WO2009142133A1 - ステージ - Google Patents

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auxiliary mounting
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祐也 井上
保 谷藤
寿人 田中
誠 高橋
邦好 関根
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    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING, OR HOLDING
    • B25B1/00—Vices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
    • B65G2249/02—Controlled or contamination-free environments or clean space conditions

Definitions

  • the present invention relates to a substrate stage used in an XY stage and a large-sized printing apparatus, and more particularly to a large-scale stage that connects rails.
  • granite is used for substrate stages such as an XY stage, a large printing apparatus, and a three-dimensional inspection apparatus because granite is easily processed to ensure planar accuracy, has a small thermal distortion, and provides a large rough.
  • the size of the substrate has been increasing, and if the substrate stage is increased in size so as to be suitable for a large substrate, the size of the substrate cannot be transferred.
  • An object of the present invention is to provide a split-type substrate stage that can secure the horizontality and linearity of rails and can transport a substrate at high speed.
  • the present invention provides a main mounting table, an auxiliary mounting table that is smaller in area than the main mounting table and separable from the main mounting table, the main mounting table, and the auxiliary mounting table.
  • a plurality of lower rails whose ends are located on the auxiliary mounting table, a moving plate is positioned on each lower rail, and the moving plate can travel on the lower rail
  • the plurality of lower rails are each formed from one original plate, and are configured to be detachable from the main mounting table and the auxiliary mounting table.
  • the stage is provided with a vertical adjustment device capable of adjusting the height of the lower rail at a plurality of positions.
  • the moving plate is formed with a plurality of through holes through which the lifting pins are inserted, and the moving plate is located from a back surface side of the moving plate in a state where the moving plate is located at a predetermined position of the auxiliary mounting table. It is the stage comprised so that the said raising / lowering pin could be inserted in the through-hole of the said movement board. Moreover, this invention is a stage with which the upper rail located above the said lower rail was attached to the said main mounting base so that attachment or detachment was possible. Further, the present invention is a stage in which an inkjet head is movably attached to the upper rail.
  • the present invention is arranged across the main mounting table, the auxiliary mounting table that is smaller than the main mounting table and separable from the main mounting table, the main mounting table and the auxiliary mounting table, A stage having a plurality of lower rails whose ends are positioned on the auxiliary mounting table, and an upper rail attached so as to be movable along the extending direction of the lower rail, each of the lower rails Is formed of a single original plate, and is configured to be detachable from the main mounting table and the auxiliary mounting table, and the auxiliary mounting table has a vertical adjustment device capable of adjusting the height of the lower rail at a plurality of positions.
  • the upper rail and the lower rail are detachable stages.
  • the present invention is a stage in which an inkjet head is movably attached to the upper rail.
  • the lower rail is a stage composed of granite.
  • Two or more lower rails on which the movable plate travels are arranged on the stage of the present invention.
  • each lower rail is formed from a single original plate.
  • the present invention includes a case where the plurality of lower rails on which the moving plate travels are formed from the same original plate, a case where they are formed from different original plates, and a case where these cases are mixed.
  • one lower rail is not divided in the longitudinal direction, and one lower rail is formed from one original plate. Therefore, since the linearity is ensured, the moving plate on which the substrate is placed does not shake and can be moved at high speed. In addition, the landing position accuracy of the discharge liquid is improved. Since the vertical adjustment device is provided at the end of the lower rail, the linearity can be maintained even when the auxiliary mounting table is suspended.
  • Plan view for explaining the operation of the substrate stage of the present invention (1) Side view for explaining the operation of the substrate stage of the present invention (1) Plan view for explaining the operation of the substrate stage of the present invention (2) Side view for explaining the operation of the substrate stage of the present invention (2) Plan view for explaining the operation of the substrate stage of the present invention (3) Side view for explaining the operation of the substrate stage of the present invention (3) Plan view for explaining the operation of the substrate stage of the present invention (4) Side view for explaining the operation of the substrate stage of the present invention (4)
  • the top view for demonstrating the substrate stage of this invention Side view for explaining a substrate stage of the present invention
  • the top view which shows the auxiliary
  • the substrate stage 10 of the present invention includes one main mounting table 11 and a plurality of (four in this case) auxiliary mountings whose planar shape is smaller and smaller in area than the main mounting table 11.
