JPS58144862U - ガスレ−ザ装置 - Google Patents

ガスレ−ザ装置

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JPS58144862U
JPS58144862U JP4103982U JP4103982U JPS58144862U JP S58144862 U JPS58144862 U JP S58144862U JP 4103982 U JP4103982 U JP 4103982U JP 4103982 U JP4103982 U JP 4103982U JP S58144862 U JPS58144862 U JP S58144862U
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JP
Japan
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gas
laser
tube
gas laser
laser tube
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JP4103982U
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English (en)
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JPS6348141Y2 (ja
Inventor
俊治 林
Original Assignee
株式会社東芝
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は従来の構成図、第2図乃至第4図はこの考案の
第175至第3の実施例を示す構成図である。 1・・・ガスレーザ管、8・・・供給容器、9・・・真
空ポンプ、14・・・感知器、15・・・比較器、16
・・・電磁開閉器、19.20・・・電磁開閉弁。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 内部に陽極、陰極を備え両端にレーザ共振器を配したガ
    スレーザ管と、このレーザ管にレーザ媒質となる単体ガ
    スもしくは二種以上の混合ガスを供給する手段と、上記
    ガスを制御排出する手段と上記陽極と陰極管で気体放電
    させる電源と上記ガスレーザ管内部のガス圧力を検知す
    る感知器とを備えるガスレーザ装置において、上記感知
    器はその検出信号のうち設定値と相違する信号を電源か
    らの印加電圧の供給停止する手段もしくはレーザ管内部
    のガス圧力を調整する手段の制御信号に供給するように
    したことを特徴とするガスレーザ装置。
JP4103982U 1982-03-25 1982-03-25 ガスレ−ザ装置 Granted JPS58144862U (ja)

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JPS58144862U true JPS58144862U (ja) 1983-09-29
JPS6348141Y2 JPS6348141Y2 (ja) 1988-12-12

Family

ID=30052234

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6412590A (en) * 1987-07-07 1989-01-17 Fanuc Ltd Gas laser equipment
WO2005104308A1 (ja) * 2004-04-21 2005-11-03 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha ガスレーザ発振器およびガスレーザ加工機

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5056892A (ja) * 1973-09-04 1975-05-17

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5056892A (ja) * 1973-09-04 1975-05-17

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6412590A (en) * 1987-07-07 1989-01-17 Fanuc Ltd Gas laser equipment
WO2005104308A1 (ja) * 2004-04-21 2005-11-03 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha ガスレーザ発振器およびガスレーザ加工機
JPWO2005104308A1 (ja) * 2004-04-21 2008-03-13 三菱電機株式会社 ガスレーザ発振器およびガスレーザ加工機
US7664154B2 (en) 2004-04-21 2010-02-16 Mitsubishi Electric Corporation Gas laser oscillator and gas laser beam machine
JP4656058B2 (ja) * 2004-04-21 2011-03-23 三菱電機株式会社 ガスレーザ発振器およびガスレーザ加工機

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JPS6348141Y2 (ja) 1988-12-12

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