JP4656058B2 - ガスレーザ発振器およびガスレーザ加工機 - Google Patents
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Description
本発明は、ブロワを用いたガスレーザ発振器および該ガスレーザ発振器を備えたガスレーザ加工機に関する。
【背景技術】
一般に、ガスレーザ発振器は密閉された筐体内に一対の電極を有し、前記筐体内に封入されたレーザガスをブロワによって強制的に循環している。そして、前記一対の電極によって生じる放電によって、前記レーザガスを励起し、部分反射鏡と全反射鏡によって共振され、外部に照射される。そして複数のミラーを介して加工ヘッドに送られ、加工テーブル上のワークの加工を行う。
ところで、このようなレーザ発振器においてレーザガスを循環させるブロワは一種の消耗品として扱われている。レーザ発振中に何らかの原因でブロワが停止すると、レーザガス循環が止まり、筐体内の光学部品や電極を損傷してしまう。また、レーザ加工に使用している場合は、レーザ発振器内の光学部品や電極を損傷することにより、レーザビームの品質が異常になったまま加工を続けてしまい、広範囲に加工不良を及ぼし、多大な影響がでてしまう。従来のブロアのメンテナンスとしては一般的に、定期点検時にレーザ発振器使用時間から予測されるブロア推定寿命によりブロワの劣化状態を判断していた。また、従来のブロワの異常を知る手段としては、例えば日本国特開平1−106487号公報に開示されたレーザ発振器停止時に惰性回転するブロワの電流値と惰性回転時間との関係から異常を検知する方法や、日本国2003−110172号公報に開示されたブロアに電力を供給するインバータ部の出力電流を所定値と比較することで異常を検知する方法が知られている。
従来の推定寿命によるブロワ劣化の判断は、予防保全上から早期のブロワ交換を余儀なくしている他、定期点検時以外には発見できないないという欠点があった。また、日本国特開平1−106487号公報に開示された従来のブロアの異常検知手段では、ブロア停止時にしか異常を検知できず、発振器もしくは加工機の使用中の異常停止を防止するのは困難である。一方、日本国2003−110172号公報に開示された従来のブロアの異常検知方法では、加工中の異常停止を防止することは可能であるが、一般的にブロワの電流値はブロワの劣化以外に、筐体内のレーザガス圧力によっても変化するので、レーザガスの圧力変化をブロワの劣化と判断してしまう欠点がある。
【発明の開示】
本発明は、上述のような問題点を解決するためになされたもので、その目的は、レーザガスの圧力変化にかかわらず、発振器もしくは加工機の使用中にフロアの劣化を検出できる装置を有したガスレーザ発振器およびガスレーザ加工機を得るものである。
本発明に係るガスレーザ発振器およびガスレーザ加工機においては、ブロワに駆動電力を供給するインバータの出力電流値を検出する電流検出手段と、筐体内のレーザガスの圧力を検出する圧力検出手段とを備え、前記電流検出手段にて検出された前記インバータの出力電流値と、前記圧力検出手段にて検出されたレーザガス圧力値と、別途記憶している前記インバータの出力電流値と前記レーザガスの圧力値との関係式を利用して前記ブロワの異常を検出するものである。
本発明は上記構成により、レーザガスの圧力変化にかかわらず、発振器もしくは加工機の使用中にブロアの劣化を検出することができる。これにより、レーザ発振器においては、レーザ発振中のブロワ異常停止を未然に防止することができ、ブロア異常停止に伴う筐体内の光学部品や電極が損傷することを大幅に低減できるという効果が得られる。また、レーザ加工機においては、レーザ加工中のブロワ異常停止を未然に防止することができ、従来のブロア異常停止に伴う広範囲に及ぶ加工不良を加工機が停止した部分のみに抑えることができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の実施の形態1を示すレーザ発振器の側面図である。
第2図は、本発明の実施の形態1を示すレーザ発振器の正面図およびブロワ劣化を検出するための構成図である。
第3図は、レーザガス圧力とブロワ電流の関係を示すグラフの一例である。
第4図は、本発明の実施の形態1の動作を示すフローチャート図である。
第5図は、本発明の実施の形態2を示すレーザ発振器の正面図およびブロワ劣化を検出するための構成図である。
第6図は、本発明の実施の形態2の動作を示すフローチャート図である。
第7図は、実施形態3および4におけるレーザ発振器の正面図及びブロワ劣化を検出するための構成図である。
第8図は、本発明の実施の形態3の動作を示すフローチャート図である。
第9図は、本発明の実施の形態4の動作を示すフローチャート図である。
【発明を実施するための最良の形態】
実施の形態1.
