吹き出し面８におけるエア吹き出し開口８ａは、フィルムの走行方向の幅（間隙）が０．０１６ｍ、走行フィルムの幅方向の長さが１．２ｍのスリットとした。

　エア吹き出し面８は、アクリル板１７の下面に平行に位置している。モデルテスト機には、エア吹き出し面８からアクリル板１７の下面までの距離Ｌを調整する機構が設けられている。この距離Ｌは、近接ノズルＮＬｎのエア吹き出し面８からフィルム通過面５までの距離Ｌに相当する。

　なお、モデルテスト機では、熱可塑性樹脂フィルムの代用として、アクリル板１７を使用しているため、実際のテンターオーブンで見られるフィルムのバタツキは観察できず、エア吹き出し面８からアクリル板１７の下面までの距離は、吹き付けエアの風速、風量、経時変化などに関係なく、設定された距離に維持される。近接ノズルＮＬｎには、入口６（開口６）から出口７（開口７）に向い、順にＮｏ１乃至Ｎｏ４の番号を付した。

　隣り合う二つの近接ノズルＮｏ１、Ｎｏ２に、１台の循環ファン４（図８における左側に位置する循環ファン４）を、また、隣り合う二つの近接ノズルＮｏ３、Ｎｏ４に、別の１台の循環ファン４（図８における右側に位置する循環ファン４）を設け、アクリル板１７に当たった吹き付けエアがノズル間を通って循環されるようにした。吹き付けエアの風速が平均約２０ｍ／ｓとなるように、それぞれの循環ファン４の風量を調整した。なお、熱交換器は設置せず、温度が室温のエアを循環させた。全ての近接ノズルＮＬｎについて、吹き付け角度２２（図３ｂ参照）が９０±５°になるようにした。

　図９は、図８のモデルテスト機にて、模擬的に随伴気流を発生させ、ＭＤ流の大きさを評価する方法を説明する縦断面概略図である。図９に示すように、モデルテスト機の入口６にエア発生装置２０を設置した。モデルテスト機において、循環ファン４により、各近接ノズルＮＬｎからエアが吹き出されている状態において、エア発生装置２０により、モデルテスト機の入口６から出口７に向けて、アクリル板１７の下面に沿ってエアを流した。

　図１０は、ＭＤ流の風速測定箇所を説明する図９に示すＣ１－Ｃ１矢視方向の横断面概略図である。モデルテスト機の出口７に、５個の風速計１９を、フィルムの幅方向にほぼ等間隔をおいて設けた。エア吹き出し面８からアクリル板１７の下面までの距離Ｌの変更に応じて、出口７から流れ出すエアの風速を、風速計１９により測定し、測定された風速の値をＭＤ流の大きさとした。エア発生装置２０から流されるエアの風速は、モデルテスト機の入口６において、約３ｍ／ｓ、フィルムの幅方向に±０．５ｍ／ｓの精度になるよう調整した。

　ＭＤ流の測定位置について、図１０を参照しながら説明する。

　ＭＤ流は、モデルテスト機の出口７で、かつ、アクリル板１７の直下において、フィルムの幅方向にほぼ等間隔で設けた５個の風速計１９を用いて、Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５の５点で測定した。風速計１９として、８０ｍｍベーン式風速計を用いた。ベーン式風速計の観測面をフィルムの走行方向に向けて、出口７におけるフィルムの走行方向に流れるエアの風速を測定した。ＭＤ流の風速は、時間変動するため、サンプリング周期を１秒に設定し、１５秒間連続して測定したときの平均値を、ＭＤ流の風速とした。

　（２）温度ムラの測定手法
　モデルテスト機のアクリル板１７の近接ノズルＮｏ２が位置する場所の真上中央部の位置において、アクリル板１７に、幅１５０ｍｍ、長さ１５０ｍｍの開口部を設けた。この開口部に、幅１５０ｍｍ、長さ１５０ｍｍのシート状のラバーヒーターを設置した。また、アクリル板１７の上面から上方に０．７ｍ離れた位置に、赤外線サーモグラフィを設置し、シート状のラバーヒーターの面の温度分布を同時に撮影できるように、赤外線サーモグラフィの測定視野を調整した。