  • 9 and 10 are a plan view and a side view of the substrate stage 10 according to the present invention in a state where it is temporarily assembled at the manufacturing site.
  • the main mounting table 11 and the auxiliary mounting tables 12a to 12d have a quadrangular planar shape and a flat surface.
  • the main mounting table 11 and the auxiliary mounting tables 12a to 12d are configured to be detachable, and two auxiliary mounting tables 12a to 12d are fixed to two sides of the main mounting table 11 that are parallel to each other.
  • the lower rails 13 1 and 13 2 are longer than the length of the main mounting table 11, the central portion is disposed on the main mounting table 11, and one end is disposed on the auxiliary mounting tables 12 a and 12 c on one side of the main mounting table 11. The other end is arranged on the auxiliary mounting tables 12b and 12d on the other side.
  • the two lower rails 13 1 and 13 2 are parallel to each other.
  • the main mounting table 11 is arranged so that the surface thereof is horizontal, and the auxiliary mounting tables 12 a to 12 d are fixed to the main mounting table 11 in a state where the surface is lower than the main mounting table 11.
  • a plurality of vertical adjustment devices 6 are provided on the auxiliary mounting tables 12a to 12d.
  • the vertical adjustment device 6 is constituted by a screw, and each vertical adjustment device 6 is inserted upward from the bottom surface side to the front surface side of the auxiliary mounting tables 12a to 12d.
  • the portions of the lower rails 13 1 and 13 2 placed on the main mounting table 11 are in close contact with the surface of the main mounting table 11, and the portions on the auxiliary mounting tables 12 a to 12 d are placed on the upper end of the vertical adjustment device 6. Yes.
  • the lower rails 13 1 and 13 2 are made of granite.
  • a guide for linear moving means is installed on the lower rails 13 1 and 13 2 .
  • Granite has rigidity, but can be deformed in a small amount.
  • Lower rails 13 1, 13 2, on the auxiliary table 12a ⁇ 12d abuts against the tip of the vertical adjustment device 6 at a plurality of positions along the longitudinal direction of the lower rail 13 1, 13 2, one By changing the heights of the tips of the plurality of vertical adjustment devices 6 that are in contact with the lower rails 13 1 and 13 2 , they can be extended linearly or curved in the vertical direction. it can. The upper end of the vertical adjustment device 6, is moved upward as a position close to the end of the lower rail 13 1, 13 2, it is possible to bend the lower rail 13 1, 13 2 upwards.
  • the lower rails 13 1 and 13 2 are provided with a horizontal plane adjustment device, and the horizontal rail adjustment device can adjust the orientation of the lower rails 13 1 and 13 2 in the horizontal plane.
  • a moving plate 16 made of granite is placed via a friction reducing device 21 such as an air bearing.
  • a substrate moving mechanism (not shown) is operated, the moving plate 16 is moved to the lower rail. It travels on 13 1 and 13 2 so that it can be positioned on the auxiliary mounting tables 12a to 12d as well as on the main mounting table 11.
  • a friction reducing device 21 is provided on the moving plate 16, an air layer is provided between the flat surface of the friction reducing device 21 and the surfaces of the lower rails 13 1 and 13 2 , and the lower rails 13 1 and 13 2 and The friction reducing device 21 and the moving plate 16 are not in contact with each other so that the moving plate 16 can travel on the lower rails 13 1 and 13 2 .
  • one moving plate 16 is placed on the two lower rails 13 1 , 13 2 arranged in parallel with each other, but the three lower parts arranged in parallel with each other are used. You may make it drive
  • a column 22 is erected on the outside of the two lower rails 13 1 and 13 2 on the main mounting table 11, and the two upper rails 15 1 and 15 2 are parallel to each other on the column 22.
  • the lower rails 13 1 and 13 2 are arranged perpendicular to the extending direction.
  • An ink jet head 17 is movably attached to the upper rails 15 1 and 15 2 .
  • the upper rails 15 1 and 15 2 are longer than the width of the main mounting table 11, and both end portions are projected to the outside of the main mounting table 11.
  • the head moving mechanism (not shown) is operated to move the inkjet head 17 to the upper rail 15.
  • the ink jet head 17 can be positioned on the main mounting table 11 and on the outer side of the main mounting table 11.
  • the upper rails 15 1 and 15 2 are arranged horizontally, and the inkjet head 17 moves in a horizontal plane.