第1図は、本発明を実施するための実施の形態1におけるレーザ発振器の横断面を示す概略図であり、第2図はレーザ発振器の縦断面とブロワ異常を検出する装置と加工機本体部分を示したレーザ加工機の概要図である。
第1図、第2図において筐体7内にはCO2、N2、Heなどのレーザガスが封入されている。このレーザガスは筐体7内に配置された複数のブロワ5によって矢印6方向に強制循環されている。そして、一対の電極1間の放電空間2を通過した後、高温となったレーザガスはガスダクト3を通り、熱交換器4によって冷却されるようになっている。そして冷却されたレーザガスは再び複数のブロワ5によって電極1間に還流される。そして、一対の電極1によって生じる放電によって、循環されたレーザガスを励起し、部分反射鏡20と全反射鏡16によって共振され、外部に照射される。そして複数のミラー26を介して加工機本体21内の加工ヘッド24に送られ、加工テーブル25上のワーク23へ照射し、加工を行う。レーザ発振器およびレーザ加工機は制御装置14内の発振器および加工機制御部18によりその動作を制御される。
前記筐体7内に封入されているレーザガスの圧力は機種によって異なるが、一般的に設定値は約50Torrから約200Torrの間に設定され、設定値からのずれは±2Torr程度に収まるように保たれている。また、レーザガス交換時には0.1Torr付近まで筐体7内圧力を低下させる。筐体7内のレーザガス圧力は、レーザガス圧力検出手段であるガス圧センサ12によってモニタしている。そして、ガス圧センサ12の出力をレーザガス圧力比較手段である圧力比較回路13によって、正常レーザガス圧と比較し、レーザガス圧が正常か異常かを判する。
一方、ブロワ5の駆動部は電力を供給するインバータ10と、ブロワ電流検出手段である電流検出回路9、サーマルリレー8によって構成される。万一、焼付き等によってブロワ5に大電流が流れるとサーマルリレー8が働き、レーザ発振器が停止するようになっている。更に、電流検出回路9によってインバータ10の出力電流を検出し、ブロア電流比較手段である電流比較回路11によって正常電流値と比較し、電流値が正常か異常かを判断する。
ブロワ5は前述したように50〜200Torr程度という真空状態で高速回転しているため、蒸気圧の高い真空グリスを軸受け機構に塗布することによって、摩擦を軽減する方式を採用している。しかし、この方式でも軸受け機構の磨耗が生じることが多い。軸受け機構の磨耗が生じるとブロワの回転に必要な電流値が増加することになる。
一方、ブロワ電流の変動は前述した通り、レーザガス圧力の変動による要因もある。ここで、ブロワ電流値とレーザガス圧力との関係を第3図に示す。第3図は、発明者が本発明の検討に使用したレーザ発振器での値であるが、一般的にレーザガス圧力が増加するとブロワ電流も増加し、レーザガス圧が低くなるとブロワ電流も低下するという関係が成り立つ。
そこで、ブロワ電流が変動する要因をブロワ異常に特定するため、以下のような構成とした。圧力比較回路13の結果出力と、電流比較回路11の結果出力はAND回路15に送られAND処理が実施される。AND回路15の結果と電流検出回路9の出力とガス圧センサ12の出力とは、制御装置14内の比較演算部17に送られ比較演算部17にてブロア異常かどうか判断し、異常と判断した場合、発振器および加工機制御部18に信号を出し発振器および加工機を停止させるとともに、警報装置19にも信号を出しオペレータへ異常を知らせる。
次に、本実施の形態1におけるレーザ発振器およびレーザ加工機の動作について、第3図を参照しながら第4図のフローチャート図を用いて説明する。ここでは、発明者が本発明を検討したレーザ発振器の設定ガス圧55±2Torrと、第3図に示したレーザガス圧とブロア電流の関係と、第3図より求めた上記設定ガス圧に対応する設定ブロア電流3.1±0.1Aとを例に用いる。もちろん、設定ガス圧や設定ブロア電流およびレーザガス圧とブロア電流の関係式は、適用する発振器によって適宜決定すればよく、特に上記値に限定されるものではない。
