WO2011016221A1 - ヒートシンク - Google Patents

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WO2011016221A1
WO2011016221A1 PCT/JP2010/004876 JP2010004876W WO2011016221A1 WO 2011016221 A1 WO2011016221 A1 WO 2011016221A1 JP 2010004876 W JP2010004876 W JP 2010004876W WO 2011016221 A1 WO2011016221 A1 WO 2011016221A1
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WO
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fin unit
heat sink
louvers
louver
fin
Prior art date
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PCT/JP2010/004876
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English (en)
French (fr)
Inventor
俊之 細川
誠三 上野
Original Assignee
古河スカイ株式会社
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Filing date
Publication date
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Priority to KR1020127004347A priority patent/KR101729254B1/ko
Priority to EP10806221.7A priority patent/EP2463903A4/en
Priority to US13/389,117 priority patent/US20120132400A1/en
Priority to JP2011525783A priority patent/JP5718814B2/ja
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    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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    • H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/36—Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
    • H01L23/367—Cooling facilitated by shape of device
    • H01L23/3672—Foil-like cooling fins or heat sinks
    • H—ELECTRICITY
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    • H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/46—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids
    • H01L23/467—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids by flowing gases, e.g. air
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01L23/46—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids
    • H01L23/473—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids by flowing liquids
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Definitions

  • the present invention relates to a heat sink used for heat dissipation of a CPU, integrated circuits, various electronic components such as semiconductor elements, electronic devices, and various other electric devices.
  • the present invention relates to a heat sink which has thin plate fins manufactured by processing a thin plate material and is excellent in heat dissipation efficiency.
  • a heat sink is provided to dissipate heat.
  • the heat generation amount and the heat generation density of these elements or devices increase, so that a high-performance heat sink having excellent heat dissipation efficiency is required.
  • the fin unit 20 of the heat sink 200 disclosed in Patent Document 1 includes two adjacent wedge-shaped sides and / or a notch formed of three adjacent U-shaped three sides as one metal.
  • a plurality of fin rows are formed by forming a plate and cutting and raising the portion.
  • a portion which has not been cut and raised remains between the plurality of fin rows and is referred to as a "connection portion".
  • an L shape generally form an L shape.
  • base plate portion one surface (bottom) of the L-shaped fin and the connection portion described above are referred to as a base plate or a heating element (hereinafter simply referred to as “base plate portion”). It shall be in contact with “base plate or heating element”.
  • An object of the present invention is to provide a heat sink that can realize more efficient heat exchange. That is, the present invention is a heat sink in which both of the L-shaped fin surfaces (vertical and bottom portions) are separated from the base plate portion.
  • the heat sink of the first aspect is a heat sink that transfers the heat of the heat-generating component to the cooling fluid.
  • the heat sink further includes a flat base plate portion thermally connected to the heat generating component, and a fin unit having a plurality of louvers and a frame portion connected to the plurality of louvers and surrounding the plurality of louvers. Further, one end of each of the plurality of louvers is thermally connected to the base plate portion, and the frame portion is separated from the surface of the base plate portion.
  • the frame can cause turbulence in the cooling fluid when the frame is away from the surface of the base plate and in the flow of the cooling fluid. Therefore, the heat sink in this aspect has high cooling efficiency.
  • At least a portion of the plurality of louvers of the heat sink of the second aspect is formed by cutting and raising from a single metal plate, and the frame portion is formed without being cut and raised.
  • the plurality of louvers of the heat sink according to the third aspect has a length extending parallel to the flow direction of the cooling fluid, a width in the cutting and raising direction, and a cutting and raising angle, and one or more louvers of the plurality of louvers Have different lengths, different widths, and / or different cutting angles from the other louvers.
  • the fin unit of the heat sink according to the fourth aspect has a first fin unit formed by pressing a single metal plate and a second fin unit formed by pressing another single metal plate.
  • the louvers of the first fin unit have at least one of a length different from that of the louvers of the second fin unit, a different width, and a different cutting and raising angle.
  • the fin unit of the heat sink according to the fifth aspect has a first fin unit formed by pressing a metal plate and a second fin unit formed by pressing another metal plate.
  • the one end of the louver of the first fin unit is thermally connected to the base plate portion, and the end of the louver of the second fin unit is thermally connected to the other end of the louver of the first fin unit .
  • the frame of the first fin unit and the frame of the second fin unit are separated.
  • the frame portion of the first fin unit and the frame portion of the second fin unit are joined.
  • the fin unit of the heat sink according to the eighth aspect has a first fin unit formed by pressing a single metal plate and a second fin unit formed by pressing another single metal plate.
  • the plurality of louvers of the second fin unit are disposed between the plurality of louvers of the first fin unit.
  • the frame portion of the heat sink of the ninth aspect has a flow passage changing portion that changes the flow direction of the cooling fluid.
  • the cooling fluid is a liquid
  • a cover plate connected to the other ends of the plurality of louvers is provided such that a flow path of the liquid cooling fluid CF is configured.
  • the fin unit of the heat sink according to the eleventh aspect is formed by pressing a single metal plate, and the fin unit is brazed to the base plate portion.
  • the metal plate of the heat sink according to the twelfth aspect is made of a base material of aluminum, and at least one surface of which is clad with a brazing material.
  • the heat sink of the thirteenth aspect transfers the heat of the heat-generating component to the cooling fluid.
  • the heat sink comprises a flat base plate portion thermally connected to the heat generating component, and a fin unit having a plurality of louvers and a frame portion connected to the plurality of louvers and surrounding the plurality of louvers.
  • a flow path wall is provided so as to form a flow path for a cooling fluid at a position where one end of a plurality of louvers is thermally connected to the base plate portion and is opposed to the base plate portion across the fin unit
  • the frame portion is in close contact with the flow path wall.
  • the cooling fluid of the heat sink according to the fourteenth aspect is a liquid, and a cover plate which is connected to the other end of the plurality of louvers to become a flow path wall so that a flow path of the cooling fluid CF is constituted. Equipped with
  • the heat sink of the present invention has high cooling efficiency and is easy to manufacture.
  • FIG. 1st heat sink 100A of a 1st embodiment It is a perspective view of the 1st heat sink 100A of a 1st embodiment. It is a side view of the 1st heat sink 100A of a 1st embodiment seen from-X-axis direction. It is a top view of the 1st heat sink 100A of a 1st embodiment.
  • A) is a side view of the 2nd heat sink 100B of 2nd Embodiment seen from-Y-axis direction.
  • B) is a side view of the 3rd heat sink 100C of a 3rd embodiment seen from-Y-axis direction.
  • C is a side view of 4th heat sink 100D of 4th Embodiment seen from-Y-axis direction.
  • FIG. 32A is a perspective view of a thirteenth heat sink 100N of the thirteenth embodiment.
  • B is a side view of the thirteenth heat sink 100N according to the thirteenth embodiment, viewed from the -X-axis direction.
  • A is a side view of the fourteenth heat sink 100P of the fourteenth embodiment as seen from the -Y-axis direction.
  • B is a side view of a fourteenth heat sink 100P ', which is a modification of the fourteenth embodiment, as viewed from the -Y-axis direction.
  • C is a perspective view of the 15th heat sink 100Q of 15th Embodiment.
  • 16th heat sink 100R of 16th Embodiment It is a disassembled perspective view of 16th heat sink 100R of 16th Embodiment. It is a perspective view of the 16th heat sink 100R of 16th Embodiment. It is a side view of the 16th heat sink 100R of 16th Embodiment seen from-X-axis direction. It is a disassembled perspective view of 17th heat sink 100S of 17th Embodiment. It is a perspective view of the seventeenth heat sink 100S of the seventeenth embodiment. It is a side view of the seventeenth heat sink 100S of the seventeenth embodiment as viewed from the -X-axis direction. It is a perspective view of the eighteenth heat sink 100T of the eighteenth embodiment.
  • FIG. 10 is a perspective view showing a conventional heat sink 200.
  • FIG. 1 is a perspective view of a first heat sink 100A of the first embodiment.
  • the surface of the base plate portion 11 is taken as an XY plane, and the direction perpendicular to the base plate portion 11 is taken as the + Z-axis direction.
  • the first heat sink 100A is attached to a heat generating component 12 such as a semiconductor device, an integrated circuit or a CPU. Although a heat generating component 12 is drawn to aid understanding, it is not included with the first heat sink 100A.
  • the first heat sink 100A includes a base plate portion 11 mounted in close contact with the XY plane of the heat generating component 12, and a first fin unit 10A thermally connected to the base plate portion 11.
  • the first fin unit 10A is formed of one metal plate, and a plurality of louvers 13 formed by cutting and raising the metal plate obliquely in the ⁇ Z-axis direction, and a plurality of the louvers 13 It comprises a frame 14 connected to the louver 13 and left unraised.
  • the first fin unit 10A is thermally connected to the base plate portion 11 by brazing or the like to one end portion of the louver 13 to the base plate portion 11.
  • the frame portion 14 is constituted by the Y-axis frame portion 14 a and the X-axis frame portion 14 b and is connected to a substantially central portion in the Z-axis direction of the louver 13 so as not to be connected to the surface of the base plate portion 11.
  • the first heat sink 100A has one first fin unit 10A composed of 18 louvers 13 arranged in six rows in the X-axis direction and in three rows in the Y-axis direction. Ten to hundreds of first fin units 10A may be provided.
  • the first fin unit 10A is formed by pressing a metal plate having a good thermal conductivity such as aluminum, copper, or an alloy thereof, and the thickness of the metal plate T 1 is a 2mm order of 0.4mm. Further, the width D of the louver 13 is about 2 mm to 20 mm, and the distance between the louver 13 and the louver 13 in the X-axis direction also substantially matches the width D.
  • the thickness T 2 are for example 0.5 ⁇ 15 mm about aluminum base plate 11, copper, or a thermally conductive alloys thereof it is constituted good material, for example a square plate shape in accordance with the heating component 12 It is made in
  • the cut-and-raised angle ⁇ of the frame portion 14 to the louver 13 can be arbitrarily set from 10 degrees to 90 degrees.
  • the louver 13 is cut and raised from the frame 14 at a position of about D / 2 of the width D of the louver 13, but may be cut and raised at any position.
  • an X-axis frame portion 14 b is provided between the louver 13 rows arranged in the Y direction.
  • the X axis frame portion 14 b is separated from the base plate portion 11 in the Z axis direction. That is, the X-axis frame portion 14 b is not in direct contact with the base plate portion 11.
  • the louver 13 rows adjacent to each other are formed, for example, shifted by D / 2 from each other in the X-axis direction.
  • the louvers 13 belonging to the first row are positioned between the louvers 13 and the louvers 13 of the second row of louvers 13. This improves the cooling performance of the first heat sink 100A, as described below.
  • FIG. 2 is a side view of the first heat sink 100A of the first embodiment as viewed from the ⁇ X axis direction.
  • thick arrows indicate the flow of the cooling fluid CF, and the cooling fluid CF flows along the + Y axis direction.
  • the cooling fluid CF is described on the premise that a gas such as air is used, but a liquid such as water or an antifreeze liquid may be used.
  • the cooling fluid CF flowing in the first heat sink 100A is its X-axis It collides with the frame portion 14b to generate turbulent flow. As a result, the cooling fluid CF easily removes heat from the surface of the louver 13 downstream, and also removes heat from the base plate portion 11. Therefore, the cooling performance of the first heat sink 100A is improved.
  • the cooling fluid CF becomes a stable laminar flow from the turbulent flow between the louvers 13, but the turbulent flow again occurs in the portion surrounded by the dotted line B2 by the X-axis frame portion 14b.
  • the stable laminar flow flowing between the louvers 13 collides with the X-axis frame portion 14b provided at the central portion of the louver 13 in the Z-axis direction, and the divided flows are made on both sides of the Z axis of the X-axis frame portion 14b. And flows on both sides of the Z axis of the X axis frame portion 14b as a turbulent flow.
  • the cooling fluid CF forms a turbulent flow by the X-axis frame portion 14b in the same manner as the portion surrounded by the dotted line B2 in the portion surrounded by the dotted line B3. Finally, the cooling fluid CF is divided again on both sides of the Z-axis by the X-axis frame portion 14b at a portion surrounded by the dotted line B4, and becomes turbulent in the X-axis frame portion 14b. Thereafter, the cooling fluid CF flows out from the + Y side of the first heat sink 100A.
  • the cooling fluid CF that has flowed into the first heat sink 100A from the -Y side becomes turbulent many times in the first heat sink 100A and promotes heat exchange with the louver 13 or the base plate portion 11. Therefore, the heat transfer between the heat-generating component 12 and the cooling fluid CF is improved, and the heat dissipation characteristic is improved.
  • FIG. 3 is a plan view of the first heat sink 100A of the first embodiment. Also in FIG. 3, the arrows indicate the flow of the cooling fluid CF, and the cooling fluid CF flows along the + Y axis direction.
  • the cooling fluid CF flows from the ⁇ Y side between the louver 13 and the louver 13 of the first heat sink 100A. Then, since the adjacent louvers 13 rows are formed so as to be offset from each other by the distance D / 2 in the X-axis direction, the cooling fluid CF which has passed through the louvers 13 rows on the -Y side collides with the louvers 13 of the central louver 13 rows. Be done. Therefore, the cooling fluid CF is divided on both sides in the X-axis direction of the louver 13 to form turbulent turbulence. Then, it flows along the + Y axis direction along the louvers 13 in the center louver 13 row.
  • the cooling fluid CF forms a turbulent flow in the portion surrounded by the dotted line C2 as well as the portion surrounded by the dotted line C1 by the louver 13 row on the + Y side. Thereafter, the first heat sink 100A flows out from the + Y side.
  • the cooling fluid CF which has flowed into the first heat sink 100A from the -Y side, becomes turbulent many times within the first heat sink 100A to promote heat exchange. Therefore, the heat transfer between the heat generating component 12 and the cooling fluid CF is improved by the promoting effect of the turbulent flow, and the heat dissipation characteristic is improved.
  • the first fin unit 10A is integrally formed by press molding, it can be manufactured at low cost. Moreover, since they are connected and integrated by the frame portion 14 which is not cut and raised, handling is easy and assembling work is simple.
  • the distance D and the width D in the X-axis direction of each louver 13 are constant, but the change of the distance and the width is a metal plate which is not cut and raised by changing the shape of the mold at the time of press molding. Because you only need to change the position of, there is no need for significant cost increases.
  • FIG. 4 is a view showing the heat sinks of the second to fourth embodiments in which the distance D and the width in the X-axis direction of each louver are changed.
  • FIG. 4A is a side view of the second heat sink 100B of the second embodiment as viewed from the ⁇ Y-axis direction.
  • a heat generating component 22 is drawn to aid understanding, it is not included with the second heat sink 100B.
  • the heat generating component 22 has a step 22a (which may be convex or concave) and a flat portion 22b at the center.
  • the base plate portion 21 also has a step portion 21a and a flat portion 21b at the center of the heat-generating component 22 having such a step. This is because it is necessary to take away heat by increasing the contact area between the base plate portion 21 and the heat generating component 22. It is preferable to match the louvers in accordance with the step 21 a and the flat portion 21 b of the base plate 21.
  • the second fin unit 10B of the second embodiment is composed of two types of louvers 13A and louvers 13B.
  • the louver 13A has the same shape as the louver 13 of the first fin unit 10A of the first embodiment.
  • the louver 13A is fixed to the flat portion 21b of the base plate portion 21 by brazing or the like in a state in which the louver 13A is inclined at the same angle ⁇ .
  • the louver 13B is fixed to the stepped portion 21a of the base plate 21 by brazing or the like at the same angle ⁇ as the louver 13A.