  • the moving plate 16 moves between the lower rails 13 1 and 13 2 and the upper rails 15 1 and 15 2 . It is possible to pass through a position directly below the inkjet head 17 through the gap.
  • Lift pins 8 1 and 8 2 are vertically arranged below the auxiliary mounting tables 12a to 12d.
  • the elevating pins 8 1 and 8 2 are attached to an elevating device, and can be moved up and down in the vertical direction.
  • Through holes 14a to 14d and 19 are formed in the auxiliary mounting tables 12a to 12d and the movable plate 16, respectively.
  • the through hole 19 of the moving plate 16 is directly above the through holes 14a, 14c or 14b, 14d of the auxiliary mounting tables 12a to 12d when the moving plate 16 is positioned on the auxiliary mounting tables 12a, 12c, 12b, 12d. is formed so as to be located, when raising the lift pins 81, 82 in this state, the lift pins 81, 82 passes through the through hole 14a, 14c or 14b, 14d, 19, upper end It protrudes on the surface of the moving plate 16.
  • the substrate stage 10 is temporarily assembled so that the movable plate 16 and the ink jet head 17 can travel once at the manufacturing site as described above, and after confirming the manufacturing accuracy of the lower rails 13 1 , 13 2, etc., the substrate stage 10 is disassembled. Then, the auxiliary mounting tables 12a to 12d and the lower rails 13 1 and 13 2 are removed from the main mounting table 11.
  • FIG. 11 shows the auxiliary mounting tables 12a to 12d and the lower rails 13 1 and 13 2 removed from the main mounting table 11.
  • the substrate stage 10 is of a size that can be transported, and disassembled members such as the main mounting table 11 and the auxiliary mounting tables 12a to 12d are placed on the vehicle and transported to a place where they are actually used.
  • the main mounting table 11 is installed so that the surface is horizontal, and the auxiliary mounting tables 12a to 12d are attached to the side surface of the main mounting table 11, and assembled in the same state as before the conveyance.
  • the auxiliary mounting tables 12a to 12d have one side surface fixed to the side surface of the main mounting table 11, and the portion fixed to the main mounting table 11 is supported by the main mounting table 11, whereas the side opposite to the auxiliary mounting table 12a to 12d. The part is not supported and curves downward under its own weight.
  • the vertical adjustment device 6 corrects the portions of the lower rails 13 1 and 13 2 located on the auxiliary mounting tables 12a to 12d upward and the auxiliary mounting tables 12a to 12d are curved downward
  • the surfaces of the lower rails 13 1 and 13 2 can be made horizontal.
  • the angle of the lower rail 13 1, 13 2 in a horizontal plane to adjust the horizontal plane adjusting device the lower rail 13 1, 13 2, extends straight in a horizontal plane, two lower rails 13 1, 13 2 in a horizontal plane It becomes parallel at.
  • the inkjet head 17 of the substrate stage 10 assembled at the place of use is positioned outside the main mounting table 11, the moving plate 16 is positioned on the auxiliary mounting tables 12b and 12d, and the substrate 5 is moved to the moving plate 16.
  • the state arranged above is shown.
  • the ink jet head 17 is connected to the discharge liquid supply system 23 in which the printing liquid is arranged, and the ink jet head 17 is moved onto the main mounting table 11 to be stationary on the main mounting table 11 as shown in FIGS. 5 and 6, the substrate 5 is moved downward of the inkjet head 17.
  • a plurality of ejection holes are provided in the surface directed downward of the inkjet head 17, and the ejection mechanism provided in the inkjet head 17 is operated while supplying the printing liquid from the ejection liquid supply system 23 to the inkjet head 17.
  • the liquid droplets of the printing liquid can be discharged from each discharge hole.
  • the discharge holes are arranged along the width direction of the substrate (direction perpendicular to the moving direction of the substrate 5).
  • the length of the region in which the ejection holes are arranged is shorter than the width of the substrate 5, and when the printing liquid is ejected from the inkjet head 17 while controlling the relative position between the inkjet head 17 and the substrate 5, the surface of the substrate 5 In the (substrate length) ⁇ (substrate width) area, the discharge liquid can be landed at a desired position within (substrate length) ⁇ (area where the discharge holes are arranged).