　ラバーヒーターを１００℃に加熱し、近接ノズルからラバーヒーターに向けて、室温のエアを吹き付けながら、モデルテスト機の入口６に設置されているエア発生装置２０により、エアの流れを発生させた。その際、赤外線サーモグラフィにより、ラバーヒーターの面の温度分布を撮影し、得られた熱画像を専用の解析ソフトにより、モデルテスト機内のＭＤ流により生じるラバーヒーターの温度ムラを測定した。

　（３）加熱効率の測定手法
　近接ノズルの加熱効率は、上記の温度ムラの測定手法と同様、加熱したラバーヒーターに、近接ノズルにより、エアを吹き付けながら、ラバーヒーターの熱消費量、吹き付けエアの温度、エア吹き付け後のラバーヒーター温度を、下記の式に代入し、近接ノズルの熱伝達率を求め、これを加熱効率とした。なお、加熱効率の測定の際には、エア発生装置２０は不作動状態とし、近接ノズル単体での加熱効率を測定した。

　式：熱伝達率［Ｗ／ｍ^２Ｋ］＝ラバーヒーターの熱消費量／［（エア吹き付け後のラバーヒーター温度）－（吹き付けエアの温度）］
ここで、ラバーヒーターの熱消費量［Ｗ］は、ラバーヒーターが吹き付けエアで冷却される際の、ラバーヒーターの電流値［Ａ］、電圧値［Ｖ］を測定し、式：熱消費量［Ｗ］＝電流値［Ａ］×電圧値［Ｖ］で計算した。

　上記モデルテスト機を用いて、エア吹き出し面８からアクリル板１７の下面までの距離Ｌを５０ｍｍとし、Ｌ／Ｂの値を３．１にしたときの、ＭＤ流の風速［ｍ／ｓ］、加熱効率［Ｗ／ｍ^２Ｋ］、温度ムラ［℃］を求めた。その結果を表１に示す。

　エア吹き出し面８からアクリル板１７の下面までの距離Ｌを７５ｍｍとし、Ｌ／Ｂの値を４．７にした以外は、実施例１と同様にして、ＭＤ流の風速［ｍ／ｓ］、加熱効率［Ｗ／ｍ^２Ｋ］、温度ムラ［℃］を求めた。その結果を表１に示す。

　エア吹き出し面８からアクリル板１７の下面までの距離Ｌを１００ｍｍとし、Ｌ／Ｂの値を６．３にした以外は、実施例１と同様にして、ＭＤ流の風速［ｍ／ｓ］、加熱効率［Ｗ／ｍ^２Ｋ］、温度ムラ［℃］を求めた。その結果を表１に示す。

　エア吹き出し面８からアクリル板１７の下面までの距離Ｌを１５０ｍｍとし、Ｌ／Ｂの値を９．４にした以外は、実施例１と同様にして、ＭＤ流の風速［ｍ／ｓ］、加熱効率［Ｗ／ｍ^２Ｋ］、温度ムラ［℃］を求めた。その結果を表１に示す。

　全ての近接ノズルＮＬｎについて、ノズルから吹き出される吹き付けエアの方向とフィルム通過面とがなす角度（吹き付け角度）を１１０±５°になるように設定した以外は、実施例１と同様にして、ＭＤ流の風速［ｍ／ｓ］、加熱効率［Ｗ／ｍ^２Ｋ］、温度ムラ［℃］を求めた。その結果を表１に示す。

　ポリエチレンテレフタレート樹脂（東レ（株）製、Ｆ２０Ｓ）ペレットを減圧乾燥した後、押し出し機に供給し、２８０℃で溶融押出し、シートを成形した。得られたシートを、表面温度２０℃に保った直径が１６００ｍｍの冷却ドラムの表面に静電印加法にて密着させ、冷却固化し、厚さ２１００μｍの熱可塑性樹脂フィルムを得た。

