JP2001162635A - ポリイミドフィルム及びその製造方法 - Google Patents
ポリイミドフィルム及びその製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】フィルム表面上のオリゴマー変成異物欠点が改
良されたポリイミドフィルムとその製造法を提供する。 【解決手段】フィルム表面上の最大長１ｍｍ以上のオリ
ゴマー変成固形付着異物が６．０×１０-3個／ｍ2以下
であることを特徴とするポリイミドフィルム。
良されたポリイミドフィルムとその製造法を提供する。 【解決手段】フィルム表面上の最大長１ｍｍ以上のオリ
ゴマー変成固形付着異物が６．０×１０-3個／ｍ2以下
であることを特徴とするポリイミドフィルム。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、銅箔を代表とす
る金属箔または金属薄膜が積層された電気配線板の支持
体として使用されるまたはフレキシブル印刷回路保護用
カバーレイフィルムとして使用されるポリイミドフィル
ム及びその製造方法に関し、より具体的には、フィルム
表面に付着するオリゴマー変成固形異物付着が改善され
たポリイミドフィルムとその製造方法に関する。
る金属箔または金属薄膜が積層された電気配線板の支持
体として使用されるまたはフレキシブル印刷回路保護用
カバーレイフィルムとして使用されるポリイミドフィル
ム及びその製造方法に関し、より具体的には、フィルム
表面に付着するオリゴマー変成固形異物付着が改善され
たポリイミドフィルムとその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ポリイミドフィルムは高耐熱性、高電気
絶縁性を有することから耐熱性を必要とする電気絶縁素
材として広範な産業分野で使用されており、特に銅箔が
積層された電気配線板の支持体としての用途においては
例えばＩＣ等の電気部品と銅箔との接続にはんだを使用
することができ、電気配線の小型軽量化が可能となっ
た。これに伴い、フレキシブル印刷回路基板は、その使
用に範囲が広がり、ポリイミドフィルムの需要も伸びて
いる。しかしながら電気配線板の用途の多様化と共に配
線数の高密度化の進展に伴って電気絶縁支持体としての
性能の向上及び加工性改善の要求が高まってきた。
絶縁性を有することから耐熱性を必要とする電気絶縁素
材として広範な産業分野で使用されており、特に銅箔が
積層された電気配線板の支持体としての用途においては
例えばＩＣ等の電気部品と銅箔との接続にはんだを使用
することができ、電気配線の小型軽量化が可能となっ
た。これに伴い、フレキシブル印刷回路基板は、その使
用に範囲が広がり、ポリイミドフィルムの需要も伸びて
いる。しかしながら電気配線板の用途の多様化と共に配
線数の高密度化の進展に伴って電気絶縁支持体としての
性能の向上及び加工性改善の要求が高まってきた。
【０００３】ポリイミドフィルムは従来より、アミド酸
溶液をキャスティングドラム、ベルトの支持体上に押出
しにより口金からキャストして、加熱し、化学的また
は、熱的に閉環または、乾燥してて自己支持性を備える
程度に固化させた後、キャスティングドラム又はエンド
レスベルトからフィルム状の樹脂を剥離させてテンター
で加熱、延伸、熱処理され製造されていた。
溶液をキャスティングドラム、ベルトの支持体上に押出
しにより口金からキャストして、加熱し、化学的また
は、熱的に閉環または、乾燥してて自己支持性を備える
程度に固化させた後、キャスティングドラム又はエンド
レスベルトからフィルム状の樹脂を剥離させてテンター
で加熱、延伸、熱処理され製造されていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、自己支持性を
有するゲルフィルムは、乾燥ゾーンで乾燥すると、溶媒
とともにオリゴマー変成物が蒸発して、乾燥ゾーン入り
口周辺の空気または機器により冷却され、オリゴマーが
析出して、フィルム表面欠点となる問題点があった。ポ
リイミドフィルムは、耐熱フレキシブル印刷回路（ＦＰ
Ｃ）等の電子部品などに使用される場合は、耐熱接着剤
をポリイミドフィルム表面に塗布する場合塗布ムラ、接
着剤はじきとなり、歩留まりの低下をきたしていた。ま
た、ポリエステルフィルムが、フレキシブルプリント回
路に使用されることもあるが、はんだ耐熱性が悪く不十
分である。
有するゲルフィルムは、乾燥ゾーンで乾燥すると、溶媒
とともにオリゴマー変成物が蒸発して、乾燥ゾーン入り
口周辺の空気または機器により冷却され、オリゴマーが
析出して、フィルム表面欠点となる問題点があった。ポ
リイミドフィルムは、耐熱フレキシブル印刷回路（ＦＰ
Ｃ）等の電子部品などに使用される場合は、耐熱接着剤
をポリイミドフィルム表面に塗布する場合塗布ムラ、接
着剤はじきとなり、歩留まりの低下をきたしていた。ま
た、ポリエステルフィルムが、フレキシブルプリント回
路に使用されることもあるが、はんだ耐熱性が悪く不十
分である。
【０００５】本発明はかかるポリイミドフィルムの問題
点を根本的に解決し、従来のポリイミドフィルとは異な
るフィルム表面上のオリゴマー変成異物欠点が改良され
たポリイミドフィルムとその製造法を提供するものであ
る。
点を根本的に解決し、従来のポリイミドフィルとは異な
るフィルム表面上のオリゴマー変成異物欠点が改良され
たポリイミドフィルムとその製造法を提供するものであ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、フ
ィルム表面上の最大長１ｍｍ以上のオリゴマー変成固形
付着異物が６．０×１０-3個／ｍ2以下であることを特
徴とするポリイミドフィルムであり、また、ポリイミド
の先駆体であるポリアミド酸溶液を支持体上にキャスト
後、加熱、イミド化後、得られた自己支持性のゲルフィ
ルムを、剥離後、テンターで把持して乾燥熱処するポリ
イミドフィルムの製造方法において、乾燥熱処理ゾーン
入り口の仕切板前および／または後に１５０〜２８０℃
の熱風をゲルフィルムが乾燥しない風速で供給し、乾燥
開始前および／または後に、これらの熱風を排気するこ
とを特徴とするポリイミドフィルムの製造方法である。
ィルム表面上の最大長１ｍｍ以上のオリゴマー変成固形
付着異物が６．０×１０-3個／ｍ2以下であることを特
徴とするポリイミドフィルムであり、また、ポリイミド
の先駆体であるポリアミド酸溶液を支持体上にキャスト
後、加熱、イミド化後、得られた自己支持性のゲルフィ
ルムを、剥離後、テンターで把持して乾燥熱処するポリ
イミドフィルムの製造方法において、乾燥熱処理ゾーン