まず、電流検出回路9によってブロア電流Idを検出し検出値をブロア電流比較回路11および比較演算部17へ出力する。(ステップS01)
次に、ガス圧センサ12によって筐体7内のレーザガス圧Pdを検出し検出値を圧力比較回路13および比較演算部17へ出力する。(ステップS02)
次に、電流比較回路11において電流比較回路11に記憶されている設定ブロア電流Is(3.1±0.1A)と上記ブロア電流値Idとを比較し、電流値Idが設定ブロア電流値3.1±0.1Aの範囲に入っていればHigh信号(以下H)を出力し、電流値Idが設定ブロア電流値3.1±0.1Aの範囲に入っていなければLow信号(以下L)をAND回路15へ出力する。(ステップS03)
次に、圧力比較回路13において圧力比較回路13に記憶されている設定ガス圧Ps(55±2Torr)と上記レーザガス圧Pdとを比較し、ガス圧Pdが設定ガス圧55±2Torrの範囲に入っていればHigh信号(以下H)を出力し、ガス圧Pdが設定ガス圧55±2Torrの範囲に入っていなければLow信号(以下L)を出力する。(ステップS04)
次に、AND回路15において、電流比較回路11の出力と圧力比較回路13の出力とをAND処理を実施し結果を比較演算部17へ出力する。(ステップS05)
ステップS05においてAND処理の結果がHigh(以下H)の場合は、ブロア5は正常と判断し再びステップS01よりブロア異常の監視を継続する。ステップS05においてAND処理の結果がLow(以下L)の場合は、ブロアの異常の可能性が考えられるので、以下の処理を行う。
比較演算部17において、比較演算部17に記憶されているブロア電流値とレーザガス圧の関係(第3図)を用い、ステップS02で検出したガス圧Pdに対応する理想的なブロア電流値Icを演算する。(ステップS06)
そして、比較演算部17において、ステップS01で検出したブロア電流値IdがIc±0.1Aの範囲に入っていれば、ブロア5は正常と判断し再びステップS01よりブロア異常の監視を継続する。ブロア電流値IdがIc±0.1Aの範囲に入っていなければ、ブロア5は異常と判断し発振器および加工機制御部18に停止信号を出すとともに、警報装置19にも信号を出す。(ステップS07)
発振器および加工機制御装置18は発振器および加工機を停止させるとともに、警報装置19はオペレータに警報を発する。(ステップS08)
警報を受けたオペレータによりブロア5の交換を行う。(ステップS09)
本実施の形態1は、以上のような構成を備え動作を実現することで、ブロワを駆動させるインバータの出力電流値とガス圧センサの出力を利用して、ブロワ電流の変動の要因であるガス圧力の要因を取り除き、ブロワの異常を確実に検出できるレーザ発振器を構成した。これにより、レーザ発振中にブロワが停止し、筐体内の光学部品や電極が損傷することを大幅に低減できるという効果が得られる。また、本発振器を用いたレーザ加工機においては、加工不良を最小限に抑えることができるという効果が得られる。
また、通常インバータに電流検出機能がついており、ブロワ電流がある一定値よりも低下した時に、アラームを出すようにしている。一方、ブロワ電流検出回路では、インバータからの出力電流を検出し、ガス圧にあった電流値でなければアラームを出すようにしている。このように、ブロワ電流を二箇所で検出する事によって、二重にインターロックをとっている。
さらには、ブロワ電流検出回路はブロワの個数分備える必要はなく、ブロワの個数にあった設定値を設定しておけば、電流検出回路は1つでよい。
実施の形態2.