　この熱可塑性樹脂フィルムを加熱されたロール群および赤外線ヒーターで加熱し、その後、周速差のあるロール群で走行方向に３．２倍延伸して、一軸延伸フィルムを得た。

　得られた一軸延伸フィルムを、予熱ゾーン、延伸ゾーン、熱固定ゾーン、冷却ゾーンから構成されたテンターオーブンに導入した。各ゾーンは、複数の図１に示す室で形成した。すなわち、予熱ゾーンは、２室、延伸ゾーンは、４室、熱固定ゾーンは、４室、ならびに、冷却ゾーンは、２室とした。各室の高さは３ｍ、長さは３ｍ、および、幅は２ｍとした。各室において、フィルム通過面５の上面側に、５本のスリットノズルＮＵｎを設置し、フィルム通過面の下面側にも、５本のスリットノズルＮＬｎを設置した。全スリットノズルについて、吹き付けエアの方向とフィルム通過面とがなす角度（吹き付け角度）が９０±５°になるようにした。

　予熱ゾーンにおける全てのスリットノズルは、エア吹き出し面からフィルム通過面までの距離Ｌが５０ｍｍである近接ノズルとした。それ以外のゾーンにおいては、エア吹き出し面からフィルム通過面までの距離Ｌが１７０ｍｍであるスリットノズルを用いた。

　スリットノズル、および、近接ノズルにおけるスリットのスリット間隙は、１０ｍｍとした。よって、エア吹き出し面からフィルム通過面までの距離Ｌとスリット間隙Ｂの割合を示すＬ／Ｂの値は、予熱ゾーンではＬ／Ｂ＝５、それ以外のゾーンではＬ／Ｂ＝１７であった。

　各室において、それぞれ循環ファンによりスリットノズルあるいは近接ノズルから、フィルムに向かって、所定の設定温度まで加熱された熱風が吹き出され、所望のフィルムの熱処理が行われた。

　一軸延伸フィルムの端部をクリップで把持して温度１００℃の予熱ゾーンを通し、温度１３０℃の延伸ゾーンに導き、一軸延伸フィルムを、その幅方向に３．５倍に延伸した。次に、その延伸された幅を保ったまま、温度２２０℃の熱固定ゾーンにて、フィルムの熱固定処理を行い、更に、温度１００℃の冷却ゾーンにて、フィルムの冷却処理をした後、フィルムの両端部をトリミングし、更に、巻き取り装置にて巻き取り、厚さ１８８μｍ、幅３４５０ｍｍの二軸延伸フィルムを得た。各ゾーンの温度は、スリットノズルあるいは近接ノズルから吹き出される熱風の温度である。フィルムの走行速度は、２５ｍ／ｍｉｎとした。

　得られた二軸延伸フィルムに対し、両端から２２５ｍｍずつ除き、１０００ｍｍ幅に３等分してスリットすることで、幅１０００ｍｍ、長さ２０００ｍの二軸延伸フィルムロール３本を得た。
この３本のうち、得られた二軸延伸フィルムの中央部分のフィルムから得られたロールを用い、フィルムの厚みムラの測定に必要なフィルムロールサンプルを作製した。

　フィルムの厚みムラの測定は、長さ１ｍ、幅６００ｍｍのフィルムサンプルから、フィルムサンプルの幅方向中心部および端部から１００ｍｍの位置をサンプル中央とするようにして、幅４０ｍｍの厚み測定用サンプルを３箇所から切り出した。その後、接触式厚み計（アンリツ（株）製ＫＧ６０／Ａ）を用いて、各厚み測定用サンプルのフィルムの走行方向の厚みを連続的に測定して、チャートレコーダに出力した。出力された厚みのプロファイルから、フィルムの走行方向の厚みの最大値μｍと最小値μｍ、前記厚みのプロファイルから得られる連続分布の相加平均値μｍ（以下、単に平均値μｍと云う）を求めた。そして、最大値と最小値の差の平均値に対する百分率を求め、その値を厚みムラＲ［単位：％］とした。なお、実施例における厚みムラＲは、３箇所の測定用サンプルの厚みムラＲの平均値である。