入り口の仕切板前および／または後に１５０〜２８０℃
の熱風をゲルフィルムが乾燥しない風速で供給し、乾燥
開始前および／または後に、これらの熱風を排気するこ
とを特徴とするポリイミドフィルムの製造方法である。
【０００７】以下本発明を詳細に説明する。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明におけるポリイミドの先駆
体であるポリアミド酸は芳香族テトラカルボン酸類と芳
香族ジアミン類とからなり次の式に示される繰り返し単
位で構成されものである。
体であるポリアミド酸は芳香族テトラカルボン酸類と芳
香族ジアミン類とからなり次の式に示される繰り返し単
位で構成されものである。
【０００９】
【化１】 上記式においてＲ１は少なくとも１個の芳香族環を有す
る４価の有機基で、その炭素数は２５以下であり、Ｒ１
に結合する２つのカルボキシル基の夫々はＲ１における
芳香族環のアミド基が結合する炭素原子とは相隣接する
炭素原子に結合しており、またＲ２は少なくとも１個の
芳香族環を有する２価の有機基で、その炭素数は２５以
下であり、アミノ基はＲ２における芳香族環の炭素原子
に結合している。
る４価の有機基で、その炭素数は２５以下であり、Ｒ１
に結合する２つのカルボキシル基の夫々はＲ１における
芳香族環のアミド基が結合する炭素原子とは相隣接する
炭素原子に結合しており、またＲ２は少なくとも１個の
芳香族環を有する２価の有機基で、その炭素数は２５以
下であり、アミノ基はＲ２における芳香族環の炭素原子
に結合している。
【００１０】上記の芳香族テトラカルボン酸類の具体例
としては、ピロメリット酸、３，３’，４，４’−ビフ
ェニルテトラカルボン酸、２，３’，３，４’−ビフェ
ニルテトラカルボン酸、３，３’，４，４’−ベンゾフ
ェノンテトラカルボン酸、２，３，６，７−ナフタレン
ジカルボン酸、２，２−ビス（３，４−ジカルボキシフ
ェニル）エーテル、ピリジン−２，３，５，６−テトラ
カルボン酸及びこれらのアミド形成性誘導体が挙げられ
る。ポリアミド酸の製造にあたってはこれらの酸無水物
が好ましく使用される。
としては、ピロメリット酸、３，３’，４，４’−ビフ
ェニルテトラカルボン酸、２，３’，３，４’−ビフェ
ニルテトラカルボン酸、３，３’，４，４’−ベンゾフ
ェノンテトラカルボン酸、２，３，６，７−ナフタレン
ジカルボン酸、２，２−ビス（３，４−ジカルボキシフ
ェニル）エーテル、ピリジン−２，３，５，６−テトラ
カルボン酸及びこれらのアミド形成性誘導体が挙げられ
る。ポリアミド酸の製造にあたってはこれらの酸無水物
が好ましく使用される。
【００１１】上記の芳香族ジアミン類の具体例として
は、パラフェニレンジアミン、メタフェニレンジアミ
ン、ベンチジン、パラキシリレンジアミン、４，４’−
ジアミノジフェニルエーテル、４，４’−ジアミノジフ
ェニルメタン、４，４’−ジアミノジフェニルスルホ
ン、３，３’−ジメチル−４，４’−ジアミノジフェニ
ルメタン、１，５−ジアミノナフタレン、３，３’−ジ
メトキシベンチジン、１，４−ビス（３メチル−５アミ
ノフェニル）ベンゼン及びこれらのアミド形成性誘導体
が挙げられる。
は、パラフェニレンジアミン、メタフェニレンジアミ
ン、ベンチジン、パラキシリレンジアミン、４，４’−
ジアミノジフェニルエーテル、４，４’−ジアミノジフ
ェニルメタン、４，４’−ジアミノジフェニルスルホ
ン、３，３’−ジメチル−４，４’−ジアミノジフェニ
ルメタン、１，５−ジアミノナフタレン、３，３’−ジ
メトキシベンチジン、１，４−ビス（３メチル−５アミ
ノフェニル）ベンゼン及びこれらのアミド形成性誘導体
が挙げられる。
【００１２】本発明で使用される有機溶媒の具体例とし
ては、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチ
ルアセトアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリドンなども有
機極性アミド系溶媒が挙げられ、これらの有機溶媒は単
独で、又は２つ又はそれ以上を組み合わせて使用して
も、又はベンゼン、トルエン、キシレンのような非溶媒
と組み合わせて使用してもよい。本発明で用いるポリア
ミド酸の有機溶媒溶液は固形分を５〜４０重量％、好ま
しくは１０〜３０重量％を含有しており、またその粘度
はブルックフィールド粘度計による測定値で１０〜２０
００Ｐａ・ｓ、好ましくは、１００〜１０００Ｐａ・ｓ
のものが安定した送液のために好ましい。また有機溶媒
溶液中のポリアミド酸は部分的にイミド化されてもよ
く、少量の無機化合物を含有してもよい。
ては、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチ
ルアセトアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリドンなども有
機極性アミド系溶媒が挙げられ、これらの有機溶媒は単
独で、又は２つ又はそれ以上を組み合わせて使用して
も、又はベンゼン、トルエン、キシレンのような非溶媒
と組み合わせて使用してもよい。本発明で用いるポリア
ミド酸の有機溶媒溶液は固形分を５〜４０重量％、好ま
しくは１０〜３０重量％を含有しており、またその粘度
はブルックフィールド粘度計による測定値で１０〜２０
００Ｐａ・ｓ、好ましくは、１００〜１０００Ｐａ・ｓ
のものが安定した送液のために好ましい。また有機溶媒
溶液中のポリアミド酸は部分的にイミド化されてもよ
く、少量の無機化合物を含有してもよい。
【００１３】本発明において芳香族テトラカルボン酸類
と芳香族ジアミン類とはそれぞれノモル数が大略等しく
なる割合で重合されるかその一方が１０モル％、好まし
くは５モル％の範囲内で他方に対して過剰に配合されて
もよい。重合反応は有機溶媒中で攪拌そして／または混
合しながら０〜８０度の温度の範囲で１０分〜３０時間
連続して進められるが、必要により重合反応を分割した
り、温度を上下させてもかまわない。両反応体の添加順
序には特に制限はないが、芳香族ジアミン類の溶液中に
芳香族テトラカルボン酸類を添加するのが好ましい。重
合反応中に真空脱法することは良質なポリアミド酸の有
機溶媒溶液を製造するのに有効な方法である。また重合
反応の前に芳香族ジアミン類に少量の末端封止剤を添加
して重合反応を制御することを行ってもよい。
と芳香族ジアミン類とはそれぞれノモル数が大略等しく
なる割合で重合されるかその一方が１０モル％、好まし
くは５モル％の範囲内で他方に対して過剰に配合されて
もよい。重合反応は有機溶媒中で攪拌そして／または混
合しながら０〜８０度の温度の範囲で１０分〜３０時間
