WO2011064966A1 - ガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機 - Google Patents

ガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機 Download PDF

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gas
grease
rotational speed
blower
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French (fr)
Inventor
林川　洋之
本宮　均
暢男 新野
Original Assignee
パナソニック株式会社
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D17/00—Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
    • F04D17/08—Centrifugal pumps
    • F04D17/16—Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D27/00—Control, e.g. regulation, of pumps, pumping installations or pumping systems specially adapted for elastic fluids
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/06—Lubrication
    • F04D29/063—Lubrication specially adapted for elastic fluid pumps

Definitions

  • the present invention relates to a gas laser oscillation apparatus and a gas laser processing machine provided with a blower for circulating a laser gas.
  • a gas laser oscillation apparatus has a pair of electrodes in a sealed case, and a laser gas which is an amplification medium enclosed in the case is forcibly circulated by a blower such as a blower.
  • the gas laser oscillation apparatus excites the laser gas by the discharge generated by the pair of electrodes in the housing, forms a resonator by the partial reflecting mirror and the total reflecting mirror, and outputs the laser beam to the outside from the partial reflecting mirror. I have to.
  • this gas laser oscillation apparatus sends the irradiated laser light to the processing head via an optical system composed of a plurality of mirrors, and irradiates the laser light to the position positioned on the work on the processing table.
  • the gas laser oscillation apparatus is used as a light source for processing of a gas laser processing machine that performs predetermined processing on a work.
  • the blower for circulating the laser gas has a structure in which the rotary shaft connected to the impeller for blowing the laser gas is held by a bearing, and grease for lubricating is supplied to this bearing. (See, for example, Patent Document 1).
  • the rotary shaft may rotate before the grease sufficiently runs in the bearing, resulting in that the rotary shaft Wear and heat are generated between the bearing and the bearing, contributing to shortening the bearing life.
  • the present invention focuses on this problem, and provides a gas laser oscillation apparatus and a gas laser processing machine capable of extending the bearing life.
  • the gas laser oscillation apparatus comprises discharge means for generating a discharge in a laser gas, a blower for blowing the laser gas to a discharge generation portion by the discharge, and a controller for controlling the drive of the blower.
  • the blowing part of the gas laser device of the present invention has a rotating part that rotates and a non-rotating part that does not rotate, and a bearing is disposed between the rotating part and the non-rotating part, and the bearing is It has a grease supply mechanism that supplies grease.
  • the control unit of the gas laser device of the present invention is configured to drive the blower at a rotational speed lower than the rotational speed at the time of laser output after the grease is replenished from the grease supply mechanism to the bearing.
  • the blower is driven at a rotational speed lower than the rotational speed at the time of laser output, so grease spreads inside the bearing, and between the rotating shaft and the bearing Since the wear and heat generation can be reduced, the bearing life can be extended.
  • the gas laser device of the present invention can ensure high reliability over a long period of time.
  • a gas laser processing apparatus includes the gas laser oscillation apparatus described above, a laser beam irradiated from the gas laser oscillation apparatus, and a drive unit for relatively moving a work to be irradiated with the laser beam. It consists of
  • the blower is driven at a rotational speed lower than the rotational speed at the time of laser output, so grease spreads inside the bearing, and between the rotating shaft and the bearing Since the wear and heat generation can be reduced, the bearing life can be extended.
  • the gas laser processing apparatus of the present invention can ensure high reliability over a long period of time.
  • FIG. 1 is a flowchart of a gas laser oscillation apparatus according to Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 2 is a block diagram of a gas laser oscillation apparatus according to Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 3 is a configuration diagram of a main part of a blower of the gas laser oscillator according to Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 4 is a flowchart of a gas laser oscillation apparatus according to Embodiment 2 of the present invention.
  • FIG. 5 is a block diagram of a gas laser processing machine according to Embodiment 3 of the present invention.
  • Embodiment 1 1 is a flow chart of a gas laser oscillator according to the first embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is a block diagram of a gas laser oscillator according to the first embodiment of the present invention
  • FIG. 3 is a gas laser oscillator according to the first embodiment of the present invention It is a block diagram of the principal part of a ventilation part.
  • a laser gas 2 is circulated in a discharge tube 1 made of an insulator such as glass.