  • the ink jet head 17 After landing the discharge liquid in the region, the ink jet head 17 is moved, the substrate 5 is moved in a state where the ink jet head 17 is stationary, and the discharge liquid on the surface of the substrate 5 is discharged toward the region where the discharge liquid is not landed.
  • the discharged liquid can be landed on a desired position on the surface of the substrate 5. Since the lower rails 13 1 , 13 2 are aligned by the vertical adjustment device 6 and the horizontal adjustment device, no shaking occurs when the moving plate 16 travels, and the substrate 5 can be moved at high speed. . In addition, the landing position accuracy of the discharge liquid is improved.
  • table 12a mounting auxiliary substrate 5 is moved onto the 12c, when raising the lift pins 8 1 substrate 5 on the moving base 16 It is transferred to the lifting pin 8 1 from.
  • the substrate transfer robot hand is inserted between the substrate 5 and the moving table 16 and the substrate 5 is transferred onto the hand, it can be moved to the outside of the substrate stage 10.
  • the inkjet head 17 when discharging the discharge liquid, the inkjet head 17 is stopped and the substrate 5 is moved to discharge the discharge liquid. However, even if the substrate 5 is stopped and the inkjet head 17 is moved to discharge the discharge liquid. Good. In short, it is only necessary that the substrate 5 and the inkjet head 17 can move relative to each other, and either one may be stationary or both may move. Instead of the inkjet head 17, other devices such as a measuring device may be attached to the upper rails 15 1 and 15 2 .
  • the upper rails 15 1 and 15 2 are fixed to the main mounting table 11.
  • the upper rails 15 1 and 15 2 are movably attached to the lower rails 13 1 and 13 2 , and the upper rails 15 1 and 15 2 are attached.
  • the inkjet head 17 can move in two directions (XY) perpendicular to each other in the horizontal plane. It is possible to land the discharge liquid on the entire surface of the substrate 5 even if the substrate is kept stationary.