　ＭＤ流の測定は、テンターオーブンの出口にて、図１０で示したように、フィルムの幅方向に等間隔で５箇所の風速を測定し、平均値を計算した。

　近接ノズルを適用する前に対するテンターオーブンの電力削減率［％］および蒸気削減率［％］を算出した。近接ノズルを適用する前とは、テンターオーブンの全てのノズルにおいて、エア吹き出し面からフィルム通過面までの距離Ｌが１７０ｍｍの状態を云う。

　電力削減率［％］は、近接ノズルを適用する前後の各室の循環ファンの消費電力［ｋＷｈ］を、次の式で算出し、各室の消費電力の合計（テンターオーブン全体の消費電力）を計算することにより求めた。

　式：電力削減率［％］＝［（近接ノズルを適用する前後における消費電力合計の減少分）／（近接ノズルを適用する前の消費電力合計）］。

　消費電力［ｋＷｈ］は、次の式により求める。

　式：消費電力［ｋＷｈ］＝［循環ファンの定格容量［ｋＷｈ］×（循環ファンの運転周波数[Ｈｚ]／循環ファンの定格周波数[Ｈｚ]）^３／インバータ効率］。

　蒸気削減率［％］は、近接ノズルを適用する前後の各室熱交換器の消費蒸気量［ｔ／年］を、次の式で算出し、各室の消費蒸気量の合計（テンターオーブン全体の消費蒸気量）を計算した。

　式：蒸気削減率［％］＝［（近接ノズルを適用する前後における消費蒸気量合計の減少分）／（近接ノズルを適用する前の消費蒸気量合計）］。

　消費蒸気量をＱ［ｋｇ／ｈ］とすると、
　Ｐ２＞０．５×Ｐ１の場合、
　　Ｑ＝Ｃｖ×１９７．８×（（Ｐ１－Ｐ２）×Ｐ２）^０．５
　Ｐ２≦０．５×Ｐ１の場合、
　　Ｑ＝Ｃｖ×９８．９×Ｐ１
　ここで、Ｐ１［ＭＰａ］：熱交換器のコントロール弁の一次側絶対圧力、Ｐ２［ＭＰａ］：熱交換器のコントロール弁の二次側絶対圧力、Ｃｖ：コントロールバルブの型式とＣｖ開度で決まる定数（バルブの性能曲線から読み取る）である。

　テンターオーブンの各室には、換気用の給気ダクトと排気ダクトが設置されており、近接ノズルを設置した予熱ゾーンの給気量合計と排気量合計の割合を１になるように給排気ファンを調整した。

　実施例６における各種の条件および各種の測定値を、表２に示す。

　近接ノズルを、予熱ゾーンと延伸ゾーンの全スリットノズルに適用し、予熱と延伸ゾーンの給気量合計と排気量合計の比を１にした以外は、実施例６と同様にして、テンターオーブンを出たフィルムの幅方向厚みムラ［％］、テンターオーブン出口でのＭＤ流の風速を測定した。また、近接ノズルを適用する前に対するテンターオーブンの電力削減率［％］および蒸気削減率［％］を算出した。実施例７における各種の条件および各種の測定値を、表２に示す。

　近接ノズルを、予熱ゾーン、延伸ゾーン、および、熱固定ゾーンの全スリットノズルに適用し、予熱と延伸、および、熱固定ゾーンの給気量合計と排気量合計の割合を１にした以外は、実施例６と同様にして、テンターオーブンを出たフィルムの幅方向厚みムラ［％］、テンターオーブン出口でのＭＤ流の風速を測定した。また、近接ノズルを適用する前に対するテンターオーブンの電力削減率［％］および蒸気削減率［％］を算出した。実施例８における各種の条件および各種の測定値を、表２に示す。