連続して進められるが、必要により重合反応を分割した
り、温度を上下させてもかまわない。両反応体の添加順
序には特に制限はないが、芳香族ジアミン類の溶液中に
芳香族テトラカルボン酸類を添加するのが好ましい。重
合反応中に真空脱法することは良質なポリアミド酸の有
機溶媒溶液を製造するのに有効な方法である。また重合
反応の前に芳香族ジアミン類に少量の末端封止剤を添加
して重合反応を制御することを行ってもよい。
【００１４】本発明で使用される閉環触媒の具体例とし
てはトリメチルアミン、トリエチレンジアミン等の脂肪
族第３級アミン、及びイソキノリン、ピリジン、ベータ
ピコリン等の複組環第３級アミンがあげられるが、複組
環式第３級アミンから選ばれる少なくとも一種類のアミ
ンを使用するのが好ましい。
てはトリメチルアミン、トリエチレンジアミン等の脂肪
族第３級アミン、及びイソキノリン、ピリジン、ベータ
ピコリン等の複組環第３級アミンがあげられるが、複組
環式第３級アミンから選ばれる少なくとも一種類のアミ
ンを使用するのが好ましい。
【００１５】本発明で使用される脱水剤の具体例として
は無水酢酸、無水プロピオン酸、無水酪酸等の脂肪族カ
ルボン酸無水物、および無水安息香酸等の芳香族カルボ
ン酸無水物があげられるが無水酢酸および／または無水
安息香酸が好ましい。ポリアミド酸に対する閉環触媒及
び脱水剤の含有量は次の数式となるようにするのが好ま
しい。
は無水酢酸、無水プロピオン酸、無水酪酸等の脂肪族カ
ルボン酸無水物、および無水安息香酸等の芳香族カルボ
ン酸無水物があげられるが無水酢酸および／または無水
安息香酸が好ましい。ポリアミド酸に対する閉環触媒及
び脱水剤の含有量は次の数式となるようにするのが好ま
しい。
【００１６】
【数１】 またアセチルアセトン等のゲル化遅延剤を併用してもよ
い。
い。
【００１７】ポリアミド酸の有機溶媒からポリイミドフ
ィルムを製造する方法としては、閉環触媒及び脱水剤を
含有しなポリアミド酸の有機溶媒溶液をスリット付き口
金から支持体上に流延してフィルムに成形し、支持体上
で加熱乾燥することにより自己支持性を有するゲルフィ
ルムとなしたる後、支持体より剥離し、更に高温下で乾
燥熱処理することによりイミド化する熱閉環法、及び閉
環触媒及び脱水剤を含有せしめたポリアミド酸の有機溶
媒をスリット付き口金から支持体上に流延してフィルム
状に成形し、支持体上でイミド化を一部進行させて自己
支持性を有するゲルフィルムとした後、支持体より剥離
し、加熱乾燥／イミド化し、熱処理を行う化学閉環法が
代表的な方法である。本発明では、どちらの閉環方法を
採用してもよいが、化学閉環法はポリアミド酸の有機溶
媒溶液に閉環触媒および脱水剤を含有設備を必要とする
が、自己支持性を有するゲルフィルムが短時間で得られ
るのでより好ましい。
ィルムを製造する方法としては、閉環触媒及び脱水剤を
含有しなポリアミド酸の有機溶媒溶液をスリット付き口
金から支持体上に流延してフィルムに成形し、支持体上
で加熱乾燥することにより自己支持性を有するゲルフィ
ルムとなしたる後、支持体より剥離し、更に高温下で乾
燥熱処理することによりイミド化する熱閉環法、及び閉
環触媒及び脱水剤を含有せしめたポリアミド酸の有機溶
媒をスリット付き口金から支持体上に流延してフィルム
状に成形し、支持体上でイミド化を一部進行させて自己
支持性を有するゲルフィルムとした後、支持体より剥離
し、加熱乾燥／イミド化し、熱処理を行う化学閉環法が
代表的な方法である。本発明では、どちらの閉環方法を
採用してもよいが、化学閉環法はポリアミド酸の有機溶
媒溶液に閉環触媒および脱水剤を含有設備を必要とする
が、自己支持性を有するゲルフィルムが短時間で得られ
るのでより好ましい。
【００１８】ポリアミド酸に閉環触媒及び脱水剤を含有
せしめる方法としては、ポリアミド酸の有機溶媒溶液と
閉環触媒及び脱水剤を回転式混合機で混合する方法、ポ
リアミド酸の有機溶媒溶液を静的混合機に送り込みなが
ら該静的混合機の直前で閉館触媒及び脱水剤を注入する
方法、ポリアミド酸の有機溶媒溶液を支持体上に流延し
た後閉環触媒及び脱水剤に接触させる方法等があげられ
るが、閉環触媒及び脱水剤の含有量及びその均一性の面
から混合機で混合して閉環触媒と脱水剤とポリアミド酸
の有機溶媒溶液との混合液をスリット状口金に送り込む
方法が好ましい。該混合液の粘度が１００〜１０００Ｐ
ａ・ｓとなるように固形分濃度と温度を調整する必要が
ある。該混合液はポリアミド酸が熱閉環反応し粘度が著
しく高くなり口金から吐出できなくなる性質を持ってい
るため、低温（例えば−１０℃）に保持する必要があ
る。
せしめる方法としては、ポリアミド酸の有機溶媒溶液と
閉環触媒及び脱水剤を回転式混合機で混合する方法、ポ
リアミド酸の有機溶媒溶液を静的混合機に送り込みなが
ら該静的混合機の直前で閉館触媒及び脱水剤を注入する
方法、ポリアミド酸の有機溶媒溶液を支持体上に流延し
た後閉環触媒及び脱水剤に接触させる方法等があげられ
るが、閉環触媒及び脱水剤の含有量及びその均一性の面
から混合機で混合して閉環触媒と脱水剤とポリアミド酸
の有機溶媒溶液との混合液をスリット状口金に送り込む
方法が好ましい。該混合液の粘度が１００〜１０００Ｐ
ａ・ｓとなるように固形分濃度と温度を調整する必要が
ある。該混合液はポリアミド酸が熱閉環反応し粘度が著
しく高くなり口金から吐出できなくなる性質を持ってい
るため、低温（例えば−１０℃）に保持する必要があ
る。
【００１９】該混合液はスリット状口金を通ってフィル
ム状に成型され、加熱された支持体上に流延され、支持
体上で熱閉環反応をし、自己支持性を有するゲルフィル
ムとなって支持体から剥離される。支持体は金属製の回
転ドラムやエンドレスベルトであり、その温度は液体ま
たは気体の熱媒により、および／または電気ヒーター等
の輻射熱により制御される。
ム状に成型され、加熱された支持体上に流延され、支持
体上で熱閉環反応をし、自己支持性を有するゲルフィル
ムとなって支持体から剥離される。支持体は金属製の回
転ドラムやエンドレスベルトであり、その温度は液体ま
たは気体の熱媒により、および／または電気ヒーター等
の輻射熱により制御される。
【００２０】ゲルフィルムは支持体からの受熱および／
または熱風や電気ヒータ等の熱源からの受熱により３０
〜２００℃、好ましくは４０〜１５０℃に加熱されて閉
環反応し、遊離した有機溶媒等の揮発分を乾燥させるこ
とにより自己支持性を有するようになり、支持体から剥
離される。
または熱風や電気ヒータ等の熱源からの受熱により３０
〜２００℃、好ましくは４０〜１５０℃に加熱されて閉
環反応し、遊離した有機溶媒等の揮発分を乾燥させるこ