  • the width of the louver 13B is shorter than the width of the louver 13A.
  • the louver 13B is formed to have a width D / 2. Thereby, all the louvers 13A and louvers 13B are thermally connected to the base plate portion 21 at the same angle ⁇ .
  • the second fin unit 10B does not have a significant cost increase.
  • FIG. 4B is a side view of the third heat sink 100C of the third embodiment as viewed from the -Y-axis direction.
  • the heat-generating component 22 has a projecting stepped portion 22a and a flat portion 22b at the center.
  • the base plate portion 21 also has a projecting stepped portion 21a and a flat portion 21b at the center of the heat generating component 22 having such a level difference.
  • the third fin unit 10C of the third embodiment includes two types of louvers 13C and louvers 13D.
  • the louvers 13C have the same width D as the louvers 13 of the first fin unit 10A of the first embodiment.
  • the louver 13C is fixed to the flat portion 21b of the base plate portion 21 by brazing or the like in a state of being inclined at a right angle.
  • the louver 13D also has the same width D as the louver 13 of the first fin unit 10A of the first embodiment.
  • the angle ⁇ of the louver 13D is smaller than the angle ⁇ , and is fixed to the stepped portion 21a of the base plate portion 21 by brazing or the like.
  • louvers 13C and louvers 13D are thermally connected to the base plate portion 21.
  • the louver 13C and the louver 13D may be adjusted at an appropriate angle.
  • the 3-fin unit 10C does not have a significant cost increase.
  • FIG. 4C is a side view of the fourth heat sink 100D of the fourth embodiment as viewed from the -Y-axis direction.
  • the heat-generating component 22 has a projecting step portion 22a and a flat portion 22b at the center.
  • the base plate portion 21 also has a projecting stepped portion 21a and a flat portion 21b at the center of the heat generating component 22 having such a level difference.
  • the fourth fin unit 10D of the fourth embodiment includes two types of louvers 13E and louvers 13F.
  • the louver 13E is the same as the louver 13A of the second fin unit 10B of the second embodiment, and is fixed to the recess of the base plate portion 21 at an angle ⁇ .
  • the louver 13F is vertical, and is fixed to the step 21a of the base plate 21 by brazing or the like.
  • the width DN of the louver 13F is considerably smaller than the width D of the louver 13E. Thereby, all the louvers 13E and 13F are thermally connected to the convex base plate portion 21.
  • the example in which the distance between the louvers 13 and the angle of the louvers 13 are changed in accordance with the step portions 21a and the flat portions 21b of the base plate portion 21 is shown.
  • the distance between the louvers 13 and the angle of the louvers 13 can be changed as appropriate.
  • FIG. 5 is a perspective view of a fifth heat sink 100E of the fifth embodiment.
  • the fifth fin unit 10E is different from the first embodiment, so the fifth fin unit 10E will be described, and the other descriptions will be omitted.
  • the fifth fin unit 10E is provided with a louver 13, a louver 23 and a frame portion 14 configured by pressing one metal plate.
  • the fifth fin unit 10E is thermally connected to the base plate 11 by brazing one end of the louver 13 and one end of the louver 23 to the base plate 11.
  • the frame portion 14 is not connected to the surface of the base plate portion 11.
  • the frame portion 14 is composed of a Y-axis frame portion 14a and an X-axis frame portion 14b, and the X-axis frame portion 14b is connected to a substantially central portion in the Z-axis direction of the louvers 13 and 23.
  • the fifth heat sink 100E includes a row of louvers 13 composed of six short louvers 13 in the X-axis direction and a row of louvers 23 composed of six long louvers 23.
  • tens to hundreds of fifth fin units 10E may be provided in the base plate portion 11.
  • the material and thickness of the fifth fin unit 10E are the same as in the first embodiment, and the angle ⁇ between the frame 14 and the louvers 13, 23 is also the same as in the first embodiment. Further, the louver 13 rows and the louvers 23 rows are formed so as to be D / 2 shifted from each other in the X-axis direction.
  • the length L2 of the louver 23 in the Y-axis direction is about twice the length L1 of the louver 13. Therefore, by adjusting the position in the Y-axis direction of the X-axis frame portion 14b where turbulent flow of the cooling fluid CF occurs, the partial cooling performance for the heat-generating component 12 and the fluid resistance of the cooling fluid CF are adjusted. be able to. That is, partial cooling efficiency can be adjusted by providing louvers 13 and louvers 23 having different lengths.
  • the fifth fin unit 10E has the louver 13 row and the louver 23 row, but the fin unit having the louver 13 row and the fin unit having the louver 23 row are separate metals. It may be formed from a plate, and each may be disposed on one base plate portion 11.
  • FIG. 6 is an exploded perspective view of a sixth heat sink 100F according to the sixth embodiment.
  • FIG. 7 is a perspective view of the sixth fin unit 10F after assembly.
  • the sixth fin unit 10F is a dual fin unit configured by the first fin portion 10Fa and the second fin portion 10Fb.
  • the first fin portion 10Fa of the sixth fin unit 10F is formed of one metal plate, and a plurality of louvers 33a formed by cutting and raising obliquely with respect to the metal plate, and a frame which is connected to the plurality of louvers 33a and which is not cut and raised. It is constituted by the part 24. Further, the frame portion 24 is constituted by the Y-axis frame portion 24 a and the X-axis frame portion 24 b. The frame X axis frame portion 24b is connected to one end of the louver 33a in the Z axis direction. In FIG.
  • the first fin portion 10Fa has 18 louvers 33a arranged in six rows in the X-axis direction and in three rows in the Y-axis direction. Furthermore, the material and thickness of the first fin portion 10Fa are the same as those of the first fin unit 10A of the first embodiment, and the angle ⁇ between the frame portion 24 and the louver 33a is also the same as that of the first embodiment. However, the width of the louver 33a of the sixth embodiment is D / 2.
  • the second fin portion 10Fb of the sixth fin unit 10F is formed of one metal plate, and is connected to a plurality of louvers 33b formed obliquely by cutting and raising the metal plate in the -Z-axis direction, and the plurality of louvers 33b. It comprises a frame portion 34 which is left uncut and raised. Further, the frame portion 34 is composed of a Y-axis frame portion 34a and an X-axis frame portion 34b. The frame X axis frame portion 34b is connected to one end of the louver 33b in the Z axis direction. The frame X axis frame portion 34 b is connected to one end of the louver 33 in the Z axis direction.
  • the second fin portion 10Fb has the same shape as the first fin portion 10Fa including the other angle ⁇ .
  • louvers 33 a and one end of louvers 33 b corresponding to each other are joined to each other in first fin portion 10 Fa and second fin portion 10 Fb, and X axis frame portion 24 b and Y axis frame The portion 34b is joined.
  • the 6th fin unit 10F is formed.
  • the thickness of the new frame portion further configured frame portion 24 and the frame portion 34 of the sixth fin unit 10F is twice the frame portion 14 of the first embodiment, that is, 2T 1.
  • the width of the new louvers 33 more configuration and louvers 33a and louvers 33b is D
  • the distance in the X-axis direction is D / 2, a thickness of T 1.
  • the point that the distance in the X axis direction of the louver 33 is D / 2 is to differ greatly.
  • the distance of the louver 33 in the X-axis direction can be increased without changing the height of the sixth fin unit 10F. It becomes narrow from D to D / 2, the density of the louvers 33 can be increased, and the cooling performance can be enhanced.
  • FIG. 8 is a perspective view of a seventh heat sink 100G according to the seventh embodiment.
  • the seventh fin unit 10G is a double fin unit configured of a first fin portion 10Ga and a second fin portion 10Gb.
  • the first fin portion 10Ga of the seventh fin unit 10G is formed of one metal plate, and is connected to a plurality of louvers 43a formed by cutting and raising the metal plate obliquely in the ⁇ Z-axis direction and the plurality of louvers 43a. It comprises the frame portion 44 which is left uncut and raised.
  • the frame portion 44 is composed of a Y-axis frame portion 44a and an X-axis frame portion 44b.
  • the frame X-axis frame portion 44b is connected to a substantially central portion in the Z-axis direction of the louver 43a.
  • the first fin portion 10Ga has eighteen louvers 43a arranged in six rows in the X-axis direction and in three rows in the Y-axis direction. Furthermore, the material and thickness of the first fin portion 10Ga are the same as those of the first fin unit 10A of the first embodiment, and the angle ⁇ between the frame portion 44 and the louver 43a is also the same as that of the first embodiment. However, the width of the louver 43a of the seventh embodiment is D / 2.
  • the second fin portion 10Gb of the seventh fin unit 10G is the same as the first fin portion 10Ga.
  • the first fin portion 10Ga and the second fin portion 10Gb are joined by brazing or the like to one end of the corresponding louver 43a and one end of the louver 43b.
  • the seventh fin unit 10G is formed.
  • the X-axis frame portion 44b is connected to a substantially central portion in the Z-axis direction of the louver 43a
  • the X-axis frame portion 54b is connected to a plurality of louvers 43b at a substantially central portion in the Z-axis direction. Therefore, the frame 44 and the frame 54 are separated in the Z-axis direction.
  • the distance is determined by the cut and raised angle of the louver 43a and the louver 43b.
  • the width of the new louvers 43 more configuration and louvers 43a and louvers 43b is D
  • the distance in the X-axis direction is D / 2, a thickness of T 1.
  • FIG. 9 is a side view of the seventh heat sink 100G according to the seventh embodiment as viewed from the ⁇ X-axis direction.
  • the arrows indicate the flow of the cooling fluid CF, and the cooling fluid CF flows along the + Y axis direction.
  • the cooling for flowing in the seventh heat sink 100G collides with the X axis frame portion 44b and the X axis frame portion 54b to generate turbulent flow.
  • the cooling fluid CF continues to flow in the + Y-axis direction as a stable laminar flow between the louver 43 and the louver 43, but the X-axis frame portion 44b and the X-axis frame portion 54b are surrounded by the dotted line E2. Becomes turbulent again. Specifically, the stable laminar flow flowing between the louver 43 and the louver 43 collides with the X-axis frame portion 44 b and the X-axis frame portion 54 b provided at the central portion in the Z-axis direction of the louver 43 The flow is diverted to both sides of the Z axis of the frame portion 44b and the X axis frame portion 54b. Thereby, the cooling fluid CF is fractionated on both sides of the X-axis frame portion 44b and the X-axis frame portion 54b, and flows downstream as a turbulent flow.
  • the cooling fluid CF forms a turbulent flow by the X-axis frame portion 44b and the X-axis frame portion 54b in the same manner as the portion surrounded by the dotted line E2 in the portion surrounded by the dotted line E3.
  • the cooling fluid CF is diverted again to both sides of the Z-axis by the X-axis frame portion 44b and the X-axis frame portion 54b in a portion surrounded by the dotted line E4, and the cooling fluid CF is divided by the X-axis frame portion 44b and the X-axis frame portion 54b. It will be turbulent. Thereafter, the cooling fluid CF flows out from the + Y side of the seventh heat sink 100G.
  • the cooling fluid CF which has flowed into the seventh heat sink 100G from the -Y side, becomes turbulent many times in the seventh heat sink 100G and heat exchange with the louver 43 or the base plate portion 11 is promoted. Therefore, the heat transfer between the heat-generating component 12 and the cooling fluid CF is improved, and the heat dissipation characteristic is improved.
  • the surface area of the louver 43 can be increased by laminating the louver 43a and the louver 43b and thermally bonding the respective ends, for example, by brazing, whereby the cooling performance can be enhanced.
  • the X-axis frame portion 44 b and the X-axis frame portion 54 b can generate turbulent flow. For example, it is also possible to change the placement height. Since only one end of a plurality of louvers is combined, the workability is not greatly impaired.
  • FIG. 10 is a perspective view of an eighth heat sink 100H according to the eighth embodiment.
  • the eighth fin unit 10H is a compound fin unit including the first fin portion 10Ga and the second fin portion 10Gb described in the seventh embodiment.
  • the first fin portion 10Ga and the second fin portion 10Gb are joined with one end of the corresponding louver 43a and one end of the louver 43b being shifted in the Y axis direction. It is formed.
  • the width of the new louvers that are more configuration and louvers 43a and louvers 43b is D
  • the distance in the X-axis direction is D / 2
  • FIG. 11 is a side view of the eighth heat sink 100H of the eighth embodiment as viewed from the -X-axis direction.
  • the arrows indicate the flow of the cooling fluid CF, and the cooling fluid CF flows along the + Y axis direction.
  • the cooling for flowing in the eighth heat sink 100H collides with the X-axis frame portion 54b to generate turbulent flow.
  • the X-axis frame portion 44b of the cooling fluid CF on the upper side (+ Z side) is separated from the base plate portion 11 in the Z-axis direction. Therefore, the cooling fluid CF flowing in the eighth heat sink 100H collides with the X-axis frame portion 44b to generate turbulent flow.
  • the cooling fluid CF becomes a stable laminar flow between the louver 43 and the louver 43 and continues to flow in the + Y-axis direction, but becomes turbulent again by the X-axis frame portion 54b in the dotted line F2 and downstream thereof Then, the turbulent flow occurs again by the X-axis frame portion 44b.
  • the cooling fluid CF is turbulent by the X-axis frame portion 54b in the same manner as the portion surrounded by the dotted line F2 in the portion surrounded by the dotted line F3, and turbulent flow is also formed by the X-axis frame portion 44b downstream thereof. Be done. Finally, the cooling fluid CF is diverted again to both sides of the Z axis by the X axis frame 54b at a portion surrounded by the dotted line F4 to become turbulent flow, and downstream again by the X axis frame 44b to both sides of the Z axis It is diverted and it becomes a turbulent flow. Thereafter, the cooling fluid CF flows out from the + Y side of the eighth heat sink 100H.
  • the cooling fluid CF that has flowed into the seventh heat sink 100G from the -Y side becomes turbulent in the eighth heat sink 100H many times, and heat exchange with the louver 43 or the base plate portion 11 is promoted. Therefore, the heat transfer between the heat-generating component 12 and the cooling fluid CF is improved, and the heat dissipation characteristic is improved.
  • FIG. 12 is an exploded perspective view of the ninth heat sink 100J of the ninth embodiment.
  • the ninth fin unit 10J is a compound fin unit including the first fin portion 10Ga and the second fin portion 10Gb described in the seventh embodiment.
  • FIG. 13 is a perspective view of the ninth heat sink 100J after the first fin portion 10Ga and the second fin portion 10Gb are assembled.
  • the first fin portion 10Ga and the second fin portion 10Gb are assembled not to join the louver 53a and the louver 53b corresponding to each other, but shifted by a distance D / 4 in the X-axis direction Be That is, the louver 53a of the first fin unit 10Ga is inserted between the louvers 53b of the second fin unit 10Gb, and the louver 53b of the second fin unit 10Gb is inserted between the louvers 53a of the first fin unit 10Ga. After being inserted into each other, the end portions on the -Z side of the louvers 53a and 53b are joined to the base plate portion 11 by brazing or the like.
  • the louver 53b In order for the end portions on the -Z side of the louvers 53a and 53b to be in contact with the base plate portion 11, the louver 53b is not in contact with the base plate portion 11 if it is slightly longer in the -Z axial direction than the louver 53a. This is because the frame portion 54 of the second fin portion 10Gb is located on the frame portion 44 of the first fin portion 10Ga. Therefore, the connection position between the X-axis frame portion 54b and the louver 53b is in the width direction of the louver 53b. Or slightly higher in the Z direction than the center of.
  • the end of only the louver 53 a may be joined to the base plate portion 11.
