JPS58144862U - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS58144862U JPS58144862U JP4103982U JP4103982U JPS58144862U JP S58144862 U JPS58144862 U JP S58144862U JP 4103982 U JP4103982 U JP 4103982U JP 4103982 U JP4103982 U JP 4103982U JP S58144862 U JPS58144862 U JP S58144862U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- laser
- tube
- gas laser
- laser tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は従来の構成図、第2図乃至第4図はこの考案の
第175至第3の実施例を示す構成図である。 1・・・ガスレーザ管、8・・・供給容器、9・・・真
空ポンプ、14・・・感知器、15・・・比較器、16
・・・電磁開閉器、19.20・・・電磁開閉弁。
第175至第3の実施例を示す構成図である。 1・・・ガスレーザ管、8・・・供給容器、9・・・真
空ポンプ、14・・・感知器、15・・・比較器、16
・・・電磁開閉器、19.20・・・電磁開閉弁。
Claims (1)
- 内部に陽極、陰極を備え両端にレーザ共振器を配したガ
スレーザ管と、このレーザ管にレーザ媒質となる単体ガ
スもしくは二種以上の混合ガスを供給する手段と、上記
ガスを制御排出する手段と上記陽極と陰極管で気体放電
させる電源と上記ガスレーザ管内部のガス圧力を検知す
る感知器とを備えるガスレーザ装置において、上記感知
器はその検出信号のうち設定値と相違する信号を電源か
らの印加電圧の供給停止する手段もしくはレーザ管内部
のガス圧力を調整する手段の制御信号に供給するように
したことを特徴とするガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4103982U JPS58144862U (ja) | 1982-03-25 | 1982-03-25 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4103982U JPS58144862U (ja) | 1982-03-25 | 1982-03-25 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58144862U true JPS58144862U (ja) | 1983-09-29 |
JPS6348141Y2 JPS6348141Y2 (ja) | 1988-12-12 |
Family
ID=30052234
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4103982U Granted JPS58144862U (ja) | 1982-03-25 | 1982-03-25 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58144862U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6412590A (en) * | 1987-07-07 | 1989-01-17 | Fanuc Ltd | Gas laser equipment |
WO2005104308A1 (ja) * | 2004-04-21 | 2005-11-03 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | ガスレーザ発振器およびガスレーザ加工機 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5056892A (ja) * | 1973-09-04 | 1975-05-17 |
-
1982
- 1982-03-25 JP JP4103982U patent/JPS58144862U/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5056892A (ja) * | 1973-09-04 | 1975-05-17 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6412590A (en) * | 1987-07-07 | 1989-01-17 | Fanuc Ltd | Gas laser equipment |
WO2005104308A1 (ja) * | 2004-04-21 | 2005-11-03 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | ガスレーザ発振器およびガスレーザ加工機 |
JPWO2005104308A1 (ja) * | 2004-04-21 | 2008-03-13 | 三菱電機株式会社 | ガスレーザ発振器およびガスレーザ加工機 |
US7664154B2 (en) | 2004-04-21 | 2010-02-16 | Mitsubishi Electric Corporation | Gas laser oscillator and gas laser beam machine |
JP4656058B2 (ja) * | 2004-04-21 | 2011-03-23 | 三菱電機株式会社 | ガスレーザ発振器およびガスレーザ加工機 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6348141Y2 (ja) | 1988-12-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS58144862U (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
JPS60168255U (ja) | 真空排気制御装置 | |
JPS59145051U (ja) | ガスレ−ザ放電管 | |
JPS5911710U (ja) | フアイバ−の出射端面の汚染防止装置 | |
JPS60104747U (ja) | ペニング真空計 | |
JPS60189348U (ja) | 空気清浄器用制御回路 | |
SU1620925A1 (ru) | Газоразр дный датчик | |
JPS6215758U (ja) | ||
JPS6078564U (ja) | 電子顕微鏡等の排気装置 | |
JPS5928952U (ja) | イオン源 | |
JPS605100U (ja) | ホロ−カソ−ド放電型プラズマ発生装置 | |
JPS60113369U (ja) | 真空容器へのガス急速供給装置 | |
JPS58105161U (ja) | Rf放電co↓2レ−ザ管 | |
JPH01145093U (ja) | ||
JPS58170468U (ja) | ガス洩れ時の遮断弁コントロ−ラ | |
JPS60189558U (ja) | トリガ電極装置 | |
JPS5819742U (ja) | イオン化装置 | |
JPH0226229U (ja) | ||
FR2217902A1 (en) | Plasma generator with reduced electrode wear - due to a coating of refractory oxide(s) on the electrode | |
JPS58195463U (ja) | イオンレ−ザ装置 | |
JPS59138310U (ja) | ガス絶縁開閉装置 | |
JPS5972667U (ja) | 液体燃料電池 | |
JPS5816147U (ja) | 酸素テント用酸素供給装置 | |
JPS59153371U (ja) | スパツタリング装置のタ−ゲツト支持構造 | |
JPS5920657U (ja) | イオンレ−ザ装置 |