とにより自己支持性を有するようになり、支持体から剥
離される。
【００２１】支持体から剥離されたゲルフィルムは回転
ロールにより走行速度を規制しながら走行方向に延伸さ
れる。延伸は１４０℃以下の温度で１．０５〜１．９
倍、好ましくは、１．１〜１．６倍、さらに好ましく
は、１．１〜１．５倍の倍率で実施される。
ロールにより走行速度を規制しながら走行方向に延伸さ
れる。延伸は１４０℃以下の温度で１．０５〜１．９
倍、好ましくは、１．１〜１．６倍、さらに好ましく
は、１．１〜１．５倍の倍率で実施される。
【００２２】走行方向に延伸されたゲルフィルムは、テ
ンター装置に導入され、テンタークリップに幅方向両端
部を把持されて、テンタークリップと共に走行しなが
ら、幅方向へ延伸される。乾燥ゾーンで、ゲルフィルム
は、乾燥される。
ンター装置に導入され、テンタークリップに幅方向両端
部を把持されて、テンタークリップと共に走行しなが
ら、幅方向へ延伸される。乾燥ゾーンで、ゲルフィルム
は、乾燥される。
【００２３】以下本発明の製膜法を、図面を参照しなが
ら説明する。
ら説明する。
【００２４】図１は本発明の実施に用いる装置の一例を
示す説明図であって、一般に乾燥ゾーン４は、その内圧
を、周辺のゾーンより、負圧の状態にして、熱風が漏れ
出さないように、圧力が保たれている。従って、乾燥ゾ
ーン４の温度より低い温度のエアーが乾燥ゾーンに漏れ
込むと、オリゴマー、溶媒が凝縮して、フィルムに落下
し欠点となる。
示す説明図であって、一般に乾燥ゾーン４は、その内圧
を、周辺のゾーンより、負圧の状態にして、熱風が漏れ
出さないように、圧力が保たれている。従って、乾燥ゾ
ーン４の温度より低い温度のエアーが乾燥ゾーンに漏れ
込むと、オリゴマー、溶媒が凝縮して、フィルムに落下
し欠点となる。
【００２５】テンター入り口部前後に、加熱エアー供給
ノズル８、９を可能な限り、乾燥ゾーン入り口部近傍に
設置する。高さと風速は、ゲルフィルムが乾燥しない程
度に設置する。
ノズル８、９を可能な限り、乾燥ゾーン入り口部近傍に
設置する。高さと風速は、ゲルフィルムが乾燥しない程
度に設置する。
【００２６】好ましくは、風速は、０．５ｍ/ｓｅｃか
ら６ｍ／ｓｅｃ、ノズルの高さは、フィルム面から３ｃ
ｍから３０ｃｍの位置が好ましい。加熱エアーの温度
は、１５０〜２８０℃とする。加熱エアー温度が１５０
℃未満では、乾燥ゾーン内の温度が下がり、オリゴマ
ー、溶媒が凝縮して、フィルム表面上のオリゴマー変成
固形付着異物が多発する。また２８０℃以上では、フィ
ルムが乾燥、イミド化して、ゲルフィルムが切れること
がある。
ら６ｍ／ｓｅｃ、ノズルの高さは、フィルム面から３ｃ
ｍから３０ｃｍの位置が好ましい。加熱エアーの温度
は、１５０〜２８０℃とする。加熱エアー温度が１５０
℃未満では、乾燥ゾーン内の温度が下がり、オリゴマ
ー、溶媒が凝縮して、フィルム表面上のオリゴマー変成
固形付着異物が多発する。また２８０℃以上では、フィ
ルムが乾燥、イミド化して、ゲルフィルムが切れること
がある。
【００２７】熱風の供給だけでは、すべてのエアーの漏
れ込みをなくすことができないので、乾燥ゾーンで、熱
風等により加熱される前に、漏れ込みエアーと加熱エア
ーを排気できるノズルを設置して、乾燥ゾーン内でのフ
ィルム乾燥後の溶媒を含んだエアーと漏れ込みエアーの
混合を防ぐ。乾燥ゾーンでは、熱風温度は、２００〜３
００℃が好ましい。また熱風だけでなく、輻射加熱を使
用しても良い。
れ込みをなくすことができないので、乾燥ゾーンで、熱
風等により加熱される前に、漏れ込みエアーと加熱エア
ーを排気できるノズルを設置して、乾燥ゾーン内でのフ
ィルム乾燥後の溶媒を含んだエアーと漏れ込みエアーの
混合を防ぐ。乾燥ゾーンでは、熱風温度は、２００〜３
００℃が好ましい。また熱風だけでなく、輻射加熱を使
用しても良い。
【００２８】上記の乾燥ゾーンで乾燥したフィルムは、
熱風、赤外線ヒーター等で１５秒から１０分加熱され
る。ついで 熱風および／または電気ヒーター等によ
り、２５０から５００℃の温度で１５秒から２０分熱処
理を行う。急激に加熱すると、平面性を失うため、加熱
方法を適宜選択する必要がある。
熱風、赤外線ヒーター等で１５秒から１０分加熱され
る。ついで 熱風および／または電気ヒーター等によ
り、２５０から５００℃の温度で１５秒から２０分熱処
理を行う。急激に加熱すると、平面性を失うため、加熱
方法を適宜選択する必要がある。
【００２９】上述のような本発明実施のための装置が第
１図のものに限定されるものではない。
１図のものに限定されるものではない。
【００３０】
【実施例】以下実施例により本発明を説明するが、本発
明はこれらの実施例に限定されない。
明はこれらの実施例に限定されない。
【００３１】実施例の説明の前に実施例において使用す
る評価法を説明する。 〔特性の評価法〕フィルム表面上のオリゴマー変成固形
付着異物の最大長及び個数 白熱灯や偏光を当てて、フィルムを走行させ、表面欠点
の種類、大きさを測定して、最大長１．０mmの個数を数
えた。 実施例１ 乾燥したＮ、Ｎ−ジメチルアセトアミド１９００．６ｋ
ｇ中に４，４’−ジアミノジフェニールエーテル２０
０．０２４ｋｇ（１ｋｍｏｌ）を溶解し、２０℃で攪拌
しながら、精製した粉末状のピロメリット酸二無水物２
１８．１２ｋｇ（１ｋｍｏｌ）を少量ずつ添加し、１時
間攪拌し続けて、透明なポリアミド酸溶液を得た。この
溶液は、２０℃で３５０Ｐａ・ｓの粘度であった。この
ポリアミド酸溶液に、無水酢酸をポリアミド酸単位に対
して２．５ｍｏｌ、ピリジンをポリアミド酸単位に対し
て２．０ｍｏｌを冷却しながら混合し、ポリアミド有機
溶媒溶液を得た。このポリアミド酸の有機溶液を−１０
℃に冷却して、定量供給して性膜した。口金スリット幅
は、１．３ｍｍ、長さ１８００ｍｍのＴダイから押し出
した。９０℃の金属エンドレスベルト上に流延し、自己
支持性のあるゲルフィルムを得た。ゲルフィルムを金属
エンドレスベル上から剥離して、６５℃の温度で、走行
方向に延伸してついで図１に示すテンタ装置に導入し
た。テンタで幅方向に延伸した。仕切板前後のノズルの
熱風温度は、２５０℃で、風速２ｍ／ｓｅｃで、ノズル
からフィルム面までの距離は、１０ｃｍとした。ゲルフ
ィルムは、２６０℃の温度で４０秒間乾燥し、ついで４
３０℃で１分間熱処理して、冷却ゾーンでリラックスさ
せながら３０秒間冷却し、フィルムをエッジカットし、
フィルム表面を市販のウエブクリーナでクリーニング
後、幅２０００ｍｍ、厚さ２５μｍのポリイミドフィル
ムを５００ｍ得た。
る評価法を説明する。 〔特性の評価法〕フィルム表面上のオリゴマー変成固形