  • the frame portion 44 of the first fin portion 10Ga and the frame portion 54 of the second fin portion 10Gb are bonded. Therefore, the heat from the base plate portion 11 is transmitted to the louver 53a, and the heat is transmitted from the louver 53a to the frame 44 and the frame 54 and finally to the louver 53b.
  • the distance between the louver 53a and the louver 53b of the ninth fin unit 10J is D / 4, and the distance in the X-axis direction is narrow. That is, the density of the louvers 53 is increased, and the ninth heat sink 100J can improve the cooling performance.
  • FIG. 14 is an exploded perspective view of a tenth heat sink 100K according to the tenth embodiment.
  • FIG. 15 is a perspective view of a tenth heat sink 100K after assembling the first fin portion 10Ka and the second fin portion 10Kb. 14 and 15 are drawn in a state in which the X-axis frame portion 64b and the X-axis frame portion 74b on the left side ( ⁇ Y-axis side) in FIGS. 14 and 15 are removed for the sake of understanding.
  • the tenth heat sink 100K includes a tenth fin unit 10K.
  • the tenth fin unit 10K is composed of a first fin portion 10Ka and a second fin portion 10Kb.
  • the first fin portion 10Ka includes a plurality of louvers 63a formed by cutting and raising a part of a metal plate, and a frame portion 64 connected to the plurality of louvers 63a and holding the louvers 63a.
  • the second fin portion 10Kb is also composed of a plurality of louvers 63b and a frame portion 74 connected to the plurality of louvers 63b and holding the louvers 63b.
  • the frame 64 is composed of a Y-axis frame 64a and an X-axis frame 64b
  • the frame 74 is composed of a Y-axis frame 74a and an X-axis frame 74b.
  • a portion (portion D / 2 in the X-axis direction) of the louver 63a remains flush with the frame 64, and the remaining portion is bent in the 90-degree direction.
  • the cut-and-raised angle ⁇ of the remaining part of the louver 63a can be arbitrarily set from 10 degrees to 90 degrees.
  • the louver 63b is also the same. Further, as shown in FIG. 14, the louver 63 rows adjacent to each other are formed, for example, shifted by D / 2 from each other in the X-axis direction.
  • the first fin portion 10Ka and the second fin portion 10Kb are combined by overlapping the second fin portion 10Kb and the first fin portion 10Ka by D / 4 in the X-axis direction. .
  • the first fin portion 10Ka and the second fin portion 10Kb are assembled with the louvers 63a and louvers 63b, which correspond to each other, at a distance D / 4 apart in the X-axis direction. That is, the bent end of the louver 63b is joined to a part of the same plane as the frame 64 of the louver 63a by brazing or the like.
  • the louver 63a and the louver 63b are assembled with a distance D / 4 in the X-axis direction, but they need not necessarily be in the X-axis direction.
  • the louver 63a and the louver 63b are bent. Also, it may be a curved bend instead of a linear bend. Since no torsional deformation occurs in the connection portion between the frame and the louver, stable processing can be achieved, and the louver shape can be shaped with relatively high dimensional accuracy.
  • FIG. 16 is a perspective view of an eleventh heat sink 100L according to the eleventh embodiment.
  • the eleventh heat sink 100L of the eleventh embodiment has a plurality of flow path changing portions 15 formed on the X axis frame portion 14b on the -Y side.
  • the other configuration is the same as that of the first heat sink 100A of the first embodiment, so the description will be omitted.
  • the flow passage changing portion 15 includes an upper flow passage changing portion 15 a and a lower flow passage changing portion 15 b.
  • the upper flow passage changing portion 15 a and the lower flow passage changing portion 15 b are provided between the pair of louvers 13 in the X axis direction.
  • the eleventh heat sink 100L has the three upper flow passage changing portions 15a and the four lower flow passage changing portions 15b drawn, it can be appropriately increased or decreased according to the number of louvers 13.
  • FIG. 17A is a side view of an eleventh heat sink 100L according to the eleventh embodiment in which the upper flow passage changing portion 15a is provided.
  • FIG. 17B is an enlarged view of a portion surrounded by a broken line G in FIG.
  • the arrows indicate the flow of the cooling fluid CF, and the cooling fluid CF flows along the + Y axis direction.
  • the cooling fluid CF which has flowed into the eleventh fin unit 10L from the -Y side generates turbulent flow in a portion surrounded by the broken line H1.
  • the cooling fluid CF that has flowed into the eleventh fin unit 10L from the + Z side of the X axis frame portion 14b collides with the upper flow path changing portion 15a provided in the X axis frame portion 14b and becomes oblique on the + Z side. Flow and turbulence occurs.
  • the cooling fluid CF that has flowed into the eleventh fin unit 10L from the -Z side of the X-axis frame portion 14b flows into the hole portion 16 formed by cutting and raising the upper flow path changing portion 15a. Flowing diagonally on the + Z side generates turbulent flow.
  • the cooling fluid CF generates a turbulent flow by a flow that is upside down from the flow described above.
  • the flow path changing portion 15 may have the upper flow path changing portion 15a and the lower flow path changing portion 15b cut and raised as described above, or the direction of the flow path changing portion 15 on the heat generating component 22 side.
  • the refrigerant may be flowed preferentially to a part of the heat generating component 22 to intensively cool the most heat generating part of the heat generating component 22.
  • the flow passage changing portion 15 is provided in the upstream X-axis frame portion 14b on the -Y side, but may be provided in the downstream X-axis frame portion 14b. Further, by providing the flow path changing portion 15 in the X-axis frame portion 14, the occurrence of turbulent flow is increased and heat exchange is promoted. Therefore, the cooling fluid CF which has flowed into the eleventh heat sink 100L becomes turbulent in the eleventh heat sink 100L and heat exchange with the louver 13 or the base plate portion 11 is promoted.
  • FIG. 18 is a perspective view of a twelfth heat sink 100M of the twelfth embodiment.
  • a liquid such as water or antifreeze liquid is used as the cooling fluid CF.
  • the cooling fluid CF is a liquid, it is necessary to provide a cover plate so that the cooling fluid CF can flow in the pipe.
  • the twelfth heat sink 100M of the twelfth embodiment has an inlet and an outlet (not shown) so that the cooling fluid CF for liquid does not leak to the + Z side of the twelfth fin unit 10L. It belongs to the cover plate 17 which closes the outer circumference except (not). Here, the cover plate 17 is drawn by a dotted line so that the twelfth fin unit 10L can be seen through.
  • the other configuration is the same as that of the first heat sink 100A of the first embodiment, so the description will be omitted.
  • the louver 13 is preferably thicker since the heat supply to the tip of the louver 13 becomes a neck since the heat dissipation performance is superior to that of a gas such as air.
  • the cover plate 17, like the base plate portion 11, for example, the thickness T 2 are aluminum of about 0.8 mm, copper or thermally conductive alloys thereof it is constituted good material, e.g. It is made in square plate shape according to the heat-emitting component 12.
  • the cover plate 17 may be attached to the second to eleventh embodiments so that the cooling fluid CF for liquid flows in the pipe.
  • FIG. 19A is a perspective view of a thirteenth heat sink 100N of the thirteenth embodiment, in which the cover plate 17 is drawn in a dotted line so that the thirteenth fin unit 10N can be seen through.
  • FIG. 19B is a side view of the thirteenth heat sink 100N of the thirteenth embodiment as seen from the ⁇ X axis direction, with the cover plate 17 omitted.
  • the thirteenth fin unit 10N is composed of a single metal plate, and a plurality of it is formed by cutting and raising the metal plate obliquely in the -Z-axis direction. Louvers 83 and a frame portion 84 connected to the plurality of louvers 83 and remaining unraised.
  • the frame portion 84 is composed of a Y-axis frame portion 84a and an X-axis frame portion 84b.
  • the frame X axis frame portion 84 b is connected to one end of the louver 83 in the + Z axis direction. Besides, it has the same shape as the first fin unit 10A including the dimensions such as the angle ⁇ and the length D.
  • the thirteenth fin unit 10N shown in FIG. 19 can be manufactured at low cost because it is integrally formed by press-forming one metal plate. Further, since they are connected by the frame portion 84 to be integrated, handling is easy and assembling work is simple. Furthermore, in the thirteenth embodiment, it is only necessary to change the shape of the mold at the time of press molding to change the position of the frame 84, so there is no need for significant cost increase.
  • the cover plate 17 described in the twelfth embodiment is installed as a flow path wall so as to form a flow path for the cooling fluid CF at a position facing the base plate portion 11 with the thirteenth fin unit N interposed therebetween, that is, + Z side. ing.
  • the frame portion 84 is in close contact with the cover plate 17. Since this position is out of the main flow of the cooling fluid CF, even if there is dust in the cooling fluid CF, it is difficult to get caught on the frame.
  • the flow of the cooling fluid CF changes its direction to the opposite side to the frame portion 84, and flows near the base plate portion 11,
  • the cooling performance is improved because it can be cooled directly. It is more effective to determine the position of the frame 84 so that the flow of the cooling fluid CF whose direction is changed concentrates on the heat-generating component 12 whose temperature is high.
  • FIG. 20A is a side view of a fourteenth heat sink 100P according to the fourteenth embodiment, as viewed from the -Y-axis direction.
  • the cover plate 17 is provided on the + Z side of the fourteenth heat sink 100P.
  • the heat generating component 22 is drawn to aid understanding, it is not included with the fourteenth heat sink 100P.
  • the heat generating component 22 has a step 22a (which may be convex or concave) and a flat portion 22b at the center.
  • the base plate portion 21 also has a step portion 21a and a flat portion 21b at the center of the heat-generating component 22 having such a step. This is because it is necessary to take away heat by increasing the contact area between the base plate portion 21 and the heat generating component 22. It is preferable to match the louvers in accordance with the step 21 a and the flat portion 21 b of the base plate 21.
  • the fourteenth fin unit 10P of the fourteenth embodiment is composed of two types of louvers 83A and louvers 83B.
  • the louver 83A has the same shape as the louver 83 of the thirteenth fin unit 10N of the thirteenth embodiment.
  • the louver 83A is fixed to the flat portion 21b of the base plate portion 21 by brazing or the like in a state of being inclined at the angle ⁇ as in the thirteenth embodiment.
  • a louver 83B having the same shape as the louver 83A is fixed to the step portion 21a of the base plate portion 21 by brazing or the like at an angle ⁇ (smaller than the angle ⁇ ).
  • louvers 83A and louvers 83B are thermally connected to the base plate portion 21.
  • the louver 83A and the louver 83B may be adjusted at an appropriate angle. That is, the partial cooling performance and the flow resistance of the refrigerant can be adjusted by forming the heat dissipating fins having different cut-and-raise angles in one fin unit.
  • FIG. 20B is a side view of a fourteenth heat sink 100P ′, which is a modification of the fourteenth embodiment, as viewed from the ⁇ Y-axis direction.
  • the heat-generating component 22 has a projecting stepped portion 22a and a flat portion 22b at the center.
  • the base plate portion 21 also has a projecting stepped portion 21a and a flat portion 21b at the center of the heat generating component 22 having such a level difference.
  • the fourteenth heat sink 100P includes two types of louvers 83A and louvers 83C.
  • a louver 83C formed shorter than the louver 83A is fixed to the flat portion 21b of the base plate portion 21 by brazing or the like in a state of being inclined to the angle ⁇ .
  • all the louvers 83A and 83C are thermally connected to the convex base plate portion 21. That is, the partial cooling performance and the flow resistance of the refrigerant can be adjusted by forming the heat dissipating fins having different louvers in one fin unit.
  • louver height when the louver height is different, if the base plate is flat, it can not be joined where the louver height is low, but in that case, fin units with different louver height are mixed if the base plate is uneven. Even thermal bonding is possible.
  • FIG. 20C is a perspective view of a fifteenth heat sink 100Q according to the fifteenth embodiment.
  • the cover plate 17 is provided on the + Z side of the fifteenth heat sink 100Q also in the fifteenth embodiment.
  • the fifteenth heat sink 100Q is provided with a fifteenth fin unit 10Q formed of louvers 83D and louvers 83E which have different lengths in the Y-axis direction.
  • the length L2 in the Y-axis direction of the louver 83E is approximately twice the length L1 of the louver 83D. Therefore, by adjusting the position in the Y-axis direction of the X-axis frame portion 84b where turbulent flow of the cooling fluid CF occurs, the partial cooling performance for the heat-generating component 12 and the fluid resistance of the cooling fluid CF are adjusted. be able to. That is, partial cooling efficiency can be adjusted by providing louvers 83E and louvers 83D having different lengths.
  • one fin unit has been described, but a combination of a plurality of fin portions cut by a cut line CL may be used as indicated by an alternate long and short dash line in FIG.
  • FIG. 21 is an exploded perspective view of a sixteenth heat sink 100R of the sixteenth embodiment
  • FIG. 22 is a perspective view of the sixteenth heat sink 100R of the sixteenth embodiment
  • FIG. It is a side view of the 16th heat sink 100R.
  • the cover plate 17 is provided on the + Z side of the sixteenth heat sink 100R.
  • the sixteenth fin unit 10 ⁇ / b> R is a duplex fin unit configured by the first fin portion 10 ⁇ / b> Ra and the second fin portion 10 ⁇ / b> Rb.
  • the first fin portion 10Ra and the second fin portion 10Rb have the same shape, and are the same as the thirteenth fin unit 10N described in the thirteenth embodiment.
  • the length of the short sides of the louvers 93a and 93b of the first fin portion 10Ra and the second fin portion 10Rb is about half (D / 2) of the length of the short side of the louver 83 of the thirteenth fin unit 10N. .
  • the short side length of the louver 93 of the sixteenth fin unit 10R configured by overlapping the first fin portion 10Ra and the second fin portion 10Rb vertically is the thirteenth fin unit It becomes the same as the length D of the short side of the louver 83 of 10N.
  • the louver area is increased by thermally joining the respective louver tips facing each other by brazing, for example. Can improve cooling performance.
  • the frame portions 94 and 104 of the respective fin portions 10Ra and 10Rb are disposed on the side opposite to the base plate portion 11.
  • the flow of the cooling fluid CF changes its direction to the opposite side to the respective frame portions 94 and 104 and flows near the base plate portion 11 to cool the base plate portion 11 directly, thereby improving the cooling performance.
  • the workability is not greatly impaired.
  • two or more fin portions to be stacked may be provided.
  • FIG. 25 is a perspective view of the seventeenth heat sink 100S according to the seventeenth embodiment
  • FIG. It is a side view of the seventeenth heat sink 100S.
  • the cover plate 17 is provided on the + Z side of the seventeenth heat sink 100S.
  • the seventeenth fin unit 10S is a double fin unit configured by the first fin portion 10Sa and the second fin portion 10Sb.
  • the first fin portion 10Sa has the same shape as the thirteenth heat sink 100N described in the thirteenth embodiment.
  • the second fin portion 10Sb is the frame portion 124 moved from one end of the louver 103b on the + Z side to the ⁇ Z side. The amount of movement is preferably about the thickness T1 of the frame portion 114.
  • the distance between the louvers 103a and 103b is the same as the length D of the short sides of the louvers 103a and 103b. It is.
  • the first fin portion 10Sa and the second fin portion 10Sb are superimposed and combined by being shifted by D / 2 in the X-axis direction.
  • the louver 103a of the first fin portion 10Sa is inserted between the louvers 103b of the second fin portion 10Sb
  • the louver 103b of the second fin portion 10Sb is inserted between the louvers 103a of the first fin portion 10Sa.