  • the laser gas 2 is, for example, a gas in which nitrogen gas and helium gas are mixed with carbon dioxide (hereinafter referred to as “CO 2”) gas as the main component.
  • Electrodes 3 and 4 are provided in the discharge tube 1, and a power source 5 is connected to the electrodes 3 and 4 so that a discharge portion is configured to generate a discharge in the discharge tube 1.
  • the CO 2 molecules in the reverse distribution generate light.
  • This light is amplified by reciprocating in the resonator by the total reflection mirror 6 and the partial reflection mirror 7 disposed so as to face each other at both ends of the discharge tube 1, and is stimulated emission as laser light.
  • a part of the stimulated emission laser light is extracted from the partially reflecting mirror 7 to the outside as the laser light 8 and output.
  • Helium gas has a cooling effect and suppresses the temperature rise of the laser gas 2 and also functions to return lower level CO 2 molecules unrelated to laser oscillation to the ground state of energy level by collision.
  • a gas circulation passage 9 serving as a circulation passage for circulating the laser gas 2 is connected to the discharge tube 1, and a blower 10 for blowing the laser gas 2 is disposed in the middle of the gas circulation passage 9.
  • the blower unit 10 circulates the laser gas 2 in the gas circulation path 9 so as to form a gas flow of about 100 m / sec in the discharge tube 1.
  • a plurality of heat exchangers 11 for lowering the temperature of the laser gas 2 having a high temperature due to the discharge energy and the heat of compression after passing through the discharge part and the blower part 10 are disposed in the gas circulation path 9.
  • a control unit 12 is connected to the blower unit 10 and the power supply 5 to control them, and the control unit 12 is also connected to the alarm unit 13.
  • the blower unit 10 uses a centrifugal blower unit to suck the laser gas 2 and attach to the rotating shaft 15 a impeller 14 that discharges the laser gas 2 by rotation.
  • a motor rotor 16 is attached to the rotating shaft 15, and a motor stator 17 is disposed at a position facing the motor rotor 16, and the motor stator 17 is fixed to the casing 18.
  • bearings 19a and 19b are disposed between the rotating shaft 15 and the casing 18, rotatably support the rotating shaft 15, and grease 20 is enclosed in the bearings 19a and 19b for lubrication.
  • the grease replenishing mechanism 21 is disposed adjacent to each of the bearings 19a and 19b, and has a structure in which the grease reduced by volatilization with time or the like is replenished.
  • the grease replenishment control device 22 is connected to the grease replenishment mechanism 21 so that detection of the amount of grease and grease replenishment to the grease replenishment mechanism 21 are performed.
  • the blower unit 10 is divided into a rotating unit and a non-rotating unit, and the rotating unit is configured of a portion in contact with the impeller 14, the rotating shaft 15, the motor rotor 16, and the rotating shaft 15 of the bearings 19a and 19b.
  • the non-rotating portion is composed of a portion in contact with the motor stator 17, the casing 18, and the casing 18 of the bearings 19a, 19b.
  • the gas laser oscillation device of the first embodiment drives the blower 10 at a rotation speed lower than the rotation speed at the time of laser output after supplying grease and supplying this grease. .
  • the gas laser oscillation apparatus of the first embodiment starts operation according to the flowchart shown in FIG. 1 and operates. That is, in order to perform laser oscillation, when operation is started, the control unit 12 drives and controls the power supply 5 and the blower unit 10 so as to obtain a desired output of the laser beam 8 (step S1). At the same time, a signal from the grease supply control device 22 is input to the control unit 12, and the amount of grease in the bearings 19a, 19b is detected (step S2).
  • step S3 It is determined whether the detected amount of grease is less than or equal to a prescribed amount (step S3). If the amount of grease is greater than or equal to the prescribed amount, the controller 12 controls the power supply 5 and the power supply 5 so as to continuously obtain the desired laser beam 8 output. The blower unit 10 is driven and controlled (from step S4 to step S1). On the other hand, when the detected amount of grease is equal to or less than the specified amount, the control unit 12 stops the power supply 5 and the blower 10, and the operation is stopped and the alarm unit 13 is driven (step S5).
  • control unit 12 replenishes the bearings 19a and 19b with a predetermined amount of grease from the grease replenishment mechanism 21 via the grease replenishment control device 22 (step S6).
  • control unit 12 performs so-called acclimatization operation with a small load, driving the blower unit 10 at a rotation speed lower than the rotation speed at the time of laser output (step S7).