付着異物の最大長及び個数 白熱灯や偏光を当てて、フィルムを走行させ、表面欠点
の種類、大きさを測定して、最大長１．０mmの個数を数
えた。 実施例１ 乾燥したＮ、Ｎ−ジメチルアセトアミド１９００．６ｋ
ｇ中に４，４’−ジアミノジフェニールエーテル２０
０．０２４ｋｇ（１ｋｍｏｌ）を溶解し、２０℃で攪拌
しながら、精製した粉末状のピロメリット酸二無水物２
１８．１２ｋｇ（１ｋｍｏｌ）を少量ずつ添加し、１時
間攪拌し続けて、透明なポリアミド酸溶液を得た。この
溶液は、２０℃で３５０Ｐａ・ｓの粘度であった。この
ポリアミド酸溶液に、無水酢酸をポリアミド酸単位に対
して２．５ｍｏｌ、ピリジンをポリアミド酸単位に対し
て２．０ｍｏｌを冷却しながら混合し、ポリアミド有機
溶媒溶液を得た。このポリアミド酸の有機溶液を−１０
℃に冷却して、定量供給して性膜した。口金スリット幅
は、１．３ｍｍ、長さ１８００ｍｍのＴダイから押し出
した。９０℃の金属エンドレスベルト上に流延し、自己
支持性のあるゲルフィルムを得た。ゲルフィルムを金属
エンドレスベル上から剥離して、６５℃の温度で、走行
方向に延伸してついで図１に示すテンタ装置に導入し
た。テンタで幅方向に延伸した。仕切板前後のノズルの
熱風温度は、２５０℃で、風速２ｍ／ｓｅｃで、ノズル
からフィルム面までの距離は、１０ｃｍとした。ゲルフ
ィルムは、２６０℃の温度で４０秒間乾燥し、ついで４
３０℃で１分間熱処理して、冷却ゾーンでリラックスさ
せながら３０秒間冷却し、フィルムをエッジカットし、
フィルム表面を市販のウエブクリーナでクリーニング
後、幅２０００ｍｍ、厚さ２５μｍのポリイミドフィル
ムを５００ｍ得た。
【００３２】このフィルムを、白熱灯や変更を当てて、
フィルムを走行させ、表面欠点の種類、大きさを測定し
て、最大長１．０mmの個数を数たところ、フィルム表面
上のオリゴマー変成固形付着異物の最大長が、１ｍｍ以
上を越える物の個数は、３個で、密度が、３．０×１０
-3個／ｍ2であった。また、このフィルムに、ポリエス
テル／エポキシ系の接着剤をロールコータで塗布して、
１６０℃でドライヤーで乾燥した。このフィルムの該接
着面を塗布した面に電解銅箔を１３０℃で加圧ラミネー
トし、２４時間キュアーしてフレキシブル銅張りポリイ
ミドシ−トを得た。接着剤のはじきは、少なく 良好な
歩留まりを得た。 実施例２ 実施例１において方法は同様にして、口金スリット幅
は、１．５ｍｍ、長さ１５００ｍｍのＴダイから押し出
した。仕切板前後のノズルの熱風温度は、１５０℃で、
風速４ｍ／ｓｅｃで、ノズルからフィルム面までの距離
は、２０ｃｍとした。ゲルフィルムは、２６０℃の温度
で５分間乾燥し、ついで４３０℃で１０分間熱処理し
て、冷却ゾーンでリラックスさせながら６０秒間冷却
し、フィルムをエッジカットし、幅１４００ｍｍ、厚さ
１２５μｍのポリイミドフィルムを３００ｍ得た。この
フィルムを、白熱灯や変更を当てて、フィルムを走行さ
せ、表面欠点の種類、大きさを測定して、最大長１．０
mmの個数を数たところ、フィルム表面上のオリゴマー変
成固形付着異物の最大長が、１ｍｍ以上を越える物の個
数は、２個で、密度が、４．８×１０-3個／ｍ2であっ
た。また、このフィルムに、ポリエステル／エポキシ系
の接着剤をロールコータで塗布して、１６０℃でドライ
ヤーで乾燥した。このフィルムの該接着面を塗布した面
に電解銅箔を１３０℃で加圧ラミネートし、２４時間キ
ュアーしてフレキシブル銅張りポリイミドシ−トを得
た。接着剤のはじきは、少なく良好な歩留まりを得た。 実施例３ 実施例１において方法は同様にして、口金スリット幅
は、１．２ｍｍ、長さ１８００ｍｍのＴダイから押し出
した。仕切板前後のノズルの熱風温度は、２６０℃で、
風速０．８ｍ／ｓｅｃで、ノズルからフィルム面までの
距離は、８ｃｍとした。また仕切板内部に電熱ヒーター
を入れて、仕切板を２００℃に加熱した。ゲルフィルム
は、２６０℃の温度で２０分間乾燥し、ついで４５０℃
で３０秒間熱処理して、冷却ゾーンでリラックスさせな
がら１０秒間冷却し、フィルムをエッジカットし、幅２
０００ｍｍ、厚さ１２．５μｍのポリイミドフィルムを
１０００ｍ得た。
フィルムを走行させ、表面欠点の種類、大きさを測定し
て、最大長１．０mmの個数を数たところ、フィルム表面
上のオリゴマー変成固形付着異物の最大長が、１ｍｍ以
上を越える物の個数は、３個で、密度が、３．０×１０
-3個／ｍ2であった。また、このフィルムに、ポリエス
テル／エポキシ系の接着剤をロールコータで塗布して、
１６０℃でドライヤーで乾燥した。このフィルムの該接
着面を塗布した面に電解銅箔を１３０℃で加圧ラミネー
トし、２４時間キュアーしてフレキシブル銅張りポリイ
ミドシ−トを得た。接着剤のはじきは、少なく 良好な
歩留まりを得た。 実施例２ 実施例１において方法は同様にして、口金スリット幅
は、１．５ｍｍ、長さ１５００ｍｍのＴダイから押し出
した。仕切板前後のノズルの熱風温度は、１５０℃で、
風速４ｍ／ｓｅｃで、ノズルからフィルム面までの距離
は、２０ｃｍとした。ゲルフィルムは、２６０℃の温度
で５分間乾燥し、ついで４３０℃で１０分間熱処理し
て、冷却ゾーンでリラックスさせながら６０秒間冷却
し、フィルムをエッジカットし、幅１４００ｍｍ、厚さ
１２５μｍのポリイミドフィルムを３００ｍ得た。この
フィルムを、白熱灯や変更を当てて、フィルムを走行さ
せ、表面欠点の種類、大きさを測定して、最大長１．０
mmの個数を数たところ、フィルム表面上のオリゴマー変
成固形付着異物の最大長が、１ｍｍ以上を越える物の個
数は、２個で、密度が、４．８×１０-3個／ｍ2であっ
た。また、このフィルムに、ポリエステル／エポキシ系
の接着剤をロールコータで塗布して、１６０℃でドライ
ヤーで乾燥した。このフィルムの該接着面を塗布した面
に電解銅箔を１３０℃で加圧ラミネートし、２４時間キ
ュアーしてフレキシブル銅張りポリイミドシ−トを得
た。接着剤のはじきは、少なく良好な歩留まりを得た。 実施例３ 実施例１において方法は同様にして、口金スリット幅
は、１．２ｍｍ、長さ１８００ｍｍのＴダイから押し出
した。仕切板前後のノズルの熱風温度は、２６０℃で、
風速０．８ｍ／ｓｅｃで、ノズルからフィルム面までの
距離は、８ｃｍとした。また仕切板内部に電熱ヒーター
を入れて、仕切板を２００℃に加熱した。ゲルフィルム
は、２６０℃の温度で２０分間乾燥し、ついで４５０℃
で３０秒間熱処理して、冷却ゾーンでリラックスさせな
がら１０秒間冷却し、フィルムをエッジカットし、幅２
０００ｍｍ、厚さ１２．５μｍのポリイミドフィルムを
１０００ｍ得た。
【００３３】このフィルムを、白熱灯や変更を当てて、