  • the distance between the louver 103a and the louver 103b of the seventeenth fin unit 10S is D / 2, and the distance in the X-axis direction becomes narrow. That is, by arranging the plurality of fin portions 10Sa and 10Sb so that the louvers 103a and 103b are alternately arranged, the pitch of the fins can be reduced and the density of the fins can be increased without changing the height of the louvers 103. Performance can be enhanced.
  • the frame portions 114 and 124 of the plurality of fin portions 10Sa and 10Sb overlap are channel walls (cover plate 17 of the thirteenth embodiment Is closely attached).
  • the flow path wall is disposed at a position facing the base plate portion 11 with the seventeenth fin unit 10S interposed therebetween so as to form a flow path for the cooling fluid CF. Since only a plurality of fin units are combined, the workability is not greatly impaired.
  • FIG. 27 is a perspective view of the eighteenth heat sink 100T of the eighteenth embodiment
  • FIG. 28 is a side view of the eighteenth heat sink 100T of the eighteenth embodiment as viewed from the ⁇ X axis direction.
  • the cover plate 17 is provided on the + Z side of the eighteenth heat sink 100T.
  • the eighteenth fin unit 10T is a dual fin unit configured by the first fin portion 10Ta and the second fin portion 10Tb.
  • the first fin portion 10Ta and the second fin portion 10Tb have the same shape, and are the same as the first fin portion 10Ra or the second fin portion 10Rb of the sixteenth embodiment.
  • the first fin portion 10Ta and the second fin portion 10Tb are arranged in a shifted manner in the Y-axis direction and joined.
  • the cover plate 17 used in the thirteenth embodiment is applied as the flow path wall. Further, the flow path deflecting unit 15 described in the eleventh embodiment is also applied to the heat sinks described in the thirteenth to eighteenth embodiments.
  • the fin unit is joined to the base plate portion by the louver in a state in which the frame portion and the base plate portion are all separated in the Z-axis direction. This is because when the frame portion and the base plate portion are in face-to-face contact, there is a possibility that thermal bonding can not be reliably performed due to air bubbles or the like.
  • FIG. 29 is a diagram for contacting the case where the louver is joined to the base plate portion.
  • FIG. 29A is an explanatory view of a state in which the louver 13 is obliquely joined to the base plate portion 11 by brazing in the first to eighteenth embodiments.
  • the louver 13 when the louver 13 is made to contact the base plate portion 11 at an angle ⁇ by the brazing material 18 at an angle ⁇ , the edge K will be in contact, and air bubbles are included in brazing. It can not be done. Therefore, the louver 13 can be reliably joined to the base plate portion 11. Also, for thermal bonding, the brazing material 18 may be placed and heated, but if the brazing sheet is used as the material of any of the members, the brazing material 18 is already clad in the brazing sheet, so Assembly work is easy.
  • FIG. 29B is an explanatory view of a state in which the louvers 13C and 13F are vertically joined to the base plates 11 and 21 by brazing in the third and fourth embodiments.
  • the louvers 13C and 13F are securely joined to the base plate portion 11 by the brazing material 18 as described in FIG. 19A.
  • bubbles such as air may enter the brazing material during brazing. The air bubbles prevent the air bubbles from entering the brazing material 18 because they prevent the heat transfer.
  • FIG. 29C is an explanatory view of a state in which the louver 13 is joined to the base plate portion 11 by the caulking portion 19 in the first to eighteenth embodiments.
  • the base plate portion 11 is provided with a crimped portion 19 so that the louver 13 can be joined by the crimped portion 19 so as to be more excellent in heat radiation efficiency. Therefore, the groove portion 20 is provided in the base plate portion 11, and the louver 13 is inserted into the groove portion 20.
  • the louver 13 is inserted into the base plate portion 11 so that the angle between the louver 13 and the base plate portion 11 is also ⁇ . Thereafter, the louver 13 is crimped in the ⁇ X-axis direction by the caulking portion 19 provided on the base plate portion 11.
  • the louver 13 and the caulking portion 19 of the base plate portion 11 are connected with a larger area, and heat exchange is promoted. Therefore, heat transfer with the heat-generating component is improved by the promoting effect, and the heat dissipation characteristic is improved.

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Abstract

【課題】　本発明は、より熱交換が効率的なヒートシンクを提供する。 【解決手段】発熱部品（１２）の熱を冷却用流体（ＣＦ）へ伝達するヒートシンク（１００Ａ）であって、発熱部品（１２）に熱的に接続された平板状のベースプレート部（１１）と、切り起こして形成される複数のルーバー（１３）と複数のルーバー（１３）と連結し切り起こされずに残った枠部（１４）とを有するフィンユニット（１０Ａ）とを備える。また、複数のルーバー（１３）の一方の端部がベースプレート部（１１）に熱的に接続されるとともに、枠部（１４）がベースプレート部（１１）の表面から離れている。

Description

ヒートシンク
　本発明は、ＣＰＵ、集積回路、半導体素子等の各種電子部品、電子機器、そのほか各種電気機器などの放熱のために使用されるヒートシンクに関するものである。特に薄板材を加工して製作した薄板フィンを備えるものであって、放熱効率に優れたヒートシンクに関するものである。
　ＣＰＵ、集積回路、半導体素子などの電子部品、電子機器及び各種電気機器においては、放熱のためにヒートシンクが設けられる。また、これらの素子又は機器の発熱量、発熱密度の増大によって、放熱効率に優れた高性能のヒートシンクが求められる。
　特許文献１に開示されたヒートシンク２００のフィンユニット２０は、図３０に示したとおり、隣接する鈎形の二辺、および／または、隣接するコの字形の三辺からなる切り込みを一枚の金属板に形成し、その部分を切り起こすことにより複数のフィン列を形成するものである。前記複数のフィン列同士の間には切り起こされなかった部分が残っており“連結部”と称されている。また、フィン列の中のフィン同士の間にも切り起こされなかった部分が残っており、フィン列の中の各々のフィンの断面形状は、切り起こされた部分と切り起こされなかった部分とで概ねＬ字形をなしている。このように特許文献１に開示されたヒートシンクにおいては、フィンの前記Ｌ字形の一方の面（底部）及び前記した連結部がベースプレート又は発熱体（以下においては、単に「ベースプレート部」と記して、「ベースプレート又は発熱体」を指すものとする。）に接している。
特開２００９－２６７８４号公報
　しかし、特許文献１に開示されたヒートシンクは、フィンのＬ字状の一方の面（垂直部）のみがベースプレート部から起立しているものであり、他方の面（底部）はベースプレート部に密着されている。このため、冷却流体との熱交換に与るのは主として前者（垂直部）の面のみであり、従って、特許文献１に開示されたヒートシンクには、熱交換の効率になお改善の余地が有るといえる。
　本発明は、より効率的な熱交換を実現し得るヒートシンクを提供することを目的とする。
即ち、本発明は、Ｌ字状をなすフィン面が双方（垂直部及び底部）ともベースプレート部からは離れた状態となるようにしたヒートシンクである。
　第１の観点のヒートシンクは、発熱部品の熱を冷却用流体へ伝達するヒートシンクである。また、このヒートシンクは発熱部品に熱的に接続された平板状のベースプレート部と、複数のルーバーとこの複数のルーバーに連結して前記複数のルーバーを取り囲む枠部とを有するフィンユニットとを備える。また、複数のルーバーの一方の端部がベースプレート部に熱的に接続されるとともに、枠部がベースプレート部の表面から離れている。枠部がベースプレート部の表面から離れて冷却流体の流れの中に存在するときには枠部が冷却流体に対して乱流を起こすことができる。したがってこの観点のヒートシンクは冷却効率が高い。
　第２の観点のヒートシンクの複数のルーバーの少なくとも一部は一枚の金属板から切り起こして形成されるとともに、枠部は切り起こされずに残って形成される。
　第３の観点のヒートシンクの複数のルーバーは、冷却用流体の流れる方向に並行に伸びる長さと切り起こし方向の幅と切り起こし角度とを有しており、複数のルーバーのうちのいくつかのルーバーは他のルーバーと異なる長さ、異なる幅又は異なる切り起こし角度の少なくともいずれか一つを有している。
　第４の観点のヒートシンクのフィンユニットは、一枚の金属板をプレスして形成された第１フィンユニットと別の一枚の金属板をプレスして形成された第２フィンユニットとを有し、第１フィンユニットのルーバーは第２フィンユニットのルーバーと異なる長さ、異なる幅又は異なる切り起こし角度の少なくともいずれか一つを有している。
　第５の観点のヒートシンクのフィンユニットは、一枚の金属板をプレスして形成された第１フィンユニットと別の一枚の金属板をプレスして形成された第２フィンユニットとを有し、第１フィンユニットのルーバーの一方の端部がベースプレート部に熱的に接続され、第２フィンユニットのルーバーの端部が第１フィンユニットのルーバーの他方の端部に熱的に接続される。