　近接ノズルを、テンターオーブンの全てのゾーン（予熱ゾーンから冷却ゾーンまでの全てのゾーン）のスリットノズルに適用し、全てのゾーンの給気量合計と排気量合計の割合を１にした以外は、実施例６と同様にして、テンターオーブンを出たフィルムの幅方向厚みムラ［％］、テンターオーブン出口でのＭＤ流の風速を測定した。また、近接ノズルを適用する前に対するテンターオーブンの電力削減率［％］および蒸気削減率［％］を算出した。実施例９における各種の条件および各種の測定値を、表２に示す。

　テンターオーブンの全てのゾーン（予熱ゾーンから冷却ゾーンまでの全てのゾーン）において、近接ノズルをフィルム通過面の下側のみ、各室に５本設置した以外は、実施例６と同様にして、テンターオーブンを出たフィルムの幅方向の厚みムラ［％］、テンターオーブン出口でのＭＤ流の風速を測定した。また、近接ノズルを適用する前に対するテンターオーブンの電力削減率［％］および蒸気削減率［％］を算出した。実施例１０における各種の条件および各種の測定値を、表２に示す。

　テンターオーブンの全てのゾーン（予熱ゾーンから冷却ゾーンまでの全てのゾーン）に近接ノズルを設置した。その際、吹き付け角度を１１０±５°とした。それ以外は、実施例６と同様にして、テンターオーブンを出たフィルムの幅方向の厚みムラ［％］、テンターオーブン出口でのＭＤ流の風速を測定した。また、近接ノズルを適用する前に対するテンターオーブンの電力削減率［％］および蒸気削減率［％］を算出した。実施例１１における各種の条件および各種の測定値を、表２に示す。

比較例１

　実施例１乃至３で使用したモデルテスト機にて、エア吹き出し面８からアクリル板１７の下面までの距離Ｌを１７０ｍｍとし、Ｌ／Ｂの値を１０．６にした以外は、実施例１と同様にして、ＭＤ流の風速［ｍ／ｓ］、加熱効率［Ｗ／ｍ^２Ｋ］、温度ムラ［℃］を求めた。その結果を表１に示す。

比較例２

　エア吹き出し面８からアクリル板１７の下面までの距離Ｌを２００ｍｍとし、Ｌ／Ｂの値を１２．５にした以外は、比較例１と同様にして、ＭＤ流の風速［ｍ／ｓ］、加熱効率［Ｗ／ｍ^２Ｋ］、温度ムラ［℃］を求めた。その結果を表１に示す。

比較例３

　エア吹き出し面８からアクリル板１７の下面までの距離Ｌを２５０ｍｍとし、Ｌ／Ｂの値を１５．６にした以外は、比較例１と同様にして、ＭＤ流の風速［ｍ／ｓ］、加熱効率［Ｗ／ｍ^２Ｋ］、温度ムラ［℃］を求めた。その結果を表１に示す。

比較例４

　近接ノズルをどのゾーンにも適用せず、エア吹き出し面からフィルム通過面までの距離Ｌを１７０ｍｍとし、全てのゾーンの給気量合計と排気量合計の割合を０．７６にした以外は、実施例６と同様にして、テンターオーブンを出たフィルムの幅方向厚みムラ［％］、テンターオーブン出口でのＭＤ流の風速を測定した。また、近接ノズルを適用する前に対するテンターオーブンの電力削減率［％］および蒸気削減率［％］を算出した。比較例４における各種の条件および各種の測定値を、表２に示す。