  • the ink jet head 17 instead of the ink jet head 17, if an attachment device capable of attaching various devices is provided on the upper rails 15 1 and 15 2 , it can be used as a general-purpose XY stage.
  • the through holes 14a to 14d are provided in the auxiliary mounting bases 12a to 12d, and the lifting pins 8 1 and 8 2 are inserted and moved up and down.
  • the auxiliary mounting bases 12a to 12d are moved up and down between the auxiliary mounting bases 12a to 12d. Also good.

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract

　基板を高速搬送できる基板ステージを提供する。本発明の基板ステージ（１０）では、主載置台（１１）に補助載置台（１２ａ～１２ｄ）を取り付け、下部レール（１３1、１３2）を主載置台（１１）上から補助載置台（１２ａ～１２ｄ）上に亘って配置する。上下方向調整装置（６）によって下部レール（１３1、１３2）の両端を上方に湾曲させておくと、補助載置台（１２ａ～１２ｄ）の端部が下方に湾曲したときに、下部レール（１３1、１３2）は真っ直ぐになる。下部レール（１３1、１３2）が分割されていないので、直線性が確保され、移動板（１６）の揺れが生じないので基板（５）の高速移動が可能である。

Description

ステージ
　本発明は、ＸＹステージや大型印刷装置に用いられる基板ステージに係り、特に、レールを連結する大型のステージに関する。
　グラナイトは平面精度を確保する加工が容易であり、熱的な歪みも小さく、大きな原石が得られることから、ＸＹステージ、大型印刷装置、三次元検査装置等の基板ステージに用いられている。
　近年では基板の大型化が増々進行しており、大型基板に適合するように基板ステージを大型化させた場合は、道路を搬送できない大きさになってしまう。
　そのため、グラナイトの原石から小面積の台や短いレールを成形し、設置場所まで搬送して組み立てることで、実際に使用する場所に大型の基板ステージを設置する試みがなされている。
　しかし、補助載置台を主載置台に取り付け、別々に作成したレール同士を連結すると、レールの継ぎ目に段差が発生したり、レールの水平性が確保できず、基板を高速に搬送できないという問題が発生した。
　大型の基板ステージが記載された技術文献は、例えば下記公報がある。
特開平７－３１１３７５号公報 特開２００５－１１４８８２号公報
　本発明は、レールの水平性と直線性を確保し、基板を高速に搬送できる分割型の基板ステージを提供することを課題とする。　
　上記課題を解決するため、本発明は、主載置台と、前記主載置台よりも小面積で前記主載置台から分離可能な補助載置台と、前記主載置台上と前記補助載置台上に亘って配置され、前記補助載置台上には端部が位置する複数の下部レールとを有し、移動板が前記各下部レール上に位置し、前記移動板は前記下部レール上を走行可能にされたステージであって、複数の前記下部レールは、一本が一枚の原板からそれぞれ形成され、前記主載置台と前記補助載置台とに着脱可能に構成され、前記補助載置台には、前記下部レールの高さを複数位置で調節可能な上下方向調整装置が設けられたステージである。
　また、本発明は、前記移動板には、昇降ピンが挿通される複数の貫通孔が形成され、前記移動板が前記補助載置台の所定場所に位置する状態では、前記移動板の裏面側から前記移動板の貫通孔に前記昇降ピンを挿入できるように構成されたステージである。
　また、本発明は、前記主載置台には、前記下部レールの上方に位置する上部レールが着脱可能に取り付けられたステージである。
　また、本発明は、前記上部レールにはインクジェットヘッドが移動可能に取り付けられたステージである。
　また、本発明は、主載置台と、前記主載置台よりも小面積で前記主載置台から分離可能な補助載置台と、前記主載置台上と前記補助載置台上に亘って配置され、前記補助載置台上には端部が位置する複数の下部レールと、前記下部レールの延びる方向に沿った移動ができるように取り付けられた上部レールと、を有するステージであって、各前記下部レールは一枚の原板から形成され、前記主載置台と前記補助載置台とに着脱可能に構成され、前記補助載置台には、前記下部レールの高さを複数位置で調節可能な上下方向調整装置が設けられ、前記上部レールと前記下部レールは着脱可能に構成されたステージである。
　この場合も、本発明は、前記上部レールにはインクジェットヘッドが移動可能に取り付けられたステージである。
　また、本発明は、前記下部レールはグラナイトで構成されたステージである。