　そして、第６の観点のヒートシンクにおいて、第１フィンユニットの枠部と第２フィンユニットの枠部とが離れている。
　第７の観点のヒートシンクにおいて、第１フィンユニットの枠部と第２フィンユニットの枠部とは接合している。
　第８の観点のヒートシンクのフィンユニットは、一枚の金属板をプレスして形成された第１フィンユニットと別の一枚の金属板をプレスして形成された第２フィンユニットとを有し、第１フィンユニットの複数のルーバー間に、第２フィンユニットの複数のルーバーが配置される。
　第９の観点のヒートシンクの枠部は、冷却用流体の流れ方向を変える流路変更部を有する。
　第１０の観点のヒートシンクにおいて、冷却用流体は液体であり、液体の冷却用流体ＣＦの流路が構成されるように、複数のルーバーの他方の端部と接続されたカバープレートを備える。
　第１１の観点のヒートシンクのフィンユニットは一枚の金属板をプレスして形成され、フィンユニットはベースプレート部にロウ付けされる。
　第１２の観点のヒートシンクの金属板は、母材がアルミニウムで、その少なくとも一方の表面にロウ材をクラッドして作った。
　第１３の観点のヒートシンクは発熱部品の熱を冷却用流体へ伝達する。ヒートシンクは、発熱部品に熱的に接続された平板状のベースプレート部と、複数のルーバーと複数のルーバーに連結して複数のルーバーを取り囲む枠部とを有するフィンユニットと、を備える。複数のルーバーの一方の端部が前記ベースプレート部に熱的に接続されるとともに、フィンユニットを挟んでベースプレート部と相対する位置に、冷却用流体の流路を構成するように流路壁が設置されていて、枠部が流路壁に密着されている。
　第１４の観点のヒートシンクの冷却用流体は液体であり、液体の冷却用流体ＣＦの流路が構成されるように、複数のルーバーの他方の端部と接続されて流路壁となるカバープレートを備える。
　本発明のヒートシンクは、冷却効率が高く、また、製造が簡単である。
第１実施形態の第１ヒートシンク１００Ａの斜視図である。 －Ｘ軸方向から見た第１実施形態の第１ヒートシンク１００Ａの側面図である。 第１実施形態の第１ヒートシンク１００Ａの平面図である。 （ａ）は、－Ｙ軸方向から見た第２実施形態の第２ヒートシンク１００Ｂの側面図である。　（ｂ）は、－Ｙ軸方向から見た第３実施形態の第３ヒートシンク１００Ｃの側面図である。　（ｃ）は、－Ｙ軸方向から見た第４実施形態の第４ヒートシンク１００Ｄの側面図である。 第５実施形態の第５ヒートシンク１００Ｅの斜視図である。 第６実施形態の第６ヒートシンク１００Ｆの分解斜視図である。 第６実施形態の第６ヒートシンク１００Ｆの斜視図である。 第７実施形態の第７ヒートシンク１００Ｇの斜視図である。 －Ｘ軸方向から見た第７実施形態の第７ヒートシンク１００Ｇの側面図である。 第８実施形態の第８ヒートシンク１００Ｈの斜視図である。 －Ｘ軸方向から見た第８実施形態の第８ヒートシンク１００Ｈの側面図である。 第９実施形態の第９ヒートシンク１００Ｊの分解斜視図である。 第９実施形態の第９ヒートシンク１００Ｊの斜視図である。 第１０実施形態の第１０ヒートシンク１００Ｋの分解斜視図である。 第１０実施形態の第１０ヒートシンク１００Ｋの斜視図である。 第１１実施形態の第１１ヒートシンク１００Ｌの斜視図である。 （ａ）は、上流路変更部１５ａが設けられた第１１実施形態の第１１ヒートシンク１００Ｌの側面図である。　（ｂ）は、（ａ）の破線Ｇで囲まれた部分の拡大図である。 第１２実施形態の第１２ヒートシンク１００Ｍの斜視図である。 （ａ）は、第１３実施形態の第１３ヒートシンク１００Ｎの斜視図である。　（ｂ）は、－Ｘ軸方向から見た第１３実施形態の第１３ヒートシンク１００Ｎの側面図である。 （ａ）は、－Ｙ軸方向から見た第１４実施形態の第１４ヒートシンク１００Ｐの側面図である。　（ｂ）は、－Ｙ軸方向から見た第１４実施形態の変形例である第１４ヒートシンク１００Ｐ’の側面図である。　（ｃ）は、第１５実施形態の第１５ヒートシンク１００Ｑの斜視図である。 第１６実施形態の第１６ヒートシンク１００Ｒの分解斜視図である。 第１６実施形態の第１６ヒートシンク１００Ｒの斜視図である。 －Ｘ軸方向から見た第１６実施形態の第１６ヒートシンク１００Ｒの側面図である。 第１７実施形態の第１７ヒートシンク１００Ｓの分解斜視図である。 第１７実施形態の第１７ヒートシンク１００Ｓの斜視図である。 －Ｘ軸方向から見た第１７実施形態の第１７ヒートシンク１００Ｓの側面図である。 第１８実施形態の第１８ヒートシンク１００Ｔの斜視図である。 －Ｘ軸方向から見た第１８実施形態の第１８ヒートシンク１００Ｔの側面図である。 ルーバーがベースプレート部に接合される場合を説明するための図である。　（ａ）は、第１～第１８実施形態においてルーバー１３がロウ付けにより斜めにベースプレート部１１に接合されている状態の説明図である。　（ｂ）は、第３及び第４実施形態において、ルーバー１３Ｃ、１３Ｆがロウ付けにより垂直にベースプレート部１１、２１に接合されている状態の説明図である。　（ｃ）は、第１～第１８実施形態において、ルーバー１３がカシメ部１９によりベースプレート部１１に接合されている状態の説明図である。 従来のヒートシンク２００を示した斜視図である。
（第１実施形態）
＜第１ヒートシンク１００Ａの構成＞
　図１は、第１実施形態の第１ヒートシンク１００Ａの斜視図である。ここで、ベースプレート部１１の面をＸＹ平面とし、またベースプレート部１１に垂直な方向を＋Ｚ軸方向とする。
　図１に示されたように、第１ヒートシンク１００Ａは半導体素子、集積回路又はＣＰＵ等の発熱部品１２に取り付けられる。理解を助けるため発熱部品１２が描かれているが、第１ヒートシンク１００Ａに付属するものではない。第１ヒートシンク１００Ａは発熱部品１２のＸＹ平面に密着して載置されたベースプレート部１１と、そのベースプレート部１１に熱的に接続された第１フィンユニット１０Ａとを備える。第１実施形態において、第１フィンユニット１０Ａは１つの金属板より構成され、その金属板に対して斜めに±Ｚ軸方向に向かって切り起こして形成された複数のルーバー１３と、その複数のルーバー１３に連結し切り起こされずに残った枠部１４とより構成される。第１フィンユニット１０Ａはルーバー１３の一端部をベースプレート部１１にロウ付けなどで、ベースプレート部１１に熱的に接続される。また、枠部１４はＹ軸枠部１４ａ及びＸ軸枠部１４ｂより構成され、ベースプレート部１１の表面に接続されないようにルーバー１３のＺ軸方向のほぼ中央部分に接続されている。また、図１において第１ヒートシンク１００ＡはＸ軸方向で６個、Ｙ軸方向で３列に並んだ１８個のルーバー１３により構成された１つの第１フィンユニット１０Ａを有しているが、数十個から数百個の第１フィンユニット１０Ａが設けられていてもよい。
　第１実施形態において、第１フィンユニット１０Ａは一枚のアルミニウム、銅、あるいはそれらの合金などの熱伝導性が良好な金属板をプレスして形成されたものであり、その金属板の厚さＴ１は０．４ｍｍから２ｍｍ程度である。また、ルーバー１３の幅Ｄは２ｍｍから２０ｍｍ程度であり、ルーバー１３とルーバー１３とのＸ軸方向の距離も幅Ｄとほぼ一致する。また、ベースプレート部１１の厚さＴ２は例えば０．５～１５ｍｍ程度のアルミニウム、銅、あるいはそれらの合金などの熱伝導性が良好な材料より構成され、例えば発熱部品１２に合わせて四角形板状に作られている。
　また、枠部１４からルーバー１３の切り起こし角度θは、１０度から９０度まで任意に設定できる。図１では、ルーバー１３の幅Ｄの約Ｄ／２の位置で枠部１４からルーバー１３が切り起こされているが、任意の位置で切り起こしてもよい。
　また、Ｙ方向に並んだ各ルーバー１３列の間にはＸ軸枠部１４ｂがそれぞれ設けられている。このＸ軸枠部１４ｂはベースプレート部１１からＺ軸方向で離れている。すなわちＸ軸枠部１４ｂはベースプレート部１１とは直接接していない。さらに、図１に示されたように隣接されたルーバー１３列はＸ軸方向で互いに例えばＤ／２ずれて形成されている。例えば、ルーバー１３列をＸ軸方向に距離Ｄ／２ずれると、第１列に属されているルーバー１３が第２列目のルーバー１３列のルーバー１３とルーバー１３との間に位置付けられる。これにより、以下に説明するように、第１ヒートシンク１００Ａの冷却性能が向上する。なお、隣接されたルーバー１３列がＸ軸方向にずらすことは必須でなく、必要に応じてずらせばよい。
＜第１ヒートシンク１００Ａによる冷却＞
　図２は、－Ｘ軸方向から見た第１実施形態の第１ヒートシンク１００Ａの側面図である。図２において、太い矢印は冷却用流体ＣＦの流れを示し、冷却用流体ＣＦは＋Ｙ軸方向に沿って流れている。冷却用流体ＣＦは空気などの気体が用いることを前提に説明するが、水または不凍液などの液体が用いられてもよい。
　図２において点線Ｂ１内に示されたように、まず、Ｘ軸枠部１４ｂがベースプレート部１１からＺ軸方向で離れているために、第１ヒートシンク１００Ａ中で流れる冷却用流体ＣＦがそのＸ軸枠部１４ｂに衝突して乱流が発生する。これにより、冷却用流体ＣＦが下流のルーバー１３の表面から熱を奪いやすくするとともに、ベースプレート部１１からも熱を奪う。このため第１ヒートシンク１００Ａの冷却性能が向上する。
　その後、冷却用流体ＣＦはルーバー１３の間で乱流から安定した層流となっていくが、点線Ｂ２に囲まれた部分でＸ軸枠部１４ｂにより再び乱流となる。具体的に、ルーバー１３の間を流れる安定した層流は、ルーバー１３のＺ軸方向の中央部分に設けられたＸ軸枠部１４ｂに衝突し、Ｘ軸枠部１４ｂのＺ軸の両側に分流され、乱流としてＸ軸枠部１４ｂのＺ軸の両側を流れる。
　また、冷却用流体ＣＦは点線Ｂ３に囲まれた部分で上述の点線Ｂ２に囲まれた部分と同じようにＸ軸枠部１４ｂにより乱流が形成される。最後、冷却用流体ＣＦは点線Ｂ４に囲まれた部分でＸ軸枠部１４ｂにより再びそのＺ軸の両側に分流され、Ｘ軸枠部１４ｂで乱流となる。その後、第１ヒートシンク１００Ａの＋Ｙ側より冷却用流体ＣＦが流出される。
　上述のように、－Ｙ側より第１ヒートシンク１００Ａに流入した冷却用流体ＣＦは、第１ヒートシンク１００Ａ内で何度も乱流になってルーバー１３又はベースプレート部１１と熱交換を促進する。したがって、発熱部品１２と冷却用流体ＣＦとの間で熱伝達が向上し、放熱特性が向上する。
　図３は、第１実施形態の第１ヒートシンク１００Ａの平面図である。図３でも、矢印は冷却用流体ＣＦの流れを示し、冷却用流体ＣＦは＋Ｙ軸方向に沿って流れている。
　まず、図３において冷却用流体ＣＦは－Ｙ側から第１ヒートシンク１００Ａのルーバー１３とルーバー１３との間に流入する。そして、隣接されたルーバー１３列がＸ軸方向で互いに距離Ｄ／２ずれて形成されるため、－Ｙ側のルーバー１３列を通過した冷却用流体ＣＦは中央のルーバー１３列のルーバー１３に衝突される。したがって、冷却用流体ＣＦはそのルーバー１３のＸ軸方向の両側に分流し乱流が形成される。その後、中央のルーバー１３列のルーバー１３に沿って＋Ｙ軸方向に流れる。
　また、冷却用流体ＣＦは点線Ｃ２に囲まれた部分でも点線Ｃ１に囲まれた部分と同じに＋Ｙ側のルーバー１３列により乱流が形成される。その後、＋Ｙ側より第１ヒートシンク１００Ａを流出する。
　上述のように、－Ｙ側より第１ヒートシンク１００Ａに流入した冷却用流体ＣＦは、第１ヒートシンク１００Ａ内で何度も乱流になって熱交換が促進される。したがって、その乱流の促進効果により、発熱部品１２と冷却用流体ＣＦ間の熱伝達が向上し、放熱特性が向上する。
　また、第１フィンユニット１０Ａはプレス成形で一体的に成形するので低コストで作製できる。また、切り起こされていない枠部１４で連結されて一体になっているので扱いが容易で組み付け作業が簡便である。第１実施形態において、各ルーバー１３のＸ軸方向の距離Ｄ及び幅Ｄは一定であるが、その距離及び幅の変更はプレス成形時の金型の形状を変えて切り起こされていない金属板の位置を変えることだけで済むので、大幅なコストアップの必要がない。
　図４は、各ルーバーのＸ軸方向の距離Ｄ及び幅が変更された第２実施形態～第４実施形態のヒートシンクを示した図である。
（第２実施形態）
＜第２ヒートシンク１００Ｂの構成＞
　図４（ａ）は、－Ｙ軸方向から見た第２実施形態の第２ヒートシンク１００Ｂの側面図である。理解を助けるため発熱部品２２が描かれているが、第２ヒートシンク１００Ｂに付属するものではない。第２実施形態において、例えば発熱部品２２は中央に段差部２２ａ（凸状でも凹状でもよい）と平坦部２２ｂを有している。このように段差があるような発熱部品２２に対しては、ベースプレート部２１も中央に段差部２１ａと平坦部２１ｂとを有している。ベースプレート部２１と発熱部品２２とが接する面積を多くして、熱を奪う必要があるからである。ベースプレート部２１の段差部２１ａと平坦部２１ｂに合わせて、ルーバーも合わせることが好ましい。
　図４（ａ）に示されたように、第２実施形態の第２フィンユニット１０Ｂは２種類のルーバー１３Ａ及びルーバー１３Ｂより構成される。ルーバー１３Ａは第１実施形態の第１フィンユニット１０Ａのルーバー１３と同じ形状である。ルーバー１３Ａは、同じ角度θに傾いた状態でベースプレート部２１の平坦部２１ｂにロウ付けなどで固定されている。また、ルーバー１３Ｂはルーバー１３Ａと同じ角度θでベースプレート部２１の段差部２１ａにロウ付けなどで固定されている。ルーバー１３Ｂの幅はルーバー１３Ａの幅より短くに構成されている。例えばベースプレート部２１の段差部２１ａの高さがＤ／４である場合、ルーバー１３Ｂは幅Ｄ／２で形成されている。これにより、全てのルーバー１３Ａ、ルーバー１３Ｂが同じ角度θでベースプレート部２１に熱的に接続される。
　また、このように、プレス成形時の金型の形状を変えて、ベースプレート部２１の段差部２１ａと平坦部２１ｂに合わせて、ルーバーの位置及び幅を変えることだけで済むので、第２実施形態の第２フィンユニット１０Ｂは大幅なコストアップがない。
（第３実施形態）
＜第３ヒートシンク１００Ｃの構成＞
　図４（ｂ）は、－Ｙ軸方向から見た第３実施形態の第３ヒートシンク１００Ｃの側面図である。第３実施形態においても、例えば発熱部品２２は中央に突起状の段差部２２ａと平坦部２２ｂを有している。このように段差があるような発熱部品２２に対しては、ベースプレート部２１も中央に突起状の段差部２１ａと平坦部２１ｂとを有している。
　図４（ｂ）に示されたように、第３実施形態の第３フィンユニット１０Ｃは２種類のルーバー１３Ｃ及びルーバー１３Ｄを含んでいる。第３実施形態において、ルーバー１３Ｃは第１実施形態の第１フィンユニット１０Ａのルーバー１３と同じ幅Ｄである。ルーバー１３Ｃは、直角に傾いた状態でベースプレート部２１の平坦部２１ｂにロウ付けなどで固定されている。また、ルーバー１３Ｄも第１実施形態の第１フィンユニット１０Ａのルーバー１３と同じ幅Ｄである。但し、ルーバー１３Ｄの角度φは角度θより小さくなってベースプレート部２１の段差部２１ａにロウ付けなどで固定されている。これにより、全てのルーバー１３Ｃ、ルーバー１３Ｄがベースプレート部２１に熱的に接続される。もちろん、ベースプレート部２１の段差部２１ａと平坦部２１ｂとの段差高さにはいろいろな高さがあるので、ルーバー１３Ｃとルーバー１３Ｄとは適切な角度で調整されてもよい。
　また、このように、プレス成形時の金型の形状を変えて、ベースプレート部２１の段差部２１ａと平坦部２１ｂに合わせて、ルーバーの角度を変えることだけで済むので、第３実施形態の第３フィンユニット１０Ｃは大幅なコストアップがない。
（第４実施形態）