  • step S8 It is determined whether or not a predetermined time has elapsed in order to perform this acclimatization operation for a predetermined time required for the grease to conform to the bearing, which has been set in advance (step S8). If the predetermined time has not elapsed, the acclimatization operation is continued, and if the predetermined time has elapsed, the alarm unit 13 is stopped (step S9), and the power supply 5 and the power supply 5 and the desired laser light 8 are obtained again.
  • the control unit 12 drives and controls the blower unit 10 (step S1).
  • the discharge portion formed of the electrodes 3 and 4 and the power source 5 causing discharge to the laser gas 2 and the blower portion that blows the laser gas 2 to the discharge generation portion by the discharge portion
  • a control unit 12 that controls the driving of the blower unit 10.
  • the air blowing unit 10 of the gas laser oscillation device has a rotating portion and a non-rotating portion, and the bearings 19a and 19b are disposed between the rotating portion and the non-rotating portion, and grease is supplied to the bearings 19a and 19b.
  • a replenishment mechanism 21 is provided.
  • the rotating portion is composed of a portion in contact with the rotating shaft 15, the rotating shaft 15, the motor rotor 16, and the rotating shafts 15 of the bearings 19a, 19b that perform rotation.
  • the non-rotating portion is composed of the motor stator 17 which does not rotate, the casing 18 and a portion in contact with the casing 18 of the bearings 19a, 19b.
  • control unit 12 of the gas laser oscillation device is configured to drive the blower unit 10 at a rotational speed lower than the rotational speed at the time of laser output, after supplying grease from the grease supply mechanism 21 to the bearings 19a and 19b.
  • the control unit 12 drives the blower unit 10 at a rotational speed lower than the rotational speed at the time of laser output for a predetermined time, and then drives the blower unit 10 to the rotational speed at the laser output It has composition.
  • FIG. 4 is a flowchart of a gas laser oscillation apparatus according to the second embodiment of the present invention.
  • the parts having the same configuration as the first embodiment are given the same reference numerals, and the description thereof is omitted.
  • the feature of the second embodiment is that the motor stator 17 is replaced with the time of the acclimatization operation in the first embodiment, specifically, in place of the predetermined time required for the grease to become familiar. The point at which the control unit 12 detects and controls the flowing current.
  • the gas laser oscillation device starts operation in order to perform laser oscillation.
  • the control unit 12 drives and controls the power supply 5 and the blower 10 so as to obtain a desired output of the laser light 8 (step S1).
  • a signal from the grease supply control device 22 is input to the control unit 12 to detect the amount of grease in the bearings 19a and 19b (step S2).
  • step S3 It is determined whether or not the detected amount of grease is less than or equal to a prescribed amount (step S3). If the amount of grease is greater than or equal to the prescribed amount, the controller 12 controls the power supply 5 to continuously obtain the desired laser beam 8 output. And drive and control the blower unit 10 (from step S4 to step S1). On the other hand, when the detected amount of grease is less than or equal to the specified amount, the control unit 12 stops the power supply 5 and the blower unit 10 to stop the operation and drive the alarm unit 13 (step S5).
  • control unit 12 replenishes the bearings 19a and 19b with a predetermined amount of grease from the grease replenishment mechanism 21 via the grease replenishment control device 22 (step S6).
  • control unit 12 drives the air blowing unit 10 at a rotational speed lower than the rotational speed at the time of laser output, so-called accustomed operation is performed under a small load condition (step S7).
  • control unit 12 detects the current flowing to the motor stator 17 (step S10).
  • step S11 It is determined whether or not the detected motor current has become equal to or less than a predetermined value (step S11), and if it is equal to or more than the predetermined value, the acclimatization operation is continued, and if it becomes equal to or less than the predetermined value, the alarm unit 13 is stopped (step S9)
  • the power supply 5 and the blower 10 are driven and controlled by the controller 12 so that the desired output of the laser beam 8 can be obtained again (step S1).
  • the gas laser oscillator of the second embodiment uses a member including a motor as the blower 10, and the controller 12 detects the value of the current flowing through the motor to detect the load of the motor. Then, the gas laser oscillation device drives the blower 10 at a rotational speed lower than the rotational speed at the time of laser output until the load on the motor is reduced, and then increases the rotational speed at the laser output to the rotational speed. It is configured to be driven.