ところで、実施の形態1では、レーザガス圧の異常検出とブロアの異常検出を別の動作にて行っていたが、同じ動作中に行っても良い。構成としては、第5図に示したように実施の形態1の構成図である第2図に対し、圧力比較回路13から発振器および加工機制御部18に停止信号を出す経路を設けたことが特徴である。その動作を第6図のフローチャート図を用いて説明する。
基本的には第4図とほぼ同じ流れであり、異なる点はステップS04を新ステップS14に置き換え、ステップS10とステップS11を新規に追加した。以下ステップS14、S10、S11の説明を行う。
ステップS03にてブロア電流の比較を行った後、圧力比較回路13において圧力比較回路13に記憶されている設定ガス圧Ps(55±2Torr)と上記レーザガス圧Pdとを比較し、ガス圧Pdが設定ガス圧55±2Torrの範囲に入っていればHigh信号(以下H)を出力し、ガス圧Pdが設定ガス圧55±2Torrの範囲に入っていなければガス圧異常と判断し発振器および加工機制御部18に停止信号を出すとともに、警報装置19にも信号を出す。(ステップS14)
発振器および加工機制御部18は発振器および加工機を停止させるとともに、警報装置19はオペレータに警報を発する。(ステップS10)
警報を受けたオペレータによりレーザガスの交換を行う。(ステップS11)
本実施の形態2は、以上のような構成を備え動作を実現することで、実施の形態1と同様な効果を得ることができるとともに、さらにブロアの異常検出の過程においてガス圧の異常も検出することができ、ガス圧が異常な場合も即座に発振器および加工機を停止することができ、発振器筐体内の光学部品や電極の損傷を大幅に低減できるとともに、レーザ加工中であれば、加工不良を最小限に抑えることができるという効果を奏する。
実施の形態3.
第7図は、本発明を実施するための実施の形態3におけるレーザ発振器の縦断面とブロワ異常を検出する装置と加工機本体部分を示したレーザ加工機の概要図である。
第7図に示す通り、実施の形態3は、実施の形態1に比較し電流比較回路11と圧力比較回路13およびAND回路15を削除し、電流検出回路9の検出値とガス圧センサ12の検出値を比較演算部17に送り、ブロアの異常を判断する構成である。
次に、本実施の形態3におけるレーザ発振器およびレーザ加工機の動作について、第7図を参照しながら第8図のフローチャート図を用いて説明する。ここでも実施の形態1と同様に、発明者が本発明を検討したレーザ発振器の設定ガス圧55±2Torrと、第3図に示したレーザガス圧とブロア電流の関係と、第3図より求めた上記設定ガス圧に対応する設定ブロア電流3.1±0.1Aとを例に用いる。もちろん、設定ガス圧やレーザガス圧とブロア電流の関係式や設定ブロア電流は、適用する発振器によって適宜決定すればよく、特に上記値に限定されるものではない。
まず、電流検出回路9によってブロア電流Idを検出し検出値を比較演算部17へ出力する。(ステップS21)
次に、ガス圧センサ12によって筐体7内のレーザガス圧Pdを検出し検出値を比較演算部17へ出力する。(ステップS22)
比較演算部17において、比較演算部17に記憶されているブロア電流値とレーザガス圧の関係(第3図)を用い、ステップ2で検出したガス圧Pdに対応する理想的なブロア電流値Icを演算する。(ステップS23)
そして、比較演算部17において、ステップS21で検出したブロア電流値IdがIc±0.1Aの範囲に入っていれば、ブロア5は正常と判断し再びステップS21よりブロア異常の監視を継続する。ブロア電流値IdがIc±0.1Aの範囲に入っていなければ、ブロア5は異常と判断し発振器および加工機制御部18に停止信号を出すとともに、警報装置19にも信号を出す。(ステップS24)
発振器および加工機制御部18は発振器および加工機を停止させるとともに、警報装置19はオペレータに警報を発する。(ステップS25)
警報を受けたオペレータによりブロア5の交換を行う。(ステップS26)
本実施の形態3は、以上のような構成を備え動作を実現することで、実施の形態1と同様な効果を得ることができるとともに、実施形態1よりも回路構成が簡単になるという利点が得られる。
実施の形態4.