＜第４ヒートシンク１００Ｄの構成＞
　図４（ｃ）は、－Ｙ軸方向から見た第４実施形態の第４ヒートシンク１００Ｄの側面図である。第４実施形態においても、例えば発熱部品２２は中央に突起状の段差部２２ａと平坦部２２ｂを有している。このように段差があるような発熱部品２２に対しては、ベースプレート部２１も中央に突起状の段差部２１ａと平坦部２１ｂとを有している。
　図４（ｃ）に示されたように、第４実施形態の第４フィンユニット１０Ｄは２種類のルーバー１３Ｅ及びルーバー１３Ｆを含んでいる。第４実施形態において、ルーバー１３Ｅは第２実施形態の第２フィンユニット１０Ｂのルーバー１３Ａと同じで、ベースプレート部２１の凹部に角度θで固定されている。また、ルーバー１３Ｆの角度φは垂直になっており、ベースプレート部２１の段差部２１ａに垂直にロウ付けなどで固定されている。ルーバー１３Ｆの幅ＤＮがルーバー１３Ｅの幅Ｄよりかなり狭くなっている。これにより、全てのルーバー１３Ｅ、１３Ｆが凸状のベースプレート部２１に熱的に接続される。
　第２実施形態から第４実施形態まで、ベースプレート部２１の段差部２１ａと平坦部２１ｂに合わせて、ルーバー１３の間隔およびルーバー１３の角度を変える例を示した。段差部が三段以上ある場合または発熱部品２２の発熱量などに応じて、ルーバー１３の間隔およびルーバー１３の角度を適宜変更することができる。
（第５実施形態）
＜第５ヒートシンク１００Ｅの構成＞
　図５は、第５実施形態の第５ヒートシンク１００Ｅの斜視図である。第５実施形態において、第５フィンユニット１０Ｅのみが第１実施形態と異なっているため、第５フィンユニット１０Ｅについて説明し、その他の説明を省略する。
　図５に示されたように、第５フィンユニット１０Ｅは１つの金属板をプレスして構成されたルーバー１３、ルーバー２３と枠部１４とを備えている。また、第５フィンユニット１０Ｅはルーバー１３、ルーバー２３の一端部をベースプレート部１１にロウ付けすることで、ベースプレート部１１に熱的に接続される。また、枠部１４はベースプレート部１１の表面に接続されない。枠部１４はＹ軸枠部１４ａ及びＸ軸枠部１４ｂより構成され、Ｘ軸枠部１４ｂはルーバー１３、２３のＺ軸方向のほぼ中央部分に接続されている。
　図５において、第５ヒートシンク１００ＥはＸ軸方向で６個の短いルーバー１３から構成されたルーバー１３の列と、６個の長いルーバー２３から構成されたルーバー２３の列とを備える。もちろん、数十個から数百個の第５フィンユニット１０Ｅがベースプレート部１１に設けられていてもよい。
　第５実施形態において、第５フィンユニット１０Ｅの材料及び厚さは第１実施形態と同じで、枠部１４とルーバー１３、２３との角度θも第１実施形態と同じである。また、ルーバー１３列とルーバー２３列とはＸ軸方向で互いにＤ／２ずれて形成されている。
　第５フィンユニット１０Ｅにおいてルーバー２３のＹ軸方向の長さＬ２がルーバー１３の長さＬ１の約２倍である。このため、冷却用流体ＣＦの乱流が発生するＸ軸枠部１４ｂのＹ軸方向の位置を調整することにより、発熱部品１２に対する部分的な冷却性能、冷却用流体ＣＦの流体抵抗を調整することができる。つまり、長さの異なるルーバー１３及びルーバー２３を設けることで、部分的な冷却効率を調整することができる。
　また、第５実施形態において、第５フィンユニット１０Ｅはルーバー１３列とルーバー２３列とを有していたが、ルーバー１３列を有するフィンユニットと、ルーバー２３列を有するフィンユニットとを別々の金属板から形成し、それぞれを１枚のベースプレート部１１に配置してもよい。
（第６実施形態）
＜第６ヒートシンク１００Ｆの構成＞
　図６は、第６実施形態の第６ヒートシンク１００Ｆの分解斜視図である。図７は、組み立てた後の第６フィンユニット１０Ｆの斜視図である。第６実施形態において、第６フィンユニット１０Ｆは第１フィン部１０Ｆａと第２フィン部１０Ｆｂとにより構成された複式フィンユニットである。
　まず、第６フィンユニット１０Ｆの第１フィン部１０Ｆａについて説明する。
　第１フィン部１０Ｆａは、１つの金属板により構成され、その金属板に対して斜めに切り起こして形成された複数のルーバー３３ａと、その複数のルーバー３３ａに連結し切り起こされずに残った枠部２４とにより構成される。また、枠部２４はＹ軸枠部２４ａ及びＸ軸枠部２４ｂにより構成される。また枠Ｘ軸枠部２４ｂはルーバー３３ａのＺ軸方向の一端に接続されている。図６において、第１フィン部１０ＦａはＸ軸方向で６個、Ｙ軸方向で３列に並んだ１８個のルーバー３３ａを有している。さらに、第１フィン部１０Ｆａの材料及び厚さは第１実施形態の第１フィンユニット１０Ａと同じで、枠部２４とルーバー３３ａとの角度θも第１実施形態と同じである。但し、第６実施形態のルーバー３３ａの幅はＤ／２である。
　次に、第６フィンユニット１０Ｆの第２フィン部１０Ｆｂについて説明する。
　第２フィン部１０Ｆｂは、１つの金属板により構成され、その金属板に対して斜めに－Ｚ軸方向に向かって切り起こして形成された複数のルーバー３３ｂと、その複数のルーバー３３ｂに連結し切り起こされずに残った枠部３４とより構成される。また、枠部３４はＹ軸枠部３４ａ及びＸ軸枠部３４ｂより構成される。また枠Ｘ軸枠部３４ｂはルーバー３３ｂのＺ軸方向の一端に接続されている。また枠Ｘ軸枠部３４ｂはルーバー３３のＺ軸方向の一端に接続されている。その他角度θを含めて第２フィン部１０Ｆｂは第１フィン部１０Ｆａと同じ形状である。
　図７に示されたように、第１フィン部１０Ｆａと第２フィン部１０Ｆｂとは、互いに対応されるルーバー３３ａの一端とルーバー３３ｂの一端とが接合し、Ｘ軸枠部２４ｂとＹ軸枠部３４ｂとが接合される。そして第６フィンユニット１０Ｆが形成される。第６フィンユニット１０Ｆの枠部２４と枠部３４とより構成された新しい枠部の厚さは、第１実施形態の枠部１４の２倍、すなわち２Ｔ１となる。ルーバー３３ａとルーバー３３ｂとより構成された新しいルーバー３３の幅はＤで、Ｘ軸方向の距離はＤ／２であり、その厚さはＴ１である。
　また、組み立てた後の第６フィンユニット１０Ｆの全体的な形状は第１実施形態の第１フィンユニット１０Ａとほぼ同じであるが、ルーバー３３のＸ軸方向の距離がＤ／２である点が大きく異なる。
　第６実施形態において、複数のフィン部により構成された第６フィンユニット１０Ｆをベースプレート部１１に配置することにより、第６フィンユニット１０Ｆの高さを変えずにルーバー３３のＸ軸方向の距離がＤからＤ／２に狭くなり、ルーバー３３の密度を高めることができ、冷却性能を高められる。
（第７実施形態）
＜第７ヒートシンク１００Ｇの構成＞
　図８は、第７実施形態の第７ヒートシンク１００Ｇの斜視図である。第７実施形態において、第７フィンユニット１０Ｇは第１フィン部１０Ｇａと第２フィン部１０Ｇｂより構成された複式フィンユニットである。
　まず、第７フィンユニット１０Ｇの第１フィン部１０Ｇａについて説明する。
　第１フィン部１０Ｇａは、１つの金属板により構成され、その金属板に対して斜めに±Ｚ軸方向に向かって切り起こして形成された複数のルーバー４３ａと、その複数のルーバー４３ａに連結し切り起こされずに残った枠部４４とより構成される。また、枠部４４はＹ軸枠部４４ａ及びＸ軸枠部４４ｂより構成される。また枠Ｘ軸枠部４４ｂはルーバー４３ａのＺ軸方向のほぼ中央部分に接続されている。図８において、第１フィン部１０ＧａはＸ軸方向で６個、Ｙ軸方向で３列に並んだ１８個のルーバー４３ａを有している。さらに、第１フィン部１０Ｇａの材料及び厚さは第１実施形態の第１フィンユニット１０Ａと同じで、枠部４４とルーバー４３ａとの角度θも第１実施形態と同じである。但し、第７実施形態のルーバー４３ａの幅が第１実施形態のルーバー１３の幅はＤ／２である。
　そして、第７フィンユニット１０Ｇの第２フィン部１０Ｇｂは、第１フィン部１０Ｇａと同じである。
　図８に示されたように、第１フィン部１０Ｇａと第２フィン部１０Ｇｂとは、互いに対応されるルーバー４３ａの一端とルーバー４３ｂの一端とがロウ付けなどで接合される。これにより第７フィンユニット１０Ｇが形成される。また、Ｘ軸枠部４４ｂがルーバー４３ａのＺ軸方向のほぼ中央部分に接続されて、Ｘ軸枠部５４ｂが複数のルーバー４３ｂにそのＺ軸方向のほぼ中央部分に接続されている。このため、枠部４４と枠部５４とが、Ｚ軸方向に離れている。その距離はルーバー４３ａ及びルーバー４３ｂの切り起こし角度により決定される。さらに、ルーバー４３ａとルーバー４３ｂとより構成された新しいルーバー４３の幅はＤで、Ｘ軸方向の距離はＤ／２であり、その厚さはＴ１である。
＜第７ヒートシンク１００Ｇによる冷却＞
　図９は、－Ｘ軸方向から見た第７実施形態の第７ヒートシンク１００Ｇの側面図である。図９において、矢印は冷却用流体ＣＦの流れを示し、冷却用流体ＣＦは＋Ｙ軸方向に沿って流れている。
　まず、図９の点線Ｅ１内に示されたように、Ｘ軸枠部４４ｂ及びＸ軸枠部５４ｂがベースプレート部１１からＺ軸方向で離れているために、第７ヒートシンク１００Ｇ中で流れる冷却用流体ＣＦがそのＸ軸枠部４４ｂ及びＸ軸枠部５４ｂに衝突して乱流が発生する。
　その後、冷却用流体ＣＦはルーバー４３とルーバー４３との間で安定した層流となって＋Ｙ軸方向に流れ続くが、点線Ｅ２に囲まれた部分でＸ軸枠部４４ｂ及びＸ軸枠部５４ｂにより再び乱流となる。具体的に、ルーバー４３とルーバー４３との間を流れる安定した層流は、ルーバー４３のＺ軸方向の中央部分に設けられたＸ軸枠部４４ｂ及びＸ軸枠部５４ｂに衝突し、Ｘ軸枠部４４ｂ及びＸ軸枠部５４ｂのＺ軸の両側に分流される。これにより、冷却用流体ＣＦはＸ軸枠部４４ｂ及びＸ軸枠部５４ｂの両側に分留され、乱流として下流に流れる
　また、冷却用流体ＣＦは点線Ｅ３に囲まれた部分で上述の点線Ｅ２に囲まれた部分と同じようにＸ軸枠部４４ｂ及びＸ軸枠部５４ｂにより乱流が形成される。最後、冷却用流体ＣＦは点線Ｅ４に囲まれた部分でＸ軸枠部４４ｂ及びＸ軸枠部５４ｂにより再びそれらのＺ軸の両側に分流され、Ｘ軸枠部４４ｂ及びＸ軸枠部５４ｂで乱流となる。その後、第７ヒートシンク１００Ｇの＋Ｙ側より冷却用流体ＣＦが流出される。
　上述のように、－Ｙ側より第７ヒートシンク１００Ｇに流入した冷却用流体ＣＦは、第７ヒートシンク１００Ｇ内で何度も乱流になってルーバー４３又はベースプレート部１１と熱交換が促進される。したがって、発熱部品１２と冷却用流体ＣＦとの間で熱伝達が向上し、放熱特性が向上する。
　ルーバー４３ａ及びルーバー４３ｂを積層し、それぞれの一端同士を例えばロウ付けで熱的に接合することで、ルーバー４３の表面積を大きくすることができ、冷却性能を高められる。また、Ｘ軸枠部４４ｂ及びＸ軸枠部５４ｂは、乱流を発生させることができる。例えば、配置する高さを変えることも可能である。複数のルーバーの一端同士を組み合わせるだけなので、作業性が大きく損なわれることはない。
（第８実施形態）
＜第８ヒートシンク１００Ｈの構成＞
　図１０は、第８実施形態の第８ヒートシンク１００Ｈの斜視図である。第８実施形態において、第８フィンユニット１０Ｈは第７実施形態で説明された第１フィン部１０Ｇａと第２フィン部１０Ｇｂより構成された複式フィンユニットである。
　図１０に示されたように、第８フィンユニット１０Ｈは第１フィン部１０Ｇａと第２フィン部１０Ｇｂとが、対応されるルーバー４３ａの一端とルーバー４３ｂの一端とがＹ軸方向にずれて接合して形成される。ここで、ルーバー４３ａとルーバー４３ｂとより構成された新しいルーバーの幅はＤで、Ｘ軸方向の距離はＤ／２であり、その厚さはＴ１である。
＜第８ヒートシンク１００Ｈによる冷却＞
　図１１は、－Ｘ軸方向から見た第８実施形態の第８ヒートシンク１００Ｈの側面図である。図１１において、矢印は冷却用流体ＣＦの流れを示し、冷却用流体ＣＦは＋Ｙ軸方向に沿って流れている。
　まず、図１１の点線Ｆ１内で示されたように、第８フィンユニット１０ＨのＸ軸枠部５４ｂがベースプレート部１１からＺ軸方向で離れているために、第８ヒートシンク１００Ｈ中で流れる冷却用流体ＣＦがそのＸ軸枠部５４ｂに衝突して乱流が発生する。そして、分流された冷却用流体ＣＦはＸ軸枠部５４ｂを通過した後、上部側（＋Ｚ側）の冷却用流体ＣＦは、Ｘ軸枠部４４ｂがベースプレート部１１からＺ軸方向で離れているために、第８ヒートシンク１００Ｈ中で流れる冷却用流体ＣＦがそのＸ軸枠部４４ｂに衝突して乱流が発生する。
　その後、冷却用流体ＣＦはルーバー４３とルーバー４３との間で安定した層流となって＋Ｙ軸方向に流れ続くが、点線Ｆ２内のＸ軸枠部５４ｂにより再び乱流になり、且つその下流でＸ軸枠部４４ｂにより再び乱流となる。
　また、冷却用流体ＣＦは点線Ｆ３に囲まれた部分で点線Ｆ２に囲まれた部分と同じようにＸ軸枠部５４ｂにより乱流になり、その下流でもＸ軸枠部４４ｂにより乱流が形成される。最後、冷却用流体ＣＦは点線Ｆ４に囲まれた部分でＸ軸枠部５４ｂにより再びそのＺ軸の両側に分流され乱流となり、その下流でＸ軸枠部４４ｂにより再びそのＺ軸の両側に分流され乱流となる。その後、第８ヒートシンク１００Ｈの＋Ｙ側より冷却用流体ＣＦが流出される。
　上述のように、－Ｙ側より第７ヒートシンク１００Ｇに流入した冷却用流体ＣＦは、第８ヒートシンク１００Ｈ内で何度も乱流になってルーバー４３又はベースプレート部１１と熱交換が促進される。したがって、発熱部品１２と冷却用流体ＣＦとの間で熱伝達が向上し、放熱特性が向上する。
（第９実施形態）
＜第９ヒートシンク１００Ｊの構成＞
　図１２は、第９実施形態の第９ヒートシンク１００Ｊの分解斜視図である。第９実施形態において、第９フィンユニット１０Ｊは第７実施形態で説明された第１フィン部１０Ｇａと第２フィン部１０Ｇｂより構成された複式フィンユニットである。
　図１２に示されたように、第１フィン部１０Ｇａと第２フィン部１０Ｇｂとは、第２フィン部１０Ｇｂと第１フィン部１０ＧａとをＸ軸方向にＤ／４ずらして重ね合わせて組み合わされる。図１３は、第１フィン部１０Ｇａと第２フィン部１０Ｇｂとを組み立てた後の第９ヒートシンク１００Ｊの斜視図である。
　図１３に示されたように、第１フィン部１０Ｇａと第２フィン部１０Ｇｂとは互いに対応されるルーバー５３ａとルーバー５３ｂとを接合するのではなく、Ｘ軸方向で距離Ｄ／４ずれて組み立てられる。つまり、第１フィン部１０Ｇａのルーバー５３ａが第２フィン部１０Ｇｂのルーバー５３ｂの間に挿入され、第２フィン部１０Ｇｂのルーバー５３ｂが第１フィン部１０Ｇａのルーバー５３ａの間に挿入される。互いに挿入した後にルーバー５３ａ及び５３ｂの－Ｚ側の端部はベースプレート部１１にロウ付けなどで接合される。
　ルーバー５３ａ及び５３ｂの－Ｚ側の端部がベースプレート部１１に接するには、ルーバー５３ｂがルーバー５３ａよりも多少－Ｚ軸方向に長くないとベースプレート部１１に接しない。なぜなら第２フィン部１０Ｇｂの枠部５４は第１フィン部１０Ｇａの枠部４４の上に位置するからである、このため、Ｘ軸枠部５４ｂとルーバー５３ｂとの接続位置をルーバー５３ｂの幅方向の中央よりややＺ方向に高い位置にしたりする。
　また別の方法として、ルーバー５３ａのみの端部がベースプレート部１１に接合されるようにしてもよい。第１フィン部１０Ｇａの枠部４４と第２フィン部１０Ｇｂの枠部５４とが接着されている。そのため、ベースプレート部１１からの熱がルーバー５３ａに伝わり、その熱がルーバー５３ａから枠部４４と枠部５４とに伝わり、最後にルーバー５３ｂにも伝わるからである。
　第９実施形態の構成によれば、第９フィンユニット１０Ｊのルーバー５３ａとルーバー５３ｂとの距離はＤ／４となり、Ｘ軸方向の間隔が狭くなる。つまり、ルーバー５３の密度が高くなり、第９ヒートシンク１００Ｊは冷却性能を高めることができる。