  • FIG. 5 is a block diagram of a gas laser processing machine according to Embodiment 3 of the present invention.
  • the gas laser oscillation apparatus according to the first and second embodiments of the present invention described above can be used for the gas laser processing machine shown in FIG. 5, and its schematic configuration will be described with reference to FIG.
  • the laser beam 8 output from the gas laser oscillation device 40 according to the first and second embodiments is changed by reflecting the traveling direction by the reflecting mirror 25 in order to irradiate the work 24. Then, the laser beam 8 is condensed to an energy beam of high density light by a condenser lens 27 provided inside the torch 26 and is irradiated to the work 24.
  • the work 24 is fixed on the processing table 28, and the torch 26 is moved relative to the work 24 by a drive unit including the X-axis motor 29 or the Y-axis motor 30. It is configured to perform processing of a predetermined shape.
  • the above-described gas laser oscillation device 40, the laser beam 8 irradiated from the gas laser oscillation device 40, and the drive unit for relatively moving the work 24 to be irradiated with the laser beam It consists of the provided configuration.
  • the blower is driven at a rotational speed lower than the rotational speed at the time of laser output, so grease spreads inside the bearing, and between the rotating shaft and the bearing Since the wear and heat generation can be reduced, the bearing life can be extended.
  • the gas laser processing apparatus of the present invention can ensure high reliability over a long period of time.

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Abstract

　本発明のガスレーザ発振装置は、送風部が、回転を行う翼車、回転軸、モータロータおよび軸受の回転軸と接触した部分から構成されている回転部と、回転を行わないモータステータ、ケーシングおよび軸受のケーシングと接触した部分から構成されている非回転部と、を有し、回転部と非回転部との間に２つの軸受を配置し、この２つの軸受にグリスを補給するグリス補給機構を設け、制御部は、グリス補給機構から２つの軸受へグリスが補給された後、レーザ出力時の回転数よりも低い回転数で送風部を駆動する。

Description

ガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機
