WO2012017808A1 - マイクロレンズ露光装置 - Google Patents
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Definitions
- the present invention relates to an exposure apparatus using a microlens array.
- an inspection mark is provided in the inspection hole, and the image of the substrate and the image of the inspection mark provided in the inspection hole are observed by the microscope, and both images are in focus.
- the positions of the microlens array and the mask on the optical axis can be adjusted so that
- the inspection light focused on the inspection hole provided in the mask is irradiated to the exposure substrate through the inspection microlens, and the image on the substrate of the inspection light observed by the microscope is focused.
- the interval between the microlens array and the substrate is adjusted so that the amount of reflected light of the inspection light detected by the photosensor on the substrate is maximized, so that it is extremely easy and highly accurate.
- the position of the microlens can be adjusted to the in-focus position.
- the microscope 10 simultaneously observes the image of the pattern 21 on the resist film 2 of the substrate 1 and the image of the inspection mark 22 provided in the inspection hole 5b so that both images are in focus.
- the positions on the optical axis of the microlens array 3 and the mask 4 are adjusted. Thereby, the precision of a focal point can be raised.
- the microscope 10 and the mask 4 are mechanically fixed at a position where the inspection light from the microscope 10 is focused at the hole 5b. In the modification shown in FIG.
- FIG. 2 is a cross-sectional view showing this embodiment.
- a photosensor 11 is provided instead of the microscope 10 of the first embodiment.
- This photosensor 11 is also fixedly provided with respect to the microlens array 3 and the mask 4, and the photosensor 11 irradiates the microlens 3b with light whose focal position is aligned with the hole 5b.
- the pattern 14 has a shape such as a circle or a striped pattern. Parallel light irradiated from the lower surface of the transparent substrate 12 passes through the pattern 14, and the image of the pattern 14 is connected to the position of the hole 5b by the microlens 3b. Image.
- the detected light quantity is measured by a photosensor as in the embodiment shown in FIG. It can also be determined whether or not it matches the focal length 3a.
- the parallel light is irradiated from the lower surface of the transparent substrate 12, the light transmitted through the pattern 14 is converged by the microlens 3b, and the light that has passed through the hole 5b is guided to the photosensor 11 (see FIG. 2).
- Whether or not the gap G is at a predetermined focal position can be determined based on whether or not the amount of light can be obtained.
- the gap G is a predetermined focal length and the laser light from the microlens 3a is at the focal point on the resist film 2, the light that is applied to the pattern 14 from the lower surface of the transparent substrate 12 and passes through the pattern 14 is
- the microlens 3b focuses at the hole 5b, passes through the small hole 5b, and most of the light quantity is detected by the photosensor 11, but when the gap G is deviated from the focal position, the light transmitted through the pattern 14 Is not focused at the hole 5b by the microlens 3b, but spreads to the Cr film 5 around the hole 5b, and the amount of light passing through the small hole 5b decreases.
- the mask 4 and the microlens array 5 are moved in the optical axis direction, and the detected light quantity is maximized, the gap G is equal to the focal length of the microlens 3a. Then, the laser beam converged by the microlens 3a becomes a focal point on the resist film 2.