フィルムを走行させ、表面欠点の種類、大きさを測定し
て、最大長１．０mmの個数を数たところ、フィルム表面
上のオリゴマー変成固形付着異物の最大長が、１ｍｍ以
上を越える物の個数は、７個で、密度が、３．５×１０
-3個／ｍ2であった。また、このフィルムに、ポリエス
テル／エポキシ系の接着剤をロールコータで塗布して、
１６０℃でドライヤーで乾燥した。このフィルムの該接
着面を塗布した面に電解銅箔を１３０℃で加圧ラミネー
トし、２４時間キュアーしてフレキシブル銅張りポリイ
ミドシ−トを得た。接着剤のはじきは、少なく良好な歩
留まりを得た。 実施例４ 実施例１の方法と同様にして、仕切板前のみノズルにの
みエアーを供給し、熱風温度は、２６０℃で、風速４．
０ｍ／ｓｅｃで、ノズルからフィルム面までの距離は、
１５ｃｍとした。幅２０００ｍｍ、厚さ２５μｍのポリ
イミドフィルムを５００ｍ得た。
フィルムを走行させ、表面欠点の種類、大きさを測定し
て、最大長１．０mmの個数を数たところ、フィルム表面
上のオリゴマー変成固形付着異物の最大長が、１ｍｍ以
上を越える物の個数は、７個で、密度が、３．５×１０
-3個／ｍ2であった。また、このフィルムに、ポリエス
テル／エポキシ系の接着剤をロールコータで塗布して、
１６０℃でドライヤーで乾燥した。このフィルムの該接
着面を塗布した面に電解銅箔を１３０℃で加圧ラミネー
トし、２４時間キュアーしてフレキシブル銅張りポリイ
ミドシ−トを得た。接着剤のはじきは、少なく良好な歩
留まりを得た。 実施例４ 実施例１の方法と同様にして、仕切板前のみノズルにの
みエアーを供給し、熱風温度は、２６０℃で、風速４．
０ｍ／ｓｅｃで、ノズルからフィルム面までの距離は、
１５ｃｍとした。幅２０００ｍｍ、厚さ２５μｍのポリ
イミドフィルムを５００ｍ得た。
【００３４】このフィルムを、白熱灯や変更を当てて、
フィルムを走行させ、表面欠点の種類、大きさを測定し
て、最大長１．０mmの個数を数たところ、フィルム表面
上のオリゴマー変成固形付着異物の最大長が、１ｍｍ以
上を越える物の個数は、５個で、密度が、５．０×１０
-3個／ｍ2であった。また、このフィルムに、ポリエス
テル／エポキシ系の接着剤をロールコータで塗布して、
１６０℃でドライヤーで乾燥した。このフィルムの該接
着面を塗布した面に電解銅箔を１３０℃で加圧ラミネー
トし、２４時間キュアーしてフレキシブル銅張りポリイ
ミドシ−トを得た。接着剤のはじきは、少なく良好な歩
留まりを得た。 実施例５ 実施例１において方法は同様にして、仕切板後ののみノ
ズルにのみエアーを供給し、熱風温度は、２６０℃で、
風速４．０ｍ／ｓｅｃで、ノズルからフィルム面までの
距離は、１５ｃｍとした。幅２０００ｍｍ、厚さ２５μ
ｍのポリイミドフィルムを１０００ｍ得た。
フィルムを走行させ、表面欠点の種類、大きさを測定し
て、最大長１．０mmの個数を数たところ、フィルム表面
上のオリゴマー変成固形付着異物の最大長が、１ｍｍ以
上を越える物の個数は、５個で、密度が、５．０×１０
-3個／ｍ2であった。また、このフィルムに、ポリエス
テル／エポキシ系の接着剤をロールコータで塗布して、
１６０℃でドライヤーで乾燥した。このフィルムの該接
着面を塗布した面に電解銅箔を１３０℃で加圧ラミネー
トし、２４時間キュアーしてフレキシブル銅張りポリイ
ミドシ−トを得た。接着剤のはじきは、少なく良好な歩
留まりを得た。 実施例５ 実施例１において方法は同様にして、仕切板後ののみノ
ズルにのみエアーを供給し、熱風温度は、２６０℃で、
風速４．０ｍ／ｓｅｃで、ノズルからフィルム面までの
距離は、１５ｃｍとした。幅２０００ｍｍ、厚さ２５μ
ｍのポリイミドフィルムを１０００ｍ得た。
【００３５】このフィルムを、白熱灯や変更を当てて、
フィルムを走行させ、表面欠点の種類、大きさを測定し
て、最大長１．０mmの個数を数たところ、フィルム表面
上のオリゴマー変成固形付着異物の最大長が、１ｍｍ以
上を越える物の個数は、９個で、密度が、４．５０×１
０-３個／ｍ2であった。また、このフィルムに、ポリエ
ステル／エポキシ系の接着剤をロールコータで塗布し
て、１６０℃でドライヤーで乾燥した。このフィルムの
該接着面を塗布した面に電解銅箔を１３０℃で加圧ラミ
ネートし、２４時間キュアーしてフレキシブル銅張りポ
リイミドシ−トを得た。接着剤のはじきは、少なく良好
な歩留まりを得た。 実施例６ 乾燥したＮ，Ｎ−ジメチルアセトアミド１９０６ｋｇ中
に、４，４’−ジアミノジフェニールエーテル１４０．
０２ｋｇ（０．７ｋｍｏｌ）とパラフェニレンジアミン
３２．３６ｋｇ（０．０３ｋｍｏｌ）を溶解し、２０℃
で攪拌しながら、精製した粉末状のピロメリット酸二無
水物２１８．１２ｋｇ（１ｋｍｏｌ）を少量ずつ添加
し、１時間攪拌し続けて、透明なポリアミド酸溶液を得
た。この溶液は、２０℃で３５０Ｐａ・ｓの粘度であっ
た。このポリアミド酸溶液に、無水酢酸をポリアミド酸
単位に対して２．５ｍｏｌ、ピリジンをポリアミド酸単
位に対して２．０ｍｏｌを冷却しながら混合し、ポリア
ミド有機溶媒溶液を得た。このポリアミド酸の有機溶液
を−１０℃に冷却して、定量供給して性膜した。口金ス
リット幅は、１．３ｍｍ、長さ１８００ｍｍのＴダイか
ら押し出した。９０℃の金属エンドレスベルト上に流延
し、自己支持性のあるゲルフィルムを得た。ゲルフィル
ムを金属エンドレスベル上から剥離して、６５℃の温度
で、走行方向に延伸してついで図−１に示すテンタ装置
に導入した。テンタで幅方向に延伸した。仕切板前後の
ノズルの熱風温度は、２５０℃で、風速２ｍ／ｓｅｃ
で、ノズルからフィルム面までの距離は、１０ｃｍとし
た。ゲルフィルムは、２６０℃の温度で４０秒間乾燥
し、ついで４３０℃で１分間熱処理して、冷却ゾーンで
リラックスさせながら３０秒間冷却し、フィルムをエッ
ジカットし、幅２０００ｍｍ、厚さ２５μｍのポリイミ
ドフィルムを５００ｍ得た。
フィルムを走行させ、表面欠点の種類、大きさを測定し
て、最大長１．０mmの個数を数たところ、フィルム表面
上のオリゴマー変成固形付着異物の最大長が、１ｍｍ以
上を越える物の個数は、９個で、密度が、４．５０×１
０-３個／ｍ2であった。また、このフィルムに、ポリエ
ステル／エポキシ系の接着剤をロールコータで塗布し
て、１６０℃でドライヤーで乾燥した。このフィルムの
該接着面を塗布した面に電解銅箔を１３０℃で加圧ラミ
ネートし、２４時間キュアーしてフレキシブル銅張りポ
リイミドシ−トを得た。接着剤のはじきは、少なく良好
な歩留まりを得た。 実施例６ 乾燥したＮ，Ｎ−ジメチルアセトアミド１９０６ｋｇ中
に、４，４’−ジアミノジフェニールエーテル１４０．