　本発明は、レーザガスを循環する送風部を備えたガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機に関する。
　一般に、ガスレーザ発振装置は、密閉された筐体内に一対の電極を有し、この筐体内に封入された増幅媒質であるレーザガスをブロワ等の送風部によって強制的に循環させている。そして、ガスレーザ発振装置は、筐体内の一対の電極によって生じる放電によって、レーザガスを励起し、部分反射鏡と全反射鏡とによって共振器を形成し、部分反射鏡から外部にレーザ光を出力する構成にしている。
　また、このガスレーザ発振装置は、照射したレーザ光を複数のミラーからなる光学系を介して加工ヘッドに送り、加工テーブル上のワークに位置決めした位置にレーザ光を照射する。これにより、ガスレーザ発振装置は、ワークに所定の加工を行うガスレーザ加工機の加工用の光源として用いられている。
　ところで、このようなガスレーザ発振装置において、レーザガスを循環させる送風部は、レーザガスを送風する翼車に接続した回転軸を軸受で保持する構成にしており、この軸受には潤滑用のグリスを供給するようにしていた（例えば、特許文献１参照）。
　しかし、この様な従来のガスレーザ発振装置では、不足したグリスを適宜供給できるものの、軸受のグリスが不足した部分に十分に行渡る前に、回転軸が回転することがあり、その結果、回転軸と軸受との間に磨耗、発熱を生じるので軸受寿命を縮める一因となっていた。
特開２００５－２２１０４２号公報
　本発明はこの課題に着目し、軸受寿命を延ばすことができるガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機を提供する。
　本発明のガスレーザ発振装置は、レーザガスに放電を発生させる放電手段と、上記レーザガスを上記放電部による放電発生部分に送風する送風部と、上記送風部の駆動を制御する制御部と、を備えている。そして、本発明のガスレーザ装置の送風部は、回転を行う回転部と、回転を行わない非回転部とを有し、上記回転部と上記非回転部の間に軸受を配置し、上記軸受にグリスを補給するグリス補給機構を設けている。そして、本発明のガスレーザ装置の制御部は、上記グリス補給機構から上記軸受へグリスが補給された後、レーザ出力時の回転数よりも低い回転数で上記送風部を駆動する構成からなる。
　この構成により、グリス補給機構から軸受へグリスが補給された後、レーザ出力時の回転数よりも低い回転数で送風部を駆動するので、軸受内部にグリスが行き渡り、回転軸と軸受との間の磨耗や発熱を低減できるので、軸受の寿命を延ばす事ができる。これにより、本発明のガスレーザ装置は、長期に渡って高い信頼性を確保する事ができる。
　また、本発明のガスレーザ加工装置は、上記記載のガスレーザ発振装置と、上記ガスレーザ発振装置から照射されたレーザ光と、このレーザ光を照射するワークとを相対移動させる駆動部と、を備えた構成からなる。
　この構成により、グリス補給機構から軸受へグリスが補給された後、レーザ出力時の回転数よりも低い回転数で送風部を駆動するので、軸受内部にグリスが行き渡り、回転軸と軸受との間の磨耗や発熱を低減できるので、軸受の寿命を延ばす事ができる。これにより、本発明のガスレーザ加工装置は、長期に渡って高い信頼性を確保する事ができる。
　以上のように、本発明のガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工装置は、軸受内部にグリスが行き渡り、回転軸と軸受との間の磨耗や発熱を低減できるので、軸受の寿命を延ばす事が可能となり、長期に渡って高い信頼性を確保する事ができる。
図１は、本発明の実施の形態１に関するガスレーザ発振装置のフローチャートである。 図２は、本発明の実施の形態１に関するガスレーザ発振装置の構成図である。 図３は、本発明の実施の形態１に関するガスレーザ発振装置の送風部の要部の構成図である。 図４は、本発明の実施の形態２に関するガスレーザ発振装置のフローチャートである。 図５は、本発明の実施の形態３に関するガスレーザ加工機の構成図である。
　以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。以下の図面においては、同じ構成要素については同じ符号を付しているので説明を省略する場合がある。
　（実施の形態１）
　図１は本発明の実施の形態１に関するガスレーザ発振装置のフローチャート、図２は本発明の実施の形態１に関するガスレーザ発振装置の構成図、図３は本発明の実施の形態１に関するガスレーザ発振装置の送風部の要部の構成図である。
　図２に示すように、ガラスなどの絶縁体からなる放電管１内には、レーザガス２が循環されている。本実施の形態１では、レーザガス２は、例えば、二酸化炭素（以下、「ＣＯ２」とする。）ガスを主成分として窒素ガスとヘリウムガスを混合した気体からなる。放電管１には電極３、４が設けられていて、これら電極３、４には電源５が接続されて、放電管１内に放電を発生させるように放電部が構成されている。