　本発明のステージ上には、移動板が走行する二本以上の本数の下部レールが配置されている。移動板が走行する複数の下部レールのうち、各下部レールは、それぞれ一枚の原板から形成されている。本発明には、移動板が走行する複数の下部レールが同じ原板から形成される場合と、異なる原板から形成される場合と、それらの場合が混在する場合とのいずれの場合も含まれる。
　本発明によるステージは、一本の下部レールが長手方向において分割されておらず、一本の下部レールは一枚の原板から形成されている。従って直線性が確保されているので、基板を載置する移動板に揺れが生じず、高速移動させることができる。また、吐出液の着弾位置精度も向上する。
　下部レールの端部には、上下方向調整装置が設けられているので、補助載置台が垂下しても直線性を維持することができる。
本発明の基板ステージの動作を説明するための平面図(１) 本発明の基板ステージの動作を説明するための側面図(１) 本発明の基板ステージの動作を説明するための平面図(２) 本発明の基板ステージの動作を説明するための側面図(２) 本発明の基板ステージの動作を説明するための平面図(３) 本発明の基板ステージの動作を説明するための側面図(３) 本発明の基板ステージの動作を説明するための平面図(４) 本発明の基板ステージの動作を説明するための側面図(４) 本発明の基板ステージを説明するための平面図 本発明の基板ステージを説明するための側面図 本発明の基板ステージ分解後の補助載置台と主載置台と下部レールを示す平面図
６……上下方向調整装置
８1、８2……昇降ピン
１０……基板ステージ
１１……主載置台
１２ａ～１２ｄ……補助載置台
１３1、１３2……下部レール
１４ａ～１４ｄ、１９……貫通孔
１５1、１５2……上部レール
１６……移動板
１７……インクジェットヘッド
　図９、図１０を参照し、本発明の基板ステージ１０は、一台の主載置台１１と、平面形状が主載置台１１よりも小型・小面積の複数(ここでは四台)の補助載置台１２ａ～１２ｄと、二本の下部レール１３1、１３2とを有している。
　図９、図１０は本発明の基板ステージ１０を製造場所に於いて仮に組み立てた状態の平面図と側面図である。
　主載置台１１と補助載置台１２ａ～１２ｄの平面形状は四角形であり、表面は平坦である。
　主載置台１１と補助載置台１２ａ～１２ｄは着脱可能に構成されており、補助載置台１２ａ～１２ｄは、主載置台１１の互いに平行な二辺に二個ずつ固定されている。
　下部レール１３1、１３2は主載置台１１の長さよりも長く、中央部分が主載置台１１上に配置され、一端が主載置台１１の一辺側の補助載置台１２ａ、１２ｃ上に配置され、他端が他辺側の補助載置台１２ｂ、１２ｄ上に配置されている。二本の下部レール１３1、１３2は互いに平行にされている。
　主載置台１１は表面が水平になるように配置されており、補助載置台１２ａ～１２ｄは、表面が主載置台１１よりも低くされた状態で主載置台１１に固定されている。
　補助載置台１２ａ～１２ｄには、複数の上下方向調整装置６が設けられている。ここでは上下方向調整装置６はネジで構成されており、各上下方向調整装置６は補助載置台１２ａ～１２ｄの底面側から表面側に向けてそれぞれ上向きに挿通されている。
　下部レール１３1、１３2の主載置台１１上に乗せられた部分は主載置台１１の表面と密着され、補助載置台１２ａ～１２ｄ上の部分は上下方向調整装置６の上端に乗せられている。
　下部レール１３1、１３2はグラナイト製である。下部レール１３1、１３2上にリニア移動手段のガイドが設置される。グラナイトは剛性を有しているが、微少量の変形は可能であり、上下方向調整装置６を回転させ、その先端を上下に移動させると、下部レール１３1、１３2の端部は曲がり、下部レール１３1、１３2の主載置台１１上の部分が主載置台１１表面と密着した状態を維持しながら、両端部分の高さを、主載置台１１上に位置する部分の高さよりも高く、又は低くすることができる。
　下部レール１３1、１３2は、補助載置台１２ａ～１２ｄ上では、下部レール１３1、１３2の長手方向に沿った複数位置で上下方向調整装置６の先端に当接されており、一本の下部レール１３1、１３2に当接された複数本の上下方向調整装置６の先端の高さを変えることで、直線状に伸びるようにも、上下方向に湾曲するようにもすることができる。上下方向調整装置６の上端を、下部レール１３1、１３2の端部に近い位置程上方に移動させると、下部レール１３1、１３2を上方に湾曲させることができる。
　また、下部レール１３1、１３2には、水平面内調整装置が設けられており、水平面内調整装置によって、下部レール１３1、１３2の水平面内での向きを調整することができる。
　下部レール１３1、１３2上には、エアベアリング等の摩擦低減装置２１を介してグラナイト製の移動板１６が乗せられており、不図示の基板移動機構を動作させると移動板１６は下部レール１３1、１３2上を走行し、補助載置台１２ａ～１２ｄ上にも主載置台１１上にも位置できるようにされている。
