JPS60189558U - トリガ電極装置 - Google Patents
トリガ電極装置Info
- Publication number
- JPS60189558U JPS60189558U JP7812084U JP7812084U JPS60189558U JP S60189558 U JPS60189558 U JP S60189558U JP 7812084 U JP7812084 U JP 7812084U JP 7812084 U JP7812084 U JP 7812084U JP S60189558 U JPS60189558 U JP S60189558U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- trigger electrode
- electrode
- electrode device
- permanent magnet
- vacuum
- Prior art date
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- Granted
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の実施例の面断側面図、第２図はその■
−■線截線面断面図３図は従来例の説明線図である。 １・・・・・・真空処理室、２・・・・・・高圧電源、
３・・・・・・針状高圧電極、４・・・・・・永久磁石
、５・・・・・・カバー。
−■線截線面断面図３図は従来例の説明線図である。 １・・・・・・真空処理室、２・・・・・・高圧電源、
３・・・・・・針状高圧電極、４・・・・・・永久磁石
、５・・・・・・カバー。
Claims (1)
- スパッタリング用その他の真空処理室１内に外部の高圧
電源２に連なる針状高圧電極３を突設すると共に該電極
３の外周に永久磁石４を配設してこれを放電開始用のト
リガ電極として作用させる式のものに於いて、該永久磁
石４をＳＵＳその他の真空中で放出ガスの少ない材料か
ら成るカバー５で覆うことを特徴とするトリガ電極装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7812084U JPS60189558U (ja) | 1984-05-29 | 1984-05-29 | トリガ電極装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7812084U JPS60189558U (ja) | 1984-05-29 | 1984-05-29 | トリガ電極装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60189558U true JPS60189558U (ja) | 1985-12-16 |
| JPH0315544Y2 JPH0315544Y2 (ja) | 1991-04-04 |
Family
ID=30621810
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7812084U Granted JPS60189558U (ja) | 1984-05-29 | 1984-05-29 | トリガ電極装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60189558U (ja) |
-
1984
- 1984-05-29 JP JP7812084U patent/JPS60189558U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0315544Y2 (ja) | 1991-04-04 |
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