　この放電で生じた高速の電子が、窒素分子を励起して高エネルギー準位に上げる。この励起された窒素分子が、ＣＯ２分子に衝突してＣＯ２分子にエネルギーを与えて励起させ、ＣＯ２分子のエネルギー準位を上げる。その際、窒素分子は、エネルギーを失うのでエネルギー準位が下がる。
　そして、反転分布したＣＯ２分子は光を発生する。この光は、放電管１の両端にそれぞれ対向するように配置された全反射鏡６と部分反射鏡７とによる共振器内を往復することにより増幅されてレーザ光として誘導放出される。これにより、誘導放出されたレーザ光の一部が、部分反射鏡７から外部にレーザ光８として取り出され出力されるように構成している。なお、ヘリウムガスは冷却効果があり、レーザガス２の温度上昇を抑止するとともに、レーザ発振に関係しない下位レベルのＣＯ２分子を衝突でエネルギー準位の基底状態に戻す作用を行う。
　この放電管１には、レーザガス２を循環させる循環路となるガス循環経路９が接続され、そのガス循環経路９の途中にレーザガス２を送風する送風部１０が配置される。この送風部１０により、放電管１内で約１００ｍ／ｓｅｃ程度のガス流となるように、ガス循環経路９内のレーザガス２が循環させられている。
　このガス循環経路９には、放電部や送風部１０を通過後に放電エネルギーおよび圧縮熱により高温となっているレーザガス２の温度を下げるための熱交換器１１が複数配置されている。
　なお、この送風部１０及び電源５には制御部１２が接続されて、夫々を制御するようにしており、この制御部１２は警報部１３にも接続されている。
　この送風部１０は図３に示すように、本実施の形態１では遠心式の送風部を用い、レーザガス２を吸い込み、回転により吐出する翼車１４を回転軸１５に取り付けている。この回転軸１５にはモータロータ１６を取り付けていて、このモータロータ１６と対向する位置にモータステータ１７を配置し、このモータステータ１７はケーシング１８に固定している。
　また、回転軸１５とケーシング１８との間には軸受１９ａ、１９ｂが配置され、回転軸１５を回転可能に支持し、この軸受１９ａ、１９ｂの内部には潤滑のためグリス２０が封入されている。そして、軸受１９ａ、１９ｂのそれぞれに隣接してグリス補給機構２１が配置されており、経時的な揮発等により減少したグリスが補給される構造となっている。
　なお、グリス補給機構２１にはグリス補給制御装置２２が接続されていて、グリス量の検出と、グリス補給機構２１へのグリス補給が行われるようにしている。
　送風部１０は、回転部と非回転部とに分けられ、回転部は翼車１４、回転軸１５、モータロータ１６および軸受１９ａ、１９ｂの回転軸１５と接触した部分から構成されている。
　また、非回転部は、モータステータ１７、ケーシング１８および軸受１９ａ、１９ｂのケーシング１８と接触した部分から構成されている。
　このように構成した送風部１０は、モータステータ１７に交流電力を供給すると、発生した回転磁界によりモータロータ１６が回転し、回転軸１５を介して翼車１４が回転する。翼車１４の周囲にはスクロール２３が配置され、翼車１４の回転によりレーザガス２の送風が行われる。
　そして、図１に示すように、本実施の形態１のガスレーザ発振装置は、グリス補給と、このグリス補給の後、レーザ出力時の回転数よりも低い回転数で送風部１０を駆動している。
　具体的には、本実施の形態１のガスレーザ発振装置は、図１に示すフローチャートに沿って運転を開始し、動作する。すなわち、レーザ発振を行うために、運転が開始されると、所望のレーザ光８の出力が得られるように電源５および送風部１０を制御部１２が駆動し制御する（ステップＳ１）。これと同時に、グリス補給制御装置２２からの信号が制御部１２に入力されて、軸受１９ａ、１９ｂ内のグリス量が検出される（ステップＳ２）。
　この検出したグリス量が規定量以下かどうか判別し（ステップＳ３）、グリス量が規定量以上ある場合は、継続して所望のレーザ光８の出力が得られるように制御部１２が電源５および送風部１０を駆動し制御する（ステップＳ４からステップＳ１へ）。一方、検出したグリス量が規定量以下の場合は、制御部１２は電源５および送風部１０を停止し、運転が停止されるとともに警報部１３が駆動される（ステップＳ５）。
　次に、制御部１２は、グリス補給制御装置２２を介してグリス補給機構２１から所定量のグリスを軸受１９ａ、１９ｂに補給する（ステップＳ６）。
　そして、このグリス補給後、制御部１２は、レーザ出力時の回転数よりも低い回転数で送風部１０を駆動する、所謂、馴らし運転を負荷の小さい状態で行う（ステップＳ７）。