（第１０実施形態）
＜第１０ヒートシンク１００Ｋの構成＞
　図１４は、第１０実施形態の第１０ヒートシンク１００Ｋの分解斜視図である。図１５は、第１フィン部１０Ｋａと第２フィン部１０Ｋｂとを組み立てた後の第１０ヒートシンク１００Ｋの斜視図である。なお、図１４及び図１５は、理解のため、図１４及び図１５中の左側（－Ｙ軸側）のＸ軸枠部６４ｂ及びＸ軸枠部７４ｂが取り除かれた状態で描かれている。
　第１０ヒートシンク１００Ｋは第１０フィンユニット１０Ｋを備える。第１０フィンユニット１０Ｋは第１フィン部１０Ｋａと第２フィン部１０Ｋｂとにより構成される。第１フィン部１０Ｋａは、金属板に対して一部を切り起こして形成された複数のルーバー６３ａと、その複数のルーバー６３ａに連結してルーバー６３ａを保持する枠部６４とより構成される。第２フィン部１０Ｋｂも複数のルーバー６３ｂと、その複数のルーバー６３ｂに連結してルーバー６３ｂを保持する枠部７４とより構成される。また、枠部６４はＹ軸枠部６４ａ及びＸ軸枠部６４ｂより構成され、枠部７４はＹ軸枠部７４ａ及びＸ軸枠部７４ｂより構成される。
　ルーバー６３ａの一部（Ｘ軸方向にＤ／２の部分）は枠６４と同一面のままであり、残りの部分が９０度方向に曲げられている。なお、ルーバー６３ａの残りの部分の切り起こし角度θは、１０度から９０度まで任意に設定できる。ルーバー６３ｂも同様である。さらに、図１４に示されたように隣接されたルーバー６３列はＸ軸方向で互いに例えばＤ／２ずれて形成されている。
　図１５に示されたように、第１フィン部１０Ｋａと第２フィン部１０Ｋｂとは、第２フィン部１０Ｋｂと第１フィン部１０ＫａとをＸ軸方向にＤ／４ずらして重ね合わせて組み合わされる。
　図１５に示されたように、第１フィン部１０Ｋａと第２フィン部１０Ｋｂとは互いに対応されるルーバー６３ａとルーバー６３ｂと、Ｘ軸方向で距離Ｄ／４ずれて組み立てられる。つまりルーバー６３ａの枠６４と同じ平面の一部にルーバー６３ｂの折り曲げた端部がロウ付けなどで接合される。なお、図１５ではルーバー６３ａとルーバー６３ｂと、Ｘ軸方向で距離Ｄ／４ずれて組み立てられるが、必ずしもＸ軸方向にずれていなくてもよい。
　第１０実施形態の構成によれば、ルーバー６３ａ及びルーバー６３ｂが折り曲げた構成である。また直線的な折り曲げでなく曲線的な折り曲げであってもよい。枠とルーバーの接続部にねじり変形を生じさせないので、安定した加工となることから、ルーバー形状を比較的寸法精度よく成形することが可能である。
（第１１実施形態）
＜第１１ヒートシンク１００Ｌの構成＞
　図１６は、第１１実施形態の第１１ヒートシンク１００Ｌの斜視図である。
　第１１実施形態の第１１ヒートシンク１００Ｌは第１実施形態の第１ヒートシンク１００Ａに比べると、－Ｙ側のＸ軸枠部１４ｂに複数の流路変更部１５が形成されている。その他の構成は第１実施形態の第１ヒートシンク１００Ａと同じであるため、説明を省略する。
　図１６に示されたように、流路変更部１５は上流路変更部１５ａと下流路変更部１５ｂとを含んでいる。上流路変更部１５ａと下流路変更部１５ｂとは一対のルーバー１３のＸ軸方向の間に設けられている。また、第１１ヒートシンク１００Ｌは３つの上流路変更部１５ａと４つの下流路変更部１５ｂとが描かれているが、ルーバー１３の数に応じて適宜増減することができる。
＜第１１ヒートシンク１００Ｌによる冷却＞
　以下、上流路変更部１５ａを一例として、第１１ヒートシンク１００Ｌによる冷却を説明する。
　図１７は（ａ）は、上流路変更部１５ａが設けられた第１１実施形態の第１１ヒートシンク１００Ｌの側面図である。図１７（ｂ）は、（ａ）の破線Ｇで囲まれた部分の拡大図である。図１７において、矢印は冷却用流体ＣＦの流れを示し、冷却用流体ＣＦは＋Ｙ軸方向に沿って流れている。
　図１７（ａ）に示されたように、Ｘ軸枠部１４ｂに上流路変更部１５ａが設けられているため、破線Ｇで囲まれた部分において乱流が発生される。その他のＸ軸枠部１４ｂ、１４ｂ及び１４ｂで発生する乱流は第１実施形態と同じであるため、説明を省略する。以下、図１７（ａ）の破線Ｇで囲まれた部分について、図１７（ｂ）を参照しながら説明する。
　図１７（ｂ）に示されたように、－Ｙ側から第１１フィンユニット１０Ｌに流入した冷却用流体ＣＦは、破線Ｈ１に囲まれた部分で乱流が発生する。具体的に、Ｘ軸枠部１４ｂの＋Ｚ側から第１１フィンユニット１０Ｌに流入した冷却用流体ＣＦは、Ｘ軸枠部１４ｂに設けられた上流路変更部１５ａに衝突し＋Ｚ側の斜めになって流れ、乱流が発生する。
　一方、Ｘ軸枠部１４ｂの－Ｚ側から第１１フィンユニット１０Ｌに流入した冷却用流体ＣＦは、上流路変更部１５ａを切り起こして形成された孔部１６に流入し、その孔部１６により＋Ｚ側の斜めになって流れ、乱流が発生する。
　下流路変更部１５ｂ（図１６を参照）では、冷却用流体ＣＦは、上述した流れとは上下逆の流れにより乱流を発生させる。流路変更部１５は、以上の説明のように上流路変更部１５ａと下流路変更部１５ｂとがそれぞれ切り起されていてもよいし、または発熱部品２２の側に流路変更部１５の向きを揃えて発熱部品２２の一部に冷媒を優先的に流して、発熱部品２２の一番発熱している箇所を集中的に冷却しても良い。
　第１１実施形態においては、上流の－Ｙ側のＸ軸枠部１４ｂに流路変更部１５が設けられているが、下流のＸ軸枠部１４ｂに設けられてもよい。
　また、Ｘ軸枠部１４に流路変更部１５を設けることにより、乱流の発生箇所が多くなって熱交換が促進される。したがって、第１１ヒートシンク１００Ｌに流入した冷却用流体ＣＦは、第１１ヒートシンク１００Ｌ内で何度も乱流になってルーバー１３又はベースプレート部１１と熱交換が促進される。
（第１２実施形態）
＜第１２ヒートシンク１００Ｍの構成＞
　図１８は、第１２実施形態の第１２ヒートシンク１００Ｍの斜視図である。第１２実施形態において、冷却用流体ＣＦとして水、不凍液などの液体が用いられている。冷却用流体ＣＦが液体である場合には、冷却用流体ＣＦが管内を流れるようにカバープレートを設ける必要がある。
　第１２実施形態の第１２ヒートシンク１００Ｍは第１実施形態の第１ヒートシンク１００Ａに比べると、第１２フィンユニット１０Ｌの＋Ｚ側に液体の冷却用流体ＣＦが漏れないように流入口及び流出口（図示しない）を除いて外周を塞ぐカバープレート１７が属されている。ここで、第１２フィンユニット１０Ｌが透視できるように、カバープレート１７は点線で描かれている。その他の構成は第１実施形態の第１ヒートシンク１００Ａと同じであるため、説明を省略する。
　ところで、液体の場合、空気などの気体よりも放熱性能に優れるため、ルーバー１３先端への熱の供給がネックになることからルーバー１３は厚い方がよい。本発明であれば、プレス成形する元板を厚くするだけなので、厚いルーバーを狭いピッチで配置することが容易である。
　第１２実施形態において、カバープレート１７はベースプレート部１１と同様に、例えば厚さＴ２は０．８ｍｍ程度のアルミニウム、銅、あるいはそれらの合金などの熱伝導性が良好な材料より構成され、例えば発熱部品１２に合わせて四角形板状に作られている。なお図示しないが、第２実施形態から第１１実施形態にもカバープレート１７を取り付けて液体の冷却用流体ＣＦが管内を流れるようにしてもよい。
（第１３実施形態）
＜第１３ヒートシンク１００Ｎの構成＞
　図１９（ａ）は、第１３実施形態の第１３ヒートシンク１００Ｎの斜視図で、第１３フィンユニット１０Ｎが透視できるようにカバープレート１７は点線で描かれている。図１９（ｂ）は－Ｘ軸方向から見た第１３実施形態の第１３ヒートシンク１００Ｎの側面図で、カバープレート１７を省略している。
　図１９（ａ）に示されたように、第１３フィンユニット１０Ｎは、１枚の金属板により構成され、その金属板に対して斜めに－Ｚ軸方向に向かって切り起こして形成された複数のルーバー８３と、その複数のルーバー８３に連結し切り起こされずに残った枠部８４とより構成される。また、枠部８４はＹ軸枠部８４ａ及びＸ軸枠部８４ｂより構成される。また枠Ｘ軸枠部８４ｂはルーバー８３の＋Ｚ軸方向の一端に接続されている。その他、角度θ及び長さＤなどの寸法を含めて第１フィンユニット１０Ａと同じ形状である。
　図１９に示された第１３フィンユニット１０Ｎは１枚の金属板をプレス成形することで一体的に成形するので低コストで作製できる。また、枠部８４で連結されて一体になっているので扱いが容易で、組み付け作業が簡便である。さらに、第１３実施形態はプレス成形時の金型の形状を変えて枠部８４の位置を変えることだけで済むので、大幅なコストアップの必要がない。
　第１３フィンユニットＮを挟んでベースプレート部１１と相対する位置、すなわち＋Ｚ側に冷却用流体ＣＦの流路を構成するように流路壁として第１２実施形態で説明されたカバープレート１７が設置されている。枠部８４は、そのカバープレート１７に密着されている。この位置は冷却用流体ＣＦの主流から外れているので、冷却用流体ＣＦ中にゴミがあっても枠部にひっかかりにくい。
　また、図１９（ｂ）の点線Ｊ１～Ｊ４に示されたように冷却用流体ＣＦの流れは枠部８４と反対側に向きを変え、ベースプレート部１１の近くを流れるようになりベースプレート部１１を直接冷やせるので冷却性能が向上する。向きを変えた冷却用流体ＣＦの流れが、温度が高くなる発熱部品１２に集中して流れるように枠部８４の位置を決めればより効果的である。
（第１４実施形態）
＜第１４ヒートシンク１００Ｐの構成＞
　図２０（ａ）は、－Ｙ軸方向から見た第１４実施形態の第１４ヒートシンク１００Ｐの側面図である。図示しないが、第１４実施形態でも第１４ヒートシンク１００Ｐの＋Ｚ側にカバープレート１７が設けられている。また、理解を助けるため発熱部品２２が描かれているが、第１４ヒートシンク１００Ｐに付属するものではない。第１４実施形態において、例えば発熱部品２２は中央に段差部２２ａ（凸状でも凹状でもよい）と平坦部２２ｂを有している。このように段差があるような発熱部品２２に対しては、ベースプレート部２１も中央に段差部２１ａと平坦部２１ｂとを有している。ベースプレート部２１と発熱部品２２とが接する面積を多くして、熱を奪う必要があるからである。ベースプレート部２１の段差部２１ａと平坦部２１ｂに合わせて、ルーバーも合わせることが好ましい。
　図２０（ａ）に示されたように、第１４実施形態の第１４フィンユニット１０Ｐは２種類のルーバー８３Ａ及びルーバー８３Ｂより構成される。ルーバー８３Ａは第１３実施形態の第１３フィンユニット１０Ｎのルーバー８３と同じ形状である。ルーバー８３Ａは、第１３実施形態と同じに角度θに傾いた状態でベースプレート部２１の平坦部２１ｂにロウ付けなどで固定されている。但し、ルーバー８３Ａと同じ形状であるルーバー８３Ｂを角度φ（角度θより小さい）にベースプレート部２１の段差部２１ａにロウ付けなどで固定されている。これにより、全てのルーバー８３Ａ、ルーバー８３Ｂがベースプレート部２１に熱的に接続される。もちろん、ベースプレート部２１の段差部２１ａと平坦部２１ｂとの段差高さにはいろいろな高さがあるので、ルーバー８３Ａとルーバー８３Ｂとは適切な角度で調整されてもよい。つまり、ひとつのフィンユニットの中に、切り起し角度が異なる放熱フィンを形成することで、部分的な冷却性能、冷媒の流通抵抗を調整することができる。
　また、このようにプレス成形時の金型の形状を変えてベースプレート部２１の段差部２１ａと平坦部２１ｂに合わせてルーバーの角度を変えることだけで済むので、第１４実施形態の第１４フィンユニット１０Ｐは大幅なコストアップがない。また、この方法は異なる仕様のヒートシンクの場合でも、基本形状のフィンユニットをいくつか用意しておけば、適切なフィンユニットを組み合わせるだけで済む。このため製品毎にプレス成形金型を作製する必要がないので、余計なコストがかからない。
　また、第１４実施形態では一つのフィンユニットで説明したが、図２０（ａ）の一点鎖線に示されたように数本のカットラインＣＬにより切断された複数のフィン部の組み合わせでもよい。
（第１４実施形態の変形例）
＜第１４ヒートシンク１００Ｐ’の構成＞
　図２０（ｂ）は、－Ｙ軸方向から見た第１４実施形態の変形例である第１４ヒートシンク１００Ｐ’の側面図である。第１４実施形態の変形例においても、例えば発熱部品２２は中央に突起状の段差部２２ａと平坦部２２ｂを有している。このように段差があるような発熱部品２２に対しては、ベースプレート部２１も中央に突起状の段差部２１ａと平坦部２１ｂとを有している。
　図２０（ｂ）に示されたように、第１４ヒートシンク１００Ｐ’は２種類のルーバー８３Ａ及びルーバー８３Ｃを含んでいる。第１４実施形態の変形例において、ルーバー８３Ａより短く形成されたルーバー８３Ｃは角度θに傾いた状態でベースプレート部２１の平坦部２１ｂにロウ付けなどで固定されている。これにより、全てのルーバー８３Ａ、８３Ｃが凸状のベースプレート部２１に熱的に接続される。つまり、ひとつのフィンユニットの中に、ルーバーの高さが異なる放熱フィンを形成することで、部分的な冷却性能、冷媒の流通抵抗を調整することができる。
　上述のようにルーバーの高さが異なる場合、ベースプレートが平らであるとルーバー高さが低いところは接合できないが、その場合はベースプレートに凹凸を形成すればルーバー高さが異なるフィンユニットが混在していても熱的な接合をさせることは可能である。
　また、第１４実施形態の変形例では一つのフィンユニットで説明したが、図２０（ｂ）に示されたように複数のカットラインＣＬにより切断された複数のフィン部の組み合わせでもよい。また、ルーバー８３Ａ及びルーバー８３Ｃは一枚の金属板をプレスして形成されるので、ルーバー８３Ｃ同士の間隔がルーバー８３Ａ同士の間隔より狭くなることもできる。
（第１５実施形態）
＜第１５ヒートシンク１００Ｑの構成＞
　図２０（ｃ）は、第１５実施形態の第１５ヒートシンク１００Ｑの斜視図である。図示しないが、第１５実施形態でも第１５ヒートシンク１００Ｑの＋Ｚ側にカバープレート１７が設けられている。図２０（ｃ）に示されたように、第１５ヒートシンク１００ＱはＹ軸方向の長さが異なるルーバー８３Ｄ及びルーバー８３Ｅにより形成された第１５フィンユニット１０Ｑを備えている。
　第１５フィンユニット１０Ｑにおいてルーバー８３ＥのＹ軸方向の長さＬ２がルーバー８３Ｄの長さＬ１の約２倍である。このため、冷却用流体ＣＦの乱流が発生するＸ軸枠部８４ｂのＹ軸方向の位置を調整することにより、発熱部品１２に対する部分的な冷却性能、冷却用流体ＣＦの流体抵抗を調整することができる。つまり、長さの異なるルーバー８３Ｅ及びルーバー８３Ｄを設けることで、部分的な冷却効率を調整することができる。
　また、第１５実施形態では一つのフィンユニットで説明したが、図２０（ｃ）の一点鎖線に示されたようにカットラインＣＬにより切断された複数のフィン部の組み合わせでもよい。
（第１６実施形態）
＜第１６ヒートシンク１００Ｒの構成＞
　図２１は第１６実施形態の第１６ヒートシンク１００Ｒの分解斜視図で、図２２は第１６実施形態の第１６ヒートシンク１００Ｒの斜視図で、図２３は－Ｘ軸方向から見た第１６実施形態の第１６ヒートシンク１００Ｒの側面図である。図示しないが、第１６実施形態でも第１６ヒートシンク１００Ｒの＋Ｚ側にカバープレート１７が設けられている。