ところで、実施の形態3では、検出したブロア電流値Idと算出したブロア電流値Icとを比較しブロアの異常を検出したが、検出したガス圧Pdと算出したガス圧Pcとを比較しブロアの異常を検出しても良い。構成としては、第7図と同一である。動作を第9図のフローチャート図を用いて説明する。
基本的には第8図とほぼ同じ流れであり、異なる点はステップS23およびS24を新ステップS33およびS34に置き換えたものである。以下ステップS33、S34の説明を行う。
比較演算部17において、比較演算部17に記憶されているブロア電流値とレーザガス圧の関係(第3図)を用い、ステップS21で検出したブロア電流値Idに対応する理想的なガス圧Pcを演算する。(ステップS33)
そして、比較演算部17において、ステップS22で検出したガス圧PdがPc±2Torrの範囲に入っていれば、ブロア5は正常と判断し再びステップS21よりブロア異常の監視を継続する。ガス圧PdがPc±2Torrの範囲に入っていなければ、ブロア5は異常と判断し発振器および加工機制御部18に停止信号を出すとともに、警報装置19にも信号を出す。(ステップS34)
本実施の形態4は、以上のような構成を備え動作を実現することで、実施の形態1と同様な効果を得ることができるとともに、実施形態1よりも回路構成が簡単になるという利点が得られる。
【産業上の利用可能性】
以上のように、この発明に係るガスレーザ発振器およびガスレーザ加工機は、特に長時間ブロアを連続運転して発振もしくは加工を行うガスレーザ発振器およびガスレーザ加工機に用いられるのに適している。
Claims (4)
- 密閉された筐体と、
前記筐体内に封入されたレーザガスと、
前記レーザガスに放電を発生させる一対の電極と、
前記レーザガスを前記電極間に流すブロワと、
前記ブロワに駆動電力を供給するインバータの出力電流値を検出する電流検出手段と、
前記筐体内の前記レーザガスの圧力を検出する圧力検出手段と、
前記電流検出手段にて検出された前記インバータの出力電流値と、前記圧力検出手段にて検出されたレーザガス圧力値との関係式を記憶し、前記圧力検出手段にて検出されたレーザガス圧力値と前記関係式から理想の出力電流値を算出し、前記理想の出力電流値と前記電流検出手段にて検出された実際の出力電流値とを比較し、前記ブロワの異常を検出する制御装置とを備えたことを特徴とするレーザ発振器。 - 前記インバータの出力電流値と設定出力電圧値とを比較する電流比較手段と、
前記圧力検出手段にて検出されたレーザガス圧力値と設定ガス圧値とを比較する圧力比較手段と、
前記電流比較手段と前記圧力比較手段とのそれぞれの結果をAND処理するAND回路とを備え、
前記AND回路にて前記電流比較手段と前記圧力比較手段それぞれの結果のいずれかが設定値から外れていると判断された場合、前記制御装置にてブロア異常を判断することを特徴とする請求の範囲1に記載のガスレーザ発振器。 - 密閉された筐体と、
前記筐体内に封入されたレーザガスと、
前記レーザガスに放電を発生させる一対の電極と、
前記レーザガスを前記電極間に流すブロワと、
前記ブロワに駆動電力を供給するインバータの出力電流値を検出する電流検出手段と、
前記筐体内の前記レーザガスの圧力を検出する圧力検出手段と、
前記電流検出手段にて検出された前記インバータの出力電流値と、前記圧力検出手段にて検出されたレーザガス圧力値との関係式を記憶し、前記電流検出手段にて検出された前記インバータの出力電流値と前記関係式から理想のレーザガス圧力値を算出し、前記理想のレーザガス圧力値と前記圧力検出手段にて検出された実際のレーザガス圧力値とを比較し、前記ブロアの異常を検出する制御装置を備えたことを特徴とするガスレーザ発振器。 - 密閉された筐体と、
前記筐体内に封入されたレーザガスと、
前記レーザガスに放電を発生させる一対の電極と、
前記レーザガスを前記電極間に流すブロワとを設けたガスレーザ発振器により加工を行うガスレーザ加工機において、
前記ガスレーザ発振器は請求の範囲1から3のいずれかに記載のガスレーザ発振器であることを特徴とするガスレーザ加工機。
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