　ここでは、移動板１６に摩擦低減装置２１を設け、摩擦低減装置２１の平坦な面と下部レール１３1、１３2の表面との間に空気層を設けて、下部レール１３1、１３2と摩擦低減装置２１及び移動板１６とを非接触の状態にして移動板１６を下部レール１３1、１３2上に乗せて走行できるようにした。
　また、ここでは互いに平行に配置された二本の下部レール１３1、１３2上に亘って一台の移動板１６を乗せて走行させるようにしたが、互いに平行に配置された三本の下部レール上に亘って一台の移動板を乗せて走行させるようにしても良い。
　主載置台１１上の二本の下部レール１３1、１３2の外側には支柱２２が立設されており、支柱２２の上には二本の上部レール１５1、１５2が互いに平行に、且つ下部レール１３1、１３2の伸びる方向とは垂直に配置されている。
　上部レール１５1、１５2には、インクジェットヘッド１７が移動可能に取り付けられている。上部レール１５1、１５2は主載置台１１の幅よりも長く、両端部が主載置台１１の外側に突き出されており、不図示のヘッド移動機構を動作させてインクジェットヘッド１７を上部レール１５1、１５2に沿って走行させると、インクジェットヘッド１７は主載置台１１上にも、主載置台１１の外側にも位置できるようになっている。上部レール１５1、１５2は水平に配置されており、インクジェットヘッド１７は水平面内を移動する。
　上部レール１５1、１５2とインクジェットヘッド１７は、下部レール１３1、１３2よりも上方に位置しており、下部レール１３1、１３2と上部レール１５1、１５2の間には隙間が形成される。
　インクジェットヘッド１７を主載置台１１上に位置させ、移動板１６上に基板５を乗せて移動させると、移動板１６は、下部レール１３1、１３2と上部レール１５1、１５2の間の隙間を通って、インクジェットヘッド１７の真下位置を通過することができる。
　補助載置台１２ａ～１２ｄの下方には昇降ピン８1、８2が鉛直に配置されている。昇降ピン８1、８2は昇降装置に取り付けられており、上下方向に昇降移動できるようにされている。
　補助載置台１２ａ～１２ｄと移動板１６には、それぞれ貫通孔１４ａ～１４ｄ、１９が形成されている。
　移動板１６の貫通孔１９は、移動板１６を補助載置台１２ａ、１２ｃ又は１２ｂ、１２ｄ上に位置させたときに、補助載置台１２ａ～１２ｄの貫通孔１４ａ、１４ｃ又は１４ｂ、１４ｄの真上に位置するように形成されており、その状態で昇降ピン８1、８2を上昇させると、昇降ピン８1、８2は貫通孔１４ａ、１４ｃ又は１４ｂ、１４ｄ、１９を通って、上端が移動板１６の表面上に突き出される。
　この基板ステージ１０は、製造場所に於いて上記のように一旦移動板１６やインクジェットヘッド１７が走行できるように仮組み立てを行ない、下部レール１３1、１３2等の製造精度を確認した後、分解し、主載置台１１から補助載置台１２ａ～１２ｄや下部レール１３1、１３2を取り外す。図１１は、主載置台１１から取り外された補助載置台１２ａ～１２ｄと下部レール１３1、１３2を示している。
　この状態では、基板ステージ１０は運搬可能な大きさになっており、主載置台１１や補助載置台１２ａ～１２ｄ等の分解した部材を車両に乗せ、実際に使用する場所まで搬送する。
　使用場所では、先ず、主載置台１１を表面が水平になるように設置し、補助載置台１２ａ～１２ｄを主載置台１１の側面に取り付け、搬送前と同じ状態に組み立てる。
　補助載置台１２ａ～１２ｄは、一側面が主載置台１１の側面に固定されており、主載置台１１に固定された部分は主載置台１１によって支持されているのに対し、それと反対側の部分は支持されておらず、自重で下方に湾曲する。
　本発明では、上下方向調整装置６により、下部レール１３1、１３2の補助載置台１２ａ～１２ｄ上に位置する部分を上向きに補正し、補助載置台１２ａ～１２ｄが下方に湾曲した場合に、下部レール１３1、１３2の表面を水平面にすることができる。
　下部レール１３1、１３2の水平面内の角度は水平面内調整装置によって調整すると、下部レール１３1、１３2は、水平面内で一直線に伸び、二本の下部レール１３1、１３2は水平面内で平行になる。
　図１、２は、使用場所で組み立てた基板ステージ１０のインクジェットヘッド１７を主載置台１１の外側に位置させ、移動板１６を補助載置台１２ｂ、１２ｄ上に位置させ、基板５を移動板１６上に配置した状態を示している。
　印刷液が配置された吐出液供給系２３にインクジェットヘッド１７を接続し、図３、４に示すように、インクジェットヘッド１７を主載置台１１の上へ移動させ、主載置台１１上で静止させ、図５、６に示すように、インクジェットヘッド１７の下方に向けて基板５を移動させる。
　インクジェットヘッド１７の下方に向けられた面には複数の吐出孔が設けられており吐出液供給系２３からインクジェットヘッド１７に印刷液を供給しながらインクジェットヘッド１７に設けられた吐出機構を動作させると、各吐出孔から印刷液の液滴を吐出することができる。