　これらの実施例および比較例が示す結果から、エア吹き付け面からフィルム通過面までの距離Ｌを１５０ｍｍ以下とすることで、フィルムの温度ムラを低減し、吹き付けノズルの加熱ムラを低減させることができる。また、エア吹き出し面からフィルム通過面までの距離Ｌを１５０ｍｍ以下とした近接ノズルをテンターオーブンの少なくとも予熱ゾーンに設置することで、ＭＤ流を抑制し、フィルムの厚みムラを改善できる。また、近接ノズルは、テンターオーブンの電力、蒸気の消費エネルギーの削減にも有効な手段と云える。

　本発明のテンターオーブンは、そこに用いられている複数のエア吹き付けノズルの少なくとも一つのエア吹き付けノズルが、ノズルのエア吹き出し面に設けられた開口がスリット形状であり、エア吹き出し面からフィルム通過面までの距離Ｌとスリット間隙の幅Ｂが、式：（Ｌ／Ｂ）≦１０の関係を満足し、かつ、前記距離Ｌが１５０ｍｍ以下である近接ノズルであることを特徴とするテンターオーブンである。

　このため、本発明のテンターオーブンにおいては、テンターオーブン内に生じるフィルムの走行方向へのエアの流れ（ＭＤ流）が抑制され、その結果、本発明のテンターオーブンは、厚みムラの少ない延伸フィルムの製造に好ましく用いられる。

　本発明のテンターオーブンは、その内部におけるＭＤ流が抑制されているため、テンターオーブンにおける工程の安定化、消費エネルギーの削減が図られる。

２：エア吸い込み部
３：熱交換器
４：循環ファン
５：フィルム通過面
６：入口（走行フィルムの入口）
７：出口（走行フィルムの出口）
８：エア吹き出し面
８ａ：エア吹き出し開口、スリット
１１：クリップ
１２：レール
１３：レールカバー
１４：固定ノズル部分
１５：可動ノズル部分
１７：アクリル板
１８：モデルテスト機の外壁
１９：ベーン式風速計
２０：エア発生装置
２１：オーブン外壁
２２：エア吹き付け角度
２３： スリットから吹き出されるエアの流れ方向
２４：ノズルの横断面
２５：ノズル中心線
２６：レール間隔
２７：レールパターンＡのときのレールカバーと可動ノズル部分の連結部
２７ａ：長穴
２８：レールパターンＢのときのレールカバーと可動ノズル部分の連結部
２９：レール端部の固定部分
３０：連結部のＭＤ方向の移動量
３１：レールカバーと可動ノズル部分を連結するピン機構
３１ａ：アーム
３１ｂ：ピン
３２：連結リブ
３３：連結リブの幅
３４：隣り合う２つの連結リブ間の間隙
３５：多孔板タイプの吹き付けノズルの隣り合う孔間のピッチ
３６：多孔板タイプの吹き付けノズルの孔の開口面積
３７：固定ノズル部分と可動ノズル部分の重なりにより生じる不均一部分
３８：フィルム引っかかり防止用の保護カバーの先端
３９：可動カバー部分
４０：固定カバー部分
４１：保護カバーの開口部
４２：保護カバー
Ｂ：スリット間隙、スリット幅
ＦＲＤ：フィルムの走行方向
ＦＷＤ：フィルムの幅方向
Ｌ：エア吹き出し面からフィルム通過面までの距離
ＮＵｎ、ＮＬｎ：エア吹き付けノズル、スリットノズル、近接ノズル
ＲＰＡ：パターンＡの状態のレール
ＲＰＢ：パターンＢの状態のレール
ＴＯ１：テンターオーブン
ＴＯ２：テンターオーブン
ＺＣ：冷却ゾーン
ＺＤ：延伸ゾーン
ＺＨＳ：熱固定ゾーン
ＺＰＨ：予熱ゾーン

Claims (9)