０２ｋｇ（０．７ｋｍｏｌ）とパラフェニレンジアミン
３２．３６ｋｇ（０．０３ｋｍｏｌ）を溶解し、２０℃
で攪拌しながら、精製した粉末状のピロメリット酸二無
水物２１８．１２ｋｇ（１ｋｍｏｌ）を少量ずつ添加
し、１時間攪拌し続けて、透明なポリアミド酸溶液を得
た。この溶液は、２０℃で３５０Ｐａ・ｓの粘度であっ
た。このポリアミド酸溶液に、無水酢酸をポリアミド酸
単位に対して２．５ｍｏｌ、ピリジンをポリアミド酸単
位に対して２．０ｍｏｌを冷却しながら混合し、ポリア
ミド有機溶媒溶液を得た。このポリアミド酸の有機溶液
を−１０℃に冷却して、定量供給して性膜した。口金ス
リット幅は、１．３ｍｍ、長さ１８００ｍｍのＴダイか
ら押し出した。９０℃の金属エンドレスベルト上に流延
し、自己支持性のあるゲルフィルムを得た。ゲルフィル
ムを金属エンドレスベル上から剥離して、６５℃の温度
で、走行方向に延伸してついで図−１に示すテンタ装置
に導入した。テンタで幅方向に延伸した。仕切板前後の
ノズルの熱風温度は、２５０℃で、風速２ｍ／ｓｅｃ
で、ノズルからフィルム面までの距離は、１０ｃｍとし
た。ゲルフィルムは、２６０℃の温度で４０秒間乾燥
し、ついで４３０℃で１分間熱処理して、冷却ゾーンで
リラックスさせながら３０秒間冷却し、フィルムをエッ
ジカットし、幅２０００ｍｍ、厚さ２５μｍのポリイミ
ドフィルムを５００ｍ得た。
【００３６】このフィルムを、白熱灯や変更を当てて、
フィルムを走行させ、表面欠点の種類、大きさを測定し
て、最大長１．０mmの個数を数たところ、フィルム表面
上のオリゴマー変成固形付着異物の最大長が、１ｍｍ以
上を越える物の個数は、０個で、密度が、０．０×１０
-3個／m2であった。また、このフィルムに、ポリエステ
ル／エポキシ系の接着剤をロールコータで塗布して、１
６０℃でドライヤーで乾燥した。このフィルムの該接着
面を塗布した面に電解銅箔を１３０℃で加圧ラミネート
し、２４時間キュアーしてフレキシブル銅張りポリイミ
ドシ−トを得た。接着剤のはじきは、少なく 良好な歩
留まりを得た。 比較例１ 実施例１において方法は同様にして、仕切板前後のノズ
ルにエアーを供給しなかった。幅２０００ｍｍ、厚さ２
５μｍのポリイミドフィルムを５００ｍ得た。このフィ
ルムを、白熱灯や変更を当てて、フィルムを走行させ、
表面欠点の種類、大きさを測定して、最大長１．０mmの
個数を数たところ、フィルム表面上のオリゴマー変成固
形付着異物の最大長が、１ｍｍ以上を越える物の個数
は、６０個で、密度が、６０．０×１０-3個／ｍ2であ
った。また、このフィルムに、ポリエステル／エポキシ
系の接着剤をロールコータで塗布して、１６０℃でドラ
イヤーで乾燥した。このフィルムの該接着面を塗布した
面に電解銅箔を１３０℃で加圧ラミネートし、２４時間
キュアーしてフレキシブル銅張りポリイミドシ−トを得
た。接着剤のはじきは、多発して、歩留まりは悪かっ
た。 比較例２ 実施例１と方法は同様にして、仕切板前後のノズルにエ
アーを供給し、熱風温度は、１３０℃で、風速１．０ｍ
／ｓｅｃで、ノズルからフィルム面までの距離は、１５
ｃｍとした。幅２０００ｍｍ、厚さ２５μｍのポリイミ
ドフィルムを１０００ｍ得た。
フィルムを走行させ、表面欠点の種類、大きさを測定し
て、最大長１．０mmの個数を数たところ、フィルム表面
上のオリゴマー変成固形付着異物の最大長が、１ｍｍ以
上を越える物の個数は、０個で、密度が、０．０×１０
-3個／m2であった。また、このフィルムに、ポリエステ
ル／エポキシ系の接着剤をロールコータで塗布して、１
６０℃でドライヤーで乾燥した。このフィルムの該接着
面を塗布した面に電解銅箔を１３０℃で加圧ラミネート
し、２４時間キュアーしてフレキシブル銅張りポリイミ
ドシ−トを得た。接着剤のはじきは、少なく 良好な歩
留まりを得た。 比較例１ 実施例１において方法は同様にして、仕切板前後のノズ
ルにエアーを供給しなかった。幅２０００ｍｍ、厚さ２
５μｍのポリイミドフィルムを５００ｍ得た。このフィ
ルムを、白熱灯や変更を当てて、フィルムを走行させ、
表面欠点の種類、大きさを測定して、最大長１．０mmの
個数を数たところ、フィルム表面上のオリゴマー変成固
形付着異物の最大長が、１ｍｍ以上を越える物の個数
は、６０個で、密度が、６０．０×１０-3個／ｍ2であ
った。また、このフィルムに、ポリエステル／エポキシ
系の接着剤をロールコータで塗布して、１６０℃でドラ
イヤーで乾燥した。このフィルムの該接着面を塗布した
面に電解銅箔を１３０℃で加圧ラミネートし、２４時間
キュアーしてフレキシブル銅張りポリイミドシ−トを得
た。接着剤のはじきは、多発して、歩留まりは悪かっ
た。 比較例２ 実施例１と方法は同様にして、仕切板前後のノズルにエ
アーを供給し、熱風温度は、１３０℃で、風速１．０ｍ
／ｓｅｃで、ノズルからフィルム面までの距離は、１５
ｃｍとした。幅２０００ｍｍ、厚さ２５μｍのポリイミ
ドフィルムを１０００ｍ得た。
【００３７】このフィルムを、白熱灯や変更を当てて、
フィルムを走行させ、表面欠点の種類、大きさを測定し
て、最大長１．０mmの個数を数たところ、フィルム表面
上のオリゴマー変成固形付着異物の最大長が、１ｍｍ以
上を越える物の個数は、６５個で、密度が、３２．５×
１０-3個／ｍ2であった。また、このフィルムに、ポリ
エステル／エポキシ系の接着剤をロールコータで塗布し
て、１６０℃でドライヤーで乾燥した。このフィルムの
該接着面を塗布した面に電解銅箔を１３０℃で加圧ラミ
ネートし、２４時間キュアーしてフレキシブル銅張りポ
リイミドシ−トを得た。接着剤のはじきは、多発して、
歩留まりは悪かった。 比較例３ 実施例１と方法は同様にして、仕切板前後のノズルにエ
アーを供給し、熱風温度は、２９０℃で、風速１０．０
ｍ／ｓｅｃで、ノズルからフィルム面までの距離は、２
ｃｍとした。フィルムが乾燥して、破れてしまい、製膜
できなかった。
フィルムを走行させ、表面欠点の種類、大きさを測定し
て、最大長１．０mmの個数を数たところ、フィルム表面
上のオリゴマー変成固形付着異物の最大長が、１ｍｍ以
上を越える物の個数は、６５個で、密度が、３２．５×
１０-3個／ｍ2であった。また、このフィルムに、ポリ
エステル／エポキシ系の接着剤をロールコータで塗布し
て、１６０℃でドライヤーで乾燥した。このフィルムの
該接着面を塗布した面に電解銅箔を１３０℃で加圧ラミ
ネートし、２４時間キュアーしてフレキシブル銅張りポ
リイミドシ−トを得た。接着剤のはじきは、多発して、
歩留まりは悪かった。 比較例３ 実施例１と方法は同様にして、仕切板前後のノズルにエ
アーを供給し、熱風温度は、２９０℃で、風速１０．０