　予め設定された、グリスが軸受に馴染むのに必要な所定時間の間、この馴らし運転を行うため、所定時間が経過したか否か判別する（ステップＳ８）。所定時間が経過していない場合は馴らし運転を継続し、所定時間が経過した場合は警報部１３を停止し（ステップＳ９）、再び、所望のレーザ光８の出力が得られるように電源５および送風部１０を制御部１２が駆動し制御する（ステップＳ１）。
　以上のように、本実施の形態１のガスレーザ発振装置は、レーザガス２に放電を発生させる電極３、４および電源５からなる放電部と、レーザガス２を放電部による放電発生部分に送風する送風部１０と、送風部１０の駆動を制御する制御部１２と、を備えている。
　そして、ガスレーザ発振装置の送風部１０は、回転部と非回転部とを有し、回転部と非回転部との間に軸受１９ａ、１９ｂを配置し、軸受１９ａ、１９ｂにグリスを補給するグリス補給機構２１を設けている。ここで、回転部は、回転を行う翼車１４、回転軸１５、モータロータ１６および軸受１９ａ、１９ｂの回転軸１５と接触した部分から構成されている。非回転部は、回転を行わないモータステータ１７、ケーシング１８および軸受１９ａ、１９ｂのケーシング１８と接触した部分から構成されている。
　そして、ガスレーザ発振装置の制御部１２は、グリス補給機構２１から軸受１９ａ、１９ｂへグリスが補給された後、レーザ出力時の回転数よりも低い回転数で送風部１０を駆動する構成としている。
　この構成により、軸受１９ａ、１９ｂ内部にグリスが行き渡り、回転軸と軸受との間の磨耗や発熱を低減できるので、軸受１９ａ、１９ｂの寿命を延ばす事ができる。これにより、長期に渡って高い信頼性を確保する事ができる。
　また、制御部１２は、あらかじめ設定された時間の間、レーザ出力時の回転数よりも低い回転数で送風部１０を駆動した後、送風部１０をレーザ出力時の回転数に上げて駆動する構成としている。
　この構成により、軸受１９ａ、１９ｂ内部にグリス２０が行き渡った後でレーザ出力時の回転数に上げるので、回転軸と軸受との間の磨耗や発熱を低減できる。これにより、軸受１９ａ、１９ｂの寿命を延ばす事ができ、長期に渡って高い信頼性を確保する事ができる。
　（実施の形態２）
　図４は、本発明の実施の形態２に関するガスレーザ発振装置のフローチャートで、本実施の形態２において、実施の形態１と同じ構成の部分については同じ符号を付し、その説明を省略する。
　本実施の形態２の特徴とするところは、実施の形態１での馴らし運転の時間、具体的には、予め設定された、グリスが馴染むのに必要な所定時間に代えて、モータステータ１７に流れる電流を制御部１２で検出して、制御する点である。
　すなわち、モータに流れる電流はモータの負荷に応じて大きくなるため、グリス補給直後の軸受潤滑が不充分な間は軸受１９ａ、１９ｂの滑りに摩擦が生じ、モータ電流が大きくなる。一方、軸受１９ａ、１９ｂにグリスが十分に行き渡ると摩擦が減少し、モータ電流が減少する。このモータ電流の減少を検出する事で、馴らし運転の完了を判断する制御が行われる。
　具体的には図４のフローチャートに示すように、ガスレーザ発振装置がレーザ発振を行うために、運転を開始する。そうすると、所望のレーザ光８の出力が得られるように電源５および送風部１０を制御部１２が駆動し制御する（ステップＳ１）。これと同時に、グリス補給制御装置２２からの信号を制御部１２に入力して軸受１９ａ、１９ｂ内のグリス量が検出される（ステップＳ２）。
　この検出したグリス量が規定量以下か否か判別し（ステップＳ３）、グリス量が規定量以上ある場合は、継続して所望のレーザ光８の出力が得られるように制御部１２が電源５および送風部１０を駆動し制御する（ステップＳ４からステップＳ１へ）。一方、検出したグリス量が規定量以下の場合は、制御部１２は電源５および送風部１０を停止し、運転を停止するとともに警報部１３が駆動される（ステップＳ５）。
　次に、制御部１２はグリス補給制御装置２２を介してグリス補給機構２１から所定量のグリスを軸受１９ａ、１９ｂに補給する（ステップＳ６）。
　そして、このグリス補給後、制御部１２はレーザ出力時の回転数よりも低い回転数で送風部１０を駆動する、所謂、馴らし運転を負荷の小さい状態で行う（ステップＳ７）。
　次に、モータ電流検出として、制御部１２はモータステータ１７に流れる電流を検出する（ステップＳ１０）。
　この検出したモータ電流が所定値以下になったか否かを判別し（ステップＳ１１）、所定値以上の場合は馴らし運転を継続し、所定値以下になった場合は警報部１３を停止し（ステップＳ９）、再び、所望のレーザ光８の出力が得られるように電源５、送風部１０を制御部１２で駆動制御する（ステップＳ１）。