1. 　一端に熱可塑性樹脂フィルムからなる走行フィルムの入口を、他端に該走行フィルムの出口を有し、前記入口から前記出口に亘り形成される前記走行フィルムのフィルム通過面の上面と下面に対向して、前記走行フィルムに加温されたエアを吹き付ける複数のエア吹き付けノズルが設けられ、該エア吹き付けノズルの前記フィルム通過面に対向するエア吹き出し面に、前記加温されたエアを吹き出すエア吹き出し開口が設けられ、前記入口と出口の間に前記走行フィルムをその幅方向に延伸する延伸ゾーンを有するテンターオーブンにおいて、前記複数のエア吹き付けノズルの内の少なくとも一つのエア吹き付けノズルが、前記エア吹き出し面に設けられた前記エア吹き出し開口が前記走行フィルムの幅方向に延びるスリットで形成され、前記エア吹き出し面と前記フィルム通過面との間の距離Ｌと前記スリットの前記走行フィルムの走行方向におけるスリット幅Ｂが、式：（Ｌ／Ｂ）≦１０の関係を満足し、かつ、前記距離Ｌが１５０ｍｍ以下である近接ノズルであるテンターオーブン。
2. 　複数の前記近接ノズルの内の少なくとも一つが、前記フィルム通過面の上面に対向して設けられ、かつ、他の少なくとも一つが、前記フィルム通過面の下面に対向して設けられている請求項１に記載のテンターオーブン。
3. 　前記フィルム通過面の上面に対向して設けられた前記近接ノズルと前記フィルム通過面の下面に対向して設けられた前記近接ノズルの少なくとも一組において、それぞれの前記エア吹き出し面が、前記フィルム通過面を介して、互いに対向している請求項２に記載のテンターオーブン。
4. 　前記近接ノズルの前記スリットから前記フイルム通過面に向い吹き出されるエアの流れ方向の前記フィルム通過面となすエア吹き付け角度が、８５乃至９５度である請求項１乃至３のいずれかに記載のテンターオーブン。
5. 　前記延伸ゾーンの前記入口の側に、前記走行フィルムを予熱する予熱ゾーンが設けられ、該予熱ゾーンの少なくとも一部に、前記近接ノズルが設けられている請求項１乃至４のいずれかに記載のテンターオーブン。
6. 　前記近接ノズルの少なくとも一つが、筐体からなり、該筐体は、その内部に、供給源から供給される前記加温されたエアの流路を有すると共に、その一面に、前記エア吹き出し面を有し、かつ、該筐体が、固定筐体と該固定筐体の両端部に、該固定筐体に対し前記走行フィルムの幅方向に移動可能な可動筐体を有する請求項１乃至５に記載のテンターオーブン。
7. 　前記テンターオーブン内に、前記走行フィルムの両端部を把持する多数のクリップを前記入口から前記出口に向かい移動させる左右のクリップ移動装置、該左右のクリップ移動装置を案内し、かつ、前記走行フィルムの幅方向に間隔が変更可能に設けられた左右のレールと該左右のレールをカバーする左右のレールカバーを有し、前記それぞれの可動筐体がそれぞれに近い側のレールカバーに、連結部材を介して、前記左右のレールカバーにそれぞれ連結され、該それぞれの連結部材により、前記左右のレールの間隔の変更に応じて、前記可動筐体が前記走行フィルムの幅方向に移動可能とされている請求項６に記載のテンターオーブン。
8. 　前記近接ノズルの少なくとも一つが、前記スリットの片側あるいは両側に沿って設けられた前記走行フィルムの前記近接ノズルの先端への接触を防止する保護カバーを有する請求項１乃至７のいずれかに記載のテンターオーブン。
9. 　熱可塑性樹脂からなる未延伸フィルムまたは一軸延伸フィルムが、走行フィルムとして、請求項１乃至８のいずれかに記載のテンターオーブンの前記入口から該テンターオーブン内に導入され、該テンターオーブン内で、前記スリットノズルから吹き付けられる前記加温されたエアにより加熱処理され、この間に、前記走行フィルムがその幅方向に延伸された後、前記出口から導出されてなる延伸フィルムの製造方法。

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