　吐出孔は、基板の幅方向(基板５の移動方向とは垂直な方向)に沿って配置されている。吐出孔が配置された領域の長さは、基板５の幅よりも短くなっており、インクジェットヘッド１７と基板５の相対位置を制御しながら、インクジェットヘッド１７から印刷液を吐出すると、基板５表面の(基板長）×(基板幅)の領域のうち、(基板長)×(吐出孔が配置された領域)内の所望位置に吐出液を着弾させることができる。
　その領域内に吐出液を着弾させた後、インクジェットヘッド１７を移動させ、インクジェットヘッド１７を静止させた状態で基板５を移動させ、基板５表面の吐出液が着弾していない領域に向けて吐出液を吐出すると、基板５表面の所望位置に吐出液を着弾させることができる。
　下部レール１３1、１３2は、上下方向調整装置６と水平方向調整装置によって一直線にされているので移動板１６が走行する際に揺れが発生せず、基板５を高速に移動させることができる。また、吐出液の着弾位置精度も向上する。
　主載置台１１上で基板５表面の所定位置に印刷液が着弾された後、基板５を補助載置台１２ａ、１２ｃ上に移動させ、昇降ピン８1を上昇させると基板５は移動台１６上から昇降ピン８1に移載される。基板５と移動台１６の間に基板搬送ロボットのハンドを挿入して基板５をハンド上に移載すると、基板ステージ１０の外部に移動させることができる。
　図７、８は、基板５を基板ステージ１０の外部に移動後の状態を示している。
　上記例では、吐出液の吐出時には、インクジェットヘッド１７を静止させ、基板５を移動させて吐出液を吐出したが、基板５を静止させてインクジェットヘッド１７を移動させて吐出液を吐出してもよい。要するに、基板５とインクジェットヘッド１７が相対的に移動できればよく、一方が静止していても、両方が移動してもよい。
　インクジェットヘッド１７に替え、測定装置等の他の装置を上部レール１５1、１５2に取り付けてもよい。
　また、上記例では上部レール１５1、１５2は主載置台１１に固定したが、上部レール１５1、１５2を下部レール１３1、１３2に移動可能に取り付け、上部レール１５1、１５2が下部レール１３1、１３2の延びる方向に移動できるようにしておくと、インクジェットヘッド１７は、水平面内で互いに直角な二方向(Ｘ－Ｙ)に移動することが可能になるから、基板５を静止させておいても基板５の全表面に吐出液を着弾させることが可能になる。
　この場合、インクジェットヘッド１７に替え、種々の装置を取り付けることができる取付器具を上部レール１５1、１５2上に設けておくと、汎用的なＸ－Ｙステージとして用いることもできる。
　また、上記例では補助載置台１２ａ～１２ｄに貫通孔１４ａ～１４ｄを設け、昇降ピン８1、８2を挿通させて上下移動させたが、補助載置台１２ａ～１２ｄの間で上下移動させてもよい。

Claims (7)

  1. 　主載置台と、
    　前記主載置台よりも小面積で前記主載置台から分離可能な補助載置台と、
    　前記主載置台上と前記補助載置台上に亘って配置され、前記補助載置台上には端部が位置する複数の下部レールとを有し、
    　移動板が前記各下部レール上に位置し、前記移動板は前記下部レール上を走行可能にされたステージであって、
    　複数の前記下部レールは、一本が一枚の原板からそれぞれ形成され、前記主載置台と前記補助載置台とに着脱可能に構成され、
    　前記補助載置台には、前記下部レールの高さを複数位置で調節可能な上下方向調整装置が設けられたステージ。
  2. 　前記移動板には、昇降ピンが挿通される複数の貫通孔が形成され、
    　前記移動板が前記補助載置台の所定場所に位置する状態では、前記移動板の裏面側から前記移動板の貫通孔に前記昇降ピンを挿入できるように構成された請求項１記載のステージ。
  3. 　前記主載置台には、前記下部レールの上方に位置する上部レールが着脱可能に取り付けられた請求項１又は請求項２のいずれか１項記載のステージ。
  4. 　前記上部レールにはインクジェットヘッドが移動可能に取り付けられた請求項３記載のステージ。
  5. 　主載置台と、
    　前記主載置台よりも小面積で前記主載置台から分離可能な補助載置台と、
    　前記主載置台上と前記補助載置台上に亘って配置され、前記補助載置台上には端部が位置する複数の下部レールと、
    　前記下部レールの延びる方向に沿った移動ができるように取り付けられた上部レールと、
    　を有するステージであって、
    　各前記下部レールは一枚の原板から形成され、前記主載置台と前記補助載置台とに着脱可能に構成され、
    　前記補助載置台には、前記下部レールの高さを複数位置で調節可能な上下方向調整装置が設けられ、
    　前記上部レールと前記下部レールは着脱可能に構成されたステージ。
  6. 　前記上部レールにはインクジェットヘッドが移動可能に取り付けられた請求項５記載のステージ。
  7. 　前記下部レールはグラナイトで構成された請求項１乃至請求項６のいずれか１項記載のステージ。
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