ｍ／ｓｅｃで、ノズルからフィルム面までの距離は、２
ｃｍとした。フィルムが乾燥して、破れてしまい、製膜
できなかった。
【００３８】
【発明の効果】ポリイミドフィルムの製造においてポリ
イミドの先駆体であるポリアミド酸溶液を支持体上にキ
ャスト後、加熱、イミド化後、得られた自己支持性のゲ
ルフィルムを、剥離後、テンターで把持して乾燥熱処す
る製造方法において、乾燥熱処理ゾーン入り口の仕切板
前に１５０〜２８０℃の熱風をゲルフィルムが乾燥しな
い風速で供給し、乾燥開始前に、これらの熱風を排気す
ることを特徴とすることにより、フィルム表面上のオリ
ゴマー変成固形付着異物の密度が少ない良好なポリイミ
ドフィルムができ、更に、フィルム表面上のオリゴマー
変成固形付着異物の最大長が、１ｍｍ以上を越える物の
密度が、６．０×１０-3個／ｍ2以下にすることによ
り、微少な表面付着物により引き起こされる接着剤はじ
き欠点も大幅に減少して、また、フィルム表面上の最大
長１ｍｍ以上のオリゴマー変成固形付着異物を、減少さ
せることにより、ＦＰＣで問題となる極微少な１ｍｍ未
満の欠点により発生するはじきが減少し、ＦＰＣとして
歩留まりも良好であり、優れた効果を奏するものであ
る。
イミドの先駆体であるポリアミド酸溶液を支持体上にキ
ャスト後、加熱、イミド化後、得られた自己支持性のゲ
ルフィルムを、剥離後、テンターで把持して乾燥熱処す
る製造方法において、乾燥熱処理ゾーン入り口の仕切板
前に１５０〜２８０℃の熱風をゲルフィルムが乾燥しな
い風速で供給し、乾燥開始前に、これらの熱風を排気す
ることを特徴とすることにより、フィルム表面上のオリ
ゴマー変成固形付着異物の密度が少ない良好なポリイミ
ドフィルムができ、更に、フィルム表面上のオリゴマー
変成固形付着異物の最大長が、１ｍｍ以上を越える物の
密度が、６．０×１０-3個／ｍ2以下にすることによ
り、微少な表面付着物により引き起こされる接着剤はじ
き欠点も大幅に減少して、また、フィルム表面上の最大
長１ｍｍ以上のオリゴマー変成固形付着異物を、減少さ
せることにより、ＦＰＣで問題となる極微少な１ｍｍ未
満の欠点により発生するはじきが減少し、ＦＰＣとして
歩留まりも良好であり、優れた効果を奏するものであ
る。
【図１】本発明のポリイミドを製造するための装置の説
明図である。
明図である。
１：口金 ２：金属ベルト ３：ゲルフィルム ４：乾燥ゾーン ５：熱処理ゾーン ６：排気ノズル ７：仕切板 ８：仕切板前吸気ノズル ９：仕切板後吸気ノズル １０：ポリイミドフィルム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 4F071 AA60 AF39 AF45 AG28 AH13 BB02 BC01 BC08 BC10 4F205 AA40 AG01 AH36 GA07 GB02 GC07 GN19 GN21 4J043 PA02 PA19 PC025 PC026 PC065 PC066 QB15 QB26 QB31 RA35 SA06 SA43 SA72 SB01 TA14 TA22 TB01 UA121 UA122 UA131 UA132 UA141 UA261 UA262 UA362 UB011 UB121 UB122 UB152 UB301 UB401 UB402 VA011 VA012 VA022 VA051 VA061 VA062 VA092 XA16 XB17 XB19 XB20 YA06 YA08 YA28 ZB11
Claims (5)
- 【請求項１】フィルム表面上の最大長１ｍｍ以上のオリ
ゴマー変成固形付着異物が６．０×１０-3個／ｍ2以下
であることを特徴とするポリイミドフィルム。 - 【請求項２】ポリイミドの先駆体であるポリアミド酸溶
液を支持体上にキャスト後、加熱、イミド化後、得られ
た自己支持性のゲルフィルムを、剥離後、テンターで把
持して乾燥熱処するポリイミドフィルムの製造方法にお
いて、乾燥熱処理ゾーン入り口の仕切板前に１５０〜２
８０℃の熱風をゲルフィルムが乾燥しない風速で供給
し、乾燥開始前に、これらの熱風を排気することを特徴
とするポリイミドフィルムの製造方法。 - 【請求項３】ポリイミドの先駆体であるポリアミド酸溶
液を支持体上にキャスト後、加熱、イミド化後、得られ
た自己支持性のゲルフィルムを、剥離後、テンターで把
持して乾燥熱処するポリイミドフィルムの製造方法にお
いて、乾燥熱処理ゾーン入り口の仕切板後に１５０〜２
８０℃の熱風をゲルフィルムがほとんど乾燥しない風速
で供給し、乾燥開始前に、これらの熱風を排気すること
を特徴とするポリイミドフィルムの製造方法。 - 【請求項４】ポリイミドの先駆体であるポリアミド酸溶
液を支持体上にキャスト後、加熱、イミド化後、得られ
た自己支持性のゲルフィルムを、剥離後、テンターで把
持して乾燥熱処するポリイミドフィルムの製造方法にお
いて、乾燥熱処理ゾーン入り口の仕切板前後に１５０〜
２８０℃の熱風をゲルフィルムがほとんど乾燥しない風
速で供給し、乾燥開始前に、これらの熱風を排気するこ
とを特徴とするポリイミドフィルムの製造方法。 - 【請求項５】ポリイミドの先駆体であるポリアミド酸溶
液を支持体上にキャスト後、加熱、イミド化後、得られ
た自己支持性のゲルフィルムを、剥離後、テンターで把
持して乾燥熱処するポリイミドフィルムの製造方法にお
いて、乾燥熱処理ゾーン入り口の仕切板内部から加熱し
て、仕切板温度を１５０〜２８０℃に加熱し、乾燥熱処
理ゾーン入り口の仕切板後に１５０〜２８０℃の熱風を
ゲルフィルムがほとんど乾燥しない風速で供給し、乾燥
開始前に、これらの熱風を排気することを特徴とするポ
リイミドフィルムの製造方法。
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|---|---|---|---|
| JP35272299A JP2001162635A (ja) | 1999-12-13 | 1999-12-13 | ポリイミドフィルム及びその製造方法 |
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| JP35272299A JP2001162635A (ja) | 1999-12-13 | 1999-12-13 | ポリイミドフィルム及びその製造方法 |
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| JP2001162635A true JP2001162635A (ja) | 2001-06-19 |
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