　図２１に示されたように、第１６フィンユニット１０Ｒは第１フィン部１０Ｒａと第２フィン部１０Ｒｂとにより構成された複式フィンユニットである。ここで、第１フィン部１０Ｒａと第２フィン部１０Ｒｂとは同じ形状で、第１３実施形態で説明された第１３フィンユニット１０Ｎと同じである。但し、第１フィン部１０Ｒａと第２フィン部１０Ｒｂとのルーバー９３ａ、９３ｂの短辺の長さは第１３フィンユニット１０Ｎのルーバー８３の短辺の長さの半分程度（Ｄ／２）である。
　このため、図２２に示されたように第１フィン部１０Ｒａと第２フィン部１０Ｒｂとを上下で重ねて構成された第１６フィンユニット１０Ｒのルーバー９３の短辺の長さは第１３フィンユニット１０Ｎのルーバー８３の短辺の長さＤと同じになる。
　ここで、複数のフィン部１０Ｒａ、１０Ｒｂを積層して形成された第１６フィンユニット１０Ｒにおいて、それぞれの相対するルーバー先端同士を例えばロウ付けで熱的に接合することでルーバーの面積を大きくすることができ、冷却性能を高められる。
　また、図２３の点線Ｋ１～Ｋ４に示されたようにそれぞれのフィン部１０Ｒａ、１０Ｒｂの枠部９４、１０４はベースプレート部１１とは反対側の配置している。これにより、冷却用流体ＣＦの流れはそれぞれの枠部９４、１０４と反対側に向きを変え、ベースプレート部１１の近くを流れるようになってベースプレート部１１を直接冷やせるので冷却性能が向上する。また、複数のフィン部１０Ｒａ、１０Ｒｂを組み合わせるだけなので、作業性が大きく損なわれることはない。なお、積層されるフィン部は２つ以上設けられていてもよい。
（第１７実施形態）
＜第１７ヒートシンク１００Ｓの構成＞
　図２４は第１７実施形態の第１７ヒートシンク１００Ｓの分解斜視図で、図２５は第１７実施形態の第１７ヒートシンク１００Ｓの斜視図で、図２６は－Ｘ軸方向から見た第１７実施形態の第１７ヒートシンク１００Ｓの側面図である。図示しないが、第１７実施形態でも第１７ヒートシンク１００Ｓの＋Ｚ側にカバープレート１７が設けられている。
　図２４に示されたように、第１７フィンユニット１０Ｓは第１フィン部１０Ｓａと第２フィン部１０Ｓｂとにより構成された複式フィンユニットである。ここで、第１フィン部１０Ｓａは第１３実施形態で説明された第１３ヒートシンク１００Ｎと同じ形状である。また、第２フィン部１０Ｓｂはその枠部１２４がルーバー１０３ｂの＋Ｚ側の一端から－Ｚ側に移動されたものである。その移動量は、枠部１１４の厚さＴ１程度であれば好ましい。さらに、第１フィン部１０Ｓａ及び第２フィン部１０Ｓｂは一枚の金属板をプレスすることで形成されるので、ルーバー１０３ａ、１０３ｂ同士の間隔はルーバー１０３ａ、１０３ｂの短辺の長さＤと同じである。
　図２５に示されたように、第１フィン部１０Ｓａと第２フィン部１０ＳｂとはＸ軸方向にＤ／２ずらして重ね合わせて組み合わされる。これにより、第１フィン部１０Ｓａのルーバー１０３ａが第２フィン部１０Ｓｂのルーバー１０３ｂの間に挿入され、第２フィン部１０Ｓｂのルーバー１０３ｂが第１フィン部１０Ｓａのルーバー１０３ａの間に挿入される。互いに挿入した後にルーバー１０３ａ及び１０３ｂの－Ｚ側の端部はベースプレート部１１にロウ付けなどで接合される。
　第１７実施形態の構成によれば、第１７フィンユニット１０Ｓのルーバー１０３ａとルーバ１０３ｂとの距離はＤ／２となり、Ｘ軸方向の間隔が狭くなる。つまり、複数のフィン部１０Ｓａ、１０Ｓｂをルーバー１０３ａ、１０３ｂが互い違いになるよう配置することにより、ルーバー１０３の高さを変えずにフィンのピッチを小さくしてフィンの密度を高めることができ、冷却性能を高められる。
　図２６の点線Ｓ１～Ｓ４に示されたように、複数のフィン部１０Ｓａ、１０Ｓｂの枠部１１４、１２４が重なり合う位置では、枠部１１４、１２４は流路壁（第１３実施形態のカバープレート１７を参照）に密着されている。なお、流路壁は第１７フィンユニット１０Ｓを挟んでベースプレート部１１と相対する位置に、冷却用流体ＣＦの流路を構成するように配置されている。複数のフィンユニットを組み合わせるだけなので、作業性が大きく損なわれることはない。
（第１８実施形態）
＜第１８ヒートシンク１００Ｔの構成＞
　図２７は第１８実施形態の第１８ヒートシンク１００Ｔの斜視図で、図２８は－Ｘ軸方向から見た第１８実施形態の第１８ヒートシンク１００Ｔの側面図である。図示しないが、第１８実施形態でも第１８ヒートシンク１００Ｔの＋Ｚ側にカバープレート１７が設けられている。
　図２７に示されたように、第１８フィンユニット１０Ｔは第１フィン部１０Ｔａと第２フィン部１０Ｔｂとにより構成された複式フィンユニットである。ここで、第１フィン部１０Ｔａと第２フィン部１０Ｔｂとは同じ形状で、第１６実施形態の第１フィン部１０Ｒａ又は第２フィン部１０Ｒｂと同じである。但し、第１フィン部１０Ｔａと第２フィン部１０ＴｂとはＹ軸方向にずれて接合して配置される。
　図２８の点線Ｍ１～Ｍ４に示されたように、積層する第１フィン部１０Ｔａと第２フィン部のそれぞれの枠部１３４、１４４の位置を流れ方向の前後に適切にずらすことにより、更に冷却用流体ＣＦの流れがベースプレート部１１近くを流れやすくすることができるので、より直接冷やせるようになり冷却性能が向上する。
　第１４～第１８実施形態に説明されたヒートシングでは、流路壁が描かれていないが、流路壁として第１３実施形態で用いたカバープレート１７が適用される。また、第１３～第１８実施形態で説明されたヒートシングには第１１実施形態で説明された流路偏向部１５も適用される。
＜ルーバーとベースプレート部との接合の構成＞
　上述の第１～第１８実施形態において、全てが枠部とベースプレート部とがＺ軸方向で離れている状態に、フィンユニットがルーバーによりベースプレート部に接合されている。これは、枠部とベースプレート部とが面同士で接触する場合は、気泡などの原因で確実に熱的接合ができない可能性があるが、ルーバーの先端でベースプレート部に接合すると気泡が残りにくく確実に接触できるためである。
　図２９は、ルーバーがベースプレート部に接合される場合を接するための図である。
　図２９（ａ）は、第１～第１８実施形態においてルーバー１３がロウ付けにより斜めにベースプレート部１１に接合されている状態の説明図である。
　図２９（ａ）に示されたように、ルーバー１３をロウ材１８により角度θでベースプレート部１１に斜めに接触するようにすれば、エッジＫで接触することになり、ロウ付けで気泡が含まれることがない。したがって、ルーバー１３がベースプレート部１１に確実に接合することができる。また、熱的接合には、ロウ材１８を置いて加熱すればよいが、ブレージングシートをいずれかの部材の材料として使えば、ロウ材１８はすでにブレージングシートにクラッドされた状態なので、ロウ付け前の組み立て作業が容易になる。
　図２９（ｂ）は、第３及び第４実施形態において、ルーバー１３Ｃ、１３Ｆがロウ付けにより垂直にベースプレート部１１、２１に接合されている状態の説明図である。
　図２９（ｂ）に示されたように、ルーバー１３Ｃ、１３Ｆは図１９（ａ）で説明されたように、ロウ材１８により、ベースプレート部１１に確実に接合されている。なお、垂直にしたルーバー１３Ｃ、１３Ｆではロウ付けの際に空気などの気泡がロウ材に入ることがある。気泡は熱の伝達を妨げるためロウ材１８中に気泡が入らないようにする。
　図２９（ｃ）は、第１～第１８実施形態において、ルーバー１３がカシメ部１９によりベースプレート部１１に接合されている状態の説明図である。
　図２９（ｃ）において、放熱効率により優れるように、ベースプレート部１１にカシメ部１９を設けられ、そのカシメ部１９によりルーバー１３を接合することができる。そのため、ベースプレート部１１に溝部２０を設け、その溝部２０の中にルーバー１３を挿入する。ここで、ルーバー１３とベースプレート部１１との角度もθとなるようにルーバー１３をベースプレート部１１に挿入する。その後、ベースプレート部１１に設けられたカシメ部１９により－Ｘ軸方向にルーバー１３をカシメる。
　このような構成にすれば、ルーバー１３とベースプレート部１１のカシメ部１９とがより大きい面積で接続され、熱交換が促進される。したがって、その促進効果により、発熱部品との熱伝達が向上し、放熱特性が向上する。
　以上、本発明の最適な実施例について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその技術的範囲内において実施例に様々な変更・変形を加えて実施することができる。
　１０Ａ～１０Ｔ　…　フィンユニット
　１１、２１、３１　…　ベースプレート部
　１２、２２　…　発熱部品
　１３、２３、３３、４３、５３、６３、８３、９３、１０３　…　ルーバー
　１４、２４、３４、４４、５４、６４、７４、８４、９４、１０４、１１４、１２４、３４、１４４　…　枠部
　１５、１５ａ、１５ｂ　…　流路変更部
　１６　…　孔部
　１７　…　カバープレート
　１８　…　ロウ材
　１９　…　カシメ部
　２０　…　溝部
　ＣＦ　…　冷却用流体
　Ｄ　…　第１実施形態のルーバーの幅、又はルーバーのピッチ
　Ｔ１　…　金属板の厚さ、すなわち枠部及びルーバーの厚さ
　Ｔ２　…　ベースプレート部の厚さ
　θ、φ　…　枠部とルーバーとの角度
 

Claims (22)

  1. 　発熱部品の熱を冷却用流体へ伝達するヒートシンクにおいて、
    　前記発熱部品に熱的に接続された平板状のベースプレート部と、
    　複数のルーバーと前記複数のルーバーに連結して前記複数のルーバーを取り囲む枠部とを有するフィンユニットと、を備え、
    　前記複数のルーバーの一方の端部が前記ベースプレート部に熱的に接続されるとともに、前記枠部が前記ベースプレート部の表面から離れているヒートシンク。
  2. 　前記複数のルーバーの少なくとも一部は一枚の金属板から切り起こして形成されるとともに、前記枠部は切り起こされずに残って形成される請求項１に記載のヒートシンク。
  3. 　前記複数のルーバーは、前記冷却用流体の流れる方向に並行に伸びる長さと切り起こし方向の幅と切り起こし角度とを有しており、
    　前記複数のルーバーのうちのいくつかのルーバーは他のルーバーと異なる長さ、異なる幅又は異なる切り起こし角度の少なくともいずれか一つを有している請求項１に記載のヒートシンク。
  4. 　前記フィンユニットは、一枚の金属板をプレスして形成された第１フィンユニットと別の一枚の金属板をプレスして形成された第２フィンユニットとを有し、
    　前記第１フィンユニットのルーバーは前記第２フィンユニットのルーバーと異なる長さ、異なる幅又は異なる切り起こし角度の少なくともいずれか一つを有している請求項１に記載のヒートシンク。
  5. 　前記フィンユニットは、一枚の金属板をプレスして形成された第１フィンユニットと別の一枚の金属板をプレスして形成された第２フィンユニットとを有し、
    　前記第１フィンユニットのルーバーの一方の端部が前記ベースプレート部に熱的に接続され、前記第２フィンユニットのルーバーの端部が前記第１フィンユニットのルーバーの他方の端部に熱的に接続される請求項１に記載のヒートシンク。
  6. 　前記第１フィンユニットの枠部と前記第２フィンユニットの枠部とが離れている請求項５に記載のヒートシンク。
  7. 　前記第１フィンユニットの枠部と前記第２フィンユニットの枠部とは接合している請求項５に記載のヒートシンク。
  8. 　前記フィンユニットは、一枚の金属板をプレスして形成された第１フィンユニットと別の一枚の金属板をプレスして形成された第２フィンユニットとを有し、
    　前記第１フィンユニットの複数のルーバー間に、前記第２フィンユニットの複数のルーバーが配置される請求項２又は請求項３に記載のヒートシンク。
  9. 　前記枠部は、前記冷却用流体の流れ方向を変える流路変更部を有する請求項１に記載のヒートシンク。
  10. 　前記冷却用流体は液体であり、
    　前記液体の冷却用流体ＣＦの流路が構成されるように、前記複数のルーバーの他方の端部と接続されたカバープレートを備える請求項１に記載のヒートシンク。
  11. 　前記フィンユニットは金属板をプレスして形成され、
    　前記フィンユニットは前記ベースプレート部にロウ付けされる請求項１に記載のヒートシンク。
  12. 　前記金属板は、母材がアルミニウムで、その少なくとも一方の表面にロウ材をクラッドして作ったブレージングシートである請求項１１に記載のヒートシンク。
  13. 　発熱部品の熱を冷却用流体へ伝達するヒートシンクにおいて、
    　前記発熱部品に熱的に接続された平板状のベースプレート部と、
    　複数のルーバーと前記複数のルーバーに連結して前記複数のルーバーを取り囲む枠部とを有するフィンユニットと、を備え、
    　前記複数のルーバーの一方の端部が前記ベースプレート部に熱的に接続されるとともに、
    　フィンユニットを挟んでベースプレート部と相対する位置に、冷却用流体の流路を構成するように流路壁が設置されていて、前記枠部が前記流路壁に密着されているヒートシンク。
  14. 　前記複数のルーバーの少なくとも一部は一枚の金属板から切り起こして形成されるとともに、前記枠部は切り起こされずに残って形成される請求項１３に記載のヒートシンク。
  15. 　前記複数のルーバーは、前記冷却用流体の流れる方向に並行に伸びる長さと切り起こし方向の幅と切り起こし角度とを有しており、
    　前記複数のルーバーのうちのいくつかのルーバーは他のルーバーと異なる長さ、異なる幅又は異なる切り起こし角度の少なくともいずれか一つを有している請求項１３に記載のヒートシンク。
  16. 　前記フィンユニットは、一枚の金属板をプレスして形成された第１フィンユニットと別の一枚の金属板をプレスして形成された第２フィンユニットとを有し、
    　前記第１フィンユニットのルーバーは前記第２フィンユニットのルーバーと異なる長さ、異なる幅又は異なる切り起こし角度の少なくともいずれか一つを有している請求項１３に記載のヒートシンク。
  17. 　前記フィンユニットは、一枚の金属板をプレスして形成された第１フィンユニットと別の一枚の金属板をプレスして形成された第２フィンユニットとを有し、
    　前記第１フィンユニットのルーバーの一方の端部が前記ベースプレート部に熱的に接続され、前記第２フィンユニットのルーバーの端部が前記第１フィンユニットのルーバーの他方の端部に熱的に接続される請求項１３に記載のヒートシンク。
  18. 　前記フィンユニットは、一枚の金属板をプレスして形成された第１フィンユニットと別の一枚の金属板をプレスして形成された第２フィンユニットとを有し、
    　前記第１フィンユニットの複数のルーバー間に、前記第２フィンユニットの複数のルーバーが配置される請求項１４又は請求項１５に記載のヒートシンク。
  19. 　前記枠部は、前記冷却用流体の流れ方向を変える流路変更部を有する請求項１３に記載のヒートシンク。
  20. 　前記冷却用流体は液体であり、
    　前記液体の冷却用流体ＣＦの流路が構成されるように、前記複数のルーバーの他方の端部と接続されて流路壁となるカバープレートを備える請求項１３に記載のヒートシンク。
  21. 　前記フィンユニットは金属板をプレスして形成され、
    　前記フィンユニットは前記ベースプレート部にロウ付けされる請求項１３に記載のヒートシンク。
  22. 　前記金属板は、母材がアルミニウムで、その少なくとも一方の表面にロウ材をクラッドして作ったブレージングシートである請求項２１に記載のヒートシンク。
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