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Abstract
Description
2:レジスト膜
3:マイクロレンズアレイ
3a,3b:マイクロレンズ
4:マスク
5:Cr膜
5a、5b:孔
6:固定部材
10;顕微鏡(落射型)
11:フォトセンサ
12:透明基板
13:透過型顕微鏡
14:パターン
21:パターン
22,23:検査用マーク
Claims (6)
- マイクロレンズが1次元又は2次元に配置されたマイクロレンズアレイと、各マイクロレンズに対応する位置にレーザ光の透過孔が設けられたマスクと、前記マイクロレンズアレイ及び前記マスクを所定の間隔で固定する固定部と、を有するマイクロレンズ露光装置において、前記マイクロレンズアレイに設けられ前記マイクロレンズと同一形状の検査用マイクロレンズと、前記マスクにおける前記検査用マイクロレンズに対応する位置に設けられた検査用孔と、前記マスクの上方に設けられ前記検査用孔に焦点位置を合わせた検査用光を前記検査用孔及び前記検査用マイクロレンズを介して露光対象の基板に照射する検査用光照射部と、前記基板における前記検査用光の画像を観察する顕微鏡とを有し、前記顕微鏡により観察した画像が合焦点になるように前記マイクロレンズアレイ及び前記マスクの光軸上の位置を調整するものであることを特徴とするマイクロレンズ露光装置。
- 前記検査用孔には、検査用マークが設けられており、前記顕微鏡により、前記基板の画像と、前記検査用孔に設けた前記検査用マークの画像とを観察し、双方の画像が合焦点となるように、前記マイクロレンズアレイ及び前記マスクの光軸上の位置を調整するものであることを特徴とする請求項1に記載のマイクロレンズ露光装置。
- マイクロレンズが1次元又は2次元に配置されたマイクロレンズアレイと、各マイクロレンズに対応する位置にレーザ光の透過孔が設けられたマスクと、前記マイクロレンズアレイ及び前記マスクを所定の間隔で固定する固定部と、を有するマイクロレンズ露光装置において、前記マイクロレンズアレイに設けられ前記マイクロレンズと同一形状の検査用マイクロレンズと、前記マスクにおける前記検査用マイクロレンズに対応する位置に設けられた検査用孔と、前記マスクの上方に設けられ前記検査用孔に焦点位置を合わせた検査用光を前記検査用孔及び前記検査用マイクロレンズを介して露光対象の基板に照射する検査用光照射部と、前記基板で反射した前記検査用光の光量を検出するフォトセンサとを有し、前記フォトセンサで検出した光量が最大になるように前記マイクロレンズアレイ及び前記マスクの光軸上の位置を調整するものであることを特徴とするマイクロレンズ露光装置。
- マイクロレンズが1次元又は2次元に配置されたマイクロレンズアレイと、各マイクロレンズに対応する位置にレーザ光の透過孔が設けられたマスクと、前記マイクロレンズアレイ及び前記マスクを所定の間隔で固定する固定部と、を有するマイクロレンズ露光装置において、前記マイクロレンズアレイに設けられ前記マイクロレンズと同一形状の検査用マイクロレンズと、前記マスクにおける前記検査用マイクロレンズに対応する位置に設けられた検査用孔と、露光対象に設けたパターンに平行光の検査用光を照射して前記検査用マイクロレンズに前記パターンを透過した画像を入射させる検査用光照射部と、前記パターンを透過した画像を観察する顕微鏡とを有し、前記顕微鏡により観察した画像が合焦点になるように前記マイクロレンズアレイ及び前記マスクの光軸上の位置を調整するものであることを特徴とするマイクロレンズ露光装置。
- 前記検査用孔には、検査用マークが設けられており、前記顕微鏡により、前記パターンを透過した画像と、前記検査用孔に設けた前記検査用マークを透過した画像とを観察し、双方の画像が合焦点となるように、前記マイクロレンズアレイ及び前記マスクの光軸上の位置を調整するものであることを特徴とする請求項4に記載のマイクロレンズ露光装置。
- マイクロレンズが1次元又は2次元に配置されたマイクロレンズアレイと、各マイクロレンズに対応する位置にレーザ光の透過孔が設けられたマスクと、前記マイクロレンズアレイ及び前記マスクを所定の間隔で固定する固定部と、を有するマイクロレンズ露光装置において、前記マイクロレンズアレイに設けられ前記マイクロレンズと同一形状の検査用マイクロレンズと、前記マスクにおける前記検査用マイクロレンズに対応する位置に設けられた検査用孔と、露光対象に設けたパターンに平行光の検査用光を照射して前記検査用マイクロレンズに前記パターンを透過した画像を入射させる検査用光照射部と、前記パターンを透過した前記検査用光の光量を検出するフォトセンサとを有し、前記フォトセンサで検出した光量が最大になるように前記マイクロレンズアレイ及び前記マスクの光軸上の位置を調整するものであることを特徴とするマイクロレンズ露光装置。
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