WO2010108894A1 - Dünnschichtverkapselung für ein optoelektronisches bauelement, verfahren zu dessen herstellung und optoelektronisches bauelement - Google Patents

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Definitions

  • Optoelectronic devices and especially those having an organic functional material, such as organic light emitting devices (OLEDs), are extremely sensitive to moisture and moisture
  • a layer sequence which has only ALD layers is also referred to herein as "nanolaminate”.
  • the first ALD layer is particularly preferably in direct contact with the second ALD layer. This means that the first ALD layer and the second ALD layer have a common interface.
  • the first ALD layer 3 comprises or consists of, for example, aluminum oxide, while the second ALD layer 4 consists of zinc oxide or comprises zinc oxide. Since the two ALD layers 3, 4 presently consist of two different materials, their transmission to visible light is increased because interference effects that can reduce the transmission in a single ALD layer are at least reduced. Furthermore, the use of two different materials for the first ALD layer 3 and the second ALD layer 4 has the advantage that small diffusion channels in the ALD layers 3, 4 can be better closed.
  • suitable materials for the ALD layers 3, 4 are, for example, zirconium oxide, titanium oxide, hafnium oxide and lanthanum oxide.
  • the ALD layers 3, 4 are each arranged in direct contact with each other, that is, they each form a common interface.

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