　以上のように、本実施の形態２のガスレーザ発振装置は、送風部１０としてモータを含む部材を用い、制御部１２は、モータに流れる電流値を検出してモータの負荷を検出する。そして、ガスレーザ発振装置は、モータの負荷が軽減するまでの間、レーザ出力時の回転数よりも低い回転数で送風部１０を駆動した後、送風部１０をレーザ出力時の回転数に上げて駆動する構成としている。
　この構成により、軸受１９ａ、１９ｂ内部へのグリス２０の行渡り状況をモータに流れる電流で確認することができ、軸受１９ａ、１９ｂの寿命を延ばす事ができる。これにより、長期に渡って高い信頼性を確保する事ができるとともに、短時間で遅滞無く所望のレーザ出力が得られる。
　（実施の形態３）
　図５は、本発明の実施の形態３に関するガスレーザ加工機の構成図である。上述の本発明の実施の形態１、２に関するガスレーザ発振装置は、図５に示すガスレーザ加工機に使用可能であり、その概略構成について図５を参照しながら説明する。
　図５に示すように、本実施の形態１、２に関するガスレーザ発振装置４０から出力したレーザ光８は、ワーク２４に照射するために、進行方向を反射鏡２５で反射することにより変更される。そして、レーザ光８は、トーチ２６内部に備えた集光レンズ２７によって高密度の光のエネルギービームに集光されて、ワーク２４に照射される。
　なお、ワーク２４は加工テーブル２８上に固定されており、トーチ２６をＸ軸モータ２９あるいはＹ軸モータ３０を含んで構成される駆動部によって、ワーク２４に対して相対的に移動する事で、所定の形状の加工を行うように構成している。
　すなわち、本発明のガスレーザ加工装置は、上記記載のガスレーザ発振装置４０と、ガスレーザ発振装置４０から照射されたレーザ光８と、このレーザ光を照射するワーク２４とを相対移動させる駆動部と、を備えた構成からなる。
　この構成により、グリス補給機構から軸受へグリスが補給された後、レーザ出力時の回転数よりも低い回転数で送風部を駆動するので、軸受内部にグリスが行き渡り、回転軸と軸受との間の磨耗や発熱を低減できるので、軸受の寿命を延ばす事ができる。これにより、本発明のガスレーザ加工装置は、長期に渡って高い信頼性を確保する事ができる。
　本発明によるガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機は、軸受内部にグリスが行き渡り、軸受の寿命を延ばす事ができ、長期に渡って高い信頼性を確保する事ができるので、様々のワークを加工するのに用いるガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機として有用である。
　１　　放電管
　２　　レーザガス
　３，４　　電極
　５　　電源
　６　　全反射鏡
　７　　部分反射鏡
　８　　レーザ光
　９　　ガス循環経路
　１０　　送風部
　１１　　熱交換器
　１２　　制御部
　１３　　警報部
　１４　　翼車
　１５　　回転軸
　１６　　モータロータ
　１７　　モータステータ
　１８　　ケーシング
　１９ａ，１９ｂ　　軸受
　２０　　グリス
　２１　　グリス補給機構
　２２　　グリス補給制御装置
　２３　　スクロール
　２４　　ワーク
　２５　　反射鏡
　２６　　トーチ
　２７　　集光レンズ
　２８　　加工テーブル
　２９　　Ｘ軸モータ
　３０　　Ｙ軸モータ
　４０　　ガスレーザ発振装置

Claims (4)

  1. レーザガスに放電を発生させる放電部と、
    前記レーザガスを前記放電部による放電発生部分に送風する送風部と、
    前記送風部の駆動を制御する制御部と、を備え、
    前記送風部は、回転を行う回転部と、回転を行わない非回転部とを有し、前記回転部と前記非回転部との間に軸受を配置し、前記軸受にグリスを補給するグリス補給機構を設け、
    前記制御部は、前記グリス補給機構から前記軸受へグリスが補給された後、レーザ出力時の回転数よりも低い回転数で前記送風部を駆動するガスレーザ発振装置。
  2. 前記制御部は、あらかじめ設定された時間の間、前記レーザ出力時の回転数よりも低い回転数で前記送風部を駆動した後、前記送風部をレーザ出力時の回転数に上げて駆動する請求項１記載のガスレーザ発振装置。
  3. 前記送風部としてモータを含む部材を用い、前記制御部は、前記モータに流れる電流値を検出して前記モータの負荷を検出し、前記モータの負荷が軽減するまでの間、前記レーザ出力時の回転数よりも低い回転数で前記送風部を駆動した後、前記送風部を前記レーザ出力時の回転数に上げて駆動する請求項１記載のガスレーザ発振装置。
  4. 請求項１から３の何れかに記載のガスレーザ発振装置と、
    前記ガスレーザ発振装置から照射されたレーザ光と前記レーザ光を照射するワークとを相対移動させる駆動部と、
    を備えたガスレーザ加工機。
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